JP2011142052A - Copper conductor ink, conductive substrate, and method of manufacturing the same - Google Patents

Copper conductor ink, conductive substrate, and method of manufacturing the same Download PDF

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偉夫 中子
Kazunori Yamamoto
和徳 山本
Yasushi Kamishiro
恭 神代
Shunya Yokozawa
舜哉 横澤
Kyoko Kuroda
杏子 黒田
Yoichi Machii
洋一 町井
Yoshinori Ejiri
芳則 江尻
Katsuyuki Masuda
克之 増田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a copper conductor ink capable of forming a conductive layer with high adhesion with a substrate without reducing its conductivity, and a manufacturing method capable of manufacturing the conductive substrate wherein adhesion between the conductive layer and the substrate is high and conductivity of the conductive layer is high. <P>SOLUTION: In the copper conductor ink including copper nano-particles, and thermosetting resin before being heat-cured, a content volume of the thermosetting resin is greater than a volume of one quarter of a gap volume at the time of most densely filling up the copper nano-particles, and is smaller than the gap volume. Further, the manufacturing method for a conductive substrate includes a process A of forming a coated layer by applying the copper conductor ink on the substrate and drying the coated layer, a process B of applying conductible treatment to the dried coated layer and changing the coated layer into a conductive layer, and a process C of performing heat-curing of the thermosetting resin between the process A and the process B or after the process B. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、銅配線パターン等の形成に使用される銅導体インク、及び銅導体インクを用いて行う導電性基板の製造方法、並びに導電性基板に関する。   The present invention relates to a copper conductor ink used for forming a copper wiring pattern and the like, a method for producing a conductive substrate using the copper conductor ink, and a conductive substrate.

低エネルギー、低コスト、高スループット、オンデマンド生産などの優位点から印刷法による配線パターンの形成が有望視されている。この目的には、金属元素を含むインク・ペーストを用い印刷法によりパターンを形成した後、印刷された配線パターンに金属伝導性を付与することにより実現される。
従来この目的には、フレーク状の銀あるいは銅を熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂のバインダに有機溶剤、硬化剤、触媒などと共に混合したペーストが用いられてきた。この金属ペーストの使用方法は、対象物にディスペンサやスクリーン印刷により塗布し、常温で乾燥するか、あるいは150℃程度に加熱してバインダ樹脂を硬化し、導電性被膜とすることで行われている。このようにして得られた導電性被膜では、内部の金属粒子の一部のみが物理的に接触して導通を取ると共に硬化した樹脂により、導電層の強度と基板との接着性を発現している。しかし、このような導電ペーストでは、粒子間の物理接触により導通が取られ、かつ一部銀粒子の間にバインダが残存し接触を阻害するため導電性は体積抵抗率は、製膜条件にもよるが、10−6〜10−7Ω・mの範囲であり、金属銀や銅の体積抵抗率16×10−9Ω・m、17×10−9Ω・mに比べて、10〜100倍の値となっており金属膜には到底及ばない値となっている。また、従来の銀ペーストでは、銀粒子が粒径1〜100μmのフレーク状であるため、原理的にフレーク状銀粒子の粒径以下の線幅の配線を印刷することは不可能である。また、配線の微細化やインクジェット法への適用からは、粒径が100nm以下の粒子を用いたインクが求められており、これらの点から従来の銀ペーストは微細な配線パターン形成には不適である。
From the advantages of low energy, low cost, high throughput, on-demand production, etc., the formation of wiring patterns by the printing method is considered promising. This object is realized by forming a pattern by a printing method using an ink paste containing a metal element and then imparting metal conductivity to the printed wiring pattern.
Conventionally, a paste obtained by mixing flaky silver or copper with a binder of a thermoplastic resin or a thermosetting resin together with an organic solvent, a curing agent, a catalyst, or the like has been used for this purpose. This metal paste is used by applying it to an object by a dispenser or screen printing and drying it at room temperature, or heating it to about 150 ° C. to cure the binder resin to form a conductive film. . In the conductive film thus obtained, only a part of the internal metal particles are brought into physical contact with each other to establish conduction, and the cured resin exhibits strength of the conductive layer and adhesion to the substrate. Yes. However, in such a conductive paste, conduction is obtained by physical contact between particles, and a binder remains between some silver particles to inhibit contact. However, it is in the range of 10 −6 to 10 −7 Ω · m, and 10 to 100 compared to the volume resistivity 16 × 10 −9 Ω · m and 17 × 10 −9 Ω · m of metallic silver and copper. The value is twice that of the metal film. Further, in the conventional silver paste, since the silver particles are in the form of flakes having a particle diameter of 1 to 100 μm, it is impossible in principle to print a wiring having a line width equal to or smaller than the particle diameter of the flaky silver particles. In addition, from the miniaturization of wiring and application to the ink jet method, ink using particles having a particle size of 100 nm or less is required. From these points, conventional silver paste is not suitable for forming a fine wiring pattern. is there.

これらの銀や銅ペーストの欠点を克服するものとして金属ナノ粒子を用いた配線パターン形成方法が検討されており、金あるいは銀ナノ粒子を用いる方法は確立されている(例えば、特許文献1、2参照。)。具体的には、金あるいは銀ナノ粒子を含む分散液を利用した極めて微細な回路パターンの描画と、その後、金属ナノ粒子相互の焼結を施すことにより、得られる焼結体型配線層において、配線幅および配線間スペースが5〜50μm、体積固有抵抗率が1×10−8Ω・m以下の配線形成が可能となっている。しかしながら、金や銀といった貴金属ナノ粒子を用いる際には、材料自体が高価であるため、かかる超ファイン印刷用分散液の作製単価も高くなり、汎用品として幅広く普及する上での、大きな経済的障害となっている。さらに、銀ナノ粒子では、配線幅および配線間スペースが狭くなっていくにつれ、エレクトロマイグレーションに起因する回路間の絶縁低下という欠点や問題として浮上している。 In order to overcome the disadvantages of these silver and copper pastes, a method of forming a wiring pattern using metal nanoparticles has been studied, and a method using gold or silver nanoparticles has been established (for example, Patent Documents 1 and 2). reference.). Specifically, in the sintered body type wiring layer obtained by drawing an extremely fine circuit pattern using a dispersion liquid containing gold or silver nanoparticles, and then performing sintering between the metal nanoparticles, It is possible to form a wiring having a width and a space between wirings of 5 to 50 μm and a volume resistivity of 1 × 10 −8 Ω · m or less. However, when precious metal nanoparticles such as gold and silver are used, the material itself is expensive, so the production unit price of such a dispersion for ultra fine printing is high, and it is a great economic factor for widespread use as a general-purpose product. It is an obstacle. Furthermore, with silver nanoparticles, as the wiring width and inter-wiring space become narrower, it has emerged as a drawback and problem of reduced insulation between circuits due to electromigration.

配線形成用の金属ナノ粒子分散液としては、エレクトロマイグレーションが少なく、金や銀と比較して材料自体の単価も相当に安価な銅の利用が期待されている。銅の粒子は貴金属と比較して酸化されやすい性質を持つため、表面処理剤には分散性の向上目的以外に酸化防止の作用を持つものが用いられる。このような目的には銅表面と相互作用する置換基を有する高分子や長鎖アルキル基を有する表面処理剤(例えば、特許文献3、4参照。)が用いられている。   As the metal nanoparticle dispersion for forming the wiring, it is expected to use copper, which has less electromigration and is considerably less expensive than gold and silver. Since copper particles are more easily oxidized than noble metals, surface treatment agents having an anti-oxidation function other than the purpose of improving dispersibility are used. For such purposes, a polymer having a substituent that interacts with the copper surface and a surface treatment agent having a long-chain alkyl group (for example, see Patent Documents 3 and 4) are used.

このように、金属ナノ粒子を用いたインクは分散性を向上させるための分散剤、金属ナノ粒子の酸化を防ぐための表面保護剤や場合によっては還元剤が多量に含まれており、さらに導体化する処理にはこれらの分散剤、表面保護剤等を分解するための手段が提案されている(例えば、特許文献6〜7参照。)。   As described above, the ink using the metal nanoparticles contains a large amount of a dispersant for improving dispersibility, a surface protective agent for preventing oxidation of the metal nanoparticles and, in some cases, a reducing agent, and a conductor. Means for decomposing these dispersants, surface protective agents and the like have been proposed for the treatment to be converted (see, for example, Patent Documents 6 to 7).

一方、金属ナノ粒子を用いた配線パターンは導電性ペーストのような積極的に接着性を持たせるような樹脂成分は含まれず、さらに粒子が物理的に基板上に載った状態から焼結するため生成した導体層は基板から剥離し易い欠点がある。また、粒子の焼結により生じた導体層は層中に粒子間隙間や表面保護剤の脱離により生じた空隙を多量に含んでおり、導体層が脆弱になり、上述の接着性の欠如とあいまって導体層の接着性は大きな問題となっている。   On the other hand, the wiring pattern using metal nanoparticles does not contain a resin component such as a conductive paste that positively gives adhesiveness, and further, the particles are sintered from the state that they are physically placed on the substrate. The produced conductor layer has a drawback that it easily peels off from the substrate. In addition, the conductor layer produced by the sintering of the particles contains a large amount of inter-particle gaps and voids produced by the removal of the surface protective agent in the layer, the conductor layer becomes brittle, and the above-mentioned lack of adhesiveness Together, the adhesion of the conductor layer is a major problem.

そこで、接着性向上のために樹脂を添加することが考えられるが、インクには上述のように分散剤、表面保護剤等が大量に含まれるため、さらに樹脂を添加することは困難であり、たとえ樹脂を添加しても導体化する処理において分散剤、表面保護剤と共に分解されてしまい十分な効果が得られない。
そのため、接着性の向上には基板側に工夫をして接着性を向上させる試みが報告されている(例えば、特許文献8参照。)。
Therefore, it is conceivable to add a resin to improve adhesion, but since the ink contains a large amount of a dispersant, a surface protective agent, etc. as described above, it is difficult to add a resin. Even if a resin is added, it is decomposed together with the dispersant and the surface protective agent in the process of forming a conductor, and a sufficient effect cannot be obtained.
Therefore, attempts have been reported to improve the adhesion by improving the adhesion to the substrate side (see, for example, Patent Document 8).

特開2004−273205号公報JP 2004-273205 A 特開2003−203522号公報JP 2003-203522 A 特許第3599950号公報Japanese Patent No. 3599950 特開2005−081501号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-081501 特開2006−26602号公報JP 2006-26602 A 特開2006−210872号公報JP 2006-210872 A 特開2004−119686号公報JP 2004-119686 A 特開2008−200557号公報JP 2008-200557 A

本発明は前記従来の技術に鑑みてなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
本発明の目的は、導電性を低下させることなく、基板との密着性が高い導電層を形成可能な銅導体インクを提供することにある。
本発明の別の目的は、導電層と基板との密着性が高く、該導電層の導電性が高い導電性基板を製造し得る導電性基板の製造方法を提供することにある。
本発明のさらに別の目的は、導電性が高く、基板との密着性が高い導電層を有する導電性基板を提供することにある。
This invention is made | formed in view of the said prior art, and makes it a subject to achieve the following objectives.
An object of the present invention is to provide a copper conductor ink capable of forming a conductive layer having high adhesion to a substrate without reducing the conductivity.
Another object of the present invention is to provide a method for producing a conductive substrate capable of producing a conductive substrate having high adhesion between the conductive layer and the substrate and having high conductivity of the conductive layer.
Still another object of the present invention is to provide a conductive substrate having a conductive layer having high conductivity and high adhesion to the substrate.

