JP2012089693A - Creation method of drawing data - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、描画データの製造方法に係り、例えば、荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する描画装置へ入力する描画データの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing drawing data, for example, a method for producing drawing data to be input to a drawing apparatus that draws a pattern on a sample using a charged particle beam.
半導体デバイスの微細化の進展を担うリソグラフィ技術は半導体製造プロセスのなかでも唯一パターンを生成する極めて重要なプロセスである。近年、LSIの高集積化に伴い、半導体デバイスに要求される回路線幅は年々微細化されてきている。これらの半導体デバイスへ所望の回路パターンを形成するためには、高精度の原画パターン(レチクル或いはマスクともいう。)が必要となる。ここで、電子線(電子ビーム)描画技術は本質的に優れた解像性を有しており、高精度の原画パターンの生産に用いられる。 Lithography technology, which is responsible for the progress of miniaturization of semiconductor devices, is an extremely important process for generating a pattern among semiconductor manufacturing processes. In recent years, with the high integration of LSI, circuit line widths required for semiconductor devices have been reduced year by year. In order to form a desired circuit pattern on these semiconductor devices, a highly accurate original pattern (also referred to as a reticle or a mask) is required. Here, the electron beam (electron beam) drawing technique has an essentially excellent resolution, and is used for producing a high-precision original pattern.
図13は、従来の可変成形型電子線描画装置の動作を説明するための概念図である。
可変成形型電子線(EB:Electron beam)描画装置は、以下のように動作する。第1のアパーチャ410には、電子線330を成形するための矩形例えば長方形の開口411が形成されている。また、第2のアパーチャ420には、第1のアパーチャ410の開口411を通過した電子線330を所望の矩形形状に成形するための可変成形開口421が形成されている。荷電粒子ソース430から照射され、第1のアパーチャ410の開口411を通過した電子線330は、偏向器により偏向され、第2のアパーチャ420の可変成形開口421の一部を通過して、所定の一方向(例えば、X方向とする)に連続的に移動するステージ上に搭載された試料340に照射される。すなわち、第1のアパーチャ410の開口411と第2のアパーチャ420の可変成形開口421との両方を通過できる矩形形状が、X方向に連続的に移動するステージ上に搭載された試料340の描画領域に描画される。第1のアパーチャ410の開口411と第2のアパーチャ420の可変成形開口421との両方を通過させ、任意形状を作成する方式を可変成形方式(VSB方式)という。
FIG. 13 is a conceptual diagram for explaining the operation of a conventional variable shaping type electron beam drawing apparatus.
The variable shaped electron beam (EB) drawing apparatus operates as follows. In the
電子ビーム描画装置で試料にパターンを描画するためには、まず、CADデータ等の設計データから電子ビーム描画装置へ入力するための描画データを作成する(例えば、特許文献1参照)。そして、作成された描画データを描画装置に入力し、描画装置内でデータ変換処理を行って、描画データ内の各図形パターンが電子ビームを用いて試料上に描画される。ここで、電子ビーム描画では、複数の図形パターンが描画される。描画されるパターンレイアウトの一部として、例えば、同一形状、同一ピッチかつ同一サイズの複数の図形パターンが配列される場合がある。かかる同一形状、同一ピッチかつ同一サイズの複数の図形パターンは、1つのアレイパターンとして定義された描画データが作成される。1つのアレイパターンとして定義することにより、各図形パターンを1つずつ定義するデータフォーマットの場合よりも作成される描画データのデータ量を大幅に小さくできるというメリットがある。 In order to draw a pattern on a sample with an electron beam drawing apparatus, first, drawing data to be input to the electron beam drawing apparatus is created from design data such as CAD data (see, for example, Patent Document 1). Then, the created drawing data is input to the drawing apparatus, data conversion processing is performed in the drawing apparatus, and each graphic pattern in the drawing data is drawn on the sample using an electron beam. Here, in the electron beam drawing, a plurality of graphic patterns are drawn. As a part of the pattern layout to be drawn, for example, a plurality of graphic patterns having the same shape, the same pitch, and the same size may be arranged. Drawing data defined as one array pattern is created for a plurality of graphic patterns having the same shape, the same pitch, and the same size. By defining as one array pattern, there is a merit that the amount of drawing data to be created can be significantly reduced as compared with the data format in which each graphic pattern is defined one by one.
図14は、同一形状、同一ピッチかつ同一サイズの複数の図形パターンの一例を示す概念図である。図14では、縦寸法がLyで横寸法がLxの長方形の図形パターンが、x方向にピッチPxでNx個ずつ、y方向にピッチPyでNy個ずつ配列される図形パターン群の一例を示している。かかるマトリックス状に配列された図形パターン群は、1つのアレイパターンとして描画データ中で定義されていた。 FIG. 14 is a conceptual diagram showing an example of a plurality of graphic patterns having the same shape, the same pitch, and the same size. FIG. 14 shows an example of a graphic pattern group in which a rectangular graphic pattern having a vertical dimension of Ly and a horizontal dimension of Lx is arranged in Nx pieces at a pitch Px in the x direction and Ny pieces at a pitch Py in the y direction. Yes. The graphic pattern group arranged in such a matrix is defined in the drawing data as one array pattern.
図15は、同一形状、同一ピッチかつ同一サイズの複数の図形パターンの他の一例を示す概念図である。図15では、縦寸法がLyで横寸法がLxの長方形の図形パターンが、x方向にピッチPxで、y方向にピッチPyでずれながら斜め方向に向かってN個配列される図形パターン群の一例を示している。かかる一定方向に配列された図形パターン群についても1つのアレイパターンとして描画データ中で定義されていた。 FIG. 15 is a conceptual diagram showing another example of a plurality of graphic patterns having the same shape, the same pitch, and the same size. In FIG. 15, an example of a graphic pattern group in which N rectangular graphic patterns having a vertical dimension of Ly and a horizontal dimension of Lx are arranged in an oblique direction while being shifted by a pitch Px in the x direction and a pitch Py in the y direction. Is shown. The graphic pattern group arranged in a certain direction is also defined in the drawing data as one array pattern.
図16は、同一形状、同一ピッチかつ同一サイズの複数の図形パターンの他の一例を示す概念図である。図16では、縦寸法がLyで横寸法がLxの長方形の図形パターンが、x方向にピッチPxでずれながらx方向に向かってNx個配列される図形パターン群の一例を示している。かかるx方向だけの一定方向に配列された図形パターン群についても1つのアレイパターンとして描画データ中で定義されていた。 FIG. 16 is a conceptual diagram showing another example of a plurality of graphic patterns having the same shape, the same pitch, and the same size. FIG. 16 shows an example of a graphic pattern group in which Nx rectangular graphic patterns having a vertical dimension of Ly and a horizontal dimension of Lx are arranged in the x direction while shifting by a pitch Px in the x direction. The graphic pattern group arranged in a fixed direction only in the x direction is also defined in the drawing data as one array pattern.
