JP2012076945A

JP2012076945A - Method for manufacturing sheet glass, and glass sheet

Info

Publication number: JP2012076945A
Application number: JP2010221711A
Authority: JP
Inventors: Takatoshi Hirose; 貴利広瀬; 佳紀 ▲高▼橋; Yoshinori Takahashi
Original assignee: Avanstrate Inc
Current assignee: Avanstrate Inc
Priority date: 2010-09-30
Filing date: 2010-09-30
Publication date: 2012-04-19

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing sheet glass, by which sheet glass free from dust, a stain or flaw and useful for an FPD can be efficiently manufactured, and a glass sheet.SOLUTION: The method for manufacturing sheet glass includes a step of forming a water-soluble protective film in a plurality of regions divided by linearly extending linear regions in the inside region of a surface of molded thin sheet-like glass enclosed by the edges of the glass, and a step of carrying out machining including cutting along the linear regions of the glass to thereby manufacture sheet glass. Further, the glass sheet has a water-soluble protective film formed on a surface thereof, and the water-soluble protective film is formed in a plurality of regions divided by linearly extending linear regions in the inside region of a surface of the thin sheet-like glass enclosed by the edges of the glass.

Description

本発明は、成形された薄板状のガラスを所定の長さに切断したシートガラスの製造方法および水溶性保護膜が形成されたガラス板に関する。 The present invention relates to a method for producing a sheet glass obtained by cutting a molded sheet-like glass into a predetermined length and a glass plate on which a water-soluble protective film is formed.

従来より、液晶表示装置用ディスプレイ等のＦＰＤ（Flat Panel Display）には、シートガラスが用いられる。シートガラスには、半導体プロセスにより、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）あるいはＣＦ（Color Filter）等の素子を形成するため、塵や汚れのほか、傷が付いていないことが必要となっている。 Conventionally, sheet glass has been used for flat panel displays (FPDs) such as displays for liquid crystal display devices. Since an element such as a TFT (Thin Film Transistor) or a CF (Color Filter) is formed on the sheet glass by a semiconductor process, it is necessary that the sheet glass is not scratched in addition to dust and dirt.

シートガラスの製造工程では、薄板状で、帯状のガラスが所定の長さに切断された後、
ガラスは積層されて保管される。この後、薄板状のガラスは、ダイヤモンドカッターあるいはレーザ光により切り込み線（スクライブ線）が設けられ、切り込み線に沿って薄板状のガラスが折り曲げられることにより切断される。また、薄板状のガラスはレーザ光による溶断により切断することもできる。このとき、ガラスの切断された端面から数μｍ〜数１００μｍの大きさのガラス微小片が塵となってガラス面に飛散し、塵としてガラス面に付着する。このような塵は、場合によっては、ガラス面との間で化学的接着を起こし、塵の除去が一層難しくなる場合がある。 In the manufacturing process of sheet glass, after the strip-shaped glass is cut into a predetermined length in a thin plate shape,
Glass is laminated and stored. Thereafter, the thin glass is cut by being provided with a cut line (scribe line) by a diamond cutter or laser light, and the thin glass is bent along the cut line. Further, the thin glass can be cut by fusing with a laser beam. At this time, small glass pieces having a size of several μm to several hundreds of μm are scattered as dust from the cut end surface of the glass, and adhere to the glass surface as dust. In some cases, such dust may cause chemical adhesion with the glass surface, and it may be more difficult to remove the dust.

また、ガラス製造業者は、塵、汚れ、あるいは、傷等がない、所定のサイズに加工されたシートガラスを梱包して出荷する。梱包、出荷時においても、環境によっては、塵、汚れが付着し、また、傷が付く場合もある。 In addition, a glass manufacturer packs and ships a sheet glass processed to a predetermined size without dust, dirt, or scratches. Even at the time of packing and shipping, depending on the environment, dust and dirt may be attached or scratched.

このような背景の下、ガラスシートの製造工程において、摩耗、ガラスチップおよび汚染物により、ガラスシートに掻き傷が付いてしまうのを防ぐ方法が知られている（特許文献１）。
具体的には、当該方法は、ガラスシートの形成後に水と高分子の溶液を該ガラスシートが約２００℃よりも高い温度のときに該シートの少なくとも一つの主要表面上に付着させる工程を含む、掻き傷を付ける摩耗および汚染物からガラスシートを保護する方法である。その際、前記温度が、前記高分子を架橋させ、約２０℃未満の温度の水中ではほぼ不溶性である保護層を形成するのに十分である。
上記方法では、ガラスシートのガラス面に一様に高分子の溶液で保護層を形成することで、掻き傷が付いてしまうのを防ぐことができる。 Under such a background, a method for preventing the glass sheet from being scratched by abrasion, glass chips and contaminants in the manufacturing process of the glass sheet is known (Patent Document 1).
Specifically, the method includes the step of depositing a water and polymer solution on the at least one major surface of the sheet after the glass sheet is formed when the glass sheet is at a temperature above about 200 ° C. A method of protecting glass sheets from scratching wear and contaminants. The temperature is then sufficient to crosslink the polymer and form a protective layer that is substantially insoluble in water at temperatures below about 20 ° C.
In the above method, it is possible to prevent scratching by forming the protective layer uniformly with a polymer solution on the glass surface of the glass sheet.

特開２０００−８６２９６号公報JP 2000-86296 A

しかし、上記方法を適用して、所定のサイズのシートガラスとなる前の素板に保護層を形成すると、上記カッターをスクライバとして用いて機械的に切断し、あるいは、レーザ光により切断したとき、保護膜の微小片が飛散して塵となってシートガラスに付着し、また、保護膜の微小片がカッターの表面に付着して、切断性能を低下させる場合がある。 However, by applying the above method and forming a protective layer on the base plate before becoming a sheet glass of a predetermined size, when the above cutter is mechanically cut using a scriber, or when cut by laser light, In some cases, the fine pieces of the protective film are scattered and become dust and adhere to the sheet glass, and the fine pieces of the protective film adhere to the surface of the cutter, thereby reducing the cutting performance.

