JP2012181034A - 半導体試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】テストプログラムの作成変更修正が効率よく行える半導体試験装置を提供すること。
【解決手段】所望の画面を選択するためのタブが設けられた画面を表示する表示部を有し、テストプログラムを作成変更修正するエディタと、このエディタで作成変更修正されたテストプログラムを解析する構文解析部と、この構文解析部の解析結果に基づき各種のマトリクス表示のＧＵＩ画面を編集作成するＧＵＩ画面編集部と、前記構文解析部の解析結果および前記ＧＵＩ画面編集部で編集作成されたＧＵＩ画面に基づきデータ検索用一覧表を作成格納するインデクサとを具備し、前記インデクサのデータ検索用一覧表を介して、前記ＧＵＩ画面におけるマトリクス表示の各交点を前記テストプログラムの構成要素にリンクさせることを特徴とする半導体試験装置である。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体試験装置に関し、詳しくは、テストプログラムの開発環境の改善に関するものである。

従来から、半導体試験装置（以下テスタという）では、検査対象物（以下ＤＵＴという）の特性仕様に対応した所定のテストを実行するためのテストプログラムを編集作成し、作成したテストプログラムに基づいてテスタを駆動して所定のテストを実行することにより、ＤＵＴの良否を判定することが行われている。

図１１は、従来のテストプログラムの開発環境の一例を示す概念構成説明図である。作業者は、ソースファイルエディタ１を操作し、その表示画面を見ながら同時に並行してテストを行う複数のＤＵＴの各ピンについて、電圧レベルやタイミングなどの測定条件を含む定義を書き込む。

作成されたテストプログラムは適宜ＤＵＴのテストに用いるテスタ２にロードされ、テスタ２はロードされたテストプログラムに対応したデータを出力する。

テスタ２の出力データは、ピン配列表示部３に入力される。ピン配列表示部３は、テスタ２の出力データに基づいて、複数のＤＵＴと各ピンとの対応関係を関連付けたマトリクス表形式のＧＵＩ画面を生成し、表示する。

作業者は、ピン配列表示部３に表示されるマトリクス表形式のＧＵＩ表示画面上でテスタ２の現在の設定値を確認し、間違いがあればソースファイルエディタ１を操作して該当部分を修正する。

図１２は、図１１の動作の流れを説明するフローチャートである。作業者は、ソースファイルエディタ１を操作し、その表示画面を見ながら同時に並行してテストを行う複数のＤＵＴの各ピンについて、電圧レベルやタイミングなどの測定条件を含む定義を書き込むためのソースファイルを編集する（ステップＳ１）。

編集したソースファイルをコンパイルすることにより、テストプログラムを生成する（ステップＳ２）。

コンパイルされたテストプログラムをテスタ２にロードし（ステップＳ３）、テスタ２はテストプログラムを実行する（ステップＳ４）。

ピン配列表示部３は、テスタ２からデータを取得し（ステップＳ５）、複数のＤＵＴと各ピンとの対応関係を関連付けたマトリクス表形式のＧＵＩ画面を生成して表示する（ステップＳ６）。

作業者は、ピン配列表示部３に表示されるマトリクス表形式のＧＵＩ表示画面上でテスタ２の現在の設定値修正の要否を確認する（ステップＳ７）。間違いがあればステップＳ１に戻り、ソースファイルエディタ１を操作して該当部分を修正する。

このような一連の操作を、最終ピンの定義を確認するまで繰り返して実行する（ステップＳ８）。

特許文献１には、オブジェクト指向コンストラクトを用いた半導体テストシステムのためのテストプログラムを開発する方法および構造が開示されている。

特表２００６−５２０９４７号公報

しかし、図１１のような従来の構成によれば、テストプログラムに基づくデータを得るためのテスタを用いなければならない。

また、テストプログラムのコンパイルおよびテスタ２へのロードを手動で行わなければならない。

また、ソースファイルエディタ１とピン配列表示部３が連携していないため、ＧＵＩ画面の表示内容をテストプログラムに反映させるためにはテストプログラムの構造を理解した上で変更修正すべき設定値に対応するプログラム部分を探す必要があり、作業は煩雑になる。

