JP2012128445A - Light emitting device and electronic device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce influence of capacitance parasitic on each part of a light emitting device.SOLUTION: A unit element P comprises: a light emitting element E in which a light emitting layer 23 intervenes between a first electrode 21 and a second electrode 22; a driving transistor Tdr for controlling the amount of electric current supplied to the light emitting element E; a capacitance element C1 electrically connected to a gate electrode of the driving transistor Tdr; a selection transistor Tsl for setting potential of the gate electrode of the driving transistor Tdr in accordance with data signals; and an initializing transistor Tint for controlling connection between the gate electrode of the driving transistor Tdr and a drain electrode. The first electrode 21 overlaps the capacitance element C1 and, on the one hand, the first electrode 21 does not overlap the selection transistor Tsl or the initializing transistor Tint.

Description

本発明は、有機EL(ElectroLuminescent)材料などの発光材料を利用した発光装置の構造に関する。   The present invention relates to a structure of a light emitting device using a light emitting material such as an organic EL (ElectroLuminescent) material.

発光素子に供給される電流量を制御するためのトランジスタが発光素子ごとに設置されたアクティブマトリクス方式の発光装置が従来から提案されている(例えば特許文献1)。この種の発光装置においては、例えば開口率(発光素子が配列された領域のうち各発光素子からの放射光が実際に出射する領域の割合)の向上のために、トランジスタおよび発光素子の各層や、各々を電気的に接続するための配線が基板上に積層される。   An active matrix light-emitting device in which a transistor for controlling the amount of current supplied to the light-emitting element is provided for each light-emitting element has been proposed (for example, Patent Document 1). In this type of light-emitting device, for example, in order to improve the aperture ratio (the ratio of the region where light emitted from each light-emitting element is actually emitted out of the region where the light-emitting elements are arranged) , Wirings for electrically connecting each of them are stacked on the substrate.

特開2004−119219号公報JP 2004-119219 A

しかしながら、以上のように各要素が積層された構成においては、相互に近接する各要素が容量的に結合する(すなわち各要素間に容量が寄生する)。そして、例えば各部の寄生容量に起因して各種の信号の波形が鈍化すると、発光素子の高精度な制御が阻害される場合がある。以上のような事情を背景として、本発明のひとつの形態は、発光装置の各部に寄生する容量の影響を低減するという課題の解決を目的としている。   However, in the configuration in which the elements are stacked as described above, the elements adjacent to each other are capacitively coupled (that is, capacitance is parasitic between the elements). For example, when the waveforms of various signals become dull due to the parasitic capacitance of each part, high-precision control of the light-emitting element may be hindered. In the background as described above, one embodiment of the present invention aims to solve the problem of reducing the influence of capacitance parasitic on each part of a light emitting device.

本発明の第1の態様は、第1電極と第2電極との間に発光層が介在する発光素子と、前記発光素子に供給される電流量を制御する駆動トランジスタと、前記駆動トランジスタのゲート電極に電気的に接続された容量素子(例えば図2の容量素子C1や図21または図32の容量素子C2)とを具備し、前記第1電極は、前記容量素子と重なり合うことを特徴とする。
この態様においては、容量素子と重なり合うように第1電極が形成されるから、発光素子の制御に利用される各種のスイッチング素子と重なり合うように第1電極を形成しなくても、第1電極の面積は容易に確保される。したがって、第1電極の面積を充分に確保しながら、第1電極とスイッチング素子との間に寄生する容量を低減すること(さらには寄生容量に起因したスイッチング動作の遅延を防止すること)ができる。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a light emitting element having a light emitting layer interposed between a first electrode and a second electrode, a drive transistor for controlling an amount of current supplied to the light emitting element, and a gate of the drive transistor. And a capacitive element electrically connected to the electrode (for example, the capacitive element C1 of FIG. 2 or the capacitive element C2 of FIG. 21 or FIG. 32), wherein the first electrode overlaps the capacitive element. .
In this aspect, since the first electrode is formed so as to overlap with the capacitor element, the first electrode can be formed without forming the first electrode so as to overlap with various switching elements used for controlling the light emitting element. The area is easily secured. Therefore, it is possible to reduce the parasitic capacitance between the first electrode and the switching element (and prevent delay of the switching operation due to the parasitic capacitance) while sufficiently securing the area of the first electrode. .

例えば、選択信号に応じてオン状態またはオフ状態となる選択トランジスタ(例えば図2や図21の選択トランジスタTs1)が設置され、前記駆動トランジスタのゲート電極が、オン状態となった前記選択トランジスタを介してデータ線から供給されるデータ信号に応じた電位に設定される構成においては、前記選択トランジスタと重なり合わないように前記第1電極が形成される。この態様によれば、第1電極と選択トランジスタとの間の寄生容量が低減されるから、選択トランジスタを迅速に(すなわち寄生容量に起因した遅延を発生させることなく)動作させることが可能である。
また、初期化信号に応じてオン状態またはオフ状態となる初期化トランジスタ(例えば図2の初期化トランジスタTint)が設置され、前記駆動トランジスタのゲート電極とドレインとが、オン状態となった前記初期化トランジスタを介して電気的に接続される構成においては、前記初期化トランジスタと重なり合わないように前記第1電極が形成される。この態様によれば、第1電極と初期化トランジスタとの間の寄生容量が低減されるから、初期化トランジスタを迅速に動作させることが可能である。なお、初期化トランジスタを介して電気的に接続された駆動トランジスタのゲート電極は、この駆動トランジスタの閾値電圧に応じた電位に設定される。したがって、駆動トランジスタの閾値電圧の誤差を補償することが可能である。
For example, a selection transistor (for example, the selection transistor Ts1 in FIGS. 2 and 21) that is turned on or off according to a selection signal is provided, and the gate electrode of the drive transistor is connected to the selection transistor that is turned on. In the configuration in which the potential is set according to the data signal supplied from the data line, the first electrode is formed so as not to overlap with the selection transistor. According to this aspect, since the parasitic capacitance between the first electrode and the selection transistor is reduced, the selection transistor can be operated quickly (that is, without causing a delay due to the parasitic capacitance). .
Further, an initialization transistor (for example, the initialization transistor Tint in FIG. 2) that is turned on or off in response to the initialization signal is provided, and the gate electrode and the drain of the driving transistor are turned on. In the configuration in which the first electrodes are formed so as not to overlap with the initialization transistor, the first electrode is formed so as to be electrically connected via the initialization transistor. According to this aspect, since the parasitic capacitance between the first electrode and the initialization transistor is reduced, the initialization transistor can be operated quickly. Note that the gate electrode of the driving transistor electrically connected via the initialization transistor is set to a potential corresponding to the threshold voltage of the driving transistor. Therefore, it is possible to compensate for an error in the threshold voltage of the driving transistor.

なお、容量素子は、典型的には駆動トランジスタのゲート電極の電位を設定または保持するために利用される。例えば、ひとつの態様における容量素子(例えば図2の容量素子C1)は、駆動トランジスタのゲート電極とデータ線との間に介在する。この構成においては、容量素子における容量カップリングによって、駆動トランジスタのゲート電極がデータ線の電位の変動量に応じた電位に設定される。また、その他の態様における容量素子(例えば図21や図32の容量素子C2)は、駆動トランジスタのゲート電極と定電位が供給される配線(例えば電源線)との間に介在する。この構成においては、データ線から駆動トランジスタのゲート電極に供給された電位が容量素子に保持される。   Note that the capacitor element is typically used for setting or holding the potential of the gate electrode of the driving transistor. For example, the capacitive element (for example, the capacitive element C1 in FIG. 2) in one embodiment is interposed between the gate electrode of the driving transistor and the data line. In this configuration, the gate electrode of the drive transistor is set to a potential corresponding to the amount of variation in the potential of the data line by capacitive coupling in the capacitive element. Further, the capacitive element (for example, the capacitive element C2 in FIGS. 21 and 32) in other modes is interposed between the gate electrode of the driving transistor and a wiring (for example, a power supply line) to which a constant potential is supplied. In this configuration, the potential supplied from the data line to the gate electrode of the driving transistor is held in the capacitor element.

本発明の第2の態様は、所定の電位が供給される給電線(例えば図2や図21の電源線15)と、第1電極と第2電極との間に発光層が介在する発光素子と、前記給電線から前記発光素子に供給される電流量を制御する駆動トランジスタとを具備し、前記給電線は、前記第1電極と前記駆動トランジスタとの間に介在する部分を含むことを特徴とする。なお、給電線の典型例は、電源電位を供給するための電源線である。
この態様によれば、第1電極と駆動トランジスタとの間に給電線が介在するから、第1電極と駆動トランジスタとの間に導電体が介在しない構成と比較して、両者の容量的な結合は抑制される。したがって、第1電極および駆動トランジスタの一方における電位の変動が他方の電位に与える影響を低減することができる。
The second aspect of the present invention is a light emitting device in which a light emitting layer is interposed between a power supply line (for example, the power supply line 15 in FIG. 2 or FIG. 21) to which a predetermined potential is supplied and a first electrode and a second electrode. And a drive transistor for controlling the amount of current supplied from the power supply line to the light emitting element, wherein the power supply line includes a portion interposed between the first electrode and the drive transistor. And A typical example of the power supply line is a power supply line for supplying a power supply potential.
According to this aspect, since the power supply line is interposed between the first electrode and the driving transistor, the capacitive coupling between the first electrode and the driving transistor is compared with the configuration in which no conductor is interposed between the first electrode and the driving transistor. Is suppressed. Therefore, it is possible to reduce the influence of the potential fluctuation in one of the first electrode and the driving transistor on the other potential.

本発明の第3の態様は、データ信号が供給されるデータ線と、所定の電位が供給される給電線と、第1電極と第2電極との間に発光層が介在する発光素子と、前記給電線から前記発光素子に供給される電流量をデータ信号に応じて制御する駆動トランジスタとを具備し、前記給電線は、前記第1電極と前記データ線との間に介在する部分を含む。
この態様によれば、第1電極とデータ線との間に給電線が介在するから、第1電極とデータ線との間に導電体が介在しない構成と比較して、両者の容量的な容量的な結合は抑制される。したがって、第1電極およびデータ線の一方における電位の変動が他方の電位に与える影響を低減することができる。
According to a third aspect of the present invention, a data line to which a data signal is supplied, a power supply line to which a predetermined potential is supplied, a light emitting element in which a light emitting layer is interposed between the first electrode and the second electrode, A drive transistor that controls the amount of current supplied from the power supply line to the light emitting element according to a data signal, and the power supply line includes a portion interposed between the first electrode and the data line. .
According to this aspect, since the power supply line is interposed between the first electrode and the data line, the capacitive capacity of both is compared with the configuration in which the conductor is not interposed between the first electrode and the data line. Binding is suppressed. Therefore, it is possible to reduce the influence of the potential fluctuation in one of the first electrode and the data line on the other potential.

本発明の第4の態様は、データ信号が供給されるデータ線と、第1電極と第2電極との間に発光層が介在する発光素子と、前記発光素子に供給される電流量をデータ信号に応じて制御する駆動トランジスタとを具備し、前記第1電極は、前記データ線を被覆する絶縁層(例えば図11の第1絶縁層L1や第2絶縁層L2)の面上に形成された光反射性の電極であり、その外周縁が前記データ線と重なり合うことを特徴とする。
この態様によれば、データ線の膜厚を反映した段差を絶縁層の表面に形成することによって、第1電極の外周縁の近傍に傾斜面(例えば図11の傾斜面211)を形成することができる。そして、発光層からの出射光をこの傾斜面で反射させることで光の利用効率を向上することが可能である。
According to a fourth aspect of the present invention, a data line to which a data signal is supplied, a light emitting element in which a light emitting layer is interposed between the first electrode and the second electrode, and an amount of current supplied to the light emitting element are stored. And the first electrode is formed on a surface of an insulating layer (for example, the first insulating layer L1 or the second insulating layer L2 in FIG. 11) that covers the data line. The light reflecting electrode is characterized in that its outer peripheral edge overlaps the data line.
According to this aspect, the inclined surface (for example, the inclined surface 211 in FIG. 11) is formed in the vicinity of the outer peripheral edge of the first electrode by forming a step reflecting the thickness of the data line on the surface of the insulating layer. Can do. The light utilization efficiency can be improved by reflecting the light emitted from the light emitting layer on the inclined surface.

本発明の第5の態様は、第1電極と第2電極との間に発光層が介在する発光素子と、前記発光素子に供給される電流量を制御する駆動トランジスタと、前記駆動トランジスタのゲート電極に電気的に接続された容量素子と、前記第2電極よりも抵抗率が低い材料で形成されて前記第2電極に導通する補助配線(例えば図3や図12や図22における補助配線27)とを具備し、前記補助配線は、前記駆動トランジスタおよび前記容量素子とは重なり合わないことを特徴とする。
この態様によれば、駆動トランジスタおよび容量素子とは重なり合わないように補助配線が形成されるから、補助配線と駆動トランジスタとの間や補助配線と容量素子との間に寄生する容量が削減される。したがって、補助配線および駆動トランジスタ(または容量素子)の一方における電位の変動が他方の電位に与える影響を低減することができる。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a light emitting element having a light emitting layer interposed between a first electrode and a second electrode, a driving transistor for controlling an amount of current supplied to the light emitting element, and a gate of the driving transistor. A capacitive element electrically connected to the electrode and an auxiliary wiring formed of a material having a lower resistivity than the second electrode and conducting to the second electrode (for example, the auxiliary wiring 27 in FIGS. 3, 12, and 22) ), And the auxiliary wiring does not overlap the driving transistor and the capacitor.
According to this aspect, since the auxiliary wiring is formed so as not to overlap the driving transistor and the capacitive element, the parasitic capacitance between the auxiliary wiring and the driving transistor and between the auxiliary wiring and the capacitive element is reduced. The Therefore, it is possible to reduce the influence of the potential fluctuation in one of the auxiliary wiring and the driving transistor (or the capacitor) on the other potential.

第5の態様に係る発光装置においては、例えば、選択信号に応じてオン状態またはオフ状態となる選択トランジスタと、前記選択トランジスタに重なり合うとともに開口部(図4の開口部251)が形成された絶縁層(例えば図4の隔壁25)とが設置され、駆動トランジスタは、オン状態となった前記選択トランジスタを介してデータ線から供給されるデータ信号に応じて前記発光素子への電流量を制御する。この態様においては、補助配線が絶縁層の上方に形成された構成も好適である。この態様によれば、補助配線と選択トランジスタとの間に絶縁層が介在するから、選択トランジスタと補助配線との容量的な結合を抑制することができる。発光素子が発光する開口部や電源線を配置する領域を広く確保するため、選択トランジスタは、補助配線と重なり合うことが望ましい。
また、例えば、初期化信号に応じてオン状態またはオフ状態となる初期化トランジスタと、前記初期化トランジスタに重なり合うとともに開口部が形成された絶縁層とが設置された構成においても、補助配線は絶縁層の上方に形成され得る。この態様によれば、補助配線と初期化トランジスタとの容量的な結合を抑制することができる。発光素子が発光する開口部や電源線を配置する領域を広く確保するため、初期化トランジスタは、補助配線と重なり合うことが望ましい。
In the light emitting device according to the fifth aspect, for example, an insulation in which a selection transistor that is turned on or off in response to a selection signal and an opening (opening 251 in FIG. 4) that overlaps the selection transistor and is formed are formed. And a driving transistor controls the amount of current to the light emitting element according to a data signal supplied from a data line through the selection transistor that is turned on. . In this aspect, a configuration in which the auxiliary wiring is formed above the insulating layer is also preferable. According to this aspect, since the insulating layer is interposed between the auxiliary wiring and the selection transistor, capacitive coupling between the selection transistor and the auxiliary wiring can be suppressed. In order to secure a wide area for arranging an opening for emitting light from the light emitting element and a power supply line, the selection transistor desirably overlaps with the auxiliary wiring.
Further, for example, even in a configuration in which an initialization transistor that is turned on or off in response to an initialization signal and an insulating layer that overlaps with the initialization transistor and has an opening are provided, the auxiliary wiring is insulated. It can be formed above the layer. According to this aspect, capacitive coupling between the auxiliary wiring and the initialization transistor can be suppressed. In order to secure a wide area for arranging an opening for emitting light from the light emitting element and a power supply line, the initialization transistor preferably overlaps with the auxiliary wiring.

本発明の第6の態様に係る発光装置は、第1方向(例えば図18〜図20や図28〜図30におけるX方向)に延在する複数の制御線と、前記第1方向とは異なる第2方向(例えば図18〜図20や図28〜図30におけるY方向)に延在して前記複数の制御線と交差するデータ線と、前記複数の制御線と前記データ線との交差に対応した位置に各々が配置されて前記第2方向に配列する複数の単位素子とを具備する。
前記複数の単位素子の各々は、第1電極と第2電極との間に発光層が介在する発光素子と、前記データ線に供給される信号に応じてゲート電極の電位が設定されることで、前記発光素子に供給される電流量を制御する駆動トランジスタと、前記駆動トランジスタのゲート電極に対する所定の電位の供給の可否または前記発光素子に対する電流の供給の可否を、前記複数の制御線のうち当該単位素子に対応した制御線に供給される信号に応じて制御する制御トランジスタとを含む。駆動トランジスタのゲート電極に対する所定の電位の供給の可否を制御する制御トランジスタとは、例えば図2の選択トランジスタTs1や初期化トランジスタTintである。また、前記発光素子に対する電流の供給の可否を制御する制御トランジスタとは、例えば図31の発光制御トランジスタTcntである。したがって、本態様における制御線とは、例えば図2における選択線11や初期化線12、または図31における発光制御線14に相当する。
以上の構成のもとで、前記複数の単位素子のうち第1の単位素子(例えば図18〜図20や図28〜図30における第i行目の単位素子P)においては、前記制御トランジスタと前記制御線とが前記駆動トランジスタからみて前記第2方向における一方の側に位置し、前記複数の単位素子のうち前記第2方向における一方の側にて前記第1の単位素子に隣接する第2の単位素子(例えば第(i−1)行目の単位素子P)と、前記第2方向における他方の側にて前記第1の単位素子に隣接する第3の単位素子(例えば第(i+1)行目の単位素子P)との各々においては、前記制御トランジスタと前記制御線とが前記駆動トランジスタからみて前記第2方向における他方の側に位置する。そして、前記データ線は、前記複数の制御線と同層から形成されて前記第2方向に配列する複数の第1データ線部と、前記複数の制御線を被覆する絶縁層の面上に形成されて前記各第1データ線部を電気的に接続する第2データ線部とを含み、前記第1データ線部は、前記第1の単位素子と前記第3の単位素子とにわたって連続し、前記第2データ線部は、前記第1の単位素子に対応した前記制御線と前記第2の単位素子に対応した前記制御線とに交差する。
The light emitting device according to the sixth aspect of the present invention is different from the first direction in a plurality of control lines extending in a first direction (for example, the X direction in FIGS. 18 to 20 and FIGS. 28 to 30). A data line that extends in a second direction (for example, the Y direction in FIGS. 18 to 20 and FIGS. 28 to 30) and intersects the plurality of control lines, and intersects the plurality of control lines and the data lines. And a plurality of unit elements arranged in corresponding directions and arranged in the second direction.
Each of the plurality of unit elements has a light emitting element in which a light emitting layer is interposed between a first electrode and a second electrode, and a potential of a gate electrode is set according to a signal supplied to the data line. A drive transistor that controls the amount of current supplied to the light emitting element, and whether or not a predetermined potential can be supplied to the gate electrode of the drive transistor or whether or not current can be supplied to the light emitting element among the plurality of control lines. And a control transistor that controls in accordance with a signal supplied to a control line corresponding to the unit element. The control transistor that controls whether or not a predetermined potential can be supplied to the gate electrode of the driving transistor is, for example, the selection transistor Ts1 or the initialization transistor Tint in FIG. Further, the control transistor that controls whether or not current can be supplied to the light emitting element is, for example, the light emission control transistor Tcnt of FIG. Therefore, the control line in this aspect corresponds to, for example, the selection line 11 and the initialization line 12 in FIG. 2, or the light emission control line 14 in FIG.
With the above configuration, in the first unit element (for example, the unit element P in the i-th row in FIGS. 18 to 20 and FIGS. 28 to 30) among the plurality of unit elements, The control line is located on one side in the second direction when viewed from the driving transistor, and is adjacent to the first unit element on one side in the second direction among the plurality of unit elements. Unit elements (for example, unit element P in the (i−1) th row) and a third unit element (for example, (i + 1) th) adjacent to the first unit element on the other side in the second direction. In each of the unit elements P) in the row, the control transistor and the control line are located on the other side in the second direction as viewed from the drive transistor. The data lines are formed on a surface of a plurality of first data line portions formed in the same layer as the plurality of control lines and arranged in the second direction, and an insulating layer covering the plurality of control lines. A second data line portion electrically connecting each of the first data line portions, the first data line portion being continuous over the first unit element and the third unit element, The second data line portion intersects the control line corresponding to the first unit element and the control line corresponding to the second unit element.

