JP2011230985A - Manufacturing method for glass preform - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光ファイバ用のガラス母材を製造する方法に関するものである。 The present invention relates to a method for producing a glass preform for an optical fiber.
光ファイバは、略円柱形状であるガラス母材の一端を加熱し軟化させて線引することで製造される。また、光ファイバ用のガラス母材は、OVD法やMCVD法等の製造方法により製造される。特許文献1には、OVD法によるガラス母材製造方法が開示されている。
An optical fiber is manufactured by heating and softening one end of a glass base material having a substantially cylindrical shape and drawing. Moreover, the glass base material for optical fibers is manufactured by manufacturing methods, such as OVD method and MCVD method.
特許文献1に開示されたガラス母材製造方法は、水分含有量が低い光ファイバ用のガラス母材を製造することを意図するものであって、出発棒が種棒パイプに挿入されてなる出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製し、このガラス微粒子堆積体から出発棒を引き抜いて、軸方向に延在し貫通する中心孔を有するガラス微粒子堆積体とする。そして、このガラス微粒子堆積体を加熱して乾燥・固結させ、中心孔を閉塞して透明なガラス母材を製造する。
The glass base material manufacturing method disclosed in
特許文献1に開示されたガラス母材製造方法では、出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製する堆積工程の際に、出発棒の軸方向に沿って出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させ、出発棒の先端部から種棒パイプの一部に亘って出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製する。このような堆積工程によりガラス微粒子堆積体を作製する場合、ガラス微粒子堆積体が割れて、ガラス母材製造の歩留りが悪化することがある。
In the glass base material manufacturing method disclosed in
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、高い歩留りでガラス母材を製造することができる方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method capable of producing a glass base material with a high yield.
本発明に係るガラス母材製造方法は、(1) 出発棒の先端部が種棒パイプの一端から突出するように出発棒を種棒パイプに挿入し固定して出発ロッドを作製する固定工程と、(2)固定工程の後に、出発棒の軸方向に沿って出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させ、出発棒の先端部から種棒パイプの一部に亘って出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製する堆積工程と、(3) 堆積工程の後に出発棒を種棒パイプおよびガラス微粒子堆積体から引き抜く引抜工程と、(4)引抜工程の後にガラス微粒子堆積体を加熱して透明ガラス管材を作製する透明化工程と、(5) 透明化工程の後に透明ガラス管材の内部を減圧するとともに透明ガラス管材を加熱して中実のガラス母材を作製する中実化工程と、を備える。 The glass base material manufacturing method according to the present invention includes: (1) a fixing step of making a starting rod by inserting and fixing the starting rod into the seed rod pipe such that the tip of the starting rod protrudes from one end of the seed rod pipe; (2) After the fixing step, the starting rod and the glass fine particle synthesizing burner are relatively reciprocated along the axial direction of the starting rod to start from the tip of the starting rod to a part of the seed rod pipe. A deposition step of depositing glass particulates on the outer periphery of the rod to produce a glass particulate deposit; (3) a withdrawal step of pulling the starting rod from the seed rod pipe and the glass particulate deposit after the deposition step; and (4) a withdrawal step. And a transparent step of heating the glass particulate deposit to produce a transparent glass tube, and (5) reducing the pressure inside the transparent glass tube and heating the transparent glass tube after the transparent step A solidification process for producing the material, Obtain.
そして、本発明に係るガラス母材製造方法は、堆積工程において、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までは、出発棒の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を0.1g/cc以上0.3g/cc以下とし、かつ種棒パイプの周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を0.4g/cc以上とすることを特徴とする。 In the glass base material manufacturing method according to the present invention, in the deposition step, the average density of the glass particles deposited around the starting bar is 0.1 g / cc or more from the start of the deposition of the glass particles to the 10th layer. The average density of the fine glass particles deposited around the seed rod pipe is 0.4 g / cc or more.
