JP2012040672A - ワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ワークに複合ノズル体を対向配置してカーテン水流が創るウォーターカーテンの水流壁面層の高度化を図るとともに、水流噴射ノズルの高圧水流と冷水にシャーベットを混在させたカーテン水流の水圧・水流を可能とする新規ノズル装置を提供する。
【解決手段】 ワークＷの上下に、突軸２の孔ｈにワイヤＹを通し突軸の外周に形成した流路Ｌに加工液用の高圧水流Ｗ１を噴射する水流噴射ノズル１０と、上記水流噴射ノズルが形成する高圧水流の外周に水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣを生成包囲する環状ノズル２０とからなる複合ノズル体Ｎ１，Ｎ２を対向配置し、上記環状ノズルにカーテン水流Ｗ２の水圧値Ｐｏ１と水流量Ｑｏ１とを調節する第１ポンプ制御手段４２が接続され、上記水流噴射ノズルに高圧水流の水圧値Ｐｏ２と水流量Ｐｏ２とを調節する第２ポンプ制御手段５２を接続した。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置に係り、特に、ワークを漬ける加工液タンクを使用することなく、大型ワークに対しても合理的に最小限の水流量とワイヤ外周に停滞する特別の冷却媒体により加工するノズル装置において、ノズル構造の改善で加工効率を高めると共に、冷水に適正なシャーベットを含有したカーテン水流によるウォーターカーテンを生成する新規な加工液ノズル装置に関するものである。

近年、例えば、ワイヤカット放電加工機（繰返し使用されるブラッシングワイヤによる放電加工機）に使用されるノズル装置に係る技術が多く提供されている。その代表的なものとして、ワイヤカット放電加工用ノズル装置が提供されている。その構成は、位置決めガイド間を走行移動するワイヤ電極と被加工体間に加工液を供給しながら前記ワイヤ電極と被加工体との加工間隙にパルス通電して放電加工するワイヤカット放電加工用ノズル装置において、挿通するワイヤ電極を同軸状に囲繞し、先端部開口にかけて先細状に構成すると共に、ワイヤ電極が挿通する後端部にかけて位置決めガイドと加工液シールとを順次に設けた高圧ノズルと、前記高圧ノズルを同軸状に内包して支承し、該高圧ノズルの後端との間にワイヤ電極への通電子を収納する液室を形成すると共に、側部から先端にかけて前記液室に連通する環状の同軸状流路と先端噴射口を形成した低圧ノズルとを備え、前記高圧ノズルを高圧加工液供給路に、又前記液室を低圧加工液供給路に夫々接続して成るものである（例えば、特許文献１参照。）。

また、別の加工液供給ノズルは、ワイヤカット放電加工装置において、ワイヤ電極と被加工物間のすき間の加工領域に加工液を噴出、供給するための加工液供給ノズルに係り、主噴出口の周囲に、主噴出口と同心円上に、主噴出口よりも径の小さい補助噴出口を、複数配置することにより、ノズルの構成を複雑にすることなく、ワイヤ電極と被加工物との間の加工領域に確実かつ高速に加工液を供給することができ、ワイヤ電極の断線を防ぎ、加工速度の高速化を達成することのできる加工液供給ノズルを提供するものである（例えば、特許文献２参照。）。

更に、ウォータージェット加工装置において、飛散する水や砥粒を効果的に防止するものが提案されている。その構成は、 加工ヘッドのアームにとりつけられるノズルは、ノズル本体内にウォーターノズルと、その先端に連結されるアブレシブノズルを有する。ノズル本体の下端に固着される飛沫飛散防止装置は、本体と、本体に連結する内筒、外筒を有する。内筒と外筒の下端部には環状のスリットが設けられる。アブレシブノズルから噴射されるウォータージェットはワークを加工する。そして、飛沫飛散防止装置のスリットから噴射されるウォーターカーテンはウォータージェットの水やアブレシブの飛散を防止するものである（例えば、特許文献３参照。）。

更に、別のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置は、ワークの上下に配置した一対の水流噴射ノズルにおいて、中心孔とこの外周にリング状または複数個からなる補助ノズル孔を形成し、ワイヤを挿通させた上記中心孔の内周に縦溝（スパイラル状溝）を形成して高圧水流に渦巻き運動を与え、上記補助ノズル孔に供給される高圧水流により環状水室となるウォーターカーテンを形成したものであり、更に、少なくとも一方に配置した水流噴射ノズルは、ワイヤを挿通させた中心孔にシャーベット状の氷を供給し被加工物に噴出する。また、上または下の少なくとも一方に配置した水流噴射ノズルは、ワイヤを挿通させた中心孔と上記中心孔の外周にリング状または複数個からなる補助ノズル孔を形成し、上記中心孔及び補助ノズル孔にシャーベット状の氷を与え、上記シャーベット状の氷により環状水室となるウォーターカーテンを形成させものである（例えば、特許文献４参照。）。

特許第２５５９２２４号公報 特開２００１−３４７４２４号公報 実開平０５−７８４７２号公報 特開２００９−１３７０００号公報

上記特許第２５５９２２４号公報のワイヤカット放電加工用ノズル装置によると、低圧ノズルが高圧ノズルを完全に内包する構成とすることにより、小型、且つコンパクトで高耐圧とすることができ、高圧ノズルに供給される高圧加工液は位置決めガイドを通って加工液シールから漏出する液は低圧ノズルに形成された液室に受容され液圧が緩和される。その漏出液は低圧ノズルの液室と連通する流路へ流入し先端噴射口から噴射されるものである。しかしながら、上記ノズル装置は、ワークの片側だけに配置されたものであるから、ワークの裏側から噴出する水やアブレシブの飛散防止機能が全く期待できないという問題点が解消されていない。

また、上記特開２００１−３４７４２４号公報の加工液供給ノズルは、ワイヤ電極と被加工物との間の加工領域に確実かつ高速に加工液を供給することができ、ワイヤ電極の断線を防ぎ、加工速度の高速化を達成するものである。しかしながら、上記ノズル装置は、ワークの片側だけに配置されたものであるから、ワークの裏側から噴出する水やアブレシブの飛散防止機能が全く期待できないという問題点が解消されていない。

