JP2012075050A - Solid-state imaging element, imaging device, and black level decision method - Google Patents

Solid-state imaging element, imaging device, and black level decision method Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid-state imaging element capable of eliminating an OB (optical black) level difference by a configuration entirely different from the conventional art.SOLUTION: A solid-state imaging element has: a plurality of effective pixel pairs arranged two-dimensionally, each consisting of two effective pixels 51 and 52 arranged so as to be adjacent to each other; and at least one OB pixel group including OB pixels 53 and 54 for detecting a black reference level of an imaged image signal, and provided so as to correspond to the plurality of effective pixel pairs aligned in the same row. In the OB pixels 53 and 54 included in the OB pixel group, configuration for element regions 53a and 54a formed at positions corresponding to photoelectric conversion regions 51a and 52a of the effective pixels 51 and 52 included in the effective pixel pair, is different from each other for all the OB pixels 53 and 54.

Description

本発明は、固体撮像素子、撮像装置、黒レベル決定方法に関する。   The present invention relates to a solid-state imaging device, an imaging apparatus, and a black level determination method.

CCDイメージセンサやCMOSイメージセンサ等の固体撮像素子においては、多数の有効画素を2次元配列で設けた半導体基板上に上層膜を介して遮光膜を配置し、この遮光膜に各有効画素に対応して設けた開口部から各有効画素のフォトダイオード(光電変換素子)に光を入射させることにより、各フォトダイオードにおいて入射光量に応じた信号電荷を生成し、これを読み出すことで撮像画像信号を得るようになっている。   In a solid-state imaging device such as a CCD image sensor or a CMOS image sensor, a light shielding film is disposed on a semiconductor substrate provided with a number of effective pixels in a two-dimensional array via an upper film, and this light shielding film corresponds to each effective pixel. The light is incident on the photodiodes (photoelectric conversion elements) of each effective pixel from the openings provided in this manner, so that signal charges corresponding to the amount of incident light are generated in each photodiode, and the captured image signal is obtained by reading this signal charge. To get.

そして、このようなイメージセンサでは、一般に、撮像画像信号の輝度レベルを決定するための基準となる黒の基準レベル(黒レベル)を得るためのOB(optical black)画素を有効画素とは別に設けている。   In such an image sensor, generally, an OB (optical black) pixel for obtaining a black reference level (black level) as a reference for determining a luminance level of a captured image signal is provided separately from an effective pixel. ing.

従来のイメージセンサに設けられるOB画素は、一般に、有効画素のフォトダイオードと同様の工程によってフォトダイオードを形成し、有効画素と共通の遮光膜によって当該フォトダイオードの受光部を遮蔽した構成となっている。   In general, an OB pixel provided in a conventional image sensor has a configuration in which a photodiode is formed by a process similar to that of a photodiode of an effective pixel, and a light receiving portion of the photodiode is shielded by a light shielding film shared with the effective pixel. Yes.

しかしながら、このような方法でOB画素を形成した場合、遮光膜の有無(つまり、開口部の有無)によってフォトダイオードに及ぼす影響が有効画素とOB画素とで異なり、有効画素のフォトダイオードとOB画素のフォトダイオードとで特性上の段差(OB段差)が生じる場合がある。   However, when the OB pixel is formed by such a method, the effective pixel and the OB pixel have different effects on the photodiode depending on the presence or absence of the light shielding film (that is, the presence or absence of the opening). In some cases, a characteristic step (OB step) may occur with the photodiode.

なお、特許文献1には、OB画素の、有効画素のフォトダイオードに対応する領域にイオン注入をしないでOB画素を形成する方法が記載され、特許文献2には、OB画素のフォトダイオードの不純物プロファイルを有効画素とは変える方法が記載されているが、これらの方法であっても、製造バラツキ等によってOB段差は発生する可能性がある。   Patent Document 1 describes a method of forming an OB pixel without ion implantation in a region of the OB pixel corresponding to the photodiode of the effective pixel, and Patent Document 2 describes an impurity of the photodiode of the OB pixel. Although a method for changing a profile from an effective pixel is described, even with these methods, there is a possibility that an OB level difference may occur due to manufacturing variation or the like.

OB段差が発生すると、実際に必要となる黒レベルに誤差が生じ、不自然な画像となってしまう。   When an OB level difference occurs, an error occurs in the black level that is actually required, resulting in an unnatural image.

OB段差をなくす方法として、有効画素とOB画素とで不純物濃度を変える方法(特許文献3参照)、有効画素とOB画素とでフォトダイオード面積を変える方法(特許文献4参照)が提案されているが、これらの方法でも製造バラツキがあるためOB段差を完全になくすことはできない。   As a method of eliminating the OB step, a method of changing the impurity concentration between the effective pixel and the OB pixel (see Patent Document 3) and a method of changing the photodiode area between the effective pixel and the OB pixel (see Patent Document 4) have been proposed. However, even with these methods, the OB step cannot be completely eliminated because of manufacturing variations.

特開2009−164295号公報JP 2009-164295 A 特開2006−344888号公報JP 2006-344888 A 特開2005−340338号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-340338 特開2005−223133号公報JP 2005-223133 A

本発明は、上記従来技術とは全く異なる構成でOB段差に起因する画質劣化を防ぐことが可能な固体撮像素子、これを備える撮像装置、及びこの固体撮像素子を用いた黒レベル決定方法を提供することを目的とする。   The present invention provides a solid-state image pickup device capable of preventing image quality deterioration caused by OB steps with a configuration completely different from the above-described conventional technology, an image pickup apparatus including the same, and a black level determination method using the solid-state image pickup device. The purpose is to do.

本発明の固体撮像素子は、互いに隣接して配置される2つの有効画素からなる有効画素ペアであって、二次元状に配列された複数の有効画素ペアと、撮像画像信号の黒の基準レベルを検出するための複数のOB画素を含むOB画素群であって、同一行に並ぶ複数の前記有効画素ペアに対応して設けられた少なくとも1つのOB画素群を備え、前記OB画素群に含まれる複数の前記OB画素は、前記有効画素ペアに含まれる前記有効画素の光電変換領域と対応する位置に形成される素子領域の構成が全ての前記OB画素で同じになっていないものである。   The solid-state imaging device of the present invention is an effective pixel pair composed of two effective pixels arranged adjacent to each other, and includes a plurality of effective pixel pairs arranged in a two-dimensional manner, and a black reference level of a captured image signal An OB pixel group including a plurality of OB pixels for detecting a pixel, and includes at least one OB pixel group provided corresponding to the plurality of effective pixel pairs arranged in the same row, and is included in the OB pixel group In the plurality of OB pixels, the configuration of the element region formed at a position corresponding to the photoelectric conversion region of the effective pixel included in the effective pixel pair is not the same in all the OB pixels.

本発明の撮像装置は、前記固体撮像素子と、前記固体撮像素子の前記OB画素群から出力される信号を用いて、当該OB画素群に対応する前記有効画素ペアから得られた信号の黒レベルを決定する黒レベル決定部とを備えるものである。   The imaging apparatus of the present invention uses the solid-state imaging device and a signal output from the OB pixel group of the solid-state imaging device, and a black level of a signal obtained from the effective pixel pair corresponding to the OB pixel group. And a black level determination unit for determining

本発明の黒レベル決定方法は、前記固体撮像素子の前記OB画素群から出力される信号を用いて、当該OB画素群に対応する前記有効画素ペアから得られた信号の黒レベルを決定する黒レベル決定ステップを備えるものである。   The black level determination method of the present invention uses a signal output from the OB pixel group of the solid-state image sensor to determine a black level of a signal obtained from the effective pixel pair corresponding to the OB pixel group. A level determination step is provided.

本発明によれば、上記従来技術とは全く異なる構成でOB段差に起因する画質劣化を防ぐことが可能な固体撮像素子、これを備える撮像装置、及びこの固体撮像素子を用いた黒レベル決定方法を提供することができる。   According to the present invention, a solid-state imaging device capable of preventing image quality deterioration due to an OB step with a configuration completely different from the above-described prior art, an imaging device including the same, and a black level determination method using the solid-state imaging device Can be provided.

