JP2011237445A - 光増幅素子を搭載した検査チップ - Google Patents
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Abstract
【課題】光を利用した検査チップにおいて、高い精度で光を照射できる検査チップを提供する。また、複数の光を用いて簡便にサンプルの検査を行うことができる検査チップを提供する。
【解決手段】光増幅素子５と、サンプルを保持するサンプル保持部８と、を備えた検査チップ１であって、光増幅素子はサンプル保持部に面して配置されており、光増幅素子から放出される光は、サンプル保持部に保持されたサンプルに照射されることを特徴とする検査チップを用いる。
【選択図】図２
【解決手段】光増幅素子５と、サンプルを保持するサンプル保持部８と、を備えた検査チップ１であって、光増幅素子はサンプル保持部に面して配置されており、光増幅素子から放出される光は、サンプル保持部に保持されたサンプルに照射されることを特徴とする検査チップを用いる。
【選択図】図２
Description
本発明は、検査チップおよび検査装置に係り、特に、物質から発生する光、熱、音などを直接的あるいは間接的に検出することによって、物質を検査するための検査チップおよび検査装置に関する。
光を利用した検査装置は、特定の光が物質に照射されたときの反応、すなわち、光の吸収や蛍光、燐光、温度変化、音波発生、屈折率変化などを検知することで、間接的に対象物の存在・消滅・濃度・変質などを測定するものである。
そして、これらの光を利用した検査装置に用いられる検査チップは、マイクロファブリケーションによって近年更に小型化し、少量のサンプルでも精度よく検査することが出来るようになってきている。
この時の光源には、目的に応じた特定の波長の光源として、レーザー又はレーザー様な光放射を利用したものが用いられている。
しかし、これらの光源は、装置として大型であるものが多く、検査チップ上にこれらの光源を搭載することは困難であった。このため、これらの光源は、検査チップとは別に設置され、外部から光を照射する必要があった。この場合、検査チップ上の特定の位置に、正確に光を照射する必要があるが、チップが小型化した場合に、高い精度で照射位置を制御することは容易ではない。
さらに、検査において複数の光（波長同じ場合や波長が異なる場合を含む）が必要な場合には、それに対応して複数の光源を用いる必要があり、装置が複雑となるという問題があった。また、これらの光源は、一般に高価な場合が多く、複数の光源を用いた場合には、コストが高くなるという問題もあった。
ところで、光導波路を利用した光増幅素子は、外部からレーザー光等を照射することにより、任意の波長の光を放出できる素子として、近年注目されてきている（特許文献１参照）。
しかし、これらの光増幅素子を用いた検査チップについては、知られていない。
特開２００１−１６０６４２号公報
本発明は、光を利用した検査チップにおいて、高い精度で光を照射できる検査チップを提供することを課題とする。また、本発明は、複数の光を用いて簡便にサンプルの検査を行うことができる検査チップを提供することを課題とする。更に、本発明は、上記検査チップを用いた検査装置を提供することを課題とする。
本発明は、光増幅素子と、サンプルを保持するサンプル保持部と、を備えた検査チップであって、前記光増幅素子は前記サンプル保持部に面して配置されており、前記光増幅素子から放出される光は、前記サンプル保持部に保持されたサンプルに照射されることを特徴とする検査チップである。
また、本発明は、前記光が照射されることにより、前記サンプルからエネルギーが放出される、またはサンプルに於いて化学的あるいは物理的構造変化が生じることを特徴とする上記の検査チップである。
また、本発明は、基板と、この基板上に形成される光増幅素子と、前記基板上の光増幅素子の近傍においてサンプルを保持するサンプル保持部とを備えた検査チップであって、前記光増幅素子は、前記基板上に配置されて外部からの励起光を伝播させる励起光導波路と、この励起光導波路上に配置されて前記励起光により所定のレーザー光を放出するレーザー導波路とを備えていることを特徴とする検査チップである。
また、本発明は、基板と、この基板上に形成される光増幅素子と、前記基板上の光増幅素子の近傍においてサンプルを保持するサンプル保持部とを備えた検査チップであって、前記光増幅素子は、前記基板上に配置されて外部からの励起光により所定のレーザー光を放出するレーザー導波路を備えていることを特徴とする検査チップである。