この態様によれば、第1の単位素子と第3の単位素子とにわたって連続するように第1データ線部が形成されるから、第1の単位素子と第3の単位素子との間隙には第2データ線部を形成する必要がない。なお、本発明において複数の要素が「同層から形成される」とは、共通の膜体(単層であるか複数層であるかは不問である)の選択的な除去によって複数の要素が同工程で形成されることを意味し、各要素が相互に離間しているか連続しているかは不問である。以上に説明した第6の態様の具体例は第3実施形態および第5実施形態として後述される。   According to this aspect, since the first data line portion is formed so as to be continuous over the first unit element and the third unit element, the gap between the first unit element and the third unit element is formed in the gap. There is no need to form the second data line portion. In the present invention, a plurality of elements are “formed from the same layer” means that a plurality of elements are formed by selective removal of a common film body (whether it is a single layer or a plurality of layers). It means that it is formed in the same process, and it does not matter whether each element is separated from each other or continuous. Specific examples of the sixth aspect described above will be described later as a third embodiment and a fifth embodiment.

第6の態様に係る発光装置においては、例えば、所定の電位が供給される給電線が設置され、前記駆動トランジスタは、前記給電線から前記発光素子に供給される電流量を制御し、前記給電線は、前記データ線の第2データ線部と同層から形成され、前記第1データ線部のうち前記第1の単位素子と前記第3の単位素子との間隙に位置する部分(例えば図29の連結部153)を含む。この態様によれば、第1の単位素子と第3の単位素子との間隙に位置する部分を含むから、給電線を低抵抗化することが可能である。
さらに好適な態様においては、前記第2電極よりも抵抗率が低い材料で形成されて前記第2電極に導通する補助配線が設置され、前記補助配線は、前記第1の単位素子の前記制御トランジスタおよび前記制御線と前記第2の単位素子の前記制御トランジスタおよび前記制御線とに重なり合うように形成され、前記第1の単位素子と前記第3の単位素子との間隙には形成されない。この態様によれば、単位素子ごとに独立に補助配線が形成される構成と比較して、第1の単位素子と第2の単位素子との間に形成される補助配線の線幅を拡大することが可能である。この構成においては補助配線の形成に高い精度は要求されないから、低廉な方法によって補助配線を形成することができる。また、発光装置に形成する補助配線の本数が少ないため、補助配線を形成する際に、各々の補助配線と他の構成要素との間に設けられるマージン領域を少なくすることができる。したがって、補助配線を形成するための領域あるいは発光素子が発光する領域を広くすることができる。
In the light emitting device according to the sixth aspect, for example, a power supply line to which a predetermined potential is supplied is installed, and the drive transistor controls the amount of current supplied from the power supply line to the light emitting element, and The electric wire is formed from the same layer as the second data line portion of the data line, and a portion of the first data line portion located in the gap between the first unit element and the third unit element (for example, FIG. 29 connecting portions 153). According to this aspect, since the portion located in the gap between the first unit element and the third unit element is included, the resistance of the feeder line can be reduced.
In a more preferred aspect, an auxiliary wiring formed of a material having a lower resistivity than the second electrode and connected to the second electrode is provided, and the auxiliary wiring is the control transistor of the first unit element. The control line is formed so as to overlap the control transistor and the control line of the second unit element, and is not formed in the gap between the first unit element and the third unit element. According to this aspect, the line width of the auxiliary wiring formed between the first unit element and the second unit element is increased as compared with the configuration in which the auxiliary wiring is formed independently for each unit element. It is possible. In this configuration, since high accuracy is not required for forming the auxiliary wiring, the auxiliary wiring can be formed by an inexpensive method. In addition, since the number of auxiliary wirings formed in the light-emitting device is small, a margin area provided between each auxiliary wiring and another component can be reduced when forming the auxiliary wiring. Therefore, a region for forming the auxiliary wiring or a region where the light emitting element emits light can be widened.

本発明に係る発光装置は各種の電子機器に利用される。この電子機器の典型例は、発光装置を表示装置として利用した機器である。この種の電子機器としては、パーソナルコンピュータや携帯電話機などがある。もっとも、本発明に係る発光装置の用途は画像の表示に限定されない。例えば、光線の照射によって感光体ドラムなどの像担持体に潜像を形成するための露光装置(露光ヘッド)、液晶装置の背面側に配置されてこれを照明する装置(バックライト)、あるいは、スキャナなどの画像読取装置に搭載されて原稿を照明する装置など各種の照明装置など、様々な用途に本発明の発光装置を適用することができる。   The light emitting device according to the present invention is used in various electronic devices. A typical example of this electronic device is a device that uses a light emitting device as a display device. Examples of this type of electronic device include a personal computer and a mobile phone. However, the use of the light emitting device according to the present invention is not limited to image display. For example, an exposure device (exposure head) for forming a latent image on an image carrier such as a photosensitive drum by irradiation of light, a device (backlight) that is arranged on the back side of the liquid crystal device and illuminates it, or The light emitting device of the present invention can be applied to various uses such as various illumination devices such as a device that illuminates a document by being mounted on an image reading device such as a scanner.

第1実施形態の発光装置における複数の単位素子の配列を示すブロック図。The block diagram which shows the arrangement | sequence of the several unit element in the light-emitting device of 1st Embodiment. 各単位素子の電気的な構成を示す回路図。The circuit diagram which shows the electric constitution of each unit element. 第1実施形態における単位素子の構成を示す平面図。The top view which shows the structure of the unit element in 1st Embodiment. 図3におけるIV−IV線からみた断面図。Sectional drawing seen from the IV-IV line in FIG. ゲート絶縁層が形成された段階を示す平面図。The top view which shows the step in which the gate insulating layer was formed. 第1絶縁層が形成された段階を示す平面図。The top view which shows the step in which the 1st insulating layer was formed. 第2絶縁層が形成された段階を示す平面図。The top view which shows the step in which the 2nd insulating layer was formed. 第1絶縁層が形成された段階にある複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element in the step in which the 1st insulating layer was formed. 第2絶縁層が形成された段階にある複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element in the step in which the 2nd insulating layer was formed. 第2電極が形成された段階にある複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element in the step in which the 2nd electrode was formed. 図3におけるXI−XI線からみた断面図。Sectional drawing seen from the XI-XI line in FIG. 第2実施形態における単位素子の構成を示す平面図。The top view which shows the structure of the unit element in 2nd Embodiment. ゲート絶縁層が形成された段階を示す平面図。The top view which shows the step in which the gate insulating layer was formed. 第1絶縁層が形成された段階を示す平面図。The top view which shows the step in which the 1st insulating layer was formed. 第2絶縁層が形成された段階を示す平面図。The top view which shows the step in which the 2nd insulating layer was formed. 第2絶縁層が形成された段階にある複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element in the step in which the 2nd insulating layer was formed. 第2電極が形成された段階にある複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element in the step in which the 2nd electrode was formed. 第3実施形態で第1絶縁層が形成された段階の複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element of the step in which the 1st insulating layer was formed in 3rd Embodiment. 第2絶縁層が形成された段階の単位素子を示す平面図。The top view which shows the unit element of the step in which the 2nd insulating layer was formed. 第2電極が形成された段階の単位素子を示す平面図。The top view which shows the unit element of the step in which the 2nd electrode was formed. 第4実施形態における各単位素子の電気的な構成を示す回路図。The circuit diagram which shows the electric constitution of each unit element in 4th Embodiment. ひとつの単位素子の構成を示す平面図。The top view which shows the structure of one unit element. ゲート絶縁層が形成された段階を示す平面図。The top view which shows the step in which the gate insulating layer was formed. 第1絶縁層が形成された段階を示す平面図。The top view which shows the step in which the 1st insulating layer was formed. 第2絶縁層が形成された段階を示す平面図。The top view which shows the step in which the 2nd insulating layer was formed. 第2絶縁層が形成された段階にある複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element in the step in which the 2nd insulating layer was formed. 第2電極が形成された段階にある複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element in the step in which the 2nd electrode was formed. 第5実施形態で第1絶縁層が形成された段階の複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element of the step in which the 1st insulating layer was formed in 5th Embodiment. 第2絶縁層が形成された段階の複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element of the step in which the 2nd insulating layer was formed. 第2電極が形成された段階の複数の単位素子を示す平面図。The top view which shows the several unit element of the step in which the 2nd electrode was formed. 変形例に係る単位素子の構成を示す回路図。The circuit diagram which shows the structure of the unit element which concerns on a modification. 変形例に係る単位素子の構成を示す回路図。The circuit diagram which shows the structure of the unit element which concerns on a modification. 本発明に係る電子機器の具体例であるパーソナルコンピュータの斜視図。1 is a perspective view of a personal computer that is a specific example of an electronic apparatus according to the invention. 本発明に係る電子機器の具体例である携帯電話機の斜視図。FIG. 10 is a perspective view of a mobile phone that is a specific example of the electronic apparatus according to the invention. 本発明に係る電子機器の具体例である携帯型情報端末の斜視図。FIG. 14 is a perspective view of a portable information terminal that is a specific example of the electronic apparatus according to the invention.

<A:第1実施形態>
<A−1:発光装置の電気的な構成>
図1は、本発明の第1実施形態に係る発光装置Dの電気的な構成を示すブロック図である。同図に示すように、発光装置Dは、複数の選択線11と複数の初期化線12と複数のデータ線13とを有する。各選択線11および各初期化線12はX方向に延在する。各データ線13はX方向に直交するY方向に延在する。選択線11および初期化線12の各対とデータ線13との各交差には単位素子(画素)Pが配置される。したがって、これらの単位素子PはX方向およびY方向にわたってマトリクス状に配列する。ひとつの単位素子Pは発光の最小の単位となる要素である。各単位素子Pには電源線15を介して高位側の電源電位Vddが供給される。
<A: First Embodiment>
<A-1: Electrical configuration of light emitting device>
FIG. 1 is a block diagram showing an electrical configuration of a light emitting device D according to the first embodiment of the present invention. As shown in the figure, the light emitting device D includes a plurality of selection lines 11, a plurality of initialization lines 12, and a plurality of data lines 13. Each selection line 11 and each initialization line 12 extend in the X direction. Each data line 13 extends in the Y direction orthogonal to the X direction. A unit element (pixel) P is disposed at each intersection of each pair of the selection line 11 and the initialization line 12 and the data line 13. Therefore, these unit elements P are arranged in a matrix form in the X direction and the Y direction. One unit element P is an element which becomes a minimum unit of light emission. Each unit element P is supplied with a high-potential power supply potential Vdd via a power supply line 15.

図2は、各単位素子Pの構成を示す回路図である。同図に示すように、電源線15から接地線(接地電位Gnd)に至る経路上には発光素子Eと駆動トランジスタTdrとが配置される。発光素子Eは、有機EL材料より少なくともなる発光層23を第1電極21(陽極)と第2電極22(陰極)との間に介在させた素子である。第1電極21は、単位素子Pごとに相互に離間して形成される。第2電極22は、複数の単位素子Pにわたって連続に形成されて接地(Gnd)される。発光層23は、第1電極21から第2電極22に流れる電流量に応じた光量で発光する。   FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of each unit element P. As shown in the figure, the light emitting element E and the drive transistor Tdr are arranged on the path from the power supply line 15 to the ground line (ground potential Gnd). The light emitting element E is an element in which a light emitting layer 23 made of an organic EL material is interposed between a first electrode 21 (anode) and a second electrode 22 (cathode). The first electrodes 21 are formed so as to be separated from each other for each unit element P. The second electrode 22 is continuously formed over the plurality of unit elements P and grounded (Gnd). The light emitting layer 23 emits light with a light amount corresponding to the amount of current flowing from the first electrode 21 to the second electrode 22.

駆動トランジスタTdrは、発光素子Eに供給される電流量をゲート電極の電位(以下「ゲート電位」という)Vgに応じて制御するためのpチャネル型の薄膜トランジスタである。駆動トランジスタTdrのソース電極(S)は電源線15に接続され、そのドレイン電極(D)は発光素子Eの第1電極21に接続される。   The drive transistor Tdr is a p-channel thin film transistor for controlling the amount of current supplied to the light emitting element E according to the potential of the gate electrode (hereinafter referred to as “gate potential”) Vg. The source electrode (S) of the driving transistor Tdr is connected to the power supply line 15, and the drain electrode (D) thereof is connected to the first electrode 21 of the light emitting element E.

駆動トランジスタTdrのゲート電極とドレイン電極(発光素子Eの第1電極21)との間には、両者の電気的な接続を制御するためのnチャネル型のトランジスタ(以下では「初期化トランジスタ」という)Tintが介在する。初期化トランジスタTintのゲート電極は初期化線12に接続される。初期化線12には駆動回路(図示略)から初期化信号Sbが供給される。初期化信号Sbがアクティブレベルとなって初期化トランジスタTintがオン状態に変化すると、駆動トランジスタTdrのゲート電極とドレイン電極とが電気的に接続(ダイオード接続)される。以下では、オン状態となった初期化トランジスタTintを介して駆動トランジスタTdrのゲート電極とドレイン電極とが電気的に接続された状態を、駆動トランジスタTdrがダイオード接続された状態と称して説明する場合もある。   Between the gate electrode and the drain electrode of the drive transistor Tdr (the first electrode 21 of the light-emitting element E), an n-channel transistor (hereinafter referred to as “initialization transistor”) for controlling the electrical connection between the two. ) Tint intervenes. The gate electrode of the initialization transistor Tint is connected to the initialization line 12. An initialization signal Sb is supplied to the initialization line 12 from a drive circuit (not shown). When the initialization signal Sb becomes active level and the initialization transistor Tint is turned on, the gate electrode and the drain electrode of the drive transistor Tdr are electrically connected (diode connection). Hereinafter, a state in which the gate electrode and the drain electrode of the drive transistor Tdr are electrically connected via the initialization transistor Tint that is turned on is referred to as a state in which the drive transistor Tdr is diode-connected. There is also.

図2に示すように、単位素子Pは、電極E1と電極E2とから構成される容量素子C1を含む。電極E1は駆動トランジスタTdrのゲート電極に接続される。電極E2とデータ線13との間には、両者の電気的な接続を制御するnチャネル型のトランジスタ(以下「選択トランジスタ」という)Ts1が介在する。選択トランジスタTs1のゲート電極は選択線11に接続される。選択線11には駆動回路(図示略)から選択信号Saが供給される。なお、駆動トランジスタTdrや選択トランジスタTs1や初期化トランジスタTintの導電型は図2の例示から適宜に変更される。   As shown in FIG. 2, the unit element P includes a capacitive element C1 composed of an electrode E1 and an electrode E2. The electrode E1 is connected to the gate electrode of the drive transistor Tdr. Between the electrode E2 and the data line 13, an n-channel transistor (hereinafter referred to as “selection transistor”) Ts1 for controlling the electrical connection between the electrodes E2 and the data line 13 is interposed. The gate electrode of the selection transistor Ts1 is connected to the selection line 11. A selection signal Sa is supplied to the selection line 11 from a drive circuit (not shown). Note that the conductivity types of the drive transistor Tdr, the selection transistor Ts1, and the initialization transistor Tint are appropriately changed from the example of FIG.

次に、ひとつの単位素子Pの動作を初期化期間と書込期間と駆動期間とに区分して説明する。まず、初期化期間においては、駆動回路(図示略)からデータ線13に所定の電位Vrefが供給されるとともに選択線11の選択信号Saと初期化線12の初期化信号Sbとがアクティブレベル(ハイレベル)を維持する。したがって、容量素子C1の電極E2にはデータ線13から選択トランジスタTs1を介して電位Vrefが供給される。また、初期化トランジスタTintがオン状態に変化することで駆動トランジスタTdrがダイオード接続される。したがって、駆動トランジスタTdrのゲート電位Vgは、電源線15に供給される電源電位Vddと駆動トランジスタTdrの閾値電圧Vthとの差分値(Vg=Vdd−Vth)に収束する。   Next, the operation of one unit element P will be described by dividing it into an initialization period, a writing period, and a driving period. First, in the initialization period, a predetermined potential Vref is supplied to the data line 13 from a drive circuit (not shown), and the selection signal Sa of the selection line 11 and the initialization signal Sb of the initialization line 12 are active levels ( High level). Therefore, the potential Vref is supplied from the data line 13 to the electrode E2 of the capacitive element C1 via the selection transistor Ts1. Further, when the initialization transistor Tint is turned on, the drive transistor Tdr is diode-connected. Therefore, the gate potential Vg of the drive transistor Tdr converges to a difference value (Vg = Vdd−Vth) between the power supply potential Vdd supplied to the power supply line 15 and the threshold voltage Vth of the drive transistor Tdr.

次に、初期化期間の経過後の書込期間においては、初期化信号Sbが非アクティブレベル(ローレベル)に遷移する。したがって、初期化トランジスタTintがオフ状態に変化して駆動トランジスタTdrのダイオード接続は解除される。また、選択トランジスタTs1がオン状態に維持されたまま、データ線13から電極E2に供給される電位Vrefがデータ電位Vdataに変更される。データ電位Vdataは、単位素子Pに指定された階調に応じた電位である。   Next, in the writing period after the lapse of the initialization period, the initialization signal Sb changes to the inactive level (low level). Accordingly, the initialization transistor Tint changes to the off state, and the diode connection of the drive transistor Tdr is released. Further, the potential Vref supplied from the data line 13 to the electrode E2 is changed to the data potential Vdata while the selection transistor Ts1 is maintained in the on state. The data potential Vdata is a potential corresponding to the gradation specified for the unit element P.

