JP2011258646A - Substrate for printed wiring board and method for manufacturing substrate for printed wiring board - Google Patents

Substrate for printed wiring board and method for manufacturing substrate for printed wiring board Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate for a printed wiring board, capable of being formed without using a sputtering device, and a method for manufacturing the substrate for a printed wiring board.SOLUTION: The substrate 1 for a printed wiring board includes: an insulating base material; a first conductive layer 21 laminated on the insulating base material 10; and a second conductive layer 24 laminated on the first conductive layer 21. The first conductive layer 21 is formed of conductive particles 22A. Surface treatment for increasing a coupling force between the conductive particles 22A and the insulating base material 10 is performed on the laminated surface 10A of the insulating base material 10 on a side where the first conductive layer 21 is laminated.

Description

本発明は、プリント配線板用基板およびプリント配線板用基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a printed wiring board substrate and a method for manufacturing a printed wiring board substrate.

近年、ますますプリント配線板の高密度化の要求が高くなっている。これにともない、プリント配線板の母材としてのプリント配線板用基板の導電層の厚みを薄くする技術が開発されている。このような技術として特許文献1に記載のものが知られている。同文献1の技術では、スパッタリング法により絶縁性基材に第1導電層を形成する。次いで、電気めっき法により第1導電層の上に第2導電層を形成する。   In recent years, there has been an increasing demand for higher density of printed wiring boards. Accordingly, a technique for reducing the thickness of the conductive layer of the printed wiring board substrate as a base material of the printed wiring board has been developed. A technique described in Patent Document 1 is known as such a technique. In the technique of Patent Document 1, a first conductive layer is formed on an insulating substrate by a sputtering method. Next, a second conductive layer is formed on the first conductive layer by electroplating.

特開平9−136378号公報JP-A-9-136378

しかし、上記プリント配線板用基板の製造方法ではスパッタリング装置を用いるため、同基板を製造開始するにあたって高額の初期設備費用が必要となり、結果的に、プリント配線板用基板が高価なものとなる。   However, since the sputtering method is used in the method for manufacturing a printed wiring board substrate, a large initial equipment cost is required to start manufacturing the substrate, and as a result, the printed wiring board substrate becomes expensive.

本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、スパッタリング装置を用いずに形成することができるプリント配線板用基板、およびそのプリント配線板用基板の製造方法を提供することにある。   This invention is made | formed in view of such a situation, The objective is providing the manufacturing method of the board | substrate for printed wiring boards which can be formed without using a sputtering device, and the board | substrate for printed wiring boards. There is.

以下、上記目的を達成するための手段およびその作用効果について記載する。
(1)請求項1に記載の発明は、絶縁性基材と、この絶縁性基材に積層された第1導電層と、この第1導電層に積層された第2導電層とを含むプリント配線板用基板において、前記第1導電層は導電体粒子により形成され、前記第1導電層が積層されている側の前記絶縁性基材の積層面は、前記導電体粒子と前記絶縁性基材との結合力を高める表面処理が行われていることを要旨としている。
In the following, means for achieving the above object and its effects are described.
(1) The invention described in claim 1 includes an insulating base material, a first conductive layer laminated on the insulating base material, and a second conductive layer laminated on the first conductive layer. In the substrate for a wiring board, the first conductive layer is formed of conductive particles, and the laminated surface of the insulating base on the side where the first conductive layer is laminated includes the conductive particles and the insulating group. The gist is that surface treatment is performed to increase the bonding strength with the material.

この発明によれば、第1導電層は導電体粒子の積層により形成されるものであるため、スパッタリング装置を用いずに第1導電層を形成することができる。絶縁性基材の積層面は表面処理が行われて、絶縁性基材の積層面の導電体粒子に対する結合力が高められているため、第1導電層および第2導電層からなる層を絶縁性基材から剥離するために必要な力すなわち剥離強度を大きくすることができる。   According to this invention, since the first conductive layer is formed by stacking conductive particles, the first conductive layer can be formed without using a sputtering apparatus. The laminated surface of the insulating base material is subjected to surface treatment, and the bonding force of the laminated surface of the insulating base material to the conductive particles is increased, so that the layer composed of the first conductive layer and the second conductive layer is insulated. The force necessary for peeling from the conductive substrate, that is, the peel strength can be increased.

(2)請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のプリント配線板用基板において、前記積層面には、前記導電体粒子と結合する導電体結合官能基が導入されていることを要旨としている。   (2) The invention according to claim 2 is that in the printed wiring board substrate according to claim 1, a conductor-binding functional group that binds to the conductor particles is introduced into the laminated surface. It is a summary.

導電体粒子は絶縁性基材の積層面に接触する。導電体粒子と積層面を構成する分子との結合力が小さいときは導電体粒子が小さい力で同分子から離れるため、第1導電層と絶縁性基材との接着強度が低くなる。この発明では、積層面に導電体結合官能基が導入され、導電体粒子と導電体結合官能基がと結合するため、第1導電層と絶縁性基材との接着力を大きくすることができる。   The conductor particles are in contact with the laminated surface of the insulating substrate. When the bonding force between the conductor particles and the molecules constituting the laminated surface is small, the conductor particles are separated from the molecules with a small force, and thus the adhesive strength between the first conductive layer and the insulating substrate is lowered. In this invention, since the conductor binding functional group is introduced into the laminated surface and the conductor particles and the conductor binding functional group are bonded to each other, the adhesive force between the first conductive layer and the insulating substrate can be increased. .

(3)請求項3に記載の発明は、請求項2に記載のプリント配線板用基板において、前記導電体粒子は金属粒子であり、前記導電体結合官能基は酸素を含むことを要旨としている。   (3) The invention according to claim 3 is the printed wiring board substrate according to claim 2, wherein the conductor particles are metal particles and the conductor-binding functional group contains oxygen. .

酸素原子と金属粒子との結合力は炭素原子と金属粒子との結合力よりも大きい。このため、酸素を含む導電体結合官能基を絶縁性基材の積層面に導入することにより導電体粒子と絶縁性基材との接着力を大きくすることができるため、第1導電層と絶縁性基材との剥離強度を大きくすることができる。   The bond strength between oxygen atoms and metal particles is greater than the bond strength between carbon atoms and metal particles. For this reason, since the adhesive force between the conductor particles and the insulating base material can be increased by introducing the conductor-binding functional group containing oxygen into the laminated surface of the insulating base material, the first conductive layer is insulated from the first conductive layer. The peel strength from the conductive substrate can be increased.

(4)請求項4に記載の発明は、請求項2または3に記載のプリント配線板用基板において、前記導電体結合官能基は、カルボニル基、カルボキシル基および水酸基の群から選択される少なくともいずれか一つであることを要旨としている。   (4) The invention according to claim 4 is the printed wiring board substrate according to claim 2 or 3, wherein the conductor-binding functional group is at least one selected from the group consisting of a carbonyl group, a carboxyl group, and a hydroxyl group. The gist is that it is one.

(5)請求項5に記載の発明は、請求項2〜4のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板において、前記導電体粒子は金属粒子であり、前記積層面における炭素に対する酸素の比率は、モル比で0.25以上であることを要旨としている。   (5) The invention according to claim 5 is the printed wiring board substrate according to any one of claims 2 to 4, wherein the conductor particles are metal particles, and oxygen of carbon relative to carbon in the laminated surface is obtained. The gist is that the ratio is 0.25 or more in molar ratio.

積層面における炭素に対する酸素の比率をモル比で0.25未満にあるとき、第1導電体層と絶縁性基材との剥離強度が実用上必要とされる値よりも小さくなる。この発明によれば、積層面における炭素に対する酸素の比率をモル比で0.25以上とするため、第1導電体層と絶縁性基材との剥離強度を実用上必要とされる値以上とすることができる。   When the ratio of oxygen to carbon on the laminated surface is less than 0.25 in terms of molar ratio, the peel strength between the first conductor layer and the insulating base material becomes smaller than the practically required value. According to this invention, in order to make the ratio of oxygen to carbon in the laminated surface a molar ratio of 0.25 or more, the peel strength between the first conductor layer and the insulating base material is not less than a practically required value. can do.

(6)請求項6に記載の発明は、請求項1〜5のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板において、前記第1導電層は、前記導電体粒子が含有された導電性インクの塗布により形成されるものであることを要旨としている。   (6) The invention according to claim 6 is the printed wiring board substrate according to any one of claims 1 to 5, wherein the first conductive layer is a conductive ink containing the conductive particles. The gist is that it is formed by coating.

(7)請求項7に記載の発明は、請求項1〜6のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板において、前記導電体粒子の粒は、1nm以上500nm以下であることを要旨としている。   (7) The gist of the invention according to claim 7 is that, in the printed wiring board substrate according to any one of claims 1 to 6, the particles of the conductor particles are 1 nm or more and 500 nm or less. Yes.

導電体粒子が1nm未満となると、非常に凝集しやすく取り扱い困難になる。導電体粒子の粒子径が500nmよりも大きいとき、導電体粒子同士の間の隙間が過大となる。この発明では、粒子径が1nm以上500nm以下である導電体粒子により第1導電層が形成されているため、粒子径が1nm未満または500nmより大きいものを用いて同層を形成するときよりも、緻密な層とすることができる。   If the conductor particles are less than 1 nm, they are very likely to aggregate and difficult to handle. When the particle diameter of the conductor particles is larger than 500 nm, the gap between the conductor particles becomes excessive. In this invention, since the first conductive layer is formed of conductor particles having a particle diameter of 1 nm or more and 500 nm or less, than when forming the same layer using a particle diameter of less than 1 nm or more than 500 nm, It can be a dense layer.

