JP2011237643A - Novel photosensitive resin composition and its usage - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition which can be finely processed due to photosensitivity and can be developed by using a dilute alkali aqueous solution and is curable at a low temperature (200°C or less) and the hardening film obtained from which is very flexible and which is excellent in terms of electric insulation reliability, solder heat resistance, organic solvent resistance and fire retardancy and has small warpage after hardening.SOLUTION: A photosensitive resin composition includes at least (A) a binder resin, (B) a photosensitive film, and (C) a photopolymerization initiator. The (A) binder resin is obtained by copolymerisation of at least (a) (meth)acrylic acid and (b) a phosphine oxide compound expressed by the following general formula (1).

Description

この発明は、感光性を有するため微細加工が可能であり、希アルカリ水溶液で現像可能であり、低温(200℃以下)で硬化可能であり、得られる硬化膜が柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、ハンダ耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい感光性樹脂組成物、それから得られる樹脂フィルム、絶縁膜、及び絶縁膜付きプリント配線板に関するものである。   Since this invention has photosensitivity, it can be finely processed, can be developed with a dilute alkaline aqueous solution, can be cured at a low temperature (200 ° C. or lower), and the resulting cured film is highly flexible and has an electrical insulation reliability. , Solder heat resistance, organic solvent resistance, flame resistance, and a cured photosensitive resin composition with low warpage of the substrate, a resin film obtained therefrom, an insulating film, and a printed wiring board with an insulating film is there.

従来、プリント配線板の製造業界では、フレキシブル回路基板用の表面保護材料として、ポリイミドフィルム等の成形体に接着剤を塗布して得られるカバーレイフィルムが用いられてきた。このカバーレイフィルムをフレキシブル回路基板上に接着する場合、回路の端子部や部品との接合部に予めパンチングなどの方法により開口部を設け、位置合わせをした後に熱プレス等で熱圧着する方法が一般的である。   Conventionally, in the printed wiring board manufacturing industry, a coverlay film obtained by applying an adhesive to a molded body such as a polyimide film has been used as a surface protective material for a flexible circuit board. When bonding this coverlay film on a flexible circuit board, there is a method in which an opening is provided in advance by a method such as punching in a terminal portion of a circuit or a joint portion with a component, and after aligning, a method of thermocompression bonding by a hot press or the like is used. It is common.

しかし、薄いカバーレイフィルムに高精度な開口部を設けることは困難であり、また、張り合わせ時の位置合わせは手作業で行われる場合が多いため、位置精度が悪く、張り合わせの作業性も悪く、コスト高となっていた。   However, it is difficult to provide a high-accuracy opening in a thin coverlay film, and since the alignment at the time of lamination is often performed manually, the positional accuracy is poor and the workability of the lamination is also poor. The cost was high.

一方、回路基板用の表面保護材料としては、ソルダーレジストなどが用いられる場合もあり、特に感光性機能を有するソルダーレジストは、微細な加工が必要な場合には好ましく用いられている。この感光性ソルダーレジストとしては、エポキシ樹脂等を主体とした感光性樹脂組成物が用いられるが、この感光性ソルダーレジストは、絶縁材料としては電気絶縁信頼性に優れるが、屈曲性等の機械特性が悪く、硬化収縮が大きいためフレキシブル回路基板などの薄くて柔軟性に富む回路基板に積層した場合、基板の反りが大きくなり、フレキシブル回路基板用に用いるのは難しかった。また、難燃性にも乏しく、難燃性を付与する目的で難燃剤を添加した場合に、物性低下や硬化膜から難燃剤がしみ出すブリードアウトによる接点障害や工程汚染が問題であった。   On the other hand, a solder resist or the like may be used as a surface protection material for a circuit board. In particular, a solder resist having a photosensitive function is preferably used when fine processing is required. As this photosensitive solder resist, a photosensitive resin composition mainly composed of an epoxy resin or the like is used. This photosensitive solder resist is excellent in electrical insulation reliability as an insulating material, but has mechanical properties such as flexibility. However, since the curing shrinkage is large, when it is laminated on a thin and flexible circuit board such as a flexible circuit board, the warpage of the board becomes large and it is difficult to use it for a flexible circuit board. Further, the flame retardancy is poor, and when a flame retardant is added for the purpose of imparting flame retardancy, there are problems such as deterioration in physical properties and contact failure due to bleeding out from the cured film and process contamination.

近年では、この感光性ソルダーレジストとして、難燃性を発現することができる種々の提案がされている。   In recent years, various proposals have been made that can exhibit flame retardancy as the photosensitive solder resist.

例えば、特許文献1では、難燃性及び耐めっき性に優れ、ソルダーレジストに要求される諸特性を備えた硬化膜を形成可能な、バインダーポリマー、エチレン性不飽和基を含有する重合性化合物、重合開始剤、ホスフィン酸塩を含有する感光性樹脂組成物が提案されている。また、特許文献2では、硬化樹脂の難燃性に優れる、特定の構造を有するホスフィンオキサイド化合物、1分子内に2個以上の活性エネルギー線反応性官能基を有する反応性化合物、光重合開始剤を含む活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が提案されている。また、特許文献3では、十分な難燃性を有し高解像度が得られる、リン含有アルカリ可溶性樹脂とリン含有光重合性化合物と光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物が提案されている。更に、特許文献4、特許文献5では、十分な難燃性を有し、ブリードアウトの問題が低減された、特定の構造単位を有するリン含有重合体を含む樹脂組成物が提案されている。   For example, in Patent Literature 1, a binder polymer, a polymerizable compound containing an ethylenically unsaturated group, which is excellent in flame retardancy and plating resistance and can form a cured film having various properties required for a solder resist, A photosensitive resin composition containing a polymerization initiator and a phosphinate has been proposed. Moreover, in patent document 2, the phosphine oxide compound which has the specific structure which is excellent in the flame retardance of cured resin, the reactive compound which has two or more active energy ray reactive functional groups in a molecule | numerator, a photoinitiator There has been proposed an active energy ray-curable resin composition containing. Patent Document 3 proposes a photosensitive resin composition containing a phosphorus-containing alkali-soluble resin, a phosphorus-containing photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator, which has sufficient flame retardancy and high resolution. ing. Further, Patent Document 4 and Patent Document 5 propose a resin composition containing a phosphorus-containing polymer having a specific structural unit, which has sufficient flame retardancy and has reduced bleeding problems.

特開2009−294319号公報JP 2009-294319 A 特開2009−256622号公報JP 2009-256622 A 特開2007−303542号公報JP 2007-303542 A 特開2007−177203号公報JP 2007-177203 A 特開2008−274003号公報JP 2008-274003 A

上記特許文献では、感光性ソルダーレジストの課題を解決する種々の方法が提案されている。しかし、特許文献1に記載されている感光性樹脂組成物は、リン含有化合物であるホスフィン酸塩を含有するため難燃性、耐めっき性、はんだ耐熱性、HAST耐性等には優れるものの、ホスフィン酸塩と感光性樹脂組成物との界面接着性が不充分であり、耐折れ性に乏しいという問題がある。特許文献2または3に記載されている感光性樹脂組成物は、リン含有光重合性化合物を含むため、ブリードアウトの問題が低減されるものの、硬化膜の耐折れ性の低下や硬化後の基板の反りが大きくなるなどの物性低下を引き起こすという問題がある。特許文献3〜5に記載されている感光性樹脂組成物は、骨格中にリンを有する樹脂を含む構造を有するため、ため、ブリードアウト性に優れるものの、加水分解が促進されやすい構造を有するため、硬化物の長期にわたる電気絶縁信頼性に問題がある。   In the above-mentioned patent documents, various methods for solving the problems of the photosensitive solder resist are proposed. However, since the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 contains a phosphinate that is a phosphorus-containing compound, it is excellent in flame retardancy, plating resistance, solder heat resistance, HAST resistance, etc. There is a problem that the interfacial adhesion between the acid salt and the photosensitive resin composition is insufficient, and the folding resistance is poor. Although the photosensitive resin composition described in Patent Document 2 or 3 contains a phosphorus-containing photopolymerizable compound, the problem of bleed-out is reduced. There is a problem of causing deterioration in physical properties, such as an increase in warpage. Since the photosensitive resin composition described in Patent Documents 3 to 5 has a structure including a resin having phosphorus in the skeleton, it has excellent bleed-out properties, but has a structure that facilitates hydrolysis. There is a problem in the long-term electrical insulation reliability of the cured product.

本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、少なくとも(A)バインダー樹脂と、(B)感光性樹脂と、(C)光重合開始剤とを含み、上記(A)バインダー樹脂が、少なくとも(a)下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物と、(b)カルボキシル基及び上記(a)と共重合可能な二重結合を有する化合物と、を共重合させたものであることを特徴とする感光性樹脂組成物は、感光性を有するため微細加工が可能であり、希アルカリ水溶液で現像可能であり、低温(200℃以下)で硬化可能であり、得られる硬化膜が柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、ハンダ耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい感光性樹脂組成物が得られる知見を得、これらの知見に基づいて、本発明に達したものである。本発明は以下の新規な感光性樹脂組成物により上記課題を解決しうる。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the inventors of the present invention include at least (A) a binder resin, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator. , At least (a) a phosphine oxide compound represented by the following general formula (1) and (b) a compound having a carboxyl group and a double bond copolymerizable with the above (a). The photosensitive resin composition characterized in that it has photosensitivity, can be finely processed, can be developed with a dilute alkaline aqueous solution, can be cured at a low temperature (200 ° C. or lower), and the resulting cured film has Based on these findings, we have obtained knowledge that a flexible resin composition with excellent electrical insulation reliability, solder heat resistance, organic solvent resistance, flame resistance, and low cured substrate warpage can be obtained. And reached the present invention Than is. The present invention can solve the above problems by the following novel photosensitive resin composition.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、RはHまたはCH3である。) (Wherein R is H or CH 3 )

すなわち、本願発明は、少なくとも(A)バインダー樹脂と、(B)感光性樹脂と、(C)光重合開始剤とを含み、上記(A)バインダー樹脂が、少なくとも(a)下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物と、(b)カルボキシル基及び上記(a)と共重合可能な二重結合を有する化合物と、を共重合させたものであることを特徴とする感光性樹脂組成物である。   That is, the present invention includes at least (A) a binder resin, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator, and the (A) binder resin is at least (a) the following general formula (1). And a phosphine oxide compound represented by (b) and a compound having a carboxyl group and a double bond copolymerizable with the above (a). It is.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、RはHまたはCH3である。) (Wherein R is H or CH 3 )

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記(b)が、(メタ)アクリル酸および/又は(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基を有する化合物であることが好ましい。   Moreover, as for the photosensitive resin composition concerning this invention, it is preferable that said (b) is a compound which has (meth) acrylic acid and / or a (meth) acryloyl group, and a carboxyl group.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記(b)が、(メタ)アクリル酸であることが好ましい。   Moreover, as for the photosensitive resin composition concerning this invention, it is preferable that said (b) is (meth) acrylic acid.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記(A)バインダー樹脂が、さらに(c)(メタ)アクリル酸アルキルエステルを共重合させたものであることが好ましい。 また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記(A)バインダー樹脂のリン元素含有率が、2.0〜9.5重量%であることが好ましい。 また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記(A)バインダー樹脂の酸価が、40〜200mgKOH/gであることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition concerning this invention is what the said (A) binder resin further copolymerized (c) (meth) acrylic-acid alkylester. In the photosensitive resin composition according to the present invention, the phosphorus element content of the binder resin (A) is preferably 2.0 to 9.5% by weight. Moreover, it is preferable that the acid value of the said (A) binder resin is 40-200 mgKOH / g in the photosensitive resin composition concerning this invention.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記(C)光重合開始剤が、オキシムエステル系化合物であることが好ましい。   Moreover, as for the photosensitive resin composition concerning this invention, it is preferable that the said (C) photoinitiator is an oxime ester type compound.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記感光性樹脂組成物における(A)バインダー樹脂と、(B)感光性樹脂と、(C)光重合開始剤は、(A)バインダー樹脂100重量部に対して(B)感光性樹脂が10〜200重量部、(C)光重合開始剤が、0.1〜50重量部となるように配合されていることであることが好ましい。   Moreover, the photosensitive resin composition concerning this invention is (A) binder resin in the said photosensitive resin composition, (B) photosensitive resin, and (C) photoinitiator is (A) binder resin 100. It is preferable that 10 to 200 parts by weight of the photosensitive resin (B) and 0.1 to 50 parts by weight of the photopolymerization initiator (C) are blended with respect to parts by weight.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、更に(D)難燃剤を含有することが好ましい。   Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition concerning this invention contains (D) a flame retardant further.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記感光性樹脂組成物中のリン元素含有率が、1〜7重量%であることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition concerning this invention is 1 to 7 weight% in phosphorus element content rate in the said photosensitive resin composition.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、更に(E)熱硬化性樹脂を含有することが好ましい。   Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition concerning this invention contains (E) thermosetting resin further.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記(E)熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂であることが好ましい。   In the photosensitive resin composition according to the present invention, the (E) thermosetting resin is preferably an epoxy resin.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物は、上記(E)熱硬化性樹脂の配合割合が、(A)バインダー樹脂と、(B)感光性樹脂と、(C)光重合開始剤とを合計した100重量部に対して、0.5〜100重量部となるように配合されていることが好ましい。   In the photosensitive resin composition according to the present invention, the blending ratio of the (E) thermosetting resin includes (A) a binder resin, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator. It is preferable that the blended amount is 0.5 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight in total.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物溶液は、上記感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶解して得られるものである。   Moreover, the photosensitive resin composition solution concerning this invention is a thing obtained by melt | dissolving the said photosensitive resin composition in the organic solvent.

また、本願発明にかかる樹脂フィルムは、上記感光性樹脂組成物、または上記感光性樹脂組成物溶液を基材表面に塗布した後、乾燥して得られるものである。   Moreover, the resin film concerning this invention is obtained by drying, after apply | coating the said photosensitive resin composition or the said photosensitive resin composition solution to a base-material surface.

また、本願発明にかかる絶縁膜は、上記樹脂フィルムを硬化させて得られるものである。   The insulating film according to the present invention is obtained by curing the resin film.

また、本願発明にかかる絶縁膜付きプリント配線板は、上記絶縁膜をプリント配線板に被覆してなるものである。   The printed wiring board with an insulating film according to the present invention is obtained by coating the insulating film on the printed wiring board.

本願発明の感光性樹脂組成物から得られる硬化膜は、柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、ハンダ耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、良好な物性を有するとともに、硬化後の反りが小さい。従って、本願発明の感光性樹脂組成物は、種々の回路基板の保護膜等に使用でき、優れた効果を奏するものである。   The cured film obtained from the photosensitive resin composition of the present invention is rich in flexibility, excellent in electrical insulation reliability, solder heat resistance, organic solvent resistance, flame resistance, and has good physical properties, and after curing. Small warpage. Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention can be used for protective films of various circuit boards and exhibits excellent effects.

