JP5739209B2 - Novel photosensitive resin composition and use thereof - Google Patents

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この発明は、塗膜乾燥後のタックフリー性に優れ、感光性を有するため微細加工が可能であり、得られる硬化膜が柔軟性、難燃性、電気絶縁信頼性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい感光性樹脂組成物、樹脂フィルム、絶縁膜、絶縁膜付きプリント配線板に関するものである。   This invention is excellent in tack-free property after drying of the coating film and has photosensitivity so that it can be finely processed. The resulting cured film is excellent in flexibility, flame retardancy and electrical insulation reliability, and is a substrate after curing. The present invention relates to a photosensitive resin composition, a resin film, an insulating film, and a printed wiring board with an insulating film.

ポリイミド樹脂は、耐熱性、電気絶縁信頼性や耐薬品性、機械特性に優れることから電気・電子用途に広く使用されている。例えば、半導体デバイス上への絶縁フィルムや保護コーティング剤、フレキシブル回路基板や集積回路等の基材材料や表面保護材料、更には、微細な回路の層間絶縁膜や保護膜を形成させる場合に用いられる。   Polyimide resins are widely used in electrical and electronic applications because of their excellent heat resistance, electrical insulation reliability, chemical resistance, and mechanical properties. For example, it is used to form insulating films and protective coatings on semiconductor devices, base materials such as flexible circuit boards and integrated circuits, surface protective materials, and further, interlayer insulating films and protective films for fine circuits. .

特に、フレキシブル回路基板用の表面保護材料として用いる場合には、ポリイミドフィルム等の成形体に接着剤を塗布して得られるカバーレイフィルムが用いられてきた。このカバーレイフィルムをフレキシブル回路基板上に接着する場合、回路の端子部や部品との接合部に予めパンチングなどの方法により開口部を設け、位置合わせをした後に熱プレス等で熱圧着する方法が一般的である。   In particular, when used as a surface protection material for a flexible circuit board, a coverlay film obtained by applying an adhesive to a molded body such as a polyimide film has been used. When bonding this coverlay film on a flexible circuit board, there is a method in which an opening is provided in advance by a method such as punching in a terminal portion of a circuit or a joint portion with a component, and after aligning, a method of thermocompression bonding by a hot press or the like is used. It is common.

しかし、薄いカバーレイフィルムに高精度な開口部を設けることは困難であり、また、張り合わせ時の位置合わせは手作業で行われる場合が多いため、位置精度が悪く、張り合わせの作業性も悪く、コスト高となっていた。   However, it is difficult to provide a high-accuracy opening in a thin coverlay film, and since the alignment at the time of lamination is often performed manually, the positional accuracy is poor and the workability of the lamination is also poor. The cost was high.

一方、回路基板用の表面保護材料としては、ソルダーレジストなどが用いられる場合もあり、特に感光性機能を有するソルダーレジストは、微細な加工が必要な場合には好ましく用いられている。この感光性ソルダーレジストとしては、酸変性エポキシアクリレートやエポキシ樹脂等を主体とした感光性樹脂組成物が用いられるが、この感光性ソルダーレジストは、絶縁材料としては電気絶縁信頼性に優れるが、屈曲性等の機械特性が悪く、硬化収縮が大きいためフレキシブル回路基板などの薄くて柔軟性に富む回路基板に積層した場合、基板の反りが大きくなり、フレキシブル回路基板用に用いるのは難しかった。また、難燃性にも乏しく、難燃性を付与する目的で難燃剤を添加した場合に、物性低下や硬化膜から難燃剤がしみ出すブリードアウトによる接点障害や工程汚染が問題であった。   On the other hand, a solder resist or the like may be used as a surface protection material for a circuit board. In particular, a solder resist having a photosensitive function is preferably used when fine processing is required. As this photosensitive solder resist, a photosensitive resin composition mainly composed of acid-modified epoxy acrylate, epoxy resin, or the like is used. This photosensitive solder resist is excellent in electrical insulation reliability as an insulating material, but is bent. Therefore, when it is laminated on a thin and flexible circuit board such as a flexible circuit board, the warpage of the board becomes large and it is difficult to use it for a flexible circuit board. Further, the flame retardancy is poor, and when a flame retardant is added for the purpose of imparting flame retardancy, there are problems such as deterioration in physical properties and contact failure due to bleeding out from the cured film and process contamination.

この感光性ソルダーレジストとして、柔軟性や難燃性を発現することができる種々の提案がされている。   As this photosensitive solder resist, various proposals that can exhibit flexibility and flame retardancy have been made.

例えば、可とう性、はんだ耐熱性が優れ、かつ感度及び解像度が良好であり、耐熱保護被膜の微細パターンを容易に形成できる感光性樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。   For example, a photosensitive resin composition has been proposed that is excellent in flexibility and solder heat resistance, has good sensitivity and resolution, and can easily form a fine pattern of a heat-resistant protective film (see, for example, Patent Document 1). ).

一方、感光性ソルダーレジスト加工を行う際の重要な特性の一つに、塗膜を塗布し溶媒を乾燥させた後の塗膜表面ベタツキの少なさ(タックフリー性)が挙げられる。これは微細パターン形成のために必要なフォトマスクを塗膜表面にのせて紫外線を照射する際、フォトマスクが塗膜に貼り付いて汚染されることを防ぎ、また紫外線照射前の塗膜付き回路基板を重ねた時に回路基板同士が貼り付く事を防ぐ為に重要な特性である。   On the other hand, one of the important characteristics when carrying out the photosensitive solder resist processing is that the coating film surface is less sticky (tack-free) after the coating film is applied and the solvent is dried. This prevents the photomask from sticking to the coating film when it is irradiated with UV light by placing a photomask necessary for fine pattern formation on the surface of the coating film. This is an important characteristic for preventing the circuit boards from sticking to each other when the boards are stacked.

この感光性ソルダーレジストの塗膜乾燥後のタックフリー性を向上させる方法として、無機フィラーを添加して塗膜表面に凹凸を設ける手法が用いられるが、無機フィラーが硬質であるため硬化膜が脆くなり、クラックの発生や基材からの剥離といった問題があった。   As a method of improving the tack-free property after drying the coating film of this photosensitive solder resist, a technique of adding an inorganic filler to provide unevenness on the coating film surface is used, but the cured film is brittle because the inorganic filler is hard. Thus, there were problems such as generation of cracks and peeling from the substrate.

そこで、高感度で塗膜のタックフリー性や現像性に優れ、クラックの発生や体積収縮による密着性の低下あるいは剥離が起こり得ない高性能な光硬化性液状ソルダーレジスト用インキ組成物が提案されている(例えば、特許文献2参照。)。   Therefore, a high-performance photocurable liquid solder resist ink composition has been proposed that is highly sensitive and excellent in tack-free and developability of the coating film, and does not cause adhesion degradation or peeling due to cracking or volume shrinkage. (For example, refer to Patent Document 2).

特開2000−241969号公報JP 2000-241969 A 特開平9−137109号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-137109

上記特許文献では、感光性ソルダーレジストの課題を解決する種々の方法が提案されている。しかし、特許文献1に記載されている感光性樹脂組成物は、柔軟骨格を含有するエチレン性不飽和結合を有するウレタン化合物及び芳香族リン酸エステルを含有するため感度、解像度、耐折れ性、難燃性には優れるものの、電気絶縁信頼性、硬化膜からのブリードアウト、塗膜乾燥後のベタツキが大きくタックフリー性に劣るという問題があった。特許文献2に記載されているソルダーレジスト用インキ組成物は、ガラス転移温度が20℃以下のポリマー微粒子が分散しているため、塗膜のタックフリー性に優れ、クラックの発生や体積収縮による密着性の低下あるいは剥離が抑制されているものの、フレキシブルプリント配線板の絶縁保護膜として利用した場合、耐折れ性、難燃性に乏しく反りが大きいという問題があった。   In the above-mentioned patent documents, various methods for solving the problems of the photosensitive solder resist are proposed. However, since the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 contains a urethane compound having an ethylenically unsaturated bond containing a flexible skeleton and an aromatic phosphate ester, sensitivity, resolution, folding resistance, difficulty Although it is excellent in flammability, there are problems that electrical insulation reliability, bleeding out from a cured film, and stickiness after drying of the coating film are large and inferior in tack-free property. The ink composition for solder resist described in Patent Document 2 is excellent in tack-free coating film due to dispersion of polymer fine particles having a glass transition temperature of 20 ° C. or less, and adhesion due to generation of cracks and volume shrinkage. However, when used as an insulating protective film of a flexible printed wiring board, there is a problem that bending resistance and flame retardancy are poor and warpage is large.

本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、少なくとも(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、(B)架橋ポリマー粒子、(C)熱硬化性樹脂、(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物から、塗膜乾燥後のタックフリー性に優れ、感光性を有するため微細加工が可能であり、得られる硬化膜が柔軟性、難燃性、電気絶縁信頼性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい感光性樹脂組成物、樹脂フィルム、絶縁膜、絶縁膜付きプリント配線板が得られる知見を得、これらの知見に基づいて、本発明に達したものである。本願発明は以下の新規な構成の感光性樹脂組成物により上記課題を解決しうる。   As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that at least (A1) a resin containing substantially no radical polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond and a carboxyl group, (A2) molecule A photosensitivity characterized in that it contains a radically polymerizable group and a urethane bond, (B) crosslinked polymer particles, (C) a thermosetting resin, and (D) a photopolymerization initiator. From the resin composition, it has excellent tack-free properties after drying the coating film and has photosensitivity, so it can be finely processed, and the resulting cured film has excellent flexibility, flame retardancy, and electrical insulation reliability. The knowledge which a photosensitive resin composition, a resin film, an insulating film, and a printed wiring board with an insulating film with a small board | substrate curvature were obtained was obtained, and based on these knowledge, this invention was achieved. This invention can solve the said subject with the photosensitive resin composition of the following novel structures.

すなわち、本願発明は、少なくとも(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、(B)架橋ポリマー粒子、(C)熱硬化性樹脂、(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。   That is, the present invention comprises at least (A1) a resin that substantially does not contain a radical polymerizable group in the molecule and contains a urethane bond and a carboxyl group, and (A2) contains a radical polymerizable group in the molecule, A photosensitive resin composition comprising a resin containing a urethane bond, (B) crosslinked polymer particles, (C) a thermosetting resin, and (D) a photopolymerization initiator.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記(B)架橋ポリマー粒子の平均粒子径が、1〜10μmであることが好ましい。
また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記(B)架橋ポリマー粒子の配合量が、(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂及び(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂の合計100重量部に対して30〜100重量部であることが好ましい。
Moreover, in the photosensitive resin composition concerning this invention, it is preferable that the average particle diameter of the said (B) crosslinked polymer particle is 1-10 micrometers.
Moreover, in the photosensitive resin composition concerning this invention, the compounding quantity of the said (B) crosslinked polymer particle (A1) does not contain a radically polymerizable group substantially in a molecule | numerator, and a urethane bond and a carboxyl group are included. It is preferable that it is 30-100 weight part with respect to a total of 100 weight part of resin to contain and the resin containing (A2) radical polymerizable group in a molecule | numerator, and containing a urethane bond.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記(B)架橋ポリマー粒子が、分子内にウレタン結合を含有する架橋ポリマー粒子であることが好ましい。   Moreover, in the photosensitive resin composition concerning this invention, it is preferable that the said (B) crosslinked polymer particle is a crosslinked polymer particle containing a urethane bond in a molecule | numerator.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、更に(E)リン系難燃剤を含有することが好ましい。   Moreover, in the photosensitive resin composition concerning this invention, it is preferable to contain the (E) phosphorus flame retardant further.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記(E)リン系難燃剤が、ホスフィン酸塩であることが好ましい。   Moreover, in the photosensitive resin composition concerning this invention, it is preferable that the said (E) phosphorus flame retardant is a phosphinate.

また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記(C)熱硬化性樹脂が、多官能エポキシ樹脂であることが好ましい。   Moreover, in the photosensitive resin composition concerning this invention, it is preferable that the said (C) thermosetting resin is a polyfunctional epoxy resin.

また、本願発明にかかる樹脂フィルムは、上記感光性樹脂組成物を基材表面に塗布した後、乾燥して得られるものである。   Moreover, the resin film concerning this invention is obtained by drying, after apply | coating the said photosensitive resin composition to the base-material surface.

また、本願発明にかかる絶縁膜は、上記樹脂フィルムを硬化させて得られるものである。   The insulating film according to the present invention is obtained by curing the resin film.

また、本願発明にかかる絶縁膜付きプリント配線板は、上記絶縁膜がプリント配線板に被覆されてなるものである。   The printed wiring board with an insulating film according to the present invention is formed by coating the insulating film on the printed wiring board.

本願発明の感光性樹脂組成物は、以上のように、少なくとも(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、(B)架橋ポリマー粒子、(C)熱硬化性樹脂、(D)光重合開始剤を含有する構成を備えているので、本願発明の感光性樹脂組成物は、塗膜乾燥後のタックフリー性に優れ、感光性を有するため微細加工が可能であり、得られる硬化膜が柔軟性、難燃性、電気絶縁信頼性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい。従って、本願発明の感光性樹脂組成物は、種々の回路基板の保護膜等に使用でき、優れた効果を奏するものである。   As described above, the photosensitive resin composition of the present invention comprises at least (A1) a resin that substantially does not contain a radical polymerizable group in the molecule and contains a urethane bond and a carboxyl group, and (A2) an intramolecular In this application, the resin composition includes a radically polymerizable group and a resin containing a urethane bond, (B) a crosslinked polymer particle, (C) a thermosetting resin, and (D) a photopolymerization initiator. The photosensitive resin composition of the invention is excellent in tack-free properties after drying of the coating film, and can be finely processed because it has photosensitivity, and the resulting cured film is excellent in flexibility, flame retardancy, and electrical insulation reliability The warpage of the substrate after curing is small. Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention can be used for protective films of various circuit boards and exhibits excellent effects.

フィルムの反り量を測定している模式図である。It is the schematic diagram which has measured the curvature amount of the film.

以下本願発明について、(I)感光性樹脂組成物、(II)感光性樹脂組成物の使用方法の順に詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail in the order of (I) the photosensitive resin composition and (II) the method of using the photosensitive resin composition.

(I)感光性樹脂組成物
本願発明の感光性樹脂組成物とは、少なくとも(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、(B)架橋ポリマー粒子、(C)熱硬化性樹脂、(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。
(I) Photosensitive resin composition The photosensitive resin composition of the present invention is a resin containing at least (A1) a radically polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond and a carboxyl group. A2) containing a radically polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond, (B) a crosslinked polymer particle, (C) a thermosetting resin, and (D) a photopolymerization initiator. The photosensitive resin composition.