本発明の一実施形態を説明するための撮像装置の概略構成を示す図The figure which shows schematic structure of the imaging device for describing one Embodiment of this invention 図1に示した撮像装置100における固体撮像素子5の概略構成を示す平面模式図1 is a schematic plan view showing a schematic configuration of the solid-state imaging device 5 in the imaging apparatus 100 shown in FIG. 図2に示した固体撮像素子における有効画素51,52の暗時出力レベルとOB画素53,54の出力レベルを示した図The figure which showed the output level in the dark of the effective pixels 51 and 52 and the output level of the OB pixels 53 and 54 in the solid-state imaging device shown in FIG. 図2に示した固体撮像素子における有効画素ペアとこれに対応するOB画素群の等価回路を示した図The figure which showed the equivalent circuit of the effective pixel pair and OB pixel group corresponding to this in the solid-state image sensor shown in FIG. 加算モード時に固体撮像素子5から出力される撮像画像信号のうちの有効加算信号に含まれる暗時出力レベルを示す図The figure which shows the dark level output level contained in the effective addition signal among the picked-up image signals output from the solid-state image sensor 5 at the time of addition mode. 加算モード時に固体撮像素子5から出力される撮像画像信号のうちのOB加算信号の出力レベルを示す図The figure which shows the output level of the OB addition signal among the picked-up image signals output from the solid-state image sensor 5 at the time of addition mode. 図1に示した撮像装置100に搭載する固体撮像素子5の変形例である固体撮像素子5’の概略構成を示す平面模式図FIG. 2 is a schematic plan view showing a schematic configuration of a solid-state image sensor 5 ′ which is a modification of the solid-state image sensor 5 mounted on the image pickup apparatus 100 shown in FIG. 1. 図7に示した固体撮像素子5’のOB画素群の等価回路図FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of the OB pixel group of the solid-state imaging device 5 ′ illustrated in FIG. 7. 画像処理部で行う処理毎に得られる黒レベルを纏めた図A figure that summarizes the black level obtained for each processing performed by the image processing unit 図8に示した等価回路図の変形例を示す図The figure which shows the modification of the equivalent circuit diagram shown in FIG. 画像処理部で行う処理毎に得られる黒レベルを纏めた図A figure that summarizes the black level obtained for each processing performed by the image processing unit

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態を説明するための撮像装置の概略構成を示す図である。撮像装置としては、デジタルカメラ及びデジタルビデオカメラ等の撮像装置、電子内視鏡及びカメラ付携帯電話機等に搭載される撮像モジュール、等がある。   FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an imaging apparatus for explaining an embodiment of the present invention. Examples of the imaging device include an imaging device such as a digital camera and a digital video camera, an imaging module mounted on an electronic endoscope, a camera-equipped mobile phone, and the like.

図1に示す撮像装置100の撮像系は、撮影レンズ系1と、絞り2と、メカニカルシャッタ3と、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)型の固体撮像素子5と、アナログデジタル(AD)変換部6とを備える。   The imaging system of the imaging apparatus 100 shown in FIG. 1 includes a photographic lens system 1, a diaphragm 2, a mechanical shutter 3, a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) type solid-state imaging device 5, and an analog / digital (AD) conversion unit 6. With.

撮影レンズ系1の背部には、絞り2が配置され、撮影レンズ系1と絞り2により撮影光学系を構成している。   A diaphragm 2 is disposed on the back of the photographing lens system 1, and the photographing lens system 1 and the diaphragm 2 constitute a photographing optical system.

絞り2の背部には、メカニカルシャッタ3が配置され、メカニカルシャッタ3の背部に詳細は後述するCMOS型の固体撮像素子5が配置されている。撮影レンズ系1及び絞り2をこの順に通って固体撮像素子5の受光面に入射した被写体光像に対応する撮像画像信号が固体撮像素子5から出力され、これがAD変換部6でデジタルデータに変換され、バス17に出力される。   A mechanical shutter 3 is disposed on the back of the diaphragm 2, and a CMOS solid-state imaging device 5, which will be described in detail later, is disposed on the back of the mechanical shutter 3. A picked-up image signal corresponding to the subject light image incident on the light-receiving surface of the solid-state image pickup device 5 through the photographing lens system 1 and the diaphragm 2 in this order is output from the solid-state image pickup device 5 and converted into digital data by the AD converter 6. And output to the bus 17.

バス17には、この撮像装置100の全体を統括制御する中央制御部(CPU)7と、シャッタレリーズボタンを含む操作ボタン等で構成される操作部16と、DSP等で構成されCPU7の指示の基に撮像画像信号に対して画像処理を施す画像処理部9と、撮像画像信号を画像処理して得られた撮像画像データを表示用のデータに変換するビデオエンコーダ15と、ビデオエンコーダ15で変換された撮像画像データを表示部14に表示するドライバ13と、固体撮像素子5から出力された撮像画像信号や画像処理部9で生成された撮像画像データ等を一時記憶するメモリ10と、メディア制御部12とが接続され、メディア制御部12に着脱自在に記録媒体(メモリカード)11が装着される。   The bus 17 includes a central control unit (CPU) 7 that performs overall control of the entire imaging apparatus 100, an operation unit 16 that includes operation buttons including a shutter release button, and a DSP 7 that is instructed by the CPU 7. An image processing unit 9 that performs image processing on the captured image signal based on the captured image signal, a video encoder 15 that converts captured image data obtained by performing image processing on the captured image signal, and conversion by the video encoder 15 A driver 13 that displays the captured image data on the display unit 14, a memory 10 that temporarily stores the captured image signal output from the solid-state imaging device 5, the captured image data generated by the image processing unit 9, and the like, and media control The recording medium (memory card) 11 is detachably attached to the media control unit 12.

CPU7には、デバイス制御部8が接続される。デバイス制御部8は、CPU7からの指示に従い、固体撮像素子5の駆動制御を行い、絞り2の開口量調整制御を行い、メカニカルシャッタ3の開閉制御を行い、撮影レンズ系1のフォーカス位置制御やズーム位置制御を行う。   A device control unit 8 is connected to the CPU 7. The device control unit 8 performs drive control of the solid-state imaging device 5 according to an instruction from the CPU 7, performs aperture amount adjustment control of the diaphragm 2, performs opening / closing control of the mechanical shutter 3, and performs focus position control of the photographing lens system 1. Perform zoom position control.

図2は、図1に示した撮像装置100における固体撮像素子5の概略構成を示す平面模式図である。   FIG. 2 is a schematic plan view showing a schematic configuration of the solid-state imaging element 5 in the imaging apparatus 100 shown in FIG.

固体撮像素子5は、有効画素領域に配置された被写体光を検出するための有効画素51,52、及び、OB画素領域に配置された、固体撮像素子5から出力される撮像画像信号の黒レベルを検出するためのOB画素53,54を含む多数の画素と、垂直走査回路55と、水平走査回路56と、制御部57とを備える。   The solid-state imaging device 5 includes effective pixels 51 and 52 for detecting subject light arranged in the effective pixel region, and a black level of a captured image signal output from the solid-state imaging device 5 arranged in the OB pixel region. A plurality of pixels including OB pixels 53 and 54, a vertical scanning circuit 55, a horizontal scanning circuit 56, and a control unit 57.

固体撮像素子5に含まれる全ての画素は、半導体基板表面の列方向Yとこれに直交する行方向Xとに二次元状に配置されている。この全ての画素は、行方向Xに一定ピッチで並ぶn個(nは2以上の自然数)の画素のラインを列方向Yに一定ピッチで並べた配置となっている。   All the pixels included in the solid-state imaging device 5 are two-dimensionally arranged in the column direction Y on the surface of the semiconductor substrate and the row direction X orthogonal thereto. All the pixels are arranged in such a manner that lines of n pixels (n is a natural number of 2 or more) arranged at a constant pitch in the row direction X are arranged at a constant pitch in the column direction Y.

この複数のラインのうち、奇数番目のラインは、偶数番目のラインに対して、各ラインの各画素の行方向X配列ピッチの1/2だけ行方向Xにずらして配置されている。   Among the plurality of lines, the odd-numbered lines are arranged so as to be shifted in the row direction X by ½ of the row-direction X arrangement pitch of each pixel of each line with respect to the even-numbered lines.

奇数番目のラインは、有効画素51とOB画素53を含み、OB画素53は、このラインの右端部に1つ配置されている。偶数番目のラインは、有効画素52とOB画素54を含み、OB画素54は、このラインの右端部に1つ配置されている。   The odd-numbered line includes an effective pixel 51 and an OB pixel 53, and one OB pixel 53 is arranged at the right end of this line. The even-numbered line includes effective pixels 52 and OB pixels 54, and one OB pixel 54 is arranged at the right end of this line.

このような配列は、正方格子状に配置した有効画素51及びOB画素53に対して斜め45°左下方向にずれた位置に、有効画素52及びOB画素54を配置することで得ることができる。   Such an arrangement can be obtained by arranging the effective pixels 52 and the OB pixels 54 at positions that are obliquely shifted by 45 ° to the lower left with respect to the effective pixels 51 and the OB pixels 53 arranged in a square lattice pattern.

固体撮像素子5に含まれる全ての有効画素は、略同一構成(設計上の値が同一)となっている。略同一構成とは、有効画素に含まれる光電変換領域(例えば半導体基板内のフォトダイオード)のサイズが略同じであり、その光電変換領域の上方に形成される遮光膜の開口サイズも略同じであることを意味する。   All effective pixels included in the solid-state imaging device 5 have substantially the same configuration (design values are the same). With substantially the same configuration, the size of a photoelectric conversion region (for example, a photodiode in a semiconductor substrate) included in an effective pixel is substantially the same, and the opening size of a light shielding film formed above the photoelectric conversion region is also substantially the same. It means that there is.