(8)請求項8に記載の発明は、絶縁性基材と、この絶縁性基材に積層された第1導電層と、この第1導電層に積層された第2導電層とを含むプリント配線板用基板の製造方法において、前記絶縁性基材の積層面に対してこの積層面と前記第1導電層との結合力を高める表面処理をする表面処理工程と、前記表面処理工程の後に、導電体粒子を含有する導電性インクを前記積層面に塗布することにより第1導電層を形成する第1導電層形成工程と、前記第1導電層形成工程の後に、前記第1導電層の上に第2導電層を形成する第2導電層形成工程とを含むことを要旨としている。   (8) The invention according to claim 8 is a print including an insulating base material, a first conductive layer laminated on the insulating base material, and a second conductive layer laminated on the first conductive layer. In the method for manufacturing a substrate for a wiring board, a surface treatment step of performing a surface treatment for increasing the bonding force between the laminated surface and the first conductive layer on the laminated surface of the insulating base material, and after the surface treatment step A first conductive layer forming step of forming a first conductive layer by applying a conductive ink containing conductive particles to the laminated surface; and after the first conductive layer forming step, It includes a second conductive layer forming step of forming a second conductive layer thereon.

この発明によれば、表面処理工程の後に積層面に導電性インクを塗布することにより第1導電層を形成する。すなわち、スパッタリング装置を用いずに第1導電層を形成することができる。また、絶縁性基材に第1導電層を形成する前に同絶縁性基材の積層面を表面処理するため、絶縁性基材に対する第1導電層の接着力を大きくすることができる。   According to this invention, the first conductive layer is formed by applying the conductive ink to the laminated surface after the surface treatment step. That is, the first conductive layer can be formed without using a sputtering apparatus. Moreover, since the laminated surface of the insulating base material is surface-treated before forming the first conductive layer on the insulating base material, the adhesive force of the first conductive layer to the insulating base material can be increased.

(9)請求項9に記載の発明は、絶縁性基材と、この絶縁性基材に積層された第1導電層と、この第1導電層に積層された第2導電層とを含むプリント配線板用基板の製造方法において、前記絶縁性基材の積層面を表面処理する表面処理工程と、前記表面処理工程の後に導電体粒子を含有する導電性インクを前記積層面に塗布することにより第1導電層を形成する第1導電層形成工程と、前記第1導電層形成工程の後に無電解めっきをすることにより前記第1導電層に無電解めっき層を形成する無電解めっき工程と、前記無電解めっき工程の後に前記第1導電層の上に第2導電層を形成する第2導電層形成工程とを含むことを要旨としている。   (9) The invention according to claim 9 is a print including an insulating base, a first conductive layer laminated on the insulating base, and a second conductive layer laminated on the first conductive layer. In the method for manufacturing a substrate for a wiring board, by applying a surface treatment process for surface-treating the laminated surface of the insulating base material and a conductive ink containing conductive particles to the laminated surface after the surface treatment process. A first conductive layer forming step of forming a first conductive layer; and an electroless plating step of forming an electroless plating layer on the first conductive layer by performing electroless plating after the first conductive layer forming step; And a second conductive layer forming step of forming a second conductive layer on the first conductive layer after the electroless plating step.

この発明によれば、第1導電層形成工程の後に無電解めっきを行って第1導電層に無電解めっき層を形成する。これにより、第1導電層が形成されたときに生じる導電体粒子同士の空隙部を無電解めっきのめっき金属により埋めることができるため、第1導電層を緻密にすることができる。   According to this invention, electroless plating is performed after the first conductive layer forming step to form the electroless plated layer on the first conductive layer. Thereby, since the space | gap part of conductor particles produced when a 1st conductive layer is formed can be filled up with the plating metal of electroless plating, a 1st conductive layer can be made dense.

(10)請求項10に記載の発明は、請求項8または9に記載のプリント配線板用基板の製造方法において、前記表面処理では、前記積層面と前記導電性インクとの接触角を基準値以下にすることを要旨としている。   (10) The invention according to claim 10 is the method for manufacturing a printed wiring board substrate according to claim 8 or 9, wherein in the surface treatment, a contact angle between the laminated surface and the conductive ink is used as a reference value. The summary is as follows.

濡れ性のない絶縁性基材に導電性インクを塗布したとき、導電性インクの層厚に斑が生じる。この発明によれば、積層面と導電性インクとの接触角を基準値以下にするため、厚さの均一な導電性インク層を絶縁性基材に形成することができる。   When the conductive ink is applied to an insulating substrate having no wettability, the layer thickness of the conductive ink becomes uneven. According to this invention, since the contact angle between the laminated surface and the conductive ink is set to a reference value or less, the conductive ink layer having a uniform thickness can be formed on the insulating substrate.

(11)請求項11に記載の発明は、請求項10に記載のプリント配線板用基板の製造方法において、前記基準値は60度未満であることを要旨としている。
絶縁性基材と導電性インクの接触角が60度以上であるとき導電性インクの層厚に斑が生じる。この発明によれば、絶縁性基材と導電性インクの接触角を60度未満にするため、厚さの均一な導電性インク層を絶縁性基材に形成することができる。
(11) The invention according to claim 11 is the gist of the printed wiring board substrate manufacturing method according to claim 10, wherein the reference value is less than 60 degrees.
When the contact angle between the insulating substrate and the conductive ink is 60 degrees or more, spots occur in the layer thickness of the conductive ink. According to this invention, since the contact angle between the insulating substrate and the conductive ink is less than 60 degrees, the conductive ink layer having a uniform thickness can be formed on the insulating substrate.

(12)請求項12に記載の発明は、請求項8〜11のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板の製造方法において、前記表面処理では、前記積層面に、前記導電体粒子と結合する導電体結合官能基を導入することを要旨としている。   (12) The invention according to claim 12 is the method for producing a printed wiring board substrate according to any one of claims 8 to 11, wherein in the surface treatment, the conductor particles are formed on the laminated surface. The gist is to introduce a conductor-binding functional group to be bonded.

プリント配線板用基板には導電体粒子と結合する官能基が含まれるものがある。このようなプリント配線板用基板に導電体粒子の層を形成するとき、導電体粒子と官能基とが結合する。この発明では、プリント配線板用基板に官能基があるか否かに拘わらず、新たに導電体結合官能基を導入する。これにより、積層面にある導電体結合官能基と結合する導電体粒子の割合が増大する。この結果、第1導電層と絶縁性基材との接着力を大きくすることができる。   Some printed wiring board substrates contain functional groups that bind to conductive particles. When a layer of conductive particles is formed on such a printed wiring board substrate, the conductive particles and functional groups are bonded. In the present invention, a conductor-bound functional group is newly introduced regardless of whether the printed wiring board substrate has a functional group. Thereby, the ratio of the conductor particle couple | bonded with the conductor coupling | bonding functional group in a lamination | stacking surface increases. As a result, the adhesive force between the first conductive layer and the insulating substrate can be increased.

(13)請求項13に記載の発明は、請求項8〜12のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板の製造方法において、前記第1導電層形成工程は、前記積層面に導電性インクを塗布する塗布工程と、この塗布工程の後に前記導電性インクの媒体を蒸発させる蒸発工程と、この蒸発工程の後に前記導電性インクに含まれる導電体を熱処理する熱処理工程とを含むことを要旨としている。   (13) The invention according to claim 13 is the method for manufacturing a printed wiring board substrate according to any one of claims 8 to 12, wherein the first conductive layer forming step is electrically conductive on the laminated surface. An application step of applying ink; an evaporation step of evaporating the medium of the conductive ink after the application step; and a heat treatment step of heat-treating a conductor contained in the conductive ink after the evaporation step. It is a summary.

この発明によれば、導電性インクの媒体を蒸発させて、導電性インクに含まれる導電体を熱処理する。このため、導電体粒子を絶縁性基材に固着させることができる。   According to this invention, the conductive ink contained in the conductive ink is heat-treated by evaporating the medium of the conductive ink. For this reason, the conductor particles can be fixed to the insulating substrate.

本発明によれば、スパッタリング装置を用いずに形成することができる導電層を有するプリント配線板用基板、およびそのプリント配線板用基板の製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the board | substrate for printed wiring boards which has a conductive layer which can be formed without using a sputtering device, and the manufacturing method of the board | substrate for printed wiring boards can be provided.

本発明の一実施形態のプリント配線板用基板を断面構造に示す断面図。Sectional drawing which shows the board | substrate for printed wiring boards of one Embodiment of this invention to a cross-sectional structure. 同実施形態の絶縁性基材について、(A)は表面処理をしていない絶縁性基材に導電性インクを塗布したものの断面構造を示す断面図、(B)は表面処理をした絶縁性基材に導電性インクを塗布したものの断面構造を示す断面図。About the insulating base material of the same embodiment, (A) is a cross-sectional view showing the cross-sectional structure of a conductive ink applied to an insulating base material that has not been surface-treated, and (B) is a surface-treated insulating base material. Sectional drawing which shows the cross-section of what applied the conductive ink to the material. 同実施形態のプリント配線板用基板について、同基板の製造方法の手順を示すフローチャート。The flowchart which shows the procedure of the manufacturing method of the board | substrate about the board | substrate for printed wiring boards of the embodiment. 同実施形態のプリント配線板用基板について、その剥離強度の測定方法を模式的に示す模式図。The schematic diagram which shows typically the measuring method of the peeling strength about the board | substrate for printed wiring boards of the embodiment. 実施例のプリント配線板用基板と比較例のプリント配線板用基板との製造条件および特性を比較した表。The table | surface which compared the manufacturing conditions and the characteristic of the board | substrate for printed wiring boards of an Example, and the board | substrate for printed wiring boards of a comparative example.

