JP2012109018A - Voltage generator - Google Patents

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Kang Seol Lee
康設 李
Jae Jin Lee
在眞 李
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably drive bit line pre-charge voltage or cell plate voltage in a low power supply voltage state and to minimize standby current IDD2P and operation current.SOLUTION: A voltage generator of a semiconductor memory element includes: bias signal generation means that uses reference voltage on a half level of power supply voltage to generate bias signals of different levels; drive signal generation means that generates a pull-down drive signal in response to a voltage level at an output end; voltage drive means that drives the output end in response to the drive signal; drive signal generation means that generates a pull-up drive signal/pull-down drive signal according to the voltage level at the output end; a pull-up PMOS transistor/pull-down NMOS transistor that pull-up drives/pull-down drives the output end in response to the pull-up drive signal/pull-down drive signal; first multiplexing means; and second multiplexing means.

Description

本発明は、電圧発生装置に関し、特に、低電源電圧状態でビットラインプリチャージ電圧又はセルプレート電圧を安定的に駆動し、且つ、待機電流及び動作電流を最小化できるようにする技術に関する。   The present invention relates to a voltage generator, and more particularly, to a technique for stably driving a bit line precharge voltage or a cell plate voltage in a low power supply voltage state and minimizing standby current and operating current.

半導体メモリ素子は、工程の変化に対する条件によって、低い駆動能力(Drivability)を有する場合が多い。このような場合、電圧の駆動能力が弱いため、内部電圧に大きな変化を起こして半導体メモリ素子のエラーを引き起こすようになる。   In many cases, the semiconductor memory device has a low driving capability depending on a process change. In such a case, since the voltage driving capability is weak, a large change is caused in the internal voltage, causing an error in the semiconductor memory device.

また、半導体メモリ素子が高集積化されるにつれて、工程の変化が次第に大きくなるため、コア電圧が次第に低くなり、半導体メモリ素子に用いられるビットラインプリチャージ電圧VBLP及びセルプレート電圧VCPの駆動能力も低減するようになる。   Further, as the semiconductor memory device is highly integrated, the change in the process gradually increases, so that the core voltage gradually decreases, and the driving capability of the bit line precharge voltage VBLP and the cell plate voltage VCP used in the semiconductor memory device also increases. It will be reduced.

図1は、従来のビットラインプリチャージ電圧VBLP発生装置に関する回路図である。   FIG. 1 is a circuit diagram of a conventional bit line precharge voltage VBLP generator.

従来の電圧発生装置は、コア電圧制御手段10及び電圧駆動手段20を備える。そして、コア電圧制御手段10は、コア電圧発生部11と、バイアス電圧発生部12及びゲート電圧発生部13を備える。   The conventional voltage generator includes a core voltage control unit 10 and a voltage driving unit 20. The core voltage control means 10 includes a core voltage generator 11, a bias voltage generator 12, and a gate voltage generator 13.

ここで、コア電圧発生部11は、ビットラインプリチャージ電圧VBLP又はセルプレート電圧VCPの基準電圧となる1/2コア電圧(1/2×VCORE)を発生する。このようなコア電圧発生部11は、コア電圧VCORE印加端と接地電圧段との間に直列接続されたPMOSトランジスタP1、P2と抵抗R1、R2とを備える。従って、セルフバイアスダイオード抵抗及びライン抵抗を利用した電圧分割器(Voltage Divider)を実現して基準電圧REFを発生する。   Here, the core voltage generator 11 generates a ½ core voltage (½ × VCORE) which is a reference voltage of the bit line precharge voltage VBLP or the cell plate voltage VCP. The core voltage generator 11 includes PMOS transistors P1 and P2 and resistors R1 and R2 connected in series between the application terminal of the core voltage VCORE and the ground voltage stage. Accordingly, the voltage divider using the self-biased diode resistance and the line resistance is realized to generate the reference voltage REF.

このとき、電源電圧が外部から印加される場合、図1のように電圧分割器を利用して電源電位を生成するが、電源電圧を内部で生成する場合、他の装置の基準電位発生部を介して基準電圧REFを生成することができる。   At this time, when the power supply voltage is applied from the outside, the power supply potential is generated using a voltage divider as shown in FIG. 1, but when the power supply voltage is generated internally, the reference potential generating unit of another device is The reference voltage REF can be generated via

そして、バイアス電圧発生部12は、基準電圧REFを利用してバイアス電圧PBIAS、NBIASを発生する。このようなバイアス電圧発生部12は、PMOSトランジスタP3〜P6及びNMOSトランジスタN1〜N6を備える。ここで、PMOSトランジスタP3と、NMOSトランジスタN1、N3とは、コア電圧VCORE印加端と接地電圧段との間に直列接続され、接地電圧VSS印加端へ一定の電流が流れるようにする。そして、PMOSトランジスタP3は、ゲート端子を介して基準電圧REFが印加され、NMOSトランジスタN1、N3は、それぞれのゲート端子とドレイン端子とを共通接続される。   The bias voltage generator 12 generates the bias voltages PBIAS and NBIAS using the reference voltage REF. The bias voltage generator 12 includes PMOS transistors P3 to P6 and NMOS transistors N1 to N6. Here, the PMOS transistor P3 and the NMOS transistors N1 and N3 are connected in series between the application terminal of the core voltage VCORE and the ground voltage stage so that a constant current flows to the application terminal of the ground voltage VSS. A reference voltage REF is applied to the PMOS transistor P3 via the gate terminal, and the gate terminals and drain terminals of the NMOS transistors N1 and N3 are connected in common.

また、PMOSトランジスタP4とNMOSトランジスタN2、N4は、コア電圧VCORE印加端と接地電圧段との間に直列接続されて電流ミラー構造とし、コア電圧VCORE印加端へ一定の電流が流れるようにする。そして、PMOSトランジスタP4は、ゲート端子とドレイン端子とを共通接続し、NMOSトランジスタN2は、NMOSトランジスタN1とゲート端子とを共通接続し、NMOSトランジスタN4は、NMOSトランジスタN3とゲート端子とを共通接続してNMOSトランジスタN2、N4に同じ電流が流れるようにする。   The PMOS transistor P4 and the NMOS transistors N2 and N4 are connected in series between the core voltage VCORE application terminal and the ground voltage stage so as to have a current mirror structure so that a constant current flows to the core voltage VCORE application terminal. The PMOS transistor P4 commonly connects the gate terminal and the drain terminal, the NMOS transistor N2 commonly connects the NMOS transistor N1 and the gate terminal, and the NMOS transistor N4 commonly connects the NMOS transistor N3 and the gate terminal. Thus, the same current flows through the NMOS transistors N2 and N4.

また、PMOSトランジスタP5は、コア電圧VCORE印加端とNMOSトランジスタN7の間に接続され、ゲート端子がPMOSトランジスタP4と共通接続して電流ミラー構造とする。PMOSトランジスタP6は、コア電圧VCORE印加端とNMOSトランジスタN8との間に接続され、ゲート端子を介してバイアス電圧PBIASが印加される。また、NMOSトランジスタN5は、接地電圧段とPMOSトランジスタP7との間に接続され、ゲート端子を介してバイアス電圧NBIASが印加される。NMOSトランジスタN6は、接地電圧段とPMOSトランジスタP8との間に接続され、ゲート端子を介してバイアス電圧NBIASが印加される。   The PMOS transistor P5 is connected between the application terminal of the core voltage VCORE and the NMOS transistor N7, and has a gate terminal commonly connected to the PMOS transistor P4 to form a current mirror structure. The PMOS transistor P6 is connected between the application terminal of the core voltage VCORE and the NMOS transistor N8, and the bias voltage PBIAS is applied through the gate terminal. The NMOS transistor N5 is connected between the ground voltage stage and the PMOS transistor P7, and a bias voltage NBIAS is applied through the gate terminal. The NMOS transistor N6 is connected between the ground voltage stage and the PMOS transistor P8, and a bias voltage NBIAS is applied via a gate terminal.

ゲート電圧発生部13は、ゲート端子を介してゲート電圧NGATEが共通に印加されるNMOSトランジスタN7、N8とゲート端子とを介してゲート電圧PGATEが共通に印加されるPMOSトランジスタP7、P8を備えて電流ミラー構造をなす。このようなゲート電圧発生部13は基準電圧REFよりNMOSトランジスタN7のしきい電圧だけ高い電位リンゲート電圧NGATEと、基準電圧REFよりPMOSトランジスタP7のしきい電圧の分低い電位のゲート電圧PGATEを生成する。   The gate voltage generator 13 includes NMOS transistors N7 and N8 to which a gate voltage NGATE is commonly applied via a gate terminal, and PMOS transistors P7 and P8 to which a gate voltage PGATE is commonly applied via a gate terminal. It has a current mirror structure. The gate voltage generator 13 generates a potential phosphorus gate voltage NGATE that is higher than the reference voltage REF by the threshold voltage of the NMOS transistor N7, and a gate voltage PGATE that is lower than the reference voltage REF by the threshold voltage of the PMOS transistor P7. .

また、電圧駆動手段20は、PMOSトランジスタP9とNMOSトランジスタN9とを備える。PMOSトランジスタP9及びNMOSトランジスタN9は、コア電圧VCORE印加端と接地電圧段との間に直列接続され、それぞれのゲート端子を介してプルアップ駆動信号PDRV、プルダウン駆動信号NDRVが印加され、共通ドレイン端子を介してビットラインプリチャージ電圧VBLPを出力する。   The voltage driving means 20 includes a PMOS transistor P9 and an NMOS transistor N9. The PMOS transistor P9 and the NMOS transistor N9 are connected in series between the application terminal of the core voltage VCORE and the ground voltage stage, and the pull-up drive signal PDRV and the pull-down drive signal NDRV are applied through the respective gate terminals, and the common drain terminal The bit line precharge voltage VBLP is output via

このような構成を有する従来の電圧発生装置に関する動作過程を、図2の電圧タイミングチャートを参照して説明すると、次の通りである。   The operation process of the conventional voltage generator having such a configuration will be described with reference to the voltage timing chart of FIG.

まず、PMOSトランジスタP6は、しきい電圧の周辺のターンオン抵抗によって動作するようになり、一定の電流が流れるようにする。従って、常に動作するので、ターンオン抵抗が大きく設定される。そして、NMOSトランジスタN8は、ビットラインプリチャージ電圧VBLPのレベルが変わるにつれて、ソースフォロア形態で動作するため、速く動作するようになる。   First, the PMOS transistor P6 is operated by a turn-on resistance around the threshold voltage so that a constant current flows. Therefore, since it always operates, the turn-on resistance is set large. Since the NMOS transistor N8 operates in a source follower configuration as the level of the bit line precharge voltage VBLP changes, the NMOS transistor N8 operates faster.

仮に、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが低くなると、NMOSトランジスタN8のゲート電圧NGATEとソースであるビットラインプリチャージ電圧VBLPの値が大きくなる。従って、NMOSトランジスタN8に流れる電流が速く流れるようになって、プルアップ駆動信号PDRVの電圧レベルが低くなる。従って、PMOSトランジスタP9がターンオンされ、ビットラインプリチャージ電圧VBLPのレベルを上昇させる。
また、NMOSトランジスタN6は、しきい電圧の周辺のターンオン抵抗で動作するようになり、一定の電流が流れるようにする。従って、常に動作するため、ターンオン抵抗が大きく設定される。そして、PMOSトランジスタP8は、ビットラインプリチャージ電圧VBLPのレベルが変わるにつれて、ソースフォロア形態で動作するため、速く動作する。
If the bit line precharge voltage VBLP is lowered, the values of the gate voltage NGATE of the NMOS transistor N8 and the bit line precharge voltage VBLP as the source are increased. Therefore, the current flowing through the NMOS transistor N8 flows faster, and the voltage level of the pull-up drive signal PDRV is lowered. Accordingly, the PMOS transistor P9 is turned on to raise the level of the bit line precharge voltage VBLP.
The NMOS transistor N6 operates with a turn-on resistance around the threshold voltage so that a constant current flows. Therefore, since it always operates, the turn-on resistance is set large. Since the PMOS transistor P8 operates in a source follower configuration as the level of the bit line precharge voltage VBLP changes, it operates faster.

