JP2011254004A - Electronic component device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic component device capable of cooling bus bars.SOLUTION: A semiconductor device 10 comprises: a housing 11; radiators 23 that are thermally connected to the housing 11 and in which coolant flows; circuit boards 21 provided on the radiators 23; semiconductor elements 22 mounted on the circuit boards 21; a first through third bus bars 16 through 18 that are electrically connected to the semiconductor elements 22. In a part directly under the radiators 23 in the housing 11, a part of the first through third bus bars 16 through 18 are buried.

Description

本発明は、冷却器を備えた電子部品装置に関する。   The present invention relates to an electronic component device including a cooler.

電気自動車やハイブリッド車両における走行用モータの制御や各種電気部品の制御等、大電圧、大電流を制御する半導体装置(電子部品装置)においては、駆動に伴って発熱する半導体パワー素子やダイオード等の電子部品の冷却に、冷媒を循環させて冷却を行う冷媒循環型の冷却器が必要になる(例えば、特許文献1参照)。図3に示すように、特許文献1の電力変換装置100は、下部ハウジング101と、下部ハウジング101上に配置された第2ベース102と、第2ベース102上に配置された第1ベース103と、第1ベース103上に設けられた上部ハウジング104とを備えている。各ハウジング101〜104はアルミニウム材で作られており、熱伝導性に優れている。   In semiconductor devices (electronic component devices) that control large voltages and large currents, such as control of motors for driving in electric vehicles and hybrid vehicles, and control of various electrical components, such as semiconductor power elements and diodes that generate heat when driven For cooling the electronic components, a refrigerant circulation type cooler that circulates the refrigerant to perform cooling is required (for example, see Patent Document 1). As shown in FIG. 3, the power conversion device 100 of Patent Document 1 includes a lower housing 101, a second base 102 disposed on the lower housing 101, and a first base 103 disposed on the second base 102. And an upper housing 104 provided on the first base 103. Each of the housings 101 to 104 is made of an aluminum material and has excellent thermal conductivity.

電力変換装置100には、第1ベース103と第2ベース102とによって一対の冷媒流路105が形成されるとともに、この冷媒流路105には冷媒として冷却水が流されるようになっている。一方の冷媒流路105上には、半導体モジュール107が設けられるとともに、他方の冷媒流路105上には、半導体モジュール109が設けられている。半導体モジュール107,109の絶縁基板107a,109a上には電子部品としての半導体パワー素子115が実装されている。   In the power conversion device 100, a pair of refrigerant flow paths 105 are formed by the first base 103 and the second base 102, and cooling water flows as refrigerant in the refrigerant flow paths 105. A semiconductor module 107 is provided on one refrigerant flow path 105, and a semiconductor module 109 is provided on the other refrigerant flow path 105. A semiconductor power element 115 as an electronic component is mounted on the insulating substrates 107 a and 109 a of the semiconductor modules 107 and 109.

電力変換装置100において、下部ハウジング101の下側にはコンデンサ110が設けられている。このコンデンサ110と半導体モジュール107,109は接続導体111によって電気的に接続されている。接続導体111は、板状のバスバー113を積層してなるものであり、この接続導体111は、第1ベース103の中央部及び第2ベース102の中央部に形成された孔112を介してコンデンサ110と半導体モジュール107,109とを接続している。そして、電力変換装置100においては、冷媒流路105を流れる冷却水により、半導体モジュール107,109の伝熱プレート106,108が冷却されるとともに、半導体モジュール107,109内の半導体パワー素子115が冷却されるようになっている。   In the power converter 100, a capacitor 110 is provided below the lower housing 101. The capacitor 110 and the semiconductor modules 107 and 109 are electrically connected by a connection conductor 111. The connection conductor 111 is formed by laminating plate-like bus bars 113, and the connection conductor 111 is a capacitor through a hole 112 formed in the center portion of the first base 103 and the center portion of the second base 102. 110 and the semiconductor modules 107 and 109 are connected. In the power converter 100, the heat transfer plates 106 and 108 of the semiconductor modules 107 and 109 are cooled by the cooling water flowing through the refrigerant flow path 105, and the semiconductor power element 115 in the semiconductor modules 107 and 109 is cooled. It has come to be.

特開2008−118753号公報JP 2008-118753 A

ところで、半導体モジュール107,109の駆動に伴って半導体パワー素子115が発熱するとともに、バスバー113も電流が流れることにより熱を持つ。しかし、特許文献1においては、バスバー113の冷却については何ら考慮されていない。   By the way, the semiconductor power element 115 generates heat as the semiconductor modules 107 and 109 are driven, and the bus bar 113 also has heat due to current flowing. However, in Patent Document 1, no consideration is given to the cooling of the bus bar 113.

本発明は、バスバーを冷却することができる電子部品装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an electronic component device capable of cooling a bus bar.

