JP2012064263A - 近接場光ヘッドの製造方法、近接場光ヘッド、及び情報記録再生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スライダ20と、主磁極33及び補助磁極31を有する記録素子21と、近接場光発生素子26と、を備える近接場光ヘッド2の製造方法であって、近接場光発生素子26にコア23と金属膜25が備えられ、金属膜25と主磁極33の間に、磁気記録媒体の表面側に向けて露出されて磁気記録媒体の表面に対向する対向面を有する中間層50を介在された状態で、近接場光発生素子26を形成する近接場光発生素子形成工程と、コア23の基端側から光束を入射させて近接場光を発生させ、近接場光によって金属膜25を溶解して中間層50の対向面上に金属膜25を溶け出させ、中間層50の対向面に金属膜25の端部25aを形成する金属膜溶解工程と、を備える。
【選択図】図3
Description
このような記録再生ヘッドのうち、近接場光を利用した記録再生ヘッド(以下、近接場光ヘッドという)には、例えば下記特許文献1に示されているように、磁気記録媒体の表面に沿って移動可能なスライダと、スライダの先端部に保持された記録素子と、記録素子に接合された近接場光発生素子と、光束(レーザ光)を照射する光源と、光源から発せられた光束を近接場光発生素子まで導く光導波路と、が備えられている。
また、上述した光束の照射と同時に記録素子に駆動電流を供給することで、主磁極の先端に近接する磁気記録媒体の磁気記録層に対して記録磁界を局所的に印加する。その結果、保磁力が一時的に低下した磁気記録層に各種の情報を記録することができる。つまり、近接場光と磁場との協働により、磁気記録媒体への記録を行うことができる。
これにより、コアに高出力の光束を入射させて近接場光によって金属膜を溶解する際、金属膜の端部を通電膜の位置まで確実に伸延させることができる。例えば、近接場光によって金属膜を溶解する際、金属膜の端部が通電膜に接触したことを検知するまでコアに高出力の光束を入射させる。そして、金属膜の端部が通電膜に接触したことを検知した後、コアに対する光束の入射を停止する。これにより、金属膜の端部の形状のばらつきが抑えられる。
これにより、コアに高出力の光束を入射させて近接場光によって金属膜を溶解する際、金属膜の端部が通電膜に接触していない状態では、金属膜の磁気記録媒体側の端部と通電膜の磁気記録媒体側の端部とが電気的に接続されてなく、電気回路が切断された状態となる。一方、金属膜の端部が通電膜に接触すると、金属膜の磁気記録媒体側の端部と通電膜の磁気記録媒体側の端部とが電気的に接続され、電気回路が閉じられた閉ループとなる。したがって、電気回路が切断されているか閉ループとなっているかを検知することで、金属膜の端部が通電膜に接触したことを検知することができる。
これにより、コアに高出力の光束を入射させて近接場光によって金属膜を溶解する際、電気回路の電気抵抗値に基づいて金属膜の端部が通電膜に接触したことを検知することができる。すなわち、金属膜の端部が通電膜に接触していない状態では電気回路の電気抵抗値は略一定であるが、金属膜の端部が通電膜に接触すると、電気回路の電気抵抗値が変化する。この電気抵抗値の変化に基づいて金属膜の端部が通電膜に接触したことを検知することができる。
これにより、コアに高出力の光束を入射させて近接場光によって金属膜を溶解させたとき、中間層の対向面はコアの先端面よりもぬれ性(親水性)が高い、つまり、コアの先端面は中間層の対向面よりも撥水性が高いので、金属膜が溶融した金属流動体は、撥水性の高いコアの先端面側に流れにくく、ぬれ性の高い中間層の対向面側に流れやすい。このため、金属膜の端部を主磁極側に向けて延びた形状に形成しやすい。
これにより、磁気記録媒体に対向する対向面に形成される金属膜の端部が、主磁極側に向かって漸次縮径された先尖形状に確実に形成される。また、光束の出力を段階的に低下させるので、金属膜の端部が通電膜を越えて主磁極に接触するのを防止することができる。
このような特徴により、磁気記録媒体のうち、磁気記録する箇所に近い部分を加熱することができるため、効率的に磁気記録媒体に情報を磁気記録することができる。
