JP2011148651A - トリクロロシラン製造装置 - Google Patents
トリクロロシラン製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011148651A JP2011148651A JP2010010703A JP2010010703A JP2011148651A JP 2011148651 A JP2011148651 A JP 2011148651A JP 2010010703 A JP2010010703 A JP 2010010703A JP 2010010703 A JP2010010703 A JP 2010010703A JP 2011148651 A JP2011148651 A JP 2011148651A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trichlorosilane
- reaction
- coarse
- filter
- reaction furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 63
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 title claims abstract description 63
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 claims abstract description 63
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 claims abstract description 36
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 32
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 25
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 18
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 16
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 12
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 9
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 7
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 7
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 21
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 13
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 12
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011001 backwashing Methods 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- JTJMJGYZQZDUJJ-UHFFFAOYSA-N phencyclidine Chemical class C1CCCCN1C1(C=2C=CC=CC=2)CCCCC1 JTJMJGYZQZDUJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】反応炉2内に供給された金属シリコン粉末を塩化水素ガスによって流動させながら反応させ、この反応により生成されたトリクロロシランを浄化しながら取り出すトリクロロシラン製造装置1において、反応炉2に接続されたトリクロロシラン浄化系5に、反応炉2から排出されるトリクロロシランを含む反応流体中の粗粒子を分離して捕集する粗粒子分離手段21と、該粗粒子分離手段21で捕集された粗粒子を反応炉2内に戻す粗粒子回収系25と、粗粒子分離手段21を通過した反応流体中の微小粒子を除去するフィルター27とが設けられている。
【選択図】 図1
Description
このトリクロロシラン製造装置として、例えば特許文献1に示されるものがある。このトリクロロシラン製造装置は、反応炉と、この反応炉の底部に金属シリコン粉末を供給する原料供給手段と、この金属シリコン粉末と反応される塩化水素ガスを導入するガス導入手段とを備え、反応炉内の金属シリコン粉末を塩化水素ガスによって流動させながら反応させ、生成したトリクロロシランを含む反応流体を反応炉の上部から取り出すようになっている。取り出された反応流体は精製されてトリクロロシランの純度が高められる。
この場合、粗粒子も含めてフィルターによって捕捉しようとすると、高温状態の粗粒子の衝突によりフィルターに穿孔等の損傷が生じるおそれがあるが、予め粗粒子を粗粒子分離手段により捕集しておくことにより、フィルターの損傷を防止することができる。逆に、すべての粒子を捕集するのは設計上困難である。
後段のフィルターに径の大きい粒子が流れて、その熱によってフィルターを損傷させたり、摩耗等によって劣化が進行しないように、5〜50μmの範囲内において、反応流体の流通速度や温度等によって適切な粒径を設定する。不純物成分は、径の小さい微粒子にも多く付着しており、予め粗粒子分離手段で粗粒子を捕集しておくことにより、不純物成分をフィルターで効率的に除去することができる。
ポリテトラフルオロエチレンによって高い耐熱性を発揮するので、フィルターとしての耐久性をより高めることができる。
このトリクロロシラン製造装置1は、反応炉2と、この反応炉2に原料として金属シリコン粉末を供給する原料供給手段3と、その金属シリコン粉末と反応させられる塩化水素ガス(HCl)を導入するガス導入手段4と、生成されたトリクロロシランガスを含む反応流体を浄化しながら取り出すトリクロロシラン浄化系5とが備えられた構成とされている。
反応炉2は、大部分がストレートの円筒状をなす上下方向に沿う胴体部6と、この胴体部6の下端に連結された底部7と、胴体部6の上端に連結された大径部8とから構成されている。この場合、胴体部6と大径部8とは相互に連通状態とされるが、胴体部6と底部7との間は水平な隔壁9によって仕切られている。また、胴体部6内には、内部を加熱する伝熱管10、流動を制御する制御棒11が設けられている。