上記問題点を解決するために、請求項1に記載の発明は、ハウジングと、前記ハウジングに接合され該ハウジングと熱的に結合されるとともに内部に冷媒が流れる冷却器と、前記冷却器における前記ハウジングへの接合面と反対側の面に設けられた絶縁基板と、前記絶縁基板における前記冷却器への接合面と反対側の面に設けられた電子部品と、前記電子部品と電気的に接続されたバスバーと、を備え、前記ハウジング内における前記冷却器の直下の部分に前記バスバーの一部が埋設されているものである。   In order to solve the above problems, the invention according to claim 1 is a housing, a cooler joined to the housing and thermally coupled to the housing, and in which a refrigerant flows, and the cooler in the cooler. An insulating substrate provided on a surface opposite to the bonding surface to the housing, an electronic component provided on a surface of the insulating substrate opposite to the bonding surface to the cooler, and electrically connected to the electronic component And a part of the bus bar is embedded in a portion of the housing immediately below the cooler.

これによれば、ハウジング内における冷却器の直下の部分にバスバーの一部が位置するため、そのハウジングにおける冷却器の直下の部分に対し、バスバーをハウジングを介して熱的に結合することができる。よって、バスバーで発生した熱をハウジングを介して冷却器に伝導することができ、バスバーを冷却器により冷却することができる。   According to this, since a part of the bus bar is located in the portion immediately below the cooler in the housing, the bus bar can be thermally coupled to the portion directly below the cooler in the housing via the housing. . Therefore, the heat generated in the bus bar can be conducted to the cooler through the housing, and the bus bar can be cooled by the cooler.

また、前記冷却器は、第1冷却部と、前記第1冷却部と間隔を空けて配置される第2冷却部とを有し、前記ハウジングは、前記第1冷却部と前記第2冷却部との間に配設されるバスバー配線部を有し、前記バスバーの一部は前記バスバー配線部内に埋設されるとともに一端部が前記バスバー配線部から露出していてもよい。   In addition, the cooler includes a first cooling unit and a second cooling unit that is spaced from the first cooling unit, and the housing includes the first cooling unit and the second cooling unit. A bus bar wiring portion disposed between the bus bar wiring portion and a portion of the bus bar embedded in the bus bar wiring portion and one end portion exposed from the bus bar wiring portion.

これによれば、冷却器における第1冷却部と第2冷却部の間に形成された空間をバスバーの配線用に有効利用することができる。
また、前記ハウジングには、前記バスバー配線部に対し離間する位置に設けられた端子台が形成されるとともに、前記冷却器は前記バスバー配線部と前記端子台との間に収容される状態で前記ハウジングに接合されていてもよい。
According to this, the space formed between the 1st cooling part and the 2nd cooling part in a cooler can be used effectively for wiring of a bus bar.
Further, the housing is formed with a terminal block provided at a position spaced from the bus bar wiring part, and the cooler is accommodated between the bus bar wiring part and the terminal block. It may be joined to the housing.

これによれば、ハウジングにおいて、バスバー配線部と端子台との間には、凹みが形成されることとなるため、バスバー配線部と端子台の間に冷却器を収容することで電子部品装置の高さを抑えることができる。   According to this, since a recess is formed between the bus bar wiring portion and the terminal block in the housing, the cooler is accommodated between the bus bar wiring portion and the terminal block so that the electronic component device The height can be suppressed.

本発明によれば、バスバーを冷却することができる。   According to the present invention, the bus bar can be cooled.

実施形態の半導体装置を示す斜視図。The perspective view which shows the semiconductor device of embodiment. 実施形態の半導体装置を示す図1のA−A線断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 背景技術の電力変換装置を示す断面図。Sectional drawing which shows the power converter device of background art.

以下、本発明の電子部品装置を車両用走行モータの制御に使用される半導体装置に具体化した一実施形態を図1〜図2にしたがって説明する。なお、図1は、半導体装置の一部のみを具体的に示しつつ、外郭について模式的に示すとともにボンディングワイヤについては図示を省略している。   Hereinafter, an embodiment in which an electronic component device of the present invention is embodied in a semiconductor device used for control of a vehicle travel motor will be described with reference to FIGS. FIG. 1 schematically shows only a part of the semiconductor device, schematically showing the outline, and omitting the illustration of bonding wires.

図1に示すように、電子部品装置としての半導体装置10は、ハウジング11と、ハウジング11に接合される冷却器23と、冷却器23のハウジング11への接合面と反対側の面に設けられた絶縁基板としての複数の回路基板21と、各回路基板21の冷却器23への接合面と反対側の面に設けられた電子部品としての半導体素子22とを備える。さらに、半導体装置10は、半導体素子22と電気的に接続された複数の第1〜第3バスバー16〜18を備える。   As shown in FIG. 1, a semiconductor device 10 as an electronic component device is provided on a surface opposite to a housing 11, a cooler 23 joined to the housing 11, and a joint surface of the cooler 23 to the housing 11. A plurality of circuit boards 21 as insulating substrates, and a semiconductor element 22 as an electronic component provided on a surface opposite to the bonding surface of each circuit board 21 to the cooler 23. Furthermore, the semiconductor device 10 includes a plurality of first to third bus bars 16 to 18 that are electrically connected to the semiconductor element 22.