更に、上記実開平０５−７８４７２号公報は、ウォータージェット加工装置における飛沫飛散防止装置である。このスリットから噴射されるウォーターカーテンは、中心部のウォータージェットの水やアブレシブの飛散を防止させるが、その配置がワークの片側だけに限定されているために、そのウォータージェットの水やアブレシブの飛散防止機能がワークの片側だけとなり、ワークの裏側から噴出する水やアブレシブの飛散防止機能が全く期待できないという問題点が解消されていない。

更に、上記特開２００９−１３７０００号公報の加工液ノズル装置は、本願の出願人に係るものである。その特徴は、ワークの上下に配置した一対の水流噴射ノズルにおいて、ワイヤを挿通させた中心孔と上記中心孔の外周に補助ノズル孔を形成し、上記中心孔及び補助ノズル孔にシャーベット状の氷を与え、上記シャーベット状の氷により環状水室となるウォーターカーテンを形成させることで、ワイヤの冷却効果が水流だけのウォーターカーテンよりも高く、ワイヤの断線防止効果が期待される。

しかし、上記特開２００９−１３７０００号公報の加工液ノズル装置は、ウォーターカーテンがワークの片側のみに構成されているためシャーベットが溶解し易く、更に、中心に配置した水流噴射ノズルからの高圧水圧で容易に飛散する、即ち、中心部の高圧水流噴射（ウォータージェット水）がシャーベット壁を崩してシャーベット効果を低減する問題点がある。この結果として、シャーベットを混在させたウォーターカーテンがワイヤ・ワークに対するウォータージェット水の浸漬効果を十分に得られないことが判明した。この理由としては、水に対するシャーベットの適正な含有率が不明であるばかりか、水の水温管理も確立されておらず、更には、水流噴射ノズルの高圧水圧とシャーベットを混在させたウォーターカーテンの水圧・水量の制御が確立されていないことが挙げられる。

本発明の目的は、主に上記特開２００９−１３７０００号公報のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置が持つ問題点であるシャーベットが溶解し易く、ウォータージェット水の影響を受けるウォーターカーテンは、ワークの片側だけで容易に破壊されることでワイヤやワークの浸漬効果が得られないこと、水流噴射ノズルの水圧・流量とシャーベットを混在させたウォーターカーテンの水圧・水量の制御やシャーベットの適正な含有率が確立されていない等の問題点を解消すべくなされたものであり、その目的を達成すべく、複合ノズル体の構成とし、カーテン水流が作るウォーターカーテンの水流壁面層の高度化を図り、更に、冷水にシャーベットを混在させたカーテン水流の水圧・水流の制御やシャーベットの適正な含有率を確立した新規なノズル装置を提供するものである。

上記目的を達成するべく本発明の請求項１のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置は、テーブルに搭載されたワークの上下に、突軸の中心孔にワイヤを挿通するとともに突軸の外周に形成された流路に加工液用の高圧水流を噴射する水流噴射ノズルと上記水流噴射ノズルが形成する高圧水流の外周に筒状の水流壁面層となるウォーターカーテンを生成する環状ノズルとからなる複合ノズル体が対向配置されてなり、上記複合ノズル体の水流噴射ノズルは、漏斗状噴射口が突軸の中心孔に挿通したワイヤを包囲した状態で加工液用の高圧水流をワーク加工面に向けて噴射すべく外周筒を突軸の軸心に一致配置させて形成されており、上記複合ノズル体の環状ノズルは、環状噴射口が上記水流噴射ノズルの外周筒の外周面を略同型の外筒により包囲され、上記外周筒の先端直管部の根元大径部に形成されており、上記環状噴射口へのカーテン水流の供給により水流壁面層となるウォーターカーテンを噴射するものであることを特徴とする。

請求項２のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置は、請求項１記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置において、上記環状ノズルの環状噴射口は、環状噴射口から噴出するウォーターカーテンの内周面と漏斗状噴射口の先端外周面との間に僅かな隙間が形成されるように配置するとともに、漏斗状噴射口が環状噴射口よりもワーク側へ突出して配置されていることを特徴とする。

請求項３のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置は、請求項１または２記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置において、上記環状ノズルに供給されるカーテン水流は、５℃〜氷点温度に冷却された冷水としたことを特徴とする。

請求項４のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置は、請求項１または２記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置において、上記環状ノズルに供給されるカーテン水流は、５℃〜氷点温度に冷却された冷水に、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍに粉砕した微細な氷を１０％〜２０％含有させたシャーベット状の液体としたことを特徴とする。

請求項５のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置は、請求項４記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置において、上記シャーベット状の液体は、氷を生成する製氷手段叉は外部供給により０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの微細なシャーベット状の氷とする粉砕手段と、水を５℃〜氷点温度付近に冷却させる冷水供給手段と、上記冷水にシャーベット状の氷を１０％〜２０％含有させる混合手段と、上記シャーベット状の氷を含有する冷水を環状ノズルに供給するポンプ手段と、により生成されることを特徴とする。

請求項６のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置は、請求項１または２記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置において、上記環状ノズルには水流壁面層となるカーテン水流の水圧値と水流量とを調節可能な第１ポンプ制御手段が接続され、上記水流噴射ノズルには高圧水流の水圧値と水流量とを調節可能な第２ポンプ制御手段が接続されていることを特徴とする。

請求項７のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置は、請求項６記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置において、上記第１ポンプ制御手段は、ＮＣ制御部からのカーテン水流の圧力指令値と流量指令値とにより水流ポンプを作動させるとともに、上記水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを検出する検出センサからのフィードバック情報で水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを指令値に一致制御させたカーテン水流を環状ノズルに供給し、上記第２ポンプ制御手段は、ＮＣ制御部からの高圧水流の圧力指令値と流量指令値とにより水流ポンプを作動させるとともに、上記水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを検出する検出センサからのフィードバック情報で水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを指令値に一致制御させた高圧水流を水流噴射ノズルに供給することを特徴とする。

