JP2011167644A

JP2011167644A - Apparatus and control method for droplet discharge

Info

Publication number: JP2011167644A
Application number: JP2010034375A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Mitsui; 清三井; Minoru Koyama; 実小山
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2010-02-19
Filing date: 2010-02-19
Publication date: 2011-09-01

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharge apparatus that performs an appropriate maintenance to a droplet discharge head. <P>SOLUTION: The droplet discharge apparatus includes: a droplet discharge head for discharging a functional fluid as a droplet; an inspection part for inspecting a nozzle plate surface of the droplet discharge head; a maintenance part for maintaining the droplet discharge head; and a control part which makes the inspection part inspect the nozzle plate surface and selects maintenance conditions based on the inspection results of the nozzle plate surface and drives the maintenance part based on the selected maintenance conditions. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法に関する。 The present invention relates to a droplet discharge device and a method for controlling the droplet discharge device.

ワークにパターン膜等を形成する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。当該液滴吐出装置は、パターン膜の材料となる機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを保守するメンテナンス部等を備えている。そして、メンテナンス部には、液滴吐出ヘッドのノズル部における機能液の乾燥（増粘）を防止するために機能液を空吐出させるフラッシングユニットと、液滴吐出ヘッドのノズル部が目詰まりした際にノズル部から機能液を吸引して強制的に排出させる強制吸引ユニットと、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面に付着した機能液等の汚れを拭き取るワイピングユニット等を有している。（例えば、特許文献１参照）。 As an apparatus for forming a pattern film or the like on a workpiece, an ink jet type droplet discharge apparatus is known. The liquid droplet ejection apparatus includes a liquid droplet ejection head that ejects a functional liquid serving as a pattern film material as liquid droplets, a maintenance unit that maintains the liquid droplet ejection head, and the like. The maintenance section includes a flushing unit that idles the functional liquid to prevent drying (thickening) of the functional liquid in the nozzle section of the droplet discharge head, and a nozzle section of the droplet discharge head that is clogged. A forced suction unit that sucks and forcibly discharges the functional liquid from the nozzle portion, and a wiping unit that wipes off dirt such as functional liquid adhering to the nozzle plate surface of the droplet discharge head. (For example, refer to Patent Document 1).

特開平９−７０９６１号公報JP 9-70961 A

ところで、液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドを駆動させ、一定の時間経過後、或いは、一定の描画処理経過後に、機能液の空吐出や機能液の強制吸引等のメンテナンス処理を行っている。しかしながら、上記したメンテナンス処理では、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面の状態を把握しないままに、一義的にメンテナンス処理を行わせるため、例えば、機能液の強制吸引が必要で無いにも関わらず行ってしまい、機能液を無駄にしてしまう（機能液の廃棄量を増加させてしまう）、という課題があった。 By the way, in the droplet discharge device, the droplet discharge head is driven, and maintenance processing such as empty discharge of functional liquid or forced suction of functional liquid is performed after a lapse of a certain time or after a certain drawing process. . However, in the above-described maintenance process, the maintenance process is uniquely performed without grasping the state of the nozzle plate surface of the droplet discharge head. Therefore, there is a problem that the functional liquid is wasted (the amount of the functional liquid discarded is increased).

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査する検査部と、前記液滴吐出ヘッドをメンテナンスするメンテナンス部と、前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、メンテナンス条件を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて前記メンテナンス部を駆動させる制御部と、を備えたことを特徴とする。 Application Example 1 A droplet discharge apparatus according to this application example includes a droplet discharge head that discharges a functional liquid as droplets, an inspection unit that inspects a nozzle plate surface of the droplet discharge head, and the droplet discharge A maintenance unit for maintaining a head; and causing the inspection unit to inspect the nozzle plate surface, selecting a maintenance condition based on an inspection result of the nozzle plate surface, and determining the maintenance unit based on the selected maintenance condition. And a controller to be driven.

この構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面が検査され、当該検査結果に基づき、メンテナンス条件が選択される。そして、選択されたメンテナンス条件によって液滴吐出ヘッドがメンテナンスされる。すなわち、本発明の液滴吐出装置では、一定の時間経過後、或いは、一定の描画処理経過後に、液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うのではなく、検査部によるノズルプレート面の検査に基づいてメンテナンスを行う。従って、例えば、ノズルプレート面の汚れ具合に応じて、特に液滴吐出性に影響しないような汚れに対しては、メンテナンスの実施内容を軽減することが可能となる。このように、ノズルプレート面の検査に基づいて、適宜メンテナンス条件が選択されるため、液滴吐出精度を確保するとともに、メンテナンスの作業効率を向上させることができる。さらには、機能液の廃棄量を削減することができる。 According to this configuration, the nozzle plate surface of the droplet discharge head is inspected, and maintenance conditions are selected based on the inspection result. Then, the droplet discharge head is maintained according to the selected maintenance condition. That is, in the droplet discharge device of the present invention, maintenance is not performed based on the inspection of the nozzle plate surface by the inspection unit, rather than performing maintenance of the droplet discharge head after a certain period of time or after a certain drawing process. I do. Therefore, for example, depending on the degree of dirt on the nozzle plate surface, it is possible to reduce the contents of the maintenance for dirt that does not particularly affect the droplet discharge performance. As described above, since the maintenance conditions are appropriately selected based on the inspection of the nozzle plate surface, it is possible to secure the droplet discharge accuracy and improve the maintenance work efficiency. Furthermore, the amount of functional liquid discarded can be reduced.

［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記メンテナンス部は、前記ノズルプレート面を拭くワイパー部を含み、前記制御部では、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記ワイパー部を駆動させ、前記ワイパー部で前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭かせることを特徴とする。 Application Example 2 The maintenance unit of the droplet discharge device according to the application example includes a wiper unit that wipes the nozzle plate surface, and the control unit uses the nozzle plate surface based on an inspection result of the nozzle plate surface. It is determined whether wiping of the surface is necessary, and when wiping of the nozzle plate surface is necessary, the wiper unit is driven, and the wiper unit wipes the nozzle plate surface of the droplet discharge head. And

この構成によれば、一義的にメンテナンスを実行させるのではなく、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査し、当該検査結果に基づき、まず、ノズルプレート面の拭き取りが必要か否か判断される。そして、例えば、ノズルプレート面の検査により、特に液滴吐出性に影響しないような汚れの場合には、ノズルプレート面の拭き取りが不要とすることが可能となる。すなわち、メンテナンスの作業が低減され、メンテナンス作業効率を向上させることができる。 According to this configuration, the maintenance is not performed uniquely, but the nozzle plate surface of the droplet discharge head is inspected, and based on the inspection result, it is first determined whether or not the nozzle plate surface needs to be wiped. . Then, for example, when the dirt on the nozzle plate surface is not particularly affected by the inspection of the nozzle plate surface, it is possible to eliminate the need to wipe the nozzle plate surface. That is, maintenance work is reduced, and maintenance work efficiency can be improved.