また、本発明に係るガラス母材製造方法は、堆積工程において、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までは、出発棒と種棒パイプとの境界位置に対し長手方向の±50mm以内の範囲で堆積されるガラス微粒子の平均密度の長手変化量を0.01g/cc/mm以下とすることが好ましい。 Further, in the glass base material manufacturing method according to the present invention, in the deposition step, from the start of deposition of the glass fine particles to the 10th layer, within the range of ± 50 mm in the longitudinal direction with respect to the boundary position between the starting rod and the seed rod pipe. It is preferable that the amount of longitudinal change in the average density of the fine glass particles to be deposited is 0.01 g / cc / mm or less.
本発明に係るガラス母材製造方法は、高い歩留りでガラス母材を製造することができる。 The glass base material manufacturing method according to the present invention can manufacture a glass base material with a high yield.
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
図1は、本実施形態に係るガラス母材製造方法のフローチャートである。この図に示されるように、本実施形態に係るガラス母材製造方法は、固定工程S1,堆積工程S2,引抜工程S3,透明化工程S4および中実化工程S5を順に経て、ガラス母材を製造する。なお、このガラス母材製造方法により製造されるガラス母材は、例えば、線引により光ファイバを製造するための光ファイバ母材であり、或いは、その光ファイバ母材のうちでもコア部となるべきコア母材である。 FIG. 1 is a flowchart of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. As shown in this figure, the glass base material manufacturing method according to the present embodiment passes through a fixing step S1, a deposition step S2, a drawing step S3, a clarification step S4 and a solidification step S5 in order, To manufacture. In addition, the glass base material manufactured by this glass base material manufacturing method is an optical fiber base material for manufacturing an optical fiber by drawing, for example, or becomes a core part among the optical fiber base materials. It should be a core base material.
図2は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の固定工程S1を説明する図である。図3は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の堆積工程S2を説明する図である。図4は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の引抜工程S3を説明する図である。図5は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の透明化工程S4を説明する図である。また、図6は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の中実化工程S5を説明する図である。 FIG. 2 is a view for explaining the fixing step S1 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. FIG. 3 is a view for explaining the deposition step S2 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. FIG. 4 is a view for explaining the drawing step S3 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. FIG. 5 is a diagram for explaining the transparency step S4 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. Moreover, FIG. 6 is a figure explaining solidification process S5 of the glass base material manufacturing method which concerns on this embodiment.
固定工程S1(図2)では、出発棒11の先端部11aが種棒パイプ12の一端12aから突出するように、出発棒11が種棒パイプ12に挿入され固定されて、これにより出発ロッド10が作製される(同図(a),(b)参照)。出発棒11は、例えば、アルミナ、ガラス、耐火性セラミクス、カーボンなどの材料からなる。種棒パイプ12は石英ガラスからなる。
In the fixing step S1 (FIG. 2), the
この出発ロッド10において種棒パイプ12の一端12aから突出している出発棒11の部分の外周は、都市ガスバーナやアセチレンバーナなどを用いたバーナ20からの火炎によりカーボン皮膜11bが形成されるのが好適である(同図(c))。カーボン皮膜形成中も、出発ロッド10は出発棒11の中心軸を中心として回転し、バーナ20は、出発棒11の軸方向に沿って出発ロッド10に対して相対的に往復運動を繰り返す。
In the
固定工程S1の後の堆積工程S2(図3)では、出発棒11が種棒パイプ12に挿入され固定されてなる出発ロッド10は、出発棒11の中心軸を中心として回転される。また、出発ロッド10の側方に配置されて酸水素火炎を形成するガラス微粒子合成用バーナ21は、出発棒11の軸方向に沿って出発ロッド10に対して相対的に往復運動を繰り返す。そして、OVD法により、出発棒11の先端部11aから種棒パイプ12の一部に亘って出発ロッド10の外周にガラス微粒子が堆積されて、これによりガラス微粒子堆積体13が作製される。
In the deposition step S2 (FIG. 3) after the fixing step S1, the
堆積工程S2では、ガラス微粒子合成用バーナ21における供給原料流量をトラバース毎に調整する。これにより、出発棒11の外周に堆積されるガラス微粒子は、径方向に所定の組成分布(すなわち、後のガラス母材または光ファイバにおける径方向の屈折率分布)を有することになる。
