JP2012174753A - アレイアンテナ式プラズマｃｖｄ装置のアンテナ搬送システムおよびアンテナ搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】メンテナンス作業による装置の稼働停止時間を短縮することにより、装置の稼働率を向上する。
【解決手段】真空チャンバ１には、高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、これらコネクタに接続可能な複数本の電極棒を有するアレイアンテナユニット３０と、が設けられている。この真空チャンバ１には、真空状態を維持したまま接続可能なアンテナ搬送チャンバ２００がゲートバルブ２０１を介して接続可能となっている。アレイアンテナユニット３０は、アンテナ搬送体７０Ａに保持されて真空チャンバ１からアンテナ搬送チャンバ２００に搬出され、また、新たなアレイアンテナユニット３０を保持したアンテナ搬送体７０Ｂが、アンテナ搬送チャンバ２００から真空チャンバ１内に搬入される。
【選択図】図２２

Description

本発明は、真空チャンバ内でプラズマを発生させて基板表面に薄膜を生成するアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に係り、特には、真空チャンバ内にアンテナを搬送するシステムおよび方法に関する。

従来、特許文献１〜３に示されるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置が知られている。これらのアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、内部を真空状態に減圧可能な真空チャンバを備えており、この真空チャンバの天井部に、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタが配設されている。また、真空チャンバ内には、複数本の電極棒を有するアレイアンテナユニットが設けられており、このアレイアンテナユニットの電極棒が、複数のコネクタそれぞれに接続されている。

そして、真空状態に減圧された真空チャンバ内に、基板を保持する基板搬送用の台車を搬送するとともに、当該基板をアレイアンテナユニットに対向させた状態で、真空チャンバ内に材料ガスを供給しつつ、電極棒に高周波電力を供給する。これにより、真空雰囲気中にプラズマが発生するとともに、プラズマによって分解された材料ガスの成分が基板の表面に付着し、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜が基板表面に生成されることとなる。

特開２００７−２６２５４１号公報 特開２００３−８６５８１号公報 特開２００３−１０９７９８号公報

上記のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においては、基板表面に薄膜を生成する成膜処理の過程で、電極棒の表面に皮膜が付着することから、アレイアンテナユニットを定期的にメンテナンスする必要がある。ところが、従来のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においては、各電極棒の着脱などのメンテナンス作業が、真空チャンバを大気開放した状態で行われている。

そのため、メンテナンス作業が終了して装置を稼働する際には、再度、真空チャンバ内を真空状態まで減圧しなければならず、その間、装置を稼働することができなかった。また、真空チャンバが大気開放されると、当該真空チャンバ内の温度が降下することとなるが、この温度降下に起因する熱応力の発生により、アレイアンテナユニットなどに付着した皮膜が粉塵となって飛散する。このようにして飛散した粉塵は、基板搬送用の台車や、当該台車を搬送する搬送経路などに積層してしまい、搬送される基板の表面に付着するおそれがある。

本発明は、メンテナンス作業による装置の稼働停止時間を短縮することにより、装置の稼働率を向上するとともに、真空チャンバ内での粉塵の発生を抑制することができるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムおよび方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムは、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、前記真空チャンバに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記アレイアンテナユニットを収容可能であって、前記真空チャンバに真空状態を維持して接続可能な搬送チャンバと、互いに真空状態を維持して接続された前記搬送チャンバおよび前記真空チャンバ間で、前記アレイアンテナユニットを往来可能とするアンテナ搬送手段と、前記アンテナ搬送手段によって前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするとともに、前記アレイアンテナユニットを掛け止めした状態で前記コネクタと前記電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、を備えたことを特徴とする。

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムは、前記アンテナ搬送手段が、前記真空チャンバおよび前記搬送チャンバのそれぞれに設けられたガイドレールと、前記ガイドレール上を転動する車輪、および、前記アレイアンテナユニットを着脱自在に保持するアンテナ保持部材を少なくとも有するアンテナ搬送用の台車と、を含むことを特徴とする。

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムは、前記アンテナ搬送手段が、前記真空チャンバおよび前記搬送チャンバのそれぞれに設けられたガイドレールと、前記ガイドレール上を転動可能であって前記アレイアンテナユニットに一体的あるいは着脱自在に設けられたガイドローラと、を含むことを特徴とする。

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムは、前記搬送チャンバが、前記アンテナ搬送手段によって前記アレイアンテナユニットが搬送されるアンテナ搬送チャンバと、成膜対象である基板が搬送される基板搬送チャンバと、をそれぞれ独立して備え、前記アンテナ搬送チャンバおよび前記基板搬送チャンバのそれぞれが前記真空チャンバに真空状態を維持して接続可能であることを特徴とする。

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システムは、前記搬送チャンバが、成膜対象である基板、および、前記アレイアンテナユニットの双方を搬送可能であることを特徴とする。

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送方法は、複数本の電極棒を有するアレイアンテナユニットが保持されたアンテナ搬送台車を搬送チャンバに収容する工程と、前記アンテナ搬送台車が収容された前記搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、前記アレイアンテナユニットを搬入する真空チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、前記搬送チャンバおよび前記真空チャンバそれぞれの内部の真空状態を維持したまま当該両チャンバを接続する工程と、真空状態を維持したまま接続された前記両チャンバ間で、前記搬送チャンバから前記真空チャンバに前記アンテナ搬送台車を搬入する工程と、前記真空チャンバ内に搬入されたアレイアンテナユニットの電極棒それぞれが、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタに一括して接続されるようにアレイアンテナユニットを前記真空チャンバ内に掛け止めする工程と、を含むことを特徴とする。

本発明によれば、メンテナンス作業による装置の稼働停止時間が短縮されて、装置の稼働率を向上することができる。しかも、メンテナンス時の真空チャンバ内での粉塵の発生を抑制し、粉塵による基板への影響を低減することができる。

真空チャンバの正面側を示す斜視図である。 真空チャンバの背面側を示す斜視図である。 真空チャンバの正面側の断面を模式的に示す図である。 真空チャンバ１の右側面図である。 アレイアンテナユニットの斜視図である。 図５の部分拡大図である。 （ａ）は図６のＶＩＩ（ａ）−ＶＩＩ（ａ）線断面図、（ｂ）は図６のＶＩＩ（ｂ）−ＶＩＩ（ｂ）線断面図である。 （ａ）は図６の上面図、（ｂ）は第１アンテナ側コネクタの斜視図である。 アレイアンテナユニットが掛け止められた状態の真空チャンバの正面側断面図である。 アレイアンテナユニットが掛け止められた状態の真空チャンバの右側面図である。 基板搬送体の斜視図である。 基板搬送体の上面図である。 基板搬送体の右側面図である。 基板搬送体が搬入された状態の真空チャンバの右側面図である。 （ａ）はアンテナ搬送体の斜視図、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線部分の拡大図である。 図１５（ｂ）の部分拡大図である。 アンテナ搬送体にアレイアンテナユニットが保持されたときの、調整部材とアレイアンテナユニットとの関係を説明する図である。 アレイアンテナユニットがアンテナ搬送体に保持された状態を示す斜視図である。 真空チャンバ内にアレイアンテナユニットを掛け止める過程を説明する図である。 アンテナ搬送体を搬出する過程を説明する概念図である。 真空チャンバ、基板搬送チャンバ、アンテナ搬送チャンバの接続関係を示す概念図である。 アンテナ搬送体の搬送過程を説明する図である。 プラズマＣＶＤ装置の変形例を説明する概念図である。 アンテナ搬送手段の変形例を示す図である。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。