そこで、本発明は、従来の問題点を解消し、塵、汚れあるいは傷等のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができるシートガラスの製造方法及びガラス板を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention aims to provide a sheet glass manufacturing method and a glass plate that can efficiently eliminate the problems of the prior art and can efficiently manufacture sheet glass useful for FPD free from dust, dirt, or scratches. And

本発明の一態様は、シートガラスの製造方法であって、
成形された薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に水溶性保護膜を形成する工程と、
切断を含む機械加工を前記ガラスの線状領域に沿って行うことにより、シートガラスを製造する工程と、を有する。
本発明の他の態様は、薄板状のガラス板であって、
前記薄板状のガラスの表面に水溶性保護膜が形成され、
前記薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に前記水溶性保護膜が形成されている、ことを特徴とするガラス板である。 One aspect of the present invention is a method for producing sheet glass,
A step of forming a water-soluble protective film in a plurality of regions divided by linear regions extending linearly among the inner regions of the surface of the glass surrounded by the edge of the molded thin glass, and
A step of manufacturing a sheet glass by performing machining including cutting along the linear region of the glass.
Another aspect of the present invention is a thin glass plate,
A water-soluble protective film is formed on the surface of the thin glass,
The water-soluble protective film is formed in a plurality of regions divided by linear regions extending linearly among the inner regions of the glass surface surrounded by the edge of the thin glass. It is the glass plate characterized by this.

上述のシートガラスの製造方法およびガラス板によれば、塵、汚れあるいは傷等のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができる。 According to the above-described sheet glass manufacturing method and glass plate, it is possible to efficiently manufacture sheet glass useful for FPD free from dust, dirt, or scratches.

本実施形態のシートガラスの製造方法の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the manufacturing method of the sheet glass of this embodiment. 本実施形態で用いる素板に形成される水溶性保護膜を示す図である。It is a figure which shows the water-soluble protective film formed in the base plate used by this embodiment. 本実施形態で行われるパレット保管を説明する図である。It is a figure explaining the pallet storage performed in this embodiment. （ａ），（ｂ）は、図１中で示すスクライブおよび端面加工を説明する図である。(A), (b) is a figure explaining the scribe and end surface processing shown in FIG. （ａ），（ｂ）は、図１中で示す洗浄を説明する図である。(A), (b) is a figure explaining the washing | cleaning shown in FIG.

以下、本発明のシートガラスの製造方法及びガラス板について本実施形態に基づいて詳細に説明する。
本実施形態で製造されるシートガラスは、ＦＰＤに用いられる板状ガラスであり、例えば製品厚さが０．３〜０．８ｍｍであり、３００ｍｍ×４００ｍｍ〜３３２０ｍｍ×３０００ｍｍ（縦×横）のサイズの薄板である。また、本発明におけるガラス板の実施形態は、シートガラスを作製する前に後述する水溶性保護膜（第１水溶性保護膜）が形成された薄板状の素板（図２参照）である。
本実施形態で製造されるシートガラスは、表面に半導体素子を形成するため、その表面に塵や汚れ等が付着していない高い清浄度を有することが望まれる液晶表示装置用ディスプレイのガラス基板に好適に用いることができる。この他に、電子機器の表示画面のカバーガラス等に用いることもできる。 Hereinafter, the manufacturing method and glass plate of the sheet glass of this invention are demonstrated in detail based on this embodiment.
The sheet glass manufactured in this embodiment is a sheet glass used for FPD, for example, the product thickness is 0.3 to 0.8 mm, and the size is 300 mm × 400 mm to 3320 mm × 3000 mm (length × width). It is a thin plate. Moreover, the embodiment of the glass plate in the present invention is a thin plate-like base plate (see FIG. 2) on which a water-soluble protective film (first water-soluble protective film) described later is formed before producing sheet glass.
The sheet glass produced in the present embodiment forms a semiconductor element on the surface, and thus is a glass substrate of a display for a liquid crystal display device that is desired to have a high cleanliness free from dust or dirt on the surface. It can be used suitably. In addition, it can be used for a cover glass of a display screen of an electronic device.

本実施形態で製造されるシートガラスの組成は特に限定されないが、例えば、以下の組成比率のガラス板に適用され得る。
（ａ）ＳｉＯ_２:５０〜７０質量％、
（ｂ）Ｂ_２Ｏ_３:５〜１８質量％、
（ｃ）Ａｌ_２Ｏ_３:１０〜２５質量％、
（ｄ）ＭｇＯ:０〜１０質量％、
（ｅ）ＣａＯ:０〜２０質量％、
（ｆ）ＳｒＯ:０〜２０質量％、
（ｏ）ＢａＯ:０〜１０質量％、
（ｐ）ＲＯ:５〜２０質量％（ただしＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒおよびＢａから選ばれる少なくとも１種である）、
（ｑ）Ｒ’_２Ｏ:０．２０質量％を超え２．０質量％以下（ただしＲ’はＬｉ、ＮａおよびＫから選ばれる少なくとも１種である）、
（ｒ）酸化スズ、酸化鉄および酸化セリウムから選ばれる少なくとも１種の金属酸化物を合計で０．０５〜１．５質量％。 Although the composition of the sheet glass manufactured by this embodiment is not specifically limited, For example, it can apply to the glass plate of the following composition ratios.
(A) SiO ₂ : 50 to 70% by mass,
(B) B ₂ O ₃ : 5 to 18% by mass,
(C) Al ₂ O ₃ : 10 to 25% by mass,
(D) MgO: 0 to 10% by mass,
(E) CaO: 0 to 20% by mass,
(F) SrO: 0 to 20% by mass,
(O) BaO: 0 to 10% by mass,
(P) RO: 5 to 20% by mass (wherein R is at least one selected from Mg, Ca, Sr and Ba),
(Q) R ′ ₂ O: more than 0.20% by mass and 2.0% by mass or less (wherein R ′ is at least one selected from Li, Na and K),
(R) 0.05 to 1.5 mass% in total of at least one metal oxide selected from tin oxide, iron oxide, and cerium oxide.

