JP2012122927A - X-ray foreign matter detection device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray foreign matter detection device capable of reducing positional deviation of an object to be inspected on an image during image composition, and preventing a decrease in foreign matter detection capability.SOLUTION: The X-ray foreign matter detection device comprises: X-ray tubes 12a, 12b for irradiating an object W to be inspected conveyed on a conveyance path with X-rays of mutually different intensity; X-ray line sensors 50, 60 which are arranged in a conveyance direction of the object W to be inspected, have resolution higher than that needed for foreign matter determination, and respectively output image data according to X-rays which are radiated from the X-ray tubes 12a, 12b and transmitted through the object W to be inspected; an image composition part 44 for composing the image data from the X-ray line sensors 50, 60 and outputting the image data as one image data corresponding to the object W to be inspected; an image reduction part 46 for reducing image size of the image data from the image composition part 44; and a determination part 48 for determining presence or absence of foreign matter in the object W to be inspected based on the image data output by the image reduction part 46.

Description

本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するX線異物検出装置に関し、特に、複数本のX線ラインセンサからの画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したX線異物検出装置に関するものである。   The present invention relates to an X-ray foreign object detection device that detects foreign substances mixed in an object to be inspected such as meat, fish, processed foods, and pharmaceuticals, and in particular, combines foreign images by synthesizing images from a plurality of X-ray line sensors. The present invention relates to an X-ray foreign matter detection apparatus that employs an energy subtraction method for obtaining an enhanced image.

一般に、X線異物検出装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物(例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など)にX線発生器からX線を照射し、この照射したX線の透過量から被検査物中に金属、ガラス、石、骨などの異物が混入しているか否かや被検査物の欠品などを検査するようになっている。   In general, an X-ray foreign object detection apparatus irradiates X-rays from X-ray generators on various types of inspection objects (for example, meat, fish, processed foods, pharmaceuticals, etc.) that are sequentially conveyed on a conveyance path at predetermined intervals. The inspection object is inspected for foreign substances such as metal, glass, stones, and bones, and a lack of the inspection object, based on the amount of transmitted X-rays.

従来、この種のX線異物検出装置では、管電圧の異なるX線源を用いて得た複数枚(例えば、2枚)の画像を合成することで、被検査物の厚みによる影響を低減させ、異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したものが知られている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, in this type of X-ray foreign object detection apparatus, the influence of the thickness of the object to be inspected can be reduced by synthesizing a plurality of images (for example, two images) obtained using X-ray sources having different tube voltages. An apparatus employing an energy subtraction method for obtaining an image in which foreign matter is emphasized is known (for example, see Patent Document 1).

特開2010−91483号公報JP 2010-91483 A

しかしながら、特許文献1に記載された従来の技術では、エネルギーサブトラクション法を用いて2台のX線ラインセンサカメラからの画像を合成する際に、X線ラインセンサカメラの素子サイズ程度、被検査物の位置ズレが生じてしまうため、合成した画像上における被検査物の位置ズレにより被検査物のエッジが強調されてしまい異物検出感度が低下するという問題があった。   However, in the conventional technique described in Patent Document 1, when the images from the two X-ray line sensor cameras are synthesized using the energy subtraction method, the element size of the X-ray line sensor camera is approximately the same as the inspection object. Therefore, there is a problem in that the edge of the inspection object is emphasized due to the displacement of the inspection object on the synthesized image, and the foreign matter detection sensitivity is lowered.

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、画像合成時の画像上の被検査物の位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができるX線異物検出装置を提供することを目的としている。   Therefore, the present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and can reduce the positional deviation of the inspection object on the image at the time of image composition and prevent the foreign matter detection ability from being reduced. An object of the present invention is to provide an X-ray foreign object detection device.

本発明に係るX線異物検出装置は、被検査物を搬送路上で搬送する搬送手段と、前記搬送路上を搬送される被検査物に互いに異なる強度のX線を照射する第1のX線源および第2のX線源と、前記被検査物の搬送方向に配置され、異物判定に必要な解像度より高解像度であるとともに前記第1のX線源および前記第2のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた画像データをそれぞれ出力する第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサと、前記第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサからの画像データを合成して前記被検査物に対応する1つの画像データとして出力する画像合成手段と、前記画像合成手段からの画像データの画像サイズを縮小する画像縮小手段と、前記画像縮小手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。   An X-ray foreign matter detection apparatus according to the present invention is a first X-ray source that irradiates X-rays having different intensities to a conveying unit that conveys an object to be inspected on a conveying path and to the object to be inspected conveyed on the conveying path And the second X-ray source and the second X-ray source, which are arranged in the conveyance direction of the object to be inspected, have a resolution higher than that required for foreign object determination and are irradiated from the first X-ray source and the second X-ray source A first X-ray line sensor and a second X-ray line sensor that respectively output image data corresponding to X-rays transmitted through the inspection object, and the first X-ray line sensor and the second X-ray line Image combining means for combining image data from sensors and outputting as one image data corresponding to the object to be inspected, image reducing means for reducing the image size of the image data from the image combining means, and the image reduction Image output by means Determining means for determining whether the foreign matter of the object to be inspected in the basis of the data, characterized by comprising a.

