JP2011192444A - Discharge tube and strobe device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a discharge tube that prevents a loss of light quantity and prevents peeling-off of a reflecting film from the outer peripheral surface of a glass bulb, and also to provide a strobe device. <P>SOLUTION: The discharge tube 2 is configured such that a reflecting film 10 is formed by metal vapor-deposition on the outer peripheral surface of a cylindrical glass bulb 9. The reflecting film 10 is vapor-deposited in the area of 240&deg; or more in the circumferential direction. The glass bulb 9 has a plurality of recesses 15, ... on the outer peripheral surface so as to prevent peeling-off of the reflecting film 10. The strobe device 1 includes the discharge tube 2. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、円筒状のガラスバルブの外周面に金属の蒸着による反射膜が形成される放電管に関し、また、当該放電管を有する発光部を備えるストロボ装置に関する。   The present invention relates to a discharge tube in which a reflective film is formed by vapor deposition of metal on the outer peripheral surface of a cylindrical glass bulb, and also relates to a strobe device including a light emitting unit having the discharge tube.

従来、ストロボ装置の発光部に設けられる放電管として、光を透過する帯状の透光部を残すようにして、円筒状のガラスバルブの外周面に反射膜が形成される放電管が知られている(例えば、特許文献1)。そして、反射膜は、アルミニウムや銀等の金属を蒸着することによって形成され、放電管内で発生した光を反射させることで、発光効率を向上させている。   Conventionally, as a discharge tube provided in a light emitting portion of a strobe device, a discharge tube in which a reflective film is formed on the outer peripheral surface of a cylindrical glass bulb so as to leave a band-shaped light transmitting portion that transmits light is known. (For example, Patent Document 1). The reflective film is formed by vapor-depositing a metal such as aluminum or silver, and improves the light emission efficiency by reflecting the light generated in the discharge tube.

特開平7−72535号公報JP 7-72535 A

ところで、放電管2は、ガラスバルブ9の内部で励起されたガス全体が発光することで、外部に向けて光を照射する。したがって、図7に示すように、小さい範囲で蒸着されている反射膜10では、点Fでの発光が反射膜10では反射されず、放電管2の後方(所望の方向とは異なる方向)に照射されるため、光量を損失することになる。また、反射膜が形成される放電管おいては、一般的に、ガラスバルブ9の外周面から反射膜が剥がれるという問題もあった。   By the way, the discharge tube 2 emits light toward the outside by the whole gas excited inside the glass bulb 9 emitting light. Therefore, as shown in FIG. 7, in the reflective film 10 deposited in a small range, light emission at the point F is not reflected by the reflective film 10, and is behind the discharge tube 2 (a direction different from the desired direction). Since it is irradiated, the amount of light is lost. Further, in a discharge tube in which a reflective film is formed, there is generally a problem that the reflective film is peeled off from the outer peripheral surface of the glass bulb 9.

よって、本発明は、斯かる事情に鑑み、光量を損失するのを防止できると共に、ガラスバルブの外周面から反射膜が剥がれるのを防止できる放電管及びストロボ装置を提供することを課題とする。   Therefore, in view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a discharge tube and a stroboscopic device that can prevent the loss of light amount and can prevent the reflection film from peeling off from the outer peripheral surface of the glass bulb.

本発明に係る放電管は、円筒状のガラスバルブの外周面に金属の蒸着による反射膜が形成される放電管において、反射膜は、周方向において240°以上の範囲で蒸着され、ガラスバルブは、反射膜が剥がれるのを防止すべく、外周面に複数の凹部を備えることを特徴とする。   The discharge tube according to the present invention is a discharge tube in which a reflective film is formed by vapor deposition of metal on the outer peripheral surface of a cylindrical glass bulb. In order to prevent the reflective film from peeling off, the outer peripheral surface is provided with a plurality of concave portions.

斯かる構成によれば、反射膜が周方向において240°以上の範囲で蒸着されているため、内部で発生した光が反射膜で反射され、その結果、所望の方向(被写体に向けて照射したい方向)に光を照射することができる。さらに、ガラスバルブの外周面に、複数の凹部が設けられるため、ガラスバルブと反射膜とが強固に接合し、その結果、反射膜がガラスバルブから剥がれるのを防止できる。   According to such a configuration, since the reflective film is deposited in a range of 240 ° or more in the circumferential direction, the light generated inside is reflected by the reflective film, and as a result, it is desired to irradiate a desired direction (to the subject) Direction). Furthermore, since a plurality of recesses are provided on the outer peripheral surface of the glass bulb, the glass bulb and the reflective film are firmly bonded, and as a result, the reflective film can be prevented from being peeled off from the glass bulb.

また、請求項2記載の発明において、各凹部は、深さ寸法が1μm〜10μmで且つ幅寸法が2μm〜40nmとなるように形成されることが好ましい。   In the invention described in claim 2, it is preferable that each recess is formed so that the depth dimension is 1 μm to 10 μm and the width dimension is 2 μm to 40 nm.