まず、本発明に係る情報記録再生装置の一例である図1に示す情報記録再生装置1について説明する。
情報記録再生装置1は、図1に示すように、ディスク(磁気記録媒体)Dに対して、近接場光と記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式によりディスクDに記録再生を行う装置である。この情報記録再生装置1は、図1に示すように、記録再生ヘッド(近接場光ヘッド)2と、記録再生ヘッド2を支持するビーム3と、記録再生ヘッド2にレーザ光(光束)L(図2参照)を入射させる光束入射機構4と、ビーム3を移動させるアクチュエータ5と、ディスクDを一定方向に回転させるスピンドルモータ(回転駆動部)6と、上述した各構成品を総合的に制御する制御部8と、各構成品を内部に収容するハウジング9と、を備えている。
次に、本発明に係る近接場光ヘッドの一例である図2に示す記録再生ヘッド2について説明する。
記録再生ヘッド2は、図2,図3に示すように、レーザ光Lから生成した近接場光を利用して回転するディスクDに各種の情報を記録再生するヘッドである。記録再生ヘッド2は、ディスク面D1から所定距離Hだけ浮上した状態でディスクDに対向配置されていると共にディスク面D1に沿って移動可能なスライダ20と、ディスクDに情報を記録する記録素子21と、ディスクDに記録されている情報を再生する再生素子22と、導入されたレーザ光Lを集光しながら伝播するとともに、近接場光に生成した後に外部に発する近接場光発生素子26と、を備えている。
以下、スライダ20の流入端側(リーディングエッジ側)、つまり図2におけるX方向右側を「後方」とし、スライダ20の流出端側(トレイリングエッジ側)、つまり図2におけるX方向左側を「前方」とする。また、記録再生ヘッド2に対してディスク面D1側、つまり図2におけるZ方向下側を「下方」とし、その反対側、つまり図2におけるZ方向上側を「上方」とする。
また、ゲルマニウムをドープした石英でコア23を形成し、石英(SiO2)でクラッド24を形成する組み合わせも考えられる。この場合には、レーザ光Lの波長が400nmのときに、コア23の屈折率が1.47より大きくなり、クラッド24の屈折率が1.47となるのでやはり好ましい組み合わせである。
特に、コア23とクラッド24との屈折率差が大きいほど、コア23内にレーザ光Lを閉じ込める力が大きくなるので、コア23に酸化タンタル(Ta2O5:波長が550nmのときに屈折率が2.16)を用い、クラッド24に石英やアルミナ(Al2O3)等を用いて、両者の屈折率差を大きくすることがより好ましい。また、赤外領域のレーザ光Lを利用する場合には、赤外光に対して透明な材料であるシリコン(Si:屈折率が約4)でコア23を形成することも有効である。
基板d1としては、例えば、アルミ基板やガラス基板等である。軟磁性層d3は、高透磁率層である。中間層d4は、垂直記録層d2の結晶制御層である。垂直記録層d2は、垂直異方性磁性層となっており、例えばCoCrPt系合金が使用される。保護層d5は、垂直記録層d2を保護するためのもので、例えばDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)膜が使用される。潤滑層d6は、例えば、フッ素系の液体潤滑材が使用される。
次に、上記した情報記録再生装置1により、ディスクDに各種の情報を記録再生する場合について以下に説明する。
まず、図1に示すように、スピンドルモータ6を駆動させてディスクDを一定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ5を作動させて、キャリッジ11を介してビーム3をXY方向にスキャンさせる。これにより、ディスクD上の所望する位置に記録再生ヘッド2を位置させることができる。この際、記録再生ヘッド2は、スライダ20の対向面20aに形成された2つの凸条部20bによって浮上する力を受けるとともに、ビーム3等によってディスクD側に所定の力で押さえ付けられる。記録再生ヘッド2は、この両者の力のバランスによって、図2に示すようにディスクD上から所定距離H離間した位置に浮上する。