絶縁性樹脂材料製のハウジング11は、矩形板状のベース12と、ベース12の上面における該上面の長辺側の両側縁部から上方に向けて突設される端子台13と、ベース12の上面における該上面の短辺の中央付近から上方に向けて突設されるバスバー配線部14とから構成されている。   A housing 11 made of an insulating resin material includes a rectangular plate-shaped base 12, a terminal block 13 projecting upward from both side edges on the long side of the upper surface of the upper surface of the base 12, The bus bar wiring portion 14 is provided so as to project upward from near the center of the short side of the upper surface on the upper surface.

端子台13とバスバー配線部14は、ベース12と端子台13とバスバー配線部14とによって収容凹部11aを区画形成するようにベース12の上面に設けられている。ハウジング11は、ベース12上面の短辺方向に沿った断面が略E字状に形成されている。   The terminal block 13 and the bus bar wiring portion 14 are provided on the upper surface of the base 12 so that the housing recess 11 a is defined by the base 12, the terminal block 13 and the bus bar wiring portion 14. The housing 11 has a substantially E-shaped cross section along the short side direction of the upper surface of the base 12.

端子台13は、ベース12の上面における該上面の長辺側の両側縁部から上方に向けて突設される第1台部13aと、この第1台部13aの上面における該上面の長辺側の一側縁部から上方に向けて突設される第2台部13bとから構成されている。第1台部13aの上面の短辺方向(ベース12の上面の短辺方向)に沿った端子台13の断面は略L字状に形成されている。端子台13は、ベース12上面の長辺側の両側縁部全体に亘って延びるように形成されている。   The terminal block 13 includes a first base portion 13a projecting upward from both side edge portions on the long side of the upper surface of the upper surface of the base 12, and a long side of the upper surface of the upper surface of the first base portion 13a. It is comprised from the 2nd base part 13b which protrudes upwards from the one side edge part of the side. The cross section of the terminal block 13 along the short side direction (the short side direction of the upper surface of the base 12) of the upper surface of the first base portion 13a is formed in a substantially L shape. The terminal block 13 is formed so as to extend over the entire side edges on the long side of the upper surface of the base 12.

バスバー配線部14は、ベース12の上面における該上面の短辺の中央付近から上方に向けて突設される矩形板状の第1配線部14aと、この第1配線部14aの上面における該上面の短辺の中央付近から上方に向けて突設される第2配線部14bとから構成されている。そして、バスバー配線部14は、第1配線部14a上面の短辺方向(ベース12上面の短辺方向)に沿った断面が凸字状に形成されている。また、バスバー配線部14は、端子台13と平行に延びている。第1配線部14a上面の短辺の長さ及び第2配線部14b上面の短辺の長さは、バスバー配線部14の一端側より他端側の方がそれぞれ長くなっている。   The bus bar wiring portion 14 includes a rectangular plate-shaped first wiring portion 14a projecting upward from near the center of the short side of the upper surface of the upper surface of the base 12, and the upper surface of the upper surface of the first wiring portion 14a. And a second wiring portion 14b projecting upward from the vicinity of the center of the short side. And the bus-bar wiring part 14 is formed in the convex shape in the cross section along the short side direction (short side direction of the base 12 upper surface) of the 1st wiring part 14a upper surface. The bus bar wiring portion 14 extends in parallel with the terminal block 13. The length of the short side of the upper surface of the first wiring part 14a and the length of the short side of the upper surface of the second wiring part 14b are longer at one end side than at one end side of the bus bar wiring part 14 respectively.

ハウジング11には、複数の信号端子15、及び複数の第1〜第3バスバー16〜18が埋設されるとともに、複数の信号端子15及び複数の第1〜第3バスバー16〜18は、ハウジング11の一端から他端にまで並設されている。図1は、複数の信号端子15及び複数の第1〜第3バスバー16〜18のうち、ハウジング11における一端側に設けられた信号端子15及び第1〜第3バスバー16〜18のみを図示しており、図を簡略化するために、ハウジング11における一端側以外に設けられた信号端子15及び第1〜第3バスバー16〜18の図示を省略している。   A plurality of signal terminals 15 and a plurality of first to third bus bars 16 to 18 are embedded in the housing 11, and the plurality of signal terminals 15 and the plurality of first to third bus bars 16 to 18 are embedded in the housing 11. Are arranged in parallel from one end to the other end. FIG. 1 illustrates only the signal terminal 15 and the first to third bus bars 16 to 18 provided on one end side of the housing 11 among the plurality of signal terminals 15 and the plurality of first to third bus bars 16 to 18. In order to simplify the drawing, the signal terminals 15 and the first to third bus bars 16 to 18 provided on the housing 11 other than one end side are not shown.

信号端子15は、端子台13にインサート成形により一体に埋設されている。この信号端子15は、一端が端子台13における第2台部13bの上面から露出するとともに、他端が端子台13における第1台部13aの上面から露出し、その他の部位が端子台13内に埋め込まれている。   The signal terminal 15 is integrally embedded in the terminal block 13 by insert molding. One end of the signal terminal 15 is exposed from the upper surface of the second base portion 13 b in the terminal block 13, the other end is exposed from the upper surface of the first base portion 13 a in the terminal block 13, and other portions are inside the terminal block 13. Embedded in.

