JP2012114810A - Surface-mounted crystal oscillator and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、表面実装用の水晶振動子に係り、特に、小型化を実現しつつ、品質を高め、生産性を向上させると共に、精度の高い周波数調整及び電気検査を行うことができる表面実装水晶振動子及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a surface-mount crystal unit, and in particular, a surface-mount crystal that can achieve downsizing, improve quality, improve productivity, and perform highly accurate frequency adjustment and electrical inspection. The present invention relates to a vibrator and a manufacturing method thereof.
[従来の技術]
表面実装水晶振動子は小型・軽量であることから、特に携帯型の電子機器に周波数や時間の基準源として内蔵される。
従来の表面実装水晶振動子は、セラミック基板上に水晶片を搭載し、凹状のカバーを逆さまにして被せて密閉封入したものがある。近年では、周波数偏差Δf/fが比較的緩く、例えば±150〜±250ppmの安価な民生用がある。
[Conventional technology]
Since the surface-mounted crystal unit is small and light, it is built in as a frequency and time reference source, especially in portable electronic devices.
Some conventional surface-mount crystal units have a crystal piece mounted on a ceramic substrate, and are covered with a concave cover upside down and hermetically sealed. In recent years, the frequency deviation Δf / f is relatively loose, and there is an inexpensive consumer use of ± 150 to ± 250 ppm, for example.
[関連技術]
尚、関連する先行技術として、特開2007−158419号公報「表面実装水晶発振器」(日本電波工業株式会社)[特許文献1]、特開2003−179456号公報「水晶製品用表面実装容器及びこれを用いた水晶製品」(日本電波工業株式会社)[特許文献2]がある。
[Related technologies]
As related prior arts, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2007-158419 “Surface Mounted Crystal Oscillator” (Nippon Denpa Kogyo Co., Ltd.) [Patent Document 1], Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2003-179456 “Surface Mount Container for Crystal Products and the Same” There is a crystal product using “Nippon Denpa Kogyo Co., Ltd.” [Patent Document 2].
特許文献1には、表面実装水晶発振器において、ICチップ2上に水晶片3が搭載され、実装基板4上にICチップ2等が形成され、金属カバー5が設けられた構成が示されている。
また、特許文献2には、水晶製品用表面実装容器において、単層基板1A上に水晶端子6を介して水晶片3が設けられ、カバー2で密閉封入した構成が示されている。
Patent Document 1 shows a configuration in which a
Patent Document 2 shows a configuration in which a
また、別の関連技術として、特開2006−186566号公報「水晶振動子パッケージの製造方法」(京セラキンキ株式会社)[特許文献3]、特開2004−140430号公報「超小型水晶発振器」(日本電波工業株式会社)[特許文献4]、特開平7−336143号公報「水晶発振器」(株式会社精工舎)[特許文献5]、特開平10−229274号公報「水晶発振子のランド形式」(矢崎総業株式会社)[特許文献6]がある。 Further, as another related technique, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-186666, “Method of manufacturing crystal resonator package” (Kyocera Kinki Corporation) [Patent Document 3], Japanese Patent Laid-Open No. 2004-140430, “Ultra-small crystal oscillator” ( (Nippon Denpa Kogyo Co., Ltd.) [Patent Document 4], Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-336143, “Crystal Oscillator” (Seikosha Co., Ltd.) [Patent Document 5], Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-229274, “Land Format of Crystal Oscillator” (Yazaki Corporation) [Patent Document 6].
特許文献3には、枠部の四隅が開口部の内側に突出するよう形成し、断裁領域の所定箇所にスルーホールを形成することが記載されている。
また、特許文献4には、スペーサの外縁部に水晶振動子とベース基板とを電気的に接続する半スルーホールを備えることが記載されている。
特許文献5には、回路基板の側端面に半円弧状の溝を形成し、引出電極が溝に向かって延伸し、溝が接続端子となることが記載されている。
特許文献6には、水晶発振し本体の週側面に複数のスルーホールを設け、ハンダ付け部を介して溶着されることが記載されている。
Further,
Patent Document 6 describes that a crystal oscillates and a plurality of through holes are provided on a week side surface of a main body and are welded via a soldering portion.
しかしながら、上記従来の表面実装水晶振動子では、近年益々小型化した水晶片を基板上に搭載し、更にカバーで密閉封入した構成とした場合に、不良の割合を減らして生産性を向上させ、品質を高くすることが難しいという問題点があった。 However, in the above conventional surface mount crystal resonator, when a crystal piece that has been increasingly miniaturized in recent years is mounted on a substrate and further sealed and sealed with a cover, the defect rate is reduced and productivity is improved, There was a problem that it was difficult to improve the quality.
具体的には、水晶片とカバーを小型化した場合、水晶片に導電性接着剤で接続すると共に水晶振動子を保持する水晶保持端子と、その水晶保持端子から電極まで引き出される引出端子とが、電気的に短絡(ショート)しないよう工夫が必要であり、従来の構成では、十分に小型化に対応できていないものであった。 Specifically, when the crystal piece and the cover are downsized, there are a crystal holding terminal that is connected to the crystal piece with a conductive adhesive and holds the crystal unit, and a lead terminal that is drawn from the crystal holding terminal to the electrode. Therefore, it is necessary to devise an electrical short circuit (short circuit), and the conventional configuration cannot sufficiently cope with downsizing.
そこで、小型化を実現しつつ、品質を高め、生産性を向上させる表面実装水晶振動子が提案されている。
提案されている表面実装水晶振動子について簡単に説明する。
提案されている表面実装水晶振動子は、矩形の基板の角部に形成された貫通孔の壁面にスルー端子が形成され、基板の表面に水晶片を保持する水晶保持端子の引出端子が、互いに対角線上にあるスルー端子にそれぞれ接続し、基板の裏面ではスルー端子に接続する実装端子が形成されているものである。
In view of this, a surface-mounted crystal resonator has been proposed that achieves miniaturization while improving quality and improving productivity.
The proposed surface mount crystal resonator will be briefly described.
In the proposed surface mount crystal resonator, a through terminal is formed on the wall surface of a through hole formed in a corner of a rectangular substrate, and the lead terminals of the crystal holding terminal that holds the crystal piece on the surface of the substrate are mutually connected. A mounting terminal connected to each through terminal on the diagonal line and connected to the through terminal is formed on the back surface of the substrate.
このように、基板の角部に引出端子を引き出して、角部でスルー端子に接続する構成としたことにより、基板の短辺方向又は長辺方向に引出端子を引き出す場合に比べてスルー端子までの距離を長くとることができ、そのため、金属カバーの位置がずれたとしても水晶保持端子とスルー端子とが金属カバーを介してショートするのを防ぐことができるものである。 In this way, by pulling out the lead terminal to the corner of the board and connecting to the through terminal at the corner, it is possible to connect to the through terminal as compared to when pulling out the lead terminal in the short side direction or long side direction of the board. Therefore, even if the position of the metal cover is shifted, it is possible to prevent the crystal holding terminal and the through terminal from being short-circuited through the metal cover.
そして、提案されている表面実装水晶振動子の製造工程においては、複数の領域に分割するブレイクラインが形成されたシート状のベース(ベース基板)に、ブレイクラインで区切られた各領域の表面及び裏面に金属端子のパターン(端子パターン)が形成され、その後表面に水晶片が導電性接着剤により固定されて搭載され、金属カバーが被せられて密閉封入されるようになっている。 Then, in the proposed manufacturing process of the surface mount crystal resonator, the surface of each region separated by the break line and the sheet-like base (base substrate) formed with the break line divided into a plurality of regions, and A metal terminal pattern (terminal pattern) is formed on the back surface, and then a crystal piece is fixed and mounted on the front surface with a conductive adhesive, and a metal cover is placed and hermetically sealed.
提案されている表面実装水晶振動子のシート状ベース基板に形成される端子パターンについて、図4及び図5を用いて説明する。図4は、提案されている表面実装水晶振動子におけるシート状ベース基板の表面の端子パターンを示す説明図であり、図5は、提案されている表面実装水晶振動子におけるシート状ベース基板の裏面の端子パターンを示す説明図である。
図4に示すように、提案されている表面実装水晶振動子のシート状ベース基板11は、ブレイクライン10によって複数の領域に分割されており、各領域に2つの水晶保持端子14が形成されている。
A terminal pattern formed on the sheet-like base substrate of the proposed surface-mounted crystal resonator will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is an explanatory view showing a terminal pattern on the surface of the sheet-like base substrate in the proposed surface-mount crystal resonator, and FIG. 5 is a back surface of the sheet-like base substrate in the proposed surface-mount crystal resonator. It is explanatory drawing which shows this terminal pattern.