まず、レーザ光源43からレーザ光Lを光導波路42に入射させて、レーザ光Lをスライダ20側に導く。レーザ光源43から出射されたレーザ光Lは、図3に示すように、光導波路42のコア42a内を先端(流出端)側に向かって進み、近接場光発生素子26のコア23内に伝播する。コア23内に伝播したレーザ光Lは、反射面23aで略90度反射された後、光束集光部23b内を伝播する。光束集光部23bを伝播するレーザ光Lは、下方に向かってコア23とクラッド24との間で全反射を繰り返しながら伝播する。特に、図4に示すコア23の側面23dにはクラッド24が密着され、コア23の後面23gにはプラズモン増強金属膜25が密着されているので、コア23の外部に光が漏れることはない。よって、導入されたレーザ光Lを無駄にすることなく絞りながら他端側に伝播させて、近接場光生成部23cに入射させることができる。
この際、コア23は、下方に向かって断面積が漸次減少するように絞り成形されている。そのため、レーザ光Lは光束集光部23b内を伝播するにしたがって徐々に絞り込まれてスポットサイズが小さくなる。
次に、上述した記録再生ヘッド2の製造方法について説明する。図6,図7は図4に相当する部分断面図であって、記録再生ヘッド2の製造方法を説明するための工程図である。
本実施形態では、スライダ20となる基板120(例えば、AlTiC(アルチック)等)上に記録素子21、近接場光発生素子26、及び再生素子22を順に形成した後、ダイシングすることで、記録再生ヘッド2を製造する。なお、図6,図7では、説明を分かり易くするため、基板120上に形成される記録素子21のうち、補助磁極31、磁気回路32及びコイル34の記載を省略する。
次に、図7(b)に示すように、離間膜28を覆うように遮光膜27を形成する(遮光膜形成工程)。具体的には、離間膜28の上面に遮光膜27をパターニングする。
次に、クラッド24上に図3に示す再生素子22を形成する。これにより、基板120上に記録素子21、近接場光発生素子26、及び再生素子22が積層された状態で形成される。
その後、各スライダ20ごとの大きさになるようにバーを切断する(スライダ形成工程)。
以上により、記録再生ヘッド2が完成する。
図9に示す変形例1に係る記録再生ヘッド202では、磁気シールド50と主磁極33との間にコ字状の通電用金属膜251が介在されている。この通電用金属膜251は、ディスクD1側に露出された抵抗部251aと、抵抗部251aの両端から記録素子21の上端面と面一な位置までそれぞれ延設された一対の接続部251b,251bと、を備えている。抵抗部251aは、磁気シールド50の対向面50aに沿って延在する帯状の金属膜であり、抵抗部251aの下端面は磁気シールド50の対向面50aと面一に形成されている。また、一対の接続部251b,251bは、抵抗部251aよりも幅広の帯状の金属膜であり、抵抗部251aに対して略垂直に延設されている。なお、この場合、プラズモン増強金属膜225は、記録素子21の上端面まで延設させる必要はなく、コア23の下端部の部分にのみ形成されていればよい。
図9に示す変形例1に係る記録再生ヘッド302では、複数の通電用金属膜51A〜51Bが、絶縁層53A,51Bを介して磁気シールド50と主磁極33との間に積層されている。そして、プラズモン増強金属膜25の下端部には、主磁極33側に向かって段階的に縮幅された溶出部325aが形成されている。溶出部325aは、コア23側から順に、磁気シールド50の対向面50aに形成された第一溶出部325a1と、コア23側の絶縁層53Aの対向面53aに形成された第二溶出部325a2と、主磁極33側の絶縁層53Bの対向面53bに形成された第三溶出部325a3と、からなる。
例えば、上記した実施の形態では、コア23が断面視三角形状に形成されているが、断面視矩形状や他の断面形状のコアを用いることも可能である。
Claims (13)
- 一定方向に回転する磁気記録媒体の表面に沿って移動可能なスライダと、
該スライダに保持されていると共に、主磁極及び補助磁極を有し、前記磁気記録媒体の表面に対向する対向面から記録磁界を発生させる記録素子と、
前記主磁極に対する前記補助磁極側の反対側に配置され、前記磁気記録媒体の表面に対向する対向面から近接場光を発生させる近接場光発生素子と、
を備えており、