次に、第1〜第3バスバー16〜18について図2を用いて説明する。なお、図2は図1のA−A線断面図である。説明のため、図1では図示しなかったボンディングワイヤ30を図示している。   Next, the first to third bus bars 16 to 18 will be described with reference to FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. For the sake of explanation, the bonding wire 30 not shown in FIG. 1 is shown.

図2に示すように、第1〜第3バスバー16〜18は、それぞれ板状に形成されており、バスバー配線部14及びベース12に埋設されている。第1〜第3バスバー16〜18の一端部16a〜18aはバスバー配線部14から露出するとともに、他端部16b〜18bがベース12における長辺側の側面(以下、ベース12の長辺側側面と記載する)から露出している。   As shown in FIG. 2, the first to third bus bars 16 to 18 are each formed in a plate shape, and are embedded in the bus bar wiring portion 14 and the base 12. One end portions 16a to 18a of the first to third bus bars 16 to 18 are exposed from the bus bar wiring portion 14, and the other end portions 16b to 18b are long side surfaces of the base 12 (hereinafter referred to as long side surfaces of the base 12). Is exposed).

詳述すると、第1バスバー16は、一端部16aが第2配線部14bの上面から露出し、バスバー配線部14内を第2配線部14bの上面からベース12に向かって延び、ベース12内に到達すると、ベース12の長辺側側面のうちの一方に向かって延びる。そして、第1バスバー16の他端部16bが、ベース12の長辺側側面から露出する。   More specifically, the first bus bar 16 has one end portion 16a exposed from the upper surface of the second wiring portion 14b, and extends in the bus bar wiring portion 14 from the upper surface of the second wiring portion 14b toward the base 12, and into the base 12. When it reaches, it extends toward one of the long side surfaces of the base 12. Then, the other end 16 b of the first bus bar 16 is exposed from the long side surface of the base 12.

第2バスバー17は、一端部17aが第2配線部14bの上面から露出し、バスバー配線部14内を第1配線部14aの上面に向かって延び、第1配線部14aの上面から露出する。さらに、第2バスバー17は、第1配線部14aの上面からベース12に向かって延び、ベース12内に到達すると、ベース12の長辺側側面のうち他方(第1バスバー16の他端部16bが露出する側面とは反対側の側面)に向かって延びる。そして、他端部17bがベース12の長辺側側面から露出する。   The second bus bar 17 has an end portion 17a exposed from the upper surface of the second wiring portion 14b, extends in the bus bar wiring portion 14 toward the upper surface of the first wiring portion 14a, and is exposed from the upper surface of the first wiring portion 14a. Further, the second bus bar 17 extends from the upper surface of the first wiring portion 14 a toward the base 12, and when reaching the base 12, the other of the long side surfaces of the base 12 (the other end portion 16 b of the first bus bar 16). Side surface opposite to the exposed side surface). The other end 17 b is exposed from the long side surface of the base 12.

第3バスバー18は、一端部18aが第1配線部14aの上面から露出し、バスバー配線部14内を第1配線部14aの上面からベース12に向かって延び、ベース12内に到達するとベース12の長辺側側面に向かう方向に向きを変えて第1バスバー16と後述する第2冷却部23dとの間を第1バスバー16と平行をなすように延びる。そして、他端部18bがベース12の長辺側側面から露出する。   One end 18a of the third bus bar 18 is exposed from the upper surface of the first wiring portion 14a, extends in the bus bar wiring portion 14 from the upper surface of the first wiring portion 14a toward the base 12, and reaches the base 12 when reaching the base 12. The direction is changed in a direction toward the long side surface of the first bus bar 16 so as to extend parallel to the first bus bar 16 between the first bus bar 16 and a second cooling portion 23d described later. The other end 18 b is exposed from the long side surface of the base 12.

次に、冷却器23について説明する。図1に示すように、冷却器23は、アルミニウム、アルミニウム合金等のアルミニウム系金属により略U字状に形成されている。詳述すると、冷却器23は、ハウジング11の収容凹部11a内に収容される第1冷却部23c及び第2冷却部23dと、それら第1冷却部23cと第2冷却部23dとを連結する連結部23eとから形成されている。第1冷却部23cと第2冷却部23dとは、間隔を空けて配置され、第1冷却部23cの一端と第2冷却部23dの一端とが連結部23eによって連結されている。図2に示すように、第1冷却部23cの下面と、第2冷却部23dの下面は、ベース12(ハウジング11)の上面に接着剤によりそれぞれ接合されるとともに、冷却器23とベース12(ハウジング11)とが熱的に結合されている。したがって、第1冷却部23cと第2冷却部23dとの間には、バスバー配線部14が配設されている。   Next, the cooler 23 will be described. As shown in FIG. 1, the cooler 23 is formed in a substantially U shape from an aluminum-based metal such as aluminum or an aluminum alloy. More specifically, the cooler 23 includes a first cooling part 23c and a second cooling part 23d that are accommodated in the accommodation recess 11a of the housing 11, and a connection that connects the first cooling part 23c and the second cooling part 23d. Part 23e. The 1st cooling part 23c and the 2nd cooling part 23d are arrange | positioned at intervals, and the end of the 1st cooling part 23c and the one end of the 2nd cooling part 23d are connected by the connection part 23e. As shown in FIG. 2, the lower surface of the first cooling unit 23 c and the lower surface of the second cooling unit 23 d are joined to the upper surface of the base 12 (housing 11) by an adhesive, and the cooler 23 and the base 12 ( The housing 11) is thermally coupled. Therefore, the bus bar wiring part 14 is disposed between the first cooling part 23c and the second cooling part 23d.

