JP2007166841A - Piezoelectric bimorph actuator - Google Patents

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Masami Omomo
正己 大桃
Toshiaki Isomura
俊章 磯村
Shu Kasai
周 笠井
Kenji Sudo
健二 須藤
Jun Tsukamoto
準 塚本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric bimorph actuator which reduces flexure resistance of an electric power supply member, and to improve the tensile strength. <P>SOLUTION: The electric power supply member 19, constituting the piezoelectric bimorph actuator, is constituted of a first and a second conductive sheets 22, 23, and a resin sheet 21 which is mounted on each of the conductive sheets 22, 23, and fixes each of the conductive sheets 22, 23 making them mutually separated, by which the electric power supply member 19 is formed into a sheet form, the flexure resistance is reduced, making smaller the dimension in the thickness direction of the electric power supply member 19, and the tensile strength is made satisfactory, securing the dimension in the width direction of the electric power supply member 19. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、圧電素子に電圧を印加することで変形駆動される圧電バイモルフ形アクチュエータに係り、特に、監視カメラ等に装着されるワイパ装置や車載用メータなどの計器類の指針等を駆動するのに用いて好適な圧電バイモルフ形アクチュエータに関する。   The present invention relates to a piezoelectric bimorph actuator that is deformed and driven by applying a voltage to a piezoelectric element, and in particular, to drive a pointer of a measuring instrument such as a wiper device or a vehicle-mounted meter mounted on a monitoring camera or the like. The present invention relates to a piezoelectric bimorph actuator suitable for use in the above.

従来、電灯の柱や建築構造物の壁面等に設置される監視カメラにおいては、埃や雨滴等から監視が妨げられないようにするために、撮像レンズを保護する透明の保護カバーを払拭するワイパ装置を備えたものが知られている。この監視カメラに装着されるワイパ装置としては、アクチュエータとして電動モータを用いており、操作スイッチや雨滴センサ等からの入力信号に応じて電動モータを駆動し、電動モータに装着されたワイパブレードを連動させて保護カバーを払拭するようにしている。   Conventionally, in a surveillance camera installed on an electric pole or a wall of a building structure, a wiper that wipes a transparent protective cover that protects the imaging lens in order to prevent monitoring from being disturbed by dust, raindrops, etc. Those equipped with a device are known. The wiper device attached to this surveillance camera uses an electric motor as an actuator, drives the electric motor in response to input signals from operation switches, raindrop sensors, etc., and interlocks the wiper blade attached to the electric motor. The protective cover is wiped off.

また、車載用メータとしてのスピードメータにおいては、車速センサ等からの車速データを受けて所定の角度に回転駆動されるステッピングモータを用いたものが知られており、このステッピングモータの回転駆動によって、ステッピングモータの回転軸に装着された指針が、車速に応じて目盛板に印刷された所定の速度を指すようにしている。   In addition, in a speedometer as a vehicle-mounted meter, one using a stepping motor that receives vehicle speed data from a vehicle speed sensor or the like and is driven to rotate at a predetermined angle is known, and by rotation driving of this stepping motor, The pointer attached to the rotation shaft of the stepping motor is set to indicate a predetermined speed printed on the scale plate according to the vehicle speed.

このようなワイパ装置や車載用メータに用いられる電動モータやステッピングモータは、いずれも電磁式の駆動源であり、その構成部品としては、永久磁石やコイル、回転軸およびそれらを収容するケーシング等を備えており、重量が嵩むばかりかコストが増大するといった問題がある。   Electric motors and stepping motors used in such wiper devices and in-vehicle meters are all electromagnetic drive sources, and their components include permanent magnets, coils, rotating shafts, and casings that house them. There is a problem that not only the weight increases but also the cost increases.

そこで、上記課題を解決すべく電磁式の駆動源(電磁モータ)を使用しない簡易構造のアクチュエータが、例えば、特許文献1に開示されている。この特許文献1に開示されたアクチュエータは、所謂、圧電バイモルフ形アクチュエータであり、このアクチュエータは、所定の大きさの回転抵抗力を有する回転軸に、圧電素子の端部を固定した構造を採っている。そして、アクチュエータの駆動においては、圧電素子に対してプラス側電圧およびマイナス側電圧をそれぞれ交番して印加することによって、振動するように変形駆動させており、この時に生じる回転軸への一方向への回転力の大きさを、回転軸の回転抵抗力の大きさよりも上回るように印加電圧を調整して、回転軸を一方向へ回転駆動させるようにしている。
特開2003−102184号公報
Therefore, for example, Patent Document 1 discloses an actuator having a simple structure that does not use an electromagnetic drive source (electromagnetic motor) in order to solve the above problem. The actuator disclosed in Patent Document 1 is a so-called piezoelectric bimorph actuator, and this actuator has a structure in which an end portion of a piezoelectric element is fixed to a rotating shaft having a predetermined rotational resistance. Yes. In driving the actuator, the positive side voltage and the negative side voltage are alternately applied to the piezoelectric element, so that the actuator is deformed so as to vibrate, and is generated in one direction to the rotating shaft generated at this time. The applied voltage is adjusted so that the magnitude of the rotational force exceeds the magnitude of the rotational resistance force of the rotary shaft, and the rotary shaft is driven to rotate in one direction.
JP 2003-102184 A

しかしながら、上述した特許文献1に係るアクチュエータにあっては、回転軸を中心に回転する圧電素子と電源(ドライバ)とがリード線等の配線(給電部材)を介して接続されているため、圧電素子の変形駆動力(振動力)に対して配線の撓み抵抗力が負荷されることになる。特に、圧電素子の変形駆動力によって回転される回転軸の回転トルクは小さく、このような配線の撓み抵抗力が回転軸の回転トルクを低下させたり、回転ムラを発生させたりする原因となっていた。   However, in the actuator according to Patent Document 1 described above, since the piezoelectric element that rotates around the rotation axis and the power source (driver) are connected via a wiring (power supply member) such as a lead wire, The bending resistance force of the wiring is loaded against the deformation driving force (vibration force) of the element. In particular, the rotational torque of the rotating shaft rotated by the deformation driving force of the piezoelectric element is small, and the bending resistance force of such wiring causes the rotational torque of the rotating shaft to decrease or causes uneven rotation. It was.