また、本発明は、前記光増幅素子は、前記サンプル保持部に面して配置されていることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記レーザー光は、前記サンプル保持部に保持されたサンプルに照射されることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記レーザー光が前記サンプルに照射されることにより、前記サンプルからエネルギーが放出され、またはサンプルに於いて化学的あるいは物理的構造変化が生じることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記サンプルから放出されるエネルギーが、光、熱、および音からなる群より選択される少なくとも１種であることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記サンプルから放出されるエネルギーが、前記照射された光の透過光または反射光であることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記サンプルにおける化学的・物理的変化が、電気抵抗値、屈折率、光透過率、光感受率、キャリア移動度、屈折率波長依存性、光透過率波長依存性からなる群より選択される、少なくとも１種を用いて検査することを特長とする上記検査チップである。
また、本発明は、複数の光増幅素子を備えたことを特徴とする、上記検査チップである。
また、本発明は、前記複数の光増幅素子のうち、少なくとも１つの光増幅素子が他の光増幅素子と異なる波長の光を放出することを特徴とする上記検査チップ。
また、本発明は、前記光増幅素子は、１つのサンプル保持部に対して複数個配置されていることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記サンプル保持部は細長い流路状に形成されており、前記光増幅素子が流路に沿って配置されていることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記基板が回転中心を有し、前記サンプル保持部は前記回転中心から半径方向に沿って延びていることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記サンプル保持部はＹ字状に分岐した流路状に形成されており、前記複数の光増幅素子が各枝状流路に配置されていることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記サンプル保持部は円形状に形成されており、前記複数の光増幅素子が前記サンプル保持部の周囲に配置されていることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記基板上には複数のサンプル保持部が形成されていることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記サンプルが、血液、体液、生物、生体、細胞、酵素、薬品、タンパク質、ペプチド、糖類、酵素反応代謝産物、反応複合体、脂質、低分子化合物、核酸からなる生化学サンプル群より選択される少なくとも１種であることを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、前記放出されたエネルギーを検出するエネルギー検出部を、さらに備えたことを特徴とする上記検査チップである。
また、本発明は、上記いずれに記載の検査チップと、前記検査チップの光増幅素子にレーザーを照射するレーザー照射部と、前記検査チップから放出されたエネルギーを検出するエネルギー検出部と、を備えることを特徴とする、検査装置である。
また、本発明は、上記検査チップと、前記検査チップの光増幅素子にレーザーを照射するレーザー照射部と、を備えることを特徴とする、検査装置である。
また、本発明は、上記いずれかに記載の検査チップと、前記検査チップの光増幅素子にレーザーを照射するレーザー照射部と、前記検査チップから放出されるエネルギーを検出するエネルギー検出部と、を備える検査装置であって、１つのレーザー照射部から放出されたレーザーが、複数の光増幅素子に照射されることを特徴とする、検査装置である。
本発明により、光を利用した検査チップにおいて、高い精度で光を照射できる検査チップを提供することができる。また、本発明により、複数の光を用いて簡便にサンプルの検査を行うことができる検査チップを提供することができる。
本発明において、光増幅素子とは、エネルギーが供給されることにより発光し、その発光した光を一定方向に収束して放出する性質を有する素子をいう。
本発明に用いられる光増幅素子としては、例えば、アクリル樹脂等の光透過性プラスチックを用いて製造した光導波路を挙げることができる。即ち、例えば、基板上に光硬化性アクリル樹脂を２〜１０μｍの厚さで堆積させ、必要に応じて色素をこれにドーピングし、これに紫外線レーザーを２方向から照射して干渉縞を形成させ、必要であれば適宜エッチングなどの処理を施して、物理的あるいは光学的な回折格子を有する光増幅素子を得ることができる。そして、この光増幅素子にレーザーなどのエネルギーを照射することにより、特定の波長の光だけを帰還させ、フィルター効果により狭いスペクトル幅でレーザー発振を得ることが可能となる。
