JP2011247601A - Minute flow field imaging apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To overcome difficulty in acquiring image data due to reasons such as processing error or manufacturing error in a device or in a part and influence of refraction index unique to fluid and acquire an effective image for analysis of fluid velocity in a micro scale minute flow field and the like by a single imaging apparatus.SOLUTION: A minute flow field imaging apparatus includes an imaging apparatus (11) for imaging a particle image of visual fluid in the minute flow field (M) and a microscope (12) which is optically connected to the imaging apparatus. A plurality of first reflection surfaces (17,17a) and a plurality of second reflection surfaces (16,16a) respectively facing the first reflection surfaces and also arranged in an optical path of the microscope are arranged in between the microscope and the minute flow field. The minute flow field imaging apparatus includes an angle adjustment mechanism for adjusting the angles of the first or the second reflection surfaces and a position adjustment mechanism for adjusting the positions of the first or the second reflection surfaces. Reflectance of the particle in the minute flow field is reflected by the first and the second reflection surfaces and makes incidence on the optical path of the microscope and a plurality of images for the same particle obtained from different viewpoints are imaged on a single imaging surface of the imaging apparatus.

Description

本発明は、微小流動場撮影装置に関するものであり、より詳細には、流体を可視化して微小流動場の流体速度等を計測するための微小流動場撮影装置に関するものである。   The present invention relates to a microfluidic field imaging device, and more particularly to a microfluidic field imaging device for visualizing a fluid and measuring a fluid velocity or the like of the microfluidic field.

流体を可視化するためのトレーサ粒子をマーカとして流体の流れに混入し、流動場の流体速度等を計測する可視化計測技術が知られている。可視化計測技術として知られる直接撮影法においては、二重露光撮影又は高速度カメラ撮影や、パルスレーザ及びデジタルCCDカメラを用いたフレームまたぎ撮影等の方法によって、トレーサ粒子を短い時間間隔で連続撮影することにより、粒子の移動距離が測定される。粒子の速度は、移動距離を時間間隔で除すことによって演算される。   A visualization measurement technique is known in which tracer particles for visualizing a fluid are mixed as a marker into a fluid flow and the fluid velocity of a flow field is measured. In the direct imaging method known as visualization measurement technology, tracer particles are continuously photographed at short time intervals by methods such as double-exposure photography or high-speed camera photography or frame-crossing photography using a pulse laser and a digital CCD camera. Thus, the moving distance of the particles is measured. The velocity of the particles is calculated by dividing the distance traveled by the time interval.

PIV(Particle Image Velocimetry)技術は、流れの速度分布を調べる直接撮影法として普及している計測技法である。PIV計測技法によれば、シート光内における面内2成分の速度成分を計測することができる。   PIV (Particle Image Velocimetry) technology is a measurement technique that is widely used as a direct imaging method for examining the flow velocity distribution. According to the PIV measurement technique, two in-plane velocity components in the sheet light can be measured.

しかしながら、実際の流動場における流れの態様は複雑であり、多くの流れは、3次元空間内の速度3成分を有する。このため、実際の速度計測においては、3次元速度の情報を得る必要が生じることが多いが、3次元計測を行うには、物理空間と像座標との対応関係を求めることが必須となる。   However, the flow aspect in an actual flow field is complex, and many flows have a velocity three component in three-dimensional space. For this reason, in actual speed measurement, it is often necessary to obtain three-dimensional speed information. However, in order to perform three-dimensional measurement, it is essential to obtain the correspondence between physical space and image coordinates.

物理空間と像座標との対応関係を求めるには、少なくとも2台のカメラを用い、異なる視点より流動場の画像を撮影する必要が生じる。
例えば、ステレオPIV技術は、特開2004−286733号(特許文献1)に記載される如く、ステレオ配置した2台のカメラを使用し、レーザシート光内の速度3成分を2台のカメラによって測定し、流体速度の2次元3成分を計測する計測技法である。
In order to obtain the correspondence between the physical space and the image coordinates, it is necessary to use at least two cameras and take images of the flow field from different viewpoints.
For example, the stereo PIV technology uses two cameras arranged in stereo as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-286733 (Patent Document 1), and measures three components in the laser sheet light with two cameras. This is a measurement technique for measuring the two-dimensional three components of the fluid velocity.

他方、流体速度の3次元3成分を計測する技術として、ホログラフィックPIV技術が知られている(特開2007−298327号公報(特許文献2)、特開2005−315850号公報(特許文献3))。ステレオPIV技術が2次元計測技術であるのに対し、ホログラフィックPIV 技術は、3次元計測技術である点で優位性がある。   On the other hand, a holographic PIV technique is known as a technique for measuring a three-dimensional three component of fluid velocity (Japanese Patent Laid-Open No. 2007-298327 (Patent Document 2) and Japanese Patent Laid-Open No. 2005-315850 (Patent Document 3)). ). While the stereo PIV technology is a two-dimensional measurement technology, the holographic PIV technology has an advantage in that it is a three-dimensional measurement technology.

特許文献2に記載されたホログラフィックPIV技術においては、2台のカメラの光軸が、計測対象の粒子に対して角度間隔を隔てた位置に配置される。粒子の干渉画像が2台のカメラによって撮像される。しかし、干渉画像を取得するためには、様々なレンズを用いて光路の調整を行う必要があり、装置構成又はシステム構成が複雑化する。   In the holographic PIV technique described in Patent Document 2, the optical axes of the two cameras are arranged at positions that are spaced apart from the particles to be measured. Particle interference images are captured by two cameras. However, in order to acquire an interference image, it is necessary to adjust the optical path using various lenses, and the apparatus configuration or system configuration becomes complicated.

これに対し、特許文献3に記載されたホログラフィックPIV技術によれば、2色のレーザ光を使用することにより、計測対象の3次元位置情報を1台のカメラによって取得することができる。しかし、特許文献2のホログラフィックPIV技術と同じく、特許文献3のホログラフィックPIV技術においても、干渉画像を取得するために様々なレンズを用いて光路の調整を行う必要があるので、装置構成又はシステム構成は複雑化する。しかも、2色のレーザ光を放射するレーザ装置は非常に高価であり、計測システムを構築するためのコストが増大する。   On the other hand, according to the holographic PIV technique described in Patent Document 3, the three-dimensional position information of the measurement target can be acquired by one camera by using two colors of laser light. However, as with the holographic PIV technology of Patent Document 2, the holographic PIV technology of Patent Document 3 also requires adjustment of the optical path using various lenses in order to obtain an interference image. The system configuration is complicated. In addition, the laser device that emits laser light of two colors is very expensive, and the cost for constructing the measurement system increases.

更には、このようなホログラフィックPIV技術においては、ホログラム画像の取得及び画像データの処理に非常に多くの時間を要し、しかも、ホログラフィックで取得される画像はスペクトル画像であることから、計測によって得られた画像から直感的に移動量等を把握することができず、従って、全ての解析処理が終了するまで、計測結果の良否を判断することができないという難点がある。また、ホログラム画像はノイズに弱いという弱点があることが知られているが、ノイズのない画像を撮影することは難しく、このため、ノイズの影響によって計測結果の信頼性が損なわれることが懸念される。   Furthermore, in such holographic PIV technology, it takes a very long time to acquire the hologram image and process the image data, and the image acquired by the holographic method is a spectral image. Thus, there is a problem in that the amount of movement or the like cannot be intuitively grasped from the image obtained by the above, and therefore the quality of the measurement result cannot be judged until all the analysis processes are completed. In addition, it is known that hologram images have a weakness that they are vulnerable to noise, but it is difficult to shoot images without noise. For this reason, there is a concern that the reliability of measurement results may be impaired by the effects of noise. The

この他の3次元計測技術として、2台のカメラをステレオ配置し、或いは、3台以上のカメラを立体視配置し、3次元空間の個々のトレーサ粒子の速度3成分を測定する3次元PTV(Particle Tracking Velocimetry)技術が知られている。   As another three-dimensional measurement technique, two cameras are arranged in stereo, or three or more cameras are arranged in stereo, and a three-dimensional PTV that measures three velocity components of individual tracer particles in a three-dimensional space ( Particle Tracking Velocimetry) technology is known.

