JP2012169061A - Method for manufacturing conductive pattern-formed substrate - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、タッチパネルの電極シート等に用いられる導電パターン形成基板を製造する方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a conductive pattern forming substrate used for an electrode sheet or the like of a touch panel.
タッチパネルにおいては、液晶ディスプレイ等の画像表示装置の前面に、指等が接触した際の位置を検出する透明な電極シートが備えられている。電極シートとしては、透明な絶縁基板の表面に透明導電層の導電パターンを形成した導電パターン形成基板が用いられている。通常、導電パターンは、透明導電層に絶縁パターンを設けることによって形成されている。
導電パターンの形成方法としては、例えば、特許文献１に、透明導電層にパルス状レーザを照射して導電パターンおよび位置合わせ基準マークを形成する方法であって、位置合わせ基準マークのみを視認可能にするために、パルスエネルギや照射スポットのピッチを、導電パターンの形成と位置合わせ基準マークの形成とで異なるようにする方法が開示されている。また、特許文献１には、透明導電層の表面に形成された銀ペーストからなる配線パターンの周囲に絶縁用のスリットを形成する場合にも適用できることが記載されている。
特許文献２，３には、バインダ樹脂中に金属ナノワイヤを分散させ硬化してなる透明導電膜にレーザ光を照射し、レーザ光照射部分を絶縁部とすることで導電パターンを形成する方法が開示されている。
In a touch panel, a transparent electrode sheet for detecting a position when a finger or the like is touched is provided on the front surface of an image display device such as a liquid crystal display. As the electrode sheet, a conductive pattern forming substrate in which a conductive pattern of a transparent conductive layer is formed on the surface of a transparent insulating substrate is used. Usually, the conductive pattern is formed by providing an insulating pattern on the transparent conductive layer.
As a method for forming a conductive pattern, for example, Patent Document 1 discloses a method in which a transparent conductive layer is irradiated with a pulsed laser to form a conductive pattern and an alignment reference mark, and only the alignment reference mark is visible. Therefore, a method is disclosed in which the pulse energy and the pitch of the irradiation spot are made different between the formation of the conductive pattern and the formation of the alignment reference mark. Patent Document 1 describes that the present invention can also be applied to the case where an insulating slit is formed around a wiring pattern made of a silver paste formed on the surface of a transparent conductive layer.
Patent Documents 2 and 3 disclose a method of forming a conductive pattern by irradiating a transparent conductive film obtained by dispersing and curing metal nanowires in a binder resin with laser light and using the laser light irradiated portion as an insulating portion. Has been.
しかしながら、特許文献１に記載の方法のように、導電パターンの形成と位置合わせ基準マークの形成とで異なるようにするためには、レーザ加工装置の加工制御データを変更しなければならず、照射条件の管理が煩雑になった。しかも、特許文献１に記載の方法により形成された絶縁部は、透明導電膜に設けられたスリットであるため、絶縁パターンを充分に視認不能にすることができず、タッチパネル用として不適であった。
特許文献２，３に記載の方法では、バインダ樹脂中の金属ナノワイヤをレーザで除去するため、バインダ樹脂が変形してしまい、絶縁パターンが視認可能になっていた。
その一方で、位置合わせ基準マークとなる絶縁パターンを目視又は画像認識装置により識別できないと、印刷によりコネクタを設ける際に又はタッチパネル等を組み立てる際に導電パターン形成基板の位置決めが困難になる。
本発明は、目視や画像認識装置により容易に識別できる位置合わせ基準マークとなる絶縁パターンを簡便に形成できる導電パターン形成基板の製造方法を提供することを目的とする。
However, as in the method described in Patent Document 1, in order to make the difference between the formation of the conductive pattern and the formation of the alignment reference mark, the processing control data of the laser processing apparatus must be changed, and the irradiation is performed. Condition management became complicated. Moreover, since the insulating part formed by the method described in Patent Document 1 is a slit provided in the transparent conductive film, the insulating pattern cannot be made sufficiently invisible, and is not suitable for a touch panel. .
In the methods described in Patent Documents 2 and 3, since the metal nanowires in the binder resin are removed with a laser, the binder resin is deformed, and the insulating pattern is visible.
On the other hand, if the insulating pattern serving as the alignment reference mark cannot be identified visually or by an image recognition device, it is difficult to position the conductive pattern forming substrate when a connector is provided by printing or when a touch panel or the like is assembled.
An object of this invention is to provide the manufacturing method of the conductive pattern formation board | substrate which can form easily the insulation pattern used as the alignment reference mark which can be easily identified visually or with an image recognition apparatus.
本発明は、以下の態様を有する。
［１］絶縁基板上に設けられた透明導電層にパルス状レーザ光を所定パターンで照射することにより絶縁部を形成して、少なくとも導電パターンを形成する導電パターン形成工程と、前記絶縁部の一部にパルス状レーザ光を再照射する再照射工程とを有することを特徴とする導電パターン形成基板の製造方法。
［２］前記透明導電層が、透明絶縁材料と該透明絶縁材料内に２次元ネットワーク状に配置された導電性繊維とを含む層であることを特徴とする［１］に記載の導電パターン形成基板の製造方法。
［３］導電性繊維が金属ナノワイヤであることを特徴とする［２］に記載の導電パターン形成基板の製造方法。
［４］導電パターン形成工程では、パルス状レーザの照射により透明絶縁材料内の導電性繊維を除去することにより、導電性繊維が存在していた部分に空隙を形成して、前記絶縁部を形成することを特徴とする［３］に記載の導電パターン形成基板の製造方法。
［５］導電パターン形成工程で形成する絶縁部の一部を位置決めマーク用にすることを特徴とする［１］〜［４］のいずれか１項に記載の導電パターン形成基板の製造方法。
［６］導電パターン形成工程では、前記導電パターンを囲う外形線用絶縁部を形成し、再照射工程では、前記外形線用絶縁部の少なくとも一部にパルス状レーザ光を再照射することを特徴とする［１］〜［４］のいずれか１項に記載の導電パターン形成基板の製造方法。
The present invention has the following aspects.
[1] A conductive pattern forming step of forming an insulating portion by irradiating a transparent conductive layer provided on an insulating substrate with a pulsed laser beam in a predetermined pattern to form at least a conductive pattern; And a re-irradiation step of re-irradiating the part with pulsed laser light.
[2] The conductive pattern formation according to [1], wherein the transparent conductive layer is a layer including a transparent insulating material and conductive fibers arranged in a two-dimensional network in the transparent insulating material. A method for manufacturing a substrate.
