JP2011226899A - Airtightness inspection device - Google Patents

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Ryutaro Tsurumi
隆太郎 鶴見
Yusuke Ogawa
雄介 小河
Tomohiro Shirahata
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an airtightness inspection device which carries out a leakage inspection of a sealed container of a sealed compressor with high accuracy using a inspection gas that is availably low-cost, and in which a facility can be downsized.SOLUTION: An airtightness inspection device according to the present invention comprises: a plurality of chambers that are mounted on a transport device formed into a vertical cylinder, move on the transport device, and houses a sealed container therein; a space formed around the sealed container in the chamber; a hydrogen gas mixture filling section which fills the sealed container mounted on the transport device and housed in the chamber with hydrogen gas mixture of a first predetermined pressure; a hydrogen gas mixture accumulation section which is laid down over a predetermined length that the transport device moves along and accumulates hydrogen gas mixture in the space; and a hydrogen gas detection section which is provided on a predetermined position of the transport device, adds dried air to the sealed container so that the dried air becomes a second predetermined pressure equivalent to a predetermined airtightness test pressure and detects hydrogen gas leaking into the space.

Description

この発明は、例えば、冷凍装置、空調装置及び給湯装置等の冷凍サイクルに用いられる密閉型圧縮機の密閉容器等の機密性を検査する気密性検査装置に関する。   The present invention relates to an airtightness inspection apparatus that inspects confidentiality of a hermetic container of a hermetic compressor used in a refrigeration cycle such as a refrigeration apparatus, an air conditioner, and a hot water supply apparatus.

従来の中空容器の気密性検査方法では、例えば、検査ガスとしてヘリウムを使用し、検査するチャンバー内に中空容器を収納する。密閉された中空容器内にヘリウムガスを封入し、チャンバー内に漏れ出たヘリウムガスを検出することによって中空容器の気密性の良否を精度よく検査する中空容器の気密性検査方法が提案されている(例えば特許文献1参照)。   In a conventional method for inspecting airtightness of a hollow container, for example, helium is used as an inspection gas, and the hollow container is accommodated in a chamber to be inspected. A method for inspecting the airtightness of a hollow container has been proposed in which helium gas is sealed in a hermetically sealed hollow container and the quality of the airtightness of the hollow container is accurately inspected by detecting the helium gas leaking into the chamber. (For example, refer to Patent Document 1).

特開平4−89542号公報(第2頁左上欄、第1図)Japanese Patent Laid-Open No. 4-89542 (2nd page, upper left column, FIG. 1)

しかし、ヘリウムガスによる漏れ検査は精度よく検査できるが、ヘリウムガスは大気中に通常存在せず、また、合成して製造することも不可能である。一部の地域から産出されるだけのため、価格の高騰及び枯渇が懸念され、利用しにくいという課題があった。また、ヘリウムガスを収納する大きなタンクが必要になるなど、設備が大型化するという課題があった。   However, leak inspection using helium gas can be inspected with high accuracy, but helium gas is not usually present in the atmosphere, and cannot be synthesized and manufactured. There was a problem that it was difficult to use because there was concern about price increase and depletion because it was only produced from some areas. In addition, there is a problem that the equipment becomes large, for example, a large tank for storing helium gas is required.

この発明は、上記のような課題を解消するためになされたもので、密閉型圧縮機の密閉容器等の漏れ検査を、入手がしやすく安価な検査ガスを用いて精度よく行えるとともに、設備を小型化できる気密性検査装置を提供する。   The present invention was made to solve the above-described problems. Leakage inspection of a sealed container of a hermetic compressor can be performed with high accuracy by using an easily available and inexpensive inspection gas, and equipment. Provided is an airtightness inspection apparatus that can be miniaturized.

この発明に係る気密性検査装置は、環状に形成される搬送装置と、
搬送装置に載置されて搬送装置上を移動するとともに、内部に密閉容器を外部と連通することなく気密に収納する複数のチャンバーと、
チャンバー内で密閉容器の周囲に形成される隙間と、
搬送装置の所定の位置に設けられ、チャンバーに収納された密閉容器に、水素混合ガスを所定の第1の圧力で封入する水素混合ガス封入部と、
水素混合ガス封入部に続いて、搬送装置の所定の移動方向長さに亘って設けられ、隙間に水素混合ガスが堆積する水素混合ガス堆積部と、
水素混合ガス堆積部に続いて、搬送装置の所定の位置に設けられ、密閉容器に乾燥エアを、所定の気密試験圧力に相当する所定の第2の圧力になるように追圧するとともに、隙間に漏出する水素ガスを検出する水素ガス検出部と、を備えたものである。
An airtightness inspection apparatus according to the present invention includes a conveyance device formed in an annular shape,
A plurality of chambers that are placed on the transfer device and move on the transfer device, and housed in a hermetically sealed airtight container without communicating with the outside,
A gap formed around the sealed container in the chamber;
A hydrogen mixed gas enclosing unit that encloses the hydrogen mixed gas at a predetermined first pressure in a sealed container provided in a predetermined position of the transfer device and housed in the chamber;
A hydrogen mixed gas depositing unit that is provided over a predetermined length in the moving direction of the transfer device following the hydrogen mixed gas sealing unit, and in which the hydrogen mixed gas is deposited in the gap,
Following the hydrogen mixed gas deposition section, the dry air is provided in a predetermined position of the transfer device, and dry air is added to the sealed container so as to become a predetermined second pressure corresponding to a predetermined airtight test pressure, and in the gap. And a hydrogen gas detector for detecting leaked hydrogen gas.

この発明に係る気密性検査装置は、環状に形成される搬送装置と、
搬送装置に載置されて搬送装置上を移動するとともに、内部に密閉容器を外部と連通することなく気密に収納する複数のチャンバーと、
チャンバー内で密閉容器の周囲に形成される隙間と、
搬送装置の所定の位置に設けられ、チャンバーに収納された密閉容器に、水素混合ガスを所定の圧力で封入する水素混合ガス封入部と、
水素混合ガス封入部に続いて、搬送装置の所定の移動方向長さに亘って設けられ、隙間に水素混合ガスが堆積する水素混合ガス堆積部と、
水素混合ガス堆積部に続いて、搬送装置の所定の位置に設けられ、隙間に漏出する水素ガスを検出する水素ガス検出部と、を備えたものである。
An airtightness inspection apparatus according to the present invention includes a conveyance device formed in an annular shape,
A plurality of chambers that are placed on the transfer device and move on the transfer device, and housed in a hermetically sealed airtight container without communicating with the outside,
A gap formed around the sealed container in the chamber;
A hydrogen mixed gas enclosing unit that encloses the hydrogen mixed gas at a predetermined pressure in a sealed container that is provided at a predetermined position of the transfer device and is housed in the chamber;
A hydrogen mixed gas depositing unit that is provided over a predetermined length in the moving direction of the transfer device following the hydrogen mixed gas sealing unit, and in which the hydrogen mixed gas is deposited in the gap,
A hydrogen gas detector that is provided at a predetermined position of the transfer device and detects the hydrogen gas leaking into the gap, following the hydrogen mixed gas deposition unit.

この発明に係る気密性検査装置は、密閉型圧縮機の密閉容器等の漏れ検査を、入手がしやすく安価な検査ガス(水素混合ガス+乾燥エア)を用いて精度よく行えるとともに、設備を小型化できる。   The airtightness inspection apparatus according to the present invention can perform leak inspection of a hermetic container of a hermetic compressor, etc. with high accuracy by using an easily available and inexpensive inspection gas (hydrogen mixed gas + dry air), and can reduce the size of the equipment. Can be

実施の形態1を示す図で、気密性検査装置100の全体概略構成図。FIG. 2 shows the first embodiment, and is an overall schematic configuration diagram of an airtightness inspection apparatus 100. FIG. 実施の形態1を示す図で、気密性検査装置100で検査される密閉型圧縮機10の正面図。FIG. 3 shows the first embodiment, and is a front view of the hermetic compressor 10 to be inspected by the airtightness inspection apparatus 100. FIG. 実施の形態1を示す図で、密閉型圧縮機10の縦断面図。FIG. 3 shows the first embodiment, and is a longitudinal sectional view of the hermetic compressor 10. 図3のX部拡大図。The X section enlarged view of FIG. 実施の形態1を示す図で、密閉型圧縮機10を収納する前の蓋部22を開いた状態のチャンバー20の正面図。FIG. 3 is a diagram showing the first embodiment, and is a front view of the chamber 20 in a state where a lid 22 is opened before the hermetic compressor 10 is housed. 実施の形態1を示す図で、カプラ27a,28aが接続された密閉型圧縮機10を収納し蓋部22を開いた状態のチャンバー20の正面図。FIG. 5 shows the first embodiment and is a front view of the chamber 20 in a state where the hermetic compressor 10 to which the couplers 27a and 28a are connected is accommodated and the lid portion 22 is opened. 実施の形態1を示す図で、吸入側カプラ収納部25と吐出側カプラ収納部26を省略して示す蓋部22を略90度開いた状態のチャンバー20の平面図。FIG. 5 is a diagram showing the first embodiment, and is a plan view of the chamber 20 in a state in which the lid portion 22 is omitted by approximately 90 degrees and the suction side coupler housing portion 25 and the discharge side coupler housing portion 26 are omitted. 実施の形態1を示す図で、蓋部22を閉じた状態のチャンバー20の正面図。FIG. 5 shows the first embodiment, and is a front view of the chamber 20 in a state where a lid portion 22 is closed. 実施の形態1を示す図で、気密性検査装置100の水素ガス封入部40でチャンバー20に接続される減圧やガス封入の回路を説明する回路図。FIG. 5 shows the first embodiment, and is a circuit diagram for explaining a circuit for decompression and gas filling connected to the chamber 20 by the hydrogen gas filling unit 40 of the airtightness inspection apparatus 100. 実施の形態1を示す図で、気密性検査装置100のリークテスト部50でチャンバー20に接続される減圧やガス封入の回路を説明する回路図。FIG. 3 is a diagram illustrating the first embodiment and is a circuit diagram illustrating a circuit for decompression and gas filling connected to the chamber 20 by the leak test unit 50 of the airtightness inspection apparatus 100. 実施の形態1を示す図で、水素ガス検出器の原理を説明する概略回路図。FIG. 3 is a diagram illustrating the first embodiment and is a schematic circuit diagram illustrating the principle of a hydrogen gas detector. 実施の形態1を示す図で、気密性検査装置100の水素ガス検出模擬実験結果を示す図。FIG. 5 shows the first embodiment, and shows the result of a hydrogen gas detection simulation experiment performed by the airtightness inspection apparatus 100. FIG. 実施の形態1を示す図で、気密性検査装置100の検査方法を説明するフローチャート図。FIG. 5 shows the first embodiment and is a flowchart for explaining an inspection method of the airtightness inspection apparatus 100. FIG.