仮に、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが高まると、PMOSトランジスタP8のゲート電圧PGATEとソースリンビットラインプリチャージ電圧VBLPとの値が大きくなる。従って、PMOSトランジスタP8に流れる電流が速く流れるようになって、プルダウン駆動信号NDRVの電圧レベルが高くなる。従って、NMOSトランジスタN9がターンオンされて、ビットラインプリチャージ電圧VBLPのレベルを低減させる。   If the bit line precharge voltage VBLP increases, the values of the gate voltage PGATE of the PMOS transistor P8 and the source phosphorus bit line precharge voltage VBLP increase. Therefore, the current flowing through the PMOS transistor P8 flows quickly, and the voltage level of the pull-down drive signal NDRV increases. Accordingly, the NMOS transistor N9 is turned on to reduce the level of the bit line precharge voltage VBLP.

しかしながら、このような従来の電圧発生装置は、内部電源電位が低い場合、駆動能力が低減することを防止するためのものとして、最終端の駆動能力を高めるため、電圧駆動手段20にスリムロー(Slim Low)しきい電圧を有するPMOSトランジスタP9とNMOSトランジスタN9とを備える。しかし、このような場合、アクティブ、読み取り/書き込み時の動作特性が、向上する反面、プリチャージ状態では、オフ漏れ電流が多く流れるという問題がある。   However, such a conventional voltage generator is designed to prevent the driving capability from being reduced when the internal power supply potential is low. Low) includes a PMOS transistor P9 having a threshold voltage and an NMOS transistor N9. However, in such a case, the operating characteristics during active and reading / writing are improved, but there is a problem that a large amount of off-leakage current flows in the precharged state.

即ち、PMOSトランジスタP9のしきい電圧が目標値から少しでも低くなると、多くのオフ漏れ電流によってプリチャージ、即ち、待機電流が発生する。従って、スペックに合わない結果を引き起こすことになり、特に、待機電流が重要な要となっている低電力製品又はモバイル製品において、致命的なエラーを引き起こす可能性がある。   That is, when the threshold voltage of the PMOS transistor P9 becomes slightly lower than the target value, a precharge, that is, a standby current is generated due to a large amount of off-leakage current. Therefore, it can cause results that do not meet specifications, and can cause fatal errors, especially in low power or mobile products where standby current is an important requirement.

従って、最終ドライバー端の動作領域を確保するため、PMOSトランジスタP9とNMOSトランジスタN9のしきい電圧を下げる場合、駆動能力特性を向上させることはできるが、待機電流の面では、大きな損失を引き起こすという問題がある。   Accordingly, when the threshold voltage of the PMOS transistor P9 and the NMOS transistor N9 is lowered in order to secure the operation region of the final driver end, the driving capability characteristic can be improved, but a large loss is caused in terms of standby current. There's a problem.

また、待機モードの際に、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが安定してなかったり、オペレーションするようになる場合、PMOSトランジスタP8がソースフォロア形態で動作するため、電圧駆動手段20がターンオンされる時点が早くなり、待機電流を低減するため、最小限の電流だけを供給して電圧駆動手段20がターンオフされる時点が遅くなる。   In the standby mode, if the bit line precharge voltage VBLP is not stable or starts to operate, the PMOS transistor P8 operates in a source follower form. In order to reduce the standby current, the time point when the voltage driving means 20 is turned off by supplying only a minimum current is delayed.

従って、最終ドライバー端をターンオン/ターンオフさせる時間がミスマッチし、PMOSトランジスタP8とNMOSトランジスタN9とが同時にターンオンされる場合が存在し、ダイレクト電流が発生し得るという問題がある。   Therefore, there is a case in which the time for turning on / off the final driver end is mismatched, and the PMOS transistor P8 and the NMOS transistor N9 are turned on at the same time, so that a direct current can be generated.

このような場合、待機電流ばかりでなく、オペレーション動作の際、図2でのようにダイレクト電流経路が形成され、待機モード及び動作モードの際に信号(Ringing)電流が発生するため、チップ駆動能力に悪影響を与えるという問題がある。   In such a case, not only the standby current but also a direct current path is formed as shown in FIG. 2 in the operation operation, and a signal (ringing) current is generated in the standby mode and the operation mode. There is a problem of adversely affecting.

特開2002−056688JP 2002-056688

本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであって、その目的は、ドライバー端にしきい電圧の低いPMOSトランジスタとNMOSトランジスタとを用いて、最終端の電圧駆動手段のターンオン/ターンオフ動作時間が同じになるように制御し、低電源電圧状態で、ビットラインプリチャージ電圧又はセルプレート電圧を安定的に駆動し、且つ、待機電流IDD2P及び動作電流を最小化することができるようにすることにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and its object is to use a PMOS transistor and an NMOS transistor having a low threshold voltage at the driver end to turn on the voltage driving means at the final end. / The turn-off operation time is controlled to be the same, the bit line precharge voltage or the cell plate voltage is stably driven in the low power supply voltage state, and the standby current IDD2P and the operation current can be minimized. There is in doing so.

上記した目的を達成するため本発明は、電源電圧のハーフレベルを有する基準電圧を利用し、互いに異なるレベルを有する第1バイアス信号、第2バイアス信号、第3バイアス信号、第4バイアス信号を生成するバイアス信号生成手段(前記第1バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分高く、前記第2バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分低いレベルである)と、前記第1バイアス及び第3バイアス信号が印加されて出力端−ハーフ電圧端−の電圧レベルに応答して前記プルアップ駆動信号を生成し、前記第6バイアス及び第4バイアス信号が印加されて前記出力端の電圧レベルに応答して前記プルダウン駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記プルアップ駆動信号及び前記プルダウン駆動信号に応答して前記出力端をプルアップ/プルダウン駆動する電圧駆動手段と、前記第1バイアス及び第2バイアス信号と前記出力端の電圧レベルとに応答し、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より高い区間において前記プルアップ駆動信号を非アクティブにし、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より低い区間において前記プルダウン駆動信号を非アクティブにさせる補助駆動制御手段とを備えたことを特徴とする。   To achieve the above object, the present invention generates a first bias signal, a second bias signal, a third bias signal, and a fourth bias signal having different levels by using a reference voltage having a half level of the power supply voltage. Bias signal generating means (the first bias signal is higher by a predetermined level than the reference voltage, and the second bias signal is lower by a predetermined level than the reference voltage), and the first A bias and a third bias signal are applied to generate the pull-up driving signal in response to a voltage level of the output terminal-half voltage terminal-, and the sixth bias signal and the fourth bias signal are applied to the output terminal. Drive signal generating means for generating the pull-down drive signal in response to a voltage level, and responding to the pull-up drive signal and the pull-down drive signal In response to the voltage driving means for pulling up / down driving the output terminal, the first bias signal and the second bias signal, and the voltage level of the output terminal, the voltage level of the output terminal is higher than the reference voltage And an auxiliary drive control means for deactivating the pull-up drive signal and deactivating the pull-down drive signal in a section where the voltage level of the output terminal is lower than the reference voltage.

また、他の本発明は、 電源電圧のハーフレベルを有する基準電圧を利用して互いに異なるレベルを有する第1バイアス〜第4バイアス信号を生成するバイアス信号生成手段(前記第1バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分高く、前記第2バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分低いレベルである)と、前記第1バイアス及び第3バイアス信号が印加されて出力端(ハーフ電圧端)の電圧レベルに応答し、前記プルアップ駆動信号を生成し、前記第6バイアス及び第4バイアス信号が印加されて前記出力端の電圧レベルに応答して前記プルダウン駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、
前記プルアップ駆動信号及び前記プルダウン駆動信号に応答して前記出力端をプルアップ/プルダウン駆動する電圧駆動手段と、前記第1バイアス及び第2バイアス信号と、前記出力端の電圧レベルに応答して、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より低い区間において前記出力端を補助的にプルアップ駆動し、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より高い区間において前記出力端を補助的にプルダウン駆動する補助駆動手段とを備えたことを特徴とする。
According to another aspect of the present invention, there is provided bias signal generating means for generating first to fourth bias signals having different levels using a reference voltage having a half level of a power supply voltage (the first bias signal is The second bias signal is higher than the reference voltage by a predetermined level, and the second bias signal is lower by the predetermined level than the reference voltage. The first and third bias signals are applied to the output terminal (half The pull-up driving signal is generated in response to the voltage level at the voltage terminal, and the pull-down driving signal is generated in response to the voltage level at the output terminal by applying the sixth bias and the fourth bias signal. Signal generating means;
In response to the pull-up driving signal and the pull-down driving signal, voltage driving means for pull-up / pull-down driving the output terminal, in response to the first bias and second bias signals, and the voltage level of the output terminal. The output terminal is supplementally pulled up in a section where the voltage level of the output terminal is lower than the reference voltage, and the output terminal is supplementally pulled down in a section where the voltage level of the output terminal is higher than the reference voltage. And auxiliary drive means.

さらに他の本発明は、 電源電圧のハーフレベルを有する基準電圧を利用して互いに異なるレベルを有する第1バイアス〜第4バイアス信号を生成するバイアス信号生成手段(前記第1バイアス信号は、前記基準電圧より予定されたレベルの分高く、前記第2バイアス信号は、前記基準電圧より予定されたレベルの分低いレベルである)と、前記第1バイアス及び第3バイアス信号が印加されて出力端(ハーフ電圧端)の電圧レベルに応答して前記プルアップ駆動信号を生成し、前記第6バイアス及び第4バイアス信号が印加されて前記出力端の電圧レベルに応答して前記プルダウン駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記プルアップ駆動信号に応答して前記出力端をプルアップ駆動するプルアップPMOSトランジスタと、前記プルダウン駆動信号に応答して前記出力端をプルダウン駆動するプルダウンNMOSトランジスタと、アクティブ信号に応答して前記プルアップPMOSトランジスタの基板バイアス電圧として前記電源電圧又は前記電源電圧より高い電圧を選択的に印加する第1多重化手段と、前記アクティブ信号に応答して前記プルダウンNMOSトランジスタの基板バイアス電圧として接地電圧又は前記接地電圧より低い電圧を選択的に印加する第2多重化手段とを備えたことを特徴とする。   Still another aspect of the present invention provides bias signal generating means for generating first to fourth bias signals having different levels using a reference voltage having a half level of a power supply voltage (the first bias signal is the reference voltage). The second bias signal is higher by a predetermined level than the voltage, and the second bias signal is lower than the predetermined level by the reference voltage), and the first and third bias signals are applied to the output terminal ( The pull-up drive signal is generated in response to the voltage level of the half voltage terminal, and the pull-down drive signal is generated in response to the voltage level of the output terminal by applying the sixth bias and the fourth bias signal. Drive signal generating means; a pull-up PMOS transistor for pull-up driving the output terminal in response to the pull-up drive signal; A pull-down NMOS transistor that pulls down the output terminal in response to a drive signal, and a substrate bias voltage of the pull-up PMOS transistor in response to an active signal is selectively applied as the power supply voltage or a voltage higher than the power supply voltage. And a second multiplexing means for selectively applying a ground voltage or a voltage lower than the ground voltage as a substrate bias voltage of the pull-down NMOS transistor in response to the active signal. Features.