前記近接場光発生素子の対向面から発生する近接場光によって前記磁気記録媒体を加熱すると共に、前記記録素子の対向面から発生する記録磁界によって前記磁気記録媒体に磁化反転を生じさせることで、該磁気記録媒体に情報を記録する近接場光ヘッドの製造方法であって、
前記近接場光発生素子に、
先端を前記磁気記録媒体の表面に向けて配設され、基端側から入射された光束を先端側に向けて集光しながら伝播させるコアと、
前記コアのうちの少なくとも先端部分の主磁極側の側面に密着して配置され、前記コアの先端側で集光された光束から近接場光を発生させる金属膜と、
が備えられており、
前記金属膜と前記主磁極との間に、前記磁気記録媒体の表面側に向けて露出されて該磁気記録媒体の表面に対向する対向面を有する中間層を介在された状態で、前記近接場光発生素子を形成する近接場光発生素子形成工程と、
前記コアの基端側から光束を入射させて近接場光を発生させ、該近接場光によって前記金属膜を溶解して前記中間層の対向面上に前記金属膜を溶け出させ、該中間層の対向面に前記金属膜の端部を形成する金属膜溶解工程と、を備えることを特徴とする近接場光ヘッドの製造方法。 - 請求項1に記載の近接場光ヘッドの製造方法において、
前記中間層と前記主磁極との間に、前記磁気記録媒体の表面側に露出された通電膜が介在されており、
前記金属膜溶解工程の際に、前記通電膜に対する前記金属膜の端部の接触を検知し、該検知情報に基づいて前記コアに入射させる光束を制御することを特徴とする近接場光ヘッドの製造方法。 - 請求項2に記載の近接場光ヘッドの製造方法において、
前記金属膜の磁気記録媒体側の反対側の端部、及び前記通電膜の磁気記録媒体側の反対側の端部が、前記記録素子の対向面の反対側の端面と面一な位置までそれぞれ延設されており、
前記金属膜溶解工程の際に、前記金属膜の磁気記録媒体側の反対側の端部と前記通電膜の磁気記録媒体側の反対側の端部とを電気的に接続する電気回路を形成することを特徴とする近接場光ヘッドの製造方法。 - 請求項2に記載の近接場光ヘッドの製造方法において、
前記通電膜が、前記磁気記録媒体の表面側に露出された抵抗部と、該抵抗部の両端から前記記録素子の対向面の反対側の端面と面一な位置までそれぞれ延設された一対の接続部と、を備えており、
前記金属膜溶解工程の際に、該一対の接続部の磁気記録媒体側の反対側の端部同士を電気的に接続する電気回路を形成し、該電気回路の電気抵抗値を検出することを特徴とする近接場光ヘッドの製造方法。 - 請求項1から4の何れか一項に記載の近接場光ヘッドの製造方法において、
前記中間層の対向面が、前記コアの先端面よりもぬれ性が高くなっていることを特徴とする近接場光ヘッドの製造方法。 - 請求項1から5の何れか一項に記載の近接場光ヘッドの製造方法において、
複数の前記通電膜が、絶縁層を介して前記中間層と前記主磁極との間に積層されており、
前記金属膜溶解工程の際に、複数の前記通電膜に対する前記金属膜の端部の接触をそれぞれ検知し、該検知情報に基づいて前記コアに入射させる光束の出力を段階的に低下させることを特徴とする近接場光ヘッドの製造方法。 - 一定方向に回転する磁気記録媒体の表面に沿って移動可能なスライダと、
該スライダに保持されていると共に、主磁極及び補助磁極を有し、前記磁気記録媒体の表面に対向する対向面から記録磁界を発生させる記録素子と、
前記主磁極に対する前記補助磁極側の反対側に配置され、前記磁気記録媒体の表面に対向する対向面から近接場光を発生させる近接場光発生素子と、
を備えており、
前記近接場光発生素子の対向面から発生する近接場光によって前記磁気記録媒体を加熱すると共に、前記記録素子の対向面から発生する記録磁界によって前記磁気記録媒体に磁化反転を生じさせることで、該磁気記録媒体に情報を記録する近接場光ヘッドであって、
前記近接場光発生素子には、
先端を前記磁気記録媒体の表面に向けて配設され、基端側から入射された光束を先端側に向けて集光しながら伝播させるコアと、
前記コアのうちの少なくとも先端部分の主磁極側の側面に密着して配置され、前記コアの先端側で集光された光束から近接場光を発生させる金属膜と、
が備えられ、
該金属膜と前記主磁極との間に、前記磁気記録媒体の表面側に向けて露出されて該磁気記録媒体の表面に対向する対向面を有する中間層が介在されており、
