JP5843084B2 - Glass base material manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、光ファイバ用のガラス母材を製造する方法に関するものである。 The present invention relates to a method for producing a glass preform for an optical fiber.
光ファイバは、略円柱形状であるガラス母材の一端を加熱し軟化させて線引することで製造される。また、光ファイバ用のガラス母材は、OVD法やMCVD法等の製造方法により製造される。特許文献1には、OVD法によるガラス母材製造方法が開示されている。
An optical fiber is manufactured by heating and softening one end of a glass base material having a substantially cylindrical shape and drawing. Moreover, the glass base material for optical fibers is manufactured by manufacturing methods, such as OVD method and MCVD method.
特許文献1に開示されたガラス母材製造方法は、水分含有量が低い光ファイバ用のガラス母材を製造することを意図するものであって、出発棒が種棒パイプに挿入されてなる出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製し、このガラス微粒子堆積体から出発棒を引き抜いて、軸方向に延在し貫通する中心孔を有するガラス微粒子堆積体とする。そして、このガラス微粒子堆積体を加熱して乾燥・固結させ、中心孔を閉塞して透明なガラス母材を製造する。
The glass base material manufacturing method disclosed in
特許文献1に開示されたガラス母材製造方法では、出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製する堆積工程の際に、出発棒の軸方向に沿って出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させ、出発棒の先端部から種棒パイプの一部に亘って出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製する。このような堆積工程によりガラス微粒子堆積体を作製する場合、ガラス微粒子堆積体が割れて、ガラス母材製造の歩留りが悪化することがある。
In the glass base material manufacturing method disclosed in
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、高い歩留りでガラス母材を製造することができる方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method capable of producing a glass base material with a high yield.
本発明に係るガラス母材製造方法は、(1)出発棒の先端部が種棒パイプの一端から突出するように出発棒を種棒パイプに挿入し固定して出発ロッドを作製する固定工程と、(2)固定工程の後に、出発棒の軸方向に沿って出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させ、出発棒の先端部から種棒パイプの一部に亘って出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製する堆積工程と、(3)堆積工程の後に出発棒を種棒パイプおよびガラス微粒子堆積体から引き抜く引抜工程と、(4)引抜工程の後にガラス微粒子堆積体を加熱して透明ガラス管材を作製する透明化工程と、(5)透明化工程の後に透明ガラス管材の内部を減圧するとともに透明ガラス管材を加熱して中実のガラス母材を作成する中実化工程と、を備える。 The glass base material manufacturing method according to the present invention includes (1) a fixing step of producing a starting rod by inserting and fixing the starting rod into the seed rod pipe so that the tip of the starting rod protrudes from one end of the seed rod pipe; (2) After the fixing step, the starting rod and the glass fine particle synthesizing burner are relatively reciprocated along the axial direction of the starting rod to start from the tip of the starting rod to a part of the seed rod pipe. A deposition step for producing glass particulate deposits by depositing glass particulates on the outer periphery of the rod; (3) a withdrawal step for extracting the starting rod from the seed rod pipe and the glass particulate deposits after the deposition step; and (4) a withdrawal step. A transparent step of heating the glass particulate deposit to produce a transparent glass tube, and (5) reducing the pressure inside the transparent glass tube and heating the transparent glass tube after the transparent step. And a solidification process to create materials That.
