JP2012099481A - 顕微鏡システム、荷電粒子顕微鏡を操作する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子顕微鏡を操作する方法であって、第1設定で対象物の第1領域の第1画像を記録し、第2設定で対象物の第2領域の第2画像を記録する。第2設定は、一次荷電粒子の運動エネルギー、検出器設定、ビーム電流、測定チャンバ内の圧力の少なくとも1つに関して第1設定とは異なる。第1領域及び第2領域を少なくとも部分的に含む第3領域の第3画像を記録する。第3画像の少なくとも一部を表示し、表示した第3画像内に少なくとも部分的に第1画像の表現を表示する。第1画像の表現は第1設定を示す第1インジケータを含む。表示した第3画像内に少なくとも部分的に第2画像の表現を表示する。第2画像の表現は第2設定を示す第2インジケータを含み、表示した第2インジケータは表示した第1インジケータとは異なる、方法。
【選択図】図4A
Description
Claims (22)
- 荷電粒子顕微鏡を操作する方法であって、
第1設定で荷電粒子顕微鏡を用いて、対象物の第1領域の第1画像を記録するステップと、
第2設定で前記荷電粒子顕微鏡を用いて、前記対象物の第2領域の第2画像を記録するステップであり、前記第2設定は、撮像に用いる一次荷電粒子の運動エネルギー、撮像に用いる検出器設定、撮像に用いる一次荷電粒子のビーム電流、及び前記荷電粒子顕微鏡の測定チャンバ内の圧力の少なくとも1つに関して前記第1設定とは異なる、前記第2画像を記録するステップと、
前記対象物の第3領域の第3画像を読み取るステップであり、前記第1領域及び第2領域は前記第3領域に少なくとも部分的に含まれる、前記第3画像を読み取るステップと、
前記第3画像の少なくとも一部を表示するステップと、
前記表示した第3画像内に少なくとも部分的に前記第1画像の表現を表示するステップであり、前記第1画像の表現は前記第1設定を示す第1インジケータを含む、前記第1画像の表現を表示するステップと、
前記表示した第3画像内に少なくとも部分的に第2画像の表現を表示するステップであり、前記第2画像の表現は前記第2設定を示す第2インジケータを含み、該表示した第2インジケータは前記表示した第1インジケータとは異なる、前記第2画像の表現を表示するステップと、
を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法において、光学顕微鏡又は前記荷電粒子顕微鏡を用いて前記第3画像を記録するステップをさらに含む、方法。
- 請求項1又は2に記載の方法において、前記表示した第2インジケータは、前記表示した第1インジケータの色とは異なる色を有し、且つ/又は前記表示した第2インジケータは、前記表示した第1インジケータとは異なる幾何学的形状を有する、方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法において、前記荷電粒子顕微鏡は電子顕微鏡であり、第1検出器を前記第1画像の撮像に用い、第2検出器を前記第2画像の撮像に用い、前記第1検出器は、後方散乱電子に対する相対感度が前記第2検出器よりも高い、方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法において、前記対象物の前記第1領域の横方向範囲は、前記対象物の前記第2領域の横方向範囲よりも大きく、
前記第3画像と前記第1画像の表現及び前記第2画像の表現とは、ディスプレイ媒体に表示され、
前記ディスプレイ媒体に表示した前記第1画像の表現の横方向範囲は、前記ディスプレイ媒体に表示した前記第2画像の表現の横方向範囲よりも大きい、方法。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法において、前記対象物の前記第1領域の中心と前記対象物の前記第3領域の中心との間の線と、前記対象物の前記第2領域の中心と前記対象物の前記第3領域の中心との間の線との間の角度は、第1角度であり、
前記表示した第1画像の表現の中心と前記表示した第3画像の中心との間の線と、前記表示した第2画像の表現の中心と前記表示した第3画像の中心との間の線との間の角度は、第2角度であり、
前記第1角度と前記第2角度との間の差の絶対値は、30°未満である、方法。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法において、前記第1画像の表現は、前記第1領域の横方向範囲を表すフレームを含む、方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法において、
前記第1画像の表現及び前記第2画像の表現の一方を選択することにより、前記第1画像及び前記第2画像の一方を選択するステップと、
前記選択画像を表示するステップと、
をさらに含む、方法。 - 請求項8に記載の方法において、ディスプレイ媒体上に表示した前記選択画像の横方向範囲は、前記ディスプレイ媒体上に表示した各画像の表現の横方向範囲よりも大きい、方法。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法において、
前記表示した第3画像内の領域を選択するステップと、