この構成により、画像合成手段で高解像度の画像データを用いて合成することにより素子サイズに由来する画像上の被検査物の位置ズレを低減することができ、また、合成後の画像を画像縮小手段により縮小することにより、合成後の画像上に残った被検査物の位置ズレを画像サイズの縮小とともに更に低減することができる。   With this configuration, it is possible to reduce the positional deviation of the inspection object on the image derived from the element size by synthesizing using high-resolution image data by the image synthesizing means, and to reduce the image after the synthesis. By reducing by means, it is possible to further reduce the positional deviation of the inspection object remaining on the combined image as the image size is reduced.

また、合成後の画像を画像縮小手段により縮小することにより、判定手段の仕様を変更することなく異物の判定を行うことができる。   Further, by reducing the combined image by the image reducing unit, foreign matter can be determined without changing the specification of the determining unit.

したがって、画像合成時の画像上の被検査物の位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができる。   Therefore, it is possible to reduce the positional deviation of the inspection object on the image at the time of image synthesis and to prevent the foreign matter detection capability from being reduced.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサの走査周期を短くすることにより、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサが、異物判定に必要な解像度より高解像度の画像データを出力することを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection device according to the present invention shortens the scanning cycle of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor to thereby reduce the first X-ray line sensor and the first X-ray line sensor. The X-ray line sensor 2 outputs image data having a resolution higher than that required for foreign object determination.

この構成により、第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサに高解像度のセンサを用いることなく、低コストに、画像合成時の画像上の被検査物の位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができる。   With this configuration, without using a high-resolution sensor for the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor, the positional deviation of the inspection object on the image at the time of image synthesis is reduced at a low cost. It is possible to prevent the foreign matter detection capability from being reduced.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記搬送手段による被検査物の搬送速度を低速にすることにより、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサが、異物判定に必要な解像度より高解像度の画像データを出力することを特徴とする。   In the X-ray foreign object detection apparatus according to the present invention, the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor are made to be foreign objects by reducing the conveyance speed of the inspection object by the conveyance means. Image data having a resolution higher than that required for determination is output.

この構成により、第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサに高解像度のセンサを用いることなく、低コストに、画像合成時の画像上の被検査物の位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができる。   With this configuration, without using a high-resolution sensor for the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor, the positional deviation of the inspection object on the image at the time of image synthesis is reduced at a low cost. It is possible to prevent the foreign matter detection capability from being reduced.

また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサの検出素子のサイズを小さくすることにより、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサが、異物判定に必要な解像度より高解像度の画像データを出力することを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection device according to the present invention can reduce the size of the detection elements of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor, thereby reducing the first X-ray line sensor and The second X-ray line sensor outputs image data having a resolution higher than that required for foreign object determination.

この構成により、検査速度の低下を招くことなく検出素子が配列される主走査方向にも高解像度の画像を得ることができ、画像合成時の画像上の被検査物の位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができる。   With this configuration, it is possible to obtain a high-resolution image in the main scanning direction in which the detection elements are arranged without causing a decrease in the inspection speed, reducing the displacement of the inspection object on the image during image synthesis, It is possible to prevent the foreign matter detection capability from being reduced.

本発明は、画像合成時の画像上の被検査物の位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができるX線異物検出装置を提供することができる。   The present invention can provide an X-ray foreign object detection device capable of reducing the positional deviation of an inspection object on an image at the time of image composition and preventing the foreign object detection capability from being reduced.

本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置の側面および内部構成を示す図である。It is a figure which shows the side surface and internal structure of the X-ray foreign material detection apparatus which concern on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置の画像処理の概念を示す図である。It is a figure which shows the concept of the image processing of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係るX線異物検出装置の画素サイズの大きさ(解像度)と被検査物Wの位置ズレとの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the magnitude | size (resolution) of the pixel size of the X-ray foreign material detection apparatus which concerns on one embodiment of this invention, and the position shift of the to-be-inspected object W. FIG.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

まず構成について説明する。   First, the configuration will be described.

図1に示すように、X線異物検出装置1は、搬送部2と検出部3とを筐体4の内部に備え、表示器5を筐体4の前面上部に備えている。   As shown in FIG. 1, the X-ray foreign object detection device 1 includes a transport unit 2 and a detection unit 3 inside a housing 4, and a display 5 at the upper front of the housing 4.

