JP2012017110A - Glass substrate storage tray and tray assembly - Google Patents

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要平 御舘
Takashi Yamashita
貴司 山下
Tomoki Tatsumi
友樹 辰巳
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass substrate storage tray capable of detecting whether a crack or a chip exists in a glass substrate stored in the tray.SOLUTION: The glass substrate storage tray on which the glass substrate 20 is placed includes a light emitting part 21 provided at one end of the tray for emitting light, and a light receiving part 22 provided at one end opposite thereto for receiving light from the light emitting part. In the glass substrate storage tray, the light emitting part is an optical fiber light source or an organic electroluminescent element, and the light receiving part is an optical fiber sensor.

Description

本発明は、ガラス基板を収納して輸送もしくは搬送するためのトレイの構造に関する。   The present invention relates to a tray structure for storing or transporting or transporting a glass substrate.

液晶表示装置の表示パネルは、通常、相互に対向して配置された一対のガラス基板の間に液晶を封入することにより製造されている。このような表示パネルを製造するために、ガラス基板が、表示パネルの製造工場に輸送される。ガラス基板を工場に輸送する場合には、通常、ガラス基板を収納するガラス基板用収納トレイ(以下、単にトレイと記す。)が使用される。ガラス基板に対し、表示パネル化するために種々の加工を加える際にも、コンベアーや搬送アームが使えない場合には、収納トレイに収容して移動させる。   A display panel of a liquid crystal display device is usually manufactured by enclosing a liquid crystal between a pair of glass substrates arranged to face each other. In order to manufacture such a display panel, the glass substrate is transported to a display panel manufacturing factory. When transporting a glass substrate to a factory, a glass substrate storage tray (hereinafter simply referred to as a tray) for storing the glass substrate is usually used. When various processes are applied to the glass substrate to form a display panel, if the conveyor or the transfer arm cannot be used, the glass substrate is accommodated in the storage tray and moved.

近時、ガラス基板は、厚みが0.7mm以下で一辺が2m以上の長方形状のガラス基板が使用されるようになっている。このような大型で薄いガラス基板を載置して輸送し搬送するために使用するトレイ構造の一例が、例えば特許文献1に開示されている。   Recently, a rectangular glass substrate having a thickness of 0.7 mm or less and a side of 2 m or more is used as the glass substrate. An example of a tray structure used for mounting and transporting and transporting such a large and thin glass substrate is disclosed in Patent Document 1, for example.

上記文献中のトレイ10の構造は、概ね図1及び図2に示すようなものであって、図1は上面視の図であり、図2は、図1の枠部12近傍における断面視の図である。トレイ10は発泡ポリエチレン樹脂等によって、薄い直方体状に一体的に形成されており、搬送するガラス基板20を水平状態で載置する長方形状の底面11と、底面11の全周にわたる側縁部に上方に突出するように設けられた枠部12を有している。   The structure of the tray 10 in the above document is generally as shown in FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a top view, and FIG. 2 is a cross-sectional view in the vicinity of the frame portion 12 in FIG. FIG. The tray 10 is integrally formed of a foamed polyethylene resin or the like in a thin rectangular parallelepiped shape, and has a rectangular bottom surface 11 on which the glass substrate 20 to be transported is placed in a horizontal state, and side edges that extend around the entire circumference of the bottom surface 11. It has the frame part 12 provided so that it might protrude upwards.

底部11は、収容されるガラス基板20よりも一回り大きな長方形状であって、例えば、15mm程度の厚みを有しており、底部の上面にガラス基板20が載置されるものである。底部10の各コーナー部近傍には、正方形状の開口部11aがそれぞれ形成されるとともに、底部10の各側縁に沿った各コーナー部間のそれぞれの中間位置にも開口部11aがそれぞれ形成されており、さらには底部11の中央部にも開口部を設けている。したがって、底部には、9個の開口部11aが3行3列のマトリックス状に設けられている。これらの開口部は、底部10に載置されたガラス基板を、トレイから浮かせるためのピストンを挿入するために設けたものである。   The bottom 11 has a rectangular shape that is slightly larger than the glass substrate 20 to be accommodated, and has a thickness of, for example, about 15 mm. The glass substrate 20 is placed on the upper surface of the bottom. In the vicinity of each corner portion of the bottom portion 10, square-shaped openings 11 a are respectively formed, and openings 11 a are also formed at respective intermediate positions between the corner portions along the side edges of the bottom portion 10. In addition, an opening is provided in the center of the bottom 11. Accordingly, nine openings 11a are provided in a matrix of 3 rows and 3 columns at the bottom. These openings are provided to insert a piston for floating the glass substrate placed on the bottom 10 from the tray.