このように、固体撮像素子5の有効画素領域には、各有効画素51と、それに同一の方向(図2の例では左斜め下)で隣接する有効画素52とで構成された有効画素ペアが二次元状に配列されている。   As described above, the effective pixel region of the solid-state imaging device 5 includes an effective pixel pair composed of each effective pixel 51 and the effective pixel 52 adjacent to the effective pixel 51 in the same direction (lower left diagonal in the example of FIG. 2). It is arranged in two dimensions.

また、固体撮像素子5のOB画素領域には、行方向Xに並ぶ複数の有効画素ペアからなる有効画素ペアラインに対応して、互いに隣接するOB画素53とOB画素54からなるOB画素群が設けられている。   In the OB pixel area of the solid-state imaging device 5, an OB pixel group including an OB pixel 53 and an OB pixel 54 that are adjacent to each other corresponds to an effective pixel pair line including a plurality of effective pixel pairs arranged in the row direction X. Is provided.

OB画素53は、有効画素51,52の光電変換領域と対応する位置に、当該光電変換領域と同一構成の素子領域が形成されたものである。つまり、OB画素54は、有効画素51,52において、光電変換領域上方の遮光膜に開口を設けない構成となっている。   In the OB pixel 53, an element region having the same configuration as the photoelectric conversion region is formed at a position corresponding to the photoelectric conversion region of the effective pixels 51 and 52. That is, the OB pixel 54 has a configuration in which no opening is provided in the light shielding film above the photoelectric conversion region in the effective pixels 51 and 52.

OB画素53は、有効画素51,52の光電変換領域と対応する位置に、当該光電変換領域とは異なる構成の素子領域が形成されたものである。   In the OB pixel 53, an element region having a configuration different from that of the photoelectric conversion region is formed at a position corresponding to the photoelectric conversion region of the effective pixels 51 and 52.

OB画素53の素子領域は、有効画素51,52の光電変換領域を半導体基板へのイオン注入で形成するときに、当該素子領域にイオン注入を行わないことで形成されている。つまり、OB画素53の素子領域は、有効画素と同じ光電変換領域が存在しない半導体基板の領域である。   The element region of the OB pixel 53 is formed by not performing ion implantation in the element region when the photoelectric conversion regions of the effective pixels 51 and 52 are formed by ion implantation into the semiconductor substrate. That is, the element region of the OB pixel 53 is a region of the semiconductor substrate in which the same photoelectric conversion region as that of the effective pixel does not exist.

OB画素53の素子領域上方の遮光膜には、OB画素54と同様に開口は形成されておらず、素子領域の構成の違い及び遮光膜開口の有無以外は、OB画素53と有効画素51,52は同じ構成となっている。   An opening is not formed in the light shielding film above the element region of the OB pixel 53 like the OB pixel 54. Except for the difference in the configuration of the element region and the presence or absence of the light shielding film opening, the OB pixel 53 and the effective pixel 51, 52 has the same configuration.

図3は、図2に示した固体撮像素子における有効画素51,52の暗時出力レベルとOB画素53,54の出力レベルを示した図である。   FIG. 3 is a diagram illustrating dark output levels of the effective pixels 51 and 52 and output levels of the OB pixels 53 and 54 in the solid-state imaging device illustrated in FIG.

図3に示すように、有効画素51と有効画素52は同一構成であるため、有効画素51と有効画素52の暗時出力レベルは同じになっている。一方、OB画素54は、有効画素51,52と遮光膜の構成に違いがある。このため、OB画素54の出力レベルは、有効画素51,52の暗時出力レベルよりは高く(図3の例では約2倍)なっている。また、OB画素53は光電変換領域が存在しないため、その出力レベルはほぼゼロになっている。   As shown in FIG. 3, since the effective pixel 51 and the effective pixel 52 have the same configuration, the dark pixel output levels of the effective pixel 51 and the effective pixel 52 are the same. On the other hand, the OB pixel 54 is different from the effective pixels 51 and 52 in the configuration of the light shielding film. For this reason, the output level of the OB pixel 54 is higher than the dark output level of the effective pixels 51 and 52 (about twice in the example of FIG. 3). Further, since the OB pixel 53 has no photoelectric conversion region, its output level is almost zero.

固体撮像素子5に含まれる全ての画素には、図示しないMOS回路で構成された読み出し回路がその近傍に対応して設けられている。   All pixels included in the solid-state imaging device 5 are provided with readout circuits configured by MOS circuits (not shown) corresponding to the vicinity thereof.

図4は、図2に示した固体撮像素子における有効画素ペアとこれに対応するOB画素群の等価回路を示した図である。図4では、有効画素51,52の光電変換領域を符号51a,52aで示し、OB画素53,54の素子領域を符号53a,54aで示してある。   FIG. 4 is a diagram showing an equivalent circuit of an effective pixel pair and an OB pixel group corresponding to the effective pixel pair in the solid-state imaging device shown in FIG. In FIG. 4, the photoelectric conversion areas of the effective pixels 51 and 52 are indicated by reference numerals 51a and 52a, and the element areas of the OB pixels 53 and 54 are indicated by reference numerals 53a and 54a.

図4に示すように、有効画素ペアには、電荷を蓄積するフローティングディフュージョンFDと、ソースフォロワアンプ60と、リセットトランジスタRTが対応して設けられている。そして、有効画素51の光電変換領域51aには転送トランジスタ51tが接続され、有効画素52の光電変換領域52aには転送トランジスタ52tが接続されている。   As shown in FIG. 4, the effective pixel pair is provided with a floating diffusion FD for accumulating charges, a source follower amplifier 60, and a reset transistor RT. A transfer transistor 51 t is connected to the photoelectric conversion region 51 a of the effective pixel 51, and a transfer transistor 52 t is connected to the photoelectric conversion region 52 a of the effective pixel 52.

転送トランジスタ51t,52tは、光電変換領域51a,52aに蓄積された電荷をフローティングディフュージョンFDに転送する。   The transfer transistors 51t and 52t transfer the charges accumulated in the photoelectric conversion regions 51a and 52a to the floating diffusion FD.

ソースフォロワアンプ60は、フローティングディフュージョンFDの電位に応じた信号を信号出力線に出力する。   The source follower amplifier 60 outputs a signal corresponding to the potential of the floating diffusion FD to the signal output line.

リセットトランジスタRTは、フローティングディフュージョンFDの電位をリセットする。   The reset transistor RT resets the potential of the floating diffusion FD.

なお、OB画素群の等価回路図は、光電変換領域51aを素子領域53aに変更し、光電変換素子52aを素子領域54aに変更した以外は、有効画素ペアの等価回路図と同じである。   The equivalent circuit diagram of the OB pixel group is the same as the equivalent circuit diagram of the effective pixel pair except that the photoelectric conversion region 51a is changed to the element region 53a and the photoelectric conversion element 52a is changed to the element region 54a.

転送トランジスタ51t、フローティングディフュージョンFD、リセットトランジスタRT、及びソースフォロワアンプ60により、有効画素51,OB画素53それぞれの読み出し回路が構成されている。   The transfer transistor 51t, the floating diffusion FD, the reset transistor RT, and the source follower amplifier 60 constitute a readout circuit for each of the effective pixel 51 and the OB pixel 53.

転送トランジスタ52t、フローティングディフュージョンFD、リセットトランジスタRT、及びソースフォロワアンプ60により、有効画素52,OB画素54それぞれの読み出し回路が構成されている。   The transfer transistor 52t, the floating diffusion FD, the reset transistor RT, and the source follower amplifier 60 constitute a readout circuit for each of the effective pixel 52 and the OB pixel 54.

このように、固体撮像素子5では、有効画素ペアの有効画素51と有効画素52で読み出し回路の一部(フローティングディフュージョンFD、リセットトランジスタRT、及びソースフォロワアンプ60)を共有している。   Thus, in the solid-state imaging device 5, the effective pixels 51 and the effective pixels 52 of the effective pixel pair share a part of the readout circuit (the floating diffusion FD, the reset transistor RT, and the source follower amplifier 60).

また、OB画素群のOB画素53とOB画素54で読み出し回路の一部(フローティングディフュージョンFD、リセットトランジスタRT、及びソースフォロワアンプ60)を共有している。これにより、1画素あたりの占有面積を減らして微細化を図っている。   Further, the OB pixel 53 and the OB pixel 54 of the OB pixel group share a part of the readout circuit (floating diffusion FD, reset transistor RT, and source follower amplifier 60). Thereby, the occupation area per pixel is reduced and miniaturization is achieved.

図2に戻り、垂直走査回路55は、転送トランジスタ51t,52tのオンオフ制御、リセットトランジスタRTのオンオフ制御、ソースフォロワアンプ60の制御等を行う。   Returning to FIG. 2, the vertical scanning circuit 55 performs on / off control of the transfer transistors 51t and 52t, on / off control of the reset transistor RT, control of the source follower amplifier 60, and the like.