ここで、本願発明の感光性樹脂組成物は、各種特性に優れる事を、本発明者らは見出したが、これは、以下の理由によるのではないかと推測している。つまり、(A1)成分である分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂は、ラジカル重合性基を実質的に含有しないためこれを含有する感光性樹脂組成物から得られる硬化膜の架橋点間距離が長くなり、更に柔軟性に優れるウレタン結合を含有するため柔軟性に優れ、硬化後の基板の反りが小さく、更に分子内にカルボキシル基を含有するためこれを含有する感光性樹脂組成物は微細パターン形成時の現像液であるアルカリ水溶液への溶解性に優れる。また、(A1)成分と(A2)成分である分子内にラジカル重合性基を含有するウレタン結合含有樹脂とを組み合わせることにより、柔軟性と感光性を高いレベルで両立することが可能となる。また、(B)成分である架橋ポリマー粒子は、塗膜表面に凹凸を設ける役割を果たすため、これを含有する感光性樹脂組成物から得られる塗膜乾燥後のタックフリー性に優れ、ポリマー粒子が軟質であるため塗膜の柔軟性低下を招かない。更に、ポリマー粒子が架橋構造を有するため耐熱性や耐薬品性に優れる。更に、驚くべきことに、一般的にはフィラー成分を高充填すると繰り返し折り曲げに耐える柔軟性が低下するが、(A1)、(A2)、及び(B)成分を組み合わせることにより、感光性に優れているにも拘らず、これらを含有する感光性樹脂組成物から得られる硬化膜が非常に柔らかく耐折れ性に優れるものになる。これは、架橋ポリマー粒子と硬化膜のマトリックスを構成する(A1)及び(A2)成分との親和性が、架橋ポリマー粒子が有機フィラーであるため無機フィラーと比べて良好であり、架橋ポリマー粒子表面から(A1)及び(A2)成分が内部に染み込むため、(A1)及び(A2)成分と(B)成分との界面で強固な接着性が得られるためではないかと推測している。   Here, although the present inventors discovered that the photosensitive resin composition of this invention was excellent in various characteristics, it estimates that this may be based on the following reasons. That is, the resin that does not substantially contain a radically polymerizable group in the molecule as the component (A1) and contains a urethane bond and a carboxyl group does not substantially contain a radically polymerizable group. The distance between the cross-linking points of the cured film obtained from the photosensitive resin composition is increased, and since it contains a urethane bond having excellent flexibility, the flexibility is excellent, the warpage of the substrate after curing is small, and the carboxyl group in the molecule Therefore, the photosensitive resin composition containing this is excellent in the solubility to the aqueous alkali solution which is a developing solution at the time of forming a fine pattern. Further, by combining a urethane bond-containing resin containing a radically polymerizable group in the molecule that is the component (A1) and the component (A2), both flexibility and photosensitivity can be achieved at a high level. In addition, since the crosslinked polymer particles as the component (B) serve to provide unevenness on the surface of the coating film, the polymer particles are excellent in tack-free property after drying the coating film obtained from the photosensitive resin composition containing the polymer particle. Is soft and does not cause a decrease in flexibility of the coating film. Furthermore, since the polymer particles have a crosslinked structure, they are excellent in heat resistance and chemical resistance. Furthermore, surprisingly, in general, when the filler component is highly filled, the flexibility to withstand repeated bending is lowered, but by combining the components (A1), (A2), and (B), the photosensitivity is excellent. Nevertheless, the cured film obtained from the photosensitive resin composition containing these is very soft and excellent in fold resistance. This is because the affinity between the crosslinked polymer particles and the components (A1) and (A2) constituting the matrix of the cured film is better than the inorganic filler because the crosslinked polymer particles are organic fillers. It is speculated that the components (A1) and (A2) permeate into the interior, and that strong adhesiveness is obtained at the interface between the components (A1) and (A2) and the component (B).

以下(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、(B)架橋ポリマー粒子、(C)熱硬化性樹脂、(D)光重合開始剤、(E)リン系難燃剤、その他の成分、及び、感光性樹脂組成物の混合方法について説明する。   Hereinafter, (A1) a resin containing substantially no radical polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond and a carboxyl group, and (A2) containing a radical polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond. The mixing method of resin, (B) crosslinked polymer particle, (C) thermosetting resin, (D) photopolymerization initiator, (E) phosphorus flame retardant, other components, and photosensitive resin composition will be described. .

<(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂>
本願発明の(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂とは、分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、少なくとも1つのウレタン結合を含有する繰り返し単位及び少なくとも1つのカルボキシル基を含有する繰り返し単位を含有している、重量平均分子量が、ポリエチレングリコール換算で、1,000以上1,000,000以下のポリマーである。
<(A1) Resin containing substantially no radical polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond and a carboxyl group>
The resin having substantially no radical polymerizable group in the molecule (A1) of the present invention and containing a urethane bond and a carboxyl group is substantially free of radical polymerizable group in the molecule, and at least A polymer having a repeating unit containing one urethane bond and a repeating unit containing at least one carboxyl group and having a weight average molecular weight of 1,000 or more and 1,000,000 or less in terms of polyethylene glycol. .

ここで、分子内にラジカル重合性基を実質的に含有しないとは、分子内に(メタ)アクリロイル基やビニル基等のラジカル重合性基を全く含有しなくてもよいし、本願発明の効果の発現を損なわない範囲であれば含有していてもよい。本願発明の効果の発現を損なわない範囲とは、(A1)成分の分子内のラジカル重合性基をヨウ素価として測定することにより定量した値が5未満である。ヨウ素価とは、試料100gにハロゲンを反応させたとき、結合するハロゲンの量をヨウ素のg数に換算した値であり、JIS K0070で規定された方法で測定することができる。   Here, the term “substantially free of radically polymerizable group in the molecule” means that the molecule may not contain any radically polymerizable group such as (meth) acryloyl group or vinyl group, and the effect of the present invention. If it is a range which does not impair expression of, you may contain. The range which does not impair the expression of the effect of the present invention means that the value determined by measuring the radical polymerizable group in the molecule of the component (A1) as an iodine value is less than 5. The iodine value is a value obtained by converting the amount of halogen bonded to 100 g of a sample into the number of g of iodine, and can be measured by a method defined in JIS K0070.

本願発明の(A1)成分の分子量は、例えば、以下の方法で測定することができる。
使用装置:東ソーHLC−8220GPC相当品
カラム :東ソー TSK gel Super AWM−H(6.0mmI.D.×15cm)×2本
ガードカラム:東ソー TSK guard column Super AW−H
溶離液:30mM LiBr+20mM H3PO4 in DMF
流速:0.6mL/min
カラム温度:40℃
検出条件:RI:ポラリティ(+)、レスポンス(0.5sec)
試料濃度:約5mg/mL
標準品:PEG(ポリエチレングリコール)
The molecular weight of the component (A1) of the present invention can be measured, for example, by the following method.
Equipment used: Tosoh HLC-8220GPC equivalent column: Tosoh TSK gel Super AWM-H (6.0 mm ID x 15 cm) x 2 guard columns: Tosoh TSK guard column Super AW-H
Eluent: 30 mM LiBr + 20 mM H3PO4 in DMF
Flow rate: 0.6 mL / min
Column temperature: 40 ° C
Detection conditions: RI: Polarity (+), response (0.5 sec)
Sample concentration: about 5 mg / mL
Standard product: PEG (polyethylene glycol)

上記範囲内に重量平均分子量を制御することにより、感光性樹脂組成物のアルカリ現像性、得られる硬化膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。重量平均分子量が1,000以下の場合は、柔軟性や耐薬品性が低下する場合があり、重量平均分子量が1,000,000以上の場合は感光性樹脂組成物のアルカリ現像性が低下し、粘度が高くなる場合がある。   Controlling the weight average molecular weight within the above range is preferable because the alkali developability of the photosensitive resin composition, the flexibility of the resulting cured film, and the chemical resistance are excellent. When the weight average molecular weight is 1,000 or less, flexibility and chemical resistance may decrease, and when the weight average molecular weight is 1,000,000 or more, the alkali developability of the photosensitive resin composition decreases. , The viscosity may increase.

本願発明の(A1)成分のカルボキシル基含有量は、酸価として測定できる。(A1)成分の酸価は、50〜200mgKOH/gとすることが好ましく、50〜150mgKOH/gとすることがより好ましい。酸価が50mgKOH/gより小さい場合では感光性樹脂組成物のアルカリ現像性が低下する場合があり、200mgKOH/gより大きい場合では硬化膜の吸湿性が高くなり電気絶縁信頼性が低下する場合がある。   The carboxyl group content of the component (A1) of the present invention can be measured as an acid value. The acid value of the component (A1) is preferably 50 to 200 mgKOH / g, and more preferably 50 to 150 mgKOH / g. When the acid value is less than 50 mgKOH / g, the alkali developability of the photosensitive resin composition may be reduced. When the acid value is more than 200 mgKOH / g, the hygroscopicity of the cured film may be increased and the electrical insulation reliability may be reduced. is there.

本願発明の(A1)成分は、任意の反応により得ることが可能であるが、例えば、下記一般式(1)   The component (A1) of the present invention can be obtained by any reaction. For example, the following general formula (1)

Figure 0005739209
Figure 0005739209

(式中、Rは2価の有機基を示す)
で示されるジオール化合物、下記一般式(2)
(Wherein R 1 represents a divalent organic group)
A diol compound represented by the following general formula (2)

Figure 0005739209
Figure 0005739209

(式中、Rは3価の有機基を示す)
で示される2つの水酸基及び1つのカルボキシル基を含有する化合物、及び下記一般式(3)
(Wherein R 2 represents a trivalent organic group)
A compound containing two hydroxyl groups and one carboxyl group represented by the following general formula (3):

Figure 0005739209
Figure 0005739209

(式中、Xは2価の有機基を示す)
で示されるジイソシアネート化合物を反応させることにより、下記一般式(4)
(Wherein X 1 represents a divalent organic group)
Is reacted with the diisocyanate compound represented by the following general formula (4):

Figure 0005739209
Figure 0005739209

(式中、Rは2価の有機基、Rは3価の有機基、Xは2価の有機基を示し、nは1以上の整数、mは1以上の整数を示す)
で示されるウレタン結合を含有する繰り返し単位を含有する構造として得られる。
(Wherein R 1 represents a divalent organic group, R 2 represents a trivalent organic group, X 1 represents a divalent organic group, n represents an integer of 1 or more, and m represents an integer of 1 or more)
It is obtained as a structure containing a repeating unit containing a urethane bond represented by

上記ジオール化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,8−オクタンジオール、2−メチル1,8−オクタンジオール、1,9−ノナンジオール、1,10−デカンジオール、1,4−シクロヘキサンジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノール等のアルキレンジオール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、テトラメチレングリコールとネオペンチルグリコールとのランダム共重合体等のポリオキシアルキレンジオール、多価アルコールと多塩基酸とを反応させて得られるポリエステルジオール、カーボネート骨格を有するポリカーボネートジオール、γ−ブチルラクトン、ε−カプロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン類を開環付加反応させて得られるポリカプロラクトンジオール、ビスフェノールA、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物、水添ビスフェノールA、水添ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物、水添ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The diol compound is not particularly limited as long as it has the above structure. For example, ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, neopentyl glycol 3-methyl-1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,8-octanediol, 2-methyl-1,8-octanediol, 1,9-nonanediol, 1,10-decanediol, Polyoxyalkylene such as alkylene diol such as 1,4-cyclohexanediol and 1,4-cyclohexanedimethanol, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, and a random copolymer of tetramethylene glycol and neopentyl glycol A ring-opening addition reaction of diols, polyester diols obtained by reacting polyhydric alcohols and polybasic acids, polycarbonate diols having a carbonate skeleton, γ-butyllactone, ε-caprolactone, δ-valerolactone, etc. Polycaprolactone diol, bisphenol A, ethylene oxide adduct of bisphenol A, propylene oxide adduct of bisphenol A, hydrogenated bisphenol A, ethylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, propylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, etc. These can be used alone or in combination of two or more.

特に、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリオキシアルキレンジオール、ポリエステルジオール、ポリカーボネートジオール、ポリカプロラクトンジオール等の長鎖ジオールを用いた場合、感光性樹脂組成物を硬化させることにより得られる硬化膜の弾性率を低下させ、屈曲性、低反りに優れる点で好ましい。   In particular, when a long-chain diol such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, polyoxyalkylene diol, polyester diol, polycarbonate diol, or polycaprolactone diol is used, curing obtained by curing the photosensitive resin composition It is preferable in that the elastic modulus of the film is lowered and the flexibility and low warpage are excellent.

上記2つの水酸基及び1つのカルボキシル基を含有する化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸、2,2−ビス(2−ヒドロキシエチル)プロピオン酸、2,2−ビス(3−ヒドロキシメプロピル)プロピオン酸、2,3−ジヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸、2,2−ビス(2−ヒドロキシエチル)ブタン酸、2,2−ビス(3−ヒドロキシプロピル)ブタン酸、2,3−ジヒドロキシブタン酸、2,4−ジヒドロキシ−3,3−ジメチルブタン酸、2,3−ジヒドロキシヘキサデカン酸、2,3−ジヒドロキシ安息香酸、2,4−ジヒドロキシ安息香酸、2,5−ジヒドロキシ安息香酸、2,6−ジヒドロキシ安息香酸、3,4−ジヒドロキシ安息香酸、3,5−ジヒドロキシ安息香酸等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The compound containing the two hydroxyl groups and one carboxyl group is not particularly limited as long as it has the above structure. For example, 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid, 2,2-bis (2-hydroxyethyl) ) Propionic acid, 2,2-bis (3-hydroxymepropyl) propionic acid, 2,3-dihydroxy-2-methylpropionic acid, 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid, 2,2-bis (2 -Hydroxyethyl) butanoic acid, 2,2-bis (3-hydroxypropyl) butanoic acid, 2,3-dihydroxybutanoic acid, 2,4-dihydroxy-3,3-dimethylbutanoic acid, 2,3-dihydroxyhexadecanoic acid 2,3-dihydroxybenzoic acid, 2,4-dihydroxybenzoic acid, 2,5-dihydroxybenzoic acid, 2,6-dihydroxybenzoic acid Acid, 3,4-dihydroxybenzoic acid, 3,5-dihydroxybenzoic acid, etc. These can be used alone or in combinations of two or more.

特に、脂肪族系の2つの水酸基及び1つのカルボキシル基を含有する化合物を用いた場合、感光性樹脂組成物の感光性に優れる点で好ましい。   In particular, when a compound containing two aliphatic hydroxyl groups and one carboxyl group is used, it is preferable in terms of excellent photosensitivity of the photosensitive resin composition.

上記ジイソシアネート化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、ジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、3,2′−又は3,3′−又は4,2′−又は4,3′−又は5,2′−又は5,3′−又は6,2′−又は6,3′−ジメチルジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、3,2′−又は3,3′−又は4,2′−又は4,3′−又は5,2′−又は5,3′−又は6,2′−又は6,3′−ジエチルジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、3,2′−又は3,3′−又は4,2′−又は4,3′−又は5,2′−又は5,3′−又は6,2′−又は6,3′−ジメトキシジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−4,4′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−3,3′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−3,4′−ジイソシアネート、ジフェニルエーテル−4,4′−ジイソシアネート、ベンゾフェノン−4,4′−ジイソシアネート、ジフェニルスルホン−4,4′−ジイソシアネート、トリレン−2,4−ジイソシアネート、トリレン−2,6−ジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネート、p−キシリレンジイソシアネート、ナフタレン−2,6−ジイソシアネート、4,4′−[2,2−ビス(4−フェノキシフェニル)プロパン]ジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート化合物、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート等の脂環族ジイソシアネート化合物、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The diisocyanate compound is not particularly limited as long as it has the above structure. For example, diphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2'- or 4,3'- Or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-dimethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2 ' -Or 4,3'- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-diethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3 '-Or 4,2'- or 4,3'- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-dimethoxydiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, diphenylmethane- 4,4'-diisocyanate, diphenyl Tan-3,3'-diisocyanate, diphenylmethane-3,4'-diisocyanate, diphenyl ether-4,4'-diisocyanate, benzophenone-4,4'-diisocyanate, diphenylsulfone-4,4'-diisocyanate, tolylene-2, 4-diisocyanate, tolylene-2,6-diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, p-xylylene diisocyanate, naphthalene-2,6-diisocyanate, 4,4 '-[2,2-bis (4-phenoxyphenyl) propane Aromatic diisocyanate compounds such as diisocyanate, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate, hydrogenated xylylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, norbornene diisocyanate Hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, aliphatic diisocyanate compounds such as lysine diisocyanate, and these can be used alone or in combinations of two or more.

特に、脂環族ジイソシアネート及び脂肪族ジイソシアネート化合物を用いた場合、感光性樹脂組成物の感光性に優れる点で好ましい。   In particular, when an alicyclic diisocyanate and an aliphatic diisocyanate compound are used, it is preferable in that the photosensitive resin composition is excellent in photosensitivity.

本願発明の(A1)成分の合成方法は、ジオール化合物とジイソシアネート化合物との配合量を、水酸基数とイソシアネート基数との比率が、イソシアネート基/水酸基=0.5以上2.0以下になるように配合し、無溶媒あるいは有機溶媒中で反応させることで得られる。   In the synthesis method of the component (A1) of the present invention, the blending amount of the diol compound and the diisocyanate compound is such that the ratio of the number of hydroxyl groups to the number of isocyanate groups is isocyanate group / hydroxyl group = 0.5 or more and 2.0 or less. It is obtained by blending and reacting in a solvent-free or organic solvent.