そこで、できる限り配線を極細化することにより、配線によって負荷される撓み抵抗力を低下させることも考えられるが、配線の極細化を優先させた構造にすると、所望の供給電力を圧電素子に供給できなかったり、配線の強度(引っ張り強度)が低下して配線接続の際に断線して作業性が低下したりする。このように配線を極細化することにより撓み抵抗力を低下させるには限界があり、アクチュエータの設計自由度が低いものとなっていた。   Therefore, it is conceivable to reduce the bending resistance force applied by the wiring by minimizing the wiring as much as possible. However, if the structure prioritizing the miniaturization of the wiring is used, the desired supply power is supplied to the piezoelectric element. It may not be possible, or the wiring strength (tensile strength) may be reduced, resulting in disconnection during wiring connection, resulting in reduced workability. Thus, there is a limit to reducing the bending resistance by making the wiring extremely fine, and the degree of freedom in designing the actuator has been low.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、導電シートと樹脂シートとを張り合わせて給電部材を形成し、給電部材の撓み抵抗力を低下させるとともに引っ張り強度を向上させた圧電バイモルフ形アクチュエータを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to form a power supply member by bonding a conductive sheet and a resin sheet to reduce the bending resistance of the power supply member and improve the tensile strength. Another object of the present invention is to provide a piezoelectric bimorph actuator.

本発明の圧電バイモルフ形アクチュエータは、金属板の両面に圧電素子が装着され、前記圧電素子に電圧を印加することで変形駆動される圧電バイモルフ形アクチュエータであって、前記圧電素子の前記金属板と対向する面と反対側の面に設けられ、前記圧電素子に電圧を印加する電極と、一端側が前記金属板および前記電極に接続され、他端側が電源に接続される給電部材とを有し、前記給電部材は、一端側が前記電極に接続され、他端側が前記電源に接続される第1の導電シートと、一端側が前記金属板に接続され、他端側が前記電源に接続される第2の導電シートと、前記第1および第2の導電シートに装着され、前記第1および第2の導電シートを相互に離間させて固定する樹脂シートとを備えたことを特徴とする。   The piezoelectric bimorph actuator of the present invention is a piezoelectric bimorph actuator in which piezoelectric elements are mounted on both surfaces of a metal plate and driven to be deformed by applying a voltage to the piezoelectric element. An electrode for applying a voltage to the piezoelectric element; a power supply member connected at one end to the metal plate and the electrode, and connected at the other end to a power source; The power supply member has a first conductive sheet having one end connected to the electrode and the other end connected to the power source, a second conductive sheet connected to the metal plate, and a second end connected to the power source. A conductive sheet and a resin sheet mounted on the first and second conductive sheets and fixing the first and second conductive sheets apart from each other are provided.

本発明の圧電バイモルフ形アクチュエータは、前記第1および第2の導電シートからなる導電体を少なくとも2つ設け、当該各導電体と前記樹脂シートとを、当該樹脂シートが最外面に配置されるよう交互に積層して装着したことを特徴とする。   In the piezoelectric bimorph actuator of the present invention, at least two conductors made of the first and second conductive sheets are provided, and each of the conductors and the resin sheet are arranged on the outermost surface. It is characterized by being alternately stacked and mounted.

本発明の圧電バイモルフ形アクチュエータは、前記圧電バイモルフ形アクチュエータの本体における変形駆動方向に対する垂直部に、ワイパブレードを装着したことを特徴とする。   The piezoelectric bimorph actuator according to the present invention is characterized in that a wiper blade is attached to a vertical portion of the piezoelectric bimorph actuator body with respect to the deformation driving direction.

本発明の圧電バイモルフ形アクチュエータによれば、給電部材を、第1および第2の導電シートと、各導電シートに装着され、各導電シートを相互に離間させて固定する樹脂シートとから構成したので、給電部材をシート状にすることができ、給電部材の厚み方向への寸法を小さくして撓み抵抗力を低下させることができるとともに、給電部材の幅方向への寸法を確保して引っ張り強度を十分なものとすることができる。   According to the piezoelectric bimorph actuator of the present invention, the power supply member is composed of the first and second conductive sheets and the resin sheet that is attached to each conductive sheet and that fixes the conductive sheets apart from each other. The power feeding member can be made into a sheet shape, the dimension in the thickness direction of the power feeding member can be reduced to reduce the bending resistance, and the tensile strength is ensured by ensuring the dimension in the width direction of the power feeding member. It can be sufficient.

この場合、撓み抵抗力を低下させつつ所望の給電電力を供給できるように、第1および第2の導電シートからなる導電体を少なくとも2つ設け、各導電体と樹脂シートとを、樹脂シートが最外面に配置されるよう交互に積層して装着することもでき、また、圧電バイモルフ形アクチュエータの本体における変形駆動方向に対する垂直部に、ワイパブレードを装着することもできる。   In this case, at least two conductors made of the first and second conductive sheets are provided so that the desired power supply can be supplied while reducing the bending resistance, and the resin sheet is made up of each conductor and the resin sheet. The piezoelectric bimorph actuator main body can be mounted on the vertical portion of the piezoelectric bimorph actuator in a direction perpendicular to the deformation driving direction so as to be disposed on the outermost surface.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。図1は本発明の一実施の形態である圧電バイモルフ形アクチュエータの外観を示す斜視図であり、図2は図1における給電部材の斜視図を、図3は図2における給電部材の分解図をそれぞれ示し、図4および図5は、給電部材が接続された駆動体を一方側および他方側からそれぞれ見た斜視図を示している。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of a piezoelectric bimorph actuator according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the power feeding member in FIG. 1, and FIG. 3 is an exploded view of the power feeding member in FIG. 4 and 5 are perspective views of the driving body to which the power feeding member is connected as viewed from one side and the other side, respectively.