しかしながら、いずれの3次元計測システムにおいても、複数の撮像装置(カメラ)をステレオ配置し、照明装置及び各撮像装置に対して電源供給線及び制御信号線等を配線する必要があるので、システムの装置構成が複雑化するばかりでなく、撮影装置の設置スペース及び配線スペース等の確保のためにシステムの全体構成が大型化する傾向がある。しかし、マイクロスケールの微小流動場を計測する場合、計測対象が微小であるので、十分な機器設置スペース及び配線スペースや、十分な周辺機器配置空間等を確保し難い事情がある。   However, in any three-dimensional measurement system, it is necessary to arrange a plurality of imaging devices (cameras) in stereo, and to connect a power supply line and a control signal line to the illumination device and each imaging device. Not only does the apparatus configuration become complicated, but the overall configuration of the system tends to increase in size in order to secure installation space and wiring space for the photographing apparatus. However, when measuring a micro-scale microfluidic field, there is a circumstance where it is difficult to ensure a sufficient device installation space and wiring space, a sufficient peripheral device placement space, and the like because the measurement target is very small.

また、ホログラフィックPIV(特許文献2及び3)には、システムの高額化、装置の複雑化、データ取得及びデータ処理の遅延、測定結果認識の遅延、ノイズの影響等の問題が前述の如く内在する。   In addition, the holographic PIV (Patent Documents 2 and 3) has problems such as an expensive system, complicated apparatus, delay in data acquisition and data processing, delay in recognition of measurement results, and influence of noise as described above. To do.

このため、本発明者等は、単一の撮像装置(カメラ)、ミラー及びプリズムによって微小流動場の流体速度等を計測する微小流動場撮影装置の研究・開発を継続的に行ってきた。このような構成の微小流動場撮影装置に関し、2つのミラー及びプリズムを用いて粒子の画像を複数の視点から1台の撮像装置によって取得する技術が、本発明者等の学術論文 「Development of Stereo Micro PTV and Its Application to a Rotating Disk Flow(8th International Symposium On Particle Image Velocimetry-PIV09)」(非特許文献1)において提案されている。   For this reason, the present inventors have continuously researched and developed a microfluidic field imaging device that measures the fluid velocity of the microfluidic field with a single imaging device (camera), mirror, and prism. With regard to a microfluidic field imaging device having such a configuration, a technique for acquiring a particle image from a plurality of viewpoints by using a single imaging device using two mirrors and a prism is the academic paper “Development of Stereo” by the present inventors. Micro PTV and Its Application to a Rotating Disk Flow (8th International Symposium On Particle Image Velocimetry-PIV09) "(Non-Patent Document 1).

特開2004−286733JP 2004-286733 A 特開2007−298327JP2007-298327A 特開2005−315850JP 2005-315850 A 学術論文 「Development of Stereo Micro PTV and Its Application to a Rotating Disk Flow(8th International Symposium On Particle Image Velocimetry-PIV09)」(H. J. Lee、S. Mitorida及び K. Nishino、 2009年8月)Academic Paper “Development of Stereo Micro PTV and Its Application to a Rotating Disk Flow (8th International Symposium On Particle Image Velocimetry-PIV09)” (H. J. Lee, S. Mitorida and K. Nishino, August 2009)

上記非特許文献1に記載された技術は、微小流動場の流体速度等を計測するための粒子画像データを単一の撮像装置(カメラ)によって取得するという所期の研究目的を達成したが、計測領域を一辺約500μm程度の極めて微小な寸法に設定して顕微鏡の拡大倍率を増大すると、装置又は部品の加工誤差又は製作誤差の影響が顕在化し、速度解析等のために有効な画像データを取得し難いという問題が生じた。   Although the technique described in Non-Patent Document 1 has achieved the intended research purpose of acquiring particle image data for measuring the fluid velocity of a microfluidic field by a single imaging device (camera), Increasing the magnification of the microscope by setting the measurement area to a very small dimension of about 500 μm on a side increases the effects of processing errors or manufacturing errors on the device or parts, and provides effective image data for speed analysis etc. There was a problem that it was difficult to obtain.

このような問題は、理論的には、加工精度及び製作精度の向上により回避し得るとも考えられる。しかし、現実には、加工精度及び製作精度をいかに向上し得たとしても、このような問題を解消するに至らないことが判明した。これは、計測領域が極めて微小寸法の領域であることに起因すると考えられる。   It is considered that such a problem can be avoided theoretically by improving processing accuracy and manufacturing accuracy. However, in reality, it has been found that no matter how much the processing accuracy and the manufacturing accuracy can be improved, such a problem cannot be solved. This is considered to be due to the fact that the measurement area is an extremely small area.

また、マイクロスケールの微小流動場を測定する場合、流体固有の屈折率の影響によっても同様の問題が生じ得ることが更に判明した。   Further, it has been further found that when a micro-scale microfluidic field is measured, the same problem can occur due to the influence of the refractive index inherent to the fluid.

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、微小流動場の流体速度等を計測するための微小流動場撮影装置において、装置又は部品の加工誤差又は製作誤差や、流体固有の屈折率の影響等に起因する画像データ取得の困難性を解消し、マイクロスケールの微小流動場の流体速度等を解析するために有効な画像データを単一の撮像装置によって取得することができる微小流動場撮影装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a processing error of a device or a component in a microfluidic field imaging device for measuring a fluid velocity of a microfluidic field or the like. A single imaging device that eliminates the difficulty of acquiring image data due to manufacturing errors and the influence of the refractive index inherent to the fluid, and analyzes the fluid velocity of a micro-scale microfluidic field. It is an object to provide a microfluidic field imaging device that can be acquired by:

本発明は、上記目的を達成すべく、微小流動場の可視化流体の粒子像を撮像するための撮像装置と、該撮像装置に光学的に連結した顕微鏡と、該顕微鏡と前記微小流動場との間に配置された第1反射面及び第2反射面とを備え、前記可視化流体の流動速度を計測するための画像データを前記撮像装置によって取得する微小流動場撮影装置において、
複数の前記第1反射面と、該第1反射面の各々に対面し且つ前記顕微鏡の光路に配置された複数の前記第2反射面と、前記第1又は第2反射面の角度を調整する角度調整機構と、前記第1又は第2反射面の位置を調整する位置調整機構とを有し、
前記角度調整機構及び前記位置調整機構によって前記反射面の角度及び位置を調整し、前記微小流動場の同一粒子の反射光を前記第1及び第2反射面によって反射して前記顕微鏡内の光路に入射せしめ、異なる視点から得られた同一粒子の複数の像を前記撮像装置の単一の結像面に結像するようにしたことを特徴とする微小流動場撮影装置を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides an imaging device for capturing a particle image of a visualization fluid in a microfluidic field, a microscope optically coupled to the imaging device, and the microscope and the microfluidic field. In a microfluidic field imaging device that includes a first reflecting surface and a second reflecting surface disposed between, and acquires image data for measuring a flow velocity of the visualization fluid by the imaging device,
The angles of the plurality of first reflection surfaces, the plurality of second reflection surfaces facing each of the first reflection surfaces and arranged in the optical path of the microscope, and the first or second reflection surface are adjusted. An angle adjustment mechanism, and a position adjustment mechanism for adjusting the position of the first or second reflecting surface;
The angle and position of the reflecting surface are adjusted by the angle adjusting mechanism and the position adjusting mechanism, and the reflected light of the same particle in the microfluidic field is reflected by the first and second reflecting surfaces to enter the optical path in the microscope. Provided is a microfluidic field imaging device characterized in that a plurality of images of the same particle obtained from different viewpoints are formed on a single imaging surface of the imaging device.

本発明によれば、微小流動場撮影装置は、第1又は第2反射面の角度を調整する角度調整機構と、第1又は第2反射面の位置を調整する位置調整機構とを備えており、異なる視点より得られた同一粒子の複数の粒子像が撮像装置の結像面に結像するように粒子の反射光の光路を矯正することができる。このような光路矯正手段を備えた微小流動場撮影装置によれば、顕微鏡の拡大倍率を増大して計測領域を微小化した場合であっても、同一粒子の複数の粒子像を単一の撮像装置によって確実に取得することができる。   According to the present invention, the microfluidic field imaging device includes an angle adjustment mechanism that adjusts the angle of the first or second reflection surface, and a position adjustment mechanism that adjusts the position of the first or second reflection surface. The optical path of the reflected light of the particles can be corrected so that a plurality of particle images of the same particle obtained from different viewpoints are formed on the imaging surface of the imaging device. According to the microfluidic field imaging device provided with such an optical path correction means, even when the magnification of the microscope is increased and the measurement area is miniaturized, a plurality of particle images of the same particle are captured as a single image. It can be reliably acquired by the device.