駆動トランジスタTdrのゲート電極のインピーダンスは充分に高いから、電極E2が電位Vrefからデータ電位Vdataまで変化量ΔV(=Vref−Vdata)だけ
変動すると、電極E1の電位は、容量素子C1における容量カップリングによって、初期化期間にて設定された電位Vg(=Vdd−Vth)から変動する。このときの電極E1の電位の変化量は、容量素子C1とその他の寄生容量(例えば駆動トランジスタTdrのゲート容量やその他の配線に寄生する容量)との容量比に応じて定まる。より具体的には、容量素子C1の容量値を「C」として寄生容量の容量値を「Cs」とすると、電極E1の電位の変化量は「ΔV・C/(C+Cs)」と表現される。したがって、駆動トランジスタTdrのゲート電位Vgは、書込期間の終点において以下の式(1)のレベルに設定される。
Vg=Vdd−Vth−k・ΔV ……(1)
ただし、k=C/(C+Cs)
Since the impedance of the gate electrode of the driving transistor Tdr is sufficiently high, when the electrode E2 varies by the change amount ΔV (= Vref−Vdata) from the potential Vref to the data potential Vdata, the potential of the electrode E1 is capacitively coupled in the capacitive element C1. As a result, the potential changes from the potential Vg (= Vdd−Vth) set in the initialization period. The amount of change in the potential of the electrode E1 at this time is determined according to the capacitance ratio between the capacitive element C1 and other parasitic capacitance (for example, the gate capacitance of the driving transistor Tdr or the capacitance parasitic on other wiring). More specifically, when the capacitance value of the capacitive element C1 is “C” and the capacitance value of the parasitic capacitance is “Cs”, the amount of change in the potential of the electrode E1 is expressed as “ΔV · C / (C + Cs)”. . Therefore, the gate potential Vg of the drive transistor Tdr is set to the level of the following formula (1) at the end of the writing period.
Vg = Vdd−Vth−k · ΔV (1)
However, k = C / (C + Cs)

次いで、書込期間の経過後の駆動期間においては、選択信号Saが非アクティブレベルに遷移して選択トランジスタTs1がオフ状態に変化する。そして、駆動トランジスタTdrのゲート電位Vgに応じた電流が電源線15から駆動トランジスタTdrのソース電極とドレイン電極とを経由して発光素子Eに供給される。この電流の供給によって発光素子Eはデータ電位Vdataに応じた光量で発光する。   Next, in the driving period after the writing period has elapsed, the selection signal Sa transitions to an inactive level and the selection transistor Ts1 changes to an off state. Then, a current corresponding to the gate potential Vg of the drive transistor Tdr is supplied from the power supply line 15 to the light emitting element E via the source electrode and the drain electrode of the drive transistor Tdr. By supplying this current, the light emitting element E emits light with a light amount corresponding to the data potential Vdata.

いま、駆動トランジスタTdrが飽和領域で動作する場合を想定すると、駆動期間にて発光素子Eに供給される電流量Iは以下の式(2)によって表現される。ただし、式(2)における「β」は駆動トランジスタTdrの利得係数であり、「Vgs」は駆動トランジスタTdrのゲート−ソース間の電圧である。
I=(β/2)(Vgs−Vth)2 ……(2)
=(β/2)(Vdd−Vg−Vth)2
式(1)の代入によって式(2)は以下のように変形される。
I=(β/2)(k・ΔV)2
すなわち、発光素子Eに供給される電流量Iは駆動トランジスタTdrの閾値電圧Vthに依存しない。したがって、本実施形態によれば、各駆動トランジスタTdrの閾値電圧Vthのバラツキ(設計値からの相違や他の単位素子Pの駆動トランジスタTdrとの相違)に起因した発光素子Eの光量の誤差(輝度のムラ)を抑制することができる。
Assuming that the driving transistor Tdr operates in the saturation region, the amount of current I supplied to the light emitting element E in the driving period is expressed by the following equation (2). In Equation (2), “β” is the gain coefficient of the drive transistor Tdr, and “Vgs” is the gate-source voltage of the drive transistor Tdr.
I = (β / 2) (Vgs−Vth) 2 (2)
= (Β / 2) (Vdd−Vg−Vth) 2
By substituting equation (1), equation (2) is transformed as follows.
I = (β / 2) (k · ΔV) 2
That is, the amount of current I supplied to the light emitting element E does not depend on the threshold voltage Vth of the drive transistor Tdr. Therefore, according to the present embodiment, the error in the light amount of the light emitting element E (due to the variation in the threshold voltage Vth of each driving transistor Tdr (difference from the design value or the driving transistor Tdr of another unit element P)) ( (Unevenness in brightness) can be suppressed.

<A−2:単位素子Pの構造>
次に、単位素子Pの具体的な構造を説明する。図3は、ひとつの単位素子Pの構成を示す平面図であり、図4は、図3におけるIV−IV線からみた断面図である。なお、図3は平面図であるが、各要素の把握を容易化するために、図4と共通する要素については適宜に図4と同態様のハッチングが施されている。以下で参照する他の平面図についても同様である。また、以下で参照する各図面においては、説明の便宜のために、各要素の寸法や比率を実際の装置から適宜に異ならせてある。
<A-2: Structure of unit element P>
Next, a specific structure of the unit element P will be described. 3 is a plan view showing a configuration of one unit element P, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. Although FIG. 3 is a plan view, elements that are the same as those in FIG. 4 are appropriately hatched in the same manner as in FIG. The same applies to other plan views referred to below. In the drawings referred to below, the dimensions and ratios of the elements are appropriately changed from actual devices for the convenience of explanation.

図4に示すように、駆動トランジスタTdrや発光素子Eといった図2の各要素は基板10の面上に形成される。基板10は、ガラスやプラスチックなど各種の絶縁性材料より少なくともなる板状の部材である。なお、基板10を覆う絶縁性の膜体(例えば酸化珪素や窒化珪素の膜体)を下地として基板10の面上に単位素子Pの各要素を形成してもよい。また、本実施形態の発光装置Dはトップエミッション型である。したがって、基板10に光透過性は要求されない。   As shown in FIG. 4, each element of FIG. 2 such as the drive transistor Tdr and the light emitting element E is formed on the surface of the substrate 10. The substrate 10 is a plate-like member made of at least various insulating materials such as glass and plastic. Each element of the unit element P may be formed on the surface of the substrate 10 with an insulating film covering the substrate 10 (for example, a film of silicon oxide or silicon nitride) as a base. Further, the light emitting device D of the present embodiment is a top emission type. Therefore, the substrate 10 is not required to have optical transparency.

図5ないし図7は、単位素子Pが形成される各段階における基板10の面上の様子を示す平面図である。なお、図5ないし図7においては、図3に図示された第1電極21が形成されるべき領域Aが二点鎖線によって併記されている。   5 to 7 are plan views showing a state on the surface of the substrate 10 at each stage where the unit element P is formed. 5 to 7, the region A in which the first electrode 21 shown in FIG. 3 is to be formed is also indicated by a two-dot chain line.

図4および図5に示すように、基板10の面上には、半導体層31と半導体層41とがシリコンなどの半導体材料によって形成される。半導体層31と半導体層41とは、基板10の全域にわたって連続に形成された膜体のパターニングによって同一の工程で一括的に形成される。なお、半導体層31と半導体層41との関係のように、複数の要素が共通の膜体(単層および複数層の何れであるかは不問である)の選択的な除去によって同一の工程で形成されることを以下では単に「同層から形成される」と表記する。同層から形成された各要素は当然に同一の材料からなり、各々の膜厚は略一致する。複数の要素が同層から形成される構成によれば、その各々が別層から形成される構成と比較して、製造工程の簡素化や製造コストの低減が実現されるという利点がある。   As shown in FIGS. 4 and 5, a semiconductor layer 31 and a semiconductor layer 41 are formed of a semiconductor material such as silicon on the surface of the substrate 10. The semiconductor layer 31 and the semiconductor layer 41 are collectively formed in the same process by patterning a film body formed continuously over the entire area of the substrate 10. As in the relationship between the semiconductor layer 31 and the semiconductor layer 41, a plurality of elements can be removed in the same process by selectively removing a common film body (whether it is a single layer or a plurality of layers). Hereinafter, the formation is simply referred to as “formed from the same layer”. Naturally, each element formed from the same layer is made of the same material, and the film thicknesses thereof are substantially the same. According to the configuration in which a plurality of elements are formed from the same layer, there is an advantage that the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced as compared with a configuration in which each of the elements is formed from another layer.

図4および図5に示すように、半導体層31は、第1素子部311と第2素子部312とを含む。第1素子部311は、駆動トランジスタTdrの半導体層として機能する略矩形状の部分である。第2素子部312は、初期化トランジスタTintの半導体層として機能する部分であり、第1素子部311からY方向の負側に連続する部分312aと、この部分312aからX方向の正側に延在する部分312bと、部分312bからY方向の正側に延在する部分312cとを含む。   As shown in FIGS. 4 and 5, the semiconductor layer 31 includes a first element unit 311 and a second element unit 312. The first element portion 311 is a substantially rectangular portion that functions as a semiconductor layer of the drive transistor Tdr. The second element portion 312 functions as a semiconductor layer of the initialization transistor Tint. The second element portion 312 extends from the first element portion 311 to the negative side in the Y direction and extends from the portion 312a to the positive side in the X direction. And a portion 312c extending from the portion 312b to the positive side in the Y direction.

半導体層41は、半導体層31からみてY方向の正側に配置された部分であり、図2の容量素子C1を構成する略矩形状の電極E2と、電極E2からY方向の正側に延在する素子部411とを含む。素子部411は、選択トランジスタTs1の半導体層として機能する部分である。   The semiconductor layer 41 is a portion arranged on the positive side in the Y direction when viewed from the semiconductor layer 31, and extends from the electrode E2 to the positive side in the Y direction, and the substantially rectangular electrode E2 constituting the capacitive element C1 in FIG. Existing element portion 411. The element portion 411 is a portion that functions as a semiconductor layer of the selection transistor Ts1.

図4に示すように、半導体層31と半導体層41とが形成された基板10の表面はその全域にわたってゲート絶縁層L0に覆われる。図4および図6に示すように、ゲート絶縁層L0の面上には、選択線11と初期化線12と中間導電体51と第1データ線部131とが導電性材料によって同層から形成される。   As shown in FIG. 4, the surface of the substrate 10 on which the semiconductor layer 31 and the semiconductor layer 41 are formed is covered with the gate insulating layer L0 over the entire area. As shown in FIGS. 4 and 6, on the surface of the gate insulating layer L0, the selection line 11, the initialization line 12, the intermediate conductor 51, and the first data line portion 131 are formed from the same layer by a conductive material. Is done.

選択線11は、複数の単位素子PにわたってX方向に延在して半導体層41の素子部411と重なり合う。素子部411のうちゲート絶縁層L0を挟んで選択線11に対向する領域が選択トランジスタTs1のチャネル領域である。初期化線12は、複数の単位素子PにわたってX方向に延在して半導体層31の第2素子部312と重なり合う。第2素子部312の部分312aおよび部分312cの各々のうちゲート絶縁層L0を挟んで初期化線12に対向する領域が初期化トランジスタTintのチャネル領域である。すなわち、本実施形態における初期化トランジスタTintはデュアルゲート構造のトランジスタである。   The selection line 11 extends in the X direction over the plurality of unit elements P and overlaps the element portion 411 of the semiconductor layer 41. A region facing the selection line 11 across the gate insulating layer L0 in the element portion 411 is a channel region of the selection transistor Ts1. The initialization line 12 extends in the X direction across the plurality of unit elements P and overlaps the second element portion 312 of the semiconductor layer 31. Of each of the portion 312a and the portion 312c of the second element portion 312, the region facing the initialization line 12 with the gate insulating layer L0 interposed therebetween is the channel region of the initialization transistor Tint. That is, the initialization transistor Tint in this embodiment is a dual gate transistor.

中間導電体51は、選択線11と初期化線12との間隙に形成された部分であり、電極E1とゲート電極511と連結部513とを含む。電極E1は、基板10に垂直な方向からみて半導体層41の電極E2と重なり合う略矩形状の部分である。図4および図6に示すように、ゲート絶縁層L0(誘電体)を挟んで電極E1と電極E2とが対向することによって図2の容量素子C1が構成される。   The intermediate conductor 51 is a portion formed in the gap between the selection line 11 and the initialization line 12 and includes an electrode E1, a gate electrode 511, and a connecting portion 513. The electrode E <b> 1 is a substantially rectangular portion that overlaps with the electrode E <b> 2 of the semiconductor layer 41 when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. As shown in FIGS. 4 and 6, the electrode C1 and the electrode E2 face each other with the gate insulating layer L0 (dielectric) interposed therebetween, so that the capacitive element C1 shown in FIG.

図6に示すように、連結部513は、電極E1の右上部からY方向の負側に延在する。ゲート電極511は、電極E1と間隔をあけて連結部513からX方向の負側に延在する部分であり、第1素子部311の略全幅(X方向の寸法)にわたって第1素子部311と重なり合う。図4に示すように、第1素子部311のうちゲート絶縁層L0を挟んでゲート電極511に対向する領域が駆動トランジスタTdrのチャネル領域311cである。また、第1素子部311のうちチャネル領域311cよりも電極E2側の領域(すなわち、図6のように基板10に垂直な方向からみてゲート電極511と電極E1との間隙に位置する領域)はソース領域311sであり、その反対側の領域はドレイン領域311dである。   As shown in FIG. 6, the connecting portion 513 extends from the upper right portion of the electrode E1 to the negative side in the Y direction. The gate electrode 511 is a portion that extends from the connecting portion 513 to the negative side in the X direction with a gap from the electrode E1, and the first element portion 311 extends over substantially the entire width (dimension in the X direction) of the first element portion 311. overlap. As shown in FIG. 4, the region facing the gate electrode 511 across the gate insulating layer L0 in the first element portion 311 is a channel region 311c of the drive transistor Tdr. Further, a region of the first element portion 311 closer to the electrode E2 than the channel region 311c (that is, a region located in the gap between the gate electrode 511 and the electrode E1 as viewed from the direction perpendicular to the substrate 10 as shown in FIG. 6). It is a source region 311s, and the opposite region is a drain region 311d.

第1データ線部131は、図2のデータ線13を構成する部分である。この第1データ線部131は、中間導電体51からみてX方向の負側の領域に配置され、選択線11と初期化線12との間隙にてY方向に延在する。   The first data line part 131 is a part constituting the data line 13 of FIG. The first data line portion 131 is disposed in a negative region in the X direction when viewed from the intermediate conductor 51, and extends in the Y direction at a gap between the selection line 11 and the initialization line 12.

図8は、図6の段階にある4個の単位素子PがX方向およびY方向にわたって配列する様子を示す平面図である。図6および図8に示すように、各単位素子Pにおいて、Y方向の負側の周縁に形成された第2素子部312(初期化トランジスタTint)はX方向の正側に位置し、Y方向の正側の周縁に形成された素子部411(選択トランジスタTs1)はX方向の負側に位置する。   FIG. 8 is a plan view showing a state where the four unit elements P in the stage of FIG. 6 are arranged in the X direction and the Y direction. As shown in FIGS. 6 and 8, in each unit element P, the second element portion 312 (initializing transistor Tint) formed at the peripheral edge on the negative side in the Y direction is located on the positive side in the X direction, and is in the Y direction. The element part 411 (selection transistor Ts1) formed on the peripheral edge on the positive side is located on the negative side in the X direction.

いま、第2素子部312と素子部411とが各単位素子PにおけるX方向の同じ側に配置された構成を想定する。この構成においては、第2素子部312と素子部411とを確実に離間させるために、Y方向に隣接する各単位素子Pの間隙の領域(図8の領域Bに相当する領域)を充分に確保する必要があるから、単位素子Pの高精細化が阻害されるという問題がある。これに対し、本実施形態においては、第2素子部312および素子部411のX方向における位置が相違するから、図8に示すように、第2素子部312と素子部411とは領域B内にてX方向に沿って交互に配列する。この構成によれば、領域Bを狭小化した場合であっても第2素子部312と素子部411とは確実に離間するから、単位素子Pの高精細化が容易であるという利点がある。   Now, a configuration is assumed in which the second element unit 312 and the element unit 411 are arranged on the same side in the X direction in each unit element P. In this configuration, in order to ensure the separation between the second element portion 312 and the element portion 411, a gap region (a region corresponding to the region B in FIG. 8) between the unit elements P adjacent in the Y direction is sufficiently provided. Since it is necessary to ensure, there is a problem that high definition of the unit element P is hindered. On the other hand, in the present embodiment, since the positions of the second element portion 312 and the element portion 411 in the X direction are different, the second element portion 312 and the element portion 411 are in the region B as shown in FIG. Are alternately arranged along the X direction. According to this configuration, even when the region B is narrowed, the second element portion 312 and the element portion 411 are surely separated from each other, so that there is an advantage that the high definition of the unit element P is easy.

図4に示すように、中間導電体51や第1データ線部131が形成されたゲート絶縁層L0の表面はその全域にわたって第1絶縁層L1に覆われる。図4および図7に示すように、第1絶縁層L1の面上には、接続部61と導通部71と電源線15と第2データ線部132とが導電性材料によって同層から形成される。   As shown in FIG. 4, the surface of the gate insulating layer L0 on which the intermediate conductor 51 and the first data line portion 131 are formed is covered with the first insulating layer L1 over the entire area. As shown in FIGS. 4 and 7, the connecting portion 61, the conducting portion 71, the power supply line 15, and the second data line portion 132 are formed from the same layer on the surface of the first insulating layer L1 by a conductive material. The

図7のように基板10に垂直な方向からみると、接続部61は、第2素子部312の部分312cと中間導電体51(ゲート電極511)とに重なり合う。そして、接続部61は、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通するコンタクトホールHa1を介して部分312cに導通するとともに、第1絶縁層L1を貫通するコンタクトホールHa2を介して中間導電体51に導通する。すなわち、駆動トランジスタTdrのゲート電極511(容量素子C1の電極E1)と初期化トランジスタTintのチャネル領域とは接続部61を介して電気的に接続される。なお、本明細書におけるコンタクトホールとは、絶縁層の一方の側に位置する要素と絶縁層の他方の側に位置する要素とを電気的に接続するための部分であり、より具体的には絶縁層をその厚さ方向に貫通する部分(孔や穴)である。コンタクトホールの平面的な形状は任意である。   When viewed from the direction perpendicular to the substrate 10 as shown in FIG. 7, the connecting portion 61 overlaps the portion 312 c of the second element portion 312 and the intermediate conductor 51 (gate electrode 511). The connecting portion 61 is electrically connected to the portion 312c through the contact hole Ha1 that penetrates the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0, and is intermediately conductive through the contact hole Ha2 that penetrates the first insulating layer L1. Conducted to the body 51. That is, the gate electrode 511 of the drive transistor Tdr (the electrode E1 of the capacitor C1) and the channel region of the initialization transistor Tint are electrically connected via the connection portion 61. Note that the contact hole in this specification is a portion for electrically connecting an element located on one side of the insulating layer and an element located on the other side of the insulating layer, more specifically. A portion (hole or hole) that penetrates the insulating layer in the thickness direction. The planar shape of the contact hole is arbitrary.

導通部71は、駆動トランジスタTdrと発光素子Eとの間に介在して両者を電気的に接続する部分であり、基板10に垂直な方向からみると、駆動トランジスタTdrを挟んで容量素子C1とは反対側の領域(すなわち駆動トランジスタTdrに対してY方向の負側の領域)に配置される。本実施形態の導通部71は、第1素子部311のドレイン領域311dに重なり合う部分711と、初期化線12を挟んで部分711とは反対側に位置する部分712とが連続する形状である。   The conducting portion 71 is a portion that is interposed between the driving transistor Tdr and the light emitting element E and electrically connects them. When viewed from a direction perpendicular to the substrate 10, the conducting portion 71 sandwiches the driving transistor Tdr and the capacitive element C1. Are arranged in the opposite region (that is, the negative region in the Y direction with respect to the drive transistor Tdr). The conductive portion 71 of this embodiment has a shape in which a portion 711 that overlaps the drain region 311d of the first element portion 311 and a portion 712 that is located on the opposite side of the portion 711 across the initialization line 12 are continuous.

基板10に垂直な方向からみて第1絶縁層L1のうちドレイン領域311dと重なり合う領域には、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通する複数のコンタクトホールHa3が形成される。これらのコンタクトホールHa3はゲート電極511が延在するX方向(すなわち駆動トランジスタTdrのチャネル幅の方向)に配列する。導通部71の部分711は、各コンタクトホールHa3を介してドレイン領域311dに導通する。   A plurality of contact holes Ha3 penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0 are formed in a region overlapping the drain region 311d in the first insulating layer L1 when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. These contact holes Ha3 are arranged in the X direction (that is, the channel width direction of the driving transistor Tdr) in which the gate electrode 511 extends. The portion 711 of the conducting portion 71 is conducted to the drain region 311d through each contact hole Ha3.

