JP2011152026A - Rotary drive device - Google Patents

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Takehiko Sugiura
岳彦 杉浦
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce size and weight for a rotary drive device using a wave motion gear mechanism. <P>SOLUTION: A piezo-rotor 14 is provided in a rotatable manner inward in the radial direction of a flex spline 12. The flex spline 12 is depressed outward in the radial direction by a long depressing part 14b on the piezo-rotor 14 to engage outer teeth 12a of the flex spline 12 with inner teeth 11c of a circular spline 11. A flexible movable part 14c is formed on the piezo-rotor 14, and a voltage is applied to a piezoelectric element 16 attached to the movable part 14c to generate distortion repeatedly. This deforms the movable part 14c with acceleration repeatedly, thereby generating inertia continuously in the piezo-rotor 14 for rotation. Rotation of the piezo-rotor 14 moves a circumferential position where the outer teeth 12a is engaged with the inner teeth 11c, and rotation of the piezo-rotor 14 is decelerated to be output in the flex spline 12. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、波動歯車機構を使用した回転駆動装置に関する。   The present invention relates to a rotary drive device using a wave gear mechanism.

波動歯車機構を使用して、回転駆動力を減速して出力する回転駆動装置に関する従来技術があった(例えば、特許文献1および特許文献2参照)。これらが使用している波動歯車機構は、一般にハーモニックドライブ(登録商標)と呼ばれるもので、波動発生器を形成するカム体の外周面とベアリングを介して当接したフレクスプラインと、フレクスプラインの半径方向外方に設けられたサーキュラスプラインとを備えている。   There has been a conventional technique related to a rotary drive device that uses a wave gear mechanism to decelerate and output a rotary drive force (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). The wave gear mechanism used by these is generally called Harmonic Drive (registered trademark). The flex spline is in contact with the outer peripheral surface of the cam body forming the wave generator via a bearing, and the radius of the flex spline. And a circular spline provided outward in the direction.

サーキュラスプラインの内周面には内歯が形成されるとともに、フレクスプラインの外周面には、サーキュラスプラインの内歯よりも少数の外歯が形成されており、カム体の形状に倣って、外歯における円周上の2箇所のみが、サーキュラスプラインの内歯と噛合している。この機構において、波動発生器のカム体を駆動することにより外歯と内歯とが噛合している箇所が円周上を移動し、フレクスプラインにおいて回転駆動力が減速して出力される。   Internal teeth are formed on the inner peripheral surface of the circular spline, and fewer external teeth are formed on the outer peripheral surface of the flexspline than the inner teeth of the circular spline. Only two places on the circumference of the teeth mesh with the inner teeth of the circular spline. In this mechanism, by driving the cam body of the wave generator, the portion where the external teeth and the internal teeth mesh with each other moves on the circumference, and the rotational driving force is decelerated and output at the flexspline.

このような回転駆動装置は、波動歯車機構を使用しているため減速比を大きくとることができ、様々な出力の負荷の大きさ、あるいは変動に対応することが可能である。   Since such a rotational drive device uses a wave gear mechanism, it can take a large reduction ratio, and can cope with various output loads or fluctuations.

特開2004−346960号公報JP 2004-346960 A 特開平7−332442号公報JP 7-332442 A

しかしながら、上述した特許文献1および特許文献2に開示された回転駆動装置においては、波動発生器のカム体を電動モータによって駆動しているため、波動発生器の軸方向外方に電動モータが配置されなければならず、装置全体が軸方向に長大化し重量も増大する。したがって、電動モータの大きさも考慮して、回転駆動装置の取付スペースを形成するようにしなければならなかった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型で軽量の回転駆動装置を提供することにある。
However, in the rotary drive device disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 described above, the cam body of the wave generator is driven by the electric motor, and therefore the electric motor is disposed axially outward of the wave generator. The entire apparatus must be lengthened in the axial direction and the weight is increased. Therefore, it is necessary to form a mounting space for the rotary drive device in consideration of the size of the electric motor.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a small and lightweight rotary drive device.

上述した課題を解決するために、請求項1に係る回転駆動装置の発明の構成上の特徴は、リング状部を有し、リング状部の内周面に複数の内歯を有するサーキュラスプラインと、可撓性を有した環状部を備えるように形成され、環状部の外周面にサーキュラスプラインの内歯よりも少数の外歯を有し、サーキュラスプラインの半径方向内方に配置されることにより、外歯が内歯に対向するフレクスプラインと、フレクスプラインの内周面の数箇所を、サーキュラスプラインに向けて半径方向外方に押圧することにより、外歯の一部のみを内歯に対し噛合させるとともに、フレクスプラインに対する押圧部位を回転移動させる波動発生器とを備え、波動発生器によってフレクスプラインにおける押圧部位が回転移動されることにより、フレクスプラインが撓みながら、外歯と内歯とが噛合する円周上の位置が移動し、サーキュラスプラインおよびフレクスプラインのうちの一方を固定することにより、サーキュラスプラインおよびフレクスプラインのうちの他方において、波動発生器による回転が減速されて出力される回転駆動装置において、波動発生器は、フレクスプラインの半径方向内方において、フレクスプラインに対し回転可能に設けられ、フレクスプラインの内周面の数箇所に当接部で当接して、フレクスプラインをサーキュラスプラインに対して押圧する回転押圧部材を備え、回転押圧部材には撓み可能な形状可変部が形成され、形状可変部には電気信号に応じて歪が発生する歪素子が取り付けられており、歪素子において反復的に歪を発生させ、形状可変部が繰返し加速度をともなって変形することにより、回転押圧部材に継続的に慣性力を発生させ、慣性力により回転押圧部材が回転することである。   In order to solve the above-described problem, a structural feature of the invention of the rotary drive device according to claim 1 is a circular spline having a ring-shaped portion and a plurality of internal teeth on the inner peripheral surface of the ring-shaped portion. By forming a flexible annular portion, the outer peripheral surface of the annular portion has fewer external teeth than the inner teeth of the circular spline, and is arranged radially inward of the circular spline. By pressing the flexspline where the outer teeth face the inner teeth and several locations on the inner peripheral surface of the flexspline radially outward toward the circular spline, only a part of the outer teeth are pressed against the inner teeth. And a wave generator that rotates and moves the pressing part with respect to the flexspline, and the flexing line is rotated and moved by the wave generator. While the line is deflected, the position on the circumference where the external teeth and the internal teeth mesh is moved, and by fixing one of the circular spline and the flexspline, the wave is generated on the other of the circular spline and the flexspline. In a rotary drive device in which rotation by the generator is decelerated and output, the wave generator is provided so as to be rotatable with respect to the flexspline inwardly in the radial direction of the flexspline. A rotary pressing member that abuts at the abutting portion and presses the flex spline against the circular spline is formed. The rotary pressing member is formed with a deformable shape variable portion, and the shape variable portion is distorted according to an electric signal. The strain variable element is attached, the strain element repeatedly generates strain, and the shape variable part is repeatedly applied. By deformed with a degree to generate a continuously inertial force to the rotation pressing member, it is that the rotary pressure member is rotated by an inertia force.

請求項2に係る発明の構成上の特徴は、請求項1の回転駆動装置において、歪素子は、圧電素子、磁歪素子、電歪素子、形状記憶素子のうちのいずれかにより形成されていることである。   The structural feature of the invention according to claim 2 is that, in the rotary drive device according to claim 1, the strain element is formed of any one of a piezoelectric element, a magnetostrictive element, an electrostrictive element, and a shape memory element. It is.

請求項3に係る発明の構成上の特徴は、請求項1または2の回転駆動装置において、回転押圧部材は長尺状に形成された押圧部を有し、押圧部の長手方向の中央部を中心にして回転可能に設けられ、押圧部の両端の当接部においてフレクスプラインの内周面に当接することにより、外歯をサーキュラスプラインの中心を挟んで対向した2箇所に形成された内歯に噛合させるとともに、押圧部の長手方向の途中部位から長手方向と異なる方向に突出した可動部を前記形状可変部として具備し、可動部には歪素子が取り付けられており、歪素子に発生した歪により可動部が回転方向に撓んで、回転押圧部材に慣性力が発生することである。   According to a third aspect of the present invention, in the rotary drive device according to the first or second aspect, the rotary pressing member has a pressing portion formed in an elongated shape, and a central portion in the longitudinal direction of the pressing portion is provided. Inner teeth that are rotatably provided around the center and are formed at two locations facing each other across the center of the circular spline by contacting the inner surface of the flexspline at the abutting portions at both ends of the pressing portion. And a movable portion that protrudes in a direction different from the longitudinal direction from a midway portion of the pressing portion in the longitudinal direction is provided as the shape variable portion, and a strain element is attached to the movable portion, and the strain element is generated. That is, the movable portion is bent in the rotation direction due to the distortion, and an inertial force is generated in the rotation pressing member.

請求項4に係る発明の構成上の特徴は、請求項1または2の回転駆動装置において、回転押圧部材は長尺状に形成され、長手方向の中央部を中心にして回転可能に設けられ、両端の当接部においてフレクスプラインの内周面に当接することにより、外歯をサーキュラスプラインの中心を挟んで対向した2箇所に形成された内歯に噛合させるとともに、回転中心と少なくとも一側の端部との間において、回転方向に撓み可能な可動部が前記形状可変部として形成され、可動部には歪素子が取り付けられており、歪素子に発生した歪により可動部が撓んで回転押圧部材に慣性力が発生することである。   The structural feature of the invention according to claim 4 is the rotary drive device according to claim 1 or 2, wherein the rotary pressing member is formed in a long shape, and is provided to be rotatable around a central portion in the longitudinal direction. By abutting the inner peripheral surface of the flexspline at the abutting portions at both ends, the outer teeth are engaged with the inner teeth formed at two locations facing each other across the center of the circular spline, and at least one side of the rotation center. A movable portion that can be bent in the rotation direction is formed as the shape variable portion between the end portion, and a strain element is attached to the movable portion, and the movable portion is bent and rotated by strain generated in the strain element. Inertial force is generated in the member.

請求項5に係る発明の構成上の特徴は、請求項1または2の回転駆動装置において、回転押圧部材は、回転中心から3個以上の押圧部が互いに均等な角度を形成するように放射状に延び、押圧部のそれぞれの端部の当接部がフレクスプラインの内周面に当接することにより、外歯を内歯の円周上の複数箇所に噛合させ、少なくとも一つの押圧部は前記形状可変部として回転方向に撓み可能に形成されるとともに歪素子が取り付けられており、歪素子に発生した歪により押圧部が撓んで、回転押圧部材に慣性力が発生することである。   According to a fifth aspect of the present invention, in the rotary drive device according to the first or second aspect, the rotary pressing member is arranged so that the three or more pressing portions form a uniform angle with each other from the rotation center. The outer teeth are engaged with a plurality of locations on the circumference of the inner teeth by extending the contact portions of the end portions of the pressing portions to the inner peripheral surface of the flexspline, and at least one pressing portion has the shape described above. The variable portion is formed so as to be able to bend in the rotation direction and has a strain element attached thereto, and the pressing portion is bent due to the strain generated in the strain element, and inertia force is generated in the rotary pressing member.

請求項6に係る発明の構成上の特徴は、請求項1乃至5のうちのいずれかの回転駆動装置において、前記回転押圧部材に取り付けられ、前記回転押圧部材の回転方向に弾性変形可能な弾性部材と振動錘を含む振動系と、前記歪素子に前記振動系の共振周波数付近で歪を発生させる制御装置と、を備えたことである。   A structural feature of the invention according to claim 6 is that the rotary drive device according to any one of claims 1 to 5 is attached to the rotary pressing member and is elastically deformable in a rotation direction of the rotary pressing member. A vibration system including a member and a vibration weight; and a control device that causes the strain element to generate a strain near a resonance frequency of the vibration system.