実施の形態1.
以下、図1乃至図13を参照しながら気密性検査装置100について説明する。ここでは、気密性検査装置100の対象として密閉型圧縮機10(密閉容器)を一例として説明する。但し、気密性検査装置100の対象は、密閉型圧縮機10に限定されるものではなく、各分野の密閉容器(中空容器)に及ぶ。
Embodiment 1 FIG.
Hereinafter, the airtightness inspection apparatus 100 will be described with reference to FIGS. 1 to 13. Here, the hermetic compressor 10 (sealed container) will be described as an example of the target of the airtightness inspection apparatus 100. However, the target of the airtightness inspection apparatus 100 is not limited to the hermetic compressor 10, but covers hermetic containers (hollow containers) in various fields.

図1乃至図13は実施の形態1を示す図で、図1は気密性検査装置100の全体概略構成図、図2は気密性検査装置100で検査される密閉型圧縮機10の正面図、図3は密閉型圧縮機10の縦断面図、図4は図3のX部拡大図、図5は密閉型圧縮機10を収納する前の蓋部22を開いた状態のチャンバー20の正面図、図6はカプラ27a,28aが接続された密閉型圧縮機10を収納し蓋部22を開いた状態のチャンバー20の正面図、図7は吸入側カプラ収納部25と吐出側カプラ収納部26を省略して示す蓋部22を略90度開いた状態のチャンバー20の平面図、図8は蓋部22を閉じた状態のチャンバー20の正面図、図9は気密性検査装置100の水素ガス封入部40でチャンバー20に接続される減圧やガス封入の回路を説明する回路図、図10は気密性検査装置100のリークテスト部50でチャンバー20に接続される減圧やガス封入の回路を説明する回路図、図11は水素ガス検出器の原理を説明する概略回路図、図12は気密性検査装置100の水素ガス検出模擬実験結果を示す図、図13は気密性検査装置100の検査方法を説明するフローチャート図である。   FIG. 1 to FIG. 13 are diagrams showing Embodiment 1, FIG. 1 is an overall schematic configuration diagram of an airtightness inspection apparatus 100, and FIG. 2 is a front view of a hermetic compressor 10 to be inspected by the airtightness inspection apparatus 100. 3 is a longitudinal sectional view of the hermetic compressor 10, FIG. 4 is an enlarged view of a portion X in FIG. 3, and FIG. 5 is a front view of the chamber 20 with the lid portion 22 before the hermetic compressor 10 is accommodated. 6 is a front view of the chamber 20 in a state where the hermetic compressor 10 to which the couplers 27a and 28a are connected is accommodated and the lid portion 22 is opened, and FIG. 7 is a suction side coupler accommodating portion 25 and a discharge side coupler accommodating portion 26. FIG. 8 is a front view of the chamber 20 with the lid portion 22 closed, and FIG. 9 is a hydrogen gas of the hermeticity testing apparatus 100. The circuit of decompression and gas sealing connected to the chamber 20 by the sealing part 40 is explained. FIG. 10 is a circuit diagram for explaining a circuit for decompression and gas filling connected to the chamber 20 in the leak test section 50 of the airtightness inspection apparatus 100, and FIG. 11 is a schematic circuit for explaining the principle of the hydrogen gas detector. FIG. 12, FIG. 12 is a diagram showing a hydrogen gas detection simulation experiment result of the airtightness inspection apparatus 100, and FIG. 13 is a flowchart for explaining an inspection method of the airtightness inspection apparatus 100.

図1に示す気密性検査装置100は、後述する密閉型圧縮機10等の密閉容器12の溶接部等の接合部から漏れがないかを検査して密閉容器12の気密性を検査するものである。検査対象の密閉型圧縮機10をそれぞれ収納した複数のチャンバー20(検査用チャンバー)がコンベア30(搬送装置)により循環し、所定の位置で後述する各工程を実施し、密閉型圧縮機10の漏れ検査を行う。尚、図1における矢印は、チャンバー20の移動する方向を示している。   The airtightness inspection apparatus 100 shown in FIG. 1 inspects the airtightness of the airtight container 12 by inspecting whether there is any leakage from a joint portion such as a welded portion of the airtight container 12 such as the airtight compressor 10 described later. is there. A plurality of chambers 20 (inspection chambers) each storing the hermetic compressor 10 to be inspected are circulated by a conveyor 30 (conveying device), and each process described later is performed at a predetermined position. Perform a leak test. 1 indicates the direction in which the chamber 20 moves.

チャンバー20を循環させるコンベア30は、以下に示す要素を備える。
(1)水平方向に移動する上段コンベア30a(図1では右から左に移動する);
(2)上段コンベア30aの一方の端(図1では左端)から、上下方向に移動し、下段コンベア30cの一方の端(図1では左端)に接続するリフタ30b(第1のリフタ);
(3)上段コンベア30aとは反対方向の水平方向に移動する下段コンベア30c(図1では左から右に移動する);
(4)下段コンベア30cの他方の端(図1では右端)から上下方向に移動し、上段コンベア30aの他方の端(図1では右端)に接続するリフタ30d(第2のリフタ)。
The conveyor 30 that circulates the chamber 20 includes the following elements.
(1) Upper conveyor 30a moving in the horizontal direction (moving from right to left in FIG. 1);
(2) A lifter 30b (first lifter) that moves up and down from one end (left end in FIG. 1) of the upper conveyor 30a and connects to one end (left end in FIG. 1) of the lower conveyor 30c;
(3) A lower conveyor 30c that moves in the horizontal direction opposite to the upper conveyor 30a (moves from left to right in FIG. 1);
(4) A lifter 30d (second lifter) that moves in the vertical direction from the other end (right end in FIG. 1) of the lower conveyor 30c and is connected to the other end (right end in FIG. 1) of the upper conveyor 30a.

夫々のチャンバー20は、環状に接続された上段コンベア30a、リフタ30b、下段コンベア30c、リフタ30dを通り、再び上段コンベア30aに搬送されて戻ってくるように構成されている。   Each of the chambers 20 is configured to pass through the upper conveyor 30a, the lifter 30b, the lower conveyor 30c, and the lifter 30d connected in a ring shape, and be conveyed again to the upper conveyor 30a.

気密性検査装置100の動作を簡単にまとめると、以下に示すとおりである。
(1)上段コンベア30aの水平方向の略中央位置で、密閉型圧縮機10をチャンバー20内に収納する(図1のA);
(2)上段コンベア30aの水平方向の略中央位置からリフタ30b側に少し移動した位置(図1では左側に少し移動した位置)に設けられた水素ガス封入部40(水素混合ガス封入部)でチャンバー20内の密閉型圧縮機10に検査用の水素ガスが封入される(図1のB);
(3)チャンバー20が下段コンベア30cに移動し、密閉型圧縮機10の気密性に不具合があれば下段コンベア30cを移動中にチャンバー20内に漏れ出す(図1のC)。この部分を、「水素混合ガス堆積部」と定義する;
(4)上段コンベア30aの水素ガス封入部40とは反対側(図1では水素ガス封入部40の右側)に設けられた水素ガスの漏れを測定するリークテスト部50(漏れ測定部、水素ガス検出部)で、漏れ出ている水素ガスの濃度を測定し、密閉型圧縮機10の密閉性の良否を判定する(図1のD)。
The operation of the airtightness inspection apparatus 100 is briefly summarized as follows.
(1) The hermetic compressor 10 is accommodated in the chamber 20 at a substantially central position in the horizontal direction of the upper conveyor 30a (A in FIG. 1);
(2) In the hydrogen gas enclosure 40 (hydrogen mixed gas enclosure) provided at a position slightly moved from the substantially horizontal center position of the upper conveyor 30a to the lifter 30b side (position slightly moved to the left side in FIG. 1). Hydrogen gas for inspection is sealed in the hermetic compressor 10 in the chamber 20 (B in FIG. 1);
(3) If the chamber 20 moves to the lower conveyor 30c and the hermeticity of the hermetic compressor 10 is defective, the lower conveyor 30c leaks into the chamber 20 during movement (C in FIG. 1). This part is defined as “hydrogen mixed gas deposition part”;
(4) A leak test unit 50 (leak measurement unit, hydrogen gas) that measures leakage of hydrogen gas provided on the opposite side of the upper conveyor 30a from the hydrogen gas enclosure 40 (on the right side of the hydrogen gas enclosure 40 in FIG. 1). The detection unit) measures the concentration of the leaked hydrogen gas and determines whether the hermeticity of the hermetic compressor 10 is good (D in FIG. 1).

次に、密閉容器の一例の密閉型圧縮機10をさらに詳細に説明する。密閉型圧縮機10は、空気調和機、冷蔵庫及び給湯機等の冷凍サイクルに用いられる冷媒を圧縮するもので、例えば、ロータリ圧縮機、スクロール圧縮機、レシプロ圧縮機等がある。ロータリ圧縮機及びスクロール圧縮機は、密閉容器内が高圧になる高圧シェルタイプであり、レシプロ圧縮機密閉容器内が低圧になる低圧シェルタイプである。シェルとは、密閉容器と同義である。   Next, the hermetic compressor 10 as an example of a hermetic container will be described in more detail. The hermetic compressor 10 compresses a refrigerant used in a refrigeration cycle such as an air conditioner, a refrigerator, and a water heater. Examples of the hermetic compressor 10 include a rotary compressor, a scroll compressor, and a reciprocating compressor. The rotary compressor and the scroll compressor are a high-pressure shell type in which the inside of the hermetic container has a high pressure, and a low-pressure shell type in which the inside of the reciprocating compressor hermetic container has a low pressure. A shell is synonymous with an airtight container.