前記表示した第3画像内の前記選択領域に基づき前記対象物の第4領域を決定するステップと、
電子顕微鏡を前記荷電粒子顕微鏡として用いて前記対象物の前記第4領域の画像を記録するステップと、
をさらに含む、方法。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法において、
第2顕微鏡を用いて前記対象物の第5領域の第5画像を記録するステップと、
前記第3画像内に少なくとも部分的に前記第5画像の表現を表示するステップであり、該第5画像の表現は前記第2顕微鏡を示すインジケータを含む、前記第5画像の表現を表示するステップと、
をさらに含む、方法。 - 請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法において、前記第3画像に対する前記第1画像の表現の形態及び場所は、前記対象物の前記第3領域に対する前記対象物の前記第1領域の範囲及び場所に対応し、
前記第3画像に対する前記第2画像の表現の形態及び場所は、前記対象物の第3領域に対する前記第2領域の場所及び範囲に対応する、方法。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載の方法において、
前記荷電粒子顕微鏡の荷電粒子ビームと前記対象物との相互作用領域からスペクトル及び/又は回折パターンを取得するステップと、
前記第3画像内に少なくとも部分的に前記スペクトル及び/又は回折パターンの表現を表示するステップであり、前記スペクトル及び/又は回折パターンの表現は前記スペクトル及び/又は回折パターンのインジケータを含む、前記スペクトル及び/又は回折パターンを表示するステップと、
をさらに含む、方法。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載の方法において、前記第3画像内のアイコンの場所にアイコンを表示するステップをさらに含み、該アイコンは、該アイコンのデータオブジェクトへの少なくとも1つのリンクを提供するよう構成される、方法。
- 請求項14に記載の方法において、
前記第1画像を表示するステップと、
前記第1画像内の場所に前記アイコンを表示するステップであり、前記第1画像内の前記場所は、前記対象物のうち前記第3画像内の前記アイコンの場所に対応する部分に対応する、前記アイコンを表示するステップと、
をさらに含む、方法。 - 請求項1〜15のいずれか1項に記載の方法において、前記第1画像の表現は、該第1画像のデータオブジェクトへの少なくとも1つのリンクを提供するよう構成される、方法。
- 荷電粒子顕微鏡のユーザインタフェースを操作する方法であって、
対象物の第1領域の第1画像を読み取るステップであり、該第1画像は前記荷電粒子顕微鏡の第1設定に対応する、第1画像を読み取るステップと、
前記対象物の第2領域の第2画像を読み取るステップであり、該第2画像は前記荷電粒子顕微鏡の第2設定に対応し、該第2設定は、撮像に用いる一次荷電粒子の運動エネルギー、撮像に用いる検出器設定、撮像に用いる前記一次荷電粒子のビーム電流、及び前記荷電粒子顕微鏡の測定チャンバ内の圧力の少なくとも1つに関して前記第1設定とは異なる、第2画像を読み取るステップと、
前記対象物の第3領域の第3画像を読み取るステップであり、前記第1領域及び前記第2領域は前記第3領域内に少なくとも部分的に含まれる、前記第3画像を読み取るステップと、
前記第3画像の少なくとも一部を表示するステップと、
前記表示した第3画像内に少なくとも部分的に前記第1画像の表現を表示するステップであり、該第1画像の表現は前記第1設定を示す第1インジケータを含む、前記第1画像の表現を表示するステップと、
前記表示した第3画像内に少なくとも部分的に第2画像の表現を表示するステップであり、該第2画像の表現は前記第2設定を示す第2インジケータを含み、該表示した第2インジケータは前記表示した第1インジケータとは異なる、前記第2画像の表現を表示するステップと、
を含む、方法。 - 請求項17に記載の方法において、
前記第1画像の表現及び前記第2画像の表現の一方を選択することにより、前記第1画像及び前記第2画像の一方を選択するステップと、
前記選択画像を表示するステップと、
をさらに含む、方法。 - 請求項17又は18に記載の方法において、前記第3画像を光学顕微鏡又は前記荷電粒子顕微鏡を用いて記録した、方法。
- 請求項17〜19のいずれか1項に記載の方法において、前記第1画像の表現は、前記第1領域の横方向範囲を表すフレームを含む、方法。
- 請求項17〜20のいずれか1項に記載の方法において、
前記荷電粒子顕微鏡の荷電粒子ビームと前記対象物との相互作用領域からスペクトル及び/又は回折パターンを読み取るステップと、
前記第3画像内に少なくとも部分的に前記スペクトル及び/又は回折パターンの表現を表示するステップであり、前記スペクトル及び/又は回折パターンの表現は前記スペクトル及び/又は回折パターンのインジケータを含む、前記スペクトル及び/又は回折パターンを表示するステップと、
をさらに含む、方法。 - 荷電粒子顕微鏡を備える顕微鏡システムであって、請求項1〜21のいずれか1項に記載の方法を実施するよう構成される、顕微鏡システム。
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