［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記メンテナンス部は、前記ワイパー部と、前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させるフラッシング部と、前記液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引する強制吸引部と、を含み、前記制御部では、前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記ワイパー部で前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭かせ、前記ワイパー部で前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭かせた後に、前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記メンテナンス部から少なくとも一を選択し、選択された一の前記メンテナンス部を駆動させることを特徴とする。 Application Example 3 The maintenance unit of the droplet discharge device according to the application example includes the wiper unit, a flushing unit that discharges the functional liquid from the droplet discharge head, and the functional liquid from the droplet discharge head. Whether or not it is necessary to wipe the nozzle plate surface based on the inspection result of the nozzle plate surface, and the control unit causes the inspection unit to inspect the nozzle plate surface. When the nozzle plate surface needs to be wiped, the wiper portion wipes the nozzle plate surface of the droplet discharge head, and the wiper portion wipes the nozzle plate surface of the droplet discharge head. After that, let the inspection unit inspect the nozzle plate surface, and select at least one from the maintenance unit based on the inspection result of the nozzle plate surface , Characterized in that to drive the maintenance unit one chosen.

この構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面が検査され、当該検査結果に基づき、まず、ノズルプレート面の拭き取りが必要か否か判断される。そして、ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、ワイパー部で液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせる。その後、再度、ノズルプレート面の検査を行い、当該際検査結果に基づいて、ノズルプレート面を拭き取るか、液滴吐出ヘッドから機能液を空吐出させるか、液滴吐出ヘッドから強制的に機能液を吸引するか、そのノズルプレート面の状況に応じて適宜選択される。従って、従来のように、例えば、一義的に、空吐出や強制吸引を実行させるのではなく、再度、ノズルプレート面を拭いた後、ノズル検査を行うことにより、より詳細にノズルプレート面の状況（汚れ具合等）を把握し、ノズルプレート面の状況に応じたメンテナンスを行うことができる。これにより、メンテナンスの作業を効率化させることができるとともに、空吐出や強制吸引による機能液の廃棄量を削減することができる。 According to this configuration, the nozzle plate surface of the droplet discharge head is inspected, and based on the inspection result, it is first determined whether it is necessary to wipe the nozzle plate surface. When the nozzle plate surface needs to be wiped, the wiper portion wipes the nozzle plate surface of the droplet discharge head. Thereafter, the nozzle plate surface is inspected again, and based on the inspection result, the nozzle plate surface is wiped, the functional liquid is discharged from the liquid droplet ejection head, or the functional liquid is forcibly ejected from the liquid droplet ejection head. Or is appropriately selected according to the state of the nozzle plate surface. Therefore, for example, the state of the nozzle plate surface is more specifically performed by performing nozzle inspection after wiping the nozzle plate surface again, for example, instead of executing empty ejection or forced suction uniquely. It is possible to grasp (contamination etc.) and perform maintenance according to the state of the nozzle plate surface. As a result, maintenance work can be made more efficient, and the amount of functional liquid discarded due to idle ejection or forced suction can be reduced.

［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記フラッシング部、または、前記強制吸引部を駆動させた後に、前記ワイパー部で前記ノズルプレート面を拭かせることを特徴とする。 Application Example 4 In the control unit of the droplet discharge device according to the application example, after the flushing unit or the forced suction unit is driven, the wiper unit wipes the nozzle plate surface. And

この構成によれば、フラッシング部、または、強制吸引部を駆動させると、ノズルプレート面に機能液が付着する場合があり、この場合において、吐出性能を低下させてしまうおそれがある。そこで、フラッシング部、または、強制吸引部を駆動させた後に、ノズルプレート面を拭くことにより、ノズルプレート面に付着した機能液が除去され、吐出性能を確保することができる。 According to this configuration, when the flushing unit or the forced suction unit is driven, the functional liquid may adhere to the nozzle plate surface, and in this case, the discharge performance may be deteriorated. Therefore, by driving the flushing part or the forced suction part and then wiping the nozzle plate surface, the functional liquid adhering to the nozzle plate surface is removed, and the discharge performance can be ensured.

［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記液滴吐出ヘッドがワークに対して前記液滴を吐出している液滴吐出期間以外の期間に、前記ノズルプレート面を検査させることを特徴とする。 Application Example 5 In the control unit of the droplet discharge device according to the application example, the nozzle plate is used in a period other than the droplet discharge period in which the droplet discharge head discharges the droplets onto a workpiece. The surface is inspected.

この構成によれば、一定の時間経過後、或いは、一定の描画処理経過後に、ノズルプレート面を検査させるのではなく、液滴吐出ヘッドがワークに対して液滴を吐出している液滴吐出期間以外の期間、例えば、液滴吐出ヘッドが待機している期間等にノズルプレート面を検査させる。従って、液滴吐出作業の効率を低下させることなく、確実にノズルプレート面の状況を把握することができる。 According to this configuration, after a certain time elapses or after a certain drawing process elapses, the liquid droplet ejection head ejects liquid droplets onto the workpiece rather than inspecting the nozzle plate surface. The nozzle plate surface is inspected during a period other than the period, for example, during a period when the droplet discharge head is waiting. Therefore, it is possible to reliably grasp the state of the nozzle plate surface without reducing the efficiency of the droplet discharge operation.

［適用例６］本適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の制御方法であって、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドのメンテナンス条件を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて、前記液滴吐出ヘッドに対してメンテナンスを実行させることを特徴とする。 Application Example 6 A method for controlling a droplet discharge device according to this application example is a method for controlling a droplet discharge device including a droplet discharge head that discharges a functional liquid as droplets. The nozzle plate surface is inspected, maintenance conditions for the droplet ejection head are selected based on the inspection result of the nozzle plate surface, and maintenance is performed on the droplet ejection head based on the selected maintenance conditions. Is executed.

この構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面が検査され、当該検査結果に基づき、メンテナンス条件が選択される。そして、選択されたメンテナンス条件によって液滴吐出ヘッドがメンテナンスされる。すなわち、本発明の液滴吐出装置では、一定の時間経過後、或いは、一定の描画処理経過後に、液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うのではなく、ノズルプレート面の検査に基づいてメンテナンスを行う。従って、例えば、ノズルプレート面の汚れ具合に応じて、特に液滴吐出性に影響しないような汚れに対しては、メンテナンスの実施内容を軽減することが可能となる。このように、ノズルプレート面の検査に基づいて、適宜メンテナンス条件が選択されるため、液滴吐出精度を確保するとともに、メンテナンスの作業効率を向上させることができる。さらには、機能液の廃棄量を削減することができる。 According to this configuration, the nozzle plate surface of the droplet discharge head is inspected, and maintenance conditions are selected based on the inspection result. Then, the droplet discharge head is maintained according to the selected maintenance condition. That is, in the droplet discharge device of the present invention, maintenance is performed based on the inspection of the nozzle plate surface instead of performing maintenance of the droplet discharge head after a certain period of time or a certain drawing process. Therefore, for example, depending on the degree of dirt on the nozzle plate surface, it is possible to reduce the contents of the maintenance for dirt that does not particularly affect the droplet discharge performance. As described above, since the maintenance conditions are appropriately selected based on the inspection of the nozzle plate surface, it is possible to secure the droplet discharge accuracy and improve the maintenance work efficiency. Furthermore, the amount of functional liquid discarded can be reduced.