図１は、本実施形態のシートガラスの製造方法の流れを示すフローチャートである。
図１に示すように、溶融されたガラスが、所定の方法、例えばダウンドロー法により、所定の厚さの帯状ガラスに成形される（ステップＳ１０）。ダウンドロー法のほかに、フロート法等を用いることもできる。
ダウンドロー法では、溶融ガラスを樋状の流路の両側から溢れさせ、溢れた溶融ガラスを、流路の下側に位置するくさび状の成形体の両側の側面に沿って流して２つの溶融ガラスの流れを作り、成型体の最下端で２つの溶融ガラスの流れを合流させる。合流してできる帯状のガラスは、下方に設けられた引っ張りローラにより引っ張られる。これにより、溶融ガラスは所定の厚さの帯状ガラスに整形される。 FIG. 1 is a flowchart showing the flow of the sheet glass manufacturing method of the present embodiment.
As shown in FIG. 1, the molten glass is formed into a strip-shaped glass having a predetermined thickness by a predetermined method, for example, a downdraw method (step S10). In addition to the downdraw method, a float method or the like can also be used.
In the downdraw method, molten glass is overflowed from both sides of a bowl-shaped flow path, and the molten glass overflowed is flowed along the side surfaces on both sides of a wedge-shaped molded body located on the lower side of the flow path, thereby melting two pieces. A flow of glass is created, and two molten glass flows are merged at the lowest end of the molded body. The band-shaped glass formed by joining is pulled by a pulling roller provided below. Thereby, the molten glass is shaped into a strip-shaped glass having a predetermined thickness.

次に、成形された帯状ガラスを所定の長さに採板して薄板状の素板を得る（ステップＳ２０）。例えば、採板装置においてカッターで帯状ガラスに切りキズが入れられ、この部分に沿ってクラックを進行させることによって、帯状ガラスはキズに沿ってきれいに折れ、切断される。 Next, the formed strip glass is sampled to a predetermined length to obtain a thin plate-like base plate (step S20). For example, the strip glass is cut into the strip glass with a cutter in a plate-making apparatus, and the strip glass is broken and cut along the scratch by advancing a crack along this portion.

次に、薄板状の素板上に水溶性保護膜が形成される（ステップＳ３０）。水溶性保護膜は、例えば、スクリーン印刷法、スプレー法、あるいは、スリットコーター法により、所定のパターン形状になるように形成される。水溶性保護膜は、例えば６０℃の温度で３０分放置することにより乾燥される。水溶性保護膜の厚さは、１０μｍ未満であり、引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、７Ｂより硬いことが好ましく、３Ｈ以上の硬度がより好ましい。このような硬度により、水溶性保護膜には傷が付き難く、傷が付いても素板のガラス面に達しない。１０μｍ未満に膜厚を制限するのは、後述する洗浄において、残渣成分が残ることが無いように、水溶性保護膜を効率よく除去するためである。 Next, a water-soluble protective film is formed on the thin plate-shaped base plate (step S30). The water-soluble protective film is formed to have a predetermined pattern shape by, for example, a screen printing method, a spray method, or a slit coater method. The water-soluble protective film is dried, for example, by leaving it at a temperature of 60 ° C. for 30 minutes. The thickness of the water-soluble protective film is less than 10 μm, and the scratch hardness (JIS-K5600-5-4) is preferably harder than 7B, and more preferably 3H or higher. Due to such hardness, the water-soluble protective film is hardly scratched and does not reach the glass surface of the base plate even if scratched. The reason for limiting the film thickness to less than 10 μm is to efficiently remove the water-soluble protective film so that no residual components remain in the cleaning described later.

スクリーン印刷法では、例えば、所定のパターンに孔あけされたマスクを用いて、保護膜用液が孔を通して塗布される。また、スプレー法では、膜を形成しない部分に予めマスキングテープ等を所定のパターンに付着させて、保護膜用液をインクジェットと同様に吐出させて素板上に塗布する。保護膜用液が乾燥した後、マスキングテープを除去することにより、所定のパターンの水溶性保護膜が形成される。
あるいは、スリットコーター法では、素板の縦方向あるいは横方向に沿ってスリットノズルが一定速度で移動しながら素板を塗布するスリットコーターが用いられる。スリットコーターは、スリットノズルから、インクジェットと同様に保護膜用液を吐出して素板上に塗布する。このとき、水溶性保護膜の形成されない領域に対向するノズルからは、保護膜用液が吐出されないようにスリットノズルは制御される。 In the screen printing method, for example, the protective film solution is applied through the holes using a mask having a predetermined pattern. In the spray method, a masking tape or the like is attached to a predetermined pattern in advance on a portion where no film is formed, and a protective film solution is ejected in the same manner as an ink jet and applied onto a base plate. After the protective film solution is dried, the masking tape is removed to form a water-soluble protective film having a predetermined pattern.
Alternatively, the slit coater method uses a slit coater that applies the base plate while the slit nozzle moves at a constant speed along the vertical or horizontal direction of the base plate. The slit coater discharges the protective film liquid from the slit nozzle and applies it onto the base plate in the same manner as in the ink jet. At this time, the slit nozzle is controlled so that the protective film liquid is not discharged from the nozzle facing the region where the water-soluble protective film is not formed.

水溶液保護膜は、後述するシートガラスの洗浄において十分に除去されるように形成される。水溶液保護膜は、水への溶解度が高い、安価で、毒性がないことに加え、素板の表面を薄く均一に、高被覆率をもって覆うものが望ましい。また、水溶液保護膜の水溶性物質としては、リン酸塩、ホウ酸塩、ケイ酸塩、硫酸塩、イオウを含む無機塩、ハロゲン化物、炭酸塩、重炭酸塩、硝酸塩、有機酸塩、前記塩の複塩、有機酸、単糖類、アクリル酸、メタクリル酸、ポリビニルアルコール、ポリエチレン等の水溶性ポリマーおよび多糖類からなる群より選ばれた１種以上を挙げることができる。また、共有結合性が強く、網目構造を有するリン酸塩（例えばトリポリリン酸ナトリウム、メタリン酸ナトリウム）、ホウ酸塩（例えば四ホウ酸ナトリウム）等が好ましい。 The aqueous solution protective film is formed so as to be sufficiently removed in the later-described sheet glass cleaning. It is desirable that the aqueous protective film has high solubility in water, is inexpensive, has no toxicity, and covers the surface of the base plate thinly and uniformly with a high coverage. In addition, the water-soluble substance of the aqueous protective film includes phosphate, borate, silicate, sulfate, inorganic salt containing sulfur, halide, carbonate, bicarbonate, nitrate, organic acid salt, Examples thereof include one or more selected from the group consisting of double salts of salts, organic acids, monosaccharides, water-soluble polymers such as acrylic acid, methacrylic acid, polyvinyl alcohol, polyethylene, and polysaccharides. Further, phosphates (for example, sodium tripolyphosphate, sodium metaphosphate), borates (for example, sodium tetraborate) having a strong covalent bond and a network structure are preferable.

