JP2011196932A5 - - Google Patents
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本発明の第１の側面によって提供される校正方法は、プラズマ処理装置を含む負荷とこの負荷に高周波電力を供給する高周波電源装置との間に接続されて、当該接続点における高周波電圧および高周波電流を検出し、検出された電圧値と電流値とに基づいて、当該接続点から負荷側を見たインピーダンスを算出する高周波測定装置の前記電圧値と電流値の校正方法であって、第１の３つの基準負荷に前記高周波測定装置を接続した時に算出されたインピーダンスと前記第１の３つの基準負荷のインピーダンスとに基づいて、前記電圧値と電流値とを校正するための第１のパラメータを算出して、前記高周波測定装置に設定する第１の工程と、前記高周波測定装置を測定対象の負荷に接続してプラズマ処理を行い、検出された電圧値と電流値とを前記第１のパラメータを用いて校正し、当該校正後の電圧値と電流値とに基づいて、接続点から負荷側を見たインピーダンスを算出する第２の工程と、スミスチャート上で表示した場合に、前記第２の工程で算出されたインピーダンスを含み、かつ、前記第１の３つの基準負荷のインピーダンスによって囲まれる範囲より狭い範囲を囲むことになる３つのインピーダンスを決定する第３の工程と、前記３つのインピーダンスをそれぞれ有する第２の３つの基準負荷に前記高周波測定装置を接続した時に算出されたインピーダンスと前記第２の３つの基準負荷のインピーダンスとに基づいて、前記第１のパラメータを用いて校正された電圧値と電流値とをさらに校正するための第２のパラメータを算出して、前記高周波測定装置に設定する第４の工程と、前記高周波測定装置を前記測定対象の負荷に接続して、検出された電圧値と電流値とを前記第１のパラメータおよび第２のパラメータを用いて校正する第５の工程とを備えている。
本発明の好ましい実施の形態においては、前記第５の工程によって校正された電圧値と電流値とに基づいて、接続点から負荷側を見たインピーダンスを算出する第６の工程と、スミスチャート上で表示した場合に、前記第６の工程で算出されたインピーダンスを含み、かつ、前記第２の３つの基準負荷のインピーダンスによって囲まれる範囲より狭い範囲を囲むことになる３つのインピーダンスを決定する第７の工程と、前記第７の工程によって決定された３つのインピーダンスをそれぞれ有する第３の３つの基準負荷に前記高周波測定装置を接続した時に算出されたインピーダンスと前記第３の３つの基準負荷のインピーダンスとに基づいて、前記第１のパラメータおよび第２のパラメータを用いて校正された電圧値と電流値とをさらに校正するための第３のパラメータを算出して、前記高周波測定装置に設定する第８の工程と、前記高周波測定装置を前記測定対象の負荷に接続して、検出された電圧値と電流値とを前記第１のパラメータ、第２のパラメータ、および第３のパラメータを用いて校正する第９の工程とをさらに備えている。
Claims (2)
- プラズマ処理装置を含む負荷とこの負荷に高周波電力を供給する高周波電源装置との間に接続されて、当該接続点における高周波電圧および高周波電流を検出し、検出された電圧値と電流値とに基づいて、当該接続点から負荷側を見たインピーダンスを算出する高周波測定装置の前記電圧値と電流値の校正方法であって、
第１の３つの基準負荷に前記高周波測定装置を接続した時に算出されたインピーダンスと前記第１の３つの基準負荷のインピーダンスとに基づいて、前記電圧値と電流値とを校正するための第１のパラメータを算出して、前記高周波測定装置に設定する第１の工程と、
前記高周波測定装置を測定対象の負荷に接続してプラズマ処理を行い、検出された電圧値と電流値とを前記第１のパラメータを用いて校正し、当該校正後の電圧値と電流値とに基づいて、接続点から負荷側を見たインピーダンスを算出する第２の工程と、
スミスチャート上で表示した場合に、前記第２の工程で算出されたインピーダンスを含み、かつ、前記第１の３つの基準負荷のインピーダンスによって囲まれる範囲より狭い範囲を囲むことになる３つのインピーダンスを決定する第３の工程と、
前記３つのインピーダンスをそれぞれ有する第２の３つの基準負荷に前記高周波測定装置を接続した時に算出されたインピーダンスと前記第２の３つの基準負荷のインピーダンスとに基づいて、前記第１のパラメータを用いて校正された電圧値と電流値とをさらに校正するための第２のパラメータを算出して、前記高周波測定装置に設定する第４の工程と、
前記高周波測定装置を前記測定対象の負荷に接続して、検出された電圧値と電流値とを前記第１のパラメータおよび第２のパラメータを用いて校正する第５の工程と、
を備えている校正方法。 - 前記第５の工程によって校正された電圧値と電流値とに基づいて、接続点から負荷側を見たインピーダンスを算出する第６の工程と、
スミスチャート上で表示した場合に、前記第６の工程で算出されたインピーダンスを含み、かつ、前記第２の３つの基準負荷のインピーダンスによって囲まれる範囲より狭い範囲を囲むことになる３つのインピーダンスを決定する第７の工程と、
前記第７の工程によって決定された３つのインピーダンスをそれぞれ有する第３の３つの基準負荷に前記高周波測定装置を接続した時に算出されたインピーダンスと前記第３の３つの基準負荷のインピーダンスとに基づいて、前記第１のパラメータおよび第２のパラメータを用いて校正された電圧値と電流値とをさらに校正するための第３のパラメータを算出して、前記高周波測定装置に設定する第８の工程と、
前記高周波測定装置を前記測定対象の負荷に接続して、検出された電圧値と電流値とを前記第１のパラメータ、第２のパラメータ、および第３のパラメータを用いて校正する第９の工程と、
をさらに備えている、請求項１に記載の校正方法。
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