水平走査回路56は、ソースフォロワアンプ60から信号出力線に出力された1ライン分の信号を順次選択して固体撮像素子5の外部に出力させる駆動を行う。   The horizontal scanning circuit 56 performs driving to sequentially select one line of signals output from the source follower amplifier 60 to the signal output line and output the signals to the outside of the solid-state imaging device 5.

制御部57は、デバイス制御部8の指示にしたがって、垂直走査回路55及び水平走査回路56を制御する。   The control unit 57 controls the vertical scanning circuit 55 and the horizontal scanning circuit 56 in accordance with instructions from the device control unit 8.

図1に示したデバイス制御部8は、有効画素ペアの有効画素51の出力信号と有効画素52の出力信号とを加算して固体撮像素子5外部に出力させ、OB画素群のOB画素53の出力信号とOB画素54の出力信号とを加算して固体撮像素子5外部に出力させ、全ての有効画素ペアと全てのOB画素群に対応する撮像信号からなる撮像画像信号を固体撮像素子5から出力させる加算読み出しモードと、全ての画素の出力信号を加算せずに固体撮像素子5外部に出力させて、全ての画素に対応する撮像信号からなる撮像画像信号を出力させる非加算読み出しモードとで、固体撮像素子5を駆動する。   The device control unit 8 illustrated in FIG. 1 adds the output signal of the effective pixel 51 of the effective pixel pair and the output signal of the effective pixel 52 and outputs the added signal to the outside of the solid-state imaging device 5, and the OB pixel 53 of the OB pixel group. The output signal and the output signal of the OB pixel 54 are added and output to the outside of the solid-state imaging device 5, and a captured image signal composed of imaging signals corresponding to all effective pixel pairs and all OB pixel groups is output from the solid-state imaging device 5. In addition readout mode to be output and non-addition readout mode in which output signals of all pixels are output without being added to the outside of the solid-state imaging device 5 and a captured image signal composed of imaging signals corresponding to all pixels is output. Then, the solid-state imaging device 5 is driven.

加算モード時には、デバイス制御部8が垂直走査回路55を制御して次のような駆動を行う。   In the addition mode, the device control unit 8 controls the vertical scanning circuit 55 to perform the following drive.

すなわち、有効画素ペアを構成する有効画素51,52が含まれる2つのラインの光電変換領域51a,52aの蓄積電荷を同時に又は順次フローティングディフュージョンFDに転送すると共に、当該2つのラインの素子領域53a,54aの蓄積電荷を同時に又は順次フローティングディフュージョンFDに転送する。   That is, the charges stored in the photoelectric conversion regions 51a and 52a of the two lines including the effective pixels 51 and 52 constituting the effective pixel pair are transferred to the floating diffusion FD simultaneously or sequentially, and the element regions 53a and 52a of the two lines are also transferred. The accumulated charges 54a are transferred to the floating diffusion FD simultaneously or sequentially.

これにより、光電変換領域51a,52aの蓄積電荷同士がフローティングディフュージョンFDで混合され、素子領域53a,54aの蓄積電荷同士がフローティングディフュージョンFDで混合される。   As a result, the accumulated charges in the photoelectric conversion regions 51a and 52a are mixed by the floating diffusion FD, and the accumulated charges in the element regions 53a and 54a are mixed by the floating diffusion FD.

その後、当該2つのラインの各画素に対応するフローティングディフュージョンFDの電位に応じた信号(有効画素ペアに対応するものを有効加算信号といい、OB画素群に対応するものをOB加算信号という)をソースフォロワアンプ60から信号出力線に出力させる。   Thereafter, a signal corresponding to the potential of the floating diffusion FD corresponding to each pixel of the two lines (a signal corresponding to the effective pixel pair is referred to as an effective addition signal, and a signal corresponding to the OB pixel group is referred to as an OB addition signal). The signal is output from the source follower amplifier 60 to the signal output line.

垂直走査回路55は、このような駆動を、有効画素ペアを構成する有効画素51,52が含まれるライン毎にタイミングをずらしながら行う。   The vertical scanning circuit 55 performs such driving while shifting the timing for each line including the effective pixels 51 and 52 constituting the effective pixel pair.

非加算モード時には、デバイス制御部8が垂直走査回路55を制御して次のような駆動を行う。   In the non-addition mode, the device control unit 8 controls the vertical scanning circuit 55 to perform the following drive.

すなわち、奇数ラインの各画素の光電変換領域51a、素子領域53aの蓄積電荷をフローティングディフュージョンFDに転送し、当該フローティングディフュージョンFDの電位に応じた信号をソースフォロワアンプ60から信号出力線に出力させる。   That is, the charges accumulated in the photoelectric conversion region 51a and the element region 53a of each pixel in the odd-numbered line are transferred to the floating diffusion FD, and a signal corresponding to the potential of the floating diffusion FD is output from the source follower amplifier 60 to the signal output line.

次に、奇数ラインに対応するフローティングディフュージョンFDをリセットした後、偶数ラインの各画素の光電変換領域52a、素子領域54aの蓄積電荷をフローティングディフュージョンFDに転送し、当該フローティングディフュージョンFDの電位に応じた信号をソースフォロワアンプ60から信号出力線に出力させる。   Next, after resetting the floating diffusion FD corresponding to the odd line, the accumulated charge in the photoelectric conversion region 52a and the element region 54a of each pixel of the even line is transferred to the floating diffusion FD, and the potential of the floating diffusion FD is determined. The signal is output from the source follower amplifier 60 to the signal output line.

垂直走査回路55は、以上のような駆動を以降のラインについても順次行う。   The vertical scanning circuit 55 sequentially performs the above driving for the subsequent lines.

なお、非加算モード時に固体撮像素子5から出力された撮像信号のうち、有効画素51,52から得られる信号を有効信号といい、OB画素53,54から得られる信号をOB信号という。   Of the imaging signals output from the solid-state imaging device 5 in the non-addition mode, signals obtained from the effective pixels 51 and 52 are referred to as effective signals, and signals obtained from the OB pixels 53 and 54 are referred to as OB signals.

図1に示した画像処理部9は、固体撮像素子5から出力され、AD変換された撮像画像信号に画像処理を施して、撮像画像データを生成する。この画像処理には、撮像画像信号に含まれる有効信号又は有効加算信号の黒レベルを補正する処理も含まれる。   The image processing unit 9 illustrated in FIG. 1 performs image processing on a captured image signal output from the solid-state imaging device 5 and subjected to AD conversion, and generates captured image data. This image processing includes processing for correcting the black level of the effective signal or the effective addition signal included in the captured image signal.

画像処理部9は、加算モード時には、OB加算信号のレベルをそのまま黒レベルとして決定し、当該OB加算信号を得たOB画素群に対応する有効画素ペアから得られた有効加算信号から当該黒レベルを減算することで、黒レベル補正を行う。   In the addition mode, the image processing unit 9 determines the level of the OB addition signal as the black level as it is, and determines the black level from the effective addition signal obtained from the effective pixel pair corresponding to the OB pixel group that has obtained the OB addition signal. The black level is corrected by subtracting.

図5は、加算モード時に固体撮像素子5から出力される撮像画像信号のうちの有効加算信号に含まれる暗時出力レベルを示す図である。   FIG. 5 is a diagram illustrating the dark output level included in the effective addition signal among the captured image signals output from the solid-state imaging device 5 in the addition mode.

図5に示すように、加算モード時には、有効画素51の暗時出力レベルと有効画素52の暗時出力レベルとが加算されるため、有効加算信号に含まれる暗時出力レベルは、非加算モード時の有効信号に含まれる暗時出力レベルの2倍になる。   As shown in FIG. 5, in the addition mode, since the dark output level of the effective pixel 51 and the dark output level of the effective pixel 52 are added, the dark output level included in the effective addition signal is the non-addition mode. This is twice the dark output level included in the time effective signal.

図6は、加算モード時に固体撮像素子5から出力される撮像画像信号のうちのOB加算信号の出力レベルを示す図である。   FIG. 6 is a diagram illustrating the output level of the OB addition signal among the captured image signals output from the solid-state imaging device 5 in the addition mode.

加算モード時には、OB画素53の出力レベルとOB画素54の出力レベルとが加算される。図6に示すように、OB画素53の出力レベルはゼロであり、OB画素54の出力レベルは有効画素51,52の暗時出力レベルの2倍である。このため、OB加算信号の出力レベルは有効加算信号に含まれる暗時出力レベルと同じになる。   In the addition mode, the output level of the OB pixel 53 and the output level of the OB pixel 54 are added. As shown in FIG. 6, the output level of the OB pixel 53 is zero, and the output level of the OB pixel 54 is twice the dark output level of the effective pixels 51 and 52. For this reason, the output level of the OB addition signal is the same as the dark output level included in the effective addition signal.

したがって、画像処理部9は、加算モード時には、有効加算信号からOB加算信号を減算することで、有効加算信号の黒レベルを正確に補正することができる。   Therefore, in the addition mode, the image processing unit 9 can accurately correct the black level of the effective addition signal by subtracting the OB addition signal from the effective addition signal.