図２に示すように、薄板状のガラスである素板１０には、この素板１０の表面における、縁部に囲まれた内側領域のうち、直線状に延びる線状領域１２によって分割される領域１４に４つの水溶性保護膜１６が形成されている。線状領域１２の幅は、例えば２ｍｍであり、１〜３ｍｍであることが好ましい。また、水溶性保護膜１６が素板１０の縁部に形成されていない。水溶性保護膜１６が形成されない縁部の幅は、例えば２ｍｍであり、１〜５ｍｍであることが好ましい。 As shown in FIG. 2, the base plate 10, which is a thin plate-like glass, is divided by a linear region 12 extending linearly among the inner region surrounded by the edge on the surface of the base plate 10. Four water-soluble protective films 16 are formed in the region 14. The width | variety of the linear area | region 12 is 2 mm, for example, and it is preferable that it is 1-3 mm. Further, the water-soluble protective film 16 is not formed on the edge of the base plate 10. The width of the edge where the water-soluble protective film 16 is not formed is, for example, 2 mm, and preferably 1 to 5 mm.

このように、素板１０の線状領域１２と縁部の領域に水溶性保護膜１６が形成されないのは、後述する素板１０のスクライブと切断、およびシートガラスの端面加工をする際、これらの機械加工を正確に行うためである。これら機械加工の際、水溶性保護膜１６が加工面上にあると、スクライブ線が連続して形成されず、また、水溶性保護膜１６の微小片がスクライバに付着し、この微小片が、スクライブ時、加工面に塵として付着する場合がある。さらに、後述する研削用ホイールによるシートガラスの端面の研削の際、水溶性保護膜１６の微小片が発生して、シートガラスの表面に塵として付着する場合があるからである。
なお、図２に示す例では、水溶性保護膜１６は４分割されるが、この分割形態に制限されず、２分割、３分割、５分割等、それ以上であってもよい。 Thus, the water-soluble protective film 16 is not formed in the linear region 12 and the edge region of the base plate 10 when scribing and cutting the base plate 10 to be described later, and processing the end face of the sheet glass. This is to accurately perform the machining. In these machining processes, if the water-soluble protective film 16 is on the processing surface, the scribe line is not continuously formed, and a minute piece of the water-soluble protective film 16 adheres to the scriber. When scribing, it may adhere to the processed surface as dust. Further, when the end face of the sheet glass is ground by a grinding wheel to be described later, fine pieces of the water-soluble protective film 16 may be generated and adhere as dust to the surface of the sheet glass.
In the example shown in FIG. 2, the water-soluble protective film 16 is divided into four parts, but is not limited to this divided form, and may be two parts, three parts, five parts, or more.

次に、水溶性保護膜１６が形成された素板１０は、図３に示されるように、複数の素板が積層された積層体１８に、積層されてパレット保管される（ステップＳ４０）。その際、素板１０に形成された水溶性保護膜１６と積層体１８の素板１０のガラス面との間に合紙２０が挟まれるように、素板１０は積層される。合紙２０と第１水溶性保護膜１６とを接触させるのは、合紙２０から染み出る成分が素板１０のガラス面に付着するのを水溶性保護膜１６により保護するためである。水溶性保護膜１６を形成するガラス面は、例えば、ＦＰＤ用シートガラスとして用いるとき、ＴＦＴやＣＦ等の素子が形成される面となる。このため、他方のガラス面に比べて塵、汚れあるいは傷等が無いように十分な管理をする必要がある。勿論、上記他方のガラス面における表面の塵、汚れあるいは傷等に対する要求品質は、水溶性保護膜１６を形成するガラス面に比べて高くないが、上記他方のガラス面にも水溶性保護膜１６を形成してもよい。
また、水溶性保護膜１６が形成された表面に直接他のガラスの素板を積層することによって、合紙２０を緩衝材として使用する必要性も無くなる。
なお、本実施形態では、パレット保管を行うが、パレット保管を行うことなく、水溶性保護膜が形成された素板１０に対して、後述する素板１０のスクライブと切断の加工処理を行ってもよい。 Next, as shown in FIG. 3, the base plate 10 on which the water-soluble protective film 16 is formed is stacked and stored on the stacked body 18 in which a plurality of base plates are stacked (step S40). At that time, the base plate 10 is laminated so that the interleaf paper 20 is sandwiched between the water-soluble protective film 16 formed on the base plate 10 and the glass surface of the base plate 10 of the laminate 18. The reason why the interleaf paper 20 and the first water-soluble protective film 16 are brought into contact with each other is that the water-soluble protective film 16 protects the components that exude from the interleaf paper 20 from adhering to the glass surface of the base plate 10. The glass surface on which the water-soluble protective film 16 is formed is a surface on which elements such as TFT and CF are formed when used as an FPD sheet glass, for example. For this reason, it is necessary to manage sufficiently so that there is no dust, dirt, a crack, etc. compared with the other glass surface. Of course, the required quality against dust, dirt or scratches on the surface of the other glass surface is not high compared to the glass surface on which the water-soluble protective film 16 is formed, but the water-soluble protective film 16 is also formed on the other glass surface. May be formed.
Further, by laminating another glass base plate directly on the surface on which the water-soluble protective film 16 is formed, there is no need to use the interleaf paper 20 as a buffer material.
In this embodiment, pallet storage is performed. However, without performing pallet storage, the base plate 10 on which the water-soluble protective film is formed is subjected to scribing and cutting processing of the base plate 10 described later. Also good.

