JP2012079984A - Mounting method of semiconductor device, semiconductor module, and electronic information device - Google Patents

Mounting method of semiconductor device, semiconductor module, and electronic information device Download PDF

Info

Publication number
JP2012079984A
JP2012079984A JP2010225253A JP2010225253A JP2012079984A JP 2012079984 A JP2012079984 A JP 2012079984A JP 2010225253 A JP2010225253 A JP 2010225253A JP 2010225253 A JP2010225253 A JP 2010225253A JP 2012079984 A JP2012079984 A JP 2012079984A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor device
mounting
mounting substrate
semiconductor
solid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2010225253A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shirohiko Orita
城彦 折田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2010225253A priority Critical patent/JP2012079984A/en
Publication of JP2012079984A publication Critical patent/JP2012079984A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/35Mechanical effects
    • H01L2924/351Thermal stress

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a semiconductor module which enables a solid state imaging module to be mounted easily and securely with a mounting surface of a mounting substrate and the solid state imaging module maintained in a horizontal state and prevents image defects while maintaining bonding strengh of solder between wiring of the mounting substrate and a terminal of a solid state imaging device and heat radiation effect in the solid imaging module in which the solid image device is mounted on the mounting substrate.SOLUTION: A mounting substrate 102 has recessed parts 107, each of which is formed so as to position a pearl ball (spacer member) 105 on its surface. A semiconductor device 104 is disposed on the mounting substrate 102 so that a bottom surface of the semiconductor device 104 contacts with the pearl balls 105 which are respectively disposed in the recessed parts 107 of the mounting substrate 102.

Description

本発明は、半導体デバイスの実装方法、半導体モジュール、および電子情報機器に関し、特に、実装基板上に半導体デバイスを一定間隔だけ浮かせて実装する方法、及びこのように実装基板上に半導体デバイスを実装してなる半導体モジュール、並びに、この半導体モジュールを搭載した電子情報機器に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor device mounting method, a semiconductor module, and an electronic information device, and more particularly, a method of mounting a semiconductor device by floating a predetermined distance on a mounting substrate, and thus mounting the semiconductor device on the mounting substrate. The present invention relates to a semiconductor module and an electronic information device in which the semiconductor module is mounted.

従来から、実装基板上に半導体デバイスを一定間隔だけ浮かせて実装してなる半導体モジュールとして、例えば固体撮像モジュールがあり、このような固体撮像モジュールは、主に、カメラモジュールとして、カメラ付の携帯電話装置や携帯端末装置(PDA)、さらに車載用カメラなどに用いられている。   2. Description of the Related Art Conventionally, as a semiconductor module in which a semiconductor device is mounted on a mounting substrate while being floated at a predetermined interval, for example, there is a solid-state imaging module. Such a solid-state imaging module is mainly used as a camera module and a mobile phone with a camera. It is used in devices, portable terminal devices (PDAs), and in-vehicle cameras.

このような半導体モジュールの一例として、特許文献1には固体撮像モジュールが開示されている。   As an example of such a semiconductor module, Patent Document 1 discloses a solid-state imaging module.

図9は、この特許文献1に開示の従来の固体撮像モジュールを説明する概略断面図である。図10は、上記固体撮像モジュールを構成する実装基板及び固体撮像デバイスを説明する斜視図であり、実装基板2上に固体撮像デバイス4が実装されている状態を示している。図11は、上記固体撮像素子4を説明する図であり、該固体撮像素子4の外観を示す斜視図(図(a))及び該固体撮像素子4の裏面を示す平面図(図(b))である。   FIG. 9 is a schematic cross-sectional view illustrating a conventional solid-state imaging module disclosed in Patent Document 1. In FIG. FIG. 10 is a perspective view for explaining the mounting substrate and the solid-state imaging device that constitute the solid-state imaging module, and shows a state in which the solid-state imaging device 4 is mounted on the mounting substrate 2. FIG. 11 is a diagram for explaining the solid-state imaging device 4, and is a perspective view showing the appearance of the solid-state imaging device 4 (FIG. 11A) and a plan view showing the back surface of the solid-state imaging device 4 (FIG. 11B). ).

この固体撮像モジュール10は、マウント基板(実装基板)2上に上記半導体デバイスである固体撮像デバイス4を一定間隔だけ浮かせて実装し、該実装基板に被写体からの光を固体撮像デバイス4に導くための光学部品を装着してなるものである。ここで、上記実装基板2は、具体的には、セラミックやガラス入りエポキシ樹脂などのプリント基板である。   The solid-state imaging module 10 mounts the solid-state imaging device 4, which is a semiconductor device, on the mounting substrate (mounting substrate) 2 while being floated at a predetermined interval, and guides light from the subject to the solid-state imaging device 4 on the mounting substrate. These optical parts are mounted. Here, the mounting board 2 is specifically a printed board such as ceramic or glass-filled epoxy resin.

また、固体撮像デバイス4は、被写体を撮像する固体撮像チップ(半導体素子)3をパッケージ4aに収容してなるものであり、該固体撮像チップ3は、被写体からの光を光電変換する複数の受光部と、各受光部からの光電変換により得られた画像信号を外部に取り出すための信号処理回路とを有している。この固体撮像デバイス4のパッケージ4aの下面側部には、パッケージ4a内に収容した固体撮像チップ3のチップ電極に接続された端子4bが形成されており、この端子4bは、プリント基板2上に形成された配線2aの端部(ランド部)と半田により電気的に接続されている。   The solid-state imaging device 4 includes a solid-state imaging chip (semiconductor element) 3 that images a subject in a package 4a. The solid-state imaging chip 3 receives a plurality of light-receiving elements that photoelectrically convert light from the subject. And a signal processing circuit for taking out an image signal obtained by photoelectric conversion from each light receiving unit to the outside. A terminal 4b connected to the chip electrode of the solid-state imaging chip 3 accommodated in the package 4a is formed on the lower surface side portion of the package 4a of the solid-state imaging device 4, and the terminal 4b is formed on the printed circuit board 2. The end portion (land portion) of the formed wiring 2a is electrically connected by solder.

また、上記プリント基板2上には、被写体からの光を上記固体撮像デバイスの固体撮像チップ4に集光する集光レンズ11と、該集光レンズ11を保持するレンズホルダ12と、該固体撮像デバイス4と集光レンズ11との間に位置するよう該レンズホルダ12に取り付けられ、赤外線カットフィルタが表面にコーティングされたガラス板13とを有している。   Further, on the printed circuit board 2, a condensing lens 11 that condenses light from a subject onto the solid-state imaging chip 4 of the solid-state imaging device, a lens holder 12 that holds the condensing lens 11, and the solid-state imaging It has the glass plate 13 attached to this lens holder 12 so that it may be located between the device 4 and the condensing lens 11, and the infrared cut filter was coated on the surface.

また、このような固体撮像モジュール10では、集光レンズ11の光軸と固体撮像チップ3の光軸が一致し、かつ集光レンズ11による結像面上に固体撮像チップ3の受光面が位置するよう、これらを精度よく位置きめすることは、鮮明な画像を得るために重要である。   Further, in such a solid-state imaging module 10, the optical axis of the condensing lens 11 and the optical axis of the solid-state imaging chip 3 coincide with each other, and the light-receiving surface of the solid-state imaging chip 3 is positioned on the image formation plane by the condensing lens 11 In order to obtain a clear image, it is important to position them accurately.

また、実装基板2に、固体撮像モジュール4を該実装基板2の実装面から一定の間隔だけ浮かして実装することは、実装基板2と固体撮像モジュール4のパッケージ4aとの熱膨張係数の差に起因する熱応力を緩和し、また、実装基板2の配線(ランド部)と固体撮像モジュール4の端子との半田付けの強度、固体撮像モジュールの放熱性を確保する上で重要である。   Further, mounting the solid-state imaging module 4 on the mounting board 2 with a certain distance from the mounting surface of the mounting board 2 causes a difference in thermal expansion coefficient between the mounting board 2 and the package 4 a of the solid-state imaging module 4. This is important for relieving the thermal stress caused and ensuring the soldering strength between the wiring (land portion) of the mounting substrate 2 and the terminals of the solid-state imaging module 4 and the heat dissipation of the solid-state imaging module.

このため、この固体撮像モジュール10では、固体撮像モジュール4の裏面と実装基板2の実装面との間にスペーサ部材として、例えば、樹脂製のボール部材5を配置して、固体撮像モジュール4のパッケージ4aと実装基板2との一定の間隔を確保している。   For this reason, in the solid-state imaging module 10, for example, a resin ball member 5 is disposed as a spacer member between the back surface of the solid-state imaging module 4 and the mounting surface of the mounting substrate 2, and the package of the solid-state imaging module 4. A certain distance between 4a and the mounting substrate 2 is secured.

このような従来の半導体デバイス10の実装方法では、実装基板と半導体デバイスとの間に、目標間隔保持用のボール部材を介在させた状態で、該実装基板の配線の端部、つまりランド部と該半導体デバイスの各端子とを接合している。   In such a conventional semiconductor device 10 mounting method, with a ball member for holding a target interval interposed between the mounting substrate and the semiconductor device, the end portion of the wiring of the mounting substrate, that is, the land portion, Each terminal of the semiconductor device is joined.