また、図1に示すように、冷却器23には、冷却器23内に冷媒を供給、排出する一対のパイプ23bが連結されている。そして、一方のパイプ23bから冷却器23内(第1冷却部23c内)に冷媒が送られると、連結部23eを介して第2冷却部23d内に冷媒が流れ、その後、他方のパイプ23bから冷媒が冷却器23外へ排出される。   As shown in FIG. 1, the cooler 23 is connected to a pair of pipes 23 b that supply and discharge the refrigerant into the cooler 23. Then, when the refrigerant is sent from one pipe 23b into the cooler 23 (in the first cooling part 23c), the refrigerant flows into the second cooling part 23d via the connecting part 23e, and then from the other pipe 23b. The refrigerant is discharged out of the cooler 23.

また、図2に示すように、第1及び第3バスバー16,18の一部は、ハウジング11内における第2冷却部23dの直下の部分に埋設されるとともに、第2バスバー17の一部は、ハウジング11内における第1冷却部23cの直下の部分に埋設されている。このため、第1〜第3バスバー16〜18は、ハウジング11を介して冷却器23に熱的に結合されるとともに、第1〜第3バスバー16〜18と冷却器23とは熱伝導可能になっている。   In addition, as shown in FIG. 2, a part of the first and third bus bars 16, 18 is embedded in a portion of the housing 11 immediately below the second cooling part 23 d, and a part of the second bus bar 17 is In the housing 11, it is embedded in a portion immediately below the first cooling part 23 c. Therefore, the first to third bus bars 16 to 18 are thermally coupled to the cooler 23 via the housing 11, and the first to third bus bars 16 to 18 and the cooler 23 can conduct heat. It has become.

図1に示すように、冷却器23のハウジング11との接合面(下面)と反対側の面(上面)には、複数の絶縁基板としての回路基板21が併設されている。複数の回路基板21は、第1冷却部23c及び第2冷却部23dの上面における該上面の一端から他端にまで並設されている。なお、図1には、複数の回路基板21のうち、第1冷却部23c及び第2冷却部23dの上面における一端側に設けられた回路基板21のみを図示しており、図を簡略化するために、第1冷却部23c及び第2冷却部23dの上面における一端側以外に設けられた回路基板21の図示を省略している。回路基板21は、セラミックス基板24の両面(上面及び下面)に金属板25,26を接合して構成されている。セラミックス基板24は、例えば、窒化アルミニウム、アルミナ、窒化ケイ素などにより形成されている。また、金属板25は、配線層として機能し、例えば、アルミニウム(純アルミニウム及びアルミニウム合金)や銅などで形成されている。また、金属板26は、セラミックス基板24と冷却器23とを接合する接合層として機能し、例えば、アルミニウムや銅などで形成されている。   As shown in FIG. 1, a circuit board 21 as a plurality of insulating boards is provided on the surface (upper surface) opposite to the joint surface (lower surface) of the cooler 23 with the housing 11. The plurality of circuit boards 21 are arranged in parallel from one end to the other end of the upper surface of the first cooling unit 23c and the second cooling unit 23d. FIG. 1 illustrates only the circuit board 21 provided on one end side of the upper surfaces of the first cooling unit 23c and the second cooling unit 23d among the plurality of circuit boards 21, and simplifies the drawing. Therefore, illustration of the circuit board 21 provided on the upper surfaces of the first cooling part 23c and the second cooling part 23d other than one end side is omitted. The circuit board 21 is configured by joining metal plates 25 and 26 to both surfaces (upper surface and lower surface) of a ceramic substrate 24. The ceramic substrate 24 is made of, for example, aluminum nitride, alumina, silicon nitride, or the like. The metal plate 25 functions as a wiring layer, and is formed of, for example, aluminum (pure aluminum and aluminum alloy), copper, or the like. The metal plate 26 functions as a bonding layer for bonding the ceramic substrate 24 and the cooler 23, and is formed of, for example, aluminum or copper.

回路基板21における冷却器23への接合面と反対側の面となる金属板25には、電子部品としての半導体素子22が実装されている。半導体素子22は、金属板25に接合(半田付け)されている。半導体素子22は、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)やダイオードからなり、各回路基板21(金属板25)には複数(本実施形態では2つ)の半導体素子22が接合されている。そして、半導体素子22は、金属板25、セラミックス基板24、及び金属板26を介して冷却器23に対し熱的に結合されている。また、半導体素子22と信号端子15、半導体素子22と第1〜第3バスバー16〜18とは、ボンディングワイヤ30により電気的に接続されている。   A semiconductor element 22 as an electronic component is mounted on a metal plate 25 that is a surface opposite to the surface to be joined to the cooler 23 in the circuit board 21. The semiconductor element 22 is bonded (soldered) to the metal plate 25. The semiconductor element 22 includes an IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) or a diode, and a plurality (two in this embodiment) of semiconductor elements 22 are bonded to each circuit board 21 (metal plate 25). The semiconductor element 22 is thermally coupled to the cooler 23 via the metal plate 25, the ceramic substrate 24, and the metal plate 26. Further, the semiconductor element 22 and the signal terminal 15, and the semiconductor element 22 and the first to third bus bars 16 to 18 are electrically connected by a bonding wire 30.