図1を参照して本発明のプリント配線板用基板の一実施形態について説明する。
<プリント配線板用基板>
プリント配線板用基板1は、絶縁性基材10と、絶縁性基材10の一方の面に形成される第1導電層21と、第1導電層21の上に積層される第2導電層24とを含む。なお、以降では、第1導電層21と第2導電層24とをあわせた層を導電層20とする。
An embodiment of a printed wiring board substrate of the present invention will be described with reference to FIG.
<Printed wiring board substrate>
The printed wiring board substrate 1 includes an insulating base material 10, a first conductive layer 21 formed on one surface of the insulating base material 10, and a second conductive layer stacked on the first conductive layer 21. 24. Hereinafter, the layer including the first conductive layer 21 and the second conductive layer 24 is referred to as a conductive layer 20.

絶縁性基材10は、絶縁性の板材または絶縁性のフィルムにより形成される。例えば、板材としては、紙フェノール板、紙エポキシ板が挙げられる。フィルムとしてはポリイミドフィルムが挙げられる。   The insulating base material 10 is formed of an insulating plate material or an insulating film. For example, examples of the plate material include a paper phenol plate and a paper epoxy plate. A polyimide film is mentioned as a film.

絶縁性基材10のうち第1導電層21と接着する積層面10Aには、導電体結合官能基が形成されている。導電体結合官能基は導電体粒子22Aと化学的に結合する。導電体結合官能基は酸素を含んだ官能基であり、例えば、カルボニル基、カルボキシル基、水酸基が挙げられる。これら酸素を含んだ官能基は導電性インク30と積層面10Aとの接触角を低下させる機能をも有する。絶縁性基材10の積層面10Aにおける炭素に対する酸素の組成比率(以下、「酸素/炭素の組成比率」)は、基準値以上とされている。当該基準値は、導電層20が絶縁性基材10から剥離する剥離強度として許容される最低値に基づいて設定される。本実施形態では基準値はモル比で0.25とされている。   Conductor-binding functional groups are formed on the laminated surface 10 </ b> A that adheres to the first conductive layer 21 in the insulating substrate 10. The conductor-binding functional group is chemically bonded to the conductor particles 22A. The conductor-binding functional group is a functional group containing oxygen, and examples thereof include a carbonyl group, a carboxyl group, and a hydroxyl group. These functional groups containing oxygen also have a function of reducing the contact angle between the conductive ink 30 and the laminated surface 10A. The composition ratio of oxygen to carbon (hereinafter referred to as “oxygen / carbon composition ratio”) on the laminated surface 10A of the insulating substrate 10 is set to a reference value or more. The reference value is set based on the minimum value allowed as the peel strength at which the conductive layer 20 peels from the insulating substrate 10. In this embodiment, the reference value is 0.25 in terms of molar ratio.

第1導電層21は、導電体粒子22Aにより形成されている導電体粒子層22と、無電解めっき法により形成されている無電解めっき層23とを含む。導電体粒子22Aの直径は(以下、「粒子径」)が1〜500nmに範囲内にある。導電体粒子層22の層厚は、0.001〜0.5μmの範囲内とされる。導電体粒子22Aとして、例えばCu、Ag、Au、Pt、Pd、Ru、Sn、Ni、Fe、Co、Ti、Inの金属粒子、もしくはカーボン粒子等が挙げられる。   The first conductive layer 21 includes a conductive particle layer 22 formed of conductive particles 22A and an electroless plating layer 23 formed by an electroless plating method. The diameter of the conductor particles 22A (hereinafter “particle diameter”) is in the range of 1 to 500 nm. The layer thickness of the conductor particle layer 22 is in the range of 0.001 to 0.5 μm. Examples of the conductor particles 22A include Cu, Ag, Au, Pt, Pd, Ru, Sn, Ni, Fe, Co, Ti, In metal particles, or carbon particles.

なお、導電体粒子22Aの粒子径を1〜500nmとしているが、同粒子径は30〜100nmに範囲内とすることが好ましい。この場合、導電体粒子層22の層厚は、導電体粒子22Aの粒子径を1〜500nmに範囲内としたものに比べて、均一になる。   In addition, although the particle diameter of 22 A of conductor particle | grains is 1-500 nm, it is preferable to make the particle diameter into the range of 30-100 nm. In this case, the layer thickness of the conductor particle layer 22 becomes uniform as compared with the conductor particle 22A having a particle diameter in the range of 1 to 500 nm.

無電解めっき層23は、導電体粒子22A同士の間の空隙を埋めて、導電体粒子層22の表面を平滑化する。無電解めっき層23の層厚は、絶縁性基材10の積層面10Aを基準面として1μm以内とされる。無電解めっきの材料として、Cu、Ag、Ni等が挙げられる。導電体粒子22Aが銅粒子の場合は、当該銅粒子との密着性の観点からCuまたはNiが好ましい。   The electroless plating layer 23 fills the gaps between the conductor particles 22 </ b> A and smoothes the surface of the conductor particle layer 22. The thickness of the electroless plating layer 23 is set to be within 1 μm with the laminated surface 10A of the insulating base material 10 as a reference surface. Examples of the electroless plating material include Cu, Ag, and Ni. When the conductor particles 22A are copper particles, Cu or Ni is preferable from the viewpoint of adhesion to the copper particles.

第2導電層24は、Cu、Ag、Au等の電気めっきにより形成される。また第2導電層24の層厚は第1導電層21の層厚よりも大きくされる。例えば、第2導電層24の層厚は、絶縁性基材10の積層面10Aを基準面として12μmとされる。この層厚は、プリント配線板用基板により適宜設定される。   The second conductive layer 24 is formed by electroplating such as Cu, Ag, Au. The layer thickness of the second conductive layer 24 is made larger than the layer thickness of the first conductive layer 21. For example, the layer thickness of the second conductive layer 24 is set to 12 μm with the laminated surface 10A of the insulating base material 10 as a reference surface. This layer thickness is appropriately set depending on the printed wiring board substrate.

<プリント配線板用基板の製造方法>
図2および図3を参照して、本発明のプリント配線板用基板の製造方法について説明する。
<Manufacturing method of printed wiring board substrate>
With reference to FIG. 2 and FIG. 3, the manufacturing method of the board | substrate for printed wiring boards of this invention is demonstrated.

絶縁性基材10として、ロールに巻かれた連続材または所定の寸法の板材が用いられる。連続材が用いられるとき、連続材の一部をロールから引き出した状態で各処理が行われる。板材が用いられるときは、板材を自動搬送して各処理が行われる。   As the insulating substrate 10, a continuous material wound around a roll or a plate material having a predetermined size is used. When a continuous material is used, each process is performed in a state where a part of the continuous material is pulled out from the roll. When a plate material is used, each process is performed by automatically conveying the plate material.

まず、図3に示すように、ステップS100において、絶縁性基材10の表面処理が行われる。表面処理の方法としては、プラズマにより絶縁性基材10に導電体結合官能基を形成するプラズマ処理と、アルカリ性水溶液に絶縁性基材10を浸漬することにより導電体結合官能基を形成するアルカリ処理とが挙げられる。またコロナ放電により対象物の表面を改質するコロナ処理、紫外線により対象物の表面を改質するUV処理なども挙げられる。プラズマ処理としては、アルゴン雰囲気下で対象物の表面を改質するアルゴンプラズマ、酸素雰囲気下で対象物の表面を改質する酸素プラズマが挙げられる。   First, as shown in FIG. 3, in step S100, the surface treatment of the insulating base material 10 is performed. As a surface treatment method, plasma treatment for forming a conductor-bonded functional group on the insulating base material 10 by plasma and alkali treatment for forming the conductor-bound functional group by immersing the insulating base material 10 in an alkaline aqueous solution And so on. Further, corona treatment that modifies the surface of the object by corona discharge, UV treatment that modifies the surface of the object by ultraviolet light, and the like are also included. Examples of the plasma treatment include argon plasma for modifying the surface of the object under an argon atmosphere and oxygen plasma for modifying the surface of the object under an oxygen atmosphere.

表面処理により、絶縁性基材10の表面と水との接触角(以下、「水接触角」)が60°以下、かつ絶縁性基材10の表面の酸素/炭素の組成比率を0.25以上にされる。
図2を参照して、絶縁性基材10について同基材の表面処理前と表面処理後の表面構造の変化を示す。絶縁性基材10をプラズマ処理またはアルカリ処理をすることにより、絶縁性基材10の表面の重合分子が破壊、分解、切断されて一部の炭素が除去され、あるいは、同破壊、分解、切断の過程において、酸素が同表面に導入される。これにより、カルボキシル基またはカルボニル基等の組成の割合が増大する。
By the surface treatment, the contact angle between the surface of the insulating substrate 10 and water (hereinafter referred to as “water contact angle”) is 60 ° or less, and the oxygen / carbon composition ratio of the surface of the insulating substrate 10 is 0.25. That's it.
With reference to FIG. 2, changes in the surface structure of the insulating base material 10 before and after the surface treatment of the base material are shown. By subjecting the insulating base material 10 to plasma treatment or alkali treatment, polymer molecules on the surface of the insulating base material 10 are destroyed, decomposed, and cut to remove some carbon, or the same destruction, decomposition, and cutting. In this process, oxygen is introduced into the surface. This increases the proportion of the composition such as carboxyl group or carbonyl group.