As shown in FIG. 4, the sheet-
領域毎の水晶保持端子14は、ブレイクラインが交差する各領域の角部に設けられたスルーホールに向かって引き出され、スルーホールの内壁に形成されたスルー端子12に接続されている。スルー端子12は、更に裏面に設けられた実装端子に接続されている。
各領域においては、対角線上にあるスルー端子12に各水晶保持端子14が接続されている。
The
In each region, each
つまり、提案されている表面実装水晶振動子のシート状ベース基板11の表面においては、角で接する2つの領域における水晶保持端子14が、図4の破線上で互いにスルー端子12を共有する構成となっている。
In other words, on the surface of the sheet-
そして、図5に示すように、シート状ベース基板11の裏面には、各領域に4つの実装端子13のパターンが形成されており、その内、一方の対角線上に位置する2つの実装端子13aがスルー端子12に向かって引き出されて、スルー端子12及び表面の水晶保持端子14と接続するホット端子となっている。そして、ホット端子である実装端子13aは、図5の破線上でスルー端子12を共有している。
尚、他方の対角線上に位置する実装端子13bは、スルー端子12に接続されず空き端子となっている。
As shown in FIG. 5, a pattern of four mounting terminals 13 is formed in each region on the back surface of the sheet-
The
[周波数調整・電気検査の例:図6]
次に、シート状ベース基板に形成された表面実装水晶振動子の周波数調整及び電気検査について図6を用いて説明する。図6は、シート状ベース基板に形成された表面実装水晶振動子の周波数調整・電気検査の結果の一例を示す説明図である。
図4及び図5に示したような端子パターンが形成されると、水晶片の励振電極から引き出された電極を、導電性接着剤によって水晶保持端子14に固着して、水晶片を搭載する。
その後、周波数調整や電気検査が行われる。
[Example of frequency adjustment and electrical inspection: Fig. 6]
Next, frequency adjustment and electrical inspection of the surface-mounted crystal resonator formed on the sheet-like base substrate will be described with reference to FIG. FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of the result of frequency adjustment and electrical inspection of the surface-mounted crystal resonator formed on the sheet-like base substrate.
When the terminal pattern as shown in FIGS. 4 and 5 is formed, the electrode drawn from the excitation electrode of the crystal piece is fixed to the
Thereafter, frequency adjustment and electrical inspection are performed.
周波数調整及び電気検査では、水晶片に電気的に接続した実装端子13aに測定器からの測定端子(プローブ)を接触させて周波数等の測定を行う。
その際、図6に示すように、図4,5に示したようなシート状ベース基板に形成された表面実装水晶振動子では、調整(検査)しようとする水晶片からの主共振の他に、当該水晶片とスルー端子12を共有している隣接水晶片の影響による不要共振が発生する。
In frequency adjustment and electrical inspection, a measurement terminal (probe) from a measuring instrument is brought into contact with a
At that time, as shown in FIG. 6, in the surface mount crystal resonator formed on the sheet-like base substrate as shown in FIGS. 4 and 5, in addition to the main resonance from the crystal piece to be adjusted (inspected) Unnecessary resonance occurs due to the influence of an adjacent crystal piece that shares the through
そのため、シート状ベース基板上に表面実装水晶振動子を形成した場合に、より正確で精度の高い周波数調整や電気検査を行うことが望まれている。 Therefore, when a surface-mounted crystal resonator is formed on a sheet-like base substrate, it is desired to perform more accurate and accurate frequency adjustment and electrical inspection.
本発明は、上記実状に鑑みて為されたもので、小型化を実現しつつ、品質を高め、生産性を向上させると共に、精度の高い周波数調整及び電気検査を行うことができる表面実装水晶振動子及びその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and achieves miniaturization, improves quality, improves productivity, and performs surface-mounted crystal vibration capable of performing high-precision frequency adjustment and electrical inspection. It aims at providing a child and its manufacturing method.
本発明は、矩形の基板上に水晶片が搭載され、水晶片が基板の表面で第1及び第2の水晶保持端子で保持され、基板の裏面に第1乃至第4の実装端子が形成された表面実装水晶振動子であって、矩形の基板の対向する二辺の上に2つずつスルーホールを備え、第1のスルーホールが、対向する二辺のいずれか一辺上において当該辺の中点及び両端以外の位置に設けられ、第1の水晶保持端子と第1の実装端子とを接続し、第2のスルーホールが、対向する二辺の他方の辺上で矩形の中心に対して第1のスルーホールとは略点対称となる位置に設けられ、第2の水晶保持端子と第2の実装端子とを接続し、第3のスルーホールが、前記一辺上で、当該一辺の中点から第1のスルーホールとは反対側に第1のスルーホールと略等距離の位置に設けられ、第3の実装端子を水晶保持端子と接続させず、第4のスルーホールが、前記他方の辺上で、当該他方の辺の中点から第2のスルーホールとは反対側に第2のスルーホールと略等距離の位置に設けられ、第4の実装端子を水晶保持端子に接続させない構成としたことを特徴としている。 In the present invention, a crystal piece is mounted on a rectangular substrate, the crystal piece is held on the front surface of the substrate by the first and second crystal holding terminals, and the first to fourth mounting terminals are formed on the back surface of the substrate. A surface-mounted crystal resonator comprising two through holes on two opposing sides of a rectangular substrate, and the first through hole is located on one of the two opposing sides. It is provided at a position other than the point and both ends, connects the first crystal holding terminal and the first mounting terminal, and the second through hole is on the other side of the two opposite sides with respect to the center of the rectangle The first through hole is provided at a position that is substantially point-symmetrical, connects the second crystal holding terminal and the second mounting terminal, and the third through hole is located on the one side and in the one side. Provided on the opposite side of the first through hole from the point at a position approximately equidistant from the first through hole The third mounting terminal is not connected to the crystal holding terminal, and the fourth through hole is located on the other side from the midpoint of the other side to the side opposite to the second through hole. The fourth mounting terminal is provided so as not to be connected to the crystal holding terminal.
また、本発明は、上記表面実装水晶振動子において、対向する二辺を短辺としたことを特徴としている。 Further, the present invention is characterized in that, in the surface mount crystal resonator, two opposing sides are short sides.
また、本発明は、上記表面実装水晶振動子において、対向する二辺を長辺としたことを特徴としている。 Further, the present invention is characterized in that, in the surface mount crystal resonator, two opposing sides are long sides.
また、本発明は、上記表面実装水晶振動子において、第1及び第2の水晶保持端子がそれぞれ引出電極を介してスルーホールに接続し、一方の水晶保持端子の引出端子に接続する端部と反対側の端部が、他方の水晶保持端子の引出端子に接続する端部を矩形の基板の長手方向に延長した線よりも内側に入った位置に形成したことを特徴としている。 According to the present invention, in the surface-mounted crystal resonator, the first and second crystal holding terminals are each connected to the through hole via the extraction electrode, and an end portion connected to the extraction terminal of the one crystal holding terminal; The opposite end portion is characterized in that the end portion connected to the lead terminal of the other crystal holding terminal is formed at a position inside the line extending in the longitudinal direction of the rectangular substrate.
また、本発明は、矩形の基板上に水晶片が搭載され、水晶片が基板の表面で水晶保持端子で保持され、基板の裏面に実装端子が形成された表面実装水晶振動子の製造方法であって、シート状のベース基板にブレイクラインを形成して複数の矩形領域を形成し、隣接する矩形領域を区切る短辺となるブレイクライン上に2つのスルーホールを形成し、スルーホール内部にスルー端子を形成し、同一短辺に形成された一方のスルーホール内のスルー端子が、当該短辺を介して隣接する一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続せず、当該同一短辺に形成された他方のスルーホール内のスルー端子が、他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続しないよう、ベース基板の表面に水晶保持端子を形成し、ベース基板の裏面に実装端子を形成することを特徴としている。 The present invention also relates to a method of manufacturing a surface-mounted crystal resonator in which a crystal piece is mounted on a rectangular substrate, the crystal piece is held by a crystal holding terminal on the surface of the substrate, and a mounting terminal is formed on the back surface of the substrate. Then, a break line is formed on a sheet-like base substrate to form a plurality of rectangular areas, two through holes are formed on the break line that becomes a short side separating adjacent rectangular areas, and the through holes are formed inside the through holes. A through terminal in one through hole formed on the same short side connects the crystal holding terminal and the mounting terminal in one rectangular region adjacent to each other through the short side, and the other rectangular The crystal holding terminal and the mounting terminal in the region are not connected, and the through terminal in the other through hole formed on the same short side connects the crystal holding terminal and the mounting terminal in the other rectangular region. Nori So as not to connect the crystal holding terminals and the mounting pins in area, to form a crystal holding terminals on a surface of the base substrate, it is characterized by forming a mounting terminal on the back surface of the base substrate.