斯かる構成によれば、深さ寸法が1μm〜10μmで且つ幅寸法が2μm〜40μmとなるように、各凹部が形成されている。したがって、ガラスバルブの外周面に反射膜を強固に接合できると共に、各凹部が光学特性に影響を及ぼすのを防止できる。   According to such a configuration, each recess is formed such that the depth dimension is 1 μm to 10 μm and the width dimension is 2 μm to 40 μm. Therefore, the reflective film can be firmly bonded to the outer peripheral surface of the glass bulb, and each concave portion can be prevented from affecting optical characteristics.

本発明に係るストロボ装置は、前記の放電管を有する発光部を備えることを特徴とする。   A strobe device according to the present invention includes a light emitting unit having the discharge tube.

斯かる構成によれば、放電管の反射膜が周方向において240°以上の範囲で蒸着されているため、放電管の内部で発生した光が反射膜で反射され、その結果、所望の方向に光を照射することができる。さらに、ガラスバルブの外周面に、複数の凹部が設けられるため、ガラスバルブと反射膜とが強固に接合し、その結果、反射膜がガラスバルブから剥がれるのを防止できる。   According to such a configuration, since the reflection film of the discharge tube is deposited in a range of 240 ° or more in the circumferential direction, the light generated inside the discharge tube is reflected by the reflection film, and as a result, in a desired direction. Light can be irradiated. Furthermore, since a plurality of recesses are provided on the outer peripheral surface of the glass bulb, the glass bulb and the reflective film are firmly bonded, and as a result, the reflective film can be prevented from being peeled off from the glass bulb.

以上の如く、本発明に係る放電管及びストロボ装置によれば、所望の方向に光を照射するため、光量を損失するのを防止できると共に、ガラスバルブと反射膜とが強固に接合するため、反射膜がガラスバルブから剥がれるのを防止できるという優れた効果を奏する。   As described above, according to the discharge tube and the strobe device according to the present invention, since light is irradiated in a desired direction, loss of the light amount can be prevented, and the glass bulb and the reflection film are firmly bonded. There is an excellent effect that the reflective film can be prevented from peeling off the glass bulb.

本発明の一実施形態に係るストロボ装置の全体斜視図1 is an overall perspective view of a strobe device according to an embodiment of the present invention. 同実施形態に係る放電管の、(a)は全体斜視図、(b)はA領域の拡大図In the discharge tube according to the same embodiment, (a) is an overall perspective view, and (b) is an enlarged view of region A. 同実施形態に係る放電管の製造方法を説明する内視正面図An internal front view for explaining a method of manufacturing a discharge tube according to the embodiment 同実施形態に係る放電管の製造方法を説明する斜視図The perspective view explaining the manufacturing method of the discharge tube concerning the embodiment 同実施形態に係る放電管の製造方法を説明する図における、(a)〜(c)は断面図In the figure explaining the manufacturing method of the discharge tube concerning the embodiment, (a)-(c) is a sectional view. 同実施形態に係る放電管の反射膜厚と反射率との相関図Correlation diagram between reflective film thickness and reflectance of discharge tube according to the same embodiment 従来の放電管の全体断面図Overall cross-sectional view of a conventional discharge tube

以下、本発明に係るストロボ装置及び放電管における一実施形態について、図1〜図6を参酌して説明する。   Hereinafter, an embodiment of a strobe device and a discharge tube according to the present invention will be described with reference to FIGS.

本実施形態に係るストロボ装置1は、撮像装置(図示していない)に設けられる。そして、ストロボ装置1は、図1に示すように、光を放射する放電管2と、放電管2から放射される光を被写体側に向けて反射する反射部材3と、放電管2及び反射部材3を保持するホルダ4とを備える。また、ストロボ装置1は、一部が透光性を有し且つ放電管2と反射部材3とを保持した状態でホルダ4を収容する光学部材5を備える。   The strobe device 1 according to the present embodiment is provided in an imaging device (not shown). As shown in FIG. 1, the strobe device 1 includes a discharge tube 2 that emits light, a reflection member 3 that reflects light emitted from the discharge tube 2 toward the subject, a discharge tube 2 and a reflection member. And a holder 4 for holding 3. Further, the strobe device 1 includes an optical member 5 that accommodates the holder 4 in a state that a part thereof is translucent and holds the discharge tube 2 and the reflection member 3.

さらに、ストロボ装置1は、光学部材5を覆うように、光学部材5に固定されるパネル基板6を備える。また、ストロボ装置1は、パネル基板6に搭載される高電圧部のトリガーコイル(図示していない)及び各種電子部品7,…と、オートフォーカスを行う際に補助光として機能する補助光源(LED)8とを備える。   Further, the strobe device 1 includes a panel substrate 6 fixed to the optical member 5 so as to cover the optical member 5. Further, the strobe device 1 includes a trigger coil (not shown) mounted on the panel substrate 6 and various electronic components 7..., And an auxiliary light source (LED that functions as auxiliary light when performing autofocusing. 8).