請求項８のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置は、請求項７記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置において、上記ＮＣ制御部は、加工プログラムにより環状ノズルに供給するウォーターカーテンの圧力と流量とを制御する一方、ワイヤの加工電流と加工速度とを制御するとともに水流噴射ノズルに供給する高圧水流の圧力と流量とを制御することを特徴とする。

請求項１の加工液ノズル装置によると、テーブルに搭載されたワークの上下に、突軸の中心孔にワイヤを挿通するとともに突軸の外周に形成された流路に加工液用の高圧水流を噴射する水流噴射ノズルと上記水流噴射ノズルが形成する高圧水流の外周に筒状の水流壁面層となるウォーターカーテンを生成する環状ノズルとからなる複合ノズル体が対向配置されてなり、上記複合ノズル体の水流噴射ノズルは、漏斗状噴射口が突軸の中心孔に挿通したワイヤを包囲した状態で加工液用の高圧水流をワーク加工面に向けて噴射すべく外周筒を突軸の軸心に一致配置させて形成されており、上記複合ノズル体の環状ノズルは、環状噴射口が上記水流噴射ノズルの外周筒の外周面を略同型の外筒により包囲され、上記外周筒の先端直管部の根元大径部に形成されており、上記環状噴射口へのカーテン水流の供給により水流壁面層となるウォーターカーテンを噴射するものであるから、環状ノズルによりリング状に整形された水流壁層体が作られ、水流噴射ノズルは高圧水流が収束性良く噴射され、上記水流壁層体は高圧水流からの飛散する乱流を受けても崩れ難い。それは、ワークの表裏の二面で発揮される。

請求項２の加工液ノズル装置によると、上記環状ノズルの環状噴射口は、環状噴射口から噴出するウォーターカーテンの内周面と漏斗状噴射口の先端外周面との間に僅かな隙間が形成されるように配置するとともに、漏斗状噴射口が環状噴射口よりもワーク側へ突出して配置されているから、ウォータージェット水流が整流・成形されて乱れず、ワイヤによるワーク加工作用が効率良く高品位に保証され、更に、ウォーターカーテンも整流・成形されて乱れず、高圧水流の飛散防止作用が高められる。それは、ワークの表裏の二面で発揮される。

請求項３の加工液ノズル装置によると、上記環状ノズルに供給されるカーテン水流は、５℃〜氷点温度に冷却された冷水としたから、ワイヤ及びワークの加工点及びワーク表裏の二面を効率良く冷却できる。

請求項４の加工液ノズル装置によると、上記環状ノズルに供給されるカーテン水流は、５℃〜氷点温度に冷却された冷水に、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍに粉砕した微細な氷を１０％〜２０％含有させたシャーベット状の液体としたから、リング状のシャーベット状の液体が作る水流壁層体は静止流冷却壁層体となり、ウォーターカーテンが高圧水流の影響を受けても崩れ難く、シャーベットが持つ高い浸漬効果を発揮し、且つ、長期間にわたりその効果を維持する。それは、ワークの表裏の二面で発揮される。

請求項５の加工液ノズル装置によると、上記シャーベット状の液体は、氷を生成する製氷手段叉は外部供給により０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの微細なシャーベット状の氷とする粉砕手段と、水を５℃〜氷点温度付近に冷却させる冷水供給手段と、上記冷水にシャーベット状の氷を１０％〜２０％含有させる混合手段と、上記シャーベット状の氷を含有する冷水を環状ノズルに供給するポンプ手段と、により生成されるようにしたから、上記シャーベット状の氷を含有する冷水を、ポンプ手段により環状ノズルに確実に供給できる。

請求項６の加工液ノズル装置によると、上記環状ノズルには水流壁面層となるカーテン水流の水圧値と水流量とを調節可能な第１ポンプ制御手段が接続され、上記水流噴射ノズルには高圧水流の水圧値と水流量とを調節可能な第２ポンプ制御手段が接続されているから、ワイヤカット放電加工において、水流噴射ノズルに供給される高圧水流の水圧値と水流量とを最適値に制御すると共に、環状ノズルに供給されるカーテン水流の水圧値と水流量を最適値に制御することで最適な水流壁面層が得られる。この結果、高圧水流の影響を受けてもウォーターカーテンが破壊されず、ワイヤやワークに対するウォーターカーテンの浸漬効果が得られる。それは、ワークの表裏の二面で発揮される。

請求項７の加工液ノズル装置によると、上記第１ポンプ制御手段は、ＮＣ制御部からのカーテン水流の圧力指令値と流量指令値とにより水流ポンプを作動させるとともに、上記水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを検出する検出センサからのフィードバック情報で水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを指令値に一致制御させたカーテン水流を環状ノズルに供給するから、要求される水流・水圧のシャーベット水流が合理的に高品質に生成できる。また、上記第２ポンプ制御手段は、ＮＣ制御部からの高圧水流の圧力指令値と流量指令値とにより水流ポンプを作動させるとともに、上記水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを検出する検出センサからのフィードバック情報で水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを指令値に一致制御させた高圧水流を水流噴射ノズルに供給するから、要求される水流・水圧の高圧水流が合理的に高品質に生成できる。

請求項８の加工液ノズル装置によると、上記ＮＣ制御部は、加工プログラムにより環状ノズルに供給するウォーターカーテンの圧力と流量とを制御する一方、ワイヤの加工電流と加工速度とを制御するとともに水流噴射ノズルに供給する高圧水流の圧力と流量とを制御するから、ワーク加工が合理的に高品質に実行できる。

本発明の第１の実施の形態を示し、ワイヤカット放電加工機の側面図と要部断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示し、加工液ノズル装置の複合ノズル体の断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示し、カーテン水流の製造システム図である。 本発明の第１の実施の形態を示し、高圧水流の製造システム図である。 本発明の第１の実施の形態を示し、加工プログラムによるワイヤカット放電加工機の運転フローチャート図である。 本発明の第２の実施の形態を示し、シャーベット生成装置のシステム図である。 本発明の第２の実施の形態を示し、シャーベット状のカーテン水流の製造システム図である。 本発明の第２の実施の形態を示し、シャーベット水流によるウォーターカーテンの作用断面図である。 本発明の第２の実施の形態を示し、シャーベット水流によるウォーターカーテンの作用断面図である。