また、本発明は、矩形の基板上に水晶片が搭載され、水晶片が基板の表面で水晶保持端子で保持され、基板の裏面に実装端子が形成された表面実装水晶振動子の製造方法であって、シート状のベース基板にブレイクラインを形成して複数の矩形領域を形成し、隣接する矩形領域を区切る長辺となるブレイクライン上に2つのスルーホールを形成し、スルーホール内部にスルー端子を形成し、同一長辺に形成された一方のスルーホール内のスルー端子が、当該長辺を介して隣接する一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続せず、当該同一長辺に形成された他方のスルーホール内のスルー端子が、他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続しないよう、ベース基板の表面に水晶保持端子を形成し、ベース基板の裏面に実装端子を形成することを特徴としている。 The present invention also relates to a method of manufacturing a surface-mounted crystal resonator in which a crystal piece is mounted on a rectangular substrate, the crystal piece is held by a crystal holding terminal on the surface of the substrate, and a mounting terminal is formed on the back surface of the substrate. Then, a break line is formed on a sheet-like base substrate to form a plurality of rectangular areas, two through holes are formed on the break line which is a long side separating adjacent rectangular areas, and a through hole is formed inside the through hole. A through terminal in one through hole formed on the same long side connects the crystal holding terminal and the mounting terminal in one rectangular region adjacent to each other through the long side, and the other rectangular The crystal holding terminal and the mounting terminal in the region are not connected, and the through terminal in the other through hole formed on the same long side connects the crystal holding terminal and the mounting terminal in the other rectangular region. Nori So as not to connect the crystal holding terminals and the mounting pins in area, to form a crystal holding terminals on a surface of the base substrate, it is characterized by forming a mounting terminal on the back surface of the base substrate.
また、本発明は、複数の表面実装水晶振動子を形成するシート状のベース基板であって、ブレイクラインによってマトリクス状に複数の矩形領域に区分され、当該矩形領域の短辺又は長辺上に2つのスルーホールが形成されると共に、当該スルーホール内に表面と裏面とを接続する電極が形成され、表面に矩形領域毎に水晶保持端子が形成され、裏面にスルーホールを中心として隣接する矩形領域にまたがって実装端子が形成され、同一短辺又は長辺に形成された一方のスルーホール内の電極が、当該辺を介して隣接する一方の矩形領域の水晶保持端子に接続するものの、他方の矩形領域の水晶保持端子に接続しておらず、同一短辺又は長辺に形成された他方のスルーホール内の電極が、他方の矩形領域の水晶保持端子に接続するものの、一方の矩形領域の水晶保持端子に接続していないことを特徴としている。 Further, the present invention is a sheet-like base substrate for forming a plurality of surface-mounted crystal resonators, and is divided into a plurality of rectangular areas in a matrix by break lines, on the short side or long side of the rectangular area Two through-holes are formed, electrodes for connecting the front and back surfaces are formed in the through-holes, crystal holding terminals are formed on the front surface for each rectangular area, and a rectangular adjacent to the through-hole is centered on the back surface Mounting terminals are formed across the area, and the electrode in one through hole formed on the same short side or long side is connected to the crystal holding terminal of one adjacent rectangular area through the side, but the other Although the electrode in the other through-hole formed on the same short side or the long side is connected to the crystal holding terminal in the other rectangular area, It is characterized in that the not connected to crystal holding terminals of the rectangular region.
本発明によれば、矩形の基板上に水晶片が搭載され、水晶片が基板の表面で第1及び第2の水晶保持端子で保持され、基板の裏面に第1乃至第4の実装端子が形成された表面実装水晶振動子であって、矩形の基板の対向する二辺の上に2つずつスルーホールを備え、第1のスルーホールが、対向する二辺のいずれか一辺上において当該辺の中点及び両端以外の位置に設けられ、第1の水晶保持端子と第1の実装端子とを接続し、第2のスルーホールが、対向する二辺の他方の辺上で矩形の中心に対して第1のスルーホールとは略点対称となる位置に設けられ、第2の水晶保持端子と第2の実装端子とを接続し、第3のスルーホールが、前記一辺上で、当該一辺の中点から第1のスルーホールとは反対側に第1のスルーホールと略等距離の位置に設けられ、第3の実装端子を水晶保持端子と接続させず、第4のスルーホールが、前記他方の辺上で、当該他方の辺の中点から第2のスルーホールとは反対側に第2のスルーホールと略等距離の位置に設けられ、第4の実装端子を水晶保持端子に接続させない構成とした表面実装水晶振動子としているので、シート状のベース基板上にマトリクス状に複数集合して形成された場合に、ホット端子である第1及び第2の実装端子が接続する第1及び第2のスルーホールは、隣接する表面実装水晶振動子においては、第3及び第4のスルーホールに相当することになり、水晶保持端子に接続しないので、周波数調整や電気検査を行う際に、第1及び第2の実装端子に測定器のプローブ端子を接触しても、隣接する表面実装水晶振動子の水晶保持端子に電気的に接続することがなく、隣接振動子に起因する不要共振の発生を防ぎ、周波数調整や電気検査の精度を向上させ、正確な調整及び検査を行うことができる効果がある。 According to the present invention, a crystal piece is mounted on a rectangular substrate, the crystal piece is held by the first and second crystal holding terminals on the surface of the substrate, and the first to fourth mounting terminals are provided on the back surface of the substrate. A surface-mounted crystal resonator formed with two through holes on two opposing sides of a rectangular substrate, and the first through hole is located on either side of the opposing side. Are provided at positions other than the middle point and both ends, connecting the first crystal holding terminal and the first mounting terminal, and the second through hole is formed at the center of the rectangle on the other side of the two opposite sides. On the other hand, the first through-hole is provided at a substantially point-symmetrical position, connects the second crystal holding terminal and the second mounting terminal, and the third through-hole is on the one side on the one side. A position approximately equidistant from the first through hole on the opposite side of the first through hole from the midpoint Provided, the third mounting terminal is not connected to the crystal holding terminal, and the fourth through hole is formed on the other side from the midpoint of the other side to the side opposite to the second through hole. The surface mount crystal unit is provided at a position approximately equidistant from the two through holes and does not connect the fourth mounting terminal to the crystal holding terminal, so that a plurality of sets are assembled in a matrix on the sheet-like base substrate. The first and second through holes to which the first and second mounting terminals, which are hot terminals, are connected, the third and fourth through holes in the adjacent surface-mount crystal resonator. Since it corresponds to a hole and is not connected to the crystal holding terminal, even when the probe terminal of the measuring instrument is brought into contact with the first and second mounting terminals when performing frequency adjustment or electrical inspection, the adjacent surface mounting Quartz crystal holding Without electrically connecting to the child, preventing the occurrence of an unwanted resonance caused by the adjacent vibrator, to improve the accuracy of the frequency adjustment and electrical testing, there is an effect that it is possible to perform an accurate adjustment and inspection.
また、本発明によれば、第1及び第2の水晶保持端子がそれぞれ引出電極を介してスルーホールに接続し、一方の水晶保持端子の引出端子に接続する端部と反対側の端部が、他方の水晶保持端子の引出端子に接続する端部を矩形の基板の長手方向に延長した線よりも内側に入った位置に形成した上記表面実装水晶振動子としているので、金属カバーの配置ずれがあったとしても、水晶保持端子同士が金属カバーを介してショートしてしまうのを防ぐことができる効果がある。 Further, according to the present invention, the first and second crystal holding terminals are connected to the through holes via the lead electrodes, respectively, and the end portion on the opposite side to the end portion connected to the lead terminal of one crystal holding terminal is Since the surface mount crystal resonator is formed at a position where the end connected to the lead terminal of the other crystal holding terminal is located inside the line extending in the longitudinal direction of the rectangular substrate, the metal cover is misaligned. Even if there is, there is an effect that the crystal holding terminals can be prevented from being short-circuited via the metal cover.