次に、図9は、図7の段階にある単位素子Pが配列する様子を示す平面図である。図7および図9に示すように、電源線15は、複数の単位素子Pの配列に沿ってX方向に延在する帯状の配線である。この電源線15は、基板10に垂直な方向からみて、各単位素子Pの容量素子C1と駆動トランジスタTdrのソース領域311sとの双方に重なり合う。図6および図7に示すように、第1絶縁層L1のうちソース領域311sと重なり合う領域には、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通する複数のコンタクトホールHa4が形成される。これらのコンタクトホールHa4はゲート電極511が延在するX方向に配列する。電源線15は、各コンタクトホールHa4を介して駆動トランジスタTdrのソース領域311sに導通する。本実施形態の電源線15は、基板10に垂直な方向からみて、選択トランジスタTs1(素子部411)や選択線11、および初期化トランジスタTint(第2素子部312)や初期化線12と重なり合わないように、その形状や寸法が選定されている。本実施形態において、電源線15は、選択線11や初期化線12と平行に延在している。   Next, FIG. 9 is a plan view showing a state in which the unit elements P in the stage of FIG. 7 are arranged. As shown in FIGS. 7 and 9, the power supply line 15 is a strip-like wiring extending in the X direction along the arrangement of the plurality of unit elements P. The power supply line 15 overlaps both the capacitor element C1 of each unit element P and the source region 311s of the drive transistor Tdr when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. As shown in FIGS. 6 and 7, a plurality of contact holes Ha4 penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0 are formed in a region overlapping the source region 311s in the first insulating layer L1. These contact holes Ha4 are arranged in the X direction in which the gate electrode 511 extends. The power supply line 15 is electrically connected to the source region 311s of the drive transistor Tdr through each contact hole Ha4. The power supply line 15 of the present embodiment overlaps the selection transistor Ts1 (element unit 411), the selection line 11, the initialization transistor Tint (second element unit 312), and the initialization line 12 when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. The shape and dimensions are selected so that they do not match. In the present embodiment, the power supply line 15 extends in parallel with the selection line 11 and the initialization line 12.

第2データ線部132は、第1データ線部131とともにデータ線13を構成する部分であり、図7および図9に示すように各電源線15の間隙にてY方向に延在する。図7に示すように、第2データ線部132のうちY方向の正側(下側)の端部132aは、第1データ線部131におけるY方向の負側(上側)の端部131a(図6参照)と重なり合う。端部132aと端部131aとは第1絶縁層L1を貫通するコンタクトホールHa5を介して相互に導通する。同様に、第2データ線部132のうちY方向の負側の端部132bと第1データ線部131におけるY方向の正側の端部131b(図6参照)とはコンタクトホールHa6を介して相互に導通する。以上のように、Y方向に沿って交互に配列する第1データ線部131と第2データ線部132とが電気的に接続されることによって、Y方向に直線状に延在するデータ線13が構成される。   The second data line portion 132 is a portion that constitutes the data line 13 together with the first data line portion 131, and extends in the Y direction at the gap between the power supply lines 15 as shown in FIGS. As shown in FIG. 7, the positive end (lower) end 132a in the Y direction of the second data line portion 132 is the negative end (upper) end 131a (in the Y direction of the first data line portion 131). (See FIG. 6). The end portion 132a and the end portion 131a are electrically connected to each other through a contact hole Ha5 that penetrates the first insulating layer L1. Similarly, the negative end 132b in the Y direction of the second data line portion 132 and the positive end 131b in the Y direction of the first data line portion 131 (see FIG. 6) are connected via the contact hole Ha6. Conducts with each other. As described above, the first data line portions 131 and the second data line portions 132 that are alternately arranged along the Y direction are electrically connected to each other, whereby the data lines 13 extending linearly in the Y direction. Is configured.

図7に示すように、第2データ線部132には分岐部134が連設される。分岐部134は、選択線11を挟んで容量素子C1とは反対側に位置する部分であり、X方向に延在して半導体層41の素子部411と重なり合う。この分岐部134は、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通するコンタクトホールHa7を介して素子部411に導通する。すなわち、選択トランジスタTs1とデータ線13とは分岐部134を介して電気的に接続される。   As shown in FIG. 7, a branch portion 134 is connected to the second data line portion 132. The branch part 134 is a part located on the opposite side of the capacitive element C1 across the selection line 11, extends in the X direction, and overlaps the element part 411 of the semiconductor layer 41. The branch portion 134 is electrically connected to the element portion 411 through a contact hole Ha7 that penetrates the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0. That is, the selection transistor Ts1 and the data line 13 are electrically connected via the branch part 134.

図4に示すように、第2データ線部132や電源線15が形成された第1絶縁層L1の表面はその全域にわたって第2絶縁層L2に覆われる。図3および図4に示すように、第2絶縁層L2の表面には第1電極21が形成される。第1電極21は、例えば、アルミニウムや銀などの金属またはこれらの金属を主成分とする合金など光反射性の導電性材料によって形成され、第2絶縁層L2を貫通するコンタクトホールHa8を介して導通部71の部分712に導通する。すなわち、駆動トランジスタTdrのドレイン領域311dと発光素子Eの第1電極21とは導通部71を介して電気的に接続される。また、第2絶縁層L2をアクリルやポリイミドの樹脂により形成する場合には、樹脂を熱により硬化させる工程において、熱導電性が高い電源線を介して熱が均一に樹脂へ伝わるため、樹脂が溶融する。これにより、第2絶縁層L2の表面がより平坦化されるため、その上に形成する第1電極21の凹凸を少なくすることができる。   As shown in FIG. 4, the surface of the first insulating layer L1 on which the second data line portion 132 and the power supply line 15 are formed is covered with the second insulating layer L2 over the entire area. As shown in FIGS. 3 and 4, the first electrode 21 is formed on the surface of the second insulating layer L2. The first electrode 21 is formed of, for example, a light-reflective conductive material such as a metal such as aluminum or silver or an alloy containing these metals as a main component, and via a contact hole Ha8 penetrating the second insulating layer L2. It conducts to the portion 712 of the conducting portion 71. In other words, the drain region 311 d of the drive transistor Tdr and the first electrode 21 of the light emitting element E are electrically connected via the conducting portion 71. Further, when the second insulating layer L2 is formed of an acrylic or polyimide resin, in the process of curing the resin by heat, heat is uniformly transmitted to the resin through the power supply line having high thermal conductivity. Melt. Thereby, the surface of the second insulating layer L2 is further flattened, so that the unevenness of the first electrode 21 formed thereon can be reduced.

図3や図4に示すように、第1電極21は、基板10に垂直な方向からみて導通部71や駆動トランジスタTdrや容量素子C1と重なり合う。図6や図7に示すように、単位素子Pが配置される領域のうち駆動トランジスタTdrや容量素子C1が占める面積は大きいから、本実施形態によれば第1電極21を広い範囲にわたって形成することが可能である。したがって、本実施形態においては、選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintのみと重なり合うように第1電極21が形成された構成と比較して高い開口率が実現される。また、第2絶縁層L2のうち選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintと重なり合う領域の表面にはこれらのトランジスタの外形を反映した段差が現れる場合がある。本実施形態においては、第2絶縁層L2のうち駆動トランジスタTdrや容量素子C1と重なり合う広範な平坦面に第1電極21が形成されるから、第2絶縁層L2の段差に起因した第1電極21の不良(例えば断線)や発光層23の不良を有効に防止することができる。   As shown in FIGS. 3 and 4, the first electrode 21 overlaps with the conductive portion 71, the drive transistor Tdr, and the capacitive element C <b> 1 when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. As shown in FIGS. 6 and 7, since the area occupied by the drive transistor Tdr and the capacitive element C1 is large in the region where the unit element P is arranged, according to the present embodiment, the first electrode 21 is formed over a wide range. It is possible. Therefore, in the present embodiment, a high aperture ratio is realized as compared with the configuration in which the first electrode 21 is formed so as to overlap only the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tint. In addition, a step reflecting the outer shape of these transistors may appear on the surface of the region of the second insulating layer L2 that overlaps with the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tint. In the present embodiment, since the first electrode 21 is formed on a wide flat surface that overlaps the drive transistor Tdr and the capacitive element C1 in the second insulating layer L2, the first electrode caused by the step of the second insulating layer L2 is formed. Thus, it is possible to effectively prevent 21 defects (for example, disconnection) and the light emitting layer 23.

また、電源線15は容量素子C1と駆動トランジスタTdrのソース領域311sとに重なり合うから、図4や図7に示すように、第1電極21と駆動トランジスタTdrのソース領域311s(さらには容量素子C1)との間には電源線15が介在する。この構成によれば、第1電極21と駆動トランジスタTdrとの間に電源線15が介在しない構成と比較して、第1電極21と駆動トランジスタTdrとの容量的な結合が抑制される。したがって、第1電極21および駆動トランジスタTdrの一方における電位の変化が他方の電位に与える影響が低減され、これによって各発光素子Eの正確な制御が可能となる。また、第1電極21を形成する領域において、駆動トランジスタTdrや容量素子C1を覆うように電源線15が形成されているため、第1電極21を形成する表面を平坦化することができる。   Since the power supply line 15 overlaps the capacitive element C1 and the source region 311s of the driving transistor Tdr, as shown in FIGS. 4 and 7, the first electrode 21 and the source region 311s of the driving transistor Tdr (and further the capacitive element C1). ) Is interposed between the power line 15. According to this configuration, capacitive coupling between the first electrode 21 and the drive transistor Tdr is suppressed compared to a configuration in which the power supply line 15 is not interposed between the first electrode 21 and the drive transistor Tdr. Therefore, the influence of a change in potential on one of the first electrode 21 and the driving transistor Tdr on the other potential is reduced, and thereby, each light emitting element E can be accurately controlled. Further, since the power supply line 15 is formed so as to cover the drive transistor Tdr and the capacitor C1 in the region where the first electrode 21 is formed, the surface on which the first electrode 21 is formed can be planarized.

さらに、第1電極21は、図3に示すように、基板10に垂直な方向からみるとデータ線13の第1データ線部131と重なり合う。電源線15は第1データ線部131と重なり合うから、図3や図7に示すように、第1電極21と第1データ線部131との間には電源線15が介在する。この構成によれば、第1電極21と第1データ線部131との間に電源線15が介在しない構成と比較して、第1電極21とデータ線13(第1データ線部131)との容量的な結合が抑制される。したがって、第1電極21およびデータ線13の一方における電位の変化が他方の電位に与える影響が低減され、これによって各発光素子Eの正確な制御が可能となる。   Further, as shown in FIG. 3, the first electrode 21 overlaps the first data line portion 131 of the data line 13 when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. Since the power supply line 15 overlaps with the first data line portion 131, the power supply line 15 is interposed between the first electrode 21 and the first data line portion 131 as shown in FIGS. 3 and 7. According to this configuration, the first electrode 21 and the data line 13 (first data line portion 131) are compared with the configuration in which the power supply line 15 is not interposed between the first electrode 21 and the first data line portion 131. The capacitive coupling of is suppressed. Therefore, the influence of the change in the potential on one of the first electrode 21 and the data line 13 on the other potential is reduced, thereby enabling accurate control of each light emitting element E.

第1電極21が形成された第2絶縁層L2の面上には絶縁性材料によって隔壁25が形成される。隔壁25は、第1電極21に応じて開口部251が単位素子Pごとに形成された絶縁性の膜体であり、相隣接する第1電極21を電気的に絶縁させる役割(すなわち第1電極21の電位の個別的な制御を可能とする役割)を担う。   A partition wall 25 is formed of an insulating material on the surface of the second insulating layer L2 on which the first electrode 21 is formed. The partition wall 25 is an insulating film body in which an opening 251 is formed for each unit element P in accordance with the first electrode 21, and serves to electrically insulate the adjacent first electrodes 21 (that is, the first electrodes). It plays a role of enabling individual control of the potential of 21).

発光層23は、隔壁25が形成された第2絶縁層L2の全域を被覆するように複数の単位素子Pにわたって連続に形成される。すなわち、発光層23は、開口部251の内側に入り込んで第1電極21に接触する部分(すなわち実際に発光する部分)と隔壁25の面上に位置する部分とを含む。なお、第1電極21は発光素子Eごとに個別に形成されるから、発光層23が複数の発光素子Eにわたって連続するとは言っても、発光層23の光量は発光素子Eごとに個別に制御される。また、発光層23による発光を促進または効率化するための各種の機能層(正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層、電子ブロック層)が発光層23に積層された構成としてもよい。   The light emitting layer 23 is continuously formed over the plurality of unit elements P so as to cover the entire area of the second insulating layer L2 where the partition walls 25 are formed. That is, the light emitting layer 23 includes a portion that enters the inside of the opening 251 and contacts the first electrode 21 (that is, a portion that actually emits light) and a portion that is located on the surface of the partition wall 25. In addition, since the 1st electrode 21 is formed separately for every light emitting element E, even if it says that the light emitting layer 23 continues over several light emitting elements E, the light quantity of the light emitting layer 23 is controlled separately for every light emitting element E. Is done. In addition, various functional layers (a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, an electron transport layer, a hole block layer, and an electron block layer) for promoting or increasing the efficiency of light emission by the light emitting layer 23 are light emitting layers. 23 may be laminated.

図11は、図3におけるXI−XI線からみた断面図である。図11に示すように、データ線13の第1データ線部131を被覆する各要素(第1絶縁層L1、電源線15、第2絶縁層L2)には第1データ線部131の膜厚を反映した段差が現れる。第1電極21は、このような段差が形成された第2絶縁層L2の表面に薄膜状に形成されるから、第1電極21のうちデータ線13と重なり合う部分は、第1データ線部131の形状を反映した傾斜面211となる。この構成によれば、図11に矢印Lで示すように、発光層23から基板10と平行な方向への出射光を傾斜面211にて反射させて基板10と反対側(観察側)に出射させることができる。したがって、第1電極21の全域が平坦面である構成(すなわち発光層23から基板10に平行な方向への放射光が観察側に出射しない構成)と比較して、発光層23からの放射光の利用効率を向上させることが可能である。   11 is a cross-sectional view taken along line XI-XI in FIG. As shown in FIG. 11, each element (first insulating layer L1, power supply line 15, and second insulating layer L2) covering the first data line portion 131 of the data line 13 has a film thickness of the first data line portion 131. A step that reflects Since the first electrode 21 is formed in a thin film on the surface of the second insulating layer L2 where such a step is formed, the portion of the first electrode 21 that overlaps the data line 13 is the first data line portion 131. The inclined surface 211 reflects the shape. According to this configuration, as indicated by an arrow L in FIG. 11, the light emitted from the light emitting layer 23 in the direction parallel to the substrate 10 is reflected by the inclined surface 211 and emitted to the opposite side (observation side) from the substrate 10. Can be made. Therefore, compared with the configuration in which the entire area of the first electrode 21 is a flat surface (that is, the configuration in which the emitted light in the direction parallel to the substrate 10 is not emitted from the light emitting layer 23 to the observation side), the emitted light from the light emitting layer 23. It is possible to improve the utilization efficiency.

図4に示すように、第2電極22は、複数の単位素子Pにわたって連続に形成されて発光層23および隔壁25を覆う電極である。したがって、隔壁25は、各発光素子Eの間隙の領域において各第1電極21と第2電極22とを電気的に絶縁する。換言すると、隔壁25は、第1電極21と第2電極22との間に電流が流れる領域(すなわち実際に発光する領域)を画定する。第2電極22は、ITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)といった光透過性の導電性材料によって形成される。したがって、発光層23から基板10とは反対側に出射した光と発光層23から基板10側に出射して第1電極21の表面で反射した光とは第2電極22を透過して出射する。すなわち、本実施形態の発光装置Dはトップエミッション型である。   As shown in FIG. 4, the second electrode 22 is an electrode that is formed continuously over the plurality of unit elements P and covers the light emitting layer 23 and the partition walls 25. Therefore, the partition wall 25 electrically insulates the first electrode 21 and the second electrode 22 in the gap region between the light emitting elements E. In other words, the partition wall 25 defines a region where current flows between the first electrode 21 and the second electrode 22 (that is, a region that actually emits light). The second electrode 22 is formed of a light transmissive conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide). Therefore, the light emitted from the light emitting layer 23 to the opposite side of the substrate 10 and the light emitted from the light emitting layer 23 toward the substrate 10 and reflected by the surface of the first electrode 21 are transmitted through the second electrode 22 and emitted. . That is, the light emitting device D of this embodiment is a top emission type.

ところで、光透過性の導電性材料の多くは抵抗率が高いから、この種の材料によって形成された第2電極22は高抵抗となってその面内における電圧降下が顕著となる。したがって、各発光素子Eに供給される電位が第2電極22の面内における位置に応じて相違し、この結果として発光領域における光量のムラ(輝度や階調のムラ)が発生する場合がある。   By the way, since many of the light-transmitting conductive materials have high resistivity, the second electrode 22 formed of this kind of material has a high resistance, and the voltage drop in the surface becomes remarkable. Accordingly, the potential supplied to each light emitting element E differs depending on the position in the plane of the second electrode 22, and as a result, unevenness in the amount of light (luminance or gradation unevenness) in the light emitting region may occur. .

この光量のバラツキを抑制するために、本実施形態においては、第2電極22の導電性を補助するための補助配線27が形成される。補助配線27は、第2電極22よりも抵抗率が低い導電性材料によって形成されて第2電極22に導通する配線である。図3において、補助配線27は、その外形のみが便宜的に二点鎖線で図示されている。図10は、図3の段階にある4個の単位素子PがX方向およびY方向にわたって配列する様子を示す平面図である。図3および図10に示すように、本実施形態における補助配線27は、基板10に垂直な方向からみると、隔壁25の表面(開口部251以外の部分)のうちY方向に隣接する各単位素子Pの間隙の領域にてX方向に延在し、第1電極21とは重なり合わない。さらに、補助配線27は、図4に示すように、発光層23と第2電極22との間に介在して両者に接触する。以上の構成によれば、電流の大部分は低抵抗の補助配線27を流れるから、第2電極22における電圧降下は抑制される。したがって、各単位素子Pに供給される電位が均一化され、この結果として電圧降下に起因した各発光素子Eの光量のムラを有効に抑制することができる。なお、補助配線27のように低抵抗な導電性材料の多くは遮光性(あるいは光反射性)を有するが、本実施形態においては第1電極21と重なり合わないように補助配線27が形成されるから、補助配線27の形成によって開口率が低下することはない。   In order to suppress this variation in the amount of light, in the present embodiment, an auxiliary wiring 27 for assisting the conductivity of the second electrode 22 is formed. The auxiliary wiring 27 is a wiring that is formed of a conductive material having a lower resistivity than the second electrode 22 and is electrically connected to the second electrode 22. In FIG. 3, only the outer shape of the auxiliary wiring 27 is shown by a two-dot chain line for convenience. FIG. 10 is a plan view showing a state in which the four unit elements P in the stage of FIG. 3 are arranged in the X direction and the Y direction. As shown in FIG. 3 and FIG. 10, the auxiliary wiring 27 in the present embodiment is a unit adjacent to the Y direction on the surface (part other than the opening 251) of the partition wall 25 when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10. It extends in the X direction in the gap region of the element P, and does not overlap the first electrode 21. Further, as shown in FIG. 4, the auxiliary wiring 27 is interposed between the light emitting layer 23 and the second electrode 22 and is in contact with both. According to the above configuration, most of the current flows through the low-resistance auxiliary wiring 27, so that the voltage drop in the second electrode 22 is suppressed. Therefore, the potential supplied to each unit element P is made uniform, and as a result, unevenness in the amount of light of each light emitting element E due to the voltage drop can be effectively suppressed. Although many of the low-resistance conductive materials such as the auxiliary wiring 27 have a light shielding property (or light reflectivity), the auxiliary wiring 27 is formed so as not to overlap the first electrode 21 in this embodiment. Therefore, the aperture ratio is not lowered by the formation of the auxiliary wiring 27.