密閉型圧縮機10の一例を、図2、図3により説明する。ここで説明する密閉型圧縮機10は、1シリンダのロータリ圧縮機である。   An example of the hermetic compressor 10 will be described with reference to FIGS. The hermetic compressor 10 described here is a one-cylinder rotary compressor.

密閉型圧縮機10は、密閉容器12内に圧縮要素10aと、この圧縮要素10a(圧縮機構)を駆動する電動要素10b(電動機)とを収納している。また、密閉容器12の底部に圧縮要素10aの摺動部を潤滑する冷凍機油18が貯留している(図3参照)。   The hermetic compressor 10 houses a compression element 10a and an electric element 10b (electric motor) that drives the compression element 10a (compression mechanism) in a hermetic container 12. Moreover, the refrigerator oil 18 which lubricates the sliding part of the compression element 10a is stored in the bottom part of the airtight container 12 (refer FIG. 3).

ロータリ圧縮機の圧縮要素10a、電動要素10bは、公知のものと同様の構成であり、詳細な説明は省く。   The compression element 10a and the electric element 10b of the rotary compressor have the same configuration as a known one, and a detailed description thereof will be omitted.

密閉型圧縮機10の密閉容器12は、例えば、胴部12b(筒部)、上容器12a、下容器12cを備え、これらが溶接により接合されている。   The hermetic container 12 of the hermetic compressor 10 includes, for example, a body part 12b (cylinder part), an upper container 12a, and a lower container 12c, which are joined by welding.

密閉容器12の外部に、吸入マフラー15が設けられる。吸入マフラー15は、冷凍サイクルの低圧側に接続する吸入管11を備える。吸入管11は、後述する吸入側のカプラ27aを接続するために、先端が拡管されてフランジ部11a(図4参照)が形成されている。吸入マフラー15は、溶接により密閉容器12に固定されている。   A suction muffler 15 is provided outside the sealed container 12. The suction muffler 15 includes a suction pipe 11 connected to the low pressure side of the refrigeration cycle. The suction pipe 11 has a flange 11a (see FIG. 4) that is expanded at the tip in order to connect a later-described suction-side coupler 27a. The suction muffler 15 is fixed to the sealed container 12 by welding.

吸入マフラー15から、低圧の冷媒が圧縮要素10aに吸入される。圧縮要素10aで低圧の冷媒を圧縮して、高圧の冷媒を密閉容器12内に吐出する。従って、密閉容器12内は、高圧の冷媒で満たされる。   Low-pressure refrigerant is sucked into the compression element 10a from the suction muffler 15. The compression element 10 a compresses the low-pressure refrigerant and discharges the high-pressure refrigerant into the sealed container 12. Accordingly, the sealed container 12 is filled with a high-pressure refrigerant.

密閉容器12内の高圧の冷媒は、電動要素10bを通過して(冷却して)、吐出管16から冷凍サイクルの高圧側に流出する。吐出管16は、後述する吐出側のカプラ28aを接続するために、先端が拡管されてフランジ部16a(図4参照)が形成されている。   The high-pressure refrigerant in the sealed container 12 passes through the electric element 10b (cools) and flows out from the discharge pipe 16 to the high-pressure side of the refrigeration cycle. The discharge pipe 16 has a flange 16a (see FIG. 4) that is expanded at the tip in order to connect a discharge-side coupler 28a described later.

例えば、炭酸ガス冷媒(Co冷媒)を使用した給湯機用の密閉型圧縮機10では、密閉容器12内部が10MPa(メガパスカル)以上にもなるなど、非常に高圧で使用されるため、密閉容器12の溶接部等から漏れがないか気密性のチェックが必須である。 For example, the hermetic compressor 10 for a hot water heater using a carbon dioxide refrigerant (Co 2 refrigerant) is used at a very high pressure such that the inside of the hermetic container 12 becomes 10 MPa (megapascal) or more. It is essential to check the airtightness for leakage from the welded portion of the container 12.

次に、図5乃至図8を参照しながらチャンバー20の詳細な構成について説明する。チャンバー20は、充分な強度を持ち、耐圧性を確保した構造とするためステンレス等の金属部材で形成される。チャンバー20の形状は、例えば、四角形の箱形状に形成される。四角形の箱形状のチャンバー20は、本体部21と、この本体部21に開閉自在に取り付けられる蓋部22とで前後に2分割に形成される。チャンバー20の内部に密閉型圧縮機10を収納するために、本体部21と蓋部22との相対する(対向する)内側が密閉型圧縮機10の外形形状より外形全体に渡って少し広く形成されて凹んだ形状の収納部23が形成される。   Next, a detailed configuration of the chamber 20 will be described with reference to FIGS. The chamber 20 is formed of a metal member such as stainless steel so as to have a sufficient strength and ensure a pressure resistance. The shape of the chamber 20 is formed in a square box shape, for example. The rectangular box-shaped chamber 20 is formed into a front part and a rear part by a body part 21 and a lid part 22 attached to the body part 21 so as to be freely opened and closed. In order to house the hermetic compressor 10 inside the chamber 20, the inner side of the main body portion 21 and the lid portion 22 facing (facing each other) is slightly wider than the outer shape of the hermetic compressor 10 over the entire outer shape. Thus, the recessed storage portion 23 is formed.

チャンバー20の上部には、チャンバー20に収納した密閉型圧縮機10の吸入管11と吐出管16に外部から検査用の水素ガスを封入できるようにするための吸入側のカプラ27a及び吐出側のカプラ28aを収納する吸入側カプラ収納部25と吐出側カプラ収納部26が形成されている。   In the upper part of the chamber 20, a suction-side coupler 27 a and a discharge-side coupler 27 a for allowing a hydrogen gas for inspection to be sealed from the outside into the suction pipe 11 and the discharge pipe 16 of the hermetic compressor 10 housed in the chamber 20. A suction-side coupler housing portion 25 for housing the coupler 28a and a discharge-side coupler housing portion 26 are formed.

チャンバー20内に、密閉型圧縮機10を載置するトレイ24が設けられる。このトレイ24の上面に、密閉型圧縮機10の足部分の外形形状と略同形状の凹み(凹部)が形成される。トレイ24の上に密閉型圧縮機10を載置し、チャンバー20の本体部21内に収納する。このとき、密閉型圧縮機10が、隙間23aが形成されるように配置される(図6参照)。また、トレイ24は密閉型圧縮機10が安定して搭載出来る形状で、十分な強度、耐摩耗性に優れたプラスチックなどの樹脂素材を用いるのが好ましい。   A tray 24 on which the hermetic compressor 10 is placed is provided in the chamber 20. On the upper surface of the tray 24, a recess (concave portion) having substantially the same shape as the outer shape of the foot portion of the hermetic compressor 10 is formed. The hermetic compressor 10 is placed on the tray 24 and stored in the main body 21 of the chamber 20. At this time, the hermetic compressor 10 is arranged such that a gap 23a is formed (see FIG. 6). The tray 24 is preferably formed of a resin material such as plastic having a shape that allows the hermetic compressor 10 to be stably mounted and having sufficient strength and wear resistance.

また、チャンバー20の本体部21と蓋部22の両方に、収納部23の全周囲に張り廻らされたゴム等の弾性部材からなるパッキン90が設けられる。パッキン90が、隙間23aの外周をシールすることで、チャンバー20外部と隙間23a内との気体が流通することを防止して、隙間23aの気密性を高めるようにしている。   Further, packing 90 made of an elastic member such as rubber stretched around the entire circumference of the storage portion 23 is provided on both the main body portion 21 and the lid portion 22 of the chamber 20. The packing 90 seals the outer periphery of the gap 23a, thereby preventing the gas from flowing outside the chamber 20 and inside the gap 23a, thereby improving the airtightness of the gap 23a.

チャンバー20の蓋部22が開いた状態で、トレイ24に載置された密閉型圧縮機10の吸入管11と吐出管16とに、夫々カプラ27aとカプラ28aとが装着される。カプラ27a,28aは、吸入管11及び吐出管16の管先端に形成されているフランジ部11a,16a(図4参照)を利用して、吸入管11及び吐出管16に気密性を保った状態で取り付けられる。   With the lid portion 22 of the chamber 20 open, a coupler 27a and a coupler 28a are mounted on the suction pipe 11 and the discharge pipe 16 of the hermetic compressor 10 placed on the tray 24, respectively. The couplers 27a and 28a use the flange portions 11a and 16a (see FIG. 4) formed at the distal ends of the suction pipe 11 and the discharge pipe 16 to keep the suction pipe 11 and the discharge pipe 16 airtight. It is attached with.

カプラ27a、カプラ28aを吸入管11及び吐出管16に取り付けた後、蓋部22を閉じる。蓋部22には、固定具22aが形成されていて(図7参照)、本体部21のフック部21a(図7参照)に係合することで、パッキン90に所定の圧力が加わった状態で、本体部21と蓋部22とが確実に固定される。   After the couplers 27a and 28a are attached to the suction pipe 11 and the discharge pipe 16, the lid portion 22 is closed. A fixing member 22a is formed on the lid portion 22 (see FIG. 7), and a predetermined pressure is applied to the packing 90 by engaging with the hook portion 21a (see FIG. 7) of the main body portion 21. The main body 21 and the lid 22 are securely fixed.

このとき、カプラ27a、カプラ28aは、本体部21と蓋部22のパッキン90で夫々全周がシールされるので、隙間23aからカプラ27a、カプラ28aの外周をとおって外部に気体が漏れないようになっている。   At this time, the entire circumference of the coupler 27a and the coupler 28a is sealed by the packing 90 of the main body portion 21 and the lid portion 22, so that gas does not leak to the outside through the gap 23a and the outer circumference of the coupler 27a and coupler 28a. It has become.