図2(A)は、表面処理していない絶縁性基材10に水溶性の導電性インク30を塗布したときの状態を模式的に示した模式図である。絶縁性基材10が表面処理されていないとき、水溶性の導電性インク30を同基材10の全体に塗布しても表面張力により同インクが凝集するため、同インクが塗布されている部分と塗布されていない部分とが形成される。   FIG. 2A is a schematic diagram schematically showing a state when the water-soluble conductive ink 30 is applied to the insulating base material 10 which is not surface-treated. When the insulating base material 10 is not surface-treated, even if the water-soluble conductive ink 30 is applied to the whole base material 10, the same ink is aggregated due to surface tension, so that the same ink is applied. And uncoated portions are formed.

図2(B)は、表面処理した絶縁性基材10に水溶性の導電性インク30を塗布したときの状態を模式的に示した模式図である。絶縁性基材10が表面処理されているときは、絶縁性基材10の水に対する接触角が小さくされて濡れ性が改善されているため、絶縁性基材10の全体にわたって均一な厚さに導電性インク30が塗布される。   FIG. 2B is a schematic diagram schematically showing a state when the water-soluble conductive ink 30 is applied to the surface-treated insulating base material 10. When the insulating base material 10 is surface-treated, the contact angle of the insulating base material 10 with respect to water is reduced to improve the wettability, so that the insulating base material 10 has a uniform thickness over the entire surface. Conductive ink 30 is applied.

次に、絶縁性基材10に第1導電層21を形成する。
第1導電層21の形成工程(第1導電層形成工程)には、導電性インク30を絶縁性基材10に塗布する塗布工程と、導電性インク30の乾燥工程と、導電体粒子22Aを焼結する熱処理工程と、無電解めっき層23を形成する無電解めっき工程とが含まれる。
Next, the first conductive layer 21 is formed on the insulating substrate 10.
In the first conductive layer 21 forming step (first conductive layer forming step), a coating step of applying the conductive ink 30 to the insulating substrate 10, a drying step of the conductive ink 30, and the conductor particles 22A are provided. A heat treatment step for sintering and an electroless plating step for forming the electroless plating layer 23 are included.

導電性インク30は、導電体粒子22Aとしての金属粒子と、溶媒と、溶媒に金属粒子を分散させる分散剤とを含む。溶媒として例えば水が用いられる。水以外にも、エタノール等の揮発性溶媒または水と揮発性溶媒の混合液を用いることができる。   The conductive ink 30 includes metal particles as the conductor particles 22A, a solvent, and a dispersant that disperses the metal particles in the solvent. For example, water is used as the solvent. Besides water, a volatile solvent such as ethanol or a mixture of water and a volatile solvent can be used.

金属粒子の大きさは、上記に示したように粒子径が1〜500nmとされている。粒子径が1nmよりも小さいときは金属粒子の導電性インク30において均一に分散されない。また粒子径が500nmよりも大きいときは個々の金属粒子の質量が大きいことに起因して導電性インク30を絶縁性基材10に塗布後の同インクの斑が発生しやすい。このため、金属粒子の粒子径の範囲は上記範囲に設定されている。   The size of the metal particles is such that the particle diameter is 1 to 500 nm as described above. When the particle diameter is smaller than 1 nm, the metal particles are not uniformly dispersed in the conductive ink 30. Further, when the particle diameter is larger than 500 nm, due to the large mass of the individual metal particles, spots of the ink after applying the conductive ink 30 to the insulating substrate 10 are likely to occur. For this reason, the range of the particle diameter of the metal particles is set to the above range.

金属粒子は、チタン還元法により形成される。チタン還元法は、Tiイオンの酸化により溶媒中に溶解している金属イオンを析出させる方法である。これにより、粒状の金属粒子を形成される。   The metal particles are formed by a titanium reduction method. The titanium reduction method is a method in which metal ions dissolved in a solvent are precipitated by oxidation of Ti ions. Thereby, granular metal particles are formed.

分散剤は、導電体粒子22Aを溶媒に分散させる。例えば、分子量が2000〜100,000の分散剤が用いられる。分子量が2000未満の分散剤を用いると、溶媒中に導電体粒子22Aを均一に分散させることができないことがある。分子量が100,000より大きい分散剤を用いると、導電性インク30の乾燥後にも導電体粒子22A同士の間に残り、その後の熱処理工程における導電体粒子22A同士の結合が阻害される場合がある。   The dispersant disperses the conductor particles 22A in a solvent. For example, a dispersant having a molecular weight of 2000 to 100,000 is used. When a dispersant having a molecular weight of less than 2000 is used, the conductor particles 22A may not be uniformly dispersed in the solvent. If a dispersant having a molecular weight greater than 100,000 is used, it may remain between the conductive particles 22A even after the conductive ink 30 is dried, and the bonding between the conductive particles 22A in the subsequent heat treatment step may be hindered. .

分散剤としては、例えば、ポリエチレンイミン、ポリビニルピロリドン等のアミン系の高分子分散剤、またポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等の分子中にカルボン酸基を有する炭化水素系の高分子分散剤等が挙げられる。   Examples of the dispersant include amine-based polymer dispersants such as polyethyleneimine and polyvinylpyrrolidone, and hydrocarbon-based polymer dispersants having a carboxylic acid group in the molecule such as polyacrylic acid and carboxymethylcellulose. It is done.

ステップS110における塗布工程では、ローラにより導電性インク30を絶縁性基材10に塗布する。塗布方法は、ローラコート法に限定されない。例えば、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ダイコート法、スリットコート法、ディップコート法等の方法を用いることができる。   In the application step in step S110, the conductive ink 30 is applied to the insulating substrate 10 by a roller. The application method is not limited to the roller coating method. For example, methods such as spin coating, spray coating, bar coating, die coating, slit coating, and dip coating can be used.

ステップS120における乾燥工程では、導電性インク30に含まれる水を蒸発させる。例えば、大気圧、60℃の環境下において所定時間保持する。これにより導電性インク30の水が蒸発して、金属粒子が薄い層となって絶縁性基材10に残留する。   In the drying process in step S120, water contained in the conductive ink 30 is evaporated. For example, it is held for a predetermined time in an environment of atmospheric pressure and 60 ° C. As a result, the water of the conductive ink 30 evaporates, and the metal particles become a thin layer and remain on the insulating substrate 10.

ステップS130における熱処理工程では、金属粒子を焼結するとともに、金属粒子以外の有機物(以下、「残留有機物」)を除去する。残留有機物としては、導電性インク30に含まれる分散剤が挙げられる。熱処理は、金属粒子の酸化を抑制する雰囲気下で行われる。例えば、酸素濃度を1000ppmにおいて熱処理される。また、還元雰囲気下、例えば水素雰囲気下で熱処理することもできる。ただし、水素濃度は、水素の爆発下限濃度未満とされる。   In the heat treatment step in step S130, the metal particles are sintered and organic substances other than the metal particles (hereinafter referred to as “residual organic substances”) are removed. Examples of the residual organic material include a dispersant contained in the conductive ink 30. The heat treatment is performed in an atmosphere that suppresses oxidation of the metal particles. For example, heat treatment is performed at an oxygen concentration of 1000 ppm. Also, heat treatment can be performed in a reducing atmosphere, for example, in a hydrogen atmosphere. However, the hydrogen concentration is less than the hydrogen explosion lower limit concentration.

ところで、絶縁性基材10の耐熱温度よりも高い温度により熱処理を行うと絶縁性基材10が変形する。このため、同絶縁性基材10の耐熱温度を考慮して、熱処理温度が設定される。例えば、絶縁性基材10としてポリイミドフィルムが用いられているときは、500℃以下の温度により熱処理が行われる。また、残留有機物を除去する必要があるため、熱処理温度は、同残留有機物が分解除去される温度の下限温度である150℃よりも高い温度に設定される。以上の理由により、熱処理温度は、150℃〜500℃の温度範囲とされる。   By the way, when the heat treatment is performed at a temperature higher than the heat resistant temperature of the insulating base material 10, the insulating base material 10 is deformed. For this reason, the heat treatment temperature is set in consideration of the heat resistant temperature of the insulating base material 10. For example, when a polyimide film is used as the insulating substrate 10, the heat treatment is performed at a temperature of 500 ° C. or less. Further, since it is necessary to remove the residual organic matter, the heat treatment temperature is set to a temperature higher than 150 ° C., which is the lower limit temperature at which the residual organic matter is decomposed and removed. For the above reasons, the heat treatment temperature is set to a temperature range of 150 ° C to 500 ° C.

このようにステップS110からステップS130までの工程により、導電体粒子層22が形成される。第1導電層21の層厚は0.1μmとされる。
ステップS140における無電解めっきでは、焼結の際に形成される導電体粒子22A間の空隙部をめっき金属により充填する。また、同無電解めっきにより、導電体粒子層22の表面に緻密な無電解めっき層23を形成する。
Thus, the conductor particle layer 22 is formed by the processes from step S110 to step S130. The layer thickness of the first conductive layer 21 is 0.1 μm.
In the electroless plating in step S140, the gaps between the conductor particles 22A formed during sintering are filled with plating metal. Further, a dense electroless plating layer 23 is formed on the surface of the conductor particle layer 22 by the same electroless plating.