そして、このときの干渉縞を制御することにより、任意の波長の光を放出する光増幅素子を製造することができることとなる。また別の方法に依れば、シリコン基板などを型として利用して、この型に導波路や分岐機関構造を作製し、アクリル樹脂などの光透過性樹脂にレーザー色素をドープしたものを型から写し取って作製することも可能である。このような原理を基に、有機色素をドープしたプラスチック（一例としてはポリメタクリル酸メチルを主成分とする高分子）を用いて光増幅素子を作成する場合、分布帰還（ＤＦＢ）構造をその一部または全体に持つことで、励起光を照射するだけで発振する導波型固体色素レーザーとして機能する光増幅素子となる。この光増幅素子は、プラスチックからなる基板上に、色素をドープしない励起光導波路と、励起光導波路上において色素をドープしＤＦＢ構造としたレーザー導波路とからなる。または、プラスチックからなる基板上に、色素をドープしＤＦＢ構造としたレーザー導波路からなる。
本発明に用いられる光増幅素子の大きさとしては、検査チップに配置できるものであれば特に制限はないが、例えば、長さ１〜２０ｍｍ、幅１μｍ〜１ｍｍ、厚さ２〜１０μｍのものを挙げることができる。
図８および図９に、光増幅素子の作用を示す。図８において、エネルギー６０が光増幅素子５に照射されると、照射されたエネルギーは、光増幅素子５に吸収され、特定の波長の光を、矢印で示す方向に出力光５５として放出する。また、図９においては、レーザー光源１５から放出されたレーザーが、光ファイバー１８を通って光増幅素子５に照射され、出力光５５として、特定の波長の光が放出されることとなる。
次に、本発明の検査チップおよび検査装置について説明する。図１は、本発明の検査チップおよび検査装置を示す模式図である。図１において、本発明の検査チップ１は、光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃと、サンプル保持部８、エネルギー検出部１０ａ，１０ｂ，１０ｃを備えている。光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃの端部はそれぞれサンプル保持部８に面している。また、光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃは、光ファイバー１８を介して、レーザー光源１５に接続されている。なお、図１において、レーザー光源１５および光ファイバー１８は、本発明の検査装置２０におけるレーザー照射部を構成する。
本発明の検査チップおよび検査装置は、上記のように構成されており、以下その作用について説明する。図１において、レーザー光源１５から放出されたレーザーは、光ファイバー１５を通って光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃにそれぞれ照射される。レーザーを照射された光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃは、それぞれ特定の波長の光を放出し、サンプル保持部８に保持されたサンプルに照射される。ここで、図１はチップを上面から見た図であるが、サンプル保持部は例えば液状のサンプルを保持するために、周囲部よりも僅かに凹んでいる。そして、光を照射されたサンプルからは、それぞれの反応に応じたエネルギーがサンプルから放出されることとなる。次に、サンプルから放出されたエネルギーは、エネルギー検出部１０ａ，１０ｂ，１０ｃによりそれぞれ検出され、サンプルの検査が行われることとなる。
なお、ここで放出されるエネルギーとしては、例えば、照射された光そのものの透過光や反射光の他、蛍光や燐光などの光、熱、音等を挙げることができる。
本発明により、１つのサンプル保持部に対して複数の光増幅素子が設けられているので、１つのサンプルについて複数の波長の光を用いて同時に検査することが可能となる。また、図１に示すように、レーザー光源１５からの励起光を光増幅素子の数だけ分岐して接続するように構成すれば、そのための光源として、１つのレーザー放出装置のみで検査することが可能となる。
図２は、本発明の検査チップおよび検査装置の他の例を示す図である。図２において、本発明の検査チップ１は、複数のサンプル保持部８を備えており、各々のサンプル保持部８には、単数又は複数の光増幅素子５が配置されている。ここで、光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃの端部はそれぞれサンプル保持部８に面している。
また、図２において、本発明の検査装置２０は、レーザー光源１５、走査ミラー３０、検査チップ１、エネルギー検出部１０から構成されている。
レーザー光源１５により放出された励起光としてのレーザー２５は、走査ミラー３０で反射され、光増幅素子５に照射される。図２においては光増幅素子の下面からレーザー２５が照射されている。レーザー２５が照射された光増幅素子５は、特定の波長の光を放出し、この放出された光がサンプル保持部８に保持されたサンプルに照射される。光を照射されたサンプルからは、エネルギー３５が放出され、放出されたエネルギー３５は、エネルギー検出部１０により検出され、サンプルの検査が行われることとなる。
本発明により、走査ミラー３０を使ってレーザー２５を走査することにより、１つのレーザー光源１５により複数の光増幅素子５にレーザーを照射することが可能なる。また、複数のサンプル保持部および複数の光増幅素子を有することにより、１つの検査チップで他種類の検査を行うことが可能となる。