図1に示すように、圧電バイモルフ形アクチュエータ10は、平板状のベース部材11を有し、このベース部材11の図中上方には、回転軸12が回転自在に設けられている。回転軸12の図中下端側は、ベース部材11に設けられた軸受(図示せず)を介して回転自在に支持され、回転軸12の図中上端側は、軸受けとしてのスチールボール(図示せず)を介して板ばね13によって回転自在に支持されている。   As shown in FIG. 1, the piezoelectric bimorph actuator 10 has a flat base member 11, and a rotating shaft 12 is rotatably provided above the base member 11 in the figure. The lower end side of the rotary shaft 12 in the figure is rotatably supported via a bearing (not shown) provided on the base member 11, and the upper end side of the rotary shaft 12 in the figure is a steel ball (not shown) as a bearing. ) Through the leaf spring 13 so as to be rotatable.

板ばね13の基端側は、ベース部材11に一体的に設けられた支柱14にねじ15,15によって固定されており、支柱14の高さは回転軸12の高さよりも若干低く設定されている。これにより、支柱14に固定された板ばね13の先端側が撓みつつ回転軸12を支持するので、回転軸12の軸方向に対して板ばね13からの所定荷重(ばね力)が付与されるようになっている。そして、このばね力の付与によって、回転軸12の回転方向に対して小さな抵抗力Fsを発生するようになっている。   The base end side of the leaf spring 13 is fixed to a support column 14 provided integrally with the base member 11 by screws 15, 15. The height of the support column 14 is set slightly lower than the height of the rotary shaft 12. Yes. As a result, the distal end side of the leaf spring 13 fixed to the column 14 supports the rotating shaft 12 while being bent, so that a predetermined load (spring force) from the leaf spring 13 is applied to the axial direction of the rotating shaft 12. It has become. By applying this spring force, a small resistance force Fs is generated in the rotation direction of the rotary shaft 12.

回転軸12は、内部が中空となった筒状本体12aと、この筒状本体12aを図中上下方向から挟むようにして装着された一対の蓋体12bとから構成されており、筒状本体12aには、径方向に対向するようにして軸方向に延びる一対のスリット16が形成されている。そして、回転軸12の筒状本体12aには、筒状本体12aに形成されたスリット16に対して軸方向から挿入するようにして駆動体17が装着されている。   The rotating shaft 12 is composed of a cylindrical main body 12a having a hollow inside, and a pair of lids 12b mounted so as to sandwich the cylindrical main body 12a from above and below in the figure. Are formed with a pair of slits 16 extending in the axial direction so as to face each other in the radial direction. A driving body 17 is attached to the cylindrical body 12a of the rotating shaft 12 so as to be inserted from the axial direction into the slit 16 formed in the cylindrical body 12a.

駆動体17は、金属板、圧電素子および電極皮膜を積層して形成され、圧電バイモルフ形アクチュエータ10の本体を構成する駆動体本体18と、この駆動体本体18の圧電素子に所定の電圧を印加するためのシート状の給電部材19とから構成されている。給電部材19の一端側は、駆動体本体18の金属板および電極皮膜に接続され、給電部材19の他端側は、図示しない電源に接続されるようになっている。駆動体本体18は、ワイパブレード20aが一体的に形成されたゴム等の樹脂材よりなるカバー20によって覆われており、駆動体本体18の図中下端側、つまり、駆動体本体18の変形駆動方向に対する垂直部分に、被払拭対象物(図示せず)に付着した埃や雨滴等を払拭するためのワイパブレード20aが装着されるようになっている。   The driving body 17 is formed by laminating a metal plate, a piezoelectric element and an electrode film, and applies a predetermined voltage to the driving body 18 constituting the body of the piezoelectric bimorph actuator 10 and the piezoelectric element of the driving body 18. It is comprised from the sheet-shaped electric power feeding member 19 for doing. One end side of the power supply member 19 is connected to the metal plate and the electrode film of the drive body 18, and the other end side of the power supply member 19 is connected to a power source (not shown). The drive body 18 is covered with a cover 20 made of a resin material such as rubber, with which a wiper blade 20a is integrally formed. The drive body 18 in the lower end of the drive body 18 in FIG. A wiper blade 20a for wiping off dust, raindrops, and the like attached to an object to be wiped (not shown) is attached to a portion perpendicular to the direction.

給電部材19は、図2に示すようにシート状に形成されており、給電部材19は、ポリアミド材(Co-Nh)よりなる樹脂シート21、銅箔(Cu)よりなる第1の導電シート22および第2の導電シート23を相互に積層して、これらを例えば、フィルム状の接着剤によって接着するようにしている。   The power supply member 19 is formed in a sheet shape as shown in FIG. 2, and the power supply member 19 includes a resin sheet 21 made of polyamide material (Co—Nh) and a first conductive sheet 22 made of copper foil (Cu). The second conductive sheet 23 and the second conductive sheet 23 are laminated to each other, and are adhered to each other by, for example, a film adhesive.

第1の導電シート22の一端側端子24は、第1の導電シート22の他端側端子25から2つに分岐して設けられ、この一端側端子24,24は、駆動体本体18の最外面を形成する電極皮膜にそれぞれ接続されるようになっている。また、第1の導電シート22の他端側端子25は、図示しない電源に接続されるようになっている。第2の導電シート23の一端側端子26は、駆動体本体18を構成する金属板に接続されるようになっており、第2の導電シート23の他端側端子27は、図示しない電源に接続されるようになっている。   One end side terminal 24 of the first conductive sheet 22 is provided to be branched into two from the other end side terminal 25 of the first conductive sheet 22, and the one end side terminals 24, 24 are connected to the outermost side of the driver body 18. Each is connected to an electrode film forming the outer surface. The other end side terminal 25 of the first conductive sheet 22 is connected to a power source (not shown). One end side terminal 26 of the second conductive sheet 23 is connected to a metal plate constituting the drive body 18, and the other end side terminal 27 of the second conductive sheet 23 is connected to a power source (not shown). Connected.

給電部材19を分解して詳細に説明すると、図3に示すように、樹脂シート21は、上層樹脂シート28,中層樹脂シート29および下層樹脂シート30より構成されている。そして、これらの各樹脂シート28,29および30の間に、第1の導電シート22aおよび第2の導電シート23aからなる第1の導電体31aと、第1の導電シート22bおよび第2の導電シート23bからなる第2の導電体31bとが、それぞれ各樹脂シート28,29および30に対して交互に積層するようにして装着されている。   The power supply member 19 is disassembled and described in detail. As shown in FIG. 3, the resin sheet 21 includes an upper layer resin sheet 28, an intermediate layer resin sheet 29, and a lower layer resin sheet 30. And between each of these resin sheets 28, 29 and 30, the 1st conductor 31a which consists of the 1st conductive sheet 22a and the 2nd conductive sheet 23a, the 1st conductive sheet 22b, and the 2nd conductive sheet The second conductor 31b made of the sheet 23b is mounted so as to be alternately stacked on the resin sheets 28, 29 and 30, respectively.