（真空チャンバの構成）
まず、図１〜図４を用いて、本実施形態のアレイアンテナ式（誘導結合型）プラズマＣＶＤ装置の真空チャンバの構造について説明する。図１は、真空チャンバの正面側を示す斜視図、図２は、真空チャンバの背面側を示す斜視図である。

図１および図２に示すように、真空チャンバ１は、筐体２を備えて構成されている。この筐体２は、図中ｙ方向に対面配置された天井部２ａおよび底面部２ｂと、図中ｘ方向に対面配置された右側面部２ｃおよび左側面部２ｄと、図中ｚ方向に対面配置された正面部２ｅおよび背面部２ｆと、を備えている。以下では、天井部２ａ側を真空チャンバ１の上方または上面とし、右側面部２ｃ側を真空チャンバ１の右方または右側面とし、左側面部２ｄ側を真空チャンバ１の左方または左側面として説明する。

正面部２ｅおよび背面部２ｆには、それぞれフロント開口部３およびリヤ開口部４が形成されており、これらフロント開口部３およびリヤ開口部４を開閉するフロント開閉扉５およびリヤ開閉扉６がそれぞれ設けられている。また、右側面部２ｃには右開口部７が形成されており、左側面部２ｄには左開口部９が形成されている。詳しくは後述するが、この左開口部９は、ゲートバルブ１０１を介して基板搬送チャンバ１００に接続可能となっており、また、右開口部７は、ゲートバルブ２０１を介してアンテナ搬送チャンバ２００に接続可能となっている（図２１参照）。

また、天井部２ａには、３列のコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃが設けられている。これらコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、複数のコネクタが図中ｘ方向に沿って直列配置されたものであり、図中ｚ方向に所定の間隔を維持している。

図３は、真空チャンバ１の正面側の断面を模式的に示す図である。この図に示すように、コネクタ群１１ａは、高周波電力を供給する高周波電源１２の供給側（非接地側）に電気的に接続された第１天井側コネクタ１３と、高周波電源１２の接地側に電気的に接続された第２天井側コネクタ１４と、が所定の間隔を維持して交互に設けられている。これら第１天井側コネクタ１３および第２天井側コネクタ１４は、その接続部が鉛直方向下方（底面部２ｂ）に向けられており、後述するアレイアンテナユニットの電極棒が、鉛直方向下方から上方に向かって接続可能なように配置されている。

また、詳しくは後述するが、第２天井側コネクタ１４にはガス供給源１５が接続されており、このガス供給源１５から供給される材料ガスが、第２天井側コネクタ１４に接続されたアレイアンテナユニットの電極棒から真空チャンバ１内に噴出可能となっている。なお、ここではコネクタ群１１ａについて説明したが、コネクタ群１１ｂ、１１ｃも上記と同様の構成となっている。さらに、筐体２の天井部２ａには真空ポンプ１６が接続されており、内部空間１０を密閉した状態で真空ポンプ１６を駆動することにより、真空チャンバ１内が真空状態に減圧可能となっている。

また、筐体２の底面部２ｂには、右側面部２ｃから左側面部２ｄまで図中ｘ方向に沿って延在するガイドレール１７が設けられている。図４は、真空チャンバ１の右側面図であるが、この図に示すように、ガイドレール１７は、正面部２ｅ近傍と背面部２ｆ近傍とにそれぞれ設けられており、したがって、図中ｚ方向に間隔を維持して一対配置されることとなる。これら一対のガイドレール１７は、後述する基板やアレイアンテナユニットを真空チャンバ１内に搬入したり、あるいは真空チャンバ１内から搬出したりする際の案内として機能するものである。

（アレイアンテナユニットの構成）
次に、図５〜図８を用いてアレイアンテナユニットの構成について説明する。図５は、アレイアンテナユニット３０の斜視図であり、図６は、図５の部分拡大図である。これらの図に示すように、アレイアンテナユニット３０は、アンテナ支持部材３１を備えており、このアンテナ支持部材３１に複数本の誘導結合型電極５０が支持されている。

この誘導結合型電極５０は、第１電極棒５１と第２電極棒５２とが、接続金具５３によって電気的に接続されたアンテナ素子であり、アンテナ支持部材３１の長手方向に沿って複数本支持されている。具体的には、両電極棒５１、５２は、その長手方向に直交する方向に所定の間隔を維持して交互に直列配置された状態で、その上端部がアンテナ支持部材３１に支持されている。これにより、両電極棒５１、５２は、それらの長手方向を鉛直方向に沿わせた状態で、アンテナ支持部材３１に垂下支持されることとなる。

図７（ａ）は、図６のＶＩＩ（ａ）−ＶＩＩ（ａ）線断面図であり、図７（ｂ）は、図６のＶＩＩ（ｂ）−ＶＩＩ（ｂ）線断面図である。これらの図に示すように、アンテナ支持部材３１は、断面Ｕ字形の部材によって構成されており、その開口を鉛直方向下方に臨ませている。このアンテナ支持部材３１は、図７（ｂ）からも明らかなように、その幅方向中央にアンテナ支持孔３２が形成されている。このアンテナ支持孔３２は、図７（ａ）および図８（ａ）に示すとおり、アンテナ支持部材３１の長手方向に沿って形成される長孔形状をなしており、このアンテナ支持孔３２に、第１電極棒５１および第２電極棒５２が交互に垂下支持されている。

より詳細に説明すると、第１電極棒５１の上端部には、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた第１天井側コネクタ１３に接続可能な第１アンテナ側コネクタ５４が固定されている。また、第２電極棒５２の上端部には、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた第２天井側コネクタ１４に接続可能な第２アンテナ側コネクタ５５が固定されている。

図８（ａ）は、図６の上面図であり、図８（ｂ）は、第１アンテナ側コネクタ５４の斜視図である。ただし、図８（ａ）においては、後述するカバー部材３３を取り外した状態を示している。この図に示すとおり、第１アンテナ側コネクタ５４は、円筒状の本体５４ａを備えており、この本体５４ａの底面部５４ｂに、第１電極棒５１が貫通した状態で固定されている。また、本体５４ａの開口側には、当該本体５４ａよりも大径のフランジ部５４ｃが設けられている。このフランジ部５４ｃは、アンテナ支持部材３１に形成されたアンテナ支持孔３２の幅よりも大径となる寸法関係を維持している。また、本体５４ａには、円筒状の外周面の対向する一部を面取りした一対の平面部５４ｄ、５４ｄが形成されている。これら平面部５４ｄ、５４ｄは、その対向間隔がアンテナ支持孔３２の幅よりも僅かに小さくなる寸法関係を維持している。