請求項7に係る発明の構成上の特徴は、請求項6の回転駆動装置において、前記振動系が前記押圧部材の前記当接部と円周方向同位相で半径方向外方に突出して前記回転押圧部材に固定されていることである。   According to a seventh aspect of the present invention, in the rotary drive device according to the sixth aspect, the vibration system protrudes radially outward in the same phase in the circumferential direction as the abutting portion of the pressing member and rotates. It is fixed to the pressing member.

請求項8に係る発明の構成上の特徴は、請求項1乃至7のうちのいずれかの回転駆動装置において、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインには、回転押圧部材を回転中心において回転可能に支持する軸保持部が形成されたことである。   The structural feature of the invention according to claim 8 is the rotary drive device according to any one of claims 1 to 7, wherein the circular spline or the flexspline has a shaft that rotatably supports the rotary pressing member at the center of rotation. That is, the holding part is formed.

請求項9に係る発明の構成上の特徴は、請求項1乃至8のうちのいずれかの回転駆動装置において、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインの出力回転速度を検出する回転速度検出手段と、歪素子に供給する電気信号を制御する回転制御手段とを備え、回転制御手段は、回転速度検出手段によって検出された出力回転速度に基づいて、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインの回転位置による出力回転速度のむらを低減させるように、歪素子に供給する電気信号を制御することである。   The structural feature of the invention according to claim 9 is that in the rotational drive device according to any one of claims 1 to 8, the rotational speed detecting means for detecting the output rotational speed of the circular spline or flexspline, and the strain element A rotation control unit that controls an electric signal to be supplied, and the rotation control unit reduces unevenness of the output rotation speed due to the rotation position of the circular spline or the flexspline based on the output rotation speed detected by the rotation speed detection unit. Thus, the electric signal supplied to the strain element is controlled.

請求項10に係る発明の構成上の特徴は、請求項1乃至8のうちのいずれかの回転駆動装置において、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインの基準回転速度を形成する基準速度設定手段を備え、回転制御手段は、回転速度検出手段によって検出された出力回転速度と、基準速度設定手段により設定された基準回転速度との偏差に応じて、歪素子に供給する電気信号を制御することである。   According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a structural feature of the rotary drive device according to any one of the first to eighth aspects, further comprising reference speed setting means for forming a reference rotation speed of the circular spline or flexspline, and rotation control. The means is to control an electric signal supplied to the strain element in accordance with a deviation between the output rotation speed detected by the rotation speed detection means and the reference rotation speed set by the reference speed setting means.

請求項1に係る回転駆動装置によれば、波動発生器は、フレクスプラインの内周面の数箇所に当接部で当接して、フレクスプラインをサーキュラスプラインに対して押圧する回転押圧部材を備え、回転押圧部材に形成された形状可変部に歪素子を取り付け、歪素子において反復的に歪を発生させて形状可変部を繰返し加速度をともなって変形させ、これによって発生した慣性力により回転押圧部材を回転させるため、波動発生器を駆動する機構をフレクスプラインの半径方向内方に配置することができ、波動発生器の軸方向外方に電動モータ等を設ける必要がなく、回転駆動装置全体を軸方向に小型化し、軽量化することができる。   According to the rotary drive device of the first aspect, the wave generator includes a rotary pressing member that is in contact with several locations on the inner peripheral surface of the flexspline at the abutting portion and presses the flexspline against the circular spline. A strain element is attached to the variable shape portion formed on the rotary pressing member, and the strain pressing element repeatedly generates strain to deform the variable shape portion with repeated acceleration, and the inertia force generated thereby causes the rotary pressure member to rotate. Therefore, the mechanism for driving the wave generator can be arranged radially inward of the flexspline, and there is no need to provide an electric motor or the like outside the wave generator in the axial direction. It can be reduced in size and weight in the axial direction.

また、慣性力を利用して回転押圧部材を駆動させているため、形状可変部の重量あるいはその変形の加速度を変えることにより回転押圧部材の回転速度を変化させ、延いては、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインの回転速度を変化させることができる。また、形状可変部の重量あるいはその変形の加速度を変えることにより、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインの受ける負荷に対応することができる。   In addition, since the rotary pressing member is driven using inertial force, the rotational speed of the rotary pressing member is changed by changing the weight of the shape variable portion or the acceleration of deformation thereof, and eventually the circular spline or flexure is changed. The rotational speed of the spline can be changed. Further, by changing the weight of the shape variable portion or the acceleration of its deformation, it is possible to cope with the load received by the circular spline or flexspline.

また、歪素子を周波数の高い可聴外領域の電気信号により動作させることができるため、作動音の小さい回転駆動装置にすることができる。   In addition, since the distortion element can be operated by an electric signal in a high audible outside region, it is possible to provide a rotary drive device with a low operating sound.

請求項2に係る回転駆動装置によれば、歪素子が圧電素子、磁歪素子、電歪素子、形状記憶素子のうちのいずれかにより形成されていることにより、供給する電気信号に応じて歪量を変化させることができ、回転押圧部材の回転制御を容易に行うことができる。   According to the rotary drive device according to claim 2, since the strain element is formed of any one of a piezoelectric element, a magnetostrictive element, an electrostrictive element, and a shape memory element, a strain amount according to an electric signal to be supplied. The rotation of the rotary pressing member can be easily controlled.

請求項3に係る回転駆動装置によれば、押圧部の両端の当接部においてフレクスプラインを押圧して外歯を内歯に噛合させるとともに、押圧部から突出した可動部に歪素子を取り付けて回転方向に撓ませ、回転押圧部材に慣性力を発生させることにより、回転押圧部材において、フレクスプラインを押圧する押圧部と歪素子により変形する可動部とを別部位に形成できる。このため、それぞれの剛性を自由に設定して、押圧部位の剛性を維持しつつ可動部を撓みやすくし、押圧部によりフレクスプラインを確実に押圧できるとともに、回転押圧部材に発生する慣性力を増大させることができる。   According to the rotary drive device of the third aspect, the flex spline is pressed at the abutting portions at both ends of the pressing portion to mesh the outer teeth with the inner teeth, and the strain element is attached to the movable portion protruding from the pressing portion. By bending in the rotational direction and generating an inertial force in the rotary pressing member, the pressing portion that presses the flexspline and the movable portion that is deformed by the strain element can be formed in different parts in the rotating pressing member. For this reason, each rigidity is set freely, the movable part is easily bent while maintaining the rigidity of the pressing part, the flex spline can be surely pressed by the pressing part, and the inertial force generated in the rotary pressing member is increased. Can be made.

請求項4に係る回転駆動装置によれば、回転押圧部材の両端の当接部においてフレクスプラインを押圧して外歯を内歯に噛合させるとともに、回転中心と少なくとも一側の端部との間に可動部を形成して歪素子を取り付け、可動部を撓ませて回転押圧部材に慣性力を発生させることにより、フレクスプラインを押圧する押圧部と可動部とを一体的に形成している。このため、形状可変部を特別に設ける必要がなく、回転押圧部材を小型軽量化することができ、回転押圧部材を回転させるために必要とする慣性力を低減することができる。   According to the rotary drive device of the fourth aspect, the flexspline is pressed at the contact portions at both ends of the rotary pressing member to engage the outer teeth with the inner teeth, and between the rotation center and at least one end portion. By forming a movable part and attaching a strain element and bending the movable part to generate an inertial force on the rotary pressing member, the pressing part that presses the flexspline and the movable part are integrally formed. For this reason, it is not necessary to provide a shape variable part specially, a rotation pressing member can be reduced in size and weight, and the inertia force required in order to rotate a rotation pressing member can be reduced.

請求項5に係る回転駆動装置によれば、回転押圧部材の回転中心から3個以上の押圧部が互いに均等な角度を形成するように放射状に延び、それぞれの端部の当接部においてフレクスプラインを押圧していることにより、回転押圧部材が円周上の3箇所以上において、フレクスプラインの内周面に均等に当接できるため、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインに回転押圧部材を支持する部位を設けなくても、回転押圧部材が安定して回転することができる。   According to the rotary drive device of the fifth aspect, the three or more pressing portions extend radially from the rotation center of the rotary pressing member so as to form an equal angle with each other, and the flex spline is formed at the contact portion of each end portion. Since the rotary pressing member can evenly contact the inner peripheral surface of the flexspline at three or more locations on the circumference by providing the pressure, a portion that supports the rotary pressing member is provided on the circular spline or flexspline. Even if it does not exist, a rotation press member can rotate stably.

請求項6に係る回転駆動装置によれば、回転押圧部材の回転方向に弾性変形可能な弾性部材と振動錘を含む振動系が回転押圧部材に取り付けられ、この振動系の共振周波数付近で歪素子に歪を発生させて回転押圧部材に振動を発生させることにより振動錘を大きく振動させて回転押圧部材にさらに大きな回転トルクを付与し、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインからの出力トルクを増大し安定させることができる。   According to the rotation drive device of the sixth aspect, the vibration system including the elastic member that can be elastically deformed in the rotation direction of the rotation pressing member and the vibration weight is attached to the rotation pressing member, and the strain element is near the resonance frequency of the vibration system. The vibration weight is greatly vibrated by generating distortion in the rotary pressing member, thereby applying a larger rotational torque to the rotary pressing member, and increasing and stabilizing the output torque from the circular spline or flex spline. Can do.

請求項7に係る回転駆動装置によれば、振動系が押圧部材の当接部と円周方向同位相で半径方向外方に突出して回転押圧部材に固定されているので、大きく振動する振動錘がフレクスプラインの内周面に当接する当接部で回転押圧部材に大きな回転トルクを確実に付与することができ、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインからの出力トルクを増大し安定させることができる。   According to the rotary drive device of the seventh aspect, the vibration system protrudes radially outward at the same phase in the circumferential direction as the abutting portion of the pressing member and is fixed to the rotating pressing member. However, a large rotational torque can be reliably applied to the rotary pressing member at the abutting portion that abuts against the inner peripheral surface of the flexspline, and the output torque from the circular spline or flexspline can be increased and stabilized.

請求項8に係る回転駆動装置によれば、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインには、回転押圧部材を回転中心において回転可能に支持する軸保持部が形成されたことにより、回転押圧部材が、フレクスプラインの半径方向内方において安定して回転することができる。   According to the rotary drive device according to the eighth aspect, the circular spline or the flexspline is formed with the shaft holding portion that rotatably supports the rotary press member at the center of rotation. It can rotate stably inward in the radial direction.

また、回転押圧部材に複数個の歪素子が取り付けられている場合に、そのうちの一部の歪素子のみに歪を発生させても、回転押圧部材がバランスを崩さずに安定して回転することができる。   In addition, when a plurality of strain elements are attached to the rotation pressing member, the rotation pressing member can be stably rotated without losing the balance even if only some of the strain elements are distorted. Can do.

請求項9に係る回転駆動装置によれば、検出された出力回転速度に基づいて、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインの回転位置による出力回転速度のむらを低減させるように、歪素子に供給する電気信号を制御することにより、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインの回転速度を一定に保ち、円滑に回転させることができる。したがって、出力回転速度のむらによる異音も低減することができる。   According to the rotational drive device of the ninth aspect, the electric signal supplied to the strain element is controlled based on the detected output rotational speed so as to reduce the unevenness of the output rotational speed due to the rotational position of the circular spline or flexspline. By doing so, the rotational speed of the circular spline or flex spline can be kept constant and smoothly rotated. Therefore, abnormal noise due to uneven output rotation speed can also be reduced.

請求項10に係る回転駆動装置によれば、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインの基準回転速度を形成し、検出された出力回転速度と設定された基準回転速度との偏差に応じて、歪素子に供給する電気信号を制御することにより、サーキュラスプラインまたはフレクスプラインを目標回転速度になるように容易に制御することができる。   According to the rotational drive device of the tenth aspect, the reference rotational speed of the circular spline or the flexspline is formed, and is supplied to the strain element according to the deviation between the detected output rotational speed and the set reference rotational speed. By controlling the electrical signal, the circular spline or flexspline can be easily controlled to reach the target rotational speed.