さらに、テストプログラムのコンパイルはテスタ２のプラットフォームに依存しているため、汎用性の高いWindows（登録商標）の環境で使用することはできない。

本発明は、このような課題を解決するものであり、その目的は、テストプログラムの作成変更修正が効率よく行える半導体試験装置を提供することにある。

このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
所望の画面を選択するためのタブが設けられた画面を表示する表示部を有し、テストプログラムを作成変更修正するエディタと、
このエディタで作成変更修正されたテストプログラムを解析する構文解析部と、
この構文解析部の解析結果に基づき各種のマトリクス表示のＧＵＩ画面を編集作成するＧＵＩ画面編集部と、
前記構文解析部の解析結果および前記ＧＵＩ画面編集部で編集作成されたＧＵＩ画面に基づきデータ検索用一覧表を作成格納するインデクサとを具備し、
前記インデクサのデータ検索用一覧表を介して、前記ＧＵＩ画面におけるマトリクス表示の各交点を前記テストプログラムの構成要素にリンクさせることを特徴とする半導体試験装置である。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の半導体試験装置において、
前記エディタの表示部は、ソース編集画面、ブロック定義表示画面、ＤＵＴ定義表示画面、ＦＭ定義表示画面の少なくともいずれかを表示することを特徴とする。

請求項３記載の発明は、請求項１記載の半導体試験装置において、
前記ＧＵＩ画面編集部は、前記ブロック定義表示画面、ＤＵＴ定義表示画面、ＦＭ定義表示画面の少なくともいずれかを編集作成することを特徴とする。

これらにより、テストプログラムの作成変更修正を効率よく行える。

本発明の一実施例を示すブロック図である。 ソース編集画面４ａの具体例図である。 ＤＵＴ定義表示画面４ｃの具体例図である。 ＤＵＴ定義表示画面４ｃの他の具体例図である。 ＤＵＴ定義表示画面４ｃの他の具体例図である。 ＤＵＴ定義表示画面４ｃの他の具体例図である。 ＤＵＴ定義表示画面４ｃの他の具体例図である。 ＦＭ定義表示画面４ｄの具体例図である。 ＦＭ定義表示画面４ｄの他の具体例図である。 図１の動作の流れを説明するフローチャートである。 従来のテストプログラムの開発環境の一例を示す概念構成説明図である。 図１１の動作の流れを説明するフローチャートである。

以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブロック図である。図１において、マルチページエディタ４には、ソース編集画面４ａ、ブロック定義表示画面４ｂ、ＤＵＴ定義表示画面４ｃ、ＦＭ(フェイルメモリ)定義表示画面４ｄなどのＧＵＩ画面編集部５で編集作成される複数のＧＵＩ画面が設けられている。

構文解析部６は、ソースファイルエディタＧＵＩ画面４ａで編集生成されるソースファイルを構文解析して言語記述における関数や変数を抽出し、抽出データをＧＵＩ画面編集部５およびインデクサ７に出力する。

インデクサ７は、構文解析部６の抽出データを一覧にしてインデックス化し、マルチページエディタ４に出力する。

統合制御部８は、マルチページエディタ４、ＧＵＩ画面編集部５、構文解析部６、インデクサ７などとバスを介して接続され、これら各部が相互に連携して動作するように制御する。

図２は、ソース編集画面４ａの具体例図であり、各ＤＵＴの所定のピンに接続されるテスタ側のピンを定義する。

図２において、「ＰＲＧＣＨ」はプログラムチャネルであり、編集中のテストプログラムで使うＤＵＴのピンを定義している。「ＰＤ１−４」はピンドライバの１−４を表し、「ＰＩ３３−３７」は入出力ピンの３３−３７を表し、「ＰＬ６５−７０」は出力が一定レベルに保たれているピンの６５−７０を表し、「ＤＰＳ１−４」はデバイス用電源ピンの１−４を表している。

「ＤＵＴ＝ＤＰＳ１−４，ＰＤ１−４，ＰＩ３３−３７，ＰＬ６５−７０;」は、プログラムチャネルＰＲＧＣＨで定義した編集中のテストプログラムで使うＤＵＴのピン配列を、テスタ側のピン配列に対応付けて表形式で表示するように再度記述したものである。

