JP2011206995A - Peeling film, peeling film roll, ceramic component sheet, and method for manufacturing ceramic component - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a peeling film having a peeling surface combining excellent releasability and applicability and easy to be manufactured, and a peeling film roll.SOLUTION: The peeling film 10 includes a base material film 12 and a polymer layer 14 provided on one surface of the base material film 12. The polymer layer 14 has a layer including cured material of a (meth)acrylate component and a film including a silicone polymer component which covers a part of a surface on the opposite side of the base material film side of the layer 14. The silicone polymer component is a polymer of modified silicone oil modified by a (meth)acryloyl group and/or a vinyl group. On a surface 14a of the polymer layer, surface adhesion energy of water is equal to or less than 10 mJ/m. In the peeling film roll of the winded peeling film, a contact angle of water is equal to or less than 80 degrees on the surface opposite from a polymer layer side of the base material film.

Description

本発明は、剥離フィルム、剥離フィルムロール及びセラミック部品シート、並びにセラミック部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a release film, a release film roll, a ceramic component sheet, and a method for manufacturing a ceramic component.

セラミック部品の一例である積層セラミックコンデンサの製造プロセスとして、剥離フィルム上に形成された誘電体シート、電極を形成した後に、これを剥離して積層していく方法が知られている。   As a manufacturing process of a multilayer ceramic capacitor which is an example of a ceramic component, a method is known in which a dielectric sheet and an electrode formed on a release film are formed and then peeled and laminated.

近年、積層セラミックコンデンサの小型化が進められており、誘電体シートを焼成して得られる誘電体層の厚みが益々薄くなってきている。これに伴って、誘電体シートの形成に用いられる剥離フィルムは、凹凸が十分に低減された表面を有すること、及び良好な剥離性を有することが求められている。   In recent years, multilayer ceramic capacitors have been reduced in size, and the thickness of a dielectric layer obtained by firing a dielectric sheet has been increasingly reduced. In connection with this, the peeling film used for formation of a dielectric sheet is calculated | required to have the surface where the unevenness | corrugation was fully reduced, and to have favorable peelability.

剥離フィルムは、フィラーを含有する基材フィルム上に平滑化層とシリコーン樹脂で形成された剥離層とが順次積層された積層構造を有するものが提案されている(たとえば、特許文献1)。このような積層構造を有することによって、表面の凹凸が少ない良好な平滑性と剥離性とを両立させることが記載されている。   A release film has been proposed that has a laminated structure in which a smoothing layer and a release layer formed of a silicone resin are sequentially laminated on a base film containing a filler (for example, Patent Document 1). It is described that by having such a laminated structure, both good smoothness with less surface irregularities and releasability are achieved.

特開2006−159651号公報JP 2006-159651 A

しかしながら、上述のような剥離フィルムの場合、基材フィルム上に少なくとも平滑化層と剥離層の2つの層を設ける必要がある。このため、平滑化層と剥離層とを一体化することで一層構造とし、製造工程を簡略化することが求められる。   However, in the case of the release film as described above, it is necessary to provide at least two layers of a smoothing layer and a release layer on the base film. For this reason, it is required that the smoothing layer and the release layer be integrated to form a single layer structure and simplify the manufacturing process.

ところが、基材フィルム上に、平滑化層を形成せずに剥離層のみを形成する場合、表面(剥離面)の凹凸を十分に低減するために、従来の剥離層よりも厚みを大きくする必要がある。しかしながら、通常、剥離層は良好な剥離性が発揮できるように熱硬化系のシリコーン樹脂などで形成されており、剥離層の厚みを大きくすると剥離層内部を十分に硬化させることが困難となり、また、剥離層表面に凹凸が生じやすくなるという問題があることがわかった。   However, when only the release layer is formed on the base film without forming a smoothing layer, it is necessary to make the thickness larger than the conventional release layer in order to sufficiently reduce the unevenness of the surface (release surface). There is. However, the release layer is usually formed of a thermosetting silicone resin or the like so that good release properties can be exhibited, and if the thickness of the release layer is increased, it becomes difficult to sufficiently cure the inside of the release layer. It has been found that there is a problem that unevenness tends to occur on the surface of the release layer.

一方、剥離層に光(紫外線)硬化系のシリコーン樹脂を用いた場合、誘電体成分や電極成分を含有するペーストを剥離面上に塗布すると、ペーストのハジキが生じやすく、良好な塗布性が得られ難いという問題があった。   On the other hand, when a light (ultraviolet) curable silicone resin is used for the release layer, if a paste containing a dielectric component or an electrode component is applied on the release surface, the paste tends to repel and good applicability is obtained. There was a problem that it was difficult to be.

ここで、剥離層表面の凹凸を低減するための方策としては、基材フィルムに含まれるフィラーの量を少なくすることが挙げられる。しかしながら、この場合、基材フィルムすなわち剥離フィルムの機械的強度が低下してしまうという問題がある。   Here, as a measure for reducing the unevenness on the surface of the release layer, reducing the amount of filler contained in the base film can be mentioned. However, in this case, there is a problem that the mechanical strength of the base film, that is, the release film is lowered.

さらに、誘電体シートの厚みを薄くする場合、誘電体シートの強度が下がり、容易に破れてしまいやすくなる。その結果、剥離性がより一層悪化する傾向にある。このような不具合は、特に積層工程時に剥離フィルムから誘電体シートを剥がすときに起こりやすい。   Further, when the thickness of the dielectric sheet is reduced, the strength of the dielectric sheet is lowered and easily broken. As a result, the peelability tends to be further deteriorated. Such a problem is likely to occur particularly when the dielectric sheet is peeled off from the release film during the lamination process.

従来、剥離性の良否を評価する手段として、水の接触角の大小により評価する方法が用いられてきた。この方法では、水の接触角が大きい場合には、剥離性が良好であると判断し、接触角が小さい場合には、剥離性が悪いと判断していた。   Conventionally, as a means for evaluating the quality of peelability, a method of evaluating based on the contact angle of water has been used. In this method, when the contact angle of water is large, it is determined that the peelability is good, and when the contact angle is small, it is determined that the peelability is poor.

しかしながら、水の接触角が大きい場合であっても、剥離性が悪い場合があり、逆に、接触角が小さい場合であっても、剥離性が良好な場合があるため、水の接触角とは異なる観点から、剥離性を評価することが望まれていた。   However, even if the contact angle of water is large, the peelability may be poor, and conversely, even if the contact angle is small, the peelability may be good. From a different viewpoint, it was desired to evaluate the peelability.

さらに、剥離フィルムは、通常、使用されるまで、ロール状に巻回された状態で保管等される。この場合、剥離面と基材フィルムの表面とが接触した状態にあり、剥離面の成分が基材フィルム側に転写あるいは移動するなどして、剥離面の表面が不均一になるなどの不具合を生じるという問題があった。   Furthermore, the release film is usually stored in a rolled state until it is used. In this case, the peeling surface and the surface of the base film are in contact with each other, and the component of the peeling surface is transferred or moved to the base film side, so that the surface of the peeling surface becomes non-uniform. There was a problem that occurred.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、優れた剥離性と塗布性とを兼ね備えた剥離面を有し、容易に製造可能な剥離フィルム及び該剥離フィルムが巻回されてなる剥離フィルムロールを提供することを目的とする。また、そのような剥離フィルムを用いることによって、ピンホールや厚みのばらつきが十分に低減されたグリーンシートが形成可能であり、積層セラミック製品の製造に好適なセラミック部品シートを提供することを目的とする。さらに、上記セラミック部品シートを用いることにより、セラミック部品の製造における歩留まりを十分に高くすることが可能なセラミック部品の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, has a release surface that has both excellent peelability and applicability, and can be easily manufactured, and a release film formed by winding the release film. An object is to provide a film roll. In addition, by using such a release film, it is possible to form a green sheet with sufficiently reduced pinholes and thickness variations, and to provide a ceramic component sheet suitable for the production of multilayer ceramic products. To do. Furthermore, it aims at providing the manufacturing method of the ceramic component which can make the yield in manufacture of a ceramic component sufficiently high by using the said ceramic component sheet | seat.

本発明者等は、鋭意検討を行った結果、剥離性の評価基準として、水の接触角ではなく、剥離層表面と水との表面付着エネルギー(以下、水の表面付着エネルギーという)に着目し、このエネルギーの値により剥離性の良否を評価できることを見出した。そして、剥離面における表面付着エネルギーを特定の範囲とし、かつ剥離面の組成が特定の組成とすることで、上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies, the present inventors have focused not on the contact angle of water but on the surface adhesion energy between the release layer surface and water (hereinafter referred to as water surface adhesion energy) as the evaluation standard for peelability. The present inventors have found that the peelability can be evaluated by the energy value. And it discovered that the said objective could be achieved by making surface adhesion energy in a peeling surface into a specific range, and making a composition of a peeling surface into a specific composition, and came to complete this invention.

すなわち、本発明に係る剥離フィルムは、
基材フィルムと前記基材フィルムの一面上に設けられる重合体層とを備える剥離フィルムであって、
前記重合体層は(メタ)アクリレート成分の硬化物を含む層と、該層の前記基材フィルム側とは反対側の表面の一部を被覆するシリコーン重合体成分を含む膜と、を有し、
前記シリコーン重合体成分は、(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基で変性された変性シリコーンオイルの重合体であって、
前記重合体層の表面において、水の表面付着エネルギーが10mJ/m以下であることを特徴とする。
That is, the release film according to the present invention is
A release film comprising a base film and a polymer layer provided on one surface of the base film,
The polymer layer has a layer containing a cured product of a (meth) acrylate component, and a film containing a silicone polymer component that covers a part of the surface of the layer opposite to the base film side. ,
The silicone polymer component is a polymer of a modified silicone oil modified with a (meth) acryloyl group and / or a vinyl group,
The surface adhesion energy of water is 10 mJ / m 2 or less on the surface of the polymer layer.

このような剥離フィルムは、(メタ)アクリレート成分の硬化物を含む重合体層を有する。この重合体層は、基材フィルムとは反対側の表面の一部にシリコーン重合体成分を含む膜を有する。このシリコーン重合体成分を含む膜を有する側の重合体層の表面は、セラミックグリーンシートや電極グリーンシートなどが形成される剥離面となるが、該剥離面の構成を上記のものとし、さらに該剥離面における水の表面付着エネルギーを上記の範囲とすることで、剥離性を良好にすることができる。また、剥離面には(メタ)アクリレート成分の硬化物も露出しているので、誘電体材料や電極材料などを含むペーストを塗布した際に、これらのペーストがはじかれ難く塗布性にも優れることとなる。   Such a release film has a polymer layer containing a cured product of a (meth) acrylate component. This polymer layer has a film containing a silicone polymer component on a part of the surface opposite to the base film. The surface of the polymer layer on the side having the film containing the silicone polymer component is a release surface on which a ceramic green sheet or an electrode green sheet is formed. The configuration of the release surface is as described above. By making the surface adhesion energy of water on the peeling surface within the above range, the peelability can be improved. In addition, since the cured product of the (meth) acrylate component is also exposed on the release surface, these pastes are difficult to be repelled and excellent in applicability when a paste containing a dielectric material or electrode material is applied. It becomes.

また、このような剥離フィルムは、基材フィルム上に剥離層と平坦化層とを個別に形成する必要がなく、重合体層のみにすることができるため、製造工程が簡素化されて容易に製造することが可能となる。   In addition, such a release film does not need to form a release layer and a flattening layer separately on the base film, and can be made only of a polymer layer, so that the manufacturing process is simplified and easily performed. It can be manufactured.

本発明に係る剥離フィルムロールは、
剥離フィルムがロール状に巻回されてなる剥離フィルムロールであって、
前記剥離フィルムが、基材フィルムと前記基材フィルムの一面上に設けられる重合体層とを備えており、
前記基材フィルムはポリエステル樹脂からなり、
前記重合体層は(メタ)アクリレート成分の硬化物を含む層と、該層の前記基材フィルム側とは反対側の表面の一部を被覆するシリコーン重合体成分を含む膜と、を有し、
前記シリコーン重合体成分は、(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基で変性された変性シリコーンオイルの重合体であって、
前記重合体層の表面において、水の表面付着エネルギーが10mJ/m以下であり、
前記基材フィルムの前記重合体層側とは反対側の表面において、水の接触角が80°以下であることを特徴とする。
The release film roll according to the present invention is
A release film roll formed by winding a release film into a roll,
The release film comprises a base film and a polymer layer provided on one surface of the base film,
The base film is made of a polyester resin,
The polymer layer has a layer containing a cured product of a (meth) acrylate component, and a film containing a silicone polymer component that covers a part of the surface of the layer opposite to the base film side. ,
The silicone polymer component is a polymer of a modified silicone oil modified with a (meth) acryloyl group and / or a vinyl group,
On the surface of the polymer layer, the surface adhesion energy of water is 10 mJ / m 2 or less,
The contact angle of water is 80 ° or less on the surface of the base film opposite to the polymer layer side.

セラミック部品を製造するために用いられる剥離フィルムは、通常、使用される直前まで、ロール状に巻回された剥離フィルムロールの状態で保管あるいは搬送される。このような剥離フィルムロールにおいては、剥離面(本発明における重合体層の表面)と、剥離面とは反対側の基材フィルムの表面と、が接触することとなる。   The release film used for producing ceramic parts is usually stored or transported in the state of a release film roll wound in a roll until just before use. In such a release film roll, the release surface (the surface of the polymer layer in the present invention) and the surface of the base film opposite to the release surface come into contact.

また、剥離フィルムの重合体層の表面には、重合していないシリコーンオイルが存在していることがある。このような未反応のシリコーンオイルは、重合体層の表面には固定されていない状態で存在している。そのため、剥離フィルムロールにおいては、未反応のシリコーンオイルが、重合体層の表面から基材フィルム側に転写あるいは移動することがある。未反応のシリコーンオイルが基材フィルム側に転写あるいは移動した場合、重合体層の表面が不均一となり、ペースト等のハジキが発生してしまう。   Further, unpolymerized silicone oil may be present on the surface of the polymer layer of the release film. Such unreacted silicone oil is present in a state of not being fixed to the surface of the polymer layer. Therefore, in the release film roll, unreacted silicone oil may be transferred or moved from the surface of the polymer layer to the base film side. When the unreacted silicone oil is transferred or moved to the base film side, the surface of the polymer layer becomes non-uniform and repelling of a paste or the like occurs.

そこで、本発明では、上記の剥離フィルムロールにおいて、重合体層側とは反対側の基材フィルムの表面における水の接触角を上記の範囲としている。このようにすることで、基材フィルムの表面における水の接触角が本発明の範囲内である場合には、重合体層の表面からの未反応のシリコーンオイルの転写あるいは移動がほとんどないと考えられる。   Therefore, in the present invention, in the release film roll described above, the contact angle of water on the surface of the base film opposite to the polymer layer side is within the above range. Thus, when the contact angle of water on the surface of the base film is within the range of the present invention, it is considered that there is almost no transfer or movement of unreacted silicone oil from the surface of the polymer layer. It is done.

すなわち、上記の剥離フィルムロールにおいて、基材フィルムの表面における水の接触角が本発明の範囲内とすることで、重合体層の表面に存在する未反応のシリコーンオイルは非常に少なくできるため、ペースト等のハジキを十分に低減でき、良好な塗布性を実現することができる。さらに、重合体層の表面における表面付着エネルギーを上記の範囲としているため、剥離性にも優れる。   That is, in the release film roll described above, by making the contact angle of water on the surface of the base film within the scope of the present invention, unreacted silicone oil present on the surface of the polymer layer can be very small, The repellency of paste or the like can be sufficiently reduced, and good coating properties can be realized. Furthermore, since the surface adhesion energy on the surface of the polymer layer is in the above range, the peelability is also excellent.

したがって、この剥離フィルムロールから巻解かれて繰り出される剥離フィルムは、剥離性及び塗布性に優れている。   Therefore, the release film unwound from the release film roll and fed out is excellent in peelability and applicability.

本発明に係るセラミック部品シートは、上述のいずれかの剥離フィルムと、該剥離フィルムの重合体層上にセラミックグリーンシート及び電極グリーンシートの少なくとも一方からなるグリーンシートと、を有する。   The ceramic component sheet according to the present invention includes any one of the release films described above, and a green sheet made of at least one of a ceramic green sheet and an electrode green sheet on the polymer layer of the release film.