図３は、本発明の検査チップの他の例を示す図である。図３において、本発明の検査チップ１は、サンプルリザーバ４０、サンプル受け部４５、サンプル保持部８、光増幅素子５を備えている。光増幅素子５は、サンプル保持部８の長手方向に沿って複数個配置されている。また、光増幅素子５の端部はそれぞれサンプル保持部８に面している。
図３において、サンプルリザーバ４０に配置されたサンプルは、細長い通路状のサンプル保持部８を移動し、サンプル受け部４５に到達する。そして、サンプル保持部８を移動する際に、光増幅素子５に励起用のレーザーを照射することにより各光増幅素子５から光が放出され、サンプルに照射されることとなる。この際にサンプルから放出されるエネルギーを検出することにより、サンプルを検査することが可能となる。
本発明により、サンプル保持部８の上流側（図中の左方）から下流側（図中の右方）に向かって複数の光増幅素子が配列されているので、サンプルが流動や泳動等をする際に受ける変化を検出することが可能となる。
図４は、本発明の検査チップの他の例を示す図である。図４において、本発明の検査チップ１は、サンプルリザーバ４０ａ、４０ｂ、サンプル受け部４５、サンプル保持部８、光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを備えている。図に示すように、サンプル保持部８はＹ字状に分岐している。そして、２本の分枝の上流側(図中の左方)に２つのサンプルリザーバ４０ａ，４０ｂが設けられ、逆に下流側（図中の右方）にサンプル受け部４５が設けられている。図に示す例では、サンプル保持部８の２本の分枝に、それぞれ１個づつ光増幅素子５ａ，５ｂが配置されている。また、下流側に向かうサンプル保持部８には、長手方向に沿って４つの光増幅素子５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆが配置されている。そして、各光増幅素子の端部はそれぞれサンプル保持部８に面している。
図４において、サンプルリザーバ４０ａに配置された第１のサンプルと、サンプルリザーバ４０ｂに配置された第２のサンプルとは、サンプル保持部８を移動することにより混合されるようになっている。そして、混合される前の第１と第２のサンプルは、光増幅素子５ａ、５ｂを用いてそれぞれ検査され、混合直後のサンプルは、光増幅素子５ｃを用いて検査される。さらに、混合による第１と第２のサンプルの反応物について、光増幅素子５ｄを用いて検査される。
本発明により、複数のサンプルを混合した場合の変化を、適切な波長の光を用いて検出することが可能となる。
さらに、本発明において、光増幅素子５ｅ，５ｆを用いて光を照射することにより、サンプルの反応を制御することも可能となる。
図５は、本発明の検査チップの他の例を示す図である。図５において、本発明の検査チップ１は、複数の光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃおよびサンプル保持部８を備えている。サンプル保持部８は円形形状をしており、このサンプル保持部８の周囲部に、放射状に光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃ．．．がそれぞれ配置され、各光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃの端部がサンプル保持部に面している。本例では、８個の光増幅素子が配置されているが、これは一例であって、これより少なくても良いし逆に多くてもよい。本例では平面上に光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃ．．．がそれぞれ配置されているが、３次元的に配置されていても良い。すなわちサンプル保持部８の下や、保持部８のふたをする形でその上方５に光増幅素子を１つ以上配置することも可能である。
本発明において、レーザーを照射する光増幅素子を５ａ，５ｂ、５ｃの順に、切り替えていくことにより、１つのサンプルについて、複数の波長の光による検査を行うことが可能となる。また、レーザーを照射する光増幅素子を短時間に切り替えることにより、非常に早い時間変化に対応した検査を行うことが可能となる。具体的には、例えば各光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃの発振波長が僅かに異なるように設定する。そして、最初に光増幅素子５ａにレーザーを照射し、次に１ｎｓ後に次の光増幅素子５ｂに光を照射する。更に、１ｎｓ経過後（合計２ｎｓ）に次の光増幅素子５ｃにレーザーを照射する。このような条件の下でサンプルから散乱する散乱粒子の数を波長別で計測することで、光検出器などのエネルギー検出部の時間分解能を超えてサンプルの検査をすることが可能となる。また、別の例として、異なる発振波長を持つ各光増幅素子５ａ，５ｂ，５ｃに照射するレーザーを短時間に切り替え、波長分解能を持たない一つの光検出器で得られる信号を時間的に分離して信号処理することで、波長を分解する機能のない光検出器であっても、信号を波長分解して検査することが可能となる。