In the deposition step S2, the feed material flow rate in the glass fine
堆積工程S2において、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までは、出発棒11の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を0.1g/cc以上0.3g/cc以下とし、かつ種棒パイプ12の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を0.4g/cc以上とする。また、堆積工程S2において、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までは、出発棒11と種棒パイプ12との境界位置に対し長手方向の±50mm以内の範囲で堆積されるガラス微粒子の平均密度の長手変化量を0.01g/cc/mm以下とすることが好ましい。なお、トラバース速度にもよるが、1層あたり0.03〜0.6mm程度の厚さであるので、10層は0.3〜6mm程度の厚さに相当する。通常では全体で100〜2000層程度ガラス微粒子の堆積が行われる。
In the deposition step S2, from the start of deposition of the glass particulates to the 10th layer, the average density of the glass particulates deposited around the
堆積工程S2の後の引抜工程S3(図4)では、種棒パイプ12およびガラス微粒子堆積体13から出発棒11が引き抜かれる。このとき、種棒パイプ12とガラス微粒子堆積体13とは互いに固定されたままである。なお、固定工程S1後において種棒パイプ12の一端12aから突出している出発棒11の部分の外周にカーボン皮膜を形成するため、この引抜工程S3で出発棒11が引き抜かれる際にガラス微粒子堆積体13の中心孔の内壁面にキズが付くことが防止される。
In the extraction step S3 (FIG. 4) after the deposition step S2, the
引抜工程S3の後の透明化工程S4(図5)では、ガラス微粒子堆積体13は、一体となっている種棒パイプ12とともに、HeガスやCl2ガスが導入された加熱炉22の内部に入れられ、ヒータ23により加熱される。これにより、透明ガラス管材14が作製される。
In the clearing step S4 (FIG. 5) after the drawing step S3, the glass
透明化工程S4の後の中実化工程S5(図6)では、透明ガラス管材14は、加熱炉に設置されて回転され、中心孔にSF6が導入されるとともにヒータ24により加熱されて、中心孔の内壁面が気相エッチングされる(同図(a))。次いで、透明ガラス管材14は、内部が減圧されるとともにヒータ24により加熱されて中実化され(同図(b))、これにより中実のガラス母材が作製される。
In the solidification step S5 (FIG. 6) after the transparentization step S4, the
このようにして製造された透明なガラス母材は、さらにその外側にクラッド層形成・透明化処理などされてプリフォーム化された後、先端を加熱・軟化されて線引きされることで、光ファイバが製造される。 The transparent glass preform manufactured in this way is further formed into a clad layer on the outside and subjected to a transparent treatment, and then preformed, and then the tip is heated and softened to draw an optical fiber. Is manufactured.
本実施形態では、堆積工程S2において、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までは、出発棒11の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度が0.1g/cc以上0.3g/cc以下とされ、かつ種棒パイプ12の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度が0.4g/cc以上とされる。これにより、ガラス微粒子堆積体の割れが防止され、また、透明ガラス管材の中心孔内の内表面が平滑化される。
In the present embodiment, in the deposition step S2, from the start of deposition of the glass fine particles to the 10th layer, the average density of the glass fine particles deposited around the starting
ガラス微粒子の堆積開始から10層目までにおける出発棒11の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を0.1〜0.3g/ccという低密度に管理することにより、引抜工程S3で出発棒11が引き抜かれた後のガラス微粒子堆積体の中心孔の内表面が平滑化され、その結果、透明化工程S4後の透明ガラス管材の中心孔の内表面も平滑化される。なお、0.1g/cc未満になると、ガラス微粒子堆積体の強度を十分に保てなくなる。また、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までにおける石英ガラス製の種棒パイプ12の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を0.4g/cc以上に管理することにより、ガラス微粒子の全重量を支えることになる種棒パイプ12と周囲のガラス微粒子堆積体との密着力や強度が増し、下部に堆積したガラス微粒子を支持することができ、割れが防止される。
By controlling the average density of the glass fine particles deposited around the starting
一方、出発棒11と種棒パイプ12との境界付近でガラス微粒子の密度が急激に変化していると、境界付近の温度が低下したとき(すなわち、火炎から離れた際)に、ガラス微粒子の膨張量に差が出ることから、この境界付近でガラス微粒子の剥離(割れ)が発生し易い。そこで、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までにおいて、出発棒11と種棒パイプ12との境界付近のガラス微粒子をなだらかな密度分布(0.01g/cc/mm以下)に管理することにより、上述のようなガラス微粒子堆積中の剥離(割れ)を防止することができる。
On the other hand, if the density of the glass particulates changes rapidly in the vicinity of the boundary between the starting
次に、本実施形態に係るガラス母材製造方法の実施例について説明する。本実施例では、グレーデッドインデックス型の光ファイバを線引により製造するためのガラス母材が製造される。 Next, examples of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment will be described. In the present embodiment, a glass base material for manufacturing a graded index optical fiber by drawing is manufactured.
