JP2011255641A - Laminating device and method for mounting diaphragm in laminating device - Google Patents

Laminating device and method for mounting diaphragm in laminating device Download PDF

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内 利 幸 矢
Suehiro Kumamoto
本 末 広 熊
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminating device which can suppress inflow of atmospheric air inside the chamber at the time of vacuum and which does not need to make a hole in a diaphragm and to provide a method for mounting the diaphragm in the laminating device.SOLUTION: The laminating device has an upper case 2 which has an internal space with an opened lower surface, a lower case 3 which has an internal space with an opened upper surface, a frame 4 which can be detached and attached to a lower surface side of the upper case and which supports a peripheral part of the diaphragm, air ventilation means 11, 12 which are provided at least at one between the upper case and the lower case, a support base 7 and a heating means 8 for supporting and heating a body to be laminated arranged between the upper case and the lower case. Further the laminating device has a clamp 32 for clamping the upper case and the frame on condition that the diaphragm is held between the upper case and the frame at the inside of end faces of the upper case and of the frame.

Description

本発明は、太陽電池モジュール等の被ラミネート体をラミネートするためのラミネート装置、およびそのラミネート装置におけるダイヤフラムの取り付け方法に関する。   The present invention relates to a laminating apparatus for laminating an object to be laminated such as a solar cell module and a method for attaching a diaphragm in the laminating apparatus.

本発明は特に、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することや、ダイヤフラムに穴を開けずにダイヤフラムを固定することのできるラミネート装置、およびそのラミネート装置におけるダイヤフラムの取り付け方法に関する。   In particular, the present invention relates to a laminating apparatus capable of suppressing the inflow of air into the chamber during vacuum, fixing the diaphragm without opening a hole in the diaphragm, and a method for attaching the diaphragm in the laminating apparatus.

なお、ダイヤフラムの新規取り付けも交換もともにダイヤフラムの「取り付け」を伴うため、本明細書ではこれらをまとめてダイヤフラムの取り付けという。   In addition, since both the new attachment and replacement of the diaphragm involve “attachment” of the diaphragm, these are collectively referred to as attachment of the diaphragm in this specification.

従来のラミネート装置の構造は、例えば、特許文献１や特許文献２に記載されている。以下、図５から図８を参照して、これらの特許文献に記載のラミネート装置について説明する。   The structure of the conventional laminating apparatus is described in Patent Document 1 and Patent Document 2, for example. Hereinafter, the laminating apparatus described in these patent documents will be described with reference to FIGS.

図５は、従来のラミネート装置１の構造を概略的に示した側方断面図である。図５において、Ｘ方向およびＹ方向は水平方向を表し、Ｚ方向は鉛直方向を表す。Ｘ，Ｙ，Ｚ方向は、互いに垂直となっている。   FIG. 5 is a side sectional view schematically showing the structure of a conventional laminating apparatus 1. In FIG. 5, the X direction and the Y direction represent the horizontal direction, and the Z direction represents the vertical direction. The X, Y, and Z directions are perpendicular to each other.

図５に示すように、ラミネート装置１は、下面が開放された内部空間を有する上ケース２と、上面が開放された内部空間を有する下ケース３と、上ケース２の下面側または下ケース３の上面側に着脱可能なフレーム４を備える。上ケース２は、図示しない昇降装置により上下動が可能なように構成されている。   As shown in FIG. 5, the laminating apparatus 1 includes an upper case 2 having an internal space whose lower surface is open, a lower case 3 having an internal space whose upper surface is open, and a lower surface side of the upper case 2 or the lower case 3. A detachable frame 4 is provided on the upper surface side. The upper case 2 is configured such that it can be moved up and down by a lifting device (not shown).

図５の場合、フレーム４は、上ケース２に取り付けられるが、下ケース３に取り付けられるようにしてもよい。   In the case of FIG. 5, the frame 4 is attached to the upper case 2, but may be attached to the lower case 3.

図５の場合、フレーム４は、ダイヤフラム５の周縁部を支持し、上ケース２に取り付けられる。ダイヤフラム５は例えば、フッ素ゴム、ブチル、シリコンのような耐熱性のある弾性体のシートからなる。   In the case of FIG. 5, the frame 4 supports the peripheral portion of the diaphragm 5 and is attached to the upper case 2. The diaphragm 5 is made of a heat-resistant elastic sheet such as fluororubber, butyl, or silicon.

上ケース２と下ケース３との間には、被ラミネート体６を支持および加熱するための支持台７および加熱手段８が設けられている。加熱手段８はここでは、支持台７の下部に配置されたヒータ盤である。加熱手段８は例えば、支持台７の内部に設けられていても構わない。   Between the upper case 2 and the lower case 3, a support base 7 and a heating means 8 are provided for supporting and heating the laminated body 6. Here, the heating means 8 is a heater panel disposed below the support base 7. For example, the heating means 8 may be provided inside the support base 7.

支持台７は、支柱９によって下ケース３から支持されている。一方、加熱手段８は、昇降手段１０によって昇降可能に支持されている。   The support base 7 is supported from the lower case 3 by the support column 9. On the other hand, the heating means 8 is supported by the elevating means 10 so as to be elevable.

昇降手段１０は、加熱手段８を被ラミネート体６に近づけあるいは遠ざけ、それによって支持台７を介して被ラミネート体６を好ましい状態で加熱することができる。   The raising / lowering means 10 can heat the to-be-laminated body 6 in a preferable state via the support stand 7 by moving the heating means 8 close to or away from the to-be-laminated body 6.

加熱手段８は、支持台７と一体化され、被ラミネート体６を直接加熱するようにしてもよい。   The heating means 8 may be integrated with the support base 7 and directly heat the laminated body 6.

上ケース２は、排吸気手段１１を有している。一方、下ケース３は、排吸気手段１２を有している。図５では真空ポンプの図示を省略しているが、排吸気手段１１，１２は、排吸気口、排吸気管、真空ポンプを含んでいる。また、排吸気手段は、下ケース３のみまたは上ケース２のみに設けられている場合もある。   The upper case 2 has exhaust air intake means 11. On the other hand, the lower case 3 has exhaust air intake means 12. Although the illustration of the vacuum pump is omitted in FIG. 5, the exhaust air intake means 11 and 12 include an exhaust air intake port, an exhaust air intake pipe, and a vacuum pump. Further, the exhaust air intake means may be provided only in the lower case 3 or only in the upper case 2.

フレーム４の下ケース３との接合面には、シール部材１３が設けられており、上ケース２と下ケース３が合着したときに、上ケース２と下ケース３の内部空間が気密になるようにしている。   A sealing member 13 is provided on the joint surface of the frame 4 with the lower case 3, and when the upper case 2 and the lower case 3 are joined, the internal space of the upper case 2 and the lower case 3 becomes airtight. I am doing so.

図５のラミネート装置１によって、ラミネート加工は以下のように行われる。   The laminating apparatus 1 shown in FIG. 5 performs laminating as follows.

最初に、上ケース２と下ケース３は互いに離開されており、ダイヤフラム５が、弛まないように排吸気手段１１によって上ケース２に引きつけられる。   First, the upper case 2 and the lower case 3 are separated from each other, and the diaphragm 5 is attracted to the upper case 2 by the exhaust air intake means 11 so as not to be loosened.

次に、矢印Ｐで示すように、被ラミネート体６が、上ケース２と下ケース３との間に搬入される。被ラミネート体６は例えば、太陽電池モジュールであり、積層体からなり、層の間には熱によって層を溶着する充填剤が配置されている。   Next, as shown by the arrow P, the laminated body 6 is carried between the upper case 2 and the lower case 3. The to-be-laminated body 6 is a solar cell module, for example, and is formed of a laminate, and a filler that welds the layers by heat is disposed between the layers.

被ラミネート体６が支持台７の上に載置されると、上ケース２が下降し、上ケース２と下ケース３が互いに合着され、上ケース２と下ケース３の内部にダイヤフラム５によって仕切られた上チャンバ１４と下チャンバ１５が形成される。   When the laminated body 6 is placed on the support base 7, the upper case 2 is lowered, the upper case 2 and the lower case 3 are bonded to each other, and the diaphragm 5 is placed inside the upper case 2 and the lower case 3. A partitioned upper chamber 14 and lower chamber 15 are formed.

次に、加熱手段８を支持台７に近づけ、被ラミネート体６を加熱するとともに、排吸気手段１１，１２を操作して、上チャンバ１４内を大気圧に戻し、同時に下チャンバ１５内を真空引きする。   Next, the heating means 8 is brought close to the support base 7 to heat the laminate 6 and the exhaust air intake means 11 and 12 are operated to return the inside of the upper chamber 14 to atmospheric pressure, and at the same time, the inside of the lower chamber 15 is evacuated. Pull.

これにより、ダイヤフラム５の上面に大気圧がかかり、被ラミネート体６の表面が均等に圧縮される。被ラミネート体６は、圧縮されると同時に加熱されることにより、充填剤によって層が一体的に固着し、ラミネートされた積層体になる。   Thereby, atmospheric pressure is applied to the upper surface of the diaphragm 5, and the surface of the to-be-laminated body 6 is compressed uniformly. The laminated body 6 is heated at the same time as being compressed, so that the layers are integrally fixed together by the filler to form a laminated laminate.

１つの被ラミネート体６のラミネート加工が完了すると、上ケース２と下ケース３が離開し、次の被ラミネート体６が搬入されて上記工程を繰り返す。   When the laminating process of one laminated body 6 is completed, the upper case 2 and the lower case 3 are separated from each other, the next laminated body 6 is carried in, and the above steps are repeated.

このようなラミネート装置１において、ダイヤフラム５は、例えば以下のようにして交換される。   In such a laminating apparatus 1, the diaphragm 5 is replaced, for example, as follows.

ダイヤフラム５は、繰り返しの使用により、真空を保つ性能が劣化し、交換する必要が生じる。従来のダイヤフラム５の交換方法を、図６に説明的に示す。   The diaphragm 5 is deteriorated in performance of maintaining a vacuum due to repeated use, and needs to be replaced. A conventional method for replacing the diaphragm 5 is illustrated in FIG.

図６は、従来のラミネート装置１におけるダイヤフラムの取り付け方法（交換方法）を説明するための側方断面図である。図６において、図５と同一の部分については図５と同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   FIG. 6 is a side sectional view for explaining a diaphragm attachment method (exchange method) in the conventional laminating apparatus 1. In FIG. 6, the same parts as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.

図６のダイヤフラム５は、交換される新しいダイヤフラムを示している。この新しいダイヤフラム５は、周縁部に複数の把手１６が取り付けられている。   Diaphragm 5 in FIG. 6 shows a new diaphragm to be replaced. The new diaphragm 5 has a plurality of handles 16 attached to the peripheral edge.

ラミネート装置１のサイズを例示すると、約２ｍ×４ｍである。そのため、ダイヤフラム５は、それ以上のサイズを有している。把手１６は、人間が両手で引けるように約５０ｃｍ間隔でダイヤフラム５の周縁部に多数取り付けられている。図６においては、理解を容易にするため把手１６を大きく示しているが、実際はダイヤフラム５の大きさに比して図示のものよりも小さい。   An example of the size of the laminating apparatus 1 is about 2 m × 4 m. Therefore, the diaphragm 5 has a size larger than that. A large number of handles 16 are attached to the peripheral edge of the diaphragm 5 at intervals of about 50 cm so that a human can pull with both hands. In FIG. 6, the handle 16 is shown large for easy understanding, but actually, the handle 16 is smaller than the illustrated one in comparison with the size of the diaphragm 5.

ダイヤフラム５を交換する際には、図６に示すように、上ケース２を上げ、フレーム４を取り外して古いダイヤフラム５を取り外し、新しいダイヤフラム５を上ケース２とフレーム４との間に搬入する。   When exchanging the diaphragm 5, as shown in FIG. 6, the upper case 2 is raised, the frame 4 is removed, the old diaphragm 5 is removed, and a new diaphragm 5 is carried between the upper case 2 and the frame 4.

次に、加熱手段８によってダイヤフラム５を加熱し、ダイヤフラム５を予め伸張させ、しかる後に、多数の人間がダイヤフラム５を取り囲み、把手１６をもってダイヤフラム５を四方に広がるように引っ張る。ダイヤフラム５は、矢印Ｑに示す方向（Ｘ方向の順方向および逆方向）と、図６の紙面に垂直な方向（Ｙ方向の順方向および逆方向）に引っ張られる。   Next, the diaphragm 5 is heated by the heating means 8 to expand the diaphragm 5 in advance, and then a large number of people surround the diaphragm 5 and pull the diaphragm 5 with the handle 16 so as to spread in all directions. The diaphragm 5 is pulled in the direction indicated by the arrow Q (forward direction and reverse direction in the X direction) and in the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 6 (forward direction and reverse direction in the Y direction).