図8は、密閉型圧縮機10にカプラ27a、カプラ28aが装着され、蓋部22が閉じられた状態を示している。チャンバー20の外部から隙間23a内の気体(水素)を漏れ検査のため外部に取り出したり、隙間23aを減圧したりできるように、隙間23aへの第1の接続通路29及び第2の接続通路31が、チャンバー20内の上下に形成されている。第1の接続通路29の出口には後述するポンプなどを着脱自在に接続させる第1の接続口29aが形成されている。また、第2の接続通路31の出口にも、同様に第2の接続口31aが形成されている。   FIG. 8 shows a state in which the coupler 27a and the coupler 28a are attached to the hermetic compressor 10 and the lid portion 22 is closed. The first connection passage 29 and the second connection passage 31 to the gap 23a so that the gas (hydrogen) in the gap 23a can be taken out from the outside of the chamber 20 for leak inspection and the gap 23a can be decompressed. Are formed above and below the chamber 20. At the outlet of the first connection passage 29, a first connection port 29a is formed for detachably connecting a pump or the like described later. Similarly, a second connection port 31 a is formed at the outlet of the second connection passage 31.

カプラ27a,28aは、対となる他方のカプラ(後述する)が取り付けられると、それらは連通状態となるが、カプラ27a,28a単独の場合は、図示しない弁機構により外部との連通が遮断されている。   The couplers 27a and 28a are in communication with each other when a pair of other couplers (described later) is attached. However, in the case of the couplers 27a and 28a alone, communication with the outside is blocked by a valve mechanism (not shown). ing.

カプラ27a,28aは、図1のA(上段コンベア30aの水平方向の略中央位置で、密閉型圧縮機10がチャンバー20内に収納される)で密閉型圧縮機10に装着され、図1のD(上段コンベア30aの水素ガスの漏れを測定するリークテスト部50(漏れ測定部)で、漏れ出ている水素ガスの濃度を測定し、密閉型圧縮機10の密閉性の良否が判定される)の工程が完了するまで、そのまま密閉型圧縮機10に装着されている。リークテスト(気密性試験)が完了した時点で、カプラ27a,28aは、密閉型圧縮機10から取り外される。   The couplers 27a and 28a are attached to the hermetic compressor 10 in FIG. 1A (the hermetic compressor 10 is housed in the chamber 20 at a substantially central position in the horizontal direction of the upper conveyor 30a). D (The leak test unit 50 (leak measurement unit) that measures the leakage of hydrogen gas from the upper conveyor 30a measures the concentration of the leaked hydrogen gas and determines whether the hermeticity of the hermetic compressor 10 is good or bad. ) Until the process of () is completed. When the leak test (air tightness test) is completed, the couplers 27 a and 28 a are removed from the hermetic compressor 10.

図6に示すように、密閉型圧縮機10を収納部23に収納すると密閉型圧縮機10の外形と収納部23間に密閉型圧縮機10の全周に渡り隙間23aが形成され、この隙間23aの容積を、「隙間容積」と定義する。図6において、隙間23a相当箇所をハッチングで示している。   As shown in FIG. 6, when the hermetic compressor 10 is housed in the housing portion 23, a gap 23 a is formed across the entire circumference of the hermetic compressor 10 between the outer shape of the hermetic compressor 10 and the housing portion 23. The volume of 23a is defined as "gap volume". In FIG. 6, a portion corresponding to the gap 23a is indicated by hatching.

隙間23aに、密閉型圧縮機10内に封入されたリークテスト用の水素ガスが漏れることを検出することで密閉型圧縮機10(密閉容器12)の気密性を検査するようにしている。   The airtightness of the hermetic compressor 10 (sealed container 12) is inspected by detecting that the leak test hydrogen gas sealed in the hermetic compressor 10 leaks into the gap 23a.

図9を参照しながら気密性検査装置100の水素ガス封入部40でチャンバー20に接続される減圧やガス封入の回路を説明する。チャンバー20の外部から隙間23a内の気体(水素)を漏れ検査のため外部に取り出したり、隙間23aを減圧したりできるように、隙間23aへの第1の接続通路29及び第2の接続通路31が、チャンバー20内の上下に形成されている。   With reference to FIG. 9, the decompression and gas filling circuit connected to the chamber 20 by the hydrogen gas filling unit 40 of the airtightness inspection apparatus 100 will be described. The first connection passage 29 and the second connection passage 31 to the gap 23a so that the gas (hydrogen) in the gap 23a can be taken out from the outside of the chamber 20 for leak inspection and the gap 23a can be decompressed. Are formed above and below the chamber 20.

第1の接続通路29の出口には後述するポンプなどを着脱自在に接続させる第1の接続口29aが形成されている。また、第2の接続通路31の出口にも、同様に第2の接続口31aが形成されている。この第1の接続口29aと第2の接続口31aは、図示しない弁機構により外部からポンプなどが接続されない際は閉鎖されて、隙間23aへのチャンバー20の外部からの気体の流通を防止し、隙間23aを気密にしている。   At the outlet of the first connection passage 29, a first connection port 29a is formed for detachably connecting a pump or the like described later. Similarly, a second connection port 31 a is formed at the outlet of the second connection passage 31. The first connection port 29a and the second connection port 31a are closed when a pump or the like is not connected from the outside by a valve mechanism (not shown) to prevent the gas from flowing from the outside of the chamber 20 to the gap 23a. The gap 23a is airtight.

チャンバー20内に密閉型圧縮機10収納し、水素ガス封入部40(図1参照)にチャンバー20をセットすると、図示しない制御装置(コンピュータ等)により制御されて、吸入管11に接続された吸入側のカプラ27aに、水素ガス封入部40側のカプラ27bが着脱自在に接続される。また、吐出管16に接続された吐出側のカプラ28aに、水素ガス封入部40側のカプラ28bが着脱自在に接続される。このようにして、密閉型圧縮機10と水素ガス封入部40とが、連通状態となる。   When the hermetic compressor 10 is housed in the chamber 20 and the chamber 20 is set in the hydrogen gas enclosure 40 (see FIG. 1), the suction connected to the suction pipe 11 is controlled by a control device (computer or the like) not shown. The coupler 27b on the hydrogen gas enclosure 40 side is detachably connected to the coupler 27a on the side. A coupler 28b on the hydrogen gas enclosure 40 side is detachably connected to the coupler 28a on the discharge side connected to the discharge pipe 16. In this way, the hermetic compressor 10 and the hydrogen gas enclosure 40 are in communication.

そして、その吸入側のカプラ27a,27bと、吐出側のカプラ28a,28bには配管により接続された検査用の水素ガスを密閉型圧縮機10内に送り込んだりさせるためのポンプ51、漏れ検査用の水素ガスを供給する水素ガスタンク52、密閉型圧縮機10内を減圧する真空ポンプ53などが接続される。また、流路を切り替えたり開閉するバルブ54〜56を、図示しない制御装置で切り替えることで、漏れを検出するための各工程を行えるようにしている。   Then, a pump 51 for feeding inspection hydrogen gas connected to the suction side couplers 27a and 27b and the discharge side couplers 28a and 28b into the hermetic compressor 10, and leakage inspection A hydrogen gas tank 52 for supplying the hydrogen gas and a vacuum pump 53 for reducing the pressure in the hermetic compressor 10 are connected. Moreover, each process for detecting a leak can be performed by switching the valves 54-56 which switch or open / close a flow path with a control device (not shown).

また、水素ガス封入部40にチャンバー20をセットすると、図示しない制御装置(コンピュータ等)により制御されて、上下の第1の接続口29a及び第2の接続口31aにも、ポンプ57、乾燥エア(空気)を供給するための乾燥エアタンク58、隙間23a内を減圧する真空ポンプ59などが接続される。また、流路を切り替えたり、開閉するバルブ60〜62を図示しない制御装置で切り替えることで、漏れを検出するための各工程を行えるようにしている。   Further, when the chamber 20 is set in the hydrogen gas sealing part 40, it is controlled by a control device (computer or the like) (not shown), and the pump 57 and the dry air are also supplied to the upper and lower first connection ports 29a and 31a. A dry air tank 58 for supplying (air), a vacuum pump 59 for reducing the pressure in the gap 23a, and the like are connected. Moreover, each process for detecting a leak can be performed by switching the flow path or switching the valves 60 to 62 to be opened and closed by a control device (not shown).

次に、リークテスト部50(漏れ測定部)でチャンバー20に接続される回路の概略構成を図10により説明する。リークテスト部50にチャンバー20をセットすると、図示しない制御装置(コンピュータ等)により制御されて、吸入管11に接続された吸入側のカプラ27aに、リークテスト部50(漏れ測定部)側のカプラ27cが着脱自在に接続される。また、吐出管16に接続された吐出側のカプラ28aに、リークテスト部50(漏れ測定部)側のカプラ28cが着脱自在に接続される。このようにして、密閉型圧縮機10とリークテスト部50(漏れ測定部)とが、連通状態となる。   Next, a schematic configuration of a circuit connected to the chamber 20 in the leak test unit 50 (leak measurement unit) will be described with reference to FIG. When the chamber 20 is set in the leak test section 50, the leak test section 50 (leak measurement section) side coupler is connected to the suction side coupler 27 a connected to the suction pipe 11 under control of a control device (computer or the like) not shown. 27c is detachably connected. A coupler 28c on the leak test unit 50 (leak measurement unit) side is detachably connected to the coupler 28a on the discharge side connected to the discharge pipe 16. In this way, the hermetic compressor 10 and the leak test unit 50 (leak measurement unit) are in communication.

そして、吸入側のカプラ27a,27cと吐出側のカプラ28a,28cには、配管により接続された乾燥エアを密閉型圧縮機10内に送り込むためのポンプ71、及び乾燥エア(空気)を供給するための乾燥エアタンク72が、流路を切り替えたり開閉するバルブ73〜75を介して接続される。図示しない制御装置でバルブ73〜75の接続を切り替えることで、漏れを検出するための各工程を行えるようにしている。   Then, the suction couplers 27a and 27c and the discharge couplers 28a and 28c are supplied with a pump 71 for feeding dry air connected by piping into the hermetic compressor 10 and dry air (air). A dry air tank 72 is connected via valves 73 to 75 for switching and opening / closing the flow path. By switching the connection of the valves 73 to 75 with a control device (not shown), each step for detecting leakage can be performed.

