JP2012173201A - 故障診断方法、故障診断装置、テストシステム及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】故障診断装置12は、半導体装置20の故障仮定箇所に縮退故障を設定し、シミュレーションを実施する。故障診断装置12は、シミュレーションにより得た圧縮器26の出力信号と、テスト装置11により観測した圧縮器26の出力信号とを比較し、その比較結果に応じて圧縮器27の入力信号を設定してシミュレーションを実施する。そして、故障診断装置12は、シミュレーションにより得た圧縮器27の出力信号と、テスト装置11により観測した圧縮器27の出力信号に基づいて、故障仮定箇所のスコアを算出する。
【選択図】図1
Description
図1(a)に示すように、テストシステム10は、テスト対象の半導体装置20をテストするテスト装置11と、テスト装置11のテスト結果に基づいて半導体装置20の故障箇所を推定する故障診断装置12とを備えている。
図1(b)に示すように、半導体装置20は、ロジック回路21と、ロジック回路21をテストするための自己テスト回路(BIST(Built-in Self Test)回路)22を備えている。
展開器23は、テスト装置11からテスト信号TSが供給される。テスト信号TSは圧縮されたデータであり、展開器23は、テスト信号TSを展開し、各スキャンチェーン24,25に供給する。
故障診断装置12は、半導体装置20の故障仮定箇所に縮退故障を設定し、シミュレーションを実施する。故障診断装置12は、シミュレーションにより得た圧縮器26の出力信号と、テスト装置11により観測した圧縮器26の出力信号とを比較し、その比較結果に応じて圧縮器27の入力信号を設定してシミュレーションを実施する。そして、故障診断装置12は、シミュレーションにより得た圧縮器27の出力信号と、テスト装置11により観測した圧縮器27の出力信号に基づいて、故障仮定箇所のスコアを算出する。
図2に示すように、圧縮器26aは、例えば5入力の排他的論理和回路(EOR回路)であり、5つのスキャンチェーンの出力信号を圧縮する。同様に、圧縮器27aは、5つのスキャンチェーンから出力される信号を圧縮する。この圧縮器27aは、入力信号の数に対応する5つの排他的論理和回路(EOR回路)31a〜31e及びスキャンフリップフロップ(SFF)32a〜32eを備えている。各EOR回路31a〜31eの出力端子はSFF32a〜32eのデータ入力端子Dに接続されている。各SFF32a〜32dの出力端子Qは、次段のSFF32b〜32eのスキャンイン端子SIと、各段に対応するEOR回路31b〜31eの入力端子に接続されている。最終段のSFF32eの出力端子Qは、初段のEOR回路31aの入力端子に接続されている。初段のSFF32aのスキャンイン端子SIには、初期化のためのデータが入力される。尚、回路の初期化は、各SFFのリセット端子に供給する信号により行われても良い。そして、各SFF32a〜32eのクロック端子にはクロック信号CLKが供給される。
故障診断装置12は、図4及び図5に示すフローチャートに従って、故障診断処理を実行する。
次いで、故障診断装置12は、故障仮定箇所を1つ選択する(ステップ52)。故障診断装置12は、半導体装置20で故障する可能性のある複数の箇所のうちの1つを選択する。半導体装置20で故障する可能性のある箇所は、例えば、テスト装置11のテスト結果に基づいて、回路情報15(例えばネットリスト)をバックトレースすることで、仮定する故障箇所の候補が複数設定され、例えばフェイル情報14に格納されている。なお、バンクトレースは、故障診断装置が行うようにしてもよい。また、バックトレースを行わずに故障する可能性のある箇所を設定するようにしてもよい。
次いで、故障診断装置12は、読み込んだパターンで、テスト対象のロジック回路21とスキャンチェーン24,25の各SFF24a〜24c,25a〜25cを論理シミュレーションする(ステップ55)。そして、故障診断装置12は、この論理シミュレーション結果の値を、第1のシミュレーション結果として記憶する。
次に、故障診断装置12は、圧縮器27のシミュレーション結果と、テスト装置11による圧縮器27の観測結果とに基づいて、仮定した縮退故障に対するスコアKCを算出する(ステップ64)。時間圧縮タイプの圧縮器27に対するシミュレーション結果と一致したテスト装置11の観測結果の数をKm、圧縮器27に含まれるSFFの総数をKnとし、スコアKCを、
KC=Km÷Kn×100