本発明の微小流動場撮影装置によれば、装置又は部品の加工誤差又は製作誤差や、流体固有の屈折率の影響等に起因する画像データ取得の困難性を解消し、マイクロスケールの微小流動場における流体速度の3次元3成分を解析するために有効な画像データを単一の撮像装置によって取得し、微小流動場の流体速度を計測することができる。また、本発明を3次元PTV計測システムのための微小流動場撮影装置に適用することにより、微小流動場における流体速度の3次元3成分のみならず、粒子位置及び粒子サイズ測定等、即ち、マイクロ物体の形状計測、マイクロ物体の変位計測及びマイクロ物体の変形計測のために有効な画像データを単一の撮像装置によって取得することが可能となる。   According to the microfluidic field imaging device of the present invention, it is possible to eliminate the difficulty in acquiring image data due to the processing error or manufacturing error of the device or parts, the influence of the refractive index inherent to the fluid, and the like. It is possible to acquire effective image data for analyzing the three-dimensional three-component of the fluid velocity in the single imaging device and measure the fluid velocity of the microfluidic field. Further, by applying the present invention to a microfluidic field imaging device for a three-dimensional PTV measurement system, not only the three-dimensional three components of the fluid velocity in the microfluidic field but also the particle position and particle size measurement, ie, micro Image data effective for measuring the shape of an object, measuring the displacement of a micro object, and measuring the deformation of a micro object can be acquired by a single imaging device.

図1は、本発明に係る微小流動場撮影装置を備えた3次元計測システムの構成を概略的に示すシステム構成図である。FIG. 1 is a system configuration diagram schematically showing a configuration of a three-dimensional measurement system including a microfluidic field imaging device according to the present invention. 図2は、微小流動場撮影装置の構成を概念的に示す概略縦断面図であるFIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view conceptually showing the structure of the microfluidic field imaging device. 図3は、微小流動場撮影装置の構成を概念的に示す概略縦断面図であり、図2と直交する断面が示されている。FIG. 3 is a schematic longitudinal sectional view conceptually showing the configuration of the microfluidic field imaging device, and shows a cross section orthogonal to FIG. 図4は、プリズム位置調整機構及びミラー角度調整機構を備えたステレオ光学アタッチメントの構造を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the structure of a stereo optical attachment provided with a prism position adjusting mechanism and a mirror angle adjusting mechanism. 図5は、図4に示すステレオ光学アタッチメントの正面図である。FIG. 5 is a front view of the stereo optical attachment shown in FIG. 図6は、図4に示すステレオ光学アタッチメントの右側面図である。FIG. 6 is a right side view of the stereo optical attachment shown in FIG. 図7は、図4に示すステレオ光学アタッチメントの左側面図である。7 is a left side view of the stereo optical attachment shown in FIG. 図8は、図4のI−I線における断面図である。8 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 図9は、図8のII−II線における断面図である。9 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 図10は、図4のIII−III線における断面図である。10 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 図11は、ミラー位置調整用螺子の緊締構造を示す縦断面図である。FIG. 11 is a longitudinal sectional view showing a tightening structure of the mirror position adjusting screw. 図12は、プリズム及びミラーの調整方向を示す縦断面図である。FIG. 12 is a longitudinal sectional view showing the adjustment direction of the prism and mirror. 図13は、プリズム及びミラーの調整方向を示す横断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view showing the adjustment direction of the prism and mirror. 図14は、微小流動場撮影装置の変形例を概念的に示す概略縦断面図である。FIG. 14 is a schematic longitudinal sectional view conceptually showing a modification of the microfluidic field imaging device.

本発明の好適な実施形態によれば、上記角度調整機構は第1反射面の角度を調整し、上記位置調整機構は第2反射面の位置を調整する。   According to a preferred embodiment of the present invention, the angle adjusting mechanism adjusts the angle of the first reflecting surface, and the position adjusting mechanism adjusts the position of the second reflecting surface.

好ましくは、第1反射面の位置を調整する第2の位置調整機構が更に設けられる。更に好ましくは、角度調整機構は、顕微鏡の光軸に対して垂直な軸線を中心として第1反射面の角度を調整し、位置調整機構は、顕微鏡の光軸と平行な方向に第2反射面の位置を調整するとともに、顕微鏡の光軸に対して垂直な面内における第2反射面の位置を調整する。   Preferably, a second position adjusting mechanism for adjusting the position of the first reflecting surface is further provided. More preferably, the angle adjusting mechanism adjusts the angle of the first reflecting surface about an axis perpendicular to the optical axis of the microscope, and the position adjusting mechanism is configured to adjust the second reflecting surface in a direction parallel to the optical axis of the microscope. And the position of the second reflecting surface in a plane perpendicular to the optical axis of the microscope is adjusted.

本発明の更に好適な実施形態によれば、上記第1反射面は、角度調整機構によって角度調整可能に支持されたミラーの反射面からなり、上記第2反射面は、位置調整機構によって位置調整可能に支持され且つ顕微鏡の光路に配置されたプリズム又はミラーの反射面からなる。   According to a further preferred embodiment of the present invention, the first reflecting surface is composed of a reflecting surface of a mirror supported so as to be adjustable in angle by an angle adjusting mechanism, and the second reflecting surface is adjusted in position by a position adjusting mechanism. It consists of a reflective surface of a prism or mirror that is supported and arranged in the optical path of the microscope.

好ましくは、顕微鏡の光軸上に配置されたプリズムによって複数の第2反射面が形成されるとともに、顕微鏡の光軸に対して垂直な方向にプリズムから離間した複数のミラーによって第1反射面が形成される。粒子から反射した反射光の光路は、プリズムとミラーとの間に形成される。   Preferably, a plurality of second reflecting surfaces are formed by a prism disposed on the optical axis of the microscope, and the first reflecting surface is formed by a plurality of mirrors spaced from the prism in a direction perpendicular to the optical axis of the microscope. It is formed. The optical path of the reflected light reflected from the particles is formed between the prism and the mirror.

所望により、光源の照明光を微小流動場に向かって反射する第3反射面が、第2反射面の支持体に取付けられる。変形例として、微小流動場のための照明光を顕微鏡の同軸落射照明によって微小流動場に照射しても良い。   If desired, a third reflecting surface that reflects the illumination light of the light source toward the microfluidic field is attached to the support of the second reflecting surface. As a modification, illumination light for a microfluidic field may be applied to the microfluidic field by coaxial epi-illumination of a microscope.

本発明の好ましい実施形態において、角度調整機構及び/又は位置調整機構は、反射面の支持体を弾力的に保持する弾性体と、支持体を相対変位可能に支承する支承面と、支持体を支承面に対して相対変位せしめる調整具とを有する。弾性体は支持体を支承面に対して弾力的に付勢し、支持体は支承面に面接触する。調整具は、支持体を押圧して支持体を変位させ、支承面は、支持体の変位の方向を規制する。   In a preferred embodiment of the present invention, the angle adjusting mechanism and / or the position adjusting mechanism includes an elastic body that elastically holds the support of the reflecting surface, a support surface that supports the support so as to be relatively displaceable, and a support. And an adjusting tool for relative displacement with respect to the bearing surface. The elastic body elastically urges the support body against the bearing surface, and the support body makes surface contact with the bearing surface. The adjustment tool presses the support to displace the support, and the bearing surface regulates the direction of displacement of the support.

好ましくは、上記反射面と、反射面の支持体と、支持体を支持する基盤とを備えた光学的アタッチメントが顕微鏡と微小流動場との間に配置される。基盤の位置は、撮像装置及び顕微鏡に対して固定される。   Preferably, an optical attachment including the reflection surface, a support for the reflection surface, and a base for supporting the support is disposed between the microscope and the microfluidic field. The position of the base is fixed with respect to the imaging device and the microscope.