このセラミック部品シートは、凹凸が十分に低減されるとともに、優れた剥離性を有する剥離フィルムを有することから、セラミックグリーンシートや電極グリーンシートのピンホールや厚みのばらつきを十分に低減することができる。その結果、積層セラミックコンデンサなどのセラミック製品の歩留まりを十分に向上させることが可能となる。   Since this ceramic component sheet has a release film having excellent releasability while sufficiently reducing unevenness, pinholes and thickness variations of ceramic green sheets and electrode green sheets can be sufficiently reduced. . As a result, it is possible to sufficiently improve the yield of ceramic products such as multilayer ceramic capacitors.

本発明に係るセラミック部品の製造方法は、上述のセラミック部品シートを複数準備する準備工程と、セラミック部品シートのグリーンシートを積層して、複数のグリーンシートを有する積層体を得る積層工程と、積層体を焼成して焼結体を得る焼成工程と、を有する。   A method of manufacturing a ceramic component according to the present invention includes a preparation step of preparing a plurality of ceramic component sheets as described above, a lamination step of laminating green sheets of ceramic component sheets to obtain a laminate having a plurality of green sheets, and lamination Firing the body to obtain a sintered body.

このセラミック部品の製造方法では、上述の特徴を有する剥離フィルムを有するセラミック部品シートを用いているため、高い歩留まりでセラミック部品を製造することができる。   In this method of manufacturing a ceramic component, a ceramic component sheet having a release film having the above-described characteristics is used, so that the ceramic component can be manufactured with a high yield.

本発明では、通常剥離性の評価に用いられる水の接触角ではなく、水の表面付着エネルギーという新たな概念により剥離性を評価している。この表面付着エネルギーが特定の範囲にあり、かつ剥離面の組成を特定のものとすることで、優れた剥離性と塗布性とを兼ね備えた剥離面を有し、容易に製造可能な剥離フィルムを提供することができる。さらに、剥離面とは反対側の基材フィルムの表面における水の接触角を特定の範囲とすることで、剥離フィルムの剥離面における塗布性をさらに良好にできる剥離フィルムロールを提供することができる。また、そのような剥離フィルムを用いることによって、ピンホールや厚みのばらつきが十分に低減されたグリーンシートを形成することが可能となり、積層セラミック製品の製造に好適なセラミック部品シートを提供することができる。また、上記セラミック部品シートを用いることにより、セラミック部品の製造において、不良品の発生を十分に抑制し、歩留まりを十分に高くすることが可能なセラミック部品の製造方法を提供することができる。   In the present invention, the peelability is evaluated based on a new concept of water surface adhesion energy rather than the contact angle of water normally used for evaluation of peelability. By making this surface adhesion energy in a specific range and making the composition of the release surface specific, a release film that has a release surface that has both excellent peelability and applicability and can be easily manufactured Can be provided. Furthermore, the peeling film roll which can make the applicability | paintability in the peeling surface of a peeling film still more favorable by making the contact angle of water in the surface of the base film opposite to a peeling surface into a specific range can be provided. . Further, by using such a release film, it is possible to form a green sheet with sufficiently reduced pinholes and thickness variations, and to provide a ceramic component sheet suitable for the production of multilayer ceramic products. it can. In addition, by using the ceramic component sheet, it is possible to provide a method for manufacturing a ceramic component capable of sufficiently suppressing the occurrence of defective products and sufficiently increasing the yield in manufacturing the ceramic component.

図1は、本発明の一実施形態に係る剥離フィルムを模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a release film according to an embodiment of the present invention. 図2(A)〜(C)は、水の表面付着エネルギーを測定する方法を説明するための模式図である。2A to 2C are schematic views for explaining a method of measuring the surface adhesion energy of water. 図3は、水の表面付着エネルギーを算出する方法を説明するための模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a method of calculating the surface adhesion energy of water. 図4は、本発明の一実施形態に係る剥離フィルムロールおよび該剥離フィルムロールから繰り出された剥離フィルムを模式的に示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view schematically showing a release film roll according to an embodiment of the present invention and a release film fed out from the release film roll. 図5は、図4に示す剥離フィルムロールにおけるV部分の模式的な拡大断面図である。FIG. 5 is a schematic enlarged cross-sectional view of a V portion in the release film roll shown in FIG. 図6は、本発明の一実施形態に係るセラミック部品シートを模式的に示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a ceramic component sheet according to an embodiment of the present invention. 図7は、本発明の一実施形態に係るセラミック部品の製造方法によって得られるセラミック部品の一例を示す模式断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing an example of a ceramic component obtained by the method for manufacturing a ceramic component according to one embodiment of the present invention.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。   Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.

<剥離フィルム10>
本実施形態に係る剥離フィルム10は、図1に示すように、基材フィルム12と、基材フィルム12の一方面上に設けられる重合体層14とを有する。
<Peeling film 10>
As shown in FIG. 1, the release film 10 according to the present embodiment includes a base film 12 and a polymer layer 14 provided on one surface of the base film 12.

<重合体層14>
重合体層14は、(メタ)アクリレート重合体成分とシリコーン重合体成分とを含有しており、重合体層14の基材フィルム12側とは反対側の表面14aには、(メタ)アクリレート重合体成分を含む層の表面の一部をシリコーン重合体成分が被覆している。なお、本明細書において、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、「(メタ)アクリロイル」とは、アクリロイル及びそれに対応するメタクリロイルを意味する。
<Polymer layer 14>
The polymer layer 14 contains a (meth) acrylate polymer component and a silicone polymer component, and the surface 14a of the polymer layer 14 opposite to the base film 12 side has a (meth) acrylate weight. A portion of the surface of the layer containing the coalescing component is covered with the silicone polymer component. In the present specification, “(meth) acrylate” means acrylate and its corresponding methacrylate, and “(meth) acryloyl” means acryloyl and its corresponding methacryloyl.

(メタ)アクリレート重合体成分とは、(メタ)アクリレートモノマー及び/又は(メタ)アクリレートオリゴマーの重合体(硬化物)で構成される成分をいい、(メタ)アクリレートモノマー及び/又はアクリレートオリゴマーを重合することによって得ることができる。(メタ)アクリレートモノマーの好ましい例としては、ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、デカンジオールジ(メタ)アクリレート、ブチルプロパンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレートが挙げられる。   The (meth) acrylate polymer component means a component composed of a polymer (cured product) of (meth) acrylate monomer and / or (meth) acrylate oligomer, and polymerizes (meth) acrylate monomer and / or acrylate oligomer. Can be obtained. Preferable examples of the (meth) acrylate monomer include nonanediol di (meth) acrylate, decanediol di (meth) acrylate, butylpropanediol diacrylate, and trimethylolpropane di (meth) acrylate.

シリコーン重合体成分とは、(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基で変性された変性シリコーンオイルの重合体で構成される成分をいい、該変性シリコーンオイルを重合することによって得ることができる。変性シリコーンオイルの好ましい例としては、片末端(メタ)アクリレート変性シリコーンオイル、両末端(メタ)アクリレート変性シリコーンオイル、側鎖(メタ)アクリレート変性シリコーンオイル、両末端側鎖(メタ)アクリレート変性シリコーンオイル、片末端ビニル変性シリコーンオイル、両末端ビニル変性シリコーンオイル、側鎖ビニル変性シリコーンオイル、両末端側鎖ビニル変性シリコーンオイルなどが挙げられる。また、必要に応じて、上記変性シリコーンオイルを数種類選択してブレンドしてもよい。   A silicone polymer component means the component comprised by the polymer of the modified silicone oil modified | denatured by the (meth) acryloyl group and / or vinyl group, and it can obtain by polymerizing this modified silicone oil. Preferred examples of the modified silicone oil include one-end (meth) acrylate-modified silicone oil, both-end (meth) acrylate-modified silicone oil, side-chain (meth) acrylate-modified silicone oil, and both-end side-chain (meth) acrylate-modified silicone oil. , One terminal vinyl modified silicone oil, both terminal vinyl modified silicone oil, side chain vinyl modified silicone oil, both terminal side chain vinyl modified silicone oil, and the like. If necessary, several kinds of the modified silicone oil may be selected and blended.

重合体層14の形成時において、変性シリコーンオイルの(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基と(メタ)アクリレート成分とが反応することによって、変性シリコーンオイルが(メタ)アクリレート重合体に固定され、シリコーン重合体成分を含む膜を形成することができる。また、上記反応の際に、変性シリコーンオイルの(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基の一部同士が反応してもよい。本実施形態の剥離フィルムでは、未反応のシリコーンオイルを非常に少なくすることができ、誘電体ペースト等を塗布した場合にハジキを十分に低減することができる。   When the polymer layer 14 is formed, the (meth) acryloyl group and / or vinyl group of the modified silicone oil reacts with the (meth) acrylate component, whereby the modified silicone oil is fixed to the (meth) acrylate polymer, A film containing a silicone polymer component can be formed. Moreover, in the case of the said reaction, a part of (meth) acryloyl group and / or vinyl group of a modified silicone oil may react. In the release film of this embodiment, the amount of unreacted silicone oil can be greatly reduced, and repelling can be sufficiently reduced when a dielectric paste or the like is applied.

重合体層14の厚みt(μm)は、好ましくは0.5〜3μmであり、より好ましくは1〜2μmであり、さらに好ましくは1〜1.5μmである。該厚みt(μm)が0.5μm以下の場合、剥離フィルム10の表面14aにおける平滑性が損なわれて、表面14aにグリーンシートを形成した場合に、ピンホールや厚みのばらつきが発生し易くなる傾向がある。一方、該厚みt(μm)が3μmを超える場合、基材フィルムが薄いときは剥離フィルム10がカールする傾向がある。   The thickness t (μm) of the polymer layer 14 is preferably 0.5 to 3 μm, more preferably 1 to 2 μm, and still more preferably 1 to 1.5 μm. When the thickness t (μm) is 0.5 μm or less, the smoothness on the surface 14a of the release film 10 is impaired, and when a green sheet is formed on the surface 14a, pinholes and thickness variations are likely to occur. Tend. On the other hand, when the thickness t (μm) exceeds 3 μm, the release film 10 tends to curl when the base film is thin.

重合体層14における(メタ)アクリレート重合体成分とシリコーン重合体成分との含有量は、(メタ)アクリレート重合体成分100質量部に対して、シリコーン重合体成分が0.001〜10質量部であることが好ましく、0.01〜2質量部であることがより好ましく、0.1〜0.2質量部であることがさらに好ましい。(メタ)アクリレート重合体成分100質量部に対するシリコーン重合体成分の含有量が0.001質量部未満の場合、重合体層14の表面14aにおいて十分優れた剥離性が損なわれる傾向がある。一方、(メタ)アクリレート重合体成分100質量部に対するシリコーン重合体成分の含有量が10質量部を超える場合、セラミックペーストや電極ペーストを重合体層14の表面(剥離面)14aに塗布した場合に、ペーストがはじかれて均一な厚みに塗布することが困難になる傾向がある。   The content of the (meth) acrylate polymer component and the silicone polymer component in the polymer layer 14 is 0.001 to 10 parts by mass of the silicone polymer component with respect to 100 parts by mass of the (meth) acrylate polymer component. It is preferable that it is 0.01 to 2 parts by mass, and more preferably 0.1 to 0.2 part by mass. When the content of the silicone polymer component with respect to 100 parts by mass of the (meth) acrylate polymer component is less than 0.001 part by mass, sufficiently excellent peelability tends to be impaired on the surface 14 a of the polymer layer 14. On the other hand, when the content of the silicone polymer component with respect to 100 parts by mass of the (meth) acrylate polymer component exceeds 10 parts by mass, when a ceramic paste or an electrode paste is applied to the surface (release surface) 14a of the polymer layer 14 The paste tends to be repelled and difficult to apply to a uniform thickness.

重合体層14の密度d(g/cm)は、好ましくは0.95〜1.25g/cmであり、より好ましくは1.0〜1.2g/cmであり、さらに好ましくは1.05〜1.15g/cmである。このような密度を有する重合体層14は、カールの発生を十分に抑制することができる。 Density d of the polymer layer 14 (g / cm 3) is preferably 0.95~1.25g / cm 3, more preferably from 1.0~1.2g / cm 3, more preferably 1 0.05 to 1.15 g / cm 3 . The polymer layer 14 having such a density can sufficiently suppress the occurrence of curling.

基材フィルム12の表面に形成される、重合体層14における単位面積当たりのシリコーン重合体成分の量(mg/m)は、10×b×t×dで計算することができる(ここで、bは重合体層におけるシリコーン重合体成分の含有量(質量%)である)。この数式で計算されるシリコーン重合体成分の量は、好ましくは0.2〜6mg/mであり、より好ましくは0.2〜4mg/mであり、さらに好ましくは0.2〜3mg/mであり、特に好ましくは0.2〜2mg/mである。シリコーン重合体成分の量が多すぎると、誘電体ペーストを塗布した場合に十分優れた塗布性が損なわれる傾向がある。一方、シリコーン重合体成分の量が少なすぎると、十分優れた剥離性が損なわれる傾向がある。 The amount (mg / m 2 ) of the silicone polymer component per unit area in the polymer layer 14 formed on the surface of the base film 12 can be calculated by 10 × b × t × d (where , B is the content (mass%) of the silicone polymer component in the polymer layer). The amount of silicone polymer component calculated by this formula is preferably 0.2~6mg / m 2, more preferably 0.2~4mg / m 2, more preferably 0.2~3Mg / m 2 , particularly preferably 0.2 to 2 mg / m 2 . When the amount of the silicone polymer component is too large, there is a tendency that sufficiently excellent coating properties are impaired when a dielectric paste is applied. On the other hand, if the amount of the silicone polymer component is too small, sufficiently excellent peelability tends to be impaired.

重合体層14は、(メタ)アクリレート重合体成分及びシリコーン重合体成分以外に、シリカなどの無機粒子を含んでいてもよい。   The polymer layer 14 may contain inorganic particles such as silica in addition to the (meth) acrylate polymer component and the silicone polymer component.

<表面付着エネルギー>
本実施形態では、重合体層14の表面14aにおいて、水の表面付着エネルギーが10mJ/m以下、好ましくは8mJ/m以下、より好ましくは7mJ/m以下である。この水の表面付着エネルギーは、水と表面との相互作用の大きさを示している。表面付着エネルギーが大きすぎると、剥離フィルム10からの誘電体シートの剥離性が悪化する傾向にある。すなわち、本実施形態では、剥離性を表面付着エネルギーにより評価する。
<Surface adhesion energy>
In the present embodiment, the surface 14a of the polymer layer 14, the surface adhesion energy of water 10 mJ / m 2 or less, preferably 8 mJ / m 2 or less, and more preferably not more than 7 mJ / m 2. This surface adhesion energy of water indicates the magnitude of the interaction between water and the surface. If the surface adhesion energy is too large, the peelability of the dielectric sheet from the release film 10 tends to deteriorate. That is, in this embodiment, peelability is evaluated by surface adhesion energy.

従来、剥離性は、剥離層表面における水の接触角の大小により評価されてきた。水の接触角については、接触角が大きくなると、ペースト等のハジキが発生しやすくなり(撥水性が高くなり)、接触角が小さくなると、ハジキが発生しにくい傾向にあることが一般的に知られている。   Conventionally, peelability has been evaluated based on the contact angle of water on the surface of the release layer. As for the contact angle of water, it is generally known that when the contact angle is increased, repelling of paste or the like is likely to occur (water repellency is increased), and when the contact angle is decreased, repelling is less likely to occur. It has been.

一方、剥離フィルムからの誘電体シートの剥離を軽くする(剥離に要する力を小さくする)と、ハジキが発生しやすいという傾向にある。そのため、剥離性と水の接触角とが相関すると考えられたからである。   On the other hand, when the release of the dielectric sheet from the release film is lightened (the force required for the release is reduced), repelling tends to occur. For this reason, it is considered that the peelability and the contact angle of water are correlated.

しかしながら、本発明者等は、接触角が大きくても誘電体シートの剥離性が悪い(剥離が重い)ものがあり、逆に、接触角は低めであるが、誘電体シートの剥離性が良好な(剥離が軽い)ものがあることを実験的に見いだした。すなわち、誘電体シートの剥離性については、水の接触角だけでは評価できないことを見いだした。   However, the present inventors have a dielectric sheet with poor peelability (heavy peeling) even when the contact angle is large. Conversely, the contact angle is low, but the dielectric sheet has good peelability. It was found experimentally that there was something (light peeling). That is, it was found that the peelability of the dielectric sheet cannot be evaluated only with the contact angle of water.