フィルムの反り量を測定している模式図である。It is the schematic diagram which has measured the curvature amount of the film.

以下本願発明について、(I)感光性樹脂組成物、(II)感光性樹脂組成物の使用方法の順に詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail in the order of (I) the photosensitive resin composition and (II) the method of using the photosensitive resin composition.

(I)感光性樹脂組成物
本願発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも(A)バインダー樹脂と、(B)感光性樹脂と、(C)光重合開始剤とを含み、上記(A)バインダー樹脂が、少なくとも(a)下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物と、(b)カルボキシル基及び上記(a)と共重合可能な二重結合を有する化合物と、を共重合させたものである。
(I) Photosensitive resin composition The photosensitive resin composition of the present invention comprises at least (A) a binder resin, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator. A resin obtained by copolymerizing at least (a) a phosphine oxide compound represented by the following general formula (1) and (b) a compound having a carboxyl group and a double bond copolymerizable with the above (a). It is.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、RはHまたはCH3である。) (Wherein R is H or CH 3 )

ここで、本願発明の感光性樹脂組成物は、各種特性に優れる事を、本発明者らは見出したが、これは、以下の理由によるのではないかと推測している。つまり、
(A)バインダー樹脂は、少なくとも(a)下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物と、(b)カルボキシル基及び上記(a)と共重合可能な二重結合を有する化合物と、を共重合させたものであり、分子中にカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液に代表される現像液に可溶となり、露光・現像により微細加工が可能となる。また、分子中に下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物を共重合させることにより骨格中にホスファフェナントレン構造を有するため、硬化膜の耐折れ性の低下や硬化後の基板の反りが大きくなるなどの物性低下を引き起こすことなく、十分な難燃性が得られ、更には長期にわたる耐久性にも優れる。
Here, although the present inventors discovered that the photosensitive resin composition of this invention was excellent in various characteristics, it estimates that this may be based on the following reasons. In other words,
(A) The binder resin comprises at least (a) a phosphine oxide compound represented by the following general formula (1) and (b) a compound having a carboxyl group and a double bond copolymerizable with the above (a). Since it is polymerized and has a carboxyl group in the molecule, it becomes soluble in a developer typified by a dilute alkaline aqueous solution, and can be finely processed by exposure and development. Moreover, since it has a phosphaphenanthrene structure in the skeleton by copolymerizing the phosphine oxide compound represented by the following general formula (1) in the molecule, the bending resistance of the cured film is lowered and the substrate is warped after curing. Sufficient flame retardancy can be obtained without causing deterioration of physical properties such as an increase in the size, and further, long-term durability is also excellent.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、RはHまたはCH3である。) (Wherein R is H or CH 3 )

以下本願発明について、感光性樹脂組成物について詳細に説明する。本発明における(メタ)アクリル酸とはアクリル酸及びメタクリル酸を意味し、(メタ)アクリレートなども同様の意味である。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with respect to the photosensitive resin composition. (Meth) acrylic acid in the present invention means acrylic acid and methacrylic acid, and (meth) acrylate has the same meaning.

<(A)バインダー樹脂>
本願発明で用いられる(A)バインダー樹脂は、(a)下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物と、(b)カルボキシル基及び上記(a)と共重合可能な二重結合を有する化合物と、を共重合させたものである。
<(A) Binder resin>
The (A) binder resin used in the present invention is composed of (a) a phosphine oxide compound represented by the following general formula (1), (b) a carboxyl group and a compound having a double bond copolymerizable with the above (a). And are copolymerized.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、RはHまたはCH3である。) (Wherein R is H or CH 3 )

(b)カルボキシル基及び上記(a)と共重合可能な二重結合を有する化合物は特に限定されないが、例えば、(メタ)アクリル酸、プロピオル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、ミリストレイン酸、パルミトレイン酸、オレイン酸、エライジン酸、バクセン酸、ガドレイン酸、エイコセン酸、エルカ酸、ネルボン酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンもの(メタ)アクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸ダイマー、2−(メタ)アクリロイオキシプロピルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイオキシエチルコハク酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、アトロパ酸、けい皮酸、リノール酸、エイコサジエン酸、ドコサジエン酸、リノレン酸、ピノレン酸、エレオステアリン酸、ミード酸、ジホモ−Y−リノレン酸、エイコサトリエン酸、ステアリドン酸、アラキドン酸、エイコサテトラエン酸、アドレン酸、ボセオペンタエン酸、エイコサペンタエン酸、オズボンド酸、イワシ酸、テトラコサペンタエン酸、ドコサヘキサエン酸、ニシン酸、2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルコハク酸、2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸等が挙げられる。   (B) The compound having a carboxyl group and a double bond copolymerizable with the above (a) is not particularly limited. For example, (meth) acrylic acid, propiolic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, myristoleic acid, palmitoleic acid , Oleic acid, elaidic acid, vaccenic acid, gadoleic acid, eicosenoic acid, erucic acid, nervonic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (meth) acrylate, phthalate monohydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid dimer 2- (meth) acryloyloxypropylhexahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid, maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, atropic acid, cinnamic acid, linoleic acid, eicosadiene Acid, docosadienoic acid, linolenic acid, pinolenic acid, Leostearic acid, mead acid, dihomo-Y-linolenic acid, eicosatrienoic acid, stearidonic acid, arachidonic acid, eicosatetraenoic acid, adrenic acid, boseopentaenoic acid, eicosapentaenoic acid, ozbondic acid, iwashi acid, tetracosapenta Examples include enoic acid, docosahexaenoic acid, nisic acid, 2,2,2-trisacryloyloxymethyl succinic acid, and 2-trisacryloyloxymethylethylphthalic acid.

特に、上記(b)が、(メタ)アクリル酸および/又は(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基を有する化合物を用いると、感光性樹脂組成物を乾燥して得られた樹脂フィルムは現像性に優れ、好ましい。中でも(メタ)アクリル酸を用いると、共重合の際に反応性に優れ、好ましく、また、感光性樹脂組成物を乾燥して得られた樹脂フィルムは現像性に優れ、好ましい。   In particular, when (b) uses a compound having (meth) acrylic acid and / or a (meth) acryloyl group and a carboxyl group, the resin film obtained by drying the photosensitive resin composition has excellent developability. ,preferable. Among these, when (meth) acrylic acid is used, the reactivity is excellent during copolymerization, and a resin film obtained by drying the photosensitive resin composition is preferable because of excellent developability.

また、(a)下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物と、(b)カルボキシル基及び上記(a)と共重合可能な二重結合を有する化合物の2成分以外に、更に共重合可能なビニルモノマーを1成分以上加えた3成分以上で共重合してもよい。共重合可能なビニルモノマーは共重合可能であれば特に限定されないが、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステル類がある。上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとは、(メタ)アクリル酸エステルのエステル鎖に炭素数1〜20のアルキル基を有する化合物であり、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸ターシャリーブチル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸ノニル、(メタ)アクリル酸デシル、(メタ)アクリル酸ドデシル、(メタ)アクリル酸ステアリル等が挙げられる。   In addition to the two components (a) a phosphine oxide compound represented by the following general formula (1) and (b) a carboxyl group and a compound having a double bond copolymerizable with the above (a), further copolymerization is possible. You may copolymerize in 3 or more components which added 1 or more component of a vinyl monomer. The copolymerizable vinyl monomer is not particularly limited as long as it is copolymerizable, and examples thereof include (meth) acrylic acid alkyl esters. The (meth) acrylic acid alkyl ester is a compound having an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms in the ester chain of the (meth) acrylic acid ester, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate. , (Meth) butyl acrylate, (Meth) acrylate isobutyl, (Meth) acrylate tertiary butyl, (Meth) acrylate hexyl, (Meth) acrylate 2-ethylhexyl, (Meth) octyl acrylate, (Meth) Nonyl acrylate, decyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate and the like can be mentioned.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、RはHまたはCH3である。) (Wherein R is H or CH 3 )

また、その他に、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、アクリロニトリル及びビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、及びβ−スチリル(メタ)アクリル酸等の(メタ)アクリル酸系単量体、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、及びマレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸系単量体、フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸、スチレン、及びビニルトルエン等が挙げられる。   In addition, acrylamide such as diacetone acrylamide, esters of vinyl alcohol such as acrylonitrile and vinyl-n-butyl ether, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) Diethylaminoethyl acrylate, glycidyl (meth) acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, α-bromo (meth) (Meth) acrylic monomers such as acrylic acid, α-chloro (meth) acrylic acid, β-furyl (meth) acrylic acid, and β-styryl (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, Monomethyl maleate, monoethyl maleate, and Maleic acid monomers such as maleic acid monoisopropyl, fumaric acid, cinnamic acid, alpha-cyanocinnamic acid, itaconic acid, crotonic acid, propiolic acid, styrene, and a vinyl toluene.

これは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用してもかまわない。特に(メタ)アクリル酸アルキルエステルを用いることが、感光性樹脂組成物の硬化膜の柔軟性と耐薬品性に優れ、好ましい。中でも(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチルを用いることが、感光性樹脂組成物の硬化膜の柔軟性と耐薬品性に優れ、好ましい。   These may be used alone or in combination of two or more. In particular, it is preferable to use an alkyl (meth) acrylate because the cured film of the photosensitive resin composition is excellent in flexibility and chemical resistance. Among them, it is preferable to use methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, and butyl (meth) acrylate because of excellent flexibility and chemical resistance of the cured film of the photosensitive resin composition.

また、上記(A)バインダー樹脂のリン元素含有率が、2.0〜9.5重量%であることが好ましい。リン元素の含有量が2.0重量%以上であると、(A)バインダー樹脂の難燃性がより効果的に得られる。また、リン元素の含有量が9.5重量%以下であると、分子構造における十分なカルボキシル基を確保することができ、希アルカリ水溶液に代表される現像液に可溶となり、露光・現像により微細加工が可能となる。また、柔軟性に富み、その他の特性バランスに優れた硬化膜が得られる。   Moreover, it is preferable that the phosphorus element content rate of the said (A) binder resin is 2.0 to 9.5 weight%. When the content of the phosphorus element is 2.0% by weight or more, the flame retardancy of the (A) binder resin can be more effectively obtained. Further, when the phosphorus element content is 9.5% by weight or less, a sufficient carboxyl group in the molecular structure can be secured and becomes soluble in a developer typified by a dilute alkaline aqueous solution. Fine processing is possible. Moreover, the cured film which is rich in flexibility and excellent in other property balance can be obtained.

ここで、(A)バインダー樹脂のリン元素含有率は、バインダー樹脂の共重合に用いられる原料総重量と原料に含まれるリン元素含有率から、下記式1により算出することが可能である。また、例えば、マイクロウェーブ分解装置で加圧酸分解を実施した後、ICP発光分光分析法で測定することも可能である。
(p1×31/M1×m1+・・・pn×31/Mn×mn)/w×100(式1)
単位:重量%
p:各リン含有化合物1分子中のリン元素数
M:各リン含有化合物の分子量
m:各リン含有化合物の重量(固形分)
n:1以上の整数であり、リン含有化合物の種類の数に等しい
w:バインダー樹脂の共重合に用いられる原料総重量(固形分)
Here, the phosphorus element content of (A) binder resin can be calculated by the following formula 1 from the total raw material weight used for copolymerization of the binder resin and the phosphorus element content contained in the raw material. Further, for example, it is possible to perform measurement by ICP emission spectroscopic analysis after performing pressure acid decomposition with a microwave decomposition apparatus.
(P 1 × 31 / M 1 × m 1 +... P n × 31 / M n × m n ) / w × 100 (Formula 1)
Unit:% by weight
p: Number of phosphorus elements in one molecule of each phosphorus-containing compound M: Molecular weight of each phosphorus-containing compound m: Weight of each phosphorus-containing compound (solid content)
n: an integer greater than or equal to 1 and equal to the number of types of phosphorus-containing compound w: total weight of raw material used for copolymerization of binder resin (solid content)

また、上記(A)バインダー樹脂の酸価が、40〜200mgKOH/gであることが好ましい。酸価が40mgKOH/gより小さい場合では感光性樹脂組成物のアルカリ現像性が低下する場合があり、200mgKOH/gより大きい場合では硬化膜の吸湿性が高くなり電気絶縁信頼性が低下する場合がある。   Moreover, it is preferable that the acid value of the said (A) binder resin is 40-200 mgKOH / g. When the acid value is less than 40 mgKOH / g, the alkali developability of the photosensitive resin composition may be reduced. When the acid value is more than 200 mgKOH / g, the hygroscopicity of the cured film may be increased and the electrical insulation reliability may be reduced. is there.

ここで、酸化は、例えば、JIS K5601−2−1で規定された方法で測定することができる。   Here, oxidation can be measured by the method prescribed | regulated by JISK5601-2-1, for example.

また、上記(A)バインダー樹脂の重量平均分子量は、ポリエチレングリコール換算で、3,000以上300,000以下のポリマーであることが好ましい。ここで、カルボキシル基含有樹脂の分子量は、例えば、以下の方法で測定することができる。
使用装置:東ソーHLC−8220GPC相当品
カラム :東ソー TSK gel Super AWM−H(6.0mmI.D.×15cm)×2本
ガードカラム:東ソー TSK guard column Super AW−H
溶離液:30mM LiBr+20mM H3PO4 in DMF
流速:0.6mL/min
カラム温度:40℃
検出条件:RI:ポラリティ(+)、レスポンス(0.5sec)
試料濃度:約5mg/mL
標準品:PEG(ポリエチレングリコール)
Moreover, it is preferable that the weight average molecular weight of said (A) binder resin is a polymer of 3,000 or more and 300,000 or less in conversion of polyethylene glycol. Here, the molecular weight of the carboxyl group-containing resin can be measured, for example, by the following method.
Equipment used: Tosoh HLC-8220GPC equivalent column: Tosoh TSK gel Super AWM-H (6.0 mm ID x 15 cm) x 2 guard columns: Tosoh TSK guard column Super AW-H
Eluent: 30 mM LiBr + 20 mM H3PO4 in DMF
Flow rate: 0.6 mL / min
Column temperature: 40 ° C
Detection conditions: RI: Polarity (+), response (0.5 sec)
Sample concentration: about 5 mg / mL
Standard product: PEG (polyethylene glycol)

上記範囲内に重量平均分子量を制御することにより、感光性樹脂組成物のアルカリ現像性、得られる硬化膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。重量平均分子量が3,000以下の場合は、柔軟性や耐薬品性が低下する場合があり、重量平均分子量が300,000以上の場合はアルカリ現像性が低下し、感光性樹脂組成物の粘度が高くなる場合がある。   Controlling the weight average molecular weight within the above range is preferable because the alkali developability of the photosensitive resin composition, the flexibility of the resulting cured film, and the chemical resistance are excellent. When the weight average molecular weight is 3,000 or less, flexibility and chemical resistance may be lowered. When the weight average molecular weight is 300,000 or more, alkali developability is lowered, and the viscosity of the photosensitive resin composition. May be higher.