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施例について詳細に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明に係る微小流動場撮影装置を備えた3次元計測システムの構成を概略的に示すシステム構成図である。図2及び図3は、微小流動場撮影装置の構成を概念的に示す概略断面図である。   FIG. 1 is a system configuration diagram schematically showing a configuration of a three-dimensional measurement system including a microfluidic field imaging device according to the present invention. 2 and 3 are schematic cross-sectional views conceptually showing the structure of the microfluidic field imaging device.

図1に示す3次元計測システムは、微小流動場撮影装置1、PC(パーソナルコンピュータ)2、ディレイジェネレータ3、ファンクションジェネレータ4、レーザ装置5及びファイバースコープ6を有する。微小流動場撮影装置1は、撮像装置11、顕微鏡12及びステレオ光学アタッチメント10から構成される。   The three-dimensional measurement system shown in FIG. 1 includes a microfluidic field imaging device 1, a PC (personal computer) 2, a delay generator 3, a function generator 4, a laser device 5, and a fiber scope 6. The microfluidic field imaging device 1 includes an imaging device 11, a microscope 12, and a stereo optical attachment 10.

撮像装置11は、制御信号線(二点鎖線で示す)によってPC2に接続される。PC2は、制御信号線によってディレイジェネレータ3に接続される。ディレイジェネレータ3は、制御信号線によってファンクションジェネレータ4、レーザ装置5及び顕微鏡12に接続される。レーザ装置5には、ファイバースコープ6が接続され、ファイバースコープ6の出射部7は、計測領域Mの流体に対して撮影用の照明光を供給する。計測領域Mは、マイクロスケールの流動場であり、一辺が1mm以下、例えば、約500μm程度の正立方体領域である。   The imaging device 11 is connected to the PC 2 by a control signal line (indicated by a two-dot chain line). The PC 2 is connected to the delay generator 3 by a control signal line. The delay generator 3 is connected to the function generator 4, the laser device 5, and the microscope 12 by a control signal line. A fiberscope 6 is connected to the laser device 5, and the emission unit 7 of the fiberscope 6 supplies illumination light for photographing to the fluid in the measurement region M. The measurement region M is a microscale flow field, and is a regular cubic region having a side of 1 mm or less, for example, about 500 μm.

計測領域Mは、ステレオ光学アタッチメント10の直下に位置する。計測対象の流体が計測領域Mを流動する。流体に含まれたトレーサ粒子P(図2及び図3)の反射光(矢印で示す)が、ステレオ光学アタッチメント10を介して顕微鏡12の対物レンズ13に入射する。顕微鏡12の対物レンズ13として、例えば、ミツトヨ製対物レンズ「M PIAN APO SL 20×, NA0.28」を好適に使用し得る。   The measurement area M is located immediately below the stereo optical attachment 10. The fluid to be measured flows through the measurement region M. Reflected light (indicated by arrows) of the tracer particles P (FIGS. 2 and 3) contained in the fluid is incident on the objective lens 13 of the microscope 12 via the stereo optical attachment 10. As the objective lens 13 of the microscope 12, for example, an objective lens “M PIAN APO SL 20 ×, NA 0.28” manufactured by Mitutoyo can be suitably used.

顕微鏡12の光軸は鉛直方向に設定されており、顕微鏡12の上端部は撮像装置11に接続される。撮像装置11は、画像データを取得可能なデジタルCCDカメラからなる。顕微鏡12によって拡大された粒子画像は、撮像装置11の結像面(図示せず)に結像する。   The optical axis of the microscope 12 is set in the vertical direction, and the upper end of the microscope 12 is connected to the imaging device 11. The imaging device 11 is composed of a digital CCD camera capable of acquiring image data. The particle image magnified by the microscope 12 is imaged on an imaging surface (not shown) of the imaging device 11.

流体の運動は、トレーサ粒子Pの運動として可視化され、撮像装置11によって撮影される。PC2は、撮像装置11の画像を保存するとともに、粒子画像処理アルゴリズムを用いてトレーサ粒子Pの移動速度等、即ち、流体の流速等を演算する。   The movement of the fluid is visualized as the movement of the tracer particle P and is photographed by the imaging device 11. The PC 2 stores the image of the imaging device 11 and calculates the moving speed of the tracer particles P, that is, the flow velocity of the fluid using a particle image processing algorithm.

撮像装置11として、例えば、以下の高解像度デジタルCCDカメラを好適に使用し得る。
・製品名:JAI社製「jAi CV-M2CL」
・有効画素数:1600(h)×1200(v)
・CCD素子サイズ:11.8mm(h)×8.9mm(v)
・ビット数:10bit
・撮影速度:30fps/dual channel
For example, the following high-resolution digital CCD camera can be suitably used as the imaging device 11.
・ Product name: JAI "jAi CV-M2CL"
・ Number of effective pixels: 1600 (h) x 1200 (v)
・ CCD element size: 11.8mm (h) x 8.9mm (v)
・ Number of bits: 10bit
・ Shooting speed: 30fps / dual channel

レーザ装置5として、ダブルパルスNd:YAGレーザ(ネオジウム・ヤグレーザ)等が使用される。例えば、以下のNd:YAGレーザをレーザ装置5として好適に使用し得る。
・製品名:Continuum社製Surelite Q-switched Nd:YAG Laser
・最高発光周波数:15Hz
・出力:170mJ/pulse@532nm
・パルス幅:4〜6ns
As the laser device 5, a double pulse Nd: YAG laser (neodymium / yag laser) or the like is used. For example, the following Nd: YAG laser can be suitably used as the laser device 5.
-Product name: Surelite Q-switched Nd: YAG Laser manufactured by Continuum
・ Maximum emission frequency: 15Hz
・ Output: 170mJ / pulse @ 532nm
・ Pulse width: 4 to 6 ns

所望により、顕微鏡12は、レーザ光をカットし且つ螢光を通過させるレーザ光フィルタ14を備える。レーザ光フィルタとして、例えば、ルーゲート・ノッチフィルタを好適に使用し得る。ルーゲート・ノッチフィルタは519nm〜545nmの光をカットし、95%以上の蛍光通過率を有する。   If desired, the microscope 12 includes a laser light filter 14 that cuts the laser light and passes the fluorescent light. For example, a rugate / notch filter can be suitably used as the laser light filter. The Rugate notch filter cuts light of 519 nm to 545 nm and has a fluorescence transmission rate of 95% or more.

ディレイジェネレータ3のトリガ信号を受信したレーザ装置5は、ダブルパルスレーザを照明光としてファイバースコープ6に供給する。照明光は、ファイバースコープ6の光ファイバに導かれ、出射部7から計測領域Mの流体に照射される。   The laser device 5 that has received the trigger signal of the delay generator 3 supplies a double pulse laser to the fiberscope 6 as illumination light. The illumination light is guided to the optical fiber of the fiberscope 6 and irradiated from the emitting unit 7 to the fluid in the measurement region M.

PC2は、撮像装置11によって撮影された画像の画像データを読み込んで記憶し且つ画像データを保存するとともに、ディレイジェネレータ3の微少時間間隔の長さを調整する。ディレイジェネレータ3は、レーザ装置5のパルス間隔を制御する。ディレイジェネレータ3としてフローテック・リサーチ社製「VSD1000」、出力チャネル数:7chを好適に使用し得る。   The PC 2 reads and stores the image data of the image taken by the imaging device 11 and saves the image data, and adjusts the length of the minute time interval of the delay generator 3. The delay generator 3 controls the pulse interval of the laser device 5. As the delay generator 3, "VSD1000" manufactured by Flotech Research, and the number of output channels: 7ch can be suitably used.

ファンクションジェネレータ4は、レーザ装置5の出力周波数を任意の周波数に制御する。ファンクションジェネレータ4として、例えば、Tektronix社製FG3021Bを好適に使用し得る。   The function generator 4 controls the output frequency of the laser device 5 to an arbitrary frequency. As the function generator 4, for example, FG3021B manufactured by Tektronix can be suitably used.

図2及び図3には、ステレオ光学アタッチメント10の構成が概略的に示されている。   2 and 3 schematically show the configuration of the stereo optical attachment 10.