さらに、本発明者等は、誘電体シートの剥離性には、剥離層と誘電体シートとの間の相互作用が大きく影響していると推測している。その根拠として、たとえば、誘電体シートに含まれるブチラール樹脂がヒドロキシル基を有している場合、剥離が重くなる傾向にある。これは、剥離フィルム表面において、ヒドロキシル基と剥離フィルム表面との間に水素結合性が支配的な相互作用を生じるためである。   Furthermore, the present inventors have speculated that the interaction between the release layer and the dielectric sheet greatly affects the peelability of the dielectric sheet. As a basis for this, for example, when the butyral resin contained in the dielectric sheet has a hydroxyl group, peeling tends to be heavy. This is because hydrogen bonding causes a dominant interaction between the hydroxyl group and the release film surface on the release film surface.

このような誘電体シートと剥離フィルムの表面との間に生じる相互作用は、該相互作用が水素結合的であることを考慮すると、水と表面との間に生じる水素結合的な相互作用と非常に類似性が高いということができる。そして、この水と表面との間に生じる水素結合的な相互作用は、上述の水の表面付着エネルギーにより評価することができる。   The interaction that occurs between the dielectric sheet and the surface of the release film is much different from the hydrogen-bonding interaction that occurs between water and the surface, considering that the interaction is hydrogen-bonding. It can be said that the similarity is high. And the hydrogen bond interaction which arises between this water and the surface can be evaluated by the surface adhesion energy of the above-mentioned water.

したがって、剥離フィルムからの誘電体シートの剥離性は、該剥離フィルムの剥離層表面における水の表面付着エネルギーにより評価することができる。水素結合的相互作用が弱い場合には、水の表面付着エネルギーが低くなり、その結果、剥離は軽くなる。逆に、水素結合的相互作用が強い場合には、水の付着エネルギーが大きくなり、剥離は重くなる。   Therefore, the peelability of the dielectric sheet from the release film can be evaluated by the surface adhesion energy of water on the release layer surface of the release film. When the hydrogen bonding interaction is weak, the surface adhesion energy of water is low, and as a result, peeling becomes light. On the other hand, when the hydrogen bond interaction is strong, the adhesion energy of water becomes large and peeling becomes heavy.

本実施形態に係る剥離フィルムでは、その表面に(メタ)アクリレートの重合体の一部が露出する場合もあるため、水の表面付着エネルギーが本発明の範囲内となるように、内在する水素結合性を勘案して、(メタ)アクリレートモノマー、オリゴマー種の選択、使用量を調整することが好ましい。   In the release film according to this embodiment, since a part of the polymer of (meth) acrylate may be exposed on the surface thereof, the hydrogen bond that is present so that the surface adhesion energy of water is within the scope of the present invention. In consideration of the properties, it is preferable to adjust the selection and use amount of (meth) acrylate monomer and oligomer species.

また、アミンは、水素結合性により水を配位しやすい性質を有しており、水との相互作用が強くなりやすい。そのため、アミンを含む化合物は、誘電体シートや剥離フィルムの表面に対し、多量に用いないことが好ましい。アミンを含む化合物としては、たとえば紫外線硬化剤や帯電防止剤などが挙げられる。   In addition, amine has a property of easily coordinating water due to hydrogen bonding properties, and the interaction with water tends to be strong. Therefore, it is preferable not to use a large amount of the amine-containing compound with respect to the surface of the dielectric sheet or the release film. Examples of the compound containing an amine include an ultraviolet curing agent and an antistatic agent.

さらに、上述したもの以外にも、誘電体シートあるいは剥離フィルムの表面において、水素結合しやすい基(たとえば、カルボキシル基、クロル基、シアノ基など)が過剰に存在しないことが好ましい。   Further, in addition to the above, it is preferable that there are not excessive groups (for example, carboxyl group, chloro group, cyano group, etc.) that are liable to hydrogen bond on the surface of the dielectric sheet or release film.

なお、上記は、水素結合しやすい基を含む化合物の使用を排除するものではなく、上述した水の表面付着エネルギーが本発明の範囲内となる範囲であれば、該化合物が含まれてもよいことは勿論である。   Note that the above does not exclude the use of a compound containing a group that easily bonds to hydrogen, and the compound may be included as long as the above-described surface adhesion energy of water is within the scope of the present invention. Of course.

水の表面付着エネルギーは、たとえば以下に示す滑落法を用いて測定することができる。まず、水平状態の台に固定された試験サンプル(剥離フィルム10)の表面に水滴を垂らして、図2(A)に示すように、液滴200を剥離フィルムの剥離面14aにのせる。   The surface adhesion energy of water can be measured using, for example, the sliding method shown below. First, a water droplet is dropped on the surface of a test sample (peeling film 10) fixed to a horizontal table, and the droplet 200 is placed on the peeling surface 14a of the peeling film as shown in FIG.

続いて、図2(B)に示すように、サンプルを水平状態から徐々に連続的に傾けていく。そして、サンプルの下端側10aの液滴の端部200aと、サンプルの上端側10bの液滴の端部200bと、を観察し、図2(C)のように、液滴200の端部200a、200bが移動し始め、上端側10bから下端側10aに液滴200が明らかに滑り落ち始めたときの角度を滑落角αとする。   Subsequently, as shown in FIG. 2B, the sample is gradually and gradually tilted from the horizontal state. Then, the end 200a of the droplet on the lower end side 10a of the sample and the end 200b of the droplet on the upper end side 10b of the sample are observed, and as shown in FIG. 2C, the end 200a of the droplet 200 is observed. , 200b starts to move, and an angle when the droplet 200 clearly starts to slide down from the upper end side 10b to the lower end side 10a is defined as a sliding angle α.

図3より、水の表面付着エネルギーをEとすると、Eは、この滑落角αを用いて、以下に示す式で表される。ここで、mは液滴の質量、gは重力加速度、Rは液滴の径である。
E=(mgsinα)/2πR
From FIG. 3, assuming that the surface adhesion energy of water is E, E is expressed by the following equation using this sliding angle α. Here, m is the mass of the droplet, g is the acceleration of gravity, and R is the diameter of the droplet.
E = (mgsinα) / 2πR

なお、通常、液滴の端部200aと端部200bとは同時に動きはじめるが、まれにずれて動くことがある。この場合は、上端側の端部200bが動き始めたときの角度を滑落角αとする。   Normally, the end portion 200a and the end portion 200b of the droplet start to move at the same time, but may rarely shift. In this case, the angle when the upper end 200b starts to move is defined as the sliding angle α.

水の表面付着エネルギーEを測定する装置としては、たとえば協和界面科学社製のDropMasterを用いればよい。   As a device for measuring the surface adhesion energy E of water, for example, DropMaster manufactured by Kyowa Interface Science may be used.

また、重合体層14の一方の表面14aは、凹凸が十分に低減されていること、すなわち平滑であることが好ましい。これによって、表面14a上にセラミックグリーンシートや電極グリーンシートが形成した場合に、グリーンシートにおけるピンホールの発生を十分に抑制し、厚みのばらつきを十分に低減することができる。   Further, it is preferable that the one surface 14a of the polymer layer 14 has sufficiently reduced unevenness, that is, is smooth. Thereby, when a ceramic green sheet or an electrode green sheet is formed on the surface 14a, the occurrence of pinholes in the green sheet can be sufficiently suppressed, and the variation in thickness can be sufficiently reduced.

重合体層14の表面14aの最大突起高さ(SRp)は、好ましくは0.2μm以下であり、より好ましくは0.1μm以下であり、さらに好ましくは0.05μm以下である。該最大突起高さは、例えば、重合体層14を形成する際に、重合体層14の厚みtを変えることによって調整することができる。最大突起高さ(SRp)は、JIS B0601に準拠して、株式会社菱化システムのMicromap System(光学干渉式三次元非接触表面形状測定システム)を用いて測定することができる。   The maximum protrusion height (SRp) of the surface 14a of the polymer layer 14 is preferably 0.2 μm or less, more preferably 0.1 μm or less, and further preferably 0.05 μm or less. The maximum protrusion height can be adjusted, for example, by changing the thickness t of the polymer layer 14 when the polymer layer 14 is formed. The maximum protrusion height (SRp) can be measured using a Micromap System (optical interference type three-dimensional non-contact surface shape measurement system) of Ryoka System Co., Ltd. in accordance with JIS B0601.

重合体層14は、表面14aに、(メタ)アクリレート重合体成分の硬化物を含む層の一部を被覆するシリコーン重合体成分を含む膜を有する。該膜によって被覆された部分と被覆されていない部分との割合は、重合体層14の形成時に、(メタ)アクリレート成分に対するシリコーンオイルの添加量を調製することによって、制御することができる。なお、表面14aの一部には、(メタ)アクリレート重合体成分が露出している。重合体層14の形成時に、(メタ)アクリレート成分に対するシリコーンオイルの使用比率を少なくすると、表面14aにおける(メタ)アクリレート重合体成分の露出量が多くなる。一方、(メタ)アクリレート成分に対するシリコーンオイルの使用比率を多くすると、表面14aにおける(メタ)アクリレート重合体成分の露出量が少なくなる。これによって、剥離フィルム10は、剥離性と塗布性とを制御させることが可能となる。   The polymer layer 14 has a film containing a silicone polymer component covering a part of a layer containing a cured product of the (meth) acrylate polymer component on the surface 14a. The ratio of the portion covered with the film and the portion not covered can be controlled by adjusting the amount of silicone oil added to the (meth) acrylate component when the polymer layer 14 is formed. Note that the (meth) acrylate polymer component is exposed on a part of the surface 14a. If the ratio of the silicone oil to the (meth) acrylate component is reduced during the formation of the polymer layer 14, the amount of (meth) acrylate polymer component exposed on the surface 14a increases. On the other hand, when the usage ratio of the silicone oil to the (meth) acrylate component is increased, the exposure amount of the (meth) acrylate polymer component on the surface 14a is decreased. Thereby, the release film 10 can control the peelability and the applicability.

<基材フィルム12>
基材フィルム12としては、合成樹脂からなるものが用いられる。合成樹脂としては、ポリエステル樹脂、ポリプロピレン樹脂やポリエチレン樹脂などのポリオレフィン樹脂、ポリ乳酸樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂やポリスチレン樹脂などのアクリル系樹脂、ナイロンなどのポリアミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、フッ素系樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂などが挙げられる。これらのうち、ポリエステル樹脂が好ましく、力学的性質、透明性、コストなどを考慮すると、ポリエチレンテレフタレート(PET)がより好ましい。
<Base film 12>
As the base film 12, a film made of a synthetic resin is used. Synthetic resins include polyester resin, polyolefin resin such as polypropylene resin and polyethylene resin, polylactic acid resin, polycarbonate resin, acrylic resin such as polymethyl methacrylate resin and polystyrene resin, polyamide resin such as nylon, polyvinyl chloride resin, polyurethane Resins, fluorine resins, polyphenylene sulfide resins and the like can be mentioned. Among these, a polyester resin is preferable, and polyethylene terephthalate (PET) is more preferable in consideration of mechanical properties, transparency, cost, and the like.

基材フィルム12の厚みsは、好ましくは10〜100μm、より好ましくは20〜50μmである。厚みs(μm)が、10μm未満の場合、剥離フィルム10の寸法安定性等の物理特性が損なわれる傾向があり、100μmを超える場合、剥離フィルムの単位面積当たりの製造コストが上昇してしまう傾向がある。   The thickness s of the base film 12 is preferably 10 to 100 μm, more preferably 20 to 50 μm. When the thickness s (μm) is less than 10 μm, physical properties such as dimensional stability of the release film 10 tend to be impaired, and when it exceeds 100 μm, the manufacturing cost per unit area of the release film tends to increase. There is.

基材フィルム12は、剥離フィルム10の機械的強度を十分に高める観点から、透明性を悪化させない程度のフィラー(充填剤)を含有させることが好ましい。フィラーは、特に限定されるものではなく、たとえば炭酸カルシウム、リン酸カルシウム、シリカ、カオリン、タルク、酸化チタン、フュームドシリカ、アルミナ、有機粒子などを用いることができる。   From the viewpoint of sufficiently increasing the mechanical strength of the release film 10, the base film 12 preferably contains a filler (filler) that does not deteriorate the transparency. The filler is not particularly limited, and for example, calcium carbonate, calcium phosphate, silica, kaolin, talc, titanium oxide, fumed silica, alumina, organic particles, and the like can be used.

<剥離フィルムロール16>
本実施形態では、図4に示すように、剥離フィルムロール16は上述の剥離フィルム10であって、基材フィルムがポリエステル樹脂からなる剥離フィルムを巻回してなる。使用時には、図4に示すように、剥離フィルムロール16から巻き解かれて繰り出され、切断され、シート状の剥離フィルム10となる。ここで、剥離フィルムロール16においては、図5に示すように、重合体層14の表面14aと、基材フィルム12における重合体層側とは反対の面12aとが、接触している。
<Peeling film roll 16>
In this embodiment, as shown in FIG. 4, the release film roll 16 is the release film 10 described above, and the base film is formed by winding a release film made of a polyester resin. At the time of use, as shown in FIG. 4, the sheet is unwound from the release film roll 16, drawn out, cut, and becomes a sheet-like release film 10. Here, in the peeling film roll 16, as shown in FIG. 5, the surface 14a of the polymer layer 14 and the surface 12a opposite to the polymer layer side in the base film 12 are in contact.

本実施形態では、剥離フィルムロール16において、重合体層14の表面14aにおける水の表面付着エネルギーが10mJ/m以下、好ましくは8mJ/m以下、より好ましくは7mJ/m以下である。このようにすることで、剥離面14aにおける剥離性を良好にすることができる。 In this embodiment, the release film roll 16, the surface adhesion energy of water on the surface 14a of the polymer layer 14 is 10 mJ / m 2 or less, preferably 8 mJ / m 2 or less, and more preferably not more than 7 mJ / m 2. By doing in this way, the peelability in the peeling surface 14a can be made favorable.

また、上述の剥離フィルムにおいては、重合体層の形成時には、変性シリコーンオイルの(メタ)アクリロイル基等と、(メタ)アクリレート成分とが反応することによって、シリコーン重合体成分を含む膜を形成される。しかしながら、未反応のシリコーンオイルが、重合体層の表面に固定されていない状態で存在することがある。   Moreover, in the above-mentioned release film, when the polymer layer is formed, a film containing the silicone polymer component is formed by the reaction of the (meth) acryloyl group of the modified silicone oil and the (meth) acrylate component. The However, unreacted silicone oil may be present in an unfixed state on the surface of the polymer layer.

このような未反応のシリコーンオイルが、重合体層14の表面14aに存在することで、上記の水の表面付着エネルギーを低下させることができる。しかしながら、表面14aにおける未反応のシリコーンオイルは、下記に示す理由により、非常に少なくする必要がある。   The presence of such unreacted silicone oil on the surface 14a of the polymer layer 14 can reduce the water surface adhesion energy. However, it is necessary to reduce the amount of unreacted silicone oil on the surface 14a for the following reason.

図5に示すように、剥離フィルムがロール状に巻回された場合、重合体層の表面14aと、重合体層側とは反対側の基材フィルムの表面12aとは接触しているため、未反応のシリコーンオイルが、重合体層の表面から基材フィルムの表面に、転写あるいは移動することがある。また、重合体層の表面14aと、基材フィルムの表面12aとの間の接触度合いは一定ではないため、このようなオイルは、接触度合いが強い、すなわち表面14aと表面12aとが密着している部分に毛管力等により集まることがある。   As shown in FIG. 5, when the release film is wound in a roll shape, the surface 14a of the polymer layer and the surface 12a of the base film opposite to the polymer layer side are in contact with each other. Unreacted silicone oil may be transferred or moved from the surface of the polymer layer to the surface of the base film. In addition, since the degree of contact between the surface 14a of the polymer layer and the surface 12a of the base film is not constant, such oil has a high degree of contact, that is, the surface 14a and the surface 12a are in close contact with each other. It may gather due to capillary force etc.