放電管(閃光放電管)2は、図2に示すように、長尺な円筒状のガラスバルブ9と、ガラスバルブ9の外周面に金属の蒸着により形成される反射膜10とを備える。なお、放電管2は、反射膜10を周方向の一部の範囲に配置することで、透光可能な帯状の透光部11がガラスバルブ9の前方側に配置され、透光部11を介して、内部で発生した光を外部に向けて照射する。また、放電管2は、長手方向の各端部12に、電極13,14を備えている。   As shown in FIG. 2, the discharge tube (flash discharge tube) 2 includes a long cylindrical glass bulb 9 and a reflective film 10 formed on the outer peripheral surface of the glass bulb 9 by vapor deposition of metal. In addition, the discharge tube 2 arrange | positions the reflective film 10 in the partial range of the circumferential direction, the translucent strip | belt-shaped translucent part 11 is arrange | positioned in the front side of the glass bulb 9, and the translucent part 11 is arranged. The light generated inside is irradiated to the outside. The discharge tube 2 includes electrodes 13 and 14 at each end 12 in the longitudinal direction.

ガラスバルブ9は、反射膜10が剥がれるのを防止すべく、外周面に複数の凹部15,…を備える。そして、各凹部15は、深さ寸法が1μm以上で形成されている。なお、各凹部15は、深さ寸法が1μm〜10μmで且つ幅寸法が2μm〜40μmとなるように形成されるのが好ましい。また、凹部15,…は、ガラスバルブ9の外周面において、100nm四方に少なくとも一つ形成されている。   The glass bulb 9 includes a plurality of recesses 15 on the outer peripheral surface in order to prevent the reflective film 10 from peeling off. Each recess 15 is formed with a depth dimension of 1 μm or more. Each recess 15 is preferably formed to have a depth dimension of 1 μm to 10 μm and a width dimension of 2 μm to 40 μm. Further, at least one recess 15 is formed on the outer peripheral surface of the glass bulb 9 in a 100 nm square.

反射膜10は、軸心方向全長に亘ってガラスバルブ9の外周面に蒸着されている。そして、反射膜10は、周方向において240°以上の範囲でガラスバルブ9の外周面に蒸着されている。   The reflective film 10 is deposited on the outer peripheral surface of the glass bulb 9 over the entire length in the axial direction. The reflective film 10 is deposited on the outer peripheral surface of the glass bulb 9 in a range of 240 ° or more in the circumferential direction.

本実施形態に係るストロボ装置1及び放電管2の構成については以上の通りであり、次に、本実施形態に係る放電管2の製造方法について説明する。   The configurations of the strobe device 1 and the discharge tube 2 according to the present embodiment are as described above. Next, a method for manufacturing the discharge tube 2 according to the present embodiment will be described.

まず、金属の蒸着を行う前に、ガラスバルブ9の外周面を洗浄する。はじめに、純水が溜められた第1の純水槽で、約5分間、ガラスバルブ9の外周面を超音波洗浄する(予備洗浄工程)。次に、フッ酸(濃度50%溶液)が溜められたフッ酸槽で、約60分間、ガラスバルブ9の外周面を超音波洗浄する(フッ酸洗浄工程)。その後、純水が溜められた第2及び第3の純水槽で、約5分間ずつ、ガラスバルブ9の外周面を超音波洗浄することで、フッ酸を洗い流す。   First, the outer peripheral surface of the glass bulb 9 is cleaned before metal deposition. First, the outer peripheral surface of the glass bulb 9 is ultrasonically cleaned for about 5 minutes in a first pure water tank in which pure water is stored (preliminary cleaning step). Next, the outer peripheral surface of the glass bulb 9 is ultrasonically cleaned for about 60 minutes in a hydrofluoric acid tank in which hydrofluoric acid (50% concentration solution) is stored (hydrofluoric acid cleaning step). Then, the hydrofluoric acid is washed away by ultrasonically cleaning the outer peripheral surface of the glass bulb 9 for about 5 minutes each in the second and third pure water tanks in which pure water is stored.

このとき、第2の純水槽での洗浄(予備すすぎ工程)により、ガラスバルブ9の外周面に付着しているフッ酸をある程度洗い流し、その後、第3の純水槽での洗浄(最終すすぎ工程)により、ガラスバルブ9の外周面に付着しているフッ酸を完全に洗い流す。これにより、ガラスバルブ9の外周面に複数の凹部15,…が形成される。   At this time, the hydrofluoric acid adhering to the outer peripheral surface of the glass bulb 9 is washed away to some extent by washing in the second pure water tank (preliminary rinsing process), and then washing in the third pure water tank (final rinsing process). Thus, the hydrofluoric acid adhering to the outer peripheral surface of the glass bulb 9 is completely washed away. Thereby, a plurality of recesses 15 are formed on the outer peripheral surface of the glass bulb 9.