[3] The method for producing a conductive pattern-formed substrate according to [2], wherein the conductive fiber is a metal nanowire.
[4] In the conductive pattern forming step, the conductive fiber in the transparent insulating material is removed by irradiation with a pulsed laser, thereby forming a gap in the portion where the conductive fiber was present, thereby forming the insulating portion. The method for producing a conductive pattern forming substrate according to [3], wherein:
[5] The method for manufacturing a conductive pattern forming substrate according to any one of [1] to [4], wherein a part of the insulating portion formed in the conductive pattern forming step is used for a positioning mark.
[6] In the conductive pattern forming step, an outline insulating portion surrounding the conductive pattern is formed, and in the re-irradiation step, at least a part of the outline insulating portion is re-irradiated with pulsed laser light. The method for producing a conductive pattern forming substrate according to any one of [1] to [4].
本発明の導電パターン形成基板の製造方法によれば、目視や画像認識装置により容易に識別できる位置合わせ基準マークとなる絶縁パターンを簡便に形成できる。得られた導電パターン形成基板は印刷や組み立てにおいて位置ずれしにくい。 According to the method for manufacturing a conductive pattern forming substrate of the present invention, an insulating pattern serving as an alignment reference mark that can be easily identified visually or by an image recognition device can be easily formed. The obtained conductive pattern forming substrate is not easily displaced in printing and assembly.
本発明の導電パターン形成基板の製造方法の一実施形態について説明する。
＜導電パターン形成基板＞
本実施形態の製造方法で製造される導電パターン形成基板は、図１，２に示すように、透明絶縁基板１１と、透明絶縁基板１１の片面に設けられ、複数の列状の透明導電部１２ａからなる導電パターン１２とを有する。導電パターン１２は、透明導電部１２ａ，１２ａの間および周囲に形成された第１の絶縁部１３および第２の絶縁部１４によって設けられている。
An embodiment of a method for producing a conductive pattern forming substrate of the present invention will be described.
<Conductive pattern forming substrate>
As shown in FIGS. 1 and 2, the conductive pattern forming substrate manufactured by the manufacturing method of the present embodiment is provided on one side of the transparent insulating substrate 11 and the transparent insulating substrate 11, and has a plurality of rows of transparent conductive portions 12a. And a conductive pattern 12 made of The conductive pattern 12 is provided by a first insulating part 13 and a second insulating part 14 formed between and around the transparent conductive parts 12a and 12a.
透明絶縁基板１１としては、透明で絶縁性を有するとともに、後述するレーザ光の照射に対して外観変化の生じにくいものを用いることが好ましい。具体的には、例えば、ガラス、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を代表とするポリエステル、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合樹脂（ＡＢＳ樹脂）などの絶縁性材料が挙げられる。
透明絶縁基板１１の形状としては、板状のもの、可撓性を有するフィルム状のもの、立体的（３次元）に成形された成形品等を用いることができる。
As the transparent insulating substrate 11, it is preferable to use a substrate that is transparent and insulative and hardly changes in appearance with respect to laser light irradiation described later. Specific examples include insulating materials such as glass, polycarbonate, polyester typified by polyethylene terephthalate (PET), and acrylonitrile / butadiene / styrene copolymer resin (ABS resin).
As the shape of the transparent insulating substrate 11, a plate-like material, a flexible film-like material, a three-dimensional (three-dimensional) molded product, or the like can be used.
透明導電部１２ａは、透明絶縁材料と、該透明絶縁材料内に２次元ネットワーク状に配置された導電性繊維とを含んでいる。
透明絶縁材料としては、透明な熱可塑性樹脂（ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリメチルメタクリレート、ニトロセルロース、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデン）、熱や活性エネルギ線（紫外線、電子線）で硬化した透明な硬化性樹脂（メラミンアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル変性シリケートなどのシリコーン樹脂）の硬化物が挙げられる。
The transparent conductive portion 12a includes a transparent insulating material and conductive fibers arranged in a two-dimensional network within the transparent insulating material.
Transparent insulation materials include transparent thermoplastic resins (polyvinyl chloride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polymethyl methacrylate, nitrocellulose, chlorinated polyethylene, chlorinated polypropylene, polyvinylidene fluoride), heat and active energy rays Examples thereof include a cured product of a transparent curable resin (a melamine acrylate, a urethane acrylate, an epoxy resin, a polyimide resin, a silicone resin such as an acrylic-modified silicate) cured with (ultraviolet rays or an electron beam).
各導電性繊維は、透明絶縁基板１１の表面（透明導電部１２ａが形成される面）の面方向に沿って２次元状に互いに異なる向きに不規則に配置されているとともに、その少なくとも一部以上が互いに重なり合う（接触し合う）程度に密集して、互いに電気的に接続されている。これにより、導電ネットワークを構成している。 Each conductive fiber is irregularly arranged in two-dimensionally different directions along the surface direction of the surface of the transparent insulating substrate 11 (surface on which the transparent conductive portion 12a is formed), and at least a part thereof. The above are densely connected to each other so as to overlap (contact with each other) and are electrically connected to each other. This constitutes a conductive network.
導電性繊維としては、銅、白金、金、銀、ニッケル等からなる金属ナノワイヤや金属ナノチューブが挙げられる。導電性繊維は、例えばその直径が０．３〜１００ｎｍ、長さが１〜１００μｍに形成されている。
また、導電性繊維として、シリコンナノワイヤやシリコンナノチューブ、金属酸化物ナノチューブ、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、グラファイトフィブリル等を用いることもできる。
上記導電性繊維の中でも、透明導電部１２ａを容易に形成できると共に、後述するレーザ光の照射によって容易に絶縁部を形成できる点で、金属ナノワイヤが好ましく、銀を主成分とする金属ナノワイヤ（銀ナノワイヤ）がより好ましい。
Examples of the conductive fiber include metal nanowires and metal nanotubes made of copper, platinum, gold, silver, nickel, and the like. The conductive fiber has a diameter of 0.3 to 100 nm and a length of 1 to 100 μm, for example.
In addition, silicon nanowires, silicon nanotubes, metal oxide nanotubes, carbon nanotubes, carbon nanofibers, graphite fibrils, and the like can be used as conductive fibers.
Among the conductive fibers, metal nanowires are preferable because the transparent conductive portion 12a can be easily formed and an insulating portion can be easily formed by laser light irradiation, which will be described later. Nanowire) is more preferable.