少なくとも(a)(メタ)アクリル酸と、(b)下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物とを共重合させる反応は、例えば、ラジカル重合開始剤によりラジカルを発生させることにより進行させることができる。ラジカル重合開始剤としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、2,2’−アゾビス−2,4−ジメチルバレロニトリルなどのアゾ系化合物、t−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイドなどの有機過酸化物、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸塩、過酸価水素等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The reaction of at least (a) (meth) acrylic acid and (b) the phosphine oxide compound represented by the following general formula (1) is allowed to proceed, for example, by generating radicals with a radical polymerization initiator. Can do. Examples of the radical polymerization initiator include azo compounds such as azobisisobutyronitrile, azobis (2-methylbutyronitrile), 2,2′-azobis-2,4-dimethylvaleronitrile, t-butylhydro Organic peroxides such as peroxide, cumene hydroperoxide, benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, di-t-butyl peroxide, persulfates such as potassium persulfate, sodium persulfate, ammonium persulfate, peracid number Hydrogen etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、RはHまたはCH3である。) (Wherein R is H or CH 3 )

上記、ラジカル重合開始剤の使用量は、使用するモノマー100重量部に対して0.001〜5重量部とすることが好ましく、0.01〜1重量部とすることがより好ましい。0.001重量部より少ない場合では反応が進行しにくく、5重量部より多い場合では分子量が低下する場合がある。   The amount of the radical polymerization initiator used is preferably 0.001 to 5 parts by weight and more preferably 0.01 to 1 part by weight with respect to 100 parts by weight of the monomer used. When the amount is less than 0.001 part by weight, the reaction hardly proceeds, and when the amount is more than 5 parts by weight, the molecular weight may be lowered.

上記反応は、無溶媒で反応させることもできるが、反応を制御する為には、有機溶媒系で反応させることが望ましく、例えば有機溶媒としては、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどを挙げることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。   The above reaction can be carried out in the absence of a solvent. However, in order to control the reaction, it is desirable to carry out the reaction in an organic solvent system. For example, examples of the organic solvent include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, N , N-dimethylformamide, formamide solvents such as N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, acetamide solvents such as N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-vinyl-2 Examples include pyrrolidone solvents such as -pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, and γ-butyrolactone. Further, if necessary, these organic polar solvents can be used in combination with an aromatic hydrocarbon such as xylene or toluene.

更に、例えばメチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。中でも、副反応が生じにくいことから、対称グリコールジエーテル類を用いることが好ましい。   Furthermore, for example, methyl monoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyldiglyme (bis (2-methoxyether) ether), methyltriglyme (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (Bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldiglyme (bis (2-ethoxyethyl) ether), butyldiglyme (bis (2 Symmetric glycol diethers such as -butoxyethyl) ether), methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether Cetate (aka carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate)), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether Acetates such as acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n Propyl ether, propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, a solvent may be used ethers such as ethyl ether also ethylene glycol. Of these, symmetrical glycol diethers are preferably used because side reactions are unlikely to occur.

反応の際に用いられる溶剤量は、反応溶液中の溶質重量濃度すなわち溶液濃度が5重量%以上90重量%以下となるような量とすることが好ましく、20重量%以上70重量%以下とすることがより好ましい。溶液濃度が5%より少ない場合では重合反応が起こりにくく反応速度が低下すると共に、所望の構造物質が得られない場合があり、また、溶液濃度が90重量%より多い場合では反応溶液が高粘度となり反応が不均一となる場合がある。   The amount of solvent used in the reaction is preferably such that the solute weight concentration in the reaction solution, that is, the solution concentration is 5% to 90% by weight, and is 20% to 70% by weight. It is more preferable. When the solution concentration is less than 5%, the polymerization reaction is difficult to occur and the reaction rate is lowered, and a desired structural substance may not be obtained. When the solution concentration is more than 90% by weight, the reaction solution has a high viscosity. And the reaction may be non-uniform.

上記反応温度は、20〜120℃とすることが好ましく、50〜100℃とすることがより好ましい。20℃より低い温度の場合では反応時間が長くなり過ぎ、120℃を超えると急激な反応の進行や副反応に伴う三次元架橋によるゲル化を招く恐れがある。反応時間は、バッチの規模、採用される反応条件により適宜選択することができる。   The reaction temperature is preferably 20 to 120 ° C, and more preferably 50 to 100 ° C. When the temperature is lower than 20 ° C., the reaction time becomes too long, and when it exceeds 120 ° C., gelation due to rapid progress of reaction or three-dimensional crosslinking accompanying side reaction may be caused. The reaction time can be appropriately selected depending on the scale of the batch and the reaction conditions employed.

<(B)感光性樹脂>
本願発明で用いられる(B)感光性樹脂は、ラジカル重合開始剤により重合反応が進行するラジカル重合性基を分子内に含有する化合物である。その中でも分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する樹脂であることが好ましい。さらには、上記不飽和二重結合は、(メタ)アクリロイル基、もしくはビニル基であることが好ましい。
<(B) Photosensitive resin>
The photosensitive resin (B) used in the present invention is a compound containing in its molecule a radical polymerizable group that undergoes a polymerization reaction with a radical polymerization initiator. Among these, a resin having at least one unsaturated double bond in the molecule is preferable. Furthermore, the unsaturated double bond is preferably a (meth) acryloyl group or a vinyl group.

かかる(B)感光性樹脂としては、例えばビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジメタクリロキシプロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2−ヒドロキシ−1−アクリロキシ−3−メタクリロキシプロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールアクリレート、1 − アクリロイルオキシプロピル−2−フタレート、イソステアリルアクリレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテルアクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,6−メキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールメタクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、2,2−水添ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキシ)フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸トリ(エタンアクリレート)、ペンタスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル酸トリアリル、グリシジルメタクリレート、グリシジルアリルエーテル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルフォスフェート、アロバービタル、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ザリルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジメタクリレート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジアクリレート、等が好ましいが、これらに限定されない。特に、ジアクリレートあるいはジメタクリレートの一分子中に含まれるEO(エチレンオキサイド)の繰り返し単位が、2〜50の範囲のものが好ましく、さらに好ましくは2〜40である。EOの繰り返し単位が2〜50の範囲の物を使用することにより、感光性樹脂組成物のアルカリ水溶液に代表される水系現像液への溶解性が向上し、現像時間が短縮される。更に、感光性樹脂組成物を硬化した硬化膜中に応力が残りにくく、例えばプリント配線板の中でも、ポリイミド樹脂を基材とするフレキシブルプリント配線板上に積層した際に、プリント配線板のカールを抑えることができるなどの特徴を有する。   Examples of the photosensitive resin (B) include bisphenol F EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, and bisphenol S EO modified (n = 2 to 50). Diacrylate, bisphenol F EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol S EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, 1,6-hexane Diol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tetramethyl Propane tetraacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipenta Erythritol hexamethacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxypolyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro-2- Hide Xylpropyl methacrylate, stearyl methacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol Dimethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane, 2,2-bis [4- (Methacryloxyethoxy ) Phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy polyethoxy) phenyl] propane, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, Polypropylene glycol diacrylate, 2,2-bis [4- (acryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxypolyethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy-1-acryloxy-3-methacryl Roxypropane, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolmethane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene group Cole acrylate, nonylphenoxy polyethylene glycol acrylate, nonyl phenoxy polypropylene glycol acrylate, 1-acryloyloxypropyl-2-phthalate, isostearyl acrylate, polyoxyethylene alkyl ether acrylate, nonylphenoxyethylene glycol acrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1,4 -Butanediol dimethacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol di Methacrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate, Tricyclodecane dimethanol diacrylate, 2,2-hydrogenated bis [4- (acryloxy polyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy polypropoxy) phenyl] propane, 2,4-diethyl -1,5-pentanediol diacrylate, ethoxylated tomethylolpropane triacrylate, propoxylated tomethylolpropane triacrylate, isocyanuric acid tri (ethane acrylate), pentathritol tetraacrylate, ethoxylated pentathritol tetraacrylate, propoxylation Pentathritol tetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol polyacrylate, triallyl isocyanurate, glycidyl methacrylate, glycidyl ali Ether, 1,3,5-triacryloylhexahydro-s-triazine, triallyl1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl citrate, triallyl phosphate, arborbital, diallylamine, diallyldimethylsilane, diallyl Disulfide, diallyl ether, zalyl sialate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-dialyloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4,4′-isopropylidene diphenol dimethacrylate, 4,4′-isopropyl Redene diphenol diacrylate and the like are preferable, but are not limited thereto. In particular, the repeating unit of EO (ethylene oxide) contained in one molecule of diacrylate or dimethacrylate is preferably in the range of 2-50, more preferably 2-40. By using an EO repeating unit in the range of 2 to 50, the solubility of the photosensitive resin composition in an aqueous developer typified by an alkaline aqueous solution is improved, and the development time is shortened. Furthermore, it is difficult for stress to remain in the cured film obtained by curing the photosensitive resin composition. For example, among the printed wiring boards, when laminated on a flexible printed wiring board based on a polyimide resin, curling of the printed wiring board is prevented. Features such as being able to be suppressed.

特に、上記EO変性のジアクリレート或いは、ジメタクリレートと、アクリロイル基もしくは、メタクリロイル基を3以上有する化合物を併用することが感光性を高める上で特に好ましく、例えばエトキシ化イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸EO変性トリメタクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタエリストールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルコハク酸、2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸、プロポキシ化ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、プロポキシ化ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ε−カプロラクトン変性トリス−(2−アクリロキシエチル)イソシアヌレート、カプロラクトン変性ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、下記一般式(2)   In particular, it is particularly preferable to increase the photosensitivity by using the EO-modified diacrylate or dimethacrylate together with a compound having three or more acryloyl groups or methacryloyl groups. For example, ethoxylated isocyanuric acid EO-modified triacrylate, ethoxy Isocyanuric acid EO-modified trimethacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, propoxylated trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate Ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, ditrime Rollpropane tetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, propoxylated pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, 2,2,2-trisacryloyloxymethyl ethyl succinic acid, 2,2,2 -Trisacryloyloxymethylethylphthalic acid, propoxylated ditrimethylolpropane tetraacrylate, propoxylated dipentaerythritol hexaacrylate, ethoxylated isocyanuric acid triacrylate, ε-caprolactone modified tris- (2-acryloxyethyl) isocyanurate, caprolactone Modified ditrimethylolpropane tetraacrylate, the following general formula (2)

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、a+b=6、n=12である。)
で表される化合物、下記一般式(3)
(Where a + b = 6 and n = 12.)
A compound represented by the following general formula (3)

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、a+b=4、n=4である。)
で表される化合物、下記式(4)
(Where a + b = 4 and n = 4)
A compound represented by the following formula (4)

Figure 2011237643
Figure 2011237643

で表される化合物、下記一般式(5) A compound represented by the following general formula (5)

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、m=1、a=2、b=4もしくは、m=1、a=3、b=3もしくは、m=1、a=6、b=0もしくは、m=2、a=6、b=0である。)
で表される化合物、下記一般式(6)
(Where m = 1, a = 2, b = 4, or m = 1, a = 3, b = 3, or m = 1, a = 6, b = 0, or m = 2, a = 6 B = 0.)
A compound represented by the following general formula (6)

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、a+b+c=3.6である。)
で表される化合物、下記式(7)
(Where a + b + c = 3.6)
A compound represented by the following formula (7):

Figure 2011237643
Figure 2011237643

で表される化合物、下記一般式(8) A compound represented by the following general formula (8)

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(式中、m・a=3、a+b=3、ここで「m・a」は、mとaとの積である。)
で表される化合物等が好適に用いられる。
(Where m · a = 3, a + b = 3, where “m · a” is the product of m and a)
A compound represented by the formula is preferably used.

また、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチルアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、アクリル酸ダイマー、ペンタエスリトールトリ及びテトラアクリレート等の分子構造骨格中にヒドロキシル基、カルボニル基を有する化合物も好適に用いられる。   In addition, hydroxyl groups in the molecular structure skeleton such as 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, monohydroxyethyl acrylate phthalate, ω-carboxy-polycaprolactone monoacrylate, acrylic acid dimer, pentaerythritol tri and tetraacrylate, A compound having a carbonyl group is also preferably used.

この他、酸変性ビニルエステル樹脂、エポキシ変性(メタ)アクリル樹脂や、ウレタン変性(メタ)アクリル樹脂、ポリエステル変性(メタ)アクリル樹脂、(メタ)アクリル酸変性エポキシ樹脂酸付加物等どのような分子内にラジカル重合性基を含有するラジカル重合性化合物を用いてもよい。   Other molecules such as acid-modified vinyl ester resins, epoxy-modified (meth) acrylic resins, urethane-modified (meth) acrylic resins, polyester-modified (meth) acrylic resins, (meth) acrylic acid-modified epoxy resin acid adducts, etc. A radically polymerizable compound containing a radically polymerizable group may be used.

尚、分子内にラジカル重合性基を含有するラジカル重合性化合物としては、1種を使用することも可能であるが、2種以上を併用することが、硬化膜の耐熱性を向上させる上で好ましい。   In addition, as a radically polymerizable compound containing a radically polymerizable group in the molecule, it is possible to use one kind, but using two or more kinds in combination improves the heat resistance of the cured film. preferable.

本願発明の感光性樹脂組成物における(B)感光性樹脂は、(A)成分100重量部に対して、10〜200重量部となるように配合されていることが、感光性樹脂組成物の感光性が向上する点で好ましい。   (B) The photosensitive resin in the photosensitive resin composition of the present invention is blended so as to be 10 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of component (A). It is preferable at the point which photosensitivity improves.

(B)成分が上記範囲よりも少ない場合には、感光性樹脂組成物を光硬化した後の硬化被膜の耐アルカリ性が低下すると共に、露光・現像したときのコントラストが付きにくくなる場合がある。また、(B)成分が上記範囲よりも多い場合には、感光性樹脂組成物を基材上に塗布し、溶媒を乾燥させることにより得られる塗膜のべたつきが大きくなるため生産性が低下し、また架橋密度が高くなりすぎることにより硬化膜が脆く割れやすくなる場合がある。そのため、上記範囲内にすることで露光・現像時の解像度を最適な範囲にすることが可能となる。   When the component (B) is less than the above range, the alkali resistance of the cured film after photo-curing the photosensitive resin composition is lowered, and the contrast when exposed and developed may be difficult. In addition, when the component (B) is more than the above range, since the stickiness of the coating film obtained by applying the photosensitive resin composition on the substrate and drying the solvent is increased, the productivity is lowered. Moreover, when the crosslinking density becomes too high, the cured film may be brittle and easily cracked. For this reason, it is possible to set the resolution at the time of exposure / development to an optimal range by setting the value within the above range.