［適用例７］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法では、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせることを特徴とする。 Application Example 7 In the control method of the droplet discharge device according to the application example, it is determined whether or not the nozzle plate surface needs to be wiped based on the inspection result of the nozzle plate surface, and the nozzle plate surface When wiping is necessary, the nozzle plate surface of the droplet discharge head is wiped off.

［適用例８］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法では、前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせ、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせた後に、前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記メンテナンス条件のうち、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取るか、前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させるか、前記液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引するか、を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて、前記液滴吐出ヘッドに対してメンテナンスを実行させることを特徴とする。 Application Example 8 In the method for controlling a droplet discharge device according to the application example, the nozzle plate surface is inspected, and whether or not the nozzle plate surface needs to be wiped based on the inspection result of the nozzle plate surface is determined. If the nozzle plate surface needs to be wiped, the nozzle plate surface of the droplet discharge head is wiped off, and after the nozzle plate surface of the droplet discharge head is wiped off, the nozzle plate surface is Based on the inspection result of the nozzle plate surface, the nozzle plate surface of the droplet discharge head is wiped out of the maintenance conditions, the functional liquid is discharged from the droplet discharge head, or the droplet discharge is performed. Select whether to forcibly draw the functional liquid from the head, and maintain the droplet discharge head based on the selected maintenance condition. Characterized in that to execute Nsu.

この構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面が検査され、当該検査結果に基づき、まず、ノズルプレート面の拭き取りが必要か否か判断される。そして、ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、ワイパー部で液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせる。その後、再度、ノズルプレート面の検査を行い、当該際検査結果に基づいて、ノズルプレート面を拭き取るか、液滴吐出ヘッドから機能液を空吐出させるか、液滴吐出ヘッドから強制的に機能液を吸引するか、そのノズルプレート面の状況に応じて適宜選択される。従って、従来のように、例えば、一義的に、空吐出や強制吸引を実行させるのではなく、再度、ノズルプレート面を拭き取った後、ノズル検査を行うことにより、より詳細にノズルプレート面の状況（汚れ具合等）を把握し、ノズルプレート面の状況に応じてメンテナンスを行うことができる。これにより、メンテナンスの作業を効率化させることができるとともに、空吐出や強制吸引による機能液の廃棄量を削減することができる。 According to this configuration, the nozzle plate surface of the droplet discharge head is inspected, and based on the inspection result, it is first determined whether it is necessary to wipe the nozzle plate surface. When the nozzle plate surface needs to be wiped, the wiper portion wipes the nozzle plate surface of the droplet discharge head. Thereafter, the nozzle plate surface is inspected again, and based on the inspection result, the nozzle plate surface is wiped, the functional liquid is discharged from the liquid droplet ejection head, or the functional liquid is forcibly ejected from the liquid droplet ejection head. Or is appropriately selected according to the state of the nozzle plate surface. Therefore, for example, the state of the nozzle plate surface in more detail by performing nozzle inspection after wiping off the nozzle plate surface again, instead of executing, for example, idle discharge or forced suction as is conventional. It is possible to grasp (contamination etc.) and perform maintenance according to the state of the nozzle plate surface. As a result, maintenance work can be made more efficient, and the amount of functional liquid discarded due to idle ejection or forced suction can be reduced.

［適用例９］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法では、前記メンテナンス条件のうち、前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させた後、または、前記液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引させた後に、前記ノズルプレート面を拭かせることを特徴とする。 Application Example 9 In the method for controlling a droplet discharge device according to the above application example, the functional liquid is discharged from the droplet discharge head or the functional liquid is discharged from the droplet discharge head among the maintenance conditions. The nozzle plate surface is wiped after forcibly sucking.

この構成によれば、液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させた後、または、液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引させた後に、ノズルプレート面に機能液が付着する場合があり、この場合において、吐出性能を低下させてしまうおそれがある。そこで、液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させた後、または、液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引させた後に、ノズルプレート面を拭き取りすることにより、余分に付着した機能液が除去され、吐出性能を確保することができる。 According to this configuration, the functional liquid may adhere to the nozzle plate surface after the functional liquid is discharged from the droplet discharge head or after the functional liquid is forcibly sucked from the droplet discharge head. In this case, there is a possibility that the discharge performance is deteriorated. Therefore, after discharging the functional liquid from the droplet discharge head, or after forcibly sucking the functional liquid from the droplet discharge head, the excess functional liquid is removed by wiping the nozzle plate surface. Thus, the discharge performance can be ensured.

［適用例１０］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法では、前記液滴吐出ヘッドがワークに対して前記液滴を吐出している液滴吐出期間以外の期間に、前記ノズルプレート面を検査させることを特徴とする。 Application Example 10 In the method of controlling a droplet discharge device according to the above application example, the nozzle plate surface may be used in a period other than the droplet discharge period in which the droplet discharge head discharges the droplets onto a workpiece. It is characterized by having it inspect.

液滴吐出装置の構成を示す斜視図。The perspective view which shows the structure of a droplet discharge apparatus. 吐出ヘッドの構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of an ejection head. 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。The electric control block diagram of a droplet discharge device. 液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャート。6 is a flowchart showing a method for controlling the droplet discharge device.

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings. In addition, each member in each drawing is illustrated with a different reduction for each member in order to make the size recognizable on each drawing.

（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。液滴吐出装置１は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１４と、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面を検査する検査部６０と、液滴吐出ヘッド１４をメンテナンス（保守）するメンテナンス部２１等を備え、さらに、これらの部材等を制御する制御部を備えている。以下、具体的に説明する。 (Configuration of droplet discharge device)
First, the configuration of the droplet discharge device will be described. FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration of a droplet discharge device. The droplet discharge device 1 maintains the droplet discharge head 14 that discharges the functional liquid as droplets, the inspection unit 60 that inspects the nozzle plate surface of the droplet discharge head 14, and the droplet discharge head 14. A maintenance unit 21 and the like are provided, and a control unit that controls these members and the like is further provided. This will be specifically described below.

図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。 As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a base 2 formed in a rectangular parallelepiped shape. In the present embodiment, the longitudinal direction of the base 2 is the Y direction, and the direction orthogonal to the Y direction is the X direction.

基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブル及びワーク移動テーブルとしてのステージ４が取り付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モーターに入力されると、Ｙ軸モーターが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。 On the upper surface 2a of the base 2, a pair of guide rails 3a and 3b extending in the Y direction are provided so as to protrude over the entire width in the Y direction. On the upper side of the base 2, a table constituting a scanning means having a linear motion mechanism (not shown) corresponding to the pair of guide rails 3a and 3b and a stage 4 as a work moving table are attached. The linear movement mechanism of the stage 4 is, for example, a screw type linear movement mechanism including a screw shaft (drive shaft) extending in the Y direction along the guide rails 3a and 3b and a ball nut screwed to the screw shaft. The drive shaft is connected to a Y-axis motor (not shown) that receives a predetermined pulse signal and rotates forward and backward in units of steps. When a drive signal corresponding to a predetermined number of steps is input to the Y-axis motor, the Y-axis motor rotates forward or reversely, and the stage 4 corresponds to the same number of steps along the Y-axis direction. The robot moves forward or backward (scans in the Y direction) at a predetermined speed.

さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。 Further, a main scanning position detection device 5 is disposed on the upper surface 2a of the base 2 in parallel with the guide rails 3a and 3b so that the position of the stage 4 can be measured.

そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基材チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワーク７を載置すると、基材チャック機構によって、そのワーク７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。 A placement surface 6 is formed on the upper surface of the stage 4, and a suction-type base material chuck mechanism (not shown) is provided on the placement surface 6. When the workpiece 7 is placed on the placement surface 6, the workpiece 7 is positioned and fixed at a predetermined position on the placement surface 6 by the base material chuck mechanism.

基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９は、その長手方向の幅がステージ４のＸ方向よりも長く形成され、その一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。案内部材９の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。 A pair of support bases 8a and 8b are erected on both sides of the base 2 in the X direction, and a guide member 9 extending in the X direction is installed on the pair of support bases 8a and 8b. The guide member 9 is formed such that its longitudinal width is longer than the X direction of the stage 4 and its one end projects toward the support base 8a. On the upper side of the guide member 9, a storage tank 10 for storing the liquid to be discharged is provided. On the other hand, a guide rail 11 extending in the X direction is provided below the guide member 9 so as to protrude over the entire width in the X direction.

案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば案内レール１１に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モーターに入力すると、Ｘ軸モーターが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、キャリッジ１２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１４が設置されている。 The carriage 12 arranged so as to be movable along the guide rail 11 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. The linear movement mechanism of the carriage 12 is, for example, a screw type linear movement mechanism including a screw shaft (drive shaft) extending in the X direction along the guide rail 11 and a ball nut screwed to the screw shaft, The drive shaft is connected to an X-axis motor (not shown) that receives a predetermined pulse signal and rotates forward and backward in steps. When a drive signal corresponding to a predetermined number of steps is input to the X-axis motor, the X-axis motor rotates forward or reverse, and the carriage 12 moves forward or backward along the X direction by the amount corresponding to the same number of steps. Move (scan in X direction). A sub-scanning position detector 13 is arranged between the guide member 9 and the carriage 12 so that the position of the carriage 12 can be measured. A droplet discharge head 14 is installed on the lower surface of the carriage 12 (the surface on the stage 4 side).

基台２の片側の一方（図中Ｘ方向の逆方向）には、保守用基台１５が配置されている。保守用基台１５の上面１５ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１６ａ，１６ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その保守用基台１５の上側には、一対の案内レール１６ａ，１６ｂに対応する図示しない直動機構を備えた移動手段を構成する保守ステージ１７が取り付けられている。その保守ステージ１７の直動機構は、例えばステージ４と同様の直動機構であり、Ｙ方向に沿って往動又は、復動するようになっている。 A maintenance base 15 is arranged on one side of the base 2 (opposite to the X direction in the figure). On the upper surface 15a of the maintenance base 15, a pair of guide rails 16a and 16b extending in the Y direction are provided so as to protrude over the entire width in the Y direction. On the upper side of the maintenance base 15, a maintenance stage 17 constituting a moving means provided with a linear motion mechanism (not shown) corresponding to the pair of guide rails 16a and 16b is attached. The linear movement mechanism of the maintenance stage 17 is a linear movement mechanism similar to the stage 4, for example, and moves forward or backward along the Y direction.

保守ステージ１７の上には、検査部６０及びメンテナンス部２１が配置されている。検査部６０は、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａ（図２参照）を検査するものである。具体的には、検査部６０は、例えば、カメラ部６１を備えており、当該カメラ部６１によって液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを検査することができる。なお、カメラ部６１を複数個備えた構成であってもよいし、カメラ部６１をノズルプレート面３０ａに対向して平行移動させる移動部を備えた構成であってもよい。 An inspection unit 60 and a maintenance unit 21 are disposed on the maintenance stage 17. The inspection unit 60 inspects the nozzle plate surface 30a (see FIG. 2) of the droplet discharge head 14. Specifically, the inspection unit 60 includes, for example, a camera unit 61, and the camera unit 61 can inspect the nozzle plate surface 30 a of the droplet discharge head 14. In addition, the structure provided with two or more camera parts 61 may be sufficient, and the structure provided with the moving part which translates the camera part 61 facing the nozzle plate surface 30a may be sufficient.

メンテナンス部２１は、フラッシング部１８、強制吸引部１９及びワイパー部２０とを備えている。フラッシング部１８は、液滴吐出ヘッド１４のノズル部における機能液の乾燥（増粘）を防止するために機能液を空吐出させるためのものである。 The maintenance unit 21 includes a flushing unit 18, a forced suction unit 19, and a wiper unit 20. The flushing unit 18 is for discharging the functional liquid in order to prevent the functional liquid from drying (thickening) in the nozzle part of the droplet discharge head 14.

強制吸引部１９は、液滴吐出ヘッド１４のノズル部が目詰まりした際にノズル部から機能液を強制的に吸引して、機能液を排出させるものである。強制吸引部１９には、液滴吐出ヘッド１４から吐出された機能液を捕獲する捕獲部と、液滴吐出ヘッド１４の機能液を強制的に吸引するための吸引ポンプ等を備えている。なお、捕獲部は、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面をキャッピングする（覆う）機能を有しており、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面を覆う（キャッピングする）ことにより、液滴吐出ヘッド１４のノズル部の機能液の増粘を防止することができる。 The forced suction part 19 forcibly sucks the functional liquid from the nozzle part and discharges the functional liquid when the nozzle part of the droplet discharge head 14 is clogged. The forced suction unit 19 includes a capturing unit that captures the functional liquid discharged from the droplet discharge head 14 and a suction pump that forcibly sucks the functional liquid from the droplet discharge head 14. Note that the capture unit has a function of capping (covering) the nozzle plate surface of the droplet discharge head 14, and by covering (capping) the nozzle plate surface of the droplet discharge head 14, the droplet discharge head. It is possible to prevent thickening of the functional liquid in the 14 nozzle portions.

ワイパー部２０は、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを拭く装置である。例えば、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａに機能液等が付着した場合、付着している機能液等とワーク７とが接触して、ワーク７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイパー部２０は、ノズルプレート面３０ａを拭くことにより、ワーク７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。なお、ワイパー部２０は、例えば、繊維布やゴム製のブレード等で構成されている。 The wiper unit 20 is a device that wipes the nozzle plate surface 30 a of the droplet discharge head 14. For example, when functional liquid or the like adheres to the nozzle plate surface 30a of the droplet discharge head 14, the adhered functional liquid or the like and the workpiece 7 come into contact with each other, and the droplet adheres to the work 7 at an unscheduled location. May end up. The wiper unit 20 prevents the droplets from adhering to an unscheduled location on the work 7 by wiping the nozzle plate surface 30a. The wiper unit 20 is composed of, for example, a fiber cloth or a rubber blade.