前記金属膜が前記近接場光によって溶解されて前記中間層の対向面上に溶け出ることで、前記金属膜の端部が前記中間層の対向面に形成されていることを特徴とする近接場光ヘッド。 - 請求項7に記載の近接場光ヘッドにおいて、
前記中間層と前記主磁極との間に、前記磁気記録媒体の表面側に露出された通電膜が介在されていることを特徴とする近接場光ヘッド。 - 請求項8に記載の近接場光ヘッドにおいて、
前記金属膜の磁気記録媒体側の反対側の端部、及び前記通電膜の磁気記録媒体側の反対側の端部が、前記記録素子の対向面の反対側の端面と面一な位置までそれぞれ延設されていることを特徴とする近接場光ヘッド。 - 請求項8に記載の近接場光ヘッドの製造方法において、
前記通電膜が、前記磁気記録媒体の表面側に露出された抵抗部と、該抵抗部の両端から前記記録素子の対向面の反対側の端面と面一な位置までそれぞれ延設された一対の接続部と、を備えていることを特徴とする近接場光ヘッド。 - 請求項7から10の何れか一項に記載の近接場光ヘッドにおいて、
前記中間層の対向面が、前記コアの先端面よりもぬれ性が高くなっていることを特徴とする近接場光ヘッド。 - 請求項7から11の何れか一項に記載の近接場光ヘッドにおいて、
複数の前記通電膜が、絶縁層を介して前記中間層と前記主磁極との間に積層されていることを特徴とする近接場光ヘッド。 - 請求項7から12の何れか一項に記載の近接場光ヘッドと、
前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、前記磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する2軸回りに回動自在な状態で前記近接場光ヘッドを先端側で支持するビームと、
前記コアの基端部に対して光束を入射させる光源と、
前記ビームの基端側を支持するとともに、前記ビームを前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるアクチュエータと、
前記磁気記録媒体を前記一定方向に回転させる回転駆動部と、
前記記録素子及び前記光源の作動を制御する制御部と、
を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
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Cited By (2)
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004355740A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Tdk Corp | 磁気ヘッドのスメア検出方法及び装置 |
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Patent Citations (2)
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---|---|---|---|---|
JP2004355740A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Tdk Corp | 磁気ヘッドのスメア検出方法及び装置 |
JP2005134216A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Ricoh Co Ltd | 近接場光プローブ作製装置及びその作製方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013102669A1 (de) | 2012-03-21 | 2013-09-26 | Hitachi High-Tech Science Corporation | Proben-Überwachungsverfahren, Proben-Vorbereitungsverfahren und Ladungspartikelstrahl-Vorrichtung |
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