上記半導体装置10は、例えば、車両に搭載されるとともに、冷却媒体循環路(図示せず)に対して一対のパイプ23bにおいて連結されて使用される。冷却媒体循環路を流れる冷媒の一部が、冷却器23の一方のパイプ23bから冷却器23内に導入されるとともに他方のパイプ23bから排出される。   For example, the semiconductor device 10 is mounted on a vehicle and used by being connected to a cooling medium circulation path (not shown) through a pair of pipes 23b. A part of the refrigerant flowing through the cooling medium circulation path is introduced into the cooler 23 from one pipe 23b of the cooler 23 and discharged from the other pipe 23b.

次に、半導体装置10の作用について説明する。
半導体素子22が駆動されると、半導体素子22から熱が発生する。半導体素子22から発生した熱は、金属板25、セラミックス基板24、及び金属板26を介して冷却器23に伝導される。冷却器23に伝導された熱は、冷却器23内を流れる冷媒との間で直接熱交換され、冷却器23内を流れる冷媒によって持ち去られる。
Next, the operation of the semiconductor device 10 will be described.
When the semiconductor element 22 is driven, heat is generated from the semiconductor element 22. Heat generated from the semiconductor element 22 is conducted to the cooler 23 through the metal plate 25, the ceramic substrate 24, and the metal plate 26. The heat conducted to the cooler 23 is directly exchanged with the refrigerant flowing in the cooler 23 and is carried away by the refrigerant flowing in the cooler 23.

また、半導体素子22が駆動されると第1〜第3バスバー16〜18も熱を持つ。第1〜第3バスバー16〜18から発生した熱は、ハウジング11のベース12を介して冷却器23に伝導される。冷却器23に伝導された熱は、冷却器23内を流れる冷媒との間で直接熱交換され、冷却器23内を流れる冷媒によって持ち去られる。   When the semiconductor element 22 is driven, the first to third bus bars 16 to 18 also have heat. The heat generated from the first to third bus bars 16 to 18 is conducted to the cooler 23 through the base 12 of the housing 11. The heat conducted to the cooler 23 is directly heat-exchanged with the refrigerant flowing in the cooler 23 and is carried away by the refrigerant flowing in the cooler 23.

したがって、この実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
(1)ハウジング11に冷却器23を接合するとともに、ハウジング11内における冷却器23の直下(ベース12)に第1〜第3バスバー16〜18の一部を埋設した。このため、第1〜第3バスバー16〜18を冷却器23により効率良く冷却することができる。したがって、第1〜第3バスバー16〜18が冷却されない場合と比べると、第1〜第3バスバー16〜18の断面積を小さくすることができるとともに、その第1〜第3バスバー16〜18が埋設されるハウジング11を小型化することができる。
Therefore, according to this embodiment, the following effects can be obtained.
(1) While the cooler 23 was joined to the housing 11, a part of the first to third bus bars 16 to 18 was embedded directly under the cooler 23 (base 12) in the housing 11. For this reason, the first to third bus bars 16 to 18 can be efficiently cooled by the cooler 23. Therefore, as compared with the case where the first to third bus bars 16 to 18 are not cooled, the cross-sectional area of the first to third bus bars 16 to 18 can be reduced, and the first to third bus bars 16 to 18 are reduced. The housing 11 to be embedded can be reduced in size.

(2)第1〜第3バスバー16〜18を、その一部が冷却器23の直下に位置するようにハウジング11(ベース12)に埋設した。第1〜第3バスバー16〜18の持つ熱は、ハウジング11を放射方向に沿って伝導されるため、第1〜第3バスバー16〜18からハウジング11に伝わる熱を、第1〜第3バスバー16〜18の直上に位置する冷却器23に効果的に伝導させることができる。   (2) The first to third bus bars 16 to 18 are embedded in the housing 11 (base 12) so that a part thereof is located directly below the cooler 23. Since the heat of the first to third bus bars 16 to 18 is conducted along the radial direction of the housing 11, the heat transmitted from the first to third bus bars 16 to 18 to the housing 11 is transferred to the first to third bus bars. It can be made to conduct effectively to the cooler 23 located immediately above 16-18.

(3)第1〜第3バスバー16〜18のうち、第1バスバー16と第3バスバー18の一部は、ハウジング11(ベース12)内で互いに平行になるように配置されている。したがって、第1バスバー16と第3バスバー18とで電流の向きが逆になっていると、発生する磁束同士が互いに弱め合うように作用することにより、インダクタンスを低減することができる。   (3) Among the first to third bus bars 16 to 18, a part of the first bus bar 16 and the third bus bar 18 are arranged to be parallel to each other in the housing 11 (base 12). Therefore, when the direction of the current is reversed between the first bus bar 16 and the third bus bar 18, the generated magnetic flux acts so as to weaken each other, thereby reducing the inductance.