図17は、同一形状、同一ピッチかつ同一サイズの複数の図形パターンの他の一例を示す概念図である。図17では、縦寸法がLyで横寸法がLxの長方形の図形パターンが、y方向にピッチPyでずれながらy方向に向かってNy個配列される図形パターン群の一例を示している。かかるy方向だけの一定方向に配列された図形パターン群についても1つのアレイパターンとして描画データ中で定義されていた。 FIG. 17 is a conceptual diagram showing another example of a plurality of graphic patterns having the same shape, the same pitch, and the same size. FIG. 17 illustrates an example of a graphic pattern group in which Ny rectangular graphic patterns having a vertical dimension of Ly and a horizontal dimension of Lx are arranged in the y direction while being shifted by the pitch Py. The graphic pattern group arranged in a fixed direction only in the y direction is also defined in the drawing data as one array pattern.
しかしながら、描画対象となる図形パターンのレイアウト中には、同一図形種、かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で変わっていくように配列される複数の図形パターンが配列される場合もある。かかる複数の図形パターンは、それぞれサイズが異なってしまうため、従来、1つのアレイパターンとして定義できず、個々の図形パターンとして1つずつ定義されていた。 However, in the layout of a graphic pattern to be drawn, there may be a case where a plurality of graphic patterns are arranged in such a manner that the size changes at a constant interval while having the same graphic type and the same pitch. Since the plurality of graphic patterns have different sizes, conventionally, they cannot be defined as one array pattern, but are defined one by one as individual graphic patterns.
上述したように、同一図形種、かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で変わっていくように配列される複数の図形パターンが配列される場合、個々の図形パターンとして1つずつ定義した描画データが作成されていた。昨今のパターンの微細化に伴い、描画される図形パターン数は膨大な数に増加している。そのため、1つの描画データ中に定義される図形パターン数も膨大な数に増加している。その結果、描画データを保存する記憶媒体を大型化が必要となってしまうといった問題があった。さらに、データ処理を行う際のデータ読み込み時間や描画処理を行う総処理時間(TAT)の遅延といった問題があった。 As described above, when a plurality of graphic patterns are arranged so that the size changes at regular intervals while being the same graphic type and the same pitch, drawing data defined as individual graphic patterns one by one Was created. With the recent miniaturization of patterns, the number of graphic patterns to be drawn has increased to an enormous number. For this reason, the number of graphic patterns defined in one drawing data has increased to an enormous number. As a result, there has been a problem that it is necessary to increase the size of a storage medium for storing drawing data. Further, there are problems such as a data reading time when performing data processing and a delay of the total processing time (TAT) for performing drawing processing.
そこで、本発明は、上述した問題点を克服し、描画データのデータ量を低減することが可能な描画データの作成方法を提供することを目的とする。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a drawing data creation method capable of overcoming the above-described problems and reducing the amount of drawing data.
本発明の一態様の描画データの作成方法は、
荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画するための描画データの作成方法であって、
同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きく或いは小さくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を、1つのアレイとして、終了図形サイズ、隣り合う図形からの寸法差、及び開始図形と終了図形との間の寸法差のうちの1つと、図形種の識別子と、開始図形サイズと、開始図形座標と、終了図形座標と、繰り返し数と、を用いて定義されるように、描画データを作成することを特徴とする。
A method for creating drawing data according to an aspect of the present invention includes:
A method of creating drawing data for drawing a graphic pattern on a sample using a charged particle beam,
A graphic pattern group consisting of a plurality of graphic patterns having the same graphic type and the same pitch but having a size that is increased or decreased at regular intervals as one array, an end graphic size, a dimensional difference from adjacent graphics, and a start graphic Rendering data as defined using one of the dimensional differences from the end figure, the figure type identifier, the start figure size, the start figure coordinates, the end figure coordinates, and the number of repetitions. It is characterized by creating.
或いは、本発明の他の態様の描画データの作成方法は、
荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画するための描画データの作成方法であって、
同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きく或いは小さくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を、1つのアレイとして、終了図形サイズ、隣り合う図形からの寸法差、及び開始図形と終了図形との寸法差のうちの1つと、図形種の識別子と、開始図形サイズと、開始図形座標と、ピッチと、繰り返し数と、を用いて定義されるように、描画データを作成することを特徴とする。
Alternatively, a method for creating drawing data according to another aspect of the present invention is as follows.
A method of creating drawing data for drawing a graphic pattern on a sample using a charged particle beam,
A graphic pattern group consisting of a plurality of graphic patterns having the same graphic type and the same pitch but having a size that is increased or decreased at regular intervals as one array, an end graphic size, a dimensional difference from adjacent graphics, and a start graphic Create drawing data as defined using one of the dimensional differences from the end figure, the figure type identifier, the start figure size, the start figure coordinates, the pitch, and the number of repetitions. It is characterized by.
かかるデータフォーマットで定義することで、1つのアレイとして図形パターン群を定義できる。 By defining in such a data format, a graphic pattern group can be defined as one array.
また、複数の図形パターンの配置の配列種を示す配列種識別子をさらに用いて定義されるように、描画データを作成するとより好適である。 Further, it is more preferable to create drawing data so as to be defined by further using an array type identifier indicating an array type of a plurality of graphic pattern arrangements.
さらに、繰り返し数として、一方向分の繰り返し数を定義すると好適である。 Furthermore, it is preferable to define the number of repetitions for one direction as the number of repetitions.
さらに、終了図形座標として、一方向分の座標を定義すると好適である。或いは、ピッチとして、一方向分のピッチを定義すると好適である。 Furthermore, it is preferable to define coordinates for one direction as end figure coordinates. Alternatively, it is preferable to define a pitch for one direction as the pitch.
本発明によれば、1つのアレイとして図形パターン群を定義できるので、描画データのデータ量を低減できる。よって、データ処理を行う際のデータ読み込み時間や描画処理を行う総処理時間(TAT)の遅延を抑制できる。 According to the present invention, since a graphic pattern group can be defined as one array, the amount of drawing data can be reduced. Therefore, it is possible to suppress delays in data reading time when performing data processing and total processing time (TAT) in which drawing processing is performed.
以下、実施の形態では、荷電粒子ビームの一例として、電子ビームを用いた構成について説明する。但し、荷電粒子ビームは、電子ビームに限るものではなく、イオンビーム等の荷電粒子を用いたビームでも構わない。また、荷電粒子ビーム装置の一例として、可変成形型の描画装置について説明する。 Hereinafter, in the embodiment, a configuration using an electron beam will be described as an example of a charged particle beam. However, the charged particle beam is not limited to an electron beam, and a beam using charged particles such as an ion beam may be used. Further, a variable shaping type drawing apparatus will be described as an example of the charged particle beam apparatus.
実施の形態1.
実施の形態1では、電子ビームを用いて試料に図形パターンを描画するための描画データの作成方法について説明する。
In the first embodiment, a method for creating drawing data for drawing a graphic pattern on a sample using an electron beam will be described.