一方、非加算モード時には、画像処理部9は、OB画素群のOB画素53,54からそれぞれ得られた2つのOB信号のレベルの平均を算出し、算出した平均値を黒レベルとして決定する。   On the other hand, in the non-addition mode, the image processing unit 9 calculates the average of the levels of the two OB signals respectively obtained from the OB pixels 53 and 54 of the OB pixel group, and determines the calculated average value as the black level.

図5、6から分かるように、OB画素54から得られるOB信号のレベルは有効信号に含まれる暗時出力レベルの2倍である。このため、当該OB信号を黒レベルとしてしまうと、有効信号の黒レベル補正を正確に行うことができない。   As can be seen from FIGS. 5 and 6, the level of the OB signal obtained from the OB pixel 54 is twice the dark output level included in the effective signal. For this reason, if the OB signal is set to the black level, the black level correction of the effective signal cannot be performed accurately.

また、OB画素53から得られるOB信号のレベルはゼロであるため、当該OB信号を黒レベルとしても、有効信号の黒レベル補正を正確に行うことができない。   Further, since the level of the OB signal obtained from the OB pixel 53 is zero, the black level of the effective signal cannot be accurately corrected even if the OB signal is set to the black level.

OB画素53から得られたOB信号とOB画素54から得られたOB信号の平均値(両者を足して2で割った値)は、有効信号に含まれる暗時出力レベルと同じになる。   The average value of the OB signal obtained from the OB pixel 53 and the OB signal obtained from the OB pixel 54 (the value obtained by adding both together and divided by 2) is the same as the dark output level included in the effective signal.

このため、非加算モード時には、OB画素群から得られる2つのOB信号の平均値を黒レベルとして決定することで、黒レベル補正を正確に行うことができる。   Therefore, in the non-addition mode, the black level correction can be performed accurately by determining the average value of the two OB signals obtained from the OB pixel group as the black level.

以上のように、有効画素ペアに含まれる有効画素51,52それぞれの暗時出力レベルとOB画素群に含まれるOB画素54の出力レベルとの間にレベル差(ここでは有効画素の暗時出力レベルと同じ大きさ)を敢えて設ける構成とし、OB画素53の出力レベルがほぼゼロとなるような構成にすることで、加算モード時には、有効加算信号に含まれる暗時出力レベルとOB加算信号の出力レベルとの差をなくすことができ、画質劣化を防ぐことができる。   As described above, the level difference between the dark output levels of the effective pixels 51 and 52 included in the effective pixel pair and the output level of the OB pixel 54 included in the OB pixel group (here, the dark pixel output of the effective pixels). In the addition mode, the dark output level and the OB addition signal included in the effective addition signal are set so that the output level of the OB pixel 53 is substantially zero. The difference from the output level can be eliminated, and image quality deterioration can be prevented.

また、非加算モード時には、OB画素54の出力レベルとOB画素53の出力レベルの平均を算出するだけで、有効信号に含まれる暗時出力レベルとほぼ同じレベルを得ることができ、画質劣化を防ぐことができる。   Further, in the non-addition mode, it is possible to obtain almost the same level as the dark output level included in the effective signal only by calculating the average of the output level of the OB pixel 54 and the output level of the OB pixel 53, and the image quality deterioration is reduced. Can be prevented.

固体撮像素子5によれば、OB画素53とOB画素54を異なる構成にして、双方の出力レベルを異ならせているため、例えばOB画素53,54のそれぞれの出力レベルを2、0とすると、OB画素群から取得できる出力レベルは、0、(0+2)/2=1、0+2=2となり、3種類のOBレベルを得ることができる。   According to the solid-state imaging device 5, since the OB pixel 53 and the OB pixel 54 are configured differently and the output levels of the OB pixels 53 and 54 are different from each other, for example, The output levels that can be acquired from the OB pixel group are 0, (0 + 2) / 2 = 1, and 0 + 2 = 2, and three types of OB levels can be obtained.

これに対し、OB画素53とOB画素54を同じ構成にして、双方の出力レベルを同じにした場合、例えばOB画素53,54のそれぞれの出力レベルを2とすると、OB画素群から取得できる出力レベルは、2、(2+2)/2=2、2+2=4となり、2種類のOBレベルしか得ることができない。   On the other hand, when the OB pixel 53 and the OB pixel 54 have the same configuration and both output levels are the same, for example, when the output level of each of the OB pixels 53 and 54 is 2, the output that can be acquired from the OB pixel group The level is 2, (2 + 2) / 2 = 2, 2 + 2 = 4, and only two types of OB levels can be obtained.

したがって、有効画素ペアのOBレベルがこの2種類のOBレベルと一致しない場合には、OB段差をなくすことができなくなり、OB段差をなくせる確率が減って歩留まりの低下に繋がる。本実施形態の撮像装置によれば、3種類のOBレベルを作ることができるため、有効画素ペアのOBレベルと一致するOBレベルを生成できる可能性が増え、歩留まりの低下を防ぐことが可能となる。   Therefore, when the OB level of the effective pixel pair does not match these two types of OB levels, the OB level difference cannot be eliminated, and the probability that the OB level difference can be eliminated decreases, leading to a decrease in yield. According to the imaging apparatus of the present embodiment, since three types of OB levels can be created, the possibility that an OB level that matches the OB level of an effective pixel pair can be increased, and a decrease in yield can be prevented. Become.

なお、以上の説明では、3種類のOBレベルを得る構成について説明したが、4種類以上のOBレベルを得る構成にしてより多くのOB段差に対応することも可能である。以下では、固体撮像素子5の変形例について説明する。   In the above description, a configuration for obtaining three types of OB levels has been described, but a configuration for obtaining four or more types of OB levels can correspond to more OB steps. Below, the modification of the solid-state image sensor 5 is demonstrated.

図7は、図1に示した撮像装置100に搭載する固体撮像素子5の変形例である固体撮像素子5’の概略構成を示す平面模式図である。   FIG. 7 is a schematic plan view illustrating a schematic configuration of a solid-state imaging element 5 ′ that is a modification of the solid-state imaging element 5 mounted on the imaging apparatus 100 illustrated in FIG. 1.

図7に示す固体撮像素子5’は、奇数番目の各ラインの右端とその左隣に2つのOB画素61,63が配置され、偶数番目の各ラインの右端とその左隣に2つのOB画素62,64が配置された以外は、図2に示した構成と同じである。   In the solid-state imaging device 5 ′ shown in FIG. 7, two OB pixels 61 and 63 are arranged on the right end of each odd-numbered line and on the left side thereof, and two OB pixels on the right end of each even-numbered line and on the left side thereof. Except for the arrangement of 62 and 64, the configuration is the same as that shown in FIG.

固体撮像素子5’は、1つの有効画素ペアラインに対し、OB画素61〜64を含むOB画素群が対応して設けられた構成である。   The solid-state imaging device 5 ′ has a configuration in which an OB pixel group including the OB pixels 61 to 64 is provided corresponding to one effective pixel pair line.

OB画素61は、図2に示したOB画素53と同じ構成である。OB画素62〜64は、図2に示したOB画素54と同じ構成である。   The OB pixel 61 has the same configuration as the OB pixel 53 shown in FIG. The OB pixels 62 to 64 have the same configuration as the OB pixel 54 shown in FIG.

図8は、図7に示した固体撮像素子5’のOB画素群の等価回路図である。図8では、OB画素61〜64のそれぞれの素子領域を符号A〜Dで示してある。   FIG. 8 is an equivalent circuit diagram of the OB pixel group of the solid-state imaging device 5 ′ illustrated in FIG. 7. In FIG. 8, element regions of the OB pixels 61 to 64 are indicated by reference signs A to D, respectively.

固体撮像素子5’の各画素の読み出し回路の構成は図4に示したものと同じである。   The configuration of the readout circuit for each pixel of the solid-state imaging device 5 'is the same as that shown in FIG.

つまり、OB画素61とOB画素62のペアの等価回路図は、図4のOB画素群の等価回路図の素子領域53aを素子領域Aに変更し、図4のOB画素群の等価回路図の素子領域54aを素子領域Bに変更したものである。   That is, the equivalent circuit diagram of the pair of the OB pixel 61 and the OB pixel 62 is obtained by changing the element region 53a of the equivalent circuit diagram of the OB pixel group in FIG. The element region 54a is changed to the element region B.

また、OB画素63とOB画素64のペアの等価回路図は、図4のOB画素群の等価回路図の素子領域53aを素子領域Cに変更し、図4のOB画素群の等価回路図の素子領域54aを素子領域Dに変更したものである。   Further, the equivalent circuit diagram of the pair of the OB pixel 63 and the OB pixel 64 is obtained by changing the element region 53a of the equivalent circuit diagram of the OB pixel group in FIG. 4 to the element region C, and replacing the equivalent circuit diagram of the OB pixel group in FIG. The element region 54a is changed to the element region D.