ガス導入手段4は、ガス供給管14を介して反応炉2の底部7内に塩化水素ガスを導入する構成である。反応炉2の胴体部6と底部7とを区画している隔壁9には、これを上下方向に貫通する多数の噴出部材15が設けられており、底部7に導入された塩化水素ガスはこれら噴出部材15の上端開口から胴体部6内に噴出されるようになっている。そして、胴体部6の下部に供給された金属シリコン粉末が底部7から噴出される塩化水素ガスによって流動されながら反応してトリクロロシランを生成するのである。
サイクロン21は、下部がコーン状に形成されたサイクロン筒23を有しており、このサイクロン筒23内に流体を接線方向に流入させることにより旋回流を生じさせ、その遠心力によって粗粒子を気流から分離し、内周壁面を伝って下方へ落下させて、タンク24に捕集するようになっている。一方、微小粒子についてはコーン部分で反転させ、中心部を上昇して気流とともに外部へ流出させる構成である。
このサイクロン21のタンク24と反応炉2の原料供給手段3におけるフィードホッパー13との間には、サイクロン21で捕集された粗粒子を反応炉2に戻すための粗粒子回収系25が設けられている。
原料となる金属シリコン粉末は、平均粒径が100〜300μmであり、原料供給手段3のフィードホッパー13から反応炉2の胴体部6下部に供給される。このとき、塩化水素ガスが気流移送のキャリアガスとして用いられる。
また、ガス導入手段4により反応炉2の底部7に塩化水素ガスを導入する。塩化水素ガスは、反応炉2の隔壁9に配置された噴出部材15を介して胴体部6内に上方に向けて噴出され、胴体部6の下部に供給される金属シリコン粉末中に噴出される。
生成したトリクロロシランを含む反応流体は、反応炉2の上部からトリクロロシラン浄化系5に取り出される。この反応流体には、生成物であるトリクロロシランとともに、未反応の塩化水素ガス、金属シリコン粉末やその酸化物、原料の金属シリコン粉末に含まれていた不純物成分の塩化物等が含まれる。主な不純物としては、金属シリコン粉末に含まれているAl、Fe、Ni、Ca等の塩化物であり、FeCl2、AlCl3、NiCl2、CaCl2等が含まれる。主に、AlCl3(沸点182.7℃(755torr))はおよそ190℃程度以上ではガス状であるが、FeCl2、NiCl2、CaCl2は固体である。
次にサイクロンを通過した反応流体はフィルター装置22に送られる。このフィルター装置22においては、サイクロン21で捕集されなかった10μm以下の微細な金属シリコン粉末及び不純物成分の塩化物等の微小粒子が捕捉される。不純物成分としては、前述した成分のうち、FeCl2、NiCl2、CaCl2などがフィルター27によって捕捉される。
例えば、上記実施形態では、粗粒子を捕集する手段としてサイクロンを用いたが、他の分離手段を用いてもよい。さらに、フィルターを振動することによってダストを払い落すようにしたが、逆方向から清浄気体を通過させる逆洗による方法としてもよい。
また、図1では、1基の反応炉にサイクロンを1台、フィルター装置を2台接続して、これを1ユニットとした例で示したが、複数の反応炉と、複数のサイクロンと、複数のフィルター装置とをそれぞれ接続状態とし、これらを適宜の組み合わせで使用されるようにしてもよい。
さらに、フィルター装置は加振装置によってダストを払い落す構成としたが、いわゆる逆洗方式により払い落す構成としてもよい。
2 反応炉
3 原料供給手段
4 ガス導入手段
5 トリクロロシラン浄化系
13 フィードホッパー
15 噴出部材
21 サイクロン(粗粒子分離手段)
22 フィルター装置
25 粗粒子回収系
27 フィルター
28 トリクロロシラン精製系
31 ダスト処理系
35 弁
36 温度検知手段
Claims (5)
- 反応炉内に供給された金属シリコン粉末を塩化水素ガスによって流動させながら反応させ、この反応により生成されたトリクロロシランを浄化しながら取り出すトリクロロシラン製造装置において、
前記反応炉に接続されたトリクロロシラン浄化系に、前記反応炉から排出される前記トリクロロシランを含む反応流体中の粗粒子を分離して捕集する粗粒子分離手段と、該粗粒子分離手段で捕集された粗粒子を前記反応炉内に戻す粗粒子回収系と、前記粗粒子分離手段を通過した反応流体中の微小粒子を除去するフィルターとが設けられていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 前記粗粒子分離手段は、5〜50μmの範囲内で設定される所定粒径を超える粗粒子を捕集し、該所定粒径以下の微小粒子を通過させることを特徴とする請求項1記載のトリクロロシラン製造装置。
- 前記フィルターは、ポリテトラフルオロエチレンの織物を用いたフィルター又はポリテトラフルオロエチレンを連続多孔質体としてなるメンブレンフィルターを有することを特徴とする請求項1又は2記載のトリクロロシラン製造装置。
- 反応炉内で金属シリコン粉末を塩化水素ガスによって流動させながら反応させ、この反応により生成されたトリクロロシランを浄化しながら取り出すトリクロロシラン製造方法であって、
前記反応炉から排出される前記トリクロロシランを含む反応流体中の粗粒子を粗粒子分離手段により分離して捕集し、該粗粒子を前記反応炉に戻すとともに、前記粗粒子を除去した後の前記反応流体から粗粒子よりも小さい微小粒子をフィルターにより除去することを特徴とするトリクロロシラン製造方法。 - 前記粗粒子分離手段は、5〜50μmの範囲内で設定される所定粒径を超える粗粒子を捕集することを特徴とする請求項4記載のトリクロロシラン製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010010703A JP5423418B2 (ja) | 2010-01-21 | 2010-01-21 | トリクロロシラン製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010010703A JP5423418B2 (ja) | 2010-01-21 | 2010-01-21 | トリクロロシラン製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011148651A true JP2011148651A (ja) | 2011-08-04 |
JP5423418B2 JP5423418B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=44536033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010010703A Active JP5423418B2 (ja) | 2010-01-21 | 2010-01-21 | トリクロロシラン製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5423418B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015017011A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 三菱マテリアル株式会社 | クロロシラン類製造装置及びクロロシラン類製造方法 |