ダイヤフラム５が所定の寸法広がったところで、人間の手によって把手１６を保持したまま、上ケース２を下降させる。そして、ダイヤフラム５の周縁部を上ケース２とフレーム４との間に挟み、その状態で上ケース２とフレーム４をボルト等の締結具によって固く締結し、ダイヤフラム５を緊張させた状態でフレーム４によってダイヤフラム５の周縁部を把持する。   When the diaphragm 5 spreads by a predetermined dimension, the upper case 2 is lowered while holding the handle 16 by a human hand. Then, the peripheral edge of the diaphragm 5 is sandwiched between the upper case 2 and the frame 4, and the upper case 2 and the frame 4 are firmly fastened with a fastener such as a bolt in this state, and the diaphragm 5 is tensioned. To grip the peripheral edge of the diaphragm 5.

なお、このようなラミネート装置１や、該ラミネート装置１におけるダイヤフラム５の取り付け方法については、例えば、特許文献１に例示されている。   Such a laminating apparatus 1 and a method of attaching the diaphragm 5 in the laminating apparatus 1 are exemplified in Patent Document 1, for example.

ここで、従来のラミネート装置１におけるダイヤフラム５の固定方法の例について説明する。   Here, the example of the fixing method of the diaphragm 5 in the conventional laminating apparatus 1 is demonstrated.

図７は、クランプを用いたダイヤフラム５の固定方法について説明するための側方断面図である。   FIG. 7 is a side cross-sectional view for explaining a method of fixing the diaphragm 5 using a clamp.

図７では、上ケース２に、複数のクランプレバー２３が設けられている。各クランプレバー２３は、上ケース２の外面側壁に取り付けられたブラケット２５に、取付け軸２４を介して支持されている。また、各クランプレバー２３の下部には、環状の止め金２２が遊着されている。止め金２２は、フレーム４の外面側壁に取り付けられた掛け金２１に係止できるようになっている。   In FIG. 7, the upper case 2 is provided with a plurality of clamp levers 23. Each clamp lever 23 is supported by a bracket 25 attached to the outer side wall of the upper case 2 via an attachment shaft 24. An annular clasp 22 is loosely attached to the lower part of each clamp lever 23. The latch 22 can be locked to a latch 21 attached to the outer side wall of the frame 4.

図７では、ダイヤフラム５を上ケース２とフレーム４との間に挟んだ状態で、止め金２２を掛け金２１に引っ掛け、クランプレバー２３をその取付け軸２４を中心に上方に向けて回転させる。これにより、フレーム４が上方に持ち上がり、ダイヤフラム５が上ケース２とフレーム４との間に固定される。   In FIG. 7, with the diaphragm 5 sandwiched between the upper case 2 and the frame 4, the stopper 22 is hooked on the latch 21, and the clamp lever 23 is rotated upward about the mounting shaft 24. As a result, the frame 4 is lifted upward, and the diaphragm 5 is fixed between the upper case 2 and the frame 4.

図８は、ボルトを用いたダイヤフラム５の固定方法について説明するための側方断面図である。   FIG. 8 is a side cross-sectional view for explaining a method of fixing the diaphragm 5 using bolts.

図８には、上ケース２を上下方向に貫通する複数のボルト穴２７と、フレーム４の上面に設けられた複数のボルト穴（ネジ穴）２８が示されている。   FIG. 8 shows a plurality of bolt holes 27 penetrating the upper case 2 in the vertical direction and a plurality of bolt holes (screw holes) 28 provided on the upper surface of the frame 4.

図８では、ダイヤフラム５を上ケース２とフレーム４との間に挟んだ状態で、ボルト穴２７にボルト２６を差し込み、当該ボルト２６をネジ穴２８に締め込む。これにより、ダイヤフラム５が、上ケース２とフレーム４との間にボルト２６で固定される。   In FIG. 8, with the diaphragm 5 sandwiched between the upper case 2 and the frame 4, a bolt 26 is inserted into the bolt hole 27, and the bolt 26 is tightened into the screw hole 28. Thus, the diaphragm 5 is fixed between the upper case 2 and the frame 4 with the bolts 26.

なお、以上のようなダイヤフラム５の固定方法については、例えば、特許文献２に例示されている。   In addition, about the fixing method of the above diaphragms 5, it is illustrated by patent document 2, for example.

特開２０１０−５２３８７号公報JP 2010-52387 A 特許第３８９０２０６号公報Japanese Patent No. 3890206

しかしながら、図７や図８に示す方法には、以下のような問題がある。   However, the methods shown in FIGS. 7 and 8 have the following problems.

図７に示す方法では、クランプレバー２３が上ケース２の外面側壁に取り付けられているため、クランプレバー２３を締める際に、フレーム４の下部の外側（図７のαの部分）に上方向の力がかかり、フレーム４の下部の内側（図７のβの部分）が下がる。その結果、真空時にフレーム４と下ケース３との間からチャンバ内部に大気が流入しやすくなるという問題がある。   In the method shown in FIG. 7, the clamp lever 23 is attached to the outer side wall of the upper case 2. A force is applied, and the inside of the lower part of the frame 4 (the part indicated by β in FIG. 7) is lowered. As a result, there is a problem that the air easily flows into the chamber from between the frame 4 and the lower case 3 during vacuum.

一方、図８に示す方法では、ダイヤフラム５に、ボルト２６を通す穴を開ける必要があり、穴を開ける工程のために、ダイヤフラム５の取り付け時間が長くなるという問題がある。さらには、一度穴を開けると穴の位置によってダイヤフラム５の取り付け位置が制限されるため、ダイヤフラム５の張り直しが困難になるという問題がある。   On the other hand, in the method shown in FIG. 8, it is necessary to make a hole through which the bolt 26 passes in the diaphragm 5, and there is a problem that the attachment time of the diaphragm 5 becomes long due to the step of making the hole. Furthermore, once a hole is made, the attachment position of the diaphragm 5 is limited by the position of the hole, so that there is a problem that it is difficult to re-install the diaphragm 5.

そこで、本発明は、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラムに穴を開ける必要のないラミネート装置、およびラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法を提供することを課題とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a laminating apparatus that can suppress the inflow of air into the chamber during vacuum and does not require a hole in the diaphragm, and a method of attaching the diaphragm of the laminating apparatus. To do.

本発明の一の態様であるラミネート装置は、下面が開放された内部空間を有する上ケースと、上面が開放された内部空間を有する下ケースと、前記上ケースの下面側に着脱可能で、ダイヤフラムの周縁部を支持するフレームと、前記上ケースと前記下ケースの少なくとも一方に設けられた排吸気手段と、前記上ケースと前記下ケースとの間に配置された被ラミネート体を支持および加熱するための支持台および加熱手段とを備える。そして、前記ラミネート装置はさらに、前記上ケースと前記フレームとの間に前記ダイヤフラムを挟み込んだ状態で、前記上ケースおよび前記フレームの端面よりも内側で、前記上ケースと前記フレームを締め付けるための締付け具を備える。   A laminating apparatus according to one aspect of the present invention includes an upper case having an internal space with an open bottom surface, a lower case having an internal space with an open top surface, and a detachable diaphragm on the lower surface side of the upper case. Supporting and heating a frame that supports the peripheral edge of the frame, exhaust air intake means provided in at least one of the upper case and the lower case, and a laminate to be disposed between the upper case and the lower case Support base and heating means. The laminating apparatus is further tightened to clamp the upper case and the frame inside the upper case and the end surface of the frame with the diaphragm sandwiched between the upper case and the frame. With tools.

また、本発明の別の態様であるラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法は、下面が開放された内部空間を有する上ケースと、上面が開放された内部空間を有する下ケースと、前記上ケースの下面側に着脱可能で、ダイヤフラムの周縁部を支持するフレームと、前記上ケースと前記下ケースの少なくとも一方に設けられた排吸気手段と、前記上ケースと前記下ケースとの間に配置された被ラミネート体を支持および加熱するための支持台および加熱手段とを備えるラミネート装置に使用される。そして、前記取り付け方法では、前記上ケースと前記フレームとの間に前記ダイヤフラムを挟み込んだ状態で、前記上ケースおよび前記フレームの端面よりも内側で、前記上ケースと前記フレームを締付け具により締め付ける。   Further, the diaphragm mounting method of the laminating apparatus according to another aspect of the present invention includes an upper case having an inner space whose lower surface is opened, a lower case having an inner space whose upper surface is opened, and a lower surface side of the upper case. A frame that is detachably attachable to and supports a peripheral portion of the diaphragm, exhaust air intake means provided in at least one of the upper case and the lower case, and a laminate to be disposed between the upper case and the lower case It is used in a laminating apparatus comprising a support base and heating means for supporting and heating the body. In the attachment method, the upper case and the frame are tightened with a fastening tool inside the upper case and the end face of the frame with the diaphragm sandwiched between the upper case and the frame.

本発明によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラムに穴を開ける必要のないラミネート装置、およびラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法を提供することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to provide a laminating apparatus that can suppress the inflow of air into the chamber during vacuum and that does not require a hole in the diaphragm, and a method of attaching the diaphragm of the laminating apparatus. Become.

本発明の第１実施形態のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。It is a side sectional view showing roughly the structure of the laminating device of a 1st embodiment of the present invention. 図１のラミネート装置の構造をより詳細に示した側方断面図である。FIG. 2 is a side sectional view showing the structure of the laminating apparatus in FIG. 1 in more detail. 図２Ａのラミネート装置の構造を示した側方断面図である。It is a side sectional view showing the structure of the laminating device of FIG. 2A. 図２Ａのラミネート装置の構造を示した平面図である。It is the top view which showed the structure of the lamination apparatus of FIG. 2A. 図２Ａに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。It is a sectional side view showing the structure of the C-type fastener shown in FIG. 2A. 図２Ａに示すＣ型締付け具の動作を説明するための側方断面図である。It is a sectional side view for demonstrating operation | movement of the C type clamping tool shown to FIG. 2A. Ｃ型締付け具が使用されたラミネート装置を示した平面図である。It is the top view which showed the laminating apparatus where the C type fastener was used. Ｃ型締付け具が使用されたラミネート装置を示した側方断面図である。It is side sectional drawing which showed the lamination apparatus in which the C type fastener was used. 本発明の第２実施形態のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。It is side sectional drawing which showed roughly the structure of the laminating apparatus of 2nd Embodiment of this invention. 図３Ａのラミネート装置の構造を示した側方断面図である。3B is a side sectional view showing the structure of the laminating apparatus in FIG. 3A. FIG. 図３Ａのラミネート装置の構造を示した平面図である。It is the top view which showed the structure of the lamination apparatus of FIG. 3A. 図３Ａに示すＣ型締付け具の動作を説明するための側方断面図である。It is a sectional side view for demonstrating operation | movement of the C type clamping tool shown to FIG. 3A. 本発明の第３実施形態のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。It is the sectional side view which showed roughly the structure of the laminating apparatus of 3rd Embodiment of this invention. 図４Ａに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。4B is a side sectional view showing the structure of the C-type fastener shown in FIG. 4A. FIG. 図４Ａに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。4B is a side sectional view showing the structure of the C-type fastener shown in FIG. 4A. FIG. 図４Ａに示すＣ型締付け具の構造を示した平面図である。FIG. 4B is a plan view showing the structure of the C-type fastener shown in FIG. 4A. 本発明の第３実施形態の変形例のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。It is the sectional side view which showed roughly the structure of the lamination apparatus of the modification of 3rd Embodiment of this invention. 図４Ｅに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。FIG. 5 is a side sectional view showing the structure of the C-type fastener shown in FIG. 4E. 図４Ｅに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。FIG. 5 is a side sectional view showing the structure of the C-type fastener shown in FIG. 4E. 図４Ｅに示すＣ型締付け具の構造を示した平面図である。It is the top view which showed the structure of the C type clamp shown in FIG. 4E. 従来のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。It is a sectional side view schematically showing the structure of a conventional laminating apparatus. 従来のラミネート装置におけるダイヤフラムの取り付け方法を説明するための側方断面図である。It is a sectional side view for demonstrating the attachment method of the diaphragm in the conventional laminating apparatus. クランプを用いたダイヤフラムの固定方法について説明するための側方断面図である。It is a sectional side view for demonstrating the fixing method of the diaphragm using a clamp. ボルトを用いたダイヤフラムの固定方法について説明するための側方断面図である。It is side sectional drawing for demonstrating the fixing method of the diaphragm using a volt | bolt.

本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態のラミネート装置３１の構造を概略的に示した側方断面図である。図１のラミネート装置３１の全般的な構造は、図５のラミネート装置１の構造と同様である。図１において、図５と同一の部分については図５と同一の符号を付し、重複する説明は省略し、図５との相違点を中心に説明する。 (First embodiment)
FIG. 1 is a side sectional view schematically showing the structure of a laminating apparatus 31 according to the first embodiment of the present invention. The general structure of the laminating apparatus 31 in FIG. 1 is the same as that of the laminating apparatus 1 in FIG. In FIG. 1, the same parts as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 5, overlapping explanations are omitted, and differences from FIG. 5 will be mainly described.