また、本発明によれば、矩形の基板上に水晶片が搭載され、水晶片が基板の表面で水晶保持端子で保持され、基板の裏面に実装端子が形成された表面実装水晶振動子の製造方法であって、シート状のベース基板にブレイクラインを形成して複数の矩形領域を形成し、隣接する矩形領域を区切る短辺となるブレイクライン上に2つのスルーホールを形成し、スルーホール内部にスルー端子を形成し、同一短辺に形成された一方のスルーホールが、当該短辺を介して隣接する一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続せず、当該同一短辺に形成された他方のスルーホールが、他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続しないよう、ベース基板の表面に水晶保持端子を形成し、ベース基板の裏面に実装端子を形成する製造方法としているので、表面実装水晶振動子がシート状のベース基板に集合的に形成された状態で周波数調整や電気検査を行う場合に、隣接する一方の表面実装水晶振動子の実装端子に測定器のプローブ端子を接触しても、隣接する他方の表面実装水晶振動子の水晶保持端子に電気的に接続することがなく、隣接振動子に起因する不要共振の発生を防ぎ、周波数調整や電気検査の精度を向上させ、正確な調整及び検査を行うことができる効果がある。 In addition, according to the present invention, a surface-mounted crystal resonator in which a crystal piece is mounted on a rectangular substrate, the crystal piece is held by a crystal holding terminal on the surface of the substrate, and a mounting terminal is formed on the back surface of the substrate. A method, in which a break line is formed on a sheet-like base substrate to form a plurality of rectangular areas, two through holes are formed on a break line that is a short side separating adjacent rectangular areas, and the inside of the through hole is formed. The through terminal is formed on one of the rectangular regions, and one through hole formed on the same short side connects the crystal holding terminal and the mounting terminal of one rectangular region adjacent to each other through the short side, and The crystal holding terminal and the mounting terminal are not connected, and the other through hole formed on the same short side connects the crystal holding terminal and the mounting terminal in the other rectangular area, and holds the crystal in one rectangular area. Terminal and Since the manufacturing method is such that the crystal holding terminals are formed on the surface of the base substrate and the mounting terminals are formed on the back surface of the base substrate so as not to connect to the mounting terminals, the surface-mount crystal resonator is integrated on the sheet-like base substrate. When the frequency adjustment or electrical inspection is performed in the state where the probe is connected to the mounting terminal of one adjacent surface-mount crystal unit, the other surface-mount crystal unit Without being electrically connected to the crystal holding terminal, it is possible to prevent the occurrence of unnecessary resonance due to the adjacent vibrator, improve the frequency adjustment and the accuracy of electrical inspection, and perform accurate adjustment and inspection. .
また、本発明によれば、複数の表面実装水晶振動子を形成するシート状のベース基板であって、ブレイクラインによってマトリクス状に複数の矩形領域に区分され、当該矩形領域の短辺又は長辺上に2つのスルーホールが形成されると共に、当該スルーホール内に表面と裏面とを接続する電極が形成され、表面に矩形領域毎に水晶保持端子が形成され、裏面にスルーホールを中心として隣接する矩形領域にまたがって実装端子が形成され、同一短辺又は長辺に形成された一方のスルーホール内の電極が、当該辺を介して隣接する一方の矩形領域の水晶保持端子に接続するものの、他方の矩形領域の水晶保持端子に接続しておらず、同一短辺又は長辺に形成された他方のスルーホール内の電極が、他方の矩形領域の水晶保持端子に接続するものの、一方の矩形領域の水晶保持端子に接続していないベース基板としているので、隣接する表面実装水晶振動子同士のホット端子が同一のスルーホール内の電極を共有しない構成として、周波数調整や電気検査の際に隣接する振動子の影響を無くして不要共振の発生を防ぎ、精度を向上させ、正確な測定を行うことができる効果がある。 Further, according to the present invention, there is provided a sheet-like base substrate that forms a plurality of surface-mounted crystal resonators, and is divided into a plurality of rectangular regions in a matrix by break lines, and the short side or the long side of the rectangular region Two through-holes are formed on the top, electrodes for connecting the front and back surfaces are formed in the through-holes, crystal holding terminals are formed on the front surface for each rectangular area, and adjacent to the back surface with the through hole as the center. A mounting terminal is formed across the rectangular area, and the electrode in one through hole formed on the same short side or long side is connected to the crystal holding terminal of one adjacent rectangular area through the side. , Not connected to the crystal holding terminal in the other rectangular area, and the electrode in the other through-hole formed on the same short side or long side is connected to the crystal holding terminal in the other rectangular area Since the base substrate is not connected to the crystal holding terminal in one rectangular area, the hot terminals of adjacent surface-mount crystal units do not share electrodes in the same through-hole. In this case, there is an effect that the influence of the adjacent vibrator is eliminated to prevent the occurrence of unnecessary resonance, the accuracy is improved, and the accurate measurement can be performed.
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
[実施の形態の概要]
本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子は、矩形基板の表面に水晶片と接続する水晶保持端子が形成され、裏面に実装端子が形成され、水晶保持端子と実装端子とを接続する2つのスルーホールの内、第1のスルーホールが、当該矩形基板の一方の短辺上の中点及び両端以外の位置に設けられ、第2のスルーホールが、他方の短辺上で当該矩形基板の中心に対して第1のスルーホールの位置とは略点対象となる位置に設けられているものであり、ブレイクラインによって複数の矩形領域に区切られたシート状ベース基板上に形成された場合に、隣接する表面実装水晶振動子同士であってもホット端子がスルー端子を共有しない構成として、不要共振の発生を防ぎ、周波数調整や電気検査の精度を向上させ、正確な測定を行うことができるものである。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Outline of the embodiment]
In the surface-mounted crystal resonator according to the embodiment of the present invention, a crystal holding terminal connected to a crystal piece is formed on the surface of a rectangular substrate, a mounting terminal is formed on the back surface, and the crystal holding terminal and the mounting terminal are connected. Of the two through holes, the first through hole is provided at a position other than the midpoint and both ends on one short side of the rectangular substrate, and the second through hole is formed on the other short side of the rectangle. The position of the first through hole with respect to the center of the substrate is provided at a position that is substantially a point object, and is formed on a sheet-like base substrate that is divided into a plurality of rectangular regions by break lines. In cases where adjacent surface mount crystal units are configured so that hot terminals do not share through terminals, unnecessary resonance can be prevented, frequency adjustment and electrical inspection accuracy can be improved, and accurate measurement can be performed. Can It is intended.
また、本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子は、第1のスルーホールが、当該矩形領域の一方の長辺上の中点以外の位置に設けられ、第2のスルーホールが、他方の長辺上で当該矩形領域の中心に対して第1のスルーホールの位置とは略点対象となる位置に設けられているものであり、ブレイクラインによって複数の矩形領域に分割されたシート状ベース基板上に形成された場合に、隣接する表面実装水晶振動子同士であってもホット端子がスルー端子を共有しない構成として、不要共振の発生を防ぎ、周波数調整や電気検査の精度を向上させ、正確な測定を行うことができるものである。 In the surface mount crystal resonator according to the embodiment of the present invention, the first through hole is provided at a position other than the middle point on one long side of the rectangular region, and the second through hole is On the other long side, the position of the first through hole with respect to the center of the rectangular area is provided at a position that is substantially the target of a point, and is a sheet that is divided into a plurality of rectangular areas by break lines When formed on a rectangular base substrate, the hot terminals do not share through terminals even between adjacent surface-mount crystal units, preventing unnecessary resonance and improving the accuracy of frequency adjustment and electrical inspection Therefore, accurate measurement can be performed.
また、本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子が製造されるシート状ベース基板は、ブレイクラインによってマトリクス状の複数の矩形領域に分割され、表面に水晶保持端子が形成され、裏面に実装端子が形成され、隣接する領域を分離する短辺上に2つのスルーホールが設けられ、一方のスルーホールが、当該短辺を介して隣接する一方の領域の水晶保持端子と実装端子とを接続し、他方のスルーホールが当該短辺を介して隣接する他方の領域の水晶保持端子と実装端子とを接続するよう形成されたものであり、各領域に水晶片を搭載して表面実装水晶振動子を形成した場合に、シート基板上で隣接する振動子のホット端子がスルー端子を共有しない構成とすることができ、周波数調整や電気検査の際の不要共振の発生を防ぎ、精度を向上させ、正確な測定を行うことができるものである。 Further, the sheet-like base substrate on which the surface-mounted crystal resonator according to the embodiment of the present invention is manufactured is divided into a plurality of matrix-like rectangular regions by break lines, crystal holding terminals are formed on the surface, and the back surface is formed. A mounting terminal is formed, and two through holes are provided on a short side that separates adjacent regions, and one through hole connects a crystal holding terminal and a mounting terminal of one region adjacent to each other through the short side. The other through-hole is formed so as to connect the crystal holding terminal and the mounting terminal of the other area adjacent to each other through the short side. When a vibrator is formed, it can be configured so that the hot terminals of adjacent vibrators on the sheet substrate do not share the through terminal, preventing unnecessary resonance during frequency adjustment and electrical inspection, and accuracy. Improved, it is capable of performing accurate measurement.
[本実施の形態に係るベース基板の端子パターン(1)]
本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子におけるベース基板の第1の端子パターンについて図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子における第1の端子パターンの説明図であり、(a)は裏面パターン、(b)は表面パターンを示している。
図1(a)(b)では、シート状ベース基板上の、ブレイクラインで分割された複数の領域の内、領域の短辺で互いに隣接する2つの領域を示している。
[Terminal pattern (1) of base substrate according to the present embodiment]
A first terminal pattern of a base substrate in a surface-mounted crystal resonator according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is an explanatory diagram of a first terminal pattern in a surface-mounted crystal resonator according to an embodiment of the present invention, where (a) shows a back surface pattern and (b) shows a surface pattern.