「ＤＵＴ１＝ＰＰＳ１−４，Ｄ１−４Ａ１，Ｉ１−５Ａ１，Ｌ１−６Ａ１;」は、テスタ側のＤＵＴ１のピン配列を示している。「ＰＰＳ１−４」は電源用ピンでＤＵＴのデバイス用電源ピン「ＤＰＳ１−４」に対応し、「Ｄ１−４Ａ１」はクワッドのドライバピンでＤＵＴのピンドライバ「ＰＤ１−４」に対応し、「Ｉ１−５Ａ１」はクワッドの入出力ピンでＤＵＴの入出力ピン「ＰＩ３３−３７」に対応し、「Ｌ１−６Ａ１」はクワッドのレベルピンでＤＵＴのレベルピン「ＰＬ６５−７０」に対応している。

「ＤＵＴ２＝ＰＰＳ５−８，Ｄ５−８Ａ１，Ｉ６−１０Ａ１，Ｌ７−１２Ａ１;」は、テスタ側のＤＵＴ１のピン配列を示している。「ＰＰＳ１−４」は電源用ピンでＤＵＴのデバイス用電源ピン「ＤＰＳ１−４」に対応し、「Ｄ１−４Ａ１」はクワッドのドライバピンでＤＵＴのピンドライバ「ＰＤ１−４」に対応し、「Ｉ１−５Ａ１」はクワッドの入出力ピンでＤＵＴの入出力ピン「ＰＩ３３−３７」に対応し、「Ｌ１−６Ａ１」はクワッドのレベルピンでＤＵＴのレベルピン「ＰＬ６５−７０」に対応している。

「//ＤＵＴ３＝ＰＰＳ９−１２，Ｄ９−１２Ａ１，Ｉ１１−１５Ａ１，Ｌ１３−１８Ａ１;」はテスタ側のＤＵＴ３のピン配列に関連したコメントを示している。「ＰＰＳ９−１２」は電源用ピンでＤＵＴのデバイス用電源ピン「ＤＰＳ１−４」に対応し、「Ｄ９−１２Ａ１」はクワッドのドライバピンでＤＵＴのピンドライバ「ＰＤ１−４」に対応し、「Ｉ１１−１５Ａ１」はクワッドの入出力ピンでＤＵＴの入出力ピン「ＰＩ３３−３７」に対応し、「Ｌ１３−１８Ａ１」はクワッドのレベルピンでＤＵＴのレベルピン「ＰＬ６５−７０」に対応している。なお、行頭の「//」は、コメントであることを示している。

「//ＤＵＴ４＝ＰＰＳ１３−１６，Ｄ１３−１６Ａ１，Ｉ１６−２０Ａ１，Ｌ１９−２４Ａ１;」はテスタ側のＤＵＴ４のピン配列に関連したコメントを示している。「ＰＰＳ１３−１６」は電源用ピンでＤＵＴのデバイス用電源ピン「ＤＰＳ１−４」に対応し、「Ｄ１３−１６Ａ１」はクワッドのドライバピンでＤＵＴのピンドライバ「ＰＤ１−４」に対応し、「Ｉ１６−２０Ａ１」はクワッドの入出力ピンでＤＵＴの入出力ピン「ＰＩ３３−３７」に対応し、「Ｌ１９−２４Ａ１」はクワッドのレベルピンでＤＵＴのレベルピン「ＰＬ６５−７０」に対応している。なお、行頭の「//」は、コメントであることを示している。

「ＤＵＴ３＝ＮＵＬＬ」および「ＤＵＴ４＝ＮＵＬＬ」は、テスタ側のＤＵＴ３とＤＵＴ４のピン配列が非動作状態にあることを示している。

図示しないＤＵＴ定義表示画面４ｂでは、構文解析部６の解析結果に基づき、テストプログラムのブロック定義の内容がテーブルとして表示される。

図３はＤＵＴ定義表示画面４ｃの具体例図であり、ＤＵＴ表示タブの表示形態を示している。左端の列の先頭行には「Ｍｏｄｅ」が表示され、ＤＰＳ（デバイス用電源）番号、ＸＣＢ（外部制御ビット）番号、Ｐｉｎ（プログラムピン）番号にそれぞれ設定されたモードが表示されている。