したがって、アンテナ支持孔３２の上方から第１アンテナ側コネクタ５４を挿入すると、本体５４ａがアンテナ支持孔３２を挿通するとともに、フランジ部５４ｃがアンテナ支持部材３１の上面に接触して掛け止められ、これによって第１電極棒５１がアンテナ支持部材３１に垂下支持されることとなる。

また、このとき、平面部５４ｄ、５４ｄ間の幅は、アンテナ支持部材３１の幅方向に対する第１アンテナ側コネクタ５４の移動を、第１天井側コネクタ１３に接続可能な範囲内に制限する寸法関係を維持している。しかも、アンテナ支持部材３１に支持された第１アンテナ側コネクタ５４に回転応力が作用したとしても、平面部５４ｄ、５４ｄがアンテナ支持孔３２の内周縁に接触し、第１アンテナ側コネクタ５４の回転が制限される。このようにして、第１電極棒５１は、アンテナ支持部材３１の幅方向の位置決めがなされて直列配置されるとともに、全ての第１電極棒５１が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。

なお、ここでは第１アンテナ側コネクタ５４について説明したが、第２アンテナ側コネクタ５５の構成も上記第１アンテナ側コネクタ５４と同様である。つまり、第２アンテナ側コネクタ５５は、本体５５ａと、底面部５５ｂと、フランジ部５５ｃと、一対の平面部５５ｄ、５５ｄと、を備えており、底面部５５ｂに第２電極棒５２が貫通した状態で固定されている。

そして、本体５５ａの開口側には、当該本体５５ａよりも大径のフランジ部５５ｃが設けられている。このように、この第２アンテナ側コネクタ５５も、上記第１アンテナ側コネクタ５４と同様に、回転およびアンテナ支持部材３１の幅方向に対する移動が制限され、第２電極棒５２も直列配置されるとともに、全ての第２電極棒５２が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。

また、図７（ａ）に示すように、各第１電極棒５１は、その外周にセラミックスまたは樹脂などの誘電体からなる外筒５６を備えている。一方、各第２電極棒５２は円筒形状をなしており、その長手方向に延在するガス供給路５２ａが内部に形成されている。また、各第２電極棒５２は、ガス供給路５２ａに垂直に連通する噴出孔５２ｂを備えている。この第２電極棒５２は、上述したように、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められたときに、第２天井側コネクタ１４に接続されて、上記したガス供給源１５とガス供給路５２ａとが連通する関係をなしている。

したがって、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められた状態で、ガス供給源１５から材料ガスが供給されることにより、噴出孔５２ｂから真空チャンバ１の内部空間１０に向けて材料ガスが噴出することとなる。

なお、図５〜図８に示すように、アンテナ支持部材３１には、両アンテナ側コネクタ５４、５５を被覆する断面Ｕ字形のカバー部材３３が固定されている。このカバー部材３３には、両アンテナ側コネクタ５４、５５の本体５４ａ、５５ａに一致する円形の貫通孔３３ａが複数設けられている。これにより、各アンテナ側コネクタ５４、５５の本体５４ａ、５５ａの開口、すなわち、両電極棒５１、５２の上端は、カバー部材３３の貫通孔３３ａを介して上方に臨むこととなる。

また、アンテナ支持部材３１の幅方向両側面には防着パネル３４が設けられており、また、アンテナ支持部材３１の上面には、上方に垂直に起立し、先端にテーパが形成された位置決めピン３５が設けられている。この位置決めピン３５は、複数本の第１電極棒５１および第２電極棒５２のうち、もっとも外側に位置する電極棒よりもさらにアンテナ支持部材３１の長手方向外方に設けられている。さらに、アンテナ支持部材３１の長手方向両端部近傍には、掛止孔３６が貫通形成されている。この掛止孔３６は、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１に掛け止めるためのものである。

図９は、アレイアンテナユニット３０が掛け止められた状態の真空チャンバ１の正面側断面図である。この図に示すように、真空チャンバ１の天井部２ａには、右側面部２ｃおよび左側面部２ｄ近傍それぞれに、鉛直方向に貫通するとともに鉛直方向下方にテーパが形成された位置決め孔１８が設けられている。また、この位置決め孔１８よりも図中ｘ方向外方には、下方に垂下する掛止ピン１９が固定されている。上記の位置決め孔１８は、アレイアンテナユニットの位置決めピン３５に対応しており、上記の掛止ピン１９は、アレイアンテナユニット３０の掛止孔３６に対応している。

アレイアンテナユニット３０の取り付け方法の詳細については後述するが、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際には、位置決め孔１８に位置決めピン３５を挿通させるように、アレイアンテナユニット３０を天井部２ａの下方から上方に持ち上げる。すると、掛止ピン１９にアレイアンテナユニット３０の掛止孔３６が挿通するとともに、このとき、天井部２ａに設けられた第１天井側コネクタ１３および第２天井側コネクタ１４のそれぞれが、アレイアンテナユニット３０の第１アンテナ側コネクタ５４および第２アンテナ側コネクタ５５のそれぞれに嵌合する。この状態で、掛止ピン１９の下方からボルト等の固定手段を固定することにより、図示のように、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１の天井部２ａに掛け止められることとなる。

図１０は、アレイアンテナユニット３０が掛け止められた状態の真空チャンバ１の右側面図である。上記したとおり、天井部２ａには、コネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃが３列設けられており、これらコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃに、アレイアンテナユニット３０が接続可能となっている。したがって、全てのコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃにアレイアンテナユニット３０が接続されると、図示のように、３体のアレイアンテナユニット３０が、図中ｚ方向に所定の間隔を維持して位置することとなる。

そして、上記のようにアレイアンテナユニット３０が掛け止められた真空チャンバ１内には、基板を保持する基板搬送体が搬入される。この基板搬送体について、図１１〜図１３を用いて説明する。

（基板搬送体の構成）
図１１は基板搬送体６０の斜視図、図１２は基板搬送体６０の上面図、図１３は基板搬送体６０の右側面図である。これらの図に示すように、基板搬送体６０は、基台６１を備えており、この基台６１の幅方向（図中ｚ方向）両端に車輪６２が複数設けられている。この車輪６２は、基板搬送体６０が図中ｘ方向に一直線上に移動可能となるように設けられており、真空チャンバ１内において、上記したガイドレール１７上を転動することにより、基板搬送体６０の真空チャンバ１内での移動を可能としている。

また、基台６１には、当該基台６１から上方に起立する薄板状の基板保持部材６３が設けられている。この基板保持部材６３は、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜を付着させる対象となる基板Ｗを着脱自在に保持することが可能となっており、基板搬送体６０の搬送方向に直交する方向（図中ｚ方向）に所定の間隔を維持して６つ設けられている。