その結果、重合体層14の表面14aは不均一になると考えられ、ペースト等のハジキが発生し、塗布性が悪化してしまう。   As a result, the surface 14a of the polymer layer 14 is considered to be non-uniform, and repellency such as paste is generated, resulting in poor applicability.

そこで、本実施形態では、剥離フィルムロールにおいて、基材フィルムの重合体層側とは反対側の表面12aにおいて、水の接触角を80°以下、好ましくは75°以下、より好ましくは70°以下としている。   Therefore, in the present embodiment, in the release film roll, the contact angle of water is 80 ° or less, preferably 75 ° or less, more preferably 70 ° or less, on the surface 12a opposite to the polymer layer side of the base film. It is said.

また、本実施形態では、基材フィルムはポリエステル樹脂からなっており、この基材フィルムの表面12aにおいて、他の物質が存在していない状態の(基材フィルム表面自体の)水の接触角を測定すると、60°程度である。   In this embodiment, the base film is made of a polyester resin, and the contact angle of water (on the base film surface itself) with no other substance present on the surface 12a of the base film is set. When measured, it is about 60 °.

すなわち、剥離フィルムロールにおいて、基材フィルムの表面12aにおける水の接触角が上記の範囲内であるということは、基材フィルム表面12aにおける接触角の変化が少ないことを示している。換言すれば、重合体層の表面14aに存在している未反応のシリコーンオイルの転写あるいは移動が非常に少ないということを示している。   That is, in the release film roll, that the contact angle of water on the surface 12a of the base film is within the above range indicates that the change in the contact angle on the base film surface 12a is small. In other words, it shows that the transfer or movement of the unreacted silicone oil present on the surface 14a of the polymer layer is very small.

したがって、剥離フィルムロール16において、基材フィルムの表面12aにおける水の接触角を上記の範囲内とすることで、重合体層の表面14aには、未反応のシリコーンオイルの存在を非常に少なくできるため、重合体層の表面14aにおける塗布性を良好にすることができる。   Therefore, in the release film roll 16, by making the contact angle of water on the surface 12a of the base film within the above range, the presence of unreacted silicone oil can be extremely reduced on the surface 14a of the polymer layer. Therefore, the coating property on the surface 14a of the polymer layer can be improved.

このようにすることで、優れた剥離性と塗布性とを兼ね備えた剥離面を有する剥離フィルムが得られる。   By doing in this way, the peeling film which has the peeling surface which has the outstanding peelability and applicability | paintability is obtained.

次に、本実施形態の剥離フィルム10の製造方法を以下に説明する。   Next, the manufacturing method of the peeling film 10 of this embodiment is demonstrated below.

本実施形態の剥離フィルム10の製造方法は、光重合開始剤と有機溶剤と互いに相溶しない(メタ)アクリレート成分並びに(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基で変性された変性シリコーンオイルとを含有する塗布液を調製する塗布液調製工程と、調製した塗布液を基材フィルム12上に塗布して乾燥させて前駆体層を形成する前駆体層形成工程と、前駆体層に光を照射して前駆体層に含まれる(メタ)アクリレート成分及び変性シリコーンオイルを重合(硬化)させて、基材フィルム12上に重合体層14を形成する重合体層形成工程と、を有する。以下、各工程の詳細について説明する。   The method for producing the release film 10 of the present embodiment contains a (meth) acrylate component that is incompatible with the photopolymerization initiator and the organic solvent, and a modified silicone oil modified with a (meth) acryloyl group and / or a vinyl group. A coating solution preparing step for preparing a coating solution to be performed, a precursor layer forming step for forming the precursor layer by applying the prepared coating solution on the base film 12 and drying, and irradiating the precursor layer with light. A polymer layer forming step of polymerizing (curing) the (meth) acrylate component and the modified silicone oil contained in the precursor layer to form the polymer layer 14 on the base film 12. Details of each step will be described below.

塗布液調製工程では、まず、互いに相溶しない(メタ)アクリレート成分と変性シリコーンオイルとを準備する。「互いに相溶しない」とは、それぞれの成分を混合した時に相分離が生じたり白濁したりして、均一な溶液とならないことを意味する。   In the coating solution preparation step, first, a (meth) acrylate component and a modified silicone oil that are incompatible with each other are prepared. “Incompatible with each other” means that when each component is mixed, phase separation occurs or white turbidity occurs, resulting in a non-uniform solution.

(メタ)アクリレート成分とは、(メタ)アクリレートモノマー及び/又は(メタ)アクリレートオリゴマーを意味し、その好ましい例としては、A−NOD−N、A−DOD(以上、新中村化学工業社製、商品名)が挙げられる。変性シリコーンオイルの好ましい例としては、X−22−164A、X−22−164B、X−22−164C、X−22−164E、X−22−174DX、X−22−2426(以上、信越化学工業株式会社製、商品名)が挙げられる。これらを用いることによって、剥離面14aの凹凸を一層低減し平滑性に一層優れる剥離フィルム10を得ることができる。   The (meth) acrylate component means a (meth) acrylate monomer and / or a (meth) acrylate oligomer, and preferred examples thereof include A-NOD-N and A-DOD (above, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., Product name). Preferred examples of the modified silicone oil include X-22-164A, X-22-164B, X-22-164C, X-22-164E, X-22-174DX, X-22-2426 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Product name). By using these, it is possible to obtain the release film 10 that further reduces the unevenness of the release surface 14a and is further excellent in smoothness.

(メタ)アクリレートモノマーとしては、下記一般式(1)で表わされるものを用いることが好ましい。変性シリコーンオイルは、(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基で変性されたシリコーンオイルであり、下記一般式(2)または(3)で表わされるものを用いることが好ましい。   As the (meth) acrylate monomer, one represented by the following general formula (1) is preferably used. The modified silicone oil is a silicone oil modified with a (meth) acryloyl group and / or a vinyl group, and the one represented by the following general formula (2) or (3) is preferably used.

Figure 2011206995
Figure 2011206995

上記一般式(1)中、nは5〜20の整数を示す。   In said general formula (1), n shows the integer of 5-20.

Figure 2011206995
Figure 2011206995

上記一般式(2)中、R及びRは、単結合または2価の炭化水素基を示し、mは1以上の整数を示す。R及びRは、炭素数1〜10程度のポリメチレン基、または炭素数1〜10のアルキレン基であることが好ましい。また、mは10〜1000程度であることが好ましい。 In the general formula (2), R 3 and R 4 represent a single bond or a divalent hydrocarbon group, and m represents an integer of 1 or more. R 3 and R 4 are preferably a polymethylene group having about 1 to 10 carbon atoms or an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms. Moreover, it is preferable that m is about 10-1000.

Figure 2011206995
Figure 2011206995

上記一般式(3)中、R及びRは、単結合または2価の炭化水素基を示し、kは1以上の整数を示す。R及びRは、炭素数1〜10程度のポリメチレン基、または炭素数1〜10のアルキレン基であることが好ましい。また、kは10〜1000程度であることが好ましい。 In the general formula (3), R 5 and R 6 represent a single bond or a divalent hydrocarbon group, and k represents an integer of 1 or more. R 5 and R 6 are preferably a polymethylene group having about 1 to 10 carbon atoms or an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms. Further, k is preferably about 10 to 1000.

光重合開始剤としては、ラジカル系光開始重合剤を用いることができる。紫外線を使用する場合、例えば、α−ヒドロキシアルキルフェノン、α−アミノアルキルフェノン等を用いればよい。市販品としては、IRGACURE184、IRGACURE127、IRGACURE907、IRGACURE379、DAROCURE1173(以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名)を用いることができる。   A radical photoinitiator can be used as the photoinitiator. When ultraviolet rays are used, for example, α-hydroxyalkylphenone, α-aminoalkylphenone, etc. may be used. As a commercial item, IRGACURE184, IRGACURE127, IRGACURE907, IRGACURE379, DAROCURE1173 (above, trade name, manufactured by Ciba Specialty Chemicals) can be used.

なお、IRGACURE907はアミンを含む構造を有しているが、剥離面における水の表面付着エネルギーが本発明の範囲内となるように、その使用量を調整して用いることができる。   Note that IRGACURE 907 has an amine-containing structure, but can be used by adjusting the amount used so that the surface adhesion energy of water on the release surface is within the range of the present invention.

有機溶剤としては、(メタ)アクリレート成分及び変性シリコーンオイルの双方を溶解させることができる溶剤を用いる。これによって、(メタ)アクリレート重合体成分とシリコーン重合体成分とが均一に溶解した、重合体層14を形成するための塗布液を得ることができる。均一でない塗布液では表面の特性が場所によって不均一となる傾向がある。有機溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン及びメチルエチルケトン等が挙げられる。   As the organic solvent, a solvent capable of dissolving both the (meth) acrylate component and the modified silicone oil is used. Thereby, a coating solution for forming the polymer layer 14 in which the (meth) acrylate polymer component and the silicone polymer component are uniformly dissolved can be obtained. If the coating solution is not uniform, the surface characteristics tend to be non-uniform depending on the location. Examples of the organic solvent include toluene, xylene, methyl ethyl ketone, and the like.

上述の有機溶剤150質量部に対し、例えば、(メタ)アクリレート成分を50〜150質量部、変性シリコーンオイルを0.005〜10質量部、光重合開始剤を1〜10質量部配合し、攪拌混合することによって、塗布液を調製することができる。   For example, 50 to 150 parts by mass of the (meth) acrylate component, 0.005 to 10 parts by mass of the modified silicone oil, and 1 to 10 parts by mass of the photopolymerization initiator are mixed and stirred with respect to 150 parts by mass of the organic solvent described above. By mixing, a coating solution can be prepared.

(メタ)アクリレート成分に対する変性シリコーンオイルの量が過剰であると、重合体層14中に未反応成分が残存して、誘電体ペーストに対する十分優れた塗布性が損なわれる傾向がある。一方、(メタ)アクリレート成分に対する変性シリコーンオイルの量が少なすぎると、十分優れた剥離性が損なわれる傾向がある。   If the amount of the modified silicone oil with respect to the (meth) acrylate component is excessive, unreacted components remain in the polymer layer 14, and there is a tendency that sufficiently excellent coating properties for the dielectric paste are impaired. On the other hand, if the amount of the modified silicone oil relative to the (meth) acrylate component is too small, sufficiently excellent peelability tends to be impaired.

前駆体形成工程では、上記の通り調製した塗布液を基材フィルム12の一表面上に、例えばバーコーターを用いて塗布する。その後、乾燥機中、例えば50〜150℃の温度で10秒間〜10分間乾燥して、有機溶剤を蒸発除去し、基材フィルム12の一表面上に前駆体層を形成する。   In the precursor forming step, the coating liquid prepared as described above is applied onto one surface of the base film 12 using, for example, a bar coater. Thereafter, in a dryer, for example, drying is performed at a temperature of 50 to 150 ° C. for 10 seconds to 10 minutes to evaporate and remove the organic solvent, thereby forming a precursor layer on one surface of the base film 12.

塗布液の塗布方法は、特に限定されるものではなく、リバースコート法、グラビアコート法、ロッドコート法、バーコート法、マイヤーバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法等を用いて塗布してもよい。   The coating method of the coating solution is not particularly limited, and it may be applied using a reverse coating method, a gravure coating method, a rod coating method, a bar coating method, a Mayer bar coating method, a die coating method, a spray coating method, or the like. Good.

塗布液に含まれる(メタ)アクリレート成分の比重は通常0.95〜1.5程度であり、シリコーンオイルの比重は通常0.95〜1.5程度である。すなわち、(メタ)アクリレート成分と変性シリコーンオイルの比重はほぼ同等か、変性シリコーンオイルの方が、若干軽い傾向がある。また、(メタ)アクリレート成分よりも変性シリコーンオイルの方が、低い表面エネルギーを有する。ここで、複数種類の相溶しない成分を含有する塗布液の場合、エネルギー状態が低くなるように、各成分が移動する。本実施形態の剥離液では、上述の通り、変性シリコーンオイルの方が比重が軽く且つ表面エネルギーが低い。したがって、前駆体形成工程で剥離液を基材フィルム12の一表面上に塗布した後、溶剤を乾燥除去すると、(メタ)アクリレート成分と変性シリコーン成分とが相溶しないので、シリコーンオイルの方が基材フィルム12側とは反対側の表面(剥離面14aとなる面)に移動しやすい。   The specific gravity of the (meth) acrylate component contained in the coating solution is usually about 0.95 to 1.5, and the specific gravity of the silicone oil is usually about 0.95 to 1.5. That is, the specific gravity of the (meth) acrylate component and the modified silicone oil is almost the same, or the modified silicone oil tends to be slightly lighter. Moreover, the modified silicone oil has a lower surface energy than the (meth) acrylate component. Here, in the case of a coating liquid containing a plurality of types of incompatible components, each component moves so that the energy state is lowered. In the stripping solution of this embodiment, as described above, the modified silicone oil has a lower specific gravity and a lower surface energy. Therefore, after applying the stripping solution on one surface of the base film 12 in the precursor forming step, if the solvent is removed by drying, the (meth) acrylate component and the modified silicone component are not compatible with each other. It is easy to move to the surface opposite to the base film 12 side (the surface to be the peeling surface 14a).

通常、変性シリコーンオイルの方が、(メタ)アクリレート成分よりも光重合開始剤を溶解し難い傾向がある。溶剤を除去した剥離液に紫外線照射すると反応開始剤によりラジカルが発生して、(メタ)アクリレート成分はラジカル化され、(メタ)アクリレート成分はラジカル重合する。また、シリコーンオイルの(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基もラジカル重合する。   Usually, the modified silicone oil tends to dissolve the photopolymerization initiator less easily than the (meth) acrylate component. When the stripping solution from which the solvent is removed is irradiated with ultraviolet rays, radicals are generated by the reaction initiator, the (meth) acrylate component is radicalized, and the (meth) acrylate component is radically polymerized. Moreover, the (meth) acryloyl group and / or vinyl group of silicone oil also undergo radical polymerization.

重合体形成工程では、基材フィルム12の一表面上に形成された前駆体層に光や電子線を照射して、重合体層を形成する。光としては、紫外線を用いることが好ましい。紫外線の光源としては水銀ランプ、メタルハライドランプ等の市販のものを用いることができ、前駆体層の厚みに応じて紫外線の照射量を調製する。これによって、前駆体層を十分に硬化させることができる。また、ラジカル重合時の酸素阻害を防止するために窒素雰囲気下で紫外線照射することも好ましい。   In the polymer forming step, the precursor layer formed on one surface of the base film 12 is irradiated with light or an electron beam to form a polymer layer. As light, it is preferable to use ultraviolet rays. As a UV light source, a commercially available product such as a mercury lamp or a metal halide lamp can be used, and the UV irradiation amount is adjusted according to the thickness of the precursor layer. Thereby, the precursor layer can be sufficiently cured. It is also preferable to irradiate with ultraviolet rays in a nitrogen atmosphere in order to prevent oxygen inhibition during radical polymerization.

紫外線の照射によって、前駆体層に含まれる(メタ)アクリレート成分及び変性シリコーンオイルがラジカル重合する。(メタ)アクリレート成分は重合することによって、(メタ)アクリレート重合体成分となり、変性シリコーンオイルは、シリコーン重合体成分となる。また、場合によって、変性シリコーンオイルの反応基((メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基)と(メタ)アクリレートモノマーの反応基((メタ)アクリロイル基)とが反応する。このように重合反応が進行することによって、前駆体層から重合体層14を得ることができる。   By irradiation with ultraviolet rays, the (meth) acrylate component and the modified silicone oil contained in the precursor layer undergo radical polymerization. The (meth) acrylate component is polymerized to become a (meth) acrylate polymer component, and the modified silicone oil becomes a silicone polymer component. In some cases, the reactive group ((meth) acryloyl group and / or vinyl group) of the modified silicone oil reacts with the reactive group ((meth) acryloyl group) of the (meth) acrylate monomer. As the polymerization reaction proceeds in this way, the polymer layer 14 can be obtained from the precursor layer.