また、リークテスト部50(漏れ測定部)にチャンバー20をセットすると、図示しない制御装置(コンピュータ等)により制御されて、上下の第1の接続口29a及び第2の接続口31aにも、ポンプ76と、隙間23aへ漏れ出る水素ガスの濃度を検出するディテクタ77(水素ガス検出器)がバルブ78,79を介して接続されている。   In addition, when the chamber 20 is set in the leak test unit 50 (leak measurement unit), the pump is connected to the upper and lower first connection ports 29a and the second connection port 31a by being controlled by a control device (computer or the like) not shown. 76 and a detector 77 (hydrogen gas detector) for detecting the concentration of hydrogen gas leaking into the gap 23 a are connected via valves 78 and 79.

なお、リークテスト部50(漏れ測定部)は、図1に示すように三箇所の検出部50a〜50cを備えるようにして、夫々の検出部50a〜50cが、図10のような回路を備える。例えば、検出部50aで漏れ検出の準備をし、検出部50bで漏れ検出を実施し、検出部50cで、検査が終了したチャンバー20を検出部50cから取り出し、三箇所で並行に作業を行えるようにすると、効率よくリークテスト(漏れ検出)が行える。   The leak test unit 50 (leak measurement unit) includes three detection units 50a to 50c as shown in FIG. 1, and each of the detection units 50a to 50c includes a circuit as shown in FIG. . For example, the detection unit 50a prepares for leak detection, the detection unit 50b performs leak detection, and the detection unit 50c takes out the chamber 20 that has been inspected from the detection unit 50c, so that work can be performed in parallel at three locations. In this case, a leak test (leak detection) can be performed efficiently.

また、この実施の形態では、検出部50a〜50cは、チャンバー20をそれぞれ1台づつ収納し、蓋をする防護構造で構成し、COを利用した密閉型圧縮機10などのような高圧で検査を行う必要がある密閉容器12の漏れ検査で密閉容器12が破損しても保護できるように構成する必要がある。 Further, in this embodiment, each of the detection units 50a to 50c is configured by a protective structure that houses one chamber 20 and covers each chamber 20 at a high pressure such as a hermetic compressor 10 using CO 2. It is necessary to configure so that the sealed container 12 can be protected even if the sealed container 12 is damaged in the leak test of the sealed container 12 that needs to be inspected.

次に、水素ガスを検出するディテクタ77(水素ガス検出器)の概略原理について、図11により説明する。二つの電極77a,77bが、所定の抵抗77cを介して電源77dに接続される。そして、二つの電極77a,77b間の電圧を電圧計77eで検出する。電極77aと電極77b間に密閉容器12から漏れ出た水素ガスを含んだ検査用のガスが通過すると、水素(H)が電極77a,77b間で酸素(O)と反応して水(HO)に変わる。電極77a,77b間に水(HO)が発生すると、電圧計77eの電圧が変化することで水素の含有量を検出することができる。 Next, the general principle of the detector 77 (hydrogen gas detector) for detecting hydrogen gas will be described with reference to FIG. The two electrodes 77a and 77b are connected to a power source 77d through a predetermined resistor 77c. The voltage between the two electrodes 77a and 77b is detected by a voltmeter 77e. When an inspection gas containing hydrogen gas leaking from the sealed container 12 passes between the electrodes 77a and 77b, hydrogen (H 2 ) reacts with oxygen (O 2 ) between the electrodes 77a and 77b to form water ( H 2 O). When water (H 2 O) is generated between the electrodes 77a and 77b, the hydrogen content can be detected by changing the voltage of the voltmeter 77e.

次に検査用の水素ガスについて説明する。ヘリウムガスによる漏れ検査は精度よく検査できるが、ヘリウムガスは大気中に通常存在せず、また、合成して製造することも不可能であり、一部の地域から産出されるだけである。そのため、価格の高騰及び枯渇が懸念され、利用しにくいという課題がある。   Next, the hydrogen gas for inspection will be described. Leak inspection with helium gas can be inspected with high accuracy, but helium gas is not usually present in the atmosphere, and cannot be synthesized and produced, and is only produced from some areas. Therefore, there is a problem that it is difficult to use because there is a concern about price increase and depletion.

これに対し、水素ガスは石油産業やバイオ産業の副産物として、例えば天然ガスから合成ガスを生成するとき等の水蒸気改質や部分酸化によって大量に発生するため、入手が容易かつ安価に入手できる。そして、検査用の水素ガスとしては、例えば国際規格ISO−101562に適合した不活性ガスと認められる検査用の水素含有のガスを利用するとよく、一例として、水素(H)が5%、窒素(N)が95%のようなクリーンな不活性ガスを用いて検査するとよい。不活性ガスを用いて検査することにより、爆発等の危険がなく安全性を確保することができる。 In contrast, hydrogen gas is generated as a by-product of the petroleum industry and the bio industry, for example, in large quantities by steam reforming and partial oxidation, for example, when generating synthetic gas from natural gas, and is therefore readily available and inexpensive. As the hydrogen gas for inspection, for example, a hydrogen-containing gas for inspection recognized as an inert gas conforming to the international standard ISO-101562 may be used. As an example, 5% hydrogen (H 2 ), nitrogen Inspection may be performed using a clean inert gas such that (N 2 ) is 95%. By inspecting with an inert gas, safety can be ensured without danger of explosion.

次に、密閉型圧縮機10からの水素ガスの漏れ検出精度について説明する。例えば、一般的な給湯器や家庭用エアコン(空気調和機)等の場合、密閉型圧縮機10を給湯器やエアコン(空気調和機)のユニットに搭載し、能力が10%低下しても、製品として許容される設計仕様とする。そして、給湯器や家庭用エアコン(空気調和機)等の能力は、封入冷媒量に比例すると仮定する。   Next, the hydrogen gas leak detection accuracy from the hermetic compressor 10 will be described. For example, in the case of a general water heater or a domestic air conditioner (air conditioner), the hermetic compressor 10 is mounted on a unit of a water heater or an air conditioner (air conditioner), and the capacity is reduced by 10%. The design specifications are acceptable for the product. Then, it is assumed that the capabilities of a water heater, a domestic air conditioner (air conditioner), and the like are proportional to the amount of refrigerant enclosed.

以下、具体的な数値例を、給湯器用のCo冷媒を用いた密閉型圧縮機10について試算する。CO冷媒の充填量が1050g、ユーザの期待寿命が15年、許容される15年間でのCO冷媒の漏れ量が初期充填量の10%とすると、許容される年当たりのCo冷媒の漏れ量は、
1050[g]×0.1÷15[年]≒7[g/年]
となる。
Hereinafter, a specific numerical example is estimated for the hermetic compressor 10 using the Co 2 refrigerant for the water heater. CO 2 loading of the refrigerant is 1050 g, the user of the life expectancy is 15 years, the amount of leakage of CO 2 refrigerant in the acceptable 15 years is 10% of the initial loading, the Co 2 refrigerant per year allowed The amount of leakage is
1050 [g] × 0.1 ÷ 15 [year] ≈7 [g / year]
It becomes.

ここで、COの分子量44より、1g当たりのモル数は0.023であり、下記の気体の状態方程式から、1g当たりのCOの体積を計算する。 Here, from the molecular weight 44 of CO 2, the number of moles per gram is 0.023, and the volume of CO 2 per gram is calculated from the following gas equation of state.

PV=nRT
ここで、
P:気体の圧力(大気圧)
V:体積
n:モル数(0.023)
R:定数
T:温度(0℃)
である。
PV = nRT
here,
P: Gas pressure (atmospheric pressure)
V: Volume n: Number of moles (0.023)
R: Constant T: Temperature (0 ° C)
It is.

上記状態方程式から、大気圧で0℃の時の1g当たりのCoの体積Vは、5.09×10−4[m/g]となる。よって、許容される年当たりのCo冷媒の漏れ量7[g/年]を体積に換算すると、3.56×10−3[m/年]となる。これを年から秒に変換すると1.13×10−4[cc/sec]が最低限必要な漏れ検出の感度となる。およそ10倍の余裕をとり、1×10−5[cc/sec]以上の漏れを検出することで、漏れ不具合を検出できることになる。 From the above equation of state, the volume V of Co 2 per gram at 0 ° C. at atmospheric pressure is 5.09 × 10 −4 [m 3 / g]. Therefore, when the allowable leakage amount of Co 2 refrigerant per year of 7 [g / year] is converted into a volume, it is 3.56 × 10 −3 [m 3 / year]. When this is converted from year to second, 1.13 × 10 −4 [cc / sec] is the minimum required leak detection sensitivity. By taking a margin of about 10 times and detecting a leak of 1 × 10 −5 [cc / sec] or more, a leak failure can be detected.

そして、水素ガスで密閉型圧縮機10の漏れを検出する場合、水素ガスは通常大気中に0.5ppm前後存在し、ヘリウムガスとは異なり、プラスチックや金属表面に吸着したり、再び放出されたりする為、その水素ガスが誤検知の原因となる。   And when detecting leakage of the hermetic compressor 10 with hydrogen gas, the hydrogen gas is usually present in the atmosphere at around 0.5 ppm, and unlike helium gas, it is adsorbed on the plastic or metal surface or released again. Therefore, the hydrogen gas causes false detection.

図12に示す誤検知濃度レベル81は、以下に示す手順で測定したものである。
(1)密閉型圧縮機10に水素ガスを封入するとともに、漏れ標準器(図示せず)を密閉型圧縮機10の所定箇所に取り付ける(例えば、密閉容器12と吸入マフラー15との間)。そして、チャンバー20内に漏れ標準器を用いて1×10−5[cc/sec]の量で水素ガスを漏出させる;
(2)次にチャンバー20内を乾燥空気でエアブローにてクリーニングし、水素ガスをチャンバー20内から排出する。
(3)密閉型圧縮機10からの水素ガスの漏れが無い状態(漏れ標準器からの水素ガスの漏出が無い状態)でチャンバー20内の水素ガス濃度を測定する。
The false detection density level 81 shown in FIG. 12 is measured by the following procedure.
(1) Hydrogen gas is sealed in the hermetic compressor 10 and a leak standard (not shown) is attached to a predetermined location of the hermetic compressor 10 (for example, between the hermetic container 12 and the suction muffler 15). Then, hydrogen gas is leaked into the chamber 20 in an amount of 1 × 10 −5 [cc / sec] using a leak standard device;
(2) Next, the inside of the chamber 20 is cleaned with dry air by air blowing, and hydrogen gas is discharged from the inside of the chamber 20.
(3) The hydrogen gas concentration in the chamber 20 is measured in a state where there is no leakage of hydrogen gas from the hermetic compressor 10 (a state where there is no leakage of hydrogen gas from the leak standard).

