JP2012114224A - ヒートシンク付パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミックス基板2の両面に金属層6,7が接合されたパワーモジュール用基板3と、一方の金属層7にAgの仮焼結層9を介在させることにより仮止め状態に接合されたヒートシンク5と、パワーモジュール用基板3とヒートシンク5とを積層状態に保持する保持手段(封止材10)とを備えた。
【選択図】 図1
Description
また、特許文献2には、緩衝材として可塑性多孔質金属層を用い、放熱層とヒートシンクとを接合することが提案されている。
さらに、特許文献3には、放熱層とヒートシンクとの間に熱伝導グリースを介在させた状態で、パワーモジュール用基板とヒートシンクとを抑え、ねじ止め等により固定する構造が提案されている。
また、可塑性多孔質金属層のように空隙率の大きい緩衝材を介在させた場合には、その空隙部分によって放熱が妨げられ、放熱基板としての性能が阻害される。
この場合、パワーモジュール用基板とヒートシンクとは、仮焼結層によって仮止め状態に保持されている。そのため、パワーモジュールの冷熱サイクル時に、パワーモジュール用基板とヒートシンクとの間に熱伸縮の差が生じた場合でも、仮焼結層はその熱伸縮に追従して双方の積層面に接触した状態を保持することができるので、各接合部材の熱応力を低減することができる。
さらに、熱伝導グリースと比べてAgを主体とする仮焼結層は熱伝導率が高く、ヒートシンクへの良好な放熱特性を確保しつつ、セラミックス基板の割れ等を防止することができる。
この場合、電子部品を絶縁するための樹脂封止を施す際に、同時にパワーモジュール全体を強固に保持することができ、効率的である。
ヒートシンク付パワーモジュール用基板とヒートシンクとを固定枠によってその積層方向に確実に密着させて保持することができ、良好な放熱特性を得ることができる。
図1は、この発明により製造されるパワーモジュールを示している。この図1のパワーモジュール100は、セラミックス基板2を有するパワーモジュール用基板3と、パワーモジュール用基板3の表面に搭載された半導体チップ等の電子部品4と、パワーモジュール用基板3の裏面に接合されたヒートシンク5とから構成される。
金属層6,7は、いずれも純度99.90質量%以上のアルミニウムが用いられ、JIS規格では、1N90(純度99.90質量%以上:いわゆる3Nアルミニウム)又は1N99(純度99.99質量%以上:いわゆる4Nアルミニウム)を用いることができる。
このパワーモジュール用基板3は、放熱層となる金属層7に緩衝機能を持たせたるため、回路層となる金属層6よりも肉厚に形成されたものを用いている。
これら金属層6,7は、プレス加工により所望の外形に打ち抜いたものをセラミックス基板2に接合するか、あるいは、平板状のものをセラミックス基板2に接合した後に、エッチング加工により所望の外形に形成するか、いずれの方法も採用することができる。
パワーモジュール用基板3とヒートシンク5とは、図1に示すように、パワーモジュール用基板の金属層7とヒートシンク5との間に0.01〜0.3mm程度のAgの仮焼結層9を介在させることにより仮止め状態に接合されている。
封止材10による樹脂封止は、電子部品4を絶縁するためにパワーモジュール100に施されるが、電子部品4とパワーモジュール用基板3とをヒートシンク5の上面を含めて一括して封止することで、パワーモジュール用基板3とヒートシンク5とを強固に保持するための保持手段を兼用させることができる。
AlNからなるセラミックス基板2の一方の面に回路層となる金属層6をろう材箔を介して積層し、セラミックス基板2の他方の面に放熱層となる金属層7もろう材箔を介して積層する。この積層体と、クッション性及び耐熱性を有するカーボン及びグラファイトの薄膜からなるシートとを、その積層方向に交互に重ねて加圧手段の間に載置し、これらを厚さ方向(積層方向)に加圧した状態で真空炉内に装入する。そして、この加圧状態で加熱することにより、ろう付けを行いパワーモジュール用基板3を製造する(図3(a))。
そして、電子部品4を金属層6にはんだ付けした後に(図3(c))、電子部品4とパワーモジュール用基板3とを一括して樹脂封止し、パワーモジュール用基板3とヒートシンク5とを積層状態に保持することにより、パワーモジュール100を製造することができる(図3(d))。