そして、基台６１の下面には、当該基台６１の幅方向中央位置に固定されたラック６４が設けられている。このラック６４は、基板搬送体６０の搬送方向に沿って設けられており、図２に示すように、真空チャンバ１の底部に設けられ、駆動モータ２０によって回転駆動する駆動ピニオン２１に噛み合うようになっている。また、こうした駆動モータ２０および駆動ピニオン２１は、真空チャンバ１に接続される基板搬送チャンバ１００にも同様に設けられている。したがって、駆動モータ２０を駆動して駆動ピニオン２１を回転駆動すると、駆動ピニオン２１の回転動力がラック６４の直線運動に変換され、これによって基板搬送体６０が、基板搬送チャンバ１００から真空チャンバ１内に搬入されることとなる。

図１４は、基板搬送体６０が搬入された状態の真空チャンバ１の右側面図である。この図に示すように、基板搬送体６０が真空チャンバ１内に搬入された状態では、１体のアレイアンテナユニット３０に対して、その幅方向（図中ｚ方向）両側に基板Ｗが所定の間隔を維持して対面する。以下に、成膜処理の手順について説明する。

（成膜処理）
まず、真空チャンバ１の内部空間１０を密閉するとともに、真空ポンプ１６を駆動して内部空間１０を真空状態に減圧する。この状態で、ゲートバルブ１０１を介して真空チャンバ１に接続され、内部が真空状態に維持された基板搬送チャンバ１００から真空チャンバ１内に基板搬送体６０を搬入する（図２１参照）。そして、ガス供給源１５から第２電極棒５２に材料ガスを供給して、噴出孔５２ｂから真空チャンバ１内に材料ガスを噴出させる。この状態で、高周波電源１２によって誘導結合型電極５０に高周波電力を供給すると、アレイアンテナユニット３０の周辺にプラズマが発生し、このプラズマによって分解された材料ガスの成分が基板Ｗの表面に付着する。このようにして、基板Ｗの表面に、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜が成膜されることとなる。

そして、上記のようにして成膜処理が終了したら、真空チャンバ１から基板搬送チャンバ１００に基板搬送体６０を搬出するとともに、新たな基板Ｗが保持された基板搬送体６０を真空チャンバ１内に搬入し、以後、上記の各工程が繰り返し行われることとなる。

ここで、成膜処理を行う過程では、アレイアンテナユニット３０に皮膜が付着するため、定期的にアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１から取り外してメンテナンスする必要がある。以下では、アレイアンテナユニット３０のメンテナンスに際して、当該アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１に搬入したり、あるいは真空チャンバ１から搬出したりするアンテナ搬送体の構成を説明し、その後、アレイアンテナユニット３０の着脱方法について説明する。

（アンテナ搬送体の構成）
図１５（ａ）は、アンテナ搬送体７０の斜視図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）の一点鎖線の部分拡大図である。この図に示すように、アンテナ搬送体７０は、上記した基板搬送体６０と同様に基台７１を備えており、この基台７１の幅方向（図中ｚ方向）両端に車輪７２が複数設けられている。この車輪７２は、アンテナ搬送体７０が図中ｘ方向に一直線上に移動可能となるように設けられており、真空チャンバ１内において、上記したガイドレール１７上を転動することにより、アンテナ搬送体７０の真空チャンバ１内での移動を可能としている。

また、基台７１には、アレイアンテナユニット３０を保持する３つのアンテナ保持部材７３が、アンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向に間隔を維持して設けられている。このアンテナ保持部材７３は、アンテナ搬送体７０の搬送方向両端において基台７１に固定されたスライド装置７４と、このスライド装置７４から上方に垂直に起立する一対の支柱７５ａ、７５ｂと、を備えている。これら一対の支柱７５ａ、７５ｂは、スライド装置７４によって、アンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に直交する水平方向（ｚ方向）にスライド可能に構成されている。

一対の支柱７５ａ、７５ｂそれぞれには、伸縮ロッド７６ａを鉛直方向に伸縮させるエアシリンダ７６が収容されている。そして、このエアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａ先端には、荷重受け部７７を介して薄板状の調整部材７８の両端部が載置されており、これによって、調整部材７８が一対の支柱７５ａ、７５ｂに懸架されることとなる。

図１６は、図１５（ｂ）の部分拡大図である。この図に示すように、伸縮ロッド７６ａの先端には、荷重受け部７７が設けられている。この荷重受け部７７は、伸縮ロッド７６ａの先端に固定され、上方に凹状の受け面７９ａを臨ませる受け部７９と、受け面７９ａ上に載置され、調整部材７８の下面に一体的に設けられた揺動部８０と、によって構成される。これら受け部７９および揺動部８０は、ステンレスなどの金属によって構成されているが、例えば樹脂など金属以外の材料で構成しても構わない。

揺動部８０は、半球状の球面部８０ａを、受け部７９の受け面７９ａに接触させているが、このとき、受け面７９ａの曲率が球面部８０ａの曲率よりも小さくなっている。したがって、球面部８０ａと受け面７９ａとの間には隙間が形成され、これによって揺動部８０が受け部７９に対して揺動可能となっている。換言すれば、上記の荷重受け部７７の構成により、調整部材７８が水平方向に移動したり傾いたりすることが可能となっている。ただし、揺動部８０が受け面７９ａ上で所定角度傾くと、調整部材７８が受け部７９の外周縁に接触し、それ以上の傾きが制限されるようになっている。つまり、調整部材７８は、受け部７９から脱落しない範囲内で傾斜が許容されるように設計されている。

図１７は、アンテナ搬送体７０にアレイアンテナユニット３０が保持されたときの、調整部材７８とアレイアンテナユニット３０との関係を説明する図である。調整部材７８は、アンテナ搬送体７０の搬送方向に沿って延在する延在部７８ａ、および、この延在部７８ａから水平方向に交差（本実施形態では直交）する方向に突出する複数の移動制限部７８ｂを備えてなる、平面が櫛状をなす薄板部材によって構成されている。この複数の移動制限部７８ｂは、延在部７８ａの長手方向すなわちアンテナ搬送体７０の搬送方向に所定の間隔を維持して設けられている。

そして、図示のように、アレイアンテナユニット３０をアンテナ搬送体７０に保持させると、アレイアンテナユニット３０のアンテナ支持部材３１の下面と、調整部材７８の上面とが、面接触状態で圧接する。これにより、アレイアンテナユニット３０の荷重が調整部材７８を介して荷重受け部７７に作用し、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０のアンテナ保持部材７３に保持されることとなる。

また、アレイアンテナユニット３０がアンテナ保持部材７３に保持された状態では、隣り合う移動制限部７８ｂの間隔に、第１アンテナ側コネクタ５４の本体５４ａ、および、第２アンテナ側コネクタ５５の本体５５ａが交互に臨んで位置するようになっている。このとき、移動制限部７８ｂの間隔は、第１アンテナ側コネクタ５４の本体５４ａ、および、第２アンテナ側コネクタ５５の本体５５ａの直径よりも僅かに大きく形成されている。これにより、移動制限部７８ｂは、隣り合う第１電極棒５１（第１アンテナ側コネクタ５４）と第２電極棒５２（第２アンテナ側コネクタ５５）との対向面に臨んで、アンテナ搬送体７０の搬送方向に対する両電極棒５１、５２の移動を制限することとなる。

