JP2011214996A - マイクロ流路チップ及びマイクロ分析システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下側プレート部材12の流路12a、および、上側プレート部材14の各貫通孔14a、14bの内壁面は、全てSiO2膜16によってコーティングされている。SiO2膜16は、樹脂基板に接する部分にC原子の含有量が多い最下層16aと、流路表面に露出する部分にC原子が殆ど存在しない表層16bの2層からなる。
【選択図】図7
Description
図1は、本発明の一実施の形態に係るマイクロ流路チップの形状を示す斜視図である。また、図2は、図1のマイクロ流路チップの平面図である。
以下、本実施の形態に係るマイクロ流路チップ10のSiO2膜の形成プロセスについて図6を用いて説明する。図6は、SiO2膜の形成に使用されるガス(横軸)と圧力(縦軸)との関係を示す図である。
マイクロ流路チップ10において、貫通孔(注入口)14aに試料を注入して電圧をかけると、試料は、貫通孔(排出口)14bに向かって流路12a内を電気泳動する。そして、流路12a内において、試料は、分子量毎の電気泳動速度の違いによって分離される。これにより、試験者は、蛍光強度を検出すれば、電気泳動の結果を得ることができる。
以上のように、本実施の形態によれば、樹脂基板に接する部分にC原子の含有量が多い最下層を形成し、流路表面に露出する部分にC原子が殆ど存在しない表層を形成することにより、SiO2膜を均一で薄くコーティングすることができ、かつ、SiO2膜の表面にイオン性の疎水物質が吸着することを防ぐことができる。
本実施の形態では、最下層を形成するために、ST102でSiCl4とピリジンを注入し、ST104で水とピリジンを注入する場合について説明したが、本発明はこれに限られず、他の前駆体、酸化源、触媒を用いることもできる。
12 下側プレート部材
12a 流路
14 上側プレート部材
14a、14b 貫通孔
16 SiO2膜
16a 最下層
16b 表層
Claims (5)
- 流路の内壁面に無機酸化膜をコーティングした樹脂基板のマイクロ流路チップであって、
前記無機酸化膜は複数の層からなり、
流路表面に露出する表層は、前記樹脂基板に接する最下層よりも炭素原子あるいは窒素原子の含有量が少ない、
ことを特徴とするマイクロ流路チップ。 - 前記表層は、SiO2(二酸化珪素)膜である、請求項1記載のマイクロ流路チップ。
- 前記最下層は、有機成分の触媒を使用して形成し、前記表層は、有機成分の触媒を使用せずに形成する、請求項1記載のマイクロ流路チップ。
- CVD法により前記最下層及び前記表層を形成する、請求項1記載のマイクロ流路チップ。
- 請求項1から請求項4のいずれかに記載のマイクロ流路チップを具備するマイクロ分析システム。
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