本発明者らは、上述の如き欠点に対し、銅ナノ粒子を用いたインクの導体化において、表面保護剤、分散剤に代表される有機不純物は粒子間の接触を妨げ導体化、低体積抵抗率化を阻害するが、ナノ粒子を最密充填しても残る空間(空隙)より少ない体積であれば有機不純物の影響は最小限に抑えられると考え鋭意検討を行い、本発明に至った。また、銅粒子に対し41vol%以下の添加であれば体積抵抗率の増加はほとんど生じず、6vol%以上の樹脂が添加されれば密着性が向上することを見出した。
すなわち、前記課題を解決するための手段は以下の通りである。
In order to solve the above-mentioned drawbacks, the inventors of the present invention have made it possible to make the conductor of ink using copper nanoparticles, the organic impurities represented by the surface protective agent and the dispersing agent prevent the contact between the particles and make the conductor, low volume resistance. Although the rate is hindered, the inventors have intensively studied that the influence of organic impurities can be minimized if the volume is smaller than the space (void) remaining even when the nanoparticles are packed in close-packed manner, and the present invention has been achieved. Further, it was found that if the addition of 41 vol% or less with respect to the copper particles, the volume resistivity hardly increases, and if 6 vol% or more of the resin is added, the adhesion is improved.
That is, the means for solving the above problems are as follows.

(1)銅系ナノ粒子と、熱硬化前の熱硬化性樹脂とを含有する銅導体インクであって、
前記熱硬化性樹脂の含有体積が、銅系ナノ粒子を最密充填したときの空隙体積の1/4の体積より大きく、該空隙体積よりも小さい体積であることを特徴とする銅導体インク。
(1) A copper conductor ink containing copper-based nanoparticles and a thermosetting resin before thermosetting,
The copper conductor ink is characterized in that the volume of the thermosetting resin is larger than 1/4 of the void volume when the copper-based nanoparticles are closely packed and smaller than the void volume.

(2)前記銅系ナノ粒子の体積に対して、前記熱硬化性樹脂を6〜41vol%含有することを特徴とする前記(1)に記載の銅導体インク。 (2) The copper conductor ink according to (1), wherein the thermosetting resin is contained in an amount of 6 to 41 vol% with respect to the volume of the copper-based nanoparticles.

(3)25℃における動的粘度が5〜20mPa・sであることを特徴とする前記(1)又は(2)に記載の銅導体インク。 (3) The copper conductor ink as described in (1) or (2) above, wherein the dynamic viscosity at 25 ° C. is 5 to 20 mPa · s.

(4)前記銅系ナノ粒子が、コア部が銅であり、シェル部が酸化銅であるコア/シェル構造を有する粒子及び/又は銅酸化物粒子からなることを特徴とする前記(1)〜(3)のいずれかに記載の銅導体インク。 (4) The copper-based nanoparticles are composed of particles having a core / shell structure in which the core portion is copper and the shell portion is copper oxide and / or copper oxide particles (1) to (1) to The copper conductor ink according to any one of (3).

(5)前記熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂、イソシアナート樹脂、フェノール樹脂、レゾール樹脂、及びシロキサン樹脂からなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする前記(1)〜(4)のいずれかに記載の銅導体インク。 (5) The thermosetting resin is at least one selected from the group consisting of an epoxy resin, an isocyanate resin, a phenol resin, a resole resin, and a siloxane resin. The copper conductor ink according to any one of the above.

(6)分散媒として、ハンセン溶解度パラメータにおける水素結合項が8MPa1/2以下であり、かつハンセン溶解度パラメータにおける極性項が11MPa1/2以上である分散媒を用いたことを特徴とする前記(1)〜(5)のいずれかに記載の銅導体インク。 (6) A dispersion medium having a hydrogen bond term in the Hansen solubility parameter of 8 MPa 1/2 or less and a polar term in the Hansen solubility parameter of 11 MPa 1/2 or more is used as the dispersion medium. The copper conductor ink according to any one of 1) to (5).

(7)前記銅系ナノ粒子に対する分散剤を用いずに調製されてなることを特徴とする前記(6)に記載の銅導体インク。 (7) The copper conductor ink according to (6), which is prepared without using a dispersant for the copper-based nanoparticles.

(8)前記(1)〜(7)のいずれかに記載の銅導体インクを基板上に塗布し塗布層を形成し、乾燥する工程Aと、
乾燥した塗布層に導体化処理を施し導電層へと変化させる工程Bと、
前記工程Aと前記工程Bとの間に、又は前記工程Bの後に、前記熱硬化性樹脂を熱硬化する工程Cと、
を含むことを特徴とする導電性基板の製造方法。
(8) Step A of applying the copper conductor ink according to any one of (1) to (7) on a substrate to form a coating layer, and drying the coating layer A;
Step B for converting the dried coating layer into a conductive layer by conducting a conductive treatment;
Step C for thermosetting the thermosetting resin between Step A and Step B or after Step B;
The manufacturing method of the electroconductive board | substrate characterized by the above-mentioned.

(9)前記(8)に記載の導電性基板の製造方法により製造されてなることを特徴とする導電性基板。 (9) A conductive substrate manufactured by the method for manufacturing a conductive substrate according to (8).

本発明によれば、導電性を低下させることなく、基板との密着性が高い銅配線パターンを形成可能な銅導体インクを提供することができる。
また、本発明によれば、導電層と基板との密着性が高く、該導電層の導電性が高い導電性基板を製造し得る導電性基板の製造方法を提供することができる。
さらに、本発明によれば、導電性が高く、基板との密着性が高い導電層を有する導電性基板を提供することができる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the copper conductor ink which can form a copper wiring pattern with high adhesiveness with a board | substrate can be provided, without reducing electroconductivity.
Moreover, according to this invention, the manufacturing method of the electroconductive board | substrate which can manufacture the electroconductive board | substrate with high adhesiveness of an electroconductive layer and a board | substrate and with high electroconductivity of this electroconductive layer can be provided.
Furthermore, according to the present invention, a conductive substrate having a conductive layer having high conductivity and high adhesion to the substrate can be provided.

実施例において使用した銅箔パターンを有する基板を示す上面図である。It is a top view which shows the board | substrate which has the copper foil pattern used in the Example. 実施例1、比較例2、及び比較例4において調製した銅導体インクのせん断粘度についてグラフで示す図である。It is a figure shown with a graph about the shear viscosity of the copper conductor ink prepared in Example 1, the comparative example 2, and the comparative example 4. FIG. (A)は実施例1において、(B)は実施例2において、(C)は比較例2において、それぞれ調製した銅導体インクを用いて形成した塗布層に対し導体化処理を行い、5時間経過した後の表面を表す図面代用写真である。(A) is in Example 1, (B) is in Example 2, (C) is in Comparative Example 2, and the coating layer formed using the prepared copper conductor ink is subjected to conductor treatment for 5 hours. It is a drawing substitute photograph showing the surface after progress. (A)は実施例1において、(B)は実施例2において、(C)は比較例2において、それぞれテープ剥離試験を行った後の銅導体層表面を表す図面代用写真(各写真の左側がテープ側であり、右側が基板側である。)である。(A) in Example 1, (B) in Example 2, (C) in Comparative Example 2, a drawing-substituting photograph showing the surface of the copper conductor layer after the tape peel test (left side of each photograph) Is the tape side, and the right side is the substrate side.). 実施例3、比較例3において調製した銅導体インクのせん断粘度についてグラフで示す図である。It is a figure shown with a graph about the shear viscosity of the copper conductor ink prepared in Example 3 and Comparative Example 3. FIG. 実施例4〜10のテープ剥離前後の表面抵抗をグラフで示す図である。It is a figure which shows the surface resistance before and behind tape peeling of Examples 4-10 by a graph. 実施例11〜17のテープ剥離前後の表面抵抗をグラフで示す図である。It is a figure which shows the surface resistance before and behind tape peeling of Examples 11-17 by a graph.

<銅導体インク>
本発明の銅導体インクは、銅系ナノ粒子と、熱硬化前の熱硬化性樹脂とを含有する銅導体インクであって、前記熱硬化性樹脂の含有体積が、銅系ナノ粒子を最密充填したときの空隙体積の1/4の体積より大きく、該空隙体積よりも小さい体積であることを特徴としている。
本発明の銅導体インクは、より具体的には、表面保護剤や分散剤を含まない銅酸化物表面を有する銅系ナノ粒子の分散液に、銅系ナノ粒子に対し41vol%以下の樹脂を添加したインクとし、印刷あるいは塗布した後乾燥し、粒子間の金属結合形成を含む導体化処理を行い、導体化処理後も導体層中に樹脂が残存する銅導体インクである。
以下に、本発明の銅導体インクに含まれる成分について説明する。
<Copper conductor ink>
The copper conductor ink of the present invention is a copper conductor ink containing copper-based nanoparticles and a thermosetting resin before thermosetting, and the content volume of the thermosetting resin is the closest to the copper-based nanoparticles. It is characterized by being larger than a quarter of the void volume when filled and smaller than the void volume.
More specifically, in the copper conductor ink of the present invention, a resin of 41 vol% or less based on copper nanoparticles is added to a dispersion of copper nanoparticles having a copper oxide surface that does not contain a surface protective agent or a dispersant. It is a copper conductor ink in which the added ink is printed or applied and then dried to conduct a conductor treatment including formation of metal bonds between particles, and the resin remains in the conductor layer even after the conductor treatment.
Below, the component contained in the copper conductor ink of this invention is demonstrated.

[銅系ナノ粒子]
銅系ナノ粒子としては、コア部が銅であり、シェル部が酸化銅であるコア/シェル構造を有する粒子(以下、「銅/酸化銅コアシェル粒子」と称する。)、又は銅酸化物粒子をいい、それらのうちいずれかを単独、あるいは両者を併用してもよい。
[Copper nanoparticles]
As the copper-based nanoparticles, particles having a core / shell structure in which the core portion is copper and the shell portion is copper oxide (hereinafter referred to as “copper / copper oxide core-shell particles”) or copper oxide particles are used. Yes, any of them may be used alone or both may be used in combination.