本発明の実施形態1によるハーモニックギヤ装置の出力回転軸に垂直な断面によりカットした場合の図2におけるA−A断面図2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2 when the harmonic gear device according to the first embodiment of the present invention is cut by a cross section perpendicular to the output rotation axis. 図1に示したハーモニックギヤ装置のB−B断面図BB sectional view of the harmonic gear device shown in FIG. 図1に示したハーモニックギヤ装置のC部拡大図(a)およびその可動部が撓んだ場合の拡大図(b)C part enlarged view (a) of the harmonic gear device shown in FIG. 1 and an enlarged view when the movable part is bent (b) ハーモニックギヤ装置の作動原理を説明するための簡略した平面図Simplified plan view for explaining the operating principle of the harmonic gear device ハーモニックギヤ装置を含んだ回転駆動システムを示した全体ブロック図Overall block diagram showing a rotary drive system including a harmonic gear device 圧電素子に供給する電気信号波形を示した図The figure which showed the electric signal waveform supplied to a piezoelectric element 回転むら制御の実行前後の回転速度センサの出力電圧波形を示した図Diagram showing output voltage waveform of rotation speed sensor before and after execution of rotation unevenness control 回転むら制御の実行時に圧電素子に供給する電気信号波形を示した図The figure which showed the electric signal waveform supplied to a piezoelectric element at the time of execution of rotation nonuniformity control 回転むら制御の実行時に圧電素子に供給する別の形態による電気信号波形を示した図The figure which showed the electric signal waveform by another form supplied to a piezoelectric element at the time of execution of rotation nonuniformity control 実施形態1の変形実施形態によるハーモニックギヤ装置の簡略した平面図Simplified plan view of a harmonic gear device according to a modified embodiment of the first embodiment 実施形態2によるハーモニックギヤ装置の簡略した平面図Simplified plan view of the harmonic gear device according to the second embodiment 実施形態2の変形実施形態によるハーモニックギヤ装置の簡略した平面図Simplified plan view of a harmonic gear device according to a modified embodiment of the second embodiment 実施形態3によるハーモニックギヤ装置の簡略した平面図Simplified plan view of a harmonic gear device according to Embodiment 3 実施形態4によるピエゾロータの部分拡大図Partial enlarged view of the piezo rotor according to the fourth embodiment. 実施形態5によるハーモニックギヤ装置の断面図Sectional drawing of the harmonic gear apparatus by Embodiment 5 実施形態5によるハーモニックギヤ装置の動作を示す図The figure which shows operation | movement of the harmonic gear apparatus by Embodiment 5. 実施形態5によるハーモニックギヤ装置の第1の変形例First Modification of Harmonic Gear Device According to Embodiment 5 実施形態5によるハーモニックギヤ装置の第2の変形例Second Modification of Harmonic Gear Device According to Embodiment 5

<実施形態1>
図1乃至図9に基づき、本発明の実施形態1によるハーモニックギヤ装置1について説明する。尚、説明中において回転軸方向という場合、特に断らなければ、ハーモニックギヤ装置1の出力回転軸に沿った方向、すなわち図2における上下方向を意味する。また、説明中における上下方向とは、図2における上下方向を意味している。
<Embodiment 1>
Based on FIG. 1 thru | or FIG. 9, the harmonic gear apparatus 1 by Embodiment 1 of this invention is demonstrated. In the description, the direction of the rotation axis means the direction along the output rotation axis of the harmonic gear device 1, that is, the vertical direction in FIG. Further, the vertical direction in the description means the vertical direction in FIG.

図1は、本実施形態によるハーモニックギヤ装置1の、図2におけるA−A断面図である。ハーモニックギヤ装置1は、サーキュラスプライン11、フレクスプライン12、ギヤカバー13およびピエゾロータ14(本発明の波動発生器および回転押圧部材に該当する)により形成されている。   FIG. 1 is a cross-sectional view of the harmonic gear device 1 according to the present embodiment taken along line AA in FIG. The harmonic gear device 1 is formed by a circular spline 11, a flex spline 12, a gear cover 13, and a piezo rotor 14 (corresponding to a wave generator and a rotary pressing member of the present invention).

サーキュラスプライン11は、金属材料あるいは硬質の合成樹脂材料にて略皿状に形成されている。サーキュラスプライン11の底部11aの外周縁には、真円状のリング状部11bが回転軸方向に延びるように形成されており、リング状部11bの内周面には複数のインナティース11c(本発明の内歯に該当する)が形成されている。また、底部11aの中央部には、貫通孔11d(本発明の軸保持部に該当する)が形成されている。サーキュラスプライン11は、図示しない固定部材により回転不能に固定されている。   The circular spline 11 is formed in a substantially dish shape from a metal material or a hard synthetic resin material. A circular ring-shaped part 11b is formed on the outer peripheral edge of the bottom part 11a of the circular spline 11 so as to extend in the direction of the rotation axis. A plurality of inner teeth 11c (in this case) are formed on the inner peripheral surface of the ring-shaped part 11b. Corresponding to the internal teeth of the invention). Further, a through hole 11d (corresponding to the shaft holding portion of the present invention) is formed at the center of the bottom portion 11a. The circular spline 11 is fixed so as not to rotate by a fixing member (not shown).

フレクスプライン12は、金属材料または合成樹脂材料により環状に形成されており、サーキュラスプライン11に対して回転移動可能に設けられている。フレクスプライン12の外周面には、サーキュラスプライン11のインナティース11cよりも数歯少ないアウタティース12a(本発明の外歯に該当する)が形成されている。
アウタティース12aの谷部は薄肉に形成されており、これによって、フレクスプライン12は可撓性を有している。フレクスプライン12はサーキュラスプライン11の半径方向内方に配置されることにより、アウタティース12aがインナティース11cに対向している。
The flex spline 12 is formed in an annular shape from a metal material or a synthetic resin material, and is provided so as to be rotatable with respect to the circular spline 11. Outer teeth 12 a (corresponding to the outer teeth of the present invention) are formed on the outer peripheral surface of the flexspline 12, which is fewer than the inner teeth 11 c of the circular spline 11.
The valley portion of the outer teeth 12a is formed to be thin, whereby the flex spline 12 has flexibility. The flex spline 12 is disposed radially inward of the circular spline 11, so that the outer teeth 12a faces the inner teeth 11c.

ギヤカバー13は合成樹脂材料または金属材料により一体に形成されており、略蓋状を呈している。ギヤカバー13は平坦な上面部13aと、上面部13aから図2において下方へと延びる側面部13bとを備えている。側面部13bの下端は、サーキュラスプライン11のリング状部11bに当接しており、ギヤカバー13はサーキュラスプライン11に対して回転可能に形成されている。   The gear cover 13 is integrally formed of a synthetic resin material or a metal material, and has a substantially lid shape. The gear cover 13 includes a flat upper surface portion 13a and a side surface portion 13b extending downward from the upper surface portion 13a in FIG. The lower end of the side surface portion 13 b is in contact with the ring-shaped portion 11 b of the circular spline 11, and the gear cover 13 is formed to be rotatable with respect to the circular spline 11.

ギヤカバー13の側面部13bの内周面には、フレクスプライン12のアウタティース12aと同数の内歯13cが形成されている。このため、内歯13cがアウタティース12aと噛合することにより、ギヤカバー13はフレクスプライン12と同速度で回転することが可能である。また、ギヤカバー13の上面部13aからは、出力軸部13dが上方に突出している。   On the inner peripheral surface of the side surface portion 13 b of the gear cover 13, the same number of internal teeth 13 c as the outer teeth 12 a of the flexspline 12 are formed. For this reason, the gear cover 13 can rotate at the same speed as the flex spline 12 by the inner teeth 13c meshing with the outer teeth 12a. Further, an output shaft portion 13 d protrudes upward from the upper surface portion 13 a of the gear cover 13.

ピエゾロータ14は合成樹脂材料により一体成形されており、サーキュラスプライン11の貫通孔11dに軸受部材15を介して嵌合した円柱状の支承軸部14aと、支承軸部14aの上方に形成された長尺状の押圧部14bを備え、押圧部14bからは可動部14c(本発明の形状可変部に該当する)が突出している。   The piezo rotor 14 is integrally formed of a synthetic resin material, and has a cylindrical support shaft portion 14a fitted in the through hole 11d of the circular spline 11 via a bearing member 15, and a length formed above the support shaft portion 14a. A scale-like pressing portion 14b is provided, and a movable portion 14c (corresponding to the shape variable portion of the present invention) protrudes from the pressing portion 14b.

押圧部14bは、図1において上下方向に延びる略板状に形成されており、その長手方向の中央部には、上述した支承軸部14aが接続されている。支承軸部14aは貫通孔11dに回転可能に挿入されており、ピエゾロータ14は、押圧部14bの中央部を中心として、サーキュラスプライン11に回転可能に支持されている。   The pressing portion 14b is formed in a substantially plate shape extending in the vertical direction in FIG. 1, and the above-described support shaft portion 14a is connected to the center portion in the longitudinal direction. The support shaft portion 14a is rotatably inserted into the through hole 11d, and the piezo rotor 14 is rotatably supported by the circular spline 11 around the central portion of the pressing portion 14b.

ピエゾロータ14はフレクスプライン12の半径方向内方に配置され、その押圧部14bの両端部には、フレクスプライン12の内周面を押圧するための当接部14b1が形成されている。一対の当接部14b1が、フレクスプライン12の内周面をサーキュラスプライン11に向けて半径方向外方に押圧しており、これにより、フレクスプライン12の押圧された部位に形成されたアウタティース12aのみが、サーキュラスプライン11の中心を挟んで対向する2箇所に形成されたインナティース11cおよびギヤカバー13の内歯13cと噛合している。   The piezo rotor 14 is disposed radially inward of the flex spline 12, and contact portions 14 b 1 for pressing the inner peripheral surface of the flex spline 12 are formed at both ends of the press portion 14 b. The pair of contact portions 14b1 presses the inner peripheral surface of the flexspline 12 outward in the radial direction toward the circular spline 11, thereby the outer teeth 12a formed at the pressed portion of the flexspline 12. Only meshes with the inner teeth 11 c formed at two positions facing each other across the center of the circular spline 11 and the inner teeth 13 c of the gear cover 13.

また、押圧部14bの長手方向の中央部からは、可動部14cが押圧部14bの延びる方向に対して略直角方向へと突出している。図3(a)に示すように、可動部14cは撓み可能なように薄板状に形成されており、その先端には、所定の重量を有した錘部14c1が形成されている。   Moreover, the movable part 14c protrudes from the center part of the longitudinal direction of the press part 14b in the substantially right angle direction with respect to the direction where the press part 14b is extended. As shown in FIG. 3A, the movable portion 14c is formed in a thin plate shape so that it can be bent, and a weight portion 14c1 having a predetermined weight is formed at the tip thereof.

可動部14cの一側面には、一対の電極17a、17bにより挟持された圧電素子16(本発明の歪素子に該当する)が取り付けられている。圧電素子16は圧電セラミック、ロッシェル塩、水晶等により形成されており、電極17a、17b間に加えられた電圧に応じた歪量を発生する公知のピエゾ素子である。   A piezoelectric element 16 (corresponding to a strain element of the present invention) sandwiched between a pair of electrodes 17a and 17b is attached to one side surface of the movable portion 14c. The piezoelectric element 16 is formed of piezoelectric ceramic, Rochelle salt, crystal, or the like, and is a known piezo element that generates a strain amount corresponding to a voltage applied between the electrodes 17a and 17b.