次に、積層体１８として保管された複数の素板１０の中から１枚の素板１０が取り出され、素板１０に対して、スクライブと切断を含む機械加工が施される（ステップＳ５０）。
具体的には、まず、図４（ａ）に示すように、ダイヤモンドカッター２２をスクライバとして用いて溝状の切り込みであるスクライブ線１３が線状領域１２上に設けられる。このスクライブ線１３に沿って、手または機械によって、素板１０が分割切断されて、シートガラス２４が得られる。スクライブ線１３は、第１水溶性保護膜１６が形成されていない線状領域１２に設けられるので、スクライブ線１３を確実に設けることができる。また、ダイヤモンドカッター２２は、第１水溶性保護膜１６が形成されていない線状領域１２に沿ってスクライブ線１３を設けるので、第１水溶性保護膜１６の微小片がダイヤモンドカッター２２に付着して、スクライブの性能を低下させることを防止することができる。
本実施形態では、ダイヤモンドカッター２２を用いて形成されたスクライブ線１３を用いて切断されるが、素板１０は、レーザ光による溶断により切断することもできる。 Next, one base plate 10 is taken out from the plurality of base plates 10 stored as the laminate 18, and the base plate 10 is subjected to machining including scribing and cutting (step S50). .
Specifically, first, as shown in FIG. 4A, a scribe line 13 that is a groove-shaped cut is provided on the linear region 12 using the diamond cutter 22 as a scriber. Along the scribe line 13, the base plate 10 is divided and cut by hand or machine to obtain a sheet glass 24. Since the scribe line 13 is provided in the linear region 12 where the first water-soluble protective film 16 is not formed, the scribe line 13 can be provided reliably. Further, since the diamond cutter 22 is provided with the scribe line 13 along the linear region 12 where the first water-soluble protective film 16 is not formed, a minute piece of the first water-soluble protective film 16 adheres to the diamond cutter 22. Thus, it is possible to prevent the scribing performance from being lowered.
In this embodiment, although it cut | disconnects using the scribe line 13 formed using the diamond cutter 22, the base plate 10 can also be cut | disconnected by fusing by a laser beam.

次に、得られたシートガラス２４の端面加工が行われる（ステップＳ６０）。
シートガラスの端面加工では、研削、研磨およびコーナーカットが行われる。
具体的には、図４（ｂ）に示されるよう、シートガラス２４の互いに対向する一対の端面２６を、ダイヤモンドホイール２８を所定の速度で回転させながら研削を行う。ダイヤモンドホイール２８は、公知のものが用いられ、特に制限されない。ダイヤモンドホイール２８は、例えば、所定の粒径のダイヤモンド砥石を、金属ボンドに一定の含有率で含ませた砥粒層が、円板状の台金の周囲に設けられたものである。 Next, end face processing of the obtained sheet glass 24 is performed (step S60).
In end face processing of sheet glass, grinding, polishing, and corner cutting are performed.
Specifically, as shown in FIG. 4B, a pair of opposed end surfaces 26 of the sheet glass 24 are ground while rotating the diamond wheel 28 at a predetermined speed. A known diamond wheel 28 is used and is not particularly limited. In the diamond wheel 28, for example, an abrasive layer in which a diamond grindstone having a predetermined particle diameter is included in a metal bond at a constant content is provided around a disk-shaped base metal.

研磨についてもダイヤモンドホイール２８と同様に構成をしたホイールが用いられるが、研磨に用いる砥石の粒径はダイヤモンドホイール２８における粒径に比べて小さい。また、研磨に用いるホイールには、ダイヤモンド砥石ではなく、例えば、ＳｉＣ砥石が樹脂中に分散したものが用いられる。研削における砥石の粒度は、例えば、ＪＩＳＲ６００１で規定されるＦ５００である。
研削および研磨では、シートガラス２４の二対の端面それぞれについて行われる。
この後、ダイヤモンドホイール２８と同様の構成をしたダイヤモンドホイールを用いてシートガラス２４の４つのコーナー部分の端面がカットされる。 For the polishing, a wheel having the same configuration as that of the diamond wheel 28 is used, but the particle size of the grindstone used for polishing is smaller than the particle size of the diamond wheel 28. Further, the wheel used for polishing is not a diamond grindstone but, for example, a wheel in which a SiC grindstone is dispersed in a resin. The particle size of the grindstone in grinding is, for example, F500 defined by JIS R6001.
Grinding and polishing are performed for each of the two pairs of end faces of the sheet glass 24.
Thereafter, the end surfaces of the four corner portions of the sheet glass 24 are cut using a diamond wheel having the same configuration as the diamond wheel 28.

研削、研磨およびコーナーカットの際、シートガラス２４の縁部には、水溶性保護膜１６が形成されていないので、これらの加工中、水溶性保護膜１６の微小片が飛び散って、シートガラス２４のガラス面に付着することはない。さらに、ダイヤモンドホイールに水溶性保護膜１６の微小片が付着してダイヤモンドホイールの研削面やホイールの研磨面等を汚すことはなく、その結果、ダイヤモンドホイールの加工性能が低下することもない。 At the time of grinding, polishing, and corner cutting, the water-soluble protective film 16 is not formed on the edge of the sheet glass 24. Therefore, during these processing, minute pieces of the water-soluble protective film 16 are scattered, and the sheet glass 24 It does not adhere to the glass surface. Further, the fine pieces of the water-soluble protective film 16 do not adhere to the diamond wheel to contaminate the grinding surface of the diamond wheel, the polishing surface of the wheel, etc. As a result, the processing performance of the diamond wheel is not deteriorated.

次に、端面加工されたシートガラス２４の洗浄が行われる（ステップＳ７０）。
洗浄では、シートガラス２４に付着した塵や汚れを洗浄する。 Next, the sheet glass 24 subjected to the end face processing is cleaned (step S70).
In cleaning, dust and dirt attached to the sheet glass 24 are cleaned.