図１に示すように、ラミネート装置３１は、下面が開放された内部空間を有する上ケース２と、上面が開放された内部空間を有する下ケース３と、上ケース２の下面側または下ケース３の上面側に着脱可能なフレーム４を備える。図１の場合、フレーム４は、上ケースの下面側に取り付けられ、ダイヤフラム５の周縁部を支持している。   As shown in FIG. 1, a laminating apparatus 31 includes an upper case 2 having an internal space with an open lower surface, a lower case 3 having an internal space with an open upper surface, and the lower surface side of the upper case 2 or the lower case 3. A detachable frame 4 is provided on the upper surface side. In the case of FIG. 1, the frame 4 is attached to the lower surface side of the upper case and supports the peripheral edge of the diaphragm 5.

上ケース２と下ケース３との間には、被ラミネート体６を支持および加熱するための支持台７および加熱手段８が設けられている。本実施形態では、加熱手段８が、支持台７と一体化されている。支持台７および加熱手段８は、支柱９によって下ケース３から支持されている。   Between the upper case 2 and the lower case 3, a support base 7 and a heating means 8 are provided for supporting and heating the laminated body 6. In the present embodiment, the heating means 8 is integrated with the support base 7. The support base 7 and the heating means 8 are supported from the lower case 3 by the support column 9.

上ケース２は、排吸気手段１１を有しており、下ケース３は、排吸気手段１２を有している。本実施形態の上ケース２には、排吸気手段１１が１つだけ設けられているが、上ケース２には、排吸気手段１１を複数設けても構わない。同様に、本実施形態の下ケース３には、排吸気手段１２が１つだけ設けられているが、下ケース３には、排吸気手段１３を複数設けても構わない。また、排吸気手段は、下ケース３のみまたは上ケース２のみに設けられている場合もある。   The upper case 2 has exhaust air intake means 11, and the lower case 3 has exhaust air intake means 12. Although only one exhaust / intake unit 11 is provided in the upper case 2 of the present embodiment, a plurality of exhaust / intake units 11 may be provided in the upper case 2. Similarly, the lower case 3 of this embodiment is provided with only one exhaust / intake means 12, but the lower case 3 may be provided with a plurality of exhaust / intake means 13. Further, the exhaust air intake means may be provided only in the lower case 3 or only in the upper case 2.

被ラミネート体６をラミネート加工する際には、支持台７の上に被ラミネート体６を搬入した後、上ケース２を下降させて上ケース２と下ケース３を合着させる。これにより、上ケース２と下ケース３の内部に、ダイヤフラム５によって仕切られた上チャンバ１４と下チャンバ１５が形成される。次に、上下チャンバ１４，１５内を真空引きをした後、上チャンバ１４のみに大気を導入する。これにより、ダイヤフラム５が下方に膨張して、被ラミネート体６が支持台７とダイヤフラム５により挟圧される。その結果、被ラミネート体６の内部のＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂の化学反応が促進されて、ラミネート加工がなされる。   When laminating the body to be laminated 6, after the body 6 to be laminated is carried onto the support base 7, the upper case 2 is lowered and the upper case 2 and the lower case 3 are bonded together. As a result, the upper chamber 14 and the lower chamber 15 partitioned by the diaphragm 5 are formed inside the upper case 2 and the lower case 3. Next, after evacuating the upper and lower chambers 14 and 15, the atmosphere is introduced only into the upper chamber 14. Thereby, the diaphragm 5 expands downward, and the laminated body 6 is pinched by the support base 7 and the diaphragm 5. As a result, the chemical reaction of EVA (ethylene vinyl acetate) resin inside the laminated body 6 is promoted, and laminating is performed.

本実施形態では、図１に示すように、ラミネート装置３１に、Ｃ型締付け具３２が取り付けられている。そして、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を挟み込んだ状態で、上ケース２とフレーム４がＣ型締付け具３２により締め付けられている。以下、このＣ型締付け具３２について詳細に説明する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 1, a C-type fastening tool 32 is attached to the laminating apparatus 31. The upper case 2 and the frame 4 are fastened by a C-type fastening tool 32 with the diaphragm 5 being sandwiched between the upper case 2 and the frame 4. Hereinafter, the C-type fastener 32 will be described in detail.

図２Ａは、図１のラミネート装置３１の構造をより詳細に示した側方断面図である。   2A is a side sectional view showing the structure of the laminating apparatus 31 of FIG. 1 in more detail.

図２Ａには、上記のＣ型締付け具３２が示されている。Ｃ型締付け具３２は、上ケース２を上方から押圧可能な第１の分割体３２ｂと、フレーム４を下方から押圧可能な第２の分割体３２ｃとを有する。図２Ａにはさらに、第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃを回動させるための支点ピン３２ａが示されている。   FIG. 2A shows the C-type fastener 32 described above. The C-type fastener 32 includes a first divided body 32b that can press the upper case 2 from above, and a second divided body 32c that can press the frame 4 from below. FIG. 2A further shows a fulcrum pin 32a for rotating the first divided body 32b and the second divided body 32c.

本実施形態では、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を挟み込んだ状態で、上ケース２とフレーム４を第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃにより上下から挟み込み、上ケース２とフレーム４をＣ型締付け具３２によって締め付ける。これにより、上ケース２とフレーム４との間のダイヤフラム５が固定される。図２Ａには、Ｃ型締付け具３２によってダイヤフラム５が固定された様子が示されている。   In the present embodiment, with the diaphragm 5 sandwiched between the upper case 2 and the frame 4, the upper case 2 and the frame 4 are sandwiched from above and below by the first divided body 32b and the second divided body 32c. 2 and the frame 4 are fastened by a C-type fastening tool 32. Thereby, the diaphragm 5 between the upper case 2 and the frame 4 is fixed. FIG. 2A shows a state in which the diaphragm 5 is fixed by the C-type fastener 32.

図２Ａには、第１の分割体３２ｂを上下方向に貫通する第１のボルト穴３２ｅと、第２の分割体３２ｃを上下方向に貫通する第２のボルト穴３２ｆが示されている。本実施形態では、具体的には、これらのボルト穴３２ｅ，３２ｆに共通のボルト３２ｄを差し込み、上ケース２とフレーム４をこのボルト３２ｄで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。本実施形態では、ダイヤフラム５の取り付け時にはボルト３２ｄを締め込み、ダイヤフラム５の取り外し時にはボルト３２ｄをゆるめる。   FIG. 2A shows a first bolt hole 32e that penetrates the first divided body 32b in the vertical direction and a second bolt hole 32f that penetrates the second divided body 32c in the vertical direction. Specifically, in the present embodiment, the diaphragm 5 is fixed by inserting a common bolt 32d into the bolt holes 32e and 32f and fastening the upper case 2 and the frame 4 with the bolt 32d. In the present embodiment, the bolt 32d is tightened when the diaphragm 5 is attached, and the bolt 32d is loosened when the diaphragm 5 is removed.

図２Ａに示すように、第１の分割体３２ｂの一端部側には、支点ピン３２ａが嵌挿される第１のピン穴３２ｇが設けられ、第１の分割体３２ｂの他端部側には、上ケース２を上方から押圧するための第１の押圧面Ｓ1が設けられている。同様に、第２の分割体３２ｃの一端部側には、支点ピン３２ａが嵌挿される第２のピン穴３２ｈが設けられ、第２の分割体３２ｃの他端部側には、フレーム４を下方から押圧するための第２の押圧面Ｓ2が設けられている。 As shown in FIG. 2A, a first pin hole 32g into which a fulcrum pin 32a is inserted is provided on one end side of the first divided body 32b, and on the other end side of the first divided body 32b. A first pressing surface S 1 for pressing the upper case 2 from above is provided. Similarly, a second pin hole 32h into which the fulcrum pin 32a is fitted is provided on one end side of the second divided body 32c, and the frame 4 is provided on the other end side of the second divided body 32c. the second pressing surface S 2 for pressing is provided from below.

本実施形態では、第１および第２のピン穴３２ｇ，３２ｈに、共通の支点ピン３２ａが嵌挿されており、上ケース２とフレーム４は、第１の押圧面Ｓ1と第２の押圧面Ｓ2との間でＣ型締付け具３２により締め付けられている。後述の図２Ｂには、Ｘ方向から見た第１および第２の押圧面Ｓ1，Ｓ2が示され、後述の図２Ｃには、Ｚ方向から見た第１および第２のピン穴３２ｇ，３２ｈが示されている。 In this embodiment, first and second pin holes 32g, to 32h, a common fulcrum pin 32a have been inserted, the upper case 2 and the frame 4, the first pressing surface S 1 and the second pressing It is clamped by the C-type clamp 32 between the surface S 2 . FIG. 2B described later shows first and second pressing surfaces S 1 and S 2 viewed from the X direction, and FIG. 2C described later shows first and second pin holes 32g viewed from the Z direction. , 32h are shown.

図２Ａでは、上ケース２およびフレーム４の締付け位置がＰ1で示され、上ケース２およびフレーム４のダイヤフラム５近傍における外面側壁（端面）の位置がＰ2で示されている。 2A, the clamping position of the upper case 2 and the frame 4 is indicated by P 1, the position of the outer surface sidewall of the diaphragm 5 the vicinity of the upper case 2 and the frame 4 (the end face) are indicated by P 2.

本実施形態では、矢印Ａで示すように、締付け位置Ｐ1が端面位置Ｐ2よりも内側（ダイヤフラム５の中心側）に入った構造が採用されており、Ｃ型締付け具３２が、上ケース２とフレーム４を、端面位置Ｐ2よりも内側で締め付けている。具体的には、第１の分割体３２ｂが、端面位置Ｐ2よりも内側で上ケース２を上方から押圧し、第２の分割体３２ｃが、端面位置Ｐ2よりも内側でフレーム４を下方から押圧している。 In the present embodiment, as indicated by an arrow A, a structure is employed in which the tightening position P 1 is located inside the end surface position P 2 (the center side of the diaphragm 5), and the C-type tightening tool 32 is provided in the upper case. 2 and the frame 4 are clamped at the inner side than the end surface position P 2. Specifically, the first divided member 32b presses against the upper case 2 from above the end face position P 2 on the inside, the second divided body 32c is, the frame 4 inside the end face position P 2 lower It is pressed from.

なお、締付け具３２は、本実施形態ではおおむねＣ型の断面形状を有しているが、上ケース２を上方から押圧可能な部材と、フレーム４を下方から押圧可能な部材とを有していれば、Ｃ型以外の断面形状を有していても構わない。また、これらの部材はそれぞれ、単一の材料で形成されていても、複数の材料で形成されていても構わない。   The fastening tool 32 has a generally C-shaped cross-sectional shape in the present embodiment, but has a member that can press the upper case 2 from above and a member that can press the frame 4 from below. If it is, it may have a cross-sectional shape other than the C shape. Each of these members may be formed of a single material or a plurality of materials.

図２Ａにはさらに、フレーム４の上面に設けられた凹部内に配置された丸パッキン３３と、フレーム４の下面に設けられた凹部内に配置された丸パッキン３４が示されている。丸パッキン３３は、ダイヤフラム５の下面に接する位置に配置されており、丸パッキン３４は、下ケース３の上面に接する位置に配置されている。これらの丸パッキン３３，３４は、ラミネート加工時に上ケース２と下ケース３を密着させる際に、チャンバ１４，１５の真空漏れを防ぐために配置されている。   FIG. 2A further shows a round packing 33 disposed in a recess provided on the upper surface of the frame 4 and a round packing 34 disposed in a recess provided on the lower surface of the frame 4. The round packing 33 is disposed at a position in contact with the lower surface of the diaphragm 5, and the round packing 34 is disposed at a position in contact with the upper surface of the lower case 3. These round packings 33 and 34 are arranged to prevent vacuum leakage of the chambers 14 and 15 when the upper case 2 and the lower case 3 are brought into close contact with each other during lamination.

図２Ｂおよび図２Ｃはそれぞれ、図２Ａのラミネート装置３１の構造を示した側方断面図および平面図である。図２Ｂには、Ｃ型締付け具３２をＸ方向から見た様子が示されており、図２Ｃには、Ｃ型締付け具３２をＺ方向から見た様子が示されている。Ｃ型締付け具３２の構造および動作の詳細は、図２Ｄおよび図２Ｅに示されている。   2B and 2C are a side sectional view and a plan view, respectively, showing the structure of the laminating apparatus 31 of FIG. 2A. FIG. 2B shows a state in which the C-type fastening tool 32 is viewed from the X direction, and FIG. 2C shows a state in which the C-type fastening tool 32 is viewed from the Z direction. Details of the structure and operation of the C-clamp 32 are shown in FIGS. 2D and 2E.

図２Ｄは、図２Ａに示すＣ型締付け具３２の構造を示した側方断面図である。図２Ｄには、第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃが、ボルト３２ｄで固定された様子が示されている。   FIG. 2D is a side sectional view showing the structure of the C-type fastener 32 shown in FIG. 2A. FIG. 2D shows a state where the first divided body 32b and the second divided body 32c are fixed with bolts 32d.