(メタ)アクリレート成分の種類、変性シリコーンオイルの分子量、反応基の種類、変性の方法(両末端、方末端、側鎖の組み合わせ)等を調整することで、重合体層14の表面14aにおける水の表面付着エネルギーを調整することができる。その結果、剥離フィルムの剥離性を調整することができる。また、(メタ)アクリレート重合体成分を含む層の表面において、シリコーン重合体成分を含む膜が、該層の表面を被覆する割合(被覆率)によっても、表面付着エネルギーが変化し、剥離性を調整することができる。一般的にはシリコーン重合体成分による被覆率が高い方が剥離は軽くなり、被覆率が低い方が剥離は重くなる。   Water on the surface 14a of the polymer layer 14 is adjusted by adjusting the type of (meth) acrylate component, the molecular weight of the modified silicone oil, the type of reactive group, the modification method (both ends, side ends, side chain combination), and the like. The surface adhesion energy can be adjusted. As a result, the peelability of the release film can be adjusted. In addition, the surface adhesion energy changes on the surface of the layer containing the (meth) acrylate polymer component, depending on the ratio (coverage) that the film containing the silicone polymer component covers the surface of the layer, and the peelability is improved. Can be adjusted. In general, the higher the coverage by the silicone polymer component, the lighter the peeling, and the lower the coverage, the heavier the peeling.

本発明の被覆率は、重合体層14の表面14aにおいて、純水の接触角を測定することによって求めることができる。以下にその理由を説明する。本発明では相溶しない(メタ)アクリレート成分と変性シリコーンオイルとを用いているために、有機溶剤を乾燥除去すると、(メタ)アクリレート成分と変性シリコーンオイルとが分離し、変性シリコーンオイルが(メタ)アクリレート成分の層を被覆することとなる。ここで、単位面積におけるシリコーンオイル量が多ければ多いほど、重合体層14におけるシリコーン重合体成分による被覆率が1(百分率で表すと100%)に近くなる。   The coverage of the present invention can be determined by measuring the contact angle of pure water on the surface 14 a of the polymer layer 14. The reason will be described below. In the present invention, since the (meth) acrylate component and the modified silicone oil which are incompatible with each other are used, when the organic solvent is removed by drying, the (meth) acrylate component and the modified silicone oil are separated, and the modified silicone oil becomes (meta ) The acrylate component layer will be coated. Here, the greater the amount of silicone oil in the unit area, the closer the coverage of the polymer layer 14 with the silicone polymer component is to 1 (100% in percentage).

表面に液体を存在させたときの関係としてはヤングの式がある。θを接触角、γを固体の表面張力、γを液体個体間の界面張力、γLを液体の表面張力をしたときに以下の
関係式が示される。
γ=γ×cosθ+γ
The relationship when a liquid is present on the surface is Young's formula. When θ is the contact angle, γ 1 is the surface tension of the solid, γ 2 is the interfacial tension between the individual liquids, and γ L is the surface tension of the liquid, the following relational expression is shown.
γ 1 = γ L × cos θ + γ 2

ここで、(メタ)アクリレート重合体成分のみの表面に液体を存在させたとき、接触角をθ、(メタ)アクリレート重合体成分の表面張力をγ、液体−(メタ)アクリレート重合体間の界面張力をγALとすると以下の関係式が示される。
γ=γ×cosθ+γAL・・・(i)
Here, when a liquid is present only on the surface of the (meth) acrylate polymer component, the contact angle is θ A , the surface tension of the (meth) acrylate polymer component is γ A , and between the liquid and the (meth) acrylate polymer If the interfacial tension of γ is AL , the following relational expression is shown.
γ A = γ L × cos θ A + γ AL (i)

次に、シリコーン重合体成分で表面が覆い尽くされた面に液体を存在させた場合の接触角をθ、シリコーン重合体成分の表面張力をγ、液体−シリコーン重合体成分間の界面張力をγSLとすると以下の関係式(ii)が示される。
γ=γ×cosθ+γSL・・・(ii)
Next, when the liquid is present on the surface covered with the silicone polymer component, the contact angle is θ S , the surface tension of the silicone polymer component is γ S , and the interfacial tension between the liquid and the silicone polymer component Where γ SL is the following relational expression (ii).
γ S = γ L × cos θ S + γ SL (ii)

(メタ)アクリレート重合体成分の層の一部がシリコーン重合体成分で被覆された面(シリコーン重合体成分で被覆されていないところは(メタ)アクリレート重合体成分が露出している)に液体を存在させたとき、接触角をθ、重合体成分の表面張力をγ、液体―重合体成分間の表面張力をγXLとすると以下の関係式(iii)が示される。
γ=γ×cosθ+γXL・・・(iii)
Apply a liquid to the side of the (meth) acrylate polymer component layer that is partly coated with the silicone polymer component (where the (meth) acrylate polymer component is exposed where it is not coated with the silicone polymer component). When present, when the contact angle is θ X , the surface tension of the polymer component is γ X , and the surface tension between the liquid and the polymer component is γ XL , the following relational expression (iii) is shown.
γ X = γ L × cos θ X + γ XL (iii)

重合体層14の表面14a全体における(メタ)アクリレート重合体成分が露出している面積の割合(露出率)をa、変性シリコーンオイルで被覆された面積の割合(被覆率)をs(単位面積における変性シリコーンオイルで被覆された面積÷単位面積)とし、a+s=1とする。γにおけるγとγの寄与はその面積割合に比例する。つまり、下記式(iv)の関係が成立する。
γ=a×γ+s×γ・・・(iv)
The ratio (exposure ratio) of the area where the (meth) acrylate polymer component is exposed on the entire surface 14a of the polymer layer 14 is a, and the ratio (coverage ratio) of the area covered with the modified silicone oil is s (unit area). (Area covered with modified silicone oil in ÷ unit area), and a + s = 1. The contribution of γ A and γ S in γ X is proportional to the area ratio. That is, the relationship of the following formula (iv) is established.
γ X = a × γ A + s × γ S (iv)

γXLも同様に考えると、下記式(v)の関係が成立する。
γXL=a×γAL+s×γSL・・・(v)
Considering γ XL in the same way, the relationship of the following formula (v) is established.
γ XL = a × γ AL + s × γ SL (v)

上記式(i)、(ii)、(iii)、(iv)及び(v)より下記式(vi)が導き出せる。
cosθ=a×cosθ+s×cosθ=(1−s)×cosθ+s×cosθ・・・(vi)
From the above formulas (i), (ii), (iii), (iv) and (v), the following formula (vi) can be derived.
cos θ X = a × cos θ A + s × cos θ S = (1−s) × cos θ A + s × cos θ S (vi)

上記式(vi)によって、θ、θ、θからシリコーン重合体成分による被覆率sを特定できる。また、基準量における被覆率がわかっていれば、任意のシリコーン重合体成分による被覆率は計算からもとめることが可能である。特にシリコーン重合体成分の量が多い場合、接触角測定値の誤差に隠れて被覆率が1(百分率で表すと100%)になってしまうことがある。このような場合は次のようにして被覆率を特定できる。例えば、1m当たり1mgのシリコーン重合体成分が存在するものと考え、シリコーン重合体成分による被覆率をsとし、(メタ)アクリレート重合体の露出率をaとする(a+s=1)。 From the above formula (vi), the coverage s by the silicone polymer component can be specified from θ A , θ S , and θ X. If the coverage at the reference amount is known, the coverage by any silicone polymer component can be obtained from the calculation. In particular, when the amount of the silicone polymer component is large, the coverage may be 1 (100% in terms of percentage) hidden behind the error of the contact angle measurement value. In such a case, the coverage can be specified as follows. For example, assuming that 1 mg of the silicone polymer component is present per 1 m 2 , the coverage by the silicone polymer component is s 0, and the exposure rate of the (meth) acrylate polymer is a 0 (a 0 + s 0 = 1).

1m当たり任意量n(mg)のシリコーン重合体成分で被覆されたときの被覆率をs、(メタ)アクリレート重合体成分の露出率をaとする(a+s=1)。
ここで、a=a =(1−s
であり、s=1−a=1−(1−sとなる。
1m coverage s n when it is coated with a silicone polymer component of 2 per any amount n (mg), the exposure rate of (meth) acrylate polymer component and a n (a n + s n = 1).
Where a n = a 0 n = (1−s 0 ) n
S n = 1−a n = 1− (1−s 0 ) n .

また、n(mg)のときの接触角をθとすると、
cosθ=(1−s×cosθ+{1−(1−s}×cosθ
となり、sを求めることもできる。なお、nは(メタ)アクリレート重合体成分の密度をd(g/cm)、厚みをt(μm)、重合体層における変性シリコーンオイルの割合をb(質量%)としたとき、n=10×b×t×dとなる。
If the contact angle at n (mg) is θ N ,
cos θ N = (1−s 0 ) n × cos θ A + {1− (1−s 0 ) n } × cos θ S
And s 0 can also be obtained. In addition, when n is the density of the (meth) acrylate polymer component d (g / cm 3 ), the thickness is t (μm), and the ratio of the modified silicone oil in the polymer layer is b (mass%), n = 10 × b × t × d.

シリコーン重合体成分による被覆率としては、0.33〜0.99999(百分率で表すと33%〜99.999%)が好ましく、0.55〜0.98(百分率で表すと55〜98%)がより好ましい。   The coverage by the silicone polymer component is preferably 0.33 to 0.99999 (33% to 99.999% in terms of percentage), and 0.55 to 0.98 (55 to 98% in terms of percentage). Is more preferable.

本実施形態による剥離フィルム10の製造方法によれば、剥離層と平滑化層を個別に形成する必要がなく、一種類の剥離液を用いて、基材フィルムに重合体層一層のみを形成することによって、剥離フィルム10を得ることができる。この製造方法によれば、剥離面14aの凹凸が十分に低減されるとともに、剥離性及び塗布性に十分優れる剥離フィルム10を容易に製造することができる。   According to the method for producing the release film 10 according to the present embodiment, it is not necessary to separately form the release layer and the smoothing layer, and only one polymer layer is formed on the base film using one type of release liquid. Thus, the release film 10 can be obtained. According to this manufacturing method, the unevenness of the release surface 14a can be sufficiently reduced, and the release film 10 that is sufficiently excellent in peelability and applicability can be easily manufactured.

また、上述のようにして製造された剥離フィルムを、さらにロール状に巻回することで、本実施形態に係る剥離フィルムロールを製造することができる。この剥離フィルムロールは、誘電体シート等を形成するために使用されるまで保管あるいは搬送される。   Moreover, the peeling film roll which concerns on this embodiment can be manufactured by winding the peeling film manufactured as mentioned above further in roll shape. This release film roll is stored or transported until it is used to form a dielectric sheet or the like.

図6は、本発明のセラミック部品シートの好適な一実施形態を模式的に示す断面図である。セラミック部品シート20は、剥離フィルム10と、重合体層14の剥離面14a上にセラミックグリーンシート22と、セラミックグリーンシート22上に形成された電極グリーンシート24とを備える。   FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a preferred embodiment of the ceramic component sheet of the present invention. The ceramic component sheet 20 includes a release film 10, a ceramic green sheet 22 on the release surface 14 a of the polymer layer 14, and an electrode green sheet 24 formed on the ceramic green sheet 22.

セラミックグリーンシート22としては、例えば、積層セラミックコンデンサを形成するための誘電体グリーンシートが挙げられる。セラミックグリーンシート22の厚みは、例えば、数μm〜数百μmとすることができる。セラミックグリーンシート22は、剥離フィルム10から剥離された後、焼成されて、例えばチタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウム及び/又はチタン酸バリウムなどを含む誘電体となる。   Examples of the ceramic green sheet 22 include a dielectric green sheet for forming a multilayer ceramic capacitor. The thickness of the ceramic green sheet 22 can be set to several μm to several hundred μm, for example. The ceramic green sheet 22 is peeled off from the release film 10 and then fired to become a dielectric containing, for example, calcium titanate, strontium titanate and / or barium titanate.

電極グリーンシート24の厚みは、例えば、数μm〜数百μmとすることができる。電極グリーンシート24は、剥離フィルム10から剥離された後、焼成されて、例えば、銅や銅合金、ニッケルやニッケル合金などを含む電極となる。   The thickness of the electrode green sheet 24 can be set to several μm to several hundred μm, for example. The electrode green sheet 24 is peeled from the release film 10 and then baked to become an electrode containing, for example, copper, copper alloy, nickel, nickel alloy, or the like.

セラミック部品シートの製造方法について、以下に詳細に説明する。本実施形態のセラミック部品シート20の製造方法は、光重合開始剤と有機溶剤と互いに相溶しない(メタ)アクリレートモノマー並びに(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基で変性された変性シリコーンオイルとを含有する塗布液を調製する塗布液調製工程と、調製した塗布液を基材フィルム12上に塗布して乾燥させて前駆体層を形成する前駆体層形成工程と、前駆体層に光を照射して前駆体層に含まれる(メタ)アクリレートモノマー及び変性シリコーンオイルを重合させて、基材フィルム上に重合体層14を形成して剥離フィルム10を得る重合体層形成工程と、得られた剥離フィルム10の重合体層14の剥離面14a上に、セラミック粉末を含有するセラミックペーストを塗布して乾燥させてセラミックグリーンシート22を形成し、電極材料を含有する電極ペーストを塗布して乾燥させてセラミックグリーンシート22上に電極グリーンシート24を形成し、剥離フィルム10上にセラミックグリーンシート22と電極グリーンシート24とが順次積層されたセラミック部品シートを得るシート形成工程とを有する。塗布液調製工程〜重合体層形成工程によって剥離フィルム10を製造する方法は、既に説明したので、シート形成工程について以下に詳細に説明する。   The method for producing the ceramic component sheet will be described in detail below. The manufacturing method of the ceramic component sheet 20 of the present embodiment includes a (meth) acrylate monomer that is incompatible with a photopolymerization initiator and an organic solvent, and a modified silicone oil modified with a (meth) acryloyl group and / or a vinyl group. A coating solution preparation step for preparing a coating solution to be contained, a precursor layer forming step for forming the precursor layer by applying the prepared coating solution on the base film 12 and drying, and irradiating the precursor layer with light The polymer layer forming step of polymerizing the (meth) acrylate monomer and the modified silicone oil contained in the precursor layer to form the polymer layer 14 on the base film to obtain the release film 10 was obtained. A ceramic paste containing ceramic powder is applied onto the release surface 14a of the polymer layer 14 of the release film 10 and dried to make a ceramic green sheet 2 The electrode green sheet 24 is formed on the ceramic green sheet 22 by applying an electrode paste containing an electrode material and drying, and the ceramic green sheet 22 and the electrode green sheet 24 are sequentially laminated on the release film 10. And a sheet forming step for obtaining a ceramic part sheet. Since the method for producing the release film 10 through the coating liquid preparation step to the polymer layer formation step has already been described, the sheet formation step will be described in detail below.

シート形成工程では、重合体層形成工程で得られた剥離フィルム10の基材フィルム12側とは反対側の表面14a上に、セラミック粉末を含有するペースト(セラミックペースト)及び電極材料を含有するペースト(電極ペースト)をそれぞれ塗布する。   In the sheet forming step, a paste containing a ceramic powder (ceramic paste) and a paste containing an electrode material are provided on the surface 14a opposite to the base film 12 side of the release film 10 obtained in the polymer layer forming step. (Electrode paste) is applied respectively.

セラミックペーストは、例えば、誘電体原料(セラミック粉体)と有機ビヒクルとを混練して調製できる。誘電体原料としては、焼成によって複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択して用いることができる。誘電体原料は、平均粒子径が0.4μm以下、好ましくは0.1〜3.0μm程度の粉体を用いることができる。   The ceramic paste can be prepared, for example, by kneading a dielectric material (ceramic powder) and an organic vehicle. As the dielectric material, various compounds that become composite oxides or oxides upon firing, for example, carbonates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds, and the like can be appropriately selected and used. As the dielectric material, a powder having an average particle size of 0.4 μm or less, preferably about 0.1 to 3.0 μm can be used.

電極ペーストは、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、焼成後に導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、またはレジネート等と、有機ビヒクルとを混練して調製することができる。   The electrode paste can be prepared by kneading a conductive material made of various conductive metals or alloys, various oxides, organometallic compounds, or resinates that become conductive materials after firing, and an organic vehicle.

電極ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、Ni金属、Ni合金、またはこれらの混合物を用いることが好ましい。接着性向上のために、電極ペーストは、可塑剤を含んでいてもよい。可塑剤としては、フタル酸ベンジルブチル(BBP)などのフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などが挙げられる。   As the conductor material used when manufacturing the electrode paste, it is preferable to use Ni metal, Ni alloy, or a mixture thereof. In order to improve adhesion, the electrode paste may contain a plasticizer. Examples of the plasticizer include phthalic acid esters such as benzylbutyl phthalate (BBP), adipic acid, phosphoric acid esters, glycols, and the like.