図1は、実施の形態1における、ピッチが示された複数の図形パターンの配列の一例を示す概念図である。図1では、縦寸法がLsyで横寸法がLsxの長方形の図形パターン11が、x方向にピッチPxで4個ずつ、y方向にピッチPyで3個ずつ配列される図形パターン群の一例を示している。図1の例では、x方向に1個ずれるたびにΔLxずつ横寸法(x方向寸法)が大きくなり、y方向に1個ずれるたびにΔLyずつ縦寸法(y方向寸法)が大きくなる。そして、最終図形パターン13は、縦寸法がLeyで横寸法がLexの長方形の図形パターンとなる。図1で示すように、かかる図形パターン群は、同一図形種で同一ピッチでありながら図形サイズが一定寸法差で大きくなっていく。かかるマトリックス状に配列された図形パターン群について、従来、個々の図形パターンとして1つずつ定義されていたが、実施の形態1では、1つのアレイパターンとして描画データ中に定義する。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of an arrangement of a plurality of graphic patterns showing pitches in the first embodiment. FIG. 1 shows an example of a graphic pattern group in which four rectangular
図2は、実施の形態1における描画データのデータフォーマットの一例を示す図である。図2に示す描画データのデータフォーマット10では、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を1つのアレイとして描画データ中に定義する。具体的には、図形種の識別子となる図形コードと、開始図形サイズと、開始図形座標と、ピッチと、終了図形サイズと、繰り返し数と、を用いて定義される。開始図形サイズと、開始図形座標と、ピッチと、終了図形サイズと、繰り返し数との各項目について、x方向成分とy方向成分についてそれぞれ定義する。言い換えると、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群は、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向のピッチX(Px)と、y方向のピッチY(Py)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数X(Nx)と、y方向の繰り返し数Y(Ny)と、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。かかるデータフォーマットを用いて同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を定義することで1つのアレイとして描画データ中に定義できる。その結果、個々の図形パターンとして定義する場合よりも大幅にデータ量を削減できる。図2のフォーマットでは、始点となる開始図形座標とピッチが定義され、さらに、繰り返し数も定義されているので、x方向の開始図形座標にx方向のピッチを順に加算していけば、x方向の各図形の配置座標を算出できる。同様に、y方向の開始図形座標にy方向のピッチを順に加算していけば、y方向の各図形の配置座標も算出できる。
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a data format of drawing data according to the first embodiment. In the
ここで、終了図形サイズの代わりに、隣り合う図形パターンからの寸法差となる隣り合う要素の伸縮分で定義しても好適である。かかる伸縮分についてもx方向成分とy方向成分についてそれぞれ定義すればよい。言い換えれば、x方向に隣り合う要素の伸縮分X(ΔLx)と、y方向に隣り合う要素の伸縮分Y(ΔLy)で定義してもよい。かかるフォーマットでも1つのアレイとして描画データ中に定義できる。その結果、個々の図形パターンとして定義する場合よりも大幅にデータ量を削減できる。 Here, instead of the end figure size, it is also preferable to define by the expansion / contraction portion of the adjacent element that is a dimensional difference from the adjacent figure pattern. Such expansion and contraction may be defined for the x-direction component and the y-direction component, respectively. In other words, the expansion / contraction amount X (ΔLx) of the elements adjacent in the x direction and the expansion / contraction amount Y (ΔLy) of the elements adjacent in the y direction may be defined. Even such a format can be defined in the drawing data as one array. As a result, the amount of data can be greatly reduced as compared with the case of defining as individual graphic patterns.
或いは、終了図形サイズの代わりに、開始図形と終了図形との間の寸法差となる最終伸縮サイズで定義しても好適である。かかる最終伸縮サイズについてもx方向成分とy方向成分についてそれぞれ定義すればよい。言い換えれば、x方向の最終伸縮サイズX(ΔLex)と、y方向の最終伸縮サイズY(ΔLey)で定義してもよい。かかるフォーマットでも1つのアレイとして描画データ中に定義できる。その結果、個々の図形パターンとして定義する場合よりも大幅にデータ量を削減できる。 Alternatively, instead of the end figure size, it may be defined by a final expansion / contraction size that is a dimensional difference between the start figure and the end figure. The final stretch size may be defined for the x-direction component and the y-direction component. In other words, the final expansion size X (ΔLex) in the x direction and the final expansion size Y (ΔLey) in the y direction may be defined. Even such a format can be defined in the drawing data as one array. As a result, the amount of data can be greatly reduced as compared with the case of defining as individual graphic patterns.
図1の例では、同一図形種で同一ピッチでありながら図形サイズが一定寸法差で大きくなっていく図形パターン群を示したが、同一図形種で同一ピッチでありながら図形サイズが一定寸法差で小さくなっていく図形パターン群でも同様に定義できる。 In the example of FIG. 1, the figure pattern group in which the figure size is increased with a constant dimensional difference while being the same pitch with the same figure type is shown. However, the figure size is with a constant dimensional difference with the same figure type and the same pitch. The figure pattern group which becomes small can be defined similarly.
図3は、実施の形態1における同一図形種で同一ピッチでありながら図形サイズが一定間隔で伸縮する図形パターン群の一例を示す図である。図3(a)では、45度の整数倍とは異なる角度(任意角)を持った直角三角形(任意角図形20)の一例を示す。描画装置でビーム形状を可変成形する際、第1と第2の成形アパーチャを用いて電子ビームを成形することになる。ここで、成形可能な図形の角度が45度の整数倍に設定された第1と第2の成形アパーチャを用いる場合がある。具体的には、45°、90°、或いは135°の角度で成形する。かかる成形アパーチャではこれらの角度以外の角度を持った図形パターンは、45°、90°、或いは135°の角度を持った図形パターンで近似することになる。任意角図形20を45°、90°、或いは135°の角度を持った1つの図形パターンで近似すると図形形状の誤差が大きくなるため、図3(b)に示すように、任意角図形20を複数の図形パターン32,34,36,38に分割して定義する。その際、同一図形種かつ同一ピッチで分割していく。図3の例では、x方向に向かってy寸法が一定間隔で小さくなっていく複数の長方形の図形パターン32,34,36,38に分割される。以上のようなx方向に向かってy寸法が一定間隔で小さくなっていく複数の長方形の図形パターン32,34,36,38についても図2で示した描画データ10のフォーマットを用いることで1つのアレイとして定義できる。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a graphic pattern group in which the graphic size expands and contracts at a constant interval while having the same graphic type and the same pitch in the first embodiment. FIG. 3A shows an example of a right triangle (arbitrary angle figure 20) having an angle (arbitrary angle) different from an integer multiple of 45 degrees. When the beam shape is variably shaped by the drawing apparatus, the electron beam is shaped using the first and second shaping apertures. Here, there are cases where the first and second shaping apertures in which the angle of the figure that can be shaped is set to an integral multiple of 45 degrees are used. Specifically, it is molded at an angle of 45 °, 90 °, or 135 °. In such a shaping aperture, a graphic pattern having an angle other than these angles is approximated by a graphic pattern having an angle of 45 °, 90 °, or 135 °. When the arbitrary angle figure 20 is approximated by one figure pattern having an angle of 45 °, 90 °, or 135 °, an error in the figure shape increases. Therefore, as shown in FIG. It is divided into a plurality of
図4は、実施の形態1における同一図形種で同一ピッチでありながら図形サイズが一定間隔で伸縮する図形パターン群の他の一例を示す図である。図4(a)では、45度の整数倍とは異なる角度(任意角)を持った2等辺三角形(任意角図形21)の一例を示す。上述したように成形可能な図形の角度が45度の整数倍に設定された第1と第2の成形アパーチャを用いる場合、図4(b)に示すように、任意角図形21を複数の図形パターン31,33,35,37に分割して定義する。その際、同一図形種かつ同一ピッチで分割していく。図4の例では、x方向に向かってy寸法が一定間隔で大きくなっていく複数の長方形の図形パターン31,33,35,37に分割される。以上のようなx方向に向かってy寸法が一定間隔で大きくなっていく複数の長方形の図形パターン31,33,35,37についても図2で示した描画データ10のフォーマットを用いることで1つのアレイとして定義できる。
FIG. 4 is a diagram showing another example of a graphic pattern group in which the graphic size expands and contracts at regular intervals while having the same graphic type and the same pitch in the first embodiment. FIG. 4A shows an example of an isosceles triangle (arbitrary angle figure 21) having an angle (arbitrary angle) different from an integer multiple of 45 degrees. When using the first and second shaping apertures in which the angle of the figure that can be shaped is set to an integral multiple of 45 degrees as described above, as shown in FIG. The pattern is defined by being divided into
ここで、データフォーマットは図2に示したピッチ指定タイプのデータフォーマットに限るものでない。以下、終了図形座標指定タイプのデータフォーマットについて説明する。 Here, the data format is not limited to the pitch designation type data format shown in FIG. Hereinafter, the data format of the end figure coordinate designation type will be described.