そして、本発明に係るガラス母材製造方法は、堆積工程において、出発棒の軸方向に沿った種棒パイプの一端から出発棒の先端部の方向への距離が30mm以上の所定位置を境として、所定位置から出発棒の先端部に亘る第1範囲にガラス微粒子を堆積させる際の出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的移動速度より、所定位置から種棒パイプの一部に亘る第2範囲にガラス微粒子を堆積させる際の出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的移動速度を低速とし、出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的往復運動の際にトラバース毎に第2範囲での相対的移動速度を異ならせること、第2範囲での相対的移動速度が、種棒パイプの一端で最も低速であり、種棒パイプの一端の前後で漸増または漸減することを特徴とする。 And the glass base material manufacturing method which concerns on this invention is a deposition process. WHEREIN: The distance from the end of the seed rod pipe along the axial direction of the starting rod to the direction of the tip of the starting rod is a predetermined position of 30 mm or more as a boundary. The relative movement speed of the starting rod and the glass particle synthesizing burner when the glass particles are deposited in the first range from the predetermined position to the tip of the starting rod is determined from the predetermined position to a part of the seed rod pipe. The relative movement speed of the starting rod and the glass particle synthesizing burner when the glass particles are deposited in the two ranges is set to be low, and the second reciprocal movement between the starting rod and the glass particle synthesizing burner is performed for each traverse. The relative moving speed in the range is different, and the relative moving speed in the second range is the slowest at one end of the seed rod pipe and gradually increases or decreases before and after one end of the seed rod pipe. To.
本発明に係るガラス母材製造方法は、堆積工程において第2範囲での相対的移動速度の最低速度を1〜100mm/分とするのが好適である。堆積工程において、出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的往復運動のうち第1回のトラバースから第10回以下のトラバースまでの範囲で、第1範囲での相対的移動速度より第2範囲での相対的移動速度を低速とするのが好適である。堆積工程において出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的往復運動の際にトラバース毎に第2範囲を異ならせるのが好適である。 In the glass base material manufacturing method according to the present invention, it is preferable that the minimum speed of the relative movement speed in the second range in the deposition step is 1 to 100 mm / min. In the deposition step, in the range from the first traverse to the tenth or less traverse of the relative reciprocating motion of the starting rod and the glass particle synthesizing burner, the second range from the relative moving speed in the first range. It is preferable that the relative movement speed at is low. In the deposition process, it is preferable to vary the second range for each traverse when the starting rod and the glass particle synthesizing burner are relatively reciprocated.
本発明に係るガラス母材製造方法は、高い歩留りでガラス母材を製造することができる。 The glass base material manufacturing method according to the present invention can manufacture a glass base material with a high yield.
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
図1は、本実施形態に係るガラス母材製造方法のフローチャートである。この図に示されるように、本実施形態に係るガラス母材製造方法は、固定工程S1,堆積工程S2,引抜工程S3,透明化工程S4および中実化工程S5を順に経て、ガラス母材を製造する。
なお、このガラス母材製造方法により製造されるガラス母材は、例えば、線引により光ファイバを製造するための光ファイバ母材であり、或いは、その光ファイバ母材のうちでもコア部となるべきコア母材である。
FIG. 1 is a flowchart of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. As shown in this figure, the glass base material manufacturing method according to the present embodiment passes through a fixing step S1, a deposition step S2, a drawing step S3, a clarification step S4 and a solidification step S5 in order, To manufacture.
In addition, the glass base material manufactured by this glass base material manufacturing method is an optical fiber base material for manufacturing an optical fiber by drawing, for example, or becomes a core part among the optical fiber base materials. It should be a core base material.
図2は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の固定工程S1を説明する図である。図3は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の堆積工程S2を説明する図である。図4は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の引抜工程S3を説明する図である。図5は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の透明化工程S4を説明する図である。また、図6は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の中実化工程S5を説明する図である。 FIG. 2 is a view for explaining the fixing step S1 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. FIG. 3 is a view for explaining the deposition step S2 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. FIG. 4 is a view for explaining the drawing step S3 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. FIG. 5 is a diagram for explaining the transparency step S4 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment. Moreover, FIG. 6 is a figure explaining solidification process S5 of the glass base material manufacturing method which concerns on this embodiment.