FIGS. 1A and 1B show two regions adjacent to each other at the short side of the region among a plurality of regions divided by break lines on the sheet-like base substrate.
そして、本表面実装水晶振動子の第1の端子パターンでは、図1(a)(b)に示すように、水晶保持端子4と実装端子3とを接続するスルーホール2bが短辺上に2個形成されている。
短辺上の2つのスルーホール2bは、短辺の中央からほぼ等距離の位置に形成されている。また、シート状ベース基板で形成する場合、短辺上に設けられたスルーホール2bは、全て当該短辺の中央からほぼ等距離の位置に形成されている。尚、従来と同様に、スルーホール2bの内部にはスルー端子が形成されている。
In the first terminal pattern of the surface-mounted crystal resonator, as shown in FIGS. 1A and 1B, the through-
The two through
そして、図1(a)に示すように、本表面実装水晶振動子の裏面には、スルーホール2bに接続して実装端子3が形成されている。シート状のベース基板から分離された個々の基板において、実装端子3aはスルーホール2bを介して水晶保持端子4に接続するホット端子であり、実装端子3bはスルーホール2bには接続するものの水晶保持端子4には接続しない空き端子となっている。
As shown in FIG. 1A, a mounting
つまり、同一のスルーホール2bを共有する隣接領域において、当該スルーホール2bを共有する2つの実装端子3は、一方はホット端子であり、他方は空き端子となっており、ホット端子同士が同一のスルーホール2bを共有することはない。
That is, in the adjacent region sharing the same through
また、一つの領域について注目すると、同一領域内の水晶保持端子4と実装端子3を接続するスルーホール2bは、互いに、当該領域の中心に対してほぼ点対称となる位置に設けられていることになる。
When attention is paid to one region, the through-
そして、図1(b)に示すように、本表面実装水晶振動子の表面には、短辺上に設けられたスルーホール2bに接続して、その周囲にスルーホール周辺端子41が形成されている。また、スルーホール周辺端子41aには、水晶片に接続する水晶保持端子4から引き出された引出端子42が接続されている。
As shown in FIG. 1B, a through-hole peripheral terminal 41 is formed around the surface of the surface-mounted crystal resonator, connected to the through-
つまり、シート状のベース基板から分離された個々の基板において、水晶保持端子4、引出端子42、スルーホール周辺端子41aは、スルーホール2bを介して裏面の実装端子3aに接続するホット端子となっている。
スルーホール周辺端子41bは水晶片に接続しない空き端子である。
That is, in each substrate separated from the sheet-like base substrate, the
The through-hole peripheral terminal 41b is an empty terminal that is not connected to the crystal piece.
そして、(a)の左端に示すように、端子パターンが形成された後、絶縁層7が形成され、その上に水晶片が搭載されて金属カバー5が被せられて封入されるようになっている。
Then, as shown at the left end of (a), after the terminal pattern is formed, the insulating
このように、本表面実装水晶振動子の第1の端子パターンでは、ブレイクラインで分割された領域の角部ではなく短辺上に2つのスルーホール2bを設け、一方のスルーホール2bが当該短辺を介して隣接する一方の領域のホット端子に接続し、他方のスルーホール2bが他方の領域のホット端子に接続する構成としたことにより、周波数調整や電気検査を行う際、各領域のホット端子である2つの実装端子3aをプローブした場合に、隣接する表面実装水晶振動子の実装端子3aとは電気的に接続する部分を持たないので、隣接する振動子の影響を受けず、不要な共振が発生するのを防ぐことができるものである。
As described above, in the first terminal pattern of the surface-mounted crystal resonator, two through
尚、(a)(b)に示すように、各ブレイクラインの交点で各領域の角部に相当する位置には、従来と同様にスルーホール2aが設けられている。スルーホール2aによって、最後にシート状ベース基板をブレイクラインに沿って切断する際に切断しやすくなるが、スルーホール2aは必ずしも形成しなくてもよい。
In addition, as shown to (a) and (b), the through-
[本実施の形態に係るベース基板の端子パターン(2):図2]
次に、本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子におけるベース基板の第2の端子パターンについて図2を用いて説明する。図2は、本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子における第2の端子パターンの説明図であり、(a)は裏面パターン、(b)は表面パターンを示している。
図2(a)(b)では、シート状ベース基板上の、ブレイクラインで分割された複数の領域の内、領域の長辺で互いに隣接する2つの領域を示している。
[Terminal pattern (2) of base substrate according to this embodiment: FIG. 2]
Next, the second terminal pattern of the base substrate in the surface mount crystal resonator according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 2A and 2B are explanatory diagrams of a second terminal pattern in the surface-mounted crystal resonator according to the embodiment of the present invention. FIG. 2A shows a back surface pattern and FIG. 2B shows a surface pattern.
2A and 2B show two regions adjacent to each other at the long side of the region, out of a plurality of regions divided by break lines on the sheet-like base substrate.
第2の端子パターンでは、図2(a)(b)に示すように、水晶保持端子4と実装端子3とを接続するスルーホール2cが長辺上に2個形成されている。
そして、同一長辺上のスルーホール2cは、長辺の中央からほぼ等距離の位置に形成され、シート状ベース基板で形成する場合、長辺上のスルーホール2cは、全て当該長辺の中央からほぼ等距離の位置に形成されている。
In the second terminal pattern, as shown in FIGS. 2A and 2B, two through
The through
図2(a)に示すように、表面実装水晶振動子の裏面には、スルーホール2cに接続して実装端子3が形成されており、シート状のベース基板から分離された個々の基板において、実装端子3aはホット端子であり、実装端子3bは空き端子となっている。つまり、長辺で隣接する領域において、同一のスルーホール2cには、ホット端子の実装端子3aと空き端子の実装端子3bが接続されており、ホット端子同士が同一のスルーホール2cを共有することはない。
As shown in FIG. 2A, on the back surface of the surface-mounted crystal resonator, a mounting
また、短辺上に設ける場合と同様に、一つの領域について注目すると、同一領域内の水晶保持端子4と実装端子3を接続するスルーホール2cは、当該領域の中心に対してほぼ点対象となる位置に設けられている。
Similarly to the case of providing on the short side, when attention is paid to one region, the through
そして、図2(b)に示すように、第2の表面実装水晶振動子の表面には、長辺上に設けられたスルーホール2cに接続して、その周囲にスルーホール周辺端子41が形成されている。また、スルーホール周辺端子41aには、引出端子42、水晶保持端子4が接続されており、シート状のベース基板から分離された個々の基板において、スルーホール周辺端子41a、引出端子42、水晶保持端子4はホット端子となっている。
スルーホール周辺端子41bは、空き端子である。
Then, as shown in FIG. 2B, a through-hole peripheral terminal 41 is formed around the surface of the second surface-mounted crystal resonator connected to the through-
The through-hole peripheral terminal 41b is an empty terminal.
第2の端子パターンで形成された表面実装水晶振動子においても、周波数調整や電気検査を行う際に、各領域のホット端子である2つの実装端子3aをプローブした場合に、隣接する表面実装水晶振動子の実装端子3aとは電気的に接続する部分を持たないので、隣接する振動子の影響を受けず、不要な共振が発生するのを防ぐことができるものである。
Even in the surface-mounted crystal resonator formed with the second terminal pattern, when two mounting
[水晶保持端子の長さ:図3]
次に、本表面実装水晶振動子における水晶保持端子の長さについて図3を用いて説明する。図3は、本表面実装水晶振動子における水晶保持端子の長さを示す平面概略図であり、(a)は第1の端子パターン、(b)は第2の端子パターンを示している。
図3(a)に示すように、本表面実装水晶振動子において、第1の端子パターンの表面では、水晶保持端子4は、スルーホール2bに接続するスルーホール周辺端子41a及び引出端子42に長手方向の一辺の端部が接するように形成されている。
そして、スルーホール2b、スルーホール周辺端子41a、引出端子42、水晶保持端子4から成る回路が、当該表面実装水晶振動子の中心に対してほぼ点対称に配置されている。
[Length of crystal holding terminal: Fig. 3]
Next, the length of the crystal holding terminal in the surface mounted crystal resonator will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a schematic plan view showing the length of the crystal holding terminal in the surface-mounted crystal resonator, wherein (a) shows the first terminal pattern and (b) shows the second terminal pattern.
