JP2011218416A - Soldering device and movable partitioning member structure - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To freely adjust the hanging distance of a labyrinth section in accordance with the attachment height of an electronic component by engineering the structure of the labyrinth section hanging down on the side of a heat treatment unit, a cooling unit, etc.SOLUTION: The soldering device includes a plurality of covers 31 that seal the top of a heat treatment unit that heat-treats a substrate. Each cover 31 has a movable partitioning member mechanism 40 that includes: a main housing 301 that has a plurality of slits 41 on one side and long hole sections 42a to 42d on the other side; the labyrinth section 43, one end of which is threaded through the slits 41, which hangs down on the side where the heat treatment unit is; a sliding substrate 44, to which the other ends of the labyrinth section 43 are attached, which is installed inside the main housing 301 and engages so as to be able to slide in the substrate transport direction of the main housing 301; and affixing members 45a and 45b that affix the sliding substrate 44 to the main housing 301 via the long hole sections 42a and 42d.

Description

本発明は、はんだ処理雰囲気を画定するラビリンス機構を備えた電子部品表面実装用のはんだリフロー装置や、電子部品ピン挿入実装用の噴流はんだ付け装置に適用可能なはんだ付け装置及び仕切部材可動構造に関するものである。   The present invention relates to a solder reflow device for surface mounting of electronic components having a labyrinth mechanism for defining a soldering atmosphere, a soldering device applicable to a jet soldering device for inserting and mounting electronic component pins, and a partition member movable structure. Is.

従来から、プリント基板への電子部品のはんだ付けには、はんだリフロー装置や噴流はんだ付け装置が使用される場合が多い。噴流はんだ付け装置によれば、フラクサーや、プリヒーター、噴流はんだ槽、冷却機等を所定の位置に配設されて構成されている。この噴流はんだ付け装置で、プリント基板に電子部品をはんだ付けする場合に、プリント基板の裏面全面にフラクサーでフラックスを塗布し、その後、プリヒーターでプリント基板を予備加熱し、噴流はんだ槽でプリント基板と電子部品とをはんだ付けし、冷却機でプリント基板を冷却することにより、はんだ付け工程を完了する。   Conventionally, a solder reflow device or a jet soldering device is often used for soldering an electronic component to a printed circuit board. According to the jet soldering apparatus, a fluxer, a pre-heater, a jet solder tank, a cooler, and the like are arranged at predetermined positions. When soldering electronic components to a printed circuit board with this jet soldering device, flux is applied to the entire back surface of the printed circuit board with a fluxer, and then the printed circuit board is preheated with a preheater, and the printed circuit board is used with a jet solder bath. And the electronic component are soldered, and the printed circuit board is cooled by a cooler to complete the soldering process.

この種の噴流はんだ装置に関連して、特許文献1には、はんだ付け装置が開示されている。このはんだ付け装置によれば、搬送手段、トンネル状のチャンバ体、不活性ガス供給手段、溶融はんだ供給手段、冷却手段及び、プリント基板の急冷手段を備えている。搬送手段は、プリント配線板をチャンバ体へ向けて搬送する。チャンバ体は搬送手段に沿って設けられ、不活性ガス供給手段は、チャンバ体内に不活性ガスを供給する。   In relation to this type of jet soldering apparatus, Patent Document 1 discloses a soldering apparatus. According to this soldering apparatus, a transport means, a tunnel-like chamber body, an inert gas supply means, a molten solder supply means, a cooling means, and a printed circuit board rapid cooling means are provided. The conveying means conveys the printed wiring board toward the chamber body. The chamber body is provided along the transfer means, and the inert gas supply means supplies an inert gas into the chamber body.

溶融はんだ供給手段は、チャンバ体内に搬送されるプリント配線板の被はんだ付け面側の被はんだ付け部に溶融はんだを供給する。冷却手段は、チャンバ体外の大気を取り入れて冷却し冷風を発生する。   The molten solder supply means supplies the molten solder to a soldered portion on the soldered surface side of the printed wiring board conveyed into the chamber body. The cooling means takes in the air outside the chamber body and cools it to generate cold air.

プリント配線板の急冷手段は、冷風供給手段、冷風口筐、排熱口筐及び奪熱口筐体を有して構成される。冷風供給手段は、冷却手段で冷却された冷風の送風流量を調節可能な送風手段から構成される。冷風口筐は、冷風供給手段から供給された冷風をその送風口から溶融はんだが供給されたプリント基板に向けて吹き出すように動作する。排熱口筐は、冷風がプリント配線板を冷却して熱せられた熱風を集めて排風口から排出するように動作する。奪熱口筐体は、排熱口筐の排風口を冷風口筐の送風口の側周を囲んで構成され、奪熱口が形成される。急冷手段は排風手段を有しており、排風手段が、奪熱口筐体からチャンバ体外の大気中へ排風放出する排風流量を調節するようになされる。   The rapid cooling means for the printed wiring board includes a cold air supply means, a cold air port housing, a heat exhaust port housing, and a heat removal port housing. The cold air supply means is composed of air blowing means capable of adjusting the flow rate of the cold air cooled by the cooling means. The cold air outlet casing operates to blow out the cold air supplied from the cold air supply means toward the printed circuit board supplied with the molten solder from the air outlet. The heat exhaust port casing operates so that the cold air cools the printed wiring board and collects the hot air heated to be discharged from the air exhaust port. The heat removal port housing is configured such that the air exhaust port of the heat exhaust port housing surrounds the side periphery of the air blowing port of the cold air port housing, and the heat removal port is formed. The quenching means has an air exhaust means, and the air exhaust means adjusts the exhaust air flow rate that exhausts the exhaust air from the heat sink housing to the atmosphere outside the chamber body.

これを前提にして、奪熱口筐体の奪熱口が、溶融はんだ供給手段の直近後段側のチャンバ体内に、プリント配線板の被はんだ付け面側に面して設けたものである。このようにはんだ付け装置を構成すると、プリント基板の被はんだ付け部に供給された溶融はんだが完全に固化しないうちに急速に冷却できるようになる。低酸素濃度の不活性ガス雰囲気の流動状態や酸素濃度等を安定に維持したまま大気により優れた冷却効率で冷却できるというものである。   On the premise of this, the heat-dissipating port of the heat-dissipating port housing is provided in the chamber body immediately behind the molten solder supply means so as to face the soldered surface side of the printed wiring board. When the soldering apparatus is configured in this manner, the molten solder supplied to the soldered portion of the printed circuit board can be rapidly cooled before it is completely solidified. The air can be cooled with excellent cooling efficiency while maintaining the flow state and oxygen concentration of the inert gas atmosphere having a low oxygen concentration stably.

また、この種のはんだ付け装置において、大気と、熱処理領域や、冷却処理領域等を画定(区分け)したり、熱処理領域と冷却処理領域とを区分けするラビリンス(labyrinth)と呼ばれる仕切部材や抑止部材等が使用される場合が多い。ラビリンスに関連して特許文献2には、はんだ付け装置が開示されている。はんだ付け装置によれば、搬送手段、チャンバ及び溶融はんだ供給手段の他に冷却器を備えている。更に、チャンバの出入り口にラビリンス部を形成する抑止板が設けられる。チャンバ内にプリント基板を搬送しながら、はんだ付けを行う場合に、取付位置の変更と着脱が自在に可能な冷却器がチャンバに隣接して設けられ、はんだ付け工程を終えたプリント基板が通過するチャンバを冷却する。これを前提にして、冷却器がチャンバ及び抑止板を併せて冷却するようにした。このようにはんだ付け装置を構成すると、ラビリンス流路を形成する部分の雰囲気を冷却することにより、プリント基板を効率良く冷却できるというものである。   Further, in this type of soldering apparatus, a partition member or deterrent member called a labyrinth that delimits (divides) the atmosphere, a heat treatment region, a cooling treatment region, etc., and separates the heat treatment region from the cooling treatment region. Etc. are often used. In relation to the labyrinth, Patent Document 2 discloses a soldering apparatus. According to the soldering apparatus, a cooler is provided in addition to the conveying means, the chamber, and the molten solder supply means. Further, a deterrent plate that forms a labyrinth portion is provided at the entrance of the chamber. When performing soldering while transporting the printed circuit board into the chamber, a cooler that can be freely changed and attached / detached is provided adjacent to the chamber, and the printed circuit board that has completed the soldering process passes. Cool the chamber. Based on this assumption, the cooler cools the chamber and the restraining plate together. When the soldering apparatus is configured as described above, the printed circuit board can be efficiently cooled by cooling the atmosphere of the portion forming the labyrinth flow path.

更に、ラビリンスに関連して特許文献3には自動はんだ付け装置が開示されている。この自動はんだ付け装置によれば、低酸素濃度の不活性ガス雰囲気下ではんだ付けを行うために、上述したような搬送手段、プリヒーター、チャンバー、噴流はんだ槽及び冷却装置の他に、プリント基板を出し入れする部分以外からは、不活性ガスや空気等が流出入できないようにシール部材が備えられる。シール部材は、入口側ラビリンス用テープ及び出口側ラビリンス用テープから構成される。入口側ラビリンス用テープは、プリヒーター側に多数吊設され、出口側ラビリンス用テープは、冷却装置側に多数吊設される。   Further, Patent Document 3 discloses an automatic soldering apparatus related to labyrinth. According to this automatic soldering apparatus, in order to perform soldering in an inert gas atmosphere with a low oxygen concentration, in addition to the conveying means, the preheater, the chamber, the jet solder tank, and the cooling device as described above, a printed circuit board is used. A seal member is provided so that an inert gas, air, etc. cannot flow in and out from a portion other than the portion where the gas is taken in and out. The seal member includes an inlet side labyrinth tape and an outlet side labyrinth tape. Many inlet side labyrinth tapes are suspended from the pre-heater side, and many outlet side labyrinth tapes are suspended from the cooling device side.

冷却装置は出口側ラビリンス用テープの噴流はんだ槽付近に設けられる。冷却装置には吹き出し口が設置され、この吹き出し口から低温の不活性ガスをプリント基板のはんだ付け面に吹き付けるようになされる。排気装置は入口側ラビリンス用テープ側に設置される。これを前提にして、排気装置がチャンバー内に流入した不活性ガスを吸引するようにした。   The cooling device is provided in the vicinity of the jet solder bath of the outlet side labyrinth tape. The cooling device is provided with a blow-out port, and a low-temperature inert gas is blown from the blow-out port onto the soldering surface of the printed circuit board. The exhaust device is installed on the inlet side labyrinth tape side. On the premise of this, the exhaust device sucks the inert gas flowing into the chamber.

このように自動はんだ付け装置を構成すると、はんだ付けした直後のプリント基板のはんだ付け面を低温の不活性ガスで急冷できるので、搬送による振動や衝撃が加わってもヒビ割れやクラックの発生を防止できるというものである。   By configuring the automatic soldering device in this way, the soldered surface of the printed circuit board immediately after soldering can be rapidly cooled with a low-temperature inert gas, preventing cracks and cracks from being generated even if vibration or impact is applied during transportation. It can be done.

また、特許文献4にはリフロー炉が開示されている。このリフロー炉によれば、不活性ガスを流入させて炉内を不活性雰囲気にする場合に、2以上の区画室が基板搬送方向に備えられる。区画室の各々は、リフロー炉の出入口に空気侵入防止ゾーンが設置されるとともに、空気侵入防止ゾーンが気体の流動を妨げ、可撓性のある耐熱性樹脂片または金属片である抵抗体で区画されている。このように炉を構成すると、空気の侵入を防ぐことができるため、シャッターを用いたリフロー炉よりも使用が容易であるばかりでなく、リフロー炉内に供給する窒素量も従来例に比べて少なくて済むというものである。   Patent Document 4 discloses a reflow furnace. According to this reflow furnace, two or more compartments are provided in the substrate transport direction when an inert gas is introduced to create an inert atmosphere in the furnace. Each of the compartments is provided with an air intrusion prevention zone at the entrance and exit of the reflow furnace, and the air intrusion prevention zone blocks the flow of gas and is partitioned by a resistor that is a flexible heat-resistant resin piece or metal piece. Has been. By configuring the furnace in this way, air can be prevented from entering, so that it is not only easier to use than a reflow furnace using a shutter, but also the amount of nitrogen supplied into the reflow furnace is smaller than in the conventional example. That's all you need.

更に、ラビリンスの高さ調整機構に関連して、特許文献5にはリフロー炉が開示されている。このリフロー炉によれば、ラビリンス取付体及び上下動手段を備え、ラビリンス取付体には抵抗体(ラビリンス)が取り付けられ、上下動手段は、長ネジが回動することにより、ラビリンス取付体を基板搬送方向と直交する垂直方向に上下動するようになされる。   Furthermore, in relation to the height adjustment mechanism of the labyrinth, Patent Document 5 discloses a reflow furnace. According to this reflow furnace, the labyrinth mounting body and the vertical movement means are provided, and a resistance body (labyrinth) is attached to the labyrinth mounting body. It moves up and down in the vertical direction perpendicular to the transport direction.

このように高さ調整機構を構成すると、抵抗体が電子部品全体に接して外気を侵入させない位置であって、高さの高い電子部品に対して位置ずれを起こさない部分で接する最適の位置にラビリンス取付体を維持できるというものである。   When the height adjustment mechanism is configured in this way, the resistor is in a position where it does not contact the entire electronic component and does not allow outside air to enter, and is in an optimal position where it does not cause a positional shift with respect to the high-level electronic component. The labyrinth mounting body can be maintained.

また、ラビリンスの高さ調整機構に関連して、特許文献6には半田付け用加熱炉が開示されている。この半田付け用加熱炉によれば、加熱室、上部シール板ユニット、下部シール板ユニット、位置調節機構及び一対の遮蔽板を備える。上部シール板ユニットは、加熱室の入口通路および出口通路の上面壁とコンベアとの間に設置され、コンベア走行方向に所定の間隔をおいて設けた多数のシール板をそれらの上端側に設けた上面板と一体化してなる。   Further, in relation to the labyrinth height adjusting mechanism, Patent Document 6 discloses a heating furnace for soldering. The soldering heating furnace includes a heating chamber, an upper seal plate unit, a lower seal plate unit, a position adjusting mechanism, and a pair of shielding plates. The upper seal plate unit is installed between the upper wall of the inlet passage and the outlet passage of the heating chamber and the conveyor, and a large number of seal plates provided at predetermined intervals in the conveyor running direction are provided on the upper end side thereof. Integrated with the top plate.

下部シール板ユニットは、加熱室の入口通路および出口通路の下面壁とコンベアとの間に設置され、コンベア走行方向に所定の間隔をおいて設けた多数のシール板をそれらの下端側に設けた下面板と一体化してなる。   The lower seal plate unit is installed between the lower wall of the entrance passage and the exit passage of the heating chamber and the conveyor, and a plurality of seal plates provided at predetermined intervals in the conveyor running direction are provided on the lower end side thereof. It is integrated with the bottom plate.

位置調節機構は位置調節ネジを有し、上部シール板ユニットおよび下部シール板ユニットの上下方向に移動するように位置を調節する。これを前提にして、一方の遮蔽板は加熱室の入口通路および出口通路において、上部シール板ユニットに沿って加熱室の壁面に取り付けられ、他方の遮蔽板は、下部シール板ユニットに沿って加熱室の壁面に取り付けられる。   The position adjusting mechanism has a position adjusting screw, and adjusts the position so as to move in the vertical direction of the upper seal plate unit and the lower seal plate unit. Assuming this, one shield plate is attached to the wall surface of the heating chamber along the upper seal plate unit in the inlet passage and outlet passage of the heating chamber, and the other shield plate is heated along the lower seal plate unit. It is attached to the wall of the room.

このように位置調節機構を構成すると、一方の遮蔽板によって、入口通路および出口通路の上面壁と上部シール板ユニットの上面板との間にガスが流通するのを阻止できるようになる。他方の遮蔽板によって、入口通路および出口通路の下面壁と下部シール板ユニットの下面板との間にガスが流通するのを阻止できるようになるというものである。   When the position adjusting mechanism is configured in this way, the one shielding plate can prevent gas from flowing between the upper surface walls of the inlet passage and the outlet passage and the upper surface plate of the upper seal plate unit. The other shielding plate can prevent the gas from flowing between the lower surface walls of the inlet passage and the outlet passage and the lower surface plate of the lower seal plate unit.

更に、ラビリンスの高さ調整機構に関連して、特許文献7にはリフロー炉が開示されている。このリフロー炉によれば、トンネル内にヒーターと冷却機が設置され、当該トンネルの出入口にガスシール装置を備えている。ガスシール装置には上下動装置が取り付けられる。これを前提にして、上下動装置はコンピューター制御されるモーターを有し、このモーター駆動により、抵抗体(ラビリンス)と取り付けたラビリンス取付体を基板搬送方向と直交する垂直方向に上下動するようになされる。   Further, in relation to the labyrinth height adjusting mechanism, Patent Document 7 discloses a reflow furnace. According to this reflow furnace, a heater and a cooler are installed in the tunnel, and a gas seal device is provided at the entrance and exit of the tunnel. A vertical movement device is attached to the gas seal device. Based on this premise, the vertical movement device has a computer-controlled motor, and by driving this motor, the labyrinth mounting body attached to the resistor (labyrinth) is moved up and down in the vertical direction perpendicular to the substrate transport direction. Made.

このようにガスシール装置を構成すると、抵抗体が電子部品全体に接して外気を侵入させない位置であって、高さの高い電子部品に対して位置ずれを起こさない部分で接する最適の位置にラビリンス取付体を維持できるというものである。   When the gas seal device is configured in this way, the labyrinth is in an optimal position where the resistor contacts the entire electronic component and does not allow outside air to enter, and does not cause a positional shift with respect to the electronic component having a high height. The attachment body can be maintained.

特開2001−044611号公報(第5頁 図1)JP 2001-044611 A (page 5 FIG. 1) 特開平07−202405号公報(第5頁 図6)Japanese Patent Laid-Open No. 07-202405 (page 5 FIG. 6) 特開2009−038401号公報(第6頁 図1)Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-038401 (FIG. 1 on page 6) 実公平07−053807号公報(第3頁 図2)No. 07-053807 (page 3 on page 3) 特開2006−185983号公報(第6頁 図1)Japanese Patent Laying-Open No. 2006-185983 (FIG. 1 on page 6) 特開平05−305429号公報(第3頁 図1)JP 05-305429 A (page 3 FIG. 1) 特開2004−181483号公報(第4頁 図2)Japanese Patent Laying-Open No. 2004-181383 (FIG. 2 on page 4)

ところで、従来例に係るはんだ付け装置や、リフロー装置等によれば、特許文献1〜3に見られるように、ラビリンス部がチャンバー内部の上部側から吊設され、その上部において固定する機構が採られている。   By the way, according to the soldering device and the reflow device according to the conventional example, as seen in Patent Documents 1 to 3, the labyrinth portion is suspended from the upper side inside the chamber, and a mechanism for fixing at the upper portion is adopted. It has been.

一方、プリント基板に実装されるコネクターなどの電子部品は、従来から、サイズが大きいものが多かった。近年では、電子機器の小型化の要請から、挿入型の電子部品も小さいサイズのものが製造されてきている。電子機器を構成する電子部品の高さも、当該電子機器によって相違する場合が多い。   On the other hand, electronic components such as connectors mounted on a printed circuit board have conventionally been large in size. In recent years, due to the demand for miniaturization of electronic devices, insert-type electronic components have also been manufactured in small sizes. In many cases, the heights of the electronic components constituting the electronic device also differ depending on the electronic device.

一般に、はんだ付け処理は、ロット単位に数枚から数百枚単位で実施される。そのため、ロット単位毎に電子部品の高さに合わせてラビリンス部の垂れ下がり長さを調整する必要がある。この問題を解決するために、特許文献4〜7にはラビリンス部の高さ調整機構を備えた半田付け用加熱炉や、リフロー装置等が開示されている。   In general, the soldering process is performed in units of several to several hundreds per lot. Therefore, it is necessary to adjust the hanging length of the labyrinth part according to the height of the electronic component for each lot. In order to solve this problem, Patent Documents 4 to 7 disclose a soldering furnace equipped with a height adjusting mechanism for a labyrinth part, a reflow device, and the like.

この種の半田付け用加熱炉や、リフロー装置等に適用されるラビリンス部の高さ調整機構によれば、ラビリンス部を取り付けたラビリンス取付体自体を基板搬送方向と直交する垂直方向に上下動する方法が採られている。このため、ラビリンス取付体を上下動する可動範囲(スペース)を当該装置内部の垂直方向に確保しなくてはならず、装置が大型化したり、その駆動機構が複雑になるという問題がある。   According to the height adjustment mechanism of the labyrinth portion applied to this type of soldering heating furnace, a reflow apparatus, etc., the labyrinth mounting body itself with the labyrinth portion is moved up and down in the vertical direction perpendicular to the substrate transport direction. The method is taken. For this reason, a movable range (space) for moving the labyrinth mounting body up and down must be ensured in the vertical direction inside the apparatus, and there is a problem that the apparatus becomes large and its drive mechanism becomes complicated.

そこで、本発明はこのような課題を解決したものであって、熱処理部や冷却処理部等へ垂れ下がる仕切部材を工夫して、電子部品の取り付け高さに対応して、仕切部材の垂れ下がり長さを自在に調整できるようにしたはんだ付け装置及び仕切部材可動構造を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention solves such problems, and devise a partition member that hangs down to a heat treatment section, a cooling processing section, etc., and hangs down the partition member according to the mounting height of the electronic component. It is an object of the present invention to provide a soldering apparatus and a partition member movable structure that can adjust freely.

上述の課題を解決するために、請求項1に記載のはんだ付け装置は、電子部品を搭載した基板を熱処理することによって、前記基板に電子部品をはんだ付けし、はんだ付け後の前記基板を冷却するはんだ付け装置において、上部に開口部を有して前記基板を熱処理する熱処理部と、前記熱処理部の開口部を塞ぐ蓋体とを備え、前記蓋体は、一方の面側に複数のスリットを有し、かつ、他方の面側に長孔部を有した筺体構造の本体部と、一端が前記本体部のスリットに通されて前記処理部側に垂れ下がる仕切部材と、前記仕切部材の各々の他端が取り付けられると共に、前記本体部内に組み込まれ、当該本体部の基板搬送方向に対して摺動自在に係合される摺動基板と、前記本体部の長孔部を介して前記摺動基板を当該本体部に固定する固定部とを含む仕切部材可動構造を有することを特徴とするものである。   In order to solve the above-mentioned problem, the soldering apparatus according to claim 1 is configured to heat-treat a substrate on which the electronic component is mounted, to thereby solder the electronic component to the substrate, and to cool the substrate after the soldering. The soldering apparatus includes: a heat treatment portion that has an opening in the upper portion and heat-treats the substrate; and a lid that closes the opening of the heat treatment portion, and the lid includes a plurality of slits on one surface side. Each of the partition members, and a partition member that has an elongated hole portion on the other surface side, a partition member that has one end passed through a slit of the body portion and hangs down to the processing unit side, and The other end of the main body is mounted in the main body, and is slidably engaged with the main body in the substrate transport direction. Fixing part for fixing the moving substrate to the main body It is characterized in that it has a partition member movable structure including.