(3)で測定した水素ガス濃度が、誤検知濃度レベル81となる。密閉型圧縮機10からの漏れは無いが、エアブローによるクリーニングを行っても残る、チャンバー20の収納部23表面に吸着した水素が放出されて検出される。   The hydrogen gas concentration measured in (3) becomes the false detection concentration level 81. Although there is no leakage from the hermetic compressor 10, the hydrogen adsorbed on the surface of the storage portion 23 of the chamber 20 that remains after cleaning by air blow is released and detected.

そして、再び密閉型圧縮機10から、チャンバー20内に密閉型圧縮機10の所定箇所に取り付けられた漏れ標準器(図示せず)を用いて、1×10−5[cc/sec]の量で水素ガスを漏出させ、時間を変化させつつチャンバー20内に漏出させた場合の水素ガス濃度となる漏出水素ガス濃度82が得られる。この測定結果より得られた実験値の線形近似が、図中の誤検知レベル81と漏出水素ガス濃度82の2直線になる。 Then, the amount of 1 × 10 −5 [cc / sec] is used again from the hermetic compressor 10 by using a leak standard (not shown) attached to a predetermined portion of the hermetic compressor 10 in the chamber 20. As a result, hydrogen gas is leaked, and a leaked hydrogen gas concentration 82 is obtained which is the hydrogen gas concentration when the gas is leaked into the chamber 20 while changing the time. The linear approximation of the experimental value obtained from this measurement result becomes two straight lines of the false detection level 81 and the leaked hydrogen gas concentration 82 in the figure.

誤検知しないようにするためには、漏出水素ガス濃度82が誤検知濃度レベル81を上回ればよいが、それぞれにバラツキを持つ。そのため、正確な検知を行なうには、漏出水素ガス濃度82が誤検知レベル81から3σ(σは標準偏差)以上上回る必要がある。   In order to prevent erroneous detection, it is sufficient that the leaked hydrogen gas concentration 82 exceeds the erroneous detection concentration level 81, but there are variations in each. Therefore, in order to perform accurate detection, the leaked hydrogen gas concentration 82 must exceed the erroneous detection level 81 by 3σ (σ is a standard deviation) or more.

測定値のバラツキを正規分布とするとき、平均値±3σの範囲内に測定値の99.7%が分布する。よって実験結果より得られた誤検知レベル81の平均値+3σを上回る濃度にて測定することで、誤検知を0.3%以下の実用的な範囲に抑えることが出来る。   When the variation of the measured value is a normal distribution, 99.7% of the measured value is distributed within the range of the average value ± 3σ. Therefore, by measuring at a concentration that is higher than the average value + 3σ of the false detection level 81 obtained from the experimental results, false detection can be suppressed to a practical range of 0.3% or less.

測定値より3σを求め、誤検知レベル81及び漏出水素ガス濃度82のそれぞれの平均値から3σ離れた所を閾値とする。実験結果より閾値は、1.6[ppm]となり、蓄積時間は360[sec]=6[min]必要となる。この結果と濃度=漏れ量×時間/体積より、最短蓄積時間360[sec]での体積=1×10−5[cc/sec]×360[sec]/1.6[ppm]=2250[cc]となる。 3σ is obtained from the measured value, and a location 3σ away from the average value of each of the false detection level 81 and the leaked hydrogen gas concentration 82 is set as a threshold value. From the experimental results, the threshold is 1.6 [ppm], and the accumulation time is 360 [sec] = 6 [min]. From this result and concentration = leakage amount × time / volume, volume at the shortest accumulation time 360 [sec] = 1 × 10 −5 [cc / sec] × 360 [sec] /1.6 [ppm] = 2250 [cc] ].

よって、最短時間で誤検知することなく漏出水素ガスを検知出来る隙間23aの隙間容積は、2250[cc]以下となる。隙間23aの隙間容積を、2000[cc]以下とすれば、さらに短い時間で漏出水素ガスを検出できるので、より好ましい。   Therefore, the gap volume of the gap 23a that can detect the leaked hydrogen gas without erroneous detection in the shortest time is 2250 [cc] or less. If the gap volume of the gap 23a is 2000 [cc] or less, leaked hydrogen gas can be detected in a shorter time, which is more preferable.

尚、漏出水素ガスの測定器の分解能を保障する為に、感度は測定器の最小目盛の1/10を満たす必要がある。チャンバー20の隙間容積が10%以上ばらついていれば漏出した水素ガス濃度もその分ばらついてしまうことになり、検出感度が落ちる。よって、測定器の能力に関わらず、チャンバー20間の隙間23aの容積のばらつきは、10%以下とするのが条件となる。   In order to guarantee the resolution of the measuring device for leaked hydrogen gas, the sensitivity needs to satisfy 1/10 of the minimum scale of the measuring device. If the gap volume of the chamber 20 varies by 10% or more, the leaked hydrogen gas concentration also varies accordingly, and the detection sensitivity decreases. Therefore, regardless of the ability of the measuring instrument, the variation in the volume of the gap 23a between the chambers 20 is 10% or less.

次に、図13のフローチャートを参照しながら、密閉型圧縮機10の気密性検査装置100の動作を説明する。   Next, the operation of the airtightness inspection apparatus 100 of the hermetic compressor 10 will be described with reference to the flowchart of FIG.

先ず、ワーク投入工程(図1のA)において、上段コンベア30a上のチャンバー20内に密閉型圧縮機10(ワーク)が収納されるとともに、吸入側のカプラ27aが吸入管11に接続される。また、吐出側のカプラ28aが吐出管16に接続される(ステップ1)。   First, in the workpiece loading step (A in FIG. 1), the hermetic compressor 10 (work) is housed in the chamber 20 on the upper conveyor 30a, and the suction side coupler 27a is connected to the suction pipe 11. Further, the discharge-side coupler 28a is connected to the discharge pipe 16 (step 1).

次に水素封入工程(図1のB)において、水素ガス封入部40にて、吸入側のカプラ27a,27b、及び吐出側のカプラ28a,28bが接続される。チャンバー20の蓋部22が閉められた後に密閉型圧縮機10内の真空引きを真空ポンプ53(図9参照)により行う。このときの到達圧をチェックして、ワークの大漏れチェックを行う。ワークの大漏れがなければ、吸入側のカプラ27a,27bより水素混合ガス(例えば、水素(H)が5%、窒素(N)が95%の混合ガス)を封入する(約1MPa(0.9MPa))。この圧力(約1MPa(0.9MPa))を、第1の圧力もしくは所定の圧力と定義する。このとき、吐出側のカプラカプラ28a,28bからは密閉型圧縮機10内のガスを排出し、密閉型圧縮機10内部に均一に水素混合ガスを封入することで空気溜まりを無くし、後のリークテスト工程(図1のD)においてチェック漏れを防ぐ(ステップ2)。 Next, in the hydrogen filling step (B in FIG. 1), the couplers 27a and 27b on the suction side and the couplers 28a and 28b on the discharge side are connected at the hydrogen gas filling unit 40. After the lid portion 22 of the chamber 20 is closed, vacuuming in the hermetic compressor 10 is performed by a vacuum pump 53 (see FIG. 9). The ultimate pressure at this time is checked, and a large leak check of the workpiece is performed. If there is no large leakage of the workpiece, a hydrogen mixed gas (for example, a mixed gas of 5% hydrogen (H 2 ) and 95% nitrogen (N 2 )) is sealed from the couplers 27a and 27b on the suction side (about 1 MPa ( 0.9 MPa)). This pressure (about 1 MPa (0.9 MPa)) is defined as a first pressure or a predetermined pressure. At this time, the gas in the hermetic compressor 10 is discharged from the coupler couplers 28a and 28b on the discharge side, and the hydrogen mixture gas is uniformly sealed in the hermetic compressor 10 to eliminate air accumulation, and a later leak test Check leakage is prevented in the process (D in FIG. 1) (step 2).

水素混合ガスの密閉型圧縮機10への封入が完了した後、チャンバー20の第1の接続口29a、第2の接続口31aに真空ポンプ59(図9参照)を接続し、隙間23aの減圧を行い、このときの到達圧をチェックして、隙間23aの密閉度をチェックする。さらに、減圧とエアブローとを、例えば二回繰り返して残留水素を追い出す。   After the hydrogen mixed gas is sealed in the hermetic compressor 10, a vacuum pump 59 (see FIG. 9) is connected to the first connection port 29a and the second connection port 31a of the chamber 20 to reduce the pressure in the gap 23a. The ultimate pressure at this time is checked to check the sealing degree of the gap 23a. Furthermore, pressure reduction and air blow are repeated twice, for example, to drive out residual hydrogen.

この減圧を行なうことによって隙間23aの容積内の死容積を減少させることと同じ効果を得る。このとき、後のリークテスト工程(図1のD)で用いられるディテクタ77(図10参照)は熱化学反応が主流であり、正確な値となるまで約1〜2分必要である事が確認されている。また圧力P×体積V=一定、体積V=体積流量G×時間tである為、測定時の必要圧力は下記の式で求められる。   By performing this depressurization, the same effect as reducing the dead volume within the volume of the gap 23a is obtained. At this time, it is confirmed that the detector 77 (see FIG. 10) used in the subsequent leak test process (see FIG. 1D) has a thermochemical reaction and requires about 1 to 2 minutes to reach an accurate value. Has been. Further, since pressure P × volume V = constant, volume V = volume flow rate G × time t, the required pressure at the time of measurement can be obtained by the following equation.