第１の絶縁部１３および第２の絶縁部１４は、導電性繊維が除去されて透明絶縁材料からなる部分である。
本実施形態における第１の絶縁部は、透明導電部１２ａと外観（色、透明性）が同一で視認不能な絶縁部であり、入力エリアαの導電パターン１２を形成するための絶縁パターンである。第１の絶縁部１３では、図３に示すように、透明絶縁材料１２ｂ内の、導電性繊維が存在していた部分は空隙１２ｃになっているため、導電性繊維による導電ネットワークが断絶しており、電気的に絶縁状態になっている。また、第１の絶縁部１３は、導電性繊維を含む導電部と外観（色、透明性）がほぼ同一であるため、視認不能である。
第２の絶縁部１４は、第１の絶縁部１３と同様に導電性繊維が除去されて絶縁化されていると共に、透明導電部１２ａと外観が異なって視認可能な絶縁部であり、導電パターン１２を囲う外形線１４ａと、外形線１４ａよりも外側に４つ形成された位置決めマーク１４ｂと、第１の絶縁部１３に接続された配線引き出し線１４ｃと、配線引き出し線１４ｃに接続されたコネクタ部引き出し線１４ｄと、入力エリアαを示す組立基準線１４ｅとからなっている。
The first insulating portion 13 and the second insulating portion 14 are portions made of a transparent insulating material from which conductive fibers are removed.
The first insulating portion in the present embodiment is an insulating portion that has the same appearance (color and transparency) as the transparent conductive portion 12a and cannot be visually recognized, and is an insulating pattern for forming the conductive pattern 12 in the input area α. . In the first insulating portion 13, as shown in FIG. 3, the portion of the transparent insulating material 12b where the conductive fibers were present is a gap 12c, so that the conductive network by the conductive fibers is cut off. It is electrically insulated. Moreover, since the 1st insulation part 13 is substantially the same external appearance (color, transparency) as the conductive part containing a conductive fiber, it cannot be visually recognized.
The second insulating portion 14 is an insulating portion that is visible by removing the conductive fibers in the same manner as the first insulating portion 13 and is visually different from the transparent conductive portion 12a, and has a conductive pattern. 12, an external line 14 a surrounding the external line 14, four positioning marks 14 b formed outside the external line 14 a, a wiring lead line 14 c connected to the first insulating portion 13, and a connector connected to the wiring lead line 14 c It consists of a part lead line 14d and an assembly reference line 14e indicating the input area α.
本発明では、２次元ネットワーク状に配置された導電性繊維が透明絶縁材料の中に配置されることで、導電性繊維が３次元状に配置される場合に比べて導電性繊維同士の接触が多くなるため、少ない導電性繊維でも充分に低い表面抵抗を得ることができる。また、透明絶縁材料から導電性繊維が除去されることで、確実に絶縁化することができる。 In the present invention, the conductive fibers arranged in a two-dimensional network are arranged in the transparent insulating material, so that the conductive fibers contact each other compared to the case where the conductive fibers are arranged in a three-dimensional shape. Therefore, a sufficiently low surface resistance can be obtained even with a small amount of conductive fiber. Moreover, insulation can be reliably achieved by removing the conductive fibers from the transparent insulating material.
＜導電パターン形成基板の製造方法＞
本実施形態の導電パターン形成基板の製造方法は、透明絶縁基板１１の一方の面に設けられた透明導電層にパルス状レーザ光Ｌを所定のパターンで照射することにより絶縁部第１の絶縁部１３および第２の絶縁部１４を形成して導電パターン１２を得る導電パターン形成工程と、第２の絶縁部１４にパルス状レーザ光Ｌをさらに照射する再照射工程とを有する。
なお、以下の説明において、レーザ光照射前の、透明絶縁基板１１と該透明絶縁基板１１の一方の面に設けられた透明導電層とを有する積層体のことを、導電性基板という。また、透明導電層は、透明絶縁材料と、透明絶縁材料内に２次元ネットワーク状に配置された導電性繊維とを含む層である。透明絶縁材料および導電性繊維は上述したものが使用される。
<Method for producing conductive pattern forming substrate>
In the manufacturing method of the conductive pattern forming substrate of this embodiment, the insulating portion first insulating portion is formed by irradiating the transparent conductive layer provided on one surface of the transparent insulating substrate 11 with a pulsed laser beam L in a predetermined pattern. 13 and the second insulating portion 14 to form a conductive pattern 12 to obtain the conductive pattern 12, and a re-irradiation step of further irradiating the second insulating portion 14 with the pulsed laser light L.
In the following description, a laminate including the transparent insulating substrate 11 and the transparent conductive layer provided on one surface of the transparent insulating substrate 11 before laser light irradiation is referred to as a conductive substrate. The transparent conductive layer is a layer including a transparent insulating material and conductive fibers arranged in a two-dimensional network form within the transparent insulating material. The transparent insulating material and the conductive fiber described above are used.
導電パターン形成工程では、図４に示すようなレーザ光照射装置を使用する。レーザ光照射装置４０は、レーザ光Ｌを発生させるレーザ光発生手段４１と、レーザ光Ｌを集光する集光手段である凸レンズ等の集光レンズ４２と、透明絶縁基板１１および透明導電層ａからなる導電性基板Ａが載置されるステージ４３とを備えている。
このレーザ光照射装置４０では、レーザ光発生手段４１から集光レンズ４２を介して透明導電層ａにレーザ光Ｌを照射する。
レーザ光Ｌの照射による導電パターンの形成では、露光、現像、エッチング等が不要であるため、簡便である。
In the conductive pattern forming step, a laser beam irradiation apparatus as shown in FIG. 4 is used. The laser beam irradiation device 40 includes a laser beam generating unit 41 that generates the laser beam L, a condensing lens 42 such as a convex lens that condenses the laser beam L, the transparent insulating substrate 11 and the transparent conductive layer a. And a stage 43 on which the conductive substrate A made of is placed.
In the laser beam irradiation device 40, the laser beam L is irradiated from the laser beam generator 41 through the condenser lens 42 to the transparent conductive layer a.
Formation of the conductive pattern by irradiation with the laser beam L is simple because exposure, development, etching, and the like are unnecessary.