請求項1に係るはんだ付け装置によれば、蓋体の筺体構造の本体部は、一方の面側に複数のスリットを有し、かつ、他方の面側に長孔部を有している。仕切部材は、一端が本体部のスリットに通されて熱処理部側に垂れ下がっている。これを前提にして、電子部品を取り付けた基板を熱処理し、熱処理後の基板に電子部品をはんだ付けし、はんだ付け後の基板を冷却する場合であって、上部に開口部を有した熱処理部側へ垂れ下げる仕切部材を電子部品に対応して可動する場合に、固定部を緩めると、本体部の長孔部を介して固定されている摺動基板であって、仕切部材の各々の他端が取り付けられると共に本体部内に組み込まれた摺動基板が、当該本体部の基板搬送方向に対して摺動自在に係合されるようになる。   According to the soldering apparatus of the first aspect, the main body portion of the lid casing structure has a plurality of slits on one surface side, and has a long hole portion on the other surface side. One end of the partition member is passed through the slit of the main body part and hangs down to the heat treatment part side. Based on this assumption, a heat treatment part having an opening in the upper part thereof is a case where the board on which the electronic component is mounted is heat-treated, the electronic part is soldered to the heat-treated board, and the soldered board is cooled. When the partition member that hangs down to the side is movable corresponding to the electronic component, loosening the fixing portion is a sliding substrate that is fixed through the elongated hole portion of the main body, and each of the partition members An end is attached, and the sliding substrate incorporated in the main body is slidably engaged with the substrate transport direction of the main body.

従って、長孔部によって規制される範囲内で摺動基板を移動すると、本体部のスリットから熱処理部側に垂れ下がる仕切部材の長さを自在に調整できるようになる。   Therefore, when the sliding substrate is moved within the range regulated by the long hole portion, the length of the partition member hanging from the slit of the main body portion to the heat treatment portion side can be freely adjusted.

請求項2に記載のはんだ付け装置は、請求項1において、少なくとも、前記本体部の長孔部を覆う幅及び長さを有した所定形状の梗塞座部材を備え、前記固定部は、前記梗塞座部材を介して前記摺動基板を本体部に固定することを特徴とするものである。   The soldering device according to claim 2 is provided with an infarct seat member having a predetermined shape having a width and a length covering at least a long hole portion of the main body portion according to claim 1, and the fixing portion includes the infarction member. The sliding substrate is fixed to the main body through a seat member.

請求項3に記載のはんだ付け装置は、請求項2において、前記梗塞座部材には、所定の形状を有した指標部が設けられ、前記本体部には、前記指標部の一端が差し示す位置にスケール部を有し、前記スケール部には、前記仕切部の露出長さを読み取り可能な目盛りが設けられることを特徴とするものである。   The soldering apparatus according to claim 3 is the position according to claim 2, wherein the infarct seat member is provided with an index portion having a predetermined shape, and one end of the index portion is indicated on the main body portion. The scale portion is provided with a scale capable of reading the exposed length of the partition portion.

請求項4に記載のはんだ付け装置は、請求項1において、前記仕切部材可動構造を有する蓋体が、少なくとも、前記電子部品を取り付けた基板を予備加熱処理する熱処理部の搬入口付近と、予備加熱処理後の前記基板に電子部品をはんだ付けする処理部の搬入口付近と、はんだ付け後の前記基板を冷却する冷却処理部の搬入口付近と、冷却処理後の前記基板を排出する排出口に設けられることを特徴とするものである。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the soldering apparatus according to the first aspect, wherein the lid having the partition member movable structure includes at least a vicinity of a carry-in entrance of a heat treatment unit that performs a preheating treatment on the substrate on which the electronic component is attached. Near the inlet of the processing unit for soldering the electronic component to the substrate after the heat treatment, near the inlet of the cooling processing unit for cooling the substrate after the soldering, and an outlet for discharging the substrate after the cooling process It is provided in this.

請求項5に記載の仕切部材可動構造は、上部に開口部を有した処理容器側へ垂れ下がる仕切部材を可動する仕切部材可動構造において、一方の面側に複数のスリットを有し、かつ、他方の面側に長孔部を有した筺体構造の本体部と、一端が前記本体部のスリットに通されて前記処理部側に垂れ下がる仕切部材と、前記仕切部材の各々の他端が取り付けられると共に、前記本体部内に組み込まれ、当該本体部に対して摺動自在に係合される摺動基板と、前記本体部の長孔部を介して前記摺動基板を当該本体部に固定する固定部とを備えることを特徴とするものである。   The partition member movable structure according to claim 5 is a partition member movable structure that moves a partition member that hangs down to a processing container side having an opening at an upper portion thereof, and has a plurality of slits on one surface side, and the other A main body part having a long hole part on the surface side, a partition member whose one end is passed through the slit of the main body part and hangs down to the processing part side, and the other end of each of the partition members is attached. A sliding board incorporated in the main body part and slidably engaged with the main body part, and a fixing part for fixing the sliding board to the main body part through an elongated hole part of the main body part Are provided.

請求項5に記載の仕切部材可動構造によれば、筺体構造の本体部は、一方の面側に複数のスリットを有し、かつ、他方の面側に長孔部を有している。仕切部材は、一端が本体部のスリットに通されて処理部側に垂れ下がる。これを前提にして、上部に開口部を有した処理容器から垂れ下がる仕切部材を可動する場合に、固定部を緩めると、本体部の長孔部を介して固定されている摺動基板であって、仕切部材の各々の他端が取り付けられると共に本体部内に組み込まれた摺動基板が、当該本体部に対して摺動自在に係合されるようになる。従って、長孔部によって規制される範囲内で摺動基板を移動すると、本体部のスリットから処理容器側に垂れ下がる仕切部材の長さを自在に調整できるようになる。   According to the partition member movable structure of the fifth aspect, the main body portion of the housing structure has a plurality of slits on one surface side and has a long hole portion on the other surface side. One end of the partition member is passed through the slit of the main body part and hangs down to the processing part side. Based on this assumption, when moving the partition member hanging from the processing container having an opening in the upper part, when the fixing part is loosened, the sliding substrate is fixed through the long hole part of the main body part. The other end of each of the partition members is attached and the sliding board incorporated in the main body is slidably engaged with the main body. Therefore, when the sliding substrate is moved within the range regulated by the long hole portion, the length of the partition member hanging from the slit of the main body portion to the processing container side can be freely adjusted.

本発明に係るはんだ付け装置によれば、熱処理部上を覆う蓋体を備え、この蓋体は、一端が本体部のスリットに通されて処理部側に垂れ下がる仕切部材の各々の他端が取り付けられると共に、本体部内に組み込まれ、当該本体部の基板搬送方向に対して摺動自在に係合される摺動基板を備えるものである。   According to the soldering apparatus of the present invention, the lid includes a cover that covers the heat treatment part, and the cover is attached to the other end of each partition member that is passed through the slit of the main body part and hangs down to the process part. And a sliding substrate that is incorporated in the main body and is slidably engaged with the substrate transport direction of the main body.

この構成によって、長孔部によって規制される範囲内で摺動基板を移動すると、本体部のスリットから熱処理部側に垂れ下がる仕切部材の長さを自在に調整できるようになる。これにより、基板に対する電子部品の取り付け高さに対応して仕切部材の露出長さを自在に設定できるようになる。しかも、従来方式のラビリンス高さ調整機構と比較した場合に、仕切部材を支持する本体部自体を高さ方向へ移動する機構を省略すること、及び、外気遮断用の手段も省略することができ、当該ラビリンス高さ調整機構の簡易化が図れる。   With this configuration, when the sliding substrate is moved within a range regulated by the long hole portion, the length of the partition member hanging from the slit of the main body portion toward the heat treatment portion can be freely adjusted. Accordingly, the exposed length of the partition member can be freely set corresponding to the mounting height of the electronic component with respect to the substrate. Moreover, when compared with the conventional labyrinth height adjustment mechanism, the mechanism for moving the main body itself supporting the partition member in the height direction can be omitted, and the means for shutting off the outside air can also be omitted. The labyrinth height adjusting mechanism can be simplified.

本発明に係る仕切部材可動構造によれば、一端が本体部のスリットに通されて処理部側に垂れ下がる仕切部材の各々の他端が取り付けられると共に、本体部内に組み込まれ、当該本体部の基板搬送方向に対して摺動自在に係合される摺動基板を備えるものである。   According to the partition member movable structure according to the present invention, the other end of each of the partition members whose one end is passed through the slit of the main body part and hangs down to the processing part side is attached and incorporated in the main body part, and the substrate of the main body part It comprises a sliding substrate that is slidably engaged in the transport direction.

この構成によって、長孔部によって規制される範囲内で摺動基板を移動すると、本体部のスリットから処理容器側に垂れ下がる仕切部材の長さを自在に調整できるようになる。   With this configuration, when the sliding substrate is moved within a range regulated by the long hole portion, the length of the partition member hanging from the slit of the main body portion toward the processing container can be freely adjusted.

本発明に係る実施形態としての噴流はんだ付け装置100の構成例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the structural example of the jet soldering apparatus 100 as embodiment which concerns on this invention. 第1の実施例としての蓋体支持密閉構造例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of a cover body support sealing structure as a 1st Example. 蓋体支持密閉機構30の組立例(その1)を示す分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view showing an assembly example (No. 1) of the lid support sealing mechanism 30; 蓋体支持密閉機構30の組立例(その2)を示す分解斜視図である。6 is an exploded perspective view showing an assembly example (No. 2) of the lid support sealing mechanism 30. FIG. 蓋体支持密閉機構30の組立例(その3)を示す分解斜視図である。10 is an exploded perspective view showing an assembly example (No. 3) of the lid support sealing mechanism 30. FIG. 蓋体支持密閉機構30の組立例(その4)を示す分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view showing an assembly example (No. 4) of the lid support sealing mechanism 30; (A)及び(B)は、蓋体支持密閉機構30の取扱例(その1)を示す概念図である。(A) And (B) is a key map showing the example of handling (the 1) of lid support sealing mechanism 30. (A)〜(C)は、蓋体支持密閉機構30の取扱例(その2)を示す概念図である。(A)-(C) are the conceptual diagrams which show the handling example (the 2) of the cover body support sealing mechanism 30. FIG. 第2の実施例としての仕切部材可動構造例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the partition member movable structure example as a 2nd Example. 仕切部材可動機構40の組立例(その1)を示す分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view showing an assembly example (part 1) of the partition member movable mechanism 40; 仕切部材可動機構40の組立例(その2)を示す分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view showing an assembly example (part 2) of the partition member movable mechanism 40; 仕切部材可動機構40の組立例(その3)を示す分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view showing an assembly example (part 3) of the partition member moving mechanism 40; (A)〜(B)は、仕切部材可動機構40の動作例を示す斜視図である。(A)-(B) are perspective views which show the operation example of the partition member movable mechanism 40. FIG. 第3の実施例としての両端ガス供給機構70の構成例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of the both-ends gas supply mechanism 70 as a 3rd Example. ノズル管路75の構成例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view illustrating a configuration example of a nozzle conduit 75. 拡散部材76a及びその周辺部の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structural example of the diffusing member 76a and its peripheral part. 拡散部材76aの機能例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the function example of the diffusion member 76a. 窒素ガス供給用のノズル管路75の構成例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of the nozzle pipe line 75 for nitrogen gas supply. ガス供給部71,72及びノズル管路75と電気回路等の関係例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the example of relationship between the gas supply parts 71 and 72, the nozzle pipe line 75, and an electrical circuit. 第4の実施例としての蓋体ユニット80の構成例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of the cover body unit 80 as a 4th Example. 蓋体ユニット80の組立例(その1)を示す分解斜視図である。5 is an exploded perspective view showing an assembly example (No. 1) of the lid unit 80. FIG. 蓋体ユニット80の組立例(その2)を示す概念図である。6 is a conceptual diagram showing an assembly example (No. 2) of the lid unit 80. FIG. 蓋体ユニット80の動作例を示す概念図である。5 is a conceptual diagram showing an operation example of a lid unit 80. FIG. 噴流はんだ付け装置100の制御系の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the control system of the jet soldering apparatus. 噴流はんだ付け装置100の動作例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation example of the jet soldering apparatus 100. FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明に係るはんだ付け装置及び仕切部材可動構造について説明する。
<実施形態>
図1に示す噴流はんだ付け装置100は、電子部品を取り付けたプリント基板1を予備加熱し、予備加熱後のプリント基板1を不活性ガスの雰囲気中に搬送し、不活性ガスの雰囲気中で電子部品をプリント基板1にはんだ付けし、はんだ付け後のプリント基板1を冷却するものである。この例では、噴流はんだ付け装置100にプリント基板1を取り込む側を上流側といい、プリント基板1を取り出す側を下流側という。プリント基板1は上流側から下流側へ搬送されるものとする。プリント基板1の搬送方向は、図1において、白抜き矢印Iに示すように左端側から右端側へ搬送される。
Hereinafter, a soldering apparatus and a partition member movable structure according to the present invention will be described with reference to the drawings.
<Embodiment>
A jet soldering apparatus 100 shown in FIG. 1 pre-heats a printed circuit board 1 to which electronic components are attached, conveys the pre-heated printed circuit board 1 into an inert gas atmosphere, and performs electronic processing in the inert gas atmosphere. The components are soldered to the printed circuit board 1 and the printed circuit board 1 after soldering is cooled. In this example, the side where the printed circuit board 1 is taken into the jet soldering apparatus 100 is referred to as the upstream side, and the side where the printed circuit board 1 is taken out is referred to as the downstream side. It is assumed that the printed circuit board 1 is transported from the upstream side to the downstream side. The conveyance direction of the printed circuit board 1 is conveyed from the left end side to the right end side as shown by a white arrow I in FIG.

噴流はんだ付け装置100は本体架台101を有している。本体架台101には、搬送部10、熱処理部20、蓋体支持密閉機構30、仕切部材可動機構40、チャンバー50、噴流はんだ槽60、両端ガス供給機構70、蓋体ユニット80、冷却処理部90及びエアーカーテン機構99が備えられる。   The jet soldering apparatus 100 has a main body base 101. The main body frame 101 includes a transport unit 10, a heat treatment unit 20, a lid support sealing mechanism 30, a partition member movable mechanism 40, a chamber 50, a jet solder tank 60, a gas supply mechanism 70 at both ends, a lid unit 80, and a cooling processing unit 90. And an air curtain mechanism 99 is provided.

本体架台101は、少なくとも、梁枠部材102及び当該梁枠部材102の四隅に脚部103,104及び脚部105,106(図示せず)を有している。梁枠部材102及び脚部103〜106は鉄骨部材から構成される。   The main body base 101 includes at least beam frames 102 and leg portions 103 and 104 and leg portions 105 and 106 (not shown) at four corners of the beam frame member 102. The beam frame member 102 and the legs 103 to 106 are made of steel members.

梁枠部材102上には搬送部10が設けられる。搬送部10はチャンバー50を貫いてその上流側及び下流側に渡って配置されている。搬送部10は溶融はんだ7の切れを良くするために、本体架台101に対して所定の仰角θを有して斜め取り付けられる。仰角θは、例えば、5°乃至10°程度である。   A conveying unit 10 is provided on the beam frame member 102. The transport unit 10 is disposed through the chamber 50 and upstream and downstream. In order to improve the cutting of the molten solder 7, the transport unit 10 is obliquely attached to the main body base 101 with a predetermined elevation angle θ. The elevation angle θ is, for example, about 5 ° to 10 °.

搬送部10は電子部品を取り付けたプリント基板1をチャンバー50の方向に搬送するものである。電子部品には、抵抗、コンデンサ、ICチップの他に、PGA(Pin Grid Array:PGA)やデュアルパッケージのように、一個の電子部品に多数のリードが設置されているもの、及び、コネクターのように多数のジャックに導通される電極が取り付けられているものを含む。   The transport unit 10 transports the printed circuit board 1 attached with electronic components in the direction of the chamber 50. In addition to resistors, capacitors, and IC chips, electronic components include a PGA (Pin Grid Array: PGA) or dual package, where a large number of leads are installed on one electronic component, and connectors Including an electrode that is electrically connected to a number of jacks.

搬送部10には、無終端状のチェーン部材11及びL字爪状の複数の搬送チャック12を備える。チェーン部材11はプリント基板1の搬送方向の両側に設けられる。搬送チャック12は所定の配置ピッチでチェーン部材11に取り付けられる。当該プリント基板1は、両側の搬送チャック12の間にプリント基板1を挟んで搬送するようにセットされる。   The transport unit 10 includes an endless chain member 11 and a plurality of L-shaped claw-shaped transport chucks 12. The chain members 11 are provided on both sides of the printed board 1 in the conveyance direction. The conveyance chuck 12 is attached to the chain member 11 at a predetermined arrangement pitch. The printed circuit board 1 is set so as to be transported with the printed circuit board 1 sandwiched between the transport chucks 12 on both sides.

チャンバー50の上流側には熱処理部20が設けられる。熱処理部20は上部に開口部201を有してプリント基板1を熱処理する。もちろん、当該開口部201は所定の複数の蓋体31,32,33,34で密閉するように塞がれる。熱処理部20はトンネル状を成し、例えば、電子部品を取り付けたプリント基板1を所定の温度に加熱する。   A heat treatment unit 20 is provided on the upstream side of the chamber 50. The heat treatment part 20 has an opening 201 in the upper part, and heats the printed circuit board 1. Of course, the opening 201 is closed so as to be sealed with a plurality of predetermined lid bodies 31, 32, 33, 34. The heat treatment unit 20 has a tunnel shape, and for example, heats the printed circuit board 1 attached with electronic components to a predetermined temperature.

この例で、熱処理部20がチャンバー50を基準にしてその上流側の搬送部10を覆うように設けられる。熱処理部20の最上流側には基板搬入口202が設けられる。プリント基板1は基板搬入口202で搬送部10にセットされる。熱処理部20は、例えば、4つの予備加熱ゾーン21,22,23,24(プリヒーターゾーン)から構成される。   In this example, the heat treatment unit 20 is provided so as to cover the transport unit 10 on the upstream side with respect to the chamber 50. A substrate carry-in port 202 is provided on the most upstream side of the heat treatment unit 20. The printed circuit board 1 is set in the transport unit 10 at the board carry-in port 202. The heat treatment section 20 is composed of, for example, four preheating zones 21, 22, 23, and 24 (preheater zones).

熱処理部20では、電子部品を取り付けたプリント基板1を徐々に加熱して最適なはんだ処理温度に加熱するために、予備加熱ゾーン21〜24は、各々加熱雰囲気を形成する。熱処理部20の下流側にはチャンバー50に至る基板連通口203が設けられる。上述の搬送部10は、予備加熱後のプリント基板1を基板連通口203を通過してチャンバー50内に搬送する。熱処理部20には蓋体支持密閉機構30が設けられる。蓋体支持密閉機構30は蓋体31,32,33,34を支持して開口部201を密閉するものである(図2〜図8参照)。   In the heat treatment unit 20, the preheating zones 21 to 24 each form a heating atmosphere in order to gradually heat the printed circuit board 1 to which electronic components are attached and to heat the printed circuit board 1 to an optimum soldering temperature. A substrate communication port 203 reaching the chamber 50 is provided on the downstream side of the heat treatment unit 20. The transport unit 10 transports the pre-heated printed circuit board 1 through the substrate communication port 203 and into the chamber 50. The heat treatment unit 20 is provided with a lid support sealing mechanism 30. The lid support sealing mechanism 30 supports the lids 31, 32, 33, and 34 to seal the opening 201 (see FIGS. 2 to 8).

この例で、蓋体31,34には仕切部材可動機構40が設けられる。仕切部材可動機構40は、仕切部材の一例となる複数のラビリンス部43を可動自在に保持するものである(図9〜図13参照)。ラビリンス部43は、外部から熱処理部20に塵埃等が入らないようにすると共に、窒素ガスのチャンバー50内から外部への漏洩を防止する。   In this example, the lid members 31 and 34 are provided with a partition member moving mechanism 40. The partition member moving mechanism 40 is configured to hold a plurality of labyrinth portions 43 that are examples of the partition member in a movable manner (see FIGS. 9 to 13). The labyrinth unit 43 prevents dust and the like from entering the heat treatment unit 20 from the outside, and prevents leakage of nitrogen gas from the chamber 50 to the outside.

熱処理部20の基板連通口203にはチャンバー50(処理容器)が連接して備えられる。チャンバー50内は、不活性ガスが導入され、不活性ガス雰囲気が形成される。不活性ガスには窒素ガス(N2)や、アルゴンガス(Ar)が一般的に使用される。チャンバー50は、不活性ガスの雰囲気中で、電子部品をプリント基板1にはんだ付け処理する。 A chamber 50 (processing vessel) is connected to the substrate communication port 203 of the heat treatment unit 20. In the chamber 50, an inert gas is introduced to form an inert gas atmosphere. Nitrogen gas (N 2 ) or argon gas (Ar) is generally used as the inert gas. The chamber 50 solders electronic components to the printed circuit board 1 in an inert gas atmosphere.

チャンバー50の下方には、噴流はんだ槽60が設けられる。噴流はんだ槽60は所定の温度に加熱された溶融はんだ7が収容される。噴流はんだ槽60は、窒素ガスの雰囲気中で溶融はんだ7を噴出し、電子部品をプリント基板1にはんだ付け処理する。噴流はんだ槽60は、2系統の噴出ノズル61,62を有している。噴出ノズル61,62はプリント基板1の搬送方向に並べて配置される。   Below the chamber 50, a jet solder bath 60 is provided. The jet solder bath 60 accommodates the molten solder 7 heated to a predetermined temperature. The jet solder bath 60 ejects molten solder 7 in an atmosphere of nitrogen gas, and solders electronic components to the printed circuit board 1. The jet solder bath 60 has two systems of jet nozzles 61 and 62. The ejection nozzles 61 and 62 are arranged side by side in the transport direction of the printed circuit board 1.

上流側の噴出ノズル61は、溶融はんだを粗く噴流してはんだ付け処理する一次はんだ付け処理時に使用される。下流側の噴出ノズル62は、溶融はんだを細密に噴流してはんだ付け処理する二次はんだ付け処理(仕上げ用)に使用される。噴流はんだ槽60は、例えば、ステンレス(SUS)板を箱状に形成して構成される。噴流はんだ槽60内には、整流板を用いない2台のシリンダー型の噴流ポンプ(以下単にポンプ8,9という)が設けられる。ポンプ8,9には、例えば、全密閉型のスクリューポンプ(インペラポンプ)が使用される。   The upstream ejection nozzle 61 is used during a primary soldering process in which molten solder is roughly jetted and soldered. The jet nozzle 62 on the downstream side is used for a secondary soldering process (for finishing) in which molten solder is finely jetted and soldered. The jet solder bath 60 is configured by, for example, forming a stainless (SUS) plate into a box shape. In the jet solder bath 60, two cylinder type jet pumps (hereinafter simply referred to as pumps 8 and 9) that do not use a rectifying plate are provided. For the pumps 8 and 9, for example, a totally sealed screw pump (impeller pump) is used.

ポンプ8はモータ68により駆動され、噴流はんだ槽60に収容された溶融はんだ7を所定の圧力にして噴出ノズル61に供給する。ポンプ9はモータ69により駆動され、噴流はんだ槽60に収容された溶融はんだ7を所定の圧力にして噴出ノズル62に供給する。噴出ノズル61,62から噴出される溶融はんだ7は、図24に示す噴流はんだ駆動部66によって制御される。なお、チャンバー50及び噴流はんだ槽60は、はんだ付け処理部を構成する。   The pump 8 is driven by a motor 68 and supplies the molten solder 7 accommodated in the jet solder bath 60 to the jet nozzle 61 at a predetermined pressure. The pump 9 is driven by a motor 69 and supplies the molten solder 7 accommodated in the jet solder bath 60 to the jet nozzle 62 at a predetermined pressure. The molten solder 7 ejected from the ejection nozzles 61 and 62 is controlled by a jet solder driving unit 66 shown in FIG. The chamber 50 and the jet solder bath 60 constitute a soldering processing unit.