搬送部2は、被検査物Wを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部2は、例えば筐体4に対して水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部2は、図1に示す駆動モータ6の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口7から搬入された被検査物Wを搬出口8側(図中X方向)に向けて搬送面としてのベルト面2a上を搬送させるようになっている。筐体4内部においてベルト面2a上を搬入口7から搬出口8まで貫通する空間は搬送路21を形成している。   The conveyance unit 2 sequentially conveys the inspection object W at a predetermined interval. This conveyance part 2 is comprised by the belt conveyor arrange | positioned horizontally with respect to the housing | casing 4, for example. The transport unit 2 serves as a transport surface for the inspection object W loaded from the carry-in port 7 at a transport speed set in advance by driving the drive motor 6 shown in FIG. 1 toward the carry-out port 8 side (X direction in the figure). The belt surface 2a is conveyed. A space that penetrates the belt surface 2 a from the carry-in port 7 to the carry-out port 8 in the housing 4 forms a transport path 21.

検出部3は、順次搬送される被検査物Wに対し、搬送路21の途中の検査空間22においてX線を照射するとともに被検査物Wを透過するX線を検出するものであり、搬送路21途中の検査空間22の上方に所定高さ離隔して配置されたX線発生器9と、搬送部2内にX線発生器9と対向して配置されたX線検出器10を備えている。   The detection unit 3 irradiates the inspection object W sequentially conveyed with X-rays in the inspection space 22 in the middle of the conveyance path 21 and detects X-rays transmitted through the inspection object W. 21 includes an X-ray generator 9 disposed at a predetermined height above the examination space 22 in the middle of the 21 and an X-ray detector 10 disposed opposite to the X-ray generator 9 in the transport unit 2. Yes.

X線発生源としてのX線発生器9は、金属製の箱体11の内部に設けられた円筒状のX線管12a、12bを図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、X線管12a、12bの陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてX線を生成している。X線管12a、12bは、その長手方向が被検査物Wの搬送方向(X方向)となるよう配置されている。X線管12a、12bにより生成されたX線は、下方のX線検出器10に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向(X方向)を横切るように照射されるようになっている。   An X-ray generator 9 as an X-ray generation source has a configuration in which cylindrical X-ray tubes 12a and 12b provided inside a metal box 11 are immersed in insulating oil (not shown). X-rays are generated by irradiating an anode target with an electron beam from the cathodes of the ray tubes 12a and 12b. The X-ray tubes 12a and 12b are arranged such that the longitudinal direction thereof is the conveyance direction (X direction) of the inspection object W. The X-rays generated by the X-ray tubes 12a and 12b are irradiated toward the lower X-ray detector 10 so as to cross the transport direction (X direction) in a substantially triangular screen shape by a slit (not shown). It has become so.

ここで、X線管12a、12bが発生するX線の強度は、X線管12a、12bの陽極と陰極との間に流す電流(管電流)に比例して変化するとともに、発生するX線の波長がX線管12a、12bの陽極と陰極との間に印加する電圧(管電圧)に応じて短くなり透過力が強くなる。本実施の形態では、X線管12aが発生するX線の強度とX線管12bが発生するX線の強度を異ならせており、例えば、X線管12aを高出力、X線管12bを低出力として、異なる透過特性のX線により互いに異なるコントラストの画像データを出力するようにしている。なお、X線管12a、12bが発生するX線の強度は、必ずしも一定値に固定されるものではなく、検出対象とする異物および被検査物Wの種類や搬送速度に応じて、X線管12a、12bの管電流または管電圧が調整されるようになっている。   Here, the intensity of the X-rays generated by the X-ray tubes 12a and 12b changes in proportion to the current (tube current) flowing between the anode and the cathode of the X-ray tubes 12a and 12b, and the generated X-rays. Is shortened according to the voltage (tube voltage) applied between the anode and cathode of the X-ray tubes 12a and 12b, and the transmission power is increased. In the present embodiment, the intensity of the X-ray generated by the X-ray tube 12a is different from the intensity of the X-ray generated by the X-ray tube 12b. For example, the X-ray tube 12a has a high output and the X-ray tube 12b As low output, image data having different contrasts are output by X-rays having different transmission characteristics. Note that the intensity of X-rays generated by the X-ray tubes 12a and 12b is not necessarily fixed at a constant value, and depends on the type of foreign matter to be detected and the object W to be detected and the conveyance speed. The tube current or tube voltage of 12a, 12b is adjusted.

X線検出器10は、搬送される被検査物Wの搬送方向(X方向)の平面上で搬送方向と直交するY方向に複数の検出素子を直線状に並べたX線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60を被検査物Wの搬送方向に備えている。X線ラインセンサ50は、高出力のX線管12aから照射されて被検査物Wを透過した検出信号(濃度データの画像)を出力し、X線ラインセンサ60は、高出力のX線管12bから照射されて被検査物Wを透過した検出信号(濃度データの画像)を出力するようになっている。   The X-ray detector 10 includes an X-ray line sensor 50 and an X-ray line sensor 50 in which a plurality of detection elements are linearly arranged in the Y direction orthogonal to the transport direction on the plane in the transport direction (X direction) of the object W to be transported. The line line sensor 60 is provided in the conveyance direction of the inspection object W. The X-ray line sensor 50 outputs a detection signal (image of density data) irradiated from the high-output X-ray tube 12a and transmitted through the object W, and the X-ray line sensor 60 is a high-output X-ray tube. A detection signal (image of density data) irradiated from 12b and transmitted through the inspection object W is output.

ここで、本実施の形態では、X線検出器10は、内蔵する図示しないA/D変換部によりX線ラインセンサ50、60の検出信号(輝度値データ)をデジタルデータに変換して濃度データとして出力するようになっているが、X線検出器10の外部にA/D変換部を備える構成としたり、A/D変換前の輝度値データのまま後段の制御部40に出力する等の構成としてもよく、デジタルデータである濃度データに変換することは必須要件ではない。   Here, in the present embodiment, the X-ray detector 10 converts the detection signals (luminance value data) of the X-ray line sensors 50 and 60 into digital data by a built-in A / D converter (not shown), and density data. The A / D converter is provided outside the X-ray detector 10, or the luminance value data before A / D conversion is output to the control unit 40 in the subsequent stage. A configuration may be adopted, and conversion into density data, which is digital data, is not an essential requirement.

X線ラインセンサ50、60を備えるX線検出器10からは、後述する判定部48(図2参照)での異物混入の有無の判定に必要な解像度よりも高解像度の画像データを出力するようになっている。   The X-ray detector 10 including the X-ray line sensors 50 and 60 outputs image data with a resolution higher than the resolution necessary for determining the presence or absence of foreign matter in a determination unit 48 (see FIG. 2) described later. It has become.

例えば、X線ラインセンサ50、60がそれぞれ備える複数の検出素子のサイズを、異物混入の有無の判定に必要なサイズよりも小さくすることで、X線検出器10から高密度、高解像度の画像データを得ることができる。   For example, by reducing the size of the plurality of detection elements included in each of the X-ray line sensors 50 and 60 to be smaller than the size necessary for determining the presence or absence of contamination, high-density and high-resolution images from the X-ray detector 10. Data can be obtained.

また、X線ラインセンサ50、60の走査周期を短くすることで、被検査物Wの搬送方向に限定されるが、走査周期が長い場合よりも、X線検出器10から高密度、高解像度の画像データを得ることができる。   Moreover, by shortening the scanning cycle of the X-ray line sensors 50 and 60, the X-ray detector 10 is limited to the conveyance direction of the inspection object W. However, the X-ray detector 10 has a higher density and higher resolution than when the scanning cycle is long. Image data can be obtained.

また、被検査物Wの搬送速度を低速にすることにより、一定の走査周期に対して、X線検出器10から高密度、高解像度の画像データを得ることができる。   Further, by reducing the conveyance speed of the inspection object W, it is possible to obtain high-density and high-resolution image data from the X-ray detector 10 with respect to a certain scanning period.

なお、X線検出器10から高解像度の画像データを得るための上記の手法は、組合せて用いることができる。   Note that the above-described methods for obtaining high-resolution image data from the X-ray detector 10 can be used in combination.

図2に示すように、搬送路21内の天井部21aには、搬送方向(X方向)に沿って複数個所にX線遮蔽用の遮蔽カーテン16が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン16は、X線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状(上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態)に加工したものから構成されており、検査空間22から搬送路21を介してX線が筐体4の外部に漏えいすることを防止するものである。遮蔽カーテン16は、本実施の形態では、搬入口7と検査空間22との間、および検査空間22と搬出口8との間にそれぞれ2枚ずつ設けられており、1つの遮蔽カーテン16が被検査物Wと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン16がX線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくX線の漏えいを防止できるようになっている。搬送路21における遮蔽カーテン16により囲まれた内側の空間が検査空間22を構成している。   As shown in FIG. 2, X-ray shielding shielding curtains 16 are suspended and arranged at a plurality of locations along the conveyance direction (X direction) on the ceiling portion 21 a in the conveyance path 21. The shielding curtain 16 is composed of a rubber sheet mixed with lead powder that shields X-rays and processed into a good shape (a state in which the upper part is connected and the lower part is divided into strips) and is conveyed from the inspection space 22. This prevents X-rays from leaking outside the housing 4 via the path 21. In the present embodiment, two shielding curtains 16 are provided between the carry-in entrance 7 and the inspection space 22 and between the examination space 22 and the carry-out exit 8, respectively. Even when a gap is generated due to elastic deformation due to contact with the inspection object W, the other shielding curtain 16 shields X-rays, so that leakage of X-rays can be prevented without exceeding the leakage reference amount. An inner space surrounded by the shielding curtain 16 in the conveyance path 21 constitutes an inspection space 22.

X線異物検出装置1は、X線検出器10からの濃度データが入力されるとともに被検査物W中の異物の有無を判定する制御部40を備えている。   The X-ray foreign object detection apparatus 1 includes a control unit 40 that receives density data from the X-ray detector 10 and determines the presence or absence of foreign substances in the inspection object W.

制御部40は、X線ラインセンサ50、60からの濃度データをそれぞれ複数記憶する記憶部42と、X線ラインセンサ50、60からの濃度データの画像(以下、単に画像という)を合成する画像合成部44と、画像合成部44から出力された合成された画像を縮小する画像縮小部46と、画像縮小部46で縮小された画像に対して被検査物Wと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部48と、判定結果を表示する表示器5とを備えている。   The control unit 40 synthesizes a storage unit 42 that stores a plurality of density data from the X-ray line sensors 50 and 60 and an image of density data from the X-ray line sensors 50 and 60 (hereinafter simply referred to as an image). A combination unit 44, an image reduction unit 46 that reduces the combined image output from the image combination unit 44, and an image reduced by the image reduction unit 46 are discriminated from the object W to be inspected. The determination part 48 which determines the presence or absence of mixing of a foreign material, and the indicator 5 which displays a determination result are provided.

記憶部42は、X線ラインセンサ50、60からの画像を一時的に記憶するものであり、画像を高速に記憶および読み出しが可能なメモリから構成されている。   The storage unit 42 temporarily stores images from the X-ray line sensors 50 and 60, and includes a memory capable of storing and reading images at high speed.

画像合成部44は、X線ラインセンサ50からの画像と、X線ラインセンサ60からの画像とを、そのまま、すなわち素子サイズ(画素サイズ)が小さい高解像度のままで合成するようになっており、これにより、X線ラインセンサ50からの画像とX線ラインセンサ60からの画像とを合成するときの画像上の被検査物Wの位置合わせの精度が高められ、2つの画像間における位置ズレを低減している。   The image synthesizing unit 44 synthesizes the image from the X-ray line sensor 50 and the image from the X-ray line sensor 60 as they are, that is, with a high resolution with a small element size (pixel size). As a result, the accuracy of alignment of the inspection object W on the image when the image from the X-ray line sensor 50 and the image from the X-ray line sensor 60 are combined is improved, and the positional deviation between the two images is increased. Is reduced.

具体的には、図3に示すように、X線ラインセンサ50からの画像Aと、X線ラインセンサ60からの画像Bは、何れも小さい素子サイズ(高解像度)のままの画像であり、これらの画像Aと画像Bとを画像合成部44で合成することで、画素サイズに由来する合成画像AB上の2つの被検査物Wの位置ズレを低減するようになっている。   Specifically, as shown in FIG. 3, the image A from the X-ray line sensor 50 and the image B from the X-ray line sensor 60 are both images with a small element size (high resolution), By synthesizing these images A and B by the image synthesizing unit 44, the positional deviation between the two inspection objects W on the synthesized image AB derived from the pixel size is reduced.

ここで、画素サイズの大きさ(解像度)と被検査物Wの位置ズレとの関係について説明する。図4に示すように、X線ラインセンサ50からの画像A上の被検査物Wの位置と、X線ラインセンサ60からの画像B上の被検査物Wの位置との間には、各ラインセンサ間での画像の取得タイミングによる位置ズレを除外した場合であっても、X線ラインセンサ50、60の素子サイズ程度、位置ズレが生じてしまう。すなわち、この位置ズレは、X線ラインセンサ50、60の画素の大きさ、すなわち解像度に由来するものであり、画素が大きく解像度が低ければ位置ズレが大きくなるが、上記のように、画素が小さく解像度が高い画像を用いることで位置ズレが低減されることとなる。   Here, the relationship between the size (resolution) of the pixel size and the positional deviation of the inspection object W will be described. As shown in FIG. 4, there is a difference between the position of the inspection object W on the image A from the X-ray line sensor 50 and the position of the inspection object W on the image B from the X-ray line sensor 60. Even when the positional deviation due to the image acquisition timing between the line sensors is excluded, the positional deviation occurs by about the element size of the X-ray line sensors 50 and 60. That is, this positional deviation is derived from the size of the pixels of the X-ray line sensors 50 and 60, that is, the resolution, and the positional deviation increases when the pixel is large and the resolution is low. By using a small and high-resolution image, the positional deviation is reduced.

画像縮小部46は、画像合成部44で合成された画像を、下段の判定部48での異物判定に必要な素子サイズまで縮小、すなわち低解像度の画像に縮小するようになっている。   The image reduction unit 46 reduces the image synthesized by the image synthesis unit 44 to an element size necessary for foreign substance determination in the lower determination unit 48, that is, reduces the image to a low resolution image.

具体的には、図3に示すように、画像合成部44で合成された後の合成画像ABの画像サイズを縮小することにより、合成後の合成画像AB上に残った被検査物の位置ズレを画像サイズの縮小とともに更に低減するようになっている。また、画像縮小部46により、画像を下段の判定部48での異物判定に必要な素子サイズまで縮小することにより、判定部48の対応画像サイズに関する設計を変更する必要がなくなる。   Specifically, as shown in FIG. 3, the image size of the synthesized image AB after being synthesized by the image synthesizing unit 44 is reduced, so that the position shift of the inspection object remaining on the synthesized image AB after the synthesis is performed. Are further reduced as the image size is reduced. Further, by reducing the image to the element size necessary for the foreign substance determination in the lower determination unit 48 by the image reduction unit 46, it is not necessary to change the design related to the corresponding image size of the determination unit 48.

このように、本実施の形態では、従来よりも高解像度の画像を用いて2つの画像を合成することで位置ズレを低減し、合成後の高解像度の画像を縮小することで後段での異物の判定用の低解像度の低解像度の画像とするとともに、位置ズレを更に低減するようになっている。   As described above, in the present embodiment, the positional deviation is reduced by combining two images using a higher resolution image than the conventional one, and the foreign matter in the subsequent stage is reduced by reducing the combined high resolution image. In addition, a low-resolution image for the determination is determined, and the positional deviation is further reduced.

判定部48は、画像縮小部46で縮小された画像に対して、画像上の被検査物Wの中から異物を検出し、異物の混入の有無を判定するようになっている。   The determination unit 48 detects foreign matter from the inspected object W on the image reduced by the image reduction unit 46 and determines whether foreign matter is mixed.

また、制御部40は、設定部49を備えており、この設定部49からは、X線発生器9のX線出力、被検査物Wの搬送速度、X線検出器10の走査周期等の検査パラメータの設定操作、選択操作が行われるようになっている。   Further, the control unit 40 includes a setting unit 49, from which the X-ray output of the X-ray generator 9, the conveyance speed of the inspection object W, the scanning cycle of the X-ray detector 10, etc. Inspection parameter setting operations and selection operations are performed.

次に動作を説明する。   Next, the operation will be described.

制御部40は、予め設定された速度で搬送部2を駆動して被検査物Wを搬送するとともに、予め設定された強度でX線発生器9から被検査物WにX線を照射する。   The control unit 40 drives the transport unit 2 at a preset speed to transport the inspection object W, and irradiates the inspection object W with X-rays from the X-ray generator 9 with a predetermined intensity.

ついで、制御部40は、X線ラインセンサ50からの画像とX線ラインセンサ60からの画像とを記憶部42に記憶する。   Next, the control unit 40 stores the image from the X-ray line sensor 50 and the image from the X-ray line sensor 60 in the storage unit 42.

ついで、制御部40は、画像合成部44により、X線ラインセンサ50からの画像と、X線ラインセンサ60からの画像とを、小さい素子サイズのままで合成する。   Next, the control unit 40 uses the image combining unit 44 to combine the image from the X-ray line sensor 50 and the image from the X-ray line sensor 60 with a small element size.

ついで、制御部40は、画像縮小部46により、画像合成部44で合成された画像を縮小する。   Next, the control unit 40 reduces the image combined by the image combining unit 44 by the image reducing unit 46.

ついで、制御部40は、判定部48により、画像縮小部46で縮小された画像に対して、画像上の被検査物Wの中から異物を検出し、異物の混入の有無を判定し、判定結果を表示器5に表示する。   Next, the control unit 40 detects foreign matter from the inspected object W on the image with respect to the image reduced by the image reduction unit 46 by the determination unit 48, determines whether foreign matter is mixed, and determines The result is displayed on the display 5.

以上のように、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、被検査物Wを搬送路上で搬送する搬送部2と、搬送路上を搬送される被検査物Wに互いに異なる強度のX線を照射するX線管12a、X線管12bと、被検査物Wの搬送方向に配置され、異物判定に必要な解像度より高解像度であるとともにX線管12a、X線管12bから照射され被検査物Wを透過するX線に応じた画像データをそれぞれ出力するX線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60と、X線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60からの画像データを合成して被検査物Wに対応する1つの画像データとして出力する画像合成部44と、画像合成部44からの画像データの画像サイズを縮小する画像縮小部46と、画像縮小部46が出力する画像データに基づいて被検査物W中の異物の有無を判定する判定部48と、を備えている。   As described above, the X-ray foreign object detection device 1 according to the present embodiment has different strengths of X for the conveyance unit 2 that conveys the inspection object W on the conveyance path and the inspection object W that is conveyed on the conveyance path. X-ray tube 12a and X-ray tube 12b for irradiating rays, and arranged in the transport direction of inspection object W, being higher in resolution than necessary for foreign matter determination and being irradiated from X-ray tube 12a and X-ray tube 12b The X-ray line sensor 50 and the X-ray line sensor 60 that respectively output image data corresponding to the X-rays that pass through the inspection object W, and the image data from the X-ray line sensor 50 and the X-ray line sensor 60 are combined. An image composition unit 44 that is output as one image data corresponding to the object W to be inspected, an image reduction unit 46 that reduces the image size of the image data from the image composition unit 44, and image data that is output by the image reduction unit 46 Base There are provided with a determination unit 48 the presence or absence of a foreign object in the object to be inspected is W, the.

この構成により、画像合成部44で高解像度の画像データを用いて合成することにより素子サイズに由来する画像上の被検査物Wの位置ズレを低減することができ、また、合成後の画像を画像縮小部46により縮小することにより、合成後の画像上に残った被検査物Wの位置ズレを画像サイズの縮小とともに更に低減することができる。   With this configuration, it is possible to reduce the positional deviation of the inspection object W on the image derived from the element size by combining the high-resolution image data in the image combining unit 44, and to display the combined image. By reducing the size by the image reduction unit 46, it is possible to further reduce the positional deviation of the inspection object W remaining on the combined image as the image size is reduced.

また、合成後の画像を画像縮小部46により縮小することにより、判定部48の仕様を変更することなく異物の判定を行うことができる。   Further, by reducing the combined image by the image reduction unit 46, it is possible to determine the foreign matter without changing the specification of the determination unit 48.

したがって、画像合成時の画像上の被検査物Wの位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができる。   Therefore, it is possible to reduce the positional deviation of the inspection object W on the image at the time of image composition and to prevent the foreign matter detection capability from being reduced.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、X線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60の走査周期を短くすることにより、X線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60が、異物判定に必要な解像度より高解像度の画像データを出力することを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection apparatus 1 according to the present embodiment shortens the scanning cycle of the X-ray line sensor 50 and the X-ray line sensor 60 so that the X-ray line sensor 50 and the X-ray line sensor 60 Image data having a resolution higher than that required for determination is output.

この構成により、X線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60に高解像度のセンサを用いることなく、低コストに、画像合成時の画像上の被検査物Wの位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができる。   With this configuration, the X-ray line sensor 50 and the X-ray line sensor 60 do not use a high-resolution sensor, reduce the positional deviation of the inspection object W on the image at the time of image synthesis at low cost, and detect foreign matter. Can be prevented.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、搬送部2による被検査物Wの搬送速度を低速にすることにより、X線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60が、異物判定に必要な解像度より高解像度の画像データを出力することを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection apparatus 1 according to the present embodiment makes the X-ray line sensor 50 and the X-ray line sensor 60 perform foreign object determination by reducing the conveyance speed of the inspection object W by the conveyance unit 2. It is characterized in that image data having a higher resolution than necessary is output.

この構成により、X線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60に高解像度のセンサを用いることなく、低コストに、画像合成時の画像上の被検査物Wの位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができる。   With this configuration, the X-ray line sensor 50 and the X-ray line sensor 60 do not use a high-resolution sensor, reduce the positional deviation of the inspection object W on the image at the time of image synthesis at low cost, and detect foreign matter. Can be prevented.

また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、X線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60の検出素子のサイズを小さくすることにより、X線ラインセンサ50およびX線ラインセンサ60が、異物判定に必要な解像度より高解像度の画像データを出力することを特徴とする。   In addition, the X-ray foreign object detection apparatus 1 according to the present embodiment reduces the size of the detection elements of the X-ray line sensor 50 and the X-ray line sensor 60 so that the X-ray line sensor 50 and the X-ray line sensor 60 are The image data having a resolution higher than that required for foreign object determination is output.

この構成により、検査速度の低下を招くことなく検出素子が配列される主走査方向にも高解像度の画像を得ることができ、画像合成時の画像上の被検査物Wの位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができる。   With this configuration, it is possible to obtain a high-resolution image in the main scanning direction in which the detection elements are arranged without causing a decrease in inspection speed, and to reduce the positional deviation of the inspection object W on the image during image synthesis. It is possible to prevent a reduction in foreign object detection capability.

また、上記した実施の形態では、互いにX線強度が異なる2つのX線ラインセンサ50、60を備えているが、より多くのX線ラインセンサを被検査物Wの搬送方向に配置し、各X線ラインセンサからの画像を合成するように構成してもよい。   Further, in the above-described embodiment, the two X-ray line sensors 50 and 60 having different X-ray intensities are provided, but more X-ray line sensors are arranged in the transport direction of the inspection object W, and You may comprise so that the image from a X-ray line sensor may be synthesize | combined.

以上のように、本発明に係るX線異物検出装置は、画像合成時の画像上の被検査物の位置ズレを低減し、異物検出能力の低減を防ぐことができるという効果を有し、複数本のX線ラインセンサからの画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したX線異物検出装置として有用である。   As described above, the X-ray foreign object detection device according to the present invention has an effect that the positional deviation of the inspection object on the image at the time of image composition can be reduced, and the reduction of the foreign object detection capability can be prevented. The present invention is useful as an X-ray foreign object detection apparatus that employs an energy subtraction method that obtains an image in which foreign objects are emphasized by synthesizing images from X-ray line sensors.

1 X線異物検出装置
2 搬送部(搬送手段)
2a ベルト面
3 検出部
4 筐体
5 表示器
6 駆動モータ
7 搬入口
8 搬出口
9 X線発生器
10 X線検出器
11 箱体
12a X線管(第1のX線源)
12b X線管(第2のX線源)
16 遮蔽カーテン
21 搬送路
21a 天井部
22 検査空間
42 記憶部
44 画像合成部(画像合成手段)
46 画像縮小部(画像縮小手段)
48 判定部(判定手段)
49 設定部
50 X線ラインセンサ(第1のX線ラインセンサ)
60 X線ラインセンサ(第2のX線ラインセンサ)
W 被検査物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray foreign material detection apparatus 2 Conveyance part (conveyance means)
2a Belt surface 3 Detection unit 4 Housing 5 Display 6 Drive motor 7 Carry-in port 8 Carry-out port 9 X-ray generator 10 X-ray detector 11 Box 12a X-ray tube (first X-ray source)
12b X-ray tube (second X-ray source)
Reference Signs List 16 Shielding curtain 21 Transport path 21a Ceiling part 22 Inspection space 42 Storage part 44 Image composition part (image composition means)
46 Image reduction section (image reduction means)
48 determination part (determination means)
49 Setting unit 50 X-ray line sensor (first X-ray line sensor)
60 X-ray line sensor (second X-ray line sensor)
W Inspection object

Claims (4)

被検査物を搬送路上で搬送する搬送手段と、
前記搬送路上を搬送される被検査物に互いに異なる強度のX線を照射する第1のX線源および第2のX線源と、
前記被検査物の搬送方向に配置され、異物判定に必要な解像度より高解像度であるとともに前記第1のX線源および前記第2のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた画像データをそれぞれ出力する第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサと、
前記第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサからの画像データを合成して前記被検査物に対応する1つの画像データとして出力する画像合成手段と、
前記画像合成手段からの画像データの画像サイズを縮小する画像縮小手段と、
前記画像縮小手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とするX線異物検出装置。
A transport means for transporting the inspection object on the transport path;
A first X-ray source and a second X-ray source that irradiate X-rays having different intensities to the inspection object conveyed on the conveyance path;
X-rays arranged in the direction of conveyance of the inspection object, having a resolution higher than that necessary for foreign object determination, and irradiated from the first X-ray source and the second X-ray source and transmitted through the inspection object A first X-ray line sensor and a second X-ray line sensor that respectively output image data corresponding to
Image synthesizing means for synthesizing image data from the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor and outputting as one image data corresponding to the inspection object;
Image reduction means for reducing the image size of the image data from the image composition means;
An X-ray foreign object detection apparatus comprising: a determination unit that determines presence / absence of a foreign substance in the inspection object based on image data output from the image reduction unit.
前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサの走査周期を短くすることにより、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサが、異物判定に必要な解像度より高解像度の画像データを出力することを特徴とする請求項1に記載のX線異物検出装置。   By shortening the scanning cycle of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor, the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor are necessary for foreign object determination. 2. The X-ray foreign object detection device according to claim 1, wherein image data having a resolution higher than the resolution is output. 前記搬送手段による被検査物の搬送速度を低速にすることにより、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサが、異物判定に必要な解像度より高解像度の画像データを出力することを特徴とする請求項1に記載のX線異物検出装置。   The first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor output image data with a resolution higher than that required for foreign object determination by reducing the conveyance speed of the inspection object by the conveyance means. The X-ray foreign object detection device according to claim 1, wherein: 前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサの検出素子のサイズを小さくすることにより、前記第1のX線ラインセンサおよび前記第2のX線ラインセンサが、異物判定に必要な解像度より高解像度の画像データを出力することを特徴とする請求項1に記載のX線異物検出装置。   By reducing the size of the detection elements of the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor, the first X-ray line sensor and the second X-ray line sensor are used for foreign object determination. 2. The X-ray foreign object detection device according to claim 1, wherein image data having a resolution higher than a necessary resolution is output.
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