図2に示すように、支承軸部14aには、圧電素子16に外部から電力を供給するための端子18a、18b(正端子18a、負端子18b)が取り付けられている。正端子18aは、上述した圧電素子16の電極17a、17bのうちの一方に接続され、負端子18bは、残りの電極17a、17bに接続されている(詳細は図示せず)。   As shown in FIG. 2, terminals 18a and 18b (positive terminal 18a and negative terminal 18b) for supplying electric power to the piezoelectric element 16 from the outside are attached to the support shaft portion 14a. The positive terminal 18a is connected to one of the electrodes 17a and 17b of the piezoelectric element 16 described above, and the negative terminal 18b is connected to the remaining electrodes 17a and 17b (details are not shown).

図2に示すように、正端子18aに直流電源のプラス側を接続し、負端子18bにマイナス側を接続して圧電素子16に電圧を加えると、圧電素子16に歪が発生する。圧電素子16に歪が発生することにより、可動部14cは、押圧部14bとの接続部位と先端との間の全体に渡って、図1において時計回りの方向に撓むように形成されている(図3(b)示)。   As shown in FIG. 2, when a positive side of the DC power source is connected to the positive terminal 18a and a negative side is connected to the negative terminal 18b and a voltage is applied to the piezoelectric element 16, distortion occurs in the piezoelectric element 16. When the piezoelectric element 16 is distorted, the movable portion 14c is formed so as to bend in the clockwise direction in FIG. 1 over the entire portion between the connection portion with the pressing portion 14b and the tip (see FIG. 1). 3 (b) shown).

図4に示すように、圧電素子16に発生する歪により、可動部14cが所定の加速度で時計回りに撓み始めると、可動部14cの先端の錘部14c1の移動により、ピエゾロータ14に回転トルクが発生する。すなわち、錘部14c1の重量をm、可動部14cの撓みにより錘部14c1に発生する加速度をa、ピエゾロータ14の回転中心P(貫通孔11dにより支持された支承軸部14aの中心位置)から錘部14c1までの距離をLとした場合、T=ma・Lという大きさの回転トルクが作用する。この回転トルクをピエゾロータ14における抵抗力よりも大きく設定した場合、ピエゾロータ14がPを中心として、フレクスプライン12に対して時計回りに回転し始める。   As shown in FIG. 4, when the movable portion 14c starts to bend clockwise with a predetermined acceleration due to the strain generated in the piezoelectric element 16, the rotational torque is applied to the piezo rotor 14 by the movement of the weight portion 14c1 at the tip of the movable portion 14c. appear. That is, the weight of the weight portion 14c1 is m, the acceleration generated in the weight portion 14c1 due to the bending of the movable portion 14c is a, and the weight from the rotation center P of the piezo rotor 14 (the center position of the support shaft portion 14a supported by the through hole 11d). When the distance to the part 14c1 is L, a rotational torque of T = ma · L acts. When this rotational torque is set to be larger than the resistance force in the piezo rotor 14, the piezo rotor 14 starts to rotate clockwise around the flex spline 12 around P.

この時、可動部14cの撓みによって、ピエゾロータ14には反時計回りの反力が働くが、当該反力はピエゾロータ14の回転中心付近に作用するため、ピエゾロータ14の時計回りの回転を妨げる力にはならない。   At this time, the counterclockwise reaction force acts on the piezo rotor 14 due to the bending of the movable portion 14c. However, since the reaction force acts near the rotation center of the piezo rotor 14, the force prevents the piezo rotor 14 from rotating clockwise. Must not.

圧電素子16に対し、一度、電圧を印加することにより、ピエゾロータ14に働く回転トルクは、慣性力となってピエゾロータ14に作用するため、圧電素子16に加える電圧を解除してもピエゾロータ14は回転し続ける。フレクスプライン12の内周面とピエゾロータ14の当接部14b1との間には摺動抵抗が存在し、また、可動部14cの撓み量が最大限になる付近において、錘部14c1には逆方向に加速度が発生しており、これらによる抵抗力により上述した慣性力が消滅するまで、ピエゾロータ14の回転が継続する。   By applying a voltage to the piezoelectric element 16 once, the rotational torque acting on the piezo rotor 14 acts on the piezo rotor 14 as an inertial force. Therefore, even if the voltage applied to the piezoelectric element 16 is released, the piezo rotor 14 rotates. Keep doing. There is a sliding resistance between the inner peripheral surface of the flexspline 12 and the abutting portion 14b1 of the piezo rotor 14, and in the vicinity where the amount of bending of the movable portion 14c is maximized, the weight portion 14c1 has a reverse direction. Thus, the piezo rotor 14 continues to rotate until the above-described inertial force disappears due to the resistance force.

さらに、圧電素子16へ印加する電圧のオン、オフを繰り返すことにより、圧電素子16において反復的に歪が発生する。これにより、可動部14cが繰返し加速度をともなって変形し、ピエゾロータ14に継続的に慣性力が発生するため、ピエゾロータ14はフレクスプライン12内において時計回りに連続的に回転する。   Further, by repeatedly turning on and off the voltage applied to the piezoelectric element 16, distortion is repeatedly generated in the piezoelectric element 16. As a result, the movable portion 14 c is repeatedly deformed with acceleration, and an inertial force is continuously generated in the piezo rotor 14, so that the piezo rotor 14 continuously rotates clockwise in the flexspline 12.

ピエゾロータ14の回転により、当接部14b1がフレクスプライン12の内周面に対して摺動しながら円周上を移動し、フレクスプライン12の押圧部位を回転移動させる。これにより、フレクスプライン12が撓みながら、アウタティース12aとインナティース11cとが噛合する円周上の位置が時計回りに移動する。   The rotation of the piezo rotor 14 causes the contact portion 14b1 to move on the circumference while sliding with respect to the inner peripheral surface of the flex spline 12, thereby rotating the pressing portion of the flex spline 12. As a result, the position on the circumference where the outer teeth 12a and the inner teeth 11c mesh is moved clockwise while the flexspline 12 is bent.

したがって、サーキュラスプライン11が固定されていることにより、フレクスプライン12がピエゾロータ14とは反対方向(反時計回り)に回転し、フレクスプライン12と同速度で回転可能なギヤカバー13の出力軸部13dにおいて、ピエゾロータ14による回転が減速されて出力される。出力軸部13dを上述した場合と反対方向(時計回り)に回転させる場合は、圧電素子16の電極17a、17bへの電源の接続を、逆向きにすればよい。   Therefore, when the circular spline 11 is fixed, the flexspline 12 rotates in the opposite direction (counterclockwise) to the piezo rotor 14, and at the output shaft portion 13 d of the gear cover 13 that can rotate at the same speed as the flexspline 12. The rotation by the piezo rotor 14 is decelerated and output. When the output shaft portion 13d is rotated in the opposite direction (clockwise) to that described above, the connection of the power source to the electrodes 17a and 17b of the piezoelectric element 16 may be reversed.

図5に示すように、本実施形態による回転駆動システム(本発明の回転駆動装置に該当する)は、上述したハーモニックギヤ装置1、コントローラ2(本発明の回転制御手段に該当する)、回転速度センサ3(本発明の回転速度検出手段に該当する)、オペアンプ4および基準電圧設定部5(本発明の基準速度設定手段に該当する)を備えている。   As shown in FIG. 5, the rotational drive system according to the present embodiment (corresponding to the rotational drive device of the present invention) includes the above-described harmonic gear device 1, controller 2 (corresponding to the rotational control means of the present invention), rotational speed. A sensor 3 (corresponding to the rotation speed detecting means of the present invention), an operational amplifier 4 and a reference voltage setting unit 5 (corresponding to the reference speed setting means of the present invention) are provided.

回転速度センサ3はギヤカバー13の出力軸部13d付近に配置され、検出した出力軸部13dの回転速度(フレクスプライン12の回転速度に等しい)に応じた電圧信号を発生する。回転速度センサ3による電圧信号は、オペアンプ4の非反転入力端子に入力されている。オペアンプ4の反転入力端子には基準電圧設定部5が接続されており、基準電圧設定部5により設定されたハーモニックギヤ装置1の目標回転速度に応じた電圧信号が入力されている。   The rotational speed sensor 3 is disposed in the vicinity of the output shaft portion 13d of the gear cover 13, and generates a voltage signal corresponding to the detected rotational speed of the output shaft portion 13d (equal to the rotational speed of the flex spline 12). The voltage signal from the rotation speed sensor 3 is input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 4. A reference voltage setting unit 5 is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier 4, and a voltage signal corresponding to the target rotational speed of the harmonic gear device 1 set by the reference voltage setting unit 5 is input.

オペアンプ4の出力端子および基準電圧設定部5には、コントローラ2が接続されており、さらにコントローラ2には、上述した支承軸部14aに形成された端子18a、18bが接続されている。コントローラ2は図示しない電源と接続されており、端子18a、18bへの供給電圧を制御している。   The controller 2 is connected to the output terminal of the operational amplifier 4 and the reference voltage setting unit 5, and the terminals 18 a and 18 b formed on the support shaft portion 14 a are connected to the controller 2. The controller 2 is connected to a power source (not shown) and controls the supply voltage to the terminals 18a and 18b.

図6に示すように、コントローラ2は、端子18a、18b間に最大電圧Vsの電気信号を周期Tsで繰返し供給している。電気信号の電圧Vsおよび周期Tsは、ピエゾロータ14を連続的に回転させるために必要な値に設定されている。   As shown in FIG. 6, the controller 2 repeatedly supplies an electric signal with the maximum voltage Vs between the terminals 18a and 18b with a period Ts. The voltage Vs and the period Ts of the electric signal are set to values necessary for continuously rotating the piezo rotor 14.

また、図6に示すように、コントローラ2が発生する電気信号は、電圧の上昇勾配に対し減少勾配が緩やかに形成されている。したがって、可動部14cの変形時の撓み加速度に対して、戻り時の撓み加速度が小さくなり、ピエゾロータ14に反対方向の回転トルクが発生しないようになっている。   Further, as shown in FIG. 6, the electric signal generated by the controller 2 has a gradual decrease gradient with respect to the voltage increase gradient. Therefore, the bending acceleration at the time of return is smaller than the bending acceleration at the time of deformation of the movable portion 14c, so that rotational torque in the opposite direction is not generated in the piezo rotor 14.

コントローラ2は、回転速度センサ3によって検出された出力軸部13dの回転速度に基づいて、フレクスプライン12の回転位置(ギヤカバー13の出力軸部13dの回転位置と同意)による回転速度のむらを低減させるように、圧電素子16に供給する電気信号を制御している。   Based on the rotational speed of the output shaft portion 13 d detected by the rotational speed sensor 3, the controller 2 reduces unevenness in the rotational speed due to the rotational position of the flexspline 12 (which agrees with the rotational position of the output shaft portion 13 d of the gear cover 13). As described above, the electric signal supplied to the piezoelectric element 16 is controlled.

コントローラ2は、回転速度センサ3によって検出された電圧値(出力軸部13dの回転速度に応じた値が検出されている)と、基準電圧設定部5により設定された基準電圧(フレクスプライン12の目標回転速度である基準回転速度に応じた値に設定されている)との偏差に応じて、圧電素子16に供給する電気信号を制御する(回転むら制御)。   The controller 2 detects the voltage value detected by the rotation speed sensor 3 (a value corresponding to the rotation speed of the output shaft portion 13d is detected) and the reference voltage set by the reference voltage setting unit 5 (of the flex spline 12). The electrical signal supplied to the piezoelectric element 16 is controlled (rotational unevenness control) according to the deviation from the target rotational speed (which is set to a value corresponding to the reference rotational speed that is the target rotational speed).