なお、調整部材７８は、延在部７８ａが両電極棒５１、５２の一方の側にのみ設けられており、アンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に直交する水平方向（ｚ方向）への両電極棒５１、５２の移動を制限する機能は備えていない。つまり、調整部材７８は、少なくとも両電極棒５１、５２の移動をアンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に制限することとなる。

これに対して、すでに説明したとおり、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒５１、５２の移動は、アンテナ支持部材３１のアンテナ支持孔３２によって制限されている（図８参照）。このとき、アンテナ支持孔３２は、アンテナ支持部材３１の長手方向に連続する長孔形状に形成されているため、アレイアンテナユニット３０においては、両電極棒５１、５２の配列方向への移動が制限されていない。つまり、アンテナ支持部材３１は、両電極棒５１、５２の移動をアンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向にのみ制限している。

図１８は、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０に保持された状態を示す斜視図である。この図に示すように、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０に保持された状態では、搬送方向（図中ｘ方向）への両電極棒５１、５２の移動が、アンテナ搬送体７０（調整部材７８）によって制限され、搬送方向に直交する水平方向（図中ｚ方向）への両電極棒５１、５２の移動が、アレイアンテナユニット３０（アンテナ支持部材３１）によって制限されている。

アレイアンテナユニット３０は、高温の真空チャンバ１内に置かれるため、アンテナ支持部材３１が熱膨張する。そこで、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒５１、５２の移動を制限しながらも、アンテナ支持孔３２を長孔形状にすることによって、熱膨張時の逃げを確保し、部材間の干渉を防ぐようにしている。しかしながら、上記のように熱膨張時の逃げを確保すると、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際に、各電極棒５１、５２の位置がずれてしまい、これら各電極棒５１、５２を各天井側コネクタ１３、１４に接続する作業が煩雑になってしまう。

そこで、本実施形態においては、成膜処理中に外部に搬出されるアンテナ搬送体７０に調整部材７８を設けるとともに、この調整部材７８によって、搬送方向への両電極棒５１、５２の移動を制限することとしている。これにより、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際の位置決め精度を確保することが可能となり、掛け止め時の作業効率を向上することができる。つまり、上記の構成とすることで、成膜処理中における熱膨張時の逃げの確保と、アレイアンテナユニット３０の掛け止め時の位置決め精度と、からなる２つの相反する要求に応えることが可能となっている。以下では、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際の作用について説明する。

（アレイアンテナユニットの掛け止め過程）
図１９は、真空チャンバ１内にアレイアンテナユニット３０を掛け止める過程を説明する図である。図１９（ａ）は、図１８に示すように、洗浄を完了したアレイアンテナユニット３０を保持するアンテナ搬送体７０が、真空チャンバ１内に搬入され、不図示のストッパーに接触して所定位置に停止した状態を示している。なお、このストッパーは、アンテナ搬送体７０には接触するが、基板搬送体６０には接触しない位置に設けられている。

そして、この状態からエアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを上方に伸長させると、図１９（ｂ）に示すように、アレイアンテナユニット３０の位置決めピン３５が、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた位置決め孔１８に挿通する。これにより、アレイアンテナユニット３０は、真空チャンバ１に対して位置決めがなされた状態で上昇することとなる。また、アレイアンテナユニット３０が上昇する過程では、天井部２ａに設けられた掛止ピン１９が掛止孔３６に挿通するとともに、第１天井側コネクタ１３が第１アンテナ側コネクタ５４に嵌合し、第２天井側コネクタ１４が第２アンテナ側コネクタ５５に嵌合する。

このとき、アレイアンテナユニット３０は、荷重受け部７７、すなわち、受け面７９ａと揺動部８０とによる荷重受け構造により、アンテナ搬送体７０に揺動可能に保持されている（図１６参照）。そのため、仮に、アレイアンテナユニット３０が掛け止め位置からずれたとしても、当該アレイアンテナユニット３０を揺動させることにより、所定の掛け止め位置に調整することができる。これにより、位置決めピン３５や位置決め孔１８、あるいは各コネクタ１３、１４、５４、５５の寸法管理が厳密でなかったとしても、確実にアレイアンテナユニット３０を天井部２ａに掛け止めることができる。

そして、図１９（ｂ）に示す状態で、アレイアンテナユニット３０の掛止孔３６を挿通した掛止ピン１９に、その下方から不図示の固定装置によってボルト等の固定手段を固定することにより、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められることとなる。このようにして、アレイアンテナユニット３０が掛け止められたら、エアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを下方に収縮させる。すると、図１９（ｃ）に示すように、支柱７５ａ、７５ｂに懸架された調整部材７８が降下して、アンテナ搬送体７０からアレイアンテナユニット３０が離脱する。

ただし、この状態では、真空チャンバ１の天井部２ａから垂下する第１電極棒５１および第２電極棒５２と、支柱７５ａ、７５ｂと、がアンテナ搬送体７０の搬送方向において、同一直線上に位置したままとなっている。また、一対の支柱７５ａ、７５ｂに懸架される調整部材７８の移動制限部７８ｂが、第１電極棒５１および第２電極棒５２に臨んだままの状態となっている。したがって、このままの状態では、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１から搬出することができない。

そこで、図２０に示すように、スライド装置７４を駆動して、一対の支柱７５ａ、７５ｂを、アンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向にスライドさせ、一対の支柱７５ａ、７５ｂを第１電極棒５１および第２電極棒５２の配列直線上から退避させる。これにより、調整部材７８の移動制限部７８ｂも、隣り合う第１電極棒５１および第２電極棒５２の対向面から退避することとなる。そして、アンテナ搬送体７０を、再びガイドレール１７に沿って真空チャンバ１の外に搬出すれば、メンテナンス作業が終了となる。

なお、メンテナンスが必要となったアレイアンテナユニット３０を、真空チャンバ１内から搬出する際には、上記の各工程を逆の順序で行えばよい。すなわち、一対の支柱７５ａ、７５ｂが、第１電極棒５１および第２電極棒５２の配列直線上から退避した状態にある空のアンテナ搬送体７０を、真空チャンバ１内に搬入する。そして、スライド装置７４を駆動して、一対の支柱７５ａ、７５ｂを、第１電極棒５１および第２電極棒５２の配列直線上にスライドさせた後、エアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを上方に伸長させる。この状態で、ボルト等の固定手段を取り外して、アレイアンテナユニット３０の荷重を荷重受け部７７に作用させた後、伸縮ロッド７６ａを収縮させ、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１内から搬出すればよい。