保守用基台１５と基台２との間には、重量測定装置２２が配置されている。重量測定装置２２には、電子天秤が設置され、電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、液滴吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、液滴吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定し、吐出前後の受け皿の重量の差分を測定している。 A weight measuring device 22 is arranged between the maintenance base 15 and the base 2. The weight measuring device 22 is provided with an electronic balance, and a tray is disposed on the electronic balance. A droplet is ejected from the droplet ejection head 14 to a tray, and an electronic balance measures the weight of the droplet. The tray is provided with a sponge-like absorber so that the ejected liquid droplets bounce and do not come out of the tray. The electronic balance measures the weight of the saucer before and after the droplet ejection head 14 ejects droplets, and measures the difference in the weight of the saucer before and after ejection.

キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って、Ｘ方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１４は、検査部６０、メンテナンス部２１、重量測定装置２２、ワーク７と対向する場所に移動することができるように構成されている。 As the carriage 12 moves in the X direction along the guide rail 11, the droplet discharge head 14 can move to a location facing the inspection unit 60, the maintenance unit 21, the weight measuring device 22, and the workpiece 7. It is configured to be able to.

（吐出ヘッドの構成）
図２は、吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図２に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３２が形成されている。そして、収容タンク１０から機能液が供給され、各キャビティ３２内に機能液３３で充填される。 (Discharge head configuration)
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the ejection head. As shown in FIG. 2, the droplet discharge head 14 includes a nozzle plate 30, and a nozzle 31 is formed on the nozzle plate 30. A cavity 32 communicating with the nozzle 31 is formed at a position above the nozzle plate 30 and facing the nozzle 31. Then, the functional liquid is supplied from the storage tank 10, and each cavity 32 is filled with the functional liquid 33.

キャビティ３２の上側には、上下方向（Ｚ方向：縦振動）に振動して、キャビティ３２内の容積を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる加圧手段としての圧電素子３５が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド１４が圧電素子３５を制御駆動するための駆動信号を受けると、圧電素子３５が伸張して、振動板３４がキャビティ３２内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液３３が液滴３６として吐出される。ここで、ノズルプレート面３０ａは、ノズルプレート３０において液滴３６が吐出される方向の面をいう。また、本実施形態では、加圧手段として、縦振動型の圧電素子３５を用いたが、特にこれに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子を用いるようにしてもよい。また、圧力発生手段として、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用してもよい。さらには、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液を液滴として吐出させる構成を有する吐出ヘッドであってもよい。 Above the cavity 32, a vibration plate 34 that vibrates in the vertical direction (Z direction: longitudinal vibration) and expands and contracts the volume in the cavity 32, and a pressurizing unit that expands and contracts in the vertical direction to vibrate the vibration plate 34. The piezoelectric element 35 is disposed. When the droplet discharge head 14 receives a drive signal for controlling and driving the piezoelectric element 35, the piezoelectric element 35 expands and the diaphragm 34 reduces the volume in the cavity 32. As a result, the functional liquid 33 corresponding to the reduced volume is discharged as droplets 36 from the nozzles 31 of the droplet discharge head 14. Here, the nozzle plate surface 30a refers to a surface in the direction in which the droplets 36 are discharged from the nozzle plate 30. In the present embodiment, the longitudinal vibration type piezoelectric element 35 is used as the pressurizing means. However, the present invention is not particularly limited thereto. For example, a bending deformation type in which a lower electrode, a piezoelectric layer, and an upper electrode are stacked. The piezoelectric element may be used. Further, as the pressure generating means, a so-called electrostatic actuator that generates static electricity between the diaphragm and the electrode, deforms the diaphragm by electrostatic force, and discharges a droplet from the nozzle may be used. Furthermore, the discharge head which has the structure which generates a bubble in a nozzle using a heat generating body, and discharges a functional liquid as a droplet with the bubble may be sufficient.

（電気制御の構成）
図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１は、制御部４０を備えており、各種の部材等を制御する。例えば、制御部４０では、検査部６０にノズルプレート面３０ａを検査させ、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、メンテナンス条件を選択し、選択されたメンテナンス条件に基づいてメンテナンス部２１を駆動させる。また、制御部４０は、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要か否かを判断し、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要な場合に、ワイパー部２０で液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを拭かせる。さらに、制御部４０は、検査部６０にノズルプレート面３０ａを検査させ、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要か否かを判断し、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要な場合に、ワイパー部２０で液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを拭かせ、ワイパー部２０で液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを拭かせた後に、検査部６０にノズルプレート面３０ａを検査させ、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、メンテナンス部２１から少なくとも一を選択し、選択されたメンテナンス部２１を駆動させる。以下、詳細な構成について説明する。 (Electric control configuration)
FIG. 3 is an electric control block diagram of the droplet discharge device. In FIG. 3, the droplet discharge device 1 includes a control unit 40 and controls various members and the like. For example, the control unit 40 causes the inspection unit 60 to inspect the nozzle plate surface 30a, selects a maintenance condition based on the inspection result of the nozzle plate surface 30a, and drives the maintenance unit 21 based on the selected maintenance condition. . Further, the control unit 40 determines whether or not the nozzle plate surface 30a needs to be wiped based on the inspection result of the nozzle plate surface 30a. When the nozzle plate surface 30a needs to be wiped, the wiper unit 20 The nozzle plate surface 30a of the droplet discharge head 14 is wiped. Further, the control unit 40 causes the inspection unit 60 to inspect the nozzle plate surface 30a, determines whether or not the nozzle plate surface 30a needs to be wiped based on the inspection result of the nozzle plate surface 30a, and determines the nozzle plate surface 30a. When wiping is required, the wiper unit 20 wipes the nozzle plate surface 30a of the droplet discharge head 14 and the wiper unit 20 wipes the nozzle plate surface 30a of the droplet discharge head 14 before the inspection unit 60 sets the nozzle The plate surface 30a is inspected, at least one is selected from the maintenance unit 21 based on the inspection result of the nozzle plate surface 30a, and the selected maintenance unit 21 is driven. The detailed configuration will be described below.

制御部４０は、プロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４０ａと、各種情報を記憶するメモリー４０ｂとを有している。制御部４０は、メモリー４０ｂ内に記憶されたプログラムソフト等に従って、ワーク７における表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御や液滴吐出ヘッド１４をメンテナンスするための制御等を行うものである。 The control unit 40 includes a CPU (arithmetic processing unit) 40a that performs various arithmetic processes as a processor, and a memory 40b that stores various types of information. The control unit 40 performs control for discharging droplets of the functional liquid to a predetermined position on the surface of the work 7 and control for maintaining the droplet discharge head 14 according to the program software stored in the memory 40b. Is.