<(C)光重合開始剤>
本願発明における(C)光重合開始剤とは、UVなどのエネルギーによって活性化し、ラジカル重合性基の反応を開始・促進させる化合物である。かかる(C)光重合開始剤としては、例えば、ミヒラ−ズケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’,4’’−トリス(ジメチルアミノ)トリフェニルメタン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2−メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエ−テル、ベンゾインエチルエ−テル、ベンゾインイソプロピルエ−テル、ベンゾインイソブチルエ−テル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタ−ル、ベンジルジエチルケタ−ル、2(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2[2’(5’’−メチルフリル)エチリデン]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、4,4’−ジアジドカルコン、ジ(テトラアルキルアンモニウム)−4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルフォネ−ト、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨード二ウム,(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシオム)などが挙げられる。上記光重合開始剤は適宜選択することが好ましく、1種以上を混合させて用いることが好ましい。特に、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)] 、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシオム)などのオキシムエステル系化合物を用いると、少量の添加で感光性樹脂組成物を硬化することができるため、柔軟性や耐薬品性に優れた硬化膜となるため好ましい。
<(C) Photopolymerization initiator>
The (C) photopolymerization initiator in the present invention is a compound that is activated by energy such as UV and initiates / promotes a reaction of a radical polymerizable group. Examples of the (C) photopolymerization initiator include Mihilaz ketone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′, 4 ″ -tris (dimethylamino) triphenylmethane, and 2,2 ′. -Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, Benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-t-butylanthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methylanthraquinone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1- Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, diacetylbenzyl, benzyldimethyl Ketal, benzyldiethylketal, 2 (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 [2 ′ (5 ″ -methylfuryl) ethylidene] -4, 6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methylcyclohexanone, 4,4′-diazidochalcone, di (tetraalkylammonium) -4,4′-diazidostilbene-2,2′-disulfonate, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy)- Enyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2- Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4- Trimethyl-pentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-ketone, bis (n5-2,4-cyclopentadiene -1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium, 1,2- Kutandione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iodium, (4-methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] -hexafluorophosphate (1 -), Ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1 -(O-acetyloxyome) etc. are mentioned. The photopolymerization initiator is preferably selected as appropriate, and one or more types are preferably mixed and used. In particular, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole When an oxime ester-based compound such as -3-yl]-, 1- (O-acetyloxyome) is used, the photosensitive resin composition can be cured with a small amount of addition, so that flexibility and chemical resistance are improved. Since it becomes an excellent cured film, it is preferable.

本願発明の感光性樹脂組成物における(C)光重合開始剤は、(A)成分及び(B)成分の合計100重量部対して、0.1〜50重量部となるように配合されていることが好ましい。上記配合割合にすることで感光性樹脂組成物の感光性が向上するので好ましい。(C)成分が上記範囲よりも少ない場合には、光照射時のラジカル重合性基の反応が起こりにくく、硬化が不十分となることが多い場合がある。また、(C)成分が上記範囲よりも多い場合には、光照射量の調整が難しくなり、過露光状態となる場合がある。そのため、光硬化反応を効率良く進めるためには上記範囲内に調整することが好ましい。   The photopolymerization initiator (C) in the photosensitive resin composition of the present invention is blended so as to be 0.1 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total of the components (A) and (B). It is preferable. The blending ratio is preferable because the photosensitivity of the photosensitive resin composition is improved. When the component (C) is less than the above range, the reaction of the radical polymerizable group at the time of light irradiation hardly occurs and the curing is often insufficient. Moreover, when there are more (C) components than the said range, adjustment of light irradiation amount becomes difficult and may be in an overexposed state. Therefore, in order to advance the photocuring reaction efficiently, it is preferable to adjust within the above range.

<(D)難燃剤>
本願発明における(D)難燃剤は、難燃性を付与するために添加することができる。難燃剤とは、プラスチック、木材、または繊維等の可燃性物質に、添加または反応させることにより、可燃性物質を燃えにくくする働きのある物質のことを意味する。上記難燃剤としては、特に限定されないが、リン酸エステル、縮合リン酸エステル、ホスフィンオキサイド、ホスフィン、リン−窒素二重結合をもつホスファゼン化合物のようなリン系難燃剤、芳香族環の含有率が高いシリコーン化合物等を挙げることができる。これら難燃剤のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いてもよい。なお、本発明においてリン系難燃剤とは、リン酸エステル、縮合リン酸エステル、ホスフィンオキサイド、ホスフィン、ホスファゼン化合物のようにリンを含む化合物のことを指す。
<(D) Flame retardant>
The flame retardant (D) in the present invention can be added to impart flame retardancy. A flame retardant means a substance that acts to make a flammable substance difficult to burn by adding or reacting with a flammable substance such as plastic, wood, or fiber. Although it does not specifically limit as said flame retardant, Phosphorus ester, condensed phosphate ester, phosphine oxide, phosphine, phosphorus-type flame retardants, such as a phosphazene compound having a phosphorus-nitrogen double bond, the content of aromatic rings Examples thereof include high silicone compounds. Among these flame retardants, one kind or a combination of two or more kinds may be used. In the present invention, the phosphorus-based flame retardant refers to a compound containing phosphorus such as a phosphate ester, a condensed phosphate ester, a phosphine oxide, a phosphine, and a phosphazene compound.

感光性樹脂組成物との相溶性、難燃性の観点から、縮合リン酸エステル、ホスファゼン化合物リン系難燃剤を用いることが好ましい。   From the viewpoint of compatibility with the photosensitive resin composition and flame retardancy, it is preferable to use a condensed phosphate ester and a phosphazene compound phosphorus flame retardant.

縮合リン酸エステルとしては、例えば、CR−733S(レゾシノ−ルジホスフェート)(大八化学製)、CR−741(大八化学製)、CR−747(大八化学製)、およびPX−200(大八化学製)などが挙げられ、ホスファゼン化合物としては、SPE−100(大塚化学製)、SPH−100(大塚化学製)などが挙げられる。   Examples of the condensed phosphate ester include CR-733S (resorcinol diphosphate) (manufactured by Daihachi Chemical), CR-741 (manufactured by Daihachi Chemical), CR-747 (manufactured by Daihachi Chemical), and PX-200 ( Daihachi Chemical Co., Ltd.), and the phosphazene compounds include SPE-100 (Otsuka Chemical Co., Ltd.), SPH-100 (Otsuka Chemical Co., Ltd.), and the like.

上記難燃剤の使用量は、感光性樹脂組成物中のリン元素含有率が、1〜7重量%であることが好ましい。上記リン元素含有率が、1重量%未満であると、十分な難燃効果が得られない場合がある。一方、7重量%を超えると、乾燥後の感光性樹脂組成物にベタツキが見られたりする場合があり、さらに硬化物の物性に悪影響を与える場合があるために好ましくない。   As for the usage-amount of the said flame retardant, it is preferable that the phosphorus element content rate in the photosensitive resin composition is 1 to 7 weight%. When the phosphorus element content is less than 1% by weight, a sufficient flame retardant effect may not be obtained. On the other hand, if it exceeds 7% by weight, the photosensitive resin composition after drying may be found to be sticky, and the physical properties of the cured product may be adversely affected.

<(E)熱硬化性樹脂>
本願発明の感光性樹脂組成物には、上記成分に加えて(E)熱硬化性樹脂を加えることが出来る。
<(E) Thermosetting resin>
In addition to the above components, (E) a thermosetting resin can be added to the photosensitive resin composition of the present invention.

本願発明の感光性樹脂組成物に用いられる(E)熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、フェノール樹脂、イソシアネート樹脂、ブロックイソシアネート樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスアリルナジイミド樹脂、ポリエステル樹脂(例えば不飽和ポリエステル樹脂等)、ジアリルフタレート樹脂、珪素樹脂、ビニルエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリビスマレイミドトリアジン樹脂(BT樹脂)、シアネート樹脂(例えばシアネートエステル樹脂等)、ユリア樹脂、グアナミン樹脂、スルホアミド樹脂、アニリン樹脂、ポリウレア樹脂、チオウレタン樹脂、ポリアゾメチン樹脂、エピスルフィド樹脂、エン−チオール樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ポリイミド樹脂、これらの共重合体樹脂、これら樹脂を変性させた変性樹脂、又はこれらの樹脂同士もしくは他の樹脂類との混合物等が挙げられる。   Examples of the (E) thermosetting resin used in the photosensitive resin composition of the present invention include epoxy resins, oxetane resins, phenol resins, isocyanate resins, block isocyanate resins, bismaleimide resins, bisallyl nadiimide resins, polyester resins ( For example, unsaturated polyester resin), diallyl phthalate resin, silicon resin, vinyl ester resin, melamine resin, polybismaleimide triazine resin (BT resin), cyanate resin (for example, cyanate ester resin), urea resin, guanamine resin, sulfoamide resin , Aniline resin, polyurea resin, thiourethane resin, polyazomethine resin, episulfide resin, ene-thiol resin, benzoxazine resin, polyimide resin, copolymer resins thereof, modified resins obtained by modifying these resins Or mixtures of these resins with each other or other resins and the like.

上記熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、ブロックイソシアネート樹脂を用いることが好ましい。これら成分を含有することにより、感光性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化膜に対して耐熱性を付与できる。   As the thermosetting resin, it is preferable to use an epoxy resin or a blocked isocyanate resin. By containing these components, heat resistance can be imparted to a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition.

上記エポキシ樹脂とは、分子内に少なくとも1個のエポキシ基を含む化合物であり、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER828、jER1001、jER1002、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−4100E、アデカレジンEP−4300E、日本化薬株式会社製の商品名RE−310S、RE−410S、DIC株式会社製の商品名エピクロン840S、エピクロン850S、エピクロン1050、エピクロン7050、東都化成株式会社製の商品名エポトートYD−115、エポトートYD−127、エポトートYD−128、ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER806、jER807、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−4901E、アデカレジンEP−4930、アデカレジンEP−4950、日本化薬株式会社製の商品名RE−303S、RE−304S、RE−403S,RE−404S、DIC株式会社製の商品名エピクロン830、エピクロン835、東都化成株式会社製の商品名エポトートYDF−170、エポトートYDF−175S、エポトートYDF−2001、ビスフェノールS型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA−1514、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jERYX8000、jERYX8034,jERYL7170、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−4080E、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA−7015、東都化成株式会社製の商品名エポトートYD−3000、エポトートYD−4000D、ビフェニル型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jERYX4000、jERYL6121H、jERYL6640、jERYL6677、日本化薬株式会社製の商品名NC−3000、NC−3000H、フェノキシ型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER1256、jER4250、jER4275、ナフタレン型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の商品名エピクロンHP−4032、エピクロンHP−4700、エピクロンHP−4200、日本化薬株式会社製の商品名NC−7000L、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER152、jER154、日本化薬株式会社製の商品名EPPN−201−L、DIC株式会社製の商品名エピクロンN−740、エピクロンN−770、東都化成株式会社製の商品名エポトートYDPN−638、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名EOCN−1020、EOCN−102S、EOCN−103S、EOCN−104S、DIC株式会社製の商品名エピクロンN−660、エピクロンN−670、エピクロンN−680、エピクロンN−695、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名EPPN−501H、EPPN−501HY、EPPN−502H、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名XD−1000、DIC株式会社製の商品名エピクロンHP−7200、アミン型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER604、jER630、東都化成株式会社の商品名エポトートYH−434、エポトートYH−434L、三菱ガス化学株式会社製の商品名TETRAD−X、TERRAD−C、可とう性エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER871、jER872、jERYL7175、jERYL7217、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA−4850、ウレタン変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEPU−6、アデカレジンEPU−73、アデカレジンEPU−78−11、ゴム変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEPR−4023、アデカレジンEPR−4026、アデカレジンEPR−1309、キレート変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−49−10、アデカレジンEP−49−20、複素環含有エポキシ樹脂としては、日産化学株式会社製の商品名TEPIC等が挙げられる。   The epoxy resin is a compound containing at least one epoxy group in the molecule. For example, as a bisphenol A type epoxy resin, product names jER828, jER1001, jER1002, and ADEKA manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. Trade names of Adeka Resin EP-4100E, Adeka Resin EP-4300E, trade names RE-310S and RE-410S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade names Epicron 840S, Epicron 850S, Epicron 1050, Epicron 1505, Toto, manufactured by DIC Corporation Trade names of EPOTOTO YD-115, EPOTOTO YD-127, EPOTOTO YD-128, and bisphenol F type epoxy resin manufactured by Kasei Co., Ltd. are trade names of jER806 and jER807 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. Trade names Adeka Resin EP-4901E, Adeka Resin EP-4930, Adeka Resin EP-4950, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade names RE-303S, RE-304S, RE-403S, RE-404S, DIC Corporation Product names Epicron 830, Epicron 835, product names Epototo YDF-170, Epototo YDF-175S, Epototo YDF-2001, and bisphenol S-type epoxy resins manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. are trade names Epicron EXA manufactured by DIC Corporation. -1514, as hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, trade names jERYX8000, jERYX8034, jERYL7170 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade names Adeka Resin EP-4080E manufactured by ADEKA Corporation, Product name Epicron EXA-7015 manufactured by IC Co., Ltd. Product names Epototo YD-3000, Epototo YD-4000D manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., and biphenyl type epoxy resins include product names jERYX4000, jERYL6121H manufactured by Japan Epoxy Resin jERYL6640, jERYL6677, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade names NC-3000, NC-3000H, phenoxy type epoxy resins, Japan Epoxy Resin Co., Ltd. trade names jER1256, jER4250, jER4275, naphthalene type epoxy resins, DIC Corporation trade name Epicron HP-4032, Epicron HP-4700, Epicron HP-4200, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade name NC-7000L, Phenol Novola Examples of the epoxy resin include trade names jER152 and jER154 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade names EPPN-201-L manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade names Epicron N-740 and Epicron N- manufactured by DIC Corporation. 770, product names Epototo YDPN-638 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., and cresol novolak type epoxy resins include product names EOCN-1020, EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S, DIC shares manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Brand names EPIKRON N-660, Epicron N-670, Epicron N-680, Epicron N-695, and trisphenol methane type epoxy resins manufactured by the company include trade names EPPN-501H and EPPN-501HY manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. EPPN-502H As the pentadiene type epoxy resin, trade name XD-1000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name Epicron HP-7200 manufactured by DIC Corporation, and as the amine type epoxy resin, trade name jER604 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. jER630, Toto Kasei Co., Ltd. trade name Epototo YH-434, Epototo YH-434L, Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. trade names TETRAD-X, TERRAD-C, and flexible epoxy resin, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. The product names jER871, jER872, jERYL7175, jERYL7217, product names Epicron EXA-4850 manufactured by DIC Corporation, and urethane-modified epoxy resins include product names Adeka Resin EPU-6 and Adeka Resin EPU-7 manufactured by ADEKA Corporation. Adeka Resin EPU-78-11, rubber-modified epoxy resins, trade names of Adeka Resin EPR-4023, Adeka Resin EPR-4026, Adeka Resin EPR-1309, and Chelate-modified epoxy resins, products of ADEKA Corporation Examples of the name Adeka Resin EP-49-10, Adeka Resin EP-49-20, and the heterocyclic ring-containing epoxy resin include trade name TEPIC manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.