ステレオ光学アタッチメント10は、対物レンズ13の直下に位置するプリズム16と、プリズム16の両側に配置された一対のミラー17と、プリズム16を支持する支持部材18と、支持部材18の下面に取付けられたプリズム19とを有する。   The stereo optical attachment 10 is attached to a prism 16 positioned immediately below the objective lens 13, a pair of mirrors 17 disposed on both sides of the prism 16, a support member 18 that supports the prism 16, and a lower surface of the support member 18. And a prism 19.

照明光の光路が図3に矢印で示されている。ファイバースコープ6の出射部7は照明光を水平方向に出射する。プリズム19の反射面19aは、照明光を鉛直下方に反射し、計測領域Mに向かって光の進行方向を変換する。流体に混入したトレーサ粒子Pは、計測領域Mに入射した照明光を散乱光として反射する。   The optical path of the illumination light is indicated by an arrow in FIG. The emission unit 7 of the fiberscope 6 emits illumination light in the horizontal direction. The reflecting surface 19 a of the prism 19 reflects the illumination light vertically downward and changes the traveling direction of the light toward the measurement region M. The tracer particles P mixed in the fluid reflect the illumination light incident on the measurement region M as scattered light.

トレーサ粒子Pと対物レンズ17との間における反射光の光路が図2に矢印で示されている。トレーサ粒子Pの反射光は散乱光であるが、図2には、対物レンズ13に入射する反射光の光路のみが矢印で示されている。   The optical path of the reflected light between the tracer particle P and the objective lens 17 is indicated by an arrow in FIG. Although the reflected light of the tracer particles P is scattered light, only the optical path of the reflected light incident on the objective lens 13 is indicated by arrows in FIG.

左右のミラー17の反射面17aはトレーサ粒子Pの反射光をプリズム16の反射面に向かって水平方向に反射し、光の進行方向を変換する。プリズム16の左右の反射面16aは、左右のミラー17が反射した反射光を鉛直上方に反射し、対物レンズ13に向かって光の進行方向を変換する。プリズム16の左右の反射面16aが反射した反射光は、実質的に平行に対物レンズ13に入射し、顕微鏡12によって拡大され、撮像装置11の結像面(図示せず)に結像する。   The reflecting surfaces 17a of the left and right mirrors 17 reflect the reflected light of the tracer particles P in the horizontal direction toward the reflecting surface of the prism 16, and change the traveling direction of the light. The left and right reflecting surfaces 16 a of the prism 16 reflect the reflected light reflected by the left and right mirrors 17 vertically upward, and change the traveling direction of the light toward the objective lens 13. The reflected light reflected by the left and right reflecting surfaces 16a of the prism 16 enters the objective lens 13 substantially in parallel, is magnified by the microscope 12, and forms an image on an imaging surface (not shown) of the imaging device 11.

即ち、左右一対の光路が左右一対の反射面17a、16aによって形成されるので、トレーサ粒子Pの反射光(散乱光)は、異なる視点より得られたトレーサ粒子Pの反射光として顕微鏡12に入射する。この結果、撮像装置11の結像面には、異なる視点から撮像した単一トレーサ粒子Pの2つの像が結像する。かくして、上記構成の微小流動場撮影装置1によれば、異なる視点より撮像した単一トレーサ粒子Pの2つの像を含む1枚の画像データを単一の撮像装置11によって取得することができる。   That is, since the pair of left and right optical paths are formed by the pair of left and right reflecting surfaces 17a and 16a, the reflected light (scattered light) of the tracer particle P is incident on the microscope 12 as reflected light of the tracer particle P obtained from different viewpoints. To do. As a result, two images of the single tracer particle P imaged from different viewpoints are formed on the imaging surface of the imaging device 11. Thus, according to the microfluidic field imaging device 1 configured as described above, one image data including two images of the single tracer particle P captured from different viewpoints can be acquired by the single imaging device 11.

図4、図5、図6及び図7は、ステレオ光学アタッチメント10の構造を示す平面図、正面図、右側面図及び左側面図である。図8及び図9は、図4のI−I線及び図8のII−II線における断面図であり、図10は、図4のIII−III線における断面図である。   4, 5, 6, and 7 are a plan view, a front view, a right side view, and a left side view showing the structure of the stereo optical attachment 10. 8 and 9 are cross-sectional views taken along the line II of FIG. 4 and the line II-II of FIG. 8, and FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG.

ステレオ光学アタッチメント10は、基盤20、プリズム保持機構30及びミラー保持機構50を備える。プリズム保持機構30は、プリズム16を位置調節可能に支持する位置調整機構を構成する。ミラー保持機構50は、プリズム16の両側に対をなして配置され、各ミラー17を角度調節可能に夫々支持しており、角度調整機構を構成する。   The stereo optical attachment 10 includes a base 20, a prism holding mechanism 30, and a mirror holding mechanism 50. The prism holding mechanism 30 constitutes a position adjusting mechanism that supports the prism 16 so that the position of the prism 16 can be adjusted. The mirror holding mechanisms 50 are arranged in pairs on both sides of the prism 16 and support the respective mirrors 17 so that the angles can be adjusted, thereby constituting an angle adjusting mechanism.

基盤20は、微小流動場撮影装置1の所定位置に水平に配置される。基盤20の位置は、微小流動場撮影装置1のフレーム(図示せず)等によって固定される。なお、図4〜図10には、基盤20の幅方向、奥行方向及び高さ方向がX方向、Y方向及びZ方向として示されている。   The base 20 is horizontally disposed at a predetermined position of the microfluidic field imaging device 1. The position of the base 20 is fixed by a frame (not shown) of the microfluidic field imaging device 1 or the like. 4 to 10, the width direction, the depth direction, and the height direction of the base 20 are shown as an X direction, a Y direction, and a Z direction.

プリズム保持機構30は、固定螺子21によって基盤20の上面に固定された支柱31と、支柱31によって上下変位可能に支持されたキャリヤ32とを備える。図8に示す如く、支柱31は、キャリヤ32のガイド部33を上下方向(鉛直方向)に案内するガイド溝34を有する。垂直な調整螺子35が支柱31の頂壁部分36を貫通してガイド部33の上端面に当接する。スプリング保持具37が支柱31の下部に形成され、圧縮コイルスプリング38が、ガイド部33の下端面とスプリング保持具37との間に介装される。調整螺子35の締付け力は、スプリング38の弾性反発力に抗してガイド部33を下方に押圧する。ガイド部33、ガイド溝34、調整螺子35及びスプリング38は、プリズム16の上下位置調整機構を構成し、調整螺子33を締付けてガイド部33を下方に変位させることにより、プリズム16を全体的に鉛直下方(Z方向下方)に変位させることができ、調整螺子33を緩めて保持具37を上方に変位させることにより、プリズム16を全体的に鉛直上方(Z方向上方)に変位させることができる。   The prism holding mechanism 30 includes a support 31 fixed to the upper surface of the base 20 by a fixing screw 21 and a carrier 32 supported by the support 31 so as to be vertically displaced. As shown in FIG. 8, the column 31 has a guide groove 34 that guides the guide portion 33 of the carrier 32 in the vertical direction (vertical direction). A vertical adjusting screw 35 passes through the top wall portion 36 of the column 31 and contacts the upper end surface of the guide portion 33. A spring holder 37 is formed at the lower portion of the column 31, and a compression coil spring 38 is interposed between the lower end surface of the guide portion 33 and the spring holder 37. The tightening force of the adjusting screw 35 presses the guide portion 33 downward against the elastic repulsive force of the spring 38. The guide portion 33, the guide groove 34, the adjustment screw 35, and the spring 38 constitute a vertical position adjustment mechanism of the prism 16, and the prism 16 is entirely moved by tightening the adjustment screw 33 and displacing the guide portion 33 downward. The prism 16 can be displaced vertically upward (upward in the Z direction) by loosening the adjusting screw 33 and displacing the holder 37 upward. .