主走査駆動装置４２、副走査駆動装置４３、保守ステージ駆動装置５１、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３、液滴吐出ヘッド１４を駆動するヘッド駆動回路４４は、入出力インターフェース４５およびバス４６を介して制御部４０に接続されている。さらに、入力装置４７、ディスプレー４８、重量測定装置２２を構成する電子天秤４９、フラッシング部１８、強制吸引部１９、ワイパー部２０及び検査部６０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介して制御部４０に接続されている。 The main scanning driving device 42, the sub scanning driving device 43, the maintenance stage driving device 51, the main scanning position detection device 5, the sub scanning position detection device 13, and the head drive circuit 44 that drives the droplet discharge head 14 are input / output interface 45. And connected to the control unit 40 via the bus 46. Further, the input device 47, the display 48, the electronic balance 49 constituting the weight measuring device 22, the flushing unit 18, the forced suction unit 19, the wiper unit 20, and the inspection unit 60 are also connected to the control unit 40 via the input / output interface 45 and the bus 46. It is connected to the.

主走査駆動装置４２は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４３は、キャリッジ１２の移動を制御する装置である。保守ステージ駆動装置５１は、保守ステージ１７の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置４２が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３が、キャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置４３が、キャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。保守ステージ駆動装置５１が、保守ステージ１７の移動を制御し、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、検査部６０、フラッシング部１８、強制吸引部１９、ワイパー部２０を移動させることができる。 The main scanning drive device 42 is a device that controls the movement of the stage 4, and the sub-scanning drive device 43 is a device that controls the movement of the carriage 12. The maintenance stage driving device 51 is a device that controls the movement of the maintenance stage 17. The main scanning position detection device 5 recognizes the position of the stage 4 and the main scanning driving device 42 controls the movement of the stage 4 so that the stage 4 can be moved and stopped to a desired position. Yes. Similarly, the sub-scanning position detection device 13 recognizes the position of the carriage 12 and the sub-scanning drive device 43 controls the movement of the carriage 12 so that the carriage 12 can be moved to a desired position and stopped. It has become. The maintenance stage driving device 51 controls the movement of the maintenance stage 17 and can move the inspection unit 60, the flushing unit 18, the forced suction unit 19, and the wiper unit 20 to a place facing the droplet discharge head 14.

入力装置４７は、液滴を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、ワーク７に液滴を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレー４８は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレー４８に表示される情報を基に、入力装置４７を用いて操作を行うことができる。 The input device 47 is a device that inputs various processing conditions for ejecting droplets. For example, the input device 47 is a device that receives and inputs coordinates for ejecting droplets onto the work 7 from an external device (not shown). The display 48 is a device that displays processing conditions and work status, and an operator can perform an operation using the input device 47 based on information displayed on the display 48.

電子天秤４９は、液滴吐出ヘッド１４が吐出する液滴を受ける、受け皿の重量を測定する装置である。液滴が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値を制御部４０に送信する。 The electronic balance 49 is a device that receives the droplets ejected by the droplet ejection head 14 and measures the weight of the tray. The weight of the saucer before and after the droplet is ejected is measured, and the measured value is transmitted to the control unit 40.

メモリー４０ｂは、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、ワーク７内における吐出位置の座標データである吐出位置データを記憶するための記憶領域が設定される。さらに、ワーク７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４０ａのためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域や、液滴吐出ヘッド１４のメンテナンス条件及びメンテナンス動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。 The memory 40b is a concept including a semiconductor memory such as a RAM and a ROM, and an external storage device such as a hard disk and a CD-ROM. Functionally, there is a storage area for storing program software in which an operation control procedure in the droplet discharge apparatus 1 is described, and a storage area for storing discharge position data that is coordinate data of the discharge position in the work 7. Is set. Further, a storage area for storing a main scanning movement amount for moving the workpiece 7 in the main scanning direction (Y direction) and a sub scanning movement amount for moving the carriage 12 in the sub scanning direction (X direction); A storage area that functions as a work area, a temporary file, etc., a storage area that stores program software that describes the maintenance conditions of the droplet discharge head 14 and the control procedure of the maintenance operation, and other various storage areas are set. .

（液滴吐出装置の制御方法について）
次に、液滴吐出装置の制御方法について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャートである。 (Regarding the control method of the droplet discharge device)
Next, a method for controlling the droplet discharge device will be described. FIG. 4 is a flowchart showing a method for controlling the droplet discharge device.

ステップＳ１１では、ノズルプレート面３０ａの検査を行う。具体的には、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａと検査部６０とを対向させた後、検査部６０を駆動させ、カメラ部６１でノズルプレート面３０ａの状況データを取得させる。なお、本実施形態では、ノズルプレート面３０ａの検査は、液滴吐出ヘッド１４がワーク７に対して液滴３６を吐出している液滴吐出期間以外の期間に行う。つまり、液滴吐出ヘッド１４が、メンテナンス領域（ホームポジション）に待機している期間に行う。このようにすれば、液滴吐出作業の効率を低下させることなく、検査を行うことができる。 In step S11, the nozzle plate surface 30a is inspected. Specifically, after the nozzle plate surface 30a of the droplet discharge head 14 and the inspection unit 60 are opposed to each other, the inspection unit 60 is driven, and the camera unit 61 acquires the status data of the nozzle plate surface 30a. In the present embodiment, the inspection of the nozzle plate surface 30 a is performed during a period other than the droplet discharge period during which the droplet discharge head 14 discharges the droplets 36 to the workpiece 7. That is, it is performed while the droplet discharge head 14 is waiting in the maintenance area (home position). In this way, inspection can be performed without reducing the efficiency of the droplet discharge operation.

ステップＳ１２では、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要か否かを判断する。具体的には、ステップＳ１１のノズルプレート面３０ａの検査結果（ノズルプレート面３０ａの状況データ）に基づいて、例えば、ノズルプレート面３０ａの汚れ具合から、液滴吐出性に影響がないと判断した場合には、拭き取りは不要（ＮＯ）と判断され、ステップＳ１８の描画（液滴吐出）に移行する。一方、ノズルプレート面３０ａの汚れ具合から、液滴吐出性に影響があり得ると判断した場合には、拭き取りが必要（ＹＥＳ）と判断され、ステップＳ１３に移行する。 In step S12, it is determined whether or not the nozzle plate surface 30a needs to be wiped off. Specifically, based on the inspection result of the nozzle plate surface 30a in step S11 (status data of the nozzle plate surface 30a), for example, it is determined that there is no influence on the droplet discharge property from the degree of contamination of the nozzle plate surface 30a. In this case, it is determined that wiping is unnecessary (NO), and the process proceeds to drawing (droplet discharge) in step S18. On the other hand, if it is determined from the degree of contamination of the nozzle plate surface 30a that the droplet discharge performance may be affected, it is determined that wiping is necessary (YES), and the process proceeds to step S13.

ステップＳ１３では、ノズルプレート面３０ａの汚れを拭き取る。具体的には、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａとワイパー部２０とを対向させた後、ワイパー部２０を駆動させ、繊維布等でノズルプレート面３０ａを拭かせる。 In step S13, dirt on the nozzle plate surface 30a is wiped off. Specifically, after the nozzle plate surface 30a of the droplet discharge head 14 and the wiper portion 20 are opposed to each other, the wiper portion 20 is driven to wipe the nozzle plate surface 30a with a fiber cloth or the like.