枠部12は、例えば、低部11の側縁部に30mm程度の幅寸法で全周にわたって、底部11の上面から5mm程度にわたって突出した状態で設けられており(底部が凹んだ状態)、底部11に載置されたガラス基板を適切な間隔を保った状態で、全周にわたって取り囲んでいる。   For example, the frame portion 12 is provided on the side edge portion of the lower portion 11 with a width of about 30 mm over the entire circumference and protruding from the upper surface of the bottom portion 11 over about 5 mm (the bottom portion is recessed). The glass substrate placed on 11 is surrounded over the entire circumference with an appropriate interval maintained.

枠部12の上部には、例えば30mm程度の幅寸法で外側に水平状態でフランジ状に突出する系合部13が、全周にわたって設けられている。系合部13は、トレイ10を所定位置に移動する際にチャッキング用の爪部が系合する部位となるものである。系合部13の上面は、枠部12の上面よりも外側上方で、水平となるように設けられており、したがって、系合部13の上面と、枠部12上面とは段差を形成しており、その段差が位置決め部14としての機能を有するものである。   An upper portion of the frame portion 12 is provided with a joint portion 13 that protrudes in a flange shape in a horizontal state with a width of about 30 mm, for example, over the entire circumference. The mating part 13 is a part where the chucking claw part mates when the tray 10 is moved to a predetermined position. The upper surface of the mating part 13 is provided so as to be horizontal outside and above the upper surface of the frame part 12. Therefore, the upper surface of the mating part 13 and the upper surface of the frame part 12 form a step. The step has a function as the positioning portion 14.

このような構造のトレイは、図3に示すように、複数を上下方向に積み重ねることが可能であり、このような積層状態で搬送するのが効率的で好ましい。上側に積み重ねられるトレイは、下側のトレイの系合部上面と枠部12上面との段差である位置決め部14に、底部下側突出部が系合した状態になり、上下に積層したトレイが水平方向に相互にずれることがなく、位置ずれのおそれがない。そこで、通常は60段程度に積層して搬送に供す
る。
As shown in FIG. 3, it is possible to stack a plurality of trays in the vertical direction, and it is efficient and preferable to transport the trays in such a stacked state. The tray stacked on the upper side is in a state in which the bottom lower protruding portion is combined with the positioning portion 14 which is a step between the upper surface of the mating portion of the lower tray and the upper surface of the frame portion 12, and the tray stacked vertically There is no possibility of displacement in the horizontal direction without any displacement. Therefore, it is usually stacked in about 60 stages for transport.

ところで、ガラス基板は撓みやすく、トレイに収納して輸送する際、あるいは工程間を搬送する等の移載時に、把持用冶具や周囲の物体に触れることでガラス基板の端部に割れや欠けが発生することがある。こうした割れ欠けが発生したかどうかについては、60段に多段積みされたトレイ集合体を、最上段から一段一段はずして目視でガラス基板を観察する必要がある。すなわち、検査を遂行するためには、所定のスペースと人手が必要であり、所与の位置で必要なときに検査をするのが難しいという問題がある。   By the way, the glass substrate is easy to bend, and when it is transported by storing it in a tray, or when transferring between processes, the end of the glass substrate is not cracked or chipped by touching the gripping jig or surrounding objects. May occur. Whether or not such cracks have occurred has to be observed visually by removing the tray assembly stacked in multiple stages in 60 stages one by one from the top stage. That is, in order to perform the inspection, there is a problem that a predetermined space and manpower are required, and it is difficult to perform the inspection when necessary at a given position.