以下、図１乃至図９を参照して本発明の実施の形態を説明する。
本発明の第１の実施の形態は、図１〜図４に示すワイヤカット放電加工機ＷＭの加工液ノズル装置１００である。上記加工液ノズル装置１００は、割出回転テーブル１に搭載されたワークＷの上下に対向配置した複合ノズル体Ｎ１，Ｎ２によりその主要部を構成している。上記複合ノズル体Ｎ１，Ｎ２の基本構成としては、突軸２の孔ｈにワイヤＹを挿通するとともに、上記突軸２の外周に形成された流路Ｌに加工液用の高圧水流Ｗ１を噴射する水流噴射ノズル１０，１０を備えている。上記水流噴射ノズル１０，１０の外周には、水流噴射ノズル１０，１０で形成する高圧水流Ｗ１の外周に筒状の水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣを生成する環状ノズル２０，２０とを備えている。
上記環状ノズル２０，２０には、水流壁面層となるカーテン水流Ｗ２の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを調節可能な第１ポンプ制御手段４２が接続されている。上記水流噴射ノズル１０，１０には、高圧水流Ｗ１の吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを調節可能な第２ポンプ制御手段５２が接続されている。

上記複合ノズル体Ｎ１，Ｎ２の詳細構成を説明する。図２に示すように、突軸２の孔ｈに挿通したワイヤＹを包囲した状態で加工液用の高圧水流Ｗ１をワークＷの加工面ＷＡに向けて噴射すべく、外周筒４を突軸２の軸心に一致配置させて漏斗状噴射口５を形成した水流噴射ノズル１０，１０を備える。上記水流噴射ノズル１０，１０の外周筒４の外周面を略同型の外筒６により包囲配置して形成した環状噴射口７は、上記外周筒４の先端直管部４Ａの根元大径部４Ｂに形成されている。上記環状噴射口７へのカーテン水流Ｗ２の供給により水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣを噴射する環状ノズル２０，２０を備える。上記環状ノズルの環状噴射口７は、環状噴射口７から噴出するウォーターカーテンＷＣの内周面と漏斗状噴射口５の先端外周面との間に僅かな隙間Ｘが形成されるとともに、漏斗状噴射口５が環状噴射口７よりもワークＷ側へ突出するように形成されている。

上記ワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置１００において、上記環状ノズル２０の環状噴射口７へ供給されるカーテン水流Ｗ２は、５℃〜氷点温度に冷却された冷水Ｗ２が最適で、水流噴射ノズル１０，１０からワークＷの加工点に噴射される高圧水流Ｗ１の外周に筒状の水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣを生成し、ワーク表裏の二面を効率良く冷却する。上記環状ノズル２０，２０にタンク２７内のカーテン水流Ｗ２を供給する第１ポンプ制御手段４２は、図３に示すように、カーテン水流Ｗ２の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを複合的に制御する。即ち、ＮＣ制御部２００からのカーテン水流Ｗ２の圧力指令値Ｐｃと流量指令値Ｑｃとにより水流ポンプ２６を作動してタンク２７内のカーテン水流Ｗ２を汲み上げる。上記水流ポンプ２６の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを検出する検出センサＳ１からのフィードバック情報ｆ１でアンプＡとインバータＩが水圧ポンプ２６を駆動し、水流ポンプ２６の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを指令値Ｐｃ，Ｑｃに一致制御すべく構成されている。また、ＮＣ制御部２００は、ワーク加工に対する加工電流ＫＩの制御と加工速度ＫＳの制御を行う移動装置Ｆに対して、制御指令を送って運転する。

更に、詳細に構成を説明すれば、吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを複合的に制御可能な水流ポンプ２６から環状ノズル２０，２０へカーテン水流Ｗ２を供給する。上記水流ポンプ２６からの供給経路上には吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを個別に検出する検出センサ（流速計と流量計との複合機能を備える）Ｓ１を設け、環状ノズル２０，２０へ供給されるカーテン水流Ｗ２の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを検出する。上記検出センサＳ１からの電気信号はフィードバック情報ｆ１としてアンプＡにより増幅されて第１ポンプ制御部ＰＣ１へフィードバックされる。上記第１ポンプ制御部ＰＣ１はフィードバックされた吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１に基づいてポンプ回転速度と吐出流速度を決定し、ポンプ回転速度と吐出流速度に応じたポンプ駆動信号はインバータＩを介して水流ポンプ２６へ出力され、その回転速度と吐出流速度を制御する。上記制御はマイクロプロセッサを用いて実行される。

また、上記水流噴射ノズル１０に高圧水流Ｗ１の吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを調節可能に供給する第２ポンプ制御手段５２は、図４に示すように構成されている。即ち、第２ポンプ制御手段５２は上記第１ポンプ制御手段４２と略同一構成からなる。
吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを複合的に制御可能な水流ポンプ２９から水流噴射ノズル１０，１０へ高圧水流Ｗ１を供給する。上記水流ポンプ２９からの供給経路上に吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを個別に検出する検出センサ（流速計と流量計との複合機能を備える）Ｓ２を設け、水流噴射ノズル１０，１０へ供給される高圧水流Ｗ１の吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを検出する。上記検出センサＳ２からの電気信号はフィードバック情報ｆ２としてアンプＡにより増幅されて第２ポンプ制御部ＰＣ２へフィードバックされる。上記第２ポンプ制御部ＰＣ２はフィードバックされた吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２に基づいてポンプ回転速度と吐出流速度を決定し、ポンプ回転速度と吐出流速度に応じたポンプ駆動信号はインバータＩを介して水流ポンプ２９へ出力され、その回転速度と吐出流速度を制御する。上記制御はマイクロプロセッサを用いて実行される。