ステップＳ１４では、ノズルプレート面３０ａの検査を行う。具体的には、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａと検査部６０とを対向させた後、検査部６０を駆動させ、カメラ部６１でノズルプレート面３０ａの状況データを取得させる。すなわち、ステップＳ１１においてノズルプレート面３０ａの検査をした後、本ステップＳ１４で、再度、ノズルプレート面３０ａの検査を行う。これは、ステップＳ１１の検査結果に基づいて、ステップＳ１３で拭き取りを行った後のノズルプレート面３０ａの状況を把握するためである。例えば、ノズルプレート面３０ａに付着した汚れが取れやすい場合や、拭き取りしただけでは汚れを落としきれない場合等があり、これらの状況を把握し、最適なメンテナンスを実行させるためである。 In step S14, the nozzle plate surface 30a is inspected. Specifically, after the nozzle plate surface 30a of the droplet discharge head 14 and the inspection unit 60 are opposed to each other, the inspection unit 60 is driven, and the camera unit 61 acquires the status data of the nozzle plate surface 30a. That is, after the nozzle plate surface 30a is inspected in step S11, the nozzle plate surface 30a is inspected again in step S14. This is for grasping the state of the nozzle plate surface 30a after wiping in step S13 based on the inspection result in step S11. For example, there are cases where dirt attached to the nozzle plate surface 30a can be easily removed, or cases where the dirt cannot be removed simply by wiping, etc., in order to grasp these situations and execute optimum maintenance.

ステップＳ１５では、メンテナンスが必要か否かを判断する。具体的には、ステップＳ１４のノズルプレート面３０ａの検査結果（ノズルプレート面３０ａの状況データ）に基づいて、例えば、ステップＳ１３の拭き取りによってノズルプレート面３０ａの汚れが拭き取られ、液滴吐出性に影響がないと判断した場合には、メンテナンスは不要（ＮＯ）と判断され、ステップＳ１８の描画（液滴吐出）に移行する。一方、ステップＳ１３の拭き取りによっても、なおノズルプレート面３０ａの汚れがあり、液滴吐出性に影響があり得ると判断した場合には、メンテナンスが必要（ＹＥＳ）と判断され、ステップＳ１６に移行する。 In step S15, it is determined whether maintenance is necessary. Specifically, on the basis of the inspection result of the nozzle plate surface 30a in step S14 (status data of the nozzle plate surface 30a), for example, the dirt on the nozzle plate surface 30a is wiped off by wiping in step S13, and the droplet discharge property If it is determined that there is no effect on the maintenance, it is determined that maintenance is not required (NO), and the process proceeds to drawing (droplet discharge) in step S18. On the other hand, if it is determined that the nozzle plate surface 30a is still contaminated by the wiping in step S13 and the droplet discharge performance may be affected, it is determined that maintenance is necessary (YES), and the process proceeds to step S16. .

ステップＳ１６では、メンテナンス条件を選択する。本実施形態では、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａの拭き取り（ワイピング）と、液滴吐出ヘッド１４から機能液の空吐出（フラッシング）と、液滴吐出ヘッド１４から機能液の強制吸引の中から適宜メンテナンス条件が選択される。 In step S16, maintenance conditions are selected. In the present embodiment, wiping of the nozzle plate surface 30 a of the droplet discharge head 14, empty discharge (flushing) of the functional liquid from the droplet discharge head 14, and forced suction of the functional liquid from the droplet discharge head 14 are performed. Maintenance conditions are appropriately selected from among them.

ステップＳ１７では、選択されたメンテナンス条件に基づいてメンテナンスを実行する。例えば、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａの拭き取りを選択した場合には、ワイパー部２０を駆動させ、ノズルプレート面３０ａを拭かせる。また、液滴吐出ヘッド１４から機能液の空吐出を選択した場合には、フラッシング部１８と液滴吐出ヘッド１４を駆動させ、フラッシング部１８に向けて液滴３６を吐出させる。また、液滴吐出ヘッド１４から機能液の強制吸引を選択した場合には、強制吸引部１９を駆動させ、液滴吐出ヘッド１４内の機能液を強制的に吸引して液滴吐出ヘッド１４内の機能液を排出させる。なお、本実施形態では、メンテナンス条件のうち、液滴吐出ヘッド１４から機能液を吐出させた後、または、液滴吐出ヘッド１４から機能液を強制的に吸引させた後に、ノズルプレート面を拭かせる。これにより、メンテナンスにおいてノズルプレート面３０ａに付着した機能液が除去され、吐出性能を確保することができる。以上により、一連のメンテナンス動作が終了する。その後、ステップＳ１８の描画（液滴吐出）に移行する。 In step S17, maintenance is performed based on the selected maintenance condition. For example, when wiping the nozzle plate surface 30a of the droplet discharge head 14 is selected, the wiper unit 20 is driven to wipe the nozzle plate surface 30a. Further, when the idle discharge of the functional liquid is selected from the droplet discharge head 14, the flushing unit 18 and the droplet discharge head 14 are driven, and the droplet 36 is discharged toward the flushing unit 18. In addition, when the forced suction of the functional liquid is selected from the droplet discharge head 14, the forced suction unit 19 is driven to forcibly suck the functional liquid in the droplet discharge head 14, and the inside of the droplet discharge head 14. Drain the functional fluid. In the present embodiment, the nozzle plate surface is wiped after the functional liquid is discharged from the droplet discharge head 14 or after the functional liquid is forcibly sucked from the droplet discharge head 14 in the maintenance conditions. Make it go. Thereby, the functional liquid adhering to the nozzle plate surface 30a is removed during maintenance, and the discharge performance can be ensured. As described above, a series of maintenance operations is completed. Thereafter, the process proceeds to drawing (droplet discharge) in step S18.

従って、上記実施形態によれば、以下に示す効果がある。 Therefore, according to the above embodiment, the following effects can be obtained.

（１）メンテナンス部２１を駆動させる前に、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを検査部６０で検査させた。そして、検査結果に基づいて、ノズルプレート面３０ａの拭き取りの要否を判断した。これにより、ノズルプレート面３０ａの汚れ具合等を確認できるとともに、汚れ具合に応じて、拭き取りの要否を判断するため、メンテナンス作業の効率を向上させることができる。 (1) Before the maintenance unit 21 is driven, the nozzle plate surface 30 a of the droplet discharge head 14 is inspected by the inspection unit 60. Then, based on the inspection result, the necessity of wiping the nozzle plate surface 30a was determined. As a result, the degree of contamination of the nozzle plate surface 30a can be confirmed, and the necessity of wiping is determined according to the degree of contamination, so that the efficiency of maintenance work can be improved.

（２）ノズルプレート面３０ａを拭き取りした後、再度、ノズルプレート面３０ａを検査部６０で検査させた。これにより、さらにノズルプレート面３０ａの汚れ状況等を詳細に把握することができる。そして、再検査に基づいて、メンテナンス条件を選択した。これにより、的確なメンテナンスを行うことができるとともに、不用意に機能液を使用することがないため、機能液の廃棄量を削減することができる。 (2) After wiping off the nozzle plate surface 30a, the nozzle plate surface 30a was again inspected by the inspection unit 60. As a result, it is possible to grasp in detail the state of contamination of the nozzle plate surface 30a. And maintenance conditions were selected based on the re-examination. Thereby, while being able to perform an exact maintenance, since a functional liquid is not used carelessly, the discard amount of a functional liquid can be reduced.

なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。 In addition, it is not limited to said embodiment, The following modifications are mentioned.

（変形例１）上記実施形態では、メンテナンス条件を選択し、メンテナンスを実行させて一連のメンテナンス作業を終了させたが、これに限定されない。例えば、メンテナンスを実行させた後に、再度、ノズルプレート面３０ａの検査を実施させてもよい。この場合において、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、さらに、メンテナンス条件を選択し、メンテナンスを実行させてもよい。このようにすれば、さらに、液滴吐出性を向上させることができる。 (Modification 1) In the above embodiment, a maintenance condition is selected and maintenance is executed to end a series of maintenance operations. However, the present invention is not limited to this. For example, after the maintenance is performed, the nozzle plate surface 30a may be inspected again. In this case, based on the inspection result of the nozzle plate surface 30a, maintenance conditions may be further selected to perform maintenance. In this way, the droplet discharge property can be further improved.

（変形例２）上記実施形態のメンテナンス条件は、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａの拭き取り（ワイピング）と、液滴吐出ヘッド１４から機能液の空吐出（フラッシング）と、液滴吐出ヘッド１４から機能液の強制吸引としたが、これに限定されない。たとえば、拭き取り回数を任意に設定してもよい。また、拭き取り速度等も任意に設定してもよい。さらには、上記メンテナンス条件を適宜組み合わせて実行してもよい。このようにすれば、さらに、ノズルプレート面３０ａの状況に応じて、的確なメンテナンス作業を行うことができる。 (Modification 2) The maintenance conditions of the above embodiment are that the nozzle plate surface 30a of the droplet discharge head 14 is wiped (wiping), the functional liquid is discharged from the droplet discharge head 14 (flushing), and the droplet discharge head. Although it was set as the forced suction of the functional liquid from 14, it is not limited to this. For example, the number of wiping operations may be set arbitrarily. Further, the wiping speed may be arbitrarily set. Furthermore, the above maintenance conditions may be combined as appropriate. In this way, further accurate maintenance work can be performed according to the state of the nozzle plate surface 30a.

１…液滴吐出装置、１４…液滴吐出ヘッド、１８…フラッシング部、１９…強制吸引部、２０…ワイパー部、２１…メンテナンス部、３０…ノズルプレート、３０ａ…ノズルプレート面、３１…ノズル、３３…機能液、３６…液滴、４０…制御部、６０…検査部、６１…カメラ部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus, 14 ... Droplet discharge head, 18 ... Flushing part, 19 ... Forced suction part, 20 ... Wiper part, 21 ... Maintenance part, 30 ... Nozzle plate, 30a ... Nozzle plate surface, 31 ... Nozzle, 33 ... Functional liquid, 36 ... Droplet, 40 ... Control part, 60 ... Inspection part, 61 ... Camera part.

Claims

A droplet discharge head for discharging functional liquid as droplets;
An inspection unit for inspecting a nozzle plate surface of the droplet discharge head;
A maintenance unit for maintaining the droplet discharge head;
A control unit that causes the inspection unit to inspect the nozzle plate surface, selects a maintenance condition based on the inspection result of the nozzle plate surface, and drives the maintenance unit based on the selected maintenance condition. A droplet discharge apparatus characterized by the above.

The droplet discharge device according to claim 1,
The maintenance unit is
Including a wiper portion for wiping the nozzle plate surface;
In the control unit,
Based on the inspection result of the nozzle plate surface, it is determined whether the nozzle plate surface needs to be wiped, and when the nozzle plate surface needs to be wiped, the wiper unit is driven, and the wiper unit A droplet discharge device characterized by wiping the nozzle plate surface of a droplet discharge head.

The droplet discharge device according to claim 1 or 2,
The maintenance unit is
The wiper portion;
A flushing section for discharging a functional liquid from the droplet discharge head;
A forced suction unit that forcibly sucks the functional liquid from the droplet discharge head,
In the control unit,
When the nozzle plate surface is inspected by the inspection unit, based on the inspection result of the nozzle plate surface, it is determined whether or not the nozzle plate surface needs to be wiped, and when the nozzle plate surface needs to be wiped, Let the wiper part wipe the nozzle plate surface of the droplet discharge head,
After wiping the nozzle plate surface of the droplet discharge head with the wiper unit, the inspection unit is inspected with the nozzle plate surface, and at least one is selected from the maintenance unit based on the inspection result of the nozzle plate surface And driving the selected one maintenance section.

In the droplet discharge device according to claim 3,
In the control unit,
A liquid droplet ejection apparatus, wherein after the flushing section or the forced suction section is driven, the nozzle plate surface is wiped by the wiper section.

In the liquid droplet ejection apparatus according to any one of claims 1 to 4,
The controller is
A droplet discharge apparatus characterized in that the nozzle plate surface is inspected during a period other than a droplet discharge period during which the droplet discharge head discharges the droplets onto a workpiece.

A method for controlling a droplet discharge device including a droplet discharge head that discharges a functional liquid as droplets,
Inspect the nozzle plate surface of the droplet discharge head,
A maintenance condition for the droplet discharge head is selected based on the inspection result of the nozzle plate surface, and maintenance is performed on the droplet discharge head based on the selected maintenance condition. A method for controlling a droplet discharge device.

In the control method of the droplet discharge device according to claim 6,
Based on the inspection result of the nozzle plate surface, it is determined whether or not the nozzle plate surface needs to be wiped, and when the nozzle plate surface needs to be wiped, the nozzle plate surface of the droplet discharge head is wiped off. A method for controlling a droplet discharge device.

In the control method of the droplet discharge device according to claim 6 or 7,
When the nozzle plate surface is inspected, it is determined whether or not the nozzle plate surface needs to be wiped based on the inspection result of the nozzle plate surface. Wipe off the nozzle plate surface of the head,
After the nozzle plate surface of the droplet discharge head is wiped off, the nozzle plate surface is inspected, and based on the inspection result of the nozzle plate surface, the nozzle plate surface of the droplet discharge head among the maintenance conditions Or whether the functional liquid is ejected from the liquid droplet ejection head or the functional liquid is forcibly sucked from the liquid droplet ejection head, and the liquid droplets are selected based on the selected maintenance condition. A control method for a droplet discharge device, wherein maintenance is performed on the discharge head.

In the control method of the droplet discharge device according to claim 8,
Of the maintenance conditions, the nozzle plate surface is wiped after the functional liquid is discharged from the droplet discharge head or after the functional liquid is forcibly sucked from the droplet discharge head. Method for controlling a droplet discharge device.

In the control method of the droplet discharge device according to any one of claims 6 to 9,
A method for controlling a droplet discharge apparatus, comprising: inspecting the nozzle plate surface during a period other than a droplet discharge period during which the droplet discharge head discharges the droplets onto a workpiece.