(銅/酸化銅コアシェル粒子)
銅/酸化銅コアシェル粒子は、例えば、還元作用を示さない有機溶剤中に分散させた原料金属化合物にレーザー光を攪拌下で照射して製造されたものを用いることができる。また、不活性ガス中のプラズマ炎に銅原料を導入し、冷却用不活性ガスで急冷して製造された銅/酸化銅コアシェル粒子を用いることもできる。レーザー光を用いた銅/酸化銅コアシェル粒子の特性は、得られる粒子の特性は、原料銅化合物の種類、原料銅化合物の粒子径、原料銅化合物の量、有機溶剤の種類、レーザー光の波長、レーザー光の出力、レーザー光の照射時間、温度、銅化合物の攪拌状態、有機溶剤中に導入する気体バブリングガスの種類、バブリングガスの量、添加物などの諸条件を適宜選択することによって制御される。
以下に詳細について説明する。
(Copper / copper oxide core-shell particles)
As the copper / copper oxide core-shell particles, for example, those produced by irradiating a raw metal compound dispersed in an organic solvent not showing a reducing action with laser light under stirring can be used. Alternatively, copper / copper oxide core-shell particles produced by introducing a copper raw material into a plasma flame in an inert gas and quenching with a cooling inert gas can also be used. The characteristics of the copper / copper oxide core-shell particles using laser light are the characteristics of the resulting particles: the type of raw copper compound, the particle size of the raw copper compound, the amount of the raw copper compound, the type of organic solvent, the wavelength of the laser light Control by appropriately selecting various conditions such as laser light output, laser light irradiation time, temperature, stirring state of copper compound, type of gas bubbling gas introduced into organic solvent, amount of bubbling gas, additive, etc. Is done.
Details will be described below.

A.原料
原料は銅化合物であって、具体的には、酸化銅・亜酸化銅・硫化銅・オクチル酸銅・塩化銅などを用いることができる。
なお、原料の大きさは重要であり、同じエネルギー密度のレーザー光を照射する場合でも、原料の金属化合物粉体の粒径が小さいほど粒径の小さなコア/シェル粒子が効率よく得られる。また、形状は真球状、破砕状、板状、鱗片状、棒状など種々の形状の原料を用いることができる。
A. Raw material The raw material is a copper compound, and specifically, copper oxide, cuprous oxide, copper sulfide, copper octylate, copper chloride and the like can be used.
The size of the raw material is important. Even when the laser beam having the same energy density is irradiated, the smaller the particle size of the metal compound powder of the raw material, the more efficiently the core / shell particles having a smaller particle size can be obtained. Moreover, the raw material of various shapes, such as a spherical shape, a crushed shape, plate shape, scale shape, rod shape, can be used for a shape.

B.レーザー光
レーザー光の波長は銅化合物の吸収係数がなるべく大きくなるような波長とすることが好ましいが、ナノサイズの銅微粒子の結晶成長を抑制するためには、熱線としての効果が低い短波長のレーザー光を使用することが好ましい。
例えば、レーザー光は、Nd:YAGレーザー、エキシマレーザー、半導体レーザー、色素レーザーなどを用いることができる。また、高エネルギーのレーザーを同じ条件で多くの銅化合物に照射するためにはパルス照射が好ましい。
B. Laser light The wavelength of the laser light is preferably such that the absorption coefficient of the copper compound is as large as possible. However, in order to suppress the crystal growth of nano-sized copper fine particles, the wavelength of the short wavelength has a low effect as a heat ray. It is preferable to use laser light.
For example, an Nd: YAG laser, an excimer laser, a semiconductor laser, a dye laser, or the like can be used as the laser light. Moreover, pulse irradiation is preferable in order to irradiate many copper compounds with a high energy laser under the same conditions.

C.有機溶剤(粒子生成時の分散媒)
粒子生成の際の銅化合物の分散媒に用いる有機溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、γ−ブチロラクトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤を使用することがナノサイズの粒子を得る際には好ましいが、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどの極性溶剤やトルエン、テトラデカンなどの炭化水素系溶剤を用いることもできる。また、1種を単独で又は2種以上を組合わせて使用してもよい。なお、還元性を示す有機溶剤を用いると、銅粒子のシェルを形成する酸化皮膜を還元し、金属が露出することにより、凝集体を形成するために、粒子の分散安定性を損なうことになる。従って、還元作用を示さない有機溶剤を用いることが好ましい。
なお、以上の銅/酸化銅コアシェル粒子の作製手法は一例であり、本発明はそれに限定されることはない。また、例えば、市販のものがあればそれを用いてもよい。
C. Organic solvent (dispersion medium during particle generation)
As the organic solvent used for the dispersion medium of the copper compound during particle formation, it is preferable to use a ketone solvent such as acetone, methyl ethyl ketone, γ-butyrolactone, cyclohexanone, etc., in order to obtain nano-sized particles, but dimethylacetamide Also, polar solvents such as N-methylpyrrolidone and propylene glycol monoethyl ether, and hydrocarbon solvents such as toluene and tetradecane can be used. Moreover, you may use 1 type individually or in combination of 2 or more types. When an organic solvent exhibiting reducibility is used, the oxide film that forms the shell of the copper particles is reduced, and the metal is exposed to form aggregates, thereby impairing the dispersion stability of the particles. . Therefore, it is preferable to use an organic solvent that does not exhibit a reducing action.
In addition, the preparation methods of the above copper / copper oxide core-shell particle | grains are an example, and this invention is not limited to it. For example, if there is a commercially available product, it may be used.

本発明において使用される銅/酸化銅コアシェル粒子は、一次粒子の数平均粒子径が1〜1,000nmであることが好ましく、1〜500nmであることがより好ましく、10〜100nmであることがさらに好ましい。   The copper / copper oxide core-shell particles used in the present invention preferably have a primary particle number average particle diameter of 1 to 1,000 nm, more preferably 1 to 500 nm, and more preferably 10 to 100 nm. Further preferred.

(銅酸化物粒子)
銅酸化物粒子としては、酸化第一銅、酸化第二銅あるいはその混合物からなる球状あるいは塊状の粒子 であり、例えば、シーアイ化成製の気相蒸発法により作成された酸化銅ナノ粒子や日清エンジニアリング製のプラズマ炎法により合成された酸化銅ナノ粒子のような市販品として入手可能なものを用いてもよい。
(Copper oxide particles)
The copper oxide particles are spherical or lump particles made of cuprous oxide, cupric oxide or a mixture thereof. For example, copper oxide nanoparticles or Nissin made by the vapor phase evaporation method manufactured by CI Kasei. You may use what is obtained as a commercial item like the copper oxide nanoparticle synthesize | combined by the plasma flame method made from engineering.

本発明において、銅酸化物が粒子として使用される場合、分散液中での分散安定性という観点から、一次平均粒子径が1〜10,000nmであることが好ましく、2〜1,000nmであることがより好ましく、3〜300nmであることが好ましい。   In the present invention, when copper oxide is used as particles, from the viewpoint of dispersion stability in the dispersion, the primary average particle diameter is preferably 1 to 10,000 nm, and preferably 2 to 1,000 nm. Is more preferable, and it is preferable that it is 3-300 nm.

[添加樹脂]
添加する樹脂は、基板との接着性を有し、銅系ナノ粒子の分散媒に可溶であり、樹脂を添加した銅系粒子分散液が、添加していない銅系粒子分散液と比較して凝集や粘度の増加の少ない樹脂が好ましい。
具体的にはインクジェットインクとしての制約から、樹脂を添加した銅系粒子分散液は10μm以上の凝集や粗大粒子を含まず、25℃における動的粘度が5〜20mPa・s、銅系ナノ粒子の濃度が10mass%以上であることが望ましい。
[Additive resin]
The resin to be added has adhesiveness to the substrate, is soluble in the dispersion medium of the copper-based nanoparticles, and the copper-based particle dispersion added with the resin is compared with the copper-based particle dispersion without addition. Thus, a resin with little increase in aggregation and viscosity is preferred.
Specifically, due to restrictions as an inkjet ink, the copper-based particle dispersion added with a resin does not contain aggregates or coarse particles of 10 μm or more, has a dynamic viscosity at 25 ° C. of 5 to 20 mPa · s, The concentration is desirably 10 mass% or more.

(樹脂)
樹脂成分は導体化した銅系ナノ粒子層(導電層)の補強、基板との密着性向上の観点から、三次元架橋樹脂を使用する。
具体的には、エポキシ樹脂、イソシアナート樹脂、ポリウレア樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、シロキサン樹脂、アルコキシシラン縮合物、有機アルミ縮合物、ポリエーテル樹脂などが挙げられ、中でも熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂、イソシアナート樹脂、フェノール樹脂、レゾール樹脂、又はシロキサン樹脂がより好ましい。樹脂成分として、これらの複数の樹脂の併用も可能である。
いずれの樹脂成分を用いた場合でも、粒子間のフロック形成による粘度およびチキソ性上昇や凝集の原因となるため、樹脂置換基として水素結合性を有する置換基やイオン性の置換基を含まないことが望ましい。具体的には1級、2級アミンおよびアミンの塩、スルホン酸基およびスルホン酸塩、リン酸基およびリン酸塩、カルボン酸およびカルボン酸塩を含まないことが望ましい。
(resin)
As the resin component, a three-dimensional crosslinked resin is used from the viewpoint of reinforcing the copper-based nanoparticle layer (conductive layer) that has been made into a conductor and improving the adhesion to the substrate.
Specific examples include epoxy resins, isocyanate resins, polyurea resins, phenol resins, acrylic resins, polyimide resins, siloxane resins, alkoxysilane condensates, organoaluminum condensates, polyether resins, etc. Among them, thermosetting resins. An epoxy resin, isocyanate resin, phenol resin, resol resin, or siloxane resin is more preferable. A combination of these resins can also be used as the resin component.
Regardless of which resin component is used, it may cause viscosity and thixotropy increase and aggregation due to floc formation between particles, so it does not contain hydrogen-bonding substituents or ionic substituents as resin substituents Is desirable. Specifically, primary, secondary amines and amine salts, sulfonic acid groups and sulfonates, phosphate groups and phosphates, carboxylic acids and carboxylic acid salts are preferably not included.

また同様の理由から樹脂成分の触媒や添加剤、不純物としてアミン、メタノール、エタノール、水、イオン性物質を樹脂の樹脂の添加量に依存するが10mass%以上含まないことが好ましい。   For the same reason, it is preferable that the resin component catalyst, additive, and impurities as amine, methanol, ethanol, water, and ionic substances are not contained in an amount of 10% by mass or more, depending on the amount of resin resin added.

理論計算から求めた、単一粒径の粒子の最密充填(六法最密充填)において空間率は26.0vol%、最密充填の隙間にちょうど入る二次球を考えた場合20.7vol%の空間が粒子間に生じる(柳田 博明、鈴木 道隆:“第6節 集合体の性質”,微粒子工学体系 第一巻 基本技術,フジ・テクノシステム,p 168)。すなわち、樹脂の添加量が20vol%以下であれば導体化処理時に樹脂は粒子間の空間に押し出され、粒子間の焼結が可能である。実際には、焼結に伴う粒子間距離の縮小があり許容される樹脂添加量は少なくなることが想定され、これを実験で求める必要がある。発明者らの検討の結果、樹脂添加量が29vol%以下であれば、導体化後の体積抵抗率に影響がないことを見出した。また、検討の結果、樹脂添加量が6vol%より少ない場合には密着性向上の効果は見られなくなった。このことから樹脂添加量は6vol%以上、29vol%以下である必要がある。   The space ratio is 26.0 vol% in close-packing (six-method close-packing) of particles of a single particle size obtained from theoretical calculation, and 20.7 vol% when considering a secondary sphere that just enters the close-packing gap. Space is generated between particles (Hiroaki Yanagida, Michitaka Suzuki: “Section 6 Properties of Aggregates”, Fine Particle Engineering, Volume 1, Basic Technology, Fuji Techno System, p 168). That is, if the addition amount of the resin is 20 vol% or less, the resin is pushed out into the space between the particles during the conductor treatment, and the particles can be sintered. Actually, it is assumed that there is a reduction in the distance between particles accompanying sintering, and the allowable amount of resin addition is expected to be small. As a result of investigations by the inventors, it was found that if the amount of resin added is 29 vol% or less, there is no effect on the volume resistivity after the formation of a conductor. Further, as a result of the examination, when the resin addition amount is less than 6 vol%, the effect of improving the adhesion is not seen. Therefore, the resin addition amount needs to be 6 vol% or more and 29 vol% or less.

[分散媒]
本発明の銅導体インクに使用する分散媒としては、例えば、γ−ブチロラクトン、N−メチルピロリドン、プロピレンカーボネート、エチレングリコールスルファイト、アセトニトリル、スルホランなどが挙げられる。中でも特にγ−ブチロラクトン、プロピレンカーボネート、エチレングリコールスルファイト、スルホランが好ましい。
その他、分散媒は、凝集、沈澱の原因となるためイオン性成分、多量の水分を含まないことが好ましい。
[Dispersion medium]
Examples of the dispersion medium used in the copper conductor ink of the present invention include γ-butyrolactone, N-methylpyrrolidone, propylene carbonate, ethylene glycol sulfite, acetonitrile, and sulfolane. Of these, γ-butyrolactone, propylene carbonate, ethylene glycol sulfite, and sulfolane are particularly preferable.
In addition, since the dispersion medium causes aggregation and precipitation, it is preferable that the dispersion medium does not contain an ionic component and a large amount of water.

一方、特にインクジェット用インクに提供されるような低粘度で凝集の少ない分散液を得る目的においては、分散媒としては、ハンセン溶解度パラメータで規定される分散媒が好ましい。ハンセン溶解度パラメータについては特願2008−62969号に記載されている。具体的には、ハンセン溶解度パラメータにおける水素結合項が8MPa1/2以下であり、かつハンセン溶解度パラメータにおける極性項が11MPa1/2以上である分散媒が好ましい。 On the other hand, the dispersion medium defined by the Hansen solubility parameter is preferable as the dispersion medium, particularly for the purpose of obtaining a dispersion having a low viscosity and less aggregation as provided for ink jet inks. The Hansen solubility parameter is described in Japanese Patent Application No. 2008-62969. Specifically, a dispersion medium having a hydrogen bond term in the Hansen solubility parameter of 8 MPa 1/2 or less and a polar term in the Hansen solubility parameter of 11 MPa 1/2 or more is preferable.

以上の条件を満足する分散媒を用いることで、前記粒子の分散性が向上するのは、酸化銅表面と分散媒の接触により自由エネルギーが低下し分散状態のほうが安定化するためと考えられる。
ここで、ハンセン溶解度パラメータとは、溶剤の溶解パラメータを定義する方法の1種であり、詳細は、例えば「INDUSTRIAL SOLVENTSHANDBOOK」(pp.35-68、Marcel Dekker, Inc.、1996年発行)や、「HANSEN SOLUBILITY PARAMETERS:A USER’S HANDBOOK」(pp.1-41,CRC Press,1999)「DIRECTORYOF SOLVENTS」(pp.22-29、Blackie Academic & Professional、1996年発行)などに記載されている。ハンセン溶解度パラメータは溶媒と溶質の親和性を推測するために導入された物質固有のパラメータであり、ある溶媒と溶質が接したときに系の自由エネルギーがどの程度下がるか、あるいは上がるかをこのパラメータから推測できる。すなわち、ある物質を溶かすことのできる溶媒はある領域のパラメータを有することになる。本発明者等は、同様のことが粒子表面と分散媒との間にも成立すると考えた。すなわち、酸化銅表面を持つ粒子と分散媒とが接したときエネルギー的に安定化するには、分散媒がある領域の溶解度パラメータを有すると類推した。
The reason why the dispersibility of the particles is improved by using a dispersion medium that satisfies the above conditions is considered to be that the free energy decreases due to the contact between the copper oxide surface and the dispersion medium, and the dispersion state becomes more stable.
Here, the Hansen solubility parameter is one type of method for defining the solubility parameter of the solvent. For details, for example, “INDUSTRIAL SOLVENTSHANDBOOK” (pp.35-68, Marcel Dekker, Inc., 1996) “HANSEN SOLUBILITY PARAMETERS: A USER'S HANDBOOK” (pp.1-41, CRC Press, 1999) “DIRECTORYOF SOLVENTS” (pp.22-29, Blackie Academic & Professional, 1996). The Hansen solubility parameter is a parameter specific to a substance introduced to estimate the affinity between a solvent and a solute. This parameter determines how much the free energy of the system decreases or increases when a solvent and solute come into contact with each other. Can be guessed from. That is, a solvent that can dissolve a certain substance has a certain range of parameters. The inventors of the present invention have considered that the same is true between the particle surface and the dispersion medium. That is, it was analogized that in order to stabilize in terms of energy when a particle having a copper oxide surface comes into contact with the dispersion medium, the dispersion medium has a solubility parameter in a certain region.

前記分散媒は、ハンセン溶解度パラメータにおける水素結合項は8MPa1/2以下であることが好ましく、水素結合性が低いことを示しているが、9MPa1/2以下であることが好ましく、8MPa1/2以下であることがより好ましい。8MPa1/2を超えると、分散系は凝集し、増粘や粒子の沈降、粒子と分散媒の分離を生じることとなってしまう。また、下限は通常は0MPa1/2である。 The dispersion medium is preferably hydrogen bond in Hansen parameters is 8 MPa 1/2 or less, although it is shown that low hydrogen-bonding, is preferably 9 MPa 1/2 or less, 8 MPa 1 / More preferably, it is 2 or less. If it exceeds 8 MPa 1/2 , the dispersion system aggregates, resulting in thickening, sedimentation of the particles, and separation of the particles and the dispersion medium. The lower limit is usually 0 MPa 1/2 .

また、前記分散媒は、ハンセン溶解度パラメータにおける極性項は11MPa1/2以上であることが好ましく、高極性であることを示しているが、11MPa1/2以上であることが好ましく、12MPa1/2以上であることがより好ましい。11MPa1/2未満では、分散系は凝集し、増粘や粒子の沈降、粒子と分散媒の分離を生じることとなってしまう。また、上限は通常は20MPa1/2であり、上限以上の物質がより良いかもしれないが、20MPa1/2を超え、なおかつ水素結合項が7MPa1/2以下の物質は知られていない。 Further, the dispersion medium is preferably polar term of Hansen parameters is 11 MPa 1/2 or more, although a show that highly polar is, it is preferably 11 MPa 1/2 or more, 12 MPa 1 / More preferably, it is 2 or more. If it is less than 11 MPa 1/2 , the dispersion system aggregates, resulting in thickening, sedimentation of particles, and separation of particles and dispersion medium. Further, the upper limit is usually 20 MPa 1/2 , and a substance above the upper limit may be better, but no substance exceeding 20 MPa 1/2 and having a hydrogen bond term of 7 MPa 1/2 or less is known.

以上の条件を満足する分散媒としては、例えば、γ−ブチロラクトン、N−メチルピロリドン、プロピレンカーボネート、エチレングリコールスルファイト、アセトニトリルなどが挙げられる。中でも特にγ−ブチロラクトン、プロピレンカーボネート、エチレングリコールスルファイトが好ましい。   Examples of the dispersion medium that satisfies the above conditions include γ-butyrolactone, N-methylpyrrolidone, propylene carbonate, ethylene glycol sulfite, and acetonitrile. Of these, γ-butyrolactone, propylene carbonate, and ethylene glycol sulfite are particularly preferable.

本発明において、置換分散媒は1種を単独で使用しても、2種以上を混合して使用してもよい。混合する場合は、混合後におけるハンセン溶解度パラメータが上記範囲内となればよい。そして、2種以上を混合する場合は、いずれも本発明において規定する範囲内の分散媒を混合してもよいし、あるいは本発明において規定する範囲内の分散媒と、範囲外の分散媒とを混合してもよい。   In the present invention, the substituted dispersion medium may be used alone or in combination of two or more. When mixing, the Hansen solubility parameter after mixing should just be in the said range. And when mixing 2 or more types, all may mix the dispersion medium in the range prescribed | regulated in this invention, or the dispersion medium in the range prescribed | regulated in this invention, and the dispersion medium outside a range May be mixed.

<導電性基板の製造方法>
本発明の導電性基板の製造方法は、既述の本発明の銅導体インクを基板上に塗布し塗布層を形成し、乾燥する工程Aと、乾燥した塗布層に導体化処理を施し導電層へと変化させる工程Bと、前記工程Aと前記工程Bとの間に、又は前記工程Bの後に、前記熱硬化性樹脂を熱硬化する工程Cと、を含むことを特徴している。
以下に、本発明の製造方法について詳述する。
<Method for producing conductive substrate>
The method for producing a conductive substrate of the present invention comprises a step A in which the copper conductor ink of the present invention described above is applied on a substrate to form a coating layer and drying, and a conductive layer is formed by subjecting the dried coating layer to a conductive process. Step B is changed to Step B, and Step C is included between Step A and Step B, or after Step B, and thermosetting the thermosetting resin.
Below, the manufacturing method of this invention is explained in full detail.

(基板)
本発明の製造方法において、銅導体インクは基板上に塗布されるが、該基板の材料としては、具体的には、ポリイミド、ポリエチレンナフレタート、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、液晶ポリマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂、繊維強化樹脂、無機粒子充填樹脂、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリプロピレン、架橋ポリビニル樹脂、ガラス、セラミックス等からなるフィルム、シート、板が挙げられる。
(substrate)
In the production method of the present invention, the copper conductor ink is applied onto a substrate. Specific examples of the substrate material include polyimide, polyethylene naphthalate, polyethersulfone, polyethylene terephthalate, polyamideimide, and polyetherether. Films, sheets, and plates made of ketone, polycarbonate, liquid crystal polymer, epoxy resin, phenol resin, cyanate ester resin, fiber reinforced resin, inorganic particle filled resin, polyolefin, polyamide, polyphenylene sulfide, polypropylene, crosslinked polyvinyl resin, glass, ceramics, etc. Is mentioned.