特開2004−59116号公報JP 2004-59116 A

そこで本発明は、ガラス基板収納用トレイに収容されているガラス基板に割れや欠けが存在するか否かを、目視以外の方法で検知することが可能なトレイを提供することを目的とした。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a tray capable of detecting whether or not a glass substrate contained in a glass substrate storage tray is cracked or chipped by a method other than visual observation.

上記の課題を達成するための請求項1に記載の発明は、凹部底面にガラス基板を載置する方式のガラス基板収納トレイであって、該トレイの凹部側壁の一方に光を発光する発光部を設け、対応する他方の凹部側壁に光を受光をする受光部を設けたことを特徴とするガラス基板収納トレイとしたものである。   The invention according to claim 1 for achieving the above object is a glass substrate storage tray of a type in which a glass substrate is placed on the bottom surface of a recess, and a light emitting unit that emits light to one of the recess side walls of the tray The glass substrate storage tray is characterized in that a light receiving portion for receiving light is provided on the side wall of the other recess.

また、請求項2に記載の発明は、前記発光部が光ファイバー光源、受光部が光ファイバーセンサーであることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板収納トレイとしたものである。   The invention according to claim 2 is the glass substrate storage tray according to claim 1, wherein the light emitting part is an optical fiber light source and the light receiving part is an optical fiber sensor.

また、請求項3に記載の発明は、前記発光部が有機エレクトロルミネッセンス素子、受光部が光ファイバーセンサーであることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板収納トレイとしたものである。   The invention according to claim 3 is the glass substrate storage tray according to claim 1, wherein the light emitting part is an organic electroluminescence element and the light receiving part is an optical fiber sensor.

また、請求項4に記載の発明は、前記トレイの凹部側壁に溝部を設け、発光部と受光部とを脱着荷能としたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のガラス基板収納トレイとしたものである。   The invention according to claim 4 is characterized in that a groove is provided in the side wall of the concave portion of the tray, and the light emitting part and the light receiving part have a loading / unloading ability. The glass substrate storage tray described in 1. is used.

また、請求項5に記載の発明は、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のトレイを多数積層したことを特徴とするガラス基板収納トレイ集合体としたものである。   The invention according to claim 5 is a glass substrate storage tray assembly in which a number of the trays according to any one of claims 1 to 4 are stacked.

本発明によれば、トレイにガラス基板の一方の端部からガラス基板内部に光を入射して、対向する端部から出射してくる光を光センサーで検出する手段を備えたことにより、ガラス基板に割れ欠け等の欠陥の有無を電気的に検出することができる。
その結果、多段積みされたトレイ集合体を崩すことなくどのトレイのガラス基板に問題があるかを検知できる。
また、検査に要する人手、場所、時間を大幅に節約できるので、カラーフィルタ基板の製造に適用する場合には生産性を向上できる。
さらにまた、トレイを、発光部と受光部とを装着・取り外しができる構造とすることで、全てのトレイに発光部と受光部を設置する必要がなくなりその分の費用を節減できる。
According to the present invention, the tray is provided with means for allowing light to enter the inside of the glass substrate from one end of the glass substrate and detecting the light emitted from the opposite end by the optical sensor. It is possible to electrically detect the presence or absence of defects such as cracks on the substrate.
As a result, it is possible to detect which tray's glass substrate has a problem without destroying the stacked tray assembly.
In addition, since labor, place, and time required for inspection can be greatly saved, productivity can be improved when applied to manufacture of a color filter substrate.
Furthermore, since the tray has a structure in which the light emitting part and the light receiving part can be attached and detached, it is not necessary to install the light emitting part and the light receiving part in all trays, and the cost can be reduced accordingly.

本発明が適用されるディスプレイ用ガラス基板収納用トレイの上面視の図である。It is a figure of the top view of the glass substrate storage tray for a display to which this invention is applied. 図1のA−A線における断面視の図である。It is a figure of the sectional view in the AA line of FIG. トレイを上下方向に積み重ねた状態の要部の断面視図である。It is sectional drawing of the principal part of the state which accumulated the tray up and down. 本発明になる発光部と受光部を備えるトレイの断面視の図である。It is a figure of the cross sectional view of a tray provided with the light emission part and light receiving part which become this invention. ガラス基板内部を進行する光の様子を説明する図。(a)割れ欠けがない場合、(b)割れ欠けがある場合。The figure explaining the mode of the light which advances the inside of a glass substrate. (A) When there are no cracks, (b) When there are cracks.