図5は、実施の形態1における、終了図形座標が示された複数の図形パターンの配列の一例を示す概念図である。図5では、縦寸法がLsyで横寸法がLsxの長方形の図形パターン11が、x方向に4個ずつ、y方向に3個ずつ配列される図形パターン群の一例を示している。図5の例では、x方向に1個ずれるたびにΔLxずつ横寸法(x方向寸法)が大きくなり、y方向に1個ずれるたびにΔLyずつ縦寸法(y方向寸法)が大きくなる。そして、最終図形パターン13は、終了図形座標(Xe,Ye)の位置に、縦寸法がLeyで横寸法がLexの長方形の図形パターンとして配置される。図5で示すように、かかる図形パターン群は、同一図形種で同一ピッチでありながら図形サイズが一定寸法差で大きくなっていく。図形のレイウアト自体は図1と同様である。かかるマトリックス状に配列された図形パターン群について、実施の形態1では、1つのアレイパターンとして次のように描画データ中に定義する。
FIG. 5 is a conceptual diagram showing an example of an array of a plurality of graphic patterns in which the end graphic coordinates are shown in the first embodiment. FIG. 5 shows an example of a graphic pattern group in which four rectangular
図6は、実施の形態1における描画データのデータフォーマットの他の一例を示す図である。図6に示す描画データのデータフォーマット12では、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を1つのアレイとして描画データ中に定義する。具体的には、図形種の識別子となる図形コードと、開始図形サイズと、開始図形座標と、終了図形座標と、終了図形サイズと、繰り返し数と、を用いて定義される。開始図形サイズと、開始図形座標と、終了図形座標と、終了図形サイズと、繰り返し数との各項目について、x方向成分とy方向成分についてそれぞれ定義する。言い換えると、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群は、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向の終了図形座標X(Xe)と、y方向の終了図形座標Y(Ye)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数X(Nx)と、y方向の繰り返し数Y(Ny)と、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。かかるデータフォーマットを用いて同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を定義することで1つのアレイとして描画データ中に定義できる。その結果、個々の図形パターンとして定義する場合よりも大幅にデータ量を削減できる。図6のフォーマットでは、始点となる開始図形座標と終点となる終了図形座標が定義され、さらに、繰り返し数も定義されているので、x方向の開始図形座標と終了図形座標間の距離をx方向の繰り返し数から1を減じた数(x方向の繰返し数−1)で除した値を基にすれば、x方向の各図形の配置座標を算出できる。同様に、y方向の開始図形座標と終了図形座標間の距離をy方向の繰り返し数から1を減じた数(y方向の繰返し数−1)で除した値を基にすれば、y方向の各図形の配置座標も算出できる。
FIG. 6 is a diagram illustrating another example of the data format of the drawing data in the first embodiment. In the
ここで、上述したように、終了図形サイズの代わりに、隣り合う図形パターンからの寸法差となる隣り合う要素の伸縮分で定義しても好適である。かかる伸縮分についてもx方向成分とy方向成分についてそれぞれ定義すればよい。言い換えれば、x方向に隣り合う要素の伸縮分X(ΔLx)と、y方向に隣り合う要素の伸縮分Y(ΔLy)で定義してもよい。かかるフォーマットでも1つのアレイとして描画データ中に定義できる。その結果、個々の図形パターンとして定義する場合よりも大幅にデータ量を削減できる。 Here, as described above, instead of the end figure size, it is also preferable to define by the amount of expansion / contraction of an adjacent element that is a dimensional difference from an adjacent figure pattern. Such expansion and contraction may be defined for the x-direction component and the y-direction component, respectively. In other words, the expansion / contraction amount X (ΔLx) of the elements adjacent in the x direction and the expansion / contraction amount Y (ΔLy) of the elements adjacent in the y direction may be defined. Even such a format can be defined in the drawing data as one array. As a result, the amount of data can be greatly reduced as compared with the case of defining as individual graphic patterns.
或いは、上述したように、終了図形サイズの代わりに、開始図形と終了図形との間の寸法差となる最終伸縮サイズで定義しても好適である。かかる最終伸縮サイズについてもx方向成分とy方向成分についてそれぞれ定義すればよい。言い換えれば、x方向の最終伸縮サイズX(ΔLex)と、y方向の最終伸縮サイズY(ΔLey)で定義してもよい。かかるフォーマットでも1つのアレイとして描画データ中に定義できる。その結果、個々の図形パターンとして定義する場合よりも大幅にデータ量を削減できる。 Alternatively, as described above, instead of the end graphic size, it is also preferable to define the final expansion / contraction size as a dimensional difference between the start graphic and the end graphic. The final stretch size may be defined for the x-direction component and the y-direction component. In other words, the final expansion size X (ΔLex) in the x direction and the final expansion size Y (ΔLey) in the y direction may be defined. Even such a format can be defined in the drawing data as one array. As a result, the amount of data can be greatly reduced as compared with the case of defining as individual graphic patterns.
図7は、実施の形態1における複数の図形パターンの配置の配列種の一例を示す図である。図7(a)では、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群が、x,y両方向にマトリックス状に配列される例を示している。図7(b)では、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群が、1つの任意方向に向かって一列に配列される例を示している。図7(c)では、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群が、x方向に向かって一列に配列される例を示している。図7(d)では、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群が、y方向に向かって一列に配列される例を示している。以上のように、かかる図形パターン群の配列種には、マトリックス状の一般型の他、任意方向型、水平方向(x方向)型、及び垂直方向(y方向)型といった特殊型が存在する。 FIG. 7 is a diagram illustrating an example of an array type of arrangement of a plurality of graphic patterns in the first embodiment. FIG. 7A shows an example in which a figure pattern group composed of a plurality of figure patterns having the same figure type and the same pitch but having a large size at regular intervals is arranged in a matrix in both x and y directions. . FIG. 7B shows an example in which a figure pattern group composed of a plurality of figure patterns having the same figure type and the same pitch but having a size that increases at regular intervals is arranged in a line in one arbitrary direction. Yes. FIG. 7C shows an example in which graphic pattern groups composed of a plurality of graphic patterns having the same graphic type and the same pitch and having a size that increases at regular intervals are arranged in a line in the x direction. FIG. 7D shows an example in which a graphic pattern group composed of a plurality of graphic patterns having the same graphic type and the same pitch and having a size increasing at regular intervals is arranged in a line in the y direction. As described above, there are special types such as an arbitrary direction type, a horizontal direction (x direction) type, and a vertical direction (y direction) type in addition to the matrix type general type.