次に、ステップS150(第2導電層形成工程)において、電気めっき法により、無電解めっき層23の上に第2導電層24を形成する。平坦な無電解めっき層23の上に第2導電層24が形成されるため、第2導電層24の表面も平坦になる。第2導電層24の層厚はプリント配線板用基板1の用途により設定される。   Next, in step S150 (second conductive layer forming step), the second conductive layer 24 is formed on the electroless plating layer 23 by electroplating. Since the second conductive layer 24 is formed on the flat electroless plating layer 23, the surface of the second conductive layer 24 is also flat. The layer thickness of the second conductive layer 24 is set according to the use of the printed wiring board substrate 1.

次に、プリント配線板用基板1の実施例を説明する。
<実施例1>
(材料)
・絶縁性基材10として、ポリイミドフィルム(製品名カプトン(登録商標)EN−S)を用いる。
・導電性インク30は、溶媒を水とし、粒子径50nmの銅粒子を分散剤により分散し、銅濃度3質量%として調整される。
(製造条件)
・ポリイミドフィルムを窒素ガス雰囲気下で30分間にわたってプラズマ処理を行う。
・プラズマ処理後、ポリイミドフィルムの表面にローラにより導電性インク30を塗布する。なお、導電性インク30の塗布厚は、同インクを熱処理した後において導電体粒子層22の層厚が0.1μmとなるように設定されている。導電性インク30を塗布した後、60℃で10分間、大気圧条件下で乾燥する。
・乾燥工程後のポリイミドフィルムについて、窒素雰囲気下(酸素濃度100ppm以下)において400℃で30分間の加熱処理をする。
・熱処理工程後、導電体粒子層の表面に、厚さ0.1μmとなるように銅の無電解めっきを行う。
・無電解めっき工程後、銅の電気めっきを行い、銅めっき(第2導電層24)の層厚を12μmとする。
(試料計測方法)
・プラズマ処理を行ったポリイミドフィルムに対する水の接触角を、接触角計(協和界面科学のDM−301)により計測する。
・プラズマ処理を行ったポリイミドフィルムの表面の酸素/炭素の組成比率は、X線光電子分光法により計測する。
・ポリイミドフィルムと導電性との間の剥離強度を次の方法により計測する。図4に、剥離強度の測定方法の模式図を示す。上記製造条件により作成した試料を大気圧下、150℃にて放置(以下、「高温処理」)する。その後、同試料を、ポリイミドフィルム側を下側にして基礎台に固定する。次に、ポリイミドフィルムと導電層20との間の一部を剥がして、ポリイミドフィルムから導電層20を引き剥がすための把持部20Aを設ける。そして、把持部20Aを剥離の方向Xに向けて、引っ張り速度50mm/minにて引っ張りつつ、そのときの剥離強度を測定する。なお、剥離の方向とは、試料と平行な平面上において、導電層20がポリイミドフィルムから剥離された部分から剥離されていない部分に向う方向を示す。
(結果)
・表面処理後のポリイミドフィルムに対する水の接触角は55°であった。
・表面処理後のポリイミドフィルム表面の酸素/炭素の組成比率は、0.25であった。
・高温処理後のプリント配線板用基板1の剥離強度は6.8N/cmであった。
Next, an example of the printed wiring board substrate 1 will be described.
<Example 1>
(material)
-As the insulating base material 10, a polyimide film (product name Kapton (registered trademark) EN-S) is used.
The conductive ink 30 is adjusted so that the solvent is water and copper particles having a particle diameter of 50 nm are dispersed with a dispersant to have a copper concentration of 3% by mass.
(Production conditions)
-Plasma treatment is performed for 30 minutes in a nitrogen gas atmosphere on the polyimide film.
After the plasma treatment, the conductive ink 30 is applied to the surface of the polyimide film with a roller. The coating thickness of the conductive ink 30 is set so that the layer thickness of the conductive particle layer 22 becomes 0.1 μm after the ink is heat-treated. After applying the conductive ink 30, it is dried at 60 ° C. for 10 minutes under atmospheric pressure conditions.
-About the polyimide film after a drying process, it heat-processes for 30 minutes at 400 degreeC in nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 100 ppm or less).
-After the heat treatment step, electroless plating of copper is performed on the surface of the conductive particle layer so as to have a thickness of 0.1 μm.
-After electroless-plating process, copper electroplating is performed and the layer thickness of copper plating (2nd conductive layer 24) shall be 12 micrometers.
(Sample measurement method)
-The contact angle of water with respect to the polyimide film which performed plasma treatment is measured with a contact angle meter (DM-301 of Kyowa Interface Science).
The composition ratio of oxygen / carbon on the surface of the polyimide film subjected to the plasma treatment is measured by X-ray photoelectron spectroscopy.
-The peeling strength between a polyimide film and electroconductivity is measured with the following method. In FIG. 4, the schematic diagram of the measuring method of peeling strength is shown. A sample prepared under the above manufacturing conditions is left at 150 ° C. under atmospheric pressure (hereinafter “high temperature treatment”). Thereafter, the sample is fixed to the base with the polyimide film side facing down. Next, a part between the polyimide film and the conductive layer 20 is peeled off, and a grip portion 20A for peeling the conductive layer 20 from the polyimide film is provided. Then, the peeling strength at that time is measured while pulling the grip portion 20A in the peeling direction X at a pulling speed of 50 mm / min. Note that the peeling direction indicates a direction from the portion where the conductive layer 20 is peeled from the polyimide film to the portion where it is not peeled on a plane parallel to the sample.
(result)
-The contact angle of water with respect to the polyimide film after surface treatment was 55 degrees.
The composition ratio of oxygen / carbon on the surface of the polyimide film after the surface treatment was 0.25.
The peel strength of the printed wiring board substrate 1 after the high temperature treatment was 6.8 N / cm.

<実施例2>
(材料)実施例1と同じものを用いた。
(製造条件)
・実施例1のプラズマ処理に代えて、アルゴン処理によりポリイミドフィルムの表面処理を行った。具体的には、ポリイミドフィルムをアルゴンガス雰囲気下で30分間にわたってプラズマ処理を行う。
・表面処理工程以降の工程、すなわち導電性インク30の塗布、同インクの乾燥、同インクの熱処理、無電解めっき、電気めっきは、実施例1と同じ条件で行った。
(試料計測方法)
・実施例1と同様の方法により、ポリイミドフィルムに対する水の接触角、ポリイミドフィルムの表面の酸素/炭素の組成比率、および剥離強度を計測した。
(結果)
・表面処理後のポリイミドフィルムに対する水の接触角は、60°であった。
・表面処理後のポリイミドフィルム表面の酸素/炭素の組成比率は、0.27であった。
・高温処理後のプリント配線板用基板1の剥離強度は6.5N/cmであった。
<Example 2>
(Material) The same material as in Example 1 was used.
(Production conditions)
-It replaced with the plasma treatment of Example 1, and performed the surface treatment of the polyimide film by argon treatment. Specifically, the polyimide film is subjected to plasma treatment for 30 minutes in an argon gas atmosphere.
Steps after the surface treatment step, that is, application of the conductive ink 30, drying of the ink, heat treatment of the ink, electroless plating, and electroplating were performed under the same conditions as in Example 1.
(Sample measurement method)
The contact angle of water with respect to the polyimide film, the oxygen / carbon composition ratio on the surface of the polyimide film, and the peel strength were measured in the same manner as in Example 1.
(result)
-The contact angle of water with respect to the polyimide film after surface treatment was 60 degrees.
The composition ratio of oxygen / carbon on the surface of the polyimide film after the surface treatment was 0.27.
-The peel strength of the printed wiring board substrate 1 after the high temperature treatment was 6.5 N / cm.

<実施例3>
(材料)実施例1と同じものを用いた。
(製造条件)
・実施例1のプラズマ処理に代えて、アルカリ処理によりポリイミドフィルムの表面処理を行った。具体的には、ポリイミドフィルムを水酸化ナトリウム水溶液(濃度5mol/l)に3分間浸漬した。
・表面処理工程以降の工程、すなわち導電性インク30の塗布、同インクの乾燥、同インクの熱処理、無電解めっき、電気めっきは、実施例1と同じ条件で行った。
(試料計測方法)
・実施例1と同様の方法により、ポリイミドフィルムに対する水の接触角、ポリイミドフィルムの表面の酸素/炭素の組成比率、および剥離強度を計測した。
(結果)
・表面処理後のポリイミドフィルムに対する水の接触角は、54°であった。
・表面処理後のポリイミドフィルム表面の酸素/炭素の組成比率は、0.40であった。
・高温処理後のプリント配線板用基板1の剥離強度は7.1N/cmであった。
<Example 3>
(Material) The same material as in Example 1 was used.
(Production conditions)
-It replaced with the plasma treatment of Example 1, and performed the surface treatment of the polyimide film by the alkali treatment. Specifically, the polyimide film was immersed in an aqueous sodium hydroxide solution (concentration 5 mol / l) for 3 minutes.
Steps after the surface treatment step, that is, application of the conductive ink 30, drying of the ink, heat treatment of the ink, electroless plating, and electroplating were performed under the same conditions as in Example 1.
(Sample measurement method)
The contact angle of water with respect to the polyimide film, the oxygen / carbon composition ratio on the surface of the polyimide film, and the peel strength were measured in the same manner as in Example 1.
(result)
-The contact angle of water with respect to the polyimide film after surface treatment was 54 degrees.
The composition ratio of oxygen / carbon on the surface of the polyimide film after the surface treatment was 0.40.
-The peel strength of the printed wiring board substrate 1 after the high-temperature treatment was 7.1 N / cm.