この例で、本体架台101の下方であって、噴流はんだ槽60に隣接して両端ガス供給機構70が設けられる。両端ガス供給機構70は、噴流はんだ槽60の液面上に、例えば、窒素ガス(N2)を噴出し、電子部品をはんだ付けする側に、窒素ガス雰囲気を形成する。両端ガス供給機構70は、例えば、ガス供給部71,72、N2ガスタンク74及びノズル管路75を有している。ガス供給部71,72の各々の一端はN2ガスタンク74に接続される。 In this example, a gas supply mechanism 70 at both ends is provided below the main body frame 101 and adjacent to the jet solder bath 60. The both-end gas supply mechanism 70 ejects, for example, nitrogen gas (N 2 ) onto the liquid surface of the jet solder bath 60 and forms a nitrogen gas atmosphere on the side where the electronic components are soldered. The both-end gas supply mechanism 70 includes, for example, gas supply units 71 and 72, an N2 gas tank 74, and a nozzle conduit 75. One end of each of the gas supply units 71 and 72 is connected to the N2 gas tank 74.

ガス供給部71の他端はノズル管路75の一端に接続され、ガス供給部72の他端はノズル管路75の他端に接続される。ガス供給部71,72は、噴流はんだ槽60の液面上をノズル管路75を介して窒素ガス雰囲気にするための窒素ガスを個々に調整する。なお、ガス供給部73は、チャンバー50内を窒素ガス雰囲気にするための窒素ガスの流量を調整する(図14〜図19参照)。   The other end of the gas supply unit 71 is connected to one end of the nozzle conduit 75, and the other end of the gas supply unit 72 is connected to the other end of the nozzle conduit 75. The gas supply units 71 and 72 individually adjust the nitrogen gas for making the nitrogen gas atmosphere on the liquid surface of the jet solder bath 60 via the nozzle conduit 75. In addition, the gas supply part 73 adjusts the flow volume of the nitrogen gas for making the inside of the chamber 50 into a nitrogen gas atmosphere (refer FIGS. 14-19).

チャンバー50の上方には、本例においては、当該チャンバー50上の開口部501(図23参照)を塞ぐ(覆う)ように蓋体ユニット80が着脱自在に取り付けられる。蓋体ユニット80は雰囲気送入口801及び雰囲気排出口802を有している。   In this example, a lid unit 80 is detachably attached above the chamber 50 so as to close (cover) an opening 501 (see FIG. 23) on the chamber 50. The lid unit 80 has an atmosphere inlet / outlet 801 and an atmosphere outlet 802.

この雰囲気送入口801及び雰囲気排出口802には雰囲気清浄化部81が接続される。雰囲気送入口801は、雰囲気清浄化部81でフラックスヒュームが除去された後の窒素ガス雰囲気をチャンバー50内に送入する部分である。雰囲気排出口802は、チャンバー50内でフラックスヒュームを含んだ窒素ガス雰囲気を雰囲気清浄化部81へ排出する部分である(図20〜図25参照)。   An atmosphere cleaning unit 81 is connected to the atmosphere inlet 801 and the atmosphere outlet 802. The atmosphere inlet 801 is a portion that feeds the nitrogen gas atmosphere into the chamber 50 after the flux fume is removed by the atmosphere cleaning unit 81. The atmosphere discharge port 802 is a portion that discharges a nitrogen gas atmosphere containing flux fume in the chamber 50 to the atmosphere cleaning unit 81 (see FIGS. 20 to 25).

雰囲気清浄化部81は、雰囲気排出口802から排出されるフラックスヒュームを含んだ窒素ガス雰囲気を清浄化し、清浄化後の窒素ガス雰囲気を雰囲気送入口801に供給する。例えば、雰囲気清浄化部81は、雰囲気送入口803及び雰囲気排出口804を有した筺体83、及び、当該筺体83内に設けられた複数のパイプ82から構成されている。当該パイプ82の内側には空気(冷気)が通風される。   The atmosphere cleaning unit 81 cleans a nitrogen gas atmosphere containing flux fumes discharged from the atmosphere discharge port 802 and supplies the cleaned nitrogen gas atmosphere to the atmosphere inlet 801. For example, the atmosphere cleaning unit 81 includes a casing 83 having an atmosphere inlet 803 and an atmosphere outlet 804, and a plurality of pipes 82 provided in the casing 83. Air (cold air) is ventilated inside the pipe 82.

このフラックスヒュームを含んだ窒素ガス雰囲気(窒素ガス+雰囲気)は筺体83内に導入され、そのパイプ82の外側を通過する際に、フラックスヒュームがパイプ82に当たって冷やされ、フラックスヒュームが結露(凝結)してパイプ82の外側に付着する。これにより、フラックスヒュームと窒素ガス雰囲気とを分離できるようになる。   The nitrogen gas atmosphere (nitrogen gas + atmosphere) containing the flux fume is introduced into the housing 83, and when passing through the outside of the pipe 82, the flux fume strikes the pipe 82 and is cooled, and the flux fume is condensed (condensed). And adheres to the outside of the pipe 82. As a result, the flux fume and the nitrogen gas atmosphere can be separated.

チャンバー50の下流側には冷却処理部90が設けられる。例えば、冷却処理部90はチャンバー50を基準にしてその下流側の搬送部10を覆うように設けられる。上述の搬送部10は、はんだ付け処理後のプリント基板1を冷却処理部90へ搬送する。冷却処理部90は、搬送部10によって搬送されてくる、電子部品がはんだ付けされたプリント基板1を冷却する。   A cooling processing unit 90 is provided on the downstream side of the chamber 50. For example, the cooling processing unit 90 is provided so as to cover the transport unit 10 on the downstream side with respect to the chamber 50. The above-described transport unit 10 transports the printed circuit board 1 after the soldering process to the cooling processing unit 90. The cooling processing unit 90 cools the printed circuit board 1 to which the electronic component is soldered that is transported by the transport unit 10.

冷却処理部90は上部に開口部901を有しており、当該開口部901は所定の複数の蓋体91,92で塞がれ、冷却処理部90がトンネル状を構成している。蓋体91,92には、仕切部材可動機構40が備えられ、開口部901と蓋体91,92との間には蓋体支持密閉機構30が備えられている(図7及び図8参照)。   The cooling processing unit 90 has an opening 901 at the top, and the opening 901 is closed by a plurality of predetermined lids 91 and 92, and the cooling processing unit 90 forms a tunnel shape. The lid bodies 91 and 92 are provided with a partition member moving mechanism 40, and the lid body supporting and sealing mechanism 30 is provided between the opening 901 and the lid bodies 91 and 92 (see FIGS. 7 and 8). .

冷却処理部90には図示しない空冷ファンが設けられ、電子部品を取り付けたプリント基板1の上下面に窒素ガスや冷風を吹き付けることで、当該プリント基板1に対する冷却処理を施す。冷却処理部90の下流側には外部に至る基板搬出口902が設けられる。冷却後のプリント基板1は基板搬出口902から取り出される。   The cooling processing unit 90 is provided with an air cooling fan (not shown), and a cooling process is performed on the printed circuit board 1 by blowing nitrogen gas or cold air onto the upper and lower surfaces of the printed circuit board 1 to which electronic components are attached. A substrate carry-out port 902 extending to the outside is provided on the downstream side of the cooling processing unit 90. The printed circuit board 1 after cooling is taken out from the board carry-out port 902.

基板搬出口902にはエアーカーテン機構99が設けられる。エアーカーテン機構99には、クロスフローファン等の送風機904、下側ガイド板905及び上側ガイド板906が設けられる。送風機904は本体架台101に取り付けられる。下側ガイド板905は搬送部10の下方に設けられ、上側ガイド板906は搬送部10の上方に設けられる。下側ガイド板905及び上側ガイド板906は搬送部10の幅方向とほぼ等しい長さを有し、かつ、内面が例えば、R形状を有している。もちろん、下側ガイド板905及び上側ガイド板906はL形状でも、ストレート形状であってもよい。下側ガイド板905及び上側ガイド板906はステンレスや、鉄板等の金属部材や、硬質樹脂から構成される。   An air curtain mechanism 99 is provided at the substrate carry-out port 902. The air curtain mechanism 99 is provided with a blower 904 such as a cross flow fan, a lower guide plate 905 and an upper guide plate 906. The blower 904 is attached to the main body base 101. The lower guide plate 905 is provided below the transport unit 10, and the upper guide plate 906 is provided above the transport unit 10. The lower guide plate 905 and the upper guide plate 906 have substantially the same length as the width direction of the transport unit 10, and the inner surface has, for example, an R shape. Of course, the lower guide plate 905 and the upper guide plate 906 may be L-shaped or straight. The lower guide plate 905 and the upper guide plate 906 are made of a metal member such as stainless steel or an iron plate, or a hard resin.

例えば、送風機904が上方に空気を吹き出すと、上側ガイド板906は送風機904から受け空気を下方に向くように導く。下側ガイド板905は上方から受けた空気を上方に向くように導く。エアーカーテン機構99は、基板搬出口902に空気を対流させてエアーカーテンを形成する。このエアーカーテンは、送風機904から上側ガイド板906に至る空気が、上側ガイド板906から下側ガイド板905へ、さらに下側ガイド板905から上側ガイド板906に至る対流する空気によるエアーカーテンから構成される。   For example, when the air blower 904 blows air upward, the upper guide plate 906 guides the air received from the air blower 904 to face downward. The lower guide plate 905 guides air received from above so as to face upward. The air curtain mechanism 99 forms air curtain by convection of air to the substrate carry-out port 902. This air curtain is composed of an air curtain made of convection air from the air blower 904 to the upper guide plate 906, from the upper guide plate 906 to the lower guide plate 905, and from the lower guide plate 905 to the upper guide plate 906. Is done.

これにより、エアーカーテン機構99によって、エアーが下側ガイド板905及び上側ガイド板906間を対流(循環)するようになるので、外部から冷却処理部90に塵埃等が入らないようにできると共に、窒素ガスのチャンバー50内から外部への漏洩を防止できるようになる。この結果、窒素ガス資源を効率良く使用できるようになる。   Thereby, the air curtain mechanism 99 causes air to convect (circulate) between the lower guide plate 905 and the upper guide plate 906, so that dust and the like can be prevented from entering the cooling processing unit 90 from the outside. The leakage of nitrogen gas from the chamber 50 to the outside can be prevented. As a result, nitrogen gas resources can be used efficiently.

本例において、雰囲気送入口801及び雰囲気排出口802を蓋体ユニット80として構成した場合について説明したが、チャンバー50に一体として設けてもよい。また、本例においては、窒素ガス雰囲気(不活性ガス雰囲気)でのはんだ付けの場合について説明したが、大気雰囲気でのはんだ付けであってもよい。以下は、蓋体ユニット80及び窒素ガス雰囲気(不活性ガス雰囲気)の例について説明する。   In this example, the case where the atmosphere inlet / outlet 801 and the atmosphere outlet 802 are configured as the lid unit 80 has been described, but the chamber 50 may be integrally provided. In this example, the case of soldering in a nitrogen gas atmosphere (inert gas atmosphere) has been described, but soldering in an air atmosphere may be used. Hereinafter, examples of the lid unit 80 and a nitrogen gas atmosphere (inert gas atmosphere) will be described.

続いて、図2を参照して、第1の実施例としての蓋体支持密閉構造例について説明する。図2に示す蓋体支持密閉機構30は蓋体支持密閉構造を成すものであり、噴流はんだ付け装置100の熱処理部20及び冷却処理部90に備えられる。上述した熱処理部20及び冷却処理部90は、図5に示すような断面凹状の長尺溝構造を有している。熱処理部20は溝構造上部に開口部201を有し、冷却処理部90は溝構造上部に開口部901を有している。蓋体支持密閉機構30は開口部201や、開口部901等を密閉するための天板取り付け機構を提供する。   Next, an example of a lid support sealing structure as a first embodiment will be described with reference to FIG. The lid support sealing mechanism 30 shown in FIG. 2 forms a lid support sealing structure, and is provided in the heat treatment unit 20 and the cooling processing unit 90 of the jet soldering apparatus 100. The heat treatment section 20 and the cooling processing section 90 described above have a long groove structure with a concave cross section as shown in FIG. The heat treatment unit 20 has an opening 201 at the upper part of the groove structure, and the cooling processing unit 90 has an opening 901 at the upper part of the groove structure. The lid support sealing mechanism 30 provides a top plate mounting mechanism for sealing the opening 201, the opening 901, and the like.

蓋体支持密閉機構30は、4枚の矩形状の蓋体31〜34(図中、蓋体32のみを示す)、2枚の蓋体91,92及び、長尺状の一対の摺動支持部材35a,35bを有して構成される。蓋体32は仕切部材可動機構40を備えないものである。   The lid support sealing mechanism 30 includes four rectangular lids 31 to 34 (only the lid 32 is shown in the figure), two lids 91 and 92, and a pair of long sliding supports. It has the members 35a and 35b. The lid body 32 does not include the partition member moving mechanism 40.

蓋体32は複数の蓋部材の一例を構成し、その内部は断熱構造を有している。蓋体32の所定の面、この例では、熱処理部20の開口部201に対向させる面には、一対の短尺状の断面櫛刃形を有した係合溝部36a,36bが設けられる。係合溝部36a,36bは蓋体32の所定の面において、プリント基板1の搬送方向に沿って配設される。係合溝部36aには断面櫛刃形を成す複数の凹凸状の溝部位が設けられ、係合溝部36aが多溝レール形状を構成している。溝部位は6本の場合である。係合溝部36bも同様に構成される。蓋体32は、熱処理部20の開口部201上を密閉するように取り扱われる。   The lid body 32 constitutes an example of a plurality of lid members, and the inside thereof has a heat insulating structure. On a predetermined surface of the lid 32, in this example, a surface facing the opening 201 of the heat treatment unit 20, engagement groove portions 36 a and 36 b having a pair of short cross-sectional comb blade shapes are provided. The engaging groove portions 36 a and 36 b are disposed on a predetermined surface of the lid body 32 along the conveyance direction of the printed circuit board 1. The engaging groove portion 36a is provided with a plurality of concave and convex groove portions having a comb blade shape in cross section, and the engaging groove portion 36a forms a multi-groove rail shape. The number of groove portions is six. The engaging groove portion 36b is configured similarly. The lid body 32 is handled so as to seal the opening 201 of the heat treatment section 20.

上述の蓋体32が取り付けられる摺動支持部材35aは、長尺状の断面櫛刃形を成した被係合溝部37aを有している。この例で、被係合溝部37aには、断面櫛刃形を成す複数の凹凸状の溝部位が設けられ、被係合溝部37aが多溝レール形状を構成している。溝部位は6本の場合である。被係合溝部37bも同様に構成される。摺動支持部材35a,35bは、熱処理部20の開口部201で相互に対峙する辺に沿って配設されている。   The sliding support member 35a to which the above-described lid body 32 is attached has an engaged groove portion 37a having a long cross-sectional comb blade shape. In this example, the engaged groove portion 37a is provided with a plurality of concave and convex groove portions having a comb blade shape in cross section, and the engaged groove portion 37a forms a multi-groove rail shape. The number of groove portions is six. The engaged groove portion 37b is similarly configured. The sliding support members 35 a and 35 b are disposed along sides facing each other at the opening 201 of the heat treatment unit 20.

蓋体32の係合溝部36a,36bは、摺動支持部材35a,35bの被係合溝部37a,37bに各々嵌合される。例えば、係合溝部36a,36bの凸状の各々の部位が被係合溝部37a,37bの凹状の各々の部位に対応して組み(噛み)合わされる。この例で、係合溝部36a,36bや、被係合溝部37a,37bの凹凸状の噛み合わせ部分には、空気断熱層が構成される。従来方式のシリコンゴム接触面に比べてより断熱効果が向上できるようになった。   The engaging groove portions 36a and 36b of the lid body 32 are fitted into the engaged groove portions 37a and 37b of the sliding support members 35a and 35b, respectively. For example, the convex portions of the engaging groove portions 36a and 36b are assembled (engaged) corresponding to the concave portions of the engaged groove portions 37a and 37b. In this example, an air heat insulating layer is formed in the engaging groove portions 36a and 36b and the concave and convex engaging portions of the engaged groove portions 37a and 37b. Compared with the conventional silicone rubber contact surface, the heat insulation effect can be improved.

なお、係合溝部36a,36bや、被係合溝部37a,37bのレール材質には、アルミニウムや、鉄、ステンレス等が使用される。上下で熱膨張を揃えるために、係合溝部36a,36bや、被係合溝部37a,37b等のレール材質を同じ材質することが好ましい。   In addition, aluminum, iron, stainless steel, etc. are used for the rail material of engagement groove part 36a, 36b and to-be-engaged groove part 37a, 37b. In order to align thermal expansion vertically, it is preferable to use the same rail material for the engaging groove portions 36a and 36b and the engaged groove portions 37a and 37b.

続いて、図3〜図6を参照して、蓋体支持密閉機構30の組立例(その1〜4)について説明する。この例では、図2に示した蓋体支持密閉機構30を組み立てる場合を前提とする。まず、図3に示す蓋体32の所定の面に短尺かつ多溝レール状の係合溝部36a,36bを取り付ける。   Subsequently, an assembly example (parts 1 to 4) of the lid support sealing mechanism 30 will be described with reference to FIGS. In this example, it is assumed that the lid support sealing mechanism 30 shown in FIG. 2 is assembled. First, short and multi-groove rail-like engagement grooves 36a and 36b are attached to a predetermined surface of the lid 32 shown in FIG.

蓋体32には内部に断熱材(空間でもよい)を設けたものを準備する。係合溝部36a,36bの長さは、蓋体32の長さに等しいものを準備する。係合溝部36a,36bは耐熱性の両面テープや、耐熱性の接着剤を使用して蓋体32の所定の面に貼り付ける。または、係合溝部36a,36bを蓋体32の所定の面にネジ止めする。   The lid 32 is prepared with a heat insulating material (may be a space) inside. The lengths of the engaging grooves 36a and 36b are prepared so as to be equal to the length of the lid 32. The engagement grooves 36a and 36b are attached to a predetermined surface of the lid 32 using a heat-resistant double-sided tape or a heat-resistant adhesive. Alternatively, the engaging groove portions 36 a and 36 b are screwed to a predetermined surface of the lid body 32.

次に、図4に示す係合溝部36a,36bを取り付けた蓋体32の小口面の各々に隙間充填部材38a,38bを取り付ける。隙間充填部材38a,38bは係合溝部36a,36bの多溝レール形状の断面及び、蓋体32の隣接面(小口面)を象るように形成する。ここに隣接面とは、2つの蓋体31や、蓋体32等が隣接する側の面をいう。隙間充填部材38a,38bには耐熱性のシリコンゴムシートが使用される。   Next, the gap filling members 38a and 38b are attached to the respective small edge surfaces of the lid 32 to which the engaging groove portions 36a and 36b shown in FIG. 4 are attached. The gap filling members 38a and 38b are formed so as to represent the cross section of the multi-groove rail shape of the engaging groove portions 36a and 36b and the adjacent surface (small edge surface) of the lid 32. Here, the adjacent surface refers to a surface on the side where the two lid bodies 31 and the lid body 32 are adjacent. A heat-resistant silicone rubber sheet is used for the gap filling members 38a and 38b.

隙間充填部材38aは係合溝部36a,36bの多溝レール形状の断面及び、蓋体32の小口面を位置合わせした後に、その断面及び小口面に貼り付ける。隙間充填部材38aの貼り付けには、耐熱性の接着剤を使用する。隙間充填部材38bも同様に接合する。なお、隙間充填部材38a,38bは蓋体32側の矩形部分と係合溝部36a,36b側の櫛刃形部分とを分割して構成してもよい。   The gap filling member 38a is attached to the cross section and the fore edge surface after aligning the cross section of the multi-groove rail shape of the engaging groove portions 36a and 36b and the fore edge surface of the lid 32. A heat-resistant adhesive is used for attaching the gap filling member 38a. The gap filling member 38b is also joined in the same manner. The gap filling members 38a and 38b may be configured by dividing a rectangular portion on the lid 32 side and a comb blade portion on the engagement groove portions 36a and 36b side.

この例で、隙間充填部材38aは、一方の蓋体32と、隣接する他方の蓋体31との間、及び、一方の蓋体32の係合溝部36a,36bと、隣接する他方の蓋体31の係合溝部36a,36bとの間に設けられて気密を保持する。隙間充填部材38bは、一方の蓋体32と、隣接する他方の蓋体33との間、及び、一方の蓋体32の係合溝部36a,36bと、隣接する他方の蓋体33の係合溝部36a,36bとの間に設けられて気密を保持する。   In this example, the gap filling member 38a is formed between the one lid body 32 and the other adjacent lid body 31, and between the engaging groove portions 36a and 36b of the one lid body 32 and the other lid body adjacent to each other. It is provided between the 31 engaging groove portions 36a and 36b to maintain airtightness. The gap filling member 38b is engaged between the one lid body 32 and the other adjacent lid body 33, and between the engaging groove portions 36a and 36b of the one lid body 32 and the other lid body 33 adjacent to each other. It is provided between the groove portions 36a and 36b to maintain airtightness.

次に、図5に示す多溝レール状の摺動支持部材35aを熱処理部20の上縁内側の右端部に取り付ける。同様にして、多溝レール状の摺動支持部材35bを熱処理部20の上縁内側の左端部に取り付ける。摺動支持部材35a,35bは、図示しないネジや、留め金等の係合部材でしっかりと熱処理部20の上縁内側に固定する。図1に示した冷却処理部90の側も同様に組み立てる。   Next, the multi-groove rail-shaped sliding support member 35a shown in FIG. 5 is attached to the right end portion inside the upper edge of the heat treatment portion 20. Similarly, the multi-groove rail-like sliding support member 35b is attached to the left end portion inside the upper edge of the heat treatment portion 20. The sliding support members 35a and 35b are firmly fixed to the inside of the upper edge of the heat treatment section 20 with an engaging member such as a screw or a clasp (not shown). The side of the cooling processing unit 90 shown in FIG.

その後、図6に示す蓋体32で熱処理部20上の開口部201を覆い被せる。例えば、係合溝部36aの凸状の部位が被係合溝部37aの凹状の部位に対応して組み(噛み)合わされ、係合溝部36bの凸状の部位が被係合溝部37bの凹状の部位に対応して組み合わされる。係合溝部36a,36bや、被係合溝部37a,37bの凹凸状の噛み合わせ部分には、空気断熱層が構成される。   Then, the opening part 201 on the heat processing part 20 is covered with the cover body 32 shown in FIG. For example, the convex portion of the engaging groove portion 36a is assembled (engaged) corresponding to the concave portion of the engaged groove portion 37a, and the convex portion of the engaging groove portion 36b is the concave portion of the engaged groove portion 37b. Are combined correspondingly. An air heat insulating layer is formed in the engaging groove portions 36a and 36b and the concave and convex engaging portions of the engaged groove portions 37a and 37b.