図8は、実施の形態1における各配列種の図形パターン群をピッチ指定タイプ或いは終了図形座標指定タイプで定義する場合のデータフォーマットを示す図である。図8(a)では、各配列種の図形パターン群をピッチ指定タイプ(ピッチ型)で定義する場合のデータフォーマットを示す。図8(b)では、各配列種の図形パターン群を終了図形座標指定タイプ(始点終点型)で定義する場合のデータフォーマットを示す。マトリックス状の一般型の図形パターン群をピッチ型で定義する場合、図8(a)に示すように、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向のピッチX(Px)と、y方向のピッチY(Py)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数X(Nx)と、y方向の繰り返し数Y(Ny)と、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。 FIG. 8 is a diagram showing a data format when the graphic pattern group of each array type in the first embodiment is defined by the pitch designation type or the end graphic coordinate designation type. FIG. 8A shows a data format when the graphic pattern group of each array type is defined by a pitch designation type (pitch type). FIG. 8B shows a data format in the case where the graphic pattern group of each array type is defined by the end graphic coordinate designation type (start point / end point type). When a matrix-shaped general pattern pattern group is defined as a pitch pattern, as shown in FIG. 8A, a graphic code, a starting graphic size X (Lsx) in the x direction, and a starting graphic size Y (in the y direction) Lsy), start figure coordinate X (Xs) in the x direction, start figure coordinate Y (Ys) in the y direction, pitch X (Px) in the x direction, pitch Y (Py) in the y direction, and x direction Data format composed of an end figure size X (Lex), an end figure size Y (Ley) in the y direction, a repeat number X (Nx) in the x direction, and a repeat number Y (Ny) in the y direction It is defined using
任意方向型の図形パターン群をピッチ型で定義する場合、図8(a)に示すように、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向のピッチX(Px)と、y方向のピッチY(Py)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数Xと、y方向の繰り返し数Yと、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。但し、x,y方向以外の任意方向(斜め方向)の場合、斜め方向であることを示す情報が必要となる。そこで、x方向の繰り返し数Xとy方向の繰り返し数Yとのうちの一方に任意方向への繰り返し数(Nx或いはNy)を定義し、他方には繰り返し数としては不正な値、例えば、0やマイナス値を入れる。そして、描画装置へ入力された後のデータ処理の際、繰り返し数としては不正な値が定義されていた場合には任意方向型であると認識するようにルール設定しておけばよい。 When the arbitrary-direction graphic pattern group is defined by the pitch type, as shown in FIG. 8A, the graphic code, the starting graphic size X (Lsx) in the x direction, and the starting graphic size Y (Lsy) in the y direction. X-direction start figure coordinate X (Xs), y-direction start figure coordinate Y (Ys), x-direction pitch X (Px), y-direction pitch Y (Py), and x-direction end It is defined using a data format composed of a figure size X (Lex), an end figure size Y (Ley) in the y direction, a repeat number X in the x direction, and a repeat number Y in the y direction. However, in an arbitrary direction (an oblique direction) other than the x and y directions, information indicating the oblique direction is required. Therefore, the number of repetitions in the arbitrary direction (Nx or Ny) is defined in one of the number of repetitions X in the x direction and the number of repetitions Y in the y direction. Or a negative value. Then, in the data processing after being input to the drawing apparatus, a rule may be set so that it is recognized as an arbitrary direction type if an invalid value is defined as the number of repetitions.
水平方向型の図形パターン群をピッチ型で定義する場合、図8(a)に示すように、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向のピッチX(Px)と、y方向のピッチY(Py)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数X(Nx)と、y方向の繰り返し数Y(1)と、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。水平方向型では、x方向にだけ繰り返すことを示す情報が必要となる。そこで、y方向の繰り返し数Yを1と定義することで水平方向型と把握できる。また、ピッチY(Py)を0と定義することで水平方向型と把握できる。 When the horizontal direction graphic pattern group is defined by the pitch type, as shown in FIG. 8A, as shown in FIG. 8A, the graphic code, the starting graphic size X (Lsx) in the x direction, and the starting graphic size Y (Lsy) in the y direction. X-direction start figure coordinate X (Xs), y-direction start figure coordinate Y (Ys), x-direction pitch X (Px), y-direction pitch Y (Py), and x-direction end A data format composed of a figure size X (Lex), an end figure size Y (Ley) in the y direction, a repeat number X (Nx) in the x direction, and a repeat number Y (1) in the y direction is used. Defined. In the horizontal direction type, information indicating repetition only in the x direction is required. Therefore, by defining the number of repetitions Y in the y direction as 1, it can be grasped as a horizontal type. Further, by defining the pitch Y (Py) as 0, it can be grasped as a horizontal type.
垂直方向型の図形パターン群をピッチ型で定義する場合、図8(a)に示すように、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向のピッチX(Px)と、y方向のピッチY(Py)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数X(1)と、y方向の繰り返し数Y(Ny)と、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。垂直方向型では、y方向にだけ繰り返すことを示す情報が必要となる。そこで、x方向の繰り返し数Xを1と定義することで垂直方向型と把握できる。また、ピッチX(Px)を0と定義することで垂直方向型と把握できる。 When a vertical pattern pattern group is defined as a pitch pattern, as shown in FIG. 8A, a pattern code, a start pattern size X (Lsx) in the x direction, and a start pattern size Y (Lsy) in the y direction. X-direction start figure coordinate X (Xs), y-direction start figure coordinate Y (Ys), x-direction pitch X (Px), y-direction pitch Y (Py), and x-direction end A data format composed of a figure size X (Lex), an end figure size Y (Ley) in the y direction, a repeat number X (1) in the x direction, and a repeat number Y (Ny) in the y direction is used. Defined. In the vertical direction type, information indicating repetition only in the y direction is required. Therefore, by defining the number of repetitions X in the x direction as 1, it can be grasped as a vertical type. Further, by defining the pitch X (Px) as 0, it can be grasped as a vertical type.
マトリックス状の一般型の図形パターン群を始点終点型で定義する場合、図8(b)に示すように、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向の終了図形座標X(Xe)と、y方向の終了図形座標Y(Ye)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数X(Nx)と、y方向の繰り返し数Y(Ny)と、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。 When defining a matrix-like general pattern pattern group as a start point / end point type, as shown in FIG. 8B, a graphic code, a start graphic size X (Lsx) in the x direction, and a start graphic size Y in the y direction (Lsy), x-direction start figure coordinate X (Xs), y-direction start figure coordinate Y (Ys), x-direction end figure coordinate X (Xe), y-direction end figure coordinate Y (Ye) ), X-direction end figure size X (Lex), y-direction end figure size Y (Ley), x-direction repeat number X (Nx), and y-direction repeat number Y (Ny) Defined using a configured data format.