また、ＮＣ制御部２００は、ワーク加工に対する加工電流ＫＩの制御と加工速度ＫＳの制御を行う移動装置Ｆに対して、制御指令を送って運転する。こうして、ワークＷとワイヤＹとの間の放電加工作用部に対して上下の水流噴射ノズル１０，１０から高圧水流Ｗ１を噴出して冷却作用を行うと共に、加工屑の除去を行う。これによって、ワイヤＹの断線と加工間隙における加工屑の付着を防止し、円滑且つ安定な放電加工作用を促進する。
更に、上記ＮＣ制御部２００は、図５に示すように、加工プログラムＫＰにより環状ノズル２０に供給するウォーターカーテンのカーテン水流Ｗ２の吐出圧力Ｐｏ１を圧力指令値Ｐａにより、吐出流量Ｑｏ１を流量指令値Ｑａにより各々制御する一方、ワイヤＹの加工電流値ＫＩと加工速度ＫＳとを制御するとともに水流噴射ノズル１０に供給する高圧水流Ｗ１の吐出圧力Ｐｏ２を圧力指令値Ｐｃにより、吐出流量Ｑｏ２を流量指令値Ｑｃにより各々制御する。

本発明の第１の実施の形態のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置１００は以上の構成からなり、次のように作用する。先ず、図１〜図２に示すように、加工液ノズル装置１００は、テーブル１に搭載されたワークＷの上下に複合ノズル体Ｎ１．Ｎ２が対向配置されている。これにより、上記複合ノズル体Ｎ１，Ｎ２において、水流噴射ノズル１０，１０は、その突軸２の孔ｈにワイヤＹが挿通されており、突軸２の外周に形成された流路Ｌに加工液用の高圧水流Ｗ１がワークＷの上下面ＷＡに向け噴射される。上記水流噴射ノズル１０，１０には、図４に示すように、第２ポンプ制御手段５２が接続されていて、予め設定された吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とに調節された高圧水流Ｗ１が供給される。これで、ワイヤＹの冷却とワーク加工部の冷却及び加工塵の排除が効率良く行われる。

他方、環状ノズル２０，２０は、上記高圧水流Ｗ１の外周に筒状の水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣを生成して高圧水流Ｗ１を包囲するように設けられている。上記環状ノズル２０，２０には、図３に示すように、第１ポンプ制御手段４２が接続されていて、予め設定された吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とに調節されたカーテン水流Ｗ２が供給される。これで、高圧水流Ｗ１の外周に筒状の水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣが形成され、ワーク面ＷＡに噴射された高圧水流Ｗ１の外部への飛散が防御される。この結果、高圧水流Ｗ１の影響を受けてもウォーターカーテンＷＣが破壊されず、ワイヤＹやワークＷに対するウォーターカーテンＷＣの浸漬効果が得られる。それは、ワークＷの表裏の二面で発揮される。

次に、上記複合ノズル体Ｎ１，Ｎ２の更なる詳細な作用を説明する。図２に示すように、複合ノズル体Ｎ１，Ｎ２は、加工液用の高圧水流Ｗ１をワーク加工面ＷＡに向けて噴射すべく外周筒４を突軸の軸心に一致配置させて漏斗状噴射口５を持つ水流噴射ノズル１０，１０と、上記水流噴射ノズル１０，１０の外周筒４の外周面を略同型の外筒６により包囲配置して形成した環状噴射口７を上記外周筒４の先端直管部４Ａの根元大径部４Ｂに開口形成し、上記環状噴射口７へのカーテン水流Ｗ２の供給により水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣを生成する環状ノズル２０，２０とからなっている。これで、環状ノズル２０，２０はリング状のウォーターカーテンＷＣが生成された水流壁層体が作られ、水流噴射ノズル１０，１０は高圧水流Ｗ１が収束性良く噴射され、上記水流壁層体は高圧水流Ｗ１からの飛散する乱流を受けても崩れ難い。

更に、複合ノズル体Ｎ１，Ｎ２において、環状ノズル２０，２０の環状噴射口７は、水流噴射ノズル１０，１０の漏斗状噴射口５から噴出する高圧水流Ｗ１とウォーターカーテンＷＣの内周面を漏斗状噴射口５の先端外周面との間に僅かな隙間Ｘが形成され、漏斗状噴射口５が環状噴射口７よりもワーク側へ突出して配置されている。これにより、高圧水流Ｗ１が整流されて乱れず、ワイヤＹによるワーク加工作用が効率良くできる。更に、ウォーターカーテンＷＣも整流されて乱れず、高圧水流Ｗ１の飛散防止作用が高められる。それは、ワークＷの表裏の二面で発揮される。

更に、上記加工液ノズル装置１００における第１ポンプ制御手段４２の作用を説明する。図３に示すように、ＮＣ制御部２００からのカーテン水流Ｗ２の圧力指令値Ｐａと流量指令値Ｑａとにより水流ポンプ２６を作動させ、上記水流ポンプ２６の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを検出する検出センサＳ１からのフィードバック情報ｆ１で水流ポンプ２６の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを指令値Ｐａ，Ｑａに一致制御させるべく、第１ポンプ制御手段４２が機能する。このカーテン水流Ｗ２は環状ノズル２０に供給される。
また、上記第２ポンプ制御手段５２の作用を説明する。図４に示すように、ＮＣ制御部２００から水流噴射ノズル１０への高圧水流Ｗ１の圧力指令値Ｐｃと流量指令値Ｑｃとにより水圧ポンプ２９を作動させるとともに、上記水圧ポンプの吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを検出する検出センサＳ２からのフィードバック情報ｆ２で水圧ポンプ２９の吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを指令値Ｐｃ，Ｑｃに一致制御させるべく、第２ポンプ制御手段５２が機能する。この高圧水流Ｗ１は水流噴射ノズル１０，１０に供給される。