レーザ光発生手段４１が発生するレーザ光Ｌは、ＹＡＧやＹＶＯ４等のパルス状レーザ光、炭酸ガスレーザ等の連続発振レーザ光が挙げられる。中でも、簡便であることから、ＹＡＧやＹＶＯ４等の波長１０６４ｎｍもしくはその２次高調波を使用した５３２ｎｍのパルス状レーザ光が好ましい。パルス状レーザ光においては、パルス幅３００ｎ秒以下が好ましく、７０ｎ秒以下がより好ましい。 Examples of the laser light L generated by the laser light generating means 41 include pulsed laser light such as YAG and YVO 4 and continuous wave laser light such as a carbon dioxide gas laser. Among these, a pulsed laser beam having a wavelength of 1064 nm such as YAG or YVO 4 or a second harmonic thereof is preferable because it is simple. In the pulsed laser beam, the pulse width is preferably 300 nsec or less, and more preferably 70 nsec or less.
集光レンズ４２の焦点Ｆは、通常、透明導電層ａの表面毎に設定されるが、導電性基板Ａに凹凸などが形成されている場合や広い面積にレーザ光を照射する場合には、透明導電層ａから離れた位置に設定されていることが好ましい。詳しくは、集光レンズ４２は、透明導電層ａと集光レンズ４２との間にレーザ光Ｌの焦点Ｆが位置するように配置される。すなわち、集光レンズ４２（レーザ光Ｌ）の焦点Ｆを、透明導電層ａと集光レンズ４２との間に形成している。これにより、透明絶縁基板１１に当たるレーザ光Ｌのスポット径は、透明導電層ａに当たるレーザ光Ｌのスポット径より大きくなる。これにより、透明導電層ａにおいてはレーザ光Ｌのエネルギ密度を確保して第１の絶縁部１３および第２の絶縁部１４を確実に形成しつつ、透明絶縁基板１１においてはレーザ光Ｌのエネルギ密度を低減させ、さらに焦点Ｆと透明導電層ａの距離が変化しても集光スポットＳのエネルギ密度の変動を抑制することで、透明絶縁基板１１の損傷を防止できる。 The focal point F of the condensing lens 42 is normally set for each surface of the transparent conductive layer a. However, when the conductive substrate A is uneven or when laser light is irradiated over a wide area, It is preferably set at a position away from the transparent conductive layer a. Specifically, the condenser lens 42 is disposed so that the focal point F of the laser light L is located between the transparent conductive layer a and the condenser lens 42. That is, the focal point F of the condensing lens 42 (laser light L) is formed between the transparent conductive layer a and the condensing lens 42. Thereby, the spot diameter of the laser beam L which hits the transparent insulating substrate 11 becomes larger than the spot diameter of the laser beam L which hits the transparent conductive layer a. Thereby, the energy density of the laser beam L is ensured in the transparent conductive layer a and the first insulating portion 13 and the second insulating portion 14 are reliably formed, while the energy of the laser beam L in the transparent insulating substrate 11. Even if the density is reduced and the distance between the focal point F and the transparent conductive layer a is changed, it is possible to prevent the transparent insulating substrate 11 from being damaged by suppressing the fluctuation of the energy density of the focused spot S.
集光レンズ４２としては、低い開口数（ＮＡ＜０．１）のものが好ましい。すなわち、集光レンズ４２の開口数がＮＡ＜０．１とされることにより、レーザ光Ｌの照射条件設定が容易となり、特にレーザ光Ｌの焦点Ｆが透明導電層ａと集光レンズ４２との間に位置することによる、該焦点Ｆにおける空気のプラズマ化に伴うエネルギ損失とレーザ光Ｌの拡散を防止することができる。 The condensing lens 42 preferably has a low numerical aperture (NA <0.1). That is, by setting the numerical aperture of the condensing lens 42 to NA <0.1, it becomes easy to set the irradiation condition of the laser light L, and in particular, the focal point F of the laser light L is the Therefore, it is possible to prevent energy loss and diffusion of the laser light L due to air plasma at the focal point F.
また、ステージ４３は、水平方向に２次元的に移動可能になっている。ステージ４３は、少なくとも上面側が透明な部材または光線吸収性を有する部材で構成されていることが好ましい。
ステージ４３は、レーザ光Ｌの出力が１Ｗを超える場合、ナイロン系若しくはフッ素系の樹脂材料、又は、シリコーンゴム系の高分子材料を用いることが好ましい。
The stage 43 can be moved two-dimensionally in the horizontal direction. The stage 43 is preferably composed of a member having at least a transparent upper surface or a member having light absorption.
When the output of the laser beam L exceeds 1 W, the stage 43 is preferably made of a nylon-based or fluorine-based resin material or a silicone rubber-based polymer material.
導電パターン形成工程では、まず、ステージ４３の上面に導電性基板Ａを、透明導電層ａが透明絶縁基板１１より上に配置されるように載置する。ここで、導電性基板Ａは、透明絶縁基板１１と透明導電層ａの透明絶縁材料とが、互いに同一材料又は同一系統の樹脂材料からなることが好ましい。例えば、透明絶縁基板１１がポリエチレンテレフタレートフィルムの場合、透明絶縁材料にはポリエステル系樹脂を使用することが好ましい。 In the conductive pattern forming step, first, the conductive substrate A is placed on the upper surface of the stage 43 so that the transparent conductive layer a is disposed above the transparent insulating substrate 11. Here, in the conductive substrate A, the transparent insulating substrate 11 and the transparent insulating material of the transparent conductive layer a are preferably made of the same material or the same series of resin materials. For example, when the transparent insulating substrate 11 is a polyethylene terephthalate film, it is preferable to use a polyester resin as the transparent insulating material.
次いで、レーザ光発生手段４１よりレーザ光Ｌを出射させ、レーザ光Ｌを集光レンズ４２により集光する。その集光したレーザ光Ｌを透明導電層ａに照射する。その際、ステージ４３を、レーザ光Ｌの照射が所定のパターンになるように移動させる。ここで、所定のパターンとは、導電パターン１２を形成するためのパターンである。
上記のように、透明導電層ａにレーザ光Ｌを所定パターンで照射することにより、レーザ光照射部分の導電性繊維を除去して、レーザ光Ｌの照射部分を絶縁化し、図１，２に示すように、透明導電層ａに、透明導電部１２ａを有する導電パターン１２が得られるように第１の絶縁部１３を形成すると共に、第２の絶縁部１４を形成する。なお、第１の絶縁部１３および第２の絶縁部１４においては、レーザ光照射前に導電性繊維の存在した部分が空隙となっている。この時点では、透明導電部１２ａと、第１の絶縁部１３と、第２の絶縁部１４とは外観が同一で見分けることはできない。
Next, the laser beam L is emitted from the laser beam generator 41, and the laser beam L is collected by the condenser lens 42. The condensed laser beam L is irradiated to the transparent conductive layer a. At that time, the stage 43 is moved so that the irradiation of the laser beam L has a predetermined pattern. Here, the predetermined pattern is a pattern for forming the conductive pattern 12.