任意方向型の図形パターン群を始点終点型で定義する場合、図8(b)に示すように、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向の終了図形座標X(Xe)と、y方向の終了図形座標Y(Ye)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数Xと、y方向の繰り返し数Yと、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。但し、x,y方向以外の任意方向(斜め方向)の場合、斜め方向であることを示す情報が必要となる。そこで、上述したように、x方向の繰り返し数Xとy方向の繰り返し数Yとのうちの一方に任意方向への繰り返し数(Nx或いはNy)を定義し、他方には繰り返し数としては不正な値、例えば、0やマイナス値を入れる。そして、描画装置へ入力された後のデータ処理の際、繰り返し数としては不正な値が定義されていた場合には任意方向型であると認識するようにルール設定しておけばよい。 When an arbitrary direction type graphic pattern group is defined as a start point / end type, as shown in FIG. 8B, a graphic code, a start graphic size X (Lsx) in the x direction, and a start graphic size Y (Lsy) in the y direction. ), X-direction start figure coordinate X (Xs), y-direction start figure coordinate Y (Ys), x-direction end figure coordinate X (Xe), y-direction end figure coordinate Y (Ye), , Using a data format including an end figure size X (Lex) in the x direction, an end figure size Y (Ley) in the y direction, a repeat number X in the x direction, and a repeat number Y in the y direction. Defined. However, in an arbitrary direction (an oblique direction) other than the x and y directions, information indicating the oblique direction is required. Therefore, as described above, the number of repetitions (Nx or Ny) in an arbitrary direction is defined in one of the number of repetitions X in the x direction and the number of repetitions Y in the y direction, and the number of repetitions is invalid for the other. Enter a value, for example, 0 or a negative value. Then, in the data processing after being input to the drawing apparatus, a rule may be set so that it is recognized as an arbitrary direction type if an invalid value is defined as the number of repetitions.
水平方向型の図形パターン群を始点終点型で定義する場合、図8(b)に示すように、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向の終了図形座標X(Xe)と、y方向の終了図形座標Y(Ye)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数X(Nx)と、y方向の繰り返し数Y(1)と、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。水平方向型では、x方向にだけ繰り返すことを示す情報が必要となる。そこで、上述したように、y方向の繰り返し数Yを1と定義することで水平方向型と把握できる。 When defining a horizontal direction graphic pattern group as a start point / end point type, as shown in FIG. 8B, a graphic code, a start graphic size X (Lsx) in the x direction, and a start graphic size Y (Lsy) in the y direction. ), X-direction start figure coordinate X (Xs), y-direction start figure coordinate Y (Ys), x-direction end figure coordinate X (Xe), y-direction end figure coordinate Y (Ye), , X-direction end figure size X (Lex), y-direction end figure size Y (Ley), x-direction repeat number X (Nx), and y-direction repeat number Y (1). Data format. In the horizontal direction type, information indicating repetition only in the x direction is required. Therefore, as described above, by defining the number of repetitions Y in the y direction as 1, it can be grasped as a horizontal type.
垂直方向型の図形パターン群を始点終点型で定義する場合、図8(b)に示すように、図形コード、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向の終了図形座標X(Xe)と、y方向の終了図形座標Y(Ye)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数X(1)と、y方向の繰り返し数Y(Ny)と、で構成されるデータフォーマットを用いて定義される。垂直方向型では、y方向にだけ繰り返すことを示す情報が必要となる。そこで、上述したように、x方向の繰り返し数Xを1と定義することで垂直方向型と把握できる。 When defining a vertical pattern pattern group as a start point / end pattern, as shown in FIG. 8B, a pattern code, a start pattern size X (Lsx) in the x direction, and a start pattern size Y (Lsy in the y direction). ), X-direction start figure coordinate X (Xs), y-direction start figure coordinate Y (Ys), x-direction end figure coordinate X (Xe), y-direction end figure coordinate Y (Ye), , X-direction end figure size X (Lex), y-direction end figure size Y (Ley), x-direction repetition number X (1), and y-direction repetition number Y (Ny). Data format. In the vertical direction type, information indicating repetition only in the y direction is required. Therefore, as described above, by defining the number of repetitions X in the x direction as 1, it can be grasped as a vertical type.
図8の例では、各配列種の図形パターン群をピッチ指定タイプ或いは終了図形座標指定タイプの同じデータ量のデータフォーマットで定義したがこれに限るものではない。以下、配列種に応じてデータ量を可変にしたデータフォーマットについて説明する。 In the example of FIG. 8, the graphic pattern group of each array type is defined by the data format of the same data amount of the pitch designation type or the end graphic coordinate designation type, but the present invention is not limited to this. Hereinafter, a data format in which the data amount is variable according to the array type will be described.
図9は、実施の形態1における図形パターン群を図形座標指定タイプで定義する際の配列種に応じてデータ数が異なるデータフォーマットを示す図である。マトリックス状の一般型の図形パターン群を始点終点型で定義する場合、図9(a)に示すように、図形コード、複数の図形パターンの配置の配列種を示す配列種識別子のうちマトリックス状の一般型であることを示す型識別情報(Type)と、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向の終了図形座標X(Xe)と、y方向の終了図形座標Y(Ye)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、x方向の繰り返し数X(Nx)と、y方向の繰り返し数Y(Ny)と、で構成されるデータフォーマット15を用いて定義される。かかるデータフォーマット15では、マトリックス状の一般型の1つのアレイについて情報数が12個となる。
FIG. 9 is a diagram showing a data format in which the number of data differs depending on the arrangement type when the graphic pattern group in the first embodiment is defined by the graphic coordinate designation type. When defining a matrix-like general pattern pattern group as a start point / end-point type, as shown in FIG. Type identification information (Type) indicating a general type, a starting figure size X (Lsx) in the x direction, a starting figure size Y (Lsy) in the y direction, and a starting figure coordinate X (Xs) in the x direction , Y-direction start figure coordinate Y (Ys), x-direction end figure coordinate X (Xe), y-direction end figure coordinate Y (Ye), x-direction end figure coordinate X (Lex), y It is defined using a
任意方向型の図形パターン群を始点終点型で定義する場合、図9(b)に示すように、図形コード、複数の図形パターンの配置の配列種を示す配列種識別子のうち任意方向型であることを示す型識別情報(Type)と、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向の終了図形座標X(Xe)と、y方向の終了図形座標Y(Ye)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、繰り返し数(N)と、で構成されるデータフォーマット14を用いて定義される。ここでは、任意方向型であることを示す型識別情報が定義されるため、繰り返し数の情報は1つあれば足りる。そのため、かかるデータフォーマット14では、任意方向型の1つのアレイについて情報数が11個となる。 When an arbitrary-direction type graphic pattern group is defined as a start point / end-point type, as shown in FIG. 9B, it is an arbitrary direction type among a graphic code and an array type identifier indicating an array type of a plurality of graphic patterns. Type identification information (Type) indicating that, x-direction start figure size X (Lsx), y-direction start figure size Y (Lsy), x-direction start figure coordinate X (Xs), and y-direction start figure size X (Lsx) Start figure coordinate Y (Ys), end figure coordinate X (Xe) in the x direction, end figure coordinate Y (Ye) in the y direction, end figure size X (Lex) in the x direction, and end figure in the y direction It is defined using a data format 14 composed of a size Y (Ley) and a repetition number (N). Here, since type identification information indicating that the type is an arbitrary direction is defined, only one information on the number of repetitions is sufficient. Therefore, in the data format 14, the number of information is 11 for one arbitrary direction type array.