この固体撮像素子5’を搭載する撮像装置100の画像処理部9は、OB画素群から出力される信号を用いて黒レベルを決定し、この黒レベルを用いて黒レベル補正を行う。   The image processing unit 9 of the imaging device 100 equipped with the solid-state imaging device 5 'determines a black level using a signal output from the OB pixel group, and performs black level correction using the black level.

画像処理部9は、具体的には、素子領域Aの出力信号をそのまま黒レベルとして決定する第一の処理、素子領域Aの出力信号と素子領域Cの出力信号の平均を算出してこの平均値を黒レベルとして決定する第二の処理、素子領域Aの出力信号と素子領域Bの出力信号の加算信号を黒レベルとして決定する第三の処理、素子領域Aの出力信号と素子領域Bの出力信号の加算信号と、素子領域Cの出力信号と素子領域Dの出力信号の加算信号との平均を算出してこの平均値を黒レベルとして決定する第四の処理、素子領域Cの出力信号と素子領域Dの出力信号の加算信号を黒レベルとして決定する第五の処理が実施可能である。   Specifically, the image processing unit 9 calculates the average of the first process of determining the output signal of the element region A as it is as the black level, the average of the output signal of the element region A and the output signal of the element region C. A second process for determining the value as a black level, a third process for determining the sum signal of the output signal of the element region A and the output signal of the element region B as a black level, the output signal of the element region A and the element region B Fourth process for calculating the average of the addition signal of the output signal, the output signal of the element region C and the addition signal of the output signal of the element region D, and determining this average value as the black level, the output signal of the element region C And a fifth process of determining the sum signal of the output signals of the element region D as a black level.

撮像装置100の出荷時には、これら処理のうちのいずれか2つを実施するように、製造者によって設定がなされる。   At the time of shipment of the imaging apparatus 100, a setting is made by the manufacturer so as to perform any two of these processes.

素子領域Aの出力レベルを0とし、素子領域B〜Dのそれぞれの出力レベルを2としたときに、上述した各処理で決定される黒レベルの値を図9に示した。   FIG. 9 shows black level values determined in the above-described processes when the output level of the element region A is 0 and the output levels of the element regions B to D are 2.

第一の処理では黒レベルは“0”となる。第二の処理では(0+2)÷2の演算の結果、黒レベルは“1”となる。第三の処理では(0+2)の演算の結果、黒レベルは“2”となる。第四の処理では{(0+2)+(2+2)}÷2の演算の結果、黒レベルは“3”となる。第五の処理では(2+2)の演算の結果、黒レベルは“4”となる。   In the first process, the black level is “0”. In the second process, the black level is “1” as a result of the calculation of (0 + 2) ÷ 2. In the third process, the black level is “2” as a result of the calculation of (0 + 2). In the fourth process, the black level is “3” as a result of the calculation of {(0 + 2) + (2 + 2)} / 2. In the fifth process, the black level is “4” as a result of the calculation of (2 + 2).

第一の処理と第二の処理を行う場合は、デバイス制御部8が、非加算モードで固体撮像素子5’を駆動する。また、第三〜第五の処理を行う場合は、デバイス制御部8が、非加算モード又は加算モードで固体撮像素子5’を駆動する。   When performing the first process and the second process, the device control unit 8 drives the solid-state imaging device 5 ′ in the non-addition mode. When performing the third to fifth processes, the device control unit 8 drives the solid-state imaging device 5 ′ in the non-addition mode or the addition mode.

このように、固体撮像素子5’を搭載する撮像装置100では、画像処理部9が行う処理の内容によって、黒レベルの決定方法を変えることができる。このため、固体撮像素子5’に個体差があった場合でも、個々の固体撮像素子5’に合わせて、処理の内容を変えて適正な黒レベルを決定できるようにしておくことで、撮像装置100の製造を効率的に行うことができる。   As described above, in the imaging device 100 including the solid-state imaging device 5 ′, the black level determination method can be changed depending on the content of the processing performed by the image processing unit 9. For this reason, even when there is an individual difference in the solid-state image pickup device 5 ′, an appropriate black level can be determined by changing the content of processing in accordance with the individual solid-state image pickup device 5 ′. 100 can be manufactured efficiently.

例えば、撮像装置100の製造時に、固体撮像素子5’を用いて加算モードと非加算モードでそれぞれ暗時撮像を行い、その暗時撮像で得られる有効信号に含まれる暗時出力レベルと有効加算信号に含まれる暗時出力レベルを取得する。   For example, when the imaging apparatus 100 is manufactured, dark imaging is performed in the addition mode and the non-addition mode using the solid-state imaging device 5 ′, and the dark output level and the effective addition included in the effective signal obtained by the dark imaging. Get the dark output level included in the signal.

そして、画像処理部9が行う処理のうち、取得した暗時出力レベルに最も近い黒レベルが得られる処理を選択する。例えば、非加算モードで取得した有効信号に含まれる暗時出力レベルに近い黒レベルを決定できる処理が第二の処理であり、加算モードで取得した有効加算信号に含まれる暗時出力レベルに近い黒レベルを決定できる処理が第三の処理であったとする。   Then, among the processes performed by the image processing unit 9, a process that obtains the black level closest to the acquired dark output level is selected. For example, the processing that can determine the black level close to the dark output level included in the effective signal acquired in the non-addition mode is the second processing, and is close to the dark output level included in the effective addition signal acquired in the addition mode. It is assumed that the process that can determine the black level is the third process.

この場合、画像処理部9が、非加算モード時には第二の処理を実施し、加算モード時には第三の処理を実施するように、製造者が設定を行う。   In this case, the manufacturer performs setting so that the image processing unit 9 performs the second process in the non-addition mode and performs the third process in the addition mode.

このように、固体撮像素子5’を用いて撮像装置100を製造することで、固体撮像素子5’から出力される有効信号及び有効加算信号に含まれる暗時出力レベルが不明な場合や、固体撮像素子5’に個体差があった場合でも、適正な黒レベルを決定することが可能になる。   Thus, by manufacturing the imaging device 100 using the solid-state imaging device 5 ′, the dark output level included in the effective signal and the effective addition signal output from the solid-state imaging device 5 ′ is unknown, Even when there is an individual difference in the image sensor 5 ′, an appropriate black level can be determined.

なお、固体撮像素子5’のOB画素群に含まれるOB画素の素子領域の構成は、固体撮像素子5の説明のときに述べたように全ての素子領域が同じ構成でなければよい。全ての素子領域が同じであると、第一から第五の処理を行っても、細かい刻み幅で黒レベルを決定することができないからである。細かい刻み幅で黒レベルを決定できることで、それだけ多くのOB段差に対応することができるため、歩留まりの向上に繋がる。   Note that the configuration of the element regions of the OB pixels included in the OB pixel group of the solid-state imaging device 5 ′ need not be the same in all the element regions as described in the description of the solid-state imaging device 5. This is because if all the element regions are the same, the black level cannot be determined with a fine step size even if the first to fifth processes are performed. Since the black level can be determined with a small step size, it is possible to deal with so many OB steps, leading to an improvement in yield.

図10に示すように、OB画素群内で、素子領域の構成が異なるOB画素を3種類以上設けておくことで、より細かな黒レベルの決定が可能になる。   As shown in FIG. 10, by providing three or more types of OB pixels having different element region configurations in the OB pixel group, a finer black level can be determined.

図10は、図8に示した等価回路図の変形例を示す図である。図10に示した等価回路図は、素子領域Cを素子領域C’に変更した点を除いては図8に示したものと同じである。素子領域C’は、イオン注入は行われているが、素子領域B,Dの不純物濃度よりも濃度が薄い領域となっている。   FIG. 10 is a diagram showing a modification of the equivalent circuit diagram shown in FIG. The equivalent circuit diagram shown in FIG. 10 is the same as that shown in FIG. 8 except that the element region C is changed to the element region C ′. In the element region C ′, ion implantation is performed, but the concentration is lower than the impurity concentration of the element regions B and D.

図10に示した構成の場合、画像処理部9は、素子領域Aの出力信号をそのまま黒レベルとして決定する第一の処理、素子領域Aの出力信号と素子領域C’の出力信号の平均を算出してこの平均値を黒レベルとして決定する第二の処理、素子領域C’の出力信号をそのまま黒レベルとして決定する第三の処理、素子領域Aの出力信号と素子領域Bの出力信号の加算信号を黒レベルとして決定する第四の処理、素子領域Aの出力信号と素子領域Bの出力信号の加算信号と、素子領域C’の出力信号と素子領域Dの出力信号の加算信号との平均を算出してこの平均値を黒レベルとして決定する第五の処理、素子領域C’の出力信号と素子領域Dの出力信号の加算信号を黒レベルとして決定する第六の処理が実施可能である。   In the case of the configuration shown in FIG. 10, the image processing unit 9 performs first processing for determining the output signal of the element region A as a black level as it is, the average of the output signal of the element region A and the output signal of the element region C ′. The second process of calculating and determining this average value as the black level, the third process of determining the output signal of the element region C ′ as the black level as it is, the output signal of the element region A and the output signal of the element region B A fourth process for determining the addition signal as a black level; an addition signal of the output signal of the element region A and the output signal of the element region B; and an addition signal of the output signal of the element region C ′ and the output signal of the element region D A fifth process for calculating the average and determining this average value as the black level, and a sixth process for determining the sum signal of the output signal of the element region C ′ and the output signal of the element region D as the black level can be performed. is there.