次に、複数の凹部15,…が形成されたガラスバルブ9の外周面に金属の蒸着を行うための真空蒸着装置について、図3を参酌して説明する。   Next, a vacuum deposition apparatus for performing metal deposition on the outer peripheral surface of the glass bulb 9 in which the plurality of recesses 15 are formed will be described with reference to FIG.

図3に示すように、真空蒸着装置16は、ガラスバルブ9の外周面に金属を蒸着することで反射膜10を形成すべく、ガラスバルブ9,…を固定する蒸着治具17を備える。
なお、蒸着治具17は、ガラスバルブ9を固定した後に、真空チャンバ18内に設置される。また、蒸着治具17は、生産性の観点から、複数のガラスバルブ9,…を固定できるようになっている。
As shown in FIG. 3, the vacuum vapor deposition device 16 includes a vapor deposition jig 17 for fixing the glass bulbs 9,... To form the reflective film 10 by vapor-depositing metal on the outer peripheral surface of the glass bulb 9.
The vapor deposition jig 17 is installed in the vacuum chamber 18 after fixing the glass bulb 9. Further, the vapor deposition jig 17 can fix a plurality of glass bulbs 9 from the viewpoint of productivity.

また、蒸着治具17は、真空チャンバ18内の上方に配置される回転ステージ19に取り付けられるようになっている。そして、真空チャンバ18内の下方には、ガラスバルブ9,…に蒸着されて反射膜10となる金属材の蒸着源20が設置されている。なお、蒸着源20としては、アルミニウムや銀等が用いられる。   The vapor deposition jig 17 is attached to a rotary stage 19 disposed above the vacuum chamber 18. A metal deposition source 20 that is deposited on the glass bulbs 9 to form the reflective film 10 is installed below the vacuum chamber 18. In addition, as the vapor deposition source 20, aluminum, silver, or the like is used.

斯かる構成によれば、蒸着治具17で固定されているガラスバルブ9の軸方向を中心に(図3のB矢印方向に)、回転ステージ19が回転することで、ガラスバルブ9における蒸着源20と対向する外周面の位置を変更することができる。   According to such a configuration, the rotation source 19 rotates around the axial direction of the glass bulb 9 fixed by the vapor deposition jig 17 (in the direction of the arrow B in FIG. 3), so that the vapor deposition source in the glass bulb 9 is obtained. The position of the outer peripheral surface facing 20 can be changed.

そして、ガラスバルブ9,…と蒸着源20とが真空チャンバ18内に設置された後、真空チャンバ18内を真空状態にする。その後、蒸着源20を加熱すると、各ガラスバルブ9に向けて(図3のC矢印方向に)金属材が蒸発するため、各ガラスバルブ9の外周面に反射膜10が形成される。   Then, after the glass bulbs 9 and the vapor deposition source 20 are installed in the vacuum chamber 18, the vacuum chamber 18 is evacuated. Thereafter, when the vapor deposition source 20 is heated, the metal material evaporates toward each glass bulb 9 (in the direction of arrow C in FIG. 3), so that the reflective film 10 is formed on the outer peripheral surface of each glass bulb 9.

次に、各ガラスバルブ9を蒸着治具17に固定する方法と、蒸着治具17を真空チャンバ18内に設置する方法とについて図4を参酌して説明する。   Next, a method for fixing each glass bulb 9 to the vapor deposition jig 17 and a method for installing the vapor deposition jig 17 in the vacuum chamber 18 will be described with reference to FIG.

図4に示すように、蒸着治具17は、ベース板21上に複数の長尺なマスク用治具22が設けられている。そして、互いの長手方向が平行となるように、各マスク用治具22にガラスバルブ9を配置した後、各ガラスバルブ9の端部を押さえ板23で押さえる。さらに、押さえ板23は、各ガラスバルブ9の端部と当接する状態を維持するように、ベース板21上の取付部24にネジ25を介して固定される。   As shown in FIG. 4, the vapor deposition jig 17 is provided with a plurality of long mask jigs 22 on a base plate 21. And after arrange | positioning the glass bulb | ball 9 to each jig | tool 22 for masks so that a mutual longitudinal direction may become parallel, the edge part of each glass bulb | bulb 9 is hold | suppressed with the pressing plate 23. FIG. Further, the presser plate 23 is fixed to the mounting portion 24 on the base plate 21 via a screw 25 so as to maintain a state in contact with the end portion of each glass bulb 9.