例えば、図7において実線にて示すように、出力軸部13dの回転位置(フレクスプライン12の回転位置)が90度付近において、回転速度センサ3の検出電圧が基準電圧よりも所定量だけ低い場合、図8に示すように、当該回転位置において、圧電素子16に対し電圧Vsの電気信号を周期Th(<Ts)で供給する。これにより、可動部14cにおける撓みの発生頻度が増加し、ピエゾロータ14の回転速度を増大させることができる(図7において破線にて示す)。   For example, as shown by a solid line in FIG. 7, when the rotational position of the output shaft 13d (the rotational position of the flex spline 12) is around 90 degrees, the detection voltage of the rotational speed sensor 3 is lower than the reference voltage by a predetermined amount. As shown in FIG. 8, at the rotational position, an electric signal of voltage Vs is supplied to the piezoelectric element 16 at a period Th (<Ts). Thereby, the frequency of occurrence of bending in the movable portion 14c increases, and the rotational speed of the piezo rotor 14 can be increased (indicated by a broken line in FIG. 7).

この時、回転速度センサ3の検出電圧と基準電圧との偏差が大きければ大きいほど、電気信号の周期を短くすることにより、ピエゾロータ14の回転速度を基準回転速度に近づけることができる。   At this time, the greater the deviation between the detected voltage of the rotation speed sensor 3 and the reference voltage, the closer the rotation speed of the piezo rotor 14 can be to the reference rotation speed by shortening the cycle of the electrical signal.

上述した場合と異なり、出力軸部13dの回転位置が180度付近におけるように、回転速度センサ3の検出電圧が基準電圧よりも所定量だけ高い場合、圧電素子16に供給する電気信号の周期を長くして、ピエゾロータ14の回転速度を減少させればよいことは言うまでもない。   Unlike the case described above, when the detection voltage of the rotation speed sensor 3 is higher than the reference voltage by a predetermined amount such that the rotation position of the output shaft portion 13d is near 180 degrees, the cycle of the electric signal supplied to the piezoelectric element 16 is set. It goes without saying that the rotation speed of the piezo rotor 14 may be reduced by increasing the length.

また、回転速度センサ3の検出電圧が基準電圧よりも所定量だけ低い場合に、圧電素子16に供給する電気信号の周期を短くする代わりに、図9に示すように、圧電素子16に対し最大電圧Vh(>Vs)の電気信号を供給してもよい。これにより、錘部14c1に発生する加速度が増加し、ピエゾロータ14の回転速度を増大させることができる。この場合、電圧の減少勾配を少しだけ急にして、電気信号の周期が長くなることを抑制するのが望ましい。   In addition, when the detected voltage of the rotation speed sensor 3 is lower than the reference voltage by a predetermined amount, instead of shortening the cycle of the electric signal supplied to the piezoelectric element 16, as shown in FIG. An electric signal having a voltage Vh (> Vs) may be supplied. Thereby, the acceleration which generate | occur | produces in the weight part 14c1 increases, and the rotational speed of the piezo rotor 14 can be increased. In this case, it is desirable to suppress the increase in the period of the electric signal by making the voltage decrease gradient slightly steep.

電気信号の電圧を変化させる場合、回転速度センサ3の検出電圧と基準電圧との偏差が大きければ大きいほど、電気信号の最大電圧を大きくすることにより、ピエゾロータ14の回転速度を基準回転速度に近づけることができる。   When changing the voltage of the electrical signal, the greater the deviation between the detected voltage of the rotational speed sensor 3 and the reference voltage, the greater the maximum voltage of the electrical signal, thereby bringing the rotational speed of the piezo rotor 14 closer to the reference rotational speed. be able to.

また、フレクスプライン12の回転位置による回転速度のむらを低減させるために、圧電素子16に供給する電気信号の周期と電圧の双方を重畳的に変化させてもよい。   Further, in order to reduce unevenness in the rotational speed due to the rotational position of the flexspline 12, both the period and voltage of the electrical signal supplied to the piezoelectric element 16 may be changed in a superimposed manner.

本実施形態によれば、波動発生器として、フレクスプライン12の内周面の2箇所に当接して、フレクスプライン12をサーキュラスプライン11に対して押圧するピエゾロータ14を備え、ピエゾロータ14に形成された可動部14cに圧電素子16を取り付け、圧電素子16において反復的に歪を発生させて可動部14cを繰返し加速度をともなって変形させ、これによって発生した慣性力によりピエゾロータ14を回転させるため、ピエゾロータ14をフレクスプライン12の半径方向内方に配置することができ、フレクスプライン12の軸方向外方に電動モータ等を設ける必要がなく、ハーモニックギヤ装置1全体を軸方向に小型化し、軽量化することができる。   According to this embodiment, the wave generator is provided with the piezo rotor 14 that contacts the two inner peripheral surfaces of the flex spline 12 and presses the flex spline 12 against the circular spline 11. The piezoelectric element 16 is attached to the movable portion 14c, and distortion is repeatedly generated in the piezoelectric element 16 to deform the movable portion 14c with repeated acceleration. The piezoelectric rotor 14 is rotated by the inertial force generated thereby. Can be arranged radially inward of the flexspline 12, and there is no need to provide an electric motor or the like outside the flexspline 12 in the axial direction, and the entire harmonic gear device 1 is reduced in size and weight in the axial direction. Can do.

また、慣性力を利用してピエゾロータ14を駆動させているため、可動部14cの重量あるいはその変形の加速度を変えることにより、ピエゾロータ14の回転速度を変化させ、延いては、フレクスプライン12の回転速度を変化させることができる。また、可動部14cの重量あるいはその変形の加速度を変えることにより、出力軸部13dの受ける負荷に対応することができる。   Further, since the piezo rotor 14 is driven using inertial force, the rotation speed of the piezo rotor 14 is changed by changing the weight of the movable portion 14c or the acceleration of the deformation thereof, and thus the flex spline 12 is rotated. The speed can be changed. Further, by changing the weight of the movable portion 14c or the acceleration of its deformation, it is possible to cope with the load received by the output shaft portion 13d.

また、圧電素子16を周波数の高い可聴外領域の電気信号により動作させることができるため、作動音の小さいハーモニックギヤ装置1にすることができる。   Moreover, since the piezoelectric element 16 can be operated by an electric signal in a high audible outside region, the harmonic gear device 1 with a low operating sound can be obtained.

また、可動部14cに圧電素子16を取り付けていることにより、供給する電圧に応じて歪量を変化させることができ、ピエゾロータ14の回転制御を容易に行うことができる。   Further, since the piezoelectric element 16 is attached to the movable portion 14c, the amount of strain can be changed according to the supplied voltage, and the rotation control of the piezo rotor 14 can be easily performed.

また、検出された出力軸部13dの回転速度に基づいて、フレクスプライン12の回転位置による回転速度のむらを低減させるように、圧電素子16に供給する電気信号を制御することにより、フレクスプライン12の回転速度を一定に保ち、円滑に回転させることができる。したがって、出力回転速度のむらによる異音も低減することができる。   Further, based on the detected rotational speed of the output shaft portion 13d, the electrical signal supplied to the piezoelectric element 16 is controlled so as to reduce the unevenness of the rotational speed due to the rotational position of the flex spline 12, thereby The rotation speed can be kept constant and can be rotated smoothly. Therefore, abnormal noise due to uneven output rotation speed can also be reduced.

また、フレクスプライン12の目標回転速度に応じた基準電圧を設定し、検出された回転速度センサ3の検出電圧と設定された基準電圧との偏差に応じて、圧電素子16に供給する電気信号を制御することにより、フレクスプライン12を目標回転速度になるように容易に制御することができる。   Further, a reference voltage corresponding to the target rotational speed of the flexspline 12 is set, and an electric signal to be supplied to the piezoelectric element 16 according to a deviation between the detected detection voltage of the rotational speed sensor 3 and the set reference voltage. By controlling, it is possible to easily control the flexspline 12 so as to reach the target rotational speed.

また、押圧部14bの両端部においてフレクスプライン12を押圧してアウタティース12aをインナティース11cに噛合させるとともに、押圧部14bから突出した可動部14cに圧電素子16を取り付けて回転方向に撓ませ、ピエゾロータ14に慣性力を発生させることにより、ピエゾロータ14において、フレクスプライン12を押圧する押圧部14bと圧電素子16により撓む可動部14cとを別部位に形成できる。このため、それぞれの剛性を自由に設定して、押圧部14bの剛性を維持しつつ可動部14cを撓みやすくし、押圧部14bによりフレクスプライン12を確実に押圧できるとともに、ピエゾロータ14に発生する慣性力を増大させることができる。   Further, the flex spline 12 is pressed at both ends of the pressing portion 14b to engage the outer teeth 12a with the inner teeth 11c, and the piezoelectric element 16 is attached to the movable portion 14c protruding from the pressing portion 14b to bend in the rotational direction. By generating an inertial force in the piezo rotor 14, in the piezo rotor 14, a pressing portion 14 b that presses the flexspline 12 and a movable portion 14 c that is bent by the piezoelectric element 16 can be formed in different parts. Therefore, each of the rigidity is set freely, the movable part 14c is easily bent while maintaining the rigidity of the pressing part 14b, the flex spline 12 can be reliably pressed by the pressing part 14b, and inertia generated in the piezo rotor 14 The power can be increased.

サーキュラスプライン11には、ピエゾロータ14を軸受部材15を介して回転可能に支持する貫通孔11dが形成されたことにより、ピエゾロータ14が、フレクスプライン12の半径方向内方において安定して回転することができる。   The circular spline 11 is formed with a through hole 11 d that rotatably supports the piezo rotor 14 via the bearing member 15, so that the piezo rotor 14 can stably rotate inward in the radial direction of the flexspline 12. it can.

<実施形態1の変形例>
図10に示すように、実施形態1の変形例として、実施形態1によるハーモニックギヤ装置1に対して、サーキュラスプライン11によるピエゾロータ14Dの支持構造(貫通孔11d)を備えない構成としてもよい。本変形例によれば、ピエゾロータ14Dが回転中心(図10においてPにて示す)においてサーキュラスプライン11による拘束を受けないため、ピエゾロータ14Dはフレクスプライン12の内周面に倣って回転することができ、フレクスプライン12の対向した2箇所をバランスよく押圧することができる。
本変形例におけるその他の構成については、実施形態1によるハーモニックギヤ装置1と同様であるため、詳細な説明は省略する。
<Modification of Embodiment 1>
As shown in FIG. 10, as a modification of the first embodiment, the harmonic gear device 1 according to the first embodiment may not include a support structure (through hole 11 d) for the piezo rotor 14 </ b> D by the circular spline 11. According to this modification, since the piezo rotor 14D is not restrained by the circular spline 11 at the rotation center (indicated by P in FIG. 10), the piezo rotor 14D can rotate following the inner peripheral surface of the flexspline 12. The two opposing locations of the flexspline 12 can be pressed with good balance.
Since other configurations in the present modification are the same as those of the harmonic gear device 1 according to the first embodiment, detailed description thereof is omitted.

<実施形態2>
図11は、実施形態2によるハーモニックギヤ装置の簡略図である。本実施形態において、ピエゾロータ14Eは長尺状に形成され、長手方向の中央部には支承軸部14E1が図11において紙面に垂直な方向に突出している。支承軸部14E1が、軸受部材15を介してサーキュラスプライン11の貫通孔11dに対し嵌合しているため、ピエゾロータ14Eは、長手方向の中央部を中心にしてサーキュラスプライン11により回転可能に支持されている。
<Embodiment 2>
FIG. 11 is a simplified diagram of the harmonic gear device according to the second embodiment. In the present embodiment, the piezo rotor 14E is formed in a long shape, and a support shaft portion 14E1 projects in a direction perpendicular to the paper surface in FIG. Since the support shaft portion 14E1 is fitted to the through hole 11d of the circular spline 11 via the bearing member 15, the piezo rotor 14E is supported by the circular spline 11 so as to be rotatable around the central portion in the longitudinal direction. ing.