[工程A]−塗布層の形成〜乾燥−
塗布層の形成は、既述の本発明の銅導体インクを塗布液として基板表面に塗布し、得られた塗布層を乾燥することにより行うことができる。塗布液の塗布は、バーコーター、カンマコータ、ダイコータ、スリットコータ、グラビアコータ、インクジェットコータなどを用いて行うことができる。塗布層厚は、0.01〜100μmとすることが好ましく、0.1〜50μmとすることがより好ましく、0.1〜10μmとすることがさらに好ましい。塗布層の乾燥は、用いた分散媒や塗布層厚に依存するが、例えば、塗布層が形成された基板をホットプレート上にて、80〜150℃で、5〜30分間載置することにより行うことができる。その他、周知の乾燥手段を採用することができる。この際、銅系ナノ粒子が、銅/酸化銅コアシェル粒子及び酸化銅粒子の場合、いずれも表面が酸化銅であるため金属銅粒子のように酸素を除いた雰囲気で乾燥する必要はない。
[Step A]-Formation of coating layer-drying-
The coating layer can be formed by coating the copper conductor ink of the present invention described above on the substrate surface as a coating liquid and drying the resulting coating layer. The coating solution can be applied using a bar coater, comma coater, die coater, slit coater, gravure coater, ink jet coater or the like. The coating layer thickness is preferably 0.01 to 100 μm, more preferably 0.1 to 50 μm, and still more preferably 0.1 to 10 μm. The drying of the coating layer depends on the dispersion medium used and the coating layer thickness. For example, the substrate on which the coating layer is formed is placed on a hot plate at 80 to 150 ° C. for 5 to 30 minutes. It can be carried out. In addition, a known drying means can be employed. At this time, when the copper-based nanoparticles are copper / copper oxide core-shell particles and copper oxide particles, since the surfaces are both copper oxide, it is not necessary to dry in an atmosphere excluding oxygen like metal copper particles.

[工程B]−導体化処理−
次いで、乾燥した塗布層に対して導体化処理を行うが、例えば、以下に示す処理液、あるいは還元性液体を用いて導体化処理することができる。
[Process B] -Conductive treatment-
Next, the dried coating layer is subjected to a conductor treatment. For example, the conductor treatment can be performed using a treatment liquid or a reducing liquid described below.

〈処理液〉
以上のように構成された塗布層を処理し導体化するための処理液は、銅酸化物成分を銅イオンや銅錯体として溶出させる薬剤と、溶出された銅イオン又は銅錯体を還元し金属上に析出させる還元剤と、これらを溶かす溶媒とを必須とし、銅イオンを含まない溶液である。以下に、各成分について詳述する。
<Processing liquid>
The treatment liquid for treating and converting the coating layer configured as described above into a conductor is an agent that elutes a copper oxide component as a copper ion or a copper complex, and reduces the eluted copper ion or copper complex on the metal. It is a solution that essentially contains a reducing agent that precipitates in the solvent and a solvent that dissolves them, and does not contain copper ions. Below, each component is explained in full detail.

(薬剤)
薬剤としては、銅酸化物をイオン化又は錯体化して溶かすものであればよく、塩基性含窒素化合物、塩基性含窒素化合物の塩、無機酸、無機酸塩、有機酸、有機酸塩、ルイス酸、ジオキシム、ジチゾン、ヒドロキシキノリン、EDTA、及びβ−ジケトンからなる群より選択される少なくとも1種が好ましい。
以上の薬剤の中でも、還元剤の多くが塩基側で活性となることから、塩基性含窒素化合物が好ましく、特にアミン、アンモニアが好ましく、銅酸化物を溶かす能力が高いことから、1級アミン、アンモニアがより好ましい。
また、塩基性含窒素化合物の他の例として、第3級アミンとしては、エチレンジアミン4酢酸塩、トリエタノールアミン、トリイソパノールアミンが好ましい。
有機酸、有機酸塩としては、カルボン酸、カルボン酸塩が挙げられ、中でも、多価カルボン酸、多価カルボン酸塩、芳香族カルボン酸、芳香族カルボン酸塩、ヒドロキシカルボン酸、ヒドロキシカルボン酸塩が好ましく、具体的には、酒石酸、フタル酸、マレイン酸、コハク酸、フマル酸、サリチル酸、リンゴ酸、クエン酸及びこれらの塩などが好ましい。
ジオキシムとしては、ジメチルグリオキシムやベンジルジグリオキシム、1,2−シクロヘキサンジオンジグリオキシムなどがあり、β−ジケトンとしてはアセチルアセトン、アミノ酢酸としてはグリシンなどのアミノ酸が挙げられる。
銅酸化物をイオン化又は錯体化する薬剤の濃度としては、0.001〜30mol/Lが好ましく、0.01〜15mol/Lがより好ましく、0.1〜8mol/Lがさらに好ましい。0.001mol/L未満の場合、銅酸化物を十分な速度で溶かすことができないことがある。
(Drug)
Any chemical agent that dissolves copper oxide by ionization or complex may be used. Basic nitrogen-containing compounds, salts of basic nitrogen-containing compounds, inorganic acids, inorganic acid salts, organic acids, organic acid salts, Lewis acids , Dioxime, dithizone, hydroxyquinoline, EDTA and at least one selected from the group consisting of β-diketones are preferred.
Among the above drugs, since most of the reducing agents are active on the base side, basic nitrogen-containing compounds are preferable, particularly amines and ammonia are preferable, and primary amines have high ability to dissolve copper oxides. Ammonia is more preferred.
As another example of the basic nitrogen-containing compound, the tertiary amine is preferably ethylenediamine tetraacetate, triethanolamine, or triisopanolamine.
Examples of the organic acid and organic acid salt include carboxylic acid and carboxylate, and among them, polyvalent carboxylic acid, polyvalent carboxylate, aromatic carboxylic acid, aromatic carboxylate, hydroxycarboxylic acid, hydroxycarboxylic acid Salts are preferable, and specifically, tartaric acid, phthalic acid, maleic acid, succinic acid, fumaric acid, salicylic acid, malic acid, citric acid, and salts thereof are preferable.
Dioximes include dimethylglyoxime, benzyldiglyoxime, 1,2-cyclohexanedione diglyoxime, β-diketone includes acetylacetone, and aminoacetic acid includes amino acids such as glycine.
As a density | concentration of the chemical | medical agent which ionizes or complexes copper oxide, 0.001-30 mol / L is preferable, 0.01-15 mol / L is more preferable, 0.1-8 mol / L is further more preferable. If it is less than 0.001 mol / L, the copper oxide may not be dissolved at a sufficient rate.

(還元剤)
還元剤は、水素化ホウ素化合物、水素化アルミニウム化合物、アルキルアミンボラン、ヒドラジン化合物、アルデヒド化合物、亜リン酸化合物、次亜リン酸化合物、アスコルビン酸、アジピン酸、蟻酸、アルコール、スズ(II)化合物、金属スズ、及びヒドロキシアミン類からなる群より選択される少なくとも1種が好適に使用でき、特に、ジメチルアミンボラン(DMAB)、ヒドラジン、ホルムアルデヒド、アスコルビン酸等が好ましく、その他クエン酸等も好適に使用できる。
処理液に用いる還元剤の濃度としては、0.001〜30mol/Lが好ましく、0.01〜15mol/Lがより好ましく、0.01〜10mol/Lがさらに好ましい。還元剤濃度が0.001mol/L未満の場合、十分な速度で金属銅が生成しないことがある。
また、銅酸化物をイオン化又は錯体化する薬剤の濃度と還元剤の濃度のモル比が5,000以上では溶液中に遊離する銅イオン濃度が高くなり粒子堆積部以外への銅の析出が生じるため好ましくない。
溶媒としては、上記の溶解剤、還元剤及び銅イオン又は銅錯体を溶かす必要から高極性の溶媒が好ましく、具体的には水、グリセリン、ホルムアミドを用いることができる。
処理は室温で進行するが、反応の加速、減速、生成する銅膜(導電層)の状態を変える必要に応じて加熱又は冷却してもよい。また銅膜の均質性や反応速度、反応時の発泡を制御するため添加物の添加、攪拌や基板の動揺、超音波の付加を行ってもよい。
(Reducing agent)
Reducing agent is borohydride compound, aluminum hydride compound, alkylamine borane, hydrazine compound, aldehyde compound, phosphorous acid compound, hypophosphorous acid compound, ascorbic acid, adipic acid, formic acid, alcohol, tin (II) compound , Metal tin, and at least one selected from the group consisting of hydroxyamines can be suitably used. Particularly, dimethylamine borane (DMAB), hydrazine, formaldehyde, ascorbic acid and the like are preferable, and citric acid and the like are also preferable. Can be used.
As a density | concentration of the reducing agent used for a process liquid, 0.001-30 mol / L is preferable, 0.01-15 mol / L is more preferable, 0.01-10 mol / L is further more preferable. When the reducing agent concentration is less than 0.001 mol / L, metallic copper may not be generated at a sufficient rate.
In addition, when the molar ratio of the concentration of the agent that ionizes or complexes copper oxide and the concentration of the reducing agent is 5,000 or more, the concentration of copper ions that are liberated in the solution increases and copper is deposited outside the particle deposition portion. Therefore, it is not preferable.
As the solvent, a highly polar solvent is preferable because it is necessary to dissolve the above-described solubilizer, reducing agent, and copper ion or copper complex. Specifically, water, glycerin, and formamide can be used.
The treatment proceeds at room temperature, but the reaction may be accelerated or decelerated and heated or cooled as necessary to change the state of the resulting copper film (conductive layer). Further, in order to control the homogeneity and reaction rate of the copper film and foaming during the reaction, addition of additives, stirring, shaking of the substrate, and addition of ultrasonic waves may be performed.

〈処理液による処理〉
既述のようにして形成した乾燥後の塗布層に対し、処理液を用いて処理するが、具体的には、処理液が満たされた容器中に、塗布層が形成された基板を浸漬することや、あるいは塗布層に対して処理液を連続的に噴霧する、など挙げられる。いずれの場合であっても、塗布層中の銅酸化物は処理液中の薬剤によりイオン化又は錯体化され、次いで還元剤により金属銅に還元され、粒子間を金属銅で埋めることができ、緻密な導電層が形成される。
処理液による処理時間は処理液の濃度や温度によって異なるから適宜設定するが、例えば、処理時間は0.5〜6時間とし、温度は室温から90℃とすることができる。
導電層が形成された基板は、超純水等にさらした後、風乾、ホットプレート、温風乾燥、オーブン等により乾燥する。この際、乾燥しやすくするために、アセトン、メタノール、エタノール等をかけて、水を溶媒に置換した後乾燥してもよい。
以上のようにして導電層を製造することができる。
<Treatment with treatment liquid>
The coating layer after drying formed as described above is treated with the treatment liquid. Specifically, the substrate on which the coating layer is formed is immersed in a container filled with the treatment liquid. Or by continuously spraying the treatment liquid onto the coating layer. In any case, the copper oxide in the coating layer is ionized or complexed by the agent in the treatment liquid, and then reduced to metallic copper by the reducing agent, so that the space between the particles can be filled with metallic copper. A conductive layer is formed.
The treatment time with the treatment liquid is appropriately set because it varies depending on the concentration and temperature of the treatment liquid. For example, the treatment time can be 0.5 to 6 hours, and the temperature can be from room temperature to 90 ° C.
The substrate on which the conductive layer is formed is exposed to ultrapure water or the like and then dried by air drying, hot plate, warm air drying, oven, or the like. At this time, in order to facilitate drying, acetone, methanol, ethanol, or the like may be applied to replace water with a solvent, followed by drying.
A conductive layer can be manufactured as described above.