固定工程S1(図2)では、出発棒11の先端部11aが種棒パイプ12の一端12aから突出するように、出発棒11が種棒パイプ12に挿入され固定されて、これにより出発ロッド10が作製される(同図(a),(b)参照)。出発棒11は、例えば、アルミナ、ガラス、耐火性セラミクス、カーボンなどの材料からなる。種棒パイプ12は石英ガラスからなる。この出発ロッド10において種棒パイプ12の一端12aから突出している出発棒11の部分の外周は、都市ガスバーナやアセチレンバーナなどを用いたバーナ20からの火炎によりカーボン皮膜11bが形成されるのが好適である(同図(c)。同図(c)におけるカーボン皮膜形成中も、出発ロッド10は出発棒11の中心軸を中心として回転し、バーナ20は、出発棒11の軸方向に沿って出発ロッド10に対して相対的に往復運動を繰り返す。
In the fixing step S1 (FIG. 2), the
固定工程S1の後の堆積工程S2(図3)では、出発棒11が種棒パイプ12に挿入され固定されてなる出発ロッド10は、出発棒11の中心軸を中心として回転される。また、出発ロッド10の側方に配置されて酸水素火炎を形成するガラス微粒子合成用バーナ21は、出発棒11の軸方向に沿って出発ロッド10に対して相対的に往復運動を繰り返す。そして、OVD法により、出発棒11の先端部11aから種棒パイプ12の一部に亘って出発ロッド10の外周にガラス微粒子が堆積されて、これによりガラス微粒子堆積体13が作製される。
In the deposition step S2 (FIG. 3) after the fixing step S1, the
堆積工程S2では、ガラス微粒子合成用バーナ21における供給原料流量をトラバース毎に異ならせる。これにより、出発棒11の外周に堆積されるガラス微粒子は、径方向に所定の組成分布(すなわち、後のガラス母材または光ファイバにおける径方向の屈折率分布)を有することになる。
In the deposition step S2, the feed material flow rate in the glass fine
堆積工程S2の後の引抜工程S3(図4)では、種棒パイプ12およびガラス微粒子堆積体13から出発棒11が引き抜かれる。このとき、種棒パイプ12とガラス微粒子堆積体13とは互いに固定されたままである。なお、固定工程S1において種棒パイプ12の一端12aから突出している出発棒11の部分の外周にカーボン皮膜を形成するため、この引抜工程S3で出発棒11が引き抜かれる際にガラス微粒子堆積体13の中心孔の内壁面にキズが付くことが防止される。
In the extraction step S3 (FIG. 4) after the deposition step S2, the
引抜工程S3の後の透明化工程S4(図5)では、ガラス微粒子堆積体13は、一体となっている種棒パイプ12とともに、HeガスやCl2ガスが導入された加熱炉22の内部に入れられ、ヒータ23により加熱される。これにより、透明ガラス管材14が作製される。
In the clearing step S4 (FIG. 5) after the drawing step S3, the glass
透明化工程S4の後の中実化工程S5(図6)では、透明ガラス管材14は、加熱炉に設置されて回転され、中心孔にSF6が導入されるとともにヒータ24により加熱されて、中心孔の内壁面が気相エッチングされる(同図(a))。次いで、透明ガラス管材14は、内部が減圧されるとともにヒータ24により加熱されて中実化され(同図(b))、これにより中実のガラス母材が作成される。
In the solidification step S5 (FIG. 6) after the transparentization step S4, the
このようにして製造された透明なガラス母材は、さらにその外側にクラッド層形成・透明化処理などされてプリフォーム化された後、先端を加熱・軟化されて線引きされることで、光ファイバが製造される。 The transparent glass preform manufactured in this way is further formed into a clad layer on the outside and subjected to a transparent treatment, and then preformed, and then the tip is heated and softened to draw an optical fiber. Is manufactured.