そして、ベース板21上に、各マスク用治具22と各ガラスバルブ9とが固定された後、各ガラスバルブ9がマスク用治具22よりも下方に位置する状態(図4における向きと上下が反転している状態)で、蒸着治具17が真空蒸着装置16の真空チャンバ18内に設置される。   Then, after the mask jigs 22 and the glass bulbs 9 are fixed on the base plate 21, the glass bulbs 9 are positioned below the mask jigs 22 (the orientation and the vertical direction in FIG. 4). In a state where the direction is reversed), the vapor deposition jig 17 is installed in the vacuum chamber 18 of the vacuum vapor deposition apparatus 16.

なお、マスク用治具22,…は、ガラスバルブ9,…の外周面に反射膜10が形成されない部位、即ち、光が透過する帯状の透光部11となる部位を設けるためのものである。また、押さえ板23は、マスク用治具22,…とガラスバルブ9,…とを固定すると共に、ガラスバルブ9,…の端部に配置される電極13に成膜されるのを防止している。   The mask jigs 22,... Are provided for providing a portion where the reflective film 10 is not formed on the outer peripheral surface of the glass bulb 9, that is, a portion that becomes a band-like light transmitting portion 11 through which light is transmitted. . Further, the pressing plate 23 fixes the mask jigs 22,... And the glass bulbs 9, and prevents film formation on the electrodes 13 disposed at the ends of the glass bulbs 9,. Yes.

次に、ガラスバルブ9に金属の蒸着を行うことで、ガラスバルブ9の外周面に反射膜10を形成する方法について、図5を参酌して説明する。   Next, a method of forming the reflective film 10 on the outer peripheral surface of the glass bulb 9 by depositing metal on the glass bulb 9 will be described with reference to FIG.

まず、回転ステージ19の回転角度を設定し、ガラスバルブ9と蒸着源20とが対向する第1の方向(図5(a)のD矢印方向)で、ガラスバルブ9に蒸着を行う。このとき、ガラスバルブ9の外周面のうち、蒸着源20に対して正面に位置する部位を中心として、周方向において約180°の範囲で反射膜10が形成される。   First, the rotation angle of the rotary stage 19 is set, and vapor deposition is performed on the glass bulb 9 in the first direction (the direction of arrow D in FIG. 5A) in which the glass bulb 9 and the vapor deposition source 20 face each other. At this time, the reflective film 10 is formed in a range of about 180 ° in the circumferential direction around the portion of the outer peripheral surface of the glass bulb 9 located in front of the vapor deposition source 20.

さらに、ガラスバルブ9の外周面のうち、蒸着源20に対して正面に位置する部位から背面側に向けて、徐々に薄くなるように反射膜10が形成される。なお、マスク用治具22によって覆われるガラスバルブ9の外周面の部位には、金属材が付着しないため、反射膜10が形成されない。   Further, the reflective film 10 is formed so as to gradually become thinner from a portion of the outer peripheral surface of the glass bulb 9 which is located in front of the vapor deposition source 20 toward the back side. In addition, since the metal material does not adhere to the portion of the outer peripheral surface of the glass bulb 9 covered with the mask jig 22, the reflective film 10 is not formed.

次に、回転ステージ19が回転することで、ガラスバルブ9が蒸着源20に対して正面に位置する部位が約90°移動し、図5(b)に示すように、第1の方向と直交する第2の方向(図5(b)のE矢印方向)で、ガラスバルブ9に蒸着を行う。   Next, when the rotary stage 19 is rotated, the portion where the glass bulb 9 is located in front of the vapor deposition source 20 moves about 90 °, and is orthogonal to the first direction as shown in FIG. In the second direction (E arrow direction in FIG. 5B), vapor deposition is performed on the glass bulb 9.

このときも同様に、ガラスバルブ9の外周面のうち、蒸着源20に対して正面に位置する部位を中心として、周方向において約180°の範囲で反射膜10が形成され、さらに、ガラスバルブ9の外周面のうち、蒸着源20に対して正面に位置する部位から背面側に向けて、徐々に薄くなるように反射膜10が形成される。   Similarly, the reflective film 10 is formed in a range of about 180 ° in the circumferential direction around the portion of the outer peripheral surface of the glass bulb 9 that is located in front of the vapor deposition source 20. The reflective film 10 is formed so as to gradually become thinner from the portion located on the front surface with respect to the vapor deposition source 20 to the rear surface side of the outer peripheral surface 9.

そして、上記の手順を、少なくとも2回(必要な膜厚に応じて複数回)行うことにより、マスク用治具22に覆われていないガラスバルブ9の外周面全てに金属材が蒸着する。これにより、蒸着角度が180°を超える反射膜10でも形成可能である。   Then, by performing the above procedure at least twice (multiple times depending on the required film thickness), the metal material is deposited on the entire outer peripheral surface of the glass bulb 9 that is not covered with the mask jig 22. Thereby, it is possible to form the reflective film 10 having a deposition angle exceeding 180 °.