本願発明の感光性樹脂組成物には、上記熱硬化性化合物の硬化剤として、特に限定されないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、アミノ樹脂、ユリア樹脂、メラミン、ジシアンジアミド等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   Although it does not specifically limit as a hardening | curing agent of the said thermosetting compound in the photosensitive resin composition of this invention, For example, phenol resins, such as a phenol novolak resin, a cresol novolak resin, a naphthalene type phenol resin, an amino resin, and a urea resin , Melamine, dicyandiamide and the like, and these can be used alone or in combination of two or more.

また、硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、トリフェニルホスフィン等のホスフィン系化合物;3級アミン系、トリメタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラエタノールアミン等のアミン系化合物;1,8−ジアザ−ビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート等のボレート系化合物等、イミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;2−メチルイミダゾリン、2−エチルイミダゾリン、2−イソプロピルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン、2−ウンデシルイミダゾリン、2,4−ジメチルイミダゾリン、2−フェニル−4−メチルイミダゾリン等のイミダゾリン類;2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン等のアジン系イミダゾール類等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   Further, the curing accelerator is not particularly limited, but for example, phosphine compounds such as triphenylphosphine; amine compounds such as tertiary amine, trimethanolamine, triethanolamine and tetraethanolamine; 1,8- Borate compounds such as diaza-bicyclo [5,4,0] -7-undecenium tetraphenylborate, imidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-un Imidazoles such as decylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole; 2-methylimidazoline, 2- Ethyl imidazoline, 2 Imidazolines such as isopropylimidazoline, 2-phenylimidazoline, 2-undecylimidazoline, 2,4-dimethylimidazoline, 2-phenyl-4-methylimidazoline; 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- ( 1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2 ′ Examples include azine-based imidazoles such as -ethyl-4'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, and these can be used alone or in combination of two or more.

上記ブロックイソシアネート樹脂とは、常温では不活性であり、加熱されることにより、オキシム類、ジケトン類、フェノール類、カプロラクタム類等のブロック剤が解離してイソシアネート基を再生する化合物であり、例えば、旭化成ケミカルズ株式会社製の商品名デュラネート17B−60PX、デュラネートTPA−B80E、デュラネートMF−B60X、デュラネートMF−K60X、デュラネートE402−B80T、三井化学ポリウレタン株式会社製の商品名タケネートB−830、タケネートB−815N、タケネートB−846N、タケネートB−882N、日本ポリウレタン工業株式会社製の商品名コロネートAP−M、コロネート2503、コロネート2507、コロネート2513、コロネート2515、ミリオネートMS−50等が挙げられる。特に本願発明に好適に用いられるブロックイソシアネート樹脂は、ブロック剤の解離温度が160℃以下であるヘキサメチレンジイソシアネート系イソシアヌレート型、ビウレット型、アダクト型等のブロックイソシアネート化合物、水添ジフェニルメタンジイソシアネート系、水添キシリレンジイソシアネート系ブロックイソシアネート樹脂である。   The blocked isocyanate resin is a compound that is inactive at room temperature and is heated to dissociate blocking agents such as oximes, diketones, phenols, caprolactams, etc., and regenerate isocyanate groups. Product names Duranate 17B-60PX, Duranate TPA-B80E, Duranate MF-B60X, Duranate MF-K60X, Duranate E402-B80T manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. Trade names Takenate B-830, Takenate B- 815N, Takenate B-846N, Takenate B-882N, trade names Coronate AP-M, Coronate 2503, Coronate 2507, Coronate 2513, Coronate 2515, Millionone manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd. Preparative MS-50 and the like. Particularly, the blocked isocyanate resin suitably used in the present invention is a block isocyanate compound such as hexamethylene diisocyanate type isocyanurate type, biuret type, adduct type, etc. whose dissociation temperature of the blocking agent is 160 ° C. or less, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate type, This is an additive xylylene diisocyanate block isocyanate resin.

上記ブロックイソシアネート樹脂を用いることで感光性樹脂組成物を硬化したときに得られる硬化膜に高い基材との接着性を付与できるので好ましい。   It is preferable to use the above-mentioned blocked isocyanate resin because the cured film obtained when the photosensitive resin composition is cured can be imparted with high adhesion to the substrate.

また、これらブロックイソシアネート樹脂は単独で、或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   These blocked isocyanate resins can be used alone or in combination of two or more.

中でも、感光性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化膜に対して耐熱性を付与できると共に、金属箔等の導体や回路基板に対する接着性を付与することができるため、エポキシ樹脂を用いることがより好ましい。   Among them, an epoxy resin is used because heat resistance can be imparted to a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition, and adhesion to a conductor such as a metal foil or a circuit board can be imparted. More preferred.

本願発明の感光性樹脂組成物における(E)熱硬化性樹脂は、(A)成分、(B)成分、及び(C)成分の合計100重量部に対して、0.5〜100重量部となるように配合されていることが、感光性樹脂組成物の硬化膜の耐熱性、耐薬品性、電気絶縁信頼性を向上することができるので好ましい。   The (E) thermosetting resin in the photosensitive resin composition of the present invention is 0.5 to 100 parts by weight with respect to a total of 100 parts by weight of the component (A), the component (B), and the component (C). It is preferable to be blended so that the heat resistance, chemical resistance and electrical insulation reliability of the cured film of the photosensitive resin composition can be improved.

熱硬化性樹脂が上記範囲よりも少ない場合には、添加することによる効果が得られにくく、また、多すぎる場合には、感光性樹脂組成物を基材上に塗布し、溶媒を乾燥させることにより得られる塗膜のべたつきが大きくなるため生産性が低下し、また架橋密度が高くなりすぎることにより硬化膜が脆く割れやすくなる場合がある。   When the thermosetting resin is less than the above range, it is difficult to obtain the effect by adding, and when it is too much, the photosensitive resin composition is applied on the substrate and the solvent is dried. As a result, the stickiness of the coating film obtained is increased, resulting in a decrease in productivity. Further, when the crosslinking density becomes too high, the cured film may be brittle and easily cracked.

<その他の成分>
本願発明の感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じて充填剤、接着助剤、消泡剤、レベリング剤、着色剤、重合禁止剤等の各種添加剤を加えることができる。上記充填剤としては、シリカ、マイカ、タルク、硫酸バリウム、ワラストナイト、炭酸カルシウムなどの微細な無機充填剤、微細な有機ポリマ−充填剤を含有させてもよい。また、上記消泡剤としては、例えば、シリコン系化合物、アクリル系化合物等を含有させることができる。また、上記レベリング剤としては、例えば、シリコン系化合物、アクリル系化合物等を含有させることができる。また、上記着色剤としては、例えば、フタロシアニン系化合物、アゾ系化合物、カーボンブラック、酸化チタン等を含有させることができる。また、上記接着助剤(密着性付与剤ともいう。)としては、シランカップリング剤、トリアゾール系化合物、テトラゾール系化合物、トリアジン系化合物等を含有させることができる。また、上記重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等を含有させることができる。また、本願発明の感光性樹脂組成物は、イミド難燃剤を含むため難燃性に優れているが、より高い難燃効果を得るために他の難燃剤を加えてもよい。難燃剤としては、例えば、リン酸エステル系化合物、含ハロゲン系化合物、金属水酸化物、有機リン系化合物等を添加することができる。上記各種添加剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。また、それぞれの含有量は適宜選定することが望ましい。
<Other ingredients>
Various additives such as a filler, an adhesion assistant, an antifoaming agent, a leveling agent, a colorant, and a polymerization inhibitor can be further added to the photosensitive resin composition of the present invention as necessary. As the filler, fine inorganic fillers such as silica, mica, talc, barium sulfate, wollastonite, and calcium carbonate, and fine organic polymer fillers may be contained. Moreover, as said antifoamer, a silicon type compound, an acryl-type compound, etc. can be contained, for example. Moreover, as said leveling agent, a silicon type compound, an acryl-type compound, etc. can be contained, for example. Moreover, as said coloring agent, a phthalocyanine type compound, an azo type compound, carbon black, a titanium oxide etc. can be contained, for example. Moreover, as said adhesion assistant (it is also called adhesiveness imparting agent), a silane coupling agent, a triazole type compound, a tetrazole type compound, a triazine type compound, etc. can be contained. Moreover, as said polymerization inhibitor, hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, etc. can be contained, for example. Moreover, since the photosensitive resin composition of this invention contains an imide flame retardant, it is excellent in flame retardance, but in order to obtain a higher flame retardant effect, you may add another flame retardant. Examples of flame retardants that can be added include phosphate ester compounds, halogen-containing compounds, metal hydroxides, and organic phosphorus compounds. The above various additives can be used alone or in combination of two or more. Moreover, it is desirable to select each content suitably.

(II)感光性樹脂組成物の使用方法
本願発明の感光性樹脂組成物を直接に用いて、又は、感光性樹脂組成物溶液を調製した後に、以下のようにして硬化膜又はレリーフパターンを形成することができる。先ず、上記感光性樹脂組成物、又は、感光性樹脂組成物溶液を基板に塗布し、乾燥して有機溶媒を除去する。基板への塗布はスクリ−ン印刷、カ−テンロ−ル、リバ−スロ−ル、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により行うことができる。塗布膜(好ましくは厚み:5〜100μm、特に10〜100μm)の乾燥は120℃以下、好ましくは40〜100℃で行う。
(II) Method of using photosensitive resin composition Using the photosensitive resin composition of the present invention directly or after preparing a photosensitive resin composition solution, a cured film or a relief pattern is formed as follows. can do. First, the photosensitive resin composition or the photosensitive resin composition solution is applied to a substrate and dried to remove the organic solvent. The substrate can be applied by screen printing, curtain roll, river roll, spray coating, spin coating using a spinner, or the like. Drying of the coating film (preferably thickness: 5 to 100 μm, particularly 10 to 100 μm) is performed at 120 ° C. or less, preferably 40 to 100 ° C.

次いで、乾燥後、乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線などの活性光線を照射する。次いで、未露光部分をシャワー、パドル、浸漬または超音波等の各種方式を用い、現像液で洗い出すことによりレリ−フパタ−ンを得ることができる。なお、現像装置の噴霧圧力や流速、エッチング液の温度によりパターンが露出するまでの時間が異なる為、適宜最適な装置条件を見出すことが望ましい。   Next, after drying, a negative photomask is placed on the dried coating film and irradiated with actinic rays such as ultraviolet rays, visible rays, and electron beams. Next, the relief pattern can be obtained by washing out the unexposed portion with a developer using various methods such as shower, paddle, immersion, or ultrasonic wave. Since the time until the pattern is exposed varies depending on the spraying pressure and flow rate of the developing device and the temperature of the etching solution, it is desirable to find the optimum device conditions as appropriate.

上記現像液としては、アルカリ水溶液を使用することが好ましく。この現像液には、メタノ−ル、エタノ−ル、n−プロパノ−ル、イソプロパノ−ル、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶媒が含有されていてもよい。上記のアルカリ水溶液を与えるアルカリ性化合物としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属またはアンモニウムイオンの、水酸化物または炭酸塩や炭酸水素塩、アミン化合物などが挙げられ、具体的には水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、N−メチルジエタノ−ルアミン、N−エチルジエタノ−ルアミン、N,N−ジメチルエタノ−ルアミン、トリエタノ−ルアミン、トリイソプロパノ−ルアミン、トリイソプロピルアミンなどを挙げることができ、水溶液が塩基性を呈するものであればこれ以外の化合物も当然使用することができる。本願発明の感光性樹脂組成物の現像工程に好適に用いることのできる、アルカリ性化合物の濃度は、0.01〜20重量%、特に好ましくは、0.02〜10重量%とすることが好ましい。また、現像液の温度は感光性樹脂組成物の組成や、アルカリ現像液の組成に依存しており、一般的には0℃以上80℃以下、より一般的には、10℃以上60℃以下で使用することが好ましい。   As the developer, an alkaline aqueous solution is preferably used. This developer may contain a water-soluble organic solvent such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, or N-methyl-2-pyrrolidone. Examples of the alkaline compound that gives the alkaline aqueous solution include hydroxides, carbonates, hydrogen carbonates, amine compounds, and the like of alkali metals, alkaline earth metals, or ammonium ions, and specifically sodium hydroxide. , Potassium hydroxide, ammonium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, ammonium bicarbonate, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium Hydroxide, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, N, N-dimethylethanolamine, triethanolamine, triisopropanolamine, triiso Etc. can be mentioned Ropiruamin, aqueous solution with compounds of other long as it exhibits basicity can also be naturally used. The concentration of the alkaline compound that can be suitably used in the development step of the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 0.01 to 20% by weight, particularly preferably 0.02 to 10% by weight. Further, the temperature of the developer depends on the composition of the photosensitive resin composition and the composition of the alkali developer, and is generally 0 ° C. or higher and 80 ° C. or lower, more generally 10 ° C. or higher and 60 ° C. or lower. Is preferably used.

上記現像工程によって形成したレリ−フパタ−ンは、リンスして不用な残分を除去する。リンス液としては、水、酸性水溶液などが挙げられる。   The relief pattern formed by the development process is rinsed to remove unnecessary residues. Examples of the rinsing liquid include water and acidic aqueous solutions.

次いで、上記得られたレリ−フパタ−ンの加熱処理を行う。加熱処理を行って、分子構造中に残存する反応性基を反応させることにより、耐熱性に富む硬化膜を得ることができる。硬化膜の厚みは、配線厚み等を考慮して決定されるが、2〜50μm程度であることが好ましい。このときの最終硬化温度は配線等の酸化を防ぎ、配線と基材との密着性を低下させないことを目的として低温で加熱して硬化できることが望まれている。   Next, heat treatment is performed on the obtained relief pattern. By carrying out heat treatment to react the reactive groups remaining in the molecular structure, a cured film having high heat resistance can be obtained. The thickness of the cured film is determined in consideration of the wiring thickness and the like, but is preferably about 2 to 50 μm. The final curing temperature at this time is desired to be able to be cured by heating at a low temperature for the purpose of preventing oxidation of the wiring and the like and not reducing the adhesion between the wiring and the substrate.