また、ピエゾロータ14Eは、支承軸部14E1から半径方向両外方に形成された長尺状の押圧部を備え、その先端の当接部においてフレクスプライン12の内周面に当接し、フレクスプライン12のアウタティース12aを、サーキュラスプライン11のインナティース11cに中心を挟んで対向した2箇所において噛合させている。   Further, the piezo rotor 14E includes a long pressing portion formed radially outward from the support shaft portion 14E1, and abuts the inner peripheral surface of the flex spline 12 at the abutting portion at the tip thereof. The outer teeth 12a of the circular spline 11 are meshed with each other at two locations facing each other across the center.

さらに、押圧部には、ピエゾロータ14Eの回転中心(図11においてPにて示す)と先端の当接部との間に、回転方向に撓み可能な可動部14E2(本発明の形状可変部に該当する)がそれぞれ形成されており、それぞれの可動部14E2に圧電素子16が取り付けられている。また、それぞれの押圧部の先端には、所定の重量を備えた錘部14E3が当接部を兼ねて形成されている。これにより、圧電素子16に発生した歪によって、各々の可動部14E2が撓んで慣性力が発生し、ピエゾロータ14Eが時計回りに回転する。
本実施形態においては、ピエゾロータ14Eの回転中心から一方に突出した押圧部のみに、圧電素子16を備えた撓み可能な可動部14E2を形成してもよい。
Further, the pressing portion includes a movable portion 14E2 (corresponding to the shape variable portion of the present invention) that can bend in the rotational direction between the rotation center (indicated by P in FIG. 11) of the piezo rotor 14E and the contact portion at the tip. And the piezoelectric element 16 is attached to each movable portion 14E2. Further, a weight portion 14E3 having a predetermined weight is formed at the tip of each pressing portion so as to also serve as a contact portion. Thereby, due to the distortion generated in the piezoelectric element 16, each movable portion 14E2 is bent and an inertial force is generated, and the piezo rotor 14E rotates clockwise.
In the present embodiment, the bendable movable portion 14E2 including the piezoelectric element 16 may be formed only in the pressing portion protruding in one direction from the rotation center of the piezo rotor 14E.

本実施形態によれば、ピエゾロータ14Eの押圧部の先端の当接部においてフレクスプライン12を押圧してアウタティース12aをインナティース11cに噛合させるとともに、回転中心と少なくとも一側の押圧部に可動部14E2を形成して圧電素子16を取り付け、可動部14E2を撓ませてピエゾロータ14Eに慣性力を発生させることにより、フレクスプライン12を押圧する押圧部に撓み可能な可動部14E2を一体的に形成している。このため、形状可変部を特別に設ける必要がなく、ピエゾロータ14Eを小型軽量化することができ、ピエゾロータ14Eを回転させるために必要とする慣性力を低減することができる。   According to this embodiment, the flex spline 12 is pressed at the abutting portion at the tip of the pressing portion of the piezo rotor 14E to engage the outer teeth 12a with the inner teeth 11c, and the movable portion is at least one side of the rotation center and the pressing portion. 14E2 is formed, the piezoelectric element 16 is attached, the movable portion 14E2 is bent, and an inertial force is generated in the piezo rotor 14E, so that the movable portion 14E2 that can be bent is integrally formed with the pressing portion that presses the flexspline 12. ing. For this reason, it is not necessary to provide a shape variable part specially, the piezo rotor 14E can be reduced in size and weight, and the inertia force required in order to rotate the piezo rotor 14E can be reduced.

また、サーキュラスプライン11は、ピエゾロータ14Eを回転中心において支持しているため、一対の圧電素子16のうちの一方のみに電圧を印加して片方の可動部14E2のみを撓ませても、ピエゾロータ14Eがバランスを崩さずに安定して回転することができる。   Further, since the circular spline 11 supports the piezo rotor 14E at the center of rotation, even if only one of the pair of piezoelectric elements 16 is applied with a voltage to bend only the one movable portion 14E2, the piezo rotor 14E is It can rotate stably without breaking the balance.

<実施形態2の変形例>
図12に示すように、実施形態2の変形例として、実施形態2によるハーモニックギヤ装置に対して、サーキュラスプライン11によるピエゾロータ14Fの支持構造(貫通孔11d)を備えない構成としてもよい。
<Modification of Embodiment 2>
As shown in FIG. 12, as a modification of the second embodiment, the harmonic gear device according to the second embodiment may be configured not to include a support structure (through hole 11d) for the piezoelectric rotor 14F by the circular spline 11.

本変形例におけるその他の構成については、実施形態2によるハーモニックギヤ装置と同様であるため、詳細な説明は省略する。   Since other configurations in the present modification are the same as those of the harmonic gear device according to the second embodiment, detailed description thereof is omitted.

<実施形態3>
図13は、実施形態3によるハーモニックギヤ装置の簡略図である。本実施形態において、ピエゾロータ14Gの回転中心(図13においてPにて示す)から3個の押圧部14G1が互いに均等な角度を形成するように放射状に延び、押圧部14G1のそれぞれの端部の当接部がフレクスプライン12の内周面に当接している。
これにより、フレクスプライン12のアウタティース12aを、サーキュラスプライン11のインナティース11cにおける円周上の3箇所に噛合させている。また、それぞれの押圧部14G1の先端には、錘部14G2が当接部を兼ねて設けられている。さらに、押圧部14G1のうちの一つは、回転方向に撓み可能に形成されるとともに、圧電素子16が取り付けられており、圧電素子16に発生した歪により押圧部14G1の一つ(本発明の形状可変部を兼ねている)が撓んで、ピエゾロータ14Gに慣性力が発生する。
<Embodiment 3>
FIG. 13 is a simplified diagram of the harmonic gear device according to the third embodiment. In the present embodiment, the three pressing portions 14G1 extend radially from the rotation center (indicated by P in FIG. 13) of the piezo rotor 14G so as to form an equal angle with each other. The contact portion is in contact with the inner peripheral surface of the flexspline 12.
Thereby, the outer teeth 12a of the flexspline 12 are meshed with three locations on the circumference of the inner teeth 11c of the circular spline 11. Further, a weight portion 14G2 is also provided at the tip of each pressing portion 14G1 as a contact portion. Further, one of the pressing portions 14G1 is formed so as to be able to bend in the rotation direction, and has a piezoelectric element 16 attached thereto. One of the pressing portions 14G1 (in the present invention) due to distortion generated in the piezoelectric element 16 (Which also serves as a shape variable portion) bends and an inertial force is generated in the piezo rotor 14G.

本実施形態においては、ピエゾロータ14Gが、回転中心から放射状に延びる4個以上の押圧部14G1を備え、これらが互いに均等な角度を形成するようにしてもよい。また、図13に示した押圧部14G1のうちの、二つを撓み可能に形成するとともに圧電素子16を取り付けてもよいし、すべて(3個)の押圧部14G1を撓み可能に形成して、圧電素子16を取り付けてもよい。   In the present embodiment, the piezo rotor 14G may include four or more pressing portions 14G1 extending radially from the rotation center, and these may form an equal angle with each other. Further, two of the pressing portions 14G1 shown in FIG. 13 may be formed to be deflectable, and the piezoelectric element 16 may be attached, or all (three) pressing portions 14G1 may be formed to be flexible, The piezoelectric element 16 may be attached.

本実施形態によれば、ピエゾロータ14Gの回転中心から3個の押圧部14G1が互いに均等な角度を形成するように放射状に延び、それぞれの端部においてフレクスプライン12を押圧していることにより、ピエゾロータ14Gが円周上の3箇所において、フレクスプライン12の内周面に均等に当接できるため、サーキュラスプライン11にピエゾロータ14Gを支持する構造を設けなくても、ピエゾロータ14Gが安定して回転することができる。   According to the present embodiment, the three pressing portions 14G1 extend radially from the rotation center of the piezo rotor 14G so as to form an equal angle with each other, and the flex spline 12 is pressed at each end portion, whereby the piezo rotor. Since 14G can abut evenly on the inner peripheral surface of the flexspline 12 at three locations on the circumference, the piezo rotor 14G can be stably rotated even if the circular spline 11 is not provided with a structure for supporting the piezo rotor 14G. Can do.

<実施形態4>
図14は、実施形態4によるピエゾロータの部分拡大図である。本実施形態は、図1に示したピエゾロータ14を変更した実施形態であり、押圧部14bに可動部14cが設けられていない代わりに、押圧部14bには取付溝14b2が形成されている。取付溝14b2には、アース電極17eが挿入固定されている。
<Embodiment 4>
FIG. 14 is a partially enlarged view of the piezo rotor according to the fourth embodiment. This embodiment is an embodiment in which the piezo rotor 14 shown in FIG. 1 is changed, and a mounting groove 14b2 is formed in the pressing portion 14b instead of the movable portion 14c being not provided in the pressing portion 14b. An earth electrode 17e is inserted and fixed in the mounting groove 14b2.

アース電極17eの両面には、アース電極17eを挟むように一対の圧電素子16が貼付されている。双方の圧電素子16は、同様の仕様のものである。さらに、それぞれの圧電素子16においてアース電極17eと当接していない側の面には、印加電極17c、17dがそれぞれ当接するように配置されている。   A pair of piezoelectric elements 16 are attached to both surfaces of the ground electrode 17e so as to sandwich the ground electrode 17e. Both piezoelectric elements 16 have the same specifications. Furthermore, the application electrodes 17c and 17d are arranged so as to abut on the surface of each piezoelectric element 16 that is not in contact with the ground electrode 17e.

上述した構成において、アース電極17eは常に直流電源のマイナス側に接続されている。また、印加電極17c、17dのうちの一方が直流電源のプラス側に接続され、他方は直流電源のマイナス側に接続される。したがって、アース電極17eを挟んで設けられた一対の圧電素子16のうち、一方のみに直流電源による電圧を印加し、他方には電圧が加えられない。   In the configuration described above, the ground electrode 17e is always connected to the negative side of the DC power supply. One of the application electrodes 17c and 17d is connected to the positive side of the DC power supply, and the other is connected to the negative side of the DC power supply. Therefore, a voltage from a DC power source is applied to only one of the pair of piezoelectric elements 16 provided with the ground electrode 17e interposed therebetween, and no voltage is applied to the other.

これにより、電圧が印加された圧電素子16のみに歪が発生し、アース電極17eとともにいずれかの方向(図14における上方または下方のいずれかの方向)に撓みを発生する。   As a result, distortion occurs only in the piezoelectric element 16 to which a voltage is applied, and bending occurs in either direction (upward or downward in FIG. 14) together with the ground electrode 17e.

印加電極17c、17dのうち、直流電源のプラス側に接続する側を切り換えて、電圧を印加する圧電素子16を入れ変えることにより、その撓み方向を反転させることができる。これにより、ピエゾロータ14の回転方向を選択し、出力軸部13dの回転方向を切り換えることが可能になる。また、上述した構成によれば、ピエゾロータ14に可動部14cを形成する必要がなくなる。   By switching the side of the application electrodes 17c and 17d that is connected to the positive side of the DC power source and switching the piezoelectric element 16 to which the voltage is applied, the bending direction can be reversed. As a result, the rotation direction of the piezo rotor 14 can be selected and the rotation direction of the output shaft portion 13d can be switched. Further, according to the configuration described above, it is not necessary to form the movable portion 14 c in the piezo rotor 14.