また、ガラスバルブ9の外周面においては、第1の方向からの蒸着と、第2の方向からの蒸着との両方の蒸着において、反射膜10が形成された重複部分26が存在する。そして、図5(c)に示すように、反射膜10は、重複部分26が最も厚く形成され、透光部11側に行くに従って徐々に膜厚が薄くなるように形成される。   On the outer peripheral surface of the glass bulb 9, there is an overlapping portion 26 where the reflective film 10 is formed in both the vapor deposition from the first direction and the vapor deposition from the second direction. As shown in FIG. 5C, the reflective film 10 is formed such that the overlapping portion 26 is formed to be the thickest and the film thickness gradually decreases toward the light transmitting portion 11 side.

図6は、放電管2に形成された反射膜10の反射率(蒸着源20として銀を用いて反射膜10を形成し、発光波長400〜700nm域の分光反射率を測定したときの平均値)と、反射膜10の厚さとの関係を示す表及びグラフである。   FIG. 6 shows the reflectance of the reflective film 10 formed on the discharge tube 2 (average value when the reflective film 10 is formed using silver as the vapor deposition source 20 and the spectral reflectance in the emission wavelength range of 400 to 700 nm is measured. ) And the thickness of the reflective film 10.

上記の結果に基づき、本実施形態においては、反射膜10の厚みが少なくとも50nm以上、好ましくは100nm以上となるように蒸着されている。そして、反射膜10の厚みが50nm以上であれば、従来のストロボ装置に用いられている反射部材(反射傘)と、略同じ反射率(92%)となるため、放電管2内で発生した光を十分に反射させることができる。   Based on the above results, in this embodiment, the reflective film 10 is deposited so that the thickness is at least 50 nm or more, preferably 100 nm or more. If the thickness of the reflective film 10 is 50 nm or more, the reflectance (92%) is substantially the same as that of the reflective member (reflector umbrella) used in the conventional strobe device, and therefore, it occurs in the discharge tube 2. Light can be sufficiently reflected.

さらに、剥離し易い反射膜10の周方向における各端部(前方側の部位)は、反射率が低下しない程度に薄い50nm以上の膜厚で形成する一方、反射膜10の周方向における中央部(後方側の部位)は、放電管2発光時の衝撃や熱によって金属粒子が飛散する恐れがあり、しかも、反射光量の低下を防ぐためにも、100nm以上の膜厚となるように形成するのが好ましい。   Furthermore, each end portion (front side portion) in the circumferential direction of the reflective film 10 that is easily peeled is formed with a film thickness of 50 nm or more that is thin enough that the reflectance does not decrease, while the central portion in the circumferential direction of the reflective film 10 The (rear side part) is formed so as to have a film thickness of 100 nm or more in order to prevent the metal particles from being scattered due to impact or heat at the time of light emission of the discharge tube 2 and to prevent a decrease in the amount of reflected light. Is preferred.

また、反射膜10全域を従来の反射部材(反射傘)よりも高い反射率に設定したい場合は、少なくとも80nm以上で成膜を行うのが好ましい。そして、放電管2の後方部分の反射膜10は、上記の蒸着方法によって100nm以上の膜厚となるため、反射率が周方向に亘って略同じ(約96%)になり平均化でき、その結果、配光ムラを抑制できる。   In addition, when it is desired to set the entire reflective film 10 to have a higher reflectance than that of the conventional reflective member (reflector umbrella), it is preferable to form the film at least 80 nm or more. And since the reflective film 10 of the rear part of the discharge tube 2 becomes a film thickness of 100 nm or more by said vapor deposition method, a reflectance becomes substantially the same (about 96%) over the circumferential direction, and can be averaged. As a result, light distribution unevenness can be suppressed.

ところで、透光部11の周方向の角度(以下「開口角度」ともいう)が一定値以下である、即ち、透光部11が放電管2の光軸方向で放電管2の内径縁部よりも前方側に位置する場合、放電管2内で発生した光が後方に照射するのを防止できる。   By the way, the angle in the circumferential direction of the light transmitting portion 11 (hereinafter also referred to as “opening angle”) is equal to or less than a certain value, that is, the light transmitting portion 11 is closer to the inner peripheral edge of the discharge tube 2 in the optical axis direction of the discharge tube 2. When it is located on the front side, the light generated in the discharge tube 2 can be prevented from irradiating backward.

ここで、斯かる位置における開口角度を2θ、放電管の外半径をR1、放電管の内半径をR2とすると、
cosθ = R2/R1
という関係が成り立つので、放電管の外半径R1と内半径R2との比に対応させて、θを一定値以下にする必要がある。そこで、一般的に製造されている細径の閃光放電管の寸法(タイプ1〜9)を基に、反射膜10の蒸着角度の例を以下の表1に記す。
Here, when the opening angle at such a position is 2θ, the outer radius of the discharge tube is R1, and the inner radius of the discharge tube is R2,
cos θ = R2 / R1
Therefore, it is necessary to make θ equal to or less than a certain value in accordance with the ratio between the outer radius R1 and the inner radius R2 of the discharge tube. Therefore, an example of the deposition angle of the reflective film 10 is shown in the following Table 1 based on the dimensions (types 1 to 9) of a thin flash discharge tube that is generally manufactured.