また、2種類以上のジオール化合物を用いる場合、ジイソシアネート化合物との反応は、2種類以上のジオール化合物を混合した後に行ってもよいし、それぞれのジオール化合物とジイソシアネート化合物とを別個に反応させてもよい。また、ジオール化合物とジイソシアネート化合物とを反応させた後に、得られた末端イソシアネート化合物をさらに他のジオール化合物と反応させ、さらにこれをジイソシアネート化合物と反応させてもよい。また、2種類以上のジイソシアネート化合物を用いる場合も同様である。このようにして、所望の(A1)成分を製造することができる。   Moreover, when using 2 or more types of diol compounds, reaction with a diisocyanate compound may be performed after mixing 2 or more types of diol compounds, or each diol compound and diisocyanate compound may be made to react separately. Good. Moreover, after making a diol compound and a diisocyanate compound react, you may make the obtained terminal isocyanate compound react with another diol compound, and also make this react with a diisocyanate compound. The same applies when two or more types of diisocyanate compounds are used. In this way, the desired component (A1) can be produced.

ジオール化合物とジイソシアネート化合物との反応温度は、40〜160℃とすることが好ましく、60〜150℃とすることがより好ましい。40℃未満では反応時間が長くなり過ぎ、160℃を超えると反応中に三次元化反応が生じてゲル化が起こり易い。反応時間は、バッチの規模、採用される反応条件により適宜選択することができる。また、必要に応じて、三級アミン類、アルカリ金属、アルカリ土類金属、錫、亜鉛、チタニウム、コバルト等の金属又は半金属化合物等の触媒存在下に反応を行っても良い。   The reaction temperature between the diol compound and the diisocyanate compound is preferably 40 to 160 ° C, and more preferably 60 to 150 ° C. When the temperature is lower than 40 ° C., the reaction time becomes too long. The reaction time can be appropriately selected depending on the scale of the batch and the reaction conditions employed. If necessary, the reaction may be performed in the presence of a catalyst such as a tertiary amine, an alkali metal, an alkaline earth metal, a metal such as tin, zinc, titanium, cobalt, or a metalloid compound.

上記反応は、無溶媒で反応させることもできるが、反応を制御する為には、有機溶媒系で反応させることが望ましく、例えば有機溶媒としては、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどを挙げることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。   The above reaction can be carried out in the absence of a solvent. However, in order to control the reaction, it is desirable to carry out the reaction in an organic solvent system. For example, examples of the organic solvent include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, N , N-dimethylformamide, formamide solvents such as N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, acetamide solvents such as N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-vinyl-2 Examples include pyrrolidone solvents such as -pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, and γ-butyrolactone. Further, if necessary, these organic polar solvents can be used in combination with an aromatic hydrocarbon such as xylene or toluene.

更に、例えばメチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。中でも、副反応が生じにくいことから、対称グリコールジエーテル類を用いることが好ましい。   Furthermore, for example, methyl monoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyldiglyme (bis (2-methoxyether) ether), methyltriglyme (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (Bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldiglyme (bis (2-ethoxyethyl) ether), butyldiglyme (bis (2 Symmetric glycol diethers such as -butoxyethyl) ether), methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether Cetate (aka carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate)), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether Acetates such as acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n Propyl ether, propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, a solvent may be used ethers such as ethyl ether also ethylene glycol. Of these, symmetrical glycol diethers are preferably used because side reactions are unlikely to occur.

反応の際に用いられる溶剤量は、反応溶液中の溶質重量濃度すなわち溶液濃度が5重量%以上90重量%以下となるような量とすることが望ましい。反応溶液中の溶質重量濃度は、更に好ましくは、10重量%以上80重量%以下となることが望ましい。溶液濃度が5%以下の場合には、重合反応が起こりにくく反応速度が低下すると共に、所望の構造物質が得られない場合があるので好ましくない。   The amount of solvent used in the reaction is desirably such that the solute weight concentration in the reaction solution, that is, the solution concentration is 5% by weight or more and 90% by weight or less. The solute weight concentration in the reaction solution is more preferably 10 wt% or more and 80 wt% or less. When the solution concentration is 5% or less, the polymerization reaction is difficult to occur, the reaction rate is lowered, and a desired structural substance may not be obtained.

<(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂>
本願発明の(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂とは、少なくとも1つのラジカル重合開始剤により重合反応が進行するラジカル重合性基及びウレタン結合を含有している重量平均分子量が、ポリエチレングリコール換算で、1,000以上100,000以下のポリマーである。
<(A2) Resin containing radically polymerizable group in molecule and containing urethane bond>
The resin containing a radically polymerizable group in the molecule (A2) of the present invention and containing a urethane bond contains a radically polymerizable group and a urethane bond in which a polymerization reaction proceeds by at least one radical polymerization initiator. The polymer having a weight average molecular weight of 1,000 or more and 100,000 or less in terms of polyethylene glycol.

上記範囲内に重量平均分子量を制御することにより、感光性樹脂組成物のアルカリ現像性、得られる硬化膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。重量平均分子量が1,000以下の場合は、柔軟性や耐薬品性が低下する場合があり、重量平均分子量が100,000以上の場合はアルカリ現像性が低下し、感光性樹脂組成物の粘度が高くなる場合がある。   Controlling the weight average molecular weight within the above range is preferable because the alkali developability of the photosensitive resin composition, the flexibility of the resulting cured film, and the chemical resistance are excellent. When the weight average molecular weight is 1,000 or less, flexibility and chemical resistance may be lowered. When the weight average molecular weight is 100,000 or more, alkali developability is lowered, and the viscosity of the photosensitive resin composition is reduced. May be higher.

本願発明の(A2)成分のラジカル重合性基は、不飽和二重結合であることが好ましい。さらには、上記不飽和二重結合は、(メタ)アクリロイル基、もしくはビニル基であることが好ましい。上記ラジカル重合性基含有量は、上記(A1)成分と同様にヨウ素価として測定できる。(A2)成分のヨウ素価は、10〜200とすることが好ましく、50〜150とすることがより好ましい。ヨウ素価が10より小さい場合では感光性樹脂組成物の感光性が低下する場合があり、200より大きい場合では感光性基が多すぎるために架橋密度が高くなり、得られる硬化膜の柔軟性が悪化し、反りが大きくなる場合がある。   The radical polymerizable group of the component (A2) of the present invention is preferably an unsaturated double bond. Furthermore, the unsaturated double bond is preferably a (meth) acryloyl group or a vinyl group. The radical polymerizable group content can be measured as an iodine value in the same manner as the component (A1). The iodine value of the component (A2) is preferably 10 to 200, more preferably 50 to 150. When the iodine value is less than 10, the photosensitivity of the photosensitive resin composition may be lowered. When the iodine value is more than 200, the crosslinking density becomes high due to too many photosensitive groups, and the flexibility of the obtained cured film is increased. It may worsen and warp may increase.

本願発明の(A2)成分は、分子内にラジカル重合性基を含有するウレタン結合含有樹脂であれば特に限定されないが、例えば、ウレタン(メタ)アクリレート樹脂、ウレタン変性エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の場合、得られる硬化膜の耐折れ性に優れ、反りが小さいため好ましい。   The component (A2) of the present invention is not particularly limited as long as it is a urethane bond-containing resin containing a radical polymerizable group in the molecule. For example, in the case of a urethane (meth) acrylate resin or a urethane-modified epoxy (meth) acrylate resin The resulting cured film is preferable because it is excellent in bending resistance and has little warpage.

本願発明の(A2)成分は、任意の反応により得ることが可能であるが、例えば、ウレタン(メタ)アクリレート樹脂は、上記一般式(1)で示されるジオール化合物、及び上記一般式(3)で示されるジイソシアネート化合物に加えて、下記一般式(5)   The component (A2) of the present invention can be obtained by an arbitrary reaction. For example, the urethane (meth) acrylate resin is a diol compound represented by the general formula (1) and the general formula (3). In addition to the diisocyanate compound represented by general formula (5)

Figure 0005739209
Figure 0005739209

(式中、Rはr+1価の有機基を示し、Rは水素又はアルキル基を示す。rは1〜3の整数を示す)
で示される水酸基及び少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物及び/又は下記一般式(6)
(In the formula, R 3 represents an r + 1 valent organic group, R 4 represents hydrogen or an alkyl group, and r represents an integer of 1 to 3)
And / or a compound containing at least one (meth) acryloyl group and / or the following general formula (6)

Figure 0005739209
Figure 0005739209

(式中、Xはs+1価の有機基を示し、Xは水素又はアルキル基を示す。sは1〜3の整数を示す)
で示されるイソシアネート基及び少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物を反応させることにより得られる。
(Wherein X 2 represents an s + 1 valent organic group, X 3 represents hydrogen or an alkyl group, and s represents an integer of 1 to 3)
It is obtained by reacting a compound containing an isocyanate group represented by the formula (1) and at least one (meth) acryloyl group.

上記ジオール化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,8−オクタンジオール、2−メチル1,8−オクタンジオール、1,9−ノナンジオール、1,10−デカンジオール、1,4−シクロヘキサンジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノール等のアルキレンジオール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、テトラメチレングリコールとネオペンチルグリコールとのランダム共重合体等のポリオキシアルキレンジオール、多価アルコールと多塩基酸とを反応させて得られるポリエステルジオール、カーボネート骨格を有するポリカーボネートジオール、γ−ブチルラクトン、ε−カプロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン類を開環付加反応させて得られるポリカプロラクトンジオール、ビスフェノールA、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物、水添ビスフェノールA、水添ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物、水添ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The diol compound is not particularly limited as long as it has the above structure. For example, ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, neopentyl glycol 3-methyl-1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,8-octanediol, 2-methyl-1,8-octanediol, 1,9-nonanediol, 1,10-decanediol, Polyoxyalkylene such as alkylene diol such as 1,4-cyclohexanediol and 1,4-cyclohexanedimethanol, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, and a random copolymer of tetramethylene glycol and neopentyl glycol A ring-opening addition reaction of diols, polyester diols obtained by reacting polyhydric alcohols and polybasic acids, polycarbonate diols having a carbonate skeleton, γ-butyllactone, ε-caprolactone, δ-valerolactone, etc. Polycaprolactone diol, bisphenol A, ethylene oxide adduct of bisphenol A, propylene oxide adduct of bisphenol A, hydrogenated bisphenol A, ethylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, propylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, etc. These can be used alone or in combination of two or more.

特に、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリオキシアルキレンジオール、ポリエステルジオール、ポリカーボネートジオール、ポリカプロラクトンジオール等の長鎖ジオールを用いた場合、感光性樹脂組成物を硬化させることにより得られる硬化膜の弾性率を低下させ、屈曲性、低反りに優れる点で好ましい。   In particular, when a long-chain diol such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, polyoxyalkylene diol, polyester diol, polycarbonate diol, or polycaprolactone diol is used, curing obtained by curing the photosensitive resin composition It is preferable in that the elastic modulus of the film is lowered and the flexibility and low warpage are excellent.

上記ジイソシアネート化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、ジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、3,2′−又は3,3′−又は4,2′−又は4,3′−又は5,2′−又は5,3′−又は6,2′−又は6,3′−ジメチルジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、3,2′−又は3,3′−又は4,2′−又は4,3′−又は5,2′−又は5,3′−又は6,2′−又は6,3′−ジエチルジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、3,2′−又は3,3′−又は4,2′−又は4,3′−又は5,2′−又は5,3′−又は6,2′−又は6,3′−ジメトキシジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−4,4′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−3,3′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−3,4′−ジイソシアネート、ジフェニルエーテル−4,4′−ジイソシアネート、ベンゾフェノン−4,4′−ジイソシアネート、ジフェニルスルホン−4,4′−ジイソシアネート、トリレン−2,4−ジイソシアネート、トリレン−2,6−ジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネート、p−キシリレンジイソシアネート、ナフタレン−2,6−ジイソシアネート、4,4′−[2,2−ビス(4−フェノキシフェニル)プロパン]ジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート化合物、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート等の脂環族ジイソシアネート化合物、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The diisocyanate compound is not particularly limited as long as it has the above structure. For example, diphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2'- or 4,3'- Or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-dimethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2 ' -Or 4,3'- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-diethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3 '-Or 4,2'- or 4,3'- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-dimethoxydiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, diphenylmethane- 4,4'-diisocyanate, diphenyl Tan-3,3'-diisocyanate, diphenylmethane-3,4'-diisocyanate, diphenyl ether-4,4'-diisocyanate, benzophenone-4,4'-diisocyanate, diphenylsulfone-4,4'-diisocyanate, tolylene-2, 4-diisocyanate, tolylene-2,6-diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, p-xylylene diisocyanate, naphthalene-2,6-diisocyanate, 4,4 '-[2,2-bis (4-phenoxyphenyl) propane Aromatic diisocyanate compounds such as diisocyanate, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate, hydrogenated xylylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, norbornene diisocyanate Hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, aliphatic diisocyanate compounds such as lysine diisocyanate, and these can be used alone or in combinations of two or more.

特に、脂環族ジイソシアネート及び脂肪族ジイソシアネート化合物を用いた場合、感光性樹脂組成物の感光性に優れる点で好ましい。   In particular, when an alicyclic diisocyanate and an aliphatic diisocyanate compound are used, it is preferable in that the photosensitive resin composition is excellent in photosensitivity.

上記水酸基及び少なくとも一つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−1−アクリロキシ−3−メタクリロキシプロパン、o−フェニルフェノールグリシジルエーテル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、2−(4−ヒドロキシフェニル)エチル(メタ)アクリレート、N−メチロールアクリルアミド、3,5−ジメチル−4−ヒドロキシベンジルアクリルアミド等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   Although the compound containing the said hydroxyl group and at least 1 (meth) acryloyl group will not be specifically limited if it is the said structure, For example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- Hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-1-acryloxy-3-methacryloxypropane, o-phenylphenol glycidyl ether (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) ) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, 4-hydroxy Phenyl (meth) acrylate, 2- (4-hydroxyphenyl) ethyl (meth) acrylate, N-methylol acrylamide, 3,5-dimethyl-4-hydroxybenzyl acrylamide, etc. may be mentioned, and these may be used alone or in combination of two or more. Can be used in combination.

上記イソシアネート基及び少なくとも一つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、1,1−(ビスアクリロイルオキシメチル)エチルイソシアネート、2−(2−メタクリロイルオキシエチルオキシ)エチルイソシアネート等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The compound containing the isocyanate group and at least one (meth) acryloyl group is not particularly limited as long as it has the above structure. For example, 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, 1,1- (bisacryloyloxymethyl) ) Ethyl isocyanate, 2- (2-methacryloyloxyethyloxy) ethyl isocyanate and the like, and these can be used alone or in combination of two or more.

本願発明の(A2)成分の合成方法は、ジオール化合物、ジイソシアネート化合物、及び水酸基及び少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物及び/又はイソシアネート基及び少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物との配合量を、水酸基数とイソシアネート基数との比率が、イソシアネート基/水酸基=0.5以上2.0以下になるように配合し、無溶媒あるいは有機溶媒中で反応させることで得られる。   The method for synthesizing the component (A2) of the present invention contains a diol compound, a diisocyanate compound, a compound containing a hydroxyl group and at least one (meth) acryloyl group, and / or an isocyanate group and at least one (meth) acryloyl group. It is obtained by blending the compound with a compound such that the ratio of the number of hydroxyl groups to the number of isocyanate groups is isocyanate group / hydroxyl group = 0.5 or more and 2.0 or less and reacting in a solvent-free or organic solvent. .

また、2種類以上のジオール化合物を用いる場合、ジイソシアネート化合物との反応は、2種類以上のジオール化合物を混合した後に行ってもよいし、それぞれのジオール化合物とジイソシアネート化合物とを別個に反応させてもよい。また、ジオール化合物とジイソシアネート化合物とを反応させた後に、得られた末端イソシアネート化合物をさらに水酸基及び少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物と反応させてもよい。また、2種類以上のジイソシアネート化合物を用いる場合、ジオール化合物との反応は、2種類以上のジイソシアネート化合物を混合した後に行ってもよいし、それぞれのジイソシアネート化合物とジオール化合物とを別個に反応させてもよい。また、ジイソシアネート化合物とジオール化合物とを反応させた後に、得られた末端水酸基化合物をさらにイソシアネート及び少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物と反応させてもよい。このようにして、所望の(A2)成分を製造することができる。   Moreover, when using 2 or more types of diol compounds, reaction with a diisocyanate compound may be performed after mixing 2 or more types of diol compounds, or each diol compound and diisocyanate compound may be made to react separately. Good. Moreover, after reacting a diol compound and a diisocyanate compound, the obtained terminal isocyanate compound may be further reacted with a compound containing a hydroxyl group and at least one (meth) acryloyl group. When two or more types of diisocyanate compounds are used, the reaction with the diol compound may be performed after mixing two or more types of diisocyanate compounds, or each diisocyanate compound and the diol compound may be reacted separately. Good. Further, after reacting the diisocyanate compound and the diol compound, the obtained terminal hydroxyl compound may be further reacted with a compound containing isocyanate and at least one (meth) acryloyl group. In this way, the desired component (A2) can be produced.