それぞれの樹脂シート28,29および30は、例えば、12.5μmの厚みを有する薄膜状に形成されており、膜厚方向への変形に対して柔軟性に富むものとなっている。また、それぞれの第1および第2の導電シート22a,22bおよび23a,23bは、例えば、18μmの厚み(幅0.3mm)を有する薄膜状に形成されており、やはり、膜厚方向への変形に対して柔軟性に富むものとなっている。   Each of the resin sheets 28, 29, and 30 is formed in a thin film shape having a thickness of 12.5 μm, for example, and is highly flexible with respect to deformation in the film thickness direction. Each of the first and second conductive sheets 22a, 22b and 23a, 23b is formed in a thin film shape having a thickness of 18 μm (width 0.3 mm), for example, and is also deformed in the film thickness direction. In contrast, it is very flexible.

ここで、樹脂シート21は、第1の導電シート22および第2の導電シート23を、外部から絶縁する役割を果たすとともに、各導電シート22,23の変形に追従して各導電シート22,23を折損等の破損から保護する役割も果たしている。また、第1の導電シート22と第2の導電シート23とは、幅方向に所定間隔を持ってそれぞれ離間して設けられ、これらの各導電シート22,23は、樹脂シート21によって、この状態を保持して固定されている。したがって、各導電シート22,23は、相互に接触して短絡することが防止される。   Here, the resin sheet 21 serves to insulate the first conductive sheet 22 and the second conductive sheet 23 from the outside, and follows the deformation of the conductive sheets 22, 23 to each of the conductive sheets 22, 23. It also plays a role to protect against damage such as breakage. The first conductive sheet 22 and the second conductive sheet 23 are provided to be spaced apart from each other at a predetermined interval in the width direction. The conductive sheets 22 and 23 are in this state by the resin sheet 21. Is held and fixed. Accordingly, the conductive sheets 22 and 23 are prevented from contacting each other and short-circuiting.

図4および図5に示すように、駆動体17を構成する駆動体本体18は、その中層をなす金属板33と、この金属板33の両面(図中上下面)に装着される第1および第2の板状の圧電素子34a,34bと、各圧電素子34a,34bの金属板33と対向する面と反対側の面に装着される電極皮膜35a,35bとから構成されている。そして、金属板33,圧電素子34a,34bおよび電極皮膜35a,35bは、それぞれ長手方向の寸法を異ならせており、金属板33,圧電素子34a,34bおよび電極皮膜35a,35bの順で、段々と短くなる寸法に設定されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the drive body main body 18 constituting the drive body 17 includes a metal plate 33 that forms the middle layer thereof, and first and second surfaces that are attached to both surfaces (upper and lower surfaces in the drawing) of the metal plate 33. It is composed of second plate-like piezoelectric elements 34a and 34b and electrode coatings 35a and 35b attached to the surface opposite to the surface facing the metal plate 33 of each piezoelectric element 34a and 34b. The metal plate 33, the piezoelectric elements 34a and 34b, and the electrode films 35a and 35b have different longitudinal dimensions, and the metal plate 33, the piezoelectric elements 34a and 34b, and the electrode films 35a and 35b are gradually increased in this order. The dimensions are set to be shorter.

図4に示すように、給電部材19を構成する第1の導電シート22の一方側の一端側端子24は、電極皮膜35aに対して、例えば、エポキシ系のバインダーに銀粉等を混練して形成された比較的抵抗値の小さな導電性接着剤Sによって固着されており、図5に示すように、給電部材19を構成する第1の導電シート22の他方側の一端側端子24についても、電極皮膜35bに対して同様に導電性接着剤Sによって固着されている。また、図5に示すように、給電部材19を構成する第2の導電シート23の一端側端子26は、金属板33の露出した表面部分に対して、導電性接着剤Sによって固着されている。そして、接続されたこれらの駆動体本体18および給電部材19は、それぞれの厚さ方向,幅方向が一致している。   As shown in FIG. 4, the one end side terminal 24 on one side of the first conductive sheet 22 constituting the power supply member 19 is formed by kneading silver powder or the like in an epoxy binder, for example, with respect to the electrode film 35a. As shown in FIG. 5, the other end terminal 24 on the other side of the first conductive sheet 22 constituting the power supply member 19 is fixed to the conductive adhesive S having a relatively small resistance value. Similarly, it is fixed to the film 35b by the conductive adhesive S. Further, as shown in FIG. 5, the one end side terminal 26 of the second conductive sheet 23 constituting the power supply member 19 is fixed to the exposed surface portion of the metal plate 33 by the conductive adhesive S. . Then, the drive body main body 18 and the power feeding member 19 connected to each other have the same thickness direction and width direction.

ここで、図1に示すように、駆動体17を回転軸12に対して組み付けた状態において、駆動体本体18と給電部材19との接続部分、すなわち、電極皮膜35a,35bおよび金属板33と一端側端子24,26との接着部分は、筒状本体12aの内部に収容されるようになっている。   Here, as shown in FIG. 1, in a state where the driving body 17 is assembled to the rotating shaft 12, the connection portion between the driving body main body 18 and the power feeding member 19, that is, the electrode films 35 a and 35 b and the metal plate 33. The adhesion part with the one end side terminals 24 and 26 is accommodated in the inside of the cylindrical main body 12a.

次に、以上のように構成された本発明における一実施の形態の作動について、図6ないし図8を参照して説明する。図6は図1における圧電バイモルフ形アクチュエータを駆動するための駆動回路図を、図7は図1における圧電バイモルフ形アクチュエータへ印加される電圧波形図を、図8は図1における圧電バイモルフ形アクチュエータの作動状態を説明する説明図を、それぞれ示している。   Next, the operation of the embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 6 is a drive circuit diagram for driving the piezoelectric bimorph actuator in FIG. 1, FIG. 7 is a voltage waveform diagram applied to the piezoelectric bimorph actuator in FIG. 1, and FIG. 8 is a diagram of the piezoelectric bimorph actuator in FIG. Explanatory drawing explaining an operation state is shown, respectively.