本発明は、図2で示すガラス基板収納用トレイ10の底部11に載置されるガラス基板20に対し、図4で示すように凹部の側壁15部分でガラス基板20端面に水平方向で一致する箇所に発光部21を側壁15に沿って設置し、対向する側壁15’部分に受光部22を設置するものである。   In the present invention, the glass substrate 20 placed on the bottom 11 of the glass substrate storage tray 10 shown in FIG. 2 is horizontally aligned with the end surface of the glass substrate 20 at the side wall 15 of the recess as shown in FIG. The light emitting part 21 is installed along the side wall 15 at the place, and the light receiving part 22 is installed on the side wall 15 'facing the part.

発光部21と受光部22はトレイ10に固定しても構わないし、トレイの側壁近傍に直線状の受け口を形成しておいてカセット式の発光部等を脱着するタイプでも構わない。図では対向する1組の辺に発光部等を設置したが、ガラス基板を囲む外周側壁4辺の対向する発光部と受光部を設置することができる。   The light emitting unit 21 and the light receiving unit 22 may be fixed to the tray 10 or may be of a type in which a linear receiving port is formed near the side wall of the tray and a cassette type light emitting unit or the like is attached or detached. In the figure, the light emitting unit and the like are installed on a pair of sides facing each other, but the light emitting unit and the light receiving unit facing each other on four sides of the outer peripheral side wall surrounding the glass substrate can be installed.

直線状に並べた発光体あるいは発光部21から出射してガラス基板20の端部に入射した光はガラス基板内部を進んで反対側の端部から出射するが、その出射光を直線状に並べた受光センサーで受けて光の出射パターンを認識し、その光強度パターンからガラス基板の欠け割れの存在を検出するものである。割れ欠けがあると当該部位で光が散乱され受光センサーに到達する光量が変動し、光強度パターンも変化するからである。   The light emitted from the light emitters or light emitting portions 21 arranged in a straight line and incident on the end of the glass substrate 20 travels through the glass substrate and is emitted from the opposite end, but the emitted light is arranged in a straight line. The light receiving pattern is recognized by the light receiving sensor, and the presence of chipping of the glass substrate is detected from the light intensity pattern. This is because if there is a crack, light is scattered at the site and the amount of light reaching the light receiving sensor fluctuates and the light intensity pattern also changes.

先ず、ガラス基板20が薄く、トレイ10も厚くて大きなのは不経済であるので、発光部21は小さいか薄い発光素子をアレイ状に並べた構成とするのが望ましい。点光源では発光ダイオード(LED)、直線状光源であれば有機EL素子が望ましい態様である。   First, since it is uneconomical that the glass substrate 20 is thin and the tray 10 is thick and large, it is desirable that the light emitting portion 21 has a configuration in which small or thin light emitting elements are arranged in an array. In a point light source, a light emitting diode (LED) and in a linear light source, an organic EL element is desirable.

LEDは、一般に径が数mmの円筒状のケースに収容されているので、トレイの内側壁15にケースが収容できる開口を設けて、そこにLEDを挿入して固定するか、あるいは細い光ファイバの出射先端部を直線状に並べてトレイの側壁15に固定するかの、いずれかを採用できる。光ファイバーケーブルの入射側にはLEDを装着する。この態様であれば、ファイバーはLEDのケースより細くすることが可能なので多数のLEDを設置したことになるし、ガラス基板20端部との位置合わせ精度も向上する。より効率的にガラス基板内に光を導入できる。   Since the LED is generally accommodated in a cylindrical case having a diameter of several millimeters, an opening that can accommodate the case is provided in the inner wall 15 of the tray, and the LED is inserted and fixed therein, or a thin optical fiber. Either of the light emitting tips may be arranged in a straight line and fixed to the side wall 15 of the tray. An LED is mounted on the incident side of the optical fiber cable. If it is this aspect, since a fiber can be made thinner than the case of LED, it will have installed many LED, and the alignment precision with the glass substrate 20 edge part will also improve. Light can be introduced into the glass substrate more efficiently.