また、補助配線27は、駆動トランジスタTdrや容量素子C1と重なり合わないから、両者間の容量的な結合は抑制される。したがって、補助配線27と駆動トランジスタTdrや容量素子C1との一方の電位の変動が他方に与える影響が抑制され、この結果として発光素子Eの輝度を高精度に制御することが可能となる。一方、基板10に垂直な方向からみると、補助配線27は、図3や図10に示すように選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintと重なり合う。しかしながら、本実施形態においては、補助配線27と選択トランジスタTslや初期化トランジスタTint(さらには選択線11や初期化線12)との間に隔壁25が介在するから、両者間に隔壁25が介在しない構成と比較して、補助配線27と選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintとの容量的な結合は抑制される。したがって、本実施形態によれば、補助配線27が選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintと重なり合う構成にも拘わらず、選択信号Saや初期化信号Sbの波形の鈍りを抑制して選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintを高速に動作させることができる。なお、以上においては補助配線27が発光層23と第2電極22との間に介在する構成を例示したが、補助配線27は第2電極の表面(発光層23とは反対側の表面)に形成されてもよい。   Further, since the auxiliary wiring 27 does not overlap with the driving transistor Tdr and the capacitive element C1, capacitive coupling between them is suppressed. Therefore, the influence of the fluctuation of one potential of the auxiliary wiring 27, the driving transistor Tdr, and the capacitive element C1 on the other is suppressed, and as a result, the luminance of the light emitting element E can be controlled with high accuracy. On the other hand, when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10, the auxiliary wiring 27 overlaps with the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tint as shown in FIGS. 3 and 10. However, in the present embodiment, the partition wall 25 is interposed between the auxiliary wiring 27 and the selection transistor Tsl or the initialization transistor Tint (and also the selection line 11 and the initialization line 12). Compared with the configuration that does not, the capacitive coupling between the auxiliary wiring 27 and the selection transistor Tsl or the initialization transistor Tint is suppressed. Therefore, according to the present embodiment, although the auxiliary wiring 27 overlaps the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tint, the waveform of the selection signal Sa and the initialization signal Sb is suppressed and the selection transistor Tsl and the initial value are suppressed. The transistor Tint can be operated at high speed. In the above description, the auxiliary wiring 27 is interposed between the light emitting layer 23 and the second electrode 22. However, the auxiliary wiring 27 is formed on the surface of the second electrode (the surface opposite to the light emitting layer 23). It may be formed.

<B:第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態に係る単位素子Pの具体的な構成を説明する。なお、本実施形態における発光装置Dの電気的な構成は第1実施形態(図1および図2)と同様である。以下に示す各形態において、第1実施形態と共通する要素には同一の符号を付してその説明を適宜に省略する。
<B: Second Embodiment>
Next, a specific configuration of the unit element P according to the second embodiment of the present invention will be described. The electrical configuration of the light emitting device D in the present embodiment is the same as that in the first embodiment (FIGS. 1 and 2). In each form shown below, the same code | symbol is attached | subjected to the element which is common in 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted suitably.

図12は、本実施形態における単位素子Pの構成を示す平面図であり、図13ないし図15は、図12の単位素子Pが形成される各段階における基板10の面上の様子を示す平面図である。図13に示すように、基板10の面上には半導体層32と半導体層42と半導体層45とが半導体材料によって同層から形成される。半導体層32は、駆動トランジスタTdrを構成する略矩形状の部分である。半導体層42は、半導体層32からみてY方向の正側に形成された部分であり、略矩形状の電極E2と、電極E2の左下部からX方向に延在する素子部421とを含む。素子部421は、選択トランジスタTslの半導体層として機能する部分である。半導体層45は、初期化トランジスタTintを構成する部分であり、半導体層42を挟んで半導体層32とは反対側の領域にてX方向に延在する。   FIG. 12 is a plan view showing the configuration of the unit element P in the present embodiment, and FIGS. 13 to 15 are plan views showing states on the surface of the substrate 10 at each stage where the unit element P of FIG. 12 is formed. FIG. As shown in FIG. 13, the semiconductor layer 32, the semiconductor layer 42, and the semiconductor layer 45 are formed from the same layer on the surface of the substrate 10 by a semiconductor material. The semiconductor layer 32 is a substantially rectangular portion constituting the drive transistor Tdr. The semiconductor layer 42 is a portion formed on the positive side in the Y direction when viewed from the semiconductor layer 32, and includes a substantially rectangular electrode E2 and an element portion 421 extending in the X direction from the lower left portion of the electrode E2. The element portion 421 is a portion that functions as a semiconductor layer of the selection transistor Tsl. The semiconductor layer 45 is a part constituting the initialization transistor Tint, and extends in the X direction in a region opposite to the semiconductor layer 32 with the semiconductor layer 42 interposed therebetween.

以上の各要素を覆うゲート絶縁層L0の面状には、図14に示すように、第1データ線部131と選択線11および初期化線12と中間導電体52と第1中継配線部171とが同層から形成される。第1データ線部131は、第1実施形態と同様にデータ線13を構成する部分であり、中間導電体52からみてX方向の正側の領域にてY方向に延在する。   As shown in FIG. 14, the first data line 131, the selection line 11, the initialization line 12, the intermediate conductor 52, and the first relay wiring portion 171 are formed on the surface of the gate insulating layer L0 that covers the above elements. Are formed from the same layer. The first data line part 131 is a part constituting the data line 13 as in the first embodiment, and extends in the Y direction in the positive region in the X direction when viewed from the intermediate conductor 52.

初期化線12は、X方向に延在する部分からY方向の負側に分岐して半導体層45に重なり合う第1ゲート電極121と第2ゲート電極122とを有する。半導体層45のうち第1ゲート電極121および第2ゲート電極122の各々と重なり合う部分が初期化トランジスタTintのチャネル領域である。同様に、選択線11は、X方向に延在する部分からY方向の負側に分岐して半導体層42の素子部421に重なり合う第1ゲート電極111と第2ゲート電極112とを有する。第1ゲート電極111と第2ゲート電極112とは間隔をあけてX方向に隣接する。素子部421のうちゲート絶縁層L0を挟んで第1ゲート電極111および第2ゲート電極112の各々と重なり合う部分が選択トランジスタTslのチャネル領域である。以上のように、本実施形態の選択トランジスタTslおよび初期化トランジスタTintは、デュアルゲート構造の薄膜トランジスタである。   The initialization line 12 includes a first gate electrode 121 and a second gate electrode 122 that branch from the portion extending in the X direction to the negative side in the Y direction and overlap the semiconductor layer 45. A portion of the semiconductor layer 45 that overlaps each of the first gate electrode 121 and the second gate electrode 122 is a channel region of the initialization transistor Tint. Similarly, the selection line 11 includes a first gate electrode 111 and a second gate electrode 112 that branch from the portion extending in the X direction to the negative side in the Y direction and overlap the element portion 421 of the semiconductor layer 42. The first gate electrode 111 and the second gate electrode 112 are adjacent to each other in the X direction with a space therebetween. A portion of the element portion 421 that overlaps each of the first gate electrode 111 and the second gate electrode 112 across the gate insulating layer L0 is a channel region of the selection transistor Tsl. As described above, the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tint of this embodiment are thin film transistors having a dual gate structure.

中間導電体52は、電極E2に対向して容量素子C1を構成する電極E1と、電極E1の左上部からY方向の負側に延在する連結部525と、この連結部525からX方向の正側に延在して半導体層32と重なり合うゲート電極521と、電極E1のうちX方向における略中央からY方向の正側に突出する接続部523とを含む。ゲート電極521は、半導体層32のX方向における全寸法にわたって半導体層32と重なり合うようにX方向に延在する。図14に示すように、半導体層32のうちゲート絶縁層L0を挟んでゲート電極521に対向する領域が駆動トランジスタTdrのチャネル領域32cである。また、チャネル領域32cを挟んで電極E1側の領域がソース領域32sであり、その反対側の領域がドレイン領域32dである。   The intermediate conductor 52 includes an electrode E1 that forms the capacitive element C1 facing the electrode E2, a connecting portion 525 that extends from the upper left portion of the electrode E1 to the negative side in the Y direction, and an X direction from the connecting portion 525. It includes a gate electrode 521 that extends to the positive side and overlaps the semiconductor layer 32, and a connection portion 523 that protrudes from the approximate center in the X direction to the positive side in the Y direction of the electrode E1. The gate electrode 521 extends in the X direction so as to overlap the semiconductor layer 32 over the entire dimension of the semiconductor layer 32 in the X direction. As shown in FIG. 14, in the semiconductor layer 32, a region facing the gate electrode 521 across the gate insulating layer L0 is a channel region 32c of the drive transistor Tdr. A region on the electrode E1 side with the channel region 32c interposed therebetween is a source region 32s, and a region on the opposite side is a drain region 32d.

第1中継配線部171は、初期化トランジスタTintと駆動トランジスタTdrのドレイン領域32dとを電気的に接続するための配線(以下「中継配線」という)を構成する部分であり、中間導電体52からみてX方向の負側の領域にてY方向に延在する。すなわち、本実施形態における中間導電体52は第1データ線部131と第1中継配線部171との間隙に配置される。   The first relay wiring portion 171 is a portion constituting a wiring (hereinafter referred to as “relay wiring”) for electrically connecting the initialization transistor Tint and the drain region 32d of the driving transistor Tdr. As a result, it extends in the Y direction in the negative region in the X direction. That is, the intermediate conductor 52 in the present embodiment is disposed in the gap between the first data line part 131 and the first relay wiring part 171.

以上の各要素を覆う第1絶縁層L1の面上には、図15に示すように、第1絶縁層L1の面上には、第2データ線部132と接続部62と第2中継配線部172と導通部72と電源線15とが同層から形成される。   As shown in FIG. 15, on the surface of the first insulating layer L1 covering each of the above elements, the second data line portion 132, the connecting portion 62, and the second relay wiring are formed on the surface of the first insulating layer L1. The part 172, the conduction part 72, and the power supply line 15 are formed from the same layer.

第2データ線部132は、第1実施形態と同様に、第1データ線部131とともにデータ線13を構成する配線である。すなわち、第2データ線部132は、コンタクトホールHb1を介して第1データ線部131の図紙面の上方の端部131a(図14参照)に導通する端部132aからY方向に延在して端部132bに至る。端部132bは、コンタクトホールHb2を介して第1データ線部131の図紙面の下方の端部131b(図14参照)に導通する。また、本実施形態の第2データ線部132は、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通するコンタクトホールHb3を介して素子部421の端部に導通する。すなわち、データ線13と選択トランジスタTslとはコンタクトホールHb3を介して電気的に接続される。   Similar to the first embodiment, the second data line part 132 is a wiring that forms the data line 13 together with the first data line part 131. That is, the second data line portion 132 extends in the Y direction from the end portion 132a that conducts to the upper end portion 131a (see FIG. 14) of the first data line portion 131 through the contact hole Hb1. It reaches the end 132b. The end portion 132b is electrically connected to the end portion 131b (see FIG. 14) below the drawing surface of the first data line portion 131 through the contact hole Hb2. In addition, the second data line portion 132 of this embodiment is electrically connected to the end portion of the element portion 421 through a contact hole Hb3 penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0. That is, the data line 13 and the selection transistor Tsl are electrically connected via the contact hole Hb3.

図14および図15に示すように、接続部62は、中間導電体52の接続部523と半導体層45のX方向における正側の端部451とに重なり合うようにY方向に延在する。接続部62は、第1絶縁層L1を貫通するコンタクトホールHb4を介して接続部523(電極E1やゲート電極521))に導通するとともに、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通するコンタクトホールHb5を介して半導体層45の端部451に導通する。すなわち、容量素子C1の電極E1(さらには駆動トランジスタTdrのゲート電極521)と初期化トランジスタTintとは接続部62を介して電気的に接続される。   As shown in FIGS. 14 and 15, the connecting portion 62 extends in the Y direction so as to overlap the connecting portion 523 of the intermediate conductor 52 and the positive end portion 451 in the X direction of the semiconductor layer 45. The connection part 62 is electrically connected to the connection part 523 (electrode E1 or gate electrode 521) through a contact hole Hb4 that penetrates the first insulating layer L1, and penetrates the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0. It conducts to the end 451 of the semiconductor layer 45 through the contact hole Hb5. That is, the electrode E1 of the capacitive element C1 (and the gate electrode 521 of the drive transistor Tdr) and the initialization transistor Tint are electrically connected via the connection portion 62.

導通部72は、第1絶縁層L1を貫通するコンタクトホールHb6を介して第1中継配線部171に導通する。この導通部72は、第1実施形態の導通部71と同様に、駆動トランジスタTdrのドレイン電極と発光素子Eの第1電極21とを電気的に接続する部分である。第1絶縁層L1のうちドレイン領域32dと重なり合う領域には、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通する複数(ここでは2個)のコンタクトホールHb7が形成される。これらのコンタクトホールHb7はゲート電極521が延在するX方向(すなわち駆動トランジスタTdrのチャネル幅の方向)に配列する。導通部72は、各コンタクトホールHb7を介してドレイン領域32dに導通する。   The conducting portion 72 is conducted to the first relay wiring portion 171 through a contact hole Hb6 that penetrates the first insulating layer L1. The conduction portion 72 is a portion that electrically connects the drain electrode of the drive transistor Tdr and the first electrode 21 of the light emitting element E, similarly to the conduction portion 71 of the first embodiment. A plurality (two in this case) of contact holes Hb7 penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0 are formed in a region overlapping the drain region 32d in the first insulating layer L1. These contact holes Hb7 are arranged in the X direction (that is, the channel width direction of the driving transistor Tdr) in which the gate electrode 521 extends. The conducting portion 72 is conducted to the drain region 32d through each contact hole Hb7.

第2中継配線部172は、図14および図15に示すように、半導体層45におけるX方向の負側の端部452と第1中継配線部171とに重なり合うようにY方向に延在する配線である。この第2中継配線部172は、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通するコンタクトホールHb8を介して端部452に導通するとともに、第1絶縁層L1を貫通するコンタクトホールHb9を介して第1中継配線部171に導通する。以上のように、初期化トランジスタTintと駆動トランジスタTdrのドレイン領域32d(さらには導通部72)とは、第1中継配線部171と第2中継配線部172とから構成される中継配線17を介して電気的に接続される。   As shown in FIGS. 14 and 15, the second relay wiring portion 172 is a wiring extending in the Y direction so as to overlap the negative end portion 452 in the X direction and the first relay wiring portion 171 in the semiconductor layer 45. It is. The second relay wiring portion 172 is electrically connected to the end 452 through a contact hole Hb8 that passes through the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0, and via a contact hole Hb9 that passes through the first insulating layer L1. To the first relay wiring portion 171. As described above, the initialization transistor Tint and the drain region 32d (and the conduction portion 72) of the drive transistor Tdr are connected via the relay wiring 17 including the first relay wiring portion 171 and the second relay wiring portion 172. Are electrically connected.

図16は、図15の段階にある4個の単位素子Pが配列する様子を示す平面図である。図15および図16に示すように、第1絶縁層L1のうち半導体層32のソース領域32s(図14参照)と重なり合う領域には、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通する複数(ここでは3個)のコンタクトホールHb10が形成される。これらのコンタクトホールHb10はゲート電極521が延在するX方向に配列する。電源線15は、各コンタクトホールHb10を介してソース領域32sに導通する。   FIG. 16 is a plan view showing a state in which four unit elements P in the stage of FIG. 15 are arranged. As shown in FIGS. 15 and 16, in the first insulating layer L1, a plurality of regions penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0 are overlapped with the source region 32s (see FIG. 14) of the semiconductor layer 32. (Here, three) contact holes Hb10 are formed. These contact holes Hb10 are arranged in the X direction in which the gate electrode 521 extends. The power supply line 15 is electrically connected to the source region 32s through each contact hole Hb10.

本実施形態における電源線15は、複数の単位素子PにわたってX方向に延在する第1部分151と、複数の単位素子PにわたってY方向に延在する第2部分152とが交差する形状(格子状)の配線である。第1部分151は、各第2データ線部132の間隙の領域と、第2中継配線部172および導通部72(部分721)の間隙の領域とを通過するようにX方向に延在する。したがって、図15や図16のように基板10に垂直な方向からみると、第1部分151は、第1データ線部131と第1中継配線部171と容量素子C1とに重なり合う。また、第2部分152は、導通部72(部分722)および第2データ線部132の間隙の領域と、接続部62および第2データ線部132の間隙の領域とを通過するようにY方向に延在する。一方、図15や図16に示すように、電源線15は選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintには重なり合わない。   The power supply line 15 in the present embodiment has a shape (lattice) in which a first portion 151 extending in the X direction across a plurality of unit elements P and a second portion 152 extending in the Y direction across the plurality of unit elements P intersect. Wiring). The first portion 151 extends in the X direction so as to pass through the gap region between the second data line portions 132 and the gap region between the second relay wiring portion 172 and the conduction portion 72 (portion 721). Therefore, when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10 as shown in FIGS. 15 and 16, the first portion 151 overlaps the first data line portion 131, the first relay wiring portion 171 and the capacitive element C1. Further, the second portion 152 passes in the Y direction so as to pass through the region of the gap between the conducting portion 72 (portion 722) and the second data line portion 132 and the region of the gap between the connecting portion 62 and the second data line portion 132. Extend to. On the other hand, as shown in FIGS. 15 and 16, the power supply line 15 does not overlap the selection transistor Tsl or the initialization transistor Tint.

図12の第1電極21は、以上の要素を被覆する第2絶縁層L2の面上に形成され、コンタクトホールHb11を介して導通部72(さらには駆動トランジスタTdrのドレイン領域32d)に電気的に接続される。図17は、図12の段階にある単位素子Pが配列された様子を示す平面図である。図12および図17に示すように、第1電極21は、駆動トランジスタTdrや容量素子C1およびデータ線13(第1データ線部131)に重なり合うように形成される。この構成においては、第1電極21と駆動トランジスタTdrや容量素子C1との間、および、第1電極21とデータ線13の第1データ線部131との間に電源線15が介在する。したがって、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、第1電極21と各要素との容量的な結合が抑制される。   The first electrode 21 in FIG. 12 is formed on the surface of the second insulating layer L2 that covers the above elements, and is electrically connected to the conduction portion 72 (and further to the drain region 32d of the driving transistor Tdr) through the contact hole Hb11. Connected to. FIG. 17 is a plan view showing a state in which the unit elements P at the stage of FIG. 12 are arranged. As shown in FIGS. 12 and 17, the first electrode 21 is formed so as to overlap the drive transistor Tdr, the capacitive element C1, and the data line 13 (first data line portion 131). In this configuration, the power supply line 15 is interposed between the first electrode 21 and the drive transistor Tdr and the capacitive element C1 and between the first electrode 21 and the first data line portion 131 of the data line 13. Therefore, also in the present embodiment, the capacitive coupling between the first electrode 21 and each element is suppressed as in the first embodiment.

また、図12のように基板10に垂直な方向からみると、本実施形態の第1電極21は、選択トランジスタTslや初期化トランジスタTint(さらには選択線11や初期化線12)と重なり合わない。一方、図12および図17に示すように、補助配線27は、第2絶縁層L2の面上に形成された隔壁25の表面のうち各第1電極21の間隙の領域に形成され、選択トランジスタTslや初期化トランジスタTint(さらには選択線11や初期化線12)と重なり合うようにX方向に延在する。補助配線27と選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintとの間には隔壁25が介在するから、第1実施形態と同様に、補助配線27と選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintとの容量的な結合は抑制される。なお、第2電極22の態様は第1実施形態と同様である。   Further, when viewed from the direction perpendicular to the substrate 10 as shown in FIG. 12, the first electrode 21 of the present embodiment overlaps with the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tint (and also the selection line 11 and the initialization line 12). Absent. On the other hand, as shown in FIGS. 12 and 17, the auxiliary wiring 27 is formed in the gap region between the first electrodes 21 on the surface of the partition wall 25 formed on the surface of the second insulating layer L <b> 2. It extends in the X direction so as to overlap Tsl and the initialization transistor Tint (and also the selection line 11 and the initialization line 12). Since the partition wall 25 is interposed between the auxiliary wiring 27 and the selection transistor Tsl or initialization transistor Tint, capacitive coupling between the auxiliary wiring 27 and the selection transistor Tsl or initialization transistor Tint is the same as in the first embodiment. Is suppressed. In addition, the aspect of the 2nd electrode 22 is the same as that of 1st Embodiment.