図6に示すように、給電部材19の他端側端子25,27は、交流電源PSに接続されており、この交流電源PSからは、図7に示すような鋸歯状の電圧が圧電素子34a,34bに対して印加されるようになっている。この鋸歯状の電圧の大小や圧電素子34a,34bに対する供給時間の長短は、図示しないコントローラによって制御されるようになっている。   As shown in FIG. 6, the other end side terminals 25 and 27 of the power supply member 19 are connected to an AC power source PS, and a sawtooth voltage as shown in FIG. 7 is applied from the AC power source PS to the piezoelectric element 34a. , 34b. The magnitude of the sawtooth voltage and the length of the supply time for the piezoelectric elements 34a and 34b are controlled by a controller (not shown).

図7において、鋸歯状の電圧Vがプラス側(+側:図中上方)である場合には、図6の実線で示すように、上側の圧電素子34aが縮み、下側の圧電素子34bが伸びるので、駆動体本体18は上方に反るようにして変形駆動され、一方、電圧Vがマイナス側(−側:図中下方)である場合には、図6の破線で示すように上側の圧電素子34aが伸びて、下側の圧電素子34bが縮むので、駆動体本体18は下方に反るようにして変形駆動される。   In FIG. 7, when the sawtooth voltage V is on the plus side (+ side: the upper side in the figure), the upper piezoelectric element 34a is contracted and the lower piezoelectric element 34b is moved as shown by the solid line in FIG. Therefore, when the voltage V is on the negative side (− side: the lower side in the figure), the drive body 18 is deformed and driven upward, as shown by the broken line in FIG. Since the piezoelectric element 34a extends and the lower piezoelectric element 34b contracts, the driving body 18 is driven to deform so as to warp downward.

コントローラによって圧電素子34a,34bに対して印加する電圧を、図7のような実線で示す鋸歯状に制御すると、まず、時間t0からt1においては、電圧Vがプラス側で所定の勾配でゆっくりと圧電素子34a,34bに対して印加される(A→B)。すると、図8(a)に示すように、駆動体本体18が基準位置P0(無印加状態)から図中上方へ矢印に示すようにゆっくりと変形駆動される。このとき、駆動体本体18の変形駆動によって駆動体本体18の基端側、つまり、回転軸12には駆動体本体18の慣性力Flが図中矢印の方向に作用するが、この慣性力Flは回転軸12の抵抗力Fsよりも小さく(Fl<Fs)、回転軸12は回転しない。したがって、給電部材19は撓むことなく静止した状態が維持される。   When the voltage applied to the piezoelectric elements 34a and 34b by the controller is controlled in a sawtooth shape shown by a solid line as shown in FIG. 7, first, from time t0 to t1, the voltage V is slowly increased with a predetermined gradient on the plus side. Applied to the piezoelectric elements 34a and 34b (A → B). Then, as shown in FIG. 8A, the drive body 18 is slowly deformed and driven from the reference position P0 (non-application state) upward as shown by the arrow in the figure. At this time, the inertial force Fl of the driving body 18 acts on the base end side of the driving body 18, that is, the rotary shaft 12 in the direction of the arrow in the drawing due to the deformation driving of the driving body 18. Is smaller than the resistance force Fs of the rotating shaft 12 (Fl <Fs), and the rotating shaft 12 does not rotate. Accordingly, the power supply member 19 is kept stationary without being bent.

次いで、時間t1において、圧電素子34a,34bに対して印加する電圧Vを、プラス側からマイナス側へ急激に変化させると、駆動体本体18が図8(a)に示す状態から図8(b)に示す状態に矢印の方向に急激に、かつ、短時間で変形駆動される(B→C)。このとき、駆動体本体18の変形駆動によって、回転軸12には駆動体本体18の慣性力Fhが図中矢印の方向に作用する。この慣性力Fhは回転軸12の抵抗力Fsよりも大きいため(Fh>Fs)、回転軸12は慣性力Fhの方向へ回転する。この慣性力Fhによる回転軸12の回転によって駆動体本体18は、基準位置P0から図中一点鎖線で示す第1移動位置P1へ回転する。   Next, when the voltage V applied to the piezoelectric elements 34a and 34b is suddenly changed from the plus side to the minus side at time t1, the drive body 18 is changed from the state shown in FIG. 8A to FIG. 8B. ) In the direction shown by the arrow in the direction of the arrow rapidly and in a short time (B → C). At this time, due to the deformation driving of the driving body 18, the inertial force Fh of the driving body 18 acts on the rotary shaft 12 in the direction of the arrow in the figure. Since this inertial force Fh is larger than the resistance force Fs of the rotating shaft 12 (Fh> Fs), the rotating shaft 12 rotates in the direction of the inertial force Fh. Due to the rotation of the rotating shaft 12 by the inertial force Fh, the drive body 18 rotates from the reference position P0 to the first movement position P1 indicated by a one-dot chain line in the drawing.

このとき、給電部材19は、回転軸12の基準位置P0から第1移動位置P1への回転に追従して撓むように変形するが、給電部材19の厚み寸法は接着剤の厚み寸法を含めても77.5μm(0.0775mm)と極めて薄いため、給電部材19は柔軟に撓むことができる。このような給電部材19の撓み変形による撓み抵抗力Ftは、慣性力Fhに対して無視することができるので(Ft≪Fh)、駆動体本体18の変形駆動による回転軸12の回転トルクは低下することなく、回転ムラなどが発生することもない。なお、給電部材19による撓み抵抗力Ftは、回転軸12の抵抗力Fsよりもかなり小さいものとなっている(Ft≪Fs)。   At this time, the power supply member 19 is deformed so as to bend following the rotation of the rotating shaft 12 from the reference position P0 to the first movement position P1, but the thickness dimension of the power supply member 19 may include the thickness dimension of the adhesive. Since it is extremely thin as 77.5 μm (0.0775 mm), the power supply member 19 can flex flexibly. Since the bending resistance force Ft due to the bending deformation of the power supply member 19 can be ignored with respect to the inertial force Fh (Ft << Fh), the rotational torque of the rotating shaft 12 due to the deformation driving of the driving body 18 is reduced. No rotation unevenness or the like occurs. The bending resistance force Ft by the power supply member 19 is considerably smaller than the resistance force Fs of the rotating shaft 12 (Ft << Fs).