この時の硬化温度は100℃以上250℃以下であることが好ましく、更に好ましくは120℃以上200℃以下であり、特に好ましくは130℃以上180℃以下である。最終加熱温度が高くなると配線の酸化劣化が進むので望ましくない。   The curing temperature at this time is preferably 100 ° C. or higher and 250 ° C. or lower, more preferably 120 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, and particularly preferably 130 ° C. or higher and 180 ° C. or lower. If the final heating temperature is high, the wiring is oxidatively deteriorated, which is not desirable.

本願発明の感光性樹脂組成物から形成した硬化膜は、難燃性、耐熱性、耐薬品性、電気的及び機械的性質に優れており、また、柔軟性にも優れている。   The cured film formed from the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in flame retardancy, heat resistance, chemical resistance, electrical and mechanical properties, and excellent in flexibility.

また、例えば、感光性樹脂組成物から得られる絶縁膜は、好適には厚さ2〜50μm程度の膜厚で光硬化後少なくとも10μmまでの解像力、特に10〜1000μm程度の解像力のものである。このため感光性樹脂組成物から得られる絶縁膜は、高密度フレキシブル基板の絶縁材料として特に適しているのである。また更には、光硬化型の各種配線被覆保護剤、感光性の耐熱性接着剤、電線・ケーブル絶縁被膜、等に用いられる。   In addition, for example, the insulating film obtained from the photosensitive resin composition preferably has a thickness of about 2 to 50 μm and a resolution of at least 10 μm after photocuring, particularly a resolution of about 10 to 1000 μm. For this reason, the insulating film obtained from the photosensitive resin composition is particularly suitable as an insulating material for a high-density flexible substrate. Furthermore, it is used for various photo-curing wiring coating protective agents, photosensitive heat-resistant adhesives, electric wire / cable insulation coatings, and the like.

尚、本願発明は上記感光性樹脂組成物、又は、感光性樹脂組成物溶液を基材表面に塗布し乾燥して得られた樹脂フィルムを用いても同様の絶縁材料を提供することができる。   In addition, this invention can provide the same insulating material even if it uses the resin film obtained by apply | coating the said photosensitive resin composition or the photosensitive resin composition solution to the base-material surface, and drying.

以下本発明を実施例により具体的に説明するが本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

(合成例1)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸12.0g、アクリル酸ブチル58.0g、下記式(9)で示されるホスフィンオキサイド化合物30.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.3gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は35,000、酸価は78mgKOH/g、リン元素含有率は3.1重量%であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は下記の方法で測定した。
(Synthesis Example 1)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 12.0 g of methacrylic acid, 58.0 g of butyl acrylate, 30.0 g of a phosphine oxide compound represented by the following formula (9), and azobisisobutyroyl as a radical polymerization initiator were previously mixed at room temperature. 0.3 g of nitrile was dropped from the dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The resulting carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 35,000, an acid value of 78 mgKOH / g, and a phosphorus element content of 3.1% by weight. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured by the following methods.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

<固形分濃度>
JIS K 5601−1−2に従って測定を行った。尚、乾燥条件は150℃×1時間の条件を選択した。
<Concentration of solid content>
The measurement was performed according to JIS K 5601-1-2. The drying conditions were 150 ° C. × 1 hour.

<重量平均分子量>
重量平均分子量の測定は、下記条件で実施した。
使用装置:東ソーHLC−8220GPC相当品
カラム :東ソー TSK gel Super AWM−H(6.0mmI.D.×15cm)×2本
ガードカラム:東ソー TSK guard column Super AW−H
溶離液:30mM LiBr+20mM H3PO4 in DMF
流速:0.6mL/min
カラム温度:40℃
検出条件:RI:ポラリティ(+)、レスポンス(0.5sec)
試料濃度:約5mg/mL
標準品:PEG(ポリエチレングリコール)
<Weight average molecular weight>
The weight average molecular weight was measured under the following conditions.
Equipment used: Tosoh HLC-8220GPC equivalent column: Tosoh TSK gel Super AWM-H (6.0 mm ID x 15 cm) x 2 guard columns: Tosoh TSK guard column Super AW-H
Eluent: 30 mM LiBr + 20 mM H3PO4 in DMF
Flow rate: 0.6 mL / min
Column temperature: 40 ° C
Detection conditions: RI: Polarity (+), response (0.5 sec)
Sample concentration: about 5 mg / mL
Standard product: PEG (polyethylene glycol)

<酸価>
JIS K 5601−2−1に従って測定を行った。
<Acid value>
Measurement was performed according to JIS K 5601-2-1.

(合成例2)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸12.0g、アクリル酸ブチル48.0g、下記式(9)で示されるホスフィンオキサイド化合物40.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.3gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は45,000、酸価は78mgKOH/g、リン元素含有率は4.1重量%であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は合成例1と同様に測定した。
(Synthesis Example 2)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 12.0 g of methacrylic acid, 48.0 g of butyl acrylate, 40.0 g of a phosphine oxide compound represented by the following formula (9), and azobisisobutyroyl as a radical polymerization initiator were previously mixed at room temperature. 0.3 g of nitrile was dropped from the dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The obtained carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 45,000, an acid value of 78 mgKOH / g, and a phosphorus element content of 4.1% by weight. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(合成例3)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸12.0g、アクリル酸ブチル48.0g、下記式(10)で示されるホスフィンオキサイド化合物40.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.3gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は45,000、酸価は78mgKOH/g、リン元素含有率は3.9重量%であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は合成例1と同様に測定した。
(Synthesis Example 3)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 12.0 g of methacrylic acid, 48.0 g of butyl acrylate, 40.0 g of a phosphine oxide compound represented by the following formula (10), and azobisisobutyroyl as a radical polymerization initiator were previously mixed at room temperature. 0.3 g of nitrile was dropped from the dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The resulting carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 45,000, an acid value of 78 mgKOH / g, and a phosphorus element content of 3.9% by weight. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(合成例4)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、アクリル酸12.0g、メタクリル酸ブチル48.0g、下記式(9)で示されるホスフィンオキサイド化合物40.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.3gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は52,000、酸価は78mgKOH/g、リン元素含有率は3.6重量%であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は合成例1と同様に測定した。
(Synthesis Example 4)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 12.0 g of acrylic acid, 48.0 g of butyl methacrylate, 40.0 g of a phosphine oxide compound represented by the following formula (9), and azobisisobutyroyl as a radical polymerization initiator were previously mixed at room temperature. 0.3 g of nitrile was dropped from the dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The resulting carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 52,000, an acid value of 78 mgKOH / g, and a phosphorus element content of 3.6% by weight. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(合成例5)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸25.0g、アクリル酸ブチル35.0g、下記式(9)で示されるホスフィンオキサイド化合物40.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.3gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は46,000、酸価は162mgKOH/g、リン元素含有率は4.1重量%であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は合成例1と同様に測定した。
(Synthesis Example 5)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 25.0 g of methacrylic acid, 35.0 g of butyl acrylate, 40.0 g of a phosphine oxide compound represented by the following formula (9), and azobisisobutyroyl as a radical polymerization initiator were mixed in advance at room temperature. 0.3 g of nitrile was dropped from the dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The resulting carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 46,000, an acid value of 162 mgKOH / g, and a phosphorus element content of 4.1% by weight. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(合成例6)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸7.0g、アクリル酸ブチル53.0g、下記式(9)で示されるホスフィンオキサイド化合物40.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.3gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は46,000、酸価は45mgKOH/g、リン元素含有率は4.1重量%であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は合成例1と同様に測定した。
(Synthesis Example 6)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 7.0 g of methacrylic acid, 53.0 g of butyl acrylate, 40.0 g of a phosphine oxide compound represented by the following formula (9), and azobisisobutyroyl as a radical polymerization initiator were mixed in advance at room temperature. 0.3 g of nitrile was dropped from the dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The obtained carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 46,000, an acid value of 45 mgKOH / g, and a phosphorus element content of 4.1% by weight. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(合成例7)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸10.0g、アクリル酸ブチル20.0g、下記式(9)で示されるホスフィンオキサイド化合物70.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.3gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は43,000、酸価は65mgKOH/g、リン元素含有率は7.0重量%であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は合成例1と同様に測定した。
(Synthesis Example 7)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 10.0 g of methacrylic acid, 20.0 g of butyl acrylate, 70.0 g of a phosphine oxide compound represented by the following formula (9), and azobisisobutyroyl as a radical polymerization initiator were previously mixed at room temperature. 0.3 g of nitrile was dropped from the dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The obtained carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 43,000, an acid value of 65 mgKOH / g, and a phosphorus element content of 7.0% by weight. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(合成例8)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸12.0g、アクリル酸ブチル48.0g、ジフェニル−(2−メタクリロイルオキシエチル)ホスフェート(大八化学工業(株)製、商品名:MR−260)40.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.6gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は61,000、酸価は78mgKOH/gリン元素含有率は3.4重量%であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は合成例1と同様に測定した。
(Synthesis Example 8)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 12.0 g of methacrylic acid, 48.0 g of butyl acrylate, diphenyl- (2-methacryloyloxyethyl) phosphate (manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd., trade name: MR-) previously mixed at room temperature 260) 40.0 g, and 0.6 g of azobisisobutyronitrile as a radical polymerization initiator were added dropwise from a dropping funnel over a period of 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The obtained carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 61,000, an acid value of 78 mgKOH / g, and a phosphorus element content of 3.4% by weight. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

(合成例9)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸12.0g、アクリル酸ブチル40.0g、ジフェニル−(2−メタクリロイルオキシエチル)ホスフェート(大八化学工業(株)製、商品名:MR−260)48.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.6gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は60,000、酸価は78mgKOH/gリン元素含有率は4.1重量%であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は合成例1と同様に測定した。
(Synthesis Example 9)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 12.0 g of methacrylic acid, 40.0 g of butyl acrylate, diphenyl- (2-methacryloyloxyethyl) phosphate (manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd., trade name: MR-) previously mixed at room temperature 260) 48.0 g, and 0.6 g of azobisisobutyronitrile as a radical polymerization initiator were added dropwise from the dropping funnel over a period of 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The obtained carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 60,000, an acid value of 78 mgKOH / g, and a phosphorus element content of 4.1% by weight. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

(合成例10)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸12.0g、メタクリル酸メチル28.0g、アクリル酸ブチル60.0g、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.5gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌し、本願発明のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の固形分濃度は47%、重量平均分子量は45,000、酸価は78mgKOH/gであった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は合成例1と同様に測定した。
(Synthesis Example 10)
A reaction vessel equipped with a stirrer, thermometer, dropping funnel, and nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization, under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 12.0 g of methacrylic acid, 28.0 g of methyl methacrylate, 60.0 g of butyl acrylate, and 0.5 g of azobisisobutyronitrile as a radical polymerization initiator previously mixed at room temperature were heated to 80 ° C. It was dripped from the dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature. After completion of the dropwise addition, the reaction solution was heated to 90 ° C. while stirring, and further stirred for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. to obtain a carboxyl group-containing resin solution of the present invention. The resulting carboxyl group-containing resin solution had a solid content concentration of 47%, a weight average molecular weight of 45,000, and an acid value of 78 mgKOH / g. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

(実施例1〜7)
合成例1〜7で得られた(A)バインダー樹脂、(B)感光性樹脂、(C)光重合開始剤、(D)難燃剤、(E)熱硬化性樹脂、その他の成分、及び有機溶媒である1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタンを添加して感光性樹脂組成物を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を表1に記載する。なお、添加した1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン量は、感光性樹脂組成物の固形分が60重量%になるよう調整した。組成物を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して下記評価を実施した。
(Examples 1-7)
(A) binder resin, (B) photosensitive resin, (C) photopolymerization initiator, (D) flame retardant, (E) thermosetting resin, other components, and organic obtained in Synthesis Examples 1-7 A photosensitive resin composition was prepared by adding 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane as a solvent. Table 1 shows the blending amount of each constituent raw material in the resin solid content and the kind of the raw material. The amount of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane added was adjusted so that the solid content of the photosensitive resin composition was 60% by weight. The composition was subjected to the following evaluation by completely defoaming bubbles in the solution with a defoaming apparatus.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

<1>チバジャパン株式会社製 光重合開始剤の製品名
<2>新中村化学株式会社製 製品名NKエステルA−9300(エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート)
<3>新中村化学株式会社製 製品名NKエステルBPE−1300(ビスフェノールA EO変性ジアクリレート)
<4>大塚化学株式会社製 ホスファゼン化合物(リン系難燃剤)の製品名
<5>DIC株式会社製 クレゾールノボラック型の多官能エポキシ樹脂の製品名
<6>日本アエロジル株式会社製 シリカ粒子の製品名
<1> Ciba Japan Co., Ltd. product name of photopolymerization initiator <2> Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. product name NK Ester A-9300 (ethoxylated isocyanuric acid triacrylate)
<3> Product name NK ester BPE-1300 (bisphenol A EO-modified diacrylate) manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
<4> Product name of phosphazene compound (phosphorus flame retardant) manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd. <5> Product name of cresol novolac type polyfunctional epoxy resin manufactured by DIC Co., Ltd. <6> Product name of silica particles manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.

<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>
上記感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、25μmのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名25NPI)に最終乾燥厚みが20μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した後、50mm×50mmの面積のライン幅/スペース幅=100μm/100μmのネガ型フォトマスクを置いて300mJ/cm2の積算露光量の紫外線を照射して露光した。次いで、1.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃に加熱した溶液を用いて、1.0kgf/mm2の吐出圧で60秒スプレー現像を行った。現像後、純水で十分洗浄した後、150℃のオーブン中で60分加熱硬化させてポリイミドフィルム上に感光性樹脂組成物の硬化膜を作製した。
<Preparation of coating film on polyimide film>
The above photosensitive resin composition was cast and applied to an area of 100 mm × 100 mm on a 25 μm polyimide film (manufactured by Kaneka Co., Ltd .: trade name 25 NPI) using a Baker type applicator so that the final dry thickness was 20 μm. After drying at 80 ° C. for 20 minutes, a negative photomask with a line width / space width of 50 mm × 50 mm = 100 μm / 100 μm was placed and irradiated with ultraviolet rays with an integrated exposure amount of 300 mJ / cm 2 to be exposed. Subsequently, spray development was performed for 60 seconds at a discharge pressure of 1.0 kgf / mm 2 using a solution obtained by heating a 1.0 wt% sodium carbonate aqueous solution to 30 ° C. After development, the film was thoroughly washed with pure water, and then cured by heating in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to prepare a cured film of the photosensitive resin composition on the polyimide film.

<硬化膜の評価>
得られた硬化膜について、以下の項目につき評価を行った。評価結果を表2に記載する。
<Evaluation of cured film>
The obtained cured film was evaluated for the following items. The evaluation results are shown in Table 2.