図7は、本実施形態に係るガラス母材製造方法の堆積工程S2を更に詳細に説明する図である。同図(a)は、出発棒11の軸を含む断面を示す。また、同図(b)は、出発棒11の軸方向に沿った方向の位置を横軸とし、各位置における出発ロッド10とガラス微粒子合成用バーナ21との相対的移動速度を縦軸として、当該移動速度の分布を示す図である。
FIG. 7 is a diagram for explaining the deposition step S2 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment in more detail. FIG. 2A shows a cross section including the axis of the starting
本実施形態に係るガラス母材製造方法の堆積工程S2においては、種棒パイプ12の一端12a(同図(b)中の位置P2)から出発棒11の先端部11a(同図(b)中の位置P0)の方向への距離が30mm以上の所定位置P1を境として、出発ロッド10とガラス微粒子合成用バーナ21との相対的移動速度が異なるものとされる。
In the deposition step S2 of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment, from the one
すなわち、堆積工程S2では、位置P1から出発棒11の先端部11a(位置P0)に亘る第1範囲にガラス微粒子を堆積させる際の移動速度より、位置P1から種棒パイプ12の一部に亘る位置P3までの第2範囲にガラス微粒子を堆積させる際の移動速度が低速とされる。例えば、第1範囲(P0〜P1)における移動速度は500〜1500mm/分とされ、第2範囲(P1〜P3)における移動速度の最低速度は1〜100mm/分とされる。
That is, in the deposition step S2, it extends from the position P1 to a part of the
仮に、第2範囲(P1〜P3)における移動速度を第1範囲(P0〜P1)における移動速度と同じであるとすると、ガラス微粒子堆積体13は、種棒パイプ12の一端12a(位置P2)を起点としてスス割れする場合があり、したがって、ガラス母材製造の歩留りは悪い。このスス割れは、種棒パイプ12の一端12a(位置P2)において段差が存在することに因ると考えられる。
Assuming that the moving speed in the second range (P1 to P3) is the same as the moving speed in the first range (P0 to P1), the
これに対して、本実施形態では、第2範囲(P1〜P3)での移動速度が第1範囲(P0〜P1)での移動速度より低速とされることにより、種棒パイプ12の一端12a(位置P2)における段差を埋めるようにガラス微粒子が堆積されるので、種棒パイプ12の一端12a(位置P2)を起点とするスス割れの発生が抑制され、これにより、高い歩留りでガラス母材が製造され得る。
On the other hand, in the present embodiment, the movement speed in the second range (P1 to P3) is lower than the movement speed in the first range (P0 to P1), so that the one
一般に、堆積工程における出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的往復運動では、トラバース回数は1000回程度である。堆積工程S2において第2範囲(P1〜P3)における移動速度が第1範囲(P0〜P1)における移動速度より低速とされるトラバースは、全てのトラバースでなくてもよい。第2範囲において低速とするトラバースの回数が多すぎると、低速とした箇所ではガラス微粒子が固く(密度が高く)なるので、高速トラバース箇所と低速トラバース箇所の境界付近においてガラス微粒子の密度差が生じ、スス割れの問題が発生するため、却って好ましくない。 In general, in the relative reciprocation of the starting rod and the glass particle synthesis burner in the deposition process, the number of traverses is about 1000 times. The traverse in which the moving speed in the second range (P1 to P3) is lower than the moving speed in the first range (P0 to P1) in the deposition step S2 may not be all traverses. If the number of traverses to be slowed down in the second range is too high, the glass particulates become hard (high density) at low speeds, resulting in a difference in the density of glass particulates near the boundary between the high speed traverse points and the low speed traverse points. Since the problem of soot cracking occurs, it is not preferable.
そこで、このような密度分布が大きくなることを抑制するために、堆積工程S2において、第1回のトラバースから第10回以下のトラバースまでの範囲で、第1範囲での相対的移動速度より第2範囲での相対的移動速度が低速とされるのが好適である。また、堆積工程S2において、トラバース毎に第2範囲を異ならせることも好適であり、トラバース毎に第2範囲での相対的移動速度を異ならせることも、密度分布を小さくする上で好適である。 Therefore, in order to suppress such an increase in the density distribution, in the deposition step S2, in the range from the first traverse to the 10th traverse or less, the first moving speed is higher than the relative moving speed in the first range. It is preferable that the relative movement speed in the two ranges is low. Further, in the deposition step S2, it is also preferable to make the second range different for each traverse, and making the relative movement speed in the second range different for each traverse is also preferable for reducing the density distribution. .