(4)冷却器23は、第1冷却部23c及び第2冷却部23dと、この第1冷却部23cと第2冷却部23dとを連結する連結部23eとから略U字状に形成される。そして、ハウジング11のバスバー配線部14は、第1冷却部23cと第2冷却部23dとの間に配設されている。このため、冷却器23の第1冷却部23cと第2冷却部23dの間の空間を第1〜第3バスバー16〜18の配線用に有効利用することができる。   (4) The cooler 23 is formed in a substantially U shape from the first cooling part 23c and the second cooling part 23d, and the connecting part 23e that connects the first cooling part 23c and the second cooling part 23d. . And the bus-bar wiring part 14 of the housing 11 is arrange | positioned between the 1st cooling part 23c and the 2nd cooling part 23d. For this reason, the space between the 1st cooling part 23c and the 2nd cooling part 23d of the cooler 23 can be used effectively for wiring of the 1st-3rd bus-bars 16-18.

(5)第1〜第3バスバー16〜18が、ハウジング11内に埋設されている。ここで、例えば、第1〜第3バスバー16〜18が冷却器23の上側に設けられると、第1〜第3バスバー16〜18がワイヤボンディングの際に障害になる虞がある。本実施形態では、第1〜第3バスバー16〜18の一部がハウジング11のバスバー配線部14内に埋込まれているため、第1〜第3バスバー16〜18がワイヤボンディングの際に障害になることを無くすことができる。   (5) The first to third bus bars 16 to 18 are embedded in the housing 11. Here, for example, when the first to third bus bars 16 to 18 are provided on the upper side of the cooler 23, the first to third bus bars 16 to 18 may become an obstacle during wire bonding. In the present embodiment, since the first to third bus bars 16 to 18 are partially embedded in the bus bar wiring portion 14 of the housing 11, the first to third bus bars 16 to 18 are obstructed during wire bonding. Can be eliminated.

(6)冷却器23は、アルミニウム系金属により形成されているため、冷却器23のハウジング11に対する接合面の平面度のバラつきが大きくなっている。一方、絶縁樹脂製のハウジング11における端子台13には、信号端子15がインサート成形により一体に埋設されている。そして、このハウジング11に冷却器23が接合されるが、信号端子15は固定されているため、冷却器23におけるハウジング11への接合面の平面度に関わらず、冷却器23上の半導体素子22に対する信号端子15の変位を抑えることができる。その結果として、信号端子15と半導体素子22とをボンディングワイヤ30で接続する作業を安定して行うことができる。   (6) Since the cooler 23 is made of an aluminum-based metal, the flatness of the joint surface of the cooler 23 with respect to the housing 11 varies greatly. On the other hand, the signal terminal 15 is embedded in the terminal block 13 of the insulating resin housing 11 by insert molding. And although the cooler 23 is joined to this housing 11, since the signal terminal 15 is being fixed, the semiconductor element 22 on the cooler 23 is irrespective of the flatness of the joining surface to the housing 11 in the cooler 23. The displacement of the signal terminal 15 with respect to can be suppressed. As a result, the operation of connecting the signal terminal 15 and the semiconductor element 22 with the bonding wire 30 can be stably performed.

(7)冷却器23を略U字状に形成した。このため、例えば、冷却器23を直線状に延びるように形成した場合と比べると、冷却器23、ひいては半導体装置10の長辺方向への長さを短くすることができる。   (7) The cooler 23 was formed in a substantially U shape. For this reason, compared with the case where the cooler 23 is formed so as to extend linearly, for example, the length of the cooler 23 and, in turn, the semiconductor device 10 in the long side direction can be shortened.

(8)端子台13とバスバー配線部14は、ベース12と端子台13とバスバー配線部14とによって収容凹部11aを区画形成するようにベース12の上面に設けられており、各収容凹部11aに冷却器23の第1冷却部23cと第2冷却部23dが収容されている。したがって、例えば、収容凹部11aが形成されない場合と比べると、半導体装置10の高さを抑えることができる。   (8) The terminal block 13 and the bus bar wiring portion 14 are provided on the upper surface of the base 12 so as to define the receiving recess 11a by the base 12, the terminal block 13 and the bus bar wiring portion 14, and each of the receiving recesses 11a The 1st cooling part 23c and the 2nd cooling part 23d of the cooler 23 are accommodated. Therefore, for example, the height of the semiconductor device 10 can be suppressed as compared with the case where the housing recess 11a is not formed.

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○ ハウジング11に収容凹部11aを形成しなくてもよい。
○ 実施形態では、冷却器23を略U字状に形成したが、冷却器23を円環状や四角環状に形成し、その冷却器23によって囲まれる空間部にバスバー配線部14を配設してもよい。
In addition, you may change the said embodiment as follows.
O It is not necessary to form the accommodation recessed part 11a in the housing 11. FIG.
In the embodiment, the cooler 23 is formed in a substantially U shape, but the cooler 23 is formed in an annular shape or a square ring shape, and the bus bar wiring portion 14 is disposed in a space surrounded by the cooler 23. Also good.