洗浄では、図５（ａ）に示されるように、複数の洗浄ブラシ３０がガラスシート２４の幅方向に沿って二列に並んだ洗浄装置が用いられる。洗浄ブラシ３０は円形状をなしており、図５（ｂ）に示すように複数の繊維３２が円板状の基部に植毛されている。洗浄の際、洗浄ブラシ３０は、隣接する洗浄ブラシ３０と互いに反対方向に回転する。また、洗浄装置には、シートガラス２４の幅方向に沿って、洗浄液をシートガラス２４上に供給する供給ノズル３２が複数設けられている。洗浄液は純水、あるいはアルカリ溶液を含んだ洗浄水（アルカリ水溶液）である。このため、水溶性保護膜１６は、洗浄によって除去される。 In the cleaning, as shown in FIG. 5A, a cleaning device is used in which a plurality of cleaning brushes 30 are arranged in two rows along the width direction of the glass sheet 24. The cleaning brush 30 has a circular shape, and a plurality of fibers 32 are planted on a disk-shaped base as shown in FIG. During cleaning, the cleaning brush 30 rotates in the opposite direction to the adjacent cleaning brush 30. The cleaning device is provided with a plurality of supply nozzles 32 that supply the cleaning liquid onto the sheet glass 24 along the width direction of the sheet glass 24. The cleaning liquid is pure water or cleaning water (alkaline aqueous solution) containing an alkaline solution. For this reason, the water-soluble protective film 16 is removed by washing.

洗浄されたシートガラス２４に対して製品検査が行われる（ステップＳ８０）。この検査では、シートガラス２４に光を照射してシートガラス２４の透過像あるいは反射像をカメラ等の撮像素子を用いて撮影することで検査装置は透過像あるいは反射像の画像データを得る。検査装置は、この画像データの輝度情報を用いて、シートガラス２４に塵、汚れ、あるいは、傷が無いか否かを検査する。
検査の結果、品質上適合品とされるシートガラスは、納品対象の製品とされる。不適合品は、粉砕されてカレットとして用いられる。 A product inspection is performed on the washed sheet glass 24 (step S80). In this inspection, the inspection apparatus obtains image data of a transmission image or a reflection image by irradiating the sheet glass 24 with light and photographing a transmission image or a reflection image of the sheet glass 24 using an imaging element such as a camera. The inspection apparatus inspects whether the sheet glass 24 is free from dust, dirt, or scratches using the luminance information of the image data.
As a result of the inspection, the sheet glass that is considered to be a quality-compatible product is a product to be delivered. The nonconforming product is crushed and used as cullet.

次に、適合品のシートガラス２４に対して、水溶性保護膜１６とは異なる別の水溶性保護膜が形成される（ステップＳ９０）。以降、水溶性保護膜１６は、第１水溶性保護膜１６といい、ステップＳ９０で形成される水溶性保護膜は、第２水溶性保護膜という。
第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜１６と異なり、シートガラス２４の全面に形成される。第２水溶性保護膜の形成方法は、例えば、スクリーン印刷法、スプレー法、あるいは、スリットコーター法により行われる。
第２水溶性保護膜が形成されるシートガラス２４のガラス面は、第１水溶性保護膜１６が形成されたガラス面と同じ面である。第１水溶性保護膜１６が形成されたガラス面は、ＴＦＴあるいはＣＦ等の素子を形成する面であり、塵、汚れ、および傷等がないことが必要である。このため、このガラス面を保護するために第２水溶性保護膜が形成される。 Next, another water-soluble protective film different from the water-soluble protective film 16 is formed on the compatible sheet glass 24 (step S90). Hereinafter, the water-soluble protective film 16 is referred to as the first water-soluble protective film 16, and the water-soluble protective film formed in step S90 is referred to as the second water-soluble protective film.
Unlike the first water-soluble protective film 16, the second water-soluble protective film is formed on the entire surface of the sheet glass 24. The second water-soluble protective film is formed by, for example, a screen printing method, a spray method, or a slit coater method.
The glass surface of the sheet glass 24 on which the second water-soluble protective film is formed is the same surface as the glass surface on which the first water-soluble protective film 16 is formed. The glass surface on which the first water-soluble protective film 16 is formed is a surface on which an element such as a TFT or a CF is formed, and is required to be free from dust, dirt, scratches, and the like. For this reason, a second water-soluble protective film is formed to protect the glass surface.

第２水溶性保護膜は、膜厚およびシートガラス２４のガラス面に対する密着度が第１水溶性保護膜１６と異なる。すなわち、第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜１６に対して厚さが厚く、１０〜５０μｍである。さらに、第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜１６に対して、組成成分を変えることにより、ガラス面に対する密着度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−６）が低くなっている。第２水溶性保護膜を第１水溶性保護膜１６に対して厚さを厚くするのは、シートガラスを搬送のために梱包し搬送するとき、ガラス面に傷がつかない程度にガラス面を保護するためである。搬送するとき、シートガラスは、第１水溶性保護膜を形成して行う機械加工の環境に比べてより大きな傷を受けやすい環境下にある。
また、第２水溶性保護膜のガラス面に対する密着度を、第１水溶性保護膜１６に対して低くするのは、納入先業者において、第２水溶性保護膜を、洗浄の前にフィルムシートのように容易に引き剥がすことを可能とするためである。納入先業者において容易に引き剥がしができない場合、製品の欠陥とされる他、納入先業者において効率のよい作業ができない。
さらに、第２水溶性保護膜を厚くすることにより、フィルムシートのようにより容易に引き剥がすことが可能となる。
また、第２水溶性保護膜の引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、９Ｂより硬いことが好ましい。 The second water-soluble protective film is different from the first water-soluble protective film 16 in film thickness and degree of adhesion to the glass surface of the sheet glass 24. That is, the second water-soluble protective film is thicker than the first water-soluble protective film 16 and has a thickness of 10 to 50 μm. Further, the second water-soluble protective film has a lower degree of adhesion (JIS-K5600-5-6) to the glass surface by changing the composition component with respect to the first water-soluble protective film 16. The thickness of the second water-soluble protective film with respect to the first water-soluble protective film 16 is increased so that the glass surface is not damaged when the sheet glass is packed and conveyed for conveyance. This is to protect. When transported, the sheet glass is in an environment where it is more susceptible to greater scratches than the environment of machining performed by forming the first water-soluble protective film.
Also, the degree of adhesion of the second water-soluble protective film to the glass surface is lowered with respect to the first water-soluble protective film 16 because the second water-soluble protective film is removed from the film sheet before cleaning at the supplier. This is because it can be easily peeled off. If the supplier cannot easily peel it off, it is regarded as a product defect, and efficient operations cannot be performed at the supplier.
Further, by increasing the thickness of the second water-soluble protective film, it can be more easily peeled off like a film sheet.
Moreover, it is preferable that the scratch hardness (JIS-K5600-5-4) of the second water-soluble protective film is harder than 9B.