As described above, by irradiating the transparent conductive layer a with the laser light L in a predetermined pattern, the conductive fibers in the laser light irradiated portion are removed, and the irradiated portion of the laser light L is insulated, and FIGS. As shown, the first insulating portion 13 and the second insulating portion 14 are formed in the transparent conductive layer a so that the conductive pattern 12 having the transparent conductive portion 12a is obtained. In the first insulating portion 13 and the second insulating portion 14, the portion where the conductive fibers existed before the laser light irradiation is a gap. At this time, the transparent conductive portion 12a, the first insulating portion 13, and the second insulating portion 14 have the same appearance and cannot be distinguished.
透明導電層ａに照射するレーザ光Ｌのエネルギ密度は１×１０１６〜７×１０１７Ｗ／ｍ２、単位面積あたりの照射エネルギは１×１０５〜１×１０６Ｊ／ｍ２が好ましい。
すなわち、エネルギ密度・照射エネルギが上記数値範囲よりも小さな値に設定された場合、第１の絶縁部１３および第２の絶縁部１４の絶縁が不十分になるおそれがある。また、上記数値範囲よりも大きな値に設定された場合、加工痕が目立つようになり、タッチパネルや電磁波シールドなどの用途では不適当となる。
The energy density of the laser light L applied to the transparent conductive layer a is preferably 1 × 10 16 to 7 × 10 17 W / m 2 , and the irradiation energy per unit area is preferably 1 × 10 5 to 1 × 10 6 J / m 2. .
That is, when the energy density / irradiation energy is set to a value smaller than the above numerical range, the insulation of the first insulating portion 13 and the second insulating portion 14 may be insufficient. Moreover, when it is set to a value larger than the above numerical range, processing traces become conspicuous, which is inappropriate for applications such as a touch panel and an electromagnetic wave shield.
また、これらの値は、加工エリアにおけるレーザビームの出力値を、加工エリアの集光スポット面積で除することにより定義されており、簡便には、出力はレーザ発振機からの出力値に光学系の損失係数を掛けることで求められる。
また、スポット径面積Ｓは、下記式により定義される。
Ｓ＝Ｓ０×Ｄ／ＦＬ
Ｓ０：レンズで集光されるレーザのビーム面積
ＦＬ：レンズの焦点距離
Ｄ：透明導電層ａの表面（上面）と焦点との距離
These values are defined by dividing the output value of the laser beam in the processing area by the condensing spot area of the processing area. For convenience, the output is converted into the output value from the laser oscillator by the optical system. It is obtained by multiplying by the loss factor.
The spot diameter area S is defined by the following formula.
S = S 0 × D / FL
S 0 : Laser beam area focused by the lens FL: Lens focal length D: Distance between the surface (upper surface) of the transparent conductive layer a and the focal point
なお、前述した焦点Ｆは、レンズ等の集光手段４２で、収差が十分に小さい場合を例に説明したが、例えば、焦点距離の短い球面レンズや、保護ガラスなどの収差が大きくなる要素が存在する場合には、前記焦点Ｆは、集光点のエネルギ密度が最も高くなる位置と定義される。 The focus F described above has been described by taking as an example the case where the aberration is sufficiently small by the condensing means 42 such as a lens. When present, the focal point F is defined as the position where the energy density of the focal point is the highest.
ここで、距離Ｄは、通常のレーザ加工機では、焦点距離ＦＬの０．２〜３％の範囲内に設定される。好ましくは、距離Ｄは、焦点距離ＦＬの０．５〜２％の範囲内に設定される。さらに望ましくは、距離Ｄは、焦点距離ＦＬの０．７〜１．５％の範囲内に設定される。距離Ｄが上記数値範囲に設定されることにより、第１の絶縁部１３および第２の絶縁部１４における導電性繊維の除去（空隙の形成）が確実に行えるとともに電気的に高い信頼性を有する絶縁パターンを形成でき、かつ、透明絶縁基板１１の損傷に起因する加工痕を確実に防止できる。 Here, the distance D is set within a range of 0.2 to 3% of the focal length FL in a normal laser beam machine. Preferably, the distance D is set within a range of 0.5 to 2% of the focal length FL. More preferably, the distance D is set within a range of 0.7 to 1.5% of the focal length FL. By setting the distance D within the above numerical range, the conductive fibers in the first insulating portion 13 and the second insulating portion 14 can be reliably removed (gap formation), and the electrical reliability is high. An insulating pattern can be formed, and processing traces resulting from damage to the transparent insulating substrate 11 can be reliably prevented.
再照射工程では、導電パターン形成工程にて形成した第２の絶縁部１４にパルス状レーザ光をさらに１回以上照射する。再照射工程では、透明絶縁材料が着色または除去されるため、第２の絶縁部１４を可視化することができる。
再照射工程におけるパルス状レーザ光の照射方法および照射条件は、導電パターン形成工程における照射方法および照射条件と同様である。ただし、導電パターン形成工程と同一にする必要はない。
再照射の回数はレーザ光の出力や走査速度等にもよるため一概に規定できないが、確実に可視化するためには、５回以上であることが好ましい。
In the re-irradiation step, the second insulating portion 14 formed in the conductive pattern formation step is further irradiated with pulsed laser light one or more times. In the re-irradiation step, since the transparent insulating material is colored or removed, the second insulating portion 14 can be visualized.
The irradiation method and irradiation conditions of the pulsed laser beam in the re-irradiation step are the same as the irradiation method and irradiation conditions in the conductive pattern forming step. However, it is not necessary to be the same as the conductive pattern forming step.
The number of re-irradiations cannot be defined unconditionally because it depends on the output of the laser beam, the scanning speed, etc., but it is preferably 5 times or more for reliable visualization.