CN108383125A (zh) * | 2018-05-14 | 2018-08-10 | 亚洲硅业(青海)有限公司 | 一种制备高纯三氯氢硅的装置及方法 |
WO2021100286A1 (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | 株式会社トクヤマ | フィルタ |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5945919A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-15 | Denki Kagaku Kogyo Kk | トリクロルシランの連続製造法 |
JPH09194207A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-07-29 | Tokuyama Corp | サイクロン及びこれを備えた流動層反応装置 |
JP2009256197A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-11-05 | Mitsubishi Materials Corp | クロロシランの精製装置及びクロロシラン製造方法 |
-
2010
- 2010-01-21 JP JP2010010703A patent/JP5423418B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5945919A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-15 | Denki Kagaku Kogyo Kk | トリクロルシランの連続製造法 |
JPH09194207A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-07-29 | Tokuyama Corp | サイクロン及びこれを備えた流動層反応装置 |
JP2009256197A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-11-05 | Mitsubishi Materials Corp | クロロシランの精製装置及びクロロシラン製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015017011A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 三菱マテリアル株式会社 | クロロシラン類製造装置及びクロロシラン類製造方法 |
CN108383125A (zh) * | 2018-05-14 | 2018-08-10 | 亚洲硅业(青海)有限公司 | 一种制备高纯三氯氢硅的装置及方法 |
WO2021100286A1 (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | 株式会社トクヤマ | フィルタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5423418B2 (ja) | 2014-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4378976A (en) | Combined sonic agglomerator/cross flow filtration apparatus and process for solid particle and/or liquid droplet removal from gas streams | |
JP5862559B2 (ja) | ナノカーボン材料製造装置及びナノカーボン材料の製造方法 | |
US4080431A (en) | Recovery of refractory hard metal powder product | |
TWI507359B (zh) | 製備三氯矽烷之方法及設備 | |
KR101677774B1 (ko) | 실리콘 테트라할라이드와 실리콘을 트리할로실란으로 수소화하기 위한 장치 및 방법 | |
JP5423418B2 (ja) | トリクロロシラン製造装置 | |
CN101269813A (zh) | 微硅粉提纯回收新工艺 | |
JPWO2013057997A1 (ja) | クロロポリシランの製造方法および流動床反応装置 | |
CN110167878B (zh) | 多晶硅制造方法 | |
CN102935428B (zh) | 一种分离固体颗粒的分离装置及其应用 | |
CN114213445A (zh) | 有机硅触体回床的方法 | |
US4328353A (en) | Process for the manufacture of organohalosilanes | |
US8486171B2 (en) | Dry dust removal method in organic chlorosilane production | |
JP5885957B2 (ja) | 粒子分級装置 | |
JP2011506901A (ja) | 固体を含むガスから固体粒子を粗分離するための方法および装置 | |
CN104602803B (zh) | 用于流化床反应器的改进的内部旋风分离器 | |
US3521428A (en) | Phase separation | |
CN110072638A (zh) | 用于多晶硅的分离装置 | |
TWI752280B (zh) | 三氯矽烷製造裝置及三氯矽烷的製造方法 | |
CN202962887U (zh) | 一种分离固体颗粒的分离装置 | |
JPS6220129B2 (ja) | ||
JP2009256143A (ja) | シリコンの製造方法 | |
CN214182394U (zh) | 一种多晶硅生产用还原炉尾气的粉尘处理装置 | |
JPS62168524A (ja) | 高温ガス流の濾過装置及び濾過方法 | |
WO2006077717A1 (ja) | 高純度シリカ粉の製造方法及び装置、並びに高純度シリカ粉 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120927 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131021 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131029 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5423418 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |