JP2012117988A - 固体間接触部位解析方法及び解析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2物体4A、4Bの接触部位に対して、該接触部位の接平面に対する角度が全反射臨界角以下である入射角度でX線を照射し、その接触部位から反対側に出射してくる通過X線、回折・散乱X線、特性X線等を位置敏感型の2次元X線検出器5で検出する。2次元X線強度分布作成部61はX線検出器5からの検出信号により2次元X線強度分布画像を作成し、解析処理部62は該画像中で例えば接触の種類(点、線等)に応じて設定された検出窓に含まれる複数の画素のみを抽出して、該画素のX線強度を積算する。そして、この積算X線強度に基づいて接触部位に存在する微小間隙の大きさを求めるとともに、2次元X線強度分布画像から求まる強度パターンを解析して表面形状を推定する。
【選択図】図1
Description
a)前記接触部位を挟んで対向する両物体の平面又は両物体の最近接部位の接平面に対し全反射臨界角以下の入射角度をもって該接触部位にX線を入射するX線照射ステップと、
b)その入射X線に対して前記接触部位の反対側から出射してきたX線を、複数の微小X線検出素子が2次元的に配列されてなる位置敏感型の2次元X線検出器により検出するX線検出ステップと、
c)前記2次元X線検出器からの検出信号により得られる2次元X線強度分布に基づいて前記接触部位の構造についての情報を取得する解析ステップと、
を有することを特徴としている。
a)前記接触部位を挟んで対向する両物体の平面又は両物体の最近接部位の接平面に対し全反射臨界角以下の入射角度をもって該接触部位にX線を入射させるX線照射手段と、
b)前記X線照射手段による入射X線に対して前記接触部位の反対側から出射してきたX線を検出する、複数の微小X線検出素子が2次元的に配列されてなる位置敏感型のX線検出手段と、
c)前記X線検出手段からの検出信号により得られる2次元X線強度分布に基づいて前記接触部位の構造についての情報を取得するデータ処理手段と、
を備えることを特徴としている。
1…特許文献
2…X線源
3…マルチキャピラリX線レンズ
4…測定対象物
4A…第1物体
4B…第2物体
5…2次元X線検出器
6…データ処理部
61…2次元X線強度分布作成部
62…解析処理部
Claims (4)
- 固体である第1物体と同じく固体である第2物体とが点、線若しくは面で直接的に接触する接触部位、又は、第1物体と第2物体とがそれら物体よりも高いX線透過率を有する液体若しくは固体を介して点、線若しくは面で間接的に接触している接触部位の微視的な構造をX線を用いて解析するための固体間接触部位解析方法であって、
a)前記接触部位を挟んで対向する両物体の平面又は両物体の最近接部位の接平面に対し全反射臨界角以下の入射角度をもって該接触部位にX線を入射するX線照射ステップと、
b)その入射X線に対して前記接触部位の反対側から出射してきたX線を、複数の微小X線検出素子が2次元的に配列されてなる位置敏感型の2次元X線検出器により検出するX線検出ステップと、
c)前記2次元X線検出器からの検出信号により得られる2次元X線強度分布に基づいて前記接触部位の構造についての情報を取得する解析ステップと、
を有することを特徴とする固体間接触部位解析方法。 - 固体である第1物体と同じく固体である第2物体とが点、線若しくは面で接触する接触部位、又は、第1物体と第2物体とがそれら物体よりも高いX線透過率を有する液体若しくは固体を介して点、線若しくは面で間接的に接触している接触部位の微視的な構造をX線を用いて解析するための固体間接触部位解析装置であって、
a)前記接触部位を挟んで対向する両物体の平面又は両物体の最近接部位の接平面に対し全反射臨界角以下の入射角度をもって該接触部位にX線を入射させるX線照射手段と、
b)前記X線照射手段による入射X線に対して前記接触部位の反対側から出射してきたX線を検出する、複数の微小X線検出素子が2次元的に配列されてなる位置敏感型のX線検出手段と、
c)前記X線検出手段からの検出信号により得られる2次元X線強度分布に基づいて前記接触部位の構造についての情報を取得するデータ処理手段と、
を備えることを特徴とする固体間接触部位解析装置。 - 請求項2に記載の固体間接触部位解析装置であって、
前記データ処理手段は、前記X線検出手段における全微小X線検出素子のうちの特定範囲に含まれる複数の微小X線検出素子により得られるX線強度を積算し、その積算した強度情報に基づいて前記接触部位に存在する微小間隙の大きさを求めることを特徴とする固体間接触部位解析装置。 - 請求項2に記載の固体間接触部位解析装置であって、
前記データ処理手段は、前記2次元X線強度分布から求まる強度パターンを解析することにより前記接触部位を挟んで対向する両物体の表面形状を推定することを特徴とする固体間接触部位解析装置。
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JP2015031518A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | トヨタ自動車株式会社 | 潤滑油性状解析方法及び解析装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008165064A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Ricoh Co Ltd | 現像ギャップ長測定装置及び現像ギャップ長測定方法 |
JP2012527616A (ja) * | 2009-05-20 | 2012-11-08 | エシコン・インコーポレイテッド | 外科用縫合針の穴の形状及び寸法を特性評価するためのx線顕微鏡法 |
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