により算出する。シミュレーション結果と観測結果とが全て一致する場合、一致数Kmは、圧縮器27に含まれるSFFの総数Knと等しく、スコアKCの値は「100」となる。従って、スコアKCの値が「100」に近いほど、仮定した縮退故障が真である可能性が高い。
[ドライブ故障の説明]
先ず、ドライブ故障について説明する。
したがって、テスト装置11において観測されたフェイルが、故障仮定箇所を0縮退故障と仮定したシミュレーション結果と、故障仮定箇所を1縮退故障と仮定したシミュレーション結果の何れかで説明できる場合、この故障仮定箇所が図8(b)に示すドライブ故障モデルであると推定することができる。なお、図8(a)は、正常なドライブモデルを示す。つまり、セル81の出力端子はセル82の入力端子に接続され、セル83の出力端子は、セル84の入力端子に接続されている。これに対し、ドライブ故障モデルは、セル81の出力端子は未接続であり、セル82の入力端子はセル83の出力端子に接続されている。このようなドライブ故障モデルを故障仮定箇所に設定し、故障シミュレーションを実行する。
本実施形態の故障診断装置12は、空間圧縮回路の故障シミュレーション結果と、空間圧縮回路のテスタ観測結果とに基づいて、圧縮前のテスト応答、つまりスキャンチェーン24,25の各SFF24a〜24c,25a〜25cに保持された信号レベルを推測する。故障診断装置12は、推測した信号レベルにより時間圧縮回路の状態をシミュレーションする。そして、故障診断装置12は、時間圧縮回路のシミュレーション結果に基づいて、故障箇所を推定する。
(1)半導体装置20のスキャンチェーン24,25はロジック回路21にテストパターンを供給し、ロジック回路21の各点における信号レベルを保持する。第1の圧縮器26は、スキャンチェーン24,25の出力信号を、スキャンチェーン24,25の幅方向に圧縮する。第2の圧縮器27は、スキャンチェーン24,25の出力信号を、スキャンチェーン24,25の長さ方向に圧縮する。
故障診断装置12は、半導体装置20の故障仮定箇所に縮退故障を設定し、シミュレーションを実施する。故障診断装置12は、シミュレーションにより得た圧縮器26の出力信号と、テスト装置11により観測した圧縮器26の出力信号とを比較し、その比較結果に応じて圧縮器27の入力信号を設定してシミュレーションを実施する。そして、故障診断装置12は、シミュレーションにより得た圧縮器27の出力信号と、テスト装置11により観測した圧縮器27の出力信号に基づいて、故障仮定箇所のスコアを算出する。
・空間系の圧縮器26として例えば排他的論理和回路(EOR回路)を用いたが、その他の圧縮器を用いても良い。
・上記実施の形態では、実際の半導体装置20のテストをテスト装置11にて行い、半導体装置20の回路情報15に基づく故障箇所の推定を故障診断装置12にて行うようにしたが、これらを1つの装置にて行うようにしてもよい。
12 故障診断装置
20 半導体装置
21 ロジック回路
22 自己テスト回路
24,25 スキャンチェーン
26 第1の圧縮器
27 第2の圧縮器
Claims (6)
- 半導体装置の故障箇所を推定する故障診断装置が実行する故障診断方法であって、
前記半導体装置は、テスト対象の回路にテストパターンを供給し前記テスト対象の回路の各点の信号レベルを保持する複数のスキャンチェーンと、前記複数のスキャンチェーンの出力信号を前記スキャンチェーンの幅方向に圧縮する第1の圧縮器と、前記複数のスキャンチェーンの出力信号を前記スキャンチェーンの長さ方向に圧縮する第2の圧縮器とを含み、
記憶装置には、前記第1の圧縮器及び前記第2の圧縮器の出力信号をテスト装置にて観測した第1の観測結果及び第2の観測結果がそれぞれ記憶され、
前記故障診断装置は、
故障仮定箇所に縮退故障を設定して前記第1の圧縮器をシミュレーションし、
前記第1の圧縮器のシミュレーション結果と前記第1の観測結果とを比較した結果に基づいて前記第2の圧縮器の入力信号を設定して前記第2の圧縮器をシミュレーションし、
前記第2の圧縮器のシミュレーション結果と、前記第2の観測結果とに基づいて、前記故障仮定箇所のスコアを算出する、
ことを特徴とする故障診断方法。 - 前記故障診断装置は、
テストパターンにより前記テスト対象の回路と前記複数のスキャンチェーンを論理シミュレーションし、
前記論理シミュレーションによる故障仮定箇所の信号値に応じて前記故障仮定箇所に縮退故障を設定して前記テスト対象の回路と前記複数のスキャンチェーンを故障シミュレーションし、