すなわち、第一の発明としては、電源電圧のハーフレベルを有する基準電圧を利用し、互いに異なるレベルを有する第1バイアス信号、第2バイアス信号、第3バイアス信号、第4バイアス信号を生成するバイアス信号生成手段(前記第1バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分高く、前記第2バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分低いレベルである)と、前記第1バイアス及び第3バイアス信号が印加されて出力端(ハーフ電圧端)の電圧レベルに応答してプルアップ駆動信号を生成し、前記第6バイアス及び第4バイアス信号が印加されて前記出力端の電圧レベルに応答してプルダウン駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記プルアップ駆動信号及び前記プルダウン駆動信号に応答して前記出力端をプルアップ/プルダウン駆動する電圧駆動手段と、前記第1バイアス及び第2バイアス信号と前記出力端の電圧レベルとに応答し、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より高い区間において前記プルアップ駆動信号を非アクティブにし、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より低い区間において前記プルダウン駆動信号を非アクティブにさせる補助駆動制御手段とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   That is, the first invention uses a reference voltage having a half level of the power supply voltage and generates a first bias signal, a second bias signal, a third bias signal, and a fourth bias signal having different levels. A signal generating means (the first bias signal is higher than the reference voltage by a predetermined level, and the second bias signal is lower than the predetermined level by the reference voltage), the first bias and A third bias signal is applied to generate a pull-up driving signal in response to a voltage level at the output terminal (half voltage terminal), and the sixth bias signal and the fourth bias signal are applied to the voltage level at the output terminal. Drive signal generating means for generating a pull-down drive signal in response; and the output terminal in response to the pull-up drive signal and the pull-down drive signal In response to voltage drive means for pull-up / pull-down drive, the first bias signal and the second bias signal, and the voltage level of the output terminal, the pull-up drive is performed in a section where the voltage level of the output terminal is higher than the reference voltage. A voltage generator for a semiconductor memory device, comprising: auxiliary drive control means for deactivating a signal and deactivating the pull-down drive signal in a section where the voltage level of the output terminal is lower than the reference voltage. provide.

第二の発明としては、第一の発明にかかり、前記電圧駆動手段が、電源電圧端にソースが接続され、前記出力端にドレインが接続され、前記プルアップ駆動信号をゲート入力とするプルアップPMOSトランジスタと、接地電圧端にソースが接続され、前記出力端にドレインが接続され、前記プルダウン駆動信号をゲート入力とするプルダウンNMOSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As a second invention, according to the first invention, the voltage driving means has a source connected to a power supply voltage terminal, a drain connected to the output terminal, and a pull-up using the pull-up driving signal as a gate input. A voltage generator for a semiconductor memory device, comprising: a PMOS transistor; and a pull-down NMOS transistor having a source connected to a ground voltage terminal, a drain connected to the output terminal, and a gate input of the pull-down drive signal. I will provide a.

第三の発明としては、第二の発明にかかり、前記駆動信号生成手段が、前記電源電圧端とプルアップ駆動信号端との間に接続され、前記第3バイアス信号(前記電源電圧よりPMOSしきい電圧の分が低いレベルである)をゲート入力とする第1PMOSトランジスタと、前記プルアップ駆動信号端と前記出力端との間に接続され、前記第1バイアス信号をゲート入力とする第1NMOSトランジスタと、前記接地電圧端とプルダウン駆動信号端との間に接続され、前記第4バイアス信号−前記接地電圧よりNMOSしきい電圧の分が高いレベルである−をゲート入力とする第2NMOSトランジスタと、前記プルダウン駆動信号端と前記出力端との間に接続され、前記第2バイアス信号をゲート入力とする第2PMOSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As a third invention, according to the second invention, the drive signal generating means is connected between the power supply voltage terminal and the pull-up drive signal terminal, and the third bias signal (PMOS is applied from the power supply voltage). A first PMOS transistor having a gate voltage as a gate input, and a first NMOS transistor connected between the pull-up drive signal terminal and the output terminal and having the first bias signal as a gate input And a second NMOS transistor connected between the ground voltage terminal and the pull-down drive signal terminal, and having the gate input of the fourth bias signal-the level of which the NMOS threshold voltage is higher than the ground voltage- A second PMOS transistor connected between the pull-down drive signal terminal and the output terminal and having the second bias signal as a gate input; To provide a voltage generator of a semiconductor memory device, characterized in that the.

第四の発明としては、第三の発明にかかり、前記補助駆動制御手段が、前記出力端にソースが接続され、前記第1バイアス信号をゲート入力とする第3NMOSトランジスタと、前記電源電圧端にソースが接続され、前記第3NMOSトランジスタのドレインにゲートとドレインとが共通接続された第3PMOSトランジスタと、前記電源電圧端にソースが接続され、前記プルアップ駆動信号端にドレインが接続され、第3PMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第4PMOSトランジスタと、前記出力端にソースが接続され、前記第2バイアス信号をゲート入力とする第5PMOSトランジスタと、前記接地電圧端にソースが接続され、前記第5PMOSトランジスタのドレインにゲートとドレインとが共通接続された第4NMOSトランジスタと、前記接地電圧端にソースが接続され、前記プルダウン駆動信号端にドレインが接続され、第4NMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第5NMOSトランジスタと、を備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As a fourth invention, according to the third invention, the auxiliary drive control means includes a third NMOS transistor having a source connected to the output terminal and the gate input of the first bias signal, and a power supply voltage terminal. A third PMOS transistor having a source connected, a gate and a drain commonly connected to a drain of the third NMOS transistor, a source connected to the power supply voltage end, a drain connected to the pull-up drive signal end, and a third PMOS A fourth PMOS transistor having a gate connected to the drain of the transistor; a fifth PMOS transistor having a source connected to the output terminal; the second bias signal as a gate input; and a source connected to the ground voltage terminal; A fourth transistor in which the gate and drain are commonly connected to the drain of the 5 PMOS transistor A semiconductor comprising: a MOS transistor; and a fifth NMOS transistor having a source connected to the ground voltage terminal, a drain connected to the pull-down drive signal terminal, and a gate connected to the drain of the fourth NMOS transistor. A voltage generator for a memory device is provided.

第五の発明としては、第三の発明にかかり、前記補助駆動制御手段が、前記出力端にソースが接続され、前記第1バイアス信号をゲート入力とする第3NMOSトランジスタと、前記電源電圧端にソースが接続され、前記第3NMOSトランジスタのドレインにゲートとドレインとが共通接続された第3PMOSトランジスタと、前記電源電圧端にソースが接続され、第3PMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第4PMOSトランジスタと、前記第4PMOSトランジスタのドレインと前記接地電圧端との間に接続された第1抵抗と、前記接地電圧端にソースが接続され、前記プルダウン駆動信号端にドレインが接続され、前記第4PMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第4NMOSトランジスタと、前記出力端にソースが接続され、前記第2バイアス信号をゲート入力とする第5PMOSトランジスタと、前記接地電圧端にソースが接続され、前記第5PMOSトランジスタのドレインにゲートとドレインとが共通接続された第5NMOSトランジスタと、前記接地電圧端にソースが接続され、第5NMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第6NMOSトランジスタと、前記電源電圧端と前記第6NMOSトランジスタのドレインとの間に接続された第2抵抗と、前記電源電圧端にソースが接続され、前記プルアップ駆動信号端にドレインが接続され、前記第6NMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第6PMOSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As a fifth invention, according to the third invention, the auxiliary drive control means includes a third NMOS transistor having a source connected to the output terminal and the gate input of the first bias signal, and a power supply voltage terminal. A third PMOS transistor having a source connected, a gate and a drain commonly connected to the drain of the third NMOS transistor, and a fourth PMOS transistor having a source connected to the power supply voltage terminal and a gate connected to the drain of the third PMOS transistor; A first resistor connected between the drain of the fourth PMOS transistor and the ground voltage terminal; a source connected to the ground voltage terminal; a drain connected to the pull-down drive signal terminal; and the fourth PMOS transistor. A fourth NMOS transistor having a gate connected to the drain of the first NMOS transistor; A source connected to the power terminal, a fifth PMOS transistor having the second bias signal as a gate input, a source connected to the ground voltage terminal, and a gate and a drain connected in common to the drain of the fifth PMOS transistor; A fifth NMOS transistor, a sixth NMOS transistor having a source connected to the ground voltage terminal and a gate connected to a drain of the fifth NMOS transistor; a second NMOS transistor connected between the power supply voltage terminal and the drain of the sixth NMOS transistor; A semiconductor comprising: a resistor; and a sixth PMOS transistor having a source connected to the power supply voltage terminal, a drain connected to the pull-up drive signal terminal, and a gate connected to the drain of the sixth NMOS transistor. A voltage generator for a memory device is provided.

第五の発明としては、第三の発明にかかり、前記補助駆動制御手段が、前記出力端にソースが接続され、前記第1バイアス信号をゲート入力とする第3NMOSトランジスタと、前記電源電圧端にソースが接続され、前記第3NMOSトランジスタのドレインにゲートとドレインとが共通接続された第3PMOSトランジスタと、前記電源電圧端にソースが接続され、第3PMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第4PMOSトランジスタと、前記第4PMOSトランジスタのドレインと前記接地電圧端との間に接続された第1抵抗と、前記接地電圧端にソースが接続され、前記プルダウン駆動信号端にドレインが接続され、前記第4PMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第4NMOSトランジスタと、前記出力端にソースが接続され、前記第2バイアス信号をゲート入力とする第5PMOSトランジスタと、前記接地電圧端にソースが接続され、前記第5PMOSトランジスタのドレインにゲートとドレインとが共通接続された第5NMOSトランジスタと、前記接地電圧端にソースが接続され、第5NMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第6NMOSトランジスタと、前記電源電圧端と前記第6NMOSトランジスタのドレインとの間に接続された第2抵抗と、前記電源電圧端にソースが接続され、前記プルアップ駆動信号端にドレインが接続され、前記第6NMOSトランジスタのドレインにゲートが接続された第6PMOSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As a fifth invention, according to the third invention, the auxiliary drive control means includes a third NMOS transistor having a source connected to the output terminal and the gate input of the first bias signal, and a power supply voltage terminal. A third PMOS transistor having a source connected, a gate and a drain commonly connected to the drain of the third NMOS transistor, and a fourth PMOS transistor having a source connected to the power supply voltage terminal and a gate connected to the drain of the third PMOS transistor; A first resistor connected between the drain of the fourth PMOS transistor and the ground voltage terminal; a source connected to the ground voltage terminal; a drain connected to the pull-down drive signal terminal; and the fourth PMOS transistor. A fourth NMOS transistor having a gate connected to the drain of the first NMOS transistor; A source connected to the power terminal, a fifth PMOS transistor having the second bias signal as a gate input, a source connected to the ground voltage terminal, and a gate and a drain connected in common to the drain of the fifth PMOS transistor; A fifth NMOS transistor, a sixth NMOS transistor having a source connected to the ground voltage terminal and a gate connected to a drain of the fifth NMOS transistor; a second NMOS transistor connected between the power supply voltage terminal and the drain of the sixth NMOS transistor; A semiconductor comprising: a resistor; and a sixth PMOS transistor having a source connected to the power supply voltage terminal, a drain connected to the pull-up drive signal terminal, and a gate connected to the drain of the sixth NMOS transistor. A voltage generator for a memory device is provided.

第六の発明としては、第四の発明または第五の発明にかかり、前記第1バイアス信号が、前記基準電圧よりNMOSしきい電圧の分高く、前記第2バイアス信号が、前記基準電圧よりPMOSしきい電圧の分が低いレベルであることを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As a sixth invention, according to the fourth invention or the fifth invention, the first bias signal is higher than the reference voltage by an NMOS threshold voltage, and the second bias signal is PMOS than the reference voltage. A voltage generator for a semiconductor memory device, characterized in that a threshold voltage is at a low level.

第七の発明としては、第四の発明または第六の発明にかかり、前記電源電圧が、コア電圧であることを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   According to a seventh invention, there is provided a voltage generator for a semiconductor memory element according to the fourth invention or the sixth invention, wherein the power supply voltage is a core voltage.