図２Ｅは、図２Ａに示すＣ型締付け具３２の動作を説明するための側方断面図である。Ｃ型締付け具３２がボルト３２ｄで固定されていない場合、第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃは、図２Ｅに示すように動作させることが可能である。符号３２ｂ’および３２ｃ’で示す破線は、第１および第２の分割体３２ｂ，３２ｃが、支点ピン３２ａを中心に回転する様子を示している。   FIG. 2E is a side cross-sectional view for explaining the operation of the C-type fastener 32 shown in FIG. 2A. When the C-type fastening tool 32 is not fixed with the bolt 32d, the first divided body 32b and the second divided body 32c can be operated as shown in FIG. 2E. Broken lines indicated by reference numerals 32b 'and 32c' indicate that the first and second divided bodies 32b and 32c rotate around the fulcrum pin 32a.

本実施形態では、このようなＣ型締付け具３２を複数使用して、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を固定する。これらのＣ型締付け具３２によりダイヤフラム５を固定した様子を、図２Ｆおよび図２Ｇに示す。   In the present embodiment, the diaphragm 5 is fixed between the upper case 2 and the frame 4 by using a plurality of such C-type fasteners 32. A state in which the diaphragm 5 is fixed by the C-type fasteners 32 is shown in FIGS. 2F and 2G.

図２Ｆおよび図２Ｇはそれぞれ、複数のＣ型締付け具３２が使用されたラミネート装置３１を示した平面図および側方断面図である。   2F and 2G are a plan view and a side sectional view showing a laminating apparatus 31 in which a plurality of C-type fasteners 32 are used, respectively.

本実施形態では、Ｃ型締付け具３２は、図２Ｆに示すように、ラミネート装置３１の周囲にほぼ等間隔に取り付けられる。隣り合うＣ型締付け具３２間の間隔は、例えば３００ｍｍ〜４００ｍｍである。一方、ラミネート装置３１のサイズは、例えば約２ｍ×４ｍである。   In the present embodiment, as shown in FIG. 2F, the C-type fasteners 32 are attached around the laminating apparatus 31 at substantially equal intervals. An interval between adjacent C-type fasteners 32 is, for example, 300 mm to 400 mm. On the other hand, the size of the laminating apparatus 31 is, for example, about 2 m × 4 m.

図２Ｆおよび図２Ｇには、剥離シート４３と、剥離シート４３に付着したＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂を取り除くための上ブラシ４１と、上ブラシ４１の近傍に設けられた上ブラシ用ローラー４２が示されている。   2F and 2G, there are a release sheet 43, an upper brush 41 for removing EVA (ethylene vinyl acetate) resin adhering to the release sheet 43, and an upper brush roller 42 provided in the vicinity of the upper brush 41. It is shown.

剥離シート４３は、図２Ｇに示すように、上ケース２の上面、下面、およびＸ方向に垂直な側面を取り囲む環状の形状を有している。図２Ｇでは、排吸気手段１１が、剥離シート４３とぶつかる位置に配置されているが、これは作図上の便宜によるものであり、実際は、排吸気手段１１は、剥離シート４３とぶつからない位置に配置されている。   As shown in FIG. 2G, the release sheet 43 has an annular shape that surrounds the upper surface, the lower surface, and the side surface perpendicular to the X direction of the upper case 2. In FIG. 2G, the exhaust air intake means 11 is disposed at a position where it will collide with the release sheet 43, but this is for convenience of drawing, and in fact, the exhaust air intake means 11 does not collide with the release sheet 43. Has been placed.

また、上ブラシ４１および上ブラシ用ローラー４２は、上ケース２の外側に設置されている。図２Ｆおよび図２Ｇにおいて、上ブラシ４１は、剥離シート４３の外側に配置されており、ブラシ用ローラー４２は、剥離シート４３の内側に配置されている。   The upper brush 41 and the upper brush roller 42 are installed outside the upper case 2. In FIG. 2F and FIG. 2G, the upper brush 41 is disposed outside the release sheet 43, and the brush roller 42 is disposed inside the release sheet 43.

図２Ｆおよび図２Ｇにはさらに、被ラミネート体６を搬送するためにコンベアを動かすための搬送チェーン４４と、搬送チェーン４４を覆う搬送チェーンカバー４５が示されている。搬送チェーン４４および搬送チェーンカバー４５は、ラミネート装置３１の側面に設置されている。   2F and 2G further show a transport chain 44 for moving the conveyor to transport the laminate 6 and a transport chain cover 45 covering the transport chain 44. The transport chain 44 and the transport chain cover 45 are installed on the side surface of the laminating apparatus 31.

なお、Ｃ型締付け具３２とこれらの部品（４１〜４５）との関係については、後述することにする。   The relationship between the C-type fastening tool 32 and these parts (41 to 45) will be described later.

ここで、図２Ａを参照しつつ、ラミネート装置３１におけるダイヤフラム５の取り付け方法について説明する。   Here, the attachment method of the diaphragm 5 in the laminating apparatus 31 is demonstrated, referring FIG. 2A.

まず、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を挟んだ状態で、ダイヤフラム５を周囲から引っ張る。この際、ダイヤフラム５を引っ張るために、ダイヤフラム５にはラミネート装置３１からはみ出た部分が必要である。   First, with the diaphragm 5 sandwiched between the upper case 2 and the frame 4, the diaphragm 5 is pulled from the surroundings. At this time, in order to pull the diaphragm 5, the diaphragm 5 needs a portion protruding from the laminating device 31.

次に、上ケース２をフレーム４の上に降ろす。これにより、ダイヤフラム５が、上ケース２とフレーム４により挟まれ、上ケース２の重力によりダイヤフラム５が固定される。ただし、この状態においては、上ケース２をフレーム４から取り外すと、ダイヤフラム５が固定されていない状態となってしまう。   Next, the upper case 2 is lowered onto the frame 4. Thereby, the diaphragm 5 is sandwiched between the upper case 2 and the frame 4, and the diaphragm 5 is fixed by the gravity of the upper case 2. However, in this state, when the upper case 2 is removed from the frame 4, the diaphragm 5 is not fixed.

次に、ラミネート装置３１からはみ出ているダイヤフラム５を切る。この際、ダイヤフラム５は、Ｃ型締付け具３２の内側におさまる大きさに切る必要がある。   Next, the diaphragm 5 protruding from the laminating apparatus 31 is cut. At this time, the diaphragm 5 needs to be cut into a size that fits inside the C-type fastener 32.

次に、Ｃ型締付け具３２を用意して、ラミネート装置３１に取り付ける。具体的には、上ケース２とフレーム４を第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃにより挟み込み、次に、上ケース２とフレーム４をボルト３２ｄにより締め付ける。これにより、上ケース２とフレーム４が一体化し、ダイヤフラム５が固定される。なお、図２Ａには、ダイヤフラム５が、Ｃ型締付け具３２の内側におさまっている様子が示されている。   Next, a C-type fastening tool 32 is prepared and attached to the laminating apparatus 31. Specifically, the upper case 2 and the frame 4 are sandwiched between the first divided body 32b and the second divided body 32c, and then the upper case 2 and the frame 4 are tightened with bolts 32d. As a result, the upper case 2 and the frame 4 are integrated, and the diaphragm 5 is fixed. FIG. 2A shows a state in which the diaphragm 5 is placed inside the C-type fastener 32.

なお、ダイヤフラム５は、ボルト穴３２ｅおよび３２ｆよりも内側で第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃにより挟み込まれており、ダイヤフラム５は、ボルト穴３２ｅおよび３２ｆの下部には存在していない点に留意されたい。その結果、本実施形態では、ボルト３２ｄを通すための穴をダイヤフラム５に開けずに、ダイヤフラム５が上ケース２とフレーム４との間に固定されている。   The diaphragm 5 is sandwiched between the first divided body 32b and the second divided body 32c inside the bolt holes 32e and 32f, and the diaphragm 5 exists under the bolt holes 32e and 32f. Note that there is no point. As a result, in the present embodiment, the diaphragm 5 is fixed between the upper case 2 and the frame 4 without opening a hole for passing the bolt 32d in the diaphragm 5.

また、図２Ｆおよび図２Ｇのように複数のＣ型締付け具３２を取り付ける際、これらのＣ型締付け具３２は、同時に取り付ける必要はなく、順番に取り付けても構わない。よって、Ｃ型締付け具３２の取り付け作業は、必ずしも複数人で行う必要はなく、一人の作業者のみで行っても構わない。   When attaching a plurality of C-type fasteners 32 as shown in FIGS. 2F and 2G, these C-type fasteners 32 need not be attached at the same time, and may be attached in order. Therefore, the attachment work of the C-type fastening tool 32 is not necessarily performed by a plurality of people, and may be performed by only one worker.

最後に、本実施形態のラミネート装置３１の効果について説明する。   Finally, the effect of the laminating apparatus 31 of this embodiment will be described.

上述の図７に示す方法では、上ケース２の外面側壁に取り付けられたクランプレバー２３によってダイヤフラム５を固定する。そのため、クランプレバー２３を締める際に、フレーム４の下部の外側に上方向の力がかかってフレーム４の下部の内側が下がり、真空時にフレーム４と下ケース３との間からチャンバ内部に大気が流入しやすくなってしまう。即ち、真空漏れが生じやすくなってしまう。   In the method shown in FIG. 7 described above, the diaphragm 5 is fixed by the clamp lever 23 attached to the outer side wall of the upper case 2. Therefore, when the clamp lever 23 is tightened, an upward force is applied to the outside of the lower portion of the frame 4 so that the inside of the lower portion of the frame 4 is lowered, and air is generated between the frame 4 and the lower case 3 in the chamber during vacuum. It becomes easy to flow in. That is, a vacuum leak is likely to occur.

これに対し、本実施形態では、上ケース２を上方から押圧可能な第１の分割体３２ｂと、フレーム４を下方から押圧可能な第２の分割体３２ｃとを有する締付け具３２により、上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。   On the other hand, in the present embodiment, the upper case is provided by the fastening tool 32 having the first divided body 32b capable of pressing the upper case 2 from above and the second divided body 32c capable of pressing the frame 4 from below. The diaphragm 5 is fixed by sandwiching and tightening the frame 2 and the frame 4.

よって、本実施形態によれば、図２Ａに示すように、上ケース２およびフレーム４の端面位置Ｐ2よりも内側で、上ケース２とフレーム４を締め付けることが可能となる。このことには、上ケース２の外面側壁にクランプ時の力がかかる図７の方法と比べ、フレーム４の下部の内側が下がることを抑制でき、真空漏れが生じにくくなるという利点がある。 Therefore, according to this embodiment, as shown in FIG. 2A, the inside of the end surface position P 2 of the upper case 2 and the frame 4, it is possible to tighten the upper case 2 and the frame 4. This has the advantage that the inner side of the lower part of the frame 4 can be prevented from lowering and vacuum leakage is less likely to occur, compared to the method of FIG. 7 where the outer side wall of the upper case 2 is clamped.

このように、本実施形態によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することが可能となる。   Thus, according to this embodiment, it is possible to suppress the inflow of air into the chamber during vacuum.

また、上述の図８に示す方法では、上ケース２およびフレーム４に設けられたボルト穴２７，２８を利用して、ダイヤフラム５をボルト２６で固定する。そのため、図８に示す方法では、ダイヤフラム５に、ボルト２６を通す穴を開ける必要があり、穴を開ける工程のために、ダイヤフラム５の取り付け時間が長くなるという問題がある。さらには、一度穴を開けると穴の位置によってダイヤフラム５の取り付け位置が制限されるため、ダイヤフラム５の張り直しが困難になるという問題がある。   Further, in the method shown in FIG. 8 described above, the diaphragm 5 is fixed with the bolts 26 using the bolt holes 27 and 28 provided in the upper case 2 and the frame 4. Therefore, in the method shown in FIG. 8, it is necessary to make a hole through which the bolt 26 passes in the diaphragm 5, and there is a problem that the attachment time of the diaphragm 5 becomes long due to the step of making the hole. Furthermore, once a hole is made, the attachment position of the diaphragm 5 is limited by the position of the hole, so that there is a problem that it is difficult to re-install the diaphragm 5.

これに対し、本実施形態では、上記のような締付け具３２により上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。よって、本実施形態によれば、図２Ａに示すように、ボルト２６を通すための穴をダイヤフラム５に開けずに、ダイヤフラム５を固定することが可能となる。これにより、本実施形態では、ダイヤフラム５の取り付け時間の短縮や張り直しが可能となり、ラミネート装置３１の稼働率の向上やコストダウンを実現することが可能となる。   On the other hand, in the present embodiment, the diaphragm 5 is fixed by sandwiching and tightening the upper case 2 and the frame 4 with the fastening tool 32 as described above. Therefore, according to the present embodiment, as shown in FIG. 2A, the diaphragm 5 can be fixed without opening a hole for passing the bolt 26 in the diaphragm 5. Thereby, in this embodiment, the attachment time of the diaphragm 5 can be shortened and re-stretched, and the operation rate of the laminating apparatus 31 can be improved and the cost can be reduced.