これにより、摺動支持部材35a,35bによって、蓋体32等を摺動自在に支持できるようになる。また、図1に示した矩形状の熱処理部20上の開口部201を4枚の蓋体31〜34(蓋部材)で密閉できるようになる。更に、蓋体32等が摺動可能となったことから、当該蓋体32等を容易に開口部201に取り付けられるばかりか、熱処理部20の点検及び復旧作業を容易に行えるようになる。   Thus, the lid 32 and the like can be slidably supported by the sliding support members 35a and 35b. Further, the opening 201 on the rectangular heat treatment section 20 shown in FIG. 1 can be sealed with the four lid bodies 31 to 34 (lid members). Furthermore, since the lid 32 and the like can be slid, the lid 32 and the like can be easily attached to the opening 201, and the heat treatment unit 20 can be easily inspected and restored.

続いて、図7(A)、(B)及び図8(A)〜(C)を参照して、蓋体支持密閉機構30の取扱例(その1、2)について説明する。この例では、図7Aに示すように、熱処理部20の開口部201に仕切部材可動機構40の付いた蓋体31及び蓋体34を取り付けると共に、蓋体31と蓋体34との間に仕切部材可動機構40の付いていない蓋体32及び蓋体33を取り付ける場合、及び、冷却処理部90の開口部901に仕切部材可動機構40の付いた蓋体91及び蓋体92を取り付ける場合について説明する。   Subsequently, with reference to FIGS. 7A and 7B and FIGS. 8A to 8C, handling examples (parts 1 and 2) of the lid support sealing mechanism 30 will be described. In this example, as shown in FIG. 7A, the lid body 31 and the lid body 34 with the partition member moving mechanism 40 are attached to the opening 201 of the heat treatment section 20, and the partition between the lid body 31 and the lid body 34 is attached. The case where the lid 32 and the lid 33 without the member movable mechanism 40 are attached and the case where the lid 91 and the lid 92 with the partition member movable mechanism 40 are attached to the opening 901 of the cooling processing unit 90 will be described. To do.

もちろん、蓋体91,92には、蓋体32で説明したような所定の方向に沿って配設された一対の多溝レール状の係合溝部36a,36bが設けられている。蓋体91,92は、冷却処理部90の開口部901上を密閉するように取り扱われる。冷却処理部90の側の摺動支持部材35a,35bも、その開口部901で相互に対峙する辺に沿って配設された一対の多溝レール状の被係合溝部37a,37bを有しており、蓋体91,92を摺動自在に支持する。   Of course, the lid bodies 91 and 92 are provided with a pair of multi-groove rail-like engaging groove portions 36 a and 36 b arranged along a predetermined direction as described in the lid body 32. The lids 91 and 92 are handled so as to seal the opening 901 of the cooling processing unit 90. The sliding support members 35a and 35b on the cooling processing unit 90 side also have a pair of engaged grooves 37a and 37b in the form of multi-groove rails arranged along the sides facing each other at the opening 901. The lids 91 and 92 are slidably supported.

これらを取り扱い条件にして、図7Bに示す蓋体34を熱処理部20上の開口部201に位置合わせし、蓋体34を熱処理部20の側の摺動支持部材35a,35bに載置する。その状態で図中、白抜き矢印IIに示す方向に蓋体34を上流側から下流側へスライドして蓋体34の端部をチャンバー50の左端外壁に押し付けて、図示しない係合部材で蓋体34をチャンバー50に固定する。   Under these handling conditions, the lid 34 shown in FIG. 7B is aligned with the opening 201 on the heat treatment section 20, and the lid 34 is placed on the sliding support members 35 a and 35 b on the heat treatment section 20 side. In this state, the lid body 34 is slid from the upstream side to the downstream side in the direction shown by the white arrow II in the drawing, the end of the lid body 34 is pressed against the left outer wall of the chamber 50, and the lid is covered with an engagement member (not shown). The body 34 is fixed to the chamber 50.

同様にして、図7Bに示す白抜き矢印IIIの方向に蓋体91を冷却処理部90上の開口部901に位置合わせし、蓋体91を冷却処理部90の側の多溝レール状の摺動支持部材35a,35bに載置する。このとき、蓋体91の多溝レール状の係合溝部36aが摺動支持部材35aの被係合溝部37aに嵌合され、その係合溝部36bが摺動支持部材35bの被係合溝部37bに各々嵌合される。その状態で同図に示す白抜き矢印IVの方向に蓋体91を下流側から上流側へスライドして蓋体91の端部をチャンバー50の右端外壁に押し付けて、図示しない係合部材で蓋体91をチャンバー50に固定する。   Similarly, the lid body 91 is aligned with the opening 901 on the cooling processing section 90 in the direction of the white arrow III shown in FIG. 7B, and the lid body 91 is slid like a multi-groove rail on the cooling processing section 90 side. It mounts on the moving support members 35a and 35b. At this time, the multi-groove rail-shaped engaging groove portion 36a of the lid 91 is fitted into the engaged groove portion 37a of the sliding support member 35a, and the engaging groove portion 36b is engaged with the engaged groove portion 37b of the sliding support member 35b. Respectively. In this state, the lid body 91 is slid from the downstream side to the upstream side in the direction of the white arrow IV shown in the figure, the end of the lid body 91 is pressed against the right end outer wall of the chamber 50, and the lid is covered with an engagement member (not shown). The body 91 is fixed to the chamber 50.

次に、図8Aに示す白抜き矢印Vの方向に蓋体33を熱処理部20上の開口部201に位置合わせし、蓋体33を熱処理部20の側の摺動支持部材35a,35bに載置する。その状態で同図に示す白抜き矢印VIの方向に蓋体33を上流側から下流側へスライドして蓋体33の端部を蓋体34の端部に押し付けて、図示しない係合部材で蓋体33を蓋体34に固定する。   Next, the lid 33 is aligned with the opening 201 on the heat treatment section 20 in the direction of the white arrow V shown in FIG. 8A, and the lid 33 is placed on the sliding support members 35a and 35b on the heat treatment section 20 side. Put. In this state, the lid body 33 is slid from the upstream side to the downstream side in the direction of the white arrow VI shown in the figure, and the end portion of the lid body 33 is pressed against the end portion of the lid body 34, and the engagement member (not shown) The lid 33 is fixed to the lid 34.

同様にして、図8Aに示す白抜き矢印VIIの方向に蓋体92を冷却処理部90上の開口部901に位置合わせし、蓋体92を冷却処理部90の側の摺動支持部材35a,35bに載置する。その状態で蓋体92を下流側から上流側へスライドして蓋体92の端部を蓋体91の端部に押し付けて、図示しない係合部材で蓋体91を蓋体92に固定する。この構造によって、冷却処理部90で蓋体91,92を気密性良く支持できるようになり、かつ、蓋体91,92で気密性良く冷却処理部90を密閉できるようになる。   Similarly, the lid 92 is aligned with the opening 901 on the cooling processing unit 90 in the direction of the white arrow VII shown in FIG. 8A, and the lid 92 is slid on the sliding support member 35a on the cooling processing unit 90 side. 35b. In this state, the lid 92 is slid from the downstream side to the upstream side, the end of the lid 92 is pressed against the end of the lid 91, and the lid 91 is fixed to the lid 92 with an engagement member (not shown). With this structure, the lids 91 and 92 can be supported with good airtightness by the cooling processing unit 90, and the cooling processing unit 90 can be hermetically sealed with the lids 91 and 92.

同様にして、図8Bに示す蓋体32を熱処理部20上の開口部201に位置合わせし、蓋体32を熱処理部20の側の摺動支持部材35a,35bに載置する。その状態で同図に示す白抜き矢印VIIIの方向に蓋体32を上流側から下流側へスライドして蓋体32の端部を蓋体33の端部に押し付けて、図示しない係合部材で蓋体32を蓋体33に固定する。   Similarly, the lid body 32 shown in FIG. 8B is aligned with the opening 201 on the heat treatment section 20, and the lid body 32 is placed on the sliding support members 35 a and 35 b on the heat treatment section 20 side. In this state, the lid body 32 is slid from the upstream side to the downstream side in the direction of the white arrow VIII shown in the figure, and the end portion of the lid body 32 is pressed against the end portion of the lid body 33 with an engagement member not shown. The lid body 32 is fixed to the lid body 33.

その後、図8Bに示す白抜き矢印IXの方向に蓋体31を熱処理部20上の開口部201に位置合わせし、蓋体31の端部を蓋体33の端部に押し付けながら、熱処理部20の側の摺動支持部材35a,35bに載置し、図示しない係合部材で蓋体31を蓋体32に固定する。これにより、図8Cに示すように、熱処理部20の開口部201に仕切部材可動機構40の付いた蓋体31及び蓋体34を取り付けると共に、蓋体31と蓋体34との間に仕切部材可動機構40の付いていない蓋体32及び蓋体33を取り付け、及び、冷却処理部90の開口部901に仕切部材可動機構40の付いた蓋体91及び蓋体92を取り付けることができる。   After that, the lid body 31 is aligned with the opening 201 on the heat treatment section 20 in the direction of the white arrow IX shown in FIG. 8B, and the end of the lid body 31 is pressed against the end of the lid body 33, The lid body 31 is fixed to the lid body 32 by an engaging member (not shown). Accordingly, as shown in FIG. 8C, the lid body 31 and the lid body 34 with the partition member moving mechanism 40 are attached to the opening 201 of the heat treatment section 20, and the partition member is provided between the lid body 31 and the lid body 34. The lid body 32 and the lid body 33 without the movable mechanism 40 can be attached, and the lid body 91 and the lid body 92 with the partition member movable mechanism 40 can be attached to the opening 901 of the cooling processing unit 90.

このように第1の実施例としての噴流はんだ付け装置100によれば、蓋体31〜34は各々の所定の方向に沿って配設された一対の係合溝部36a,36bを有している。熱処理部20の側に設けられた摺動支持部材35a,35bは、熱処理部20の開口部201で相互に対峙する辺に沿って配設された一対の被係合溝部37a,37bを有している。   Thus, according to the jet soldering apparatus 100 as the first embodiment, the lid bodies 31 to 34 have a pair of engaging groove portions 36a and 36b arranged along their predetermined directions. . The sliding support members 35a and 35b provided on the heat treatment portion 20 side have a pair of engaged groove portions 37a and 37b disposed along sides facing each other at the opening 201 of the heat treatment portion 20. ing.

これを前提にして、熱処理部20の開口部201上を4枚の蓋体31,32,33,34で密閉する際に、蓋体31〜蓋体33の係合溝部36aが摺動支持部材35aの被係合溝部37aに嵌合され、その係合溝部36bが摺動支持部材35bの被係合溝部37bに各々嵌合される。   On the premise of this, when the upper part 201 of the heat treatment part 20 is sealed with the four cover bodies 31, 32, 33, 34, the engagement groove part 36a of the cover body 31 to the cover body 33 is a sliding support member. 35a is engaged with the engaged groove 37a, and the engagement groove 36b is engaged with the engaged groove 37b of the sliding support member 35b.

従って、最後の例えば、蓋体31を除く他の蓋体32〜蓋体34を熱処理部20上において、摺動自在に、かつ、気密性良く支持(密閉)すること、及び、最後の蓋体31で気密性良く熱処理部20を密閉できるようになる。   Therefore, for example, the other lid body 32 to 34 except for the lid body 31 are supported (sealed) slidably and airtightly on the heat treatment unit 20, and the last lid body. The heat treatment part 20 can be hermetically sealed at 31.

また、蓋体91,92は各々の所定の方向に沿って配設された一対の係合溝部36a,36bを有している。冷却処理部90の側に設けられた摺動支持部材35a,35bは、冷却処理部90の開口部901で相互に対峙する辺に沿って配設された一対の被係合溝部37a,37bを有している。   The lids 91 and 92 have a pair of engaging groove portions 36a and 36b arranged along their predetermined directions. The sliding support members 35a and 35b provided on the cooling processing unit 90 side include a pair of engaged groove portions 37a and 37b disposed along sides facing each other at the opening 901 of the cooling processing unit 90. Have.

これを前提にして、冷却処理部90の開口部901上を2枚の蓋体91,92で密閉する際に、蓋体91の係合溝部36aが摺動支持部材35aの被係合溝部37aに嵌合され、その係合溝部36bが摺動支持部材35bの被係合溝部37bに各々嵌合される。   On the premise of this, when the upper portion 901 of the cooling processing unit 90 is sealed with the two lids 91, 92, the engagement groove 36a of the lid 91 is engaged with the engaged groove 37a of the sliding support member 35a. The engaging groove portions 36b are respectively engaged with the engaged groove portions 37b of the sliding support member 35b.

従って、最後に取り付ける蓋体92を除く、蓋体91を冷却処理部90上において、摺動自在に、かつ、気密性良く支持(密閉)すること、及び、最後の蓋体92で気密性良く冷却処理部90を密閉できるようになる。これにより、当該蓋体支持密閉機構30を備えた噴流はんだ付け装置を提供できるようになる。   Therefore, the lid body 91 except for the lid body 92 to be attached at the end is supported (sealed) slidably and airtightly on the cooling processing unit 90, and the last lid body 92 is airtight. The cooling processing unit 90 can be sealed. Thereby, the jet soldering apparatus provided with the said lid support sealing mechanism 30 can be provided.

なお、蓋体31〜34、蓋体91及び92の開口部201,901への取り付け順序は、上記した実施例の順序に限定されることはなく、必要に応じて適宜変更できる。本例においては、蓋体31〜34、蓋体91及び92を取り外し可能な形態で説明したが、これに限られることはなく、ヒンジ機構で開閉可能な形態の蓋体にも適用できる。   Note that the order of attaching the lids 31 to 34 and the lids 91 and 92 to the openings 201 and 901 is not limited to the order of the above-described embodiments, and can be appropriately changed as necessary. In this example, the lids 31 to 34 and the lids 91 and 92 have been described as being removable. However, the present invention is not limited to this and can be applied to lids that can be opened and closed by a hinge mechanism.

続いて、図9及び図10を参照して、第2の実施例としての仕切部材可動構造例及びその組立例について説明する。図9に示す仕切部材可動機構40は、図1に示した噴流はんだ付け装置100の熱処理部20の開口部201を密閉する蓋体31,34及び、冷却処理部90の開口部901を密閉する蓋体91,92に備えられる。   Next, with reference to FIGS. 9 and 10, an example of the partition member movable structure and its assembly example as the second embodiment will be described. The partition member moving mechanism 40 shown in FIG. 9 seals the lids 31 and 34 that seal the opening 201 of the heat treatment unit 20 of the jet soldering apparatus 100 shown in FIG. 1 and the opening 901 of the cooling processing unit 90. The lids 91 and 92 are provided.

図9において、蓋体31は筺体構造の本体部301を有している。本体部301には図10に示すような仕切部材可動機構40が設けられる。仕切部材可動機構40は、複数のラビリンス部43、1枚の摺動基板44、11本の係止部材47、2本の係止部材48の他に、図10に示す4個の固定部材45a〜45b、断面凹状の2個の梗塞座部材46a,46bを有して構成される。仕切部材可動機構40は、仕切部材の一例を構成するラビリンス部43が外部へ露出する垂れ下がり長さ(以下露出長さL1,L2,L3という:図13参照)を調整するように取り扱われる。   In FIG. 9, the lid body 31 has a main body 301 having a housing structure. The main body 301 is provided with a partition member moving mechanism 40 as shown in FIG. The partition member moving mechanism 40 includes a plurality of labyrinth portions 43, one sliding substrate 44, eleven locking members 47, and two locking members 48, as well as four fixing members 45a shown in FIG. ˜45b and two infarct seat members 46a and 46b having a concave cross section. The partition member moving mechanism 40 is handled so as to adjust a hanging length at which the labyrinth portion 43 constituting an example of the partition member is exposed to the outside (hereinafter referred to as exposure lengths L1, L2, and L3: see FIG. 13).

この例では、梗塞座部材46a,46bには所定の形状を有した指標部401が設けられ、本体部301には、指標部401の一端が差し示す位置にスケール部402を有している。指標部401は例えば赤色の三角マークである。   In this example, the infarct seat members 46 a and 46 b are provided with an index portion 401 having a predetermined shape, and the main body portion 301 has a scale portion 402 at a position indicated by one end of the index portion 401. The indicator unit 401 is, for example, a red triangle mark.

スケール部402には、ラビリンス部43の露出長さL1〜L3を読み取り可能な目盛りが設けられる。目盛りは例えば1mm単位の等分目盛りで黒色で形成される。もちろん、固定側に指標部401を設け、可動側にスケール部402を設けてもよい。これにより、蓋体31を開放せずとも、蓋体31上でラビリンス部43の露出長さL1〜L3を確認できるようになる。   The scale portion 402 is provided with a scale that can read the exposed lengths L1 to L3 of the labyrinth portion 43. The scale is formed in black with an equally divided scale of 1 mm unit, for example. Of course, the indicator portion 401 may be provided on the fixed side, and the scale portion 402 may be provided on the movable side. Thereby, the exposed lengths L <b> 1 to L <b> 3 of the labyrinth portion 43 can be confirmed on the lid 31 without opening the lid 31.

続いて、図10〜図12を参照して、仕切部材可動機構40を含む蓋体31の組立例について説明する。この例では、図12に示す11本のスリット41が下部板304の所定の位置に開口され、スリット41毎にラビリンス部43を通すようになされる。全てのラビリンス部43は摺動基板44に共通して取り付ける。その際にラビリンス部43は列単位毎に摺動基板44のスリット49に挿入する。ラビリンス部43は、その一端が下部板304のスリット41毎に通されて熱処理部20の側に吊設して(垂れ下がる状態で)使用される。   Next, an assembly example of the lid body 31 including the partition member moving mechanism 40 will be described with reference to FIGS. In this example, eleven slits 41 shown in FIG. 12 are opened at predetermined positions of the lower plate 304 so that the labyrinth portion 43 passes through each slit 41. All the labyrinth portions 43 are attached to the sliding substrate 44 in common. At that time, the labyrinth portion 43 is inserted into the slit 49 of the sliding substrate 44 for each column. One end of the labyrinth part 43 is passed through each slit 41 of the lower plate 304 and is suspended from the heat treatment part 20 (in a state of hanging down).

これらを組立条件にして、ラビリンス部43にはその個々が短冊状を有したものを使用する。ラビリンス部43は摺動基板44に対してマトリクス状に配置される。当該ラビリンス部43と隣接するラビリンス部43とは、気密性を向上させるために、各々がオーバーラップして取り付けられることが好ましい。この例では11列×10行の合計110本のラビリンス部43が摺動基板44に取り付けられる。ラビリンス部43は耐熱性のゴム系の樹脂部材から構成される。摺動基板44には、所定の厚みを有した鉄板に11本のスリット49を開口加工したもの使用する。   Using these as assembling conditions, the labyrinth portion 43 having a strip shape is used. The labyrinth portion 43 is arranged in a matrix with respect to the sliding substrate 44. The labyrinth portion 43 and the adjacent labyrinth portion 43 are preferably attached so as to overlap each other in order to improve airtightness. In this example, a total of 110 labyrinth portions 43 of 11 columns × 10 rows are attached to the sliding substrate 44. The labyrinth portion 43 is composed of a heat-resistant rubber-based resin member. As the sliding substrate 44, an iron plate having a predetermined thickness and having 11 slits 49 opened is used.

この例で、図10に示す摺動基板44に、ラビリンス部43の各々の他端を取り付けると共に、ラビリンス部43及び摺動基板44から成る中間組立体を本体部301内に組み込むようにする。例えば、11本のスリット49を有した摺動基板44において、そのスリット49毎に、ラビリンス部43の端部をほぼ直角に折るようにその上部で係止部材47により固定する。ここで摺動基板44のスリット49を直角に折るように取り付けられたラビリンス部43の端部を、行方向の一対の係止部材48及び列方向の11本の係止部材47で摺動基板44に井桁に組んで固定するように組み立てる。これにより、ラビリンス部43が固定された摺動基板44から成る中間組立体が得られる。   In this example, the other end of each of the labyrinth portions 43 is attached to the sliding substrate 44 shown in FIG. 10, and an intermediate assembly including the labyrinth portion 43 and the sliding substrate 44 is incorporated into the main body portion 301. For example, in the sliding substrate 44 having eleven slits 49, the end of the labyrinth portion 43 is fixed by the locking member 47 at the upper portion so that the end portion of the labyrinth portion 43 is bent at a substantially right angle. Here, the end portion of the labyrinth portion 43 attached so as to fold the slit 49 of the sliding substrate 44 at a right angle is formed by a pair of locking members 48 in the row direction and eleven locking members 47 in the column direction. Assemble to 44 and fix it in a cross beam. Thereby, the intermediate assembly which consists of the sliding board | substrate 44 to which the labyrinth part 43 was fixed is obtained.

次に、ラビリンス部43及び摺動基板44から成る中間組立体を本体部301の内部に実装する。図11に示す本体部301は、矩形状の枠部材302及び上部板303と、図12に示す矩形状の下部板304とを有して構成される。本体部301は、その一方の面側を構成する下部板304に、図12に示すような複数のスリット41を有しており、図11に示すような他方の面側を構成する上部板303に、一対の長孔部42a〜42dを有している。   Next, an intermediate assembly composed of the labyrinth portion 43 and the sliding substrate 44 is mounted inside the main body portion 301. A main body 301 shown in FIG. 11 includes a rectangular frame member 302 and an upper plate 303, and a rectangular lower plate 304 shown in FIG. The main body 301 has a plurality of slits 41 as shown in FIG. 12 in a lower plate 304 constituting one surface side thereof, and an upper plate 303 constituting the other surface side as shown in FIG. And a pair of long hole portions 42a to 42d.

4個の長孔部42a〜42dが上部板303の所定の位置に開口され、長孔部42a〜42d及び、固定部材45a〜45dを介して摺動基板44の摺動位置を設定するようになされる。この例では、摺動基板44の水平方向の動きが、ラビリンス部43の垂直方向の動きに変換される(図13参照)。   Four long hole portions 42a to 42d are opened at predetermined positions of the upper plate 303, and the sliding position of the sliding substrate 44 is set via the long hole portions 42a to 42d and the fixing members 45a to 45d. Made. In this example, the horizontal movement of the sliding substrate 44 is converted into the vertical movement of the labyrinth portion 43 (see FIG. 13).

これらを組立条件にして、枠部材302と下部板304を組み立てて筺体を作成する。この筺体を構成する本体部301の内部に、上述の摺動基板44から成る中間組立体を実装する。その際に、下部板304の所定の位置に開口された11本のスリット41毎にラビリンス部43を通す。その後、摺動基板44上に上部板303を取り付ける。更に、長孔部42a,42b、梗塞座部材46aを介して固定部材45a,45bを摺動基板44の一方の端部に螺合する。   Using these as assembling conditions, the frame member 302 and the lower plate 304 are assembled to create a casing. An intermediate assembly composed of the above-mentioned sliding substrate 44 is mounted inside the main body 301 constituting the housing. At that time, the labyrinth part 43 is passed through every 11 slits 41 opened at a predetermined position of the lower plate 304. Thereafter, the upper plate 303 is attached on the sliding substrate 44. Further, the fixing members 45 a and 45 b are screwed into one end portion of the sliding substrate 44 through the long hole portions 42 a and 42 b and the infarct seat member 46 a.