As shown in FIG. 3A, in this surface-mounted crystal resonator, on the surface of the first terminal pattern, the
A circuit including the through-
そして、一方の水晶保持端子4の引出端子42に接続する端部とは反対側の端部は、他方の水晶保持端子4の引出端子42に接続する端部(端面)を、水晶保持端子4の長さ方向と直交する方向(矩形領域の長手方向)に延長した直線よりも長さL1 だけ内側に入った位置に形成されている。
従来、水晶保持端子4は、他方の水晶保持端子4の引出端子42に接続する端部から延ばした直線と接する長さに形成されていたので、本表面実装水晶振動子の水晶保持端子4は、従来よりも長さL1だけ短く形成されているものである。
The end of the one
Conventionally, the
また、図3(b)に示すように、第2の端子パターンの表面では、スルーホール2c、スルーホール周辺端子41a、引出端子42a、水晶保持端子4がほぼ一直線にベースシートにおける領域の短辺に平行に形成されている。
そして、第1の端子パターンと同様に、一方の水晶保持端子4の引出端子42に接続する端部とは反対側の端部は、他方の水晶保持端子4の引出端子42に接続する端部から延ばした直線よりも長さL2 だけ内側に入った位置に形成されており、従来よりも長さL2だけ短く形成されている。
Further, as shown in FIG. 3B, on the surface of the second terminal pattern, the through
Similarly to the first terminal pattern, the end on the opposite side to the end connected to the
図3(a)、(b)に示したように水晶保持端子4を短く形成することにより、金属カバーの配置ずれがあった場合に、金属カバーが一方の水晶保持端子4に接触したとしても、他方の水晶保持端子4の先端は内側にL1又はL2だけ入った位置にあるので、金属カバーとは接触しない。そのため、金属カバーを介して一方の水晶保持端子4と他方の水晶保持端子とがショートするのを防ぐことができるものである。
Even if the metal cover contacts one of the
[本表面実装水晶振動子の製造方法:図1、図2]
次に、本表面実装水晶振動子の製造方法について簡単に説明する。ここでは、シート状ベース基板をセラミックで形成する場合を例として説明する。
まず、セラミックから成るシート状ベース基板に、隣接する領域同士を区切るブレイクラインを形成する。その際に、本表面実装水晶振動子の特徴部分である短辺上のスルーホール2b、若しくは長辺上のスルーホール2cも同時に形成する。また、必要であれば、ブレイクラインが交差する各領域の角部にもスルーホール2aを形成する。そして、その後焼成して、シート状ベース基板を得る。
[Manufacturing Method of the Surface Mounted Crystal Resonator: FIGS. 1 and 2]
Next, a method for manufacturing the surface mounted crystal resonator will be briefly described. Here, a case where the sheet-like base substrate is formed of ceramic will be described as an example.
First, a break line that separates adjacent regions is formed on a ceramic sheet-like base substrate. At that time, a through
次に、図1又は図2に示した端子パターンを形成する。
具体的には、ベース基板上の領域毎に、AgPd(銀−パラジウム)合金の金属ペーストを、端子パターンに対応したマスクを用いた印刷によって形成する。
端子パターンは、一主面(表面)では、水晶保持端子4のパターンが形成され、他主面(裏面)では、実装端子3a,3bのパターンが形成され、更に、スルーホール2b又は2cの壁面にはスルー端子が形成される。
Next, the terminal pattern shown in FIG. 1 or FIG. 2 is formed.
Specifically, for each region on the base substrate, a metal paste of AgPd (silver-palladium) alloy is formed by printing using a mask corresponding to the terminal pattern.
As for the terminal pattern, the pattern of the
図1に示した第1の端子パターンでは、4つのスルーホール2bが各領域の短辺上に形成され、当該領域の中心に対して2組の点対称な配置となるよう形成される。
また、図2に示した第2の端子パターンでは、4つのスルーホール2cが、各領域の長辺上に当該領域の中心に対して2組の点対称な配置となるよう形成される。
In the first terminal pattern shown in FIG. 1, four through
In the second terminal pattern shown in FIG. 2, the four through
そして、1組の点対称に配置されたスルーホール2b又は2cに、スルーホール周辺端子41a、引出端子42、水晶保持端子4が接続するよう形成される。これらは、水晶片に接続するホット端子となる。
他方の1組のスルーホール2b又は2cには、スルーホール周辺電極41bのみが形成され、スルーホール周辺電極41bは水晶片に接続しない空き端子となる。
そして、AgPd合金ペーストを焼成して、端子パターンの形成されたシート状ベース基板を得る。
Then, the through-hole peripheral terminal 41a, the lead-out terminal 42, and the
Only the through-hole
And AgPd alloy paste is baked and the sheet-like base substrate in which the terminal pattern was formed is obtained.
ここで、セラミックの焼成温度は約1500〜1600℃、AgPd合金は約850℃であることから、セラミックを焼成した後にAgPd合金ペーストを塗布して、セラミックと共にAgPd合金ペーストを焼成する。
これは、セラミック生地にAgPd合金ペーストを塗布してセラミックの焼成温度で焼成すると、AgPd合金には高温すぎて塊粒になってしまい、端子パターンを形成できないことに起因する。
Here, since the firing temperature of the ceramic is about 1500 to 1600 ° C. and the AgPd alloy is about 850 ° C., after firing the ceramic, the AgPd alloy paste is applied and the AgPd alloy paste is fired together with the ceramic.
This is because when AgPd alloy paste is applied to the ceramic fabric and fired at the firing temperature of the ceramic, the AgPd alloy becomes too hot and becomes agglomerated, and a terminal pattern cannot be formed.
次に、シート状ベース基板の各領域に水晶片を搭載する。
具体的には、励振電極から延出した引出電極を備えた水晶片の外周部を、導電性接着剤によって各領域の水晶保持端子4に固着して搭載し、電気的・機械的に接続する。
ここでは、引出電極の延出した水晶片における一組の対角部が固着される。
Next, a crystal piece is mounted on each region of the sheet-like base substrate.
Specifically, the outer peripheral portion of the crystal piece provided with the extraction electrode extending from the excitation electrode is fixedly mounted on the
Here, a pair of diagonal portions in the crystal piece from which the extraction electrode extends are fixed.
次に、シート状ベース基板に搭載(固着)された表面実装水晶振動子としての各水晶片の振動周波数を質量負荷効果によって調整する。
具体的には、シート状ベース基板の裏面において、各水晶片と電気的に接続した実装端子3aに測定器からの測定端子(プローブ)を接触させる。そして、板面が露出した水晶片の表面側の励振電極にガスイオンを照射して表面を削り取り、励振電極の質量を減じて振動周波数を低い方から高い方に調整する。
但し、例えば、蒸着やスパッタによって励振電極上に金属膜を付加して、振動周波数を高い方から低い方に調整することもできる。
Next, the vibration frequency of each crystal piece as a surface-mounted crystal resonator mounted (fixed) on the sheet-like base substrate is adjusted by the mass load effect.
Specifically, the measurement terminal (probe) from the measuring instrument is brought into contact with the mounting terminal 3a electrically connected to each crystal piece on the back surface of the sheet-like base substrate. Then, the excitation electrode on the surface side of the crystal piece with the plate surface exposed is irradiated with gas ions to scrape the surface, the mass of the excitation electrode is reduced, and the vibration frequency is adjusted from low to high.
However, it is also possible to adjust the vibration frequency from higher to lower by adding a metal film on the excitation electrode by vapor deposition or sputtering, for example.
次に、水晶片が搭載されたシート状ベース基板の各領域に、凹状とした金属カバーの開口端面を、封止材を介して接合する。
ここでは、金属カバーの開口端面に予め塗布された樹脂を封止材とし、加熱溶融して接合する。例えば、金属カバーの開口端面をL字状として所謂シールパスを長くする。これにより、個々の水晶片を密閉封入して集合化されたシート状の表面実装水晶振動子を形成する。
Next, the opening end face of the concave metal cover is joined to each region of the sheet-like base substrate on which the crystal piece is mounted via a sealing material.
Here, a resin previously applied to the opening end surface of the metal cover is used as a sealing material, and the resin is heated and melted for bonding. For example, the opening end face of the metal cover is L-shaped, and the so-called seal path is lengthened. As a result, individual crystal pieces are hermetically sealed and assembled into a sheet-like surface-mounted crystal resonator.
最後に、水晶振動子が集合化されたシート状ベース基板をブレイクラインに従って縦横に分割して、個々の表面実装水晶振動子を得る。 Finally, the sheet-like base substrate on which the crystal resonators are assembled is divided vertically and horizontally according to the break line to obtain individual surface mount crystal resonators.