また、本実施形態の締付け具３２は、支点ピン３２ａと、支点ピン３２ａを中心に回転可能な第１および第２の分割体３２ｂ，３２ｃにより構成されており、第１および第２の分割体３２ｂ，３２ｃにはそれぞれ、第１および第２のボルト穴３２ｅ，３２ｆが設けられている。   Further, the fastening tool 32 of the present embodiment is configured by a fulcrum pin 32a and first and second divided bodies 32b and 32c that can rotate around the fulcrum pin 32a, and the first and second divided bodies. 32b and 32c are provided with first and second bolt holes 32e and 32f, respectively.

これにより、本実施形態では、これらのボルト穴３２ｅ，３２ｆを使用して、上ケース２とフレーム４をボルト３２ｄで締め付けることが可能となっている。締付け具３２をボルト３２ｄ以外で締め付ける構成の具体例については、後述の第２実施形態で説明する。   Thereby, in this embodiment, it is possible to tighten upper case 2 and frame 4 with bolt 32d using these bolt holes 32e and 32f. A specific example of a configuration in which the fastening tool 32 is fastened with a bolt other than the bolt 32d will be described in a second embodiment described later.

なお、本実施形態では、加熱手段８が、下チャンバ１５（下ケース３）内に設置されているが（図１参照）、上チャンバ１４（上ケース２）内に設置されていても構わない。   In this embodiment, the heating means 8 is installed in the lower chamber 15 (lower case 3) (see FIG. 1), but may be installed in the upper chamber 14 (upper case 2). .

また、本実施形態では、ラミネート装置３１内に１組の支持台７および加熱手段８が設けられ、チャンバ内部に１つの被ラミネート体６を収容可能な構造が採用されている（図１参照）。しかしながら、本実施形態では、ラミネート装置３１内に複数組の支持台７および加熱手段８を設け、チャンバ内部に複数の被ラミネート体６を収容可能な構造を採用しても構わない。この場合には、これらの被ラミネート体６を上下に積層して収容する多段式の構造を採用して、チャンバ内部のスペースの無駄を少なくすることが望ましい。   Further, in the present embodiment, a structure in which one set of support 7 and heating means 8 is provided in the laminating apparatus 31 and one laminated body 6 can be accommodated inside the chamber is employed (see FIG. 1). . However, in this embodiment, a structure in which a plurality of sets of support bases 7 and heating means 8 are provided in the laminating apparatus 31 and a plurality of laminated bodies 6 can be accommodated in the chamber may be adopted. In this case, it is desirable to adopt a multi-stage structure in which these laminated bodies 6 are stacked and accommodated in the upper and lower directions to reduce the waste of space inside the chamber.

また、本実施形態のＣ型締付け具３２は、図２Ｆおよび図２Ｇに示すように、上ケース２およびフレーム４の側部に取り付けられる。そのため、Ｃ型締付け具３２のサイズが大きすぎると、上ブラシ用ローラー４２、搬送チェーン４４、搬送チェーンカバー４５等の他の部品の動作や設置を邪魔してしまう可能性がある。よって、Ｃ型締付け具３２のサイズは、これらの部品の動作や設置の妨げとならないサイズとすることが望まれる。   Moreover, the C-type fastener 32 of this embodiment is attached to the side part of the upper case 2 and the flame | frame 4, as shown to FIG. 2F and FIG. 2G. For this reason, if the size of the C-type fastening tool 32 is too large, the operation and installation of other parts such as the upper brush roller 42, the transport chain 44, and the transport chain cover 45 may be disturbed. Therefore, it is desirable that the size of the C-type fastening tool 32 be a size that does not hinder the operation and installation of these components.

以上のように、本実施形態によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラム５に穴を開ける必要のないラミネート装置３１、およびラミネート装置３１のダイヤフラム取り付け方法を提供することが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, the laminating apparatus 31 that can suppress the inflow of air into the chamber at the time of vacuum and does not need to make a hole in the diaphragm 5, and the diaphragm of the laminating apparatus 31 An attachment method can be provided.

（第２実施形態）
図３Ａは、本発明の第２実施形態のラミネート装置５１の構造を概略的に示した側方断面図である。図３Ａのラミネート装置５１の全般的な構造は、図５のラミネート装置１や図２Ａのラミネート装置３１の構造と同様である。図３Ａにおいて、図５や図２Ａと同一の部分についてはこれらと同一の符号を付し、重複する説明は省略し、図５や図２Ａとの相違点を中心に説明する。 (Second Embodiment)
FIG. 3A is a side sectional view schematically showing the structure of a laminating apparatus 51 according to the second embodiment of the present invention. The general structure of the laminating apparatus 51 of FIG. 3A is the same as that of the laminating apparatus 1 of FIG. 5 and the laminating apparatus 31 of FIG. 2A. In FIG. 3A, the same parts as those in FIGS. 5 and 2A are denoted by the same reference numerals, overlapping description will be omitted, and differences from FIGS. 5 and 2A will be mainly described.

図３Ａには、図２Ａに示すＣ型締付け具３２と異なる構造を有するＣ型締付け具５２が示されている。図３Ａに示すＣ型締付け具５２は、上ケース２を上方から押圧可能な部材として、スプリング５２ｅによって付勢されるローラー５２ｃを有し、フレーム４を下方から押圧可能な部材として、締付け具本体５２ａを有する。図３Ａでは、ローラー５２ｃが上ケース２を上方から押圧する第１の押圧面がＳ3で示され、締付け具本体５２ａがフレーム４を下方から押圧する第２の押圧面がＳ4で示されている。 FIG. 3A shows a C-type clamping tool 52 having a structure different from that of the C-type clamping tool 32 shown in FIG. 2A. The C-type fastening tool 52 shown in FIG. 3A has a roller 52c biased by a spring 52e as a member capable of pressing the upper case 2 from above, and a fastener body as a member capable of pressing the frame 4 from below. 52a. 3A, the first pressing surface roller 52c presses the upper case 2 from above is shown in S 3, the second pressing surface fastener body 52a to press the frame 4 from below is indicated by S 4 ing.

本実施形態では、フレーム４の下部に、締付け具本体５２ａの下側の先端部を着脱可能にはめ込むための溝Ｇが設けられている。また、溝Ｇと締付け具本体５２ａとの接触面の断面形状は、図３Ａに示すように、フレーム４の下方の点Ｆを中心とする円弧形となっている。   In the present embodiment, a groove G for removably fitting the lower end portion of the fastener main body 52a is provided in the lower portion of the frame 4. Further, the cross-sectional shape of the contact surface between the groove G and the fastener body 52a is an arc shape centered on a point F below the frame 4 as shown in FIG. 3A.

よって、締付け具本体５２ａは、点Ｆを支点として回転可能となっている。また、上記接触面の断面形状が円弧形であるため、締付け具本体５２ａが回転しても、締付け具本体５２ａと溝Ｇとの間の面接触が保たれるようになっている。支点Ｆは、図３Ａに示すように、締付け具本体５２ａの下側の先端部内に位置しており、溝Ｇの内部に位置している。   Therefore, the fastening tool main body 52a is rotatable around the point F as a fulcrum. In addition, since the cross-sectional shape of the contact surface is an arc, the surface contact between the fastener body 52a and the groove G is maintained even when the fastener body 52a rotates. As shown in FIG. 3A, the fulcrum F is located in the lower end portion of the fastener body 52 a and is located in the groove G.

締付け具本体５２ａには、締付け具本体５２ａを回転させるための握り部５２ｂが取り付けられている。握り部５２ｂは、少ない力で締付け具本体５２ａを回転させることができるよう、支点Ｆから比較的遠い位置に設けることが望ましい。本実施形態では、握り部５２ｂと支点Ｆとの距離が、ローラー５２ｃと支点Ｆとの距離よりも遠くなっている。締付け具本体５２ａは、握り部５２ｂを回転させることにより、溝Ｇから外すことが可能である。   A grip portion 52b for rotating the fastener body 52a is attached to the fastener body 52a. The grip portion 52b is desirably provided at a position relatively far from the fulcrum F so that the fastener body 52a can be rotated with a small force. In the present embodiment, the distance between the grip 52b and the fulcrum F is longer than the distance between the roller 52c and the fulcrum F. The fastening tool main body 52a can be removed from the groove G by rotating the grip portion 52b.

また、締付け具本体５２ａの上側の先端部には、スプリング軸５２ｆを上下方向に貫通させるためのスプリング軸穴５２ｇが設けられている。そして、スプリング軸５２ｆの上端には、第１のスプリングストッパ５２ｈが取り付けられ、スプリング軸５２ｆの上端と下端との間には、第２のスプリングストッパ５２ｉが取り付けられている。これにより、スプリング軸５２ｆが、スプリング軸穴５２ｇから抜けないようになっている。   In addition, a spring shaft hole 52g for vertically penetrating the spring shaft 52f is provided at the upper end portion of the fastener main body 52a. A first spring stopper 52h is attached to the upper end of the spring shaft 52f, and a second spring stopper 52i is attached between the upper end and the lower end of the spring shaft 52f. This prevents the spring shaft 52f from coming out of the spring shaft hole 52g.

図３Ａにはさらに、ローラー５２ｃ用のスプリング５２ｅが示されている。スプリング５２ｅは、締付け具本体５２ａの上側の先端部と第２のスプリングストッパ５２ｉとの間に配置されており、スプリング５２ｅの内部には、スプリング軸５２ｆが貫通している。そして、スプリング軸５２ｆの下部には、ローラー回転軸５２ｄが貫通している。ローラー５２ｃは、ローラー回転軸５２ｄを中心に回転可能となっている。なお、ローラー回転軸５２ｄは、スプリング軸５２ｆの下端と第２のスプリングストッパ５２ｉとの間を貫通している。   FIG. 3A further shows a spring 52e for the roller 52c. The spring 52e is disposed between the upper end portion of the fastener main body 52a and the second spring stopper 52i, and a spring shaft 52f passes through the spring 52e. And the roller rotating shaft 52d has penetrated the lower part of the spring shaft 52f. The roller 52c is rotatable around a roller rotation shaft 52d. The roller rotation shaft 52d passes between the lower end of the spring shaft 52f and the second spring stopper 52i.

本実施形態では、Ｃ型締付け具５２の取り付けや取り外しを、握り部５２ｂの押し引きにより行うことが可能である。   In this embodiment, it is possible to attach and remove the C-type fastening tool 52 by pushing and pulling the grip portion 52b.

本実施形態では、Ｃ型締付け具５２を取り付ける際には、握り部５２ｂをラミネート装置５１の内側方向に押す。これにより、ローラー５２ｃが上ケース２の上面に沿って転がり移動し、上ケース２の上面に設けられた溝Ｈにローラー５２ｃがはまり込む。こうして、Ｃ型締付け具５２がラミネート装置５１に取り付けられる。   In the present embodiment, when attaching the C-type fastening tool 52, the grip portion 52 b is pushed inward of the laminating apparatus 51. As a result, the roller 52c rolls and moves along the upper surface of the upper case 2, and the roller 52c fits into the groove H provided on the upper surface of the upper case 2. In this way, the C-type fastening tool 52 is attached to the laminating apparatus 51.

一方、Ｃ型締付け具５２を取り外す際には、握り部５２ｂをラミネート装置５１の外側方向に引く。これにより、ローラー５２ｃは、溝Ｈから抜け出て、取り付け時とは逆方向に上ケース２の上面に沿って転がり移動する。こうして、Ｃ型締付け具５２がラミネート装置５１から取り外される。   On the other hand, when removing the C-type fastening tool 52, the grip portion 52 b is pulled toward the outside of the laminating apparatus 51. Thereby, the roller 52c slips out of the groove H and rolls and moves along the upper surface of the upper case 2 in the direction opposite to the time of attachment. In this way, the C-type fastener 52 is removed from the laminating apparatus 51.

このように、本実施形態では、Ｃ型締付け具５２の取り付けや取り外しを、握り部５２ｂの押し引きにより行うことができる。また、本実施形態では、Ｃ型締付け具５２をラミネート装置５１に取り付けることで、ローラー５２ｃが、スプリング５２ｅのスプリング弾性により付勢されて、上ケース２の上面を押圧する。これにより、本実施形態では、上ケース２とフレーム４が締付け具本体５２ａとローラー５２ｃにより締め付けられ、上ケース２とフレーム４との間のダイヤフラム５が固定される。   Thus, in this embodiment, attachment and removal of the C-type fastening tool 52 can be performed by pushing and pulling the grip portion 52b. Moreover, in this embodiment, the roller 52c is urged | biased by the spring elasticity of the spring 52e, and presses the upper surface of the upper case 2 by attaching the C type clamping tool 52 to the laminating apparatus 51. Thereby, in this embodiment, the upper case 2 and the frame 4 are fastened by the fastener body 52a and the roller 52c, and the diaphragm 5 between the upper case 2 and the frame 4 is fixed.