第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜と同様に、純水あるいはアルカリ水溶液である洗浄液によって除去可能な材質であり、また、第２水溶液保護膜の水溶性物質としては、リン酸塩、ホウ酸塩、ケイ酸塩、硫酸塩、イオウを含む無機塩、ハロゲン化物、炭酸塩、重炭酸塩、硝酸塩、有機酸塩、前記塩の複塩、有機酸、単糖類、アクリル酸、メタクリル酸、ポリビニルアルコール、ポリエチレン等の水溶性ポリマーおよび多糖類からなる群より選ばれた１種以上を挙げることができる。また、共有結合性が強く、網目構造を有するリン酸塩（例えばトリポリリン酸ナトリウム、メタリン酸ナトリウム）、ホウ酸塩（例えば四ホウ酸ナトリウム）等が好ましい。 Similar to the first water-soluble protective film, the second water-soluble protective film is a material that can be removed by a cleaning solution that is pure water or an alkaline aqueous solution. The water-soluble substance of the second aqueous protective film is phosphoric acid. Salts, borates, silicates, sulfates, inorganic salts including sulfur, halides, carbonates, bicarbonates, nitrates, organic acid salts, double salts of said salts, organic acids, monosaccharides, acrylic acid, One or more selected from the group consisting of water-soluble polymers such as methacrylic acid, polyvinyl alcohol, and polyethylene and polysaccharides can be mentioned. Further, phosphates (for example, sodium tripolyphosphate, sodium metaphosphate), borates (for example, sodium tetraborate) having a strong covalent bond and a network structure are preferable.

なお、第２水溶性保護膜表面の算術平均粗さＲａが０．０５〜３０μｍであることが好ましい。このように、第２水溶性保護膜表面に微小凹凸を設け、算術平均粗さＲａを０．０５以上とするのは、後述するように、シートガラス２４を積層して梱包するが、積層したシートガラス２４同士が密着しないようにするためである。一方、算術平均粗さＲａの上限を３０μｍとするのは、第２水溶性保護膜の形状を保つようにするためである。第２水溶性保護膜の厚さは１０〜５０μｍであるため、算術平均粗さＲａが３０μｍを越えた場合膜としての形状を保つことができない。このような微小凹凸は、第２水溶性保護膜となる保護膜用液に含まれる消泡剤成分を調整する（減らす）ことにより、形成される。作製のし易さの点から、好ましくは、シートガラス２４の表面に第２水溶性保護膜用液体が印刷あるいは塗布された後、固化（乾燥）前に、シートガラス２４の表面で発泡させるとよい。 In addition, it is preferable that arithmetic mean roughness Ra of the 2nd water-soluble protective film surface is 0.05-30 micrometers. As described above, the surface of the second water-soluble protective film is provided with minute irregularities, and the arithmetic average roughness Ra is set to 0.05 or more. This is to prevent the sheet glasses 24 from being in close contact with each other. On the other hand, the reason why the upper limit of the arithmetic average roughness Ra is set to 30 μm is to keep the shape of the second water-soluble protective film. Since the thickness of the second water-soluble protective film is 10 to 50 μm, the shape as a film cannot be maintained when the arithmetic average roughness Ra exceeds 30 μm. Such minute irregularities are formed by adjusting (reducing) the defoaming agent component contained in the protective film liquid to be the second water-soluble protective film. From the viewpoint of ease of production, it is preferable that the second water-soluble protective film liquid is printed or applied on the surface of the sheet glass 24 and then foamed on the surface of the sheet glass 24 before solidification (drying). Good.

こうして第２水溶性保護膜が形成されたシートガラス２４は、図３に示すパレット保管と同様に、第２水溶性保護膜と合紙とを接触させた状態で他のシートガラスに積層されて梱包され、納入先業者に出荷される（ステップＳ１００）。
従来は、梱包のためにシートガラスを積層するとき、シートガラスとシートガラスの間に一枚のフィルムを介して積層されていたが、積層された状態が長時間続くと、フィルム成分が接触するガラス面に転写されて、シートガラスの清浄度が低下する。また、フィルム成分が転写されることにより、フィルムとガラス面の密着性が高くなり、納入先業者においてフィルムの剥離が困難になる場合もある。
しかし、本実施形態のように、第２水溶性保護膜を合紙と接触させることで、合紙の成分がガラス面へ転写することを第２水溶性保護膜が阻止するので、シートガラス２４のガラス面の塵や汚れは抑制される。また、第２水溶性保護膜でシートガラスのガラス面は覆われているので、搬送時傷も付き難い。また、第２水溶性保護膜を形成することで、合紙で挟むことなくシートガラス２４を積層することもできる。これにより、合紙からの成分が転写されて汚れを形成することを防止できる。
なお、本実施形態では、第１水溶性保護膜１６及び第２水溶性保護膜を、一方のガラス面に設けるが、これに制限されない。第１水溶性保護膜１６及び第２水溶性保護膜を、両方のガラス面に設けてもよい。 The sheet glass 24 on which the second water-soluble protective film is thus formed is laminated on another sheet glass in a state where the second water-soluble protective film and the interleaf are in contact with each other as in the case of pallet storage shown in FIG. Packed and shipped to the supplier (step S100).
Conventionally, when laminating sheet glass for packing, it was laminated via a single film between sheet glass, but if the laminated state continues for a long time, the film components come into contact It is transferred to the glass surface and the cleanliness of the sheet glass is lowered. In addition, the transfer of the film component increases the adhesion between the film and the glass surface, and it may be difficult for the supplier to peel off the film.
However, as in the present embodiment, the second water-soluble protective film prevents the components of the slip sheet from being transferred to the glass surface by bringing the second water-soluble protective film into contact with the slip sheet. Dust and dirt on the glass surface are suppressed. Moreover, since the glass surface of sheet glass is covered with the 2nd water-soluble protective film, it is hard to be damaged at the time of conveyance. Further, by forming the second water-soluble protective film, the sheet glass 24 can be laminated without being sandwiched between the slip sheets. As a result, it is possible to prevent the components from the interleaf from being transferred to form dirt.
In the present embodiment, the first water-soluble protective film 16 and the second water-soluble protective film are provided on one glass surface, but are not limited thereto. The first water-soluble protective film 16 and the second water-soluble protective film may be provided on both glass surfaces.

