JP2011521465A - 結像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のビームレットを使用してターゲット(11)を露光するための荷電粒子マルチビームレットシステム。システムは、荷電粒子ビーム(20)を生成するための荷電粒子ソース(1)と、生成ビームからビームレット(23)の群を規定するためのビームレット開口アレイ(4D)と、ビームレット(23)を制御可能に無効化するためのブランカーのアレイを備えているビームレットブランカーアレイ(6)と、ブランカーによって偏向されたビームレット(23)を無効化するためのビームストップアレイ(8)と、開口のアレイを備えているビームストップアレイ(8)を備えており、各ビームストップ開口はブランカーの一つ以上に対応しており、さらにターゲットの表面にビームレットを投影するための投影レンズ系(10)のアレイを備えている。
Description
Claims (21)
- 複数のビームレットを使用してターゲット(11)を露光するための荷電粒子マルチビームレットシステムであり、
荷電粒子ビーム(20)を生成するための荷電粒子ソース(1)と、
生成ビームからビームレット(23)の群を規定するまたはビームレット開口アレイ(4D)と、
前記ビームレットを制御可能に無効化するためのブランカーのアレイを備えているビームレットブランカーアレイ(6)と、
前記ブランカーによって偏向されたビームレットを無効化するためのビームストップアレイ(8)を備えており、前記ビームストップアレイは開口を備え、各ビームストップ開口は前記ブランカーの一つ以上に対応しており、さらに、
前記ターゲットの表面上にビームレットを投影するための投影レンズ系(10)のアレイを備えており、
前記ビームストップアレイにある平面上に、前記投影レンズ系の有効レンズ平面に、または前記ビームストップアレイと前記投影レンズ系の有効レンズ平面の間に前記ソースを結像し、さらに前記ターゲット上に前記ビームレット開口アレイを結像する、システム。 - 前記ソースは、コンデンサーレンズアレイ(5C)によって前記ビームストップアレイと前記投影レンズ系の有効レンズ平面にあるまたは間にある平面上に結像される、請求項1のシステム。
- 前記コンデンサーレンズアレイは前記ビームレット開口アレイの上流に配置されている、請求項2のシステム。
- 前記生成ビームからサブビーム(25)を規定するためのサブビーム開口アレイ(4C)をさらに備えており、前記ビームレット開口アレイは前記サブビームから前記ビームレットの群を規定する、前述の請求項にいずれかのシステム。
- 前記サブビームは、コンデンサーレンズアレイによって前記ビームストップアレイと前記投影レンズ系の有効レンズ平面にあるまたは間にある平面上に合焦される、請求項4のシステム。
- 前記コンデンサーレンズアレイは、前記サブビーム開口アレイと前記ビームレット開口アレイの間に配置されている、請求項5のシステム。
- 前記ビームレット開口アレイと前記ビームレットブランカーアレイは一体化されている、前述の請求項のいずれかのシステム。
- 前記ビームストップアレイの前記開口は前記システム中に制限されている、前述の請求項のいずれかひとつのシステム。
- 複数のビームレットを使用してターゲットを露光するための荷電粒子マルチビームレットシステムであり、
荷電粒子ビームを生成するための荷電粒子ソース、
生成ビームからビームレットの群を規定するための第一の開口アレイと、
第二の開口アレイと、
前記ビームレットを制御可能に無効化するためのブランカーのアレイを備えているビームレットブランカーアレイと、
前記ブランカーによって偏向されたビームレットを無効化するためのビームストップアレイを備えており、前記ビームストップアレイは開口のアレイを備え、各ビームストップ開口は前記複数のブランカーに対応しており、さらに、
前記ターゲットの表面上にビームレットを投影するための投影レンズ系のアレイを備えており、
前記ビームレットブランカーアレイにある平面上に前記ソースを結像し、さらに前記ターゲット上に前記ビームレットブランカーアレイを結像する、システム。 - 前記ソースは、第一のコンデンサーレンズアレイによって前記第二の開口アレイに平面上に結像される、請求項9のシステム。
- 前記ビームストップアレイと前記投影レンズ系の有効レンズ平面にあるまたは間にある平面上に前記ビームレットの群を収束させるための第二のコンデンサーレンズアレイをさらに備えている、請求項9または10のシステム。
- 前記コンデンサーレンズアレイの各レンズは、前記ビームレットの群を前記ビームストップアレイ中の対応開口に収束させる、請求項11のシステム。
- 前記第二のコンデンサーレンズアレイは、前記第一のコンデンサーレンズアレイと前記第二の開口アレイの間に配置されている、請求項11または12のシステム。
- 前記ビームレットの群を、各群の収束の共通点に向けて収束させるためのビームレットマニピュレーターをさらに備えている、請求項9または10のシステム。
- 前記ビームレットの各群の収束の共通点は前記ビームストップアレイ中の対応開口にある、請求項14のシステム。
- 前記ビームレットマニピュレーターはビームレット群偏向器を備えている、請求項14または15のシステム。
- 前記第二の開口アレイと前記ビームレットブランカーアレイは一体化されている、請求項9〜16のいずれかのシステム。
- 前記ビームストップアレイの開口は前記システムに制限されている、請求項9〜17のいずれかのシステム。
- 前記第一の開口アレイは、前記ビームストップアレイ上に、前記投影レンズ系の有効レンズ平面上に、または前記ビームストップアレイと前記投影レンズ系の有効レンズ平面の間の平面上に投影される、請求項9〜18のいずれかのシステム。
- 複数のビームレットを使用してターゲットを露光するための荷電粒子マルチビームレットシステムであり、
荷電粒子ビームを生成するための少なくとも一つの荷電粒子ソースと、
生成ビームからサブビームを作り出すための第一の開口アレイと、
前記サブビームを合焦させるためのコンデンサーレンズアレイと、
各合焦サブビームからビームレットの群を作り出すための第二の開口アレイと、
前記ビームレットの群中のビームレットを制御可能に無効化するためのビームレットブランカーと、
前記ターゲットの表面上にビームレットを投影するためのアレイ投影レンズ系を備えており、
前記コンデンサーレンズアレイは、前記投影レンズ系の一つに対応する点に各サブビームを合焦させることに適している、システム。 - 前記第二の開口アレイは前記ビームレットブランカーアレイと結合されている、請求項20のシステム。
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