なお、モードは、
ＮＯＲＭＡＬ→Ｎｏｒｍ
ＰＡＲＡＬＬＥＬ→Ｐａｒａ
ＣＯＭＭＯＮＸ→ＣｏｍＸ
ＸＣＯＭＭＯＮ→ＸＣｏｍ
と表示される。

ＤＵＴ番号としてはデバイス定義ファイルに定義されたＤＵＴ番号が左端の列に表示され、ＤＰＳ番号はデバイス定義ファイルに定義されたＤＰＳ番号がグループ化されて行方向に表示されている。そして、ＤＵＴとＤＰＳの各交点には、割り付けられているＰＰＳ（電源用ピン）番号が表示されている。

Ｐｉｎ番号としてはデバイス定義ファイルに定義されたＰＤ（ドライバピン）番号がグループ化されて行方向に表示されている。そして、ＤＵＴとＰＤの各交点には、割り付けられているテスタピン番号が表示される。

図４はＤＵＴ定義表示画面４ｃの他の具体例図であり、ＵＤＰＳ（汎用電源）表示タブの表示形態を示している。左端の列にはデバイス定義ファイルに定義された全てのＵＤＰＳ番号が表示され、先頭行にはＭｏｄｅとＰＰＳが表示されている。そして、ＵＤＰＳとＭｏｄｅの交点にはそれぞれのＵＤＰＳに設定されているモードが表示され、ＵＤＰＳとＰＰＳの各交点には割り付けられているＰＰＳ番号が表示される。なお、図４の例では、文字指定、カスタマイズのそれぞれに基づいて、該当する行やセルを色分け表示できるように構成されている。

図５もＤＵＴ定義表示画面４ｃの他の具体例図であり、ＡＴＥＰＩＮ（テスタピン）表示タブの表示形態を示している。左端の列にはデバイス定義ファイルに定義された全てのテスタピン番号が表示され、先頭行にはＰｉｎとＤＵＴが表示されている。そして、テスタピンとＰｉｎの交点にはそれぞれのテスタピンに対応したプログラムピン番号が表示され、テスタピンとＤＵＴの各交点にはテスタピンに対応して割り付けられているＤＵＴ番号が表示される。なお、図５では、Ｂｕｆｆｅｒ番号、Ｑｕａｄ番号、文字指定、カスタマイズのそれぞれに基づいて、該当する行やセルを色分け表示できるように構成されている。

図６もＤＵＴ定義表示画面４ｃの他の具体例図であり、ＰＰＳ（電源用ピン）表示タブの表示形態を示している。左端の列にはデバイス定義ファイルに定義された全ての電源用ピン番号が表示され、先頭行にはＤＰＳとＤＵＴが表示されている。そして、ＰＰＳとＤＰＳの交点にはそれぞれのＰＰＳ番号に対応したＤＰＳ番号が表示され、ＰＰＳとＤＵＴの各交点にはＰＰＳ番号に対応して割り付けられているＤＵＴ番号が表示される。なお、図６も、文字指定、カスタマイズのそれぞれに基づいて、該当する行やセルを色分け表示できるように構成されている。

図７もＤＵＴ定義表示画面４ｃの他の具体例図であり、ＰＸＣＢ表示タブの表示形態を示している。左端の列にはデバイス定義ファイルに定義された全てのＰＸＣＢ番号が表示され、先頭行にはＸＣＢとＤＵＴが表示されている。そして、ＰＸＣＢとＸＣＢの交点にはそれぞれのＰＰＳ番号に対応したＸＣＢ番号が表示され、ＰＸＣＢとＤＵＴの各交点にはＰＰＳ番号に対応して割り付けられているＤＵＴ番号が表示される。なお、図７も、文字指定、カスタマイズのそれぞれに基づき、該当する行やセルを色分け表示できるように構成されている。

ＦＭ（フェイルメモリ）定義表示画面４ｄでは、構文解析部６の解析結果に基づき、デバイス定義ファイルのＦＭブロックの内容を、ＦＭＤＵＴとＦＭＰＡＲＴＩＴＩＯＮの２つのモードでテーブルとして表示する。