また、長孔部42c,42d、梗塞座部材46bを介して固定部材45c,45dを摺動基板44の他方の端部に螺合する。固定部材45a〜45dには頭部に滑り止め加工を施したボルトネジが使用される。梗塞座部材46aには、少なくとも、本体部301の長孔部42a〜42dを覆う幅及び長さを有した断面凹状のものを使用する。これにより、当該本体部301の基板搬送方向に対してほぼ平行に摺動基板44を摺動自在に係合できるようになる。その際に、ラビリンス部43の露出長さL1〜L3を調整する。その後、固定部材45a〜45dを固定する。そして、隙間充填部材38a,38bを蓋体31の隣接面に接着する(図4参照)。これにより、図9に示したような仕切部材可動機構40を含む蓋体31が完成する。   Further, the fixing members 45c and 45d are screwed into the other end portion of the sliding substrate 44 through the long hole portions 42c and 42d and the infarct seat member 46b. For the fixing members 45a to 45d, bolt screws having anti-slip processing on the heads are used. As the infarct seat member 46a, a member having a concave cross section having a width and a length covering at least the long hole portions 42a to 42d of the main body portion 301 is used. As a result, the sliding substrate 44 can be slidably engaged substantially parallel to the substrate transport direction of the main body 301. In that case, exposure length L1-L3 of the labyrinth part 43 is adjusted. Thereafter, the fixing members 45a to 45d are fixed. Then, the gap filling members 38a and 38b are bonded to the adjacent surface of the lid 31 (see FIG. 4). Thereby, the cover body 31 including the partition member moving mechanism 40 as shown in FIG. 9 is completed.

このように完成した仕切部材可動機構40を有する蓋体31は、熱処理部20の基板搬入口202の付近(予備加熱ゾーン21)に設けられる。同機構を有する蓋体34は、チャンバー50の基板連通口203の付近(予備加熱ゾーン24)に設けられ、同機構を有する蓋体91は、冷却処理部90の基板連通口903の付近に設けられ、同機構を有する蓋体92は、冷却処理後のプリント基板1を排出する基板搬出口902に設けられる(図7参照)。   The lid body 31 having the partition member moving mechanism 40 thus completed is provided in the vicinity of the substrate carry-in port 202 of the heat treatment unit 20 (preheating zone 21). The lid 34 having the same mechanism is provided in the vicinity of the substrate communication port 203 of the chamber 50 (preheating zone 24), and the lid 91 having the same mechanism is provided in the vicinity of the substrate communication port 903 of the cooling processing unit 90. The lid 92 having the same mechanism is provided at the board carry-out port 902 for discharging the printed board 1 after the cooling process (see FIG. 7).

続いて、図13(A)〜(B)を参照して、仕切部材可動機構40の動作例について説明する。この例で、仕切部材可動機構40は電子部品の実装高さに対応してラビリンス部43の露出長さL1〜L3を可変できるようにした。ラビリンス部43はスリット41から外部へ、露出長さL1〜L3を有してたれ下がる。   Subsequently, an operation example of the partition member moving mechanism 40 will be described with reference to FIGS. In this example, the partition member movable mechanism 40 can change the exposed lengths L1 to L3 of the labyrinth portion 43 in accordance with the mounting height of the electronic component. The labyrinth portion 43 is lowered from the slit 41 to the outside with exposure lengths L1 to L3.

図13Aに示すL1はラビリンス部43の最大の露出長さである。同図に示すV1は固定部材45aの位置に係る最小離隔距離である。最小離隔距離V1は固定部材45aの軸芯から蓋体31の端部に至る距離である。この例では、固定部材45aが最小離隔距離V1に位置する場合にラビリンス部43を最大の露出長さL1に設定できるようになる。   L1 shown in FIG. 13A is the maximum exposed length of the labyrinth portion 43. V1 shown in the figure is the minimum separation distance related to the position of the fixing member 45a. The minimum separation distance V1 is a distance from the axis of the fixing member 45a to the end of the lid 31. In this example, when the fixing member 45a is positioned at the minimum separation distance V1, the labyrinth portion 43 can be set to the maximum exposure length L1.

図13Bに示すL2はラビリンス部43の中間の露出長さである。同図に示すV2は、固定部材45aの位置に係る中間離隔距離である。中間離隔距離V2は図13Aに示した位置から右側に固定部材45aが移動された後の固定部材45aの軸芯から蓋体31の端部に至る距離である。この例では、固定部材45aが中間離隔距離V2に位置する場合にラビリンス部43を中間の露出長さL2に設定できるようになる。   L <b> 2 shown in FIG. 13B is an intermediate exposure length of the labyrinth portion 43. V2 shown in the figure is an intermediate separation distance related to the position of the fixing member 45a. The intermediate separation distance V2 is a distance from the axial center of the fixing member 45a after the fixing member 45a is moved to the right side from the position shown in FIG. In this example, when the fixing member 45a is located at the intermediate separation distance V2, the labyrinth part 43 can be set to the intermediate exposure length L2.

図13Cに示すL3はラビリンス部43の最小の露出長さである。同図に示すV3は、固定部材45aの位置に係る最大離隔距離である。最大離隔距離V3は図13Bに示した位置から更に右側に固定部材45aが移動された後の固定部材45aの軸芯から蓋体31の端部に至る距離である。この例では、固定部材45aが最大離隔距離V3に位置する場合にラビリンス部43を最小の露出長さL3に設定できるようになる(L1>L2>L3)。   L3 shown in FIG. 13C is the minimum exposed length of the labyrinth portion 43. V3 shown in the figure is the maximum separation distance related to the position of the fixing member 45a. The maximum separation distance V3 is a distance from the axis of the fixing member 45a to the end of the lid 31 after the fixing member 45a is moved further to the right side from the position shown in FIG. 13B. In this example, when the fixing member 45a is located at the maximum separation distance V3, the labyrinth portion 43 can be set to the minimum exposure length L3 (L1> L2> L3).

なお、スリット41から取り込まれたラビリンス部43は、蓋体31の下部板304の内側と摺動基板44との間に引っ張り込む形態で収納される。また、仕切部材可動機構40を有した他の蓋体34,91,92も同様に機能するので、その説明は省略する。   Note that the labyrinth portion 43 taken in from the slit 41 is housed in a form of being pulled between the inside of the lower plate 304 of the lid 31 and the sliding substrate 44. Further, since the other lids 34, 91, 92 having the partition member moving mechanism 40 function in the same manner, the description thereof is omitted.

このように第2の実施例としての噴流はんだ付け装置100によれば、仕切部材可動機構40を有した蓋体31,34,91,92を備え、上部に開口部201を有した熱処理部20の側へ垂れ下げるラビリンス部43を電子部品に対応して可動する場合に、一対の固定部材45a〜45dを緩めると、本体部301の長孔部42a〜42dを介して固定されている摺動基板44であって、ラビリンス部43の各々の他端が取り付けられると共に、本体部301内に組み込まれた摺動基板44が、当該本体部301の基板搬送方向に対して摺動自在に係合されるようになる。   As described above, according to the jet soldering apparatus 100 as the second embodiment, the heat treatment unit 20 including the lids 31, 34, 91, 92 having the partition member moving mechanism 40 and having the opening 201 in the upper part. When the labyrinth portion 43 that hangs down to the side is movable corresponding to the electronic component, when the pair of fixing members 45a to 45d are loosened, the sliding is fixed through the long hole portions 42a to 42d of the main body portion 301. The other end of each of the labyrinth portions 43 is attached to the substrate 44, and the sliding substrate 44 incorporated in the main body portion 301 is slidably engaged with the substrate conveyance direction of the main body portion 301. Will come to be.

従って、長孔部42a〜42dの長さによって規制される範囲内で摺動基板44を移動すると、本体部301のスリット41から熱処理部20の側に垂れ下がるラビリンス部43の長さを自在に調整できるようになる。これにより、プリント基板1に対する電子部品の取り付け高さに対応してラビリンス部43の露出長さL1〜L3を自在に設定できるようになる。   Therefore, when the sliding substrate 44 is moved within a range regulated by the lengths of the long hole portions 42a to 42d, the length of the labyrinth portion 43 that hangs down from the slit 41 of the main body portion 301 toward the heat treatment portion 20 is freely adjusted. become able to. Accordingly, the exposed lengths L1 to L3 of the labyrinth portion 43 can be freely set according to the mounting height of the electronic component with respect to the printed circuit board 1.

しかも、本発明の仕切部材可動機構40と従来方式のラビリンス高さ調整機構とを比較した場合に、本発明では、従来方式のようなラビリンス部(抵抗体)を支持するラビリンス取付体自体を高さ方向へ移動する機構を省略すること、及び、外気遮断用の手段も省略することができ、従来方式のラビリンス高さ調整機構に比べて本発明の仕切部材可動機構40の簡易化が図れる。   Moreover, when the partition member moving mechanism 40 of the present invention is compared with the conventional labyrinth height adjusting mechanism, the labyrinth attachment body itself that supports the labyrinth portion (resistor) as in the conventional system is increased in the present invention. The mechanism that moves in the vertical direction can be omitted, and the means for shutting off the outside air can be omitted, and the partition member movable mechanism 40 of the present invention can be simplified as compared with the conventional labyrinth height adjusting mechanism.

更に、仕切部材可動機構40を有した蓋体31等と熱処理部20の搬送部10の上面との間の距離は、ラビリンス高さ調整を行っても、従来方式に比べて一定なので、ラビリンス高さを調整した後の窒素ガスの導入量もほぼ一定に保つことができる。従来方式は、ラビリンスを垂直方向に上昇させた分の容積に窒素ガスが必要になる。   Furthermore, since the distance between the lid 31 having the partition member moving mechanism 40 and the upper surface of the transfer unit 10 of the heat treatment unit 20 is constant as compared with the conventional method even if the labyrinth height is adjusted, the labyrinth height is high. The amount of nitrogen gas introduced after adjusting the thickness can be kept substantially constant. In the conventional system, nitrogen gas is required for the volume of the labyrinth raised in the vertical direction.

この例では、ボルトネジ等の固定部材45a〜45dで摺動基板44を固定する場合について説明したが、これに限られることはなく、蓋体31に駆動部を設け、部品の高さを計測した結果に基づいて、当該駆動部により摺動基板44を駆動し、自動的にラビリンス部43の高さを自動調整してもよい。   In this example, the case where the sliding substrate 44 is fixed by the fixing members 45a to 45d such as bolt screws has been described. However, the present invention is not limited to this, and a drive unit is provided in the lid 31 to measure the height of the component. Based on the result, the sliding substrate 44 may be driven by the driving unit, and the height of the labyrinth unit 43 may be automatically adjusted.

続いて、図14及び図15を参照して、第3の実施例として両端ガス供給機構70の構成例について説明する。図14に示す両端ガス供給機構70は、図1に示した噴流はんだ付け装置100に備えられる。両端ガス供給機構70は、図1に示した1組のガス供給部71,72と、ノズル管路75と、拡散部材76a,76bから構成される。   Next, a configuration example of the both-end gas supply mechanism 70 will be described as a third embodiment with reference to FIGS. 14 and 15. A double-end gas supply mechanism 70 shown in FIG. 14 is provided in the jet soldering apparatus 100 shown in FIG. The both-end gas supply mechanism 70 includes a pair of gas supply units 71 and 72, a nozzle pipe 75, and diffusion members 76a and 76b shown in FIG.

ノズル管路75は両端部にガス供給口を有し、かつ、所定の位置に複数のガス噴出口704を有して、窒素ガスを噴流はんだ槽60上の所定の方向に噴出する。例えば、ノズル管路75は、噴流はんだ槽60上の周縁部であって、プリント基板1が搬送される搬送方向とほぼ直交する方向に沿って配設される。ノズル管路75には、両端部から個々に窒素ガスが供給される。ノズル管路75には銅パイプやステンレスパイプ等が使用される。   The nozzle line 75 has gas supply ports at both ends and a plurality of gas outlets 704 at predetermined positions, and jets nitrogen gas in a predetermined direction on the jet solder bath 60. For example, the nozzle conduit 75 is a peripheral portion on the jet solder bath 60 and is disposed along a direction substantially orthogonal to the transport direction in which the printed circuit board 1 is transported. Nitrogen gas is supplied to the nozzle pipe 75 individually from both ends. For the nozzle pipe 75, a copper pipe, a stainless steel pipe, or the like is used.

この例で、噴流はんだ槽60上の周囲縁部には拡散部材76a,76bが備えられ、ノズル管路75から噴出される窒素ガスを噴流はんだ槽60上の周囲縁部に拡散するようになされる。拡散部材76a,76bは、チャンバー50の開口部501の下方に配置される。   In this example, diffusion members 76 a and 76 b are provided at the peripheral edge on the jet solder bath 60, and the nitrogen gas ejected from the nozzle conduit 75 is diffused to the peripheral edge on the jet solder bath 60. The The diffusion members 76 a and 76 b are disposed below the opening 501 of the chamber 50.

図15に示すノズル管路75は、U状部分75a,75b、水平部分75c及び管路接続部701,702,711,712から構成される。この例では水平部分75cに8個のガス噴出口704が開口されている。ガス噴出口704は水平部分75cの中心部位から左右に同一ピッチで4個ずつ一列に並べられている。ガス噴出口704の開口方向は、プリント基板1の搬送方向であって、図中で、斜め右上部である。   The nozzle conduit 75 shown in FIG. 15 includes U-shaped portions 75a and 75b, a horizontal portion 75c, and conduit connection portions 701, 702, 711, and 712. In this example, eight gas outlets 704 are opened in the horizontal portion 75c. Four gas outlets 704 are arranged in a row at the same pitch from the center of the horizontal portion 75c to the left and right. The opening direction of the gas outlet 704 is the direction in which the printed circuit board 1 is conveyed, and is the upper right portion in the drawing.

U状部分75aの一端は、管路接続部711を介して水平部分75cの一端に接続される。U状部分75aの他端は、管路接続部701に接続される。U状部分75bの一端は、管路接続部712を介して水平部分75cの他端に接続される。U状部分75bの他端は管路接続部702に接続される。管路接続部701,702は、断面L状のアングル架台77に取り付けられる。アングル架台77は図14に示した噴流はんだ槽60上の周縁部に固定される。これにより、ノズル管路75を管路接続部701,702を介してアングル架台77に固定できるようになる。   One end of the U-shaped portion 75a is connected to one end of the horizontal portion 75c via a pipe connection portion 711. The other end of the U-shaped portion 75a is connected to the pipe connection portion 701. One end of the U-shaped portion 75b is connected to the other end of the horizontal portion 75c via a pipe connection portion 712. The other end of the U-shaped portion 75b is connected to the pipe connection portion 702. The pipe connection portions 701 and 702 are attached to an angle mount 77 having an L-shaped cross section. The angle mount 77 is fixed to the peripheral edge on the jet solder bath 60 shown in FIG. As a result, the nozzle pipe 75 can be fixed to the angle frame 77 via the pipe connecting portions 701 and 702.

管路接続部701,702はノズル管路75の両端部でガス供給口を構成する。管路接続部701は図示しないガス管路に接続されてガス供給部71に接続され、窒素ガスが供給される。管路接続部702も図示しないガス管路に接続されてガス供給部72に接続され、窒素ガスが供給される。上記のU状部分75a,75b、水平部分75cは一本のパイプから形成してもよい。このように構成すると、管路接続部711,712が不要となる。   The pipe connection parts 701 and 702 constitute gas supply ports at both ends of the nozzle pipe line 75. The pipe connection part 701 is connected to a gas pipe (not shown) and connected to the gas supply part 71, and nitrogen gas is supplied. The pipe connection part 702 is also connected to a gas pipe (not shown) and connected to the gas supply part 72, and nitrogen gas is supplied. The U-shaped portions 75a and 75b and the horizontal portion 75c may be formed from a single pipe. If comprised in this way, the pipe connection part 711,712 will become unnecessary.

このようなノズル管路75を噴流はんだ槽60上に配設すると、プリント基板1のはんだ付け完了直前、直後のいわゆるビールバックポイントにおいて、所定の方向に搬送されるプリント基板1の幅方向に窒素ガスを噴射できるようになる。例えば、ガス供給部71,72によって、P1=P2で窒素ガスを均等にプリント基板1の幅方向に噴出できるようになる。   When such a nozzle pipe 75 is disposed on the jet solder bath 60, nitrogen is introduced in the width direction of the printed circuit board 1 conveyed in a predetermined direction at a so-called beer back point immediately before and after the completion of soldering of the printed circuit board 1. Gas can be injected. For example, the gas supply units 71 and 72 can eject nitrogen gas evenly in the width direction of the printed circuit board 1 with P1 = P2.

この例で、ノズル管路75は、両端部からガス噴出口704に至る部分の一部が噴流はんだ槽60内に導かれて浸漬される迂回構造を有する。例えば、U状部分75a,75bが噴流はんだ槽60内に浸漬する構造となされる。このようにノズル管路75を構成すると、ガス噴出口404から窒素ガスを噴出する前に当該窒素ガスを予備加熱できるようになる。   In this example, the nozzle conduit 75 has a detour structure in which a part of the portion from both ends to the gas ejection port 704 is guided and immersed in the jet solder bath 60. For example, the U-shaped portions 75 a and 75 b are immersed in the jet solder bath 60. If the nozzle conduit 75 is configured in this manner, the nitrogen gas can be preheated before the nitrogen gas is ejected from the gas ejection port 404.

この例では、管路接続部702に隣接して管路接続部703がアングル架台77に取り付けられる。管路接続部703には、窒素ガス検出用の開放管路78が接続される。開放管路78は噴流はんだ槽60上の窒素ガスの濃度を測定するために設けられる。開放管路78は窒素ガスを取り込む開放口708を有している。開放口708は、プリント基板1の搬送方向であって、その下流側に向くように設定されている。この開放口708を下流側に向くようにしたのは、拡散部材76a内の窒素ガスをより正確に測定することと、開放口708に溶融はんだ7が入り込まないようにするためである。   In this example, the pipe connection part 703 is attached to the angle mount 77 adjacent to the pipe connection part 702. An open pipeline 78 for detecting nitrogen gas is connected to the pipeline connection portion 703. An open line 78 is provided for measuring the concentration of nitrogen gas on the jet solder bath 60. The open pipe 78 has an open port 708 for taking in nitrogen gas. The opening 708 is set so as to face the downstream side in the conveyance direction of the printed circuit board 1. The reason why the opening 708 faces the downstream side is to measure the nitrogen gas in the diffusion member 76a more accurately and to prevent the molten solder 7 from entering the opening 708.

続いて、図16及び図17を参照して、拡散部材76a,76b、その周辺部の構成例及びその機能例について説明する。図16に示すチャンバー50は箱体を有し、その箱体の上下左右に開口部を有している。上部側の開口部501には、後述する蓋体ユニット80が組み合わされる。下部側の開口部502には噴流はんだ槽60が組み合わされる。左部側の開口部503(基板連通口203)には熱処理部20が組み合わされる。右部側の開口部504(基板連通口903)には冷却処理部90が組み合わされる。   Then, with reference to FIG.16 and FIG.17, the diffusing member 76a, 76b, the structural example of the peripheral part, and its function example are demonstrated. The chamber 50 shown in FIG. 16 has a box, and has openings on the top, bottom, left, and right of the box. A lid unit 80 described later is combined with the opening 501 on the upper side. The jet solder bath 60 is combined with the lower opening 502. The heat treatment unit 20 is combined with the left side opening 503 (substrate communication port 203). The cooling processing unit 90 is combined with the opening 504 (substrate communication port 903) on the right side.

この例で、噴流はんだ槽60上の周囲縁部には拡散部材76a,76bが備えられる。拡散部材76a,76bは、チャンバー50の開口部502の下面側に取り付けられる。開口部502の下面側には仕切壁部58が設けられ、拡散部材76aは仕切壁部58に沿って取り付けられる。拡散部材76a,76bには折り曲げ加工を施した鉄板やステンレス板等が使用される。   In this example, diffusion members 76 a and 76 b are provided on the peripheral edge portion on the jet solder bath 60. The diffusion members 76 a and 76 b are attached to the lower surface side of the opening 502 of the chamber 50. A partition wall 58 is provided on the lower surface side of the opening 502, and the diffusion member 76 a is attached along the partition wall 58. As the diffusion members 76a and 76b, a bent iron plate, stainless steel plate or the like is used.

上述した拡散部材76aは、図17に示すようにノズル管路75を包含する形態で組み立てられる。拡散部材76aは、ノズル管路75から噴出される窒素ガスを所定の方向、例えば、ビールバックポイントに導く傾斜案内部位721を含む仕切壁部722を有し、傾斜案内部位721及び仕切壁部722に開口されたガス拡散用の複数の孔部706,707を含む拡散構造を有している。孔部706は傾斜案内部位721に設けられ、孔部707は仕切壁部722に設けられる(図18参照)。また、仕切壁部722は噴流はんだ槽60の溶融はんだ7内に常時浸漬させるように設けられている。これは窒素ガス雰囲気の濃度の変化を避けるためである。   The diffusion member 76a described above is assembled in a form including the nozzle conduit 75 as shown in FIG. The diffusion member 76a includes a partition wall portion 722 including an inclined guide portion 721 that guides nitrogen gas ejected from the nozzle pipe line 75 to a beer back point in a predetermined direction, for example, the inclined guide portion 721 and the partition wall portion 722. A diffusion structure including a plurality of holes 706 and 707 for gas diffusion that are opened to the surface. The hole 706 is provided in the inclined guide portion 721, and the hole 707 is provided in the partition wall 722 (see FIG. 18). Moreover, the partition wall part 722 is provided so that it may always be immersed in the molten solder 7 of the jet solder bath 60. This is to avoid a change in the concentration of the nitrogen gas atmosphere.

図17において、窒素ガスは図中、矢印に示すように、拡散部材76aの内側において、ノズル管路75のガス噴出口704から仕切壁部722と対峙する側又は傾斜案内部位721に隣接する側に向けて噴出される。このガス噴出口704の向きは、直接、窒素ガスが噴流はんだ槽60の液面に吹き罹らないようにするためである。   In FIG. 17, as indicated by an arrow in the drawing, the nitrogen gas is located on the inner side of the diffusing member 76 a on the side facing the partition wall 722 from the gas outlet 704 of the nozzle pipe 75 or on the side adjacent to the inclined guide portion 721. Erupted toward the. The direction of the gas outlet 704 is to prevent the nitrogen gas from directly blowing on the liquid surface of the jet solder bath 60.

また、図中の分離壁部79は所定の厚みを有した板金部材から構成され、ノズル管路75の水平部分75cのほぼ中心部位に対向する位置であって、チャンバー50の下方の仕切壁部58から突出するように設けられる。分離壁部79は、ノズル管路45の左側の4個のガス噴出口704から噴出された窒素ガスの拡散領域と、右側の4個のガス噴出口704から噴出された窒素ガスの拡散領域とを分離(画定)するように機能する。   Further, the separation wall 79 in the figure is made of a sheet metal member having a predetermined thickness, and is a position facing the substantially central portion of the horizontal portion 75c of the nozzle pipe 75, and is a partition wall below the chamber 50. 58 so as to protrude from 58. The separation wall 79 includes a diffusion region of nitrogen gas ejected from the four gas ejection ports 704 on the left side of the nozzle conduit 45 and a diffusion region of nitrogen gas ejected from the four gas ejection ports 704 on the right side. Functions to separate.

なお、拡散部材76bも同様に構成されるので、その説明を省略する。このような拡散部材76a,76bを備えると、ビールバックポイントに窒素ガスを噴射することができると共に、窒素ガスを噴流はんだ槽60上の周囲縁部の方向へ、より柔軟に拡散できるようになる。   In addition, since the diffusing member 76b is configured similarly, the description thereof is omitted. When such diffusion members 76a and 76b are provided, nitrogen gas can be injected to the beer back point, and nitrogen gas can be diffused more flexibly in the direction of the peripheral edge on the jet solder bath 60. .