セラミックペースト及び電極ペーストに含まれる有機ビヒクルは、バインダ樹脂を有機溶剤中に溶解して調製される。有機ビヒクルに用いられるバインダ樹脂としては、例えばエチルセルロース、アクリル樹脂、ブチラール系樹脂、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、またはこれらの共重合体などが用いられる。これらのうち、ブチラール系樹脂、具体的にはポリビニルブチラール系樹脂を用いることが好ましい。ブチラール系樹脂を用いることによって、セラミックグリーンシート22及び電極グリーンシート24の機械的強度を高くすることができる。また、この場合、重合体層14の原料としてアルカン(ジオール)ジ(メタ)アクリレートモノマーを用いることによって、セラミックグリーンシート22及び電極グリーンシート24の剥離性を一層優れたものとすることができる。   The organic vehicle contained in the ceramic paste and the electrode paste is prepared by dissolving a binder resin in an organic solvent. Examples of the binder resin used in the organic vehicle include ethyl cellulose, acrylic resin, butyral resin, polyvinyl acetal, polyvinyl alcohol, polyolefin, polyurethane, polystyrene, or a copolymer thereof. Among these, it is preferable to use a butyral resin, specifically, a polyvinyl butyral resin. By using a butyral resin, the mechanical strength of the ceramic green sheet 22 and the electrode green sheet 24 can be increased. Further, in this case, by using an alkane (diol) di (meth) acrylate monomer as a raw material for the polymer layer 14, the peelability of the ceramic green sheet 22 and the electrode green sheet 24 can be further improved.

ポリビニルブチラール系樹脂の重合度は、好ましくは1000〜1700であり、より好ましくは1400〜1700である。   The polymerization degree of the polyvinyl butyral resin is preferably 1000 to 1700, and more preferably 1400 to 1700.

有機ビヒクルに用いられる有機溶剤としては、例えばテルピネオール、アルコール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン、キシレン、酢酸ベンジルなどの有機溶剤を単独で、または2種以上を混合して用いることができる。アルコールとしては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどが挙げられる。   As the organic solvent used in the organic vehicle, for example, organic solvents such as terpineol, alcohol, butyl carbitol, acetone, toluene, xylene, and benzyl acetate can be used alone or in admixture of two or more. Examples of the alcohol include methanol, ethanol, propanol and butanol.

セラミックペーストは、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、帯電除剤、誘電体、ガラスフリット、絶縁体などから選択される添加物を含有してもよい。   The ceramic paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, antistatic agents, dielectrics, glass frit, insulators, and the like as necessary.

上述のセラミックペーストを、例えばドクターブレード装置などにより、剥離フィルム10の表面14a上に塗布する。そして、塗布したセラミックペーストを、市販の乾燥装置内で、例えば50〜100℃の温度で1〜20分間乾燥させて、セラミックグリーンシート22を形成する。セラミックグリーンシート22は、乾燥前に比較して5〜25%収縮する。   The above ceramic paste is applied onto the surface 14a of the release film 10 by, for example, a doctor blade device. Then, the applied ceramic paste is dried in a commercially available drying apparatus at a temperature of, for example, 50 to 100 ° C. for 1 to 20 minutes to form a ceramic green sheet 22. The ceramic green sheet 22 shrinks by 5 to 25% compared to before drying.

次に、形成したセラミックグリーンシート22の表面22a上に、例えばスクリーン印刷装置を用いて、所定のパターンとなるように、電極ペーストを印刷する。そして、塗布した電極ペーストを、市販の乾燥装置内で、例えば50〜100℃の温度で1〜20分間乾燥させて、電極グリーンシート24を形成する。これによって、剥離フィルム10、セラミックグリーンシート22及び電極グリーンシート24が順次積層されたセラミック部品シート20を得ることができる。   Next, an electrode paste is printed on the surface 22a of the formed ceramic green sheet 22 so as to form a predetermined pattern using, for example, a screen printing apparatus. And the apply | coated electrode paste is dried for 1 to 20 minutes at the temperature of 50-100 degreeC in a commercially available drying apparatus, and the electrode green sheet 24 is formed. Thereby, the ceramic component sheet 20 in which the release film 10, the ceramic green sheet 22, and the electrode green sheet 24 are sequentially laminated can be obtained.

このセラミック部品シート20は、重合体層14を有する剥離フィルム10を用いて製造されるため、セラミックグリーンシート22及び電極グリーンシート24からなるグリーンシート26の剥離性に十分に優れており、グリーンシート26の剥離残りを十分に低減することができる。このため、グリーンシート26の厚みのばらつきが十分に低減され、ピンホールの発生を十分に抑制することができる。   Since the ceramic component sheet 20 is manufactured using the release film 10 having the polymer layer 14, the ceramic part sheet 20 is sufficiently excellent in the peelability of the green sheet 26 composed of the ceramic green sheet 22 and the electrode green sheet 24. The remaining peeling of 26 can be sufficiently reduced. For this reason, the dispersion | variation in the thickness of the green sheet 26 is fully reduced, and generation | occurrence | production of a pinhole can fully be suppressed.

さらに、重合体層14の表面14aに、電極ペーストやセラミックペーストを塗布する際に、はじきの発生が十分に抑制されているため、ピンホールや厚みのばらつきの少ないグリーンシート26を容易に形成することができる。これによって、積層セラミックコンデンサの製造を一層容易に行うことができる。   Further, when the electrode paste or the ceramic paste is applied to the surface 14a of the polymer layer 14, the occurrence of repellency is sufficiently suppressed, so that the green sheet 26 with little pinhole and thickness variation can be easily formed. be able to. This makes it easier to manufacture the multilayer ceramic capacitor.

次に、本発明のセラミック部品の製造方法の好適な一実施形態である積層セラミックコンデンサの製造方法を以下に説明する。   Next, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, which is a preferred embodiment of the method for manufacturing a ceramic component of the present invention, will be described below.

本実施形態の積層セラミックコンデンサの製造方法は、複数のセラミック部品シートを準備する工程と、セラミック部品シートのグリーンシートを複数積層して積層体を得る積層工程と、積層体を焼成して焼結体を得る焼成工程と、該焼結体に端子電極を形成して積層セラミックコンデンサを得る電極形成工程とを有する。   The manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor of the present embodiment includes a step of preparing a plurality of ceramic component sheets, a stacking step of stacking a plurality of ceramic component sheet green sheets to obtain a stack, and firing and sintering the stack A firing step for obtaining a body, and an electrode formation step for obtaining a multilayer ceramic capacitor by forming a terminal electrode on the sintered body.

準備工程では、上記実施形態のセラミック部品シートの製造方法によって製造されたセラミック部品シート20を複数準備する。次に、積層工程では、複数のセラミック部品シート20のグリーンシート26を積層して、複数のグリーンシート26が積層された積層体を得る。   In the preparation step, a plurality of ceramic component sheets 20 manufactured by the method for manufacturing a ceramic component sheet of the above embodiment are prepared. Next, in the stacking step, the green sheets 26 of the plurality of ceramic component sheets 20 are stacked to obtain a stacked body in which the plurality of green sheets 26 are stacked.

積層工程の一例を詳細に説明する。まず、セラミック部品シート20の剥離フィルム10を剥離してグリーンシート26を得る。このグリーンシート26の面22bと別のセラミック部品シート20の電極グリーンシート24とが向き合うようにして、グリーンシート26とセラミック部品シート20とを積層する。その後、積層したセラミック部品シート20から剥離フィルム10を剥離する。このような手順を繰り返し行って、グリーンシート26を積層することによって、積層体を得ることができる。すなわち、この積層工程では、グリーンシート26上にセラミック部品シート20を積層した後に、剥離フィルム10を剥離する手順を複数回繰り返すことによって、積層体を形成している。   An example of the lamination process will be described in detail. First, the release film 10 of the ceramic component sheet 20 is peeled to obtain the green sheet 26. The green sheet 26 and the ceramic component sheet 20 are laminated so that the surface 22b of the green sheet 26 and the electrode green sheet 24 of another ceramic component sheet 20 face each other. Thereafter, the release film 10 is peeled from the laminated ceramic component sheet 20. By repeating such a procedure and laminating the green sheets 26, a laminate can be obtained. That is, in this lamination process, after laminating the ceramic component sheet 20 on the green sheet 26, the laminate is formed by repeating the procedure of peeling the release film 10 a plurality of times.

積層工程の別の例を説明する。グリーンシート26の面22aと、剥離フィルム10を剥離した別のグリーンシート26の面22bとが向かい合うようにして、グリーンシート26を積層する。このような手順を繰り返し行い、グリーンシート26を順次積層することによって、積層体を得ることができる。すなわち、この積層工程では、剥離フィルム10を剥離したグリーンシート26を積層する手順を複数回繰り返すことによって、積層体を形成している。   Another example of the lamination process will be described. The green sheet 26 is laminated so that the surface 22a of the green sheet 26 and the surface 22b of another green sheet 26 from which the release film 10 has been peeled face each other. By repeating such a procedure and sequentially laminating the green sheets 26, a laminate can be obtained. That is, in this lamination process, the laminated body is formed by repeating the procedure of laminating the green sheet 26 from which the release film 10 has been peeled off a plurality of times.

積層体におけるグリーンシートの積層枚数に特に制限はなく、例えば、数十層から数百層であってもよい。積層体の積層方向に直交する両端面に、電極層が形成されない厚めの外装用グリーンシートを設けてもよい。積層体を形成した後、積層体を切断してグリーンチップとしてもよい。   There is no restriction | limiting in particular in the number of lamination | stacking of the green sheet in a laminated body, For example, tens to hundreds of layers may be sufficient. A thick exterior green sheet on which no electrode layer is formed may be provided on both end faces orthogonal to the stacking direction of the stack. After forming the laminated body, the laminated body may be cut to form a green chip.

焼成工程では、積層工程で得られた積層体(グリーンチップ)を焼成して焼結体を得る。焼成条件は、1100〜1300℃で、加湿した窒素と水素との混合ガス等の雰囲気下で行うとよい。ただし、焼成時の雰囲気中の酸素分圧は、好ましくは10−2Pa以下、より好ましくは10−2〜10−8Paとする。なお、焼成前には、積層体の脱バインダ処理を施すことが好ましい。脱バインダ処理は、通常の条件で行うことができる。例えば、内部電極層(電極グリーンシート24)の導電体材料として、NiやNi合金等の卑金属を用いる場合、200〜600℃で行うことが好ましい。 In the firing step, the laminate (green chip) obtained in the lamination step is fired to obtain a sintered body. The firing conditions are preferably 1100 to 1300 ° C. in an atmosphere such as a mixed gas of humidified nitrogen and hydrogen. However, the oxygen partial pressure in the atmosphere during firing is preferably 10 −2 Pa or less, more preferably 10 −2 to 10 −8 Pa. Note that before the firing, it is preferable to perform a binder removal treatment on the laminate. The binder removal process can be performed under normal conditions. For example, when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductor material of the internal electrode layer (electrode green sheet 24), it is preferably performed at 200 to 600 ° C.

焼成後、焼結体を構成する誘電体層を再酸化させるために、熱処理を行ってもよい。熱処理における保持温度又は最高温度は、1000〜1100℃であることが好ましい。熱処理の際の酸素分圧は、焼成時の還元雰囲気よりも高い酸素分圧であることが好ましく、10−2Pa〜1Paであることがより好ましい。このようにして得られた焼結体に、例えばバレル研磨、サンドブラスト等にて端面研磨を施すことが好ましい。 After firing, heat treatment may be performed to reoxidize the dielectric layer constituting the sintered body. The holding temperature or maximum temperature in the heat treatment is preferably 1000 to 1100 ° C. The oxygen partial pressure during the heat treatment is preferably an oxygen partial pressure higher than the reducing atmosphere during firing, and more preferably 10 −2 Pa to 1 Pa. The sintered body thus obtained is preferably subjected to end surface polishing by, for example, barrel polishing, sand blasting or the like.

電極形成工程では、焼結体の側面上に、端子電極用ペーストを焼きつけて端子電極を形成することにより、積層セラミックコンデンサを得ることができる。   In the electrode forming step, a multilayer ceramic capacitor can be obtained by baking the terminal electrode paste on the side surface of the sintered body to form the terminal electrode.

本実施形態のセラミック部品の製造方法では、上記実施形態のセラミック部品シートを用いているため、得られるセラミック部品、すなわち積層セラミックコンデンサのピンホールの発生を十分に抑制することができる。このため、高い歩留まりで積層セラミックコンデンサを形成することができる。   In the ceramic component manufacturing method of the present embodiment, since the ceramic component sheet of the above embodiment is used, generation of pinholes in the obtained ceramic component, that is, the multilayer ceramic capacitor can be sufficiently suppressed. For this reason, a multilayer ceramic capacitor can be formed with a high yield.

図7は、上記実施形態の製造方法によって得られるセラミック部品の一例を示す模式断面図である。図7に示す積層セラミックコンデンサ100は、内装部40と、この内装部40を積層方向に挟む一対の外装部50とを備えている。本実施形態に積層セラミックコンデンサ100は、側面に端子電極60を有している。   FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing an example of a ceramic component obtained by the manufacturing method of the above embodiment. A multilayer ceramic capacitor 100 shown in FIG. 7 includes an interior portion 40 and a pair of exterior portions 50 that sandwich the interior portion 40 in the stacking direction. In the present embodiment, the multilayer ceramic capacitor 100 has a terminal electrode 60 on a side surface.

内装部40は、複数(本実施形態では13層)のセラミック層42と、複数(本実施形態では12層)の内部電極層44とを有している。セラミック層42と内部電極層44とは、交互に積層されている。内部電極層44は、端子電極60と電気的に接続されている。   The interior portion 40 includes a plurality (13 layers in this embodiment) of ceramic layers 42 and a plurality (12 layers in this embodiment) of internal electrode layers 44. The ceramic layers 42 and the internal electrode layers 44 are alternately stacked. The internal electrode layer 44 is electrically connected to the terminal electrode 60.

外装部50は、セラミック層により形成されている。このセラミック層は、外装用グリーンシートから形成されるものであり、例えばセラミック層42と同様の成分を含有する。   The exterior part 50 is formed of a ceramic layer. This ceramic layer is formed from an exterior green sheet and contains, for example, the same components as the ceramic layer 42.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment.

(実施例1)
<予備実験>
原料として、下記式(4)で表されるアクリレートモノマー(比重:0.99)、下記式(5)で表される両末端がアクリロイル基で変性された変性シリコーンオイル(比重:0.98)を準備した。下記式(4)のアクリレートモノマー100質量部と下記式(5)の変性シリコーンオイル5質量部をビーカーで攪拌して混合液を調整したところ、混合液は白濁分離した。このことから、アクリレートモノマーと変性シリコーンオイルが相溶しないことが確認された。さらに、この混合液にメチルエチルケトン100質量部とトルエン100質量部を加えると透明になることを確認した。その後、以下のようにして剥離フィルムを作製した。
Example 1
<Preliminary experiment>
As raw materials, an acrylate monomer represented by the following formula (4) (specific gravity: 0.99), a modified silicone oil in which both ends represented by the following formula (5) are modified with acryloyl groups (specific gravity: 0.98) Prepared. When 100 parts by mass of the acrylate monomer represented by the following formula (4) and 5 parts by mass of the modified silicone oil represented by the following formula (5) were stirred in a beaker to prepare a mixed solution, the mixed solution was separated into white turbidity. From this, it was confirmed that the acrylate monomer and the modified silicone oil are not compatible. Further, when 100 parts by mass of methyl ethyl ketone and 100 parts by mass of toluene were added to this mixed solution, it was confirmed that the mixture became transparent. Thereafter, a release film was produced as follows.