〈還元性液体による導体化処理〉
本発明においては、銅導体性インク塗布後の基板を、加熱した還元性液体に浸漬することによっても導体化処理を行うことができる。
還元性液体としては、酸化銅を還元し得る液体で、かつ銅の焼結温度よりも沸点が高い液体であればよく、例えば、一級あるいは二級水酸基を有する有機化合物、フェノール基を有する化合物、水素化珪素基を有する液状の有機化合物、1級あるいは2級アミノ基を有する有機化合物、亜リン酸化合物、ヒドラジン化合物があげられる。また、これらの化合物あるいは固体の還元性物質を混ぜた高沸点溶媒でもよい。水酸基を有する有機溶媒としては、グリセリン、エチレングリコール、プロパンジオール、ブタノール、ブタンジオールなどが好ましい。また、還元性物質としては、アスコルビン酸、クエン酸、亜リン酸塩、スズ(II)化合物、水素化ホウ素化合物、水素化珪素化合物、水素化アルミニウム化合物、有機アルミニウムがあげられる。
<Conductive treatment with reducing liquid>
In the present invention, the conductor treatment can also be performed by immersing the substrate after applying the copper conductive ink in a heated reducing liquid.
As the reducing liquid, any liquid capable of reducing copper oxide and having a boiling point higher than the sintering temperature of copper may be used, for example, an organic compound having a primary or secondary hydroxyl group, a compound having a phenol group, Examples thereof include liquid organic compounds having a silicon hydride group, organic compounds having a primary or secondary amino group, phosphorous acid compounds, and hydrazine compounds. Further, a high boiling point solvent in which these compounds or a solid reducing substance is mixed may be used. As the organic solvent having a hydroxyl group, glycerin, ethylene glycol, propanediol, butanol, butanediol and the like are preferable. Examples of the reducing substance include ascorbic acid, citric acid, phosphite, tin (II) compound, borohydride compound, silicon hydride compound, aluminum hydride compound, and organic aluminum.

上記のような還元性液体への浸漬により、塗布乾燥膜中の銅/酸化銅コアシェル粒子又は酸化銅粒子の酸化銅が還元されて銅粒子となる。上述のように、この状態での還元性液体は非加熱であるが、還元反応の進行を促進させる目的で適宜加熱してもよい。この場合の還元性液体の温度は、室温〜200℃とすることが好ましく、その温度の保持時間は、処理する粒子層の厚さや基板の熱容量、還元剤、温度により異なるが、10秒〜60分とすることが好ましい。   By immersion in the reducing liquid as described above, the copper / copper oxide core-shell particles or the copper oxide particles in the coated and dried film are reduced to copper particles. As described above, the reducing liquid in this state is not heated, but may be appropriately heated for the purpose of promoting the progress of the reduction reaction. The temperature of the reducing liquid in this case is preferably room temperature to 200 ° C., and the holding time of the temperature varies depending on the thickness of the particle layer to be processed, the heat capacity of the substrate, the reducing agent, and the temperature, but it is 10 seconds to 60 seconds. Minutes are preferred.

[工程C]−熱硬化−
本発明の銅導体インクは、既述のように熱硬化性樹脂を含むが、本工程においては、導体化処理して得られた導電層(工程Bの後)を加熱して当該熱硬化性樹脂を硬化する。このとき、銅系ナノ粒子同士間の空隙に熱硬化性樹脂が入り込むように、熱硬化性樹脂の体積が設定されているため、銅系ナノ粒子同士の接触が妨げられることが少なく、低体積抵抗率化を実現することができる。その一方で、熱硬化性樹脂の本来の接着機能により、基板と導電層との接着性を向上させるとともに、導電層自体の機械強度を向上させることができる。
なお、当該工程Cは、塗布乾燥後の塗布層に行ってもよく(工程Aと工程Bとの間)、その場合であっても、最終的に基板と導電層との接着性、導電層の機械強度を向上させることができるが、上述のように、工程Bの後に行うことが、より低体積抵抗率となる点で好ましい。
[Step C]-Thermosetting-
The copper conductor ink of the present invention contains a thermosetting resin as described above, but in this step, the conductive layer (after step B) obtained by conducting the conductor is heated to produce the thermosetting resin. Cure the resin. At this time, since the volume of the thermosetting resin is set so that the thermosetting resin enters the voids between the copper-based nanoparticles, the contact between the copper-based nanoparticles is rarely disturbed, and the volume is low. Resistivity can be realized. On the other hand, the original adhesive function of the thermosetting resin can improve the adhesiveness between the substrate and the conductive layer, and can improve the mechanical strength of the conductive layer itself.
In addition, the said process C may be performed to the application layer after application | coating drying (between the process A and the process B), and even in that case, the adhesiveness of a board | substrate and a conductive layer finally, a conductive layer However, as described above, it is preferable to perform the step B after the step B because the volume resistivity becomes lower.

工程Cにおける加熱温度は、100〜250℃とすることが好ましく、150〜200℃とすることがより好ましい。また、加熱時間は、加熱温度により変動するため一概には言えないが、例えば、175℃の温度で加熱する場合、5〜60分とすることが好ましく、10〜30分とすることがより好ましい。
本工程において、加熱する手段として、ホットプレート、温風乾燥機、温風加熱炉、窒素乾燥機、赤外線乾燥機、赤外線加熱炉、遠赤外線加熱炉、マイクロ波加熱装置、レーザー加熱装置、電磁加熱装置、ヒーター加熱装置、蒸気加熱炉、熱板プレス装置などを使用することができる。
The heating temperature in step C is preferably 100 to 250 ° C, and more preferably 150 to 200 ° C. Further, the heating time varies depending on the heating temperature, and thus cannot be generally described. For example, when heating at a temperature of 175 ° C., it is preferably 5 to 60 minutes, more preferably 10 to 30 minutes. .
In this step, as a heating means, hot plate, hot air dryer, hot air heating furnace, nitrogen dryer, infrared dryer, infrared heating furnace, far infrared heating furnace, microwave heating device, laser heating device, electromagnetic heating An apparatus, a heater heating apparatus, a steam heating furnace, a hot plate press apparatus, or the like can be used.

以上の本発明の導電性基板の製造方法により、導電層と基板との密着性が高く、該導電層の導電性が高い導電性基板を製造することができる。
すなわち、本発明の導電性基板は、前記導電性基板の製造方法により得られるものであるから、導電層と基板との密着性が高く、該導電層の導電性が高い導電性基板である。
By the above method for producing a conductive substrate of the present invention, a conductive substrate having a high adhesion between the conductive layer and the substrate and a high conductivity of the conductive layer can be produced.
That is, since the conductive substrate of the present invention is obtained by the method for producing a conductive substrate, it is a conductive substrate having high adhesion between the conductive layer and the substrate and high conductivity of the conductive layer.

<銅配線基板の製造方法>
本発明の銅導体インクは、基板上に配線パターンを描画するためのインクとして用いることにより、配線と基板との密着性が高く、かつ高い導電性を有する銅配線基板を得ることができる。特に、動的粘度を既述のように5〜20mPa・sに設定した場合にはインクジェット適性に優れることから該銅導体インクを用いたインクジェット記録により、銅配線基板を製造することができる。
以下に、銅配線基板の製造方法について説明するが、当該銅配線基板の製造方法は、既述の本発明の導電性基板の製造方法とは導電層と配線パターンとにおいて異なり、それ以外の構成は同様であるため、配線パターンの描画についてのみ説明する。
<Copper wiring board manufacturing method>
By using the copper conductor ink of the present invention as an ink for drawing a wiring pattern on a substrate, a copper wiring substrate having high adhesion between the wiring and the substrate and high conductivity can be obtained. In particular, when the dynamic viscosity is set to 5 to 20 mPa · s as described above, it is excellent in ink jet aptitude, so that a copper wiring board can be manufactured by ink jet recording using the copper conductor ink.
Although the manufacturing method of a copper wiring board will be described below, the manufacturing method of the copper wiring board differs from the above-described manufacturing method of the conductive board of the present invention in the conductive layer and the wiring pattern, and other configurations. Since this is the same, only wiring pattern drawing will be described.

〈配線パターンの描画〉
本発明の銅導体インクを基板上に任意の配線パターンを描画する手法としては、従来からインクを塗布するのに用いられている印刷あるいは塗工を利用することができる。配線パターンを描画するには、前記分散液を用い、スクリーン印刷、ジェットプリンティング法、インクジェット印刷、転写印刷、オフセット印刷、ディスペンサを用いることができる。
<Drawing of wiring pattern>
As a technique for drawing an arbitrary wiring pattern on the substrate using the copper conductor ink of the present invention, printing or coating conventionally used for applying ink can be used. In order to draw a wiring pattern, screen dispersion, jet printing, ink jet printing, transfer printing, offset printing, and dispenser can be used using the dispersion.

以上のようにして配線パターンの描画後は、既述の本発明の導電性基板の製造方法と同様にして、銅導体インクによる配線パターンを導体化処理することにより、配線パターン中の酸化銅が金属銅に変化し導体化して、銅配線基板が製造される。
なお、配線パターン描画後の工程は、既述の本発明の導電性基板の製造方法と実質的に同様であり、既述の本発明の導電性基板の製造方法の説明における「塗布膜」は、本発明の銅配線基板の製造方法では「配線パターン」に相当する。
After drawing the wiring pattern as described above, the copper oxide in the wiring pattern is made conductive by treating the wiring pattern with the copper conductor ink in the same manner as in the method for manufacturing the conductive substrate of the present invention described above. A copper wiring board is manufactured by changing to metal copper and forming a conductor.
The process after drawing the wiring pattern is substantially the same as the method for manufacturing the conductive substrate of the present invention described above, and the “coating film” in the description of the method for manufacturing the conductive substrate of the present invention described above is The copper wiring board manufacturing method of the present invention corresponds to a “wiring pattern”.

銅配線基板の製造方法において使用される基板として、具体的には、ポリイミド、ポリエチレンナフレタート、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、液晶ポリマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂、繊維強化樹脂、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリフェニレンスルフィド等からなるフィルム、シート、板が挙げられる。   As a substrate used in the method for producing a copper wiring substrate, specifically, polyimide, polyethylene naphthalate, polyethersulfone, polyethylene terephthalate, polyamideimide, polyetheretherketone, polycarbonate, liquid crystal polymer, epoxy resin, phenol resin, Examples thereof include films, sheets and plates made of cyanate ester resin, fiber reinforced resin, polyolefin, polyamide, polyphenylene sulfide and the like.

以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further more concretely, this invention is not limited to a following example.