この例では、図16に示すように、ガス噴出部の一例を構成する2つの蒲鉾状の拡散ノズル51,52がチャンバー50内に設けられ、噴流はんだ槽60の上部側からもチャンバー内に窒素ガスを噴出するようになされる。拡散ノズル51は、ノズル管路505、拡散板507及びノズル本体部509を有して構成される。ノズル本体部509は筒体を半分に切断したような断面円弧状を有しており、その切断部分が開口部となされる。図中、二点鎖線で示す部分は、ラビリンス(仕切)部材であり、チャンバー50内でも、その上部から下部へ垂れ下がっている。必要に応じて、適宜、部分的にまたは全部削除しても良い。   In this example, as shown in FIG. 16, two bowl-shaped diffusion nozzles 51 and 52 that constitute an example of the gas ejection portion are provided in the chamber 50, and nitrogen is also introduced into the chamber from the upper side of the jet solder bath 60. It is made to spout gas. The diffusion nozzle 51 includes a nozzle conduit 505, a diffusion plate 507, and a nozzle body 509. The nozzle main body 509 has an arcuate cross section that is obtained by cutting a cylindrical body in half, and the cut portion is an opening. In the drawing, a portion indicated by a two-dot chain line is a labyrinth (partition) member, and also hangs down from the upper part to the lower part in the chamber 50. If necessary, some or all may be deleted as appropriate.

ノズル管路505はノズル本体部509内に包含され、ノズル管路505は、一対のブラケット53に回転自在に係合される。ブラケット53はノズル管路505を軸体とした軸受け機能を有している。ブラケット53はチャンバー50内のL状の垂下部55に取り付けられる。ノズル管路505はガス供給部73に接続される。拡散板507は、図示しないガス噴出用の複数の孔部を有しており、ノズル本体部509の開口部分を覆うように取り付けられる。   The nozzle conduit 505 is included in the nozzle body 509, and the nozzle conduit 505 is rotatably engaged with the pair of brackets 53. The bracket 53 has a bearing function with the nozzle conduit 505 as a shaft body. The bracket 53 is attached to an L-shaped hanging portion 55 in the chamber 50. The nozzle conduit 505 is connected to the gas supply unit 73. The diffusion plate 507 has a plurality of gas ejection holes not shown, and is attached so as to cover the opening of the nozzle body 509.

拡散ノズル52は、ノズル管路506、拡散板508及びノズル本体部510を有して構成される。ノズル本体部510は筒体を半分に切断したような断面円弧状を有しており、その切断部分が開口部となされる。ノズル管路506はノズル本体部510内に包含され、ノズル管路506は、一対のブラケット54に回転自在に係合される。ブラケット54はノズル管路506を軸体とした軸受け機能を有している。   The diffusion nozzle 52 includes a nozzle conduit 506, a diffusion plate 508, and a nozzle main body 510. The nozzle main body 510 has an arcuate cross-section that is obtained by cutting a cylindrical body in half, and the cut portion serves as an opening. The nozzle conduit 506 is included in the nozzle body 510, and the nozzle conduit 506 is rotatably engaged with the pair of brackets 54. The bracket 54 has a bearing function with the nozzle conduit 506 as a shaft body.

ブラケット54はチャンバー50内のL状の垂下部56に取り付けられる。ノズル管路506はガス供給部73に接続される。拡散板508は、図示しないガス噴出用の複数の孔部を有しており、ノズル本体部510の開口部分を覆うように取り付けられる。なお、図中、θ1,θ2は拡散角度である。   The bracket 54 is attached to an L-shaped hanging portion 56 in the chamber 50. The nozzle conduit 506 is connected to the gas supply unit 73. The diffuser plate 508 has a plurality of holes for gas ejection (not shown) and is attached so as to cover the opening of the nozzle body 510. In the figure, θ1 and θ2 are diffusion angles.

例えば、拡散角度θ1は図中の一点鎖線に示す水平基線と、破線に示す拡散中心基線との間の角度である。拡散中心基線は拡散ノズル51において、ノズル管路505の管中心と、拡散板507の幅方向の中心を結ぶ線分である。拡散ノズル52についても同様に定義される。これらの構造により、拡散ノズル51,52はブラケット53,54を基準にして、拡散角度θ1,θ2を自在に調整できるようになる。   For example, the diffusion angle θ1 is an angle between a horizontal base line indicated by a one-dot chain line in the drawing and a diffusion center base line indicated by a broken line. In the diffusion nozzle 51, the diffusion center base line is a line segment that connects the tube center of the nozzle conduit 505 and the center of the diffusion plate 507 in the width direction. The same applies to the diffusion nozzle 52. With these structures, the diffusion nozzles 51 and 52 can freely adjust the diffusion angles θ1 and θ2 with reference to the brackets 53 and 54, respectively.

続いて、図18を参照して、ノズル管路75の制御例について説明する。図18に示すノズル管路75の制御系によれば、入力部64及び供給制御部605を有して、ガス供給部71,72の制御を実行する。   Next, a control example of the nozzle conduit 75 will be described with reference to FIG. According to the control system of the nozzle pipe line 75 shown in FIG. 18, the input unit 64 and the supply control unit 605 are provided to control the gas supply units 71 and 72.

入力部64は、実装分布情報(以下実装分布データD64という)を入力するように操作される。実装分布データD64は、プリント基板1に取り付けられる電子部品の実装分布を示すデータである。例えば、実装分布データD64は、プリント基板1の搬送方向と直交する幅方向において、当該プリント基板1の幅を中心部分で2分する左右の領域に分布するはんだ付け箇所の数や、プリント基板1に実装される電子部品の高さ等の情報である。実装分布データD64は入力部64から供給制御部605へ出力される。   The input unit 64 is operated to input mounting distribution information (hereinafter referred to as mounting distribution data D64). The mounting distribution data D64 is data indicating a mounting distribution of electronic components attached to the printed circuit board 1. For example, the mounting distribution data D64 includes the number of soldering points distributed in the left and right regions that divide the width of the printed circuit board 1 into two at the center in the width direction orthogonal to the conveyance direction of the printed circuit board 1, and the printed circuit board 1 This is information such as the height of the electronic component mounted on the board. The mounting distribution data D64 is output from the input unit 64 to the supply control unit 605.

入力部64には供給制御部605が接続される。供給制御部605は、窒素ガスの供給圧力を実装分布データD64に対応して調整するようにガス供給部71,72を制御する。窒素ガスは、ノズル管路75の各々一端部から供給される。供給制御部605は、実装分布データD64に対応して供給制御信号S71,S72を生成する。   A supply control unit 605 is connected to the input unit 64. The supply control unit 605 controls the gas supply units 71 and 72 so as to adjust the supply pressure of nitrogen gas corresponding to the mounting distribution data D64. Nitrogen gas is supplied from one end of each nozzle line 75. The supply control unit 605 generates supply control signals S71 and S72 corresponding to the mounting distribution data D64.

この例で、ノズル管路75の一端部へ供給する窒素ガスの加圧力をP1とし、当該ノズル管路75の他端部へ供給する窒素ガスの加圧力をP2としたとき、供給制御部605は、実装分布データD64が、プリント基板1に均等に電子部品を取り付ける内容の実装分布を示す場合に、窒素ガスの加圧力をP1=P2となるような供給制御信号S71,S72を生成する。このような供給制御信号S71をガス供給部71に出力し、供給制御信号S72をガス供給部72に出力する。   In this example, when the pressure of the nitrogen gas supplied to one end of the nozzle pipe 75 is P1, and the pressure of the nitrogen gas supplied to the other end of the nozzle pipe 75 is P2, the supply control unit 605 Generates the supply control signals S71 and S72 such that the pressure of the nitrogen gas is P1 = P2 when the mounting distribution data D64 indicates the mounting distribution in which the electronic components are evenly attached to the printed circuit board 1. Such a supply control signal S71 is output to the gas supply unit 71, and a supply control signal S72 is output to the gas supply unit 72.

また、実装分布データD64が、プリント基板1の一端(例えば、左端)部側に片寄って電子部品を取り付ける内容の実装分布を示す場合に、窒素ガスの加圧力をP1>P2となるような供給制御信号S71,S72を生成する。このような供給制御信号S71をガス供給部71に出力し、供給制御信号S72をガス供給部72に出力する。   Further, when the mounting distribution data D64 indicates a mounting distribution in which the electronic component is attached to one end (for example, the left end) of the printed circuit board 1, the supply pressure of the nitrogen gas is P1> P2. Control signals S71 and S72 are generated. Such a supply control signal S71 is output to the gas supply unit 71, and a supply control signal S72 is output to the gas supply unit 72.

更に、実装分布データD64が、プリント基板1の他端(右端)部側に片寄って電子部品を取り付ける内容の実装分布を示す場合に、窒素ガスの加圧力をP1<P2となるよう供給制御信号S71,S72を生成する。このような供給制御信号S71をガス供給部71に出力し、供給制御信号S72をガス供給部72に出力して、当該ガス供給部71,72を制御する。   Further, when the mounting distribution data D64 indicates a mounting distribution in which the electronic component is attached to the other end (right end) side of the printed circuit board 1, the supply control signal is set so that the pressure of the nitrogen gas satisfies P1 <P2. S71 and S72 are generated. The supply control signal S71 is output to the gas supply unit 71, and the supply control signal S72 is output to the gas supply unit 72 to control the gas supply units 71 and 72.

ガス供給部71は、供給制御信号S71に基づいてノズル管路75の一端部から窒素ガスを供給する。ガス供給部72は、供給制御信号S72に基づいてノズル管路75の他端部から窒素ガスを供給する。これにより、個々のガス供給部71,72からノズル管路75の両端部に窒素ガスを個々に供給できるようになる。   The gas supply unit 71 supplies nitrogen gas from one end of the nozzle conduit 75 based on the supply control signal S71. The gas supply unit 72 supplies nitrogen gas from the other end of the nozzle conduit 75 based on the supply control signal S72. As a result, nitrogen gas can be individually supplied from the individual gas supply units 71 and 72 to both ends of the nozzle pipe line 75.

ここで、図19A及びBを参照して、ガス供給部71,72及びノズル管路75と電気回路等の関係例について説明する。図19Aに示す窒素ガス供給系は、図19Bに示すような抵抗r,抵抗Rを梯子状に接続した電気回路に置き換えて動作を考察することができる。   Here, with reference to FIG. 19A and B, the example of relationship between the gas supply parts 71 and 72 and the nozzle pipe line 75, an electric circuit, etc. is demonstrated. The operation of the nitrogen gas supply system shown in FIG. 19A can be considered by replacing the resistors r and R shown in FIG. 19B with an electric circuit connected in a ladder shape.

図19Aに示す窒素ガス供給系のガス供給部71,72及びN2ガスタンク74は、図19Bに示す梯子状の電気回路の両端部から電流(窒素ガス)を供給する直流電源E1,E2に対応している。大気がGND(大地)に対応している。   The gas supply units 71 and 72 and the N2 gas tank 74 of the nitrogen gas supply system shown in FIG. 19A correspond to DC power supplies E1 and E2 that supply current (nitrogen gas) from both ends of the ladder-like electric circuit shown in FIG. 19B. ing. The atmosphere corresponds to GND (ground).

ノズル管路75に開口された8個(a,b,c,d,e,f,g,h点)のガス噴出口704は、電気回路の抵抗Rに対応する。窒素ガス供給系のノズル管路75の総抵抗は、電気回路の抵抗Σrに対応する。抵抗rはガス噴出口704間、例えば、E1−a間、a−b間、b−c間・・・g−h間、h−E2間等の抵抗に相当する。抵抗Rは抵抗rに比べて大きい(R>>r)。   Eight gas outlets 704 (points a, b, c, d, e, f, g, and h) opened in the nozzle conduit 75 correspond to the resistance R of the electric circuit. The total resistance of the nozzle line 75 of the nitrogen gas supply system corresponds to the resistance Σr of the electric circuit. The resistance r corresponds to the resistance between the gas outlets 704, for example, between E1-a, between a-b, between bc ... g-h, between h-E2, and the like. The resistance R is larger than the resistance r (R >> r).

窒素ガス供給系で、窒素ガスの加圧力をP1=P2に設定したとき、すなわち、電気回路の直流電源をE1=E2に設定した場合は、重ね合わせの理により、d−e点間には電流が流れないので、8個のa,b,c,d,e,f,g,h点から各々GNDに均等に電流(窒素ガス)が流れる。   In the nitrogen gas supply system, when the pressure of the nitrogen gas is set to P1 = P2, that is, when the DC power supply of the electric circuit is set to E1 = E2, due to the superposition reason, the distance between the points de Since current does not flow, current (nitrogen gas) flows equally from the eight points a, b, c, d, e, f, g, and h to GND.

一方、窒素ガス供給系で、窒素ガスの加圧力をP1>P2に設定したとき、すなわち、電気回路の直流電源をE1>E2に設定した場合は、重ね合わせの理により、d−e点間には実線の矢印に示す方向に電流が流れるので、右側半分の4個のe,f,g,h点から各々GNDに流れる電流(窒素ガス)に比べて、左側半分の4個のa,b,c,d点から各々GNDへ流れる電流(窒素ガス)が多くなる。   On the other hand, when the pressure of nitrogen gas is set to P1> P2 in the nitrogen gas supply system, that is, when the DC power supply of the electric circuit is set to E1> E2, the distance between the points de Since the current flows in the direction indicated by the solid line arrow, the left half of the four a, f, g, and h currents flowing from the four points e, f, g, h to the GND (nitrogen gas) respectively. The current (nitrogen gas) flowing from the points b, c, and d to GND increases.

反対に、窒素ガスの加圧力をP1<P2に設定したとき、すなわち、電気回路の直流電源をE1<E2に設定した場合は、重ね合わせの理により、d−e点間には破線の矢印に示す方向に電流が流れるので、左側半分の4個のa,b,c,d点から各々GNDへ流れる電流(窒素ガス)に比べて、右側半分の4個のe,f,g,h点から各々GNDに流れる電流(窒素ガス)が多くなる。   On the other hand, when the pressure of nitrogen gas is set to P1 <P2, that is, when the DC power source of the electric circuit is set to E1 <E2, a broken line arrow is provided between points d and e due to superposition. Since the current flows in the direction shown in FIG. 4, the four e, f, g, and h in the right half are compared to the current (nitrogen gas) that flows from the four a, b, c, and d points in the left half to the GND. The current (nitrogen gas) flowing from each point to GND increases.

このように第3の実施例としての噴流はんだ付け装置100によれば、両端ガス供給機構70を備え、供給制御部605がプリント基板1に取り付けられる電子部品の実装分布データD64に対応して、ノズル管路75の一端部から供給する窒素ガスの供給圧力を調整するように、個々のガス供給部71,72を制御する。   As described above, according to the jet soldering apparatus 100 as the third embodiment, the both end gas supply mechanism 70 is provided, and the supply control unit 605 corresponds to the mounting distribution data D64 of the electronic component attached to the printed circuit board 1. The individual gas supply units 71 and 72 are controlled so as to adjust the supply pressure of the nitrogen gas supplied from one end of the nozzle conduit 75.

この調整制御によって、電子部品の実装分布に対応した窒素ガスを噴流はんだ槽60上の所定の方向に噴出することができる。これにより、プリント基板1の搬送方向を基準にして、電子部品が当該プリント基板1の一方の側に片寄って実装されている場合、電子部品が片寄って実装された側に多く窒素ガスを噴出できるようになる。また、開放管路78でサンプリングされた窒素ガスの濃度を測定し、その測定結果に基づいて供給制御部605を介して窒素ガスの濃度(流量)を調整することもできる。   With this adjustment control, nitrogen gas corresponding to the electronic component mounting distribution can be ejected in a predetermined direction on the jet solder bath 60. Accordingly, when the electronic component is mounted on one side of the printed circuit board 1 with the transport direction of the printed circuit board 1 as a reference, a large amount of nitrogen gas can be ejected on the side on which the electronic component is mounted on the other side. It becomes like this. It is also possible to measure the concentration of nitrogen gas sampled in the open line 78 and adjust the concentration (flow rate) of nitrogen gas via the supply control unit 605 based on the measurement result.

続いて、図20〜図23を参照して、第4の実施例としての蓋体ユニット80の構成例及びその機能例について説明する。図20に示す蓋体ユニット80は噴流はんだ付け装置100のチャンバー50上に取り付けられる。この例では、拡散ノズル51,52を内包するチャンバー50の上方側に、蓋体ユニット80が取り付けられる。蓋体ユニット80は、スリット付きの筺体構造(扁平筺体空間)の本体部84を有している。   Then, with reference to FIGS. 20-23, the structural example and the functional example of the cover body unit 80 as a 4th Example are demonstrated. A lid unit 80 shown in FIG. 20 is mounted on the chamber 50 of the jet soldering apparatus 100. In this example, a lid unit 80 is attached to the upper side of the chamber 50 containing the diffusion nozzles 51 and 52. The lid unit 80 has a main body 84 having a housing structure (flat housing space) with a slit.

本体部84には雰囲気送入口801及び雰囲気排出口802が設けられる。雰囲気送入口801及び雰囲気排出口802は、プリント基板1の搬送方向に対してほぼ平行に設けられる。例えば、雰囲気送入口801は、プリント基板1を搬送する方向とほぼ直交する面であって、本体部84の一方の側面に設けられ、雰囲気排出口802は、本体部84の一方の側面に対向する他方の面に設けられる。   The main body portion 84 is provided with an atmosphere inlet 801 and an atmosphere outlet 802. The atmosphere inlet / outlet 801 and the atmosphere outlet 802 are provided substantially parallel to the transport direction of the printed circuit board 1. For example, the atmosphere inlet 801 is a surface that is substantially orthogonal to the direction in which the printed circuit board 1 is conveyed, and is provided on one side surface of the main body portion 84, and the atmosphere discharge port 802 faces the one side surface of the main body portion 84. Provided on the other surface.

雰囲気送入口801にはL状の吸気管88が接続され、フラックスヒュームを除去した窒素ガスを含む雰囲気が供給される。雰囲気排出口802にもL状の排気管89が接続され、フラックスヒュームを含んだ雰囲気が排出される。このように吸気管88,89を蓋体ユニット80の側面に配置したことで、管路部材等が垂直方向へ延在する事態が避けられ、噴流はんだ装置100の全体高さを低く設計できるようになった。   An L-shaped intake pipe 88 is connected to the atmosphere inlet 801, and an atmosphere containing nitrogen gas from which flux fumes have been removed is supplied. An L-shaped exhaust pipe 89 is also connected to the atmosphere discharge port 802 to discharge the atmosphere containing flux fume. By arranging the intake pipes 88 and 89 on the side surface of the lid unit 80 in this way, a situation where the pipe members and the like extend in the vertical direction can be avoided, and the overall height of the jet soldering apparatus 100 can be designed to be low. Became.

本体部84の底面部位にはスリット806が設けられる。蓋体ユニット80は、スリット806を介して、チャンバー50内からフラックスヒュームを含んだ雰囲気を取り込むようになされる。スリット806の数は、その幅及び長さにもよるが、例えば、5乃至10本程度である。   A slit 806 is provided in the bottom surface portion of the main body portion 84. The lid unit 80 takes in an atmosphere containing flux fume from the chamber 50 through the slit 806. The number of slits 806 is, for example, about 5 to 10 although it depends on the width and length.

この例で、本体部84の内側において、雰囲気送入口801の下流側には、2枚の第1の整流板85a,85b(フィルタ壁)が設けられる。雰囲気排出口802の上流側にも2枚の第2の整流板85c,85dが設けられる。整流板85a〜85dの各々には複数の孔部が設けられる。整流板85a,85bは、フラックスヒュームを除去した窒素ガスを含む雰囲気を複数の孔部に通すことで、その流れを整えるように機能する。整流板85c,85dは、フラックスヒュームを含んだ雰囲気を複数の孔部に通すことで、その流れを整えるように機能する。   In this example, two first rectifying plates 85 a and 85 b (filter walls) are provided inside the main body 84 and downstream of the atmosphere inlet 801. Two second rectifying plates 85 c and 85 d are also provided on the upstream side of the atmosphere discharge port 802. Each of the rectifying plates 85a to 85d is provided with a plurality of holes. The rectifying plates 85a and 85b function to adjust the flow by passing an atmosphere containing nitrogen gas from which flux fumes have been removed through a plurality of holes. The rectifying plates 85c and 85d function to adjust the flow by passing an atmosphere containing flux fume through the plurality of holes.

この例で、本体部84の雰囲気送入口801の側の面に第1の取っ手(以下ハンドル87aという)が設けられ、本体部84の雰囲気排出口802の側の面に第2の取っ手(以下ハンドル87bという)が設けられる。ハンドル87a,87bは、点検時、蓋体ユニット80を持ち運び易くするために、蓋体ユニット80の左側面の手前側と、右側面の奥側とに取り付けられる。これにより、当該蓋体ユニット80を対角線上で把持できるようになる。   In this example, a first handle (hereinafter referred to as a handle 87a) is provided on the surface on the atmosphere inlet 801 side of the main body 84, and a second handle (hereinafter referred to as the atmosphere discharge port 802) on the main body 84. A handle 87b) is provided. The handles 87a and 87b are attached to the front side of the left side surface and the back side of the right side surface of the lid unit 80 in order to facilitate carrying the lid unit 80 during inspection. Thereby, the lid unit 80 can be gripped diagonally.

本体部84の上部には天板部材86が取り付けられる。天板部材86には点検用の窓部805が設けられ、蓋体ユニット80の内部を目視点検できるようになっている。窓部805には耐熱ガラスが使用される。   A top plate member 86 is attached to the upper portion of the main body portion 84. The top plate member 86 is provided with an inspection window 805 so that the inside of the lid unit 80 can be visually inspected. A heat resistant glass is used for the window portion 805.

続いて、図21及び図22を参照して、蓋体ユニット80の組立例(その1、2)について説明する。この例では、図20に示した蓋体ユニット80を組み立てる場合を前提とする。まず、本体部84を準備する。本体部84を得るために、所定の大きさで上部が開放された、鉄板やステンレス等の金属製の箱体を準備する。この箱体の所定の位置に、雰囲気送入口801、雰囲気排出口802及びスリット806を形成する。雰囲気送入口801は、吸気管88の管径と一致する大きさに本体部84の右側面を開口する。   Next, an assembly example (parts 1 and 2) of the lid unit 80 will be described with reference to FIGS. In this example, it is assumed that the lid unit 80 shown in FIG. 20 is assembled. First, the main body 84 is prepared. In order to obtain the main body 84, a box made of metal such as an iron plate or stainless steel having an upper portion opened to a predetermined size is prepared. An atmosphere inlet 801, an atmosphere outlet 802, and a slit 806 are formed at predetermined positions of the box. The atmosphere inlet / outlet 801 opens the right side surface of the main body 84 to a size that matches the pipe diameter of the intake pipe 88.

雰囲気排出口802は、排気管89の管径と一致する大きさに本体部84の左側面を開口する。更に本体部84の側面であって、対角線上にハンドル用のネジ孔を形成する。スリット806は本体部84の底部に複数のライン状の開口部を形成することで得られる。   The atmosphere discharge port 802 opens the left side surface of the main body 84 to a size that matches the tube diameter of the exhaust pipe 89. Further, a screw hole for a handle is formed on the diagonal line on the side surface of the main body 84. The slit 806 is obtained by forming a plurality of line-shaped openings at the bottom of the main body 84.