なお、本実施形態では、ラミネート装置５１に取り付けられたＣ型締付け具５２が不意に外れることがないよう、ダイヤフラム５近傍における上ケース２の上面とフレーム４の下面との距離や、溝Ｈの深さや、スプリング５２ｅの弾性係数を、適切な値に設定することが望ましい。また、これらの値は、握り部５２ｂによるＣ型締付け具５２の取り付けや取り外しが困難にならない程度の値とすることが望ましい。   In the present embodiment, the distance between the upper surface of the upper case 2 and the lower surface of the frame 4 in the vicinity of the diaphragm 5 and the groove H so that the C-type fastener 52 attached to the laminating device 51 is not accidentally removed. It is desirable to set the depth and the elastic coefficient of the spring 52e to appropriate values. These values are preferably set to values that do not make it difficult to attach or remove the C-type fastening tool 52 by the grip portion 52b.

図３Ｂおよび図３Ｃはそれぞれ、図３Ａのラミネート装置５１の構造を示した側方断面図および平面図である。図３Ｂには、Ｃ型締付け具５２をＸ方向から見た様子が示されており、図３Ｃには、Ｃ型締付け具５２をＺ方向から見た様子が示されている。Ｃ型締付け具５２の動作の詳細は、図３Ｄに示されている。   3B and 3C are a side sectional view and a plan view showing the structure of the laminating apparatus 51 of FIG. 3A, respectively. FIG. 3B shows a state in which the C-type fastening tool 52 is viewed from the X direction, and FIG. 3C shows a state in which the C-type fastening tool 52 is viewed from the Z direction. Details of the operation of the C-clamp 52 are shown in FIG. 3D.

図３Ｄは、図３Ａに示すＣ型締付け具５２の動作を説明するための側方断面図である。上述のように、Ｃ型締付け具５２は、支点Ｆを中心に回転させることが可能である。符号５２’で示す破線は、Ｃ型締付け具５２が、支点Ｆを中心に回転する様子を示している。   3D is a side cross-sectional view for explaining the operation of the C-type fastener 52 shown in FIG. 3A. As described above, the C-type fastening tool 52 can be rotated around the fulcrum F. A broken line indicated by a reference numeral 52 ′ indicates that the C-type fastening tool 52 rotates around the fulcrum F.

本実施形態では、このようなＣ型締付け具５２を複数使用して、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を固定する。これらのＣ型締付け具５２によるダイヤフラム５の固定方法は、第１実施形態と同様である（図２Ｆ，図２Ｇを参照）。   In the present embodiment, the diaphragm 5 is fixed between the upper case 2 and the frame 4 by using a plurality of such C-type fasteners 52. The method of fixing the diaphragm 5 with these C-type fasteners 52 is the same as in the first embodiment (see FIGS. 2F and 2G).

ここで、図３Ａを参照しつつ、ラミネート装置５１におけるダイヤフラム５の取り付け方法について説明する。   Here, a method of attaching the diaphragm 5 in the laminating apparatus 51 will be described with reference to FIG. 3A.

まず、ダイヤフラム５を、上ケース２とフレーム４との間に挟む。次に、締付け具本体５２ａの下側の先端部を、フレーム４の溝Ｇにはめ込む。この時点では、Ｃ型締付け具５２は、フレーム４に固定されていないことに留意されたい。   First, the diaphragm 5 is sandwiched between the upper case 2 and the frame 4. Next, the lower end portion of the fastener main body 52 a is fitted into the groove G of the frame 4. It should be noted that at this point, the C-type clamp 52 is not fixed to the frame 4.

次に、握り部５２ｂを持ち、握り部５２ｂをラミネート装置５１の内側に向けて押す。これにより、Ｃ型締付け具５２は、支点Ｆを中心として、ラミネート装置５１の内側方向に回転する。また、ローラー５２ｃは、上ケース２の上面を転がることとなる。   Next, the grip portion 52 b is held, and the grip portion 52 b is pushed toward the inside of the laminating apparatus 51. As a result, the C-type fastening tool 52 rotates in the inner direction of the laminating apparatus 51 around the fulcrum F. Further, the roller 52c rolls on the upper surface of the upper case 2.

図３Ａに示すように、上ケース２の側面付近において、上ケース２の上面の形状は曲線状になっており、そこに溝Ｈが設けられている。よって、本実施形態では、Ｃ型締付け具５２を一定以上の力で押さないと、ローラー５２ｃが溝Ｈの位置まで到達しない。ローラー５２ｃが溝Ｈの位置まで到達すると、ローラー５２ｃは溝Ｈにおさまり、スプリング５２ｅがローラー５２ｃを下向きに押す力により、ダイヤフラム５は固定される。   As shown in FIG. 3A, in the vicinity of the side surface of the upper case 2, the shape of the upper surface of the upper case 2 is curved, and a groove H is provided there. Therefore, in this embodiment, the roller 52c does not reach the position of the groove H unless the C-type fastening tool 52 is pressed with a certain force or more. When the roller 52c reaches the position of the groove H, the roller 52c is set in the groove H, and the diaphragm 5 is fixed by the force of the spring 52e pushing the roller 52c downward.

また、スプリング５２ｅがローラー５２ｃを下向きに押す力により、ローラー５２ｃが固定されると共に、締付け具本体５２ａも固定される。これにより、一定以上の力がＣ型締付け具５２にかからない限り、Ｃ型締付け具５２が外れなくなる。   Further, the roller 52c is fixed by the force by which the spring 52e pushes the roller 52c downward, and the fastening tool main body 52a is also fixed. As a result, the C-type clamping tool 52 will not come off unless a certain force is applied to the C-type clamping tool 52.

一方、ダイヤフラム５を取り外す際には、握り部５２ｂを持ち、握り部５２ｂをラミネート装置５１の外側に向けて引くことで、取り外し可能である。この際、Ｃ型締付け具５２を一定以上の力で引かないと、ローラー５２ｃは溝Ｈから抜け出ない。   On the other hand, when the diaphragm 5 is removed, the diaphragm 5 can be removed by holding the grip 52 b and pulling the grip 52 b toward the outside of the laminating apparatus 51. At this time, the roller 52c does not come out of the groove H unless the C-type fastening tool 52 is pulled with a certain force or more.

なお、ダイヤフラム５の取り付け時には、第１実施形態で説明したように、Ｃ型締付け具５２を取り付ける前に、ラミネート装置５１からはみ出たダイヤフラム５を切り、ダイヤフラム５をＣ型締付け具５２の内側におさまる大きさにする必要がある。この際、本実施形態では、ローラー５２ｃが溝Ｈにおさまる際にダイヤフラム５が邪魔にならないよう、ダイヤフラム５を、溝Ｈに届かない大きさに切っておくことが望ましい。図３Ａには、溝Ｈに届かない大きさに切られたダイヤフラム５が示されている。   When attaching the diaphragm 5, as described in the first embodiment, before attaching the C-type fastener 52, the diaphragm 5 protruding from the laminating apparatus 51 is cut, and the diaphragm 5 is placed inside the C-type fastener 52. It needs to be small enough. At this time, in the present embodiment, it is desirable to cut the diaphragm 5 to a size that does not reach the groove H so that the diaphragm 5 does not get in the way when the roller 52c fits in the groove H. In FIG. 3A, the diaphragm 5 cut to a size that does not reach the groove H is shown.

最後に、本実施形態のラミネート装置５１の効果について説明する。   Finally, the effect of the laminating apparatus 51 of this embodiment will be described.

本実施形態では、第１実施形態と同様、上ケース２を上方から押圧可能な部材（ローラー５２ｃ）と、フレーム４を下方から押圧可能な部材（締付け具本体５２ａ）とを有する締付け具５２により、上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。   In the present embodiment, as in the first embodiment, the fastening tool 52 includes a member (roller 52c) capable of pressing the upper case 2 from above and a member (fastening tool body 52a) capable of pressing the frame 4 from below. The diaphragm 5 is fixed by sandwiching and tightening the upper case 2 and the frame 4.

よって、本実施形態によれば、第１実施形態と同様、上ケース２およびフレーム４の端面位置Ｐ2よりも内側で、上ケース２とフレーム４を締め付けることが可能となり、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することが可能となる。 Therefore, according to the present embodiment, as in the first embodiment, the upper case 2 and the frame 4 can be tightened inside the end surface position P 2 of the upper case 2 and the frame 4, and the interior of the chamber in a vacuum state can be obtained. It becomes possible to suppress the inflow of air to the.

また、本実施形態では、図８に示すようなボルト２６ではなく、上記のような締付け具５２により上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。よって、本実施形態によれば、第１実施形態と同様、ボルトを通すための穴をダイヤフラム５に開けずに、ダイヤフラム５を固定することが可能となる。   Further, in the present embodiment, the diaphragm 5 is fixed by sandwiching and tightening the upper case 2 and the frame 4 by the fastening tool 52 as described above instead of the bolt 26 as shown in FIG. Therefore, according to this embodiment, it is possible to fix the diaphragm 5 without opening a hole for passing a bolt in the diaphragm 5 as in the first embodiment.

また、本実施形態の締付け具５２は、上ケース２の上面に沿って転がり移動するローラー５２ｃと、ローラー５２ｃが上ケース２の上面を押圧するよう、ローラー５２ｃを付勢するスプリング５２ｅ等により構成されている。   Further, the fastening tool 52 of the present embodiment includes a roller 52c that rolls and moves along the upper surface of the upper case 2, and a spring 52e that urges the roller 52c so that the roller 52c presses the upper surface of the upper case 2. Has been.

これにより、本実施形態では、ボルトを使用せずに締付け具５２を固定することが可能となり、ダイヤフラム５の取り付け作業が簡易化される。一般に、スプリング５２ｅの弾性力に抗してローラー５２ｃを転がすのに要する力や時間は、ボルトを締めるのに要する力や時間よりも少なくて済む。よって、本実施形態によれば、ボルトを締めるのに比べ、少ない力で短時間にダイヤフラム５を取り付けることが可能となる。   Thereby, in this embodiment, it becomes possible to fix the fastener 52, without using a volt | bolt, and the attachment operation | work of the diaphragm 5 is simplified. In general, the force and time required to roll the roller 52c against the elastic force of the spring 52e may be less than the force and time required to tighten the bolt. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to attach the diaphragm 5 in a short time with less force compared to tightening the bolt.

なお、本実施形態では、上ケース２を上方から押圧可能な部材の方を、締付け具本体５２ａとして、フレーム４を下方から押圧可能な部材の方を、ローラー５２ｃとしても構わない。   In this embodiment, the member that can press the upper case 2 from above may be used as the fastener body 52a, and the member that can press the frame 4 from below may be used as the roller 52c.

また、本実施形態では、Ｃ型締付け具５２に、Ｃ型締付け具５２をラミネート装置５１に取り付けられた状態でロックするためのロック機能を設けても構わない。理由は、本実施形態では、スプリング弾性によりＣ型締付け具５２を固定しているため、Ｃ型締付け具５２に誤って大きな力がかかると、Ｃ型締付け具５２が外れる可能性があるからである。   In the present embodiment, the C-type fastening tool 52 may be provided with a lock function for locking the C-type fastening tool 52 in a state where the C-type fastening tool 52 is attached to the laminating apparatus 51. The reason is that, in the present embodiment, the C-type fastening tool 52 is fixed by spring elasticity, and therefore, if a large force is applied to the C-type fastening tool 52 by mistake, the C-type fastening tool 52 may come off. is there.

ロック機能の例としては、窓ガラスの開閉レバーに設けられているロックや、市販のキャスター等に設けられているローラーの回転止めのロックのようなものが挙げられる。或いは、小さな針金状の鍵で開閉させることが可能な鍵穴をＣ型締付け具５２に設けるようにしてもよい。   Examples of the lock function include a lock provided on an opening / closing lever of a window glass and a lock for preventing rotation of a roller provided on a commercially available caster or the like. Alternatively, a keyhole that can be opened and closed with a small wire-like key may be provided in the C-type fastening tool 52.

このようなロック機能によれば、ロックを解除するかロック等を破壊しない限り、Ｃ型締付け具５２は一般に外れないため、Ｃ型締付け具５２が意図せずに外れてしまう可能性を低減することが可能となる。なお、このようなロック機能は、第２実施形態に限らず、第１実施形態に適用しても構わない。また、上記以外のロック機能の例については、後述する第３実施形態にて説明する。   According to such a lock function, the C-type fastening tool 52 generally does not come off unless the lock is released or the lock or the like is broken, so that the possibility that the C-type fastening tool 52 comes off unintentionally is reduced. It becomes possible. Such a lock function is not limited to the second embodiment, and may be applied to the first embodiment. An example of the lock function other than the above will be described in a third embodiment described later.

以上のように、本実施形態によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラム５に穴を開ける必要のないラミネート装置５１、およびラミネート装置５１のダイヤフラム取り付け方法を提供することが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, the laminating apparatus 51 that can suppress the inflow of air into the chamber during vacuum and does not need to make a hole in the diaphragm 5, and the diaphragm of the laminating apparatus 51 An attachment method can be provided.