時間t1からt3においては、電圧Vがマイナス側からプラス側へ、所定の勾配でゆっくりと圧電素子34a,34bに対して印加される(C→D)。すると、図8(c)に示すように、駆動体本体18が図中上方へ矢印に示すようにゆっくりと変形駆動される。このとき、駆動体本体18の変形駆動によって駆動体本体18の基端側、つまり、回転軸12には、図8(a)の場合と同様に駆動体本体18の慣性力Flが図中矢印の方向に作用するが、この慣性力Flは回転軸12の抵抗力Fsよりも小さく(Fl<Fs)、回転軸12は回転しない。したがって、給電部材19は撓むことなく、図8(b)の状態が維持される。   From time t1 to t3, the voltage V is slowly applied to the piezoelectric elements 34a and 34b from the minus side to the plus side with a predetermined gradient (C → D). Then, as shown in FIG. 8C, the drive body 18 is slowly deformed and driven upward as indicated by an arrow in the figure. At this time, the inertial force Fl of the drive body 18 is applied to the proximal end side of the drive body 18 by the deformation drive of the drive body 18, that is, to the rotary shaft 12 as in the case of FIG. The inertial force Fl is smaller than the resistance force Fs of the rotating shaft 12 (Fl <Fs), and the rotating shaft 12 does not rotate. Therefore, the power supply member 19 is not bent and the state of FIG. 8B is maintained.

次いで、時間t3において、圧電素子34a,34bに対して印加する電圧Vを、プラス側からマイナス側へ急激に変化させると、駆動体本体18が図8(c)に示す状態から図8(d)に示す状態に矢印の方向に急激に、かつ、短時間で変形駆動される(D→E)。このとき、駆動体本体18の変形駆動によって、回転軸12には駆動体本体18の慣性力Fhが図中矢印の方向に作用し、図8(b)の場合と同様に回転軸12が回転して駆動体本体18は、第1移動位置P1から図中一点鎖線で示す第2移動位置P2へ回転する。この場合においても、給電部材19は柔軟に撓むことができるため、駆動体本体18の変形駆動による回転軸12の回転トルクは低下することなく、回転ムラなどが発生することもない。   Next, when the voltage V applied to the piezoelectric elements 34a and 34b is suddenly changed from the plus side to the minus side at time t3, the driving body 18 is changed from the state shown in FIG. ) In the state shown in FIG. 6) in the direction of the arrow rapidly and in a short time (D → E). At this time, due to the deformation drive of the drive body 18, the inertial force Fh of the drive body 18 acts on the rotary shaft 12 in the direction of the arrow in the figure, and the rotary shaft 12 rotates as in the case of FIG. Then, the driving body 18 rotates from the first movement position P1 to the second movement position P2 indicated by a one-dot chain line in the drawing. Even in this case, since the power supply member 19 can flex flexibly, the rotational torque of the rotating shaft 12 due to the deformation driving of the drive body 18 does not decrease, and rotation unevenness does not occur.

その後、圧電素子34a,34bに対して印加する電圧Vを、C→D,D→E,C→D,D→E・・・のように繰り返し変化させて制御することにより、駆動体本体18は、図8(d)の一点鎖線に示すように、第2移動位置P2から所定の角度で第3移動位置P3,第4移動位置P4,第5移動位置P5・・・のように一方向へ回転する。これに合わせて、給電部材19は、図8(d)中の破線19’に示すように柔軟に撓むことができ、駆動体本体18の回転領域の全域で、Ft≪Fh,Ft≪Fsの関係を維持することができる。   Thereafter, the voltage V applied to the piezoelectric elements 34a, 34b is controlled by being repeatedly changed as C → D, D → E, C → D, D → E. As shown by the alternate long and short dash line in FIG. 8 (d), the one-way direction such as the third movement position P3, the fourth movement position P4, the fifth movement position P5... At a predetermined angle from the second movement position P2. Rotate to. In accordance with this, the power feeding member 19 can flexibly bend as shown by a broken line 19 ′ in FIG. 8D, and Ft << Fh, Ft << Fs over the entire rotation region of the drive body 18. Can maintain the relationship.

これとは反対に、駆動体本体18を図中下方へ回転、つまり、第5移動位置P5側から基準位置P0側へ回転(他方向へ回転)させるには、図7の破線で示すような鋸歯状の電圧Vを、圧電素子34a,34bに印加するようにすれば良い。すなわち、時間t0において、駆動体本体18が第5移動位置P5(基準位置となる)にあるとすると、時間t0からt1においてA→Cのように電圧Vを圧電素子34a,34bに印加し、時間t1においてC→Bのように電圧Vを圧電素子34a,34bに印加し、時間t1からt3においてB→Eのように電圧Vを圧電素子34a,34bに印加し、さらに、時間t3においてE→Dのように電圧Vを圧電素子34a,34bに印加するようにすれば良い。   On the contrary, in order to rotate the drive body 18 downward in the drawing, that is, to rotate from the fifth movement position P5 side to the reference position P0 side (rotation in the other direction), as shown by a broken line in FIG. A sawtooth voltage V may be applied to the piezoelectric elements 34a and 34b. That is, assuming that the driving body 18 is at the fifth movement position P5 (becomes the reference position) at time t0, the voltage V is applied to the piezoelectric elements 34a and 34b as A → C from time t0 to t1, At time t1, the voltage V is applied to the piezoelectric elements 34a and 34b as C → B, from time t1 to t3, the voltage V is applied to the piezoelectric elements 34a and 34b as B → E, and at time t3, E The voltage V may be applied to the piezoelectric elements 34a and 34b as shown in D.