<実施形態5>
実施形態5によるハーモニックギヤ装置21を図15および図16に基づいて説明する。本実施形態は、実施形態1において、ピエゾロータ14(回転押圧部材)の回転方向に振動可能な弾性部材22と振動錘23とを含む振動系24がピエゾロータ14に取り付けられ、コントローラ2(回転制御装置)が圧電素子16(歪素子)に振動系24の共振周波数付近で歪を発生させる点のみが実施形態1によるハーモニックギヤ装置1と異なるので、かかる相違点のみについて以下に説明する。
<Embodiment 5>
A harmonic gear device 21 according to Embodiment 5 will be described with reference to FIGS. 15 and 16. In this embodiment, in Embodiment 1, a vibration system 24 including an elastic member 22 that can vibrate in the rotation direction of the piezo rotor 14 (rotation pressing member) and a vibration weight 23 is attached to the piezo rotor 14, and the controller 2 (rotation control device). ) Is different from the harmonic gear device 1 according to the first embodiment only in that the piezoelectric element 16 (strain element) generates a strain in the vicinity of the resonance frequency of the vibration system 24, and only the difference will be described below.

フレクスプライン12の先端とサーキュラスプライン11の底部11aの内端面との間には出力回転軸方向に隙間25が形成され、サーキュラスプライン11のリング状部11bの内周面には、隙間25と対向して大径の環状溝部11eが形成され振動系24を収納する収納空間26が構成されている。収納空間26内においてピエゾロータ14の回転方向に振動可能な弾性部材22が押圧部14bの当接部14b1に半径方向外方に向かって立設され、弾性部材22の自由端に振動錘23が環状溝部11e内で固定されている。即ち、振動系24は押圧部14bの当接部14b1と円周方向同位相で半径方向外方に突出してピエゾロータ14に固定され、この振動系24が収納空間26内に収納されている。   A gap 25 is formed in the output rotation axis direction between the tip of the flex spline 12 and the inner end face of the bottom part 11a of the circular spline 11, and the inner peripheral surface of the ring-like part 11b of the circular spline 11 is opposed to the gap 25. Thus, a large-diameter annular groove 11e is formed, and a storage space 26 for storing the vibration system 24 is formed. An elastic member 22 capable of vibrating in the rotational direction of the piezo rotor 14 in the storage space 26 is erected outward in the radial direction at the contact portion 14b1 of the pressing portion 14b, and a vibrating weight 23 is annularly formed at the free end of the elastic member 22. It is fixed in the groove 11e. That is, the vibration system 24 protrudes radially outward in the same phase in the circumferential direction as the contact portion 14 b 1 of the pressing portion 14 b and is fixed to the piezo rotor 14, and the vibration system 24 is stored in the storage space 26.

コントローラ2が、例えばバイモルフ型の圧電素子16に電圧の上昇勾配に対し減少勾配が緩やかに形成された電圧の電気信号を高い周波数で加えると、圧電素子16は電圧をかけた側に例えば時計方向に撓み、可動部14cに変形時の撓み加速度に対して、戻り時の撓み加速度が小さい撓みが生じ、ピエゾロータ14に継続的に慣性力が発生する(図16(a))。振動錘23は質量を持ち、弾性部材22は弾性係数を持つので、振動系24の弾性部材22に押圧部材14bから振動が入力されると振動錘23は振り子のように振れる(図16(b))。振動錘23の振れを図略の検出手段で検出すると、コントローラ2は電気信号の周波数またはデューティ比等を変えて押圧部14bも振れるようにし(図16(c))、遂にはピエゾロータ14が時計方向に回転するようにする(図16(d))。   When the controller 2 applies, for example, an electric signal of a voltage having a gradually decreasing gradient with respect to the voltage rising gradient to the bimorph type piezoelectric element 16 at a high frequency, the piezoelectric element 16 is applied, for example, clockwise to the side to which the voltage is applied. Therefore, the movable portion 14c bends with a small deflection acceleration at the time of return relative to the deflection acceleration at the time of deformation, and an inertial force is continuously generated in the piezo rotor 14 (FIG. 16A). Since the vibration weight 23 has a mass and the elastic member 22 has an elastic coefficient, when vibration is input to the elastic member 22 of the vibration system 24 from the pressing member 14b, the vibration weight 23 swings like a pendulum (FIG. 16B). )). When the vibration of the vibration weight 23 is detected by a detection means (not shown), the controller 2 changes the frequency or duty ratio of the electric signal so that the pressing portion 14b can also swing (FIG. 16 (c)). It is made to rotate to a direction (FIG.16 (d)).

即ち、コントローラ2は振動錘23が時計方向(回転方向)に振れだすと圧電素子16に電圧を加え始め、振動錘23が時計方向に一番加速しているときに撓みを元に戻すように電圧の減少を開始する。そして、コントローラ2は振動錘23の振れに合わせて電気信号の周波数を振動系24の共振周波数付近程度まで低下させる。これにより、振動錘23が大きく振動してピエゾロータ14にさらに大きな回転トルクを付与し、フレクスプライン12からの出力トルクを増大し安定させることができる。さらに、振動系24がピエゾロータ14の当接部14bと円周方向同位相で半径方向外方に突出してピエゾロータ14に固定されているので、大きく振動する振動錘23がフレクスプライン12の内周面に当接する当接部14bでピエゾロータ14に大きな回転トルクを確実に付与することができる。   That is, the controller 2 starts to apply a voltage to the piezoelectric element 16 when the vibration weight 23 starts to swing clockwise (rotation direction), and returns the deflection when the vibration weight 23 is most accelerated in the clockwise direction. Start decreasing the voltage. Then, the controller 2 reduces the frequency of the electric signal to around the resonance frequency of the vibration system 24 in accordance with the vibration of the vibration weight 23. As a result, the vibration weight 23 vibrates greatly to apply a larger rotational torque to the piezo rotor 14, and the output torque from the flex spline 12 can be increased and stabilized. Furthermore, since the vibration system 24 protrudes radially outward with the same phase in the circumferential direction as the contact portion 14 b of the piezo rotor 14 and is fixed to the piezo rotor 14, the vibration weight 23 that vibrates greatly is the inner peripheral surface of the flexspline 12. A large rotational torque can be reliably applied to the piezo rotor 14 by the abutting portion 14b abutting on the piezoelectric rotor 14.

ピエゾロータ14が時計方向に回転し始めると、コントローラ2は第1実施形態と同様に、回転速度センサ3によって検出された出力軸部13dの回転速度に基づいて、フレクスプライン12の回転位置による回転速度のむらを低減させるように、圧電素子16に供給する電気信号の電圧、周波数またはデューティ比等を制御する。 When the piezo rotor 14 starts to rotate in the clockwise direction, the controller 2 rotates according to the rotational position of the flexspline 12 based on the rotational speed of the output shaft portion 13d detected by the rotational speed sensor 3, as in the first embodiment. The voltage, frequency, duty ratio, etc. of the electric signal supplied to the piezoelectric element 16 are controlled so as to reduce the nonuniformity.

本実施形態では振動系24がピエゾロータ14の押圧部14bの当接部14b1に取り付けられているが、ピエゾロータ14の回転中心部に可動体14cの反対側に半径方向外方に突出して取り付けてもよい。 In this embodiment, the vibration system 24 is attached to the abutting portion 14b1 of the pressing portion 14b of the piezo rotor 14. However, the vibration system 24 may be attached to the rotation center portion of the piezo rotor 14 so as to protrude radially outward on the opposite side of the movable body 14c. Good.

<実施形態5の変形例>
実施形態5の変形例1では、図17に示すように、実施形態2において、ピエゾロータ14Eの回転方向に振動可能な弾性部材22が可動部14E2を一体に形成された押圧部の当接部を兼ねた錘部14E3に半径方向外方に向かって立設され、弾性部材22の自由端に振動錘23が固定されている。即ち、振動系24が押圧部の当接部と円周方向同位相で半径方向外方に突出してピエゾロータ14Eに固定されている。
<Modification of Embodiment 5>
In the first modification of the fifth embodiment, as shown in FIG. 17, in the second embodiment, the elastic member 22 that can vibrate in the rotational direction of the piezo rotor 14E has a contact portion of the pressing portion integrally formed with the movable portion 14E2. The vibrating weight 23 is fixed to the free end of the elastic member 22 and is erected outwardly in the radial direction on the weight portion 14 </ b> E <b> 3. That is, the vibration system 24 is fixed to the piezo rotor 14E so as to protrude outward in the radial direction with the same phase in the circumferential direction as the contact portion of the pressing portion.

実施形態5の変形例2では、図18に示すように、実施形態3において、3個の押圧部14G1の当接部を兼ねた錘部14G2に振動系24が半径方向外方に突出して固定されている。   In the second modification of the fifth embodiment, as shown in FIG. 18, in the third embodiment, the vibration system 24 is fixed to the weight portion 14G2 that also serves as the contact portion of the three pressing portions 14G1 so as to protrude outward in the radial direction. Has been.

<他の実施形態>
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、次のように変形または拡張することができる。
<Other embodiments>
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be modified or expanded as follows.

ピエゾロータ14に取り付けられる歪素子は圧電素子16に限られるものではなく、磁歪素子、電歪素子、形状記憶素子等のうちのいずれかを使用してもよい。この場合の形状記憶素子とは、形状記憶材料に電気信号を与えて加熱し、歪を発生させる素子のことである。歪素子の歪み部には、金属材料、有機高分子材料、セラミックス材料、あるいはそれらの複合材を用いることができる。   The strain element attached to the piezo rotor 14 is not limited to the piezoelectric element 16, and any one of a magnetostrictive element, an electrostrictive element, a shape memory element, and the like may be used. The shape memory element in this case is an element that generates strain by applying an electric signal to the shape memory material and heating it. For the strained portion of the strain element, a metal material, an organic polymer material, a ceramic material, or a composite material thereof can be used.

また、フレクスプライン12とギヤカバー13は、一体的に形成されていてもよい。
また、フレクスプライン12を回転不能に固定し、サーキュラスプライン11から回転出力を得るように形成してもよい。
Further, the flexspline 12 and the gear cover 13 may be integrally formed.
Alternatively, the flex spline 12 may be fixed so as not to rotate, and a rotational output may be obtained from the circular spline 11.

また、ピエゾロータ14に発生する慣性力は、可動部14cの重量と撓み時の加速度とにより決定されるため、可動部14cの先端に形成された錘部14c1は必ずしも必要ではなく、可動部14c自体の重量と撓み時の加速度とに応じて、適宜設ければよい。   Further, since the inertial force generated in the piezo rotor 14 is determined by the weight of the movable part 14c and the acceleration at the time of bending, the weight part 14c1 formed at the tip of the movable part 14c is not necessarily required, and the movable part 14c itself Depending on the weight and the acceleration at the time of bending, it may be provided as appropriate.

また、フレクスプライン12の回転位置による回転速度のむらを低減するため、全回転位置におけるフレクスプライン12の回転速度の平均を算出し、回転速度センサ3によって検出された回転速度と、フレクスプライン12の回転速度の平均との偏差に応じて、圧電素子16に供給する電気信号を制御してもよい。   Further, in order to reduce unevenness in the rotational speed due to the rotational position of the flexspline 12, the average rotational speed of the flexspline 12 at all rotational positions is calculated, and the rotational speed detected by the rotational speed sensor 3 and the rotation of the flexspline 12 are calculated. The electric signal supplied to the piezoelectric element 16 may be controlled in accordance with the deviation from the average speed.

また、ピエゾロータ14の可動部14cの押圧部14bに対する取付位置は、押圧部14bの両端部の間であればどの位置でもよく、その突出方向は、必ずしも押圧部14bに対して直角方向でなくてもよい。   Moreover, the attachment position with respect to the press part 14b of the movable part 14c of the piezo rotor 14 may be any position as long as it is between the both ends of the press part 14b, and the protruding direction is not necessarily perpendicular to the press part 14b. Also good.

また、電圧を印加した場合の圧電素子16の歪方向は、どの方向のものであっても使用可能である。したがって、可動部14cへの圧電素子16の取付位置および取付方向も、上述した実施形態に開示された構成に限られない。   In addition, the strain direction of the piezoelectric element 16 when a voltage is applied can be used in any direction. Therefore, the attachment position and the attachment direction of the piezoelectric element 16 to the movable portion 14c are not limited to the configuration disclosed in the above-described embodiment.