前記第1の圧縮器のシミュレーション結果と前記第1の観測結果とを比較した結果に基づいて、前記シミュレーション結果と前記第1の観測結果とが一致する場合に前記故障シミュレーションの結果を前記第2の圧縮器の入力値に設定し、前記シミュレーション結果と前記第1の観測結果とが一致しない場合に前記論理シミュレーションの結果を前記第2の圧縮器の入力値に設定する、
ことを特徴とする請求項1記載の故障診断方法。 - 前記故障診断装置は、
前記故障シミュレーションの結果に基づいて前記スキャンチェーンまで故障が伝搬したか否かを判定し、
前記故障が前記スキャンチェーンまで伝搬しない場合、前記論理シミュレーションの結果を前記第2の圧縮器の入力値に設定し、
前記故障が前記スキャンチェーンまで伝搬した場合、前記故障シミュレーションの結果を前記第1の圧縮器の入力値に設定して前記第1の圧縮器をシミュレーションする、
ことを特徴とする請求項2記載の故障診断方法。 - 半導体装置の故障箇所を推定する故障診断装置であって、
前記半導体装置は、テスト対象の回路にテストパターンを供給し前記テスト対象の回路の各点の信号レベルを保持する複数のスキャンチェーンと、前記複数のスキャンチェーンの出力信号を前記スキャンチェーンの幅方向に圧縮する第1の圧縮器と、前記複数のスキャンチェーンの出力信号を前記スキャンチェーンの長さ方向に圧縮する第2の圧縮器とを含み、
記憶装置には、前記第1の圧縮器及び前記第2の圧縮器の出力信号をテスト装置にて観測した第1の観測結果及び第2の観測結果がそれぞれ記憶され、
故障仮定箇所に縮退故障を設定して前記第1の圧縮器をシミュレーションし、前記第1の圧縮器のシミュレーション結果と前記第1の観測結果とを比較した結果に基づいて前記第2の圧縮器の入力信号を設定して前記第2の圧縮器をシミュレーションし、前記第2の圧縮器のシミュレーション結果と、前記第2の観測結果とに基づいて、前記故障仮定箇所のスコアを算出する、
ことを特徴とする故障診断装置。 - 半導体装置をテストするテストシステムであって、
前記半導体装置は、テスト対象の回路にテストパターンを供給し前記テスト対象の回路の各点の信号レベルを保持する複数のスキャンチェーンと、前記複数のスキャンチェーンの出力信号を前記スキャンチェーンの幅方向に圧縮する第1の圧縮器と、前記複数のスキャンチェーンの出力信号を前記スキャンチェーンの長さ方向に圧縮する第2の圧縮器とを含み、
テストパターンを前記複数のスキャンチェーンを介して前記テスト対象の回路にシフトインさせ、前記テスト対象の回路の各点の信号レベルを前記複数のスキャンチェーンにキャプチャさせ、前記複数のスキャンチェーンから前記第1の圧縮器と前記第2の圧縮器へシフトアウトさせ、前記第1の圧縮器及び前記第2の圧縮器の出力信号を観測した第1の観測結果及び第2の観測結果をそれぞれ記憶装置に記憶するテスト装置と、
前記半導体装置の回路情報と前記テストパターンに基づいて、故障仮定箇所に縮退故障を設定して前記第1の圧縮器をシミュレーションし、前記第1の圧縮器のシミュレーション結果と前記第1の観測結果とを比較した結果に基づいて前記第2の圧縮器の入力信号を設定して前記第2の圧縮器をシミュレーションし、前記第2の圧縮器のシミュレーション結果と、前記第2の観測結果とに基づいて、前記故障仮定箇所のスコアを算出する故障診断装置と、
を含むテストシステム。 - 半導体装置の故障箇所を推定する故障診断装置が実行するプログラムであって、
前記半導体装置は、テスト対象の回路にテストパターンを供給し前記テスト対象の回路の各点の信号レベルを保持する複数のスキャンチェーンと、前記複数のスキャンチェーンの出力信号を前記スキャンチェーンの幅方向に圧縮する第1の圧縮器と、前記複数のスキャンチェーンの出力信号を前記スキャンチェーンの長さ方向に圧縮する第2の圧縮器とを含み、
記憶装置には、前記第1の圧縮器及び前記第2の圧縮器の出力信号をテスト装置にて観測した第1の観測結果及び第2の観測結果がそれぞれ記憶され、
前記故障診断装置が実行するプログラムは、
故障仮定箇所に縮退故障を設定して前記第1の圧縮器をシミュレーションするステップと、
前記第1の圧縮器のシミュレーション結果と前記第1の観測結果とを比較した結果に基づいて前記第2の圧縮器の入力信号を設定して前記第2の圧縮器をシミュレーションするステップ、
前記第2の圧縮器のシミュレーション結果と、前記第2の観測結果とに基づいて、前記故障仮定箇所のスコアを算出するステップと、
を含む、プログラム。
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