再照射工程における照射パターンは、導電パターン形成工程の照射パターンと同一のデータセットで一括してレーザ光照射装置４０にあらかじめ入力しておくことができる。再照射の回数が２回以上である場合には、再照射パターンをＣＤＡ等の図面情報とし、その図面情報データを電子的に照射回数だけ複写し、入力することが好ましい。これにより、照射パターン設計の工程数を削減でき、また、導電パターン形成基板の品種を切り替える際の手間を減らすことができる。さらに、複写した図面情報データに基づいて再照射する場合には、照射条件の確認が容易になることから、レーザ光照射装置４０の実質的な加工精度よりも小さな値で再照射のパターンがずれるように入力することが好ましい。
また、第１の絶縁部１３を形成するための照射パターンと別のデータセットとして、レーザ光照射装置４０に照射パターンを入力し、レーザ光照射装置４０のプログラムにより、照射回数を設定してもよい。
The irradiation pattern in the re-irradiation process can be input in advance to the laser light irradiation apparatus 40 in a lump with the same data set as the irradiation pattern in the conductive pattern formation process. When the number of re-irradiations is two or more, it is preferable that the re-irradiation pattern is used as drawing information such as CDA, and the drawing information data is electronically copied and input by the number of times of irradiation. As a result, the number of irradiation pattern design steps can be reduced, and the effort for switching the type of conductive pattern forming substrate can be reduced. Furthermore, when re-irradiation is performed based on the copied drawing information data, it is easy to confirm the irradiation conditions, and therefore the re-irradiation pattern is shifted with a value smaller than the substantial processing accuracy of the laser light irradiation device 40. It is preferable to input as follows.
Further, as a data set different from the irradiation pattern for forming the first insulating portion 13, the irradiation pattern is input to the laser light irradiation device 40 and the number of irradiations is set by the program of the laser light irradiation device 40. Good.
なお、上記製造方法では、ＸＹステージなどの移動式ステージ４３に導電性基板Ａを載せてパターニングを行うこととしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、導電性基板Ａを固定状態とし、集光系部材を相対的に移動させる方法、ガルバノミラー等を用いてレーザ光Ｌを走査しスキャンする方法、又は、上記したもの同士を組み合わせてパターニングを行うことが可能である。 In the above manufacturing method, the conductive substrate A is placed on the movable stage 43 such as an XY stage for patterning. However, the present invention is not limited to this. That is, for example, a method in which the conductive substrate A is fixed and the condensing system member is relatively moved, a method in which the laser light L is scanned and scanned using a galvanometer mirror, or the like is combined. Patterning can be performed.
上記のように、導電パターン形成工程と再照射工程を有する本実施形態の導電パターン形成基板の製造方法によれば、第２の絶縁部１４を視認可能にしつつも、導電パターンを簡便に形成できる。
特に、上記実施形態では、導電パターン形成工程と再照射工程とが、同一のレーザ光照射装置４０の同一のステージ４３の上で行われるため、照射の位置精度、導電性基板Ａの搬送・位置決めの位置精度、時間の精度が高い。
しかも、得られた導電パターン形成基板は、タッチパネル駆動素子の静電破壊を起こす程の高い印加電圧は迅速に拡散し、タッチパネルが動作する低い電圧領域では高い絶縁性を示す。そのため、メンブレン式または投影型静電容量式のタッチパネルに好適に使用できる。
As described above, according to the method for manufacturing the conductive pattern forming substrate of the present embodiment having the conductive pattern forming step and the re-irradiation step, it is possible to easily form the conductive pattern while making the second insulating portion 14 visible. .
In particular, in the above embodiment, since the conductive pattern forming step and the re-irradiation step are performed on the same stage 43 of the same laser light irradiation device 40, the irradiation position accuracy, the transport / positioning of the conductive substrate A, and the like. The position accuracy and time accuracy are high.
In addition, the obtained conductive pattern forming substrate quickly diffuses a high applied voltage that causes electrostatic breakdown of the touch panel drive element, and exhibits high insulation in a low voltage region where the touch panel operates. Therefore, it can be suitably used for a membrane-type or projected capacitive touch panel.
第２の絶縁部１４を形成した後には、図５に示すように、各透明導電部１２ａの端部に外部と電気的に接続するためのコネクタ部１５を設けることができる。コネクタ部１５を設ける方法としては、正確且つ簡便であることから、金属ペースト（例えば、銀ペースト、銅ペースト等）を印刷する方法が好ましい。印刷方法としては、スクリーン印刷が好適である。 After forming the second insulating portion 14, as shown in FIG. 5, a connector portion 15 for electrically connecting to the outside can be provided at the end of each transparent conductive portion 12a. As a method of providing the connector portion 15, a method of printing a metal paste (for example, a silver paste, a copper paste, etc.) is preferable because it is accurate and simple. Screen printing is suitable as the printing method.
上記の製造方法で得た導電パターン形成基板１０では、位置決めマーク１４ｂを有するため、印刷の際に導電パターン形成基板１０を容易に位置決めできる。したがって、コネクタ部を正確に設けることができる。 Since the conductive pattern forming substrate 10 obtained by the above manufacturing method has the positioning mark 14b, the conductive pattern forming substrate 10 can be easily positioned at the time of printing. Therefore, the connector portion can be provided accurately.
上記導電パターン形成基板１０は、タッチパネルの電極シートとして使用することができる。
例えば、２枚の上記導電パターン形成基板を外形線に沿って切り出したものを電極シートとし、これらを、スペーサを介して導電パターンが互いに対向するように積層することで、抵抗膜式タッチパネルの入力部材とすることができる。
また、２枚の上記導電パターン形成基板を外形線に沿って切り出したものを電極シートとし、これらを導電パターン同士が接触しないように積層することで、静電容量式タッチパネルの入力部材とすることができる。
The said conductive pattern formation board | substrate 10 can be used as an electrode sheet of a touch panel.
For example, an electrode sheet is formed by cutting two conductive pattern forming substrates along the outline, and these are stacked so that the conductive patterns face each other with a spacer interposed therebetween. It can be a member.
Moreover, what cut out the said 2 conductive pattern formation board | substrate along the outline line is made into an electrode sheet, and these are laminated | stacked so that conductive patterns may not contact, It is set as an input member of an electrostatic capacitance type touch panel. Can do.
なお、上記実施形態では、導電パターン形成工程にて第１の絶縁部１３と第２の絶縁部１４を形成した後、第２の絶縁部１４に再照射工程を施したが、本発明では、第１の絶縁部１３を導電パターン形成工程により形成した後、第２の絶縁部１４を導電パターン形成工程と再照射工程とにより形成してもよいし、第２の絶縁部１４を導電パターン形成工程と再照射工程とにより形成した後、第１の絶縁部１３を導電パターン形成工程により形成してもよい。 In the above embodiment, after the first insulating portion 13 and the second insulating portion 14 are formed in the conductive pattern forming step, the second insulating portion 14 is subjected to a re-irradiation step. After the first insulating portion 13 is formed by the conductive pattern forming step, the second insulating portion 14 may be formed by the conductive pattern forming step and the re-irradiation step, or the second insulating portion 14 is formed by the conductive pattern formation. After forming by a process and a re-irradiation process, you may form the 1st insulating part 13 by a conductive pattern formation process.