P1=P2×V2/V1=(G×t)/V1
(P1:減圧時圧力、P2:大気圧、V1:減圧時体積、V2:大気圧時体積、G:体積流量、t:測定時間)
よって、V1=チャンバー20の隙間容積=2000[cc]、今回使用した水素ディテクタでは、G=100[cc/min]である為、t=2[min]として減圧時圧力を0.1[atm]とした。減圧が完了したチャンバー20はリフタ30bによって下段コンベア30cへと搬送される(ステップ3)。
P1 = P2 × V2 / V1 = (G × t) / V1
(P1: pressure at reduced pressure, P2: atmospheric pressure, V1: volume at reduced pressure, V2: volume at atmospheric pressure, G: volume flow rate, t: measurement time)
Therefore, V1 = the gap volume of the chamber 20 = 2000 [cc], and in the hydrogen detector used this time, G = 100 [cc / min], so that t = 2 [min] and the pressure during decompression is 0.1 [atm]. ]. The chamber 20 whose decompression has been completed is conveyed to the lower conveyor 30c by the lifter 30b (step 3).

蓄積工程(図1のC、水素堆積1)では、密閉型圧縮機10に漏洩箇所がある場合、隙間23aに漏れ出した水素ガスが蓄積される。この蓄積工程(水素堆積1)では、十分な検出精度を得られるまで水素ガスを漏洩させる必要がある。図12の実験結果より、充分な検出精度を得られる最短蓄積時間は6[min]である。その為に下段コンベア30cは、少なくとも最短蓄積時間(6[min])が確保できる長さが必要である。蓄積工程を終えたチャンバー20はリフタ30dによって上段コンベア30aへと搬送される(ステップ4)。   In the accumulation step (C in FIG. 1, hydrogen deposition 1), when there is a leak location in the hermetic compressor 10, the hydrogen gas leaked into the gap 23 a is accumulated. In this accumulation process (hydrogen deposition 1), it is necessary to leak hydrogen gas until sufficient detection accuracy is obtained. From the experimental results of FIG. 12, the shortest accumulation time for obtaining sufficient detection accuracy is 6 [min]. Therefore, the lower conveyor 30c needs to have a length that can secure at least the shortest accumulation time (6 [min]). The chamber 20 that has completed the accumulation process is transported to the upper conveyor 30a by the lifter 30d (step 4).

リークテスト工程(図1のD)では、防護構造の検出部50a〜50cに、順にチャンバー20を入れて、例えば、検出部50aで漏れ検出の準備をし、検出部50bで漏れ検出を実施し、検出部50cで検査が終了したチャンバー20を検出部50cから取り出す。   In the leak test step (D in FIG. 1), the chamber 20 is put in the protective structure detection units 50a to 50c in order, for example, the detection unit 50a prepares for leak detection, and the detection unit 50b performs leak detection. The chamber 20 that has been inspected by the detection unit 50c is taken out from the detection unit 50c.

先ず、吸入側のカプラ27a,27cより乾燥エアタンク72(図10参照)の乾燥エアが封入され、密閉型圧縮機10内部を約1MPaから14MPa(第2の圧力)までの追圧を行う。水素混合ガスではなく、安価で調達の容易な乾燥エアで追圧しても、洩れる濃度は1/14に薄まるが、漏れ量は圧力に比例して14倍になるので、漏れ量×14、濃度×1/14で相殺されて密閉型圧縮機10からチャンバー20の隙間23aに漏れる水素の量は変わらない。追圧を行う理由は、CO冷媒の場合、設計圧力が10MPa程度であり、気密試験は設計圧力(10MPa)以上の、例えば14MPaで行う必要があるからである。水素封入工程で、約1MPaではなく14MPaの高圧にしてもよいが、安全性の面から蓄積工程でチャンバー20を巨大な防護箱の中に入れる必要があるので、好ましくない(ステップ5)。 First, dry air in a dry air tank 72 (see FIG. 10) is sealed from the couplers 27a and 27c on the suction side, and additional pressure is applied from about 1 MPa to 14 MPa (second pressure) inside the hermetic compressor 10. Even if additional pressure is applied with dry air that is cheap and easy to procure instead of hydrogen mixed gas, the leaked concentration is reduced to 1/14, but the leak amount is 14 times proportional to the pressure. The amount of hydrogen that is offset by × 1/14 and leaks from the hermetic compressor 10 into the gap 23a of the chamber 20 does not change. The reason for the additional pressure is that, in the case of CO 2 refrigerant, the design pressure is about 10 MPa, and the airtight test needs to be performed at a design pressure (10 MPa) or higher, for example, 14 MPa. In the hydrogen filling process, a high pressure of about 14 MPa may be used instead of about 1 MPa. However, it is not preferable because the chamber 20 needs to be put in a huge protective box in the accumulation process from the viewpoint of safety (step 5).

次に隙間23aとポンプ76(図10参照)を、チャンバー20の第1の接続口29a、第2の接続口31aに接続し、隙間23a内部を充分攪拌した後、隙間23a内の混合ガス(水素混合ガス+乾燥エア)をポンプ76との回路に接続されたディテクタ77(水素ガス測定器)のセンサに導く(ステップ6)。   Next, the gap 23a and the pump 76 (see FIG. 10) are connected to the first connection port 29a and the second connection port 31a of the chamber 20, and after the inside of the gap 23a is sufficiently stirred, the mixed gas ( The hydrogen mixed gas + dry air is led to a sensor of a detector 77 (hydrogen gas measuring device) connected to a circuit with the pump 76 (step 6).

ディテクタ77(水素ガス測定器)で隙間23a内の混合ガス(水素混合ガス+乾燥エア)の水素ガスの測定を行う。ディテクタ77は、水素ガス濃度が所定値(例えば、1.6ppm)以上の場合、ワーク(密閉型圧縮機10)は気密性不良と判定する。水素ガスの測定は、例えば、10秒間で最終安定値を予測するようにしてもよい。そのようにすることにより、気密性検査のサイクルタイムが短縮する(ステップ7)。   The detector 77 (hydrogen gas measuring device) measures the hydrogen gas of the mixed gas (hydrogen mixed gas + dry air) in the gap 23a. When the hydrogen gas concentration is equal to or higher than a predetermined value (for example, 1.6 ppm), the detector 77 determines that the work (sealed compressor 10) is poor in airtightness. In the measurement of hydrogen gas, for example, the final stable value may be predicted in 10 seconds. By doing so, the cycle time of the airtightness test is shortened (step 7).

ディテクタ77での水素ガスの測定が完了した後、密閉型圧縮機10内部の混合ガス(水素混合ガス+乾燥エア)の排気を吸入側のカプラ27a,27c、吐出側のカプラ28a,28cより行い、測定回路の真空引きとエアブローにて残留水素のクリーニングを行いリークテスト工程を完了する(ステップ8)。   After the measurement of the hydrogen gas at the detector 77 is completed, the mixed gas (hydrogen mixed gas + dry air) inside the hermetic compressor 10 is exhausted by the couplers 27a and 27c on the suction side and the couplers 28a and 28c on the discharge side. The residual hydrogen is cleaned by evacuating the measurement circuit and air blowing to complete the leak test process (step 8).

リークテスト工程が完了した密閉型圧縮機10を、チャンバー20内部より取り出し、気密性検査(水素ガスリーク試験)が完了となる。密閉型圧縮機10を取り外したチャンバー20はそのまま次の被試験体となる密閉型圧縮機10に用いられる。   The hermetic compressor 10 for which the leak test process has been completed is taken out from the inside of the chamber 20, and the airtightness test (hydrogen gas leak test) is completed. The chamber 20 from which the hermetic compressor 10 has been removed is used as it is for the hermetic compressor 10 to be the next object to be tested.

以上のように、本実施の形態では、水素ガス封入部40とリークテスト部50(水素ガス測定器)を別体とすることで、水素ガスを封入したチャンバー20の移動中に蓄積工程を確保し、設備を大型化する事無く被試験体の同時処理数を増やすことが実現できる。   As described above, in this embodiment, the accumulation process is ensured during the movement of the chamber 20 filled with hydrogen gas by separating the hydrogen gas filling unit 40 and the leak test unit 50 (hydrogen gas measuring device). In addition, it is possible to increase the number of specimens simultaneously processed without increasing the size of the equipment.

また、水素ガス封入部40及びリークテスト部50(水素ガス測定器)を上段コンベア30aで実施し、蓄積工程を下段コンベア30cで実施することにより、各工程を環状に接続する事で設備(気密性検査装置100)を小型化できる。尚、水素ガス封入部40及びリークテスト部50(水素ガス測定器)は作業者が関わるので、水素ガス封入部40及びリークテスト部50(水素ガス測定器)を上段コンベア30aに設ける上記の形態が好ましいが、その反対でもよい。即ち、水素ガス封入部40及びリークテスト部50(水素ガス測定器)を下段コンベア30cで実施し、蓄積工程を上段コンベア30aで実施することでもよい。   In addition, the hydrogen gas sealing part 40 and the leak test part 50 (hydrogen gas measuring device) are carried out by the upper conveyor 30a, and the accumulation process is carried out by the lower conveyor 30c. The property inspection apparatus 100) can be reduced in size. Since the hydrogen gas sealing unit 40 and the leak test unit 50 (hydrogen gas measuring device) involve an operator, the above-described embodiment in which the hydrogen gas sealing unit 40 and the leak test unit 50 (hydrogen gas measuring device) are provided in the upper conveyor 30a. Is preferred, but the opposite is also possible. That is, the hydrogen gas sealing unit 40 and the leak test unit 50 (hydrogen gas measuring device) may be performed by the lower conveyor 30c, and the accumulation process may be performed by the upper conveyor 30a.

また、密閉型圧縮機10の寸法が安定しているという特性を利用し、チャンバー20と密閉型圧縮機10との隙間23aの容積を所定値以下(例えば、2250cc以下)に制限することによって漏れ出した水素ガス濃度を高め、蓄積工程における蓄積時間の短縮を実現する事が出来る。   Further, by utilizing the characteristic that the dimension of the hermetic compressor 10 is stable, the volume of the gap 23a between the chamber 20 and the hermetic compressor 10 is limited to a predetermined value or less (for example, 2250 cc or less) to cause leakage. The concentration of the generated hydrogen gas can be increased, and the accumulation time in the accumulation process can be shortened.

また、チャンバー20の隙間23aの容積を2000cc以下とすることで、蓄積工程における蓄積時間を最短となり、より好ましい。   Further, by setting the volume of the gap 23a of the chamber 20 to 2000 cc or less, the accumulation time in the accumulation process is minimized, which is more preferable.