（アンテナ搬送体の搬送過程）
図２１は、真空チャンバ１、基板搬送チャンバ１００、アンテナ搬送チャンバ２００の接続関係を示す概念図であり、図２２は、アンテナ搬送体７０の搬送過程を説明する図である。図２１に示すように、真空チャンバ１の左開口部９には、ゲートバルブ１０１を介して基板搬送チャンバ１００が接続され、真空チャンバ１の右開口部７には、ゲートバルブ２０１を介してアンテナ搬送チャンバ２００が接続されている。基板搬送チャンバ１００およびアンテナ搬送チャンバ２００は、いずれも真空ポンプによって真空状態に減圧可能となっており、通常、真空状態を維持した状態で真空チャンバ１に接続される。つまり、ゲートバルブ１０１は、真空チャンバ１と基板搬送チャンバ１００とを、真空状態を維持したまま連結するものであり、ゲートバルブ２０１は、真空チャンバ１とアンテナ搬送チャンバ２００とを、真空状態を維持したまま連結するものである。

また、基板搬送チャンバ１００には、例えば、ベルトコンベヤなど、基板搬送体６０をゲートバルブ１０１に対面する位置まで搬送する不図示の運搬装置が設けられている。同様に、アンテナ搬送チャンバ２００にも、アンテナ搬送体７０をゲートバルブ２０１に対面する位置まで搬送する運搬装置が設けられている。さらに、基板搬送チャンバ１００には、基板搬送体６０の車輪６２をガイドするガイドレール１０２が、真空チャンバ１に対面する位置に設けられており、アンテナ搬送チャンバ２００には、アンテナ搬送体７０の車輪７２をガイドするガイドレール２０２が設けられている。

ただし、これらガイドレール１０２、２０２は、鉛直方向に上昇または下降可能に構成されており、通常、基板搬送チャンバ１００内における基板搬送体６０の移動軌跡範囲や、アンテナ搬送チャンバ２００内におけるアンテナ搬送体７０の移動軌跡範囲よりも下方に退避して位置している。これにより、運搬装置によって基板搬送チャンバ１００内を移動する基板搬送体６０や、アンテナ搬送チャンバ２００内を移動するアンテナ搬送体７０は、通常、ガイドレール１０２、２０２の上方を移動することとなる。

なお、ガイドレール１０２が基板搬送体６０と一体的に基板搬送チャンバ１００内を移動するとともに、ガイドレール２０２がアンテナ搬送体７０と一体的にアンテナ搬送チャンバ２００内を移動するようにしても構わない。つまり、基板搬送体６０およびアンテナ搬送体７０が、それぞれガイドレール１０２、２０２上に載置された状態で、目的となる真空チャンバ１に対面する位置まで搬送さる構成であってもよい。

そして、例えば、基板搬送体６０を真空チャンバ１内に搬入する際には、真空チャンバ１のゲートバルブ１０１に対面する位置、換言すれば、車輪６２がガイドレール１０２の上方に対面する位置まで基板搬送体６０を搬送する。この状態で、ガイドレール１０２を上昇させて、当該ガイドレール１０２上に車輪６２を載置するとともに、このガイドレール１０２を、真空チャンバ１に設けられたガイドレール１７と同一直線上に位置させる。

上述したように、基板搬送チャンバ１００には、真空チャンバ１に設けられた駆動モータ２０および駆動ピニオン２１と同様に、ガイドレール１０２に載置された基板搬送体６０のラック６４に噛合する駆動ピニオンと、この駆動ピニオンを回転駆動する駆動モータと、が設けられている。したがって、この基板搬送チャンバ１００に設けられた駆動モータと、真空チャンバ１に設けられた駆動モータ２０とを駆動することにより、基板搬送体６０を、基板搬送チャンバ１００から真空チャンバ１内に搬入することが可能となる。

また、アンテナ搬送チャンバ２００には、アンテナ搬送体７０を当該アンテナ搬送チャンバ２００側から真空チャンバ１側に押し出したり、あるいは、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１側からアンテナ搬送チャンバ２００側に引き寄せたりする不図示の装置が設けられている。

そして、アレイアンテナユニット３０をメンテナンスする際には、まず、図２２（ａ）に示すように、空のアンテナ搬送体７０Ａをゲートバルブ２０１に対面する位置まで搬送する。次に、図２２（ｂ）に示すように、ゲートバルブ２０１を開いて、真空チャンバ１とアンテナ搬送チャンバ２００とを真空状態を維持したまま接続するとともに、アンテナ搬送体７０Ａを真空チャンバ１内に搬入する。このように、アンテナ搬送体７０Ａが真空チャンバ１内に搬入されたら、真空チャンバ１の天井部２ａに掛け止められているアレイアンテナユニット３０を取り外してアンテナ搬送体７０Ａに保持させる。

次に、図２２（ｃ）に示すように、アレイアンテナユニット３０を保持したアンテナ搬送体７０Ａを、真空チャンバ１内からアンテナ搬送チャンバ２００に搬出するとともに、新たなアレイアンテナユニット３０を保持したアンテナ搬送体７０Ｂを真空チャンバ１内に搬入する。そして、アンテナ搬送体７０Ｂに保持されたアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１の天井部２ａに掛け止めるとともに、図２２（ｄ）に示すように、空になったアンテナ搬送体７０Ｂをアンテナ搬送チャンバ２００に搬出した後、ゲートバルブ２０１を閉じてメンテナンスが終了となる。このようにしてメンテナンスが終了したら、ゲートバルブ１０１を開いて基板搬送チャンバ１００から基板搬送体６０を搬入して、成膜処理を再開することができる。

以上のように、本実施形態によれば、真空チャンバ１が、メンテナンスの際にも成膜処理中と同様に真空状態に維持される。したがって、従来のように、メンテナンスが終了して成膜処理を再開する際に、真空チャンバ１内が真空状態になるまで待機する必要がなく、メンテナンス終了後に即座に成膜処理を再開することが可能となる。これにより、メンテナンスによる装置稼働停止時間を短縮することができ、装置の稼働率を向上することができる。

しかも、本実施形態によれば、メンテナンスの際に真空チャンバ１が真空状態に維持されるので、真空チャンバ１内の温度が降下することがない。これにより、アレイアンテナユニット３０などに付着した皮膜が、温度降下に起因して真空チャンバ１内や基板搬送チャンバ１００内で粉塵となって飛散するのを抑制することができ、当該粉塵が搬送中の基板Ｗの表面などに付着するのを抑制することが可能となる。

また、アンテナ搬送体７０は、成膜処理中に真空チャンバ１内に留める必要がないことから、複数の真空チャンバ１が設けられたプラズマＣＶＤ装置であっても、１体のアンテナ搬送体７０によってメンテナンスを行うことも可能である。

また、本実施形態によれば、アンテナ搬送体７０が、基板搬送体６０を搬送するためのガイドレール１７にガイドされて真空チャンバ１内を移動する。換言すれば、基板搬送体６０とアンテナ搬送体７０とで、同一のガイドレール１７を共用しているので、アンテナ搬送体７０をガイドするための専用の部品を真空チャンバ１内に設ける必要がない。したがって、真空チャンバ１すなわちプラズマＣＶＤ装置全体が大型化することがなく、また、コストを抑制しながらも、アレイアンテナユニット３０の搬送作業を簡素化することができる。なお、基板搬送体６０とアンテナ搬送体７０とで、同一のガイドレール１７を共用することに加えて、基板搬送チャンバ１００およびアンテナ搬送チャンバ２００を共通のチャンバで構成することも可能である。

