JP2012182497A - 極端紫外光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】極端紫外光源装置は、ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に供給されるターゲットにレーザビームを照射することによりプラズマを生成するドライバレーザと、チャンバ内に設置され、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射する集光ミラーと、チャンバと連通し、排気装置と接続されてチャンバ内を一定の圧力に維持する排気経路と、排気経路に備えられ、プラズマから発生するデブリを捕集する捕集装置と、捕集されたデブリをチャンバ外に回収する回収装置とを具備する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態を説明するための図である。図1を参照しながら、本実施形態に係るEUV光源装置の基本的な構成とその動作について説明する。図1に示すEUV光源装置は、レーザビームをターゲット物質に照射して励起させることによりEUV光を生成するレーザ励起プラズマ(LPP)方式を採用している。
Claims (14)
- ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内の所定の位置に供給されるターゲットにレーザビームを照射することによりプラズマを生成するドライバレーザと、
前記チャンバ内に設置され、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射する集光ミラーと、
前記チャンバと連通し、排気装置と接続されて前記チャンバ内を一定の圧力に維持する排気経路と、
前記排気経路に備えられ、プラズマから発生するデブリを捕集する捕集室と、
捕集されたデブリを前記チャンバ外に回収する回収装置と、
を具備する極端紫外光源装置。 - ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内の所定の位置に供給されるターゲットにレーザビームを照射することによりプラズマを生成するドライバレーザと、
前記チャンバ内に設置され、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射する集光ミラーと、
前記チャンバと連通し、排気装置と接続されて前記チャンバ内を一定の圧力に維持する排気経路と、
前記排気経路に備えられ、プラズマから発生するデブリを捕集し、捕集されたデブリを反応性ガスと反応させて反応生成ガスを生成する捕集反応室と、
前記排気経路に接続され、反応生成ガスを処理することにより、捕集されたデブリを前記チャンバ外に回収する回収装置と、
を具備する極端紫外光源装置。 - 前記チャンバと前記排気経路との間に、前記チャンバから前記排気経路にデブリを通過させるデブリ通過穴を有するスキマーと、
前記排気経路と前記捕集反応室との間に、前記排気経路から前記捕集反応室にデブリを通過させるデブリ通過穴と、前記捕集反応室から前記排気経路に反応性ガスと反応生成ガスとを通過させる排気ガス通気穴とを有する隔壁と、
を備える、請求項2記載の極端紫外光源装置。 - 前記回収装置が、前記排気経路と前記捕集反応室とに接続される、請求項2記載の極端紫外光源装置。
- 前記チャンバと連通する切替バルブを有し、前記排気経路が、それぞれ回収装置と連通する複数の排気経路を含み、前記切替バルブによって前記チャンバと連通する複数の排気経路が切替えられる、請求項2記載の極端紫外光源装置。
- 前記捕集反応室に前記反応性ガスを加熱する加熱装置を備える、請求項2〜5のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 中性粒子を帯電させる帯電装置を備える、請求項1〜6のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 帯電したデブリを集束させ前記排気経路に導く磁場を発生するコイルを含む磁場発生装置を備える、請求項1〜7のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 帯電したデブリを集束させ前記排気経路に導く磁場を発生する少なくとも2個のコイルを含む磁場発生装置を備え、前記排気経路の側にあるコイルの径が、前記排気経路と反対側にあるコイルの径より大きい、請求項1〜8のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 前記ターゲットが錫(Sn)を含む、請求項1〜9のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 前記ターゲットがドロップレットターゲットを含む、請求項1〜10のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 前記ターゲットがワイヤターゲットを含む、請求項1〜10のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 前記ワイヤターゲットがコートワイヤターゲットを含む、請求項12記載の極端紫外光源装置。
- 前記ドライバレーザが炭酸ガス(CO2)レーザを含む、請求項1〜13のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
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