<比較例>
(材料)実施例1と同じものを用いた。
(製造条件)
・ポリイミドフィルムの表面処理は行わなかった。
・実施例1と同様の方法により導電性インク30をポリイミドフィルムに塗布する。
(試料計測方法)
・実施例1と同様の方法により、ポリイミドフィルムに対する水の接触角、ポリイミドフィルムの表面の酸素/炭素の組成比率、および剥離強度を計測した。
(結果)
・ポリイミドフィルムに対する水の接触角は、80°であった。
・表面処理後のポリイミドフィルム表面の酸素/炭素の組成比率は、0.18であった。
・ポリイミドフィルムに、均一な導電性インク30の層を形成することができなかったため、以降処理を行うことができなかった。
<Comparative example>
(Material) The same material as in Example 1 was used.
(Production conditions)
-The surface treatment of the polyimide film was not performed.
The conductive ink 30 is applied to the polyimide film by the same method as in Example 1.
(Sample measurement method)
The contact angle of water with respect to the polyimide film, the oxygen / carbon composition ratio on the surface of the polyimide film, and the peel strength were measured in the same manner as in Example 1.
(result)
-The contact angle of water with respect to the polyimide film was 80 °.
The composition ratio of oxygen / carbon on the surface of the polyimide film after the surface treatment was 0.18.
Since the uniform conductive ink 30 layer could not be formed on the polyimide film, the subsequent treatment could not be performed.

<実施例と比較例との対比>
図5を参照して、実施例および比較例を比較する。
(1)比較例と実施例1〜3を比較する。
<Contrast between Example and Comparative Example>
With reference to FIG. 5, an Example and a comparative example are compared.
(1) A comparative example and Examples 1-3 are compared.

比較例は、ポリイミドフィルムに対して表面処理を行っていないのに対し、実施例1〜3は、ポリイミドフィルムに対してプラズマ処理またはアルカリ処理を行っている。比較例のポリイミドフィルムに対する水の接触角は80°となって、導電性インク30を均一に塗布することができなかった。一方、表面処理を行った実施例1〜3のポリイミドフィルムに対する水の接触角は60°以下であり、導電性インク30を均一に塗布することができた。   In the comparative example, surface treatment is not performed on the polyimide film, while in Examples 1 to 3, plasma treatment or alkali treatment is performed on the polyimide film. The contact angle of water with the polyimide film of the comparative example was 80 °, and the conductive ink 30 could not be applied uniformly. On the other hand, the contact angle of water with respect to the polyimide films of Examples 1 to 3 subjected to surface treatment was 60 ° or less, and the conductive ink 30 could be uniformly applied.

実施例1と実施例2とは、プラズマ処理に用いるガスが異なっている。すなわち、実施例1のプラズマ処理は窒素ガスを用いているのに対し、実施例2のプラズマ処理ではアルゴンガスを用いている。   The gas used for plasma processing differs between Example 1 and Example 2. That is, while the plasma processing of Example 1 uses nitrogen gas, the plasma processing of Example 2 uses argon gas.

実施例1と実施例3とは、ポリイミドフィルムに対する表面処理の手段が異なっている。すなわち、実施例1ではプラズマ処理により表面処理を行っているのに対し、実施例2ではアルカリ水溶液により表面処理を行っている。   Example 1 and Example 3 differ in the means of surface treatment for the polyimide film. That is, in Example 1, the surface treatment is performed by plasma treatment, whereas in Example 2, the surface treatment is performed by an alkaline aqueous solution.

表面処理後のポリイミドフィルム表面の酸素/炭素の組成比率については、実施例1の同比率および実施例2の同比率および実施例3の同比率は比較例の同比率よりも大きく、0.25以上となっている。また、高温処理後のプリント配線板用基板1の剥離強度については、実施例1の同強度および実施例2の同強度および実施例3の同強度は6.0N/cm以上となっている。   As for the oxygen / carbon composition ratio on the surface of the polyimide film after the surface treatment, the same ratio in Example 1, the same ratio in Example 2, and the same ratio in Example 3 are larger than the same ratio in the comparative example as 0.25. That's it. Further, regarding the peel strength of the printed wiring board substrate 1 after the high temperature treatment, the same strength in Example 1, the same strength in Example 2, and the same strength in Example 3 are 6.0 N / cm or more.

(2)まとめ
ポリイミドフィルムと水の接触角を60°以下とすることにより、ポリイミドフィルムに対して導電性インク30を均一に塗布することができる。また、表面処理後のポリイミドフィルム表面の酸素/炭素の組成比率を0.25以上とすることにより、高温処理後のプリント配線板用基板1の剥離強度を6.0N/cm以上とすることができる。
(2) Summary By setting the contact angle of the polyimide film and water to 60 ° or less, the conductive ink 30 can be uniformly applied to the polyimide film. Further, by setting the oxygen / carbon composition ratio of the polyimide film surface after the surface treatment to 0.25 or more, the peel strength of the printed wiring board substrate 1 after the high temperature treatment may be 6.0 N / cm or more. it can.

本実施形態によれば以下の作用効果を奏することができる。
(1)本実施形態では、第1導電層21は導電体粒子22Aにより形成され、絶縁性基材10の積層面10Aは、導電体粒子22Aと絶縁性基材10との結合力を高める表面処理が行われている。
According to this embodiment, the following effects can be obtained.
(1) In the present embodiment, the first conductive layer 21 is formed of the conductor particles 22A, and the laminated surface 10A of the insulating base material 10 is a surface that increases the bonding force between the conductor particles 22A and the insulating base material 10 Processing is in progress.

この構成によれば、第1導電層21は導電体粒子22Aの積層により形成されるものであるため、スパッタリング装置を用いずに第1導電層21を形成することができる。絶縁性基材10の積層面10Aは表面処理が行われることにより、絶縁性基材10の積層面10Aの導電体粒子22Aに対する結合力が高められているため、導電層20を絶縁性基材10から剥離するために必要な力すなわち剥離強度を大きくすることができる。   According to this configuration, since the first conductive layer 21 is formed by stacking the conductor particles 22A, the first conductive layer 21 can be formed without using a sputtering apparatus. Since the lamination surface 10A of the insulating substrate 10 is subjected to surface treatment, the bonding force of the lamination surface 10A of the insulating substrate 10 to the conductor particles 22A is increased. The force required to peel from 10, that is, the peel strength can be increased.

(2)本実施形態では、積層面10Aに、導電体粒子22Aと結合する導電体結合官能基が導入されている。導電体粒子22Aは絶縁性基材10の積層面10Aに接触する。導電体粒子22Aと積層面10Aを構成する分子との結合力が小さいときは導電体粒子22Aが同分子から小さい力で離れるため、第1導電層21と絶縁性基材10との接着強度が低くなる。この構成では、積層面10Aに導電体結合官能基が導入され、導電体粒子22Aと導電体結合官能基がと結合するため、第1導電層21と絶縁性基材10との接着力を大きくすることができる。   (2) In the present embodiment, a conductor-binding functional group that is bonded to the conductor particles 22A is introduced into the laminated surface 10A. The conductor particles 22A are in contact with the laminated surface 10A of the insulating substrate 10. When the bonding force between the conductor particles 22A and the molecules constituting the laminated surface 10A is small, the conductor particles 22A are separated from the molecules with a small force, so that the adhesive strength between the first conductive layer 21 and the insulating substrate 10 is high. Lower. In this configuration, since the conductor binding functional group is introduced into the laminated surface 10A and the conductor particles 22A and the conductor binding functional group are bonded to each other, the adhesive force between the first conductive layer 21 and the insulating substrate 10 is increased. can do.

(3)本実施形態では、導電体粒子22Aが金属粒子として構成される。また、導電体結合官能基は酸素を含む。一般に、酸素原子と金属粒子との結合力は炭素原子と金属粒子との結合力よりも大きい。このため、酸素を含む導電体結合官能基を絶縁性基材10の積層面10Aに導入することにより導電体粒子22Aと絶縁性基材10との接着力を大きくすることができるため、第1導電層21と絶縁性基材10との剥離強度を大きくすることができる。   (3) In the present embodiment, the conductor particles 22A are configured as metal particles. The conductor-binding functional group contains oxygen. In general, the bonding force between oxygen atoms and metal particles is larger than the bonding force between carbon atoms and metal particles. For this reason, since the bonding force between the conductive particles 22A and the insulating base material 10 can be increased by introducing the conductor-binding functional group containing oxygen into the laminated surface 10A of the insulating base material 10, the first The peel strength between the conductive layer 21 and the insulating substrate 10 can be increased.