以下、特許文献1に開示の従来の半導体デバイスの実装方法について説明する。   Hereinafter, a conventional semiconductor device mounting method disclosed in Patent Document 1 will be described.

この半導体デバイスの実装方法は、前記配線の各ランド部上にそれぞれ、各ペイスト状半田材料をそれぞれ配置する半田材料配置工程と、該各ペイスト状半田材料上の一部または全部にそれぞれ、前記ボールを載置するボール載置工程と、前記半導体デバイスを、該半導体デバイスの各端子と該配線の各ランド部とをそれぞれ位置合わせして、前記ボール上に載置する半導体デバイス載置工程と、該各ペイスト状半田材料を溶融させて、該半導体デバイスの各端子と該配線の各ランド部とをそれぞれ接合する半導体デバイス接合工程とを有している。   The semiconductor device mounting method includes a solder material placement step of placing each paste-like solder material on each land portion of the wiring, and a part or all of the paste-like solder material on each of the balls. And a semiconductor device placement step of placing the semiconductor device on the ball by aligning each terminal of the semiconductor device and each land portion of the wiring, respectively, A semiconductor device bonding step of melting each paste-like solder material and bonding each terminal of the semiconductor device and each land portion of the wiring;

なお、上記ボールは、上記のように配線のランド部上のペイスト状半田材料上ではなくて、代わりに、該ランド部近接の配線領域以外の位置に塗布された熱硬化樹脂材料上に配置してもよい。   The balls are not placed on the paste-like solder material on the land portion of the wiring as described above, but instead are placed on the thermosetting resin material applied at a position other than the wiring region in the vicinity of the land portion. May be.

以下、さらに、具体的に従来の半導体デバイスの実装方法を説明する。   Hereinafter, a conventional method for mounting a semiconductor device will be described more specifically.

図12及び図13は、それぞれこの半導体デバイスの実装方法を説明する図であり、図12(a)〜図12(e)は半導体デバイスの実装方法における各工程を説明する斜視図であり、図13(a)〜図13(e)は、図12(a)〜図12(e)に対応する断面図である。   12 and 13 are diagrams for explaining the semiconductor device mounting method, and FIGS. 12A to 12E are perspective views for explaining the respective steps in the semiconductor device mounting method. 13 (a) to 13 (e) are cross-sectional views corresponding to FIGS. 12 (a) to 12 (e).

まず、所定のパターンを有する配線2aがその表面に形成された実装基板2を実装装置の基板載置台(図示せず)上に載置する(図12(a)、図13(a))。   First, the mounting substrate 2 on which the wiring 2a having a predetermined pattern is formed is mounted on a substrate mounting table (not shown) of the mounting apparatus (FIGS. 12A and 13A).

次に、該実装基板2の配線2aの端部(ランド部)、つまり固体撮像デバイスを実装する領域側に位置する端部上に選択的にペイスト状半田材料6aを塗布する(図12(b)、図13(b))。   Next, a paste-like solder material 6a is selectively applied to the end portion (land portion) of the wiring 2a of the mounting substrate 2, that is, the end portion located on the side where the solid-state imaging device is mounted (FIG. 12B). ), FIG. 13 (b)).

さらに、実装装置のボール吸着ノズルを有するロボットアームにより、塗布したペイスト状半田材料6aのうち、外側の4箇所のペイスト状半田材料6a上にそれぞれボール部材5を順次載置する。このとき、ボール部材5の自重によりボール部材5がペイスト状半田材料内に沈む(図12(c)、図13(c))。ここでは、ボール部材5の直径はこのペイスト状半田材料6aの厚さ0.25mmよりも大きく、ボール部材5の直径及びペイスト状半田材料の厚さ6aは、ペイスト状半田材料6a内にボール部材5が自重で沈んでもこのボール部材5の上面部分が露出するような寸法になっている。   Further, the ball members 5 are sequentially placed on the outer four paste-like solder materials 6a of the applied paste-like solder material 6a by the robot arm having the ball suction nozzle of the mounting apparatus. At this time, the ball member 5 sinks into the paste-like solder material due to its own weight (FIGS. 12C and 13C). Here, the diameter of the ball member 5 is larger than the thickness 0.25 mm of the paste-like solder material 6a, and the diameter of the ball member 5 and the thickness 6a of the paste-like solder material are within the ball-like solder material 6a. The size of the ball member 5 is such that the upper surface portion of the ball member 5 is exposed even if the ball 5 sinks under its own weight.

さらに、固体撮像デバイス4を実装装置により、固体撮像デバイス4の裏面側の各端子4aを各ペイスト状半田材料6aに位置合せして、固体撮像デバイス4を4箇所のボール部材5上にこれらにより支持されるよう載置する(図12(d)、図13(d))。   Further, the solid-state imaging device 4 is aligned with each paste-like solder material 6a by using the mounting apparatus and the terminals 4a on the back side of the solid-state imaging device 4 are placed on the ball members 5 at four locations. It mounts so that it may be supported (FIG.12 (d), FIG.13 (d)).

その後、固体撮像デバイス4が実装された実装基板2を例えばリフロー炉に入れて加熱することにより、ペイスト状半田材料6aが溶融し、その後、実装基板2を冷却することで、固体撮像デバイス4裏面の端子4aと、配線2aの端部(ランド部)とが半田6により接合される(図12(e)、図13(e))。   Thereafter, the mounting substrate 2 on which the solid-state imaging device 4 is mounted is heated in, for example, a reflow furnace, whereby the paste-like solder material 6a is melted, and then the mounting substrate 2 is cooled, whereby the back surface of the solid-state imaging device 4 is obtained. The terminal 4a and the end portion (land portion) of the wiring 2a are joined by the solder 6 (FIGS. 12E and 13E).

なお、上記従来の実装方法では、ボール部材を、実装基板の配線のランド部に塗布したペイスト状半田材料上に載置する場合を示しているが、ボール部材は、実装基板上の配線のランド部以外の位置に配置してもよく、ボール部材を配置する領域に熱硬化性樹脂を塗布し、この塗布した熱硬化性樹脂上にボール部材を載置する場合もある。   In the above conventional mounting method, the ball member is mounted on a paste-like solder material applied to the land portion of the wiring on the mounting board. However, the ball member is formed on the wiring land on the mounting board. The thermosetting resin may be applied to a region where the ball member is arranged, and the ball member may be placed on the applied thermosetting resin.

特開2010−016013号公報JP 2010-016013 A

以上説明したように、上記従来の半導体デバイスの実装方法では、目標間隔保持用のボール部材、つまり、実装基板上に半導体デバイスを所定の間隔だけ浮かせて配置するためのスペーサとしてのボール部材を、マウント基板上に搭載する場合には、配線のランド部上のペイスト状半田材料の上、または配線のランド部近接であって配線領域以外の位置に塗布された熱硬化樹脂材料の上に、ボール部材を載置することとなる。   As described above, in the above conventional semiconductor device mounting method, a ball member for maintaining a target interval, i.e., a ball member as a spacer for placing the semiconductor device on the mounting substrate by being floated by a predetermined interval, When mounted on the mounting substrate, the ball is placed on the paste-like solder material on the wiring land portion or on the thermosetting resin material applied in the vicinity of the wiring land portion and outside the wiring region. A member will be mounted.

ところが、ボール部材を載置する領域に塗布されたペイスト状半田材料または熱効果樹脂材料では、その塗布量、粘性、形状、位置などがばらつく場合があり、このような場合には、ボール部材の頂上位置の高さが変動して、半導体デバイスと実装基板との間隔がばらついたり、半導体デバイスが実装基板の表面に対して傾いたりした状態で、半導体デバイスが実装基板上に実装されてしまうこととなる。また、ペイスト状半田材料が溶融したときに、また、熱硬化樹脂材料が硬化する前に、半導体デバイスがボール部材とともに位置ずれする場合もある。   However, in a paste-like solder material or heat-effect resin material applied to a region where the ball member is placed, the application amount, viscosity, shape, position, etc. may vary. The height of the top position varies and the distance between the semiconductor device and the mounting board varies, or the semiconductor device is mounted on the mounting board with the semiconductor device tilted with respect to the surface of the mounting board. It becomes. Further, the semiconductor device may be displaced with the ball member when the paste-like solder material is melted or before the thermosetting resin material is cured.

その結果、固体撮像デバイスを搭載したカメラモジュールなどの半導体モジュールでは、レンズの焦点距離が固体撮像デバイスにおける固体撮像素子の受光面の位置によって、例えば受光面の中央部とその周辺部とで、光軸に沿ったレンズまでの距離が異なることとなり、フォーカス不良、光軸不良、または、周辺解像度不良などの問題が生ずることになる。   As a result, in a semiconductor module such as a camera module equipped with a solid-state imaging device, the focal length of the lens varies depending on the position of the light-receiving surface of the solid-state imaging device in the solid-state imaging device. The distance to the lens along the axis will be different, resulting in problems such as poor focus, poor optical axis, or poor peripheral resolution.