その後、圧電素子34a,34bに対して印加する電圧Vを、B→E,E→D,B→E,E→D・・・のように繰り返し変化させて制御することにより、駆動体本体18は、図8(d)に示すように、第3移動位置P3から所定の角度で第2移動位置P2,第1移動位置P1,基準位置P0のように他方向へ回転する。   Thereafter, the voltage V applied to the piezoelectric elements 34a and 34b is repeatedly changed and controlled as B → E, E → D, B → E, E → D. As shown in FIG. 8 (d), the second rotation position P2, the first movement position P1, and the reference position P0 are rotated in the other direction at a predetermined angle from the third movement position P3.

このように、駆動体本体18を構成する圧電素子34a,34bに対して印加する電圧Vを制御することによって、駆動体本体18の変形駆動によって回転軸12が所定の回転領域で回転し、ひいては、駆動体本体18がワイパブレード20aを所定の払拭範囲で揺動させて、ワイパブレード20aを払拭動作させることができる。   In this way, by controlling the voltage V applied to the piezoelectric elements 34a and 34b constituting the drive body 18, the rotation shaft 12 rotates in a predetermined rotation region due to the deformation drive of the drive body 18. The drive body 18 can cause the wiper blade 20a to be wiped by swinging the wiper blade 20a within a predetermined wiping range.

以上のように構成した本発明における一実施の形態によれば、給電部材19を、第1および第2の導電シート22,23と、各導電シート22,23に装着され、各導電シート22,23を相互に離間させて固定する樹脂シート21とから構成したので、給電部材19をシート状にすることができ、給電部材19の厚み方向への寸法を小さくして撓み抵抗力を低下させることができるとともに、給電部材19の幅方向への寸法を確保して引っ張り強度を十分なものとすることができる。   According to the embodiment of the present invention configured as described above, the power supply member 19 is attached to the first and second conductive sheets 22 and 23 and the conductive sheets 22 and 23, and the conductive sheets 22 and 23 are mounted. Since the power supply member 19 can be formed into a sheet shape, and the dimension in the thickness direction of the power supply member 19 can be reduced to reduce the bending resistance. In addition, it is possible to secure sufficient dimensions in the width direction of the power supply member 19 and to have sufficient tensile strength.

したがって、駆動体本体18の変形駆動による回転軸12における回転トルクの低下を抑えることができるので、回転ムラ等が発生せずワイパブレード20aによる払拭力の向上が図れるとともに、省電力化を図ることができる。また、給電部材19を断線しにくくできるので、配線接続作業の作業性を向上させることができ、さらには、駆動体本体18の変形駆動によって給電部材19が断線することを未然に防ぎ、圧電バイモルフ形アクチュエータ10の長寿命化が図れる。   Accordingly, a reduction in rotational torque in the rotary shaft 12 due to the deformation drive of the drive body 18 can be suppressed, so that rotation unevenness or the like does not occur and the wiping force by the wiper blade 20a can be improved and power saving can be achieved. Can do. Further, since it is difficult to disconnect the power supply member 19, the workability of the wiring connection work can be improved. Further, the power supply member 19 is prevented from being disconnected by the deformation driving of the drive body 18, and the piezoelectric bimorph is prevented. The life of the actuator 10 can be extended.

さらに、給電部材19を、撓み抵抗力Ftを低下させつつ所望の給電電力を供給できるように、第1および第2の導電シート22,23からなる2つの導電体31a,31bを設け、各導電体31a,31bと樹脂シート28,29および30とを、樹脂シート28,30が最外面に配置されるよう交互に積層して装着したので、給電部材19の引っ張り強度をより向上させることができる。なお、導電体の積層数(上記実施の形態では2つ)は、給電部材19を装着する圧電バイモルフ形アクチュエータ10の仕様(回転トルク特性等)に応じて、給電部材19の撓み抵抗力Ftが小さい範囲で適宜設定すればよいものである。   Further, two electric conductors 31a and 31b composed of the first and second conductive sheets 22 and 23 are provided so that the power supply member 19 can supply desired power supply while reducing the bending resistance force Ft. Since the bodies 31a, 31b and the resin sheets 28, 29, and 30 are alternately stacked and mounted so that the resin sheets 28, 30 are arranged on the outermost surface, the tensile strength of the power supply member 19 can be further improved. . The number of conductors stacked (two in the above embodiment) depends on the bending resistance force Ft of the power supply member 19 according to the specifications (rotational torque characteristics, etc.) of the piezoelectric bimorph actuator 10 on which the power supply member 19 is mounted. What is necessary is just to set suitably in a small range.

また、圧電バイモルフ形アクチュエータ10の本体における変形駆動方向に対する垂直部に、ワイパブレード20aを装着したので、従前のような電磁モータを用いるものに比してワイパ装置を大幅に小型化でき、ひいては、監視カメラの小型化を実現することができる。   In addition, since the wiper blade 20a is attached to the vertical part of the main body of the piezoelectric bimorph actuator 10 with respect to the deformation driving direction, the wiper device can be significantly reduced in size compared to the conventional one using an electromagnetic motor. It is possible to reduce the size of the surveillance camera.

さらに、給電部材19を構成する第1および第2の導電シート22,23の長さ寸法を異ならせたので、駆動体本体18に対して給電部材19を誤組み付けすることなく正確に接続することができ、作業性の向上を図ることができる。   In addition, since the lengths of the first and second conductive sheets 22 and 23 constituting the power supply member 19 are made different, the power supply member 19 can be accurately connected to the drive body 18 without erroneous assembly. And workability can be improved.

なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、上記実施の形態においては、圧電バイモルフ形アクチュエータ10を、監視カメラのワイパ装置を駆動するアクチュエータとして用いたものを示したが、本発明はこれに限らず、車載用メータなどの機器類における指針や、時計の指針等を駆動するアクチュエータとしても用いることができる。   Needless to say, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, in the above-described embodiment, the piezoelectric bimorph actuator 10 is used as an actuator for driving the wiper device of the surveillance camera. However, the present invention is not limited to this, and in devices such as a vehicle-mounted meter. It can also be used as an actuator for driving a pointer or a pointer of a watch.

また、上記実施の形態においては、駆動体本体18と給電部材19との接続に、導電性接着剤Sを用いたものを示したが、本発明はこれに限らず、半田等の他の接着手段を用いて接続するようにしても構わない。   In the above embodiment, the conductive adhesive S is used for the connection between the driving body 18 and the power supply member 19. However, the present invention is not limited to this, and other adhesives such as solder are used. You may make it connect using a means.