また、Agを主体とする仮焼結層9は、熱伝導率が高く、ヒートシンク5への良好な放熱特性を確保しつつ、セラミックス基板の割れ等を防止することができる。
この場合、ヒートシンク5には、パワーモジュール用基板3の周囲よりも張り出している部分に雌ねじ部が形成されており、固定枠20の挿入孔20aにねじ21を挿入して雄ねじ部に螺合させ、締め付けることによって、パワーモジュール用基板3とヒートシンク5とを積層状態に保持することができる。
このように、固定枠20を介してパワーモジュール用基板とヒートシンクとをその積層方向に密着させて確実に保持することができるので、良好な放熱特性を得ることができる。
また、各試料の熱抵抗を測定した。熱抵抗は、仮焼結層に熱が加わったときの伝わりにくさであり、電子部品等の発熱体の発熱量と、このときのパワーモジュール用基板とヒートシンクとの温度差から算出して評価した。
したがって、仮焼結層を150〜250℃の温度で加熱して仮焼成した場合に、良好な放熱特性が得られ、適切に使用し得ることがわかった。その場合、接合強度(せん断応力強度)は2〜7N/mm2であった。
熱サイクル試験後、熱抵抗及び接合強度を測定した結果、熱サイクル試験前の結果との変化はなかった。
以上のことから、パワーモジュールを構成する場合には、パワーモジュール用基板とヒートシンクとの間に介在させる仮焼結層を、150〜250℃の温度範囲で仮焼成し、2〜7N/mm2の接合強度となるように構成することで、適切に使用し得ることがわかった。
例えば、上記実施形態では、金属層に純度99.90%以上のアルミニウムを用いたが、純度99%以上のアルミニウム又はアルミニウム合金を用いてもよい。また、回路層及び放熱層となる金属層に同じ材質のものを用いたが、両金属層はこれに限定されるものではなく、回路層及び放熱層を別々の材質としてもよい。例えば、放熱層にアルミニウムを用い、回路層に銅を用いる構成とすることができる。
また、上記の実施形態においては、セラミックス基板の両面に回路層及び放熱層となる金属層を積層してパワーモジュール用基板を構成し、その放熱層にヒートシンクを取り付ける構成としていたが、放熱層を設けずにセラミックス基板の裏面とヒートシンクとの間に仮焼結層を形成して仮止めすることにより、パワーモジュール用基板を構成してもよい。
さらに、パワーモジュール用基板とヒートシンクとをばね等の弾性部材で押圧してパワーモジュールを構成してもよく、また、その他適宜の保持手段を適用してもよい。
3 パワーモジュール用基板
4,40 電子部品
5 ヒートシンク
6,7 金属層
8 はんだ接合層
9 仮焼結層
10 封止材
16 流路
20 固定枠
21 ねじ
41 Si素子
42 Cu端子
90 原料粉末
91 接触部分
100,200,300 パワーモジュール
Claims (4)
- セラミックス基板を有するパワーモジュール用基板と、前記パワーモジュール用基板の片面にAgの仮焼結層を介在させることにより仮止め状態に接合されたヒートシンクと、前記パワーモジュール用基板と前記ヒートシンクとを積層状態に保持する保持手段とを備えたことを特徴とするヒートシンク付パワーモジュール用基板。
- 請求項1記載のヒートシンク付パワーモジュール用基板と、前記パワーモジュールに接合された電子部品とを備えるとともに、前記保持手段は、前記ヒートシンク付パワーモジュール用基板と電子部品とを一括して封止した樹脂により構成されていることを特徴とするパワーモジュール。
- 前記保持手段は、前記パワーモジュール用基板と前記ヒートシンクとを保持する固定枠により構成されていることを特徴とする請求項1記載のヒートシンク付パワーモジュール用基板。
- セラミックス基板を有するパワーモジュール用基板と、前記パワーモジュール用基板の片面に接合されたヒートシンクとを備えたヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法であって、前記パワーモジュール用基板と前記ヒートシンクとの間に、Ag又はAg2Oの粉末とバインダーと混合したペーストを介在させた状態で仮焼成することによりAgの仮焼結層を形成して、前記パワーモジュール用基板に前記ヒートシンクを仮止めした後に、前記パワーモジュール用基板と前記ヒートシンクとを保持手段により積層状態に保持することを特徴とするヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法。
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