(i)感光性評価
感光性樹脂組成物の感光性の評価は、上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目で得られた硬化膜の表面観察を行い判定した。
〇:ポリイミドフィルム表面に顕著な線太りや現像残渣無くライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けているもの。
×:ポリイミドフィルム表面にライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けていないもの。
(I) Photosensitivity evaluation The photosensitivity evaluation of the photosensitive resin composition was determined by observing the surface of the cured film obtained in the above item <Preparation of coating film on polyimide film>.
◯: A photosensitive pattern having a line width / space width = 100/100 μm can be drawn on the polyimide film surface without noticeable line thickness or development residue.
X: A line width / space width = 100/100 μm photosensitive pattern is not drawn on the polyimide film surface.

(ii)硬化膜の密着性
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目で得られた硬化膜の密着性をJIS K 5600−5−6に従ってクロスカット法で評価した。
○:分類0(カットの縁が完全に滑らかで、どの格子の目にもはがれがない。)
△:分類1(カットの交差点における塗膜の小さなはがれ。クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に5%を上回ることはない。)
×:分類2(塗膜がカットの縁に沿って、及び/又は交差点においてはがれている。クロスカット部分で影響を受けるのは明確に5%を超えるが15%を上回ることはない。)。
(Ii) Adhesiveness of cured film The adhesiveness of the cured film obtained in the above item <Preparation of coating film on polyimide film> was evaluated by a cross-cut method according to JIS K 5600-5-6.
○: Classification 0 (the edge of the cut is completely smooth and there is no peeling in any lattice)
Δ: Classification 1 (Small peeling of the coating film at the intersection of the cuts. The influence at the crosscut part does not clearly exceed 5%.)
X: Classification 2 (The coating film is peeled along the edge of the cut and / or at the intersection. It is clearly more than 5% but not more than 15% that is affected at the crosscut portion.)

(iii)耐溶剤性
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目で得られた硬化膜の耐溶剤性の評価を行った。評価方法は25℃のメチルエチルケトン中に15分間浸漬した後風乾し、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常がない。
×:塗膜に膨れや剥がれなどの異常が発生する。
(Iii) Solvent resistance The solvent resistance of the cured film obtained in the above item <Preparation of coating film on polyimide film> was evaluated. In the evaluation method, the film was dipped in methyl ethyl ketone at 25 ° C. for 15 minutes and then air-dried to observe the state of the film surface.
○: There is no abnormality in the coating film.
X: Abnormality such as swelling or peeling occurs in the coating film.

(iv)耐折れ性
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。硬化膜積層フィルムの耐折れ性の評価方法は、硬化膜積層フィルムを50mm×10mmの短冊に切り出して、硬化膜を外側にして25mmのところで180°に折り曲げ、折り曲げ部に5kgの荷重を3秒間乗せた後、荷重を取り除き、折り曲げ部の頂点を顕微鏡で観察した。顕微鏡観察後、折り曲げ部を開いて、再度5kgの荷重を3秒間乗せた後、荷重を取り除き完全に硬化膜積層フィルムを開いた。上記操作を繰り返し、折り曲げ部にクラックが発生する回数を折り曲げ回数とした。
○:折り曲げ回数5回で硬化膜にクラックが無いもの。
△:折り曲げ回数3回で硬化膜にクラックが無いもの。
×:折り曲げ1回目に硬化膜にクラックが発生するもの。
(Iv) Folding resistance of the photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm on the surface of a polyimide film having a thickness of 25 μm (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as in the above item <Preparation of coating film on polyimide film>. A cured film laminated film was produced. The evaluation method of the bending resistance of the cured film laminated film is that the cured film laminated film is cut into 50 mm × 10 mm strips, bent at 180 ° at 25 mm with the cured film on the outside, and a load of 5 kg is applied to the bent portion for 3 seconds. After placing, the load was removed, and the apex of the bent portion was observed with a microscope. After microscopic observation, the bent portion was opened, and a 5 kg load was again applied for 3 seconds, and then the load was removed to completely open the cured film laminated film. The above operation was repeated, and the number of occurrences of cracks in the bent portion was defined as the number of bending times.
A: The cured film has no cracks after being bent five times.
Δ: The cured film has no cracks after being bent three times.
X: A crack occurs in the cured film at the first folding.

(v)電気絶縁信頼性
フレキシブル銅貼り積層版(電解銅箔の厚み12μm、ポリイミドフィルムは株式会社カネカ製アピカル25NPI、ポリイミド系接着剤で銅箔を接着している)上にライン幅/スペース幅=100μm/100μmの櫛形パターンを作製し、10容量%の硫酸水溶液中に1分間浸漬した後、純水で洗浄し銅箔の表面処理を行った。その後、上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>方法と同様の方法で櫛形パターン上に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜を作製し試験片の調整を行った。85℃、85%RHの環境試験機中で試験片の両端子部分に100Vの直流電流を印加し、絶縁抵抗値の変化やマイグレーションの発生などを観察した。
○:試験開始後、1000時間で10の8乗以上の抵抗値を示し、マイグレーション、デンドライトなどの発生が無いもの。
×:試験開始後、1000時間でマイグレーション、デンドライトなどの発生があるもの。
(V) Electrical insulation reliability Line width / space width on a flexible copper-laminated laminate (thickness of electrolytic copper foil 12 μm, polyimide film is Apical 25 NPI manufactured by Kaneka Corporation, and copper foil is bonded with polyimide adhesive) = 100 μm / 100 μm comb-shaped pattern was prepared, immersed in a 10% by volume sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, washed with pure water, and subjected to a copper foil surface treatment. Thereafter, a cured film of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm was prepared on the comb pattern by the same method as the above <Preparation of coating film on polyimide film>, and the test piece was adjusted. A 100 V direct current was applied to both terminals of the test piece in an environmental test machine at 85 ° C. and 85% RH, and changes in the insulation resistance value and occurrence of migration were observed.
○: A resistance value of 10 8 or more in 1000 hours after the start of the test, and no occurrence of migration or dendrite.
X: Migration, dendrite, etc. occurred in 1000 hours after the start of the test.

(vi)半田耐熱性
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、75μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル75NPI)表面に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。
上記塗工膜を260℃で完全に溶解してある半田浴に感光性樹脂組成物の硬化膜が塗工してある面が接する様に浮かべて10秒後に引き上げた。その操作を3回行い、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常がない。
×:塗膜に膨れや剥がれなどの異常が発生する。
(Vi) Solder heat resistance of the photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm on the surface of a polyimide film having a thickness of 75 μm (Apical 75NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as in the above item <Preparation of coating film on polyimide film>. A cured film laminated film was produced.
The coated film was floated so that the surface coated with the cured film of the photosensitive resin composition was in contact with a solder bath completely dissolved at 260 ° C., and then pulled up 10 seconds later. The operation was performed three times, and the state of the film surface was observed.
○: There is no abnormality in the coating film.
X: Abnormality such as swelling or peeling occurs in the coating film.

(vii)反り
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。
この硬化膜を50mm×50mmの面積のフィルムに切り出して平滑な台の上に塗布膜が上面になるように置き、フィルム端部の反り高さを測定した。測定部位の模式図を図1に示す。ポリイミドフィルム表面での反り量が少ない程、プリント配線板表面での応力が小さくなり、プリント配線板の反り量も低下することになる。反り量は5mm以下であることが好ましい。尚、筒状に丸まる場合は×とした。
(Vii) Warpage A cured film of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm on the surface of a polyimide film having a thickness of 25 μm (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as in the above item <Preparation of coating film on polyimide film>. A laminated film was produced.
The cured film was cut into a film having an area of 50 mm × 50 mm and placed on a smooth table so that the coating film was on the upper surface, and the warp height of the film edge was measured. A schematic diagram of the measurement site is shown in FIG. The smaller the amount of warpage on the polyimide film surface, the smaller the stress on the surface of the printed wiring board and the lower the amount of warping of the printed wiring board. The warp amount is preferably 5 mm or less. In addition, when rounding cylindrically, it was set as x.

(viii)難燃性
プラスチック材料の燃焼性試験規格UL94VTM法に従い、以下のように燃焼性試験を行った。上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、12.5μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名アピカル12.5NPI)片面に20μm厚みの感光性樹脂組成物硬化膜積層フィルムを作製した。上記作製したサンプルを寸法:50mm幅×200mm長さ×32.5μm 厚み(ポリイミドフィルムの厚みを含む)に切り出し、125mmの部分に標線を入れ、感光性樹脂組成物硬化膜積層が外側になるよう直径約13mmの筒状に丸め、標線よりも上の重ね合わせ部分(75mmの箇所)、及び、上部に隙間がないようにPIテープを貼り、難燃性試験用の筒を20本用意した。そのうち10本は(1)23℃/50%相対湿度/48時間で処理し、残りの10本は(2)70℃で168時間処理後無水塩化カルシウム入りデシケーターで4時間以上冷却した。これらのサンプルの上部をクランプで止めて垂直に固定し、サンプル下部にバーナーの炎を3秒間近づけて着火する。3秒間経過したらバーナーの炎を遠ざけて、サンプルの炎や燃焼が何秒後に消えるか測定する。
○:各条件((1)、(2))につき、サンプルからバーナーの炎を遠ざけてから平均(10本の平均)で10秒以内、最高で10秒以内に炎や燃焼が停止し自己消火し、かつ、評線まで燃焼が達していないもの。
×:1本でも10秒以内に消火しないサンプルがあったり、炎が評線以上のところまで上昇して燃焼するもの。
(Viii) Flame retardancy In accordance with the UL94VTM method for flammability testing of plastic materials, flammability testing was performed as follows. 12.5 μm-thick polyimide film (manufactured by Kaneka Corporation: trade name Apical 12.5 NPI), a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm on one side in the same manner as the above item <Preparation of coating on polyimide film> A cured film laminated film was produced. Cut out the sample prepared above into dimensions: 50 mm width × 200 mm length × 32.5 μm thickness (including the thickness of the polyimide film), put a marked line in the 125 mm portion, and the photosensitive resin composition cured film stack is on the outside Rounded into a cylindrical shape with a diameter of about 13 mm, affixed PI tape so that there is no gap between the upper part of the marked line (75 mm) and the upper part, and prepared 20 flame retardant test tubes did. Of these, 10 were treated at (1) 23 ° C./50% relative humidity / 48 hours, and the remaining 10 were treated at (2) 70 ° C. for 168 hours and then cooled in a desiccator containing anhydrous calcium chloride for 4 hours or more. The upper part of these samples is clamped and fixed vertically, and a burner flame is brought close to the lower part of the sample for 3 seconds to ignite. After 3 seconds, move the burner flame away and measure how many seconds after the sample flame or burning disappears.
○: For each condition ((1), (2)), the flame and combustion stopped within 10 seconds on average (average of 10) after the flame of the burner was moved away from the sample, and self-extinguishment within 10 seconds at maximum However, it has not burned to the rating line.
×: Even one sample does not extinguish within 10 seconds, or the flame rises above the rating line and burns.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(比較例1〜3)
合成例8〜10で得られた(A)バインダー樹脂、(B)感光性樹脂、(C)光重合開始剤、(D)難燃剤、(E)熱硬化性樹脂、その他の成分、及び有機溶媒である1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタンを添加して感光性樹脂組成物を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を表3に記載する。なお、添加した1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン量は、感光性樹脂組成物の固形分が60重量%になるよう調整した。組成物を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して実施例と同様の方法で物性値の評価を行った。その結果を表4に記載する。
(Comparative Examples 1-3)
(A) binder resin, (B) photosensitive resin, (C) photopolymerization initiator, (D) flame retardant, (E) thermosetting resin, other components, and organic obtained in Synthesis Examples 8 to 10 A photosensitive resin composition was prepared by adding 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane as a solvent. Table 3 shows the blending amount of each constituent raw material in the resin solid content and the kind of the raw material. The amount of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane added was adjusted so that the solid content of the photosensitive resin composition was 60% by weight. The composition was defoamed completely with a defoaming apparatus, and the physical properties were evaluated in the same manner as in the examples. The results are listed in Table 4.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

<1>チバジャパン株式会社製 光重合開始剤の製品名
<2>新中村化学株式会社製 製品名NKエステルA−9300(エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート)
<3>新中村化学株式会社製 製品名NKエステルBPE−1300(ビスフェノールA EO変性ジアクリレート)
<4>DIC株式会社製 クレゾールノボラック型の多官能エポキシ樹脂の製品名
<5>日本アエロジル株式会社製 シリカ粒子の製品名
<1> Ciba Japan Co., Ltd. product name of photopolymerization initiator <2> Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. product name NK Ester A-9300 (ethoxylated isocyanuric acid triacrylate)
<3> Product name NK ester BPE-1300 (bisphenol A EO-modified diacrylate) manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
<4> Product name of cresol novolac type polyfunctional epoxy resin manufactured by DIC Corporation <5> Product name of silica particles manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

Figure 2011237643
Figure 2011237643

(比較例4)
不揮発分としての配合量であり、アクリル樹脂であって、メタクリル酸、メタクリル酸メチル、アクリル酸ブチルの共重合体(メタクリル酸:メタクリル酸メチル:アクリル酸ブチル=17重量%:62重量%:21重量%)で重量平均分子量100000、酸価110mgKOH/gのもの30重量部、ポリウレタン化合物(日本化薬(株)社製、サンプル名UXE−3024、重量平均分子量:10000) 40重量部、ビスフェノールAポリオキシエチレンジメタクリレート(日立化成工業(株)製、商品名FA−321M)30重量部、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフェリノフェニル)−ブタノン−1(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名「I−369」)5重量部、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン(旭電化工業(株)製、商品名N-1717)3重量部、ホスフィン酸塩(クラリアント社製、商品名EXOLIT OP935、リン含有量=23質量%)30重量部、硫酸バリウム(堺化学工業(株)製、商品名バリエースB-30)60重量部、ブロック型イソシアネート(住化バイエルウレタン(株)製、商品名スミジュールBL−3175)30重量部、黄色系顔料(ピグメントイエロー)0.5重量部混合し、希釈剤としてのメチルエチルケトンとともに不揮発分が50質量%となるように混合することにより、感光性樹脂組成物を得た。組成物を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して実施例と同様の方法で物性値の評価を行った。その結果を表5に記載する。
(Comparative Example 4)
It is a blending amount as a non-volatile content, and is an acrylic resin, which is a copolymer of methacrylic acid, methyl methacrylate, and butyl acrylate (methacrylic acid: methyl methacrylate: butyl acrylate = 17% by weight: 62% by weight: 21 % By weight) with a weight average molecular weight of 100,000, an acid value of 110 mg KOH / g, 30 parts by weight, a polyurethane compound (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., sample name UXE-3024, weight average molecular weight: 10,000), 40 parts by weight, bisphenol A 30 parts by weight of polyoxyethylene dimethacrylate (trade name FA-321M, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (Ciba Specialty)・ Chemicals, trade name “I-369”) 5 parts by weight, 1,7-bis (9-acrylic) 3 parts by weight of dinyl) heptane (trade name N-1717, manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), 30 parts by weight of phosphinate (manufactured by Clariant, trade name EXOLIT OP935, phosphorus content = 23% by mass), barium sulfate ( 60 parts by weight of Sakai Chemical Industry Co., Ltd., trade name Variace B-30), 30 parts by weight of block type isocyanate (manufactured by Sumika Bayer Urethane Co., Ltd., trade name Sumijoule BL-3175), yellow pigment (Pigment Yellow) ) 0.5 part by weight was mixed and mixed with methyl ethyl ketone as a diluent so that the non-volatile content was 50% by mass to obtain a photosensitive resin composition. The composition was defoamed completely with a defoaming apparatus, and the physical properties were evaluated in the same manner as in the examples. The results are listed in Table 5.