［製造例１］
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ルミラーＳ１０ ＃７５、東レ株式会社製）に、Ｃａｍｂｒｉｏｓ社のＯｈｍ（商品名）インク（線径５０ｎｍ程度、長さ１５μｍ程度の銀繊維を含む混合液）を塗布し、乾燥した後、紫外線硬化性のポリエステル樹脂インクを上塗りして、乾燥・紫外線処理を施した。これにより、ＰＥＴフィルム上に銀繊維からなる導電性の２次元ネットワークを有する透明導電層ａを形成して、導電性基板を得た。
[Production Example 1]
Apply 75m thick polyethylene terephthalate film (Lumirror S10 # 75, manufactured by Toray Industries, Inc.) with Cambrios's Ohm (trade name) ink (mixed solution containing silver fibers with a wire diameter of about 50 nm and a length of about 15 μm) After drying, an ultraviolet curable polyester resin ink was overcoated, followed by drying and UV treatment. As a result, a transparent conductive layer a having a conductive two-dimensional network made of silver fibers was formed on the PET film to obtain a conductive substrate.
［実施例１］
レーザ光照射装置として、ガルバノミラーを備えたＹＶＯ４基本波のレーザ加工機（キーエンス社製、ＭＤ−Ｖ９９２０）を使用した。
上記レーザ光照射装置には、照射パターンのデータをあらかじめ入力した。
すなわち、まず、位置決めマーク１４ｂ１を基準に、外形線１４ａ、他の位置決めマーク１４ｂ２、配線引き出し線１４ｃ、コネクタ部引き出し線１４ｄ、組立基準線１４ｅのデータを作成した（図１参照）。そのデータを電子的に複写し、入力エリアαの対角方向に２μｍ間隔でずれるように貼り付けて（図６参照：なお、図６は外形線１４ａのコーナーの拡大図である。）、第２の絶縁部用データを作成した。
次いで、位置決めマーク１４ｂ１を基準に、透明絶縁パターン（第１の絶縁部）の図面データ（第１の絶縁部用データ）をＣＤＡで作成し、この第１の絶縁部用データと第２の絶縁部用データとを合わせ、単一の図面データとしてレーザ光照射装置に照射パターンとして入力した。
なお、各絶縁パターンの絶縁ライン（第１の絶縁部１３と配線引き出し線１４ｃ、配線引き出し線１４ｃとコネクタ部引き出し線１４ｄ、など）の端部同士が接続する部分は、各絶縁ラインが交差するようにデータを作成する。これにより、レーザ加工機のレーザ照射タイミングによらず、確実に各絶縁パターン同士を連続的に接続させることができる。
[Example 1]
As a laser beam irradiation device, a YVO 4 fundamental wave laser processing machine (manufactured by Keyence Corporation, MD-V9920) equipped with a galvanometer mirror was used.
Irradiation pattern data was previously input to the laser beam irradiation apparatus.
That is, first, based on the positioning mark 14b 1, was prepared outline 14a, other positioning marks 14b 2, the wiring lead line 14c, the connector portion lead wire 14d, the data of the assembly reference line 14e (see FIG. 1). The data is electronically copied and pasted so as to be shifted by 2 μm in the diagonal direction of the input area α (see FIG. 6: FIG. 6 is an enlarged view of the corner of the outline 14a). The data for 2 insulation parts was created.
Then, based on the positioning mark 14b 1, a transparent insulating pattern drawing data (first insulating portion) (data for the first insulating portion) created in CDA, the first data and the second insulating portion Combined with the data for the insulating portion, it was inputted as an irradiation pattern to the laser beam irradiation apparatus as a single drawing data.
In addition, each insulating line intersects at a portion where the ends of the insulating lines (first insulating portion 13 and wiring lead wire 14c, wiring leading wire 14c and connector lead wire 14d, etc.) of each insulating pattern are connected. Create the data as follows. Thereby, each insulation pattern can be reliably connected continuously irrespective of the laser irradiation timing of a laser beam machine.
製造例１の導電性基板Ａを厚さ５ｍｍのポリアセタール製ステージの上に載置し、下記照射条件でレーザ光を照射した。その際、レーザ光の照射回数は、第１の絶縁部については１回、位置決めマーク１４ｂ１については１回、外形線１４ａ、他の位置決めマーク１４ｂ２、配線引き出し線１４ｃ、コネクタ部引き出し線１４ｄ、組立基準線１４ｅについては１１回とした。
焦点から導電性基板Ａまでの距離：０ｍｍ
出力：３０％
移動速度：６００ｍｍ／秒
発振周波数：１００ｋＨｚ
これにより、透明絶縁パターンからなる第１の絶縁部は視認不能で、外形線１４ａ、位置決めマーク１４ｂ、配線引き出し線１４ｃ、コネクタ部引き出し線１４ｄ、組立基準線１４ｅからなる第２の絶縁部は視認可能な導電パターン形成基板を得た。隣接する透明導電部１２ａ，１２ａ同士の電気抵抗は１０Ω以上であり、絶縁状態にされていた。
上記の導電パターン形成基板は２枚作製した。
The conductive substrate A of Production Example 1 was placed on a polyacetal stage having a thickness of 5 mm and irradiated with laser light under the following irradiation conditions. At that time, the irradiation times of the laser beam, once the first insulating portion, once the positioning marks 14b 1, outline 14a, other positioning marks 14b 2, the wiring lead line 14c, the connector portion lead wire 14d The assembly reference line 14e was 11 times.
Distance from the focal point to the conductive substrate A: 0 mm
Output: 30%
Movement speed: 600mm / sec Oscillation frequency: 100kHz
As a result, the first insulating portion made of the transparent insulating pattern is invisible, and the second insulating portion made of the outer shape line 14a, the positioning mark 14b, the wiring lead wire 14c, the connector lead wire 14d, and the assembly reference line 14e is visible. A possible conductive pattern forming substrate was obtained. The electrical resistance between the adjacent transparent conductive portions 12a, 12a was 10Ω or more, and was in an insulated state.
Two conductive pattern forming substrates were prepared.