堆積工程S2においてOVD装置が用いられてガラス微粒子の堆積が行われる。出発棒11として、外径9〜10mmで長さ1200mmのアルミナ製のものが使用される。種棒パイプ12として、長さ600mm、外径20〜40mm、内径9.8〜21mmの石英ガラス製のものが使用される。
In the deposition step S2, an OVD apparatus is used to deposit glass particles. The starting
堆積工程S2において酸水素火炎を形成するガラス微粒子合成用バーナ21に投入されるガラス原料ガスは、SiCl4(投入量1〜3SLM/本)およびGeCl4(投入量0.0〜0.3SLM)である。ガラス微粒子合成用バーナ21に対する出発ロッド10の相対移動速度は3〜1500mm/分とされる。なお、堆積するガラス微粒子の密度を上げる場合は、水素ガス流量を上げる、原料ガス流量を下げる、ガラス微粒子合成用バーナ21と出発ロッド10の相対移動速度を下げる、等で調整が可能である。密度を下げる場合は上記の逆の調整を行えばよい。
The glass raw material gases introduced into the glass fine
このような堆積工程S2の後、引抜工程S3および透明化工程S4を経て中実化工程S5が行われる。中実化工程S5では、透明ガラス管材14は、加熱炉に設置されて30rpmで回転され、速度5〜20mm/分で透明ガラス管材14の長手方向に移動する加熱炉により温度1900〜2200℃に加熱される。なお、中実化工程S5における加熱手段は、カーボンヒータや電磁誘導コイル式発熱体などを熱源とする加熱炉の替わりに、酸水素バーナ旋盤を用いても良い。このとき、透明ガラス管材14の中心孔の内部に50〜100sccmのSF6ガスが流されて、透明ガラス管材14の中心孔の内壁面が気相エッチングされる。
After such a deposition step S2, a solidification step S5 is performed through a drawing step S3 and a transparency step S4. In the solidification step S5, the
次いで、透明ガラス管材14は、中心孔の内部が0.1〜10kPaに減圧され、エッチング時と同じ温度にて中実化されて、ガラス母材が製造される。
Next, the transparent
このようにして製造されるガラス母材は、所望の径に延伸されて、その外周にOVD法でジャケットガラスが合成されて、光ファイバ用ガラス母材が製造される。この光ファイバ用ガラス母材が線引きされて、グレーデッドインデックス型のマルチモードファイバが製造される。 The glass base material manufactured in this way is stretched to a desired diameter, and jacket glass is synthesized on the outer periphery thereof by the OVD method to manufacture a glass base material for an optical fiber. This glass preform for optical fiber is drawn to produce a graded index type multimode fiber.