図２３は、プラズマＣＶＤ装置の変形例を説明する概念図である。以下では、変形例のプラズマＣＶＤ装置を説明するにあたって、上記実施形態と同様の構成については同一の符号を付するとともに、その詳細な説明は省略する。図２３に示すように、この変形例のプラズマＣＶＤ装置は、真空チャンバ１を複数備えており、これら複数の真空チャンバ１のそれぞれが、ゲートバルブ３０１を介して搬送チャンバ３００に接続されている。この搬送チャンバ３００も、真空チャンバ１と同様に、真空ポンプによって内部を真空状態に減圧可能に構成されている。

また、搬送チャンバ３００には、複数のメンテナンスチャンバ３０２（この変形例ではメンテナンスチャンバ３０２Ａ、３０２Ｂの２つ）が、それぞれゲートバルブ３０１を介して接続されている。このメンテナンスチャンバ３０２は、搬送チャンバ３００および真空チャンバ１と同様に、真空ポンプによって内部を真空状態に減圧可能に構成されている。また、メンテナンスチャンバ３０２には、ゲートバルブ３０３が設けられており、このゲートバルブ３０３によって、メンテナンスチャンバ３０２が大気圧にある外部と接続されたり、あるいはその接続が断たれたりされるようになっている。

そして、搬送チャンバ３００には、ベルトコンベヤなどの運搬装置が設けられており、この運搬装置によって、基板搬送体６０およびアンテナ搬送体７０の双方が搬送可能となっている。プラズマＣＶＤ装置の稼働中は、基板搬送体６０が搬送チャンバ３００内を移動して、真空チャンバ１に搬入されたり、あるいは真空チャンバ１から搬出されたりしている。これに対して、アレイアンテナユニット３０のメンテナンスが必要となった場合には、アンテナ搬送体７０が搬送チャンバ３００内を移動して、所望の真空チャンバ１まで搬送される。

例えば、真空チャンバ１Ａにおいて、アレイアンテナユニット３０のメンテナンスが必要になったとする。この場合には、図２３（ａ）に示すように、まず、大気圧となっているメンテナンスチャンバ３０２Ａに、ゲートバルブ３０３から空のアンテナ搬送体７０Ａを搬入する。また、大気圧となっているメンテナンスチャンバ３０２Ｂに、ゲートバルブ３０３から新たなアレイアンテナユニット３０が保持されたアンテナ搬送体７０Ｂを搬入する。そして、ゲートバルブ３０３を閉じて両メンテナンスチャンバ３０２Ａ、３０２Ｂを減圧して真空状態にする。

次に、図２３（ｂ）に示すように、真空チャンバ１Ａおよびメンテナンスチャンバ３０２Ａのゲートバルブ３０１を開くとともに、メンテナンスチャンバ３０２Ａから真空チャンバ１Ａにアンテナ搬送体７０Ａを搬入する。

そして、アンテナ搬送体７０Ａにアレイアンテナユニット３０を保持させたら、図２３（ｃ）に示すように、アンテナ搬送体７０Ａを真空チャンバ１Ａから搬出してメンテナンスチャンバ３０２Ａに移動させる。また、メンテナンスチャンバ３０２Ｂのゲートバルブ３０１を開くとともに、メンテナンスチャンバ３０２Ｂから真空チャンバ１Ａにアンテナ搬送体７０Ｂを搬入する。そして、アンテナ搬送体７０Ｂに保持されたアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１Ａに掛け止めたら、図２３（ｄ）に示すように、空になったアンテナ搬送体７０Ｂを真空チャンバ１Ａから搬出して、メンテナンスチャンバ３０２Ｂに移動させる。

このようにして、アンテナ搬送体７０Ａ、７０Ｂがそれぞれメンテナンスチャンバ３０２Ａ、３０２Ｂに戻ったら、ゲートバルブ３０１を閉じてメンテナンスチャンバ３０２Ａ、３０２Ｂと搬送チャンバ３００とを遮断する。そして、両メンテナンスチャンバ３０２Ａ、３０２Ｂを大気圧にした後に、ゲートバルブ３０３を開いて、両アンテナ搬送体７０Ａ、７０Ｂを両メンテナンスチャンバ３０２Ａ、３０２Ｂから搬出し、メンテナンス作業が終了となる。

上記の変形例によっても、メンテナンス終了後に即座に成膜処理を再開することができるので、上記実施形態と同様の作用効果を実現することができる。しかも、基板搬送体６０とアンテナ搬送体７０とが同一の搬送チャンバ３００によって搬送されるので、基板搬送体６０を搬送するためのチャンバと、アンテナ搬送体７０を搬送するためのチャンバとをそれぞれ独立して設ける場合に比べて、装置を小型化するとともに、部品点数を削減してコストを低減することができる。

なお、上記実施形態においては、基板搬送体６０およびアンテナ搬送体７０を搬送するための搬送手段として、真空チャンバ１内にガイドレール１７が設けられるとともに、基板搬送体６０に車輪６２が設けられ、アンテナ搬送体７０に車輪７２が設けられることとした。

しかしながら、これとは逆に、真空チャンバ内に複数のガイドローラを配列するとともに、基板搬送体およびアンテナ搬送体に、上記のガイドローラに摺接する板状の部材を設けるようにしても構わない。いずれにしても、真空チャンバと搬送チャンバとの間で搬送体を往来可能とする搬送手段が設けられていればよい。また、このとき、基板搬送体とアンテナ搬送体とが同一の搬送手段によって搬入、搬出される必要はなく、それぞれ別個の搬送手段によって搬入、搬出がなされるようにしてもよい。

例えば、図２４に示す変形例のように、真空チャンバ１の天井部２ａに、アンテナ搬送用のガイドレール２５を設けるとともに、このガイドレール２５上を転動するガイドローラ２６を、アレイアンテナユニット３０に一体的もしくは着脱自在に設けるようにしてもよい。この場合には、ガイドレール２５とガイドローラ２６とによってアンテナ搬送手段が構成されることとなる。なお、この変形例においても、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内の所定の位置まで搬入した後、当該アレイアンテナユニット３０を鉛直方向に上昇させて真空チャンバ１内に掛け止めることとなる（図中左側に位置するアレイアンテナユニット３０）。このとき、アレイアンテナユニット３０を昇降させたり掛け止めしたりする機構は、真空チャンバ１に設ければよい。

また、上記実施形態におけるアレイアンテナユニットやアンテナ保持部材の構成は一例に過ぎない。いずれにしても、アンテナ保持部材は、アレイアンテナユニットを着脱自在に保持するものであればよい。したがって、アンテナ保持部材においては、アレイアンテナユニットに支持される電極棒の移動を制限する調整部材や、アレイアンテナユニットを揺動自在に保持するための揺動機構は必須の構成ではない。