ところで、電源線15や第1電極21の低抵抗化や開口率の向上という観点のみからすれば、駆動トランジスタTdrや容量素子C1だけでなく選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintにも重なり合うように電源線15や第1電極21が形成された構成(以下「対比例」という)も採用される。しかしながら、この対比例においては、選択トランジスタTslや選択線11が電源線15および第1電極21と容量的に結合し(すなわち両者間に容量が寄生し)、この容量に起因して選択信号Saに波形の鈍りが発生する場合がある。同様に、初期化トランジスタTintや初期化線12と電源線15および第1電極21との間に付随する容量は初期化信号Sbの波形の鈍りの原因となり得る。したがって、対比例においては、例えば選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintのスイッチングが遅延するという問題がある。   By the way, from the viewpoint of reducing the resistance of the power supply line 15 and the first electrode 21 and improving the aperture ratio, the power supply overlaps not only the drive transistor Tdr and the capacitive element C1, but also the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tint. A configuration in which the line 15 and the first electrode 21 are formed (hereinafter referred to as “proportional”) is also employed. However, in this comparison, the selection transistor Tsl and the selection line 11 are capacitively coupled to the power supply line 15 and the first electrode 21 (that is, a capacitance is parasitic between both), and the selection signal Sa is caused by this capacitance. In some cases, the waveform becomes dull. Similarly, the capacitance associated between the initialization transistor Tint and the initialization line 12 and the power supply line 15 and the first electrode 21 can cause the waveform of the initialization signal Sb to become dull. Therefore, in contrast, for example, there is a problem that switching of the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tint is delayed.

これに対し、本実施形態においては、選択トランジスタTslや選択線11および初期化トランジスタTintや初期化線12とは重なり合わないように電源線15や第1電極21が形成されるから、電源線15や第1電極21と他の要素との間に寄生する容量は対比例と比較して低減される。したがって、本実施形態によれば、選択信号Saや初期化信号Sbの波形の鈍りを抑制して選択トランジスタTslや初期化トランジスタTintを高速に動作させることができる。   On the other hand, in the present embodiment, the power supply line 15 and the first electrode 21 are formed so as not to overlap the selection transistor Tsl, the selection line 11, and the initialization transistor Tint or the initialization line 12. 15 and the parasitic capacitance between the first electrode 21 and other elements are reduced as compared with the proportionality. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to operate the selection transistor Tsl and the initialization transistor Tint at high speed while suppressing the dullness of the waveform of the selection signal Sa and the initialization signal Sb.

<C:第3実施形態>
次に、本発明の第3実施形態における発光装置Dの具体的な構成を説明する。
以上の各形態においては、総ての単位素子Pが同じ態様で基板10の面上に配列された構成を例示した。これに対し、本実施形態においては、ひとつの単位素子Pの態様(レイアウト)とこれに隣接する単位素子Pの態様とが相違する。なお、本実施形態におけるひとつの単位素子Pの構成は第2実施形態と同様である。したがって、各単位素子Pの具体的な構成については適宜に説明を省略する。
<C: Third Embodiment>
Next, a specific configuration of the light emitting device D according to the third embodiment of the present invention will be described.
In each of the above embodiments, the configuration in which all the unit elements P are arranged on the surface of the substrate 10 in the same manner is illustrated. On the other hand, in the present embodiment, the mode (layout) of one unit element P is different from the mode of the unit element P adjacent thereto. The configuration of one unit element P in the present embodiment is the same as that in the second embodiment. Therefore, description of the specific configuration of each unit element P will be omitted as appropriate.

図18は、ゲート絶縁層L0の面上に第1データ線部131や選択線11や初期化線12が形成された段階にある9個の単位素子PがX方向およびY方向にわたって配列された様子を示す平面図である。なお、図18および後掲の図19や図20においては、第(i−1)行から第(i+1)行までの各行に属する3列分の単位素子Pが図示されている。第i行は奇数行であり、第(i−1)行および第(i+1)行は偶数行である。同図に示すように、本実施形態においては、奇数行(第i行)の各単位素子Pと偶数行(第(i−1)行および第(i+1)行)の各単位素子Pとにおいて、各々を構成する各要素のY方向における配置が逆転した構成となっている。   In FIG. 18, nine unit elements P in a stage where the first data line portion 131, the selection line 11, and the initialization line 12 are formed on the surface of the gate insulating layer L0 are arranged in the X direction and the Y direction. It is a top view which shows a mode. 18 and later-described FIG. 19 and FIG. 20 illustrate unit elements P for three columns belonging to each row from the (i−1) th row to the (i + 1) th row. The i-th row is an odd-numbered row, and the (i−1) -th row and the (i + 1) -th row are even-numbered rows. As shown in the figure, in the present embodiment, in each unit element P in the odd-numbered row (i-th row) and each unit element P in the even-numbered row ((i-1) th row and (i + 1) th row). The arrangement in the Y direction of each element constituting each is reversed.

偶数行(第(i−1)行および第(i+1)行)の各単位素子Pにおいては、駆動トランジスタTdr(さらにはそのY方向の正側に位置する容量素子C1)からみてY方向の正側の領域に選択トランジスタTslと選択線11とが配置され、さらに選択線11からみてY方向の正側の領域に初期化トランジスタTintと初期化線12とが配置される。これに対し、奇数行(第i行)の各単位素子Pにおいては、駆動トランジスタTdr(さらにはそのY方向の負側に位置する容量素子C1)からみてY方向の負側の領域に選択トランジスタTslと選択線11とが配置され、さらに選択線11からみてY方向の負側の領域に初期化トランジスタTintと初期化線12とが配置される。したがって、図18に示すように、偶数行(第(i−1)行)の各単位素子PとそのY方向の正側に隣接する奇数行(第i行)の各単位素子Pとの間隙には各々に対応する2組の選択線11および初期化線12が介在するのに対し、奇数行(第i行)の各単位素子PとそのY方向の正側に隣接する偶数行(第(i+1)行)の各単位素子Pとの間隙には選択線11および初期化線12の何れも存在しない。   In each of the unit elements P in the even-numbered rows (the (i−1) th row and the (i + 1) th row), positive in the Y direction as viewed from the drive transistor Tdr (and the capacitive element C1 located on the positive side in the Y direction). The selection transistor Tsl and the selection line 11 are arranged in the region on the side, and the initialization transistor Tint and the initialization line 12 are arranged in the region on the positive side in the Y direction when viewed from the selection line 11. On the other hand, in each unit element P in the odd-numbered row (i-th row), the selection transistor is located in the negative side region in the Y direction as viewed from the drive transistor Tdr (and the capacitive element C1 located on the negative side in the Y direction). Tsl and the selection line 11 are arranged, and an initialization transistor Tint and an initialization line 12 are arranged in a negative region in the Y direction when viewed from the selection line 11. Accordingly, as shown in FIG. 18, the gap between each unit element P in the even-numbered row ((i-1) th row) and each unit element P in the odd-numbered row (i-th row) adjacent to the positive side in the Y direction. There are two pairs of selection lines 11 and initialization lines 12 corresponding to each, whereas each unit element P in the odd-numbered row (i-th row) and the even-numbered row (the first row) adjacent to the positive side in the Y direction. Neither the selection line 11 nor the initialization line 12 exists in the gap between each unit element P in (i + 1) row).

データ線13のうち選択線11や初期化線12と同層から形成される第1データ線部131は、図18に示すように、奇数行(第i行)の各単位素子PとそのY方向の正側に隣接する偶数行(第(i+1)行)の各単位素子Pとにわたって直線状に連続して形成される。換言すると、各第1データ線部131は、偶数行(第(i−1)行)の選択線11および初期化線12とそのY方向の正側に隣接する奇数行(第i行)の選択線11および初期化線12とをY方向に挟んで分割された形状である。   The first data line portion 131 formed from the same layer as the selection line 11 and the initialization line 12 among the data lines 13 includes each unit element P in the odd-numbered row (i-th row) and its Y as shown in FIG. It is formed continuously in a straight line over the unit elements P in even-numbered rows ((i + 1) th row) adjacent to the positive side in the direction. In other words, each first data line portion 131 is connected to the selection line 11 and the initialization line 12 of the even-numbered row ((i-1) th row) and the odd-numbered row (i-th row) adjacent to the positive side in the Y direction. The selection line 11 and the initialization line 12 are divided in the Y direction.

次に、図19は、第1絶縁層L1の面上に各要素(第2データ線部132や電源線15)が形成された段階にある各単位素子Pの様子を示す平面図である。同図に示すように、第2データ線部132は、偶数行(第(i−1)行)およびそのY方向の正側に位置する奇数行(第i行)の各行における選択線11および初期化線12と交差するように形成され、Y方向に隣接する各第1データ線部131を相互に連結することでデータ線13を構成する。図19に示すように、第2データ線部132は、これと同層から形成される電源線15の第2部分152に隣接してY方向に延在する。   Next, FIG. 19 is a plan view showing a state of each unit element P in a stage where each element (second data line portion 132 or power supply line 15) is formed on the surface of the first insulating layer L1. As shown in the figure, the second data line section 132 includes the selection lines 11 in the even-numbered rows (i-th row) and the odd-numbered rows (i-th row) located on the positive side in the Y direction. The data lines 13 are configured by connecting the first data line portions 131 that are formed so as to intersect the initialization line 12 and that are adjacent to each other in the Y direction. As shown in FIG. 19, the second data line portion 132 extends in the Y direction adjacent to the second portion 152 of the power supply line 15 formed from the same layer.

一方、第1データ線部131は奇数行(第i行)とそのY方向の正側に隣接する偶数行(第(i+1)行)とにわたって連続するから、これらの各行の間隙に第2データ線部132は形成されない。そこで、本実施形態においては、第2データ線部132が形成されない分だけ電源線15の第2部分152が幅広とされる。すなわち、奇数行(第i行)とそのY方向の正側に隣接する偶数行(第(i+1)行)とにわたって延在する第2部分152の幅寸法Waは、偶数行(第(i−1)行)とそのY方向の正側に隣接する奇数行(第i行)とにわたって延在する第2部分152の幅寸法Wbよりも大きい(Wa>Wb)。   On the other hand, since the first data line portion 131 is continuous over the odd-numbered rows (i-th row) and the even-numbered rows ((i + 1) -th row) adjacent to the positive side in the Y direction, the second data is inserted in the gap between these rows. The line part 132 is not formed. Therefore, in the present embodiment, the second portion 152 of the power supply line 15 is widened by the amount that the second data line portion 132 is not formed. That is, the width dimension Wa of the second portion 152 extending across the odd-numbered row (i-th row) and the even-numbered row ((i + 1) -th row) adjacent to the positive side in the Y direction is the even-numbered row (i-th (i−)). 1) The width dimension Wb of the second portion 152 extending across the row) and the odd-numbered row (i-th row) adjacent to the positive side in the Y direction is larger (Wa> Wb).

図20は、第2絶縁層L2の面上に各要素(第1電極21や補助配線27)が形成された様子を示す平面図である。同図に示すように、隔壁25の面上に形成される補助配線27は、偶数行(第(i−1)行)の各第1電極21とそのY方向の正側に隣接する奇数行(第i行)の各第1電極21との間隙にてX方向に延在して選択線11および初期化線12と重なり合う。一方、奇数行(第i行)の各第1電極21とそのY方向の正側に隣接する偶数行(第(i+1)行)の各第1電極21とは相互に近接して配置され、両者の間隙に補助配線27は形成されない。すなわち、第2実施形態においては単位素子Pの1行ごとに1本の補助配線27が形成された構成を例示したが、本実施形態においては、単位素子Pの2行ごとに1本の補助配線27が形成される。   FIG. 20 is a plan view showing a state in which each element (the first electrode 21 and the auxiliary wiring 27) is formed on the surface of the second insulating layer L2. As shown in the figure, the auxiliary wiring 27 formed on the surface of the partition wall 25 includes the first electrodes 21 in the even-numbered rows ((i-1) th row) and the odd-numbered rows adjacent to the positive side in the Y direction. It extends in the X direction in the gap with each first electrode 21 in the (i-th row) and overlaps the selection line 11 and the initialization line 12. On the other hand, each first electrode 21 in the odd-numbered row (i-th row) and each first electrode 21 in the even-numbered row ((i + 1) -th row) adjacent to the positive side in the Y direction are arranged close to each other, The auxiliary wiring 27 is not formed in the gap between the two. That is, in the second embodiment, the configuration in which one auxiliary wiring 27 is formed for each row of the unit elements P is exemplified. However, in this embodiment, one auxiliary wiring 27 is provided for every two rows of the unit elements P. A wiring 27 is formed.

以上に説明したように、本実施形態によれば、第1データ線部131と第2データ線部132とが導通する箇所(コンタクトホールHb1,Hb2)の総数を、第2実施形態と比較して約半分に削減することが可能である。したがって、データ線13の断線(第1データ線部131と第2データ線部132との導通不良)の可能性を低減できるという利点がある。また、第2データ線部132が不要である箇所においては電源線15の第2部分152の線幅が拡大されるから、第2実施形態と比較して、電源線15を低抵抗化することができる。さらに、補助配線27は、2行分の選択線11および初期化線12と重なり合うように幅広に形成されるから、補助配線27に要求される寸法上の精度は第2実施形態よりも低い。したがって、マスクを介した蒸着など低廉な技術によって補助配線27を容易に形成することが可能である。   As described above, according to the present embodiment, the total number of locations (contact holes Hb1, Hb2) where the first data line portion 131 and the second data line portion 132 are conducted is compared with that of the second embodiment. Can be reduced to about half. Therefore, there is an advantage that the possibility of the disconnection of the data line 13 (the conduction failure between the first data line part 131 and the second data line part 132) can be reduced. Further, since the line width of the second portion 152 of the power supply line 15 is increased at a location where the second data line portion 132 is not necessary, the resistance of the power supply line 15 is reduced as compared with the second embodiment. Can do. Furthermore, since the auxiliary wiring 27 is formed wide so as to overlap the selection lines 11 and the initialization lines 12 for two rows, the dimensional accuracy required for the auxiliary wiring 27 is lower than that of the second embodiment. Therefore, the auxiliary wiring 27 can be easily formed by an inexpensive technique such as vapor deposition through a mask.

<D:第4実施形態>
<D−1:発光装置の電気的な構成>
次に、本発明の第4実施形態に係る発光装置について説明する。図21は、本実施形態におけるひとつの単位素子Pの電気的な構成を示す回路図である。同図に示すように、この単位素子Pにおいては、以上の各形態における容量素子C1や初期化トランジスタTint(初期化線12)が形成されず、駆動トランジスタTdrのゲート電極とデータ線13との電気的な接続が選択トランジスタTslによって制御される。また、駆動トランジスタTdrのゲート電極とソース電極(電源線15)との間には容量素子C2が介在する。
<D: Fourth Embodiment>
<D-1: Electrical configuration of light emitting device>
Next, a light emitting device according to a fourth embodiment of the invention will be described. FIG. 21 is a circuit diagram showing an electrical configuration of one unit element P in the present embodiment. As shown in the figure, in this unit element P, the capacitive element C1 and the initialization transistor Tint (initialization line 12) in each of the above forms are not formed, and the gate electrode of the drive transistor Tdr and the data line 13 are not connected. The electrical connection is controlled by the selection transistor Tsl. In addition, the capacitive element C2 is interposed between the gate electrode and the source electrode (power supply line 15) of the driving transistor Tdr.

この構成において選択トランジスタTslがオン状態に変化すると、発光素子Eに指定された階調に応じたデータ電位Vdataがデータ線13から選択トランジスタTslを経由して駆動トランジスタTdrのゲート電極に供給される。このときに容量素子C2にはデータ電位Vdataに応じた電荷が蓄積されるから、選択トランジスタTslがオフ状態に変化しても、駆動トランジスタTdrのゲート電位Vgはデータ電位Vdataに維持される。したがって、発光素子Eには、駆動トランジスタTdrのゲート電位Vgに応じた電流(データ電位Vdataに応じた電流)が継続的に供給される。この電流の供給によって発光素子Eはデータ電位Vdataに応じた輝度で発光する。   In this configuration, when the selection transistor Tsl is turned on, the data potential Vdata corresponding to the gradation designated for the light emitting element E is supplied from the data line 13 to the gate electrode of the drive transistor Tdr via the selection transistor Tsl. . At this time, charges corresponding to the data potential Vdata are accumulated in the capacitor C2, so that the gate potential Vg of the drive transistor Tdr is maintained at the data potential Vdata even when the selection transistor Tsl is turned off. Therefore, a current corresponding to the gate potential Vg of the driving transistor Tdr (current corresponding to the data potential Vdata) is continuously supplied to the light emitting element E. By supplying this current, the light emitting element E emits light with a luminance corresponding to the data potential Vdata.

<D−2:単位素子Pの構造>
次に、本実施形態に係る単位素子Pの具体的な構造を説明する。図22は、ひとつの単位素子Pの構成を示す平面図であり、図23ないし図25は、単位素子Pが形成される各段階における基板10の面上の様子を示す平面図である。図23ないし図25には、図22に図示された第1電極21の形成される領域Aが二点鎖線によって併記されている。
<D-2: Structure of unit element P>
Next, a specific structure of the unit element P according to the present embodiment will be described. FIG. 22 is a plan view showing a configuration of one unit element P, and FIGS. 23 to 25 are plan views showing states on the surface of the substrate 10 at each stage where the unit element P is formed. 23 to 25, the region A where the first electrode 21 shown in FIG. 22 is formed is also shown by a two-dot chain line.

図23に示すように、基板10の面上には半導体層34と半導体層44とが半導体材料によって同層から形成される。半導体層34は、駆動トランジスタTdrや容量素子C2を構成する略矩形状の部分である。半導体層44は、半導体層34からみてY方向の正側の領域にてX方向に延在する。   As shown in FIG. 23, a semiconductor layer 34 and a semiconductor layer 44 are formed from the same layer on the surface of the substrate 10 by a semiconductor material. The semiconductor layer 34 is a substantially rectangular portion constituting the driving transistor Tdr and the capacitive element C2. The semiconductor layer 44 extends in the X direction in a region on the positive side in the Y direction when viewed from the semiconductor layer 34.

図24に示すように、半導体層34と半導体層44とを覆うゲート絶縁層L0の面上には、選択線11と第1データ線部131と中間導電体54とが同層から形成される。選択線11は、X方向に延在する部分からY方向の負側に分岐して半導体層44に重なり合う2個のゲート電極114を有する。各ゲート電極114と半導体層44とがゲート絶縁層L0を挟んで対向する部分がデュアルゲート構造の選択トランジスタTslとして機能する。第1データ線部131は、図21のデータ線13を構成する部分であり、各行の選択線11の間隙の領域(中間導電体54からみてX方向の負側の領域)にてY方向に延在する。   As shown in FIG. 24, on the surface of the gate insulating layer L0 covering the semiconductor layer 34 and the semiconductor layer 44, the selection line 11, the first data line portion 131, and the intermediate conductor 54 are formed from the same layer. . The selection line 11 has two gate electrodes 114 that branch from the portion extending in the X direction to the negative side in the Y direction and overlap the semiconductor layer 44. A portion where each gate electrode 114 and the semiconductor layer 44 face each other with the gate insulating layer L0 interposed therebetween functions as a selection transistor Tsl having a dual gate structure. The first data line portion 131 is a portion constituting the data line 13 in FIG. 21, and is arranged in the Y direction in the gap region (region on the negative side in the X direction as viewed from the intermediate conductor 54) of the selection line 11 in each row. Extend.