以上のように、本実施形態では、成形された素板１０のガラス面において、素板１０の縁部に囲まれた内側領域のうち、直線状に延びる線状領域１２によって分割される複数の領域に第１水溶性保護膜１６を形成した後、この線状領域１２に沿って、スクライブおよび切断を含む機械加工を行うことにより、シートガラスを製造する。このため、スクライブ線を確実に連続して形成することができ、また、水溶性保護膜１６の微小片がスクライバに付着することはなく、したがって、微小片が、スクライブ時、加工面に塵として付着することもない。さらに、研削用ホイールによるシートガラス２４の端面の研削の際、第１水溶性保護膜１６の微小片が発生して、シートガラス２４の表面に塵として付着することもない。したがって、塵、汚れあるいは傷のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができる。
また、図２に示されるような素板１０では、第１水溶性保護膜１６が、素板１０の表面において、素板１０の縁部に囲まれた内側領域のうち、直線状に延びる線状領域１２によって分割される複数の領域に形成されているので、以降のスクライブおよび切断を含む機械加工を線状領域１２に沿って行う際、塵、汚れあるいは傷等が付着しにくい。 As described above, in the present embodiment, a plurality of pieces are divided by the linear regions 12 extending linearly among the inner regions surrounded by the edges of the base plate 10 on the glass surface of the formed base plate 10. After forming the first water-soluble protective film 16 in the region, a sheet glass is manufactured by performing machining including scribing and cutting along the linear region 12. For this reason, the scribe line can be reliably and continuously formed, and the fine piece of the water-soluble protective film 16 does not adhere to the scriber. There is no adhesion. Furthermore, when the end surface of the sheet glass 24 is ground by the grinding wheel, fine pieces of the first water-soluble protective film 16 are not generated and do not adhere to the surface of the sheet glass 24 as dust. Therefore, it is possible to efficiently produce a sheet glass useful for FPD free from dust, dirt or scratches.
Moreover, in the base plate 10 as shown in FIG. 2, the first water-soluble protective film 16 is a line extending linearly in the inner region surrounded by the edge of the base plate 10 on the surface of the base plate 10. Since it is formed in a plurality of regions divided by the linear region 12, dust, dirt, scratches, or the like are difficult to adhere when machining including the subsequent scribing and cutting is performed along the linear region 12.

以上、本発明のシートガラスの製造方法およびガラス板について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。 As mentioned above, although the manufacturing method and glass plate of the sheet glass of this invention were demonstrated in detail, this invention is not limited to the said embodiment, Even if it is variously improved and changed in the range which does not deviate from the main point of this invention. Of course it is good.

１０素板
１２線状領域
１３スクライブ線
１４領域
１６第１水溶性保護膜（水溶性保護膜）
１８積層体
２０合紙
２２ダイヤモンドカッター
２４シートガラス
２６端面
２８ダイヤモンドホイール
３０洗浄ブラシ
３２繊維 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Base plate 12 Linear area | region 13 Scribe line 14 Area | region 16 1st water-soluble protective film (water-soluble protective film)
18 Laminate 20 Interleaf 22 Diamond Cutter 24 Sheet Glass 26 End Face 28 Diamond Wheel 30 Cleaning Brush 32 Fiber

Claims

A method for producing sheet glass,
A step of forming a water-soluble protective film in a plurality of regions divided by linear regions extending linearly among the inner regions of the surface of the glass surrounded by the edge of the molded thin glass, and
And a step of manufacturing a sheet glass by performing machining including cutting along the linear region of the glass.

The thickness of the said water-soluble protective film is less than 10 micrometers, and the scratch hardness (JIS-K5600-5-4) of the said water-soluble protective film is a manufacturing method of the sheet glass of Claim 1 harder than 7B.

The machining includes a process of cutting a surface of the glass along a linear region of the glass, and a process of cutting the glass having the cut along the cut.
Furthermore, after cutting the said glass along the said notch, the manufacturing method of the sheet glass of Claim 1 or 2 which has the process of removing the said water-soluble protective film.

The method for producing a sheet glass according to claim 3, wherein after cutting the glass, the end surface of the cut glass is ground and polished before removing the water-soluble protective film.

The manufacturing method of the sheet glass of Claim 3 or 4 which removes using a pure water or alkaline aqueous solution, when removing the said water-soluble protective film.

After forming the water-soluble protective film on the glass and before performing the machining, the glass is laminated so that the water-soluble protective film and the paper are in contact with each other with the paper sandwiched between them. The manufacturing method of the sheet glass of any one of Claims 1-5 laminated | stacked and stored in.

The manufacturing method of the sheet glass of any one of Claims 1-6 in which the said sheet glass is used for the glass substrate of a liquid crystal display device.

A thin glass plate,
A water-soluble protective film is formed on the surface of the thin glass,
The water-soluble protective film is formed in a plurality of regions divided by linear regions extending linearly among the inner regions of the glass surface surrounded by the edge of the thin glass. A glass plate characterized by

The thickness of the said water-soluble protective film is less than 10 micrometers, and the scratch hardness (JIS-K5600-5-4) of the said water-soluble protective film is harder than 7B, The glass plate of Claim 8.