Figure 2011206995
Figure 2011206995

Figure 2011206995
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<剥離フィルムの作製>
上記式(4)のアクリレートモノマー100質量部に対して、上記式(5)の変性シリコーンオイル0.277質量部、及びメチルエチルケトン100質量部、トルエン100質量部、反応開始剤(IRGACURE127)1.5質量部を金属製容器に入れて、攪拌混合し、無色透明の塗布液を得た。
<Preparation of release film>
With respect to 100 parts by mass of the acrylate monomer of the above formula (4), 0.277 parts by mass of the modified silicone oil of the above formula (5), 100 parts by mass of methyl ethyl ketone, 100 parts by mass of toluene, and a reaction initiator (IRGACURE127) 1.5 A part by mass was placed in a metal container and mixed with stirring to obtain a colorless and transparent coating solution.

得られた塗布液を、バーコーターにて2軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(基材フィルム、厚み38μm)に塗布し、加熱温度80℃の熱風で30秒間、乾燥してメチルエチルケトン、トルエンを蒸発させた後、酸素濃度100ppmの窒素雰囲気下にて紫外線を照射して、基材フィルム上に厚み1μmの重合体層を形成し、ロール状に巻回した剥離フィルムロールを得た。なお、厚みは、分光光度計(日本分光(株)製、商品名:V−670)を用いて測定した。また、紫外線照射は、積算光量を250mJ/cmとした。 The obtained coating solution is applied to a biaxially stretched polyethylene terephthalate (PET) film (base film, thickness 38 μm) with a bar coater, dried with hot air at a heating temperature of 80 ° C. for 30 seconds to evaporate methyl ethyl ketone and toluene. Then, ultraviolet rays were irradiated in a nitrogen atmosphere with an oxygen concentration of 100 ppm to form a 1 μm thick polymer layer on the base film, and a release film roll wound into a roll was obtained. The thickness was measured using a spectrophotometer (trade name: V-670, manufactured by JASCO Corporation). Further, in the ultraviolet irradiation, the integrated light quantity was set to 250 mJ / cm 2 .

<水の表面付着エネルギーの測定>
得られた剥離フィルムロールについて、巻き解かれた剥離フィルムの剥離面における水の表面付着エネルギーを協和界面科学のDropMasterを用いて測定した。測定条件は、温度20℃、湿度60%とし、剥離フィルムの重合体層の表面に純水を16μl滴下して測定した。表面付着エネルギーは4.6mJ/mであった。なお、後述する比較例において16μlの滴下では測定できない場合には、12μlの純水を2回滴下して24μlで測定した。測定結果を表1にも示す。
<Measurement of water surface adhesion energy>
About the obtained peeling film roll, the surface adhesion energy of the water in the peeling surface of the unrolled peeling film was measured using DropMaster of Kyowa Interface Science. The measurement conditions were a temperature of 20 ° C. and a humidity of 60%, and 16 μl of pure water was dropped on the surface of the polymer layer of the release film. The surface adhesion energy was 4.6 mJ / m 2 . In addition, in the comparative example which will be described later, when measurement cannot be performed by dropping 16 μl, 12 μl of pure water was dropped twice and measurement was performed at 24 μl. The measurement results are also shown in Table 1.

<水の接触角の測定>
基材フィルム側とは反対側の重合体層表面(剥離面)と、重合体層側とは反対側の基材フィルム表面と、について、協和界面科学のDropMasterを用いて、水の接触角を測定した。測定条件は、温度20℃、湿度60%とし、それぞれの表面に純水を2μl滴下して測定した。剥離面の接触角は104°であった。また、基材フィルム面の接触角は69°であった。測定結果を表1にも示す。
<Measurement of water contact angle>
Using the Kyowa Interface Science DropMaster, the contact angle of water is measured for the polymer layer surface (peeling surface) opposite to the substrate film side and the substrate film surface opposite to the polymer layer side. It was measured. The measurement conditions were a temperature of 20 ° C. and a humidity of 60%, and 2 μl of pure water was dropped on each surface. The contact angle of the release surface was 104 °. The contact angle of the base film surface was 69 °. The measurement results are also shown in Table 1.

<誘電体シートの形成>
BaTiO系セラミック粉末、有機バインダとしてポリビニルブチラール(PVB)、及び溶媒としてメタノールを準備した。次に、該セラミック粉末100質量部に対して、10質量部の有機バインダと、165質量部の溶媒とを混練して誘電体スラリーを得た。この誘電体スラリーを、得られた剥離フィルムの重合体層の表面に塗布し、乾燥後の膜厚みが1μmになるように誘電体シートを形成した。得られた誘電体シートについて、以下に示す方法により、ピンホールの有無を評価し、剥離フィルム表面における塗布性を評価した。
<Formation of dielectric sheet>
BaTiO 3 system ceramic powder, polyvinyl butyral (PVB) as an organic binder, and methanol as a solvent were prepared. Next, 10 parts by mass of an organic binder and 165 parts by mass of a solvent were kneaded with 100 parts by mass of the ceramic powder to obtain a dielectric slurry. This dielectric slurry was applied to the surface of the polymer layer of the obtained release film, and a dielectric sheet was formed so that the film thickness after drying was 1 μm. About the obtained dielectric sheet, the presence or absence of a pinhole was evaluated by the method shown below, and the applicability | paintability in the peeling film surface was evaluated.

<ピンホールの有無>
ピンホール検出機を用いて、誘電体シートの3000m分の長さに渡りピンホールを調査した。結果、ピンホールは検出されなかった。
<Presence / absence of pinhole>
Using a pinhole detector, the pinhole was investigated over a length of 3000 m of the dielectric sheet. As a result, no pinhole was detected.

<電極の形成>
Ni粉末、有機バインダとしてエチルセルロース、及び溶媒としてテルピネオールを準備した。次に、Ni粉末100質量部に対して、4質量部の有機バインダと、100質量部の溶媒とを混練して電極ペーストを得た。この電極スラリーを、上記の誘電体シート上に塗布して、乾燥後の膜厚みが1μmになるように電極を形成し、積層用シート(セラミック部品シート)を得た。得られた積層用シートについて、以下に示す剥離試験を行い、剥離フィルムからの誘電体シートの剥離性を評価した。
<Formation of electrode>
Ni powder, ethyl cellulose as an organic binder, and terpineol as a solvent were prepared. Next, 4 parts by mass of an organic binder and 100 parts by mass of a solvent were kneaded with respect to 100 parts by mass of the Ni powder to obtain an electrode paste. This electrode slurry was applied onto the above dielectric sheet, and an electrode was formed so that the film thickness after drying was 1 μm, to obtain a lamination sheet (ceramic component sheet). About the obtained sheet | seat for lamination | stacking, the peeling test shown below was done and the peelability of the dielectric material sheet from a peeling film was evaluated.

<剥離試験>
誘電体シートの剥離性は、積層装置の剥離機構を用いて試験を行った。空気圧力を減圧することで吸着機構を有する吸着板(200mm×200mm)に、試験片としての誘電体シートを吸着させ、次いで剥離フィルムを剥離した。このとき誘電体シートが破れずに剥離フィルムが剥離できるか確認した。結果、誘電体シートが破れずに剥離できた。
<Peel test>
The peelability of the dielectric sheet was tested using the peeling mechanism of the laminating apparatus. The dielectric sheet as a test piece was adsorbed on an adsorption plate (200 mm × 200 mm) having an adsorption mechanism by reducing the air pressure, and then the release film was peeled off. At this time, it was confirmed whether the release film could be peeled without breaking the dielectric sheet. As a result, the dielectric sheet could be peeled without tearing.

(実施例2)
上記式(4)のアクリレートモノマー100質量部に対して、上記式(5)の変性シリコーンオイル0.138質量部、及びメチルエチルケトン100質量部、トルエン100質量部、反応開始剤(IRGACURE127)1.5質量部を金属製容器に入れて、攪拌混合し、無色透明の塗布液を得た。
(Example 2)
With respect to 100 parts by mass of the acrylate monomer of the above formula (4), 0.138 parts by mass of the modified silicone oil of the above formula (5), 100 parts by mass of methyl ethyl ketone, 100 parts by mass of toluene, and a reaction initiator (IRGACURE127) 1.5 A part by mass was placed in a metal container and mixed with stirring to obtain a colorless and transparent coating solution.

得られた塗布液を用いて、実施例1と同様にして、剥離フィルムロールを得た。剥離フィルムロールから巻き解かれた剥離フィルムについて、実施例1と同様にして、水の表面付着エネルギーおよび接触角を測定した。表面付着エネルギーは6.5mJ/mであった。また、剥離面の接触角は102°であり、基材フィルム面の接触角は66°であった。測定結果を表1にも示す。 Using the obtained coating liquid, a release film roll was obtained in the same manner as in Example 1. About the peeling film unrolled from the peeling film roll, it carried out similarly to Example 1, and measured the surface adhesion energy and contact angle of water. The surface adhesion energy was 6.5 mJ / m 2 . Moreover, the contact angle of the peeling surface was 102 °, and the contact angle of the base film surface was 66 °. The measurement results are also shown in Table 1.

また、該剥離フィルムの重合体層の表面に、実施例1と同様にして、誘電体シートを形成し、実施例1と同様にして、ピンホールの有無を評価した。その結果、ピンホールは検出されなかった。   Further, a dielectric sheet was formed on the surface of the polymer layer of the release film in the same manner as in Example 1, and the presence or absence of pinholes was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, no pinhole was detected.

さらに、誘電体シート上に、実施例1と同様にして、電極を形成し、積層用シートを得た。得られた積層用シートについて、実施例1と同様にして、誘電体シートの剥離性を評価した。その結果、剥離フィルムから誘電体シートが破れずに剥離できた。   Furthermore, an electrode was formed on the dielectric sheet in the same manner as in Example 1 to obtain a lamination sheet. About the obtained sheet | seat for lamination | stacking, it carried out similarly to Example 1, and evaluated the peelability of the dielectric material sheet. As a result, the dielectric sheet could be peeled from the release film without tearing.

(実施例3)
上記式(4)のアクリレートモノマー100質量部に対して、上記式(5)の変性シリコーンオイル0.069質量部、及びメチルエチルケトン50質量部、トルエン100質量部、反応開始剤(IRGACURE127)1.5質量部を金属製容器に入れて、攪拌混合し、無色透明の塗布液を得た。
(Example 3)
With respect to 100 parts by mass of the acrylate monomer of the above formula (4), 0.069 parts by mass of the modified silicone oil of the above formula (5), 50 parts by mass of methyl ethyl ketone, 100 parts by mass of toluene, and a reaction initiator (IRGACURE127) 1.5 A part by mass was placed in a metal container and mixed with stirring to obtain a colorless and transparent coating solution.

得られた塗布液を用いて、実施例1と同様にして、剥離フィルムロールを得た。剥離フィルムロールから巻き解かれた剥離フィルムについて、実施例1と同様にして、水の表面付着エネルギーおよび接触角を測定した。表面付着エネルギーは7.6mJ/mであった。また、剥離面の接触角は96°であり、基材フィルム面の接触角は64°であった。測定結果を表1にも示す。 Using the obtained coating liquid, a release film roll was obtained in the same manner as in Example 1. About the peeling film unrolled from the peeling film roll, it carried out similarly to Example 1, and measured the surface adhesion energy and contact angle of water. The surface adhesion energy was 7.6 mJ / m 2 . Moreover, the contact angle of the peeling surface was 96 degrees, and the contact angle of the base film surface was 64 degrees. The measurement results are also shown in Table 1.

また、該剥離フィルムの重合体層の表面に、実施例1と同様にして、誘電体シートを形成し、実施例1と同様にして、ピンホールの有無を評価した。その結果、ピンホールは検出されなかった。   Further, a dielectric sheet was formed on the surface of the polymer layer of the release film in the same manner as in Example 1, and the presence or absence of pinholes was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, no pinhole was detected.

さらに、誘電体シート上に、実施例1と同様にして、電極を形成し、積層用シートを得た。得られた積層用シートについて、実施例1と同様にして、誘電体シートの剥離性を評価した。その結果、剥離フィルムから誘電体シートが破れずに剥離できた。   Furthermore, an electrode was formed on the dielectric sheet in the same manner as in Example 1 to obtain a lamination sheet. About the obtained sheet | seat for lamination | stacking, it carried out similarly to Example 1, and evaluated the peelability of the dielectric material sheet. As a result, the dielectric sheet could be peeled from the release film without tearing.

(実施例4)
上記式(4)のアクリレートモノマー100質量部に対して、上記式(5)の変性シリコーンオイル0.046質量部、及びメチルエチルケトン100質量部、トルエン100質量部、反応開始剤(IRGACURE127)1.5質量部を金属製容器に入れて、攪拌混合し、無色透明の塗布液を得た。
Example 4
With respect to 100 parts by mass of the acrylate monomer of the above formula (4), 0.046 parts by mass of the modified silicone oil of the above formula (5), 100 parts by mass of methyl ethyl ketone, 100 parts by mass of toluene, and a reaction initiator (IRGACURE127) 1.5 A part by mass was placed in a metal container and mixed with stirring to obtain a colorless and transparent coating solution.

得られた塗布液を用いて、実施例1と同様にして、剥離フィルムロールを得た。剥離フィルムロールから巻き解かれた剥離フィルムについて、実施例1と同様にして、水の表面付着エネルギーおよび接触角を測定した。表面付着エネルギーは9.8mJ/mであった。また、剥離面の接触角は92°であり、基材フィルム面の接触角は64°であった。測定結果を表1にも示す。 Using the obtained coating liquid, a release film roll was obtained in the same manner as in Example 1. About the peeling film unrolled from the peeling film roll, it carried out similarly to Example 1, and measured the surface adhesion energy and contact angle of water. The surface adhesion energy was 9.8 mJ / m 2 . Moreover, the contact angle of the peeling surface was 92 °, and the contact angle of the base film surface was 64 °. The measurement results are also shown in Table 1.

また、該剥離フィルムの重合体層の表面に、実施例1と同様にして、誘電体シートを形成し、実施例1と同様にして、ピンホールの有無を評価した。その結果、ピンホールは検出されなかった。   Further, a dielectric sheet was formed on the surface of the polymer layer of the release film in the same manner as in Example 1, and the presence or absence of pinholes was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, no pinhole was detected.

さらに、誘電体シート上に、実施例1と同様にして、電極を形成し、積層用シートを得た。得られた積層用シートについて、実施例1と同様にして、誘電体シートの剥離性を評価した。その結果、剥離フィルムから誘電体シートが破れずに剥離できた。   Furthermore, an electrode was formed on the dielectric sheet in the same manner as in Example 1 to obtain a lamination sheet. About the obtained sheet | seat for lamination | stacking, it carried out similarly to Example 1, and evaluated the peelability of the dielectric material sheet. As a result, the dielectric sheet could be peeled from the release film without tearing.

(実施例5)
上記式(4)のアクリレートモノマー100質量部に対して、上記式(5)の変性シリコーンオイル0.138質量部、及びメチルエチルケトン100質量部、トルエン100質量部、反応開始剤(IRGACURE907)1質量部を金属製容器に入れて、攪拌混合し、無色透明の塗布液を得た。
(Example 5)
With respect to 100 parts by mass of the acrylate monomer of the above formula (4), 0.138 parts by mass of the modified silicone oil of the above formula (5), 100 parts by mass of methyl ethyl ketone, 100 parts by mass of toluene, 1 part by mass of a reaction initiator (IRGACURE907) Was put in a metal container and mixed by stirring to obtain a colorless and transparent coating solution.

得られた塗布液を用いて、実施例1と同様にして、剥離フィルムロールを得た。剥離フィルムロールから巻き解かれた剥離フィルムについて、実施例1と同様にして、水の表面付着エネルギーおよび接触角を測定した。表面付着エネルギーは7.1mJ/mであった。また、剥離面の接触角は102°であり、基材フィルム面の接触角は66°であった。測定結果を表1にも示す。 Using the obtained coating liquid, a release film roll was obtained in the same manner as in Example 1. About the peeling film unrolled from the peeling film roll, it carried out similarly to Example 1, and measured the surface adhesion energy and contact angle of water. The surface adhesion energy was 7.1 mJ / m 2 . Moreover, the contact angle of the peeling surface was 102 °, and the contact angle of the base film surface was 66 °. The measurement results are also shown in Table 1.

また、該剥離フィルムの重合体層の表面に、実施例1と同様にして、誘電体シートを形成し、実施例1と同様にして、ピンホールの有無を評価した。その結果、ピンホールは検出されなかった。   Further, a dielectric sheet was formed on the surface of the polymer layer of the release film in the same manner as in Example 1, and the presence or absence of pinholes was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, no pinhole was detected.