また、堆積工程S2において、第2範囲での相対的移動速度は、同図(b)に示されるように、種棒パイプ12の一端12a(位置P2)で最も低速であり、種棒パイプ11の一端12aの前後で漸増または漸減するのが好適である。
In the deposition step S2, the relative movement speed in the second range is the slowest at the one
次に、本実施形態に係るガラス母材製造方法の実施例について説明する。本実施例では、グレーデッドインデックス型の光ファイバのコアを線引により製造するためのガラス母材が製造される。 Next, examples of the glass base material manufacturing method according to the present embodiment will be described. In the present embodiment, a glass base material for manufacturing a core of a graded index type optical fiber by drawing is manufactured.
堆積工程S2においてOVD装置が用いられてガラス微粒子の堆積が行われる。出発棒11として、外径9〜10mmで長さ1200mmのアルミナ製のものが使用される。種棒パイプ12として、長さ600mm、外径20〜40mm、内径9.8〜21mmの石英ガラス製のものが使用される。
In the deposition step S2, an OVD apparatus is used to deposit glass particles. The starting
堆積工程S2において酸水素火炎を形成するガラス微粒子合成用バーナ21に投入されるガラス原料ガスは、SiCl4(投入量1〜3SLM/本)およびGeCl4(投入量0.0〜0.3SLM)である。
The glass raw material gases introduced into the glass fine
種棒パイプ12の一端12a(位置P2)に約0.5mmの段差が生じている。この位置P2を含む長さ80mm〜145mmの範囲を第2範囲として、この第2範囲(P1〜P3)での移動速度が第1範囲(P0〜P1)での移動速度より低速とされる。第1範囲(P0〜P1)での移動速度は500〜1500mm/分とされる。
A step of about 0.5 mm occurs at one
このような堆積工程S2の後、引抜工程S3および透明化工程S4を経て中実化工程S5が行われる。中実化工程S5では、透明ガラス管材14は、加熱炉に設置されて30rpmで回転され、速度20mm/分で透明ガラス管材14の長手方向に移動する加熱炉(ヒータ)により温度1900〜2200℃に加熱される。このとき、透明ガラス管材14の中心孔の内部に50〜100sccmのSF6ガスが流されて、透明ガラス管材14の中心孔の内壁面が気相エッチングされる。次いで、透明ガラス管材14は、中心孔の内部が10kPaに減圧され、エッチング時と同じ温度にて中実化されて、ガラス母材が製造される。
After such a deposition step S2, a solidification step S5 is performed through a drawing step S3 and a transparency step S4. In the solidification step S5, the
このようにして製造されるガラス母材は、所望の径に延伸されて、その外周にOVD法でジャケットガラスが合成されて、光ファイバ用ガラス母材が製造される。この光ファイバ用ガラス母材が線引きされて、グレーデッドインデックス型のマルチモードファイバが製造される。 The glass base material manufactured in this way is stretched to a desired diameter, and jacket glass is synthesized on the outer periphery thereof by the OVD method to manufacture a glass base material for an optical fiber. This glass preform for optical fiber is drawn to produce a graded index type multimode fiber.