光源として使用する有機EL素子は、薄く細くできるのでスペース的にLEDより有利である。有機EL素子は対向する電極間に有機系の正孔輸送層と蛍光体を積層して狭持した構造である。基板上に低分子有機材料を用いて真空製膜するか、高分子材料を溶媒に溶かして印刷するかのいずれかの方法で製造する。電極の幅と長さで発光領域を規制でき、基板の断裁位置で外形形状を決められるので、トレイ10内の設置位置に適う素子形状とすることができる。LEDアレイについてはこのような自由度がないが、発光寿命など長期使用に耐えるという利点がある。   The organic EL element used as the light source can be made thinner and thinner, and thus is more advantageous than the LED in terms of space. The organic EL element has a structure in which an organic hole transport layer and a phosphor are stacked and sandwiched between opposing electrodes. It is manufactured by either vacuum film formation using a low molecular weight organic material on a substrate or printing by dissolving a polymer material in a solvent. Since the light emitting region can be regulated by the width and length of the electrodes and the outer shape can be determined by the cutting position of the substrate, the element shape suitable for the installation position in the tray 10 can be obtained. The LED array does not have such a degree of freedom, but has an advantage of withstanding long-term use such as a light emission life.

ガラス基板20の割れ欠け等の欠陥は、基板の周辺部に生じるので、発光部はトレイ底部11側壁のコーナー部分だけに設けることも可能で効率的である。対向する2辺だけだと、基板の辺中央部に割れ欠けがある場合、そこに発光部が設置されていないと、欠陥を
検知できないからである。
Since defects such as cracks and chippings in the glass substrate 20 occur in the peripheral portion of the substrate, the light emitting portion can be provided only at the corner portion of the side wall of the tray bottom 11 and is efficient. If there are only two sides facing each other, if there is a crack at the center of the side of the substrate, the defect cannot be detected unless the light emitting unit is installed there.

LEDから放射された光を導波する光ファイバーには、プラスチックタイプとガラスタイプの2種類がある。前者は、コアが高屈折率のアクリル系の樹脂で形成され、その周囲を低屈折率のクラッド材であるポリエチレンで被覆したものである。後者は、ステンレスのチューブでコアのガラスファーバーを被覆したものである。コアに導入された光はクラッド部分で全反射しながらコア内部を伝播していく。発光体を底部に設置する場合には、光ファイバーの代わりに、通常の電線でよい。   There are two types of optical fibers that guide the light emitted from the LED: plastic type and glass type. In the former, the core is formed of an acrylic resin having a high refractive index, and the periphery thereof is covered with polyethylene which is a cladding material having a low refractive index. The latter is a stainless steel tube coated with a core glass fiber. The light introduced into the core propagates through the core while being totally reflected by the cladding. When the light emitter is installed at the bottom, a normal electric wire may be used instead of the optical fiber.

受光部22については、発光部側に相対するトレイ底部にフォトダイオード(PD)を直線状に並べておけばよい。この場合も、フォトダイオード自体を並べてもよいし、光ファイバーの先端に集光用微小レンズを装着したようなものを直線状に束ねて設置し、光ファイバーの他端をフォトダイオードにつなぐ方式でも構わない。   As for the light receiving unit 22, photodiodes (PD) may be arranged in a straight line on the bottom of the tray facing the light emitting unit. In this case as well, the photodiodes themselves may be arranged, or a system in which a condensing microlens is attached to the tip of the optical fiber is bundled in a straight line and the other end of the optical fiber is connected to the photodiode. .

トレイ底部にLEDやPDを複数並べるのはトレイの数に比例して電子部品が増えるので必ずしも好ましくはない。そこで、LEDを直線状に並べた脱着式カセット(構造の詳細は図示せず。)を作って、トレイ側にカセットを差し込む受け部を形成し、カセットを脱着荷能にすることもできる。受光部についても同様の構成にできる。光ファーバーや配線用電線はフレキシブルなので、そのような加工は、それほど難しいものではない。   Arranging a plurality of LEDs and PDs on the bottom of the tray is not always preferable because the number of electronic components increases in proportion to the number of trays. Therefore, it is also possible to make a detachable cassette in which LEDs are arranged in a straight line (details of the structure are not shown), and to form a receiving portion into which the cassette is inserted on the tray side, thereby making the cassette detachable. The same configuration can be applied to the light receiving unit. Such processing is not so difficult because optical fibers and wiring wires are flexible.