図面中、1はハーモニックギヤ装置、2はコントローラ(回転制御手段)、3は回転速度センサ(回転速度検出手段)、5は基準電圧設定部(基準速度設定手段)、11はサーキュラスプライン、11bはリング状部、11cはインナティース(内歯)、11dは貫通孔(軸保持部)、12はフレクスプライン、12aはアウタティース(外歯)、14,14D,14E,14F,14Gはピエゾロータ(波動発生器、回転押圧部材)、14b、14G1は押圧部、14c、14E2は可動部(形状可変部)、16は圧電素子(歪素子)22は弾性部材、23は振動錘、24は振動系を示している。   In the drawings, 1 is a harmonic gear device, 2 is a controller (rotation control means), 3 is a rotation speed sensor (rotation speed detection means), 5 is a reference voltage setting unit (reference speed setting means), 11 is a circular spline, and 11b is Ring-shaped portion, 11c is inner teeth (inner teeth), 11d is a through hole (shaft holding portion), 12 is a flex spline, 12a is outer teeth (outer teeth), 14, 14D, 14E, 14F, and 14G are piezo rotors (wave motions) Generator, rotating pressing member), 14b and 14G1 are pressing parts, 14c and 14E2 are movable parts (shape variable parts), 16 is a piezoelectric element (straining element) 22 is an elastic member, 23 is a vibrating weight, and 24 is a vibrating system. Show.

Claims (10)

リング状部を有し、前記リング状部の内周面に複数の内歯を有するサーキュラスプラインと、
可撓性を有した環状部を備えるように形成され、前記環状部の外周面に前記サーキュラスプラインの内歯よりも少数の外歯を有し、前記サーキュラスプラインの半径方向内方に配置されることにより、前記外歯が前記内歯に対向するフレクスプラインと、
前記フレクスプラインの内周面の数箇所を、前記サーキュラスプラインに向けて半径方向外方に押圧することにより、前記外歯の一部のみを前記内歯に対し噛合させるとともに、前記フレクスプラインに対する押圧部位を回転移動させる波動発生器と、
を備え、
前記波動発生器によって前記フレクスプラインにおける押圧部位が回転移動されることにより、前記フレクスプラインが撓みながら、前記外歯と前記内歯とが噛合する円周上の位置が移動し、前記サーキュラスプラインおよび前記フレクスプラインのうちの一方を固定することにより、前記サーキュラスプラインおよび前記フレクスプラインのうちの他方において、前記波動発生器による回転が減速されて出力される回転駆動装置において、
前記波動発生器は、
前記フレクスプラインの半径方向内方において、前記フレクスプラインに対し回転可能に設けられ、前記フレクスプラインの内周面の数箇所に当接部で当接して、前記フレクスプラインを前記サーキュラスプラインに対して押圧する回転押圧部材を備え、
前記回転押圧部材には、撓み可能な形状可変部が形成され、
前記形状可変部には、電気信号に応じて歪が発生する歪素子が取り付けられており、
前記歪素子において反復的に歪を発生させ、前記形状可変部が繰返し加速度をともなって変形することにより、前記回転押圧部材に継続的に慣性力を発生させ、前記慣性力により前記回転押圧部材が回転することを特徴とする回転駆動装置。
A circular spline having a ring-shaped portion and having a plurality of internal teeth on the inner peripheral surface of the ring-shaped portion;
It is formed so as to have a flexible annular portion, and has a smaller number of outer teeth than the inner teeth of the circular spline on the outer peripheral surface of the annular portion, and is arranged radially inward of the circular spline. A flexspline in which the outer teeth face the inner teeth;
By pressing several locations on the inner peripheral surface of the flexspline radially outward toward the circular spline, only a part of the outer teeth are engaged with the inner teeth and the flexspline is pressed against the flexsplines. A wave generator for rotating the part;
With
When the pressing portion in the flexspline is rotated by the wave generator, the position on the circumference where the external teeth and the internal teeth mesh is moved while the flexspline is bent, and the circular spline and By fixing one of the flexsplines, in the other of the circular spline and the flexspline, the rotation drive device that outputs the rotation by the wave generator decelerated,
The wave generator is
Inwardly in the radial direction of the flexspline, the flexspline is provided so as to be rotatable with respect to the flexspline. A rotation pressing member for pressing,
The rotary pressing member is formed with a deformable shape variable portion,
A strain element that generates strain according to an electrical signal is attached to the shape variable portion,
A strain is repeatedly generated in the strain element, and the shape variable portion is deformed with repeated acceleration, whereby an inertial force is continuously generated in the rotary pressing member, and the rotary pressing member is caused by the inertial force. A rotation drive device characterized by rotating.
前記歪素子は、圧電素子、磁歪素子、電歪素子、形状記憶素子のうちのいずれかにより形成されていることを特徴とする請求項1記載の回転駆動装置。   2. The rotation drive device according to claim 1, wherein the strain element is formed of any one of a piezoelectric element, a magnetostrictive element, an electrostrictive element, and a shape memory element. 前記回転押圧部材は長尺状に形成された押圧部を有し、前記押圧部の長手方向の中央部を中心にして回転可能に設けられ、前記押圧部の両端の当接部において前記フレクスプラインの内周面に当接することにより、前記外歯を前記サーキュラスプラインの中心を挟んで対向した2箇所に形成された前記内歯に噛合させるとともに、前記押圧部の長手方向の途中部位から長手方向と異なる方向に突出した可動部を前記形状可変部として具備し、前記可動部には前記歪素子が取り付けられており、
前記歪素子に発生した歪により前記可動部が回転方向に撓んで、前記回転押圧部材に慣性力が発生することを特徴とする請求項1または2に記載の回転駆動装置。
The rotary pressing member has a pressing portion formed in a long shape, and is provided to be rotatable around a central portion in the longitudinal direction of the pressing portion. The flexspline is in contact portions at both ends of the pressing portion. The outer teeth are engaged with the inner teeth formed at two locations facing each other across the center of the circular spline, and the longitudinal direction of the pressing portion extends from the middle portion of the pressing portion. A movable portion protruding in a different direction as the shape variable portion, the strain element is attached to the movable portion,
3. The rotation drive device according to claim 1, wherein the movable portion is bent in a rotation direction due to a strain generated in the strain element, and an inertial force is generated in the rotation pressing member.
前記回転押圧部材は長尺状に形成され、長手方向の中央部を中心にして回転可能に設けられ、両端の当接部において前記フレクスプラインの内周面に当接することにより、前記外歯を前記サーキュラスプラインの中心を挟んで対向した2箇所に形成された前記内歯に噛合させるとともに、回転中心と少なくとも一側の端部との間において、回転方向に撓み可能な可動部が前記形状可変部として形成され、前記可動部には前記歪素子が取り付けられており、
前記歪素子に発生した歪により前記可動部が撓んで、前記回転押圧部材に慣性力が発生することを特徴とする請求項1または2に記載の回転駆動装置。
The rotary pressing member is formed in a long shape, is provided so as to be rotatable around a central portion in the longitudinal direction, and contacts the inner peripheral surface of the flexspline at the contact portions at both ends, thereby The movable part that is meshed with the internal teeth formed at two locations facing each other across the center of the circular spline and that can be bent in the rotational direction between the rotational center and at least one end is variable in shape. Formed as a part, the strain element is attached to the movable part,
3. The rotation drive device according to claim 1, wherein the movable portion is bent by a strain generated in the strain element, and an inertial force is generated in the rotation pressing member.
前記回転押圧部材は、回転中心から3個以上の押圧部が互いに均等な角度を形成するように放射状に延び、前記押圧部のそれぞれの端部の当接部が前記フレクスプラインの内周面に当接することにより、前記外歯を前記内歯の円周上の複数箇所に噛合させ、少なくとも一つの前記押圧部は前記形状可変部として回転方向に撓み可能に形成されるとともに、前記歪素子が取り付けられており、
前記歪素子に発生した歪により前記押圧部が撓んで、前記回転押圧部材に慣性力が発生することを特徴とする請求項1または2に記載の回転駆動装置。
The rotation pressing member extends radially from the rotation center so that three or more pressing portions form an equal angle with each other, and the contact portion of each end portion of the pressing portion is formed on the inner peripheral surface of the flexspline. By abutting, the outer teeth are meshed with a plurality of locations on the circumference of the inner teeth, and at least one of the pressing portions is formed as the shape variable portion so as to be able to bend in the rotation direction, and the strain element is Installed,
3. The rotation drive device according to claim 1, wherein the pressing portion is bent by a strain generated in the strain element, and an inertial force is generated in the rotation pressing member.
前記回転押圧部材に取り付けられ、前記回転押圧部材の回転方向に弾性変形可能な弾性部材と振動錘とを含む振動系と、
前記歪素子に前記振動系の共振周波数付近で歪を発生させる制御装置と、を備えたことを特徴とする請求項1乃至5のうちのいずれか一項に記載の回転駆動装置。
A vibration system attached to the rotation pressing member and including an elastic member capable of elastic deformation in the rotation direction of the rotation pressing member and a vibration weight;
6. The rotary drive device according to claim 1, further comprising: a control device that generates a strain in the strain element in the vicinity of a resonance frequency of the vibration system.
前記振動系が前記回転押圧部材の前記当接部と円周方向同位相で半径方向外方に突出して前記回転押圧部材に固定されていることを特徴とする請求項6に記載の回転駆動装置。   The rotation drive device according to claim 6, wherein the vibration system protrudes radially outward at the same phase in the circumferential direction as the contact portion of the rotation pressing member and is fixed to the rotation pressing member. . 前記サーキュラスプラインまたは前記フレクスプラインには、前記回転押圧部材を回転中心において回転可能に支持する軸保持部が形成されたことを特徴とする請求項1乃至7のうちのいずれか一項に記載の回転駆動装置。   8. The shaft holding portion that supports the rotary pressing member so as to be rotatable about a rotation center is formed in the circular spline or the flex spline. 9. Rotation drive device. 前記サーキュラスプラインまたは前記フレクスプラインの出力回転速度を検出する回転速度検出手段と、
前記歪素子に供給する電気信号を制御する回転制御手段と、
を備え、
前記回転制御手段は、
前記回転速度検出手段によって検出された前記出力回転速度に基づいて、前記サーキュラスプラインまたは前記フレクスプラインの回転位置による前記出力回転速度のむらを低減させるように、前記歪素子に供給する電気信号を制御することを特徴とする請求項1乃至8のうちのいずれか一項に記載の回転駆動装置。
A rotational speed detecting means for detecting an output rotational speed of the circular spline or the flexspline;
Rotation control means for controlling an electric signal supplied to the strain element;
With
The rotation control means includes
Based on the output rotation speed detected by the rotation speed detection means, an electric signal supplied to the strain element is controlled so as to reduce unevenness of the output rotation speed due to the rotation position of the circular spline or the flexspline. The rotation drive device according to claim 1, wherein the rotation drive device is a rotation drive device.
前記サーキュラスプラインまたは前記フレクスプラインの基準回転速度を形成する基準速度設定手段を備え、
前記回転制御手段は、
前記回転速度検出手段によって検出された前記出力回転速度と、前記基準速度設定手段により設定された前記基準回転速度との偏差に応じて、前記歪素子に供給する電気信号を制御することを特徴とする請求項1乃至8のうちのいずれか一項に記載の回転駆動装置。
Reference speed setting means for forming a reference rotational speed of the circular spline or the flexspline,
The rotation control means includes
An electrical signal supplied to the strain element is controlled in accordance with a deviation between the output rotation speed detected by the rotation speed detection means and the reference rotation speed set by the reference speed setting means. The rotation drive device according to any one of claims 1 to 8.
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