ここで、素子領域C’の出力レベルを1とすると、上述した各処理で決定される黒レベルの値は図11に示したようになる。   Here, assuming that the output level of the element region C ′ is 1, the value of the black level determined by the above-described processes is as shown in FIG.

第一の処理では黒レベルは“0”となる。第二の処理では(0+1)÷2の演算の結果、黒レベルは“0.5”となる。第三の処理では黒レベルは“1”となる。第四の処理では、(0+2)の演算の結果、黒レベルは“2”となる。第五の処理では{(0+2)+(1+2)}÷2の演算の結果、黒レベルは“2.5”となる。第六の処理では(2+1)の演算の結果、黒レベルは“3”となる。   In the first process, the black level is “0”. In the second process, the black level is “0.5” as a result of the calculation of (0 + 1) ÷ 2. In the third process, the black level is “1”. In the fourth process, the black level is “2” as a result of the calculation of (0 + 2). In the fifth process, the black level is “2.5” as a result of the calculation of {(0 + 2) + (1 + 2)} / 2. In the sixth process, the black level is “3” as a result of the calculation (2 + 1).

このように、OB画素群に構成の異なる素子領域を3種類以上含ませることで、より細かな黒レベルの決定が可能となる。   As described above, by including three or more element regions having different configurations in the OB pixel group, a finer black level can be determined.

なお、図2及び図7に示した固体撮像素子において、有効画素ペアラインに対して設けるOB画素群の数は1つに限らず、2つ以上としてもよい。OB画素群を2つ以上設ける場合には、各OB画素群から得られたOB信号又はOB加算信号を用いて決定された黒レベルの平均を算出し、この平均を最終的な黒レベルとすればよい。   In the solid-state imaging device shown in FIGS. 2 and 7, the number of OB pixel groups provided for the effective pixel pair line is not limited to one and may be two or more. When two or more OB pixel groups are provided, the average of the black level determined using the OB signal or the OB addition signal obtained from each OB pixel group is calculated, and this average is used as the final black level. That's fine.

また、図2及び図7に示した固体撮像素子において、全ての画素に対し読み出し回路を1つずつ設けてもよい。この場合、非加算モードでは、全ての画素からライン毎にタイミングをずらして有効信号及びOB信号を読み出し、加算モードでは、全ての画素からライン毎にタイミングをずらして有効信号及びOB信号を読み出した後、画像処理部9にて、有効画素ペアから得られた2つの有効信号を加算することで、有効加算信号を生成すればよい。   In the solid-state imaging device shown in FIGS. 2 and 7, one readout circuit may be provided for every pixel. In this case, in the non-addition mode, the valid signal and the OB signal are read out from all the pixels by shifting the timing for each line, and in the addition mode, the effective signal and the OB signal are read out from all the pixels by shifting the timing for each line. Thereafter, the image processing unit 9 may generate an effective addition signal by adding two effective signals obtained from the effective pixel pair.

また、図2及び図7に示した固体撮像素子は、MOS型に限らず、CCD型であってもよい。   Further, the solid-state imaging device shown in FIGS. 2 and 7 is not limited to the MOS type, but may be a CCD type.

CCD型にした場合でも、ラインメモリと水平電荷転送路を使うことで、有効画素ペアの有効画素51,52の電荷を固体撮像素子内で加算することが可能である。このため、加算モード時には、固体撮像素子から有効加算信号を直接出力させる方法、固体撮像素子から出力される有効信号を画像処理部9で加算して有効加算信号を得る方法のいずれも採用することができる。   Even in the case of the CCD type, it is possible to add the charges of the effective pixels 51 and 52 of the effective pixel pair in the solid-state imaging device by using the line memory and the horizontal charge transfer path. For this reason, in the addition mode, either a method of directly outputting an effective addition signal from the solid-state imaging device or a method of obtaining an effective addition signal by adding the effective signal output from the solid-state imaging device by the image processing unit 9 is adopted. Can do.

また、黒レベルの決定は、画像処理部がデジタル信号を元に行っているが、AD変換前の撮像画像信号を用いて黒レベルの決定を行ってもよい。また、黒レベルの決定を行うブロックを固体撮像素子内部に設けておいてもよい。   The black level is determined by the image processing unit based on the digital signal. However, the black level may be determined using a captured image signal before AD conversion. Further, a block for determining the black level may be provided inside the solid-state imaging device.

以上説明したように、本明細書には次の事項が開示されている。   As described above, the following items are disclosed in this specification.

開示された固体撮像素子は、互いに隣接して配置される2つの有効画素からなる有効画素ペアであって、二次元状に配列された複数の有効画素ペアと、撮像画像信号の黒の基準レベルを検出するための複数のOB画素を含むOB画素群であって、同一行に並ぶ複数の前記有効画素ペアに対応して設けられた少なくとも1つのOB画素群を備え、前記OB画素群に含まれる複数の前記OB画素は、前記有効画素ペアに含まれる前記有効画素の光電変換領域と対応する位置に形成される素子領域の構成が全ての前記OB画素で同じになっていないものである。   The disclosed solid-state imaging device includes an effective pixel pair including two effective pixels arranged adjacent to each other, and a plurality of effective pixel pairs arranged in a two-dimensional manner, and a black reference level of a captured image signal An OB pixel group including a plurality of OB pixels for detecting a pixel, and includes at least one OB pixel group provided corresponding to the plurality of effective pixel pairs arranged in the same row, and is included in the OB pixel group In the plurality of OB pixels, the configuration of the element region formed at a position corresponding to the photoelectric conversion region of the effective pixel included in the effective pixel pair is not the same in all the OB pixels.

開示された固体撮像素子は、前記OB画素群に含まれる前記複数のOB画素は、前記有効画素の暗時出力レベルよりも低いレベルの出力を行うものと、前記有効画素の暗時出力レベルよりも高いレベルの出力を行うものとを含むものである。   In the disclosed solid-state imaging device, the plurality of OB pixels included in the OB pixel group outputs a level lower than the dark output level of the effective pixel, and the dark output level of the effective pixel. Including those that output at a high level.

開示された固体撮像素子は、前記有効画素の暗時出力レベルよりも低いレベルの出力を行うものが、前記有効画素の光電変換領域と対応する位置に当該光電変換領域が存在しないOB画素であり、前記有効画素の暗時出力レベルよりも高いレベルの出力を行うものが、前記有効画素の光電変換領域と対応する位置に当該光電変換領域が存在するOB画素であるものである。   The disclosed solid-state imaging device is an OB pixel that does not have the photoelectric conversion region at a position corresponding to the photoelectric conversion region of the effective pixel, and outputs a level lower than the dark output level of the effective pixel. What outputs a higher level than the dark output level of the effective pixel is an OB pixel in which the photoelectric conversion region exists at a position corresponding to the photoelectric conversion region of the effective pixel.

開示された固体撮像素子は、前記OB画素群に含まれる前記複数のOB画素の前記素子領域の構成の違いは、当該素子領域の不純物濃度の違いによって得られているものである。   In the disclosed solid-state imaging device, the difference in configuration of the element regions of the plurality of OB pixels included in the OB pixel group is obtained by a difference in impurity concentration in the element regions.

開示された固体撮像素子は、前記OB画素群は、前記素子領域の構成が異なる3種類以上の前記OB画素を含むものである。   In the disclosed solid-state imaging device, the OB pixel group includes three or more types of OB pixels having different element region configurations.

開示された固体撮像素子は、前記固体撮像素子がMOS型であり、前記有効画素ペアに含まれる前記2つの有効画素で、当該有効画素の光電変換領域で発生した電荷に応じた信号を読み出す読み出し回路の一部が共有化されており、前記OB画素群は、前記2つの有効画素と同じ配列である2つの前記OB画素のペアを少なくとも1つ有しており、前記ペアでは、当該ペアに含まれる前記2つのOB画素で、当該OB画素の前記素子領域で発生した電荷に応じた信号を読み出す読み出し回路の一部が共有化されているものである。   In the disclosed solid-state imaging device, the solid-state imaging device is a MOS type, and the two effective pixels included in the effective pixel pair read out a signal corresponding to the charge generated in the photoelectric conversion region of the effective pixel A part of the circuit is shared, and the OB pixel group includes at least one pair of the two OB pixels having the same arrangement as the two effective pixels. In the two OB pixels included, a part of the readout circuit that reads a signal corresponding to the electric charge generated in the element region of the OB pixel is shared.