中間導電体54は、略矩形状の電極部Fと、電極部Fの左上部からY方向の負側に延在する連結部545と、この連結部545からX方向の正側に延在して半導体層34と重なり合うゲート電極541とを含む。電極部Fと半導体層34とがゲート絶縁層L0を挟んで対向する部分が容量素子C2として機能する。また、半導体層34のうちゲート絶縁層L0を挟んでゲート電極541に対向する領域は駆動トランジスタTdrのチャネル領域34cである。また、半導体層34のうちチャネル領域34cを挟んで電極部F側の領域がソース領域34sであり、その反対側の領域がドレイン領域34dである。   The intermediate conductor 54 has a substantially rectangular electrode part F, a connecting part 545 extending from the upper left part of the electrode part F to the negative side in the Y direction, and extending from the connecting part 545 to the positive side in the X direction. A gate electrode 541 that overlaps the semiconductor layer 34. A portion where the electrode portion F and the semiconductor layer 34 face each other with the gate insulating layer L0 interposed therebetween functions as the capacitor C2. In addition, a region of the semiconductor layer 34 that faces the gate electrode 541 with the gate insulating layer L0 interposed therebetween is a channel region 34c of the driving transistor Tdr. Further, in the semiconductor layer 34, a region on the electrode part F side with the channel region 34c interposed therebetween is a source region 34s, and a region on the opposite side is a drain region 34d.

以上の各要素を覆う第1絶縁層L1の面上には、図25に示すように、第2データ線部132と接続部64と導通部74と電源線15とが同層から形成される。第2データ線部132は、第1データ線部131とともにデータ線13を構成する配線であり、コンタクトホールHc1を介して各行の第1データ線部131に導通するとともに、そのY方向の負側における隣接行の第1データ線部131にコンタクトホールHc2を介して導通する。また、第2データ線部132は、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通するコンタクトホールHc3を介して半導体層44に導通する。   On the surface of the first insulating layer L1 covering the above elements, as shown in FIG. 25, the second data line portion 132, the connection portion 64, the conduction portion 74, and the power supply line 15 are formed from the same layer. . The second data line part 132 is a wiring that constitutes the data line 13 together with the first data line part 131, and is electrically connected to the first data line part 131 of each row through the contact hole Hc1, and on the negative side in the Y direction. Is electrically connected to the first data line portion 131 in the adjacent row through the contact hole Hc2. The second data line portion 132 is electrically connected to the semiconductor layer 44 through a contact hole Hc3 that penetrates the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0.

接続部64は、選択トランジスタTslと容量素子C2とを電気的に接続するための部分である。すなわち、接続部64は、第1絶縁層L1を貫通するコンタクトホールHc4を介して中間導電体54の電極部Fに導通するとともに、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通するコンタクトホールHc5を介して半導体層44に導通する。また、導通部74は、駆動トランジスタTdrと発光素子Eとを電気的に接続する部分であり、ゲート電極541に沿ってX方向に配列する複数のコンタクトホールHc6を介して半導体層34のドレイン領域34dに導通する。   The connection part 64 is a part for electrically connecting the selection transistor Tsl and the capacitive element C2. In other words, the connection portion 64 is electrically connected to the electrode portion F of the intermediate conductor 54 through the contact hole Hc4 that penetrates the first insulating layer L1, and is a contact hole that penetrates the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0. It conducts to the semiconductor layer 44 through Hc5. The conduction portion 74 is a portion that electrically connects the drive transistor Tdr and the light emitting element E, and is a drain region of the semiconductor layer 34 via a plurality of contact holes Hc6 arranged in the X direction along the gate electrode 541. Conducted to 34d.

図26は、図25の段階にある4個の単位素子Pが配列する様子を示す平面図である。図25および図26に示すように、本実施形態の電源線15は、Y方向に隣接する各第2データ線部132の間隙の領域においてX方向に延在する。電源線15は、第1絶縁層L1とゲート絶縁層L0とを貫通する複数のコンタクトホールHc7を介して半導体層34のソース領域34sに導通する。   FIG. 26 is a plan view showing a state in which the four unit elements P at the stage of FIG. 25 are arranged. As shown in FIGS. 25 and 26, the power supply line 15 of the present embodiment extends in the X direction in the region of the gap between the second data line portions 132 adjacent in the Y direction. The power supply line 15 is electrically connected to the source region 34s of the semiconductor layer 34 through a plurality of contact holes Hc7 penetrating the first insulating layer L1 and the gate insulating layer L0.

図22の第1電極21は、以上の要素を被覆する第2絶縁層L2の面上に形成されるとともにコンタクトホールHc8を介して導通部74に導通する。図27は、図22の段階にある4個の単位素子Pが配列された様子を示す平面図である。図22および図27に示すように、第1電極21は、駆動トランジスタTdrや容量素子C2およびデータ線13と重なり合うように形成される。この構成においては、第1電極21と駆動トランジスタTdrやデータ線13との間に電源線15が介在するから、第1実施形態と同様に、第1電極21と各要素との容量的な結合が抑制される。また、第1電極21は選択トランジスタTslに重なり合わないから、第1電極21と選択トランジスタTslとの容量的な結合を抑制することができる。コンタクトホールHc1,Hc8,Hc6とは、X方向に直線状に並んでいる。また、コンタクトホールHc2,Hc4とは、X方向に直線状に並んでいる。また、選択トランジスタTslを構成する半導体層44は、X方向に延在している。したがって、電源線15をX方向に幅広く延在させることができる。   The first electrode 21 of FIG. 22 is formed on the surface of the second insulating layer L2 covering the above elements and is electrically connected to the conductive portion 74 through the contact hole Hc8. FIG. 27 is a plan view showing a state in which four unit elements P in the stage of FIG. 22 are arranged. As shown in FIGS. 22 and 27, the first electrode 21 is formed so as to overlap the drive transistor Tdr, the capacitive element C2, and the data line 13. In this configuration, since the power supply line 15 is interposed between the first electrode 21 and the drive transistor Tdr and the data line 13, the capacitive coupling between the first electrode 21 and each element is the same as in the first embodiment. Is suppressed. Further, since the first electrode 21 does not overlap the selection transistor Tsl, capacitive coupling between the first electrode 21 and the selection transistor Tsl can be suppressed. The contact holes Hc1, Hc8, Hc6 are arranged in a straight line in the X direction. The contact holes Hc2 and Hc4 are arranged in a straight line in the X direction. The semiconductor layer 44 constituting the selection transistor Tsl extends in the X direction. Therefore, the power supply line 15 can be extended widely in the X direction.

一方、図22および図27に示すように、補助配線27は、第2絶縁層L2の面上に形成された隔壁25の表面のうち各第1電極21の間隙の領域に形成され、選択トランジスタTslや選択線11と重なり合うようにX方向に延在する。このように補助配線27と選択トランジスタTslとの間には隔壁25が介在するから、第1実施形態と同様に、補助配線27と選択トランジスタTslとの容量的な結合は抑制される。なお、第2電極22の態様は第1実施形態と同様である。   On the other hand, as shown in FIGS. 22 and 27, the auxiliary wiring 27 is formed in the region of the gap between the first electrodes 21 on the surface of the partition wall 25 formed on the surface of the second insulating layer L2, and is selected transistor. It extends in the X direction so as to overlap with Tsl and the selection line 11. Thus, since the partition wall 25 is interposed between the auxiliary wiring 27 and the selection transistor Tsl, capacitive coupling between the auxiliary wiring 27 and the selection transistor Tsl is suppressed as in the first embodiment. In addition, the aspect of the 2nd electrode 22 is the same as that of 1st Embodiment.

<E:第5実施形態>
次に、本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態においては、ひとつの単位素子Pの態様(レイアウト)とそのX方向およびY方向に隣接する各単位素子Pの態様とが相違する。各単位素子Pの構造は第4実施形態と同様である。したがって、各単位素子Pの具体的な構成については適宜に説明を省略する。
<E: Fifth Embodiment>
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the mode (layout) of one unit element P is different from the mode of each unit element P adjacent in the X and Y directions. The structure of each unit element P is the same as that of the fourth embodiment. Therefore, description of the specific configuration of each unit element P will be omitted as appropriate.

図28は、第1データ線部131と選択線11と中間導電体54とが同層から形成された段階の複数の単位素子PがX方向およびY方向にわたって配列された様子を示す平面図である。同図における第i行は奇数行であり、第(i−1)行および第(i+1)行は偶数行である。   FIG. 28 is a plan view showing a state in which a plurality of unit elements P at the stage where the first data line portion 131, the selection line 11, and the intermediate conductor 54 are formed from the same layer are arranged in the X direction and the Y direction. is there. The i-th row in the figure is an odd-numbered row, and the (i-1) -th row and the (i + 1) -th row are even-numbered rows.

図28の構成においては、第3実施形態と同様に、複数の単位素子Pを構成する各要素のY方向における配置が奇数行(第i行)と偶数行(第(i−1)行および第(i+1)行)とで逆転したレイアウトとなっている。すなわち、奇数行(第i行)に属する単位素子Pにおいては、駆動トランジスタTdrからみてY方向の正側に選択トランジスタTslおよび選択線11が配置される。これに対し、偶数行(第(i−1)行および第(i+1)行)に属する各単位素子Pにおいては、駆動トランジスタTdrからみてY方向の負側に選択トランジスタTslおよび選択線11が配置される。そして、第1データ線部131は、偶数行(第(i−1)行)の単位素子PとそのY方向の正側に位置する奇数行(第i行)の単位素子Pとにわたって連続する形状に形成される。   In the configuration of FIG. 28, as in the third embodiment, the arrangement of the elements constituting the plurality of unit elements P in the Y direction is an odd row (i-th row) and an even-numbered row ((i-1) -th row). The layout is reversed with respect to the (i + 1) th line. That is, in the unit element P belonging to the odd row (i-th row), the selection transistor Tsl and the selection line 11 are arranged on the positive side in the Y direction when viewed from the drive transistor Tdr. On the other hand, in each unit element P belonging to the even-numbered rows (the (i−1) th row and the (i + 1) th row), the selection transistor Tsl and the selection line 11 are arranged on the negative side in the Y direction as viewed from the drive transistor Tdr. Is done. The first data line portion 131 is continuous over the unit elements P in the even-numbered rows ((i−1) -th row) and the unit elements P in the odd-numbered rows (i-th row) located on the positive side in the Y direction. It is formed into a shape.

さらに、本実施形態においては、単位素子Pを構成する各要素のX方向における配置が第j列とそのX方向に隣接する第(j+1)列とで逆転したレイアウトとなっている。すなわち、第j列に属する各単位素子Pにおいては、駆動トランジスタTdrや容量素子C2からみてX方向の正側に第1データ線部131が配置されるのに対し、第(j+1)列に属する各単位素子Pにおいては、駆動トランジスタTdrや容量素子C2からみてX方向の負側に第1データ線部131が配置される。したがって、第j列の第1データ線部131と第(j+1)列の第1データ線部131との間隙には駆動トランジスタTdrや容量素子C2が存在しない。   Further, in the present embodiment, the layout of the elements constituting the unit element P in the X direction is reversed between the jth column and the (j + 1) th column adjacent to the X direction. That is, each unit element P belonging to the j-th column belongs to the (j + 1) -th column while the first data line portion 131 is arranged on the positive side in the X direction when viewed from the drive transistor Tdr and the capacitive element C2. In each unit element P, the first data line portion 131 is arranged on the negative side in the X direction when viewed from the drive transistor Tdr and the capacitive element C2. Therefore, the drive transistor Tdr and the capacitor C2 do not exist in the gap between the first data line portion 131 in the j-th column and the first data line portion 131 in the (j + 1) -th column.

次に、図29は、第1絶縁層L1の面上に各要素(第2データ線部132や電源線15)が形成された様子を示す平面図である。同図に示すように、第2データ線部132は、奇数行(第i行)の選択線11とそのY方向の正側に隣接する偶数行(第(i+1)行)の選択線11とに交差する。一方、偶数行(第(i−1)行)とそのY方向の正側に隣接する奇数行(第i行)との間隙に第2データ線部132は形成されない。   Next, FIG. 29 is a plan view showing a state in which each element (second data line part 132 and power supply line 15) is formed on the surface of the first insulating layer L1. As shown in the figure, the second data line unit 132 includes an odd-numbered row (i-th row) selection line 11 and an even-numbered row ((i + 1) -th row) selection line 11 adjacent to the positive side in the Y direction. Intersect. On the other hand, the second data line portion 132 is not formed in the gap between the even-numbered row ((i-1) th row) and the odd-numbered row (i-th row) adjacent to the positive side in the Y direction.

そして、本実施形態の電源線15は、各単位素子Pの容量素子C2と重なり合うようにX方向に延在する部分に加えて、これらの各部分を相互に連結する連結部153を含む。連結部153は、偶数行(第(i−1)行)とそのY方向の正側に隣接する奇数行(第i行)との間隙であって第j列および第(j+1)列の各第1データ線部131と重なり合う領域(すなわち第2データ線部132が形成されない領域)に形成される。このように本実施形態によれば、第4実施形態と比較して連結部153の分だけ電源線15の面積が拡大されるから、電源線15を低抵抗化して各単位素子Pにおける電源電位Vddのバラツキを抑制することができる。   The power supply line 15 according to the present embodiment includes a connecting portion 153 that connects these parts to each other in addition to the part extending in the X direction so as to overlap the capacitive element C2 of each unit element P. The connecting portion 153 is a gap between the even-numbered row (i-th row) and the odd-numbered row (i-th row) adjacent to the positive side in the Y direction, and each of the j-th column and the (j + 1) -th column. It is formed in a region overlapping with the first data line portion 131 (that is, a region where the second data line portion 132 is not formed). As described above, according to the present embodiment, the area of the power supply line 15 is increased by the amount of the connecting portion 153 as compared with the fourth embodiment. Variations in Vdd can be suppressed.

図30は、第2絶縁層L2の面上に各要素(第1電極21や補助配線27)が形成された様子を示す平面図である。同図に示すように、隔壁25の面上に形成される補助配線27は、奇数行(第i行)の第1電極21とそのY方向の正側に隣接する偶数行(第(i+1)行)の第1電極21との間隙にてX方向に延在し、これらの各行に属する選択線11や選択トランジスタTslに重なり合う。一方、偶数行(第(i−1)行)とそのY方向の正側に隣接する奇数行(第i行)との間隙(すなわち選択線11や選択トランジスタTslが形成されない領域)に補助配線27は形成されない。本実施形態によっても第3実施形態と同様の作用および効果が奏される。   FIG. 30 is a plan view showing a state in which each element (the first electrode 21 and the auxiliary wiring 27) is formed on the surface of the second insulating layer L2. As shown in the drawing, the auxiliary wiring 27 formed on the surface of the partition wall 25 includes the odd-numbered (i-th) first electrode 21 and the even-numbered (i + 1) -th row adjacent to the positive side in the Y direction. The row extends in the X direction with a gap from the first electrode 21 and overlaps the selection line 11 and the selection transistor Tsl belonging to each row. On the other hand, auxiliary wiring is provided in the gap between the even-numbered row ((i-1) th row) and the odd-numbered row (i-th row) adjacent to the positive side in the Y direction (that is, the region where the selection line 11 and the selection transistor Tsl are not formed). 27 is not formed. According to this embodiment, the same operations and effects as those of the third embodiment are achieved.

<F:変形例>
以上の形態には様々な変形が加えられる。具体的な変形の態様を例示すれば以下の通りである。なお、以下の各態様を適宜に組み合わせてもよい。
<F: Modification>
Various modifications are added to the above embodiment. An example of a specific modification is as follows. In addition, you may combine each following aspect suitably.

<F−1:変形例1>
以上の各形態における単位素子Pの電気的な構成は適宜に変更される。本発明に適用される単位素子Pの具体的な態様を以下に例示する。
<F-1: Modification 1>
The electrical configuration of the unit element P in each of the above embodiments is appropriately changed. Specific embodiments of the unit element P applied to the present invention are exemplified below.

(1)図31に示すように、駆動トランジスタTdrと発光素子Eとの間にトランジスタ(以下「発光制御トランジスタ」という)Tcntが介在する構成としてもよい。この発光制御トランジスタTcntは、駆動トランジスタTdrのドレイン電極と発光素子Eの第1電極21との電気的な接続を、発光制御線14に供給される発光制御信号Scに応じて制御するスイッチング素子である。発光制御トランジスタTcntがオン状態に変化すると電源線15から発光素子Eへの電流の経路が形成されて発光素子Eの発光が許可され、発光制御トランジスタTcntがオフ状態に変化するとこの経路が遮断されて発光素子Eの発光が禁止される。したがって、この構成によれば、初期化期間や書込期間を除外した駆動期間のみにおいて発光制御トランジスタTcntをオン状態として発光素子Eを発光させるといった具合に、発光素子Eが実際に発光する期間を正確に規定することができる。なお、図21に例示した構成の単位素子Pに対して発光制御トランジスタTcntを追加してもよい。   (1) As shown in FIG. 31, a transistor (hereinafter referred to as “light emission control transistor”) Tcnt may be interposed between the drive transistor Tdr and the light emitting element E. The light emission control transistor Tcnt is a switching element that controls the electrical connection between the drain electrode of the drive transistor Tdr and the first electrode 21 of the light emitting element E according to the light emission control signal Sc supplied to the light emission control line 14. is there. When the light emission control transistor Tcnt changes to the on state, a current path from the power supply line 15 to the light emitting element E is formed and light emission of the light emitting element E is permitted. When the light emission control transistor Tcnt changes to the off state, this path is blocked. Accordingly, the light emission of the light emitting element E is prohibited. Therefore, according to this configuration, the period during which the light emitting element E actually emits light, such as when the light emitting control transistor Tcnt is turned on and the light emitting element E emits light only in the driving period excluding the initialization period and the writing period, is set. Can be accurately defined. Note that the light emission control transistor Tcnt may be added to the unit element P having the configuration illustrated in FIG.

以上の構成における発光制御トランジスタTcntや発光制御線14についても、以上の各形態において例示した選択トランジスタTslや選択線11(あるいは初期化トランジスタTintや初期化線12)と同様の態様が採用される。   For the light emission control transistor Tcnt and the light emission control line 14 in the above configuration, the same mode as the selection transistor Tsl and the selection line 11 (or the initialization transistor Tint and the initialization line 12) exemplified in the above embodiments is employed. .

(2)図32に示すように、図2に例示した単位素子Pにおいて、駆動トランジスタTdrのゲート電極とソース電極(電源線15)との間に容量素子C2が介挿された構成としてもよい。この構成によれば、書込期間にて設定された駆動トランジスタTdrのゲート電位Vgを駆動期間にて容量素子C2に保持できるという利点がある。もっとも、駆動トランジスタTdrのゲート電極の面積(チャネル領域の面積)が充分に確保される構成においては、この駆動トランジスタTdrのゲート容量によってゲート電位Vgが保持される。したがって、第1実施形態から第3実施形態のように容量素子C2が配置されない構成であっても、駆動期間にてゲート電位Vgを保持することは可能である。   (2) As shown in FIG. 32, the unit element P illustrated in FIG. 2 may be configured such that the capacitive element C2 is interposed between the gate electrode and the source electrode (power supply line 15) of the drive transistor Tdr. . According to this configuration, there is an advantage that the gate potential Vg of the driving transistor Tdr set in the writing period can be held in the capacitive element C2 in the driving period. However, in the configuration in which the area of the gate electrode (channel area) of the drive transistor Tdr is sufficiently secured, the gate potential Vg is held by the gate capacitance of the drive transistor Tdr. Therefore, the gate potential Vg can be held in the driving period even when the capacitor C2 is not disposed as in the first to third embodiments.

以上のように、駆動トランジスタTdrのゲート電極に接続される容量素子は、容量カップリングによって駆動トランジスタTdrのゲート電位Vgを設定するための容量素子C1であってもよいし、駆動トランジスタTdrのゲート電極の電位を保持するための容量素子C2であってもよい。   As described above, the capacitive element connected to the gate electrode of the drive transistor Tdr may be the capacitive element C1 for setting the gate potential Vg of the drive transistor Tdr by capacitive coupling, or the gate of the drive transistor Tdr. It may be a capacitive element C2 for holding the potential of the electrode.