更に、上記ＮＣ制御部２００の制御を説明する。図５に示すように、加工プログラムＫＰにより環状ノズル２０に供給するウォーターカーテンのカーテン水流Ｗ２の吐出圧力Ｐｏ１を圧力指令値Ｐａにより、吐出流量Ｑｏ１を流量指令値Ｑａにより各々制御される。また、加工プログラムＫＰにより水流噴射ノズル１０に供給する高圧水流Ｗ１の吐出圧力Ｐｏ２を圧力指令値Ｐｃにより、吐出流量Ｑｏ２を流量指令値Ｑｃにより各々制御されるとともに、ワイヤＹの加工電流値ＫＩと加工速度ＫＳとが制御される。上記制御はマイクロプロセッサを用いて実行される。

以上、本発明の第１の実施形態となるワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置１００によると次のような効果を奏することができる。
まず、この実施の形態の場合には、テーブル１に搭載されたワークＷの上下に、突軸２の中心孔にワイヤＹを挿通するとともに突軸２の外周に形成された流路に加工液用の高圧水流Ｗ１を噴射する水流噴射ノズル１０，１０と上記水流噴射ノズルが形成する高圧水流Ｗ１の外周に筒状の水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣを生成する環状ノズル２０，２０とからなる複合ノズル体Ｎ１，Ｎ２が対向配置されてなり、上記複合ノズル体の水流噴射ノズル１０，１０は、漏斗状噴射口５が突軸２の中心孔に挿通したワイヤＹを包囲した状態で加工液用の高圧水流Ｗ１をワーク加工面に向けて噴射すべく外周筒４を突軸２の軸心に一致配置させて形成されており、上記複合ノズル体の環状ノズル２０，２０は、環状噴射口７が上記水流噴射ノズルの外周筒４の外周面を略同型の外筒６により包囲され、上記外周筒４の先端直管部４Ａの根元大径部４Ｂに形成されており、上記環状噴射口７へのカーテン水流Ｗ２の供給により水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣを噴射するものであるから、環状ノズル２０，２０によりリング状に整形された水流壁層体が作られ、水流噴射ノズル１０，１０は高圧水流Ｗ１が収束性良く噴射され、上記水流壁層体は高圧水流Ｗ１から飛散する乱流を受けても崩れ難い。それは、ワークＷの表裏の二面で発揮される。

また、上記環状ノズル２０，２０の環状噴射口７は、環状噴射口７から噴出するウォーターカーテンＷＣの内周面と漏斗状噴射口５の先端外周面との間に僅かな隙間Ｘが形成されるように配置するとともに、漏斗状噴射口５が環状噴射口７よりもワークＷ側へ突出して配置されているから、ウォータージェット水流が整流・成形されて乱れず、ワイヤＹによるワーク加工作用が効率良く高品位に保証される。更に、ウォーターカーテンＷＣも整流されて乱れず、高圧水流Ｗ１の飛散防止作用が高められる。それは、ワークＷの表裏の二面で発揮される。

また、上記環状ノズル２０，２０に供給されるカーテン水流Ｗ２は、５℃〜氷点温度に冷却された冷水としたから、ワイヤＹ及びワークＷの加工点及びワークＷ表裏の二面を効率良く冷却できる。

また、上記環状ノズル２０，２０には水流壁面層となるカーテン水流Ｗ２の水圧値（吐出圧力Ｐｏ１）と水流量（吐出流量Ｑｏ１）とを調節可能な第１ポンプ制御手段４２が接続され、上記水流噴射ノズル１０，１０には高圧水流Ｗ１の水圧値（吐出圧力Ｐｏ２）と水流量（吐出流量Ｑｏ２）とを調節可能な第２ポンプ制御手段５２が接続されているから、ワイヤカット放電加工において、水流噴射ノズル１０，１０に供給される高圧水流Ｗ１の水圧値と水流量とを最適値に制御すると共に、環状ノズル２０，２０に供給されるカーテン水流Ｗ２の水圧値と水流量を最適値に制御することで最適な水流壁面層が得られる。この結果、高圧水流Ｗ１の影響を受けてもウォーターカーテンＷＣが破壊されず、ワイヤＹやワークＷに対するウォーターカーテンＷＣの浸漬効果が得られる。それは、ワークＷの表裏の二面で発揮される。

また、上記第１ポンプ制御手段４２により、ＮＣ制御部２００からのカーテン水流Ｗ２の圧力指令値Ｐａと流量指令値Ｑａとにより水流ポンプ２６を作動させ、上記水流ポンプ２６の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを検出する検出センサＳ１からのフィードバック情報ｆ１で水流ポンプ２６の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを指令値Ｐａ，Ｑａに一致制御させたカーテン水流Ｗ２を環状ノズル２０，２０に供給するようにしたから、要求される水流・水圧のカーテン水流Ｗ２が合理的に高品質に生成できる。また、第２ポンプ制御手段５２により、ＮＣ制御部２００からの高圧水流Ｗ１の圧力指令値Ｐｃと流量指令値Ｑｃとにより水圧ポンプ２９を作動させるとともに、上記水圧ポンプの吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを検出する検出センサＳ２からのフィードバック情報ｆ２で水圧ポンプ２９の吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを指令値Ｐｃ，Ｑｃに一致制御させた高圧水流Ｗ１を水流噴射ノズル１０，１０に供給するようにしたから、要求される水流・水圧の高圧水流Ｗ１が合理的に高品質に生成できる。

また、上記ＮＣ制御部２００は、加工プログラムＫＰにより環状ノズル２０に供給するウォーターカーテンのカーテン水流Ｗ２の吐出圧力Ｐｏ１と吐出流量Ｑｏ１とを各々制御され、また、加工プログラムＫＰにより水流噴射ノズル１０に供給する高圧水流Ｗ１の吐出圧力Ｐｏ２と吐出流量Ｑｏ２とを各々制御されるとともに、ワイヤＹの加工電流値ＫＩと加工速度ＫＳとが制御されるようにしたから、ワーク加工が合理的に高品質に実行できる。