○ 第1〜第3バスバー16〜18は、ハウジング11の下面からハウジング11外へ露出されていてもよい。
○ 実施形態では、ハウジング11を絶縁性樹脂製としたが第1〜第3バスバー16〜18等との絶縁性が確保できるのであればハウジング11を金属製に変更してもよい。
The first to third bus bars 16 to 18 may be exposed from the lower surface of the housing 11 to the outside of the housing 11.
In the embodiment, the housing 11 is made of insulating resin. However, the housing 11 may be changed to metal as long as insulation with the first to third bus bars 16 to 18 can be ensured.

○ 実施形態では、冷却器23を金属製としたが、冷却器23を熱伝導率の高い合成樹脂製に変更してもよい。
○ 実施形態では、バスバーとして第1〜第3バスバー16〜18の形状、配線の仕方について具体化したが、バスバーの形状、配線の仕方は実施形態の態様に限定されず任意に変更してもよい。
In the embodiment, the cooler 23 is made of metal, but the cooler 23 may be changed to a synthetic resin having high thermal conductivity.
In the embodiment, the shape and wiring method of the first to third bus bars 16 to 18 are embodied as the bus bar. However, the shape and wiring method of the bus bar are not limited to the embodiment and may be arbitrarily changed. Good.

○ 電子部品は半導体素子22に限定されず、発熱するものであれば変更してもよい。
○ 電子部品装置の用途は、ハイブリッド自動車等に搭載されるものに限らず、家電製品や産業機械に適用してもよい。
The electronic component is not limited to the semiconductor element 22 and may be changed as long as it generates heat.
○ Applications of electronic component devices are not limited to those mounted on hybrid vehicles, but may be applied to home appliances and industrial machines.

次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。
(イ)前記ハウジングは絶縁性樹脂より形成されている請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の電子部品装置。
Next, the technical idea that can be grasped from the above embodiment and other examples will be described below.
(B) The electronic component device according to any one of claims 1 to 3, wherein the housing is formed of an insulating resin.

(ロ)前記冷却器はアルミニウム系金属で形成されている請求項1〜請求項3、及び技術的思想(イ)のうちいずれか一項に記載の電子部品装置。   (B) The electronic device according to any one of claims 1 to 3, and the technical idea (a), wherein the cooler is made of an aluminum-based metal.

10…電子部品装置としての半導体装置、11…ハウジング、13…端子台、14…バスバー配線部、16〜18…第1〜第3バスバー、16a〜18a…バスバーの一端部、21…絶縁基板としての回路基板、22…電子部品としての半導体素子、23…冷却器、23c…第1冷却部、23d…第2冷却部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Semiconductor device as an electronic component apparatus, 11 ... Housing, 13 ... Terminal block, 14 ... Busbar wiring part, 16-18 ... 1st-3rd busbar, 16a-18a ... One end part of a busbar, 21 ... As an insulating substrate Circuit board, 22 ... Semiconductor element as electronic component, 23 ... Cooler, 23c ... First cooling part, 23d ... Second cooling part.

Claims (3)

ハウジングと、
前記ハウジングに接合され該ハウジングと熱的に結合されるとともに内部に冷媒が流れる冷却器と、
前記冷却器における前記ハウジングへの接合面と反対側の面に設けられた絶縁基板と、
前記絶縁基板における前記冷却器への接合面と反対側の面に設けられた電子部品と、
前記電子部品と電気的に接続されたバスバーと、を備え、
前記ハウジング内における前記冷却器の直下の部分に前記バスバーの一部が埋設されている電子部品装置。
A housing;
A cooler joined to the housing and thermally coupled to the housing and having a refrigerant flowing therein;
An insulating substrate provided on a surface opposite to the bonding surface to the housing in the cooler;
An electronic component provided on the surface opposite to the bonding surface to the cooler in the insulating substrate;
A bus bar electrically connected to the electronic component,
An electronic component device in which a part of the bus bar is embedded in a portion of the housing immediately below the cooler.
前記冷却器は、第1冷却部と、前記第1冷却部と間隔を空けて配置される第2冷却部とを有し、
前記ハウジングは、前記第1冷却部と前記第2冷却部との間に配設されるバスバー配線部を有し、前記バスバーの一部は前記バスバー配線部内に埋設されるとともに一端部が前記バスバー配線部から露出する請求項1に記載の電子部品装置。
The cooler includes a first cooling unit, and a second cooling unit that is spaced apart from the first cooling unit,
The housing has a bus bar wiring portion disposed between the first cooling portion and the second cooling portion, and a part of the bus bar is embedded in the bus bar wiring portion and one end portion is the bus bar. The electronic component device according to claim 1, wherein the electronic component device is exposed from the wiring portion.
前記ハウジングには、前記バスバー配線部に対し離間する位置に設けられた端子台が形成されるとともに、前記冷却器は前記バスバー配線部と前記端子台との間に収容される状態で前記ハウジングに接合されている請求項2に記載の電子部品装置。   The housing is formed with a terminal block provided at a position spaced from the bus bar wiring portion, and the cooler is accommodated between the bus bar wiring portion and the terminal block in the housing. The electronic component device according to claim 2, which is bonded.
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