<F−2:変形例2>
以上の形態においては第1電極21が光反射性の材料によって形成された構成を例示したが、発光層23から基板10側への出射光が第1電極21とは別個の反射層によって基板10とは反対側に反射される構成としてもよい。この構成においては、光反射性の材料によって第1絶縁層L1の面上に反射層が形成され、この反射層を覆うように第1電極21が形成される。第1電極21は、ITOやIZOなどの光透過性の導電性材料によって形成される。また、以上の形態においては第2電極22が光透過性の材料によって形成された構成を例示したが、遮光性または光反射性を有する導電性材料を充分に薄く形成した電極が第2電極22とされた構成によっても発光層23からの放射光を透過させることができる。
<F-2: Modification 2>
In the above embodiment, the configuration in which the first electrode 21 is formed of a light-reflective material has been illustrated. However, the light emitted from the light emitting layer 23 toward the substrate 10 is reflected by the reflective layer separate from the first electrode 21. It is good also as a structure reflected on the opposite side. In this configuration, a reflective layer is formed on the surface of the first insulating layer L1 with a light reflective material, and the first electrode 21 is formed so as to cover the reflective layer. The first electrode 21 is formed of a light-transmitting conductive material such as ITO or IZO. In the above embodiment, the configuration in which the second electrode 22 is formed of a light-transmitting material is exemplified. However, an electrode formed by sufficiently thinning a light-blocking or light-reflecting conductive material is the second electrode 22. The emitted light from the light emitting layer 23 can be transmitted also by the configuration.

もっとも、発光層23からの出射光が基板10を透過して出射するボトムエミッション型の発光装置にも本発明は適用される。この構成においては、例えば、光反射性の導電性材料によって第2電極22が形成されるとともに光透過性の導電性材料によって第1電極21が形成される。そして、発光層23から基板10側への出射光と、発光層23から基板10とは反対側に出射して第2電極22の表面にて反射した光とが、第1電極21および基板10を透過して出射する。   However, the present invention is also applied to a bottom emission type light emitting device in which light emitted from the light emitting layer 23 passes through the substrate 10 and is emitted. In this configuration, for example, the second electrode 22 is formed of a light-reflective conductive material, and the first electrode 21 is formed of a light-transmissive conductive material. The light emitted from the light emitting layer 23 toward the substrate 10 and the light emitted from the light emitting layer 23 to the opposite side of the substrate 10 and reflected by the surface of the second electrode 22 are the first electrode 21 and the substrate 10. Is transmitted through.

<F−3:変形例3>
以上の構成においては、複数の単位素子Pにわたって連続するように発光層23が形成された構成を例示したが、発光層23が単位素子Pごとに分離された構成(例えば発光層23が隔壁25の開口部の内側のみに形成された構成)も採用される。また、隔壁25は適宜に省略される。
<F-3: Modification 3>
In the above configuration, the configuration in which the light emitting layer 23 is formed so as to be continuous over a plurality of unit elements P is illustrated, but the configuration in which the light emitting layer 23 is separated for each unit element P (for example, the light emitting layer 23 is the partition wall 25). The configuration formed only inside the opening of the above is also employed. Moreover, the partition 25 is abbreviate | omitted suitably.

<F−4:変形例4>
以上の各形態においては有機EL材料より少なくともなる発光層23を含む発光素子Eを例示したが、本発明における発光素子はこれに限定されない。例えば、無機EL材料より少なくともなる発光層を含む発光素子やLED(Light Emitting Diode)素子など様々な発光素子を採用することができる。本発明における発光素子は、電気エネルギの供給(典型的には電流の供給)によって発光する素子であれば足り、その具体的な構造や材料の如何は不問である。
<F-4: Modification 4>
In each of the above embodiments, the light emitting element E including the light emitting layer 23 made of at least an organic EL material is exemplified, but the light emitting element in the present invention is not limited to this. For example, various light emitting elements such as a light emitting element including a light emitting layer made of an inorganic EL material and an LED (Light Emitting Diode) element can be employed. The light-emitting element in the present invention may be an element that emits light by supplying electric energy (typically supplying current), and its specific structure and material are not limited.

<G:応用例>
次に、本発明に係る発光装置を利用した電子機器の具体的な形態を説明する。図33は、以上に説明した何れかの形態に係る発光装置Dを表示装置として採用したモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。パーソナルコンピュータ2000は、表示装置としての発光装置Dと本体部2010とを備える。本体部2010には、電源スイッチ2001およびキーボード2002が設けられている。この発光装置Dは有機EL材料の発光層23を発光素子Eに使用しているので、視野角が広く見易い画面を表示できる。
<G: Application example>
Next, specific modes of electronic devices using the light-emitting device according to the present invention will be described. FIG. 33 is a perspective view showing the configuration of a mobile personal computer that employs the light-emitting device D according to any one of the embodiments described above as a display device. The personal computer 2000 includes a light emitting device D as a display device and a main body 2010. The main body 2010 is provided with a power switch 2001 and a keyboard 2002. Since the light emitting device D uses the light emitting layer 23 of the organic EL material for the light emitting element E, it is possible to display an easy-to-see screen with a wide viewing angle.

図34に、各形態に係る発光装置Dを適用した携帯電話機の構成を示す。携帯電話機3000は、複数の操作ボタン3001およびスクロールボタン3002、ならびに表示装置としての発光装置Dを備える。スクロールボタン3002を操作することによって、発光装置Dに表示される画面がスクロールされる。   FIG. 34 shows a configuration of a mobile phone to which the light emitting device D according to each embodiment is applied. A cellular phone 3000 includes a plurality of operation buttons 3001, scroll buttons 3002, and a light emitting device D as a display device. By operating the scroll button 3002, the screen displayed on the light emitting device D is scrolled.

図35に、各形態に係る発光装置Dを適用した携帯情報端末(PDA:Personal Digital Assistants)の構成を示す。情報携帯端末4000は、複数の操作ボタン4001および電源スイッチ4002、ならびに表示装置としての発光装置Dを備える。電源スイッチ4002を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が発光装置Dに表示される。   FIG. 35 shows a configuration of a personal digital assistant (PDA) to which the light emitting device D according to each embodiment is applied. The information portable terminal 4000 includes a plurality of operation buttons 4001, a power switch 4002, and a light emitting device D as a display device. When the power switch 4002 is operated, various kinds of information such as an address book and a schedule book are displayed on the light emitting device D.

なお、本発明に係る発光装置が適用される電子機器としては、図33から図35に示したもののほか、デジタルスチルカメラ、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電子ペーパー、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、プリンタ、スキャナ、複写機、ビデオプレーヤ、タッチパネルを備えた機器等などが挙げられる。また、本発明に係る発光装置の用途は画像の表示に限定されない。例えば、光書込み型のプリンタや電子複写機といった画像形成装置においては、用紙などの記録材に形成されるべき画像に応じて感光体を露光する書込みヘッドが使用されるが、この種の書込みヘッドとしても本発明の発光装置を利用することができる。   Electronic devices to which the light emitting device according to the present invention is applied include those shown in FIGS. 33 to 35, digital still cameras, televisions, video cameras, car navigation devices, pagers, electronic notebooks, electronic papers, calculators. , Word processors, workstations, videophones, POS terminals, printers, scanners, copiers, video players, devices equipped with touch panels, and the like. Further, the use of the light emitting device according to the present invention is not limited to the display of images. For example, in an image forming apparatus such as an optical writing type printer or an electronic copying machine, a writing head that exposes a photosensitive member according to an image to be formed on a recording material such as paper is used. The light emitting device of the present invention can also be used.

D…発光装置、P…単位素子、E…発光素子、10…基板、11…選択線、12…初期化線、13…データ線、14…発光制御線、15…電源線、21…第1電極、22…第2電極、23…発光層、Tdr…駆動トランジスタ、Tsl…選択トランジスタ、Tint…初期化トランジスタ、Tcnt…発光制御トランジスタ、C1,C2…容量素子、E1,E2…電極、L0…ゲート絶縁層、L1…第1絶縁層、L2…第2絶縁層。   D ... light emitting device, P ... unit element, E ... light emitting element, 10 ... substrate, 11 ... select line, 12 ... initialization line, 13 ... data line, 14 ... light emission control line, 15 ... power supply line, 21 ... first Electrode, 22 ... second electrode, 23 ... light emitting layer, Tdr ... drive transistor, Tsl ... selection transistor, Tint ... initialization transistor, Tcnt ... light emission control transistor, C1, C2 ... capacitive element, E1, E2 ... electrode, L0 ... Gate insulating layer, L1 ... first insulating layer, L2 ... second insulating layer.

Claims (15)

所定の電位が供給される給電線と、
第1電極と第2電極との間に発光層が介在する発光素子と、
前記給電線から前記発光素子に供給される電流量を制御する駆動トランジスタとを具備し、
前記給電線は、前記第1電極と前記駆動トランジスタとの間に介在する部分を含むことを特徴とする発光装置。
A power supply line to which a predetermined potential is supplied;
A light emitting device in which a light emitting layer is interposed between the first electrode and the second electrode;
A drive transistor for controlling the amount of current supplied from the power supply line to the light emitting element;
The light-emitting device, wherein the power supply line includes a portion interposed between the first electrode and the driving transistor.
前記駆動トランジスタのゲート電極に電気的に接続された容量素子とをさらに具備し、
前記第1電極は、前記容量素子と重なり合うことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
A capacitive element electrically connected to the gate electrode of the driving transistor;
The light emitting device according to claim 1, wherein the first electrode overlaps the capacitor.
データ信号が供給されるデータ線とをさらに具備し、
前記駆動トランジスタは、前記電流量を前記データ信号に応じて制御し、
前記給電線は、前記第1電極と前記データ線との間に介在する部分を含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の発光装置。
A data line to which a data signal is supplied,
The drive transistor controls the amount of current according to the data signal,
The light-emitting device according to claim 1, wherein the power supply line includes a portion interposed between the first electrode and the data line.
データ信号が供給されるデータ線と、
前記第1電極は、前記データ線を被覆する絶縁層の面上に形成された光反射性の電極であり、その外周縁が前記データ線と重なり合うことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の発光装置。
A data line to which a data signal is supplied;
4. The first electrode according to claim 1, wherein the first electrode is a light-reflective electrode formed on a surface of an insulating layer covering the data line, and an outer peripheral edge thereof overlaps with the data line. The light emitting device according to any one of the above.
選択信号に応じてオン状態またはオフ状態となる選択トランジスタを具備し、
前記駆動トランジスタのゲート電極は、オン状態となった前記選択トランジスタを介してデータ線から供給されるデータ信号に応じた電位に設定され、
前記第1電極は、前記選択トランジスタと重なり合わないように形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の発光装置。
A selection transistor that is turned on or off in response to a selection signal;
The gate electrode of the driving transistor is set to a potential according to a data signal supplied from a data line through the selection transistor that is turned on,
5. The light emitting device according to claim 1, wherein the first electrode is formed so as not to overlap the selection transistor. 6.
初期化信号に応じてオン状態またはオフ状態となる初期化トランジスタを具備し、 前記駆動トランジスタのゲート電極とドレインとは、オン状態となった前記初期化トランジスタを介して電気的に接続され、
前記第1電極は、前記初期化トランジスタと重なり合わないように形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の発光装置。
An initialization transistor that is turned on or off according to an initialization signal; and the gate electrode and the drain of the drive transistor are electrically connected via the initialization transistor that is turned on,
The light emitting device according to claim 1, wherein the first electrode is formed so as not to overlap the initialization transistor.
第1電極と第2電極との間に発光層が介在する発光素子と、
前記発光素子に供給される電流量を制御する駆動トランジスタと、
前記駆動トランジスタのゲート電極に電気的に接続された容量素子と、
前記第2電極よりも抵抗率が低い材料で形成されて前記第2電極に導通する補助配線とを具備し、
前記補助配線は、前記駆動トランジスタおよび前記容量素子とは重なり合わないことを特徴とする発光装置。
A light emitting device in which a light emitting layer is interposed between the first electrode and the second electrode;
A drive transistor for controlling the amount of current supplied to the light emitting element;
A capacitive element electrically connected to the gate electrode of the driving transistor;
An auxiliary wiring formed of a material having a lower resistivity than the second electrode and conducting to the second electrode;
The light-emitting device, wherein the auxiliary wiring does not overlap the driving transistor and the capacitor.
選択信号に応じてオン状態またはオフ状態となる選択トランジスタと、
前記選択トランジスタに重なり合うとともに開口部が形成された絶縁層と、
第1電極と前記絶縁層を被覆する第2電極とが少なくとも前記開口部の内側において発光層を挟んで対向する発光素子と、
オン状態となった前記選択トランジスタを介してデータ線から供給されるデータ信号に応じて、前記発光素子に供給される電流量を制御する駆動トランジスタと、
前記第2電極よりも抵抗率が低い材料によって前記絶縁層の面上に形成されて前記第2電極に導通する補助配線とを具備することを特徴とする発光装置。
A selection transistor that is turned on or off in response to a selection signal; and
An insulating layer overlapping the selection transistor and having an opening formed therein;
A light emitting element in which the first electrode and the second electrode covering the insulating layer are opposed to each other with the light emitting layer sandwiched at least inside the opening;
A driving transistor that controls the amount of current supplied to the light emitting element in response to a data signal supplied from a data line via the selection transistor that is turned on;
A light emitting device comprising: an auxiliary wiring which is formed on a surface of the insulating layer with a material having a lower resistivity than the second electrode and is electrically connected to the second electrode.
前記選択トランジスタは、前記補助配線と重なり合うことを特徴とする請求項8に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 8, wherein the selection transistor overlaps with the auxiliary wiring. 初期化信号に応じてオン状態またはオフ状態となる初期化トランジスタと、
前記初期化トランジスタに重なり合うとともに開口部が形成された絶縁層と、
第1電極と前記絶縁層を被覆する第2電極とが少なくとも前記開口部の内側において発光層を挟んで対向する発光素子と、
前記発光素子に供給される電流量を制御するとともに、オン状態となった前記初期化トランジスタを介してゲート電極とドレインとが電気的に接続される駆動トランジスタと、
前記第2電極よりも抵抗率が低い材料によって前記絶縁層の面上に形成されて前記第2電極に導通する補助配線とを具備することを特徴とする発光装置。
An initialization transistor that is turned on or off in response to an initialization signal;
An insulating layer overlapping the initialization transistor and having an opening formed therein;
A light emitting element in which the first electrode and the second electrode covering the insulating layer are opposed to each other with the light emitting layer sandwiched at least inside the opening;
A driving transistor that controls the amount of current supplied to the light-emitting element and electrically connects a gate electrode and a drain via the initialization transistor that is turned on;
A light emitting device comprising: an auxiliary wiring which is formed on a surface of the insulating layer with a material having a lower resistivity than the second electrode and is electrically connected to the second electrode.
前記初期化トランジスタは、前記補助配線と重なり合うことを特徴とする請求項10に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 10, wherein the initialization transistor overlaps with the auxiliary wiring. 第1方向に延在する複数の制御線と、
前記第1方向とは異なる第2方向に延在して前記複数の制御線と交差するデータ線と、
前記複数の制御線と前記データ線との交差に対応した位置に各々が配置されて前記第2方向に配列する複数の単位素子とを具備し、
前記複数の単位素子の各々は、
第1電極と第2電極との間に発光層が介在する発光素子と、
前記データ線に供給される信号に応じてゲート電極の電位が設定されることで、前記発光素子に供給される電流量を制御する駆動トランジスタと、
前記駆動トランジスタのゲート電極に対する所定の電位の供給の可否または前記発光素子に対する電流の供給の可否を、前記複数の制御線のうち当該単位素子に対応した制御線に供給される信号に応じて制御する制御トランジスタとを含み、
前記複数の単位素子のうち第1の単位素子においては、前記制御トランジスタと前記制御線とが前記駆動トランジスタからみて前記第2方向における一方の側に位置し、
前記複数の単位素子のうち前記第2方向における一方の側にて前記第1の単位素子に隣接する第2の単位素子と、前記第2方向における他方の側にて前記第1の単位素子に隣接する第3の単位素子との各々においては、前記制御トランジスタと前記制御線とが前記駆動トランジスタからみて前記第2方向における他方の側に位置し、
前記データ線は、前記複数の制御線と同層から形成されて前記第2方向に配列する複数の第1データ線部と、前記複数の制御線を被覆する絶縁層の面上に形成されて前記各第1データ線部を電気的に接続する第2データ線部とを含み、
前記第1データ線部は、前記第1の単位素子と前記第3の単位素子とにわたって連続し、前記第2データ線部は、前記第1の単位素子に対応した前記制御線と前記第2の単位素子に対応した前記制御線とに交差することを特徴とする発光装置。
A plurality of control lines extending in a first direction;
A data line extending in a second direction different from the first direction and intersecting the plurality of control lines;
A plurality of unit elements that are arranged at positions corresponding to the intersections of the plurality of control lines and the data lines and arranged in the second direction;
Each of the plurality of unit elements is
A light emitting device in which a light emitting layer is interposed between the first electrode and the second electrode;
A driving transistor that controls the amount of current supplied to the light emitting element by setting the potential of the gate electrode in accordance with a signal supplied to the data line;
Whether to supply a predetermined potential to the gate electrode of the driving transistor or whether to supply a current to the light emitting element is controlled according to a signal supplied to a control line corresponding to the unit element among the plurality of control lines. And a control transistor that
In the first unit element of the plurality of unit elements, the control transistor and the control line are located on one side in the second direction when viewed from the drive transistor,
Among the plurality of unit elements, a second unit element adjacent to the first unit element on one side in the second direction and a first unit element on the other side in the second direction. In each of the adjacent third unit elements, the control transistor and the control line are located on the other side in the second direction as viewed from the drive transistor,
The data lines are formed on a surface of a plurality of first data line portions formed in the same layer as the plurality of control lines and arranged in the second direction, and an insulating layer covering the plurality of control lines. A second data line portion that electrically connects each of the first data line portions,
The first data line unit is continuous over the first unit element and the third unit element, and the second data line unit includes the control line corresponding to the first unit element and the second unit element. The light emitting device crosses the control line corresponding to the unit element.
所定の電位が供給される給電線を具備し、
前記駆動トランジスタは、前記給電線から前記発光素子に供給される電流量を制御し、
前記給電線は、前記データ線の第2データ線部と同層から形成され、前記第1データ線部のうち前記第1の単位素子と前記第3の単位素子との間隙に位置する部分を含むことを特徴とする請求項10に記載の発光装置。
A power supply line to which a predetermined potential is supplied;
The drive transistor controls the amount of current supplied from the feeder line to the light emitting element,
The feeder line is formed in the same layer as the second data line portion of the data line, and a portion of the first data line portion located in the gap between the first unit element and the third unit element is formed. The light emitting device according to claim 10, further comprising:
前記第2電極よりも抵抗率が低い材料で形成されて前記第2電極に導通する補助配線を具備し、
前記補助配線は、前記第1の単位素子の前記制御トランジスタおよび前記制御線と前記第2の単位素子の前記制御トランジスタおよび前記制御線とに重なり合うように形成され、前記第1の単位素子と前記第3の単位素子との間隙には形成されないことを特徴とする請求項12又は請求項13に記載の発光装置。
An auxiliary wiring formed of a material having a lower resistivity than the second electrode and conducting to the second electrode;
The auxiliary wiring is formed to overlap the control transistor and the control line of the first unit element and the control transistor and the control line of the second unit element, and the first unit element and the control line 14. The light emitting device according to claim 12, wherein the light emitting device is not formed in a gap with the third unit element.
請求項1乃至請求項14のいずれか一項に記載の発光装置を具備する電子機器。   An electronic apparatus comprising the light emitting device according to claim 1.
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