キャリヤ32は、水平位置調整機構40を介して支持部材18を支持する。水平位置調整機構40は、円形断面の水平軸部41と、圧縮状態の皿ばね形スプリング42と、水平軸部41の基端部に一体化した拡大基部43と、支持部材18との連接部に形成された円弧状支承面44とを有する。水平軸部41は、キャリヤ32の水平貫通孔45を貫通する。水平軸部41の先端部分に形成された螺子部46が、支持部材18の螺子孔18aに螺入する。水平軸部41と支持部材18とは、螺子部46及び螺子孔18aの締結によって一体的に連結される。支持部材18には、円弧状支承面44に面接触する円弧状支承面47が形成される。支承面44、47は、実質的に同じ鉛直方向(Z方向)の曲率中心軸線を有し、支持部材18は、この曲率中心軸線を中心として水平変位することができる。   The carrier 32 supports the support member 18 via the horizontal position adjustment mechanism 40. The horizontal position adjustment mechanism 40 includes a horizontal shaft portion 41 having a circular cross section, a Belleville spring 42 in a compressed state, an enlarged base portion 43 integrated with a base end portion of the horizontal shaft portion 41, and a connecting portion of the support member 18. And an arcuate bearing surface 44 formed on the surface. The horizontal shaft portion 41 passes through the horizontal through hole 45 of the carrier 32. A screw part 46 formed at the tip of the horizontal shaft part 41 is screwed into the screw hole 18 a of the support member 18. The horizontal shaft portion 41 and the support member 18 are integrally connected by fastening the screw portion 46 and the screw hole 18a. The support member 18 is formed with an arcuate bearing surface 47 that comes into surface contact with the arcuate bearing surface 44. The bearing surfaces 44 and 47 have substantially the same vertical direction (Z direction) curvature center axis, and the support member 18 can be horizontally displaced around the curvature center axis.

図9に示す如く、水平な螺子孔48が水平軸部41の両側に対称に形成される。螺子孔48は、キャリヤ32の壁体をX方向に貫通する。調整螺子49が各螺子孔48に螺入し、調整螺子49の先端部が軸部41に当接する。片側の調整螺子49を締付け且つ反対側の調整螺子49を解放して軸部41を変位させると、軸部41は、キャリヤ32に対してX方向に相対変位する。支承面44、47は、スプリング42の弾性反発力によって摺接状態を維持するので、支持部材18は、軸部41の水平変位に相応して水平変位する。支持部材18の水平変位は、支持部材18の先端部に配置されたプリズム16、19のX方向の水平変位を生じさせる。   As shown in FIG. 9, horizontal screw holes 48 are formed symmetrically on both sides of the horizontal shaft portion 41. The screw hole 48 penetrates the wall of the carrier 32 in the X direction. The adjusting screw 49 is screwed into each screw hole 48, and the tip of the adjusting screw 49 comes into contact with the shaft portion 41. When the adjustment screw 49 on one side is tightened and the adjustment screw 49 on the other side is released to displace the shaft portion 41, the shaft portion 41 is displaced relative to the carrier 32 in the X direction. Since the bearing surfaces 44 and 47 maintain a sliding contact state by the elastic repulsive force of the spring 42, the support member 18 is horizontally displaced in accordance with the horizontal displacement of the shaft portion 41. The horizontal displacement of the support member 18 causes a horizontal displacement in the X direction of the prisms 16 and 19 disposed at the tip of the support member 18.

図4に示すように、ミラー保持機構50の筐体51を支持するための支持アーム22、23が、基盤20の上面に配置される。筐体51は、X方向の長軸を有する概ね直方体の外形を有する。ミラー保持機構50は、プリズム16の両側に対称に配置され、ミラー17を角度調整可能に支持する。   As shown in FIG. 4, support arms 22 and 23 for supporting the casing 51 of the mirror holding mechanism 50 are disposed on the upper surface of the base 20. The casing 51 has a substantially rectangular parallelepiped shape having a long axis in the X direction. The mirror holding mechanism 50 is disposed symmetrically on both sides of the prism 16 and supports the mirror 17 so that the angle can be adjusted.

図4において右側に位置するミラー保持機構50の筐体51は、固定螺子21によって支持アーム22に固定される。他方、図4において左側に位置するミラー保持機構50の筐体51は、支持アーム23と筐体51とをX方向に相対変位可能に支持する螺子25によって支持される。   The housing 51 of the mirror holding mechanism 50 located on the right side in FIG. 4 is fixed to the support arm 22 by the fixing screw 21. On the other hand, the housing 51 of the mirror holding mechanism 50 located on the left side in FIG. 4 is supported by a screw 25 that supports the support arm 23 and the housing 51 so as to be relatively displaceable in the X direction.

図11は、螺子25の緊締構造を示す断面図である。   FIG. 11 is a cross-sectional view showing the tightening structure of the screw 25.

支持アーム23に穿設された螺子孔26は、X方向に細長い水平断面を有する。ばね座金27が、螺子25の螺子頭と筐体51の上面との間に介挿される。筐体51は、螺子25の外面と螺子孔26の内面との間に形成された間隙28により、支持アーム23に対してX方向に相対変位することができる。   The screw hole 26 drilled in the support arm 23 has a horizontal cross section elongated in the X direction. A spring washer 27 is interposed between the screw head of the screw 25 and the upper surface of the housing 51. The housing 51 can be displaced relative to the support arm 23 in the X direction by a gap 28 formed between the outer surface of the screw 25 and the inner surface of the screw hole 26.

支持アーム23及び筐体51をX方向に相対変位させるX方向調整機構70の構成が、図10に示されている。X方向調整機構70は、第2の位置調整機構を構成する。   FIG. 10 shows the configuration of the X-direction adjusting mechanism 70 that relatively displaces the support arm 23 and the casing 51 in the X direction. The X direction adjustment mechanism 70 constitutes a second position adjustment mechanism.

X方向調整機構70は、筐体51の上面に一体的に形成された突出部71と、突出部71に当接する左右一対の調整螺子73とから構成される。突出部71は、支持アーム23の下面に形成された凹所74内に配置され、調整螺子73は、X方向に延びる螺子孔72内に螺入し、突出部71に当接する。筐体51は、左右の調整螺子73の螺込み位置に相応してX方向に変位する。   The X-direction adjusting mechanism 70 includes a projecting portion 71 that is integrally formed on the upper surface of the housing 51 and a pair of left and right adjusting screws 73 that abut on the projecting portion 71. The protrusion 71 is disposed in a recess 74 formed on the lower surface of the support arm 23, and the adjustment screw 73 is screwed into a screw hole 72 extending in the X direction and abuts against the protrusion 71. The housing 51 is displaced in the X direction in accordance with the screwing positions of the left and right adjusting screws 73.

図10には、左右のミラー保持機構50の構造が示されている。前述のとおり、ミラー保持機構50は、角度調整機構を構成する。   FIG. 10 shows the structure of the left and right mirror holding mechanisms 50. As described above, the mirror holding mechanism 50 constitutes an angle adjustment mechanism.

ミラー保持機構50は、ミラー17を支持する半球形保持具52と、X方向に延びる円形断面の水平軸部53とを備える。ミラー17は、保持具52の凹所内に固定される。保持具52の中心部には、X方向に延びる貫通孔54が穿設され、水平軸部53は、貫通孔54内に水平に配置される。水平軸部53の先端部は保持具52に一体的に連結される。概ね正方形断面の外管55が水平軸部53の基端部に固定される。圧縮コイルスプリング56が、外管55の先端面55aと、貫通孔54内の段部54aとの間に介挿される。スプリング56は、水平軸部53及び外管55をX方向外方に付勢する。   The mirror holding mechanism 50 includes a hemispherical holder 52 that supports the mirror 17 and a horizontal shaft portion 53 having a circular cross section that extends in the X direction. The mirror 17 is fixed in the recess of the holder 52. A through hole 54 extending in the X direction is formed in the central portion of the holder 52, and the horizontal shaft portion 53 is disposed horizontally in the through hole 54. The front end portion of the horizontal shaft portion 53 is integrally connected to the holder 52. An outer tube 55 having a substantially square cross section is fixed to the base end portion of the horizontal shaft portion 53. A compression coil spring 56 is inserted between the distal end surface 55 a of the outer tube 55 and the stepped portion 54 a in the through hole 54. The spring 56 urges the horizontal shaft portion 53 and the outer tube 55 outward in the X direction.