ジオール化合物とジイソシアネート化合物との反応温度は、40〜160℃とすることが好ましく、60〜150℃とすることがより好ましい。40℃未満では反応時間が長くなり過ぎ、160℃を超えると反応中に三次元化反応が生じてゲル化が起こり易い。反応時間は、バッチの規模、採用される反応条件により適宜選択することができる。また、必要に応じて、三級アミン類、アルカリ金属、アルカリ土類金属、錫、亜鉛、チタニウム、コバルト等の金属又は半金属化合物等の触媒存在下に反応を行っても良い。   The reaction temperature between the diol compound and the diisocyanate compound is preferably 40 to 160 ° C, and more preferably 60 to 150 ° C. When the temperature is lower than 40 ° C., the reaction time becomes too long. The reaction time can be appropriately selected depending on the scale of the batch and the reaction conditions employed. If necessary, the reaction may be performed in the presence of a catalyst such as a tertiary amine, an alkali metal, an alkaline earth metal, a metal such as tin, zinc, titanium, cobalt, or a metalloid compound.

上記反応は、無溶媒で反応させることもできるが、反応を制御する為には、有機溶媒系で反応させることが望ましく、例えば有機溶媒としては、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどを挙げることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。   The above reaction can be carried out in the absence of a solvent. However, in order to control the reaction, it is desirable to carry out the reaction in an organic solvent system. For example, examples of the organic solvent include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, N , N-dimethylformamide, formamide solvents such as N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, acetamide solvents such as N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-vinyl-2 Examples include pyrrolidone solvents such as -pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, and γ-butyrolactone. Further, if necessary, these organic polar solvents can be used in combination with an aromatic hydrocarbon such as xylene or toluene.

更に、例えばメチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。中でも、副反応が生じにくいことから、対称グリコールジエーテル類を用いることが好ましい。   Furthermore, for example, methyl monoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyldiglyme (bis (2-methoxyether) ether), methyltriglyme (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (Bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldiglyme (bis (2-ethoxyethyl) ether), butyldiglyme (bis (2 Symmetric glycol diethers such as -butoxyethyl) ether), methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether Cetate (aka carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate)), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether Acetates such as acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n Propyl ether, propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, a solvent may be used ethers such as ethyl ether also ethylene glycol. Of these, symmetrical glycol diethers are preferably used because side reactions are unlikely to occur.

反応の際に用いられる溶剤量は、反応溶液中の溶質重量濃度すなわち溶液濃度が5重量%以上90重量%以下となるような量とすることが望ましい。反応溶液中の溶質重量濃度は、更に好ましくは、10重量%以上80重量%以下となることが望ましい。溶液濃度が5%以下の場合には、重合反応が起こりにくく反応速度が低下すると共に、所望の構造物質が得られない場合があるので好ましくない。   The amount of solvent used in the reaction is desirably such that the solute weight concentration in the reaction solution, that is, the solution concentration is 5% by weight or more and 90% by weight or less. The solute weight concentration in the reaction solution is more preferably 10 wt% or more and 80 wt% or less. When the solution concentration is 5% or less, the polymerization reaction is difficult to occur, the reaction rate is lowered, and a desired structural substance may not be obtained.

また、上記ウレタン変性エポキシ(メタ)アクリレート樹脂としては、例えば、日本化薬株式会社製の商品名KAYARAD UXE−3000、UXE−3024が挙げられる。   Examples of the urethane-modified epoxy (meth) acrylate resin include trade names KAYARAD UXE-3000 and UXE-3024 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.

上記(A2)成分はこれらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The component (A2) can be used alone or in combination of two or more.

本願発明の(A2)成分の含有量は、好ましくは(A1)成分100重量部に対して(A2)成分10〜200重量部、より好ましくは10〜100重量部とすることにより、感光性樹脂組成物から得られる微細パターンの解像性、得られる硬化膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。   The content of the component (A2) of the present invention is preferably 10 to 200 parts by weight, more preferably 10 to 100 parts by weight of the component (A2) with respect to 100 parts by weight of the component (A1). This is preferable because the resolution of the fine pattern obtained from the composition, the flexibility of the resulting cured film, and the chemical resistance are excellent.

<(B)架橋ポリマー粒子>
本願発明の(B)架橋ポリマー粒子とは、分子内に架橋構造を有している、平均粒子径が1〜100μmの球状ポリマーである。平均粒子径が1μm以下の場合は、感光性樹脂組成物の粘度やチクソ性が高くなり、塗工時の塗膜の発泡やレベリング不足による外観不良が発生する場合があり、平均粒子径が100μm以上の場合は微細パターン形成時の開口部に粒子が露出し、解像性不良になる場合がある。ここで、球状とは、真球状であってもよいし、楕円状であってもよい。
<(B) Crosslinked polymer particles>
The (B) crosslinked polymer particle of the present invention is a spherical polymer having a crosslinked structure in the molecule and an average particle diameter of 1 to 100 μm. When the average particle size is 1 μm or less, the viscosity and thixotropy of the photosensitive resin composition are increased, and appearance defects may occur due to foaming of the coating film during coating or insufficient leveling, and the average particle size is 100 μm. In the above case, the particles may be exposed to the opening when the fine pattern is formed, resulting in poor resolution. Here, the spherical shape may be a true spherical shape or an elliptical shape.

本願発明の(B)成分の平均粒子径は、好ましくは1〜50μm、より好ましくは1〜10μmとすることにより、微細パターンの解像性、得られる硬化膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。   The average particle size of the component (B) of the present invention is preferably 1 to 50 μm, more preferably 1 to 10 μm, so that the resolution of the fine pattern, the flexibility of the resulting cured film, and the chemical resistance are excellent. Therefore, it is preferable.

本願発明の(B)成分の平均粒子径は、例えば、以下の方法で体積基準のメジアン径(積算分布値50%に対する粒子径)として測定することができる。   The average particle diameter of the component (B) of the present invention can be measured, for example, as a volume-based median diameter (particle diameter with respect to an integrated distribution value of 50%) by the following method.

(平均粒子径測定)
使用装置:株式会社堀場製作所製LA−950V2相当品
測定方式:レーザー回折/散乱式
(Average particle size measurement)
Equipment used: LA-950V2 or equivalent manufactured by Horiba, Ltd. Measurement method: Laser diffraction / scattering method

本願発明の(B)成分の含有量は、好ましくは(A1)成分と(A2)成分の合計100重量部に対して30〜100重量部、より好ましくは40〜80重量部とすることにより、得られる硬化膜表面に効果的に凹凸を形成することが可能となりタックフリー性に優れ、(B)成分による充填硬化が得られるため硬化膜の反りが低下し、応力緩和効果や破壊靱性の向上により繰り返し折り曲げに耐え得る柔軟性が向上する。(B)成分が30重量部より少ない場合はタックフリー性や繰り返し折り曲げに耐え得る柔軟性に劣る場合があり、100重量部より多い場合は難燃性や感光性樹脂組成物溶液を塗工する際の塗工性が悪化し、塗工時の塗膜の発泡やレベリング不足による外観不良が発生する場合がある。   The content of the component (B) of the present invention is preferably 30 to 100 parts by weight, more preferably 40 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight as a total of the components (A1) and (A2). As a result, it is possible to effectively form unevenness on the surface of the resulting cured film, and it is excellent in tack-free properties. Since filling and curing with the component (B) is obtained, the warpage of the cured film is reduced, and the stress relaxation effect and fracture toughness are improved. This improves the flexibility that can withstand repeated bending. When the amount of the component (B) is less than 30 parts by weight, it may be inferior in tack-free property or flexibility capable of withstanding repeated bending, and when it is more than 100 parts by weight, a flame retardant or photosensitive resin composition solution is applied. In some cases, the coatability of the coating deteriorates, and appearance defects may occur due to foaming of the coating film or insufficient leveling during coating.

本願発明の(B)成分は、特に限定はされないが、例えば、ポリメタクリル酸メチル系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGM−0600、GM−0600W、架橋ポリメタクリル酸メチル系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGM−0105、GM−0205S、GM−0401S、GM−0407S、GM−0449S、GM−0630H、GM−0801S、GM−0807S、GM−0849SGM−1001、GM−1001−S、GM−1007S、GM−1407S、GM−1505S−S、GM−2001、GM−2003S−S、GM−2007S、GM−2801、GM−4003、GM−5003、GM−9005、GMX−0610、GMX−0810、GMP−0800、GMDM−050M、GMDM−080M、GMDM−100M、GMDM−150M、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーMBX−5、MBX−8、MBX−12、架橋ポリメタクリル酸ブチル系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGB−05S、GB−08S、GB−10S、GB−15S、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーBM30X−5、BM30X−8、架橋アクリル系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGMP−0820、アクリルコポリマー系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGBM−55COS、架橋スチレン系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGS−0605、GS−1105、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーSBX−6、SBX−8、架橋ポリアクリル酸エステル系架橋ポリマー粒子としては、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーABX−8、AF10X−8、AFX−15、ARX−15、ナイロン系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGPA−550、シリコーン系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールSI−020、SI−030、SI−045、架橋シリコーン系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールSIG−070、架橋ウレタン系架橋ポリマー粒子としては、大日精化工業株式会社製の商品名ダイミックビーズUCN−8070CMクリヤー、UCN−8150CMクリヤー、UCN−5070Dクリヤー、UCN−5150Dクリヤー、根上工業株式会社製の商品名アートパールC−100透明、C−200透明、C−300透明、C−300WA、C−400透明、C−400WA、C−600透明、C−800透明、C−800WA、P−400T、P−800T、U−600T、CF−600T、JB−400T、JB−800T、CE−400T、CE−800T等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The component (B) of the present invention is not particularly limited. For example, as polymethyl methacrylate-based crosslinked polymer particles, product names Gantz Pearl GM-0600, GM-0600W, and crosslinked polymethacrylic acid manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd. As methyl-based crosslinked polymer particles, product names Gantz Pearl GM-0105, GM-0205S, GM-0401S, GM-0407S, GM-0449S, GM-0630H, GM-0801S, GM-0807S, manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd. GM-0849SGM-1001, GM-1001-S, GM-1007S, GM-1407S, GM-1505S-S, GM-2001, GM-2003S-S, GM-2007S, GM-2801, GM-4003, GM- 5003, GM-9005, GMX-0610, GM -0810, GMP-0800, GMDM-050M, GMDM-080M, GMDM-100M, GMDM-150M, product names manufactured by Sekisui Plastics Co., Ltd. Techpolymer MBX-5, MBX-8, MBX-12, crosslinked polymethacryl Examples of acid butyl-based crosslinked polymer particles include Gantz Pearl GB-05S, GB-08S, GB-10S, GB-15S, and Sakusui Chemicals Co., Ltd. , BM30X-8, the cross-linked acrylic cross-linked polymer particles are manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd. product name Gantz Pearl GMP-0820, and the acrylic copolymer cross-linked polymer particles are manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd. product name Gantz Pearl GBM-55COS. As crosslinked styrene-based crosslinked polymer particles, As product names GANTZPARL GS-0605, GS-1105 manufactured by Tsusei Corporation, product names Techpolymer SBX-6, SBX-8, and crosslinked polyacrylate ester-based crosslinked polymer particles manufactured by Sekisui Chemicals Co., Ltd. Product names manufactured by Sekisui Plastics Co., Ltd. Techpolymer ABX-8, AF10X-8, AFX-15, ARX-15, and nylon-based crosslinked polymer particles include product names Gantz Pearl GPA-550, manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd. As the silicone-based crosslinked polymer particles, the product names Gantz Pearl SI-020, SI-030, SI-045 manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd. As the crosslinked silicone-based crosslinked polymer particles, the product name Gantz Pearl SIG manufactured by Gantz Chemical Co., Ltd. -070, a crosslinked urethane-based crosslinked polymer particle is a product of Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd. Product Name Dymic Beads UCN-8070CM Clear, UCN-8150CM Clear, UCN-5070D Clear, UCN-5150D Clear, Trade Names Art Pearl C-100 Transparent, C-200 Transparent, C-300 Transparent, C -300WA, C-400 transparent, C-400WA, C-600 transparent, C-800 transparent, C-800WA, P-400T, P-800T, U-600T, CF-600T, JB-400T, JB-800T, CE-400T, CE-800T etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

本願発明の(B)成分は、上記架橋ポリマー粒子の中でも、特に分子内にウレタン結合を含有する架橋ポリマー粒子を用いることが、絶縁膜の反り低下、繰り返し折り曲げに耐え得る柔軟性の向上のために好ましい。   The component (B) of the present invention uses the crosslinked polymer particles containing a urethane bond in the molecule among the above-mentioned crosslinked polymer particles, in order to improve the flexibility that can withstand bending of the insulating film and withstand repeated bending. Is preferable.

<(C)熱硬化性樹脂>
本願発明の(C)熱硬化性樹脂とは、分子内に少なくとも1つの熱硬化性の有機基を含有する化合物である。
<(C) Thermosetting resin>
The (C) thermosetting resin of the present invention is a compound containing at least one thermosetting organic group in the molecule.

本願発明の(C)成分は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、フェノール樹脂、イソシアネート樹脂、ブロックイソシアネート樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスアリルナジイミド樹脂、ポリエステル樹脂(例えば不飽和ポリエステル樹脂等)、ジアリルフタレート樹脂、珪素樹脂、ビニルエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリビスマレイミドトリアジン樹脂(BT樹脂)、シアネート樹脂(例えばシアネートエステル樹脂等)、ユリア樹脂、グアナミン樹脂、スルホアミド樹脂、アニリン樹脂、ポリウレア樹脂、チオウレタン樹脂、ポリアゾメチン樹脂、エピスルフィド樹脂、エン−チオール樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、これらの共重合体樹脂、これら樹脂を変性させた変性樹脂、又はこれらの樹脂同士もしくは他の樹脂類との混合物等が挙げられる。   (C) component of this invention will not be specifically limited if it is the said structure, For example, an epoxy resin, an oxetane resin, a phenol resin, an isocyanate resin, a block isocyanate resin, a bismaleimide resin, a bisallyl nadiimide resin, a polyester resin (For example, unsaturated polyester resin), diallyl phthalate resin, silicon resin, vinyl ester resin, melamine resin, polybismaleimide triazine resin (BT resin), cyanate resin (for example, cyanate ester resin), urea resin, guanamine resin, sulfoamide Resins, aniline resins, polyurea resins, thiourethane resins, polyazomethine resins, episulfide resins, ene-thiol resins, benzoxazine resins, copolymer resins thereof, modified resins obtained by modifying these resins, or these Mixtures of resins with each other or other resins and the like.

本願発明の(C)成分は、上記熱硬化性樹脂の中でも、特に多官能エポキシ樹脂を用いることが、感光性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化膜に対して耐熱性を付与できると共に、金属箔等の導体や回路基板に対する接着性を付与することができるため好ましい。   The component (C) of the present invention, among the above-mentioned thermosetting resins, can use a polyfunctional epoxy resin, in particular, can impart heat resistance to a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition, This is preferable because adhesion to a conductor such as a metal foil or a circuit board can be imparted.

上記多官能エポキシ樹脂とは、分子内に少なくとも2つのエポキシ基を含有する化合物であり、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER828、jER1001、jER1002、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−4100E、アデカレジンEP−4300E、日本化薬株式会社製の商品名RE−310S、RE−410S、DIC株式会社製の商品名エピクロン840S、エピクロン850S、エピクロン1050、エピクロン7050、東都化成株式会社製の商品名エポトートYD−115、エポトートYD−127、エポトートYD−128、ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER806、jER807、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−4901E、アデカレジンEP−4930、アデカレジンEP−4950、日本化薬株式会社製の商品名RE−303S、RE−304S、RE−403S,RE−404S、DIC株式会社製の商品名エピクロン830、エピクロン835、東都化成株式会社製の商品名エポトートYDF−170、エポトートYDF−175S、エポトートYDF−2001、ビスフェノールS型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA−1514、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jERYX8000、jERYX8034,jERYL7170、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−4080E、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA−7015、東都化成株式会社製の商品名エポトートYD−3000、エポトートYD−4000D、ビフェニル型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jERYX4000、jERYL6121H、jERYL6640、jERYL6677、日本化薬株式会社製の商品名NC−3000、NC−3000H、フェノキシ型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER1256、jER4250、jER4275、ナフタレン型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の商品名エピクロンHP−4032、エピクロンHP−4700、エピクロンHP−4200、日本化薬株式会社製の商品名NC−7000L、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER152、jER154、日本化薬株式会社製の商品名EPPN−201−L、DIC株式会社製の商品名エピクロンN−740、エピクロンN−770、東都化成株式会社製の商品名エポトートYDPN−638、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名EOCN−1020、EOCN−102S、EOCN−103S、EOCN−104S、DIC株式会社製の商品名エピクロンN−660、エピクロンN−670、エピクロンN−680、エピクロンN−695、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名EPPN−501H、EPPN−501HY、EPPN−502H、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名XD−1000、DIC株式会社製の商品名エピクロンHP−7200、アミン型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER604、jER630、東都化成株式会社の商品名エポトートYH−434、エポトートYH−434L、三菱ガス化学株式会社製の商品名TETRAD−X、TERRAD−C、可とう性エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER871、jER872、jERYL7175、jERYL7217、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA−4850、ウレタン変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEPU−6、アデカレジンEPU−73、アデカレジンEPU−78−11、ゴム変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEPR−4023、アデカレジンEPR−4026、アデカレジンEPR−1309、キレート変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−49−10、アデカレジンEP−49−20、複素環含有エポキシ樹脂としては、日産化学株式会社製の商品名TEPIC等が挙げられる。   The polyfunctional epoxy resin is a compound containing at least two epoxy groups in the molecule. For example, as the bisphenol A type epoxy resin, trade names jER828, jER1001, jER1002, and Japan Corporation made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. ADEKA brand name Adeka Resin EP-4100E, Adeka Resin EP-4300E, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade names RE-310S, RE-410S, DIC Corporation trade names Epicron 840S, Epicron 850S, Epicron 1050, Epicron 7050 Toto Kasei Co., Ltd. trade names Epototo YD-115, Epototo YD-127, Epototo YD-128, Bisphenol F type epoxy resin, trade names jER806, jE made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. 807, trade names Adeka Resin EP-4901E, Adeka Resin EP-4930, Adeka Resin EP-4950, manufactured by Adeka Co., Ltd., trade names RE-303S, RE-304S, RE-403S, RE-404S, DIC manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Product names Epicron 830 and Epicron 835 manufactured by Co., Ltd. Product names Epototo YDF-170, Epototo YDF-175S, Epototo YDF-2001, and Bisphenol S type epoxy resin manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. As Epiklon EXA-1514 and hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, trade names jERYX8000, jERYX8034, jERYL7170, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., and Adeka Resin EP-4 manufactured by ADEKA Co., Ltd. 80E, DIC Corporation trade name Epicron EXA-7015, Toto Kasei Co., Ltd. trade name Epototo YD-3000, Epototo YD-4000D, biphenyl type epoxy resin, Japan Epoxy Resin Corporation trade name jERYX4000, jERYL6121H, jERYL6640, jERYL6667, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade name NC-3000, NC-3000H, phenoxy type epoxy resin, Japan Epoxy Resin Co., Ltd. trade name jER1256, jER4250, jER4275, naphthalene type epoxy resin Are DIC Corporation's trade names Epicron HP-4032, Epicron HP-4700, Epicron HP-4200, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade names NC-7000L, Phenoh As the lenovolac type epoxy resin, trade names jER152 and jER154 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade names EPPN-201-L manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade names Epicron N-740 manufactured by DIC Corporation, and Epicron N- 770, product names Epototo YDPN-638 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., and cresol novolak type epoxy resins include product names EOCN-1020, EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S, DIC shares manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Brand names EPIKRON N-660, Epicron N-670, Epicron N-680, Epicron N-695, and trisphenol methane type epoxy resins manufactured by the company include trade names EPPN-501H and EPPN-501HY manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. EPPN-502 As a dicyclopentadiene type epoxy resin, trade name XD-1000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., as trade name Epicron HP-7200 manufactured by DIC Corporation, and as an amine type epoxy resin, a product manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. Names jER604, jER630, Toto Kasei Co., Ltd. trade names Epototo YH-434, Epototo YH-434L, Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. trade names TETRAD-X, TERRAD-C, and flexible epoxy resins include Japan Epoxy Resin Trade names jER871, jER872, jERYL7175, jERYL7217, DIC Corporation's trade name Epicron EXA-4850, and urethane-modified epoxy resins include ADEKA Corporation's trade names Adeka Resin EPU-6, Adeka Resin Examples of PU-73, Adeka Resin EPU-78-11, and rubber-modified epoxy resins include Adeka Resin EPR-4023, Adeka Resin EPR-4026, Adeka Resin EPR-1309, and Adeka Resin EPR-1309. Examples of the product names Adeka Resin EP-49-10, Adeka Resin EP-49-20, and heterocyclic-containing epoxy resins include the product names TEPIC manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.

本願発明の感光性樹脂組成物には、上記熱硬化性樹脂の硬化剤として、特に限定されないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、アミノ樹脂、ユリア樹脂、メラミン、ジシアンジアミド等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   Although it does not specifically limit as a hardening | curing agent of the said thermosetting resin in the photosensitive resin composition of this invention, For example, phenol resins, such as a phenol novolak resin, a cresol novolak resin, a naphthalene type phenol resin, an amino resin, and a urea resin , Melamine, dicyandiamide and the like, and these can be used alone or in combination of two or more.

また、硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、トリフェニルホスフィン等のホスフィン系化合物;3級アミン系、トリメタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラエタノールアミン等のアミン系化合物;1,8−ジアザ−ビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート等のボレート系化合物等、イミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;2−メチルイミダゾリン、2−エチルイミダゾリン、2−イソプロピルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン、2−ウンデシルイミダゾリン、2,4−ジメチルイミダゾリン、2−フェニル−4−メチルイミダゾリン等のイミダゾリン類;2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン等のアジン系イミダゾール類等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   Further, the curing accelerator is not particularly limited, but for example, phosphine compounds such as triphenylphosphine; amine compounds such as tertiary amine, trimethanolamine, triethanolamine and tetraethanolamine; 1,8- Borate compounds such as diaza-bicyclo [5,4,0] -7-undecenium tetraphenylborate, imidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-un Imidazoles such as decylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole; 2-methylimidazoline, 2- Ethyl imidazoline, 2 Imidazolines such as isopropylimidazoline, 2-phenylimidazoline, 2-undecylimidazoline, 2,4-dimethylimidazoline, 2-phenyl-4-methylimidazoline; 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- ( 1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2 ′ Examples include azine-based imidazoles such as -ethyl-4'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, and these can be used alone or in combination of two or more.

<(D)光重合開始剤>
本願発明の(D)光重合開始剤とは、UVなどのエネルギーによって活性化し、ラジカル重合性基の反応を開始・促進させる化合物である。
<(D) Photopolymerization initiator>
The (D) photopolymerization initiator of the present invention is a compound that is activated by energy such as UV and initiates / promotes a reaction of a radical polymerizable group.

本願発明の(D)成分は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、ミヒラ−ズケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’,4’’−トリス(ジメチルアミノ)トリフェニルメタン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2−メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエ−テル、ベンゾインエチルエ−テル、ベンゾインイソプロピルエ−テル、ベンゾインイソブチルエ−テル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタ−ル、ベンジルジエチルケタ−ル、2(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2[2’(5’’−メチルフリル)エチリデン]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、4,4’−ジアジドカルコン、ジ(テトラアルキルアンモニウム)−4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルフォネ−ト、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨード二ウム,(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシオム)等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The component (D) of the present invention is not particularly limited as long as it has the above structure. For example, Michler's ketone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′, 4 ″ -tris (dimethylamino) ) Triphenylmethane, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, benzoinmethyl ester -Tell, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-t-butylanthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methylanthraquinone, thioxanthone, 2,4-diethyl Thioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl keto , Diacetylbenzyl, benzyldimethylketal, benzyldiethylketal, 2 (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 [2 ′ (5 ″ -methyl) Furyl) ethylidene] -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2,6-di (p-azidobenzal) ) -4-methylcyclohexanone, 4,4'-diazidochalcone, di (tetraalkylammonium) -4,4'-diazidostilbene-2,2'-disulfonate, 2,2-dimethoxy-1,2 -Diphenylethane-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane 1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl]- 2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, Bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl- Propane-1-ketone, bis (n5-2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pi 1-yl) -phenyl) titanium, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iododium, (4-methylphenyl) [ 4- (2-methylpropyl) phenyl] -hexafluorophosphate (1-), ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, ethanone, 1- [9-ethyl-6- ( 2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxyome) and the like, and these can be used alone or in combination of two or more.

<(E)リン系難燃剤>
本願発明の(E)リン系難燃剤とは、分子内に少なくとも1つのリン元素を含有し、有機物の燃焼を抑制する効果を有する化合物である。
<(E) Phosphorus flame retardant>
The (E) phosphorus flame retardant of the present invention is a compound that contains at least one phosphorus element in the molecule and has an effect of suppressing the combustion of organic matter.

本願発明の(E)成分は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、赤リン、縮合リン酸エステル系化合物、環状有機リン系化合物、ホスファゼン系化合物、リン含有(メタ)アクリレート系化合物、リン含有エポキシ系化合物、リン含有ポリオール系化合物、リン含有アミン系化合物、ポリリン酸アンモニウム、メラミンリン酸塩、ホスフィン酸塩、等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The component (E) of the present invention is not particularly limited as long as it has the above structure. For example, red phosphorus, condensed phosphate ester compounds, cyclic organic phosphorus compounds, phosphazene compounds, phosphorus-containing (meth) acrylate compounds , Phosphorus-containing epoxy compounds, phosphorus-containing polyol compounds, phosphorus-containing amine compounds, ammonium polyphosphate, melamine phosphate, phosphinate, and the like, and these can be used alone or in combination of two or more. .

本願発明の(E)成分は、上記リン系難燃剤の中でも、特にホスフィン酸塩を用いることが、感光性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化膜に対して優れた難燃性を付与できると共に、硬化膜からの難燃剤のブリードアウトが少ないため、接点障害や工程汚染を抑制することができるため好ましい。   Among the phosphorus-based flame retardants, the component (E) of the present invention can impart excellent flame retardancy to a cured film obtained by curing a photosensitive resin composition, particularly using a phosphinate. In addition, since there is little bleed out of the flame retardant from the cured film, contact failure and process contamination can be suppressed, which is preferable.

本願発明のホスフィン酸塩とは、下記一般式(7)で示される化合物である。   The phosphinic acid salt of the present invention is a compound represented by the following general formula (7).

Figure 0005739209
Figure 0005739209

(式中、R及びRは、それぞれ独立に直鎖状または枝分かれした炭素数1〜6のアルキル基またはアリール基を示し、Mは、Mg、Ca、Al、Sb、Sn、Ge、Ti、Fe、Zr、Zn、Ce、Bi、Sr、Mn、Li、Na及びKからなる群の少なくとも1種より選択される金属類を示し、tは1〜4の整数である。) (In the formula, R 5 and R 6 each independently represent a linear or branched alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an aryl group, and M represents Mg, Ca, Al, Sb, Sn, Ge, Ti. , Fe, Zr, Zn, Ce, Bi, Sr, Mn, Li, Na, and K represent metals selected from the group consisting of at least one of t.

本願発明のホスフィン酸塩は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、トリスジエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスメチルエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスジフェニルホスフィン酸アルミニウム、ビスジエチルホスフィン酸亜鉛、ビスメチルエチルホスフィン酸亜鉛、ビスジフェニルホスフィン酸亜鉛、ビスジエチルホスフィン酸チタニル、ビスメチルエチルホスフィン酸チタニル、ビスジフェニルホスフィン酸チタニル等を挙げることができ、これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。本願発明のホスフィン酸塩が更にアルミニウム元素を含有することが、高い難燃性が得られる点で好ましく、中でも特にトリスジエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスメチルエチルホスフィン酸アルミニウムを用いた場合、さらに高い難燃性が得られるため好ましい。   The phosphinic acid salt of the present invention is not particularly limited as long as it has the above structure. For example, aluminum trisdiethylphosphinate, aluminum trismethylethylphosphinate, aluminum trisdiphenylphosphinate, zinc bisdiethylphosphinate, bismethylethylphosphine Examples thereof include zinc oxide, zinc bisdiphenylphosphinate, titanyl bisdiethylphosphinate, titanyl bismethylethylphosphinate, titanyl bisdiphenylphosphinate, and the like. These can be used alone or in combination of two or more. It is preferable that the phosphinic acid salt of the present invention further contains an aluminum element from the viewpoint that high flame retardancy is obtained. It is preferable because of its property.

本願発明のホスフィン酸塩の含有量は、好ましくは(A1)成分と(A2)成分の合計100重量部に対して20〜80重量部、より好ましくは25〜75重量部とすることにより、得られる硬化膜の難燃性、電気絶縁信頼性に優れる。(E)成分が20重量部より少ない場合は難燃性に劣る場合があり、80重量部より多い場合は感光性樹脂組成物溶液を塗工する際の塗工性が悪化し、塗工時の塗膜の発泡やレベリング不足による外観不良が発生する場合がある。   The content of the phosphinic acid salt of the present invention is preferably 20 to 80 parts by weight, more preferably 25 to 75 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the components (A1) and (A2). Excellent cured flame resistance and electrical insulation reliability. When the amount of the component (E) is less than 20 parts by weight, the flame retardancy may be inferior. When the amount is more than 80 parts by weight, the coating property when applying the photosensitive resin composition solution is deteriorated, and the coating Appearance defects may occur due to foaming of the coating film or insufficient leveling.

<その他成分>
本願発明の感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じてラジカル重合性化合物、充填剤、接着助剤、消泡剤、レベリング剤、着色剤、重合禁止剤等の各種添加剤を加えることができる。
<Other ingredients>
Various additives such as a radical polymerizable compound, a filler, an adhesion assistant, an antifoaming agent, a leveling agent, a colorant, and a polymerization inhibitor may be added to the photosensitive resin composition of the present invention as necessary. it can.

上記ラジカル重合性化合物とは、ラジカル重合開始剤により重合反応が進行するラジカル重合性基を分子内に含有する化合物である。その中でも分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する樹脂であることが好ましい。さらには、上記不飽和二重結合は、(メタ)アクリロイル基、もしくはビニル基であることが好ましい。   The said radically polymerizable compound is a compound which contains the radically polymerizable group which a polymerization reaction advances with a radical polymerization initiator in a molecule | numerator. Among these, a resin having at least one unsaturated double bond in the molecule is preferable. Furthermore, the unsaturated double bond is preferably a (meth) acryloyl group or a vinyl group.