本体部84が準備できたら、本体部84に吸気管88及び排気管89を接続する。この例で、雰囲気送入口801に吸気管88を電気又はガス溶接により接合する。同様にして、雰囲気排出口802に排気管89を接合する。その後、整流板85a〜85dを取り付ける。整流板85a〜85dには、所定の大きさの鉄板やステンレス板等に複数の孔部や格子状部位を形成したものを使用する。   When the main body 84 is prepared, the intake pipe 88 and the exhaust pipe 89 are connected to the main body 84. In this example, the intake pipe 88 is joined to the atmosphere inlet 801 by electricity or gas welding. Similarly, the exhaust pipe 89 is joined to the atmosphere discharge port 802. Thereafter, the current plates 85a to 85d are attached. As the rectifying plates 85a to 85d, iron plates or stainless steel plates having a predetermined size and having a plurality of holes or lattice-shaped portions are used.

そして、本体部84にハンドル87a,87bを取り付ける。ハンドル87a,87bには、例えば、丸棒材をコ状に折り曲げ、その両端部に雄ネジを施したものを準備する。ハンドル87a,87bは本体部84の側面に予め開口されたネジ孔に挿通し、本体部84の内側で雌ネジにより固着する。これにより、ハンドル87a,87bを対角線上に取り付けることができる。   Then, handles 87 a and 87 b are attached to the main body portion 84. For the handles 87a and 87b, for example, a round bar is bent into a U shape and both ends are provided with male screws. The handles 87a and 87b are inserted into screw holes that are opened in advance on the side surface of the main body portion 84, and are fixed inside the main body portion 84 with female screws. As a result, the handles 87a and 87b can be attached diagonally.

その後、本体部84に天板部材86を取り付ける。天板部材86を得るために、天板用の鉄板やステンレス板等に窓部用の開口部を形成する。この開口部に窓部805を取り付ける。窓部805には耐熱ガラスを使用する。窓部805を取り付けた天板部材86が準備できたら、天板部材86を本体部84に位置合わせした後、図示しないビス等により、天板部材86を本体部84にネジ止めする。これにより、図20に示した蓋体ユニット80が完成する。   Thereafter, the top plate member 86 is attached to the main body portion 84. In order to obtain the top plate member 86, an opening for a window portion is formed in an iron plate or a stainless steel plate for the top plate. A window 805 is attached to this opening. A heat resistant glass is used for the window portion 805. When the top plate member 86 to which the window portion 805 is attached is prepared, the top plate member 86 is aligned with the main body portion 84, and then the top plate member 86 is screwed to the main body portion 84 with screws (not shown). Thereby, the lid unit 80 shown in FIG. 20 is completed.

図21で完成した蓋体ユニット80をチャンバー50上に取り付ける。このとき、蓋体ユニット80のスリット806の側をチャンバー50の開口部501に位置合わせする。その後、排気管89と吸気管路811とを接続する。吸気管路811は雰囲気清浄化部81から予め立ち上げて置くとよい。更に、吸気管88と排気管路812とを接続する。排気管路812はファン813から立ち上げて置くとよい。ファン813には送風機が使用される。これにより、蓋体ユニット80と、チャンバー50、雰囲気清浄化部81及びファン813とを組み上げることができる。   The lid unit 80 completed in FIG. 21 is mounted on the chamber 50. At this time, the slit unit 806 side of the lid unit 80 is aligned with the opening 501 of the chamber 50. Thereafter, the exhaust pipe 89 and the intake pipe line 811 are connected. The intake pipe 811 may be set up in advance from the atmosphere cleaning unit 81. Further, the intake pipe 88 and the exhaust pipe line 812 are connected. The exhaust line 812 may be set up from the fan 813. A fan is used as the fan 813. Accordingly, the lid unit 80, the chamber 50, the atmosphere cleaning unit 81, and the fan 813 can be assembled.

続いて、図23を参照して、本発明に係るフラックスヒューム除去方法について、蓋体ユニット80の動作例を説明する。この例では、電子部品を取り付けた予備加熱後のプリント基板1を窒素ガスの雰囲気中に搬送し、当該雰囲気中でプリント基板1に電子部品をはんだ付けする場合であって、図23に示す蓋体ユニット80、雰囲気清浄化部81及びファン813を使用して、はんだ付け処理中に発生したフラックスヒュームを除去する場合を前提とする。   Next, with reference to FIG. 23, an operation example of the lid unit 80 will be described for the flux fume removal method according to the present invention. In this example, the pre-heated printed circuit board 1 with electronic components attached is transported into an atmosphere of nitrogen gas, and the electronic components are soldered to the printed circuit board 1 in the atmosphere, and the lid shown in FIG. It is assumed that flux fume generated during the soldering process is removed using the body unit 80, the atmosphere cleaning unit 81, and the fan 813.

これらをフラックスヒューム除去条件にして、噴流はんだ付け装置100では、図23に示すチャンバー50内で発生したフラックスヒュームを含んだ雰囲気を蓋体ユニット80の雰囲気排出口802から、排気管89及び吸気管路811を経由して雰囲気清浄化部81へ排出する。   In the jet soldering apparatus 100 under these flux fume removal conditions, the atmosphere containing the flux fume generated in the chamber 50 shown in FIG. 23 is discharged from the atmosphere outlet 802 of the lid unit 80 to the exhaust pipe 89 and the intake pipe. It is discharged to the atmosphere cleaning unit 81 via the path 811.

そして、蓋体ユニット80から排出される雰囲気を雰囲気清浄化部81で清浄化してフラックスヒュームを除去する。フラックスヒュームは雰囲気清浄化部81で結露(凝結)されてパイプ82に付着する。フラックスヒューム除去後の窒素ガスを含んだ雰囲気(窒素ガス雰囲気)は、雰囲気清浄化部81から、排気管路812及び吸気管88を経由し、雰囲気送入口801を介して蓋体ユニット80に供給される。   Then, the atmosphere discharged from the lid unit 80 is cleaned by the atmosphere cleaning unit 81 to remove the flux fume. The flux fume is condensed (condensed) by the atmosphere cleaning unit 81 and adheres to the pipe 82. The atmosphere containing nitrogen gas (nitrogen gas atmosphere) after removing the flux fumes is supplied from the atmosphere cleaning unit 81 to the lid unit 80 via the exhaust pipe 812 and the intake pipe 88 via the atmosphere inlet 801. Is done.

更に、新たにチャンバー内で生じたフラックスヒュームを含んだ窒素ガスをスリット806を通して蓋体ユニット80内に取り込む。その際に、フラックスヒュームを含んだ雰囲気をフラックスヒューム除去後の雰囲気の流れ方向に合流させて雰囲気清浄化部81へ排出する。これらの一連の工程により、チャンバー50内で順次発生したフラックスヒュームを除去できるようになる。   Further, nitrogen gas containing flux fumes newly generated in the chamber is taken into the lid unit 80 through the slit 806. At that time, the atmosphere containing the flux fumes is merged in the flow direction of the atmosphere after the flux fumes are removed and discharged to the atmosphere cleaning unit 81. Through these series of steps, the flux fumes that are sequentially generated in the chamber 50 can be removed.

続いて、図24を参照して、噴流はんだ付け装置100の制御系の構成例について説明する。図24に示す噴流はんだ付け装置100の制御系によれば、入力部64及び供給制御部605の他に、搬送駆動部14、モニタ16、予熱駆動部25,制御部65、噴流はんだ駆動部66、冷却駆動部93、エアーカーテン駆動部95、ヒューム除去駆動部97が備えられる。これらは制御部65に接続される。   Next, a configuration example of a control system of the jet soldering apparatus 100 will be described with reference to FIG. According to the control system of the jet soldering apparatus 100 shown in FIG. 24, in addition to the input unit 64 and the supply control unit 605, the conveyance drive unit 14, the monitor 16, the preheating drive unit 25, the control unit 65, and the jet solder drive unit 66. Further, a cooling drive unit 93, an air curtain drive unit 95, and a fume removal drive unit 97 are provided. These are connected to the control unit 65.

モニタ16は噴流はんだ付け処理に係る設定画面等を表示データD16に基づいて表示する。モニタ16には、例えば、タッチパネル付きの液晶表示装置が使用される。タッチパネルは、入力部64の一部を構成する。表示データD16には、プリント基板1にはんだ付けされる電子部品の高さ情報や、プリント基板1にはんだ付けされる電子部品の実装分布情報等が含まれる。この他に、電子部品がはんだ付けされる基板の枚数情報、はんだ付け処理条件を示す設定情報等である。   The monitor 16 displays a setting screen related to the jet soldering process based on the display data D16. As the monitor 16, for example, a liquid crystal display device with a touch panel is used. The touch panel constitutes a part of the input unit 64. The display data D16 includes height information of electronic components soldered to the printed circuit board 1, mounting distribution information of electronic components soldered to the printed circuit board 1, and the like. In addition to this, there are information on the number of substrates on which electronic components are soldered, setting information indicating soldering processing conditions, and the like.

制御部65は、所定の制御プログラムに基づいて生成した搬送駆動データD14を搬送駆動部14に出力して搬送制御を実行する。同様にして、予備加熱制御データD25を予熱駆動部25に出力して予備加熱制御を実行する。同様に、はんだ槽制御データD66を噴流はんだ駆動部66に出力して噴流はんだ制御を実行する。同様にして、冷却制御データD93を冷却駆動部93に出力して冷却制御を実行する。   The control unit 65 outputs the conveyance drive data D14 generated based on a predetermined control program to the conveyance drive unit 14 and executes conveyance control. Similarly, the preheating control data D25 is output to the preheating drive unit 25 to execute the preheating control. Similarly, the solder bath control data D66 is output to the jet solder driving unit 66 to execute jet solder control. Similarly, the cooling control data D93 is output to the cooling drive unit 93 to execute the cooling control.

制御部65は同様にして、カーテン制御データD95をエアーカーテン駆動部95に出力してモータ制御を実行する。同様にして、ヒューム除去制御データD97をヒューム除去駆動部97に出力してモータ制御を実行する。同様に、実装分布データD64を供給制御部605に出力して窒素ガス供給制御を実行する。   Similarly, the control unit 65 outputs curtain control data D95 to the air curtain driving unit 95 to execute motor control. Similarly, the fume removal control data D97 is output to the fume removal drive unit 97 to execute motor control. Similarly, the mounting distribution data D64 is output to the supply control unit 605 to execute nitrogen gas supply control.

搬送駆動部14は制御部65から入力した搬送駆動データD14に基づいてモータ制御信号S15を生成する。搬送駆動部14には搬送部10を駆動するモータ15が接続される。モータ15はモータ制御信号S15を入力してチェーン部材11等を駆動する。チェーン部材11の搬送チャック12にセットされたプリント基板1は、予備加熱ゾーン21,22,23,24等を通過して順次チャンバー50内に搬送される。   The transport drive unit 14 generates a motor control signal S15 based on the transport drive data D14 input from the control unit 65. A motor 15 that drives the transport unit 10 is connected to the transport drive unit 14. The motor 15 inputs the motor control signal S15 and drives the chain member 11 and the like. The printed circuit board 1 set on the conveyance chuck 12 of the chain member 11 is sequentially conveyed into the chamber 50 through the preheating zones 21, 22, 23, 24, and the like.

予熱駆動部25は制御部65から入力した予備加熱制御データD25に基づいて発熱制御信号S21〜S24を生成する。予熱駆動部25には複数のヒーター(発熱体)が接続される。この例では、ヒーターは4つの予備加熱ゾーン21〜24に配置される(図1参照)。予備加熱ゾーン21は、発熱制御信号S21に基づいて発熱する。予備加熱ゾーン22は、発熱制御信号S22に基づいて発熱する。予備加熱ゾーン23は、発熱制御信号S23に基づいて発熱する。予備加熱ゾーン24は、発熱制御信号S24に基づいて発熱する。これらの発熱によって、プリント基板1が予備加熱処理される。   The preheating drive unit 25 generates heat generation control signals S21 to S24 based on the preheating control data D25 input from the control unit 65. A plurality of heaters (heating elements) are connected to the preheating drive unit 25. In this example, the heaters are arranged in four preheating zones 21 to 24 (see FIG. 1). The preheating zone 21 generates heat based on the heat generation control signal S21. The preheating zone 22 generates heat based on the heat generation control signal S22. The preheating zone 23 generates heat based on the heat generation control signal S23. The preheating zone 24 generates heat based on the heat generation control signal S24. The printed circuit board 1 is preheated by these heat generations.

噴流はんだ駆動部66は制御部65から入力したはんだ槽制御データD66に基づいて発熱制御信号S67、モータ制御信号S68及びS69を生成する。噴流はんだ駆動部66にはヒーター67及び2個のモータ68,69が接続される。ヒーター67は、発熱制御信号S67に基づいて発熱し、噴流はんだ槽60を所定の温度に加熱する。モータ68はモータ制御信号S68に基づいて噴出ノズル61に溶融はんだ7を噴流させる。モータ69はモータ制御信号S69に基づいて噴出ノズル62に溶融はんだ7を噴流させる。   The jet solder driving unit 66 generates a heat generation control signal S67 and motor control signals S68 and S69 based on the solder bath control data D66 input from the control unit 65. A heater 67 and two motors 68 and 69 are connected to the jet solder driving unit 66. The heater 67 generates heat based on the heat generation control signal S67 and heats the jet solder bath 60 to a predetermined temperature. The motor 68 jets the molten solder 7 to the jet nozzle 61 based on the motor control signal S68. The motor 69 causes the molten solder 7 to jet through the jet nozzle 62 based on the motor control signal S69.

冷却駆動部93は制御部65から入力した冷却制御データD93に基づいてモータ制御信号S94を生成する。冷却駆動部93にはファン用のモータ94が接続される。モータ94は、モータ制御信号S94に基づいて図示しないファンを回転する。これにより、電子部品をはんだ付けした後のプリント基板1が冷却される。   The cooling drive unit 93 generates a motor control signal S94 based on the cooling control data D93 input from the control unit 65. A fan motor 94 is connected to the cooling drive unit 93. The motor 94 rotates a fan (not shown) based on the motor control signal S94. Thereby, the printed circuit board 1 after soldering an electronic component is cooled.

エアーカーテン駆動部95は制御部65から入力したカーテン制御データD95に基づいてモータ制御信号S96を生成する。エアーカーテン駆動部95には送風用のモータ96が接続される。モータ96は、モータ制御信号S96に基づいて図1に示したシロッコ型のファンを回転する。これにより、基板搬出口902に対流(循環する)エアーカーテンを形成できるようになる。   The air curtain driving unit 95 generates a motor control signal S96 based on the curtain control data D95 input from the control unit 65. A blower motor 96 is connected to the air curtain drive unit 95. The motor 96 rotates the sirocco type fan shown in FIG. 1 based on the motor control signal S96. As a result, a convection (circulating) air curtain can be formed at the substrate carry-out port 902.

ヒューム除去駆動部97は制御部65から入力したヒューム除去制御データD97に基づいてモータ制御信号S98を生成する。ヒューム除去駆動部97には、ポンプ駆動用のモータ98が接続される。モータ98は、モータ制御信号S98に基づいて図1に示したポンプを駆動する。これにより、フラックスヒュームを除去した窒素ガスをチャンバー50に送入できるようになる。   The fume removal driving unit 97 generates a motor control signal S98 based on the fume removal control data D97 input from the control unit 65. A pump driving motor 98 is connected to the fume removal driving unit 97. The motor 98 drives the pump shown in FIG. 1 based on the motor control signal S98. Thereby, the nitrogen gas from which the flux fumes have been removed can be fed into the chamber 50.

供給制御部605は制御部65から入力した実装分布データD64や、図示しないN2センサから出力されるN2濃度検知信号S17等に基づいて供給制御信号S71,S72,S73,S74を生成する。供給制御部605には、4つのガス供給部71,72,73,741が接続される。ガス供給部71は、供給制御信号S71に基づいて窒素ガスの供給圧力をP1に調整する。ガス供給部72は、供給制御信号S72に基づいて窒素ガスの供給圧力をP2に調整する。これにより、ノズル管路75に供給する窒素ガスを調整できるようになる。   The supply control unit 605 generates supply control signals S71, S72, S73, and S74 based on the mounting distribution data D64 input from the control unit 65, the N2 concentration detection signal S17 output from an N2 sensor (not shown), and the like. Four gas supply units 71, 72, 73 and 741 are connected to the supply control unit 605. The gas supply unit 71 adjusts the supply pressure of nitrogen gas to P1 based on the supply control signal S71. The gas supply unit 72 adjusts the supply pressure of nitrogen gas to P2 based on the supply control signal S72. As a result, the nitrogen gas supplied to the nozzle conduit 75 can be adjusted.

ガス供給部73は、供給制御信号S73に基づいて窒素ガスの供給圧力をP3に調整する。また、ガス供給部741は、供給制御信号S74に基づいて窒素ガスの供給圧力をP4に調整する。これにより、冷却処理部90において、電子部品を取り付けたプリント基板1の上下面に窒素ガスを吹き付けることで、当該プリント基板1に対する冷却処理が施される。これらにより、噴流はんだ付け装置100の制御系を構成する。   The gas supply unit 73 adjusts the supply pressure of nitrogen gas to P3 based on the supply control signal S73. Further, the gas supply unit 741 adjusts the supply pressure of nitrogen gas to P4 based on the supply control signal S74. Thereby, in the cooling process part 90, the cooling process with respect to the said printed circuit board 1 is performed by spraying nitrogen gas on the upper and lower surfaces of the printed circuit board 1 which attached the electronic component. These constitute the control system of the jet soldering apparatus 100.

続いて、図25を参照して、ガス供給制御方法を含む噴流はんだ付け装置100の動作例について説明する。この例では、電子部品を取り付けたプリント基板1を窒素ガスの雰囲気中に搬送し、当該雰囲気中でプリント基板1に電子部品をはんだ付けする噴流はんだ付け装置100において、両端部に管路接続部701,702(ガス供給口)を有し、かつ、所定の位置にガス噴出口704を有したノズル管路75の両端部から窒素ガスを供給する場合を前提とする。   Subsequently, an operation example of the jet soldering apparatus 100 including the gas supply control method will be described with reference to FIG. In this example, in a jet soldering apparatus 100 that transports a printed circuit board 1 with electronic components attached thereto in an atmosphere of nitrogen gas and solders the electronic components to the printed circuit board 1 in the atmosphere, pipe connection portions at both ends. It is assumed that nitrogen gas is supplied from both ends of a nozzle pipe 75 having 701 and 702 (gas supply ports) and having gas ejection ports 704 at predetermined positions.

また、電子部品の高さ情報に対応して、仕切部材可動機構40のラビリンス部43の露出長さを予めL1〜L3の範囲内に調整する。ラビリンス部43の露出長さは、プリント基板1の処理ロット単位に見直して設定する。更に、電子部品の実装分布に対応して窒素ガスの供給圧力P1,P2を調整する。窒素ガスの供給圧力P1,P2の調整量も、プリント基板1の処理ロット単位に見直して設定する。   Further, the exposed length of the labyrinth portion 43 of the partition member moving mechanism 40 is adjusted in advance within the range of L1 to L3 in accordance with the height information of the electronic component. The exposed length of the labyrinth unit 43 is set by reviewing in units of processing lots of the printed circuit board 1. Further, the supply pressures P1 and P2 of the nitrogen gas are adjusted according to the mounting distribution of the electronic components. The adjustment amounts of the supply pressures P1 and P2 of the nitrogen gas are also reviewed and set for each processing lot of the printed circuit board 1.

これらを噴流はんだ付け処理条件として、図25に示すフローチャートのステップST1で、制御部65は電子部品の実装分布データD64を入力する。このとき、ユーザはモニタ16を見ながら入力部64を操作して、プリント基板1にはんだ付けする電子部品の高さ情報や、当該電子部品の実装分布情報等を入力する。もちろん、噴流はんだ付け処理を施すプリント基板1の枚数情報も入力する。この枚数情報は、噴流はんだ付け処理を施したプリント基板1の枚数をカウントする際に、目標値として設定される。   With these as jet soldering processing conditions, the control unit 65 inputs the electronic component mounting distribution data D64 in step ST1 of the flowchart shown in FIG. At this time, the user operates the input unit 64 while looking at the monitor 16 and inputs height information of electronic components to be soldered to the printed circuit board 1, mounting distribution information of the electronic components, and the like. Of course, the number information of the printed circuit boards 1 to be subjected to the jet soldering process is also input. This number information is set as a target value when the number of printed circuit boards 1 subjected to the jet soldering process is counted.

次に、ステップST2で制御部65はノズル管路75へ供給する窒素ガスの供給圧力P1,P2を調整するように供給制御部605を制御する。このとき、供給制御部605は電子部品の実装分布データD64に対応して当該窒素ガスの供給圧力を個々に調整する。例えば、供給制御部605は、電子部品の実装分布データD64に対応した窒素ガスの供給圧力をガス供給部71,72に個々に設定する。   Next, in step ST2, the control unit 65 controls the supply control unit 605 so as to adjust the supply pressures P1 and P2 of the nitrogen gas supplied to the nozzle conduit 75. At this time, the supply control unit 605 individually adjusts the supply pressure of the nitrogen gas corresponding to the electronic component mounting distribution data D64. For example, the supply control unit 605 individually sets the supply pressure of nitrogen gas corresponding to the electronic component mounting distribution data D64 in the gas supply units 71 and 72.

電子部品がプリント基板1の一方の側に片寄って実装されている場合は、片寄って実装されている側の窒素ガスを多くするために、供給圧力をP1>P2に設定する。反対に、電子部品がプリント基板1の他方の側に片寄って実装されている場合は、片寄って実装されている側の窒素ガスを多くするために、供給圧力をP1<P2に設定する。   When the electronic component is mounted on one side of the printed circuit board 1, the supply pressure is set to P1> P2 in order to increase the nitrogen gas on the side mounted on the side. On the other hand, when the electronic component is mounted on the other side of the printed circuit board 1, the supply pressure is set to P1 <P2 in order to increase the nitrogen gas on the side mounted on the other side.

そして、ガス供給部71は、供給制御信号S71に基づいて窒素ガスの供給圧力をP1に調整する。ガス供給部72は、供給制御信号S72に基づいて窒素ガスの供給圧力をP2に調整する。ガス供給部73は、供給制御信号S73に基づいて窒素ガスの供給圧力をP3に調整する。これにより、個々のガス供給部71,72から噴流はんだ槽60上のノズル管路75の両端部に窒素ガスを最適に供給できるようになる。この結果、噴流はんだ槽60上のプリント基板1において、電子部品が少ない側に比べて、電子部品が多く取り付けられた側に十分な不活性ガスを拡散できるようになる。また、チャンバー50内の拡散ノズル51,52に窒素ガスを供給できるようになる。   And the gas supply part 71 adjusts the supply pressure of nitrogen gas to P1 based on supply control signal S71. The gas supply unit 72 adjusts the supply pressure of nitrogen gas to P2 based on the supply control signal S72. The gas supply unit 73 adjusts the supply pressure of nitrogen gas to P3 based on the supply control signal S73. As a result, nitrogen gas can be optimally supplied from both gas supply portions 71 and 72 to both ends of the nozzle pipe line 75 on the jet solder bath 60. As a result, in the printed circuit board 1 on the jet solder bath 60, a sufficient inert gas can be diffused to the side where a large number of electronic components are attached compared to the side where the number of electronic components is small. Further, nitrogen gas can be supplied to the diffusion nozzles 51 and 52 in the chamber 50.