(4)本実施形態では、導電体粒子22Aが金属粒子として構成され、積層面10Aにおける炭素に対する酸素の比率がモル比で0.25以上とされている。積層面10Aにおける炭素に対する酸素の比率をモル比で0.25未満にあるとき、第1導電体層と絶縁性基材10との剥離強度が実用上必要とされる値よりも小さくなる。この構成によれば、積層面10Aにおける炭素に対する酸素の比率をモル比で0.25以上とするため、第1導電体層と絶縁性基材10との剥離強度を実用上必要とされる値以上とすることができる。   (4) In the present embodiment, the conductor particles 22A are configured as metal particles, and the ratio of oxygen to carbon in the stacked surface 10A is 0.25 or more in terms of a molar ratio. When the ratio of oxygen to carbon in the laminated surface 10A is less than 0.25 in terms of molar ratio, the peel strength between the first conductor layer and the insulating base material 10 is smaller than the practically required value. According to this configuration, since the ratio of oxygen to carbon in the laminated surface 10A is set to 0.25 or more in terms of molar ratio, the peel strength between the first conductor layer and the insulating substrate 10 is a practically required value. This can be done.

(5)本実施形態では、導電体粒子22Aの粒が1nm以上500nm以下とされている。導電体粒子22Aの粒子径が500nmよりも大きいとき、導電体粒子22A同士の間の隙間が過大となる。上記構成では、粒子径が1nm以上500nm以下である導電体粒子22Aにより第1導電層21が形成されるため、粒子径が1nm未満または500nmより大きいのものを用いて同層21を形成するときよりも、緻密な層とすることができる。   (5) In the present embodiment, the size of the conductor particles 22A is 1 nm or more and 500 nm or less. When the particle diameter of the conductor particles 22A is larger than 500 nm, the gap between the conductor particles 22A becomes excessive. In the above configuration, since the first conductive layer 21 is formed by the conductive particles 22A having a particle diameter of 1 nm or more and 500 nm or less, when the same layer 21 is formed using a particle having a particle diameter of less than 1 nm or greater than 500 nm. Rather than a dense layer.

(6)本実施形態では、絶縁性基材10の積層面10Aを表面処理する表面処理工程と、導電性インク30を積層面10Aに塗布することにより第1導電層21を形成する第1導電層形成工程と、無電解めっきをすることにより第1導電層21に無電解めっき層23を形成する無電解めっき工程と、第1導電層21の上に第2導電層24を形成する第2導電層形成工程とを含む。   (6) In the present embodiment, a surface treatment process for surface-treating the laminated surface 10A of the insulating substrate 10, and a first conductive material for forming the first conductive layer 21 by applying the conductive ink 30 to the laminated surface 10A. A layer forming step, an electroless plating step of forming the electroless plating layer 23 on the first conductive layer 21 by electroless plating, and a second of forming the second conductive layer 24 on the first conductive layer 21 A conductive layer forming step.

この構成によれば、第1導電層形成工程後に、無電解めっきを行って第1導電層21に無電解めっき層23を形成する。これにより、第1導電層21が形成されたときに生じる導電体粒子22A同士の空隙部を無電解めっきのめっき金属により埋めることができるため、第1導電層21を緻密にすることができる。   According to this configuration, after the first conductive layer formation step, electroless plating is performed to form the electroless plating layer 23 on the first conductive layer 21. Thereby, since the space | gap part of conductor particle | grains 22A produced when the 1st conductive layer 21 is formed can be filled up with the electroless-plating metal, the 1st conductive layer 21 can be made dense.

(7)本実施形態では、表面処理において積層面10Aと導電性インク30との接触角を基準値以下にする。濡れ性のない絶縁性基材10に導電性インク30を塗布すると、導電性インク30の層厚に斑が生じる。この構成によれば、積層面10Aと導電性インク30との接触角を基準値以下にするため、厚さの均一な導電性インク層を形成することができる。   (7) In this embodiment, the contact angle between the laminated surface 10A and the conductive ink 30 is set to a reference value or less in the surface treatment. When the conductive ink 30 is applied to the insulating substrate 10 having no wettability, the layer thickness of the conductive ink 30 is uneven. According to this configuration, since the contact angle between the laminated surface 10A and the conductive ink 30 is set to a reference value or less, a conductive ink layer having a uniform thickness can be formed.

(8)本実施形態では、表面処理において積層面10Aと導電性インク30との接触角を60度未満の値にする。絶縁性基材10と導電性インク30の接触角が60度以上であるとき導電性インクの層厚に斑が生じる。上記構成によれば、絶縁性基材10と導電性インク30の接触角を60度未満の値にするため、厚さの均一な導電性インク層を絶縁性基材10に形成することができる。   (8) In the present embodiment, the contact angle between the laminated surface 10A and the conductive ink 30 is set to a value less than 60 degrees in the surface treatment. When the contact angle between the insulating substrate 10 and the conductive ink 30 is 60 degrees or more, unevenness occurs in the layer thickness of the conductive ink. According to the above configuration, since the contact angle between the insulating substrate 10 and the conductive ink 30 is set to a value less than 60 degrees, the conductive ink layer having a uniform thickness can be formed on the insulating substrate 10. .

(9)本実施形態では、表面処理において、積層面10Aに、導電体粒子22Aと結合する導電体結合官能基を導入する。プリント配線板用基板1には導電体粒子22Aと結合する官能基が含まれるものがある。このようなプリント配線板用基板1に導電体粒子22Aの層を形成するとき、導電体粒子22Aと官能基とが結合する。この構成では、プリント配線板用基板1に官能基があるか否かに拘わらず、新たに導電体結合官能基を導入する。これにより、積層面10Aにある導電体結合官能基と結合する導電体粒子22Aの割合が増大する。この結果、第1導電層21と絶縁性基材10との接着力を大きくすることができる。   (9) In the present embodiment, in the surface treatment, a conductor-binding functional group that bonds to the conductor particles 22A is introduced into the laminated surface 10A. Some printed wiring board substrates 1 include functional groups that bind to the conductive particles 22A. When the layer of the conductor particles 22A is formed on such a printed wiring board substrate 1, the conductor particles 22A and the functional group are bonded. In this configuration, a conductor-bound functional group is newly introduced regardless of whether or not the printed wiring board substrate 1 has a functional group. This increases the proportion of the conductor particles 22A that are bonded to the conductor-binding functional group on the stacked surface 10A. As a result, the adhesive force between the first conductive layer 21 and the insulating substrate 10 can be increased.

(10)本実施形態では、プリント配線板用基板1の製造方法における第1導電層形成工程には、積層面10Aに導電性インク30を塗布する塗布工程と、この塗布工程の後に導電性インク30の媒体を蒸発させる蒸発工程と、この蒸発工程の後に導電性インク30に含まれる導電体を熱処理する熱処理工程とが含まれる。   (10) In the present embodiment, the first conductive layer forming step in the method for manufacturing the printed wiring board substrate 1 includes the application step of applying the conductive ink 30 to the laminated surface 10A, and the conductive ink after this application step. An evaporation process for evaporating the medium 30 and a heat treatment process for heat-treating the conductor contained in the conductive ink 30 are included after the evaporation process.

この構成によれば、導電性インク30の媒体を蒸発させて、導電性インク30に含まれる導電体を熱処理する。このため、導電体粒子22Aを絶縁性基材10に固着させることができる。   According to this configuration, the medium of the conductive ink 30 is evaporated, and the conductor contained in the conductive ink 30 is heat-treated. For this reason, the conductor particles 22 </ b> A can be fixed to the insulating substrate 10.

(その他の実施形態)
なお、本発明の実施態様は上記各実施例にて示した態様に限られるものではなく、これを例えば以下に示すように変更して実施することもできる。また以下の各変形例は、上記各実施例についてのみ適用されるものではなく、異なる変形例同士を互いに組み合わせて実施することもできる。
(Other embodiments)
In addition, the embodiment of the present invention is not limited to the embodiment shown in each of the above-described embodiments, and the embodiment can be modified as shown below, for example. Further, the following modifications are not applied only to the above-described embodiments, and different modifications can be combined with each other.

・上記各実施例では、絶縁性基材10に対して導電体粒子層22を形成した後、同導電体粒子層22に無電解めっきをして無電解めっき層23を形成しているが、この無電解めっき層23の形成を省略してもよい。   In each of the above embodiments, after the conductive particle layer 22 is formed on the insulating base material 10, the electroless plating layer 23 is formed by performing electroless plating on the conductive particle layer 22, The formation of the electroless plating layer 23 may be omitted.

・上記各実施例では、高温処理後のプリント配線板用基板1の剥離強度が6.0N/cm以上となるように、ポリイミドフィルムの表面処理後の表面の酸素/炭素の組成比率を0.25に設定している。すなわち、酸素/炭素の組成比率は、プリント配線板用基板1の剥離強度の指標とされている。このため、同比率は、要求されるプリント配線板用基板1の性能によって適宜変更される。   In each of the above examples, the composition ratio of oxygen / carbon on the surface of the polyimide film after the surface treatment was set to 0.00 so that the peel strength of the printed wiring board substrate 1 after the high temperature treatment was 6.0 N / cm or more. 25 is set. That is, the oxygen / carbon composition ratio is used as an index of the peel strength of the printed wiring board substrate 1. For this reason, the ratio is appropriately changed depending on the required performance of the printed wiring board substrate 1.

・上記各実施例では、絶縁性基材10としてポリイミドフィルムを用いているが、本発明は同絶縁性基材10以外の基材についても適用することができる。また、他の基材に本発明を適用したものは上記実施例と同様の効果を奏する。   In each of the above embodiments, a polyimide film is used as the insulating substrate 10, but the present invention can also be applied to substrates other than the insulating substrate 10. Moreover, what applied this invention to the other base material has the same effect as the said Example.