上記ラジカル重合性化合物としては、例えばビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジメタクリロキシプロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2−ヒドロキシ−1−アクリロキシ−3−メタクリロキシプロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールアクリレート、1 − アクリロイルオキシプロピル−2−フタレート、イソステアリルアクリレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテルアクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,6−メキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールメタクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、2,2−水添ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキシ)フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸トリ(エタンアクリレート)、ペンタスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル酸トリアリル、グリシジルメタクリレート、グリシジルアリルエーテル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルフォスフェート、アロバービタル、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ザリルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジメタクリレート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジアクリレート等を挙げることができ、これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。特に、ジアクリレートあるいはジメタクリレートの一分子中に含まれるEO(エチレンオキサイド)の繰り返し単位が2〜50モル含有されるものを用いた場合、感光性樹脂組成物のアルカリ水溶液に代表される水系現像液への溶解性が向上し、現像時間が短縮されるので好ましい。   Examples of the radical polymerizable compound include bisphenol F EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, and bisphenol S EO modified (n = 2 to 50) diacrylate. Bisphenol F EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol S EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate Acrylate, neopentyl glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tetramethyl Roll propane tetraacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol Hexamethacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxypolyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro-2-hy Roxypropyl methacrylate, stearyl methacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol Dimethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane, 2,2-bis [4- (Methacryloxytoki Si) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy-diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy-polyethoxy) phenyl] propane, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate , Polypropylene glycol diacrylate, 2,2-bis [4- (acryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxypolyethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy-1-acryloxy-3- Methacryloxypropane, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolmethane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene Recall acrylate, nonylphenoxypolyethylene glycol acrylate, nonylphenoxypolypropylene glycol acrylate, 1-acryloyloxypropyl-2-phthalate, isostearyl acrylate, polyoxyethylene alkyl ether acrylate, nonylphenoxyethylene glycol acrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1,4 -Butanediol dimethacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol di Methacrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate , Tricyclodecane dimethanol diacrylate, 2,2-hydrogenated bis [4- (acryloxy polyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy polypropoxy) phenyl] propane, 2,4- Diethyl-1,5-pentanediol diacrylate, ethoxylated tomethylolpropane triacrylate, propoxylated tomethylolpropane triacrylate, isocyanuric acid tri (ethane acrylate), pentathritol tetraacrylate, ethoxylated pentathritol tetraacrylate, propoxy Pentathritol tetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol polyacrylate, triallyl isocyanurate, glycidyl methacrylate, glycidyl Ryl ether, 1,3,5-triacryloylhexahydro-s-triazine, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl citrate, triallyl phosphate, arobarbital, diallylamine, diallyldimethylsilane, diallyl Disulfide, diallyl ether, zalyl sialate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-dialyloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4,4′-isopropylidene diphenol dimethacrylate, 4,4′-isopropyl Examples thereof include redene diphenol diacrylate, and these can be used alone or in combination of two or more. In particular, when one containing 2 to 50 mol of EO (ethylene oxide) repeating units contained in one molecule of diacrylate or dimethacrylate is used, an aqueous development represented by an alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition is used. This is preferable because the solubility in the solution is improved and the development time is shortened.

上記充填剤としては、シリカ、マイカ、タルク、硫酸バリウム、ワラストナイト、炭酸カルシウムなどの微細な無機充填剤が挙げられる。   Examples of the filler include fine inorganic fillers such as silica, mica, talc, barium sulfate, wollastonite, and calcium carbonate.

上記消泡剤としては、例えば、アクリル系化合物、ビニル系化合物、ブタジエン系化合物等が挙げられる。   Examples of the antifoaming agent include acrylic compounds, vinyl compounds, butadiene compounds, and the like.

上記レベリング剤としては、例えば、アクリル系化合物、ビニル系化合物等が挙げられる。   Examples of the leveling agent include acrylic compounds and vinyl compounds.

上記着色剤としては、例えば、フタロシアニン系化合物、アゾ系化合物、カーボンブラック等が挙げられる。   Examples of the colorant include phthalocyanine compounds, azo compounds, and carbon black.

上記接着助剤(密着性付与剤ともいう。)としては、シランカップリング剤、トリアゾール系化合物、テトラゾール系化合物、トリアジン系化合物等が挙げられる。   Examples of the adhesion assistant (also referred to as adhesion-imparting agent) include silane coupling agents, triazole compounds, tetrazole compounds, and triazine compounds.

上記重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等が挙げられる。   Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether.

本願発明の感光性樹脂組成物は、リン系難燃剤を含むため難燃性に優れているが、より高い難燃効果を得るために他の難燃剤を加えてもよい。難燃剤としては、例えば、含ハロゲン系化合物、金属水酸化物、メラミン系化合物等を添加することができる。上記各種添加剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The photosensitive resin composition of the present invention is excellent in flame retardancy because it contains a phosphorus-based flame retardant, but another flame retardant may be added to obtain a higher flame retardant effect. As the flame retardant, for example, a halogen-containing compound, a metal hydroxide, a melamine compound, or the like can be added. The above various additives can be used alone or in combination of two or more.

<感光性樹脂組成物の混合方法>
本願発明の感光性樹脂組成物は、上記成分を粉砕・分散させて混合し、得られることができる。粉砕・分散方法としては、特に限定されるものではないが、例えばビーズミル、ボールミル、3本ロールミル等の一般的な混練装置を用いて行われる。感光性樹脂組成物に含まれる粒子の粒子径はJIS K 5600−2−5で規定されたグラインドゲージを用いる方法で測定することができる。また粒度分布測定装置を使用すれば、平均粒子径、粒子径、粒度分布を測定することができる。
<Method for mixing photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention can be obtained by pulverizing and dispersing the above components and mixing them. The pulverizing / dispersing method is not particularly limited, and for example, it is performed using a general kneading apparatus such as a bead mill, a ball mill, or a three roll mill. The particle diameter of the particles contained in the photosensitive resin composition can be measured by a method using a grind gauge specified by JIS K 5600-2-5. Moreover, if a particle size distribution measuring apparatus is used, an average particle diameter, a particle diameter, and a particle size distribution can be measured.

(II)感光性樹脂組成物の使用方法
本願発明の感光性樹脂組成物を直接に用いて、又は、感光性樹脂組成物溶液を調製した後に、以下のようにして硬化膜又はレリーフパターンを形成することができる。先ず、上記感光性樹脂組成物、又は、感光性樹脂組成物溶液を基板に塗布し、乾燥して有機溶媒を除去する。基板への塗布はスクリ−ン印刷、カ−テンロ−ル、リバ−スロ−ル、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により行うことができる。塗布膜(好ましくは厚み:5〜100μm、特に10〜100μm)の乾燥は120℃以下、好ましくは40〜100℃で行う。
(II) Method of using photosensitive resin composition Using the photosensitive resin composition of the present invention directly or after preparing a photosensitive resin composition solution, a cured film or a relief pattern is formed as follows. can do. First, the photosensitive resin composition or the photosensitive resin composition solution is applied to a substrate and dried to remove the organic solvent. The substrate can be applied by screen printing, curtain roll, river roll, spray coating, spin coating using a spinner, or the like. Drying of the coating film (preferably thickness: 5 to 100 μm, particularly 10 to 100 μm) is performed at 120 ° C. or less, preferably 40 to 100 ° C.

次いで、乾燥後、乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線などの活性光線を照射する。次いで、未露光部分をシャワー、パドル、浸漬または超音波等の各種方式を用い、現像液で洗い出すことによりレリ−フパタ−ンを得ることができる。なお、現像装置の噴霧圧力や流速、エッチング液の温度によりパターンが露出するまでの時間が異なる為、適宜最適な装置条件を見出すことが望ましい。   Next, after drying, a negative photomask is placed on the dried coating film and irradiated with actinic rays such as ultraviolet rays, visible rays, and electron beams. Next, the relief pattern can be obtained by washing out the unexposed portion with a developer using various methods such as shower, paddle, immersion, or ultrasonic wave. Since the time until the pattern is exposed varies depending on the spraying pressure and flow rate of the developing device and the temperature of the etching solution, it is desirable to find the optimum device conditions as appropriate.

上記現像液としては、アルカリ水溶液を使用することが好ましい。この現像液には、メタノ−ル、エタノ−ル、n−プロパノ−ル、イソプロパノ−ル、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶媒が含有されていてもよい。上記のアルカリ水溶液を与えるアルカリ性化合物としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属またはアンモニウムイオンの、水酸化物または炭酸塩や炭酸水素塩、アミン化合物などが挙げられ、具体的には水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、N−メチルジエタノ−ルアミン、N−エチルジエタノ−ルアミン、N,N−ジメチルエタノ−ルアミン、トリエタノ−ルアミン、トリイソプロパノ−ルアミン、トリイソプロピルアミンなどを挙げることができ、水溶液が塩基性を呈するものであればこれ以外の化合物も当然使用することができる。本願発明の感光性樹脂組成物の現像工程に好適に用いることのできる、アルカリ性化合物の濃度は、0.01〜20重量%、特に好ましくは、0.02〜10重量%とすることが好ましい。また、現像液の温度は感光性樹脂組成物の組成や、アルカリ現像液の組成に依存しており、一般的には0℃以上80℃以下、より一般的には、10℃以上60℃以下で使用することが好ましい。   As the developer, an alkaline aqueous solution is preferably used. This developer may contain a water-soluble organic solvent such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, or N-methyl-2-pyrrolidone. Examples of the alkaline compound that gives the alkaline aqueous solution include hydroxides, carbonates, hydrogen carbonates, amine compounds, and the like of alkali metals, alkaline earth metals, or ammonium ions, and specifically sodium hydroxide. , Potassium hydroxide, ammonium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, ammonium bicarbonate, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium Hydroxide, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, N, N-dimethylethanolamine, triethanolamine, triisopropanolamine, triiso Etc. can be mentioned Ropiruamin, aqueous solution with compounds of other long as it exhibits basicity can also be naturally used. The concentration of the alkaline compound that can be suitably used in the development step of the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 0.01 to 20% by weight, particularly preferably 0.02 to 10% by weight. Further, the temperature of the developer depends on the composition of the photosensitive resin composition and the composition of the alkali developer, and is generally 0 ° C. or higher and 80 ° C. or lower, more generally 10 ° C. or higher and 60 ° C. or lower. Is preferably used.

上記現像工程によって形成したレリ−フパタ−ンは、リンスして不用な残分を除去する。リンス液としては、水、酸性水溶液などが挙げられる。   The relief pattern formed by the development process is rinsed to remove unnecessary residues. Examples of the rinsing liquid include water and acidic aqueous solutions.

次いで、上記得られたレリ−フパタ−ンの加熱処理を行う。加熱処理を行って、分子構造中に残存する反応性基を反応させることにより、耐熱性に富む硬化膜を得ることができる。硬化膜の厚みは、配線厚み等を考慮して決定されるが、2〜50μm程度であることが好ましい。このときの最終硬化温度は配線等の酸化を防ぎ、配線と基材との密着性を低下させないことを目的として低温で加熱して硬化できることが望まれている。   Next, heat treatment is performed on the obtained relief pattern. By carrying out heat treatment to react the reactive groups remaining in the molecular structure, a cured film having high heat resistance can be obtained. The thickness of the cured film is determined in consideration of the wiring thickness and the like, but is preferably about 2 to 50 μm. The final curing temperature at this time is desired to be able to be cured by heating at a low temperature for the purpose of preventing oxidation of the wiring and the like and not reducing the adhesion between the wiring and the substrate.

この時の硬化温度は100℃以上250℃以下であることが好ましく、更に好ましくは120℃以上200℃以下であり、特に好ましくは130℃以上180℃以下である。最終加熱温度が高くなると配線の酸化劣化が進むので望ましくない。   The curing temperature at this time is preferably 100 ° C. or higher and 250 ° C. or lower, more preferably 120 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, and particularly preferably 130 ° C. or higher and 180 ° C. or lower. If the final heating temperature is high, the wiring is oxidatively deteriorated, which is not desirable.

本願発明の感光性樹脂組成物から形成した硬化膜は、柔軟性、難燃性、電気絶縁信頼性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい。   The cured film formed from the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in flexibility, flame retardancy, and electrical insulation reliability, and the warpage of the substrate after curing is small.

また、例えば、感光性樹脂組成物から得られる絶縁膜は、好適には厚さ2〜50μm程度の膜厚で光硬化後少なくとも10μmまでの解像力、特に10〜1000μm程度の解像力のものである。このため感光性樹脂組成物から得られる絶縁膜は、フレキシブル基板の絶縁材料として特に適しているのである。また更には、光硬化型の各種配線被覆保護剤、感光性の耐熱性接着剤、電線・ケーブル絶縁被膜、等に用いられる。   In addition, for example, the insulating film obtained from the photosensitive resin composition preferably has a thickness of about 2 to 50 μm and a resolution of at least 10 μm after photocuring, particularly a resolution of about 10 to 1000 μm. For this reason, the insulating film obtained from the photosensitive resin composition is particularly suitable as an insulating material for a flexible substrate. Furthermore, it is used for various photo-curing wiring coating protective agents, photosensitive heat-resistant adhesives, electric wire / cable insulation coatings, and the like.

尚、本願発明は上記感光性樹脂組成物、又は、感光性樹脂組成物溶液を基材表面に塗布し乾燥して得られた樹脂フィルムを用いても同様の絶縁材料を提供することができる。   In addition, this invention can provide the same insulating material even if it uses the resin film obtained by apply | coating the said photosensitive resin composition or the photosensitive resin composition solution to the base-material surface, and drying.

以下本発明を実施例により具体的に説明するが本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

(合成例1)
<(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂>
攪拌機、温度計、及び窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)30.00gを仕込み、これに、ノルボルネンジイソシアネート10.31g(0.050モル)を仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃に加温して溶解させた。この溶液に、ポリカーボネートジオール50.00g(0.025モル)(旭化成株式会社製:商品名PCDL T5652、重量平均分子量2000)及び2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸3.70g(0.025モル)をメチルトリグライム(30.00g)に溶解した溶液を1時間かけて添加した。この溶液を5時間80℃で加熱攪拌を行い反応させた。上記反応を行うことで分子内にラジカル重合性基を実質的に含有しないウレタン結合及びカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は52%、重量平均分子量は5,600、固形分の酸価は22mgKOH/gであった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は下記の方法で測定した。
(Synthesis Example 1)
<(A1) Resin containing substantially no radical polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond and a carboxyl group>
Into a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, and a nitrogen introduction tube, 30.00 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) was charged as a polymerization solvent, and this was mixed with norbornene diisocyanate 10 .31 g (0.050 mol) was charged and dissolved by heating to 80 ° C. with stirring under a nitrogen stream. To this solution was added 50.00 g (0.025 mol) of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Corporation: trade name PCDL T5652, weight average molecular weight 2000) and 3.70 g (0.025) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid. Mol) in methyl triglyme (30.00 g) was added over 1 hour. This solution was reacted by heating and stirring at 80 ° C. for 5 hours. By performing the above reaction, a resin solution containing a urethane bond and a carboxyl group substantially free of radical polymerizable groups in the molecule was obtained. The obtained resin solution had a solid content concentration of 52%, a weight average molecular weight of 5,600, and a solid content acid value of 22 mgKOH / g. The solid content concentration, weight average molecular weight, and acid value were measured by the following methods.

<固形分濃度>
JIS K 5601−1−2に従って測定を行った。尚、乾燥条件は150℃×1時間の条件を選択した。
<Concentration of solid content>
The measurement was performed according to JIS K 5601-1-2. The drying conditions were 150 ° C. × 1 hour.

<重量平均分子量>
下記条件で測定を行った。
使用装置:東ソーHLC−8220GPC相当品
カラム :東ソー TSK gel Super AWM−H(6.0mmI.D.×15cm)×2本
ガードカラム:東ソー TSK guard column Super AW−H
溶離液:30mM LiBr+20mM H3PO4 in DMF
流速:0.6mL/min
カラム温度:40℃
検出条件:RI:ポラリティ(+)、レスポンス(0.5sec)
試料濃度:約5mg/mL
標準品:PEG(ポリエチレングリコール)
<Weight average molecular weight>
Measurement was performed under the following conditions.
Equipment used: Tosoh HLC-8220GPC equivalent column: Tosoh TSK gel Super AWM-H (6.0 mm ID x 15 cm) x 2 guard columns: Tosoh TSK guard column Super AW-H
Eluent: 30 mM LiBr + 20 mM H3PO4 in DMF
Flow rate: 0.6 mL / min
Column temperature: 40 ° C
Detection conditions: RI: Polarity (+), response (0.5 sec)
Sample concentration: about 5 mg / mL
Standard product: PEG (polyethylene glycol)

<酸価>
JIS K 5601−2−1に従って測定を行った。
<Acid value>
Measurement was performed according to JIS K 5601-2-1.