実施例1〜6では、第1範囲より第2範囲で低速とするトラバースの回数N、第2範囲で最も低速となる位置P2での移動速度X(mm/分)、および、第2範囲の長さW(mm)、それぞれの条件が異なるものとされて、ガラス微粒子堆積体においてスス割れが生じない確率である良好製造率D(%)が比較評価される。なお、実施例1〜6の何れにおいても、位置P1と位置P2との間の距離は30mm以上とされる。図8は、実施例1〜6それぞれの諸条件および良好製造率D を纏めた図表である。実施例1〜6の何れにおいてもガラス微粒子堆積体の良好製造率Dは90%以上である。
In Examples 1 to 6, the number N of traverses that are lower in the second range than the first range, the moving speed X (mm / min) at the position P2 that is the lowest speed in the second range, and the second range The length W (mm) and the respective conditions are different, and a good production rate D (%), which is a probability that no soot cracks are generated in the glass fine particle deposit, is comparatively evaluated. In any of Examples 1 to 6, the distance between the position P1 and the position P2 is 30 mm or more. FIG. 8 is a chart summarizing the conditions and good
図8に示された実施例1〜6それぞれの諸条件および良好製造率Dを比較して判るように、第1範囲より第2範囲で低速とするトラバースの回数Nが多いと、良好製造率Dは小さくなる。これは、回数Nが多いと、低速とした箇所ではガラス微粒子が固く(密度が高く)なるからである。このことから、回数Nを10以下とすることが好適であり、トラバース毎に第2範囲を異ならせることも好適であり、また、トラバース毎に第2範囲での相対的移動速度を異ならせることも好適である。 As can be seen by comparing the various conditions and good production rate D of each of Examples 1 to 6 shown in FIG. 8, the good production rate is obtained when the number N of traverses to be slowed down in the second range is larger than the first range. D becomes smaller. This is because if the number N is large, the glass fine particles become hard (the density is high) at low speed locations. For this reason, it is preferable to set the number of times N to 10 or less, it is also preferable to vary the second range for each traverse, and the relative movement speed in the second range is varied for each traverse. Is also suitable.
なお、比較例では、第2範囲(P1〜P3)における移動速度は、第1範囲(P0〜P1)における移動速度と同じ500mm/分とされる。この比較例では、ガラス微粒子堆積体の良好製造率Dは80%であり、良好なガラス母材を安定して製造することができない。 In the comparative example, the moving speed in the second range (P1 to P3) is set to 500 mm / min, which is the same as the moving speed in the first range (P0 to P1). In this comparative example, the good production rate D of the glass fine particle deposit is 80%, and a good glass base material cannot be produced stably.
10…出発ロッド、11…出発棒、12…種棒パイプ、13…ガラス微粒子堆積体、14…透明ガラス管材、20…バーナ、21…ガラス微粒子合成用バーナ、22…加熱炉、23,24…ヒータ。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記固定工程の後に、前記出発棒の軸方向に沿って前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させ、前記出発棒の先端部から前記種棒パイプの一部に亘って前記出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製する堆積工程と、
前記堆積工程の後に前記出発棒を前記種棒パイプおよび前記ガラス微粒子堆積体から引き抜く引抜工程と、
前記引抜工程の後に前記ガラス微粒子堆積体を加熱して透明ガラス管材を作製する透明化工程と、
前記透明化工程の後に前記透明ガラス管材の内部を減圧するとともに前記透明ガラス管材を加熱して中実のガラス母材を作成する中実化工程と、
を備え、
前記堆積工程において、前記出発棒の軸方向に沿った前記種棒パイプの前記一端から前記出発棒の前記先端部の方向への距離が30mm以上の所定位置を境として、前記所定位置から前記出発棒の前記先端部に亘る第1範囲に前記ガラス微粒子を堆積させる際の前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的移動速度より、前記所定位置から前記種棒パイプの一部に亘る第2範囲に前記ガラス微粒子を堆積させる際の前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的移動速度を低速とし、前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的往復運動の際にトラバース毎に前記第2範囲での前記相対的移動速度を異ならせることを特徴とするガラス母材製造方法。 A fixing step of making the starting rod by inserting and fixing the starting rod into the seed rod pipe such that the tip of the starting rod protrudes from one end of the seed rod pipe;
After the fixing step, the starting rod and the glass fine particle synthesizing burner are reciprocated relatively along the axial direction of the starting rod, and extend from the tip of the starting rod to a part of the seed rod pipe. A deposition step of depositing glass particulates on the outer periphery of the starting rod to produce a glass particulate deposit;
A drawing step of drawing the starting rod from the seed rod pipe and the glass particulate deposit after the deposition step;
A transparentization step of heating the glass particulate deposit after the drawing step to produce a transparent glass tube,
A solidification step of creating a solid glass base material by depressurizing the inside of the transparent glass tube material and heating the transparent glass tube material after the transparentization step;
With
In the deposition step, the departure from the predetermined position at a predetermined position where a distance from the one end of the seed bar pipe along the axial direction of the starting bar to the tip of the starting bar is 30 mm or more. Based on the relative moving speed of the starting rod and the glass particle synthesis burner when the glass particles are deposited in the first range over the tip of the rod, the first rod extends from the predetermined position to a part of the seed rod pipe. The relative movement speed of the starting rod and the glass particle synthesizing burner when depositing the glass particles in two ranges is set to be low, and each traverse is performed during the reciprocating motion of the starting rod and the glass particle synthesizing burner. The glass base material manufacturing method is characterized in that the relative movement speed in the second range is varied.