トレイ側のカセット受け部の構造の一例を図4に示した。トレイ側壁15にカセット26が収容可能な溝23を形成する。カセットからガラス基板が載置してある底部11に向けて光が進行するように、側壁15に溝23と底部をつなぐスリット24を設けたものである。PD側も同じようにする。カセット25はトレイ上面から装着してもよいし、ガイドのようなものを形成して、側面から差し込むような形式でも構わない。   An example of the structure of the cassette receiving portion on the tray side is shown in FIG. A groove 23 that can accommodate the cassette 26 is formed in the tray side wall 15. The side wall 15 is provided with a slit 24 that connects the groove 23 and the bottom so that light travels from the cassette toward the bottom 11 on which the glass substrate is placed. Do the same on the PD side. The cassette 25 may be mounted from the upper surface of the tray, or may be a form in which a guide or the like is formed and inserted from the side surface.

このようにして形成した横長の光源から出射した光が、ガラス基板内を進行する様子を模式的に示すのが図5(a),(b)である。(a)は欠けのない正常なガラス基板の場合で、(b)はコーナーに欠けがある場合である。(a)では、光源が周期的に並べたLEDであれば、受光側では配置に応じた光強度パターンが観察され、(b)の場合には欠け部分に原因する崩れた光強度パターンが観察される。   FIGS. 5A and 5B schematically show how the light emitted from the horizontally long light source thus formed travels in the glass substrate. (A) is a case of a normal glass substrate having no chip, and (b) is a case of having a chip at a corner. In (a), if the light source is a periodically arranged LED, a light intensity pattern corresponding to the arrangement is observed on the light receiving side, and in the case of (b), a broken light intensity pattern caused by a chipped portion is observed. Is done.

10・・・ガラス基板収納トレイ
11・・・底部
11a・・開口部
12・・・枠部
13・・・係合部
14・・・位置決め部
15、15’・・・底部側壁
20・・・ガラス基板
21・・・発光体
22・・・受光体
23・・・(カセット収容)溝
24・・・スリット
25・・・カセット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Glass substrate storage tray 11 ... Bottom part 11a ... Opening part 12 ... Frame part 13 ... Engaging part 14 ... Positioning part 15, 15 '... Bottom side wall 20 ... Glass substrate 21... Light emitter 22... Light receiver 23... (Cassette accommodation) Groove 24.

Claims (5)

凹部底面にガラス基板を載置する方式のガラス基板収納トレイであって、該トレイの凹部側壁の一方に光を発光する発光部を設け、対応する他方の凹部側壁に光を受光をする受光部を設けたことを特徴とするガラス基板収納トレイ。   A glass substrate storage tray of a type in which a glass substrate is placed on the bottom surface of a concave portion, wherein a light emitting portion for emitting light is provided on one side wall of the concave portion of the tray, and a light receiving portion for receiving light on the corresponding other side wall of the concave portion A glass substrate storage tray characterized by comprising: 前記発光部が光ファイバー光源、受光部が光ファイバーセンサーであることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板収納トレイ。   The glass substrate storage tray according to claim 1, wherein the light emitting unit is an optical fiber light source and the light receiving unit is an optical fiber sensor. 前記発光部が有機エレクトロルミネッセンス素子、受光部が光ファイバーセンサーであることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板収納トレイ。   The glass substrate storage tray according to claim 1, wherein the light emitting unit is an organic electroluminescence element and the light receiving unit is an optical fiber sensor. 前記トレイの凹部側壁に溝部を設け、発光部と受光部とを脱着荷能としたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のガラス基板収納トレイ。   The glass substrate storage tray according to any one of claims 1 to 3, wherein a groove portion is provided on a side wall of the concave portion of the tray, and the light emitting portion and the light receiving portion have a loading / unloading capability. 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のトレイを多数積層したことを特徴とするガラス基板収納トレイ集合体。   A glass substrate storage tray assembly in which a number of the trays according to any one of claims 1 to 4 are stacked.
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