(合成例2)
<(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂>
攪拌機、温度計、及び窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)30.00gを仕込み、これに、ノルボルネンジイソシアネート10.31g(0.050モル)を仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃に加温して溶解させた。この溶液に、ポリカーボネートジオール50.00g(0.025モル)(旭化成株式会社製:商品名PCDL T5652、重量平均分子量2000)及び2−ヒドロキシエチルメタクリレート6.51g(0.050モル)をメチルトリグライム(30.00g)に溶解した溶液を1時間かけて添加した。この溶液を5時間80℃で加熱攪拌を行い反応させた。上記反応を行うことで分子内にウレタン結合及びメタクリロイル基を含有する樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は53%、重量平均分子量は5,200であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量は合成例1と同様の方法で測定した。
(Synthesis Example 2)
<(A2) Resin containing radically polymerizable group in molecule and containing urethane bond>
Into a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, and a nitrogen introduction tube, 30.00 g of methyltriglyme (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) was charged as a polymerization solvent, and this was mixed with norbornene diisocyanate 10 .31 g (0.050 mol) was charged and dissolved by heating to 80 ° C. with stirring under a nitrogen stream. To this solution, 50.00 g (0.025 mol) of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Corporation: trade name PCDL T5652, weight average molecular weight 2000) and 6.51 g (0.050 mol) of 2-hydroxyethyl methacrylate were added to methyltriglyme. A solution dissolved in (30.00 g) was added over 1 hour. This solution was reacted by heating and stirring at 80 ° C. for 5 hours. By performing the above reaction, a resin solution containing a urethane bond and a methacryloyl group in the molecule was obtained. The resulting resin solution had a solid content concentration of 53% and a weight average molecular weight of 5,200. The solid content concentration and the weight average molecular weight were measured in the same manner as in Synthesis Example 1.

(実施例1〜6)
<感光性樹脂組成物の調製>
(A1)成分、(A2)成分、(B)架橋ポリマー粒子、(C)熱硬化性樹脂、(D)光重合開始剤、(E)リン系難燃剤、その他成分、及び有機溶媒を添加して感光性樹脂組成物を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を表1に記載する。なお、表中の溶媒である1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタンは上記合成した樹脂溶液に含まれる溶剤も含めた全溶剤量である。感光性樹脂組成物ははじめに一般的な攪拌翼のついた攪拌装置で混合し、その後3本ロールミルで2回パスし均一な溶液とした。グラインドゲージにて粒子径を測定したところ、いずれも10μm以下であった。混合溶液を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して下記評価を実施した。
(Examples 1-6)
<Preparation of photosensitive resin composition>
(A1) component, (A2) component, (B) crosslinked polymer particles, (C) thermosetting resin, (D) photopolymerization initiator, (E) phosphorus flame retardant, other components, and an organic solvent are added. Thus, a photosensitive resin composition was prepared. Table 1 shows the blending amount of each constituent raw material in the resin solid content and the kind of the raw material. In addition, 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane which is a solvent in the table is the total amount of the solvent including the solvent contained in the synthesized resin solution. The photosensitive resin composition was first mixed with a general stirring device with a stirring blade, and then passed twice with a three-roll mill to obtain a uniform solution. When the particle diameter was measured with a grind gauge, all were 10 μm or less. The following evaluation was carried out by completely defoaming the foam in the solution with a defoaming device.

Figure 0005739209
Figure 0005739209

<1>日本化薬株式会社製 ウレタン変性エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の製品名
<2>ガンツ化成株式会社製 架橋ポリメタクリル酸メチル系架橋ポリマー粒子の製品名、平均粒子径2μm
<3>ガンツ化成株式会社製 架橋ポリメタクリル酸ブチル系架橋ポリマー粒子の製品名、平均粒子径5μm
<4>大日精化工業株式会社製 分子内にウレタン結合を含有する架橋ポリマー粒子の製品名、平均粒子径7μm
<5>日産化学株式会社製 多官能エポキシ樹脂(トリグリシジルイソシアヌレート)の製品名
<6>BASFジャパン株式会社製 光重合開始剤の製品名
<7>クラリアントジャパン株式会社製 ホスフィン酸塩の製品名
<8>日立化成工業株式会社製 EO変性ビスフェノールAジメタクリレートの製品名
<9>共栄社化学株式会社製 ブタジエン系消泡剤の製品名
<1> Product name of urethane-modified epoxy (meth) acrylate resin manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. <2> Product name of cross-linked polymethyl methacrylate-based cross-linked polymer particles manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., average particle diameter: 2 μm
<3> Product name of cross-linked polybutyl methacrylate cross-linked polymer particles manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd., average particle diameter of 5 μm
<4> manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd. Product name of crosslinked polymer particles containing urethane bonds in the molecule, average particle diameter of 7 μm
<5> Product name of polyfunctional epoxy resin (triglycidyl isocyanurate) manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd. <6> Product name of photopolymerization initiator manufactured by BASF Japan Ltd. <7> Product name of phosphinic acid salt manufactured by Clariant Japan <8> Product name of EO-modified bisphenol A dimethacrylate manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. <9> Product name of butadiene-based antifoaming agent manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.

<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>
上記感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、25μmのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名25NPI)に最終乾燥厚みが20μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した後、300mJ/cmの積算露光量の紫外線を照射して露光した。次いで、1.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃に加熱した溶液を用いて、1.0kgf/mmの吐出圧で90秒スプレー現像を行った。現像後、純水で十分洗浄した後、150℃のオーブン中で30分加熱硬化させてポリイミドフィルム上に感光性樹脂組成物の硬化膜を作製した。
<Preparation of coating film on polyimide film>
The above photosensitive resin composition was cast and applied to an area of 100 mm × 100 mm on a 25 μm polyimide film (manufactured by Kaneka Co., Ltd .: trade name 25 NPI) using a Baker type applicator so that the final dry thickness was 20 μm. After drying at 80 ° C. for 20 minutes, exposure was performed by irradiating with an ultraviolet ray having an accumulated exposure amount of 300 mJ / cm 2 . Subsequently, spray development was performed for 90 seconds at a discharge pressure of 1.0 kgf / mm 2 using a solution obtained by heating a 1.0 wt% sodium carbonate aqueous solution to 30 ° C. After development, the film was sufficiently washed with pure water, and then cured by heating in an oven at 150 ° C. for 30 minutes to prepare a cured film of the photosensitive resin composition on the polyimide film.

<硬化膜の評価>
以下の項目につき評価を行った。評価結果を表2に記載する。
<Evaluation of cured film>
The following items were evaluated. The evaluation results are shown in Table 2.

(i)感光性
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で得られた硬化膜の表面観察を行い判定した。ただし、露光は、ライン幅/スペース幅=100μm/100μmのネガ型フォトマスクを置いて露光した。
〇:ポリイミドフィルム表面に顕著な線太りや現像残渣無くライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けているもの。
×:ポリイミドフィルム表面にライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けていないもの。
(I) Photosensitivity The surface of the cured film obtained by the same method as the above item <Preparation of coating film on polyimide film> was observed and determined. However, the exposure was performed by placing a negative photomask of line width / space width = 100 μm / 100 μm.
◯: A photosensitive pattern having a line width / space width = 100/100 μm can be drawn on the polyimide film surface without noticeable line thickness or development residue.
X: A line width / space width = 100/100 μm photosensitive pattern is not drawn on the polyimide film surface.

(ii)タックフリー性
上記感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、25μmのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名25NPI)に最終乾燥厚みが20μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥して溶媒乾燥後の塗膜を作製した。塗膜のタックフリー性の評価方法は、作製した溶媒乾燥後の塗膜付きフィルムを50mm×30mmの短冊に切り出して、塗膜を内側にして塗膜面同士を重ね合わせ、重ね合わせた部分に300gの荷重を3秒間のせた後、荷重を取り除き、塗膜面を引き剥がした時の状態を観察した。
○:塗膜同士の貼り付きがなく、塗膜に貼り付き跡も残っていない。
△:塗膜同士が少し貼り付き、塗膜に貼り付き跡が残っている。
×:塗膜同士が完全に貼り付いて引き剥がせない。
(Ii) Tack-free area Using a Baker type applicator, the photosensitive resin composition is an area of 100 mm × 100 mm so that the final dry thickness becomes 20 μm on a 25 μm polyimide film (manufactured by Kaneka Corporation: trade name 25 NPI). The coated film was dried at 80 ° C. for 20 minutes to produce a solvent-dried coating film. The method for evaluating the tack-free property of the coating film is to cut out the film with the coating film after drying the solvent into 50 mm x 30 mm strips, and the coating film surfaces overlap each other with the coating film on the inside. After applying a load of 300 g for 3 seconds, the load was removed and the state when the coating film surface was peeled off was observed.
○: There is no sticking between the coating films, and no sticking marks remain on the coating film.
(Triangle | delta): The coating films stick a little and the sticking trace remains in the coating film.
X: The coating films adhered completely and cannot be peeled off.

(iii)耐折れ性
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。硬化膜積層フィルムの耐折れ性の評価方法は、硬化膜積層フィルムを50mm×10mmの短冊に切り出して、硬化膜を外側にして25mmのところで180°に折り曲げ、折り曲げ部に5kgの荷重を3秒間のせた後、荷重を取り除き、折り曲げ部の頂点を顕微鏡で観察した。顕微鏡観察後、折り曲げ部を開いて、再度5kgの荷重を3秒間乗せた後、荷重を取り除き完全に硬化膜積層フィルムを開いた。上記操作を繰り返し、折り曲げ部にクラックが発生する回数を折り曲げ回数とした。
○:折り曲げ回数5回で硬化膜にクラックが無いもの。
△:折り曲げ回数3回で硬化膜にクラックが無いもの。
×:折り曲げ1回目に硬化膜にクラックが発生するもの。
(Iii) Folding resistance of the photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm on the surface of a polyimide film having a thickness of 25 μm (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as the above item <Preparation of coating film on polyimide film>. A cured film laminated film was produced. The evaluation method of the bending resistance of the cured film laminated film is that the cured film laminated film is cut into 50 mm × 10 mm strips, bent at 180 ° at 25 mm with the cured film on the outside, and a load of 5 kg is applied to the bent portion for 3 seconds. After loading, the load was removed, and the apex of the bent portion was observed with a microscope. After microscopic observation, the bent portion was opened, and a 5 kg load was again applied for 3 seconds, and then the load was removed to completely open the cured film laminated film. The above operation was repeated, and the number of occurrences of cracks in the bent portion was defined as the number of bending times.
A: The cured film has no cracks after being bent five times.
Δ: The cured film has no cracks after being bent three times.
X: A crack occurs in the cured film at the first folding.

(iv)電気絶縁信頼性
フレキシブル銅貼り積層版(電解銅箔の厚み12μm、ポリイミドフィルムは株式会社カネカ製アピカル25NPI、ポリイミド系接着剤で銅箔を接着している)上にライン幅/スペース幅=100μm/100μmの櫛形パターンを作製し、10容量%の硫酸水溶液中に1分間浸漬した後、純水で洗浄し銅箔の表面処理を行った。その後、上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で櫛形パターン上に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜を作製し試験片の作製を行った。85℃、85%RHの環境試験機中で試験片の両端子部分に100Vの直流電流を印加し、絶縁抵抗値の変化やマイグレーションの発生などを観察した。
○:試験開始後、1000時間で10の8乗以上の抵抗値を示し、マイグレーション、デンドライトなどの発生が無いもの。
×:試験開始後、1000時間でマイグレーション、デンドライトなどの発生があるもの。
(Iv) Electrical insulation reliability Line width / space width on a flexible copper-clad laminate (thickness of electrolytic copper foil 12 μm, polyimide film is Apical 25 NPI manufactured by Kaneka Co., Ltd., copper foil is bonded with polyimide adhesive) = 100 μm / 100 μm comb-shaped pattern was prepared, immersed in a 10% by volume sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, washed with pure water, and subjected to a copper foil surface treatment. Thereafter, a cured film of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm was prepared on a comb pattern by the same method as the above item <Preparation of a coating film on a polyimide film>, and a test piece was prepared. A 100 V direct current was applied to both terminals of the test piece in an environmental test machine at 85 ° C. and 85% RH, and changes in the insulation resistance value and occurrence of migration were observed.
○: A resistance value of 10 8 or more in 1000 hours after the start of the test, and no occurrence of migration or dendrite.
X: Migration, dendrite, etc. occurred in 1000 hours after the start of the test.

(v)半田耐熱性
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、75μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル75NPI)表面に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。
得られた硬化膜積層フィルムを260℃で完全に溶解してある半田浴に感光性樹脂組成物の硬化膜が塗工してある面が接する様に浮かべて10秒後に引き上げた。その操作を3回行い、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常がない。
×:塗膜に膨れや剥がれなどの異常が発生する。
(V) Solder heat resistance of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm on the surface of a polyimide film having a thickness of 75 μm (Apical 75NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as in the above item <Preparation of coating film on polyimide film>. A cured film laminated film was produced.
The obtained cured film laminated film was floated so that the surface coated with the cured film of the photosensitive resin composition was in contact with the solder bath completely dissolved at 260 ° C., and then pulled up 10 seconds later. The operation was performed three times, and the state of the film surface was observed.
○: There is no abnormality in the coating film.
X: Abnormality such as swelling or peeling occurs in the coating film.

(vi)反り
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。
得られた硬化膜積層フィルムを50mm×50mmの面積に切り出して平滑な台の上に塗布膜が上面になるように置き、フィルム端部の反り高さを測定した。測定部位の模式図を図1に示す。ポリイミドフィルム表面での反り量が少ない程、プリント配線板表面での応力が小さくなり、プリント配線板の反り量も低下することになる。反り量は5mm以下であることが好ましい。尚、筒状に丸まる場合は×とした。
(Vi) Warpage Cured film of photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm on the surface of a polyimide film having a thickness of 25 μm (Apical 25 NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as the above item <Preparation of coating film on polyimide film>. A laminated film was produced.
The obtained cured film laminated film was cut into an area of 50 mm × 50 mm and placed on a smooth table so that the coating film was on the upper surface, and the warp height of the film edge was measured. A schematic diagram of the measurement site is shown in FIG. The smaller the amount of warpage on the polyimide film surface, the smaller the stress on the surface of the printed wiring board and the lower the amount of warping of the printed wiring board. The warp amount is preferably 5 mm or less. In addition, when rounding cylindrically, it was set as x.

(vii)難燃性
プラスチック材料の燃焼性試験規格UL94VTMに従い、以下のように燃焼性試験を行った。上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名アピカル25NPI)両面に20μm厚みの感光性樹脂組成物硬化膜積層フィルムを作製した。 上記作製したサンプルを寸法:50mm幅×200mm長さ×75μm 厚み(ポリイミドフィルムの厚みを含む)に切り出し、125mmの部分に標線を入れ、直径約13mmの筒状に丸め、標線よりも上の重ね合わせ部分(75mmの箇所)、及び、上部に隙間がないようにPIテープを貼り、燃焼性試験用の筒を20本用意した。 そのうち10本は(1)23℃/50%相対湿度/48時間で処理し、残りの10本は(2)70℃で168時間処理後無水塩化カルシウム入りデシケーターで4時間以上冷却した。これらのサンプルの上部をクランプで止めて垂直に固定し、サンプル下部にバーナーの炎を3秒間近づけて着火する。3秒間経過したらバーナーの炎を遠ざけて、サンプルの炎や燃焼が何秒後に消えるか測定する。
○:各条件((1)、(2))につき、サンプルからバーナーの炎を遠ざけてから平均(10本の平均)で10秒以内、最高で10秒以内に炎や燃焼が停止し自己消火し、かつ、評線まで燃焼が達していないもの。
×:1本でも10秒以内に消火しないサンプルがあったり、炎が評線以上のところまで上昇して燃焼するもの。
(Vii) Flame retardancy In accordance with the flammability test standard UL94VTM of plastic materials, the flammability test was performed as follows. In the same manner as the above item <Preparation of coating film on polyimide film>, a 25 μm-thick polyimide film (manufactured by Kaneka Corporation: trade name Apical 25 NPI) is coated with a 20 μm-thick photosensitive resin composition cured film laminated film. Was made. Cut out the sample prepared above into dimensions: 50 mm width x 200 mm length x 75 μm thickness (including the thickness of the polyimide film), put a marked line in the 125 mm part, round it into a cylinder with a diameter of about 13 mm, and above the marked line PI tape was affixed so that there was no gap in the overlapping part (75 mm) and the upper part, and 20 cylinders for flammability test were prepared. Of these, 10 were treated at (1) 23 ° C./50% relative humidity / 48 hours, and the remaining 10 were treated at (2) 70 ° C. for 168 hours and then cooled in a desiccator containing anhydrous calcium chloride for 4 hours or more. The upper part of these samples is clamped and fixed vertically, and a burner flame is brought close to the lower part of the sample for 3 seconds to ignite. After 3 seconds, move the burner flame away and measure how many seconds after the sample flame or burning disappears.
○: For each condition ((1), (2)), the flame and combustion stopped within 10 seconds on average (average of 10) after the flame of the burner was moved away from the sample, and self-extinguishment within 10 seconds at maximum However, it has not burned to the rating line.
×: Even one sample does not extinguish within 10 seconds, or the flame rises above the rating line and burns.