また、アレイアンテナユニットの構成や、当該アレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材の構成によっては、アンテナ保持部材をスライドさせるスライド装置も必須ではない。つまり、アンテナ保持部材を搬送方向に直交もしくは交差する方向にスライドさせる目的は、アンテナ搬送体を搬出する際に、アンテナ保持部材とアレイアンテナユニットとの干渉を防ぐことにある。したがって、アンテナ搬送体の搬出にあたって、アンテナ搬送体とアレイアンテナユニットとが干渉しなくなれば、アンテナ保持部材の全部をスライドさせずに、例えば調整部材のみをスライドさせるなど、アンテナ保持部材の一部のみをスライドさせるようにしても構わない。なお、アンテナ保持部材を搬送方向に直交もしくは交差する方向にスライド可能とする場合に、そのスライドを上記実施形態のようにスライド装置によって自動で行うこととしてもよいし、手動によって行うこととしてもよい。このように、アンテナ保持部材の構成は、アレイアンテナユニットの構成に応じて適宜設計すればよい。

また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体にエアシリンダを設け、アレイアンテナユニットを鉛直方向に昇降可能な構成としたが、こうしたアレイアンテナユニットを変位させる変位手段は必須の構成ではない。また、上記実施形態においては、変位手段がアレイアンテナユニットを鉛直方向に昇降させる構成としたが、変位手段によるアレイアンテナユニットの変位方向はこれに限らない。つまり、変位手段によってアレイアンテナユニットを変位させる目的は、真空チャンバに設けられたコネクタに、アレイアンテナユニットの電極棒（アンテナ側コネクタ）を一括して接続することにある。したがって、例えば、真空チャンバに設けられたコネクタが、電極棒を水平方向に変位させて接続されるように配置された場合には、変位手段はアレイアンテナユニットを同一の水平方向に変位させることとなる。

また、上記実施形態においては、エアシリンダによってアレイアンテナユニットが鉛直方向に上昇または下降する構成としたが、アレイアンテナユニットの変位は手動で行われるようにしても構わない。さらに、アレイアンテナユニットを自動で変位させる変位手段を設ける場合には、エアシリンダに限らず、油圧シリンダや電動シリンダなど、種々のアクチュエータによって変位手段を構成することが可能である。ただし、エアシリンダは、他の装置に比べてクッション性が高いので、上述の揺動機構と相まって、アレイアンテナユニットを掛け止める際の移動自由度が増し、取り付け容易性を向上することができる。なお、アレイアンテナユニットを昇降させる変位手段は、アンテナ搬送体に設けずに真空チャンバに設けるようにしても構わない。

また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体に３体のアレイアンテナユニットが同時に保持可能な構成としたが、アンテナ搬送体に同時に保持可能なアレイアンテナユニットの数は限定されない。また、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持する構成とした場合には、アレイアンテナユニットと同数のアンテナ保持部材を設けることとしてもよいし、１つのアンテナ保持部材に複数のアレイアンテナユニットを保持可能な構成としてもよい。

なお、上記実施形態のように、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持可能な構成とし、かつ、これらアレイアンテナユニットを変位させる変位手段を設ける場合には、各アレイアンテナユニットを個別に変位可能とすることが望ましい。各アレイアンテナユニットを真空チャンバに掛け止める際には、コネクタの接続状態などを目視確認する必要がある。このとき、複数のアレイアンテナユニットが同時に変位することとなると、作業者から見て相対的に奥側に位置するアレイアンテナユニットの取り付け状況の確認が困難となる。したがって、変位手段によって複数のアレイアンテナユニットを変位させる場合には、変位手段が個別に作動する構成にするとよい。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

本発明は、真空チャンバ内でプラズマを発生させて基板表面に薄膜を生成するアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に係り、特には、真空チャンバ内にアンテナを搬送するアンテナ搬送システムおよび方法に利用することができる。

１ 真空チャンバ
１０ 内部空間
１２ 高周波電源
１３ 第１天井側コネクタ
１４ 第２天井側コネクタ
１５ ガス供給源
１７、２５、１０２、２０２ ガイドレール
１９ 掛止ピン
２６ ガイドローラ
３０ アレイアンテナユニット
３６ 掛止孔
５０ 誘導結合型電極
５１ 第１電極棒
５２ 第２電極棒
６２ 車輪
７０ アンテナ搬送体
７２ 車輪
７３ アンテナ保持部材
１００ 基板搬送チャンバ
２００ アンテナ搬送チャンバ
３００ 搬送チャンバ
Ｗ 基板

Claims (6)

1. 真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、
   前記真空チャンバに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、
   前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
   前記アレイアンテナユニットを収容可能であって、前記真空チャンバに真空状態を維持して接続可能な搬送チャンバと、
   互いに真空状態を維持して接続された前記搬送チャンバおよび前記真空チャンバ間で、前記アレイアンテナユニットを往来可能とするアンテナ搬送手段と、
   前記アンテナ搬送手段によって前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするとともに、前記アレイアンテナユニットを掛け止めした状態で前記コネクタと前記電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、を備えたことを特徴とするアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム。
2. 前記アンテナ搬送手段は、
   前記真空チャンバに設けられたガイドレールと、
   前記ガイドレール上を転動する車輪、および、前記アレイアンテナユニットを着脱自在に保持するアンテナ保持部材を少なくとも有するアンテナ搬送用の台車と、を含むことを特徴とする請求項１記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム。
3. 前記アンテナ搬送手段は、
   前記真空チャンバに設けられたガイドレールと、
   前記ガイドレール上を転動可能であって前記アレイアンテナユニットに一体的あるいは着脱自在に設けられたガイドローラと、を含むことを特徴とする請求項１記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム。
4. 前記搬送チャンバは、
   前記アンテナ搬送手段によって前記アレイアンテナユニットが搬送されるアンテナ搬送チャンバと、
   成膜対象である基板が搬送される基板搬送チャンバと、をそれぞれ独立して備え、
   前記アンテナ搬送チャンバおよび前記基板搬送チャンバのそれぞれが前記真空チャンバに真空状態を維持して接続可能であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム。
5. 前記搬送チャンバは、
   成膜対象である基板、および、前記アレイアンテナユニットの双方を搬送可能であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送システム。
6. 複数本の電極棒を有するアレイアンテナユニットが保持されたアンテナ搬送台車を搬送チャンバに収容する工程と、
   前記アンテナ搬送台車が収容された前記搬送チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、
   前記アレイアンテナユニットを搬入する真空チャンバの内部を真空状態に減圧する工程と、
   前記搬送チャンバおよび前記真空チャンバそれぞれの内部の真空状態を維持したまま当該両チャンバを接続する工程と、
   真空状態を維持したまま接続された前記両チャンバ間で、前記搬送チャンバから前記真空チャンバに前記アンテナ搬送用の台車を搬入する工程と、
   前記真空チャンバ内に搬入されたアレイアンテナユニットの電極棒それぞれが、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタに一括して接続されるようにアレイアンテナユニットを前記真空チャンバ内に掛け止めする工程と、を含むアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアンテナ搬送方法。

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