開示された撮像装置は、前記固体撮像素子と、前記固体撮像素子の前記OB画素群から出力される信号を用いて、当該OB画素群に対応する前記有効画素ペアから得られた信号の黒レベルを決定する黒レベル決定部とを備えるものである。   The disclosed imaging apparatus uses the solid-state imaging device and a signal output from the OB pixel group of the solid-state imaging device, and a black level of a signal obtained from the effective pixel pair corresponding to the OB pixel group. And a black level determination unit for determining

開示された撮像装置は、前記黒レベル決定部は、前記有効画素ペアの前記2つの有効画素の出力信号を加算して撮像画像信号を生成する加算モードと、前記有効画素ペアの前記2つの有効画素の出力信号を加算せずに撮像画像信号を生成する非加算モードとで、前記黒レベルの決定方法を変更するものである。   In the disclosed imaging device, the black level determination unit adds an output signal of the two effective pixels of the effective pixel pair to generate a captured image signal, and the two effective pixels of the effective pixel pair. The black level determination method is changed in a non-addition mode in which a captured image signal is generated without adding pixel output signals.

開示された黒レベル決定方法は、前記固体撮像素子の前記OB画素群から出力される信号を用いて、当該OB画素群に対応する前記有効画素ペアから得られた信号の黒レベルを決定する黒レベル決定ステップを備えるものである。   The disclosed black level determination method uses a signal output from the OB pixel group of the solid-state imaging device to determine a black level of a signal obtained from the effective pixel pair corresponding to the OB pixel group. A level determination step is provided.

開示された黒レベル決定方法は、前記黒レベル決定ステップでは、前記有効画素ペアの前記2つの有効画素の出力信号を加算して撮像画像信号を生成する加算モードと、前記有効画素ペアの前記2つの有効画素の出力信号を加算せずに撮像画像信号を生成する非加算モードとで、前記黒レベルの決定方法を変更するものである。   In the disclosed black level determination method, in the black level determination step, an addition mode in which output signals of the two effective pixels of the effective pixel pair are added to generate a captured image signal; The black level determination method is changed in the non-addition mode in which the captured image signal is generated without adding the output signals of the two effective pixels.

5 固体撮像素子
51,52 有効画素
53,54 OB画素
51a,52a 光電変換領域
53a,54a 素子領域
5 Solid-state image sensor 51, 52 Effective pixel 53, 54 OB pixel 51a, 52a Photoelectric conversion area 53a, 54a Element area

Claims (10)

互いに隣接して配置される2つの有効画素からなる有効画素ペアであって、二次元状に配列された複数の有効画素ペアと、
撮像画像信号の黒の基準レベルを検出するための複数のOB画素を含むOB画素群であって、同一行に並ぶ複数の前記有効画素ペアに対応して設けられた少なくとも1つのOB画素群を備え、
前記OB画素群に含まれる複数の前記OB画素は、前記有効画素ペアに含まれる前記有効画素の光電変換領域と対応する位置に形成される素子領域の構成が全ての前記OB画素で同じになっていない固体撮像素子。
An effective pixel pair composed of two effective pixels arranged adjacent to each other, and a plurality of effective pixel pairs arranged two-dimensionally;
An OB pixel group including a plurality of OB pixels for detecting a black reference level of a captured image signal, and at least one OB pixel group provided corresponding to the plurality of effective pixel pairs arranged in the same row. Prepared,
The plurality of OB pixels included in the OB pixel group have the same configuration of element regions formed in positions corresponding to the photoelectric conversion regions of the effective pixels included in the effective pixel pair in all the OB pixels. Not a solid-state image sensor.
請求項1記載の固体撮像素子であって、
前記OB画素群に含まれる前記複数のOB画素は、前記有効画素の暗時出力レベルよりも低いレベルの出力を行うものと、前記有効画素の暗時出力レベルよりも高いレベルの出力を行うものとを含む固体撮像素子。
The solid-state imaging device according to claim 1,
The plurality of OB pixels included in the OB pixel group output a level lower than the dark output level of the effective pixel and output a level higher than the dark output level of the effective pixel And a solid-state imaging device.
請求項2記載の固体撮像素子であって、
前記有効画素の暗時出力レベルよりも低いレベルの出力を行うものが、前記有効画素の光電変換領域と対応する位置に当該光電変換領域が存在しないOB画素であり、
前記有効画素の暗時出力レベルよりも高いレベルの出力を行うものが、前記有効画素の光電変換領域と対応する位置に当該光電変換領域が存在するOB画素である固体撮像素子。
The solid-state imaging device according to claim 2,
What outputs a level lower than the dark output level of the effective pixel is an OB pixel in which the photoelectric conversion region does not exist at a position corresponding to the photoelectric conversion region of the effective pixel,
A solid-state imaging device that outputs a level higher than the dark output level of the effective pixel is an OB pixel in which the photoelectric conversion region exists at a position corresponding to the photoelectric conversion region of the effective pixel.
請求項1〜3のいずれか1項記載の固体撮像素子であって、
前記OB画素群に含まれる前記複数のOB画素の前記素子領域の構成の違いは、当該素子領域の不純物濃度の違いによって得られている固体撮像素子。
The solid-state image sensor according to any one of claims 1 to 3,
The solid-state imaging device in which a difference in configuration of the element regions of the plurality of OB pixels included in the OB pixel group is obtained by a difference in impurity concentration of the element regions.
請求項1〜4のいずれか1項記載の固体撮像素子であって、
前記OB画素群は、前記素子領域の構成が異なる3種類以上の前記OB画素を含む固体撮像素子。
The solid-state image sensor according to any one of claims 1 to 4,
The OB pixel group is a solid-state imaging device including three or more types of OB pixels having different element region configurations.
請求項1〜5のいずれか1項記載の固体撮像素子であって、
前記固体撮像素子がMOS型であり、
前記有効画素ペアに含まれる前記2つの有効画素で、当該有効画素の光電変換領域で発生した電荷に応じた信号を読み出す読み出し回路の一部が共有化されており、
前記OB画素群は、前記2つの有効画素と同じ配列である2つの前記OB画素のペアを少なくとも1つ有しており、
前記ペアでは、当該ペアに含まれる前記2つのOB画素で、当該OB画素の前記素子領域で発生した電荷に応じた信号を読み出す読み出し回路の一部が共有化されている固体撮像素子。
The solid-state imaging device according to any one of claims 1 to 5,
The solid-state image sensor is a MOS type;
The two effective pixels included in the effective pixel pair share a part of a readout circuit that reads a signal corresponding to the charge generated in the photoelectric conversion region of the effective pixel,
The OB pixel group includes at least one pair of the two OB pixels that are arranged in the same arrangement as the two effective pixels.
In the pair, a solid-state imaging device in which a part of a readout circuit that reads a signal corresponding to the electric charge generated in the element region of the OB pixel is shared by the two OB pixels included in the pair.
請求項1〜6のいずれか1項記載の固体撮像素子と、
前記固体撮像素子の前記OB画素群から出力される信号を用いて、当該OB画素群に対応する前記有効画素ペアから得られた信号の黒レベルを決定する黒レベル決定部とを備える撮像装置。
A solid-state imaging device according to any one of claims 1 to 6,
An imaging apparatus comprising: a black level determination unit that determines a black level of a signal obtained from the effective pixel pair corresponding to the OB pixel group using a signal output from the OB pixel group of the solid-state imaging element.
請求項7記載の撮像装置であって、
前記黒レベル決定部は、前記有効画素ペアの前記2つの有効画素の出力信号を加算して撮像画像信号を生成する加算モードと、前記有効画素ペアの前記2つの有効画素の出力信号を加算せずに撮像画像信号を生成する非加算モードとで、前記黒レベルの決定方法を変更する撮像装置。
The imaging apparatus according to claim 7,
The black level determining unit adds the output signal of the two effective pixels of the effective pixel pair and the addition mode of generating the captured image signal by adding the output signals of the two effective pixels of the effective pixel pair. An image pickup apparatus that changes the determination method of the black level in a non-addition mode that generates a picked-up image signal.
請求項1〜6のいずれか1項記載の固体撮像素子の前記OB画素群から出力される信号を用いて、当該OB画素群に対応する前記有効画素ペアから得られた信号の黒レベルを決定する黒レベル決定ステップを備える黒レベル決定方法。   A black level of a signal obtained from the effective pixel pair corresponding to the OB pixel group is determined using a signal output from the OB pixel group of the solid-state imaging device according to claim 1. A black level determination method comprising a black level determination step. 請求項9記載の黒レベル決定方法であって、
前記黒レベル決定ステップでは、前記有効画素ペアの前記2つの有効画素の出力信号を加算して撮像画像信号を生成する加算モードと、前記有効画素ペアの前記2つの有効画素の出力信号を加算せずに撮像画像信号を生成する非加算モードとで、前記黒レベルの決定方法を変更する黒レベル決定方法。
The black level determination method according to claim 9,
In the black level determination step, an addition mode in which output signals of the two effective pixels of the effective pixel pair are added to generate a captured image signal, and output signals of the two effective pixels of the effective pixel pair are added. A black level determination method that changes the determination method of the black level in a non-addition mode in which a captured image signal is generated.
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