・上記各実施例では、表面処理の例として、窒素プラズマ処理、アルゴンプラズマ処理、およびアルカリ処理を挙げているが、コロナ処理またはUV処理によっても、ポリイミドフィルムに導電体結合官能基を導入することができる。これにより、同フィルムの表面の水に対する接触角を処理前の同フィルムの接触角よりも小さくすることができ、また同フィルムに対する剥離強度を大きくすることができる。   In each of the above examples, nitrogen plasma treatment, argon plasma treatment, and alkali treatment are cited as examples of surface treatment. However, a conductor-bound functional group may be introduced into the polyimide film by corona treatment or UV treatment. Can do. Thereby, the contact angle with respect to the water of the surface of the film can be made smaller than the contact angle of the film before processing, and the peel strength with respect to the film can be increased.

・上記各実施例では、絶縁性基材10に導入する導電体結合官能基の例として、酸素を含むカルボニル基、カルボキシル基を挙げているが、同導電体結合官能基の例がこれに限定されず、導電体粒子22Aと結合するものであればよい。   In each of the above embodiments, examples of the conductor binding functional group to be introduced into the insulating base material 10 include a carbonyl group and a carboxyl group containing oxygen, but examples of the conductor binding functional group are limited to this. What is necessary is just to couple | bond with 22 A of conductor particle | grains.

1…プリント配線板用基板、10…絶縁性基材、10A…積層面、20…導電層、21…第1導電層、22…導電体粒子層、23…無電解めっき層、24…第2導電層、22A…導電体粒子、30…導電性インク。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate for printed wiring boards, 10 ... Insulating base material, 10A ... Laminated surface, 20 ... Conductive layer, 21 ... 1st conductive layer, 22 ... Conductor particle layer, 23 ... Electroless plating layer, 24 ... 2nd Conductive layer, 22A ... conductive particles, 30 ... conductive ink.

Claims (13)

絶縁性基材と、この絶縁性基材に積層された第1導電層と、この第1導電層に積層された第2導電層とを含むプリント配線板用基板において、
前記第1導電層は導電体粒子により形成され、
前記第1導電層が積層されている側の前記絶縁性基材の積層面は、前記導電体粒子と前記絶縁性基材との結合力を高める表面処理が行われている
ことを特徴とするプリント配線板用基板。
In a printed wiring board substrate including an insulating base material, a first conductive layer laminated on the insulating base material, and a second conductive layer laminated on the first conductive layer,
The first conductive layer is formed of conductive particles;
The laminated surface of the insulating substrate on the side where the first conductive layer is laminated is subjected to a surface treatment for increasing the bonding force between the conductive particles and the insulating substrate. Printed wiring board substrate.
請求項1に記載のプリント配線板用基板において、
前記積層面には、前記導電体粒子と結合する導電体結合官能基が導入されている
ことを特徴とするプリント配線板用基板。
In the printed wiring board substrate according to claim 1,
The printed wiring board substrate, wherein a conductor-binding functional group that binds to the conductor particles is introduced into the laminated surface.
請求項2に記載のプリント配線板用基板において、
前記導電体粒子は金属粒子であり、
前記導電体結合官能基は酸素を含む
ことを特徴とするプリント配線板用基板。
In the printed wiring board substrate according to claim 2,
The conductor particles are metal particles,
The printed circuit board substrate, wherein the conductor-binding functional group contains oxygen.
請求項2または3に記載のプリント配線板用基板において、
前記導電体結合官能基は、カルボニル基、カルボキシル基および水酸基の群から選択される少なくともいずれか一つである
ことを特徴とするプリント配線板用基板。
In the printed wiring board substrate according to claim 2 or 3,
The printed wiring board substrate, wherein the conductor-binding functional group is at least one selected from the group consisting of a carbonyl group, a carboxyl group, and a hydroxyl group.
請求項2〜4のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板において、
前記導電体粒子は金属粒子であり、
前記積層面における炭素に対する酸素の比率は、モル比で0.25以上である
ことを特徴とするプリント配線板用基板。
In the printed wiring board substrate according to any one of claims 2 to 4,
The conductor particles are metal particles,
The ratio of oxygen to carbon in the laminated surface is 0.25 or more in terms of molar ratio.
請求項1〜5のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板において、
前記第1導電層は、前記導電体粒子が含有された導電性インクの塗布により形成されるものである
ことを特徴とするプリント配線板用基板。
In the printed wiring board substrate according to any one of claims 1 to 5,
The printed circuit board substrate, wherein the first conductive layer is formed by applying a conductive ink containing the conductive particles.
請求項1〜6のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板において、
前記導電体粒子の粒は、1nm以上500nm以下である
ことを特徴とするプリント配線板用基板。
In the printed wiring board substrate according to any one of claims 1 to 6,
The printed wiring board substrate, wherein the conductor particles have a particle size of 1 nm to 500 nm.
絶縁性基材と、この絶縁性基材に積層された第1導電層と、この第1導電層に積層された第2導電層とを含むプリント配線板用基板の製造方法において、
前記絶縁性基材の積層面に対してこの積層面と前記第1導電層との結合力を高める表面処理をする表面処理工程と、
前記表面処理工程の後に、導電体粒子を含有する導電性インクを前記積層面に塗布することにより第1導電層を形成する第1導電層形成工程と、
前記第1導電層形成工程の後に、前記第1導電層の上に第2導電層を形成する第2導電層形成工程とを含む
ことを特徴とするプリント配線板用基板の製造方法。
In a method for manufacturing a printed wiring board substrate, comprising: an insulating base material; a first conductive layer laminated on the insulating base material; and a second conductive layer laminated on the first conductive layer.
A surface treatment step for performing a surface treatment for increasing the bonding force between the laminated surface and the first conductive layer with respect to the laminated surface of the insulating substrate;
A first conductive layer forming step of forming a first conductive layer by applying a conductive ink containing conductive particles to the laminated surface after the surface treatment step;
A method for manufacturing a printed wiring board substrate, comprising: a second conductive layer forming step of forming a second conductive layer on the first conductive layer after the first conductive layer forming step.
絶縁性基材と、この絶縁性基材に積層された第1導電層と、この第1導電層に積層された第2導電層とを含むプリント配線板用基板の製造方法において、
前記絶縁性基材の積層面を表面処理する表面処理工程と、
前記表面処理工程の後に導電体粒子を含有する導電性インクを前記積層面に塗布することにより第1導電層を形成する第1導電層形成工程と、
前記第1導電層形成工程の後に無電解めっきをすることにより前記第1導電層に無電解めっき層を形成する無電解めっき工程と、
前記無電解めっき工程の後に前記第1導電層の上に第2導電層を形成する第2導電層形成工程とを含む
ことを特徴とするプリント配線板用基板の製造方法。
In a method for manufacturing a printed wiring board substrate, comprising: an insulating base material; a first conductive layer laminated on the insulating base material; and a second conductive layer laminated on the first conductive layer.
A surface treatment step for surface-treating the laminated surface of the insulating substrate;
A first conductive layer forming step of forming a first conductive layer by applying a conductive ink containing conductive particles on the laminated surface after the surface treatment step;
An electroless plating step of forming an electroless plating layer on the first conductive layer by performing electroless plating after the first conductive layer forming step;
And a second conductive layer forming step of forming a second conductive layer on the first conductive layer after the electroless plating step. A method for manufacturing a printed wiring board substrate, comprising:
請求項8または9に記載のプリント配線板用基板の製造方法において、
前記表面処理では、前記積層面と前記導電性インクとの接触角を基準値以下にする
ことを特徴とするプリント配線板用基板の製造方法。
In the manufacturing method of the printed wiring board substrate according to claim 8 or 9,
In the surface treatment, a contact angle between the laminated surface and the conductive ink is set to a reference value or less. A method for manufacturing a printed wiring board substrate.
請求項10に記載のプリント配線板用基板の製造方法において、
前記基準値は60度未満である
ことを特徴とするプリント配線板用基板の製造方法。
In the manufacturing method of the printed wiring board substrate according to claim 10,
The said reference value is less than 60 degree | times. The manufacturing method of the board | substrate for printed wiring boards characterized by the above-mentioned.
請求項8〜11のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板の製造方法において、
前記表面処理では、前記積層面に、前記導電体粒子と結合する導電体結合官能基を導入する
ことを特徴とするプリント配線板用基板の製造方法。
In the manufacturing method of the substrate for printed wiring boards as described in any one of Claims 8-11,
In the surface treatment, a conductor-binding functional group that binds to the conductor particles is introduced into the laminated surface. A method for manufacturing a printed wiring board substrate, comprising:
請求項8〜12のいずれか一項に記載のプリント配線板用基板の製造方法において、
前記第1導電層形成工程は、前記積層面に導電性インクを塗布する塗布工程と、この塗布工程の後に前記導電性インクの媒体を蒸発させる蒸発工程と、この蒸発工程の後に前記導電性インクに含まれる導電体を熱処理する熱処理工程とを含む
ことを特徴とするプリント配線板用基板の製造方法。
In the manufacturing method of the printed wiring board board according to any one of claims 8 to 12,
The first conductive layer forming step includes an application step of applying conductive ink to the laminated surface, an evaporation step of evaporating a medium of the conductive ink after the application step, and the conductive ink after the evaporation step. A method for manufacturing a printed wiring board substrate, comprising: a heat treatment step of heat treating a conductor contained in the substrate.
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