本発明は、上記従来のような問題を解決するためになされたもので、実装基板上に半導体モジュールを所定の間隔だけ浮かせて精度よく実装することができ、実装基板とその上の半導体デバイスとの離間間隔、あるいは実装基板に対する半導体デバイスの傾きがばらつくのを回避することができる半導体デバイスの実装方法、このように実装基板上に半導体デバイスを精度よく実装してなる半導体モジュール、並びに、この半導体モジュールを搭載した電子情報機器を得ることを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-described conventional problems. A semiconductor module can be floated on a mounting substrate by a predetermined interval with high accuracy, and the mounting substrate, the semiconductor device on the mounting substrate, Semiconductor device mounting method capable of avoiding variation in the spacing of the semiconductor device or the inclination of the semiconductor device with respect to the mounting substrate, the semiconductor module in which the semiconductor device is accurately mounted on the mounting substrate, and the semiconductor The purpose is to obtain an electronic information device equipped with a module.

本発明に係る半導体モジュールの実装方法は、半導体素子を含む半導体デバイスをその実装基板上にスペーサ部材を介して実装する方法であって、該実装基板として、その表面に該スペーサ部材が位置決めされるよう窪み部を形成した実装基板を用いて、該実装基板の窪み部内にスペーサ部材を配置する工程と、該実装基板上に該半導体デバイスをその底面が該スペーサ部材と当接するよう載置する工程と、該半導体デバイスに形成されている端子を、該実装基板の表面に形成されている配線と接合部材により接合する工程とを含み、そのことにより上記目的が達成される。   A method for mounting a semiconductor module according to the present invention is a method for mounting a semiconductor device including a semiconductor element on a mounting substrate via a spacer member, and the spacer member is positioned on the surface of the mounting substrate. Using the mounting substrate in which the recess portion is formed, placing a spacer member in the recess portion of the mounting substrate, and placing the semiconductor device on the mounting substrate so that the bottom surface of the semiconductor device is in contact with the spacer member And a step of bonding a terminal formed on the semiconductor device with a wiring formed on the surface of the mounting substrate and a bonding member, thereby achieving the above object.

本発明は、上記半導体デバイスの実装方法において、前記実装基板の窪み部内にスペーサ部材を配置する工程は、該実装基板の窪み内に熱硬化樹脂材料を配置する工程と、該実装基板の窪み内に該スペーサ部材を該熱硬化樹脂材料上に位置するよう載置する工程とを含むことが好ましい。   In the method for mounting a semiconductor device according to the present invention, the step of disposing a spacer member in the recess of the mounting substrate includes the step of disposing a thermosetting resin material in the recess of the mounting substrate, and the step of disposing the recess in the mounting substrate. And placing the spacer member on the thermosetting resin material.

本発明は、上記半導体デバイスの実装方法において、前記熱硬化樹脂材料には、該熱硬化樹脂材料上に載置されるスペーサ部材が沈み込む程度の低粘度のものを用いることが好ましい。   In the semiconductor device mounting method according to the present invention, it is preferable that the thermosetting resin material has a low viscosity enough to sink a spacer member placed on the thermosetting resin material.

本発明は、上記半導体デバイスの実装方法において、前記実装基板の窪み部内に供給された熱硬化樹脂材料を、該実装基板上に該半導体デバイスを載置する前に硬化させることが好ましい。   In the semiconductor device mounting method according to the present invention, it is preferable that the thermosetting resin material supplied in the recess of the mounting substrate is cured before the semiconductor device is placed on the mounting substrate.

本発明は、上記半導体デバイスの実装方法において、前記実装基板の窪み部内に供給された熱硬化樹脂材料を、該実装基板上に該半導体デバイスを載置した後に硬化させることが好ましい。   In the semiconductor device mounting method according to the present invention, it is preferable that the thermosetting resin material supplied in the recess portion of the mounting substrate is cured after the semiconductor device is placed on the mounting substrate.

本発明は、上記半導体デバイスの実装方法において、前記実装基板の窪み部は、平面形状を正方形形状あるいは円形形状とし、断面形状を凹型形状、V字型形状、あるいはすり鉢形状としたものであることが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor device mounting method, the recess of the mounting substrate has a planar shape of a square shape or a circular shape, and a cross-sectional shape of a concave shape, a V shape, or a mortar shape. Is preferred.

本発明は、上記半導体デバイスの実装方法において、前記スペーサ部材は、球体形状、立方体形状、あるいはラグビーボール形状を有することが好ましい。   In the semiconductor device mounting method according to the present invention, it is preferable that the spacer member has a spherical shape, a cubic shape, or a rugby ball shape.

本発明は、上記半導体デバイスの実装方法において、前記実装基板には、前記半導体デバイスとして、1つの半導体素子をパッケージ内に収容してなる1つの半導体デバイスが実装され、該実装基板の半導体デバイスが実装される領域には同一深さの複数の窪み部が形成されており、該複数の窪み部に配置されるスペーサ部材には、前記半導体デバイスの裏面が該実装基板の実装面に対して平行になるよう、同一高さのスペーサ部材を用いることが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor device mounting method, one semiconductor device in which one semiconductor element is housed in a package is mounted on the mounting substrate as the semiconductor device, and the semiconductor device on the mounting substrate is A plurality of depressions having the same depth are formed in the area to be mounted, and the back surface of the semiconductor device is parallel to the mounting surface of the mounting board in the spacer member disposed in the plurality of depressions. It is preferable to use spacer members having the same height.

本発明は、上記半導体デバイスの実装方法において、前記実装基板には、被写体の撮像を行う固体撮像素子をパッケージ内に収容してなる2つの固体撮像デバイスが前記半導体デバイスとして実装され、該実装基板の、該2つの固体撮像デバイスの各々が実装される領域には、同一深さの複数の窪み部が形成されており、該複数の窪み部に配置されるスペーサ部材には、該2つの固体撮像デバイスの各々の固体撮像素子の受光面が、該実装基板の実装面に対して所定の角度だけ傾くよう異なる高さを有するスペーサ部材を用いることが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor device mounting method, two solid-state imaging devices each including a solid-state imaging device that captures an image of a subject in a package are mounted on the mounting substrate as the semiconductor device. In the region where each of the two solid-state imaging devices is mounted, a plurality of recesses having the same depth are formed, and the spacer member disposed in the plurality of recesses has the two solids. It is preferable to use spacer members having different heights so that the light receiving surface of each solid-state imaging element of the imaging device is inclined by a predetermined angle with respect to the mounting surface of the mounting substrate.

本発明に係る半導体モジュールは、半導体素子を含む半導体デバイスをその実装基板上にスペーサ部材を介して実装してなる半導体モジュールであって、該実装基板は、その表面に該スペーサ部材が位置決めされるよう形成した窪み部を有し、該半導体デバイスは、その底面が、該実装基板の窪み部内に配置されたスペーサ部材と当接するよう該実装基板上に載置されており、そのことにより上記目的が達成される。   A semiconductor module according to the present invention is a semiconductor module in which a semiconductor device including a semiconductor element is mounted on a mounting substrate via a spacer member, and the spacer member is positioned on the surface of the mounting substrate. The semiconductor device is mounted on the mounting substrate so that the bottom surface of the semiconductor device is in contact with a spacer member disposed in the recess of the mounting substrate. Is achieved.

本発明は、上記半導体モジュールにおいて、前記半導体デバイスに形成されている端子は、前記実装基板の表面に形成されている配線と接合部により接合されていることが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor module described above, it is preferable that the terminals formed in the semiconductor device are bonded to the wiring formed on the surface of the mounting substrate by a bonding portion.

本発明は、上記半導体モジュールにおいて、前記実装基板上の窪み内には、熱硬化樹脂材料が設けられており、前記スペーサ部材は、該実装基板の窪み部内に設けられた該熱硬化樹脂材料中に沈み込むように配置されていることが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor module, a thermosetting resin material is provided in the recess on the mounting substrate, and the spacer member is included in the thermosetting resin material provided in the recess of the mounting substrate. It is preferable that it arrange | positions so that it may sink.

本発明は、上記半導体モジュールにおいて、前記実装基板の窪み部は、平面形状を正方形形状あるいは円形形状とし、断面形状を凹型形状、V字型形状、あるいはすり鉢形状としたものであることが好ましい。   In the semiconductor module according to the aspect of the invention, it is preferable that the recess portion of the mounting substrate has a square shape or a circular shape as a planar shape, and a concave shape, a V shape, or a mortar shape as a cross-sectional shape.

本発明は、上記半導体モジュールにおいて、前記スペーサ部材は、球体形状、立方体形状、あるいはラグビーボール形状を有することが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor module, the spacer member preferably has a spherical shape, a cubic shape, or a rugby ball shape.

本発明は、上記半導体モジュールにおいて、前記実装基板には、前記半導体デバイスとして、1つの半導体素子をパッケージ内に収容してなる1つの半導体デバイスが実装されており、該実装基板の半導体デバイスが実装される領域には同一深さの複数の窪み部が形成されており、該複数の窪み部に配置されるスペーサ部材には、前記半導体デバイスの裏面が該実装基板の実装面に対して平行になるよう、同一高さのスペーサ部材が用いられていることが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor module described above, one semiconductor device in which one semiconductor element is housed in a package is mounted on the mounting substrate as the semiconductor device, and the semiconductor device on the mounting substrate is mounted. A plurality of recesses having the same depth are formed in the region to be formed, and the spacer member disposed in the plurality of recesses has a back surface of the semiconductor device parallel to the mounting surface of the mounting substrate. It is preferable that spacer members having the same height are used.