さらに、誘電体シート上に、実施例1と同様にして、電極を形成し、積層用シートを得た。得られた積層用シートについて、実施例1と同様にして、誘電体シートの剥離性を評価した。その結果、剥離フィルムから誘電体シートが破れずに剥離できた。   Furthermore, an electrode was formed on the dielectric sheet in the same manner as in Example 1 to obtain a lamination sheet. About the obtained sheet | seat for lamination | stacking, it carried out similarly to Example 1, and evaluated the peelability of the dielectric material sheet. As a result, the dielectric sheet could be peeled from the release film without tearing.

(比較例1)
上記式(5)の変性シリコーンオイルを添加しなかった以外は、実施例1と同様にして、塗布液を得た。
(Comparative Example 1)
A coating solution was obtained in the same manner as in Example 1 except that the modified silicone oil of the above formula (5) was not added.

得られた塗布液を用いて、実施例1と同様にして、剥離フィルムロールを得た。剥離フィルムロールから巻き解かれた剥離フィルムについて、実施例1と同様にして、水の表面付着エネルギーおよび接触角を測定した。表面付着エネルギーは11mJ/mであった。また、剥離面の接触角は72°であり、基材フィルム面の接触角は63°であった。測定結果を表1にも示す。 Using the obtained coating liquid, a release film roll was obtained in the same manner as in Example 1. About the peeling film unrolled from the peeling film roll, it carried out similarly to Example 1, and measured the surface adhesion energy and contact angle of water. The surface adhesion energy was 11 mJ / m 2 . Moreover, the contact angle of the peeling surface was 72 °, and the contact angle of the base film surface was 63 °. The measurement results are also shown in Table 1.

また、該剥離フィルムの重合体層の表面に、実施例1と同様にして、誘電体シートを形成し、実施例1と同様にして、ピンホールの有無を評価した。その結果、ピンホールは検出されなかった。   Further, a dielectric sheet was formed on the surface of the polymer layer of the release film in the same manner as in Example 1, and the presence or absence of pinholes was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, no pinhole was detected.

さらに、誘電体シート上に、実施例1と同様にして、電極を形成し、積層用シートを得た。得られた積層用シートについて、実施例1と同様にして、誘電体シートの剥離性を評価した。その結果、剥離フィルムから誘電体シートを剥離することができなかった。   Furthermore, an electrode was formed on the dielectric sheet in the same manner as in Example 1 to obtain a lamination sheet. About the obtained sheet | seat for lamination | stacking, it carried out similarly to Example 1, and evaluated the peelability of the dielectric material sheet. As a result, the dielectric sheet could not be peeled from the release film.

(比較例2)
上記式(4)のアクリレートモノマー100質量部に対して、上記式(5)の変性シリコーンオイル0.138質量部、及びメチルエチルケトン100質量部、トルエン100質量部、反応開始剤(IRGACURE907)10質量部を金属製容器に入れて、攪拌混合し、無色透明の塗布液を得た。
(Comparative Example 2)
With respect to 100 parts by mass of the acrylate monomer of the above formula (4), 0.138 parts by mass of the modified silicone oil of the above formula (5), 100 parts by mass of methyl ethyl ketone, 100 parts by mass of toluene, and 10 parts by mass of a reaction initiator (IRGACURE907). Was put in a metal container and mixed by stirring to obtain a colorless and transparent coating solution.

得られた塗布液を用いて、実施例1と同様にして、剥離フィルムロールを得た。剥離フィルムロールから巻き解かれた剥離フィルムについて、実施例1と同様にして、水の表面付着エネルギーおよび接触角を測定した。表面付着エネルギーは10.4mJ/mであった。また、剥離面の接触角は101°であり、基材フィルム面の接触角は65°であった。測定結果を表1にも示す。 Using the obtained coating liquid, a release film roll was obtained in the same manner as in Example 1. About the peeling film unrolled from the peeling film roll, it carried out similarly to Example 1, and measured the surface adhesion energy and contact angle of water. The surface adhesion energy was 10.4 mJ / m 2 . Moreover, the contact angle of the peeling surface was 101 °, and the contact angle of the base film surface was 65 °. The measurement results are also shown in Table 1.

また、該剥離フィルムの重合体層の表面に、実施例1と同様にして、誘電体シートを形成し、実施例1と同様にして、ピンホールの有無を評価した。その結果、ピンホールは検出されなかった。   Further, a dielectric sheet was formed on the surface of the polymer layer of the release film in the same manner as in Example 1, and the presence or absence of pinholes was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, no pinhole was detected.

さらに、誘電体シート上に、実施例1と同様にして、電極を形成し、積層用シートを得た。得られた積層用シートについて、実施例1と同様にして、誘電体シートの剥離性を評価した。その結果、誘電体シートが破れてしまい、剥離フィルムから誘電体シートを一部しか剥離することができなかった。   Furthermore, an electrode was formed on the dielectric sheet in the same manner as in Example 1 to obtain a lamination sheet. About the obtained sheet | seat for lamination | stacking, it carried out similarly to Example 1, and evaluated the peelability of the dielectric material sheet. As a result, the dielectric sheet was torn and only a part of the dielectric sheet could be peeled from the release film.

(比較例3)
上記式(4)のアクリレートモノマー100質量部に対して、メチルエチルケトン50質量部、トルエン100質量部、反応開始剤(IRGACURE127)1.5質量部を金属製容器に入れて、攪拌混合し、無色透明の塗布液を得た。
(Comparative Example 3)
To 100 parts by mass of the acrylate monomer of the above formula (4), 50 parts by mass of methyl ethyl ketone, 100 parts by mass of toluene, and 1.5 parts by mass of a reaction initiator (IRGACURE127) are placed in a metal container, mixed with stirring, and colorless and transparent. A coating solution was obtained.

得られた塗布液を、バーコーターにて2軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(基材フィルム、厚み38μm)に塗布し、加熱温度80℃の熱風で30秒間、乾燥してメチルエチルケトン、トルエンを蒸発させた後、酸素濃度100ppmの窒素雰囲気下にて紫外線を照射して、基材フィルム上に厚み1μmの重合体層が形成されたフィルムを得た。なお、厚みは、分光光度計(日本分光(株)製、商品名:V−670)を用いて測定した。また、紫外線照射は、積算光量を250mJ/cmとした。 The obtained coating solution is applied to a biaxially stretched polyethylene terephthalate (PET) film (base film, thickness 38 μm) with a bar coater, dried with hot air at a heating temperature of 80 ° C. for 30 seconds to evaporate methyl ethyl ketone and toluene. Then, ultraviolet rays were irradiated in a nitrogen atmosphere with an oxygen concentration of 100 ppm to obtain a film in which a polymer layer having a thickness of 1 μm was formed on the base film. The thickness was measured using a spectrophotometer (trade name: V-670, manufactured by JASCO Corporation). Further, in the ultraviolet irradiation, the integrated light quantity was set to 250 mJ / cm 2 .

続いて、付加重合型シリコーンKS−847(信越化学社製)10質量部、トルエン50質量部、メチルエチルケトン50質量部、触媒PL−50T、0.1質量部を金属容器に入れて攪拌混合し、無色透明の塗布液を得た。   Subsequently, 10 parts by mass of addition polymerization type silicone KS-847 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 50 parts by mass of toluene, 50 parts by mass of methyl ethyl ketone, PL-50T, 0.1 parts by mass are put in a metal container and mixed by stirring. A colorless and transparent coating solution was obtained.

得られた塗布液を、バーコーターにて上記のフィルムに塗布し110℃の熱風で溶剤を乾燥させながら硬化させ剥離フィルムを得て、その剥離フィルムを巻回することで剥離フィルムロールを得た。塗布厚みは0.12μmであった。   The obtained coating solution was applied to the above film with a bar coater, cured while drying the solvent with hot air at 110 ° C. to obtain a release film, and a release film roll was obtained by winding the release film. . The coating thickness was 0.12 μm.

剥離フィルムロールから巻き解かれた剥離フィルムについて、実施例1と同様にして、水の表面付着エネルギーおよび接触角を測定した。表面付着エネルギーは7.8mJ/mであった。また、剥離面の接触角は109°であり、基材フィルム面の接触角は86°であった。測定結果を表1にも示す。 About the peeling film unrolled from the peeling film roll, it carried out similarly to Example 1, and measured the surface adhesion energy and contact angle of water. The surface adhesion energy was 7.8 mJ / m 2 . Moreover, the contact angle of the peeling surface was 109 °, and the contact angle of the base film surface was 86 °. The measurement results are also shown in Table 1.

また、該剥離フィルムの重合体層の表面に、実施例1と同様にして、誘電体シートを形成し、実施例1と同様にして、ピンホールの有無を評価した。その結果、ピンホールが21個検出された。   Further, a dielectric sheet was formed on the surface of the polymer layer of the release film in the same manner as in Example 1, and the presence or absence of pinholes was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, 21 pinholes were detected.

さらに、誘電体シート上に、実施例1と同様にして、電極を形成し、積層用シートを得た。得られた積層用シートについて、実施例1と同様にして、誘電体シートの剥離性を評価した。その結果、剥離フィルムから誘電体シートが破れずに剥離できた。   Furthermore, an electrode was formed on the dielectric sheet in the same manner as in Example 1 to obtain a lamination sheet. About the obtained sheet | seat for lamination | stacking, it carried out similarly to Example 1, and evaluated the peelability of the dielectric material sheet. As a result, the dielectric sheet could be peeled from the release film without tearing.

Figure 2011206995
Figure 2011206995

表1より、剥離フィルムの重合体層の表面における水の表面付着エネルギーが本発明の範囲内である場合には、ペースト等のハジキに起因するピンホールが検出されず、しかも剥離フィルムからの誘電体シートの剥離性も良好であることが確認できた。   From Table 1, when the surface adhesion energy of water on the surface of the polymer layer of the release film is within the range of the present invention, pinholes due to repellency such as paste are not detected, and the dielectric from the release film It was confirmed that the peelability of the body sheet was also good.

また、実施例1〜5に係る剥離フィルムにおける基材フィルムの表面の接触角が本発明の範囲内であるため、該剥離フィルムをロール状に巻回して保管等した場合であっても、剥離面における塗布性が良好であることが確認できた。   Moreover, since the contact angle of the surface of the base film in the release films according to Examples 1 to 5 is within the scope of the present invention, even if the release film is wound and stored in a roll shape, the release film is peeled off. It was confirmed that the coating property on the surface was good.

これに対し、剥離フィルムの重合体層の表面における水の表面付着エネルギーが本発明の範囲外である場合には、ピンホールは検出されないものの、水の接触角が低くても(比較例1)、高くても(比較例2)、剥離フィルムからの誘電体シートの剥離性が悪いことが確認できた。   On the other hand, when the surface adhesion energy of water on the surface of the polymer layer of the release film is outside the range of the present invention, pinholes are not detected, but the contact angle of water is low (Comparative Example 1). Even if it was high (Comparative Example 2), it was confirmed that the peelability of the dielectric sheet from the release film was poor.

また、実施例5と比較例2とを比較することで、アミンを含む構造を有する反応開始剤を用いる場合には、その使用量が多すぎると、剥離面における表面付着エネルギーが大きくなりすぎ、剥離性が悪化することが確認できた。   Further, by comparing Example 5 and Comparative Example 2 and using a reaction initiator having a structure containing an amine, if the amount used is too large, the surface adhesion energy on the release surface becomes too large, It was confirmed that the peelability deteriorated.

さらに、本発明のシリコーン重合体成分とは異なる成分を用いた場合には(比較例3)、剥離フィルムの重合体層の表面における水の表面付着エネルギーが本発明の範囲内であっても、ピンホールが検出され、ペースト等のハジキが多いことが確認できた。   Furthermore, when a component different from the silicone polymer component of the present invention is used (Comparative Example 3), even if the surface adhesion energy of water on the surface of the polymer layer of the release film is within the range of the present invention, Pinholes were detected, and it was confirmed that there were many repels such as paste.

10…剥離フィルム、10a…下端部、10b…上端部、12…基材フィルム、12a…表面、14…重合体層、14a…表面(剥離面)、16…剥離フィルムロール、20…セラミック部品シート、22…セラミックグリーンシート、22a…表面、22b…面(剥離面側)、24…電極グリーンシート、26…グリーンシート、40…内装部、42…セラミック層、44…内部電極層、50…外装部、60…端子電極、100…積層セラミックコンデンサ、200…液滴、200a、200b…端部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Release film, 10a ... Lower end part, 10b ... Upper end part, 12 ... Base film, 12a ... Surface, 14 ... Polymer layer, 14a ... Surface (release surface), 16 ... Release film roll, 20 ... Ceramic component sheet 22 ... ceramic green sheet, 22a ... surface, 22b ... surface (peeling side), 24 ... electrode green sheet, 26 ... green sheet, 40 ... interior part, 42 ... ceramic layer, 44 ... internal electrode layer, 50 ... exterior Part, 60 ... terminal electrode, 100 ... multilayer ceramic capacitor, 200 ... droplet, 200a, 200b ... end.

Claims (4)

基材フィルムと前記基材フィルムの一面上に設けられる重合体層とを備える剥離フィルムであって、
前記重合体層は(メタ)アクリレート成分の硬化物を含む層と、該層の前記基材フィルム側とは反対側の表面の一部を被覆するシリコーン重合体成分を含む膜と、を有し、
前記シリコーン重合体成分は、(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基で変性された変性シリコーンオイルの重合体であって、
前記重合体層の表面において、水の表面付着エネルギーが10mJ/m以下であることを特徴とする剥離フィルム。
A release film comprising a base film and a polymer layer provided on one surface of the base film,
The polymer layer has a layer containing a cured product of a (meth) acrylate component, and a film containing a silicone polymer component that covers a part of the surface of the layer opposite to the base film side. ,
The silicone polymer component is a polymer of a modified silicone oil modified with a (meth) acryloyl group and / or a vinyl group,
A release film, wherein the surface adhesion energy of water is 10 mJ / m 2 or less on the surface of the polymer layer.
剥離フィルムがロール状に巻回されてなる剥離フィルムロールであって、
前記剥離フィルムが、基材フィルムと前記基材フィルムの一面上に設けられる重合体層とを備えており、
前記基材フィルムはポリエステル樹脂からなり、
前記重合体層は(メタ)アクリレート成分の硬化物を含む層と、該層の前記基材フィルム側とは反対側の表面の一部を被覆するシリコーン重合体成分を含む膜と、を有し、
前記シリコーン重合体成分は、(メタ)アクリロイル基及び/又はビニル基で変性された変性シリコーンオイルの重合体であって、
前記重合体層の表面において、水の表面付着エネルギーが10mJ/m以下であり、
前記基材フィルムの前記重合体層側とは反対側の表面において、水の接触角が80°以下であることを特徴とする剥離フィルムロール。
A release film roll formed by winding a release film into a roll,
The release film comprises a base film and a polymer layer provided on one surface of the base film,
The base film is made of a polyester resin,
The polymer layer has a layer containing a cured product of a (meth) acrylate component, and a film containing a silicone polymer component that covers a part of the surface of the layer opposite to the base film side. ,
The silicone polymer component is a polymer of a modified silicone oil modified with a (meth) acryloyl group and / or a vinyl group,
On the surface of the polymer layer, the surface adhesion energy of water is 10 mJ / m 2 or less,
A release film roll, wherein a contact angle of water is 80 ° or less on a surface of the base film opposite to the polymer layer side.
請求項1に記載の剥離フィルムと、当該剥離フィルムの前記重合体層上にセラミックグリーンシート及び電極グリーンシートの少なくとも一方からなるグリーンシートと、を有するセラミック部品シート。   A ceramic component sheet comprising the release film according to claim 1 and a green sheet comprising at least one of a ceramic green sheet and an electrode green sheet on the polymer layer of the release film. 請求項3記載のセラミック部品シートを複数準備する準備工程と、
前記セラミック部品シートの前記グリーンシートを積層して、複数の前記グリーンシートを有する積層体を得る積層工程と、
前記積層体を焼成して焼結体を得る焼成工程と、を有する、前記焼結体を有するセラミック部品の製造方法。
A preparation step of preparing a plurality of ceramic component sheets according to claim 3,
Lamination step of laminating the green sheets of the ceramic component sheet to obtain a laminate having a plurality of the green sheets;
A firing step of firing the laminate to obtain a sintered body.
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