図６は、本発明の検査チップの他の例を示す図である。図６において、本発明の検査チップ１は、ディスク状の形態であり、回転中心４１の近傍にサンプルリザーバ４０と、サンプルリザーバ４０に接続されたサンプル保持部８、サンプル保持部８の他端のディスクの円周部近傍に位置するサンプル受け部４５を、各々複数備えている。即ち、各サンプル保持部８は、回転中心４１から放射状に延びる細長い流路状となっている。また、サンプル受け部４５の近傍のサンプル保持部８には、それぞれ光増幅素子５が配置されている。各光増幅素子５の端部はサンプル保持部８に面している。光増幅素子は各サンプル保持部８に対して1つだけでなく、複数個をそれぞれ配置するようにしてもよい。
図６において、サンプルリザーバ４０に配置されたサンプルは、ディスクを回転させることにより、遠心力によりサンプル保持部８を半径方向外側に向かって移動し、サンプル受け部４５に到達する。そして、光増幅素子５を用いてサンプルを検査することが可能となる。
本発明により、例えば分子量等のサンプルの情報を容易に得ることが可能となる。また、各サンプル保持部８において、サンプル中のそれぞれ異なる因子を別々に検査することができる。
図７は、本発明の検査チップの他の例を示す図である。図７において、本発明の検査チップ１は、光増幅素子５および光増幅素子５の側方近傍にサンプル保持部８を備えている。そして、光増幅素子５の端部はサンプル保持部８に面している。
図７において、光増幅素子５にレーザーが照射されると、矢印で示す方向に出力光５５が導波され、放出される。このとき、光増幅素子５の側面において、近接場光５０がしみ出すこととなる。この近接場光５０は、通常は、光増幅素子５から放出される光の波長の１／１０〜１／２程度の距離を有する領域にしみ出すことが知られている。そして、サンプル保持部８はレーザーの表面に面して保持されており、保持部８のレーザー表面近傍にあるサンプルに近接場光５０を照射することにより、サンプルの検査を行うことが可能となる。
本発明によれば、近接場光を用いて微小領域における検査を行うことが可能となる。また、近接場光の変化を利用してサンプルの屈折率変化や吸収率変化を利用した検査をおこなうことも可能となる。これは後述するＳＰＲセンサーと同様に屈折率変化を直接的に測定することが可能な応用である。
本発明に用いられるサンプルとしては、光を利用して検査できるものであれば特に制限はないが、例えば、ＤＮＡ、タンパク質、ペプチド、糖類、酵素反応代謝産物、反応複合体、脂質、低分子化合物、核酸からなる生化学サンプル群などの生化学サンプルを挙げることができる。そして、本発明を用いることにより、ＤＮＡ等の微小試料においても、精度よく検査を行うことが可能となる。
以上、検査チップについて説明したが、レーザー導波路を有する光増幅素子を用いることで、表面プラズモン共鳴（ＳＰＲ）センサ７１を製作することもできる。即ち、図１０に示すように、レーザー導波路７２上に金属薄膜７３を形成する。そして、光増幅素子に励起光Ｐを入射させる。これにより、レーザー導波路７２でレーザー光が発生するが、図中の矢印の方向に進みながら減衰し、金属薄膜７３の表面にプラズモン波が発生する。ここで、金属薄膜７３の表面にサンプルを保持する構造を設け、この領域での屈折率の変化をプラズモン共鳴で観測する。そして、波長を僅かづつ変化させる方法を用いて、ＳＰＲ条件を満たす場合にそのレーザーの出力が大きく減衰する現象を利用する。このようなＳＰＲセンサ７１は、外部に複雑で大型の光学系を用いる従来のＳＰＲ測定系とは異なり、小さなチップ上に実装することができる。
１ 検査チップ
５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ 光増幅素子
８ サンプル保持部
１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ エネルギー検出部
１５ レーザー光源
１８ 光ファイバー
２０ 検査装置
２５ レーザー
３０ 走査ミラー
３５ 放出したエネルギー
４０ サンプルリザーバ
４５ サンプル受け部
５０ 近接場光
５５ 出力光
６０ エネルギー
５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ 光増幅素子
８ サンプル保持部
１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ エネルギー検出部
１５ レーザー光源
１８ 光ファイバー
２０ 検査装置
２５ レーザー
３０ 走査ミラー
３５ 放出したエネルギー
４０ サンプルリザーバ
４５ サンプル受け部
５０ 近接場光
５５ 出力光
６０ エネルギー
Claims (23)
- 光増幅素子と、サンプルを保持するサンプル保持部と、を備えた検査チップであって、
前記光増幅素子は前記サンプル保持部に面して配置されており、前記光増幅素子から放出される光は、前記サンプル保持部に保持されたサンプルに照射されることを特徴とする検査チップ。 - 前記光が照射されることにより、前記サンプルからエネルギーが放出される、またはサンプルに於いて化学的あるいは物理的構造変化が生じることを特徴とする請求項１に記載の検査チップ。