本発明は、上記半導体モジュールにおいて、前記実装基板には、被写体の撮像を行う固体撮像素子をパッケージ内に収容してなる2つの固体撮像デバイスが前記半導体デバイスとして実装されており、該実装基板の、該2つの固体撮像デバイスの各々が実装される領域には、同一深さの複数の窪み部が形成されており、該複数の窪み部に配置されるスペーサ部材には、該2つの固体撮像デバイスの各々の固体撮像素子の受光面が、該実装基板の実装面に対して所定の角度だけ傾くよう異なる高さを有するスペーサ部材が用いられていることが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor module, the mounting substrate includes two solid-state imaging devices each having a solid-state imaging element that captures an image of a subject contained in a package as the semiconductor device. A plurality of depressions having the same depth are formed in the area where each of the two solid-state imaging devices is mounted, and the two solid-state imaging elements are disposed on the spacer member disposed in the plurality of depressions. It is preferable that spacer members having different heights are used so that the light receiving surface of each solid-state imaging device of the device is inclined by a predetermined angle with respect to the mounting surface of the mounting substrate.

本発明に係る電子情報機器は、半導体モジュールを備えた電子情報機器であって、該半導体モジュールは、上述した本発明に係る半導体モジュールであり、そのことにより上記目的が達成される。   An electronic information device according to the present invention is an electronic information device provided with a semiconductor module, and the semiconductor module is the semiconductor module according to the present invention described above, whereby the above-described object is achieved.

以下本発明の作用について説明する。   The operation of the present invention will be described below.

本発明においては、実装基板と半導体モジュールとの間に、実装基板の窪み部により固定された、スペーサ部材を介在させているので、実装基板と半導体デバイスとをスペーサ部材によって目標とする間隔で平行に位置させることができ、しかも、スペーサ部材の移動を防止でき、これによって、半導体素子モジュールとしての撮像素子モジュールでは、その受光面が実装基板の実装面と平行になることにより、受光面の中央部とその周辺部などいかなる場所でもレンズ焦点距離が一定になり、受光面内のフォーカス差による画質不良を防止することができる。   In the present invention, since the spacer member fixed by the recess of the mounting substrate is interposed between the mounting substrate and the semiconductor module, the mounting substrate and the semiconductor device are parallel to each other at a target interval by the spacer member. In addition, in the imaging device module as a semiconductor device module, the light receiving surface is parallel to the mounting surface of the mounting substrate, thereby preventing the spacer member from moving. The focal length of the lens is constant at any place such as a portion and its peripheral portion, and image quality failure due to a focus difference in the light receiving surface can be prevented.

また、本発明では、固体撮像デバイスを用いた固体撮像モジュールであるので、例えばカメラ付き携帯電話装置の撮像部に画像入力デバイスとして用いられ、情報記録再生部に用いたピックアップ装置の受光素子として用いられる。   Further, in the present invention, since it is a solid-state imaging module using a solid-state imaging device, for example, it is used as an image input device in an imaging unit of a camera-equipped mobile phone device and used as a light receiving element of a pickup device used in an information recording / reproducing unit It is done.

しかも、固体撮像素子を表面側に位置するようパッケージ内に収容してなる半導体デバイスを実装基板面上に所定の間隔だけ浮かせて実装する際、実装基板の窪み部に配置したボール部材をスペーサとして用いるので、基板面に対する半導体デバイスの撮像素子の傾きを、治具による補助的な制御や、実装後に修正などをほどこすことなく精度よく設定することができる。   In addition, when mounting a semiconductor device accommodated in a package so that the solid-state imaging device is located on the front surface side by being floated by a predetermined interval on the mounting substrate surface, a ball member disposed in a recess portion of the mounting substrate is used as a spacer. Therefore, the inclination of the imaging device of the semiconductor device with respect to the substrate surface can be set with high accuracy without performing auxiliary control using a jig or correction after mounting.

この結果、半田の接着強度と共に放熱効果を維持しつつ、実装基板の実装面と固体撮像モジュールとを水平に保ちながら容易かつ確実に実装できて画質不良を防止することができる。   As a result, while maintaining the heat dissipation effect as well as the adhesive strength of the solder, the mounting surface of the mounting substrate and the solid-state imaging module can be easily and surely mounted, and image quality defects can be prevented.

以上のように、本発明によれば、半導体デバイスを実装基板上に一定間隔だけ浮かせてマウントする場合に、実装基板の基板面と半導体デバイスとの間の間隔を保持するスペーサ部材を、実装基板に形成した窪み部に配置するため、スペーサ部材を実装基板に配置した後にスペーサ部材が動くことなく固定されることとなり、実装基板上で半導体デバイスを所望の均一な目標高さに揃えることができる。これによって、固体撮像モジュールなどの半導体モジュールを実装基板上にその実装面と水平に保ちながら容易かつ確実に実装でき、フォーカ不良、光軸ズレおよび周辺解像度不良などを防止することができる。   As described above, according to the present invention, when a semiconductor device is mounted on the mounting substrate while being floated at a predetermined interval, the spacer member that holds the interval between the substrate surface of the mounting substrate and the semiconductor device is mounted on the mounting substrate. The spacer member is fixed without moving after the spacer member is arranged on the mounting substrate, so that the semiconductor devices can be aligned at a desired uniform target height on the mounting substrate. . As a result, a semiconductor module such as a solid-state imaging module can be easily and surely mounted on the mounting substrate while being level with the mounting surface, and a focus defect, an optical axis shift, a peripheral resolution defect, and the like can be prevented.

図1は、本発明の実施形態1による半導体モジュールである固体撮像モジュールの要部構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a main configuration of a solid-state imaging module which is a semiconductor module according to Embodiment 1 of the present invention. 図2は、図1に示す本実施形態1の半導体モジュール(固体撮像モジュール)の断面構造を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional structure of the semiconductor module (solid-state imaging module) of the first embodiment shown in FIG. 図3は、図2に示す実施形態1の半導体デバイスの実装方法を説明する図であり、半導体デバイスの実装方法における各工程(図3(a)〜図3(d))を説明する断面図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the semiconductor device mounting method of the first embodiment shown in FIG. 2, and is a cross-sectional view for explaining each step (FIGS. 3A to 3D) in the semiconductor device mounting method. It is. 図4は、図2に示す実施形態1の半導体デバイスの実装方法を説明する図であり、半導体デバイスの実装方法における各工程(図4(a)〜図4(d))を説明する斜視図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the semiconductor device mounting method of the first embodiment shown in FIG. 2, and is a perspective view for explaining each step (FIGS. 4A to 4D) in the semiconductor device mounting method. It is. 図5は、図2に示す本実施形態1の固体撮像モジュールの主要部を拡大して示す断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the main part of the solid-state imaging module of the first embodiment shown in FIG. 図6は、本実施形態1の固体撮像モジュールの変形例(図(a)、図(b))を説明する図であり、主要部を拡大して示している。FIG. 6 is a diagram illustrating a modified example (FIGS. (A) and (b)) of the solid-state imaging module according to the first embodiment, and shows an enlarged main part. 図7は、本発明の実施形態2による半導体モジュールを説明する断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a semiconductor module according to Embodiment 2 of the present invention. 図8は、本発明の実施形態3として、実施形態1あるいは2の固体撮像モジュールを撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。FIG. 8 is a block diagram illustrating a schematic configuration example of an electronic information device using the solid-state imaging module according to Embodiment 1 or 2 as an imaging unit as Embodiment 3 of the present invention. 図9は、特許文献1に開示の従来の固体撮像モジュール(半導体モジュール)を説明する概略断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view illustrating a conventional solid-state imaging module (semiconductor module) disclosed in Patent Document 1. 図10は、図9に示す従来の固体撮像モジュールを構成する実装基板及び固体撮像デバイスを説明する斜視図であり、実装基板上に固体撮像デバイスが実装されている状態を示している。FIG. 10 is a perspective view for explaining a mounting substrate and a solid-state imaging device constituting the conventional solid-state imaging module shown in FIG. 9, and shows a state in which the solid-state imaging device is mounted on the mounting substrate. 図11は、上記固体撮像デバイスを説明する図であり、該固体撮像デバイスの外観を示す斜視図(図(a))及び該固体撮像デバイスの裏面を示す平面図(図(b))である。FIG. 11 is a diagram for explaining the solid-state imaging device, and is a perspective view (FIG. (A)) showing an appearance of the solid-state imaging device and a plan view (FIG. (B)) showing the back surface of the solid-state imaging device. . 図12は、図11に示す固体撮像デバイスの実装方法を説明する図であり、この実装方法における各工程(図12(a)〜図12(e))を説明する斜視図である。12 is a diagram for explaining a mounting method of the solid-state imaging device shown in FIG. 11, and is a perspective view for explaining each step (FIGS. 12A to 12E) in this mounting method. 図13は、図11に示す固体撮像デバイスの実装方法を説明する図であり、この実装方法における各工程(図13(a)〜図13(e))を説明する断面図であり、図13(a)〜図13(d)は図12(a)〜図12(e)に対応している。13 is a diagram for explaining a mounting method of the solid-state imaging device shown in FIG. 11, and is a cross-sectional view for explaining each step (FIGS. 13A to 13E) in this mounting method. FIGS. 13A to 13D correspond to FIGS. 12A to 12E.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施形態1)
図1は本発明の実施形態1による半導体モジュールの要部構成を示す斜視図であり、図2は、図1に示す半導体モジュールの断面構造を示す図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a main part of a semiconductor module according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a cross-sectional structure of the semiconductor module shown in FIG.