本発明の第１の実施の形態となる加工液ノズル装置１００においては、環状ノズル２０，２０に供給するカーテン水流Ｗ２は、５℃〜氷点温度に冷却された冷水Ｗ２を使用し、水流噴射ノズル１０，１０から噴射される高圧水流Ｗ１の外周に筒状の水流壁面層となるウォーターカーテンＷＣを生成している。
これに対し、冷水Ｗ２による水流壁面層の強化を図るべく、上記カーテン水流Ｗ２に氷を混合させたシャーベット状の冷水を使用する第２の実施の形態となる加工液ノズル装置４００としても良い。その実施の形態を図６〜図９に示す。カーテン水流Ｗ２に氷を混合させたシャーベット状の液体Ｗ２は、図６に示すシャーベット生成装置３００により製造される。即ち、氷２１は製氷手段２２叉は外部供給により供給される。氷２１は、粉砕手段２３により０．１ｍｍ〜０．５ｍｍに粉砕して微細なシャーベット状の氷２１Ａとする。また、冷水供給手段２４により冷水Ｗ０を５℃〜氷点温度に冷却させて供給する。そして、混合手段２５により上記冷水Ｗ０にシャーベット状の氷２１Ａを１０％〜２０％含有させる。上記混合手段２５は、それぞれの適正量を調節供給する弁機構Ｖ１，Ｖ２と、上記シャーベット状の氷２１Ａを含有する冷水を上記保存条件で溜めるタンク２７と、環状ノズル２０に供給するポンプ手段２６と、を備えている。

上記環状ノズル２０にシャーベット状の液体Ｗ２（シャーベット状のカーテン水流Ｗ２）を供給する第１ポンプ制御手段４２Ａは、図７に示す。その構成は、シャーベット生成装置３００で造られたシャーベット状の液体Ｗ２を、上記第１ポンプ制御手段４２Ａのタンク２７内に供給して一時貯留したものである。その他の構成は、上記第１の実施の形態と同一に付き説明を省略する。

本発明の第２の実施の形態となる加工液ノズル装置４００の特徴は、上記ワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置１００の作用の他に、発明の要旨となるシャーベット状の液体Ｗ２をウォーターカーテンＷＣのカーテン水流として使用することにある。
その作用を、図６に示す。先ず、冷水Ｗ０にシャーベット状の氷２１Ａを１０％〜２０％含有させたカーテン水流ＷＣの製造工程を説明する。氷２１は、製氷手段２２叉は外部供給により製造される。この氷２１は、粉砕手段２３により０．１ｍｍ〜０．５ｍｍに粉砕して微細なシャーベット状の氷２１Ａを生成する。一方、冷水供給手段２４により水Ｗ０が５℃〜氷点温度に冷却される。上記冷水Ｗ０にシャーベット状の氷２１Ａを１０％〜２０％含有させ、混合手段２５により均等に撹拌する。上記シャーベット状の氷を含有する冷水は、ポンプ手段２６により環状ノズル２０に供給される。これで、リング状のシャーベット状の液体の噴出が円滑となり、この流壁が作る水流壁面層は静止流冷却壁層体となり、ウォーターカーテンＷＣが高圧水流Ｗ１の影響を受けても崩れ難く、シャーベットが持つ高い浸漬作用を発揮する。且つ、長期間にわたりその浸漬作用が維持される。それは、ワークＷの表裏の二面で作用する。上記シャーベット状の氷２１Ａを１０％〜２０％含有させた冷水Ｗ０は、環状ノズル２０から噴射されてリング状の水流壁面層を形成するのに、純水よりも水量・水速度を最適値に制御させられる。

尚、上記５℃〜氷点温度に冷却された冷水Ｗ０に、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍに粉砕して微細な氷２１Ａを１０％〜２０％含有させたシャーベット状の冷水Ｗ０は、ウォーターカーテンＷＣが作る水流壁面層が高圧水流Ｗ１の影響を受けても崩れ難く、シャーベットが持つ高い浸漬作用を発揮する為の条件であることの試験結果を図８と図９に示す。図８は、０．６ｍｍ〜５ｍｍに粉砕した氷２１Ａを４０％含有させたシャーベット状の冷水Ｗ０の実施例を示す。図８に示すように、ウォーターカーテンＷＣが作るカーテン水流ＷＣの速度が低下・停滞して水流壁面層を弱体化し、高圧水流Ｗ１の影響を受けると水流の貫通が見られ、シャーベットが持つ高い浸漬作用が発揮されていない。これは、水流壁面層内に比較的大粒に粉砕した氷２１Ａを４０％含有させたシャーベット状の冷水Ｗ０であるから、壁内に隙間が多くしかも冷水量も少なく水流壁面層が弱体化し、高圧水流の影響を受けると水流が貫通してシャーベットが持つ高い浸漬作用の低下が起きるからである。

図９は、０．０５ｍｍ〜０．０９ｍｍに細かく粉砕した氷２１Ａを２０％〜５０％含有させたシャーベット状の冷水Ｗ０の実施例を示す。図９に示すように、ウォーターカーテンＷＣが作る水流壁面層が純水に近くなって弱体化し、高圧水流Ｗ１が容易に水流壁面層を貫通して外部へ飛散し易くなる。この為に、シャーベットが持つ高い浸漬作用が発揮され難くなる。これは、水流壁面層内のシャーベットの含有率の低下で浸漬作用が弱体化した冷水Ｗ０となるからである。これを防ぐには、ウォーターカーテンＷＣを形成する冷水Ｗ０の水流速度と流量を最大限に増加させなければならないことを意味する。

以上、本発明の第２の実施形態となるワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置４００によれば次のような効果が奏せられる。
先ず、複合ノズル体は、環状ノズルに供給されるカーテン水流を、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの微細な氷を５℃〜氷点温度に冷却された冷水に１０％〜２０％含有させたシャーベット状の液体としたから、リング状のシャーベット状の液体が作る水流壁面層は静止流冷却壁層体となり、ウォーターカーテンが高圧水流の影響を受けても崩れ難く、シャーベットが持つ高い浸漬効果を発揮し、且つ、長期間にわたりその効果を維持する。それは、ワークの表裏の二面で発揮される。