また、複数あるチャンバー20間の隙間23aの容積のバラツキを±10%以下とすることで、リークテスト工程の水素ガス測定器の検出精度を向上できる。   Moreover, the detection accuracy of the hydrogen gas measuring device in the leak test process can be improved by setting the variation in the volume of the gaps 23a between the plurality of chambers 20 to ± 10% or less.

また、水素ガス封入部40では、密閉型圧縮機10に約1.0MPaの水素混合ガスを封入することで、蓄積工程における安全性を確保し、リークテスト部50で密閉型圧縮機10内部を約1MPaから14MPa(気密試験で要求される圧力)までの追圧を乾燥エアで行うことにより、防爆構造はリークテスト部50のみでよいので、設備(気密性検査装置100)を小型にできる。また、乾燥エアで追圧を行うので、水素混合ガスで追圧する場合に比べ、安全性、コスト等において優れている。   In addition, in the hydrogen gas sealing unit 40, a hydrogen mixed gas of about 1.0 MPa is sealed in the hermetic compressor 10 to ensure safety in the accumulation process. By performing additional pressure from about 1 MPa to 14 MPa (pressure required in the air tightness test) with dry air, the explosion-proof structure may be only the leak test unit 50, so that the equipment (the airtightness inspection device 100) can be downsized. Further, since the additional pressure is performed with dry air, it is superior in safety, cost and the like as compared with the case of additional pressure with a hydrogen mixed gas.

10 密閉型圧縮機、10a 圧縮要素、10b 電動要素、11 吸入管、11a フランジ部、12 密閉容器、12a 上容器、12b 胴部、12c 下容器、13 キャップ部、14 キャップ部、15 吸入マフラー、16 吐出管、16a フランジ部、18 冷凍機油、20 チャンバー、21 本体部、22 蓋部、23 収納部、23a 隙間、24 トレイ、25 吸入側カプラ収納部、26 吐出側カプラ収納部、27a カプラ、27b カプラ、28a カプラ、28b カプラ、29 第1の接続通路、29a 第1の接続口、30 コンベア、30a 上段コンベア、30b リフタ、30c 下段コンベア、30d リフタ、31 第2の接続通路、31a 第2の接続口、40 水素ガス封入部、50 リークテスト部、51 ポンプ、52 水素ガスタンク、53 真空ポンプ、54〜56 バルブ、57 ポンプ、58 乾燥エアタンク、60〜62 バルブ、70 水素ガス検出部、70a 検出部、70b 検出部、71 ポンプ、71a 検出部、72 乾燥エアタンク、73〜75 バルブ、76 ポンプ、77 ディテクタ、77a 電極、77b 電極、78〜79 バルブ、81 誤検知濃度レベル、82 漏出水素ガス濃度、90 パッキン、100 気密性検査装置。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Sealing type compressor, 10a Compression element, 10b Electric element, 11 Suction pipe, 11a Flange part, 12 Sealed container, 12a Upper container, 12b Body part, 12c Lower container, 13 Cap part, 14 Cap part, 15 Inhalation muffler, 16 discharge pipe, 16a flange, 18 refrigerating machine oil, 20 chamber, 21 body, 22 lid, 23 storage, 23a clearance, 24 tray, 25 suction side coupler storage, 26 discharge side coupler storage, 27a coupler, 27b coupler, 28a coupler, 28b coupler, 29 first connection passage, 29a first connection port, 30 conveyor, 30a upper conveyor, 30b lifter, 30c lower conveyor, 30d lifter, 31 second connection passage, 31a second Connection port, 40 hydrogen gas filling section, 50 leak test section, 51 ports 52, hydrogen gas tank, 53 vacuum pump, 54-56 valve, 57 pump, 58 dry air tank, 60-62 valve, 70 hydrogen gas detector, 70a detector, 70b detector, 71 pump, 71a detector, 72 drying Air tank, 73 to 75 valve, 76 pump, 77 detector, 77a electrode, 77b electrode, 78 to 79 valve, 81 false detection concentration level, 82 leaked hydrogen gas concentration, 90 packing, 100 airtightness inspection device.

Claims (10)

上下方向に環状に形成される搬送装置と、
前記搬送装置に載置されて該搬送装置上を移動するとともに、内部に密閉容器を外部と連通することなく気密に収納する複数のチャンバーと、
前記チャンバー内で前記密閉容器の周囲に形成される隙間と、
前記搬送装置の所定の位置に設けられ、前記チャンバーに収納された前記密閉容器に、水素混合ガスを所定の第1の圧力で封入する水素混合ガス封入部と、
前記水素混合ガス封入部に続いて、前記搬送装置の所定の移動方向長さに亘って設けられ、前記隙間に前記水素混合ガスが堆積する水素混合ガス堆積部と、
前記水素混合ガス堆積部に続いて、前記搬送装置の所定の位置に設けられ、前記密閉容器に乾燥エアを、所定の気密試験圧力に相当する所定の第2の圧力になるように追圧するとともに、前記隙間に漏出する水素ガスを検出する水素ガス検出部とを備えたことを特徴とする気密性検査装置。
A transfer device formed in a ring shape in the vertical direction;
A plurality of chambers that are mounted on the transfer device and move on the transfer device, and in which a sealed container is housed in an airtight manner without communicating with the outside;
A gap formed around the sealed container in the chamber;
A hydrogen mixed gas sealing portion that is provided at a predetermined position of the transfer device and seals the hydrogen mixed gas at a predetermined first pressure in the sealed container housed in the chamber;
Following the hydrogen mixed gas enclosing unit, a hydrogen mixed gas depositing unit is provided over a predetermined moving direction length of the transfer device, and the hydrogen mixed gas is deposited in the gap,
Following the hydrogen mixed gas deposition section, provided at a predetermined position of the transfer device, the dry air is added to the sealed container to a predetermined second pressure corresponding to a predetermined airtight test pressure. An airtightness inspection apparatus comprising: a hydrogen gas detection unit that detects hydrogen gas leaking into the gap.
上下方向に環状に形成される搬送装置と、
前記搬送装置に載置されて該搬送装置上を移動するとともに、内部に密閉容器を外部と連通することなく気密に収納する複数のチャンバーと、
前記チャンバー内で前記密閉容器の周囲に形成される隙間と、
前記搬送装置の所定の位置に設けられ、前記チャンバーに収納された前記密閉容器に、水素混合ガスを所定の圧力で封入する水素混合ガス封入部と、
前記水素混合ガス封入部に続いて、前記搬送装置の所定の移動方向長さに亘って設けられ、前記隙間に前記水素混合ガスが堆積する水素混合ガス堆積部と、
前記水素混合ガス堆積部に続いて、前記搬送装置の所定の位置に設けられ、前記隙間に漏出する水素ガスを検出する水素ガス検出部と、を備えたことを特徴とする気密性検査装置。
A transfer device formed in a ring shape in the vertical direction;
A plurality of chambers that are mounted on the transfer device and move on the transfer device, and in which a sealed container is housed in an airtight manner without communicating with the outside;
A gap formed around the sealed container in the chamber;
A hydrogen mixed gas sealing portion that is provided at a predetermined position of the transfer device and seals the hydrogen mixed gas at a predetermined pressure in the sealed container housed in the chamber;
Following the hydrogen mixed gas enclosing unit, a hydrogen mixed gas depositing unit is provided over a predetermined moving direction length of the transfer device, and the hydrogen mixed gas is deposited in the gap,
An airtightness inspection apparatus comprising: a hydrogen gas detection unit that is provided at a predetermined position of the transfer device and detects hydrogen gas leaking into the gap, following the hydrogen mixed gas deposition unit.
前記搬送装置は、複数の前記チャンバーを載せて移動するコンベアであり、
前記コンベアは、以下の要素で構成されることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の気密性検査装置,
(1)水平方向に移動する上段コンベア;
(2)前記上段コンベアの一方の端から、上下方向に移動し、下段コンベアの一方の端に接続する第1のリフタ;
(3)前記上段コンベアとは反対方向の水平方向に移動する下段コンベア;
(4)前記下段コンベアの他方の端から上下方向に移動し、前記上段コンベアの他方の端に接続する第2のリフタ。
The transfer device is a conveyor that moves by placing a plurality of the chambers,
The said conveyor is comprised by the following elements, The airtightness inspection apparatus of Claim 1 or Claim 2,
(1) An upper conveyor that moves in the horizontal direction;
(2) a first lifter that moves up and down from one end of the upper conveyor and connects to one end of the lower conveyor;
(3) A lower conveyor that moves in a horizontal direction opposite to the upper conveyor;
(4) A second lifter that moves in the vertical direction from the other end of the lower conveyor and is connected to the other end of the upper conveyor.
前記隙間の容積を所定値以下に規制したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の気密性検査装置。   The airtightness inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein a volume of the gap is restricted to a predetermined value or less. 前記隙間の容積を、2000cc以下としたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の気密性検査装置。   The airtightness inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the gap has a volume of 2000 cc or less. 前記複数のチャンバーにおける前記隙間の容積のバラツキを±10%以内にしたことを特徴とする請求項5記載の気密性検査装置。   6. The airtightness inspection apparatus according to claim 5, wherein variation in volume of the gap in the plurality of chambers is within ± 10%. 前記水素混合ガス封入部及び前記水素ガス検出部を、前記上段コンベアに設けたことを特徴とする請求項3記載の気密性検査装置。   4. The airtightness inspection apparatus according to claim 3, wherein the hydrogen mixed gas sealing part and the hydrogen gas detection part are provided on the upper conveyor. 前記水素混合ガス堆積部を、前記下段コンベアに設けたことを特徴とする請求項7記載の気密性検査装置。   8. The airtightness inspection apparatus according to claim 7, wherein the hydrogen mixed gas accumulation part is provided on the lower conveyor. 前記第1の圧力と前記第2の圧力との比を、1:14程度とすることを特徴とする請求項1記載の気密性検査装置。   2. The airtightness inspection apparatus according to claim 1, wherein a ratio between the first pressure and the second pressure is about 1:14. 前記水素混合ガスに、水素(H)が5%、窒素(N)が95%の不活性ガスを用いることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の気密性検査装置。 The gas tightness inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein an inert gas containing 5% hydrogen (H 2 ) and 95% nitrogen (N 2 ) is used as the hydrogen mixed gas.
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