[実施例1]
(樹脂添加銅系ナノ粒子分散液の調製)
酸化銅ナノ粒子(平均粒径70nm、シーアイ化成製)10gと、レーザーアブレーション法銅ナノ粒子(試作品、福田金属箔粉工業製)28mass%のγ−ブチロラクトン分散液35.7gと、γ−ブチロラクトン53gと、ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂(N865 大日本インキ化学工業製)0.6gと、ビスフェノールFとジメトキシジフェニルシランの縮合物0.43gと、2−エチル−4−メチルイミダゾール(和光純薬工業製)の1mass%のγ−ブチロラクトン溶液0.105gとを秤量し、ホモミキサーで8,000rpmで、1時間分散した。この調合のうち、ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールFとジメトキシジフェニルシランの縮合物、2−エチル−4−メチルイミダゾールが樹脂成分であり、銅系粒子に対し29vol%(5mass%)添加させるように調整した。以上のようにして実施例1の銅導体インクを調製した。
得られた銅導体インクの粘度をコーンプレート(直径50mm、角度1°)を用いたレオメータ(Physica MCR301、Anton Paar製)にて計測した結果を図2に示す。図2は、実施例1と比較例2及び4において調製した銅導体インクのせん断粘度(動的粘度)を示すグラフであるが、実施例1の銅導体インクは、樹脂成分を添加しなかった点においてのみ実施例1と異なる比較例2と比較して粘度に差異はほとんど見られなかった。
[Example 1]
(Preparation of resin-added copper-based nanoparticle dispersion)
10 g of copper oxide nanoparticles (average particle size 70 nm, manufactured by C.I. Kasei), laser ablation method copper nanoparticles (prototype, manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Industry) 28 mass% of 35.7 g of γ-butyrolactone dispersion, and γ-butyrolactone 53 g, 0.6 g of bisphenol A novolac epoxy resin (N865 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals), 0.43 g of a condensate of bisphenol F and dimethoxydiphenylsilane, and 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) ) And 0.105 g of a 1 mass% γ-butyrolactone solution were weighed and dispersed with a homomixer at 8,000 rpm for 1 hour. Among these preparations, bisphenol A novolak epoxy resin, bisphenol F and dimethoxydiphenylsilane condensate, 2-ethyl-4-methylimidazole are resin components, and 29 vol% (5 mass%) is added to the copper-based particles. It was adjusted. The copper conductor ink of Example 1 was prepared as described above.
FIG. 2 shows the results of measuring the viscosity of the obtained copper conductor ink with a rheometer (Physica MCR301, manufactured by Anton Paar) using a cone plate (diameter 50 mm, angle 1 °). FIG. 2 is a graph showing the shear viscosity (dynamic viscosity) of the copper conductor inks prepared in Example 1 and Comparative Examples 2 and 4, but the copper conductor ink of Example 1 was not added with a resin component. Compared with Comparative Example 2 which is different from Example 1 only in respect, the difference in viscosity was hardly observed.

(塗布、乾燥)
図1に示す銅パターンを有するエポキシ基板(商品名:MCL−679F、日立化成工業(株)製)上に、調製した銅導体インクをギャップ100μmのアプリケータにより塗布し、100℃のホットプレート上で20分乾燥、塗布と乾燥を2度繰り返して銅導体インクの塗布層を有する基板を得た。
(Coating, drying)
The prepared copper conductor ink was applied to an epoxy substrate (trade name: MCL-679F, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having a copper pattern shown in FIG. Then, drying for 20 minutes, application and drying were repeated twice to obtain a substrate having a copper conductor ink coating layer.

(導体化処理)
導体化処理のための処理液Aを表1に従って秤量した。シャーレの底部に銅導体インクの塗布層を有する基板を置き、端にガラスの小片を載せて基板が浮かないようにして、処理液Aを注いで導体化処理を行い、銅導体インクの塗布層を導電層へと変化させた。室温(20℃)で処理を行った結果、当初黒色であった樹脂添加銅系ナノ粒子塗布層を有する基板は発泡を伴って徐々に銅色へと変化し、5時間後には鮮やかな銅光沢を示した(図3(A))。なお、図はいずれも白黒ではあるが、実際には上記のような色になっている。
(Conductor treatment)
The treatment liquid A for conductorization treatment was weighed according to Table 1. Place a substrate having a copper conductor ink coating layer on the bottom of the petri dish, place a small piece of glass on the edge so that the substrate does not float, pour the treatment liquid A and conduct a conductor, and apply a copper conductor ink coating layer Was changed to a conductive layer. As a result of treatment at room temperature (20 ° C.), the substrate having the resin-added copper-based nanoparticle coating layer that was initially black changed gradually to copper color with foaming, and bright copper luster after 5 hours (FIG. 3A). Although the figures are all black and white, the colors are actually as described above.

(樹脂成分の硬化処理)
導体化処理した銅導体インクの塗布層(導電層)を有する基板をホットプレート上で175℃にて30分加熱して導電層中のエポキシ樹脂を硬化した。以上のようにして、導電性基板を得た。
(Curing treatment of resin component)
The substrate having a copper conductor ink coating layer (conductive layer) subjected to the conductor treatment was heated on a hot plate at 175 ° C. for 30 minutes to cure the epoxy resin in the conductive layer. A conductive substrate was obtained as described above.

(テープ剥離試験)
テープ剥離試験はセロテープ(登録商標)(ニチバン、商品名)を、上記のようにして得た導電性基板の導電層側に貼り付け、指で十分密着させた後、剥離した。その結果、図4(A)に示すように、セロテープ(登録商標)の粘着面に少量の粉末状の物質が付着したものの基板側からは導電層は剥離せず、テープ剥離前に0.1Ωであった抵抗はテープ剥離後もほぼ同程度の0.2Ωであった。これらの結果をまとめて表2に示す。
(Tape peeling test)
In the tape peeling test, cellotape (registered trademark) (Nichiban, trade name) was attached to the conductive layer side of the conductive substrate obtained as described above, and after being sufficiently adhered with a finger, it was peeled off. As a result, as shown in FIG. 4 (A), a small amount of powdery substance adhered to the adhesive surface of the cello tape (registered trademark), but the conductive layer did not peel from the substrate side, and 0.1Ω before tape peeling. The resistance was 0.2Ω, which was almost the same after the tape was peeled off. These results are summarized in Table 2.

[実施例2]
樹脂成分の硬化処理を導体化処理前に行ったこと以外は実施例1と同様に処理し、同様に評価を行った。テープ剥離試験の結果、図4(B)に示すように、セロテープ(登録商標)の粘着面に少量の粉末状の物質が付着したものの基板側からは導電層は剥離せず、テープ剥離前に0.3Ωであった抵抗はテープ剥離後18.4Ωであった(表2)。なお、図3(B)は、実施例2の(樹脂成分の硬化処理)と(導体化処理)を行った後における銅導体層表面を示す。
[Example 2]
The resin component was treated in the same manner as in Example 1 except that the curing treatment was performed before the conductor treatment, and evaluation was performed in the same manner. As a result of the tape peeling test, as shown in FIG. 4 (B), the conductive layer does not peel from the substrate side although a small amount of powdery substance adheres to the adhesive surface of the cello tape (registered trademark). The resistance, which was 0.3Ω, was 18.4Ω after tape peeling (Table 2). FIG. 3B shows the copper conductor layer surface after the (resin component curing treatment) and (conducting treatment) of Example 2 were performed.

[実施例3]
酸化銅ナノ粒子(平均粒径70nm、シーアイ化成製)45gと、γ−ブチロラクトン102gと、ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂(N865 大日本インキ化学工業製)1.5gと、ビスフェノールAノボラック(VH−4170大日本インキ化学工業製)0.84gと、2−エチル−4−メチルイミダゾール(和光純薬工業製)の1mass%γ−ブチロラクトン溶液0.237gとを秤量し、ホモミキサーで8,000rpm、1時間分散した。この調合のうち、ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック、2−エチル−4−メチルイミダゾールが樹脂成分であり、銅系粒子に対し29vol%(5mass%)に調整した。以上のようにして実施例3の銅導体インクを調製した。
得られた銅導体インクの粘度をコーンプレートを用いたレオメータにて計測した結果を図5に示す。図5は、実施例3及び比較例3において調製した銅導体インクのせん断粘度(動的粘度)を示すが、実施例3の銅導体インクは、樹脂成分を添加しなかったこと以外はほぼ実施例3と同じ比較例3と比較して粘度に差異はほとんど見られなかった。
その後、実施例1と同様に(塗布、乾燥)、(導体化処理)、(樹脂成分の硬化処理)、(テープ剥離試験)を行った。
[Example 3]
45 g of copper oxide nanoparticles (average particle size 70 nm, manufactured by C.I. Kasei), 102 g of γ-butyrolactone, 1.5 g of bisphenol A novolac epoxy resin (N865 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals), and bisphenol A novolak (VH-4170 large) Nippon Ink Chemical Co., Ltd.) 0.84 g and 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) 1 mass% γ-butyrolactone solution 0.237 g were weighed, and homomixer at 8,000 rpm for 1 hour. Distributed. Among these preparations, bisphenol A novolac epoxy resin, bisphenol A novolac, and 2-ethyl-4-methylimidazole are resin components, and the volume was adjusted to 29 vol% (5 mass%) with respect to the copper-based particles. The copper conductor ink of Example 3 was prepared as described above.
The results of measuring the viscosity of the obtained copper conductor ink with a rheometer using a cone plate are shown in FIG. FIG. 5 shows the shear viscosity (dynamic viscosity) of the copper conductor inks prepared in Example 3 and Comparative Example 3, but the copper conductor ink of Example 3 was substantially implemented except that no resin component was added. Compared with Comparative Example 3 which was the same as Example 3, there was almost no difference in viscosity.
Thereafter, in the same manner as in Example 1, (application, drying), (conducting treatment), (curing treatment of resin component), and (tape peeling test) were performed.