本実施形態1による半導体モジュール100は、半導体素子103を収容したパッケージである半導体デバイス104をその実装基板102上にスペーサ部材105を介して実装してなる半導体モジュールである。ここで、該実装基板102は、その表面に該スペーサ部材105が位置決めされるよう形成した窪み部107を有し、該半導体デバイス104は、その底面が、該実装基板102の窪み部107内に配置されたスペーサ部材105と当接するよう該実装基板102上に載置されている。ここで、半導体デバイス104は、半導体素子103として、入射光を光電変換して信号電荷を生成する固体撮像素子103をパッケージ内に収容してなるセンサデバイス(固体撮像デバイス)104である。   The semiconductor module 100 according to the first embodiment is a semiconductor module in which a semiconductor device 104 that is a package containing a semiconductor element 103 is mounted on a mounting substrate 102 via a spacer member 105. Here, the mounting substrate 102 has a recess 107 formed on the surface so that the spacer member 105 is positioned, and the bottom surface of the semiconductor device 104 is in the recess 107 of the mounting substrate 102. It is placed on the mounting substrate 102 so as to come into contact with the spacer member 105 arranged. Here, the semiconductor device 104 is a sensor device (solid-state imaging device) 104 in which a solid-state imaging element 103 that photoelectrically converts incident light to generate signal charges is housed in a package as the semiconductor element 103.

また、前記半導体デバイス104に形成されている端子104bは、前記実装基板102の表面に形成されている配線102aのランド部(配線端部の接続部)と半田接合部106により接合されている。   Further, the terminal 104 b formed on the semiconductor device 104 is bonded to a land portion (connection portion of the wiring end portion) of the wiring 102 a formed on the surface of the mounting substrate 102 by a solder bonding portion 106.

ここでは、配線102aは、該実装基板102の、半導体デバイス104を配置する領域の両側に、それぞれ3つ設けられており、半導体デバイスの配置領域から実装基板の端に向かって延びている。なお、配線102aは、半導体デバイス104の配置領域の両側に3づつ設ける場合に限定されるものではなく、例えば、実装基板上には、半導体デバイス104の配置領域の両側に、配線102aが5つづつ設けてあっても、あるいはそれ以上設けてあってもよい。なお、配線幅は0.2mm〜1mm程度であり、典型的には0.5mm程度である。   Here, three wirings 102a are provided on each side of the mounting substrate 102 on the region where the semiconductor device 104 is disposed, and extend from the region where the semiconductor device is disposed toward the end of the mounting substrate. Note that the number of the wirings 102a is not limited to the case where three wirings 102a are provided on both sides of the arrangement region of the semiconductor device 104. For example, five wirings 102a are provided on both sides of the arrangement region of the semiconductor device 104 on the mounting substrate. It may be provided one by one or more. The wiring width is about 0.2 mm to 1 mm, typically about 0.5 mm.

また、前記実装基板102上の窪み部107内には、熱硬化樹脂材料107aが設けられており、前記スペーサ部材105は、該実装基板の窪み部107内に設けられた該熱硬化樹脂材料107a中に沈み込むように配置されている。   Further, a thermosetting resin material 107a is provided in the recess 107 on the mounting substrate 102, and the spacer member 105 is provided in the thermosetting resin material 107a provided in the recess 107 of the mounting substrate. It is arranged to sink in.

ここで、前記実装基板の窪み部107は、図4(a)及び図5に示すように、平面形状を正方形形状とし、断面形状を凹型形状としたものである。   Here, as shown in FIGS. 4A and 5, the recess 107 of the mounting board has a square shape in a plan view and a concave shape in a cross-sectional shape.

ただし、窪み部107は、図5に示すものに限らず、例えば、前記実装基板の窪み部117は、図6(a)に示すように、断面形状をV字型形状としたものでもよい。なお、この窪み部117内にも、熱硬化樹脂材料107aを設けることは好ましい。   However, the recess 107 is not limited to that shown in FIG. 5. For example, the recess 117 of the mounting substrate may have a V-shaped cross section as shown in FIG. In addition, it is preferable to provide the thermosetting resin material 107a also in this hollow part 117. FIG.

また、前記実装基板の窪み部127は、図6(b)に示すように、断面形状をすり鉢形状としたものでもよい。なお、この窪み部127内にも、熱硬化樹脂材料127aを設けることは好ましい。また、図6(a)及び図6(b)に示す窪み部117及び127の平面形状は、矩形形状でも円形形状でもよい。   Moreover, as shown in FIG.6 (b), the hollow part 127 of the said mounting board | substrate may be what made the cross-sectional shape mortar shape. In addition, it is preferable to provide the thermosetting resin material 127a also in this hollow part 127. FIG. Moreover, the planar shape of the hollow parts 117 and 127 shown in FIGS. 6A and 6B may be rectangular or circular.

また、ここでは、前記スペーサ部材105は、直径が0.3mmの球体形状のボール部材(パールボール)としている。このパールボール105は、樹脂製の球体表面に金属メッキ材料として、半田接合部106のペイスト状半田材料と同じすずと銀との合金メッキが施されている。また、パールボール105は、最も外側の4つの配線102aのランド部近接部に位置し、センサデバイス104を4箇所で支持している。ただし、前記スペーサ部材105の形状は、球体形状に限るものではなく、立方体形状であっても、ラグビーボール形状であってもよく、さらに球体を任意の中心軸に沿って寸法を縮めた円盤形状でもよい。   Here, the spacer member 105 is a spherical ball member (pearl ball) having a diameter of 0.3 mm. The pearl ball 105 is plated with an alloy of tin and silver, which is the same as the paste solder material of the solder joint 106, as a metal plating material on the surface of the resin sphere. Further, the pearl ball 105 is positioned in the land portion proximity portion of the outermost four wirings 102a, and supports the sensor device 104 at four locations. However, the shape of the spacer member 105 is not limited to a spherical shape, and may be a cubic shape or a rugby ball shape, and further a disc shape in which the size of the sphere is reduced along an arbitrary central axis. But you can.

また、上記複数の窪み部107の深さは同一であり、該複数の窪み部107に配置されるスペーサ部材105には、前記半導体デバイスの裏面が該実装基板の実装面に対して平行になるよう、同一高さのスペーサ部材が用いられている。   The depths of the plurality of depressions 107 are the same, and the back surface of the semiconductor device is parallel to the mounting surface of the mounting substrate in the spacer member 105 disposed in the plurality of depressions 107. Thus, spacer members having the same height are used.

次に、半導体デバイスの実装方法について説明する。   Next, a semiconductor device mounting method will be described.

図3及び図4は、本実施形態の半導体デバイスの実装方法を説明する図であり、図3(a)〜図3(d)は半導体デバイスの実装方法における各工程を説明する斜視図であり、図4(a)〜図4(d)は、図3(a)〜図3(d)に対応する断面図である。   3 and 4 are diagrams for explaining a semiconductor device mounting method according to the present embodiment, and FIGS. 3A to 3D are perspective views for explaining respective steps in the semiconductor device mounting method. 4 (a) to 4 (d) are cross-sectional views corresponding to FIGS. 3 (a) to 3 (d).

まず、所定のパターンを有する配線2aがその表面に形成され、かつ前記窪み部107が形成された実装基板102を実装装置の基板載置台(図示せず)上に載置する(図3(a)、図4(a))。   First, the mounting substrate 102 on which the wiring 2a having a predetermined pattern is formed and the recess 107 is formed is mounted on a substrate mounting table (not shown) of the mounting apparatus (FIG. 3A). ), FIG. 4 (a)).

次に、ロボットアームの先端部に設けられたノズル(図示せず)により、直径が0.3mmの球状のパールボール105を吸引して移動させた後に、排気して、前記4箇所の窪み部107上に順次載置する(図3(b)及び図4(b))。   Next, a spherical pearl ball 105 having a diameter of 0.3 mm is sucked and moved by a nozzle (not shown) provided at the tip of the robot arm, and then exhausted to form the four depressions. It mounts sequentially on 107 (FIG.3 (b) and FIG.4 (b)).

このとき、窪み内107には、熱硬化性樹脂107aが塗布されているが、この樹脂の粘土はパールボール105がこの樹脂により浮き上がることない程度の低いものとしている。   At this time, a thermosetting resin 107a is applied to the depression 107, but the clay of the resin is low enough that the pearl ball 105 is not lifted by the resin.

さらに、ロボットアームの先端部に設けられたノズルにより、センサデバイス104を、センサデバイス104の裏面側の各金属接合端子104bと、各配線102aのランド部とをそれぞれ位置合わせして、4箇所のパールボール105上に搭載する(図3(c)、図4(c))。   Further, the nozzle provided at the tip of the robot arm is used to align the sensor device 104 with each metal joint terminal 104b on the back surface side of the sensor device 104 and each land portion of the wiring 102a. It is mounted on the pearl ball 105 (FIG. 3 (c), FIG. 4 (c)).