本実施の形態の製造方法では、シート状ベース基板の端子パターン(スルーホール周辺端子41、引出端子42、水晶保持端子4、実装端子3、スルー端子)はAgPd合金として、スルーホール2を設けたシート状セラミック生地の焼成後にAgPd合金ペーストを塗布し、焼成によって形成する。
In the manufacturing method of the present embodiment, the terminal pattern (through hole peripheral terminal 41,
従って、従来例でのシート状セラミック生地にW(タングステン)ペーストを塗布して焼成後に電解メッキによってNi(ニッケル)及びAu(金)を形成する場合に比較し、2回にわたる電解メッキ工程を不要とするので、製造工程数を少なくできる。
また、電解メッキ工程を不要にするので、例えば、隣接する領域間の端子パターンを電気的に接続する電解メッキ用の配線路をも不要とするので、回路パターンをシンプルにして安価にできる効果がある。
Therefore, compared to the case where Ni (nickel) and Au (gold) are formed by electrolytic plating after applying W (tungsten) paste to the sheet-like ceramic fabric in the conventional example, two electrolytic plating steps are unnecessary. Therefore, the number of manufacturing steps can be reduced.
In addition, since an electrolytic plating process is not required, for example, an electrolytic plating wiring path that electrically connects terminal patterns between adjacent regions is also unnecessary, so that the circuit pattern can be simplified and inexpensively provided. is there.
また、シート状ベース基板の状態で、水晶片の搭載、周波数調整及び金属カバーの接合を連続的に行うので、生産性を向上させることができる効果がある。 Moreover, since the mounting of the crystal piece, the frequency adjustment, and the joining of the metal cover are continuously performed in the state of the sheet-like base substrate, there is an effect that productivity can be improved.
[実施の形態の効果]
本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子によれば、矩形に形成されたベース基板の表面に設けられた水晶保持端子4と裏面に設けられた実装端子3とを接続する2つのスルーホール2bの内、第1のスルーホールが、当該矩形領域の一方の短辺上の中点及び両端以外の位置に設けられ、第2のスルーホールが、他方の短辺上で当該矩形領域の中心に対して第1のスルーホールの位置とは略点対称となる位置に設けられると共に、空き端子に接続する第3のスルーホールと第4のスルーホールを設け、第3のスルーホールが、第1のスルーホールが設けられている短辺上で、当該短辺の中点から第1のスルーホールとは反対側で第1のスルーホールと等距離に設けられ、第4のスルーホールが、第2のスルーホールが設けられている短辺上で、当該短辺の中点から第2のスルーホールとは反対側で第2のスルーホールと等距離に設けられた表面実装水晶振動子としているので、ブレイクライン10によって複数の矩形領域に分割されたシート状ベース基板上にマトリクス状に集合的に形成された場合に、隣接する表面実装水晶振動子同士のホット端子が同一のスルーホール2b内のスルー端子を共有しない構成として、周波数調整や電気検査の際に隣接する振動子の影響を無くして不要共振の発生を防ぎ、精度を向上させ、正確な測定を行うことができる効果がある。
[Effect of the embodiment]
According to the surface-mounted crystal resonator according to the embodiment of the present invention, two through holes that connect the
また、本表面実装水晶振動子によれば、矩形に形成されたベース基板の表面に設けられた水晶保持端子4と裏面に設けられた実装端子3とを接続する2つのスルーホール2cの内、第1のスルーホールが、当該矩形領域の一方の長辺上の中点及び両端以外の位置に設けられ、第2のスルーホールが、他方の長辺上で当該矩形領域の中心に対して第1のスルーホールの位置とは略点対象となる位置に設けられると共に、空き端子に接続する第3のスルーホールと第4のスルーホールを設け、第3のスルーホールが、第1のスルーホールが設けられている短辺上で、当該短辺の中点から第1のスルーホールとは反対側で第1のスルーホールと等距離に設けられ、第4のスルーホールが、第2のスルーホールが設けられている短辺上で、当該短辺の中点から第2のスルーホールとは反対側で第2のスルーホールと等距離に設けられた表面実装水晶振動子としているので、ブレイクライン10によって複数の矩形領域に分割されたシート状ベース基板上にマトリクス状に集合的に形成された場合に、隣接する表面実装水晶振動子同士のホット端子が同一のスルー端子を共有しない構成として、周波数調整や電気検査の際に隣接する振動子の影響を無くして不要共振の発生を防ぎ、精度を向上させ、正確な測定を行うことができる効果がある。
In addition, according to the surface mount crystal resonator, of the two through
また、本表面実装水晶振動子によれば、一方の水晶保持端子4の、引出端子42に接続する端部とは反対側の端部を、他方の水晶保持端子4の引出端子42に接続する端部から延ばした直線よりも長さL1 だけ内側に入った位置に形成し、水晶保持端子の長さを短くしているので、金属カバーの配置ずれがあった場合でも、金属カバーを介して一方の水晶保持端子4と他方の水晶保持端子とがショートするのを防ぐことができる効果がある。
Further, according to the surface mount crystal resonator, one end of the
また、本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子の製造方法によれば、シート状ベース基板11を、ブレイクライン10によって複数の矩形領域に分割すると共に、隣接する領域を分離する短辺上に2つのスルーホールを設け、同一短辺に形成された一方のスルーホールが、当該短辺を介して隣接する一方の領域の水晶保持端子と実装端子のみを接続し、他方のスルーホールが当該短辺を介して隣接する他方の領域の水晶保持端子と実装端子のみを接続するよう、各領域の表面に水晶保持端子を形成し、裏面に実装端子を形成し、各領域に水晶片を搭載して表面実装水晶振動子を形成するものであり、シート基板上で隣接する振動子のホット端子がスルー端子を共有しない構成とすることができ、周波数調整や電気検査の際に隣接振動子の影響を無くして不要共振の発生を防ぎ、精度を向上させ、正確な測定を行うことができるものである。
Further, according to the method for manufacturing the surface-mounted crystal resonator according to the embodiment of the present invention, the sheet-
本発明は、小型化を実現しつつ、品質を高め、生産性を向上させると共に、精度の高い周波数調整及び電気検査を行うことができる表面実装水晶振動子及びその製造方法に適している。 The present invention is suitable for a surface-mount crystal resonator capable of improving the quality and improving the productivity while realizing miniaturization, and performing highly accurate frequency adjustment and electrical inspection, and a manufacturing method thereof.
1...ベース基板、 2a,2b,2c...スルーホール(貫通孔)、 3a,3b...実装端子、 4...水晶保持端子、 41a,41b...スルーホール周辺端子、 42...引出端子、 5...金属カバー、 7...絶縁層 10...ブレイクライン、 12...スルー端子、 13...実装端子、 14...水晶保持端子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base board | substrate, 2a, 2b, 2c ... Through hole (through-hole), 3a, 3b ... Mounting terminal, 4 ... Crystal holding terminal, 41a, 41b ... Through-hole peripheral terminal, 42 ... Lead terminal, 5 ... Metal cover, 7 ... Insulating
Claims (7)
前記矩形の基板の対向する二辺の上に2つずつスルーホールを備え、
第1のスルーホールが、前記対向する二辺のいずれか一辺上において当該辺の中点及び両端以外の位置に設けられ、前記第1の水晶保持端子と前記第1の実装端子とを接続し、
第2のスルーホールが、前記対向する二辺の他方の辺上で前記矩形の中心に対して前記第1のスルーホールとは略点対称となる位置に設けられ、前記第2の水晶保持端子と前記第2の実装端子とを接続し、
第3のスルーホールが、前記一辺上で、前記一辺の中点から前記第1のスルーホールとは反対側に前記第1のスルーホールと略等距離の位置に設けられ、前記第3の実装端子を前記水晶保持端子と接続させず、
第4のスルーホールが、前記他方の辺上で、前記他方の辺の中点から前記第2のスルーホールとは反対側に前記第2のスルーホールと略等距離の位置に設けられ、前記第4の実装端子を前記水晶保持端子に接続させない構成としたことを特徴とする表面実装水晶振動子。 A crystal piece is mounted on a rectangular substrate, the crystal piece is held by the first and second crystal holding terminals on the surface of the substrate, and first to fourth mounting terminals are formed on the back surface of the substrate. A surface mount crystal unit,
Two through holes are provided on two opposite sides of the rectangular substrate,
A first through hole is provided on any one of the two opposing sides at a position other than the midpoint and both ends of the side, and connects the first crystal holding terminal and the first mounting terminal. ,
A second through hole is provided on the other side of the two opposite sides at a position that is substantially point-symmetric with the first through hole with respect to the center of the rectangle, and the second crystal holding terminal And the second mounting terminal,
A third through hole is provided on the one side on the opposite side of the first through hole from the midpoint of the one side at a position substantially equidistant from the first through hole. Without connecting the terminal to the crystal holding terminal,
A fourth through hole is provided on the other side, at a position approximately equidistant from the second through hole, on the opposite side of the second side from the midpoint of the other side; A surface-mounted crystal resonator, characterized in that the fourth mounting terminal is not connected to the crystal holding terminal.