(viii)ブリードアウト
上記電気絶縁信頼性試験後の試験片を観察し、試験片表面の微小な膨れ、銅配線上の膨れ、油状物質の染み出しなどを観察した。
○:試験開始後、1000時間で試験片表面及び銅配線上に膨れ、染み出しなどの異常が見られないもの。
×:試験開始後、1000時間で試験片表面及び銅配線上に膨れ、染み出しなどの異常が見られるもの。
(Viii) Bleed-out The test piece after the electrical insulation reliability test was observed, and a minute bulge on the surface of the test piece, a bulge on the copper wiring, and a seepage of oily substances were observed.
○: No abnormalities such as swelling and bleeding on the surface of the test piece and the copper wiring in 1000 hours after the start of the test.
X: Abnormalities such as swelling and seepage appearing on the surface of the test piece and the copper wiring in 1000 hours after the start of the test.

Figure 0005739209
Figure 0005739209

(比較例1)
実施例1で用いた架橋ポリメタクリル酸メチル系架橋ポリマー粒子(ガンツ化成株式会社製、商品名ガンツパールGM−0105、平均粒子径2μm)に代えて、無機系粒子である硫酸バリウム(堺化学工業株式会社製、商品名バリエースB−30、平均粒子径0.3μm)を用いて実施例1と同様の方法で物性評価を行った。その結果を表2に記載する。
(Comparative Example 1)
Instead of the cross-linked polymethyl methacrylate-based cross-linked polymer particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., trade name Gantz Pearl GM-0105, average particle size 2 μm) used in Example 1, barium sulfate (Sakai Chemical Industry), which is an inorganic particle, was used. Physical properties were evaluated in the same manner as in Example 1 using a product name, Variace B-30, average particle size of 0.3 μm, manufactured by Co., Ltd. The results are listed in Table 2.

(比較例2)
攪拌機、温度計、冷却管及び空気導入管付き反応容器に空気を導入させた後、ポリカーボネートジオール(ダイセル化学工業株式会社製、商品名プラクセルCD205PL、数平均分子量:500)196.80g(0.39mol)、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸58.30(0.39mol)g、ジエチレングリコール37.60g(0.35mol)、1,4−シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート148.10g(0.75mol)g、p−メトキシフェノール0.55g、ジブチル錫ジラウレート0.55g、メチルエチルケトン110.20gを仕込み、空気気流下で65℃まで均一撹拌しながら昇温した。滴下容器にトリメチルヘキサメチレンジイソシアネート305.90g(1.46mol)を仕込み、65℃で均一攪拌しながら3時間かけて反応容器に滴下した。滴下終了後、滴下容器をメチルエチルケトン76.50gを用いて洗浄し、洗浄後の溶液は反応容器にそのまま投入した。さらに均一撹拌しながら2時間保温した後、75℃に昇温し、5時間均一攪拌を行った。次いで、反応容器内にメタノール9.30gを添加し、60℃で30分均一攪拌を行った。その後メチルエチルケトンを56.40g添加し、透明な樹脂溶液を得た。上記反応を行うことで分子内にウレタン結合及びメタクリロイル基を含有する樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は75%、重量平均分子量は14,800であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量は合成例1と同様の方法で測定した。得られた樹脂溶液を66.7g(固形分として50g)、ラジカル重合性化合物として2,2‘−ビス(4−メタクリロキシペンタエトキシフェニル)プロパン30g、バインダー樹脂としてメタクリル酸、メタクリル酸メチル及びアクリル酸ブチルを重量比22:71:7の割合で共重合させた樹脂溶液(重量平均分子量は80,000、固形分の酸価は143mgKOH/g、メチルセルソルブ/トルエン=6/4(重量比)に固形分濃度40%になるように溶解させた溶液)を162.5g(固形分として65g)、光重合開始剤としてベンゾフェノン3.5g及びN,N’−テトラエチル−4,4‘−ジアミノベンゾフェノン0.1g、熱硬化性樹脂としてイソシアヌレート型ヘキサメチレンジイソシアネート系イソシアネート化合物とブロック剤としてメチルエチルケトンオキシムを反応させて得られるブロック化イソシアネート化合物の75%メチルエチルケトン溶液20g(固形分として15g)、リン系難燃剤として大八化学工業株式会社製の製品名CR−747を40g、希釈剤としてアセトン85gを配合・攪拌して3本ロールにて分散させて感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物を実施例1と同様の方法で物性評価を行った。その結果を表2に記載する。尚、上記感光性樹脂組成物には、(A1)成分、(B)成分が含まれない。
(Comparative Example 2)
After introducing air into a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, a cooling pipe and an air introduction pipe, polycarbonate diol (manufactured by Daicel Chemical Industries, trade name: Plaxel CD205PL, number average molecular weight: 500), 196.80 g (0.39 mol) ), 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid 58.30 (0.39 mol) g, diethylene glycol 37.60 g (0.35 mol), 1,4-cyclohexanedimethanol monoacrylate 148.10 g (0.75 mol) g, 0.55 g of p-methoxyphenol, 0.55 g of dibutyltin dilaurate, and 110.20 g of methyl ethyl ketone were charged, and the temperature was raised to 65 ° C. with uniform stirring under an air stream. 305.90 g (1.46 mol) of trimethylhexamethylene diisocyanate was charged into the dropping vessel and dropped into the reaction vessel over 3 hours with uniform stirring at 65 ° C. After completion of the dropping, the dropping container was washed with 76.50 g of methyl ethyl ketone, and the washed solution was directly put into the reaction container. Further, the mixture was kept warm for 2 hours with uniform stirring, then heated to 75 ° C. and stirred uniformly for 5 hours. Next, 9.30 g of methanol was added to the reaction vessel, and stirred uniformly at 60 ° C. for 30 minutes. Thereafter, 56.40 g of methyl ethyl ketone was added to obtain a transparent resin solution. By performing the above reaction, a resin solution containing a urethane bond and a methacryloyl group in the molecule was obtained. The resulting resin solution had a solid content concentration of 75% and a weight average molecular weight of 14,800. The solid content concentration and the weight average molecular weight were measured in the same manner as in Synthesis Example 1. 66.7 g (50 g as a solid content) of the obtained resin solution, 30 g of 2,2′-bis (4-methacryloxypentaethoxyphenyl) propane as a radical polymerizable compound, methacrylic acid, methyl methacrylate and acrylic as a binder resin Resin solution obtained by copolymerizing butyl acid in a weight ratio of 22: 71: 7 (weight average molecular weight is 80,000, solid content acid value is 143 mgKOH / g, methyl cellosolve / toluene = 6/4 (weight ratio 162.5 g (solid solution 65 g), benzophenone 3.5 g and N, N′-tetraethyl-4,4′-diamino as a photopolymerization initiator 0.1 g of benzophenone, an isocyanurate type hexamethylene diisocyanate-based isocyanate compound as a thermosetting resin 20 g of a 75% methyl ethyl ketone solution of a blocked isocyanate compound obtained by reacting methyl ethyl ketone oxime as a locking agent (15 g as a solid content), 40 g of a product name CR-747 manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd. as a phosphorus flame retardant A photosensitive resin composition was prepared by mixing and stirring 85 g of acetone as an agent and dispersing the mixture with three rolls. The physical properties of this photosensitive resin composition were evaluated in the same manner as in Example 1. The results are listed in Table 2. In addition, (A1) component and (B) component are not contained in the said photosensitive resin composition.

(比較例3)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂YDCN−703(東都化成株式会社製、エポキシ当量200)100.00gに、エチルカルビトールアセテート80.00gを加え、撹拌下120℃で加熱溶解させた。60℃まで冷却した後、(メタ)アクリル酸エステル系ポリマー微粒子のエマルション(ガラス転移温度−8℃、固形分46.0%)43.48g(固形分として20.00g)を加え、撹拌下で130℃まで昇温し、水を完全に除去した。次いで、アクリル酸36.90g、塩化第二クロム六水和物0.14gおよびメチルハイドロキノン0.11gを加え、110℃で3時間反応させた。反応物の酸価が3.0mgKOH/gになり、アクリロイル基の導入が確認された。次に、テトラヒドロ無水フタル酸45.60g、エチルカルビトールアセテート29.00gおよび無水塩化リチウム0.14gを加え、100℃で3時間反応させて、(メタ)アクリル酸エステル系ポリマー微粒子を6.4%と、酸価90mgKOH/gの光硬化性樹脂を58.6%含むエチルカルビトールアセテートとの混合樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液を90g (固形分としてポリマー微粒子5.8g、光硬化性樹脂52.7g)、多官能モノマーとしてペンタエリスリトールテトラアクリレート15.0g、希釈剤としてエチルカルビトールアセテート20.0g、光重合開始剤としてBASFジャパン株式会社製の製品名イルガキュア907を8.0g、熱硬化性樹脂としてフェノールノボラック型エポキシ樹脂20.0g、エポキシ硬化剤としてジシアンジアミド2.0g、充填剤として硫酸バリウム30.0g、消泡剤として共栄社化学株式会社製の製品名フローレンAC300を1.2g、顔料としてフタロシアニングリーン0.6gを配合・攪拌して3本ロールにて分散させて感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物を実施例1と同様の方法で物性評価を行った。その結果を表2に記載する。尚、上記感光性樹脂組成物には、(A1)成分、(A2)成分が含まれない。
(Comparative Example 3)
80.00 g of ethyl carbitol acetate was added to 100.00 g of cresol novolac type epoxy resin YDCN-703 (Epto equivalent 200, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), and heated and dissolved at 120 ° C. with stirring. After cooling to 60 ° C., 43.48 g (20.00 g as a solid content) of an emulsion of (meth) acrylic acid ester polymer fine particles (glass transition temperature—8 ° C., solid content: 46.0%) was added and stirred. The temperature was raised to 130 ° C. to completely remove water. Next, 36.90 g of acrylic acid, 0.14 g of chromic chloride hexahydrate and 0.11 g of methylhydroquinone were added and reacted at 110 ° C. for 3 hours. The acid value of the reaction product was 3.0 mgKOH / g, and the introduction of an acryloyl group was confirmed. Next, 45.60 g of tetrahydrophthalic anhydride, 29.00 g of ethyl carbitol acetate and 0.14 g of anhydrous lithium chloride are added and reacted at 100 ° C. for 3 hours to obtain 6.4 (meth) acrylic acid ester polymer fine particles. % And a mixed resin solution of ethyl carbitol acetate containing 58.6% of a photocurable resin having an acid value of 90 mgKOH / g. 90 g of the obtained resin solution (5.8 g of polymer fine particles as solid content, 52.7 g of photocurable resin), 15.0 g of pentaerythritol tetraacrylate as a polyfunctional monomer, 20.0 g of ethyl carbitol acetate as a diluent, light 8.0 g of product name Irgacure 907 manufactured by BASF Japan Ltd. as a polymerization initiator, 20.0 g of phenol novolac type epoxy resin as a thermosetting resin, 2.0 g of dicyandiamide as an epoxy curing agent, and 30.0 g of barium sulfate as a filler Then, 1.2 g of product name Floren AC300 manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. as an antifoaming agent and 0.6 g of phthalocyanine green as a pigment were mixed and stirred and dispersed with a three roll to obtain a photosensitive resin composition. The physical properties of this photosensitive resin composition were evaluated in the same manner as in Example 1. The results are listed in Table 2. In addition, the (A1) component and the (A2) component are not included in the photosensitive resin composition.

1 感光性樹脂組成物を積層したポリイミドフィルム
2 反り量
3 平滑な台
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polyimide film which laminated the photosensitive resin composition 2 Warpage amount 3 Smooth stand

Claims (9)

少なくとも
(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、
(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、
(B)架橋ポリマー粒子、
(C)熱硬化性樹脂、
(D)光重合開始剤
を含有し、
上記(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂は、ウレタン(メタ)アクリレート樹脂であり、
上記ウレタン(メタ)アクリレート樹脂は、下記一般式(1)で示されるジオール化合物
Figure 0005739209
(式中、R は2価の有機基を示す)、
及び下記一般式(3)で示されるジイソシアネート化合物
Figure 0005739209
(式中、X は2価の有機基を示す)に加えて、
下記一般式(5)
Figure 0005739209
(式中、R はr+1価の有機基を示し、R は水素又はアルキル基を示す。rは1〜3の整数を示す)で示される水酸基及び少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物及び/又は下記一般式(6)
Figure 0005739209
(式中、X はs+1価の有機基を示し、X は水素又はアルキル基を示す。sは1〜3の整数を示す)で示されるイソシアネート基及び少なくとも1つの(メタ)アクリロイル基を含有する化合物を反応させることにより得られる樹脂であり、
上記(C)熱硬化性樹脂は、多官能エポキシ樹脂であることを特徴とする感光性樹脂組成物
ここで、上記(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せずとは、(A1)の分子内のラジカル重合性基をヨウ素価として測定することにより定量した値が5未満であることを意味する
A resin containing at least (A1) a radically polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond and a carboxyl group,
(A2) a resin containing a radical polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond,
(B) crosslinked polymer particles,
(C) thermosetting resin,
(D) contains a photopolymerization initiator ,
The resin containing a radical polymerizable group (A2) in the molecule and containing a urethane bond is a urethane (meth) acrylate resin,
The urethane (meth) acrylate resin is a diol compound represented by the following general formula (1)
Figure 0005739209
(Wherein R 1 represents a divalent organic group),
And a diisocyanate compound represented by the following general formula (3)
Figure 0005739209
(Wherein X 1 represents a divalent organic group)
The following general formula (5)
Figure 0005739209
(In the formula, R 3 represents an r + 1 valent organic group, R 4 represents hydrogen or an alkyl group, r represents an integer of 1 to 3) and contains at least one (meth) acryloyl group. And / or the following general formula (6)
Figure 0005739209
(Wherein X 2 represents an s + 1 valent organic group, X 3 represents hydrogen or an alkyl group, s represents an integer of 1 to 3) and at least one (meth) acryloyl group. It is a resin obtained by reacting a compound containing,
(C) above thermosetting resin, photosensitive resin composition which is a multifunctional epoxy resin:
Here, the (A1) molecule containing substantially no radical polymerizable group means that the value determined by measuring the radical polymerizable group in the molecule of (A1) as an iodine value is less than 5. It means that there is .
前記(B)架橋ポリマー粒子の平均粒子径が、1〜10μmであることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the (B) crosslinked polymer particles have an average particle diameter of 1 to 10 μm. 前記(B)架橋ポリマー粒子の配合量が、(A1)分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂及び(A2)分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂の合計100重量部に対して30〜100重量部であることを特徴とする請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。   The blended amount of the (B) crosslinked polymer particles is (A1) a resin containing substantially no radical polymerizable group in the molecule and containing a urethane bond and a carboxyl group, and (A2) radical polymerizable in the molecule. 3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content is 30 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight in total of the resin containing a group and a urethane bond. 前記(B)架橋ポリマー粒子が、分子内にウレタン結合を含有する架橋ポリマー粒子であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the (B) crosslinked polymer particle is a crosslinked polymer particle containing a urethane bond in the molecule. 更に(E)リン系難燃剤を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, further comprising (E) a phosphorus-based flame retardant. 前記(E)リン系難燃剤が、ホスフィン酸塩であることを特徴とする請求項5に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 5, wherein the (E) phosphorus flame retardant is a phosphinate. 少なくとも請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を基材表面に塗布した後、乾燥して得られた樹脂フィルム。 The resin film obtained by apply | coating the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-6 to the base-material surface at least, and drying. 請求項7に記載の樹脂フィルムを硬化させて得られる絶縁膜。 An insulating film obtained by curing the resin film according to claim 7 . 請求項8に記載の絶縁膜がプリント配線板に被覆された絶縁膜付きプリント配線板。 A printed wiring board with an insulating film, wherein the insulating film according to claim 8 is coated on the printed wiring board.
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