さらに、上記実施の形態においては、給電部材19を構成する第1および第2の導電シート22,23の長さ寸法を異ならせて、駆動体本体18に対する給電部材19の誤組み付けを防止するようにしたものを示したが、本発明はこれに限らず、第1および第2の導電シート22,23に形成される電極の形状を、例えば、三角形や四角形,半楕円形等にして駆動体本体18に対する給電部材19の誤組み付けを防止するようにしても良く、また、各電極に(+),(−)なる標記をシルク印刷によって施すようにしても良い。   Further, in the above-described embodiment, the lengths of the first and second conductive sheets 22 and 23 constituting the power supply member 19 are made different so as to prevent erroneous assembly of the power supply member 19 to the drive body 18. However, the present invention is not limited to this, and the shape of the electrodes formed on the first and second conductive sheets 22 and 23 is, for example, triangular, quadrangular, semi-elliptical, etc. Incorrect assembly of the power supply member 19 to the main body 18 may be prevented, and the marks (+) and (-) may be applied to each electrode by silk printing.

本発明の一実施の形態である圧電バイモルフ形アクチュエータの外観を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an appearance of a piezoelectric bimorph actuator according to an embodiment of the present invention. 図1における給電部材の斜視図である。It is a perspective view of the electric power feeding member in FIG. 図2における給電部材の分解図である。It is an exploded view of the electric power feeding member in FIG. 給電部材が接続された駆動体を一方側から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the drive body to which the electric power feeding member was connected from one side. 給電部材が接続された駆動体を他方側から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the drive body to which the electric power feeding member was connected from the other side. 図1における圧電バイモルフ形アクチュエータを駆動するための駆動回路図である。FIG. 2 is a drive circuit diagram for driving the piezoelectric bimorph actuator in FIG. 1. 図1における圧電バイモルフ形アクチュエータへ印加される電圧波形図である。FIG. 2 is a voltage waveform diagram applied to the piezoelectric bimorph actuator in FIG. 1. 図1における圧電バイモルフ形アクチュエータの作動状態を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the operating state of the piezoelectric bimorph type actuator in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10 圧電バイモルフ形アクチュエータ
11 ベース部材
12 回転軸
12a 筒状本体
12b 蓋体
13 板ばね
14 支柱
15 ねじ
16 スリット
17 駆動体
18 駆動体本体(本体)
19 給電部材
20 カバー
20a ワイパブレード
21 樹脂シート
22 第1の導電シート
23 第2の導電シート
24 一端側端子
25 他端側端子
26 一端側端子
27 他端側端子
28 上層樹脂シート
29 中層樹脂シート
30 下層樹脂シート
31a 第1の導電体(導電体)
31b 第2の導電体(導電体)
33 金属板
34a 圧電素子
34b 圧電素子
35a 電極皮膜(電極)
35b 電極皮膜(電極)
PS 交流電源(電源)
S 導電性接着剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Piezoelectric bimorph type actuator 11 Base member 12 Rotating shaft 12a Cylindrical main body 12b Cover body 13 Leaf spring 14 Post 15 Screw 16 Slit 17 Drive body 18 Drive body main body (main body)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 19 Power supply member 20 Cover 20a Wiper blade 21 Resin sheet 22 1st conductive sheet 23 2nd conductive sheet 24 One end side terminal 25 Other end side terminal 26 One end side terminal 27 Other end side terminal 28 Upper layer resin sheet 29 Middle layer resin sheet 30 Lower layer resin sheet 31a First conductor (conductor)
31b Second conductor (conductor)
33 Metal plate 34a Piezoelectric element 34b Piezoelectric element 35a Electrode film (electrode)
35b Electrode film (electrode)
PS AC power supply
S conductive adhesive

Claims (3)

金属板の両面に圧電素子が装着され、前記圧電素子に電圧を印加することで変形駆動される圧電バイモルフ形アクチュエータであって、
前記圧電素子の前記金属板と対向する面と反対側の面に設けられ、前記圧電素子に電圧を印加する電極と、
一端側が前記金属板および前記電極に接続され、他端側が電源に接続される給電部材とを有し、
前記給電部材は、一端側が前記電極に接続され、他端側が前記電源に接続される第1の導電シートと、
一端側が前記金属板に接続され、他端側が前記電源に接続される第2の導電シートと、
前記第1および第2の導電シートに装着され、前記第1および第2の導電シートを相互に離間させて固定する樹脂シートとを備えたことを特徴とする圧電バイモルフ形アクチュエータ。
A piezoelectric bimorph actuator that has piezoelectric elements mounted on both sides of a metal plate and is deformed and driven by applying a voltage to the piezoelectric element,
An electrode that is provided on a surface opposite to the surface facing the metal plate of the piezoelectric element and applies a voltage to the piezoelectric element;
One end side is connected to the metal plate and the electrode, and the other end side has a power supply member connected to a power source,
The power supply member has a first conductive sheet having one end connected to the electrode and the other end connected to the power source;
A second conductive sheet having one end connected to the metal plate and the other end connected to the power source;
A piezoelectric bimorph actuator, comprising: a resin sheet mounted on the first and second conductive sheets and fixing the first and second conductive sheets spaced apart from each other.
請求項1記載の圧電バイモルフ形アクチュエータにおいて、前記第1および第2の導電シートからなる導電体を少なくとも2つ設け、当該各導電体と前記樹脂シートとを、当該樹脂シートが最外面に配置されるよう交互に積層して装着したことを特徴とする圧電バイモルフ形アクチュエータ。   2. The piezoelectric bimorph actuator according to claim 1, wherein at least two conductors including the first and second conductive sheets are provided, and each of the conductors and the resin sheet are arranged on the outermost surface. A piezoelectric bimorph actuator characterized by being alternately stacked and mounted. 請求項1または2記載の圧電バイモルフ形アクチュエータにおいて、前記圧電バイモルフ形アクチュエータの本体における変形駆動方向に対する垂直部に、ワイパブレードを装着したことを特徴とする圧電バイモルフ形アクチュエータ。   3. The piezoelectric bimorph actuator according to claim 1, wherein a wiper blade is attached to a portion perpendicular to the deformation driving direction in the main body of the piezoelectric bimorph actuator. 4.
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