また、シャーベット状の液体は、氷を生成する製氷手段と、氷を０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの微細なシャーベット状の氷とする粉砕手段と、水を５℃〜氷点温度に冷却させる冷水供給手段と、上記冷水にシャーベット状の氷を１０％〜２０％前後程度含有させる混合手段と、により合理的に高品質に生成でき、上記シャーベット状の氷を含有する冷水を、ポンプ手段により環状ノズルに確実に供給できる。

本発明は、その対象物をワイヤカット放電加工機の実施例で説明したものであるが、様々な製品装置における加工液ノズル装置１００，４００としての適用が可能である。

１ テーブル
２ 突軸
４ 外周筒
４Ａ 先端直管部
４Ｂ 根元大径部
５ 漏斗状噴射口
６ 外筒
７ 環状噴射口
１０ 水流噴射ノズル
２０ 環状ノズル
２１ 氷
２１Ａ 氷
２２ 製氷手段
２３ 粉砕手段
２４ 冷水供給手段
２５ 混合手段
２６ 水流ポンプ
２７，２８ タンク
２９ 水圧ポンプ
４２ 第１ポンプ制御手段
４２Ａ 第１ポンプ制御手段
５２ 第２ポンプ制御手段
１００ 加工液ノズル装置
２００ ＮＣ制御部
３００ シャーベット生成装置
４００ 加工液ノズル装置
Ａ アンプ
Ｉ インバータ
Ｆ 移動装置
ｆ１ フィードバック情報
ｆ２ フィードバック情報
ＫＰ 加工プログラム
ＫＩ 加工電流値
ＫＳ 加工速度
Ｌ 流路
Ｎ１，Ｎ２ 複合ノズル体
ｈ 孔
ＰＣ１ 第１ポンプ制御部
ＰＣ２ 第２ポンプ制御部
Ｐａ，Ｐｃ 圧力指令値
Ｑａ，Ｑｃ 流量指令値
Ｐｏ１，Ｐｏ２ 吐出圧力
Ｑｏ１，Ｑｏ２ 吐出流量
Ｓ１ 検出センサ
Ｓ２ 検出センサ
Ｗ ワーク
ＷＡ 加工面
ＷＭ ワイヤカット放電加工機
Ｗ ワーク
Ｗ１ 高圧水流
ＷＣ ウォーターカーテン
Ｗ２ カーテン水流
Ｗ０ 冷水
Ｘ 隙間

Claims (8)

1. テーブルに搭載されたワークの上下に、突軸の中心孔にワイヤを挿通するとともに突軸の外周に形成された流路に加工液用の高圧水流を噴射する水流噴射ノズルと上記水流噴射ノズルが形成する高圧水流の外周に筒状の水流壁面層となるウォーターカーテンを生成する環状ノズルとからなる複合ノズル体が対向配置されてなり、
   上記複合ノズル体の水流噴射ノズルは、漏斗状噴射口が突軸の中心孔に挿通したワイヤを包囲した状態で加工液用の高圧水流をワーク加工面に向けて噴射すべく外周筒を突軸の軸心に一致配置させて形成されており、
   上記複合ノズル体の環状ノズルは、環状噴射口が上記水流噴射ノズルの外周筒の外周面を略同型の外筒により包囲され、上記外周筒の先端直管部の根元大径部に形成されており、上記環状噴射口へのカーテン水流の供給により水流壁面層となるウォーターカーテンを噴射するものであることを特徴とするワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置。
2. 上記環状ノズルの環状噴射口は、上記環状噴射口から噴出するウォーターカーテンの内周面と漏斗状噴射口の先端外周面との間に僅かな隙間が形成されるように配置するとともに、漏斗状噴射口が環状噴射口よりもワーク側へ突出して配置されていることを特徴とする請求項１記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置。
3. 上記環状ノズルに供給されるカーテン水流は、５℃〜氷点温度に冷却された冷水としたことを特徴とする請求項１または２記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置。
4. 上記環状ノズルに供給されるカーテン水流は、５℃〜氷点温度に冷却された冷水に、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍに粉砕した微細な氷を１０％〜２０％含有させたシャーベット状の液体としたことを特徴とする請求項１または２記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置。
5. 上記シャーベット状の液体は、氷を生成する製氷手段叉は外部供給により０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの微細なシャーベット状の氷とする粉砕手段と、水を５℃〜氷点温度付近に冷却させる冷水供給手段と、上記冷水にシャーベット状の氷を１０％〜２０％含有させる混合手段と、上記シャーベット状の氷を含有する冷水を環状ノズルに供給するポンプ手段と、により生成されることを特徴とする請求項４記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置。
6. 上記環状ノズルには水流壁面層となるカーテン水流の水圧値と水流量とを調節可能な第１ポンプ制御手段が接続され、上記水流噴射ノズルには高圧水流の水圧値と水流量とを調節可能な第２ポンプ制御手段が接続されていることを特徴とする請求項１または２記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置。
7. 上記第１ポンプ制御手段は、ＮＣ制御部からのカーテン水流の圧力指令値と流量指令値とにより水流ポンプを作動させるとともに、上記水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを検出する検出センサからのフィードバック情報で水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを指令値に一致制御させたカーテン水流を環状ノズルに供給し、上記第２ポンプ制御手段は、ＮＣ制御部からの高圧水流の圧力指令値と流量指令値とにより水流ポンプを作動させるとともに、上記水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを検出する検出センサからのフィードバック情報で水流ポンプの吐出圧力と吐出流量とを指令値に一致制御させた高圧水流を水流噴射ノズルに供給することを特徴とする請求項６記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置。
8. 上記ＮＣ制御部は、加工プログラムにより環状ノズルに供給するウォーターカーテンの圧力と流量とを制御する一方、ワイヤの加工電流と加工速度とを制御するとともに水流噴射ノズルに供給する高圧水流の圧力と流量とを制御することを特徴とする請求項７記載のワイヤカット放電加工機の加工液ノズル装置。

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