第八の発明としては、電源電圧のハーフレベルを有する基準電圧を利用して互いに異なるレベルを有する第5バイアス信号、第6バイアス信号、第7バイアス信号、第8バイアス信号を生成するバイアス信号生成手段(前記第5バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分高く、前記第6バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分低いレベルである)と、前記第5バイアス及び第7バイアス信号が印加されて出力端(ハーフ電圧端)の電圧レベルに応答し、プルアップ駆動信号を生成し、前記第6バイアス及び第8バイアス信号が印加されて前記出力端の電圧レベルに応答してプルダウン駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記プルアップ駆動信号及び前記プルダウン駆動信号に応答して前記出力端をプルアップ/プルダウン駆動する電圧駆動手段と、前記第5バイアス及び第6バイアス信号と、前記出力端の電圧レベルに応答して、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より低い区間において前記出力端を補助的にプルアップ駆動し、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より高い区間において前記出力端を補助的にプルダウン駆動する補助駆動手段とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As an eighth aspect of the invention, bias signal generation for generating a fifth bias signal, a sixth bias signal, a seventh bias signal, and an eighth bias signal having different levels using a reference voltage having a half level of the power supply voltage Means (the fifth bias signal is higher by a predetermined level than the reference voltage, and the sixth bias signal is lower by a predetermined level than the reference voltage), the fifth bias and the seventh A bias signal is applied to respond to the voltage level of the output terminal (half voltage terminal) to generate a pull-up drive signal, and the sixth and eighth bias signals are applied to respond to the voltage level of the output terminal. Drive signal generating means for generating a pull-down drive signal, and pulling up the output terminal in response to the pull-up drive signal and the pull-down drive signal. In response to the voltage driving means for pull-down driving, the fifth bias signal and the sixth bias signal, and the voltage level of the output terminal, the output terminal is assisted in a section where the voltage level of the output terminal is lower than the reference voltage. A voltage generating device for a semiconductor memory device, comprising: an auxiliary driving means that pulls up the output terminal and auxiliary pulls down the output terminal in a section where the voltage level of the output terminal is higher than the reference voltage I will provide a.

第九の発明としては、第八の発明にかかり、前記電圧駆動手段が、電源電圧端にソースが接続され、前記出力端にドレインが接続され、前記プルアップ駆動信号をゲート入力とするプルアップPMOSトランジスタと、接地電圧端にソースが接続され、前記出力端にドレインが接続され、前記プルダウン駆動信号をゲート入力とするプルダウンNMOSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   A ninth invention relates to the eighth invention, wherein the voltage driving means has a source connected to a power supply voltage terminal, a drain connected to the output terminal, and a pull-up using the pull-up driving signal as a gate input. A voltage generator for a semiconductor memory device, comprising: a PMOS transistor; and a pull-down NMOS transistor having a source connected to a ground voltage terminal, a drain connected to the output terminal, and a gate input of the pull-down drive signal. I will provide a.

第十の発明としては、第九の発明にかかり、前記駆動信号生成手段が、前記電源電圧端とプルアップ駆動信号端との間に接続され、前記第7バイアス信号(前記電源電圧よりPMOSしきい電圧の分が低いレベルである)をゲート入力とする第6PMPSトランジスタと、前記プルアップ駆動信号端と前記出力端との間に接続され、前記第5バイアス信号をゲート入力とする第6NMPSトランジスタと、前記接地電圧端とプルダウン駆動信号端との間に接続され、前記第8バイアス信号(前記接地電圧よりNMOSしきい電圧の分が高いレベルである)をゲート入力とする第7NMPSトランジスタと、前記プルダウン駆動信号端と前記出力端との間に接続され、前記第6バイアス信号をゲート入力とする第7PMPSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As a tenth invention, according to the ninth invention, the drive signal generating means is connected between the power supply voltage terminal and the pull-up drive signal terminal, and the seventh bias signal (PMOS is applied from the power supply voltage). A sixth PMPS transistor having a gate input as a gate input and a sixth NMPS transistor connected between the pull-up drive signal end and the output end and having the fifth bias signal as a gate input And a seventh NMPS transistor connected between the ground voltage terminal and the pull-down drive signal terminal, and having the eighth bias signal (a level of the NMOS threshold voltage is higher than the ground voltage) as a gate input; A seventh PMPS transistor connected between the pull-down drive signal terminal and the output terminal and having the sixth bias signal as a gate input; To provide a voltage generator of a semiconductor memory device, characterized in that the.

第十一の発明としては、第十の発明にかかり、前記補助駆動手段が、前記出力端にソースが接続され、前記電源電圧端にドレインが接続され、前記第5バイアス信号をゲート入力とする第8NMPSトランジスタと、前記出力端にソースが接続され、前記接地電圧端にドレインが接続され、前記第6バイアス信号をゲート入力とする第8PMPSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   An eleventh invention is according to the tenth invention, wherein the auxiliary drive means has a source connected to the output terminal, a drain connected to the power supply voltage terminal, and the fifth bias signal as a gate input. A semiconductor memory device comprising: an eighth NMPS transistor; and an eighth PMPS transistor having a source connected to the output terminal, a drain connected to the ground voltage terminal, and the gate input of the sixth bias signal. A voltage generator is provided.

第十二の発明としては、第十一の発明にかかり、前記第5バイアス信号が、前記基準電圧よりNMOSしきい電圧の分高く、前記第6バイアス信号が、前記基準電圧よりPMOSしきい電圧の分が低いレベルであることを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   The twelfth invention is according to the eleventh invention, wherein the fifth bias signal is higher than the reference voltage by an NMOS threshold voltage, and the sixth bias signal is a PMOS threshold voltage higher than the reference voltage. A voltage generating device for a semiconductor memory device is provided, wherein the voltage level is low.

第十三の発明としては、第十二の発明にかかり、前記電源電圧が、コア電圧であることを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   According to a thirteenth invention, there is provided a voltage generator for a semiconductor memory element according to the twelfth invention, wherein the power supply voltage is a core voltage.

第十四の発明としては、電源電圧のハーフレベルを有する基準電圧を利用して互いに異なるレベルを有する第9バイアス信号、第10バイアス信号、第11バイアス信号、第12バイアス信号を生成するバイアス信号生成手段(前記第9バイアス信号は、前記基準電圧より予定されたレベルの分高く、前記第10バイアス信号は、前記基準電圧より予定されたレベルの分低いレベルである)と、前記第9バイアス及び第11バイアス信号が印加されて出力端(ハーフ電圧端)の電圧レベルに応答して前記プルアップ駆動信号を生成し、前記第10バイアス及び第12バイアス信号が印加されて前記出力端の電圧レベルに応答して前記プルダウン駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記プルアップ駆動信号に応答して前記出力端をプルアップ駆動するプルアップPMOSトランジスタと、前記プルダウン駆動信号に応答して前記出力端をプルダウン駆動するプルダウンNMOSトランジスタと、アクティブ信号に応答して前記プルアップPMOSトランジスタの基板バイアス電圧として前記電源電圧又は前記電源電圧より高い電圧を選択的に印加する第1多重化手段と、前記アクティブ信号に応答して前記プルダウンNMOSトランジスタの基板バイアス電圧として接地電圧又は前記接地電圧より低い電圧を選択的に印加する第2多重化手段とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   According to a fourteenth aspect of the invention, a bias signal for generating a ninth bias signal, a tenth bias signal, an eleventh bias signal, and a twelfth bias signal having different levels from each other using a reference voltage having a half level of the power supply voltage. Generating means (the ninth bias signal is higher by a predetermined level than the reference voltage, and the tenth bias signal is lower by a predetermined level than the reference voltage), and the ninth bias And the eleventh bias signal is applied to generate the pull-up driving signal in response to the voltage level of the output terminal (half voltage terminal), and the tenth and twelfth bias signals are applied to the voltage of the output terminal. Drive signal generating means for generating the pull-down drive signal in response to a level; and pulling up the output terminal in response to the pull-up drive signal. A pull-up PMOS transistor for pull-up driving, a pull-down NMOS transistor for pull-down driving the output terminal in response to the pull-down driving signal, and a power source voltage or the substrate bias voltage of the pull-up PMOS transistor in response to an active signal. First multiplexing means for selectively applying a voltage higher than a power supply voltage; and a first multiplexing means for selectively applying a ground voltage or a voltage lower than the ground voltage as a substrate bias voltage of the pull-down NMOS transistor in response to the active signal. A voltage generator for a semiconductor memory device, comprising: 2 multiplexing means.

第十五の発明としては、第十四の発明にかかり、前記電源電圧が、コア電圧であり、前記出力端が、ビットラインプリチャージ電圧端であることを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   According to a fifteenth aspect, in accordance with the fourteenth aspect, the power supply voltage is a core voltage, and the output terminal is a bit line precharge voltage terminal. Providing equipment.

第十六の発明としては、第十五の発明にかかり、前記第1多重化手段が、前記アクティブ信号及びその反転信号に制御され、アクティブ区間において前記コア電圧を出力する第1伝送ゲートと、前記アクティブ信号及びその反転信号に制御されて、待機区間において外部電源電圧を出力する第2伝送ゲートとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As a sixteenth invention, according to the fifteenth invention, the first multiplexing means is controlled by the active signal and its inverted signal, and outputs the core voltage in the active period, A voltage generator for a semiconductor memory device, comprising: a second transmission gate that outputs an external power supply voltage in a standby period under the control of the active signal and its inverted signal.

第十七の発明としては、第十六の発明にかかり、前記第2多重化手段が、前記アクティブ信号及びその反転信号に制御されて、アクティブ区間において前記接地電圧を出力する第3伝送ゲートと、前記アクティブ信号及びその反転信号に制御されて、待機区間においてバックバイアス電圧を出力する第4伝送ゲートとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   As a seventeenth invention, according to the sixteenth invention, the second multiplexing means is controlled by the active signal and its inverted signal, and outputs a ground voltage in the active period; And a fourth transmission gate for outputting a back bias voltage in a standby period, controlled by the active signal and its inverted signal, and a semiconductor memory device voltage generator.

第十八の発明としては、電源電圧のハーフレベルを有する基準電圧を利用して互いに異なるレベルを有する第1バイアス信号、第2バイアス信号、第3バイアス信号、第4バイアス信号を生成するバイアス信号生成手段(前記第1バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分高く、前記第2バイアス信号は、前記基準電圧より予定したレベルの分低いレベルである)と、前記第1バイアス及び第3バイアス信号が印加されて出力端(ハーフ電圧端)の電圧レベルに応答し、プルアップ駆動信号を生成し、前記第6バイアス及び第4バイアス信号が印加されて前記出力端の電圧レベルに応答してプルダウン駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記プルアップ駆動信号及び前記プルダウン駆動信号に応答して前記出力端をプルアップ/プルダウン駆動する電圧駆動手段と、前記第1バイアス及び第2バイアス信号と、前記出力端の電圧レベルに応答して、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より低い区間において前記出力端を補助的にプルアップ駆動し、前記出力端の電圧レベルが前記基準電圧より高い区間において前記出力端を補助的にプルダウン駆動する補助駆動手段とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   According to an eighteenth aspect of the invention, a bias signal for generating a first bias signal, a second bias signal, a third bias signal, and a fourth bias signal having different levels by using a reference voltage having a half level of the power supply voltage. Generating means (the first bias signal is higher by a predetermined level than the reference voltage, and the second bias signal is lower by a predetermined level than the reference voltage), the first bias and the first bias A 3 bias signal is applied to respond to the voltage level of the output terminal (half voltage terminal) to generate a pull-up drive signal, and the sixth and fourth bias signals are applied to respond to the voltage level of the output terminal. Driving signal generating means for generating a pull-down driving signal, and pulling up the output terminal in response to the pull-up driving signal and the pull-down driving signal. In response to the voltage driving means for driving up / down, the first bias signal and the second bias signal, and the voltage level of the output terminal, the output terminal is controlled in a section where the voltage level of the output terminal is lower than the reference voltage. A voltage generation of a semiconductor memory device, comprising: auxiliary driving means for auxiliary pull-up driving and auxiliary pull-down driving of the output terminal in a section where the voltage level of the output terminal is higher than the reference voltage Providing equipment.

