JP2011220972A - 電磁超音波センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面状の磁極を有する磁石11と、磁極の表面に第1の絶縁材12を介して設けられ、平行に配置された直線部13及び直線部13の両端を交互に連結する折り返し部14を備えた第1の蛇行コイル15とを有する電磁超音波センサ10において、第1の蛇行コイル15の表側に第2の絶縁材16を介して配置され、平行に配置された直線部17及び直線部17の両端を交互に連結する折り返し部18を有する第2の蛇行コイル19を設け、しかも、平面視して第1の蛇行コイル15の直線部13の間に、第2の蛇行コイル19の直線部17を位置させ、第1、第2の蛇行コイル15、19にそれぞれ流す交流電流の一方の位相を他方の位相に対して70〜110度ずらして送信センサとして使用する。
【選択図】図1
Description
前記第1の蛇行コイルの表側に第2の絶縁材を介して配置され、平行に配置された直線部及び該直線部の両端を交互に連結する折り返し部を有する第2の蛇行コイルを設け、しかも、平面視して前記第1の蛇行コイルの直線部の間に、前記第2の蛇行コイルの直線部を位置させている。
そして、前記第1、第2の蛇行コイルにそれぞれ流す交流電流の一方の位相を、他方の位相に対して70〜110度ずらして送信センサとして使用することができる。
図1、図2(A)〜(C)に示すように、本発明の一実施の形態に係る電磁超音波センサ10は、平面状の磁極を有する磁石11と、磁極(図1ではS極)の表面に第1の絶縁材の一例である耐熱性樹脂シート12(例えば、厚みが0.03〜0.08mmのポリイミドシート)を介して設けられ、平行に配置された直線部13及び直線部13の両端を交互に連結する折り返し部14を備えた第1の蛇行コイル15とを有している。更に、電磁超音波センサ10には、第1の蛇行コイル15の表側に第2の絶縁材の一例である耐熱性樹脂シート16(例えば、厚みが0.03〜0.08mmのポリイミドシート)を介して配置され、平行に配置された直線部17及び直線部17の両端を交互に連結する折り返し部18を有する第2の蛇行コイル19を設け、しかも、平面視して第1の蛇行コイル15の直線部13の間に、第2の蛇行コイル19の直線部17を位置させている。そして、電磁超音波センサ10では、第1、第2の蛇行コイル15、19にそれぞれ流す交流電流の一方の位相を他方の位相に対して70〜110度、例えば、90度ずらして送信センサとして使用している。以下、詳細に説明する。
例えば、本発明の電磁超音波センサにおいて、第1、第2の蛇行コイルにそれぞれ流す交流電流の位相を一致させて送信センサとして使用することができる。なお、送信センサとして使用する場合は、複数の電磁超音波センサを用いて、ガイドウェーブを一方側のみに伝搬させる必要がある。
また、本発明の電磁超音波センサを、受信センサとして使用することもできる。この場合、電流密度を高くできるので、従来の電磁超音波センサと比較して受信感度が高くなって、正確な検査を行うことができる。
Claims (4)
- 平面状の磁極を有する磁石と、前記磁極の表面に第1の絶縁材を介して設けられ、平行に配置された直線部及び該直線部の両端を交互に連結する折り返し部を備えた第1の蛇行コイルとを有する電磁超音波センサにおいて、
前記第1の蛇行コイルの表側に第2の絶縁材を介して配置され、平行に配置された直線部及び該直線部の両端を交互に連結する折り返し部を有する第2の蛇行コイルを設け、しかも、平面視して前記第1の蛇行コイルの直線部の間に、前記第2の蛇行コイルの直線部を位置させたことを特徴とする電磁超音波センサ。 - 請求項1記載の電磁超音波センサにおいて、前記第1、第2の蛇行コイルにそれぞれ流す交流電流の一方の位相を、他方の位相に対して70〜110度ずらして送信センサとして使用することを特徴とする電磁超音波センサ。
- 請求項1又は2記載の電磁超音波センサにおいて、前記第2の絶縁材は絶縁基板であって、前記第1、第2の蛇行コイルは、それぞれ前記絶縁基板の表裏にプリント配線されていることを特徴とする電磁超音波センサ。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の電磁超音波センサにおいて、前記第1、第2の絶縁材は、セラミックシート又は耐熱性樹脂シートであることを特徴とする電磁超音波センサ。
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