Figure 2011192444
例えば、タイプ9であれば、外径=1.30mmより、R1=0.65mmとなり、また、内径=0.85mmより、R2=0.425となり、その場合、2θ=98.3°となる。したがって、透光部11が放電管2の光軸方向で放電管2の内径縁部よりも前方側に位置するには、開口角度をこの値(2θ)以下にする必要があるため、反射膜10を形成する蒸着角度を360°(全角度)−98.3°(開口角度)=261.7°以上にしなければならない。
Figure 2011192444
For example, in the case of Type 9, R1 = 0.65 mm from outer diameter = 1.30 mm, and R2 = 0.425 from inner diameter = 0.85 mm. In this case, 2θ = 98.3 °. . Therefore, in order for the translucent portion 11 to be positioned in front of the inner diameter edge of the discharge tube 2 in the optical axis direction of the discharge tube 2, the opening angle needs to be equal to or smaller than this value (2θ). 10 should be 360 ° (all angles) −98.3 ° (opening angle) = 261.7 ° or more.

そして、実用上用いられる種々の放電管2の外径及び内径の関係と、放電管2の製造誤差(部品公差)等とを考慮すると、反射膜10を形成する範囲を240°以上にすることが好ましい。   In consideration of the relationship between the outer diameter and inner diameter of various discharge tubes 2 that are used in practice, and manufacturing errors (part tolerances) of the discharge tube 2, the range for forming the reflective film 10 is set to 240 ° or more. Is preferred.

以上より、本実施形態に係るストロボ装置1によれば、放電管2の反射膜10が周方向において240°以上の範囲で蒸着されているため、放電管2の内部で発生した光が反射膜10で反射される。これにより、所望の方向に光を照射することができるため、光量を損失するのを防止できる。   As described above, according to the strobe device 1 according to the present embodiment, since the reflection film 10 of the discharge tube 2 is deposited in a range of 240 ° or more in the circumferential direction, the light generated inside the discharge tube 2 is reflected by the reflection film. 10 is reflected. Thereby, since light can be irradiated in a desired direction, it is possible to prevent loss of light quantity.

また、本実施形態に係るストロボ装置1によれば、放電管2のガラスバルブ9の外周面に、複数の凹部15,…が設けられている。これにより、例えば、ガラスバルブ9と反射膜10との接触面積が大きくなったり、ガラスバルブ9と反射膜10とが係止し合ったりするため、ガラスバルブ9と反射膜10とが強固に接合し、その結果、反射膜10がガラスバルブ9から剥がれるのを防止できる。   Further, according to the strobe device 1 according to the present embodiment, a plurality of recesses 15 are provided on the outer peripheral surface of the glass bulb 9 of the discharge tube 2. As a result, for example, the contact area between the glass bulb 9 and the reflective film 10 is increased, or the glass bulb 9 and the reflective film 10 are locked together, so that the glass bulb 9 and the reflective film 10 are firmly bonded. As a result, the reflective film 10 can be prevented from being peeled off from the glass bulb 9.

なお、本発明に係るストロボ装置及び放電管は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。また、下記する各種の変更例に係る構成や方法等を任意に選択して、上記した実施形態に係る構成や方法等に採用してもよいことは勿論である。   Note that the strobe device and the discharge tube according to the present invention are not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. Moreover, it is needless to say that configurations, methods, and the like according to various modifications described below may be arbitrarily selected and employed in the configurations, methods, and the like according to the above-described embodiments.

例えば、本発明に係る放電管2においては、反射膜10は、軸心方向における各端部12よりも中央部の方が大きい範囲で蒸着されて構成される場合でもよい。この場合透光部11は軸心方向において反射膜10の全長に渡って存在していればよい。例えば、端部12における反射膜10が蒸着される範囲としては、240°以上で中央部14(中心位置15)における反射膜10が蒸着される範囲としては、端部12より大きく360°より小さければよい。   For example, in the discharge tube 2 according to the present invention, the reflective film 10 may be formed by being deposited in a range where the central portion is larger than the end portions 12 in the axial direction. In this case, the translucent part 11 should just exist over the full length of the reflective film 10 in the axial direction. For example, the range in which the reflective film 10 is deposited on the end 12 is 240 ° or more, and the range in which the reflective film 10 is deposited on the central portion 14 (center position 15) is larger than the end 12 and smaller than 360 °. That's fine.