なお、ＦＭＤＵＴモードはＤＵＴの検査結果をテスタに取り込むためにテスタに設けられている複数のＦＭＤＵＴとＤＵＴとの割り当ての状態を示すモードであり、ＦＭＰＡＲＴＩＴＩＯＮモードは分割されているＦＭの複数の領域とＤＵＴとの割り当ての状態を示すモードである。

図８はＦＭ定義表示画面４ｄの具体例図であり、ＦＭＤＵＴモードの表示形態を示している。図８において、上部にはＦＭＣＡＲＥＰＩＮの表示領域が設けられ、下部にはＦＭＤＵＴの表示領域が設けられている。なお、図８では、ＤＵＴの並列測定数は３２、ＦＭＤＵＴが６４の例を示している。

ＦＭＣＡＲＥＰＩＮ表示領域の左端の列にはＦＭＣＡＲＥＰＩＮ１とＦＭＣＡＲＥＰＩＮ２が表示され、先頭行には１から３２の番号が表示されている。ＦＭＣＡＲＥＰＩＮ１と各番号１〜３２との交点には割り付けられている入出力ピン番号ＰＩ１〜ＰＩ３２が表示され、ＦＭＣＡＲＥＰＩＮ２と各番号１〜３２との交点には割り付けられている入出力ピン番号ＰＩ３３〜ＰＩ６４が表示されている。

ＦＭＤＵＴ表示領域の左端の列にはＦＭＤＵＴ番号が１から順番に表示され、先頭行にはＤＵＴとＦＭＳＩＴＥが表示されている。ＦＭＤＵＴ番号とＤＵＴとの交点にはＤＵＴの番号が表示されるとともに、対応するＦＭＣＡＲＥＰＩＮのグループ番号が（）付きで表示される。ＦＭＤＵＴ番号とＦＭＳＩＴＥとの交点にはＦＭＤＵＴモードごとにテスタによりあらかじめ割り当てられるＦＭＳＩＴＥの番号が表示される。

図９はＦＭ定義表示画面４ｄの他の具体例図であり、ＦＭＰＡＲＴＩＴＩＯＮモードの表示形態を示している。図９において、上部にはＦＭＣＡＲＥＰＩＮの表示領域が設けられ、下部にはＦＭＰＡＲＴＩＴＩＯＮの表示領域が設けられている。なお、図９では、ＤＵＴの並列測定数は１０２４、ＦＭＰＡＲＴＩＴＩＯＮが８の例を示している。

ＦＭＣＡＲＥＰＩＮ表示領域の左端の列にはＦＭＣＡＲＥＰＩＮが表示され、先頭行には１から３２の番号が表示されている。ＦＭＣＡＲＥＰＩＮと番号１、２との交点には割り付けられている入出力ピン番号ＰＩ１とＰＩ２が表示されている。

ＦＭＤＵＴ表示領域の左端の列にはＦＭＰａｒｔ番号が１から８まで順番に表示され、先頭行にはＤＵＴが表示されていて、ＦＭＰａｒｔ番号とＤＵＴとの交点にはＦＭＰａｒｔ番号にそれぞれ割り当てられている１０２４個のＤＵＴを１２８個ずつの８グループに等分割した場合のＤＵＴの連続番号１〜１２８、１２９〜２５６、・・・、８９７〜１０２４が表示されている。

ユーザーは、これらＦＭＤＵＴモードとＦＭＰＡＲＴＩＴＩＯＮモードの表示を参照することにより、ＦＭとＤＵＴとの対応関係を的確に把握できる。

図１０は、図１の動作の流れを説明するフローチャートである。作業者は、マルチページエディタ４を操作し、そのソース編集画面４ａを見ながら同時に並行してテストを行う複数のＤＵＴの各ピンについて、電圧レベルやタイミングなどの測定条件を含む定義を書き込むためのソースファイルを編集する（ステップＳ１）。

作業者がソース編集画面４ａ上でソースファイルを編集すると、編集されたソースファイルが統合制御部８を介して構文解析部６に転送される。

構文解析部６は、編集されたソースファイルを構文解析して言語記述における関数や変数を抽出し、それらの解析結果を統合制御部８を介してＧＵＩ画面編集部５およびインデクサ７に転送する（ステップＳ２）。