次いで、得られた導電パターン形成基板の一方に対し、スクリーン印刷とインキの乾燥により、アクリル系樹脂からなる直径６０μｍのドットスペーサを設けた。
上記のようにして得た導電パターン形成基板を外形線１４ａに沿って切断して、配線基板を切り出した。次いで、ドットスペーサを設けた配線基板と、ドットスペーサを設けなかった配線基板とを、導電パターンが互いに対向するように配置し、その状態で両面粘着テープにより固定して、タッチパネルを得た。
本例では、外形線、位置決めマーク、配線引き出し線、コネクタ部引き出し線および組立基準線が可視化されているため、導電パターン形成基板を正確に位置決めでき、コネクタ部を正確に設けることができた。また、得られた配線基板を用いてタッチパネルを組み立てる際にも、容易に位置決めできた。
また、コネクタ部形成後、コネクタパターンと外形線の寸法精度を測定したところ、寸法公差は全て０．０８ｍｍ以下であった。
Next, a dot spacer having a diameter of 60 μm made of an acrylic resin was provided on one of the obtained conductive pattern forming substrates by screen printing and ink drying.
The conductive pattern forming substrate obtained as described above was cut along the outline 14a to cut out the wiring substrate. Next, the wiring board provided with dot spacers and the wiring board not provided with dot spacers were arranged so that the conductive patterns were opposed to each other, and fixed in that state with a double-sided adhesive tape to obtain a touch panel.
In this example, since the outline, positioning mark, wiring lead-out line, connector part lead-out line, and assembly reference line are visualized, the conductive pattern forming substrate can be accurately positioned and the connector part can be accurately provided. Moreover, when assembling a touch panel using the obtained wiring board, it was easily positioned.
Moreover, when the dimensional accuracy of the connector pattern and the outline was measured after the connector portion was formed, all the dimensional tolerances were 0.08 mm or less.
［実施例２］
外形線１４ａよりも外側の２００ｍｍ×２００ｍｍの範囲に５ｍｍ間隔の格子状の絶縁パターン１６（図７参照）が形成されるように、パルス状のレーザ光を、実施例１と同様の照射条件で照射した。また、実施例１と同様に印刷してコネクタ部を設けて、導電パターン形成基板を得た。
次いで、外形線が中央に位置するように導電パターン形成基板を１４０ｍｍ×９０ｍｍの短冊状に切り出して、試験片を作成した。この試験片を用いて、帯電防止性能を静電気減衰測定機により測定したところ、５０００Ｖの電圧を印加した後、電圧が５０％になるまでの減衰時間が０．３秒であり、１％になるまでの減衰時間は３０秒であった。
[Example 2]
Pulsed laser light is applied under the same irradiation conditions as in Example 1 so that a grid-like insulating pattern 16 (see FIG. 7) with an interval of 5 mm is formed in a range of 200 mm × 200 mm outside the outline 14a. Irradiated. Moreover, it printed similarly to Example 1 and provided the connector part, and obtained the conductive pattern formation board | substrate.
Next, the conductive pattern forming substrate was cut into a strip shape of 140 mm × 90 mm so that the outer shape line was located at the center, thereby preparing a test piece. Using this test piece, the antistatic performance was measured by an electrostatic attenuation measuring machine. After applying a voltage of 5000 V, the decay time until the voltage reached 50% was 0.3 seconds, which was 1%. The decay time until 30 seconds was 30 seconds.
［比較例１］
外形線、位置決めマーク、配線引き出し線、コネクタ部引き出し線および組立基準線にレーザ光を再照射しなかったこと以外は実施例１と同様にして、導電パターン形成基板を得た。
比較例１の導電パターン形成基板についても実施例１と同様にコネクタ部を設けたが、外形線、位置決めマーク、配線引き出し線、コネクタ部引き出し線および組立基準線が視認不能であるため、導電パターン形成基板を位置決めできず、コネクタ部の印刷以降の工程を適用することができなかった。そのため、既存のＩＴＯ導電膜のレーザ加工品に使用する画像認識装置を用いて、外形線、位置決めマーク、配線引き出し線、コネクタ部引き出し線および組立基準線を検出しようとしたが、検出不能であった。
[Comparative Example 1]
A conductive pattern forming substrate was obtained in the same manner as in Example 1 except that the external line, positioning mark, wiring lead line, connector part lead line and assembly reference line were not re-irradiated with laser light.
The conductive pattern forming substrate of Comparative Example 1 was also provided with a connector portion as in Example 1. However, since the outline, positioning mark, wiring lead wire, connector lead wire and assembly reference line were not visible, the conductive pattern The formation substrate could not be positioned, and the processes after the printing of the connector portion could not be applied. For this reason, it was attempted to detect the outline, positioning mark, wiring lead wire, connector lead wire, and assembly reference line using an image recognition device used for a laser processed product of an existing ITO conductive film. It was.
本発明の製造方法により製造された導電パターン形成基板は、タッチパネルの電極シート、プラズマディスプレイの電磁波シールド等、画像表示装置の前面に設けられる透明電極等に使用することができる。 The conductive pattern formation substrate manufactured by the manufacturing method of this invention can be used for the transparent electrode etc. which are provided in the front surface of an image display apparatus, such as an electrode sheet of a touch panel, and an electromagnetic wave shield of a plasma display.
１０ 導電パターン形成基板
１１ 透明絶縁基板
１２ 導電パターン
１２ａ 透明導電部
１３ 絶縁部（第１の絶縁部）
１４ 絶縁部（第２の絶縁部）
１４ａ 外形線
１４ｂ 位置決めマーク
１４ｃ 配線引き出し線
１４ｄ コネクタ部引き出し線
１４ｅ 組立基準線
１５ コネクタ部
ａ 透明導電層
Ａ 導電性基板
α 入力エリア
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Conductive pattern formation board | substrate 11 Transparent insulation board | substrate 12 Conductive pattern 12a Transparent conductive part 13 Insulation part (1st insulation part)
14 Insulating part (second insulating part)
14a Outline line 14b Positioning mark 14c Wiring lead line 14d Connector part lead line 14e Assembly reference line 15 Connector part a Transparent conductive layer A Conductive substrate α Input area
Claims (6)
前記絶縁部の一部にパルス状レーザ光を再照射する再照射工程とを有することを特徴とする導電パターン形成基板の製造方法。 A conductive pattern forming step of forming an insulating portion by irradiating a transparent conductive layer provided on the transparent insulating substrate with a pulsed laser beam in a predetermined pattern to form at least a conductive pattern;
And a re-irradiation step of re-irradiating a part of the insulating portion with a pulsed laser beam.
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