図7は、実施例および比較例それぞれでのガラス微粒子の密度および良好製造率を纏めた図表である。ここでは、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までに出発棒11の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度をX(g/cc)、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までに種棒パイプ12の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度をY(g/cc)、および、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までに出発棒11と種棒パイプ12との境界位置に対し長手方向の±50mm以内の範囲で堆積されるガラス微粒子の平均密度の長手変化量をZ(g/cc/mm)とし、それぞれが各値とされて、ガラス微粒子堆積体若しくは透明ガラス管材において割れが生じない確率である良好製造率A(%)が比較評価される。
FIG. 7 is a table summarizing the density of fine glass particles and the good production rate in each of the examples and comparative examples. Here, X (g / cc) is the average density of the glass particles deposited around the starting
この図表に示されるとおり、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までに出発棒11の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度Xが0.1g/cc以上0.3g/cc以下であって、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までに種棒パイプ12の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度Yが0.4g/cc以上であれば、良好製造率Zは87%以上であり、高い歩留りでガラス母材が製造され得る。さらに、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までに出発棒11と種棒パイプ12との境界位置に対し長手方向の±50mm以内の範囲で堆積されるガラス微粒子の平均密度の長手変化量Zが0.01g/cc/mm以下であれば、良好製造率Zは97%以上であり、極めて高い歩留りでガラス母材が製造され得る。なお、図表中の「透明ガラス管材の割れ」は、出発棒11の周囲に堆積されるガラス微粒子の密度Xが高すぎて、出発棒を引き抜いた際にガラス微粒子堆積体の孔内面に傷が入り、ガラス微粒子の堆積時には割れなかったものの、透明化後に割れたことを意味する。
As shown in this chart, the average density X of the glass particles deposited around the starting
10…出発ロッド、11…出発棒、12…種棒パイプ、13…ガラス微粒子堆積体、14…透明ガラス管材、20…バーナ、21…ガラス微粒子合成用バーナ、22…加熱炉、23,24…ヒータ。
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記固定工程の後に、前記出発棒の軸方向に沿って前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させ、前記出発棒の先端部から前記種棒パイプの一部に亘って前記出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製する堆積工程と、
前記堆積工程の後に前記出発棒を前記種棒パイプおよび前記ガラス微粒子堆積体から引き抜く引抜工程と、
前記引抜工程の後に前記ガラス微粒子堆積体を加熱して透明ガラス管材を作製する透明化工程と、
前記透明化工程の後に前記透明ガラス管材の内部を減圧するとともに前記透明ガラス管材を加熱して中実のガラス母材を作製する中実化工程と、
を備え、
前記堆積工程において、ガラス微粒子の堆積開始から10層目までは、前記出発棒の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を0.1g/cc以上0.3g/cc以下とし、かつ前記種棒パイプの周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を0.4g/cc以上とする、
ことを特徴とするガラス母材製造方法。 A fixing step of making the starting rod by inserting and fixing the starting rod into the seed rod pipe such that the tip of the starting rod protrudes from one end of the seed rod pipe;
After the fixing step, the starting rod and the glass fine particle synthesizing burner are reciprocated relatively along the axial direction of the starting rod, and extend from the tip of the starting rod to a part of the seed rod pipe. A deposition step of depositing glass particulates on the outer periphery of the starting rod to produce a glass particulate deposit;
A drawing step of drawing the starting rod from the seed rod pipe and the glass particulate deposit after the deposition step;
A transparentization step of heating the glass particulate deposit after the drawing step to produce a transparent glass tube,
A solidification step of reducing the inside of the transparent glass tube material after the transparentizing step and heating the transparent glass tube material to produce a solid glass base material,
With
In the deposition step, from the start of deposition of the glass fine particles to the tenth layer, the average density of the glass fine particles deposited around the starting rod is 0.1 g / cc or more and 0.3 g / cc or less, and the seed rod The average density of glass particles deposited around the pipe is 0.4 g / cc or more,
The glass base material manufacturing method characterized by the above-mentioned.
In the deposition step, from the beginning of the deposition of the glass fine particles to the tenth layer, the average length of the glass fine particles deposited within a range of ± 50 mm in the longitudinal direction with respect to the boundary position between the starting rod and the seed rod pipe. The glass base material manufacturing method according to claim 1, wherein the amount of change is 0.01 g / cc / mm or less.
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