前記一方の水晶保持端子の前記引出端子に接続する端部と反対側の端部が、他方の水晶保持端子の引出端子に接続する端部を矩形の基板の長手方向に延長した線よりも内側に入った位置に形成したことを特徴とする請求項1乃至3記載の表面実装水晶振動子。 The first and second crystal holding terminals are respectively connected to the through holes via the extraction electrodes,
The end of the one crystal holding terminal opposite to the end connected to the lead terminal is inside the line extending from the end of the other crystal holding terminal connected to the lead terminal in the longitudinal direction of the rectangular substrate. 4. The surface-mounted crystal resonator according to claim 1, wherein the surface-mount crystal resonator is formed at a position where it enters.
シート状のベース基板にブレイクラインを形成して複数の矩形領域を形成し、
隣接する矩形領域を区切る短辺となるブレイクライン上に2つのスルーホールを形成し、
前記スルーホール内部にスルー端子を形成し、
同一短辺に形成された一方のスルーホール内のスルー端子が、当該短辺を介して隣接する一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続せず、前記同一短辺に形成された他方のスルーホール内のスルー端子が、前記他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、前記一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続しないよう、前記ベース基板の表面に前記水晶保持端子を形成し、前記ベース基板の裏面に前記実装端子を形成することを特徴とする表面実装水晶振動子の製造方法。 A method of manufacturing a surface-mounted crystal resonator in which a crystal piece is mounted on a rectangular substrate, the crystal piece is held by a crystal holding terminal on the surface of the substrate, and a mounting terminal is formed on the back surface of the substrate,
A break line is formed on a sheet-like base substrate to form a plurality of rectangular regions,
Two through-holes are formed on the break line that becomes the short side that separates adjacent rectangular regions,
A through terminal is formed inside the through hole,
A through terminal in one through hole formed on the same short side connects a crystal holding terminal of one rectangular region adjacent to the mounting terminal via the short side and a crystal holding terminal of the other rectangular region. And the through terminal in the other through hole formed on the same short side connects the crystal holding terminal and the mounting terminal of the other rectangular area, and the one rectangular area The crystal holding terminal is formed on the surface of the base substrate so that the crystal holding terminal is not connected to the mounting terminal, and the mounting terminal is formed on the back surface of the base substrate. Production method.
シート状のベース基板にブレイクラインを形成して複数の矩形領域を形成し、
隣接する矩形領域を区切る長辺となるブレイクライン上に2つのスルーホールを形成し、
前記スルーホール内部にスルー端子を形成し、
同一長辺に形成された一方のスルーホール内のスルー端子が、当該長辺を介して隣接する一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続せず、前記同一長辺に形成された他方のスルーホール内のスルー端子が、前記他方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続すると共に、前記一方の矩形領域の水晶保持端子と実装端子とを接続しないよう、前記ベース基板の表面に前記水晶保持端子を形成し、前記ベース基板の裏面に前記実装端子を形成することを特徴とする表面実装水晶振動子の製造方法。 A method of manufacturing a surface-mounted crystal resonator in which a crystal piece is mounted on a rectangular substrate, the crystal piece is held by a crystal holding terminal on the surface of the substrate, and a mounting terminal is formed on the back surface of the substrate,
A break line is formed on a sheet-like base substrate to form a plurality of rectangular regions,
Two through holes are formed on the break line that is the long side that separates adjacent rectangular regions,
A through terminal is formed inside the through hole,
The through terminals in one through hole formed on the same long side connect the crystal holding terminal of one rectangular region adjacent to the mounting terminal and the mounting terminal via the long side, and the crystal holding terminal of the other rectangular region And the through terminal in the other through hole formed on the same long side connects the crystal holding terminal and the mounting terminal of the other rectangular area, and the one rectangular area The crystal holding terminal is formed on the surface of the base substrate so that the crystal holding terminal is not connected to the mounting terminal, and the mounting terminal is formed on the back surface of the base substrate. Production method.
ブレイクラインによってマトリクス状に複数の矩形領域に区分され、
当該矩形領域の短辺又は長辺上に2つのスルーホールが形成されると共に、当該スルーホール内に表面と裏面とを接続する電極が形成され、
前記表面に前記矩形領域毎に水晶保持端子が形成され、
前記裏面に前記スルーホールを中心として隣接する矩形領域にまたがって実装端子が形成され、
同一短辺又は長辺に形成された一方のスルーホール内の電極が、当該辺を介して隣接する一方の矩形領域の水晶保持端子に接続するものの、他方の矩形領域の水晶保持端子に接続しておらず、前記同一短辺又は長辺に形成された他方のスルーホール内の電極が、前記他方の矩形領域の水晶保持端子に接続するものの、前記一方の矩形領域の水晶保持端子に接続していないことを特徴とするベース基板。 A sheet-like base substrate for forming a plurality of surface-mount crystal units,
Divided into a plurality of rectangular areas in a matrix by break lines,
Two through holes are formed on the short side or long side of the rectangular region, and an electrode for connecting the front surface and the back surface is formed in the through hole,
Crystal holding terminals are formed on the surface for each of the rectangular regions,
A mounting terminal is formed across the rectangular region adjacent to the back surface around the through hole,
The electrode in one through-hole formed on the same short side or long side is connected to the crystal holding terminal of one rectangular region adjacent to the other through the side, but is connected to the crystal holding terminal of the other rectangular region. The electrode in the other through-hole formed on the same short side or long side is connected to the crystal holding terminal in the other rectangular region, but connected to the crystal holding terminal in the one rectangular region. Base substrate characterized by not.
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Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0685599A (en) * | 1992-08-31 | 1994-03-25 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Multi-mode crystal oscillator |
JPH08162891A (en) * | 1994-11-29 | 1996-06-21 | Daishinku Co | Surface mount type piezoelectric vibrator |
JPH09307396A (en) * | 1996-05-09 | 1997-11-28 | Murata Mfg Co Ltd | Structure and method for sealing electronic part |
JPH10107576A (en) * | 1996-09-30 | 1998-04-24 | Kyocera Corp | Piezoelectric vibrator and its manufacture |
JPH10163356A (en) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Murata Mfg Co Ltd | Structure and method for sealing electronic parts |
JP2000294899A (en) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Murata Mfg Co Ltd | Mother board, child board and its manufacture |
JP2003264444A (en) * | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Citizen Watch Co Ltd | Assembled substrate for piezoelectric device, piezoelectric device and its manufacturing method |
JP2005108923A (en) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Daishinku Corp | Package for electronic component |
JP2005244939A (en) * | 2004-01-29 | 2005-09-08 | Seiko Epson Corp | Package for electronic component, electronic component and method of manufacturing piezoelectric device |
JP2006033413A (en) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Daishinku Corp | Piezoelectric vibration device |
JP2006173287A (en) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | Electronic part housing ceramic package and its manufacturing method |
JP2006186566A (en) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Kyocera Kinseki Corp | Method for manufacturing crystal oscillator package |
JP2008035410A (en) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Kyocera Kinseki Corp | Piezoelectric device and its manufacturing method |
JP2009100353A (en) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Quartz crystal device |
-
2010
- 2010-11-26 JP JP2010263777A patent/JP2012114810A/en active Pending
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0685599A (en) * | 1992-08-31 | 1994-03-25 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Multi-mode crystal oscillator |
JPH08162891A (en) * | 1994-11-29 | 1996-06-21 | Daishinku Co | Surface mount type piezoelectric vibrator |
JPH09307396A (en) * | 1996-05-09 | 1997-11-28 | Murata Mfg Co Ltd | Structure and method for sealing electronic part |
JPH10107576A (en) * | 1996-09-30 | 1998-04-24 | Kyocera Corp | Piezoelectric vibrator and its manufacture |
JPH10163356A (en) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Murata Mfg Co Ltd | Structure and method for sealing electronic parts |
JP2000294899A (en) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Murata Mfg Co Ltd | Mother board, child board and its manufacture |
JP2003264444A (en) * | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Citizen Watch Co Ltd | Assembled substrate for piezoelectric device, piezoelectric device and its manufacturing method |
JP2005108923A (en) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Daishinku Corp | Package for electronic component |
JP2005244939A (en) * | 2004-01-29 | 2005-09-08 | Seiko Epson Corp | Package for electronic component, electronic component and method of manufacturing piezoelectric device |
JP2006033413A (en) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Daishinku Corp | Piezoelectric vibration device |
JP2006173287A (en) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | Electronic part housing ceramic package and its manufacturing method |
JP2006186566A (en) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Kyocera Kinseki Corp | Method for manufacturing crystal oscillator package |
JP2008035410A (en) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Kyocera Kinseki Corp | Piezoelectric device and its manufacturing method |
JP2009100353A (en) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Quartz crystal device |
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