水平方向型の図形パターン群を始点終点型で定義する場合、図9(c)に示すように、図形コード、複数の図形パターンの配置の配列種を示す配列種識別子のうち水平方向型であることを示す型識別情報(Type)と、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、x方向の終了図形座標X(Xe)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、繰り返し数(N)と、で構成されるデータフォーマット16を用いて定義される。ここでは、水平方向型であることを示す型識別情報が定義されるため、x方向の終了図形座標X(Xe)が定義されていればよく、y方向の終了図形座標Y(Ye)の情報が無くとも足りる。また、繰り返し数の情報も1つあれば足りる。そのため、かかるデータフォーマット16では、水平方向型の1つのアレイについて情報数が10個となる。
When defining a horizontal type graphic pattern group with a start point / end type, as shown in FIG. 9C, the horizontal type is the horizontal type among the arrangement type identifiers indicating the arrangement type of the arrangement of the figure code and the plurality of figure patterns. Type identification information (Type) indicating that, x-direction start figure size X (Lsx), y-direction start figure size Y (Lsy), x-direction start figure coordinate X (Xs), and y-direction start figure size X (Lsx) Start figure coordinate Y (Ys), end figure coordinate X (Xe) in the x direction, end figure size X (Lex) in the x direction, end figure size Y (Ley) in the y direction, and number of repetitions (N) Are defined using a
垂直方向型の図形パターン群を始点終点型で定義する場合、図9(c)に示すように、図形コード、複数の図形パターンの配置の配列種を示す配列種識別子のうち垂直方向型であることを示す型識別情報(Type)と、x方向の開始図形サイズX(Lsx)と、y方向の開始図形サイズY(Lsy)と、x方向の開始図形座標X(Xs)と、y方向の開始図形座標Y(Ys)と、y方向の終了図形座標Y(Ye)と、x方向の終了図形サイズX(Lex)と、y方向の終了図形サイズY(Ley)と、繰り返し数(N)と、で構成されるデータフォーマット18を用いて定義される。ここでは、垂直方向型であることを示す型識別情報が定義されるため、y方向の終了図形座標Y(Ye)が定義されていればよく、x方向の終了図形座標X(Xe)の情報が無くとも足りる。また、繰り返し数の情報も1つあれば足りる。そのため、かかるデータフォーマット18では、垂直方向型の1つのアレイについて情報数が10個となる。
When the vertical pattern pattern group is defined as the start point / end pattern type, as shown in FIG. 9C, the vertical pattern type is used among the layout type identifiers indicating the layout type of the graphic code and the plurality of graphic patterns. Type identification information (Type) indicating that, x-direction start figure size X (Lsx), y-direction start figure size Y (Lsy), x-direction start figure coordinate X (Xs), and y-direction start figure size X (Lsx) Start figure coordinate Y (Ys), end figure coordinate Y (Ye) in the y direction, end figure size X (Lex) in the x direction, end figure size Y (Ley) in the y direction, and number of repetitions (N) Are defined using a
以上のように、任意方向型、水平方向型、及び垂直方向型では、繰り返し数として、一方向分の繰り返し数を定義すればよい。これにより、2方向(x,y方向)分の繰り返し数を定義する場合より情報数を1つ削減できる。さらに、水平方向型、及び垂直方向型では、終了図形座標として、一方向分の座標を定義すればよい。これにより、2方向(x,y方向)分の終了図形座標を定義する場合より情報数を1つ削減できる。 As described above, in the arbitrary direction type, the horizontal direction type, and the vertical direction type, the number of repetitions for one direction may be defined as the number of repetitions. Thereby, the number of information can be reduced by one as compared with the case where the number of repetitions for two directions (x and y directions) is defined. Furthermore, in the horizontal direction type and the vertical direction type, coordinates for one direction may be defined as end figure coordinates. As a result, the number of information can be reduced by one as compared to the case of defining the end figure coordinates for two directions (x, y directions).
以上のように、型識別情報(Type)を定義することで、配列種に応じてデータ量を削減できる。 As described above, by defining the type identification information (Type), the amount of data can be reduced according to the array type.
ここで、終了図形サイズの代わりに、隣り合う要素の伸縮分、或いは、最終伸縮サイズで定義しても好適である点は上述した通りである。また、終了図形座標の代わりにピッチで定義してもよい。かかる場合、マトリックス状の一般型では、x方向の終了図形座標X(Xe)の代わりにx方向のピッチX(Px)が定義され、y方向の終了図形座Y(Ye)の代わりにy方向のピッチY(Py)が定義されるので、情報数は12となる。水平方向型では、x方向の終了図形座標X(Xe)の代わりにx方向のピッチX(Px)が定義されるので、情報数は10となる。垂直方向型では、y方向の終了図形座Y(Ye)の代わりにy方向のピッチY(Py)が定義されるので、情報数は10となる。 Here, as described above, it is preferable to define the expansion / contraction amount of adjacent elements or the final expansion / contraction size instead of the end figure size. Moreover, you may define with a pitch instead of an end figure coordinate. In such a case, in the matrix-like general type, the pitch X (Px) in the x direction is defined instead of the end figure coordinate X (Xe) in the x direction, and the y direction instead of the end figure locus Y (Ye) in the y direction. Since the pitch Y (Py) is defined, the number of information is 12. In the horizontal direction type, since the pitch X (Px) in the x direction is defined instead of the end figure coordinate X (Xe) in the x direction, the number of information is 10. In the vertical direction type, since the pitch Y (Py) in the y direction is defined instead of the end figure locus Y (Ye) in the y direction, the number of information is 10.