第十九の発明としては、第八の発明にかかり、前記電圧駆動手段が、電源電圧端にソースが接続され、前記出力端にドレインが接続され、前記プルアップ駆動信号をゲート入力とするプルアップPMOSトランジスタと、接地電圧端にソースが接続され、前記出力端にドレインが接続され、前記プルダウン駆動信号をゲート入力とするプルダウンNMOSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   The nineteenth invention relates to the eighth invention, wherein the voltage driving means has a source connected to a power supply voltage terminal, a drain connected to the output terminal, and a pull-up driving signal as a gate input. A voltage generation of a semiconductor memory device, comprising: an up PMOS transistor; and a pull-down NMOS transistor having a source connected to a ground voltage terminal, a drain connected to the output terminal, and a gate input of the pull-down driving signal. Providing equipment.

第二十の発明としては、第九の発明にかかり、前記駆動信号生成手段が、前記電源電圧端とプルアップ駆動信号端との間に接続され、前記第3バイアス信号(前記電源電圧よりPMOSしきい電圧の分が低いレベルである)をゲート入力とする第1PMOSトランジスタと、前記プルアップ駆動信号端と前記出力端との間に接続され、前記第1バイアス信号をゲート入力とする第1NMOSトランジスタと、前記接地電圧端とプルダウン駆動信号端との間に接続され、前記第4バイアス信号(前記接地電圧よりNMOSしきい電圧の分が高いレベルである)をゲート入力とする第2NMOSトランジスタと、前記プルダウン駆動信号端と前記出力端との間に接続され、前記第2バイアス信号をゲート入力とする第2PMOSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   According to a twentieth aspect of the present invention, in accordance with the ninth aspect of the invention, the drive signal generating means is connected between the power supply voltage terminal and the pull-up drive signal terminal, and the third bias signal (PMOS from the power supply voltage) is connected. A first PMOS transistor whose gate input is a threshold voltage) and a first NMOS which is connected between the pull-up drive signal terminal and the output terminal and uses the first bias signal as a gate input A second NMOS transistor connected between the ground voltage terminal and the pull-down drive signal terminal and having the fourth bias signal (a level of the NMOS threshold voltage higher than the ground voltage) as a gate input; A second PMOS transistor connected between the pull-down drive signal terminal and the output terminal and having the second bias signal as a gate input; To provide a voltage generator of a semiconductor memory device characterized by was e.

第二十一の発明としては、第十の発明にかかり、前記補助駆動手段が、前記出力端にソースが接続され、前記電源電圧端にドレインが接続され、前記第1バイアス信号をゲート入力とする第3NMOSトランジスタと、前記出力端にソースが接続され、前記接地電圧端にドレインが接続され、前記第2バイアス信号をゲート入力とする第3PMOSトランジスタとを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   A twenty-first invention relates to the tenth invention, wherein the auxiliary driving means has a source connected to the output terminal, a drain connected to the power supply voltage terminal, and the first bias signal as a gate input. And a third PMOS transistor having a source connected to the output terminal, a drain connected to the ground voltage terminal, and a gate input of the second bias signal. A voltage generator is provided.

第二十二の発明としては、第十一の発明にかかり、前記第1バイアス信号が、前記基準電圧よりNMOSしきい電圧の分高く、前記第2バイアス信号が、前記基準電圧よりPMOSしきい電圧の分が低いレベルであることを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   According to a twenty-second invention, according to the eleventh invention, the first bias signal is higher than the reference voltage by an NMOS threshold voltage, and the second bias signal is a PMOS threshold higher than the reference voltage. A voltage generator for a semiconductor memory device, characterized in that the voltage is at a low level.

第二十三の発明としては、第十二の発明にかかり、前記電源電圧が、コア電圧であることを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   According to a twenty-third aspect of the present invention, there is provided a voltage generator for a semiconductor memory element according to the twelfth aspect of the present invention, wherein the power supply voltage is a core voltage.

第二十四の発明としては、電源電圧のハーフレベルを有する基準電圧を利用して互いに異なるレベルを有する第1バイアス信号、第2バイアス信号、第3バイアス信号、第4バイアス信号を生成するバイアス信号生成手段(前記第1バイアス信号は、前記基準電圧より予定されたレベルの分高く、前記第2バイアス信号は、前記基準電圧より予定されたレベルの分低いレベルである)と、前記第1バイアス及び第3バイアス信号が印加されて出力端(ハーフ電圧端)の電圧レベルに応答して前記プルアップ駆動信号を生成し、前記第6バイアス及び第4バイアス信号が印加されて前記出力端の電圧レベルに応答して前記プルダウン駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記プルアップ駆動信号に応答して前記出力端をプルアップ駆動するプルアップPMOSトランジスタと、前記プルダウン駆動信号に応答して前記出力端をプルダウン駆動するプルダウンNMOSトランジスタと、アクティブ信号に応答して前記プルアップPMOSトランジスタの基板バイアス電圧として前記電源電圧又は前記電源電圧より高い電圧を選択的に印加する第1多重化手段と、前記アクティブ信号に応答して前記プルダウンNMOSトランジスタの基板バイアス電圧として接地電圧又は前記接地電圧より低い電圧を選択的に印加する第2多重化手段とを備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置を提供する。   According to a twenty-fourth aspect of the invention, a bias for generating a first bias signal, a second bias signal, a third bias signal, and a fourth bias signal having different levels using a reference voltage having a half level of the power supply voltage is provided. Signal generating means (the first bias signal is higher by a predetermined level than the reference voltage, and the second bias signal is lower by a predetermined level than the reference voltage), the first A bias and a third bias signal are applied to generate the pull-up driving signal in response to a voltage level of an output terminal (half voltage terminal), and the sixth bias and the fourth bias signal are applied to the output terminal. Drive signal generating means for generating the pull-down drive signal in response to a voltage level, and pull-up driving the output terminal in response to the pull-up drive signal A pull-up PMOS transistor, a pull-down NMOS transistor that pulls down the output terminal in response to the pull-down drive signal, and a substrate bias voltage of the pull-up PMOS transistor that is higher in response to an active signal than the power supply voltage or the power supply voltage First multiplexing means for selectively applying a voltage, and second multiplexing means for selectively applying a ground voltage or a voltage lower than the ground voltage as a substrate bias voltage of the pull-down NMOS transistor in response to the active signal A voltage generator for a semiconductor memory element, comprising:

本発明は、コア電圧レベルの低い低電源電圧状態で、ビットラインプリチャージ電圧又はセルプレート電圧を安定的に駆動し、且つ、待機電流IDD2P及び動作電流を最小化させることができるようにするという効果がある。   According to the present invention, the bit line precharge voltage or the cell plate voltage can be stably driven in the low power supply voltage state with a low core voltage level, and the standby current IDD2P and the operating current can be minimized. effective.

また、本発明は、電圧駆動手段のしきい電圧を制御して、アクティブの際には駆動能力を高め、待機モードの際には漏れ電流の経路を遮断してチップの信頼性を向上させることができるようにするという効果がある。   In addition, the present invention controls the threshold voltage of the voltage driving means to increase the driving capability when active, and to cut off the leakage current path during standby mode to improve chip reliability. There is an effect of making it possible.

従来の電圧発生装置に関する回路図である。It is a circuit diagram regarding the conventional voltage generator. 従来の電圧発生装置に関する電圧タイミングチャートである。It is a voltage timing chart regarding the conventional voltage generator. 本発明に係る電圧発生装置に関する回路図である。It is a circuit diagram regarding the voltage generator which concerns on this invention. 本発明に係る電圧発生装置の他の実施形態である。It is other embodiment of the voltage generator which concerns on this invention. 本発明に係る電圧発生装置を示す電圧タイミングチャートである。It is a voltage timing chart which shows the voltage generator which concerns on this invention. 本発明に係る電圧発生装置のさらに他の実施形態である。It is further another embodiment of the voltage generator which concerns on this invention. 本発明に係る電圧発生装置のさらに他の実施形態である。It is further another embodiment of the voltage generator which concerns on this invention. 図7の実施形態に係る動作タイミング図である。FIG. 8 is an operation timing chart according to the embodiment of FIG. 7.

以下、本発明の最も好ましい実施形態を添付した図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, a most preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図3は、本発明に係る電圧発生装置に関する回路図である。   FIG. 3 is a circuit diagram relating to a voltage generator according to the present invention.

本発明は、コア電圧制御手段10、駆動制御手段100及び電圧駆動手段110を備えている。ここで、コア電圧制御手段10の構成は、従来のコア電圧制御手段10と同様であるため、同じ図面符号で説明し、これに対する詳しい構成及び動作の説明は省略する。しかし、本発明に対する明確な理解のため、図示されてはいないが、コア電圧制御手段10は、バイアス信号生成手段及び駆動信号生成手段に分けられる。バイアス信号生成手段は、4つのバイアス信号(PBIAS、NGATE、PGATE、NBIAS)を生成するためのものであり、駆動信号生成手段は、プルアップ駆動信号PDRV及びプルダウン駆動信号NDRVを生成するためのものである。   The present invention includes a core voltage control means 10, a drive control means 100, and a voltage drive means 110. Here, since the configuration of the core voltage control means 10 is the same as that of the conventional core voltage control means 10, it will be described with the same reference numerals and a detailed description of the configuration and operation thereof will be omitted. However, for a clear understanding of the present invention, the core voltage control means 10 is divided into a bias signal generation means and a drive signal generation means, although not shown. The bias signal generation means is for generating four bias signals (PBIAS, NGATE, PGATE, NBIAS), and the drive signal generation means is for generating a pull-up drive signal PDRV and a pull-down drive signal NDRV. It is.

その詳しい構成を説明すれば、駆動制御手段100は、PMOSトランジスタP10〜P12と、NMOSトランジスタN10〜 N12とを備える。PMOSトランジスタP10は、コア電圧VCORE印加端とNMOSトランジスタN10との間に接続され、ゲート端子がPMOSトランジスタP11と共通接続される。そして、PMOSトランジスタP11は、コア電圧VCORE印加端と出力ノードAとの間に接続され、ゲート端子をPMOSトランジスタP10と共通接続される。   Explaining its detailed configuration, the drive control means 100 includes PMOS transistors P10 to P12 and NMOS transistors N10 to N12. The PMOS transistor P10 is connected between the application terminal of the core voltage VCORE and the NMOS transistor N10, and has a gate terminal commonly connected to the PMOS transistor P11. The PMOS transistor P11 is connected between the application terminal of the core voltage VCORE and the output node A, and has a gate terminal commonly connected to the PMOS transistor P10.

そして、NMOSトランジスタN10は、PMOSトランジスタP10とビットラインプリチャージ電圧VBLPの出力端との間に接続され、ゲート端子を介してゲート電圧NGATEが印加される。PMOSトランジスタP12は、NMOSトランジスタN11とビットラインプリチャージ電圧VBLPの出力端との間に接続され、ゲート端子を介してゲート電圧PGATEが印加される。   The NMOS transistor N10 is connected between the PMOS transistor P10 and the output terminal of the bit line precharge voltage VBLP, and the gate voltage NGATE is applied via the gate terminal. The PMOS transistor P12 is connected between the NMOS transistor N11 and the output terminal of the bit line precharge voltage VBLP, and the gate voltage PGATE is applied through the gate terminal.

また、NMOSトランジスタN11は、接地電圧VSS印加端とPMOSトランジスタP12と間に接続され、ゲート端子をNMOSトランジスタN12と共通接続される。そして、NMOSトランジスタN12は、接地電圧VSS印加端と出力ノードBと間に接続され、ゲート端子をNMOSトランジスタN11と共通接続される。   The NMOS transistor N11 is connected between the application terminal of the ground voltage VSS and the PMOS transistor P12, and has a gate terminal commonly connected to the NMOS transistor N12. The NMOS transistor N12 is connected between the application terminal of the ground voltage VSS and the output node B, and has a gate terminal commonly connected to the NMOS transistor N11.