(比較例5)
不揮発分としての配合量であり、下記構造式(8)で示されるホスフィンオキサイド化合物10.0g、酸変性多官能ビスフェノールF型エポキシアクリレート(日本化薬(株)製、商品名ZFR−1401H)46.55g、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製、商品名DPCA−60)6.06g、2−メチル−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノ−1−プロパン(チバスペシャリティーケミカルズ社製、商品名Irg.907)4.54g、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製、商品名DETX−S)0.91g、ビフェノール型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、商品名NC−3000H)18.31g、メラミン1.00g、硫酸バリウム15.15g、フタロシアニンブルー0.61g、レベリング剤(ビックケミー社製、商品名BYK−354)0.39g、消泡剤(信越化学性、商品名KS−66)0.69g、カルビトールアセテート4.54gを混合することにより、感光性樹脂組成物を得た。組成物を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して実施例と同様の方法で物性値の評価を行った。その結果を表5に記載する。
(Comparative Example 5)
It is a compounding amount as a non-volatile component, and 10.0 g of a phosphine oxide compound represented by the following structural formula (8), acid-modified polyfunctional bisphenol F type epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: ZFR-1401H) 46 .55 g, ε-caprolactone modified dipentaerythritol hexaacrylate (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name DPCA-60) 6.06 g, 2-methyl- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1- Propane (Ciba Specialty Chemicals, trade name Irg.907) 4.54 g, 2,4-diethylthioxanthone (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name DETX-S) 0.91 g, biphenol type epoxy resin (Japan) 18.31 g of Kayaku Co., Ltd., trade name NC-3000H), 1.00 g of melamine, 15. 5 g, 0.61 g of phthalocyanine blue, 0.39 g of leveling agent (trade name BYK-354, manufactured by Big Chemie), 0.69 g of antifoaming agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name KS-66), 4.54 g of carbitol acetate By mixing, a photosensitive resin composition was obtained. The composition was defoamed completely with a defoaming apparatus, and the physical properties were evaluated in the same manner as in the examples. The results are listed in Table 5.

(比較例6)
攪拌機、還流冷却機、滴下漏斗、温度計及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテル60 .0重量部及びトルエン4 0.0重量部の混合溶液を加え、窒素ガスを吹き込みながら80℃に加熱した状態で攪拌した。これに、メタクリル酸20.0重量部、メタクリル酸メチル20. 0重量部、及び、ジフェニル−(2−メタクリロイルオキシエチル)ホスフェート(大八化学工業株式会社製、商品名MR−260)60.0重量部と、アゾビスイソブチロニトリル1.0重量部とを混合した溶液を、3時間かけて滴下した後、さらに80℃で9時間攪拌した。その後、プロピレングリコールモノメチルエーテル45.0重量部で希釈することにより樹脂溶液を得た。
(Comparative Example 6)
In a flask equipped with a stirrer, reflux condenser, dropping funnel, thermometer and nitrogen gas inlet tube, propylene glycol monomethyl ether 60. A mixed solution of 0 part by weight and 0.04 part by weight of toluene was added and stirred while heating to 80 ° C. while blowing nitrogen gas. To this, 20.0 parts by weight of methacrylic acid, methyl methacrylate 20. 0 part by weight, 60.0 parts by weight of diphenyl- (2-methacryloyloxyethyl) phosphate (manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd., trade name MR-260), 1.0 part by weight of azobisisobutyronitrile After the solution was mixed dropwise over 3 hours, the mixture was further stirred at 80 ° C. for 9 hours. Then, the resin solution was obtained by diluting with 45.0 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether.

不揮発分としての配合量として、この樹脂溶液70g、リン含有光重合性化合物(昭和高分子社製、商品名HF−TMPTA)35g、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフェリノフェニル)−ブタノン−1( チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名I−369)3g、ブロックイソシアネート(住化バイエルウレタン社製、商品名BL3175、)15gを混合し、メチルエチルケトン20gで希釈し、感光性樹脂組成物を得た。組成物を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して実施例と同様の方法で物性値の評価を行った。その結果を表5に記載する。   As a compounding amount as a non-volatile content, 70 g of this resin solution, 35 g of a phosphorus-containing photopolymerizable compound (trade name HF-TMPTA, manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.), 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholino) 3 g of phenyl) -butanone-1 (product name I-369, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) and 15 g of blocked isocyanate (product name BL3175, manufactured by Sumika Bayer Urethane Co., Ltd.) were mixed, diluted with 20 g of methyl ethyl ketone, and photosensitive. A functional resin composition was obtained. The composition was defoamed completely with a defoaming apparatus, and the physical properties were evaluated in the same manner as in the examples. The results are listed in Table 5.

(比較例7)
メチルエチルケトン50重量部を500mlの四つ口フラスコに入れ、窒素気流下で撹拌しながら加熱して80℃とした。ここにジフェニル−(2−メタクリロイルオキシエチル)ホスフェート(大八化学工業株式会社製、商品名MR−260)100重量部と、アゾビスイソブチロニトリル1重量部と、過安息香酸tert−ブチル0.1重量部とを有機溶媒であるメチルエチルケトン50重量部に室温で溶解させた溶液を4時間かけて滴下し、さらに2時間反応させて樹脂溶液を得た。
(Comparative Example 7)
50 parts by weight of methyl ethyl ketone was placed in a 500 ml four-necked flask and heated to 80 ° C. with stirring under a nitrogen stream. Here, 100 parts by weight of diphenyl- (2-methacryloyloxyethyl) phosphate (manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd., trade name MR-260), 1 part by weight of azobisisobutyronitrile, and tert-butyl perbenzoate 0 A solution prepared by dissolving 1 part by weight in 50 parts by weight of methyl ethyl ketone as an organic solvent at room temperature was dropped over 4 hours, and further reacted for 2 hours to obtain a resin solution.

不揮発分の配合量として、この樹脂溶液50g、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(住友化学工業株式会社製ESCN−195)45重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シェル株式会社製EP−1001)15重量部、フェノールノボラック樹脂(大日本インキ株式会社製TD−2131)40重量部、2−フェニルイミダゾール0.2重量部を混合し、メチルエチルケトン50重量部で希釈し、感光性樹脂組成物を得た。組成物を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して実施例と同様の方法で物性値の評価を行った。その結果を表5に記載する。   As a compounding amount of the nonvolatile component, 50 g of this resin solution, 45 parts by weight of a cresol novolac type epoxy resin (ESCN-195 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), 15 weights of bisphenol A type epoxy resin (EP-1001 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) Part, phenol novolak resin (Dai Nippon Ink Co., Ltd. TD-2131) 40 parts by weight, 2-phenylimidazole 0.2 parts by weight were mixed and diluted with 50 parts by weight of methyl ethyl ketone to obtain a photosensitive resin composition. The composition was defoamed completely with a defoaming apparatus, and the physical properties were evaluated in the same manner as in the examples. The results are listed in Table 5.

(比較例8)
メチルエチルケトン50重量部を500mlの四つ口フラスコに入れ、窒素気流下で撹拌しながら加熱して80℃とした。ここにジフェニル−(2−メタクリロイルオキシエチル)ホスフェート(大八化学工業株式会社製、商品名MR−260)79重量部、アクリル酸16重量部、メタクリル酸メチル5重量部、アゾビスイソブチロニトリル1重量部と、過安息香酸tert−ブチル0.1重量部とを有機溶媒であるメチルエチルケトン50重量部に室温で溶解させた溶液を4時間かけて滴下し、さらに2時間反応させて樹脂溶液を得た。
不揮発分の配合量として、この樹脂溶液40重量部、エポキシアクリレート酸無水物(日本化薬(株)製、商品名:ZFR−1158):30重量部、ウレタン結合含有モノマー(新中村化学工業(株)製、商品名:UA−11)30重量部、光重合開始剤(チバガイギー(株)製、商品名:イルガキュア651)5重量部、熱重合開始剤(日本油脂(株)製、商品名:パーヘキシン25B):2重量部、2,2−ビス[4−(4−N−マレイミジニルフェノキシ)フェニル]プロパン10重量部を混合し、メチルエチルケトン20重量部で希釈し、感光性樹脂組成物を得た。組成物を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して実施例と同様の方法で物性値の評価を行った。その結果を表5に記載する。
(Comparative Example 8)
50 parts by weight of methyl ethyl ketone was placed in a 500 ml four-necked flask and heated to 80 ° C. with stirring under a nitrogen stream. Here, 79 parts by weight of diphenyl- (2-methacryloyloxyethyl) phosphate (manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd., trade name MR-260), 16 parts by weight of acrylic acid, 5 parts by weight of methyl methacrylate, azobisisobutyronitrile A solution obtained by dissolving 1 part by weight and 0.1 part by weight of tert-butyl perbenzoate in 50 parts by weight of methyl ethyl ketone, which is an organic solvent, at room temperature is dropped over 4 hours, and further reacted for 2 hours to obtain a resin solution. Obtained.
As a compounding amount of the nonvolatile component, 40 parts by weight of this resin solution, epoxy acrylate anhydride (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: ZFR-1158): 30 parts by weight, urethane bond-containing monomer (Shin Nakamura Chemical Industry ( Co., Ltd., trade name: UA-11) 30 parts by weight, photopolymerization initiator (Ciba Geigy Co., Ltd., trade name: Irgacure 651), 5 parts by weight, thermal polymerization initiator (Nippon Yushi Co., Ltd., trade name) : Perhexine 25B): 2 parts by weight, 10 parts by weight of 2,2-bis [4- (4-N-maleimidinylphenoxy) phenyl] propane mixed, diluted with 20 parts by weight of methyl ethyl ketone, and photosensitive resin composition Got. The composition was defoamed completely with a defoaming apparatus, and the physical properties were evaluated in the same manner as in the examples. The results are listed in Table 5.

Figure 2011237643
Figure 2011237643

1 感光性樹脂組成物を積層したポリイミドフィルム
2 反り量
3 平滑な台
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polyimide film which laminated the photosensitive resin composition 2 Warpage amount 3 Smooth stand

Claims (17)

少なくとも(A)バインダー樹脂と、(B)感光性樹脂と、(C)光重合開始剤とを含み、上記(A)バインダー樹脂が、少なくとも(a)下記一般式(1)で示されるホスフィンオキサイド化合物と、(b)カルボキシル基及び上記(a)と共重合可能な二重結合を有する化合物と、を共重合させたものであることを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 2011237643
A phosphine oxide containing at least (A) a binder resin, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator, wherein the (A) binder resin is at least (a) represented by the following general formula (1): A photosensitive resin composition obtained by copolymerizing a compound and (b) a carboxyl group and a compound having a double bond copolymerizable with the above (a).
Figure 2011237643
上記(b)が、(メタ)アクリル酸及び/又は(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基を有する化合物であることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein (b) is a compound having (meth) acrylic acid and / or a (meth) acryloyl group and a carboxyl group. 上記(b)が、(メタ)アクリル酸であることを特徴とする請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the (b) is (meth) acrylic acid. 上記(A)バインダー樹脂が、さらに(c)(メタ)アクリル酸アルキルエステルを共重合させたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the (A) binder resin is a copolymer obtained by further copolymerizing (c) (meth) acrylic acid alkyl ester. . 上記(A)バインダー樹脂のリン元素含有率が、2.0〜9.5重量%である請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the phosphorus element content of the (A) binder resin is 2.0 to 9.5 wt%. 上記(A)バインダー樹脂の酸価が、40〜200mgKOH/gである請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the acid value of the (A) binder resin is 40 to 200 mgKOH / g. 上記(C)光重合開始剤が、オキシムエステル系化合物であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The said (C) photoinitiator is an oxime ester type compound, The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. 上記感光性樹脂組成物における(A)バインダー樹脂と、(B)感光性樹脂と、(C)光重合開始剤は、(A)バインダー樹脂100重量部に対して(B)感光性樹脂が10〜200重量部、(C)光重合開始剤が、0.1〜50重量部となるように配合されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The (A) binder resin, (B) photosensitive resin, and (C) photopolymerization initiator in the above photosensitive resin composition are 10 (B) photosensitive resin with respect to 100 parts by weight of the binder resin. The photosensitive resin according to any one of claims 1 to 7, wherein the photopolymerization initiator is blended so that the amount of the photopolymerization initiator is 0.1 to 50 parts by weight. Composition. 更に(D)難燃剤を含有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   Furthermore, (D) a flame retardant is contained, The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned. 上記感光性樹脂組成物中のリン元素含有率が、1〜7重量%である請求項1〜9のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein a phosphorus element content in the photosensitive resin composition is 1 to 7% by weight. 更に(E)熱硬化性樹脂を含有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   Furthermore, (E) thermosetting resin is contained, The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-10 characterized by the above-mentioned. 上記(E)熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項11に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 11, wherein the (E) thermosetting resin is an epoxy resin. 上記(E)熱硬化性樹脂の配合割合が、(A)バインダー樹脂と、(B)感光性樹脂と、(C)光重合開始剤とを合計した100重量部に対して、0.5〜100重量部となるように配合されていることを特徴とする請求項11または12に記載の感光性樹脂組成物。   The blending ratio of the (E) thermosetting resin is 0.5 to 100 parts by weight of the total of (A) binder resin, (B) photosensitive resin, and (C) photopolymerization initiator. The photosensitive resin composition according to claim 11 or 12, which is blended so as to be 100 parts by weight. 請求項1〜13のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶解して得られる感光性樹脂組成物溶液。   The photosensitive resin composition solution obtained by melt | dissolving the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-13 in an organic solvent. 少なくとも請求項1〜13のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物、または請求項14に記載の感光性樹脂組成物溶液を基材表面に塗布した後、乾燥して得られた樹脂フィルム。   A resin film obtained by applying at least the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 13 or the photosensitive resin composition solution according to claim 14 to a substrate surface and then drying the substrate. . 請求項15に記載の樹脂フィルムを硬化させて得られる絶縁膜。   An insulating film obtained by curing the resin film according to claim 15. 請求項16記載の絶縁膜をプリント配線板に被覆した絶縁膜付きプリント配線板。   The printed wiring board with an insulating film which coat | covered the insulating film of Claim 16 on the printed wiring board.
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