その後、マウント基板102の配線2aの内側の各端子部(ランド部)と、固体撮像素子103が搭載されたセンサデバイス104の裏面側の各金属接合端子104bとをそれぞれ、半田材料により半田付けを行い半田接合部106として電気的に接合する。   Thereafter, each terminal portion (land portion) inside the wiring 2a of the mount substrate 102 and each metal joint terminal 104b on the back surface side of the sensor device 104 on which the solid-state imaging device 103 is mounted are soldered with a solder material, respectively. The solder joint 106 is electrically joined.

この半田付けは、ワイヤー状の半田を配線2aのランド部とパッケージ104aの端子104bとの間に供給し、レーザ光などにより半田を溶融して行う。ただし、半田付けはこれに限定されるものではなく、例えば、固体撮像デバイス104が実装された実装基板102を例えばリフロー炉に入れて加熱することにより、ランド部に形成しておいたペイスト状半田材料が溶融し、その後、実装基板102を冷却することで、固体撮像デバイス104裏面の端子104aと、配線2aの端部(ランド部)とが半田部材6により接合される(図3(d)、図4(d))。   This soldering is performed by supplying wire-like solder between the land portion of the wiring 2a and the terminal 104b of the package 104a, and melting the solder with laser light or the like. However, the soldering is not limited to this. For example, the paste-like solder formed on the land portion by heating the mounting substrate 102 on which the solid-state imaging device 104 is mounted in, for example, a reflow furnace. By melting the material and then cooling the mounting substrate 102, the terminal 104a on the back surface of the solid-state imaging device 104 and the end portion (land portion) of the wiring 2a are joined by the solder member 6 (FIG. 3D). FIG. 4 (d)).

このように本実施形態1によれば、マウント基板102とセンサデバイス104との間に、基板上の窪み部107により固定された、間隔保持用のパールボール5を介在させ、また、窪み部107に設けている熱硬化性樹脂は、窪み部107に配置したパールボール105が浮き上がらない程度の低い粘土に設定しているので、マウント基板102とセンサデバイス104とをパールボール105によって目標とする間隔で平行に位置させることができる。これによって、半導体素子モジュールとしての撮像素子モジュール100の固体撮像素子103の受光面がマウント基板102の表面と平行になることにより、受光面の中央部とその周辺部などいかなる場所でもレンズ焦点距離が一定になり、受光面内のフォーカス差による画質不良を防止することができる。   As described above, according to the first embodiment, the pearl ball 5 for maintaining the distance fixed by the recess 107 on the substrate is interposed between the mount substrate 102 and the sensor device 104, and the recess 107 Since the thermosetting resin provided in is set to clay so low that the pearl ball 105 disposed in the depression 107 does not float up, the target distance between the mount substrate 102 and the sensor device 104 by the pearl ball 105 is set. Can be positioned in parallel. As a result, the light receiving surface of the solid-state image sensor 103 of the image sensor module 100 as a semiconductor element module is parallel to the surface of the mount substrate 102, so that the lens focal length can be increased at any location such as the central portion and the peripheral portion of the light receiving surface. It becomes constant, and image quality defects due to a focus difference in the light receiving surface can be prevented.

また、このような本実施形態1の半導体モジュールは、固体撮像デバイスを用いた固体撮像モジュールであるので、例えばカメラ付き携帯電話装置の撮像部に画像入力デバイスとして用いられ、情報記録再生部に用いたピックアップ装置の受光素子として用いられる。   In addition, since the semiconductor module according to the first embodiment is a solid-state imaging module using a solid-state imaging device, it is used as an image input device for an imaging unit of a mobile phone device with a camera, for example, and used for an information recording / reproducing unit. It is used as a light receiving element of a conventional pickup device.

しかも、固体撮像素子を表面側に位置するようパッケージ内に収容してなる半導体デバイスを実装基板面上に所定の間隔だけ浮かせて実装する際、実装基板の窪み部に配置したボール部材をスペーサとして用いるので、基板面に対する半導体デバイスの撮像素子の傾きを、治具による補助的な制御や、実装後に修正などをほどこすことなく精度よく設定することができる。これによって、半田の接着強度と共に放熱効果を維持しつつ、実装基板の実装面と固体撮像モジュールとを水平に保ちながら容易かつ確実に実装できて画質不良を防止することができる。   In addition, when mounting a semiconductor device accommodated in a package so that the solid-state imaging device is located on the front surface side by being floated by a predetermined interval on the mounting substrate surface, a ball member disposed in a recess portion of the mounting substrate is used as a spacer. Therefore, the inclination of the imaging device of the semiconductor device with respect to the substrate surface can be set with high accuracy without performing auxiliary control using a jig or correction after mounting. Accordingly, it is possible to easily and reliably mount the mounting surface of the mounting substrate and the solid-state imaging module horizontally while maintaining the heat dissipation effect together with the adhesive strength of the solder, and to prevent image quality defects.

なお、上記実施形態では、実装基板の配線とセンサデバイスの端子との接続を、半田ワイヤを用いて接合するようにしているが、接合方法はこれに限るものではない。   In the above embodiment, the connection between the wiring of the mounting substrate and the terminal of the sensor device is joined using the solder wire, but the joining method is not limited to this.

例えば、センサデバイス104を、センサデバイス104の裏面側の各金属接合端子104aと、実装基板の配線のランド部に形成したペイスト状半田材料とをそれぞれ位置合せして、4箇所のパールボール105上に載置し、その後、周囲温度を摂氏230度にして、センサデバイス104の裏面側の各金属接合端子104aと、配線102aのランド部とをそれぞれ、各ペイスト状半田材料により半田接合部として接合してもよい。なお、上記ペイスト状半田材料の厚さは0.1〜0.3mm(典型的には0.25mm)程度である。この場合も、実装基板102とセンサデバイス104との間に間隔保持用のパールボール105を介在させているので、これらの間の間隔は精度よく保持される。
(実施形態2)
図7は本発明の実施形態2による半導体モジュールを説明する断面図である。なお、図中、図1〜5と同一部号は実施形態1のものと同一のものを示す。
For example, the sensor device 104 is aligned on each of the metal joint terminals 104a on the back surface side of the sensor device 104 and a paste-like solder material formed on the land portion of the wiring of the mounting substrate, and the four pearl balls 105 are aligned. After that, the ambient temperature is set to 230 degrees Celsius, and each metal joint terminal 104a on the back surface side of the sensor device 104 and the land portion of the wiring 102a are joined as solder joints by each paste-like solder material. May be. The thickness of the paste-like solder material is about 0.1 to 0.3 mm (typically 0.25 mm). Also in this case, since the spacing pearl ball 105 is interposed between the mounting substrate 102 and the sensor device 104, the spacing between them is accurately maintained.
(Embodiment 2)
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a semiconductor module according to Embodiment 2 of the present invention. In the figure, the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 5 denote the same parts as those in the first embodiment.

この実施形態2の半導体モジュール110は、実装基板102上に、2つの固体撮像モジュール104を、これらが隣接し、かつ両方の固体撮像モジュール104が、実装基板に対して互いに内側に向くように斜めに実装してなるものである。   In the semiconductor module 110 of the second embodiment, two solid-state imaging modules 104 are arranged on the mounting substrate 102 so that they are adjacent to each other and both the solid-state imaging modules 104 face each other with respect to the mounting substrate. It is implemented by.

つまり、それぞれの固体撮像モジュール104を実装基板102に対して浮かせるためのスペーサ部材としてのパールボールは、実装基板の中央側のもの(パールボール105a)を、実装基板の周辺側のもの(パールボール105b)に比べて大きくした構造としている。   That is, the pearl ball as a spacer member for floating each solid-state imaging module 104 with respect to the mounting substrate 102 is the one on the center side of the mounting substrate (pearl ball 105a) and the one on the peripheral side of the mounting substrate (pearl ball). The structure is larger than that of 105b).

その他の構成は、実施形態1の固体撮像モジュール100におけるものと同一である。   Other configurations are the same as those in the solid-state imaging module 100 of the first embodiment.

このように、実装基板102上に、2つの固体撮像モジュール104を、これらの受光面が、実装基板102に対して互いに内側に向くように斜めに実装することにより、3Dカメラなどの固体撮像モジュールとして用いることができる。   In this way, by mounting the two solid-state imaging modules 104 on the mounting substrate 102 obliquely such that their light receiving surfaces face each other with respect to the mounting substrate 102, a solid-state imaging module such as a 3D camera. Can be used as

さらに、上記実施形態1および2では、特に説明しなかったが、上記実施形態1および2の固体撮像モジュールの少なくともいずれかを撮像部に用いた、例えばデジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、画像入力カメラ、スキャナ、ファクシミリ、カメラ付き携帯電話装置などの、画像入力デバイスを有した電子情報機器について以下簡単に説明する。
(実施形態3)
図8は、本発明の実施形態3として、実施形態1あるいは2の固体撮像モジュールを撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
Further, although not specifically described in the first and second embodiments, a digital camera such as a digital video camera or a digital still camera using at least one of the solid-state imaging modules of the first and second embodiments as an imaging unit. An electronic information device having an image input device, such as an image input camera, a scanner, a facsimile machine, or a camera-equipped mobile phone, will be briefly described below.
(Embodiment 3)
FIG. 8 is a block diagram illustrating a schematic configuration example of an electronic information device using the solid-state imaging module according to Embodiment 1 or 2 as an imaging unit as Embodiment 3 of the present invention.