ＧＵＩ画面編集部５は、構文解析部６の解析結果に基づき、たとえばＤＵＴ定義表示画面４ｃやＦＭ(フェイルメモリ)定義表示画面４ｄのタブで選択表示される各種のＧＵＩ画面を編集作成する（ステップＳ３）。これら編集作成されたＧＵＩ画面は、統合制御部８を介してソース編集画面４ａおよびインデクサ７に転送される。

インデクサ７は、取得した構文解析結果およびＧＵＩ画面に基づき、データ検索用一覧表を作成格納する（ステップＳ４）。この一覧表には、ソースプログラムの構成要素である関数データ、関数の名前、関数の記述場所などの各種情報が、検索可能な状態でリスト化されている。

マルチページエディタ４は、ＧＵＩ画面編集部５で編集作成された構文解析結果に基づくたとえばＤＵＴ定義表示画面４ｃのＤＵＴ表示タブに対応したＧＵＩ画面を表示する（ステップＳ５）。

作業者が、マルチページエディタ４に表示されているたとえばＤＵＴ定義表示画面４ｃのＤＵＴ表示タブに対応したＧＵＩ画面におけるマトリクス形式のいずれかの交点のＰＰＳ番号を選択すると、その電源ピンに設定されている値がインデクサ７の一覧表により読み出され、たとえばＤＵＴ表示タブに対応したＧＵＩ画面の一部にポップアップ表示される（ステップＳ６）。

作業者は、ポップアップ表示される設定値を見て、修正の要否を判断する（ステップＳ７）。そして修正が必要であればステップＳ１に戻って修正を行い、修正が不要であれば次の交点を選択する。

このような一連の操作を、必要に応じて最終ピンの定義を確認するまで繰り返して実行する（ステップＳ８）。

なお、インデクサ７は、その検索機能で対応した設定値を読み出すだけではなく、選択した設定値からピン名とデータ名を取得したり、ピン名から検索用のテストプログラム中の変数名を取得したり、データ名から検索用のテストプログラム中の関数名を取得したりすることもできる。

また、インデクサ７の検索結果が複数の場合には、検索結果を一覧表示させることにより作業者が選択しやすくできる。

そして、検索結果が複数の場合には作業者が検索結果の一覧表から任意のデータを選択することにより関連したソースファイルへジャンプさせることができ、検索結果が１つの場合には自動的に関連したソースファイルへジャンプさせることができる。

さらに、上記実施例では、ソースファイルを対象とする例について説明したが、その他のファイルを追加することにより、他のテスタパラメータを設定するファイルにも適用することができる。

以上説明したように、本発明によれば、テスタにテストプログラムをロードすることなく、エディタでソースファイルの編集結果を視覚的に確認することができ、テストプログラムの作成変更修正を効率よく行える。

４ マルチページエディタ
４ａ ソース編集画面
４ｂ ブロック定義表示画面
４ｃ ＤＵＴ定義表示画面
４ｄ ＦＭ(フェイルメモリ)定義表示画面
５ ＧＵＩ画面編集部
６ 構文解析部
７ インデクサ
８ 統合制御部

Claims (3)

1. 所望の画面を選択するためのタブが設けられた画面を表示する表示部を有し、テストプログラムを作成変更修正するエディタと、
   このエディタで作成変更修正されたテストプログラムを解析する構文解析部と、
   この構文解析部の解析結果に基づき各種のマトリクス表示のＧＵＩ画面を編集作成するＧＵＩ画面編集部と、
   前記構文解析部の解析結果および前記ＧＵＩ画面編集部で編集作成されたＧＵＩ画面に基づきデータ検索用一覧表を作成格納するインデクサとを具備し、
   前記インデクサのデータ検索用一覧表を介して、前記ＧＵＩ画面におけるマトリクス表示の各交点を前記テストプログラムの構成要素にリンクさせることを特徴とする半導体試験装置。
2. 前記エディタの表示部は、ソース編集画面、ブロック定義表示画面、ＤＵＴ定義表示画面、ＦＭ定義表示画面の少なくともいずれかを表示することを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
3. 前記ＧＵＩ画面編集部は、前記ブロック定義表示画面、ＤＵＴ定義表示画面、ＦＭ定義表示画面の少なくともいずれかを編集作成することを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。

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