調整螺子57が筐体51の螺子孔58に螺入する。調整螺子57の先端部は、外管55の外面に当接する。調整螺子57は、図6及び図7に示すように90度の角度間隔を隔てて配置され、外管55をY方向及びZ方向から拘束する。   The adjusting screw 57 is screwed into the screw hole 58 of the housing 51. The tip of the adjustment screw 57 contacts the outer surface of the outer tube 55. As shown in FIGS. 6 and 7, the adjusting screw 57 is disposed at an angular interval of 90 degrees, and restrains the outer tube 55 from the Y direction and the Z direction.

水平軸部53の基端部は、各調整螺子57の螺子込み位置に相応してY方向及びZ方向に変位するので、水平軸部53は、X方向の中心軸線に対してY方向又はZ方向に傾斜する。   Since the base end portion of the horizontal shaft portion 53 is displaced in the Y direction and the Z direction in accordance with the screwing position of each adjusting screw 57, the horizontal shaft portion 53 is in the Y direction or Z direction with respect to the central axis line in the X direction. Inclined in the direction.

図10に示すように、筐体51の先端面には、保持具52の半球形面と相補する形態の半球形凹所51aが形成され、保持具52の半球形表面は、半球形凹所51aの内面と摺接する。保持具52は、水平軸部53の傾斜に従って半球形凹所51a内で回動し、ミラー17の角度を変化させる。   As shown in FIG. 10, a hemispherical recess 51a having a shape complementary to the hemispherical surface of the holder 52 is formed on the front end surface of the housing 51, and the hemispherical surface of the holder 52 has a hemispherical recess. It is in sliding contact with the inner surface of 51a. The holder 52 rotates within the hemispherical recess 51 a according to the inclination of the horizontal shaft portion 53, and changes the angle of the mirror 17.

図12及び図13は、プリズム保持機構30、水平位置調整機構40、ミラー保持機構50及びX方向調整機構70によるプリズム16及びミラー17の調整方向を示す縦断面図及び横断面図である。   12 and 13 are a longitudinal sectional view and a transverse sectional view showing adjustment directions of the prism 16 and the mirror 17 by the prism holding mechanism 30, the horizontal position adjusting mechanism 40, the mirror holding mechanism 50, and the X direction adjusting mechanism 70, respectively.

図12及び図13には、プリズム保持機構30、水平位置調整機構40、ミラー保持機構50及びX方向調整機構70によるプリズム16及びミラー17の調整方向α、β、γ、ηが示されている。このような調整機構を備えた微小流動場撮影装置1によれば、計測領域Mと撮像装置11の結像面との間の光路を微修正又は微調整することができるので、装置又は部品の加工誤差又は製作誤差や、計測対象の流体の相違による取得画像データの影響を解消し、マイクロスケールの微小流動場の流体速度を解析するために有効な画像を単一の撮像装置11によって確実に取得することができる。   12 and 13 show the adjustment directions α, β, γ, and η of the prism 16 and the mirror 17 by the prism holding mechanism 30, the horizontal position adjusting mechanism 40, the mirror holding mechanism 50, and the X direction adjusting mechanism 70, respectively. . According to the microfluidic field imaging device 1 having such an adjustment mechanism, the optical path between the measurement region M and the imaging surface of the imaging device 11 can be finely corrected or finely adjusted. An image effective for analyzing the fluid velocity of a micro-scale microfluidic field is surely obtained by the single imaging device 11 by eliminating the influence of the processing image or the manufacturing error and the acquired image data due to the difference in the measurement target fluid. Can be acquired.

図14は、微小流動場撮影装置1の変形例を概念的に示す概略断面図である。   FIG. 14 is a schematic cross-sectional view conceptually showing a modification of the microfluidic field imaging device 1.

図14に示す微小流動場撮影装置1は、破線で示す顕微鏡12の落射照明をプリズム16及びミラー17によって計測領域Mに照射するとともに、トレーサ粒子Pの反射光をプリズム16及びミラー17によって顕微鏡12に入射させる構成を有する。その他の構成は、前述の実施例と同一である。   The microfluidic field imaging device 1 shown in FIG. 14 irradiates the measurement region M with the epi-illumination of the microscope 12 indicated by a broken line by the prism 16 and the mirror 17, and reflects the reflected light of the tracer particles P by the prism 16 and the mirror 17. It has the structure made to inject into. Other configurations are the same as those of the above-described embodiment.

以上、本発明の好適な実施形態及び実施例について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態及び実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内で種々の変形又は変更が可能である。   The preferred embodiments and examples of the present invention have been described in detail above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and is within the scope of the present invention described in the claims. Various modifications or changes are possible.

例えば、上記実施例では、中央部に配置したプリズムの反射面を第2反射面として使用しているが、プリズムと同等の機能を有する複数のミラーによって第2反射面を形成しても良い。   For example, in the above embodiment, the reflecting surface of the prism disposed at the center is used as the second reflecting surface, but the second reflecting surface may be formed by a plurality of mirrors having the same function as the prism.

また、上記実施例では、各調整機構は、手動操作される構造の機構であるが、遠隔操作又は自動制御される構成を備えた調整機構を採用することも可能である。   Further, in the above-described embodiment, each adjustment mechanism is a mechanism that is manually operated, but an adjustment mechanism having a configuration that is remotely operated or automatically controlled may be employed.

更には、上記実施例おいては、プリズムの両側に一対のミラーを備えた構成について説明したが、3つ以上のミラーを備えた構成を採用しても良い。この場合、3つ以上のミラーの反射光を顕微鏡の対物レンズに向けて反射する3つ以上の反射面が上記プリズムの位置に配置される。   Furthermore, in the above-described embodiments, the configuration including a pair of mirrors on both sides of the prism has been described, but a configuration including three or more mirrors may be employed. In this case, three or more reflecting surfaces that reflect the reflected light of the three or more mirrors toward the objective lens of the microscope are arranged at the position of the prism.

本発明の微小流動場撮影装置は、1mm以下、例えば、約500μm程度の寸法に設定されたマイクロスケールの微小流動場を流動する可視化流体の流速の3次元3成分計測を行うための微小流動場撮影システムに好適に使用される。また、本発明を3次元PTV計測のための微小流動場撮影システムに適用することにより、微小流動場における流体速度の3次元3成分のみならず、粒子位置測定及び粒子サイズ測定等、即ち、マイクロ物体の形状計測、マイクロ物体の変位計測及びマイクロ物体の変形計測のために有効な画像データにも有効な画像データを単一の撮像装置によって取得することができる。従って、本発明の微小流動場撮影装置によれば、複数の撮像装置、複雑な制御系及び制御機構、多大な部品点数、大形の装置構成等を要することなく、しかも、部品又は機構に関する過度の加工精度又は製作精度を要することなく、既存の顕微鏡システムに改造を施すことなく、本発明を適用し、或いは、本発明に係るステレオ光学アタッチメントを装着することによって、微小流動場の3次元流速計測や、粒子位置計測、粒子サイズ計測等のマイクロ物体形状計測、マイクロ物体変位計測及びマイクロ物体変形計測を行うことが可能となるので、本発明の実用的価値には顕著なるものがある。   The microfluidic field imaging device of the present invention is a microfluidic field for performing three-dimensional three-component measurement of the flow velocity of a visualization fluid flowing in a microscale microfluidic field set to a size of 1 mm or less, for example, about 500 μm. It is suitably used for an imaging system. Further, by applying the present invention to a microfluidic field imaging system for three-dimensional PTV measurement, not only the three-dimensional three components of the fluid velocity in the microfluidic field, but also particle position measurement, particle size measurement, etc. Effective image data can also be acquired by a single imaging device for effective image data for object shape measurement, micro object displacement measurement, and micro object deformation measurement. Therefore, according to the microfluidic field imaging device of the present invention, there is no need for a plurality of imaging devices, complicated control systems and control mechanisms, a large number of parts, a large device configuration, etc. 3D flow velocity of a microfluidic field can be obtained by applying the present invention, or by mounting the stereo optical attachment according to the present invention, without requiring processing accuracy or manufacturing accuracy of Since it is possible to perform measurement, micro object shape measurement such as particle position measurement and particle size measurement, micro object displacement measurement, and micro object deformation measurement, the practical value of the present invention is remarkable.