図10は、実施の形態1におけるデータフォーマットの描画データと従来のデータフォーマットの描画データとにおける図形数とデータ量の関係を示す図である。従来のデータフォーマットのように、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きく或いは小さくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を、個々の図形パターンとして定義した描画データを作成する方法では、図形数に比例してデータ量が増加する。これに対して、実施の形態1のように、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きく或いは小さくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を、1つのアレイとして定義した描画データを作成する方法では、アレイ内の図形が増えてもデータ量は増加しない。よって、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きく或いは小さくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群が配置されるパターンレイアウトでは、描画データのデータ量を大幅に低減できる。
FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the number of figures and the data amount in the drawing data in the data format in
図11は、実施の形態1における描画データの作成装置の構成の一例を示す概念図である。描画データの作成装置50は、CPU等の制御計算機52、メモリ54、及び磁気ディスク装置等の記憶装置56,58を備えている。記憶装置56にはCADデータ等の設計データが外部から入力され、記憶(格納)されている。制御計算機52は、記憶装置56から設計データを読み出し、同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きく或いは小さくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群について、上述したデータフォーマットで定義した描画データを作成する。そして、作成された描画データは記憶装置58に出力され、記憶(格納)される。制御計算機52に入力或いは出力される情報、演算中の情報はその都度メモリ54に一時的に記憶される。
FIG. 11 is a conceptual diagram showing an example of the configuration of the drawing data creation apparatus according to the first embodiment. The drawing
図12は、実施の形態1における描画データを入力して、パターンを描画する描画装置の構成を示す概念図である。図12において、描画装置100は、描画部150と制御部160を備えている。描画装置100は、荷電粒子ビーム描画装置の一例である。特に、可変成形型の描画装置の一例である。描画部150は、電子鏡筒102と描画室103を備えている。電子鏡筒102内には、電子銃201、照明レンズ202、第1のアパーチャ203、投影レンズ204、偏向器205、第2のアパーチャ206、対物レンズ207、主偏向器208及び副偏向器209が配置されている。描画室103内には、XYステージ105が配置される。XYステージ105上には、描画時には描画対象となるマスク等の試料101が配置される。試料101には、半導体装置を製造する際の露光用マスクが含まれる。また、試料101には、まだ何も描画されていないマスクブランクスが含まれる。
FIG. 12 is a conceptual diagram showing a configuration of a drawing apparatus that inputs drawing data and draws a pattern in the first embodiment. In FIG. 12, the
制御部160は、制御計算機110、メモリ111、制御回路120、及び磁気ディスク装置等の記憶装置140,142を有している。制御計算機110、メモリ111、制御回路120、及び磁気ディスク装置等の記憶装置140,142は、図示しないバスを介して互いに接続されている。描画装置100にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、位置偏向用には、主偏向器208と副偏向器209の主副2段の偏向器を用いているが、1段の偏向器によって位置偏向を行なう場合であってもよい。
The
記憶装置140には、作成された描画データが外部より入力され記憶(格納)される。描画データ処理部となる制御計算機110は、記憶装置140から描画データを読み出し、複数段のデータ変換処理を行って、描画装置固有のフォーマットとなるショットデータを生成する。そして、ショットデータは記憶装置142に出力され記憶される。制御計算機110に入力或いは出力される情報、演算中の情報はその都度メモリ111に一時的に記憶される。制御回路120は、記憶装置142からショットデータを読み出し、ショットデータに従って、描画部150を制御する。描画部150は、電子ビーム200を用いて、描画データ中に定義された図形パターン群を試料101に描画する。描画部150は、具体的には以下のように動作する。
The created drawing data is input from the outside and stored (stored) in the
電子銃201(放出部)から放出された電子ビーム200は、照明レンズ202により矩形例えば長方形の穴を持つ第1のアパーチャ203全体を照明する。ここで、電子ビーム200をまず矩形例えば長方形に成形する。そして、第1のアパーチャ203を通過した第1のアパーチャ像の電子ビーム200は、投影レンズ204により第2のアパーチャ206上に投影される。偏向器205によって、かかる第2のアパーチャ206上での第1のアパーチャ像は偏向制御され、ビーム形状と寸法を変化させることができる。このように電子ビームは可変成形される。そして、第2のアパーチャ206を通過した第2のアパーチャ像の電子ビーム200は、対物レンズ207により焦点を合わせ、主偏向器208及び副偏向器209によって偏向され、連続的に移動するXYステージ105に配置された試料101の所望する位置に照射される。図12では、位置偏向に、主副2段の多段偏向を用いた場合を示している。かかる場合には、主偏向器208でストライプ領域を仮想分割した小領域となるサブフィールド(SF)の基準位置にステージ移動に追従しながら電子ビーム200を偏向し、副偏向器209でSF内の各照射位置にかかるビームを偏向すればよい。
The
以上のように、本実施の形態によれば、1つのアレイとして図形パターン群を定義できるので、描画データのデータ量を低減できる。よって、データ処理を行う際のデータ読み込み時間や描画処理を行う総処理時間(TAT)の遅延を抑制できる。 As described above, according to this embodiment, a graphic pattern group can be defined as one array, so that the amount of drawing data can be reduced. Therefore, it is possible to suppress delays in data reading time when performing data processing and total processing time (TAT) in which drawing processing is performed.
以上、具体例を参照しつつ実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。 The embodiments have been described above with reference to specific examples. However, the present invention is not limited to these specific examples.
また、装置構成や制御手法等、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる装置構成や制御手法を適宜選択して用いることができる。例えば、描画装置100を制御する制御部構成については、記載を省略したが、必要とされる制御部構成を適宜選択して用いることは言うまでもない。
In addition, although descriptions are omitted for parts and the like that are not directly required for the description of the present invention, such as a device configuration and a control method, a required device configuration and a control method can be appropriately selected and used. For example, although the description of the control unit configuration for controlling the
その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての荷電粒子ビーム描画装置及び方法は、本発明の範囲に包含される。 In addition, all charged particle beam writing apparatuses and methods that include elements of the present invention and that can be appropriately modified by those skilled in the art are included in the scope of the present invention.
10,12,14,15,16,18 データフォーマット
11,13 図形パターン
20,21 任意角図形
31,33,35,37 図形パターン
32,34,36,38 図形パターン
50 描画データの作成装置
52 制御計算機
54 メモリ
56,58 記憶装置
100 描画装置
101,340 試料
102 電子鏡筒
103 描画室
105 XYステージ
110 制御計算機
111 メモリ
120 制御回路
140,142 記憶装置
150 描画部
160 制御部
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203,410 第1のアパーチャ
204 投影レンズ
205 偏向器
206,420 第2のアパーチャ
207 対物レンズ
208 主偏向器
209 副偏向器
330 電子線
411 開口
421 可変成形開口
430 荷電粒子ソース
10, 12, 14, 15, 16, 18
Claims (5)
同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きく或いは小さくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を、1つのアレイとして、終了図形サイズ、隣り合う図形からの寸法差、及び開始図形と終了図形との間の寸法差のうちの1つと、図形種の識別子と、開始図形サイズと、開始図形座標と、終了図形座標と、繰り返し数と、を用いて定義されるように、描画データを作成することを特徴とする描画データの作成方法。 A method of creating drawing data for drawing a graphic pattern on a sample using a charged particle beam,
A graphic pattern group consisting of a plurality of graphic patterns having the same graphic type and the same pitch but having a size that is increased or decreased at regular intervals as one array, an end graphic size, a dimensional difference from adjacent graphics, and a start graphic Rendering data as defined using one of the dimensional differences from the end figure, the figure type identifier, the start figure size, the start figure coordinates, the end figure coordinates, and the number of repetitions. A method of creating drawing data, characterized by creating
同一図形種かつ同一ピッチでありながらサイズが一定間隔で大きく或いは小さくなる複数の図形パターンからなる図形パターン群を、1つのアレイとして、終了図形サイズ、隣り合う図形からの寸法差、及び開始図形と終了図形との寸法差のうちの1つと、図形種の識別子と、開始図形サイズと、開始図形座標と、ピッチと、繰り返し数と、を用いて定義されるように、描画データを作成することを特徴とする描画データの作成方法。 A method of creating drawing data for drawing a graphic pattern on a sample using a charged particle beam,
A graphic pattern group consisting of a plurality of graphic patterns having the same graphic type and the same pitch but having a size that is increased or decreased at regular intervals as one array, an end graphic size, a dimensional difference from adjacent graphics, and a start graphic Create drawing data as defined using one of the dimensional differences from the end figure, the figure type identifier, the start figure size, the start figure coordinates, the pitch, and the number of repetitions. A method of creating drawing data characterized by
前記繰り返し数として、一方向分の繰り返し数を定義し、
前記終了図形座標として、一方向分の座標を定義することを特徴とする請求項1記載の描画データの作成方法。 Creating the drawing data to be further defined using an array type identifier indicating an array type of the plurality of graphic pattern arrangements;
Define the number of repetitions for one direction as the number of repetitions,
The drawing data creation method according to claim 1, wherein coordinates for one direction are defined as the end figure coordinates.
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