次に、ステップST3で制御部65は、電子部品を取り付けたプリント基板1を搬入するように搬送駆動部14を制御する。このとき、ユーザはプリント基板1を搬送チャック12にセットする。搬送駆動部14では搬送駆動データD14に基づいてモータ制御信号S15が生成される。モータ制御信号S15は搬送駆動部14からモータ15に出力される。モータ15はモータ制御信号S15を入力して、チェーン部材11等を駆動する。これにより、搬送チャック12にセットされたプリント基板1が熱処理部20へ搬送されるようになる。   Next, in step ST <b> 3, the control unit 65 controls the transport driving unit 14 so as to carry in the printed circuit board 1 with electronic components attached thereto. At this time, the user sets the printed circuit board 1 on the conveyance chuck 12. The transport drive unit 14 generates a motor control signal S15 based on the transport drive data D14. The motor control signal S15 is output from the transport driving unit 14 to the motor 15. The motor 15 inputs the motor control signal S15 and drives the chain member 11 and the like. As a result, the printed circuit board 1 set on the transport chuck 12 is transported to the heat treatment unit 20.

次いで、ステップST4で制御部65は、電子部品を取り付けたプリント基板1を予備加熱処理するように予熱駆動部25を制御する。予熱駆動部25では、予備加熱制御データD25に基づいて発熱制御信号S21〜S24が生成される。発熱制御信号S21〜S24はそれぞれ対応する4つの予備加熱ゾーン21〜24(図1参照)に出力される。   Next, in step ST4, the control unit 65 controls the preheating drive unit 25 so as to preheat the printed circuit board 1 to which the electronic component is attached. In the preheating drive unit 25, heat generation control signals S21 to S24 are generated based on the preheating control data D25. The heat generation control signals S21 to S24 are output to the corresponding four preheating zones 21 to 24 (see FIG. 1).

予備加熱ゾーン21は、発熱制御信号S21に基づいて発熱し、例えば、温度100℃を維持する。予備加熱ゾーン22は、発熱制御信号S22に基づいて発熱し、例えば、温度140℃を維持する。予備加熱ゾーン23は、発熱制御信号S23に基づいて発熱し、温度180℃する。予備加熱ゾーン24は、発熱制御信号S24に基づいて発熱し、温度220℃を維持する。これらの予備加熱ゾーン21〜24によって、プリント基板1が予備加熱処理される。   The preheating zone 21 generates heat based on the heat generation control signal S21 and maintains, for example, a temperature of 100 ° C. The preheating zone 22 generates heat based on the heat generation control signal S22 and maintains, for example, a temperature of 140 ° C. The preheating zone 23 generates heat based on the heat generation control signal S23 and has a temperature of 180 ° C. The preheating zone 24 generates heat based on the heat generation control signal S24 and maintains a temperature of 220 ° C. The printed circuit board 1 is preheated by these preheating zones 21 to 24.

そして、ステップST5で制御部65は、電子部品をプリント基板1に噴流はんだ付け処理するように噴流はんだ駆動部66を制御する。噴流はんだ駆動部66では、はんだ槽制御データD66に基づいて発熱制御信号S67、モータ制御信号S68及びS69が生成される。ヒーター67は、発熱制御信号S67に基づいて発熱し、噴流はんだ槽60を所定の温度に加熱する。   In step ST <b> 5, the control unit 65 controls the jet solder driving unit 66 so that the electronic component is jet soldered to the printed circuit board 1. The jet solder driving unit 66 generates a heat generation control signal S67 and motor control signals S68 and S69 based on the solder bath control data D66. The heater 67 generates heat based on the heat generation control signal S67 and heats the jet solder bath 60 to a predetermined temperature.

モータ68はモータ制御信号S68に基づいてポンプ8を駆動する。ポンプ8が噴出ノズル61に溶融はんだ7を加圧送出すると、噴出ノズル61は、ポンプ8から供給される所定の圧力の溶融はんだ7を表面張力によって盛り上がるように噴出する。モータ69はモータ制御信号S69に基づいてポンプ9を駆動する。ポンプ9が噴出ノズル62に溶融はんだ7を加圧送出すると、噴出ノズル62も、ポンプ9から供給される所定の圧力の溶融はんだ7を表面張力によって盛り上がるように噴出する。   The motor 68 drives the pump 8 based on the motor control signal S68. When the pump 8 pressurizes and sends the molten solder 7 to the ejection nozzle 61, the ejection nozzle 61 ejects the molten solder 7 supplied from the pump 8 so as to rise due to surface tension. The motor 69 drives the pump 9 based on the motor control signal S69. When the pump 9 pressurizes and sends the molten solder 7 to the ejection nozzle 62, the ejection nozzle 62 also ejects the molten solder 7 having a predetermined pressure supplied from the pump 9 so as to rise due to surface tension.

このとき、ノズル管路75の両端部において、個々に調整された窒素ガスが噴流はんだ槽60上に拡散される。このような窒素雰囲気の中で、電子部品がプリント基板1にはんだ付け処理される。その際に、チャンバー50内で発生したフラックスヒュームを含んだ雰囲気は、蓋体ユニット80の雰囲気排出口802から雰囲気清浄化部81へ排出される。雰囲気清浄化部81は、蓋体ユニット80から排出されるフラックスヒュームを含んだ雰囲気を清浄化する。   At this time, individually adjusted nitrogen gas is diffused onto the jet solder bath 60 at both ends of the nozzle conduit 75. In such a nitrogen atmosphere, the electronic component is soldered to the printed circuit board 1. At that time, the atmosphere containing the flux fume generated in the chamber 50 is discharged from the atmosphere discharge port 802 of the lid unit 80 to the atmosphere cleaning unit 81. The atmosphere cleaning unit 81 cleans the atmosphere including the flux fume discharged from the lid unit 80.

このとき、ヒューム除去駆動部97ではヒューム除去制御データD97に基づいてモータ制御信号S98が生成される。モータ制御信号S98はヒューム除去駆動部97からファン駆動用のモータ98に出力される。モータ98は、モータ制御信号S98に基づいて図1に示したファン813を駆動する。そして、フラックスヒューム除去後の窒素ガスを含んだ雰囲気を雰囲気送入口801を介して蓋体ユニット80に供給する。これにより、フラックスヒュームを除去した窒素ガスを含んだ雰囲気(窒素ガス雰囲気)をチャンバー50に送入できるようになる。   At this time, the fume removal driving unit 97 generates a motor control signal S98 based on the fume removal control data D97. The motor control signal S98 is output from the fume removal driving unit 97 to the fan driving motor 98. The motor 98 drives the fan 813 shown in FIG. 1 based on the motor control signal S98. Then, an atmosphere containing nitrogen gas after removing the flux fumes is supplied to the lid unit 80 via the atmosphere inlet / outlet 801. As a result, an atmosphere (nitrogen gas atmosphere) containing nitrogen gas from which flux fumes have been removed can be fed into the chamber 50.

蓋体ユニット80内では、新たにチャンバー50内で生じたフラックスヒュームを含んだ雰囲気を取り込む。フラックスヒュームを含んだ窒素ガス雰囲気は、フラックスヒューム除去後の雰囲気の流れ方向、すなわち、プリント基板1の搬送方向とほぼ平行する方向に合流して雰囲気清浄化部81へ排出されるようになる。   In the lid unit 80, an atmosphere containing flux fumes newly generated in the chamber 50 is taken in. The nitrogen gas atmosphere containing the flux fumes merges in the flow direction of the atmosphere after the flux fumes are removed, that is, in a direction substantially parallel to the transport direction of the printed circuit board 1 and is discharged to the atmosphere cleaning unit 81.

そして、ステップST6で制御部65は、電子部品がはんだ付けされたプリント基板1を冷却するように冷却駆動部93を制御する。冷却駆動部93では冷却制御データD93に基づいてモータ制御信号S94が生成される。モータ制御信号S94は冷却駆動部93からファン用のモータ94に出力される。モータ94は、モータ制御信号S94に基づいて図示しないファンを回転する。これにより、電子部品をはんだ付けした後のプリント基板1が冷却される。   In step ST6, the control unit 65 controls the cooling drive unit 93 so as to cool the printed circuit board 1 to which the electronic component is soldered. The cooling drive unit 93 generates a motor control signal S94 based on the cooling control data D93. The motor control signal S94 is output from the cooling drive unit 93 to the fan motor 94. The motor 94 rotates a fan (not shown) based on the motor control signal S94. Thereby, the printed circuit board 1 after soldering an electronic component is cooled.

次に、ステップST7で制御部65は、電子部品がはんだ付けされたプリント基板1を排出するように搬送駆動部14を制御する。このとき、搬送駆動部14は、冷却処理部90から基板搬出口902へプリント基板1を搬送する。ユーザは基板搬出口902で、搬送チャック12からプリント基板1を取り外す。もちろん、搬送チャック12からプリント基板1を取り外す機能を搬送駆動部14に設けてもよい(排出処理)。   Next, in step ST7, the control unit 65 controls the transport driving unit 14 so as to discharge the printed circuit board 1 on which the electronic component is soldered. At this time, the conveyance driving unit 14 conveys the printed circuit board 1 from the cooling processing unit 90 to the substrate carry-out port 902. The user removes the printed circuit board 1 from the transport chuck 12 at the substrate unloading port 902. Of course, a function of removing the printed circuit board 1 from the transport chuck 12 may be provided in the transport drive unit 14 (discharge process).

また、エアーカーテン駆動部95ではカーテン制御データD95に基づいてモータ制御信号S96が生成される。モータ制御信号S96はエアーカーテン駆動部95から送風用のモータ96へ出力される。モータ96は、モータ制御信号S96に基づいて送風機904を回転することにより、基板搬出口902に循環式のエアーカーテンを形成できるようになる。   In addition, the air curtain driving unit 95 generates a motor control signal S96 based on the curtain control data D95. The motor control signal S96 is output from the air curtain driving unit 95 to the blower motor 96. The motor 96 can form a circulation type air curtain at the substrate carry-out port 902 by rotating the blower 904 based on the motor control signal S96.

そして、ステップST8で制御部65は全てのプリント基板1の噴流はんだ付け処理を終了したか否かを判別する。制御部65は、噴流はんだ付け処理を施したプリント基板1の枚数をカウントするので、先に設定された目標枚数から現在のカウント数を差し引くことで、残りのプリント基板1の枚数を計算する。残りのプリント基板1の枚数はモニタ16に表示される。   In step ST8, the control unit 65 determines whether or not the jet soldering process for all the printed circuit boards 1 has been completed. Since the control unit 65 counts the number of printed circuit boards 1 subjected to the jet soldering process, the number of remaining printed circuit boards 1 is calculated by subtracting the current count number from the previously set target number. The remaining number of printed circuit boards 1 is displayed on the monitor 16.

従って、残りの枚数が存在する場合は、全てのプリント基板1の噴流はんだ付け処理を終了していないので、ステップST3に戻って上述した処理を繰り返す。残りの枚数がゼロになった場合は、全てのプリント基板1の噴流はんだ付け処理を終了したので、噴流はんだ付け処理に係る制御を終了する。   Therefore, if there is a remaining number, since the jet soldering process for all the printed circuit boards 1 has not been completed, the process returns to step ST3 and the above-described process is repeated. When the remaining number of sheets becomes zero, since the jet soldering process for all the printed circuit boards 1 is completed, the control related to the jet soldering process is ended.

このように第4の実施例としての噴流はんだ付け装置100によれば、電子部品を取り付けた予備加熱後のプリント基板1を窒素ガスの雰囲気中に搬送し、当該雰囲気中で電子部品をプリント基板1に噴流はんだ付けする場合であって、チャンバー50上には蓋体ユニット80が備えられ、当該蓋体ユニット80において、その雰囲気送入口801がプリント基板1を搬送する方向とほぼ直交する面であって、本体部84の一方の側面に設けられ、雰囲気排出口802が本体部84の一方の側面に対向する他方の面に設けられる。   Thus, according to the jet soldering apparatus 100 as the fourth embodiment, the pre-heated printed circuit board 1 to which the electronic component is attached is transported in an atmosphere of nitrogen gas, and the electronic component is printed in the atmosphere. 1, a lid unit 80 is provided on the chamber 50, and in the lid unit 80, the atmosphere inlet 801 is a surface substantially orthogonal to the direction in which the printed circuit board 1 is conveyed. Thus, the air outlet 802 is provided on one side surface of the main body portion 84, and the other surface facing the one side surface of the main body portion 84 is provided.

この構造によって、雰囲気送入口801や、ガス送出口等を本体部84の上面に設ける場合に比べて蓋体ユニット80の低筺体化を図ることができる。これにより、メンテナンス時、チャンバー50上で蓋体ユニット80を容易に取り外したり、その復旧時に容易に取り付けることができる。しかも、はんだ付け処理部内を作業性良く容易に点検したり、作業性良く容易に清掃できるようになる。   With this structure, the lid unit 80 can be made lower than the case where the atmosphere inlet / outlet 801, the gas outlet / outlet, and the like are provided on the upper surface of the main body 84. Thereby, the lid body unit 80 can be easily removed on the chamber 50 at the time of maintenance, or can be easily attached at the time of recovery. Moreover, the inside of the soldering processing section can be easily inspected with good workability and can be easily cleaned with good workability.

また、本発明に係るフラックスヒューム除去方法によれば、蓋体ユニット80において、フラックスヒュームを含んだ雰囲気をフラックスヒューム除去後の窒素ガスを含んだ雰囲気の流れ方向に合流させて雰囲気清浄化部81へ排出するようになされる。この構成によって、雰囲気送入口801や、雰囲気排出口802等を本体部84の上面に設ける場合に比べてフラックスヒュームを含んだ雰囲気を蓋体ユニット80から雰囲気清浄化部81へ効率良く排出できるようになる。これにより、雰囲気の消費量を低減できるので、フラックスヒュームを効率良く除去できるようになる。   Further, according to the flux fume removing method according to the present invention, in the lid unit 80, the atmosphere cleaning unit 81 is configured by joining the atmosphere containing the flux fume in the flow direction of the atmosphere containing the nitrogen gas after the flux fume removal. To be discharged. With this configuration, the atmosphere containing the flux fume can be efficiently discharged from the lid unit 80 to the atmosphere cleaning unit 81 as compared with the case where the atmosphere inlet 801, the atmosphere outlet 802, and the like are provided on the upper surface of the main body 84. become. Thereby, since the amount of consumption of an atmosphere can be reduced, it becomes possible to remove flux fumes efficiently.

本発明は、はんだ処理雰囲気を画定するラビリンス機構を備えた電子部品表面実装用のはんだリフロー装置や、電子部品ピン挿入実装用の噴流はんだ付け装置に適用に適用して極めて好適である。   The present invention is extremely suitable for application to a solder reflow apparatus for surface mounting of electronic components having a labyrinth mechanism for defining a soldering atmosphere, and a jet soldering apparatus for electronic component pin insertion mounting.

7 溶融はんだ
8,9 ポンプ
10 搬送部
11 チェーン部材
12 搬送チャック
14 搬送駆動部
15,94,96,98 モータ
16 モニタ
20 熱処理部
21〜24 予備加熱ゾーン
25 予熱駆動部
26〜29 ヒーター
30 蓋体支持密閉機構
31〜34,91,92 蓋体
35 摺動支持部材
36a,36b,37a,37b レール
38a,38b 隙間充填部材
40 仕切部材可動機構
41,49 スリット
42a〜42d 長孔部
43 ラベリンス部(仕切部材)
44 摺動基板
45a〜45d 固定部材
46a,46b 梗塞座部材
47,48a,48b 係止部材
50 チャンバー(処理容器)
51,52 拡散ノズル
53,54 ブラケット
56,57 垂下板
60 噴流はんだ槽
61,62 噴出ノズル
64 入力部
65 制御部
67 ヒーター
68,69 モータ
70 両端ガス供給機構
71〜73,741 ガス供給部
74 N2ガスタンク
75 ノズル管路
76a,76b 拡散部材
77 アングル架台
78 センサ用の管路
79 分離壁部
80 蓋体ユニット
81 雰囲気清浄化部
84,301 本体部
85a〜85d 整流板
86 天板部材
87a,87b ハンドル
88,812 吸気管
89,811 排気管
90 冷却処理部
93 冷却駆動部
99 エアーカーテン機構
100 噴流はんだ付け装置
101 本体架台
102 梁枠部材
103〜106 脚部
302 枠部材
303 上部板
304 下部板
605 供給制御部
701〜703 管路接続部
801 雰囲気送入口
802 雰囲気排出口
807 フィルタ
813 ファン
904 送風機
905 下側ガイド板
906 上側ガイド板
7 Molten solder 8,9 Pump 10 Transport unit 11 Chain member 12 Transport chuck 14 Transport drive unit 15, 94, 96, 98 Motor 16 Monitor 20 Heat treatment unit 21-24 Preheating zone 25 Preheating drive unit
26-29 heater 30 lid support sealing mechanism 31-34, 91, 92 lid 35 sliding support member 36a, 36b, 37a, 37b rail 38a, 38b gap filling member 40 partition member movable mechanism 41, 49 slit 42a-42d Long hole 43 Labyrinth part (partition member)
44 Sliding substrate 45a-45d Fixing member 46a, 46b Infarct seat member 47, 48a, 48b Locking member 50 Chamber (processing container)
51, 52 Diffusion nozzle 53, 54 Bracket 56, 57 Drooping plate 60 Jet solder bath 61, 62 Injection nozzle 64 Input unit 65 Control unit 67 Heater 68, 69 Motor 70 Both ends gas supply mechanism 71-73, 741 Gas supply unit 74 N2 Gas tank 75 Nozzle conduit 76a, 76b Diffusion member 77 Angle mount 78 Sensor conduit 79 Separating wall portion 80 Cover unit 81 Atmosphere cleaning portion 84, 301 Main body portion 85a-85d Current plate 86 Top plate members 87a, 87b Handle 88,812 Intake pipe 89,811 Exhaust pipe 90 Cooling processing part 93 Cooling drive part 99 Air curtain mechanism 100 Jet soldering apparatus
101 Main body frame 102 Beam frame members 103 to 106 Legs
302 Frame member 303 Upper plate 304 Lower plate 605 Supply control unit 701 to 703 Pipe connection unit 801 Atmosphere inlet 802 Atmosphere outlet 807 Filter 813 Fan 904 Blower 905 Lower guide plate 906 Upper guide plate

Claims (5)

電子部品を搭載した基板を熱処理することによって、前記基板に電子部品をはんだ付けし、はんだ付け後の前記基板を冷却するはんだ付け装置において、
上部に開口部を有して前記基板を熱処理する熱処理部と、
前記熱処理部の開口部を塞ぐ蓋体とを備え、
前記蓋体は、
一方の面側に複数のスリットを有し、かつ、他方の面側に長孔部を有した筺体構造の本体部と、
一端が前記本体部のスリットに通されて前記熱処理部側に垂れ下がる仕切部材と、
前記仕切部材の各々の他端が取り付けられると共に、前記本体部内に組み込まれ、当該本体部の基板搬送方向に対して摺動自在に係合される摺動基板と、
前記本体部の長孔部を介して前記摺動基板を当該本体部に固定する固定部とを含む仕切部材可動構造を有することを特徴とするはんだ付け装置。
In a soldering apparatus for soldering an electronic component to the substrate by heat-treating the substrate on which the electronic component is mounted, and cooling the substrate after soldering,
A heat treatment part for heat-treating the substrate having an opening in the upper part;
A lid for closing the opening of the heat treatment part,
The lid is
A main body portion of a housing structure having a plurality of slits on one surface side and a long hole portion on the other surface side;
A partition member whose one end is passed through the slit of the main body portion and hangs down to the heat treatment portion side;
A sliding substrate that is attached to the other end of each of the partition members, is incorporated in the main body, and is slidably engaged with respect to the substrate transport direction of the main body,
A soldering apparatus comprising: a partition member movable structure including a fixing portion that fixes the sliding substrate to the main body portion through a long hole portion of the main body portion.
少なくとも、前記本体部の長孔部を覆う幅及び長さを有した所定形状の梗塞座部材を備え、
前記固定部は、
前記梗塞座部材を介して前記摺動基板を本体部に固定することを特徴とする請求項1に記載のはんだ付け装置。
At least, an infarct seat member having a predetermined shape having a width and a length covering the long hole portion of the main body portion,
The fixing part is
The soldering apparatus according to claim 1, wherein the sliding board is fixed to the main body portion via the infarct seat member.
前記梗塞座部材には、
所定の形状を有した指標部が設けられ、
前記本体部には、
前記指標部の一端が差し示す位置にスケール部を有し、
前記スケール部には
前記仕切部の露出長さを読み取り可能な目盛りが設けられることを特徴とする請求項2に記載のはんだ付け装置。
In the infarct seat member,
An indicator portion having a predetermined shape is provided,
In the main body,
Having a scale portion at a position indicated by one end of the indicator portion;
The soldering apparatus according to claim 2, wherein the scale part is provided with a scale capable of reading the exposed length of the partition part.
前記仕切部材可動構造を有する蓋体が、
少なくとも、前記電子部品を取り付けた基板を予備加熱処理する熱処理部の搬入口付近と、
予備加熱処理後の前記基板に電子部品をはんだ付けする処理部の搬入口付近と、
はんだ付け後の前記基板を冷却する冷却処理部の搬入口付近と、
冷却処理後の前記基板を排出する排出口に設けられることを特徴とする請求項1に記載のはんだ付け装置。
A lid having the partition member movable structure,
At least the vicinity of the carry-in entrance of the heat treatment part for preheating the substrate on which the electronic component is attached,
Near the entrance of the processing section for soldering electronic components to the substrate after the preheating treatment,
Near the inlet of the cooling processing section for cooling the substrate after soldering,
The soldering apparatus according to claim 1, wherein the soldering apparatus is provided at a discharge port for discharging the substrate after the cooling process.
上部に開口部を有した処理容器側へ垂れ下がる仕切部材を可動する仕切部材可動構造において、
一方の面側に複数のスリットを有し、かつ、他方の面側に長孔部を有した筺体構造の本体部と、
一端が前記本体部のスリットに通されて前記処理容器側に垂れ下がる仕切部材と、
前記仕切部材の各々の他端が取り付けられると共に、前記本体部内に組み込まれ、当該本体部に対して摺動自在に係合される摺動基板と、
前記本体部の長孔部を介して前記摺動基板を当該本体部に固定する固定部とを備えることを特徴とする仕切部材可動構造。
In the partition member movable structure that moves the partition member that hangs down to the processing container side having an opening at the top,
A main body portion of a housing structure having a plurality of slits on one surface side and a long hole portion on the other surface side;
A partition member that has one end passed through the slit of the main body and hangs down to the processing container;
The other end of each of the partition members is attached, and is incorporated in the main body portion, and a sliding substrate that is slidably engaged with the main body portion,
A partition member movable structure comprising: a fixing portion that fixes the sliding substrate to the main body portion through a long hole portion of the main body portion.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05305429A (en) * 1992-04-28 1993-11-19 Furukawa Electric Co Ltd:The Heating furnace for soldering
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05305429A (en) * 1992-04-28 1993-11-19 Furukawa Electric Co Ltd:The Heating furnace for soldering
JPH10303543A (en) * 1997-04-28 1998-11-13 Nec Corp Reflow apparatus
JP2006185983A (en) * 2004-12-27 2006-07-13 Senju Metal Ind Co Ltd Reflow furnace

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