（第３実施形態）
図４Ａは、本発明の第３実施形態のラミネート装置６１の構造を概略的に示した側方断面図である。図４Ａのラミネート装置６１の全般的な構造は、図５のラミネート装置１や図２Ａのラミネート装置３１などの構造と同様である。図４Ａにおいて、図５や図２Ａと同一の部分についてはこれらと同一の符号を付し、重複する説明は省略し、図５や図２Ａとの相違点を中心に説明する。 (Third embodiment)
FIG. 4A is a side sectional view schematically showing the structure of a laminating apparatus 61 according to the third embodiment of the present invention. The general structure of the laminating apparatus 61 of FIG. 4A is the same as that of the laminating apparatus 1 of FIG. 5, the laminating apparatus 31 of FIG. 2A, etc. In FIG. 4A, the same parts as those in FIGS. 5 and 2A are denoted by the same reference numerals, overlapping description is omitted, and differences from FIGS. 5 and 2A will be mainly described.

図４Ａには、図２Ａに示すＣ型締付け具３２や、図３Ａに示すＣ型締付け具５２と異なる構造のＣ型締付け具６２が示されている。   4A shows a C-type fastening tool 32 having a different structure from the C-type fastening tool 32 shown in FIG. 2A and the C-type fastening tool 52 shown in FIG. 3A.

本実施形態のＣ型締付け具６２は、図４Ａに示す形状の締付け具本体６２ａにより構成されている。締付け具本体６２ａの一端部側（下側の先端部側）には、フレーム４を下方から押圧するための押圧面Ｓ6が設けられており、締付け具本体６２ａの他端部側（上側の先端部側）には、上ケース２を上方から押圧するネジ６２ｃを通すためのネジ穴６２ｄが設けられている。図４Ａでは、ネジ６２ｃが上ケース２を上方から押圧する押圧面が、Ｓ5で示されている。 The C-type fastener 62 of the present embodiment is constituted by a fastener main body 62a having a shape shown in FIG. 4A. At one end of the fastener body 62a (the lower side of the distal end portion side) is the pressing surface S 6 is provided for pressing the frame 4 from below, of the clamping device main body 62a and the other end portion side (the upper side of the A screw hole 62d through which a screw 62c for pressing the upper case 2 from above is passed is provided on the front end side). In Figure 4A, the pressing surface of the screw 62c presses the upper case 2 from above is shown in S 5.

ネジ６２ｃの根元には、図４Ａに示すように、締付けハンドル６２ｂが取り付けられている。本実施形態では、図４Ａに示す位置に締付け具本体６２ａを配置し、ネジ穴６２ｄにネジ６２ｃを差し込み、締付けハンドル６２ｂを回してネジ６２ｃを締めることで、上ケース２がネジ６２ｃにより上方から押圧されると共に、フレーム４が押圧面Ｓ6にて下方から押圧される。このようにして、上ケース２とフレーム４がＣ型締付け具６２により締め付けられ、上ケース２とフレーム４との間のダイヤフラム５が固定される。 As shown in FIG. 4A, a tightening handle 62b is attached to the root of the screw 62c. In the present embodiment, the fastener main body 62a is arranged at the position shown in FIG. 4A, the screw 62c is inserted into the screw hole 62d, the tightening handle 62b is turned and the screw 62c is tightened, so that the upper case 2 is with the pressed, the frame 4 is pressed from below by the pressing surface S 6. In this manner, the upper case 2 and the frame 4 are fastened by the C-type fastening tool 62, and the diaphragm 5 between the upper case 2 and the frame 4 is fixed.

図４Ｂおよび図４Ｃは、図４Ａに示すＣ型締付け具６２の構造を示した側方断面図である。図４Ｂには、図４Ａと同様、Ｃ型締付け具６２をＹ方向から見た様子が示され、図４Ｃには、Ｃ型締付け具６２をＸ方向から見た様子が示されている。   4B and 4C are side sectional views showing the structure of the C-type fastener 62 shown in FIG. 4A. 4B shows a state where the C-type fastening tool 62 is viewed from the Y direction, as in FIG. 4A, and FIG. 4C shows a state where the C-type fastening tool 62 is viewed from the X direction.

図４Ｄは、図４Ａに示すＣ型締付け具６２の構造を示した平面図である。図４Ｄには、Ｃ型締付け具６２をＺ方向から見た様子が示されている。図４Ｄに示すように、本実施形態の締付けハンドル６２ｂは、Ｚ方向から見て棒状の形状を有している。図４Ｄでは、この形状の長手方向が、Ｙ方向となっている。   FIG. 4D is a plan view showing the structure of the C-type fastener 62 shown in FIG. 4A. FIG. 4D shows a state in which the C-type fastening tool 62 is viewed from the Z direction. As shown in FIG. 4D, the tightening handle 62b of this embodiment has a bar shape when viewed from the Z direction. In FIG. 4D, the longitudinal direction of this shape is the Y direction.

なお、図４Ａおよび図４Ｂでは、作図の便宜上、図４Ｃや図４Ｄとは締付けハンドル６２ｂの締付け具合が異なっている点に留意されたい。   4A and 4B, it should be noted that the tightening degree of the tightening handle 62b is different from FIGS. 4C and 4D for convenience of drawing.

次に、第３実施形態の変形例について説明する。   Next, a modification of the third embodiment will be described.

図４Ｅは、本発明の第３実施形態の変形例のラミネート装置６１の構造を概略的に示した側方断面図である。図４Ｅのラミネート装置６１の全般的な構造は、図４Ａのラミネート装置６１の構造と同様である。図４Ｅにおいて、図４Ａと同一の部分については図４Ａと同一の符号を付し、重複する説明は省略し、図４Ａとの相違点を中心に説明する。   FIG. 4E is a side sectional view schematically showing the structure of a laminating apparatus 61 according to a modification of the third embodiment of the present invention. The general structure of the laminating apparatus 61 of FIG. 4E is the same as that of the laminating apparatus 61 of FIG. 4A. In FIG. 4E, the same portions as those in FIG. 4A are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 4A, and redundant description will be omitted, and differences from FIG.

図４Ｅに示す締付け具本体６２ａの上面には、ネジ穴６２ｄに加え、ロック部材用の穴６２ｇが設けられている。図４Ｅには、穴６２ｇに挿入される挿入部６２ｆと、穴６２ｇの上部に突き出る突出部６２ｅからなるロック部材が示されている。図４Ｅには、ロック部材の挿入部６２ｆが、穴６２ｇに挿入され、ロック部材の突出部６２ｅが、穴６２ｇの上部に突き出ている様子が示されている。   On the upper surface of the fastener main body 62a shown in FIG. 4E, a hole 62g for a lock member is provided in addition to the screw hole 62d. FIG. 4E shows a lock member that includes an insertion portion 62f that is inserted into the hole 62g and a protrusion 62e that protrudes above the hole 62g. FIG. 4E shows a state in which the lock member insertion portion 62f is inserted into the hole 62g, and the lock member protrusion 62e protrudes above the hole 62g.

ネジ穴６２ｄとロック部材用の穴６２ｇは、図４Ｅに示すように、締付けハンドル６２ｂを回すと、締付けハンドル６２ｂと突出部６２ｅとがぶつかる位置に設けられている。よって、本変形例では、ネジ６２ｃをネジ穴６２ｄに取り付けた後に、ロック部材の挿入部６２ｆを穴６２ｇに取り付けることで、締付けハンドル６２ｂが緩んで回転するのを防止することが可能となる。即ち、ロック部材は、Ｃ型締付け具６２をラミネート装置６１に取り付けられた状態でロックするロック機能を発揮する。   As shown in FIG. 4E, the screw hole 62d and the lock member hole 62g are provided at positions where the tightening handle 62b and the protrusion 62e collide with each other when the tightening handle 62b is rotated. Therefore, in this modification, it is possible to prevent the tightening handle 62b from loosening and rotating by attaching the insertion portion 62f of the lock member to the hole 62g after the screw 62c is attached to the screw hole 62d. That is, the lock member exhibits a lock function that locks the C-type fastener 62 attached to the laminating apparatus 61.

よって、本変形例によれば、Ｃ型締付け具６２が意図せずに外れてしまう可能性を低減することが可能となる。   Therefore, according to the present modification, it is possible to reduce the possibility that the C-type fastening tool 62 is unintentionally detached.

なお、ロック部材の挿入部６２ｆと、ロック部材用の穴６２ｇには、ネジ溝が切られていても、切られていなくても構わない。前者には、ロック部材がしっかりと固定され、ロック部材が意図せずに外れてしまう可能性が低減されるという利点がある。一方、後者には、ロック部材の取り付けや取り外しが容易になるという利点がある。   It should be noted that a thread groove may or may not be cut in the lock member insertion portion 62f and the lock member hole 62g. The former has an advantage that the lock member is firmly fixed, and the possibility that the lock member is unintentionally detached is reduced. On the other hand, the latter has an advantage that the lock member can be easily attached and detached.

図４Ｆおよび図４Ｇは、図４Ｅに示すＣ型締付け具６２の構造を示した側方断面図である。図４Ｆには、図４Ｅと同様、Ｃ型締付け具６２をＹ方向から見た様子が示され、図４Ｇには、Ｃ型締付け具６２をＸ方向から見た様子が示されている。   4F and 4G are side sectional views showing the structure of the C-type fastener 62 shown in FIG. 4E. 4F shows a state where the C-type fastening tool 62 is viewed from the Y direction, as in FIG. 4E, and FIG. 4G shows a state where the C-type fastening tool 62 is viewed from the X direction.

図４Ｈは、図４Ｅに示すＣ型締付け具６２の構造を示した平面図である。図４Ｈには、Ｃ型締付け具６２をＺ方向から見た様子が示されている。図４Ｈでは、図４Ｄと同様、締付けハンドル６２ｂの形状の長手方向が、Ｙ方向となっている。   4H is a plan view showing the structure of the C-type fastener 62 shown in FIG. 4E. FIG. 4H shows a state in which the C-type fastening tool 62 is viewed from the Z direction. In FIG. 4H, as in FIG. 4D, the longitudinal direction of the shape of the tightening handle 62b is the Y direction.

なお、図４Ｅおよび図４Ｆでは、作図の便宜上、図４Ｇや図４Ｈとは締付けハンドル６２ｂの締付け具合が異なっている点に留意されたい。   4E and 4F, it should be noted that the tightening degree of the tightening handle 62b is different from that of FIGS. 4G and 4H for convenience of drawing.

最後に、再び図４Ａを参照して、本実施形態のラミネート装置６１の効果について説明する。   Finally, with reference to FIG. 4A again, the effect of the laminating apparatus 61 of this embodiment is demonstrated.

本実施形態では、締付け具本体６２ａの一端部側に、フレーム４を下方から押圧するための押圧面Ｓ6が設けられ、締付け具本体６２ａの他端部側に、上ケース２を上方から押圧するネジ６２ｃを通すためのネジ穴６２ｄが設けられた締付け具６２により、上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。 In the present embodiment, at one end of the fastener body 62a, the pressing surface S 6 for pressing the frame 4 from below is provided on the other end of the fastener body 62a, pressing the upper case 2 from above The diaphragm 5 is fixed by sandwiching and tightening the upper case 2 and the frame 4 with a fastening tool 62 provided with a screw hole 62d for allowing the screw 62c to pass therethrough.

よって、本実施形態によれば、第１及び第２実施形態と同様、上ケース２およびフレーム４の端面位置Ｐ2よりも内側で、上ケース２とフレーム４を締め付けることが可能となり、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することが可能となる。 Therefore, according to this embodiment, similarly to the first and second embodiment, the inside of the end surface position P 2 of the upper case 2 and the frame 4, it is possible to tighten the upper case 2 and the frame 4, time of vacuum It becomes possible to suppress the inflow of the atmosphere into the chamber.

また、本実施形態では、図８に示すようなボルト２６ではなく、上記のような締付け具６２により上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。よって、本実施形態によれば、第１及び第２実施形態と同様、ボルトを通すための穴をダイヤフラム５に開けずに、ダイヤフラム５を固定することが可能となる。   Further, in the present embodiment, the diaphragm 5 is fixed by sandwiching and tightening the upper case 2 and the frame 4 with the above-described fasteners 62 instead of the bolts 26 as shown in FIG. Therefore, according to this embodiment, it is possible to fix the diaphragm 5 without opening a hole for allowing a bolt to pass through the diaphragm 5 as in the first and second embodiments.

また、本実施形態では、締付け具６２を、締付け具本体６２ａにネジ穴６２ｄを設けるだけで製造でき、締付け具６２の製造が容易になるという利点がある。   Moreover, in this embodiment, the fastener 62 can be manufactured simply by providing the screw hole 62d in the fastener main body 62a, and there is an advantage that the manufacture of the fastener 62 is facilitated.