前記固定工程の後に、前記出発棒の軸方向に沿って前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを相対的に往復運動させ、前記出発棒の先端部から前記種棒パイプの一部に亘って前記出発ロッドの外周にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を作製する堆積工程と、
前記堆積工程の後に前記出発棒を前記種棒パイプおよび前記ガラス微粒子堆積体から引き抜く引抜工程と、
前記引抜工程の後に前記ガラス微粒子堆積体を加熱して透明ガラス管材を作製する透明化工程と、
前記透明化工程の後に前記透明ガラス管材の内部を減圧するとともに前記透明ガラス管材を加熱して中実のガラス母材を作成する中実化工程と、
を備え、
前記堆積工程において、前記出発棒の軸方向に沿った前記種棒パイプの前記一端から前記出発棒の前記先端部の方向への距離が30mm以上の所定位置を境として、前記所定位置から前記出発棒の前記先端部に亘る第1範囲に前記ガラス微粒子を堆積させる際の前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的移動速度より、前記所定位置から前記種棒パイプの一部に亘る第2範囲に前記ガラス微粒子を堆積させる際の前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとの相対的移動速度を低速とし、前記第2範囲での前記相対的移動速度が、前記種棒パイプの前記一端で最も低速であり、前記種棒パイプの前記一端の前後で漸増または漸減することを特徴とするガラス母材製造方法。 A fixing step of making the starting rod by inserting and fixing the starting rod into the seed rod pipe such that the tip of the starting rod protrudes from one end of the seed rod pipe;
After the fixing step, the starting rod and the glass fine particle synthesizing burner are reciprocated relatively along the axial direction of the starting rod, and extend from the tip of the starting rod to a part of the seed rod pipe. A deposition step of depositing glass particulates on the outer periphery of the starting rod to produce a glass particulate deposit;
A drawing step of drawing the starting rod from the seed rod pipe and the glass particulate deposit after the deposition step;
A transparentization step of heating the glass particulate deposit after the drawing step to produce a transparent glass tube,
A solidification step of creating a solid glass base material by depressurizing the inside of the transparent glass tube material and heating the transparent glass tube material after the transparentization step;
With
In the deposition step, the departure from the predetermined position at a predetermined position where a distance from the one end of the seed bar pipe along the axial direction of the starting bar to the tip of the starting bar is 30 mm or more. Based on the relative moving speed of the starting rod and the glass particle synthesis burner when the glass particles are deposited in the first range over the tip of the rod, the first rod extends from the predetermined position to a part of the seed rod pipe. The relative movement speed of the starting rod and the glass particle synthesis burner when depositing the glass fine particles in two ranges is low, and the relative movement speed in the second range is the one end of the seed rod pipe. The glass base material manufacturing method is characterized in that it is the slowest and gradually increases or decreases before and after the one end of the seed rod pipe.
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