電圧駆動手段110は、PMOSトランジスタP13とNMOSトランジスタN13とを備える。PMOSトランジスタP13及びNMOSトランジスタN13は、コア電圧VCORE印加端と接地電圧VSS印加端との間に直列接続され、それぞれのゲート端子を介して、プルアップ駆動信号PDRV、プルダウン駆動信号NDRVがそれぞれ印加され、共通ドレイン端子を介してビットラインプリチャージ電圧VBLPを出力する。   The voltage driving means 110 includes a PMOS transistor P13 and an NMOS transistor N13. The PMOS transistor P13 and the NMOS transistor N13 are connected in series between the core voltage VCORE application terminal and the ground voltage VSS application terminal, and the pull-up drive signal PDRV and the pull-down drive signal NDRV are applied through the respective gate terminals. The bit line precharge voltage VBLP is output through the common drain terminal.

このような構成を有する本発明の動作過程を説明すれば次の通りである。まず、バイアス電圧PBIASは、コア電圧VCORE−PMOSトランジスタP6のしきい電圧VTの周辺のレベル信号である。このようなバイアス電圧PBIASは、PMOSトランジスタP6に一定のゲート電圧を供給し、一定の電流が流れるようにする。また、バイアス電圧NBIASは、接地電圧VSS+NMOSトランジスタN6のしきい電圧VTの周辺のレベル信号である。このようなバイアス電圧NBIASは、NMOSトランジスタN6に一定のゲート電圧を供給し、一定の電流が流れるようにする。   The operation process of the present invention having such a configuration will be described as follows. First, the bias voltage PBIAS is a level signal around the threshold voltage VT of the core voltage VCORE-PMOS transistor P6. Such a bias voltage PBIAS supplies a constant gate voltage to the PMOS transistor P6 so that a constant current flows. The bias voltage NBIAS is a level signal around the ground voltage VSS + the threshold voltage VT of the NMOS transistor N6. Such a bias voltage NBIAS supplies a constant gate voltage to the NMOS transistor N6 so that a constant current flows.

そして、NMOSトランジスタN8は、ビットラインプリチャージ電圧VBLPをソースとして、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが変わるにつれて、速く動作するようになる。PMOSトランジスタP8は、ビットラインプリチャージ電圧VBLPをソースとして、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが変わるにつれて、速く動作するようになる。即ち、ソースフォロア構造のNMOSトランジスタN8及びPMOSトランジスタP8とは、全てビットラインプリチャージ電圧VBLPのレベルの変化によって速く動作してPMOSトランジスタP13及びNMOSトランジスタN13をターンオン、ターンオフさせる。   The NMOS transistor N8 operates with the bit line precharge voltage VBLP as a source and as the bit line precharge voltage VBLP changes. The PMOS transistor P8 operates with the bit line precharge voltage VBLP as a source, and operates faster as the bit line precharge voltage VBLP changes. That is, the NMOS transistor N8 and the PMOS transistor P8 having the source follower structure are all operated quickly by changing the level of the bit line precharge voltage VBLP, thereby turning on and off the PMOS transistor P13 and the NMOS transistor N13.

しかし、NMOSトランジスタN8及びPMOSトランジスタP8には、常に一定の電流が流れるようになり、最終出力端のPMOSトランジスタP13及びNMOSトランジスタN13をターンオフさせるのに長い時間がかかる。   However, a constant current always flows through the NMOS transistor N8 and the PMOS transistor P8, and it takes a long time to turn off the PMOS transistor P13 and the NMOS transistor N13 at the final output terminal.

これに応じて、本発明は、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが上昇する場合、PMOSトランジスタP8のゲートソース電圧が大きくなる。従って、プルダウン駆動信号NDRVの電圧レベルが上昇し、上昇したビットラインプリチャージ電圧VBLPのレベルを低減させるために、NMOSトランジスタN13をターンオンさせるようになる。   Accordingly, the present invention increases the gate-source voltage of the PMOS transistor P8 when the bit line precharge voltage VBLP increases. Accordingly, the voltage level of the pull-down drive signal NDRV rises, and the NMOS transistor N13 is turned on to reduce the level of the raised bit line precharge voltage VBLP.

このとき、ソースフォロア構造のNMOSトランジスタN10のゲートソース電圧VGSが小さくなって、ノードAPは、コア電圧VCORE−NMOSトランジスタN10のしきい電圧VTレベルになる。そして、ノードAPの電圧によって、一定の電流が流れるPMOSトランジスタP10、P11のゲート電圧レベルを制御してノードAの電圧レベルをコア電圧VCOREレベルに速く上昇させることによって、電流経路が形成されないようにする。   At this time, the gate source voltage VGS of the NMOS transistor N10 having the source follower structure decreases, and the node AP becomes the threshold voltage VT level of the core voltage VCORE-NMOS transistor N10. Then, by controlling the gate voltage level of the PMOS transistors P10 and P11 through which a constant current flows by the voltage of the node AP and rapidly increasing the voltage level of the node A to the core voltage VCORE level, a current path is not formed. To do.

また、ソースフォロア構造のPMOSトランジスタP12は、さらに速くターンオンされて、ノードACの電圧レベルが上昇するようになる。そして、ノードANの電圧によって、NMOSトランジスタN11、N12がターンオンされて、ノードBの電圧レベルを低減させることによって、電流経路が形成されないようにする。   In addition, the PMOS transistor P12 having the source follower structure is turned on more quickly, and the voltage level of the node AC rises. Then, the NMOS transistors N11 and N12 are turned on by the voltage of the node AN, and the voltage level of the node B is reduced, so that no current path is formed.

その反面、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが低減する場合、NMOSトランジスタN8のゲートソース電圧VGSが大きくなる。従って、プルアップ駆動信号PDRVの電圧レベルが低減し、低減したビットラインプリチャージ電圧VBLPのレベルを上昇させるため、PMOSトランジスタP13をターンオンさせるようになる。   On the other hand, when the bit line precharge voltage VBLP decreases, the gate source voltage VGS of the NMOS transistor N8 increases. Accordingly, the voltage level of the pull-up drive signal PDRV is reduced, and the PMOS transistor P13 is turned on to raise the level of the reduced bit line precharge voltage VBLP.

このとき、ソースフォロア構造のPMOSトランジスタP12のゲートソース電圧VGSが小さくなって、ノードANは、接地電圧VSS+PMOSトランジスタP10のしきい電圧VTレベルとなる。これに応じて、ノードANの電圧によって、一定の電流が流れるNMOSトランジスタN11、N12のゲート電圧レベルを制御して、ノードBの電圧レベルを接地電圧VSSレベルに速く減少させることによって、電流経路が形成されないようにする。   At this time, the gate source voltage VGS of the PMOS transistor P12 having the source follower structure is decreased, and the node AN becomes the ground voltage VSS + the threshold voltage VT level of the PMOS transistor P10. In response to this, the gate voltage level of the NMOS transistors N11 and N12 through which a constant current flows is controlled by the voltage of the node AN, and the voltage level of the node B is rapidly reduced to the ground voltage VSS level, thereby the current path is changed. Avoid formation.

また、ソースフォロア構造のNMOSトランジスタN10は、さらに速くターンオンされ、ノードAPの電圧レベルが低減される。そして、ノードAPの電圧によって、PMOSトランジスタP10、P11がターンオンされ、ノードAPの電圧レベルを上昇させることによって、電流経路が形成されないようにする。   Further, the NMOS transistor N10 having the source follower structure is turned on more quickly, and the voltage level of the node AP is reduced. Then, the PMOS transistors P10 and P11 are turned on by the voltage of the node AP, and the voltage level of the node AP is raised so that no current path is formed.

図4は、本発明に係る電圧発生装置に関する他の実施形態である。
本発明は、コア電圧制御手段10、駆動制御手段200及び電圧駆動手段210を備える。ここで、コア電圧制御手段10の構成は、従来のコア電圧制御手段10と同様なため、同じ図面符号で説明し、これに対する詳しい構成及び動作の説明は省略する。しかし、本発明に対する明確な理解のため、図示されてはいないが、コア電圧制御手段10は、バイアス生成手段信号生成手段及び駆動信号生成手段に分けられる。バイアス信号生成手段は、4つのバイアス信号(PBIAS、NGATE、PGATE、NBIAS)を生成するためのものであり、駆動信号生成手段は、プルアップ駆動信号PDRV及びプルダウン駆動信号NDRVを生成するためのものである。
FIG. 4 shows another embodiment of the voltage generator according to the present invention.
The present invention includes a core voltage control means 10, a drive control means 200, and a voltage drive means 210. Here, since the configuration of the core voltage control means 10 is the same as that of the conventional core voltage control means 10, it will be described with the same reference numerals, and detailed description of the configuration and operation will be omitted. However, for a clear understanding of the present invention, the core voltage control means 10 is divided into a bias generation means signal generation means and a drive signal generation means, although not shown. The bias signal generation means is for generating four bias signals (PBIAS, NGATE, PGATE, NBIAS), and the drive signal generation means is for generating a pull-up drive signal PDRV and a pull-down drive signal NDRV. It is.

その詳しい構成を説明すれば、駆動制御手段200は、PMOSトランジスタP14〜P17と、NMOSトランジスタN14〜N17及び抵抗R3、R4を備える。PMOSトランジスタP14は、コア電圧VCORE印加端とNMOSトランジスタN14との間に接続されて、ゲート端子がPMOSトランジスタP15と共通接続される。そして、PMOSトランジスタP15は、コア電圧VCORE印加端と、抵抗R3との間に接続され、ゲート端子をPMOSトランジスタP14と共通接続する。   Explaining its detailed configuration, the drive control means 200 includes PMOS transistors P14 to P17, NMOS transistors N14 to N17, and resistors R3 and R4. The PMOS transistor P14 is connected between the application terminal of the core voltage VCORE and the NMOS transistor N14, and has a gate terminal commonly connected to the PMOS transistor P15. The PMOS transistor P15 is connected between the application terminal of the core voltage VCORE and the resistor R3, and has a gate terminal commonly connected to the PMOS transistor P14.

NMOSトランジスタN14は、PMOSトランジスタP14とビットラインプリチャージ電圧VBLPの出力端との間に接続され、ゲート端子を介してゲート電圧NGATEが印加される。抵抗R3は、PMOSトランジスタP15と接地電圧VSS印加端との間に接続する。NMOSトランジスタN15は、ノードDと接地電圧VSS印加端との間に接続されてゲート端子が抵抗R3と接続される。   The NMOS transistor N14 is connected between the PMOS transistor P14 and the output terminal of the bit line precharge voltage VBLP, and the gate voltage NGATE is applied through the gate terminal. The resistor R3 is connected between the PMOS transistor P15 and the ground voltage VSS application terminal. The NMOS transistor N15 is connected between the node D and the ground voltage VSS application terminal, and has a gate terminal connected to the resistor R3.

また、PMOSトランジスタP16は、NMOSトランジスタN16とビットラインプリチャージ電圧VBLPの出力端との間に接続され、ゲート端子を介してゲート電圧PGATEが印加される。そして、PMOSトランジスタP17は、コア電圧VCORE印加端とノードCとの間に接続され、ゲート端子が抵抗R4と接続される。抵抗R4は、コア電圧VCORE印加端とNMOSトランジスタN17との間に接続する。   The PMOS transistor P16 is connected between the NMOS transistor N16 and the output terminal of the bit line precharge voltage VBLP, and is applied with the gate voltage PGATE via the gate terminal. The PMOS transistor P17 is connected between the application terminal of the core voltage VCORE and the node C, and the gate terminal is connected to the resistor R4. The resistor R4 is connected between the application terminal of the core voltage VCORE and the NMOS transistor N17.

また、NMOSトランジスタN16は、接地電圧VSS印加端とPMOSトランジスタP16との間に接続され、ゲート端子がNMOSトランジスタN17と共通接続される。そして、NMOSトランジスタN17は、接地電圧VSS印加端と抵抗R4との間に接続され、ゲート端子がNMOSトランジスタN16と共通接続される。   The NMOS transistor N16 is connected between the application terminal of the ground voltage VSS and the PMOS transistor P16, and has a gate terminal commonly connected to the NMOS transistor N17. The NMOS transistor N17 is connected between the application terminal of the ground voltage VSS and the resistor R4, and has a gate terminal commonly connected to the NMOS transistor N16.