1 微小流動場撮影装置
2 PC(パーソナルコンピュータ)
3 ディレイジェネレータ
4 ファンクションジェネレータ
5 レーザ装置
6 ファイバースコープ
7 出射部
10 ステレオ光学アタッチメント
11 撮像装置
12 顕微鏡
13 対物レンズ
14 レーザ光フィルタ
16 プリズム
16a 反射面(第2反射面)
17 ミラー
17a 反射面(第1反射面)
18 支持部材
20 基盤
30 プリズム保持機構(位置調整機構)
40 水平位置調整機構
50 ミラー保持機構(角度調整機構)
70 X方向調整機構(第2の位置調整機構)
M 計測領域
P トレーサ粒子
1 Microfluidic field imaging device 2 PC (personal computer)
3 delay generator 4 function generator 5 laser device 6 fiber scope 7 emitting unit 10 stereo optical attachment 11 imaging device 12 microscope 13 objective lens 14 laser light filter 16 prism 16a reflecting surface (second reflecting surface)
17 Mirror 17a Reflecting surface (first reflecting surface)
18 Support member 20 Base 30 Prism holding mechanism (position adjustment mechanism)
40 Horizontal position adjustment mechanism 50 Mirror holding mechanism (angle adjustment mechanism)
70 X direction adjustment mechanism (second position adjustment mechanism)
M Measurement area P Tracer particles

Claims (10)

微小流動場の可視化流体の粒子像を撮像するための撮像装置と、該撮像装置に光学的に連結した顕微鏡と、該顕微鏡と前記微小流動場との間に配置された第1反射面及び第2反射面とを備え、前記可視化流体の流動速度を計測するための画像データを前記撮像装置によって取得する微小流動場撮影装置において、
複数の前記第1反射面と、該第1反射面の各々に対面し且つ前記顕微鏡の光路に配置された複数の前記第2反射面と、前記第1又は第2反射面の角度を調整する角度調整機構と、前記第1又は第2反射面の位置を調整する位置調整機構とを有し、
前記角度調整機構及び前記位置調整機構によって前記反射面の角度及び位置を調整し、前記微小流動場の粒子の反射光を前記第1及び第2反射面によって反射して前記顕微鏡内の光路に入射せしめ、異なる視点から得られた同一粒子の複数の像を前記撮像装置の単一の結像面に結像するようにしたことを特徴とする微小流動場撮影装置。
An imaging device for imaging a particle image of a visualization fluid in a microfluidic field, a microscope optically coupled to the imaging device, a first reflecting surface disposed between the microscope and the microfluidic field, and a first A microfluidic field imaging device that acquires image data for measuring the flow velocity of the visualization fluid by the imaging device,
The angles of the plurality of first reflection surfaces, the plurality of second reflection surfaces facing each of the first reflection surfaces and arranged in the optical path of the microscope, and the first or second reflection surface are adjusted. An angle adjustment mechanism, and a position adjustment mechanism for adjusting the position of the first or second reflecting surface;
The angle and position of the reflecting surface are adjusted by the angle adjusting mechanism and the position adjusting mechanism, and the reflected light of the particles in the microfluidic field is reflected by the first and second reflecting surfaces and enters the optical path in the microscope. A microfluidic field imaging device characterized in that a plurality of images of the same particle obtained from different viewpoints are formed on a single imaging surface of the imaging device.
前記角度調整機構は、前記第1反射面の角度を調整し、前記位置調整機構は、前記第2反射面の位置を調整することを特徴とする請求項1に記載の微小流動場撮影装置。   2. The microfluidic field imaging device according to claim 1, wherein the angle adjusting mechanism adjusts an angle of the first reflecting surface, and the position adjusting mechanism adjusts a position of the second reflecting surface. 前記第1反射面の位置を調整する第2の位置調整機構を更に有することを特徴とする請求項2に記載の微小流動場撮影装置。   The microfluidic field imaging device according to claim 2, further comprising a second position adjusting mechanism that adjusts a position of the first reflecting surface. 前記角度調整機構は、前記顕微鏡の光軸に対して垂直な軸線を中心として前記第1反射面の角度を調整し、前記位置調整機構は、前記顕微鏡の光軸と平行な方向に前記第2反射面の位置を調整するとともに、前記顕微鏡の光軸に対して垂直な面内における前記第2反射面の位置を調整することを特徴とする請求項2に記載の微小流動場撮影装置。   The angle adjusting mechanism adjusts an angle of the first reflecting surface with an axis perpendicular to the optical axis of the microscope as a center, and the position adjusting mechanism is configured to adjust the second direction in a direction parallel to the optical axis of the microscope. 3. The microfluidic field imaging device according to claim 2, wherein the position of the reflecting surface is adjusted, and the position of the second reflecting surface in a plane perpendicular to the optical axis of the microscope is adjusted. 前記第1反射面は、前記角度調整機構によって角度調整可能に支持されたミラーの反射面からなり、前記第2反射面は、前記位置調整機構によって位置調整可能に支持され且つ前記顕微鏡の光路に配置されたプリズム又はミラーの反射面からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の微小流動場撮影装置。   The first reflecting surface is a reflecting surface of a mirror that is supported by the angle adjusting mechanism so that the angle can be adjusted, and the second reflecting surface is supported by the position adjusting mechanism so that the position can be adjusted, and in the optical path of the microscope. The microfluidic field imaging device according to any one of claims 1 to 4, wherein the microfluidic field imaging device comprises a reflecting surface of a prism or a mirror arranged. 前記顕微鏡の光軸上に配置されたプリズムによって複数の前記第2反射面が形成され、前記光軸に対して垂直な方向に前記プリズムから離間した複数のミラーによって前記第1反射面が形成され、前記プリズムと前記ミラーとの間には、前記粒子から反射した反射光の光路が形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の微小流動場撮影装置。   A plurality of second reflecting surfaces are formed by a prism disposed on the optical axis of the microscope, and a first reflecting surface is formed by a plurality of mirrors spaced from the prism in a direction perpendicular to the optical axis. 5. The microfluidic field imaging device according to claim 1, wherein an optical path of reflected light reflected from the particles is formed between the prism and the mirror. 6. 光源の照明光を前記微小流動場に向かって反射する第3反射面が、前記第2反射面の支持体に取付けられたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の微小流動場撮影装置。   The third reflecting surface that reflects illumination light of a light source toward the microfluidic field is attached to a support body of the second reflecting surface. Microfluidic field imaging device. 前記微小流動場の照明光が、前記顕微鏡の同軸落射照明によって前記微小流動場に照射されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の微小流動場撮影装置。   The microfluidic field imaging apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the microfluidic field illumination light is irradiated onto the microfluidic field by coaxial incident illumination of the microscope. 前記角度調整機構及び/又は前記位置調整機構は、前記反射面の支持体を弾力的に保持する弾性体と、前記支持体を支承し且つ前記支持体の変位の方向を規制する支承面と、前記支持体が前記支承面に対して相対変位するように該支持体を押圧する調整具とを有し、前記弾性体は、前記支持体が前記支承面に面接触するように該支持体を前記支承面に対して弾力的に付勢することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の微小流動場撮影装置。   The angle adjustment mechanism and / or the position adjustment mechanism includes an elastic body that elastically holds the support body of the reflecting surface, a support surface that supports the support body and restricts the direction of displacement of the support body, An adjusting tool that presses the support so that the support is displaced relative to the support surface, and the elastic body is configured so that the support is in surface contact with the support surface. The microfluidic field imaging device according to any one of claims 1 to 8, wherein the microfluidic field imaging device is elastically biased with respect to the bearing surface. 前記反射面と、該反射面の支持体と、該支持体を支持する基盤とを備えた光学的アタッチメントを前記顕微鏡と前記微小領域との間に配置し、前記基盤の位置を前記撮像装置及び顕微鏡に対して固定したことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の微小流動場撮影装置。   An optical attachment comprising the reflecting surface, a support for the reflecting surface, and a base for supporting the support is disposed between the microscope and the micro area, and the position of the base is determined by the imaging device and The microfluidic field imaging device according to any one of claims 1 to 9, wherein the microfluidic field imaging device is fixed to a microscope.
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