- 基板と、この基板上に形成される光増幅素子と、前記基板上の光増幅素子の近傍においてサンプルを保持するサンプル保持部とを備えた検査チップであって、
前記光増幅素子は、前記基板上に配置されて外部からの励起光を伝播させる励起光導波路と、この励起光導波路上に配置されて前記励起光により所定のレーザー光を放出するレーザー導波路とを備えていることを特徴とする検査チップ。あるいは、前記基板上に配置されて外部からの励起光により所定のレーザー光を放出するレーザー導波路を備えていることを特徴とする検査チップ。 - 基板と、この基板上に形成される光増幅素子と、前記基板上の光増幅素子の近傍においてサンプルを保持するサンプル保持部とを備えた検査チップであって、
前記光増幅素子は、前記基板上に配置されて外部からの励起光により所定のレーザー光を放出するレーザー導波路を備えていることを特徴とする検査チップ。 - 前記光増幅素子は、前記サンプル保持部に面して配置されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の検査チップ。
- 前記レーザー光は、前記サンプル保持部に保持されたサンプルに照射されることを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載の検査チップ。
- 前記レーザー光が前記サンプルに照射されることにより、前記サンプルからエネルギーが放出され、またはサンプルに於いて化学的あるいは物理的構造変化が生じることを特徴とする請求項６に記載の検査チップ。
- 前記サンプルから放出されるエネルギーが、光、熱、および音からなる群より選択される少なくとも１種であることを特徴とする、請求項２又は７に記載の検査チップ。
- 前記サンプルから放出されるエネルギーが、前記照射された光の透過光または反射光であることを特徴とする、請求項２または７に記載の検査チップ。
- 前記サンプルにおける化学的・物理的変化が、電気抵抗値、屈折率、光透過率、光感受率、キャリア移動度、屈折率波長依存性、光透過率波長依存性からなる群より選択される、少なくとも１種を用いて検査することを特長とする、請求項２または７に記載の検査チップ。
- 複数の光増幅素子を備えたことを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の検査チップ。
- 前記複数の光増幅素子のうち、少なくとも１つの光増幅素子が他の光増幅素子と異なる波長の光を放出することを特徴とする、請求項１１に記載の検査チップ。
- 前記光増幅素子は、１つのサンプル保持部に対して複数個配置されていることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の検査チップ。
- 前記サンプル保持部は細長い流路状に形成されており、前記光増幅素子が流路に沿って配置されていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載の検査チップ。
- 前記基板が回転中心を有し、前記サンプル保持部は前記回転中心から半径方向に沿って延びていることを特徴とする請求項１４に記載の検査チップ。
- 前記サンプル保持部はＹ字状に分岐した流路状に形成されており、前記複数の光増幅素子が各枝状流路に配置されていることを特徴とする請求項１１〜１４のいずれか一項に記載の検査チップ。
- 前記サンプル保持部は円形状に形成されており、前記複数の光増幅素子が前記サンプル保持部の周囲に配置されていることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の検査チップ。
- 前記基板上には複数のサンプル保持部が形成されていることを特徴とする請求項１〜１７のいずれか一項に記載の検査チップ。
- 前記サンプルが、血液、体液、生物、生体、細胞、酵素、薬品、タンパク質、ペプチド、糖類、酵素反応代謝産物、反応複合体、脂質、低分子化合物、核酸からなる生化学サンプル群より選択される少なくとも１種であることを特徴とする、請求項１〜１８のいずれか一項に記載の検査チップ。
- 前記放出されたエネルギーを検出するエネルギー検出部を、さらに備えたことを特徴とする、請求項１〜１９のいずれか一項に記載の検査チップ。
- 請求項１〜２０のいずれに記載の検査チップと、前記検査チップの光増幅素子にレーザーを照射するレーザー照射部と、前記検査チップから放出されたエネルギーを検出するエネルギー検出部と、を備えることを特徴とする、検査装置。
- 請求項２０に記載の検査チップと、前記検査チップの光増幅素子にレーザーを照射するレーザー照射部と、を備えることを特徴とする、検査装置。
- 請求項１０〜２０の何いずれか一項に記載の検査チップと、前記検査チップの光増幅素子にレーザーを照射するレーザー照射部と、前記検査チップから放出されるエネルギーを検出するエネルギー検出部と、を備える検査装置であって、１つのレーザー照射部から放出されたレーザーが、複数の光増幅素子に照射されることを特徴とする、検査装置。
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