以上のように、本実施形態によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラム５に穴を開ける必要のないラミネート装置６１、およびラミネート装置６１のダイヤフラム取り付け方法を提供することが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, the laminating apparatus 61 that can suppress the inflow of air into the chamber at the time of vacuum and does not need to make a hole in the diaphragm 5, and the diaphragm of the laminating apparatus 61 An attachment method can be provided.

なお、第１実施形態のＣ型締付け具３２では、ボルト３２ｄ以外の締結部材を採用するようにしても構わない。   In addition, in the C type | mold fastener 32 of 1st Embodiment, you may make it employ | adopt fastening members other than the volt | bolt 32d.

また、第２実施形態のＣ型締付け具５２では、ローラー５２ｃ以外の回転部材や、スプリング５２ｅ以外の弾性部材を採用するようにしても構わない。   Further, in the C-type fastening tool 52 of the second embodiment, a rotating member other than the roller 52c or an elastic member other than the spring 52e may be employed.

また、第３実施形態のＣ型締付け具６２では、締付け具本体６２ａが、単一の部材で構成されていても、複数の部材で構成されていても構わない。   Further, in the C-type fastening tool 62 of the third embodiment, the fastening tool main body 62a may be composed of a single member or a plurality of members.

以上、本発明の具体的な態様の例を、第１から第３実施形態により説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではない。   As mentioned above, although the example of the specific aspect of this invention was demonstrated by 1st to 3rd embodiment, this invention is not limited to these embodiment.

１ ラミネート装置
２ 上ケース
３ 下ケース
４ フレーム
５ ダイヤフラム
６ 被ラミネート体
７ 支持台
８ 加熱手段
９ 支柱
１０ 昇降手段
１１ 排吸気手段
１２ 排吸気手段
１３ シール部材
１４ 上チャンバ
１５ 下チャンバ
１６ 把手
２１ 掛け金
２２ 止め金
２３ クランプレバー
２４ 取付け軸
２５ ブラケット
２６ ボルト
２７ ボルト穴
２８ ボルト穴（ネジ穴）
３１ ラミネート装置
３２ Ｃ型締付け具
３２ａ 支点ピン
３２ｂ 第１の分割体
３２ｃ 第２の分割体
３２ｄ 締付けボルト
３２ｅ 第１のボルト穴
３２ｆ 第２のボルト穴
３２ｇ 第１のピン穴
３２ｈ 第２のピン穴
３３ 丸パッキン
３４ 丸パッキン
４１ 上ブラシ
４２ 上ブラシ用ローラー
４３ 剥離シート
４４ 搬送チェーン
４５ 搬送チェーンカバー
５１ ラミネート装置
５２ Ｃ型締付け具
５２ａ 締付け具本体
５２ｂ 握り部
５２ｃ ローラー
５２ｄ ローラー回転軸
５２ｅ スプリング
５２ｆ スプリング軸
５２ｇ スプリング軸穴
５２ｈ 第１のスプリングストッパ
５２ｉ 第２のスプリングストッパ
６１ ラミネート装置
６２ Ｃ型締付け具
６２ａ 締付け具本体
６２ｂ 締付けハンドル
６２ｃ ネジ
６２ｄ ネジ穴
６２ｅ ロック部材の突出部
６２ｆ ロック部材の挿入部
６２ｇ ロック部材用の穴 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laminating apparatus 2 Upper case 3 Lower case 4 Frame 5 Diaphragm 6 Laminated body 7 Support stand 8 Heating means 9 Strut 10 Lifting means 11 Exhaust air intake means 12 Exhaust air intake means 13 Seal member 14 Upper chamber 15 Lower chamber 16 Handle 21 Latch 22 Clasp 23 Clamp lever 24 Mounting shaft 25 Bracket 26 Bolt 27 Bolt hole 28 Bolt hole (screw hole)
31 Laminating device 32 C-type clamping tool 32a fulcrum pin 32b first divided body 32c second divided body 32d tightening bolt 32e first bolt hole 32f second bolt hole 32g first pin hole 32h second pin hole 33 Round Packing 34 Round Packing 41 Upper Brush 42 Upper Brush Roller 43 Release Sheet 44 Transport Chain 45 Transport Chain Cover 51 Laminating Device 52 C Type Fastener 52a Fastener Main Body 52b Grip Part 52c Roller 52d Roller Rotating Shaft 52e Spring 52f Spring Shaft 52g Spring shaft hole 52h First spring stopper 52i Second spring stopper 61 Laminating device 62 C-type clamping tool 62a Clamping tool body 62b Clamping handle 62c Screw 62d Screw hole 62e Projection of locking member Holes for inserting portion 62g lock member 62f locking member

Claims (10)

下面が開放された内部空間を有する上ケースと、
上面が開放された内部空間を有する下ケースと、
前記上ケースの下面側に着脱可能で、ダイヤフラムの周縁部を支持するフレームと、
前記上ケースと前記下ケースの少なくとも一方に設けられた排吸気手段と、
前記上ケースと前記下ケースとの間に配置された被ラミネート体を支持および加熱するための支持台および加熱手段とを備えるラミネート装置において、
前記上ケースと前記フレームとの間に前記ダイヤフラムを挟み込んだ状態で、前記上ケースおよび前記フレームの端面よりも内側で、前記上ケースと前記フレームを締め付けるための締付け具を備えることを特徴とするラミネート装置。 An upper case having an inner space with an open bottom surface;
A lower case having an internal space with an open upper surface;
A frame that can be attached to and detached from the lower surface side of the upper case and supports the peripheral edge of the diaphragm;
Exhaust air intake means provided in at least one of the upper case and the lower case;
In a laminating apparatus comprising a support base and a heating means for supporting and heating the object to be laminated disposed between the upper case and the lower case,
In the state where the diaphragm is sandwiched between the upper case and the frame, a clamp is provided for tightening the upper case and the frame inside the upper case and the end face of the frame. Laminating equipment. 前記締付け具は、
前記上ケースの端面よりも内側で前記上ケースを上方から押圧可能な第１の分割体と、
前記フレームの端面よりも内側で前記フレームを下方から押圧可能な第２の分割体と、
前記第１および第２の分割体を回動させるための支点ピンとを有し、
前記第１の分割体の一端部側には、前記支点ピンが嵌挿される第１のピン穴が設けられ、
前記第１の分割体の他端部側には、前記上ケースを上方から押圧するための第１の押圧面が設けられ、
前記第２の分割体の一端部側には、前記支点ピンが嵌挿される第２のピン穴が設けられ、
前記第２の分割体の他端部側には、前記フレームを下方から押圧するための第２の押圧面が設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。 The fastener is
A first divided body capable of pressing the upper case from above inside the end surface of the upper case;
A second divided body capable of pressing the frame from below inside the end face of the frame;
A fulcrum pin for rotating the first and second divided bodies,
A first pin hole into which the fulcrum pin is inserted is provided on one end side of the first divided body,
On the other end side of the first divided body, a first pressing surface for pressing the upper case from above is provided,
A second pin hole into which the fulcrum pin is inserted is provided on one end side of the second divided body,
A second pressing surface for pressing the frame from below is provided on the other end side of the second divided body.
The laminating apparatus according to claim 1. 前記締付け具は、
前記締付け具の取り付け時または取り外し時に、前記上ケースの上面または前記フレームの下面に沿って転がり移動するローラーと、
前記ローラーが前記上ケースの上面または前記フレームの下面を押圧するよう、前記ローラーを付勢するスプリングと、
を有することを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。 The fastener is
A roller that rolls along the upper surface of the upper case or the lower surface of the frame when the fastener is attached or removed; and
A spring that biases the roller so that the roller presses the upper surface of the upper case or the lower surface of the frame;
The laminating apparatus according to claim 1, comprising: 前記締付け具の一端部側には、前記フレームを下方から押圧するための押圧面が設けられ、
前記締付け具の他端部側には、前記上ケースを上方から押圧するネジを通すためのネジ穴が設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。 A pressing surface for pressing the frame from below is provided on one end side of the fastener,
On the other end side of the fastener, a screw hole is provided for passing a screw that presses the upper case from above.
The laminating apparatus according to claim 1. 前記締付け具は、前記締付け具を前記ラミネート装置に取り付けられた状態でロックするためのロック機能を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のラミネート装置。   The laminating apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the fastener has a lock function for locking the fastener in a state where the fastener is attached to the laminating apparatus. 下面が開放された内部空間を有する上ケースと、
上面が開放された内部空間を有する下ケースと、
前記上ケースの下面側に着脱可能で、ダイヤフラムの周縁部を支持するフレームと、
前記上ケースと前記下ケースの少なくとも一方に設けられた排吸気手段と、
前記上ケースと前記下ケースとの間に配置された被ラミネート体を支持および加熱するための支持台および加熱手段とを備えるラミネート装置において、
前記上ケースと前記フレームとの間に前記ダイヤフラムを挟み込んだ状態で、前記上ケースおよび前記フレームの端面よりも内側で、前記上ケースと前記フレームを締付け具により締め付ける、
ことを特徴とするラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。 An upper case having an inner space with an open bottom surface;
A lower case having an internal space with an open upper surface;
A frame that can be attached to and detached from the lower surface side of the upper case and supports the peripheral edge of the diaphragm;
Exhaust air intake means provided in at least one of the upper case and the lower case;
In a laminating apparatus comprising a support base and a heating means for supporting and heating the object to be laminated disposed between the upper case and the lower case,
With the diaphragm sandwiched between the upper case and the frame, the upper case and the frame are tightened by a fastening tool inside the upper case and the end surface of the frame,
A method for attaching a diaphragm of a laminating apparatus. 前記締付け具は、
前記上ケースの端面よりも内側で前記上ケースを上方から押圧可能な第１の分割体と、
前記フレームの端面よりも内側で前記フレームを下方から押圧可能な第２の分割体と、
前記第１および第２の分割体を回動させるための支点ピンとを有し、
前記第１の分割体の一端部側には、前記支点ピンが嵌挿される第１のピン穴が設けられ、
前記第１の分割体の他端部側には、前記上ケースを上方から押圧するための第１の押圧面が設けられ、
前記第２の分割体の一端部側には、前記支点ピンが嵌挿される第２のピン穴が設けられ、
前記第２の分割体の他端部側には、前記フレームを下方から押圧するための第２の押圧面が設けられており、
前記上ケースと前記フレームを、前記第１の押圧面と前記第２の押圧面との間で前記締付け具により締め付けることを特徴とする請求項６に記載のラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。 The fastener is
A first divided body capable of pressing the upper case from above inside the end surface of the upper case;
A second divided body capable of pressing the frame from below inside the end face of the frame;
A fulcrum pin for rotating the first and second divided bodies,
A first pin hole into which the fulcrum pin is inserted is provided on one end side of the first divided body,
On the other end side of the first divided body, a first pressing surface for pressing the upper case from above is provided,
A second pin hole into which the fulcrum pin is inserted is provided on one end side of the second divided body,
A second pressing surface for pressing the frame from below is provided on the other end side of the second divided body,
The diaphragm mounting method for a laminating apparatus according to claim 6, wherein the upper case and the frame are clamped by the clamp between the first pressing surface and the second pressing surface. 前記締付け具は、ローラーと、前記ローラー用のスプリングとを有し、
前記上ケースの上面または前記フレームの下面に沿って前記ローラーを転がり移動させることで、前記締付け具の取り付けまたは取り外しを行い、
前記ローラーが前記上ケースの上面または前記フレームの下面を押圧するよう、前記スプリングにより前記ローラーを付勢することで、前記上ケースと前記フレームを締め付けることを特徴とする請求項６に記載のラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。 The fastener has a roller and a spring for the roller,
By rolling and moving the roller along the upper surface of the upper case or the lower surface of the frame, the fastening tool is attached or removed,
The laminate according to claim 6, wherein the upper case and the frame are tightened by urging the roller with the spring so that the roller presses the upper surface of the upper case or the lower surface of the frame. A method for attaching the diaphragm of the device. 前記締付け具の一端部側には、前記フレームを下方から押圧するための押圧面が設けられ、
前記締付け具の他端部側には、前記上ケースを上方から押圧するネジを通すためのネジ穴が設けられており、
前記上ケースを前記ネジにより上方から押圧し、前記フレームを前記押圧面にて下方から押圧することで、前記上ケースと前記フレームを締め付けることを特徴とする請求項６に記載のラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。 A pressing surface for pressing the frame from below is provided on one end side of the fastener,
On the other end side of the fastener, a screw hole for passing a screw that presses the upper case from above is provided,
The diaphragm of the laminating apparatus according to claim 6, wherein the upper case and the frame are clamped by pressing the upper case from above with the screw and pressing the frame from below with the pressing surface. installation method. 前記締付け具のロック機能により、前記締付け具を前記ラミネート装置に取り付けられた状態でロックすることを特徴とする請求項６から９のいずれか１項に記載のラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。   The diaphragm attaching method for a laminating apparatus according to any one of claims 6 to 9, wherein the fastening tool is locked in a state of being attached to the laminating apparatus by a locking function of the fastening tool.
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