図8に示す本発明の実施形態3による電子情報機器90は、本発明の上記実施形態1および2の固体撮像モジュールの少なくともいずれかを、被写体の撮影を行う撮像部91として備えたものであり、このような撮像部による撮影により得られた高品位な画像データを記録用に所定の信号処理した後にデータ記録する記録メディアなどのメモリ部92と、この画像データを表示用に所定の信号処理した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示する液晶表示装置などの表示部93と、この画像データを通信用に所定の信号処理をした後に通信処理する送受信装置などの通信部94と、この画像データを印刷(印字)して出力(プリントアウト)する画像出力部95とのうちの少なくともいずれかを有している。   An electronic information device 90 according to Embodiment 3 of the present invention shown in FIG. 8 includes at least one of the solid-state imaging modules according to Embodiments 1 and 2 of the present invention as an imaging unit 91 that captures a subject. A memory unit 92 such as a recording medium for recording data after high-definition image data obtained by photographing by such an image pickup unit is subjected to predetermined signal processing for recording, and predetermined signal processing for displaying the image data A display unit 93 such as a liquid crystal display device that displays on a display screen such as a liquid crystal display screen, and a communication unit 94 such as a transmission / reception device that performs communication processing after performing predetermined signal processing on the image data for communication. And an image output unit 95 that prints (prints) image data and outputs (prints out) the image data.

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。   As mentioned above, although this invention has been illustrated using preferable embodiment of this invention, this invention should not be limited and limited to this embodiment. It is understood that the scope of the present invention should be construed only by the claims. It is understood that those skilled in the art can implement an equivalent range based on the description of the present invention and the common general technical knowledge from the description of specific preferred embodiments of the present invention. Patents, patent applications, and documents cited herein should be incorporated by reference in their entirety, as if the contents themselves were specifically described herein. Understood.

本発明は、半導体デバイスの実装方法、半導体モジュール、および電子情報機器の分野において、実装基板上に半導体モジュールを所定の間隔だけ浮かせて精度よく実装することができ、実装基板とその上の半導体デバイスとの離間間隔、あるいは実装基板に対する半導体デバイスの傾きがばらつくのを回避することができる半導体デバイスの実装方法、このように実装基板上に半導体デバイスを精度よく実装してなる半導体モジュール、並びに、この半導体モジュールを搭載した電子情報機器を提供することができる。   In the field of a semiconductor device mounting method, a semiconductor module, and an electronic information device, the present invention can precisely mount a semiconductor module on a mounting board by a predetermined interval, and mount the mounting board and the semiconductor device on the mounting board. Semiconductor device mounting method capable of avoiding variation in the spacing of the semiconductor device and the inclination of the semiconductor device relative to the mounting substrate, a semiconductor module in which the semiconductor device is accurately mounted on the mounting substrate, and this An electronic information device equipped with a semiconductor module can be provided.

90 電子情報機器
91 撮像部
92 メモリ部
93 表示手段
94 通信手段
95 画像出力手段
100 固体撮像モジュール(半導体モジュール)
102 実装基板(マウント基板)
102a 配線
103 固体撮像素子(半導体素子)
104 センサデバイス(半導体デバイス)
104a パッケージ
104b 接続端子(端子)
105 パールボール(ボール)
106 半田接合部
107 窪み部
107a 熱硬化性樹脂
DESCRIPTION OF SYMBOLS 90 Electronic information equipment 91 Imaging part 92 Memory part 93 Display means 94 Communication means 95 Image output means 100 Solid-state imaging module (semiconductor module)
102 Mounting board (mounting board)
102a Wiring 103 Solid-state imaging device (semiconductor device)
104 Sensor device (semiconductor device)
104a Package 104b Connection terminal (terminal)
105 Pearl ball (ball)
106 Solder joint 107 Depression 107a Thermosetting resin

Claims (17)