また、本発明に係る放電管2の製造方法においては、反射部材3を蒸着時のマスク用治具22として用い、放電管2と反射部材3とを組み合わせた状態で蒸着治具17に固定して反射膜10を蒸着する場合でもよい。斯かる製造方法によれば、より簡易に適正な蒸着角度で反射膜10を成形することができる。   Moreover, in the manufacturing method of the discharge tube 2 according to the present invention, the reflecting member 3 is used as a mask jig 22 at the time of vapor deposition, and the discharge tube 2 and the reflecting member 3 are combined and fixed to the vapor deposition jig 17. Alternatively, the reflective film 10 may be deposited. According to such a manufacturing method, the reflective film 10 can be molded more easily at an appropriate vapor deposition angle.

また、上記実施形態に係る放電管2の製造方法においては、ガラスバルブ9の外周に対する蒸着源20からの角度を変化させるために回転ステージ19を回転させていたが、斯かる場合に限られない。例えば、ガラスバルブ9を1本ずつ個別に回転させる場合でもよく、また、蒸着源20を移動させてガラスバルブ9の外周に対する角度を変化させる場合でもよい。   Moreover, in the manufacturing method of the discharge tube 2 according to the above embodiment, the rotary stage 19 is rotated in order to change the angle from the vapor deposition source 20 with respect to the outer periphery of the glass bulb 9, but this is not the only case. . For example, the glass bulbs 9 may be rotated individually one by one, or the evaporation source 20 may be moved to change the angle with respect to the outer periphery of the glass bulb 9.

また、上記実施形態に係る放電管2の製造方法においては、真空蒸着法により蒸着を行う場合を説明したが、斯かる場合に限られず、例えば、スパッタリング法やイオンプレーティング法により蒸着を行う場合でもよい。   Moreover, in the manufacturing method of the discharge tube 2 according to the above-described embodiment, the case where the vapor deposition is performed by the vacuum vapor deposition method has been described. However, the present invention is not limited to such a case. But you can.

本発明に係る放電管及びストロボ装置は、所望の方向に光を照射するため、光量を損失するのを防止できると共に、ガラスバルブの外周面と反射膜とを強固に接合するガラスバルブの外周面から反射膜が剥がれるのを防止できる効果を有し、円筒状のガラスバルブの外周面に金属の蒸着による反射膜が形成される放電管や、当該放電管を備えるストロボ装置として有用である。   Since the discharge tube and the strobe device according to the present invention irradiate light in a desired direction, it is possible to prevent the loss of the light amount, and the outer peripheral surface of the glass bulb that firmly bonds the outer peripheral surface of the glass bulb and the reflective film. It is effective as a discharge tube in which a reflection film is formed by vapor deposition of metal on the outer peripheral surface of a cylindrical glass bulb, and a strobe device equipped with the discharge tube.

1 ストロボ装置
2 放電管
3 反射部材
4 ホルダ
5 光学部材
6 パネル基板
7 電子部品
8 補助光源
9 ガラスバルブ
10 反射膜
11 透光部
12 端部
13 電極
14 電極
15 凹部
16 真空蒸着装置
17 蒸着治具
18 真空チャンバ
19 回転ステージ
20 蒸着源
21 ベース板
22 マスク用治具
23 押さえ板
24 取付部
25 ネジ
26 重複部分

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Strobe device 2 Discharge tube 3 Reflective member 4 Holder 5 Optical member 6 Panel substrate 7 Electronic component 8 Auxiliary light source 9 Glass bulb 10 Reflective film 11 Translucent part 12 End part 13 Electrode 14 Electrode 15 Recessed part 16 Vacuum deposition apparatus 17 Deposition jig 18 Vacuum chamber 19 Rotating stage 20 Deposition source 21 Base plate 22 Mask jig 23 Holding plate 24 Mounting portion 25 Screw 26 Overlapping portion

Claims (3)

円筒状のガラスバルブの外周面に金属の蒸着による反射膜が形成される放電管において、反射膜は、周方向において240°以上の範囲で蒸着され、ガラスバルブは、反射膜が剥がれるのを防止すべく、外周面に複数の凹部を備えることを特徴とする放電管。 In a discharge tube in which a reflective film is formed by vapor deposition of metal on the outer peripheral surface of a cylindrical glass bulb, the reflective film is deposited in a range of 240 ° or more in the circumferential direction, and the glass bulb prevents the reflective film from peeling off. Preferably, the discharge tube is provided with a plurality of recesses on the outer peripheral surface. 各凹部は、深さ寸法が1μm〜10μmとなるように形成されることを特徴とする請求項1に記載の放電管。 2. The discharge tube according to claim 1, wherein each recess is formed to have a depth of 1 μm to 10 μm. 請求項1又は請求項2に記載の放電管を有する発光部を備えることを特徴とするストロボ装置。
A strobe device comprising a light emitting unit having the discharge tube according to claim 1.
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