また、電圧駆動手段210は、PMOSトランジスタP18及びNMOSトランジスタN18を備える。PMOSトランジスタP18及びNMOSトランジスタN18は、コア電圧VCORE印加端と接地電圧VSS印加端との間に直列接続され、それぞれのゲート端子を介してプルアップ駆動信号PDRV、プルダウン駆動信号NDRVが印加され、共通ドレイン端子を介して、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが出力される。   The voltage driver 210 includes a PMOS transistor P18 and an NMOS transistor N18. The PMOS transistor P18 and the NMOS transistor N18 are connected in series between the application terminal of the core voltage VCORE and the application terminal of the ground voltage VSS, and the pull-up drive signal PDRV and the pull-down drive signal NDRV are applied via the respective gate terminals. A bit line precharge voltage VBLP is output via the drain terminal.

このような構成を有する本発明の動作過程を説明すれば次の通りである。前記4つのバイアス信号(PBIAS、NGATE、PGATE、NBIAS)は、それぞれ異なる電圧レベルを有しており、特に、前記バイアス信号NGATEは、前記基準電圧より予定されたレベルの分高く、前記バイアス信号PGATEは、前記基準電圧より予定されたレベルの分低い。   The operation process of the present invention having such a configuration will be described as follows. The four bias signals (PBIAS, NGATE, PGATE, NBIAS) have different voltage levels. In particular, the bias signal NGATE is higher than the reference voltage by a predetermined level, and the bias signal PGATE Is lower than the reference voltage by a predetermined level.

まず、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが上昇する場合、PMOSトランジスタP8のゲートソース電圧VGSが大きくなる。従って、プルダウン駆動信号NDRVの電圧レベルが上昇するようになって、上昇したビットラインプリチャージ電圧VBLPのレベルを低減させるため、NMOSトランジスタN18をターンオンさせることになる。
このとき、ソースフォロア構造のPMOSトランジスタP16が速くターンオンされ、ノードBNの電圧レベルが上昇するようになる。そして、ノードBNの電圧レベルによって、NMOSトランジスタN16、17がターンオンされ、PMOSトランジスタP17がターンオンされる。これに応じて、ノードCの電圧レベルがコア電圧VCOREレベルに速く上昇し、電流経路が形成されないようにする。
First, when the bit line precharge voltage VBLP increases, the gate source voltage VGS of the PMOS transistor P8 increases. Accordingly, the voltage level of the pull-down drive signal NDRV is increased, and the NMOS transistor N18 is turned on to reduce the level of the increased bit line precharge voltage VBLP.
At this time, the PMOS transistor P16 having the source follower structure is quickly turned on, and the voltage level of the node BN increases. Then, according to the voltage level of the node BN, the NMOS transistors N16 and N17 are turned on, and the PMOS transistor P17 is turned on. In response to this, the voltage level of node C rises rapidly to the core voltage VCORE level so that no current path is formed.

また、ソースフォロア構造のNMOSトランジスタN14は、ゲートソース電圧VGSが低くなって、ターンオフ状態を維持する。このとき、NMOSトランジスタN14は、弱いブートストラップ(bootstraping)作用を介して、ノードBPの電圧レベルを上昇させるようになる。これに応じて、PMOSトランジスタP14、P15をターンオフ状態に維持し、NMOSトランジスタN15をターンオフに制御することによって電流経路を遮断する。   In addition, the NMOS transistor N14 having the source follower structure maintains the turn-off state because the gate-source voltage VGS is lowered. At this time, the NMOS transistor N14 increases the voltage level of the node BP through a weak bootstrap action. In response to this, the PMOS transistors P14 and P15 are maintained in a turn-off state, and the current path is cut off by controlling the NMOS transistor N15 to be turned off.

その反面、ビットラインプリチャージ電圧VBLPが低減する場合、NMOSトランジスタN8のゲートソース電圧VGSが大きくなる。従って、プルアップ駆動信号PDRVの電圧レベルが低減し、低減したビットラインプリチャージ電圧VBLPのレベルを上昇させるため、PMOSトランジスタP18をターンオンさせるようになる。   On the other hand, when the bit line precharge voltage VBLP decreases, the gate source voltage VGS of the NMOS transistor N8 increases. Accordingly, the voltage level of the pull-up drive signal PDRV is reduced, and the PMOS transistor P18 is turned on to raise the level of the reduced bit line precharge voltage VBLP.

このとき、ソースフォロア構造のPMOSトランジスタP16のゲートソース電圧VGSが小さくなり、ノードBNには電圧降下が発生する。これに応じて、NMOSトランジスタN16、N17がターンオンされ、PMOSトランジスタP17のゲート電圧が上昇することによってノードCの電圧レベルが上昇する。これに応じて、ビットラインプリチャージ電圧VBLPの電圧レベルとは関係なくノードCを介して電流経路が形成されないようにする。   At this time, the gate-source voltage VGS of the PMOS transistor P16 having the source follower structure decreases, and a voltage drop occurs at the node BN. In response to this, the NMOS transistors N16 and N17 are turned on, and the gate voltage of the PMOS transistor P17 rises, so that the voltage level of the node C rises. Accordingly, a current path is prevented from being formed via node C regardless of the voltage level of bit line precharge voltage VBLP.

また、ソースフォロア構造のNMOSトランジスタN14は、さらに速くターンオンされ、ノードBPの電圧レベルが低減することになる。そして、ノードBPの電圧によってPMOSトランジスタP14、P15がターンオンされ、NMOSトランジスタN15のゲート電圧が上昇することになる。これに応じて、ノードDの電圧レベルを接地電圧VSSレベルに低減させて、電流経路が形成されないようにする。   Further, the NMOS transistor N14 having the source follower structure is turned on more rapidly, and the voltage level of the node BP is reduced. Then, the PMOS transistors P14 and P15 are turned on by the voltage of the node BP, and the gate voltage of the NMOS transistor N15 increases. In response to this, the voltage level of node D is reduced to the ground voltage VSS level so that a current path is not formed.

図5は、図3及び図4の実施形態に係る本発明の電圧タイミングチャートである。本発明は、図5の電圧タイミングチャートに示したように、待機状態か動作モード状態かどうかに関らず、ビットラインプリチャージ電圧VBLP、プルアップ駆動信号PDRV、プルダウン駆動信号NDRVの間に電流経路が形成されないため、チップの駆動能力を向上することができるようにする。   FIG. 5 is a voltage timing chart of the present invention according to the embodiment of FIGS. In the present invention, as shown in the voltage timing chart of FIG. 5, the current between the bit line precharge voltage VBLP, the pull-up drive signal PDRV, and the pull-down drive signal NDRV regardless of whether it is in the standby state or the operation mode state. Since no path is formed, the driving ability of the chip can be improved.

図6は、本発明に係る電圧発生装置に関するさらに他の実施形態である。本発明は、コア電圧制御手段10、駆動制御手段300及び電圧駆動手段310を備える。ここで、コア電圧制御手段10の構成は、従来のコア電圧制御手段10と同様なため、同じ図面符号で説明し、これに対する詳しい構成及び動作の説明は省略することにする。   FIG. 6 is still another embodiment of the voltage generator according to the present invention. The present invention includes a core voltage control means 10, a drive control means 300 and a voltage drive means 310. Here, since the configuration of the core voltage control means 10 is the same as that of the conventional core voltage control means 10, it will be described with the same reference numerals, and the detailed configuration and operation thereof will be omitted.

しかし、本発明に対する明確な理解のため、図示されてはいないが、コア電圧制御手段10は、バイアス信号生成手段及び駆動信号生成手段に分けられる。バイアス信号生成手段は、4つのバイアス信号(PBIAS、NGATE、PGATE、NBIAS)を生成するためのものであり、駆動信号生成手段は、プルアップ駆動信号PDRV及びプルダウン駆動信号NDRVを生成するためのものである。 前記4つのバイアス信号(PBIAS、NGATE、PGATE、NBIAS)は、それぞれ異なる電圧レベルを有しており、特に、前記バイアス信号NGATEは、前記基準電圧より予定されたレベルの分高く、前記バイアス信号PGATEは、前記基準電圧より予定されたレベルの分低い。   However, for a clear understanding of the present invention, the core voltage control means 10 is divided into a bias signal generation means and a drive signal generation means, although not shown. The bias signal generation means is for generating four bias signals (PBIAS, NGATE, PGATE, NBIAS), and the drive signal generation means is for generating a pull-up drive signal PDRV and a pull-down drive signal NDRV. It is. The four bias signals (PBIAS, NGATE, PGATE, NBIAS) have different voltage levels. In particular, the bias signal NGATE is higher than the reference voltage by a predetermined level, and the bias signal PGATE Is lower than the reference voltage by a predetermined level.

その詳しい構成を説明すれば、駆動制御手段300は、NMOSトランジスタN19及びPMOSトランジスタP19を備える。ここで、NMOSトランジスタN19及びPMOSトランジスタP19は、コア電圧VCORE印加端と接地電圧VSS印加端との間に直列接続され、それぞれのゲート端子を介してゲート電圧NGATE、PGATEが印加され、共通ドレイン端子を介してビットラインプリチャージ電圧VBLPを出力する。   Explaining its detailed configuration, the drive control means 300 includes an NMOS transistor N19 and a PMOS transistor P19. Here, the NMOS transistor N19 and the PMOS transistor P19 are connected in series between the application terminal of the core voltage VCORE and the application terminal of the ground voltage VSS, and the gate voltages NGATE and PGATE are applied through the respective gate terminals, and the common drain terminal. The bit line precharge voltage VBLP is output via

また、電圧駆動手段310は、PMOSトランジスタP20及びNMOSトランジスタN20を備える。PMOSトランジスタP20及びNMOSトランジスタN20は、コア電圧VCORE印加端と接地電圧VSS印加端との間に直列接続され、それぞれのゲート端子を介してプルアップ駆動信号PDRV及びプルダウン駆動信号NDRVが印加され、共通ドレイン端子を介してビットラインプリチャージ電圧VBLPを出力する。   The voltage driving means 310 includes a PMOS transistor P20 and an NMOS transistor N20. The PMOS transistor P20 and the NMOS transistor N20 are connected in series between the core voltage VCORE application terminal and the ground voltage VSS application terminal, and the pull-up drive signal PDRV and the pull-down drive signal NDRV are applied through the respective gate terminals. The bit line precharge voltage VBLP is output through the drain terminal.

このような構成を有する本発明は、ゲート電圧NGATEを入力として、ビットラインプリチャージ電圧VBLPをソースとするNMOSトランジスタN19と、ゲート電圧PGATEを入力として、ビットラインプリチャージ電圧VBLPをソースとするPMOSトランジスタP19とを介してダイレクト電流経路を遮断して電圧駆動手段310の駆動能力を向上させることができるようにする。   The present invention having such a configuration includes an NMOS transistor N19 having the gate voltage NGATE as an input and the bit line precharge voltage VBLP as a source, and a PMOS having the gate voltage PGATE as an input and the bit line precharge voltage VBLP as a source. The direct current path is interrupted via the transistor P19 so that the driving capability of the voltage driving means 310 can be improved.

図7は、本発明に係る電圧発生装置に関するさらに他の実施形態である。本発明は、コア電圧制御手段10、電圧駆動手段400及び出力制御手段410を備える。ここで、コア電圧制御手段10の構成は、従来のコア電圧制御手段10と同様なため、同じ図面符号で説明し、これに対する詳しい構成及び動作の説明は、省略することにする。   FIG. 7 is still another embodiment of the voltage generator according to the present invention. The present invention includes a core voltage control unit 10, a voltage driving unit 400, and an output control unit 410. Here, since the configuration of the core voltage control means 10 is the same as that of the conventional core voltage control means 10, it will be described with the same reference numerals, and detailed description of the configuration and operation thereof will be omitted.