半導体素子を含む半導体デバイスをその実装基板上にスペーサ部材を介して実装する方法であって、
該実装基板として、その表面に該スペーサ部材が位置決めされるよう窪み部を形成した実装基板を用いて、該実装基板の窪み部内にスペーサ部材を配置する工程と、
該実装基板上に該半導体デバイスをその底面が該スペーサ部材と当接するよう載置する工程と、
該半導体デバイスに形成されている端子を、該実装基板の表面に形成されている配線と接合部材により接合する工程と
を含む、半導体デバイスの実装方法。
A method of mounting a semiconductor device including a semiconductor element on a mounting substrate via a spacer member,
Using the mounting substrate in which a recess is formed so that the spacer member is positioned on the surface of the mounting substrate, and arranging the spacer member in the recess of the mounting substrate;
Placing the semiconductor device on the mounting substrate such that the bottom surface thereof is in contact with the spacer member;
A method of mounting a semiconductor device, comprising: bonding a terminal formed on the semiconductor device to a wiring formed on a surface of the mounting substrate with a bonding member.
請求項1に記載の半導体デバイスの実装方法において、
前記実装基板の窪み部内にスペーサ部材を配置する工程は、
該実装基板の窪み内に熱硬化樹脂材料を配置する工程と、
該実装基板の窪み内に該スペーサ部材を該熱硬化樹脂材料上に位置するよう載置する工程とを含む、半導体デバイスの実装方法。
In the mounting method of the semiconductor device according to claim 1,
The step of arranging the spacer member in the recess of the mounting substrate includes:
Placing a thermosetting resin material in the recess of the mounting substrate;
Mounting the spacer member in the recess of the mounting substrate so as to be positioned on the thermosetting resin material.
請求項2に記載の半導体デバイスの実装方法において、
前記熱硬化樹脂材料には、該熱硬化樹脂材料上に載置されるスペーサ部材が沈み込む程度の低粘度のものを用いる半導体デバイスの実装方法。
In the mounting method of the semiconductor device according to claim 2,
A method for mounting a semiconductor device, wherein the thermosetting resin material has a low viscosity enough to sink a spacer member placed on the thermosetting resin material.
請求項3に記載の半導体デバイスの実装方法において、
前記実装基板の窪み部内に供給された熱硬化樹脂材料を、該実装基板上に該半導体デバイスを載置する前に硬化させる、半導体デバイスの実装方法。
In the mounting method of the semiconductor device according to claim 3,
A method for mounting a semiconductor device, comprising: curing a thermosetting resin material supplied in a recess of the mounting substrate before placing the semiconductor device on the mounting substrate.
請求項3に記載の半導体デバイスの実装方法において、
前記実装基板の窪み部内に供給された熱硬化樹脂材料を、該実装基板上に該半導体デバイスを載置した後に硬化させる、半導体デバイスの実装方法。
In the mounting method of the semiconductor device according to claim 3,
A method for mounting a semiconductor device, comprising: curing a thermosetting resin material supplied in a recess of the mounting substrate after placing the semiconductor device on the mounting substrate.
請求項1に記載の半導体デバイスの実装方法において、
前記実装基板の窪み部は、平面形状を正方形形状あるいは円形形状とし、断面形状を凹型形状、V字型形状、あるいはすり鉢形状としたものである、半導体デバイスの実装方法。
In the mounting method of the semiconductor device according to claim 1,
The mounting method of a semiconductor device, wherein the recess portion of the mounting substrate has a planar shape of a square shape or a circular shape and a cross-sectional shape of a concave shape, a V shape, or a mortar shape.
請求項6に記載の半導体デバイスの実装方法において、
前記スペーサ部材は、球体形状、立方体形状、あるいはラグビーボール形状を有する、半導体デバイスの実装方法。
In the mounting method of the semiconductor device according to claim 6,
The semiconductor device mounting method, wherein the spacer member has a spherical shape, a cubic shape, or a rugby ball shape.
請求項1に記載の半導体デバイスの実装方法において、
前記実装基板には、前記半導体デバイスとして、1つの半導体素子をパッケージ内に収容してなる1つの半導体デバイスが実装され、
該実装基板の半導体デバイスが実装される領域には同一深さの複数の窪み部が形成されており、
該複数の窪み部に配置されるスペーサ部材には、前記半導体デバイスの裏面が該実装基板の実装面に対して平行になるよう、同一高さのスペーサ部材を用いる、半導体デバイスの実装方法。
In the mounting method of the semiconductor device according to claim 1,
On the mounting substrate, as the semiconductor device, one semiconductor device formed by housing one semiconductor element in a package is mounted,
A plurality of depressions of the same depth are formed in the area where the semiconductor device of the mounting substrate is mounted,
A method for mounting a semiconductor device, wherein spacer members disposed in the plurality of recesses are provided with the same height so that the back surface of the semiconductor device is parallel to the mounting surface of the mounting substrate.
請求項1に記載の半導体デバイスの実装方法において、
前記実装基板には、被写体の撮像を行う固体撮像素子をパッケージ内に収容してなる2つの固体撮像デバイスが前記半導体デバイスとして実装され、
該実装基板の、該2つの固体撮像デバイスの各々が実装される領域には、同一深さの複数の窪み部が形成されており、
該複数の窪み部に配置されるスペーサ部材には、該2つの固体撮像デバイスの各々の固体撮像素子の受光面が、該実装基板の実装面に対して所定の角度だけ傾くよう異なる高さを有するスペーサ部材を用いる、半導体デバイスの実装方法。
In the mounting method of the semiconductor device according to claim 1,
On the mounting substrate, two solid-state imaging devices each containing a solid-state imaging device for imaging a subject in a package are mounted as the semiconductor device,
A plurality of depressions having the same depth are formed in an area where each of the two solid-state imaging devices is mounted on the mounting substrate.
The spacer members disposed in the plurality of depressions have different heights so that the light receiving surfaces of the solid-state imaging elements of the two solid-state imaging devices are inclined by a predetermined angle with respect to the mounting surface of the mounting board. A semiconductor device mounting method using a spacer member.
半導体素子を含む半導体デバイスをその実装基板上にスペーサ部材を介して実装してなる半導体モジュールであって、
該実装基板は、その表面に該スペーサ部材が位置決めされるよう形成した窪み部を有し、
該半導体デバイスは、その底面が、該実装基板の窪み部内に配置されたスペーサ部材と当接するよう該実装基板上に載置されている、
半導体モジュール。
A semiconductor module in which a semiconductor device including a semiconductor element is mounted on a mounting substrate via a spacer member,
The mounting substrate has a recess formed on the surface so that the spacer member is positioned;
The semiconductor device is placed on the mounting substrate such that a bottom surface thereof is in contact with a spacer member disposed in a recess of the mounting substrate.
Semiconductor module.
請求項10に記載の半導体モジュールにおいて、
前記半導体デバイスに形成されている端子は、前記実装基板の表面に形成されている配線と接合部により接合されている、半導体デバイス。
The semiconductor module according to claim 10,
The terminal formed in the said semiconductor device is a semiconductor device joined by the wiring currently formed in the surface of the said mounting substrate, and a junction part.
請求項10に記載の半導体モジュールにおいて、
前記実装基板上の窪み内には、熱硬化樹脂材料が設けられており、
前記スペーサ部材は、該実装基板の窪み部内に設けられた該熱硬化樹脂材料中に沈み込むように配置されている半導体素子モジュール。
The semiconductor module according to claim 10,
In the recess on the mounting substrate, a thermosetting resin material is provided,
The said spacer member is a semiconductor element module arrange | positioned so that it may sink in in this thermosetting resin material provided in the hollow part of this mounting board | substrate.
請求項10に記載の半導体モジュールにおいて、
前記実装基板の窪み部は、平面形状を正方形形状あるいは円形形状とし、断面形状を凹型形状、V字型形状、あるいはすり鉢形状としたものである、半導体モジュール。
The semiconductor module according to claim 10,
The recess portion of the mounting substrate is a semiconductor module in which a planar shape is a square shape or a circular shape, and a cross-sectional shape is a concave shape, a V shape, or a mortar shape.
請求項10に記載の半導体モジュールにおいて、
前記スペーサ部材は、球体形状、立方体形状、あるいはラグビーボール形状を有する、半導体モジュール。
The semiconductor module according to claim 10,
The spacer member is a semiconductor module having a spherical shape, a cubic shape, or a rugby ball shape.
請求項10に記載の半導体モジュールにおいて、
前記実装基板には、前記半導体デバイスとして、1つの半導体素子をパッケージ内に収容してなる1つの半導体デバイスが実装されており、
該実装基板の半導体デバイスが実装される領域には同一深さの複数の窪み部が形成されており、
該複数の窪み部に配置されるスペーサ部材には、前記半導体デバイスの裏面が該実装基板の実装面に対して平行になるよう、同一高さのスペーサ部材が用いられている、半導体モジュール。
The semiconductor module according to claim 10,
On the mounting substrate, as the semiconductor device, one semiconductor device formed by housing one semiconductor element in a package is mounted,
A plurality of depressions of the same depth are formed in the area where the semiconductor device of the mounting substrate is mounted,
A semiconductor module in which spacer members having the same height are used for the spacer members arranged in the plurality of depressions so that the back surface of the semiconductor device is parallel to the mounting surface of the mounting substrate.
請求項10に記載の半導体モジュールにおいて、
前記実装基板には、被写体の撮像を行う固体撮像素子をパッケージ内に収容してなる2つの固体撮像デバイスが前記半導体デバイスとして実装されており、
該実装基板の、該2つの固体撮像デバイスの各々が実装される領域には、同一深さの複数の窪み部が形成されており、
該複数の窪み部に配置されるスペーサ部材には、該2つの固体撮像デバイスの各々の固体撮像素子の受光面が、該実装基板の実装面に対して所定の角度だけ傾くよう異なる高さを有するスペーサ部材が用いられている、半導体デバイスの実装方法。
The semiconductor module according to claim 10,
On the mounting substrate, two solid-state imaging devices each containing a solid-state imaging device for imaging a subject in a package are mounted as the semiconductor device,
A plurality of depressions having the same depth are formed in an area where each of the two solid-state imaging devices is mounted on the mounting substrate.
The spacer members disposed in the plurality of depressions have different heights so that the light receiving surfaces of the solid-state imaging elements of the two solid-state imaging devices are inclined by a predetermined angle with respect to the mounting surface of the mounting board. A method for mounting a semiconductor device, wherein a spacer member is used.
半導体モジュールを備えた電子情報機器であって、
該半導体モジュールは、請求項10に記載の半導体モジュールである電子情報機器。
An electronic information device provided with a semiconductor module,
The electronic information device is a semiconductor module according to claim 10.
JP2010225253A 2010-10-04 2010-10-04 Mounting method of semiconductor device, semiconductor module, and electronic information device Withdrawn JP2012079984A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010225253A JP2012079984A (en) 2010-10-04 2010-10-04 Mounting method of semiconductor device, semiconductor module, and electronic information device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010225253A JP2012079984A (en) 2010-10-04 2010-10-04 Mounting method of semiconductor device, semiconductor module, and electronic information device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012079984A true JP2012079984A (en) 2012-04-19

Family

ID=46239869

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010225253A Withdrawn JP2012079984A (en) 2010-10-04 2010-10-04 Mounting method of semiconductor device, semiconductor module, and electronic information device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012079984A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180029492A (en) * 2016-09-12 2018-03-21 삼성전자주식회사 Mounting substrate for semiconductor package, semiconductor package including the same and method of manufacturing the semiconductor package
TWI686937B (en) * 2014-12-30 2020-03-01 美商半導體組件工業公司 Methods of forming image sensor integrated circuit packages

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI686937B (en) * 2014-12-30 2020-03-01 美商半導體組件工業公司 Methods of forming image sensor integrated circuit packages
TWI701825B (en) * 2014-12-30 2020-08-11 美商半導體組件工業公司 Methods of forming image sensor integrated circuit packages
KR20180029492A (en) * 2016-09-12 2018-03-21 삼성전자주식회사 Mounting substrate for semiconductor package, semiconductor package including the same and method of manufacturing the semiconductor package
KR102499518B1 (en) * 2016-09-12 2023-02-14 삼성전자주식회사 Mounting substrate for semiconductor package, semiconductor package including the same and method of manufacturing the semiconductor package

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5877595B2 (en) System and method for mounting an imaging device on a flexible substrate
US9004132B2 (en) Apparatus and method for manufacturing camera module
JP5913284B2 (en) Device with optical module and support plate
US20050248680A1 (en) Compact lens turret assembly
JP2013214964A (en) Camera module with wafer substrate and manufacturing method of the same
US20080218623A1 (en) Accurately-aligned camera module and method for making same
TW200410038A (en) Camera module, camera system and method of manufacturing a camera module
CN105578757A (en) Printed circuit board and electronic equipment
JP2010028110A (en) Printed-circuit board having chip component, and mounting structure of chip component
TW201709452A (en) Packaging structure for image sensor and packaging method thereof
JPWO2020079997A1 (en) Solid-state image sensor and electronic equipment
JP2012079984A (en) Mounting method of semiconductor device, semiconductor module, and electronic information device
JP2009204721A (en) Camera module and method for mounting the same
JP5511156B2 (en) Semiconductor device mounting method, semiconductor element module, and electronic information device
JP4169938B2 (en) Solid-state image sensor holding block and solid-state image sensor mounting structure
JP2008160648A (en) Camera module, imaging apparatus, and method for manufacturing imaging apparatus
KR100756245B1 (en) Camera module
JP2017011217A (en) Solid-state imaging device and camera module
TWI543613B (en) Image sensor module
KR100743083B1 (en) Camera module
JP2009302745A (en) Solid-state imaging device and method of manufacturing solid-state imaging device
JP5599294B2 (en) Imaging module, manufacturing method thereof, and electronic information device
JP2009088650A (en) Image sensor module and method of manufacturing the same
JP2008153938A (en) Camera module, and manufacturing method thereof
TWI607554B (en) Image module structure

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20140107