しかし、本発明に対する明確な理解のため、図示されてはいないが、コア電圧制御手段10は、バイアス信号生成手段及び駆動信号生成手段に分けられる。バイアス信号生成手段は、4つのバイアス信号(PBIAS、NGATE、PGATE、NBIAS)を生成するためのものであり、駆動信号生成手段は、プルアップ駆動信号PDRV及びプルダウン駆動信号NDRVを生成するためのものである。前記4つのバイアス信号(PBIAS、NGATE、PGATE、NBIAS)は、それぞれ異なる電圧レベルを有しており、特に、前記バイアス信号NGATEは、前記基準電圧より予定されたレベルの分高く、前記バイアス信号PGATEは、前記基準電圧より予定されたレベルの分低い。   However, for a clear understanding of the present invention, the core voltage control means 10 is divided into a bias signal generation means and a drive signal generation means, although not shown. The bias signal generation means is for generating four bias signals (PBIAS, NGATE, PGATE, NBIAS), and the drive signal generation means is for generating a pull-up drive signal PDRV and a pull-down drive signal NDRV. It is. The four bias signals (PBIAS, NGATE, PGATE, NBIAS) have different voltage levels. In particular, the bias signal NGATE is higher than the reference voltage by a predetermined level, and the bias signal PGATE Is lower than the reference voltage by a predetermined level.

電圧駆動手段400は、PMOSトランジスタP21とNMOSトランジスタN21を備える。PMOSトランジスタP21及びNMOSトランジスタN21は、コア電圧VCORE印加端と接地電圧VSS印加端との間に直列接続され、それぞれのゲート端子を介してプルアップ駆動信号PDRV、プルダウン駆動信号NDRVが印加され、共通ドレイン端子を介してビットラインプリチャージ電圧VBLPを出力する。   The voltage driving unit 400 includes a PMOS transistor P21 and an NMOS transistor N21. The PMOS transistor P21 and the NMOS transistor N21 are connected in series between the application terminal of the core voltage VCORE and the application terminal of the ground voltage VSS, and the pull-up drive signal PDRV and the pull-down drive signal NDRV are applied via the respective gate terminals. The bit line precharge voltage VBLP is output through the drain terminal.

また、出力制御手段410は、伝送ゲートT1〜T4を備える。ここで、伝送ゲートT1は、制御信号AA、BBの状態に応じてコア電圧VCOREをPMOSトランジスタP21のバルクに出力する。そして、伝送ゲートT2は、制御信号AA、BBの状態に応じて電源電圧VDDをPMOSトランジスタP21のバルクに出力する。   Further, the output control means 410 includes transmission gates T1 to T4. Here, the transmission gate T1 outputs the core voltage VCORE to the bulk of the PMOS transistor P21 in accordance with the states of the control signals AA and BB. Then, the transmission gate T2 outputs the power supply voltage VDD to the bulk of the PMOS transistor P21 according to the states of the control signals AA and BB.

そして、伝送ゲートT3は、制御信号AA、BBの状態に応じて接地電圧VSSをNMOSトランジスタN21のバルクに出力する。そして、伝送ゲートT4は、制御信号AA、BBの状態に応じてバックバイアス電圧VBBをNMOSトランジスタN21のバルクに出力する。   Then, the transmission gate T3 outputs the ground voltage VSS to the bulk of the NMOS transistor N21 according to the states of the control signals AA and BB. The transmission gate T4 outputs the back bias voltage VBB to the bulk of the NMOS transistor N21 according to the states of the control signals AA and BB.

ここで、制御信号AAは、アクティブ信号ACTがインバータIV1によって反転された信号であり、制御信号BBは、制御信号AAがインバータIV2によって反転された信号である。そして、伝送ゲートT1、T3はPMOSゲートを介して制御信号AAが印加され、NMOSゲートを介して制御信号BBが印加される。また、伝送ゲートT2、T4は、PMOSゲートを介して制御信号BBが印加され、NMOSゲートを介して制御信号AAが印加される。   Here, the control signal AA is a signal obtained by inverting the active signal ACT by the inverter IV1, and the control signal BB is a signal obtained by inverting the control signal AA by the inverter IV2. The control signals AA are applied to the transmission gates T1 and T3 through the PMOS gate, and the control signal BB is applied through the NMOS gate. Further, the control signals BB are applied to the transmission gates T2 and T4 through the PMOS gate, and the control signal AA is applied through the NMOS gate.

このような構成を有する本発明の動作過程を図8の動作タイミング図を参照して説明すれば次の通りである。まず、アクティブ動作モードの際、アクティブ信号ACTがアクティブになると、制御信号AAがローとなり、制御信号BBがハイとなる。これに応じて、伝送ゲートT1、T3がターンオンされ、PMOSトランジスタP21のバルクにコア電圧VCOREが印加され、NMOSトランジスタN21のバルクに接地電圧VSSが印加される。従って、アクティブ動作モードの際にPMOSトランジスタP21及びNMOSトランジスタN21のしきい電圧を低くすることになり、駆動能力を向上させることができるようにする。   The operation process of the present invention having such a configuration will be described with reference to the operation timing chart of FIG. First, in the active operation mode, when the active signal ACT becomes active, the control signal AA becomes low and the control signal BB becomes high. In response to this, the transmission gates T1 and T3 are turned on, the core voltage VCORE is applied to the bulk of the PMOS transistor P21, and the ground voltage VSS is applied to the bulk of the NMOS transistor N21. Therefore, the threshold voltages of the PMOS transistor P21 and the NMOS transistor N21 are lowered during the active operation mode, so that the driving capability can be improved.

その反面、アクティブ動作モードでない待機モードの場合、アクティブ信号ACTが非アクティブになると、制御信号AAがハイとなり、制御信号BBがローとなる。これに応じて、伝送ゲートT2、T4がターンオンされ、PMOSトランジスタP21のバルクに電源電圧VDDが印加され、NMOSトランジスタN21のバルクにバックバイアス電圧VBBが印加される。従って、待機モードの際、PMOSトランジスタP21及びNMOSトランジスタN21のしきい電圧を高めて漏れ電流の経路を遮断することになる。   On the other hand, in the standby mode other than the active operation mode, when the active signal ACT becomes inactive, the control signal AA becomes high and the control signal BB becomes low. In response to this, the transmission gates T2 and T4 are turned on, the power supply voltage VDD is applied to the bulk of the PMOS transistor P21, and the back bias voltage VBB is applied to the bulk of the NMOS transistor N21. Accordingly, in the standby mode, the threshold voltage of the PMOS transistor P21 and the NMOS transistor N21 is increased to block the leakage current path.

即ち、本発明は、コア電圧VCOREがソースに印加されるPMOSトランジスタP21のバルクバイアスを制御し、アクティブの際にしきい電圧VTを低くするため、セルフバイアスを行なう。そして、待機モードの際、漏れ電流を低減するため、即ち、しきい電圧VTを高めるために電圧駆動手段400のNMOSトランジスタN21にバックバイアス電圧VBBが印加されるようになる。   That is, the present invention controls the bulk bias of the PMOS transistor P21 to which the core voltage VCORE is applied to the source, and performs the self-bias in order to reduce the threshold voltage VT when active. In the standby mode, the back bias voltage VBB is applied to the NMOS transistor N21 of the voltage driver 400 in order to reduce the leakage current, that is, to increase the threshold voltage VT.

尚、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明に係る技術的思想の範囲内から逸脱しない範囲内で様々な変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に属する。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible without departing from the scope of the technical idea according to the present invention, and these are also within the technical scope of the present invention. Belonging to.

10 コア電圧制御手段
100 駆動制御手段
110 電圧駆動手段
10 Core voltage control means 100 Drive control means 110 Voltage drive means

Claims (4)

電源電圧のハーフレベルを有する基準電圧を利用して互いに異なるレベルを有する第9バイアス信号、第10バイアス信号、第11バイアス信号、第12バイアス信号を生成するバイアス信号生成手段(前記第9バイアス信号は、前記基準電圧より予定されたレベルの分高く、前記第10バイアス信号は、前記基準電圧より予定されたレベルの分低いレベルである)と、
前記第9バイアス及び第11バイアス信号が印加されて出力端(ハーフ電圧端)の電圧レベルに応答して前記プルアップ駆動信号を生成し、前記第10バイアス及び第12バイアス信号が印加されて前記出力端の電圧レベルに応答して前記プルダウン駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、
前記プルアップ駆動信号に応答して前記出力端をプルアップ駆動するプルアップPMOSトランジスタと、
前記プルダウン駆動信号に応答して前記出力端をプルダウン駆動するプルダウンNMOSトランジスタと、
アクティブ信号に応答して前記プルアップPMOSトランジスタの基板バイアス電圧として前記電源電圧又は前記電源電圧より高い電圧を選択的に印加する第1多重化手段と、
前記アクティブ信号に応答して前記プルダウンNMOSトランジスタの基板バイアス電圧として接地電圧又は前記接地電圧より低い電圧を選択的に印加する第2多重化手段と
を備えたことを特徴とする半導体メモリ素子の電圧発生装置。
Bias signal generating means for generating a ninth bias signal, a tenth bias signal, an eleventh bias signal, and a twelfth bias signal having different levels using a reference voltage having a half level of the power supply voltage (the ninth bias signal) Is higher by a predetermined level than the reference voltage, and the tenth bias signal is lower than a predetermined level by the reference voltage).
The ninth bias signal and the eleventh bias signal are applied to generate the pull-up driving signal in response to a voltage level at an output terminal (half voltage terminal), and the tenth bias signal and the twelfth bias signal are applied to the pull-up driving signal. Drive signal generating means for generating the pull-down drive signal in response to the voltage level of the output end;
A pull-up PMOS transistor for pull-up driving the output terminal in response to the pull-up drive signal;
A pull-down NMOS transistor for pull-down driving the output terminal in response to the pull-down drive signal;
First multiplexing means for selectively applying the power supply voltage or a voltage higher than the power supply voltage as a substrate bias voltage of the pull-up PMOS transistor in response to an active signal;
And a second multiplexing means for selectively applying a ground voltage or a voltage lower than the ground voltage as a substrate bias voltage of the pull-down NMOS transistor in response to the active signal. Generator.
前記電源電圧が、コア電圧であり、前記出力端が、ビットラインプリチャージ電圧端であることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ素子の電圧発生装置。   2. The voltage generation apparatus for a semiconductor memory device according to claim 1, wherein the power supply voltage is a core voltage, and the output terminal is a bit line precharge voltage terminal. 前記第1多重化手段が、
前記アクティブ信号及びその反転信号に制御され、アクティブ区間において前記コア電圧を出力する第1伝送ゲートと、
前記アクティブ信号及びその反転信号に制御されて、待機区間において外部電源電圧を出力する第2伝送ゲートと
を備えたことを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ素子の電圧発生装置。
The first multiplexing means comprises:
A first transmission gate controlled by the active signal and its inverted signal and outputting the core voltage in an active period;
3. The voltage generation apparatus for a semiconductor memory device according to claim 2, further comprising a second transmission gate controlled by the active signal and its inverted signal and outputting an external power supply voltage in a standby period.
前記第2多重化手段が、
前記アクティブ信号及びその反転信号に制御されて、アクティブ区間において前記接地電圧を出力する第3伝送ゲートと、
前記アクティブ信号及びその反転信号に制御されて、待機区間においてバックバイアス電圧を出力する第4伝送ゲートと
を備えたことを特徴とする請求項3に記載の半導体メモリ素子の電圧発生装置。
The second multiplexing means comprises:
A third transmission gate controlled by the active signal and its inverted signal to output the ground voltage in an active period;
4. The voltage generation device for a semiconductor memory device according to claim 3, further comprising a fourth transmission gate controlled by the active signal and an inverted signal thereof to output a back bias voltage in a standby period.
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