[実施例4〜10]
樹脂添加量を、実施例4は6vol%(1mass%)、実施例5は11vol%(2mass%)、実施例6は29vol%(5mass%)、実施例7は41vol%(10mass%)、実施例8は55vol%(16.4mass%)、実施例9は68vol%(25mass%)、実施例10は82vol%(41.2mass%)とした以外は、実施例1と同様に(樹脂添加銅系ナノ粒子分散液の調製)、(塗布、乾燥)、(導体化処理)、(樹脂成分の硬化処理)、(テープ剥離試験)を行った。これらの結果をまとめて表3に示す。表3において、テープ剥離試験の評価は、以下の評価基準に従って行った。また、テープ剥離前後の表面抵抗を図6に示す。
〜評価基準〜
○:テープ剥離後におけるテープ側に付着物なし
△:テープ剥離後におけるテープの一部に付着物あり
×:テープ剥離後におけるテープ前面に付着物あり
[Examples 4 to 10]
The amount of resin added was 6 vol% (1 mass%) in Example 4, 11 vol% (2 mass%) in Example 5, 29 vol% (5 mass%) in Example 6, and 41 vol% (10 mass%) in Example 7. Example 8 (resin-added copper) was the same as Example 1 except that 55 vol% (16.4 mass%) was used, Example 9 was 68 vol% (25 mass%), and Example 10 was 82 vol% (41.2 mass%). Preparation of system nanoparticle dispersion), (coating, drying), (conducting treatment), (curing treatment of resin component), and (tape peeling test) were performed. These results are summarized in Table 3. In Table 3, the tape peel test was evaluated according to the following evaluation criteria. Moreover, the surface resistance before and after tape peeling is shown in FIG.
~Evaluation criteria~
○: No deposit on the tape side after tape peeling △: There is a deposit on a part of the tape after tape peeling ×: There is a deposit on the tape front after tape peeling

[実施例11〜17]
樹脂添加量を、実施例11は6vol%(1mass%)、実施例12は11vol%(2mass%)、実施例13は29vol%(5mass%)、実施例14は41vol%(10mass%)、実施例15は55vol%(16.4mass%)、実施例16は68vol%(25mass%)、実施例17は82vol%(41.2mass%)とし、(導体化処理)の前に(樹脂成分の硬化処理)をおこなった以外は、実施例1と同様に(樹脂添加銅系ナノ粒子分散液の調製)、(塗布、乾燥)、(樹脂成分の硬化処理)、(導体化処理)、(テープ剥離試験)を行った。これらの結果をまとめて表4に示す。また、テープ剥離前後の表面抵抗を図7に示す。
[Examples 11 to 17]
The amount of resin added was 6 vol% (1 mass%) in Example 11, 11 vol% (2 mass%) in Example 12, 29 vol% (5 mass%) in Example 13, and 41 vol% (10 mass%) in Example 14. Example 15 was 55 vol% (16.4 mass%), Example 16 was 68 vol% (25 mass%), Example 17 was 82 vol% (41.2 mass%), and (resin component curing) before (conducting treatment) (Preparation of resin added copper-based nanoparticle dispersion), (application, drying), (curing treatment of resin component), (conducting treatment), (tape peeling) Test). These results are summarized in Table 4. Moreover, the surface resistance before and after tape peeling is shown in FIG.

[実施例18]
(樹脂添加銅系ナノ粒子分散液の調製)
酸化銅ナノ粒子(平均粒径70nm、シーアイ化成製)10gと、銅ナノ粒子(試作品、日清エンジニアリング製)1.1gと、γ−ブチロラクトン29.2gと、ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂(N865 大日本インキ化学工業製)0.47gと、ビスフェノールAノボラック(VH-4170 大日本インキ化学工業製)0.26gと、2−エチル−4−メチルイミダゾール(和光純薬工業製)の1mass%のγ−ブチロラクトン溶液0.072gとを秤量し、ホモミキサーで8,000rpmで、1時間分散した。この調合のうち、ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック、2−エチル−4−メチルイミダゾールが樹脂成分であり、銅系粒子に対し29vol%(6mass%)添加させるように調整した。以上のようにして実施例18の銅導体インクを調製した。
[Example 18]
(Preparation of resin-added copper-based nanoparticle dispersion)
10 g of copper oxide nanoparticles (average particle size 70 nm, manufactured by CI Chemical Co., Ltd.), 1.1 g of copper nanoparticles (prototype, manufactured by Nissin Engineering), 29.2 g of γ-butyrolactone, bisphenol A novolac epoxy resin (N865 large) 0.47 g of Nippon Ink Chemical Co., Ltd.), 0.26 g of bisphenol A novolak (VH-4170 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals), and 1 mass% γ of 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) -0.072 g of butyrolactone solution was weighed and dispersed with a homomixer at 8,000 rpm for 1 hour. Among these preparations, bisphenol A novolac epoxy resin, bisphenol A novolac, and 2-ethyl-4-methylimidazole are resin components, and adjustment was made to add 29 vol% (6 mass%) to the copper-based particles. The copper conductor ink of Example 18 was prepared as described above.

(塗布、乾燥)
銅箔を全面エッチングしたエポキシ基板(商品名:MCL−679F、日立化成工業(株)製)上に、調製した銅導体インクをギャップ100μmのアプリケータにより塗布し、100℃のホットプレート上で20分乾燥して銅導体インクの塗布層を有する基板を得た。
(Coating, drying)
The prepared copper conductor ink was applied to an epoxy substrate (trade name: MCL-679F, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) on which the copper foil had been entirely etched with an applicator having a gap of 100 μm, and then was applied on a hot plate at 100 ° C. Partial drying was performed to obtain a substrate having a copper conductor ink coating layer.

(導体化処理)
実施例18の樹脂添加銅系ナノ粒子塗布層を有する基板を150℃に加熱したグリセリン浴に浸漬し導体化処理を行った。20分間処理を行った結果、当初黒色であった樹脂添加銅系ナノ粒子塗布層を有する基板は茶色の変色した。体積抵抗率は四端針表面抵抗測定装置(ロレスタ,三菱化学製)を用いて測定した表面抵抗に、カッターナイフでつけた傷を表面形状測定装置(MM3000,菱化システム製)で測定して求めた膜厚を乗算してもとめた。体積抵抗率は6.5 × 10−6Ω・mであった。
(Conductor treatment)
The board | substrate which has a resin addition copper-type nanoparticle application layer of Example 18 was immersed in the glycerol bath heated at 150 degreeC, and the conductorization process was performed. As a result of performing the treatment for 20 minutes, the substrate having the resin-added copper-based nanoparticle coating layer that was initially black turned brown. The volume resistivity is measured using a surface shape measuring device (MM3000, manufactured by Ryoka System) on the surface resistance measured using a four-end needle surface resistance measuring device (Loresta, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) It was stopped by multiplying the obtained film thickness. The volume resistivity was 6.5 × 10 −6 Ω · m.

(樹脂成分の硬化処理)
導体化処理した樹脂添加銅系ナノ粒子塗布層を有する基板を窒素気流下のホットプレート上175℃30分加熱して添加したエポキシ樹脂を硬化した。以上のようにして、導電性基板を得た。
(Curing treatment of resin component)
The added epoxy resin was cured by heating the substrate having a resin-added copper-based nanoparticle coating layer that had been subjected to conductor treatment on a hot plate under a nitrogen stream at 175 ° C. for 30 minutes. A conductive substrate was obtained as described above.

(テープ剥離試験)
テープ剥離試験はセロテープ(登録商標)(ニチバン、商品名)を、上記のようにして得た導電性基板の導電層側に貼り付け、指で十分密着させた後、剥離した。その結果、セロテープ(登録商標)の粘着面に少量の粉末状の物質が付着したものの基板側からは導電層は剥離せず、体積抵抗率は7.8 × 10−5Ω・mであった。
(Tape peeling test)
In the tape peeling test, cellotape (registered trademark) (Nichiban, trade name) was attached to the conductive layer side of the conductive substrate obtained as described above, and after being sufficiently adhered with a finger, it was peeled off. As a result, although a small amount of powdery substance adhered to the adhesive surface of the cello tape (registered trademark), the conductive layer did not peel from the substrate side, and the volume resistivity was 7.8 × 10 −5 Ω · m. .

[比較例1]
樹脂成分の硬化処理を行っていないこと以外は実施例1と同様に銅導体インクの調製、及び導電性基板の作製を行い、さらに実施例1と同様に評価を行った。テープ剥離試験の結果、図4(C)に示すように、セロテープ(登録商標)の粘着面に多量の導電層が付着し、基板表面が露出しているのが認められた。また、テープ剥離前に0.1Ωであった抵抗はテープ剥離後導通がなくなった(表2)。
[Comparative Example 1]
A copper conductor ink was prepared and a conductive substrate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the resin component was not cured, and evaluation was performed in the same manner as in Example 1. As a result of the tape peeling test, as shown in FIG. 4C, it was confirmed that a large amount of the conductive layer adhered to the adhesive surface of the cello tape (registered trademark) and the substrate surface was exposed. Moreover, the resistance which was 0.1Ω before the tape peeling disappeared after the tape peeling (Table 2).

[比較例2]
樹脂成分を添加していないこと以外は実施例1と同様に処理した。テープ剥離試験の結果、セロテープ(登録商標)の粘着面に多量の銅層が付着した〔図4(C)〕。その結果、テープ剥離前に0.1 Ωであった抵抗はテープ剥離後導通がなくなった(表2)。
[Comparative Example 2]
The same treatment as in Example 1 was conducted except that no resin component was added. As a result of the tape peeling test, a large amount of copper layer adhered to the adhesive surface of the cello tape (registered trademark) [FIG. 4 (C)]. As a result, the resistance that was 0.1 Ω before the tape peeling disappeared after the tape peeling (Table 2).

[比較例3]
酸化銅ナノ粒子(平均粒径70nm、シーアイ化成製) 45gとγ−ブチロラクトン105gを秤量し、ホモミキサーで8,000rpm、1時間分散した。粘度をレオメータにて計測した。
[Comparative Example 3]
45 g of copper oxide nanoparticles (average particle size 70 nm, manufactured by C-I Kasei) and 105 g of γ-butyrolactone were weighed and dispersed with a homomixer at 8,000 rpm for 1 hour. The viscosity was measured with a rheometer.

[比較例4]
実施例1の樹脂添加銅系ナノ粒子分散液の調整において、樹脂成分のうちビスフェノールFとジメトキシジフェニルシランの縮合物の代りにジシアンジアミド(和光純薬工業)を用いた以外は実施例1と同様に樹脂添加銅系ナノ粒子分散液を調製した。その結果、分散液は粘稠なペースト状となり、動的粘度は図2に示したように樹脂未添加の比較例2や樹脂を添加した実施例1の分散液と比較して高粘度となり、さらに強いチキソ性を示しインクジェットインクとして不適であった。
アミン類であるトリエチルアミン、エチレンジアミン、ジブチルアミン、トリエチレンテトラミンをCuOナノ粒子に添加する実験から、これらはCuOナノ粒子を凝集させる挙動が見られ、硬化剤にアミン化合物を用いるのはインクジェットインク用には不適であった。
[Comparative Example 4]
In the preparation of the resin-added copper-based nanoparticle dispersion liquid of Example 1, the same as in Example 1 except that dicyandiamide (Wako Pure Chemical Industries) was used instead of the condensate of bisphenol F and dimethoxydiphenylsilane among the resin components. A resin-added copper-based nanoparticle dispersion was prepared. As a result, the dispersion became a viscous paste, and the dynamic viscosity was higher than that of Comparative Example 2 to which no resin was added and Example 1 to which the resin was added, as shown in FIG. Furthermore, it showed strong thixotropy and was unsuitable as an inkjet ink.
From the experiment of adding amines such as triethylamine, ethylenediamine, dibutylamine, and triethylenetetramine to CuO nanoparticles, they showed the behavior of aggregating CuO nanoparticles, and amine compounds are used as curing agents for inkjet inks. Was unsuitable.

10 基板 10 Substrate

Claims (9)

銅系ナノ粒子と、熱硬化前の熱硬化性樹脂とを含有する銅導体インクであって、
前記熱硬化性樹脂の含有体積が、銅系ナノ粒子を最密充填したときの空隙体積の1/4の体積より大きく、該空隙体積よりも小さい体積であることを特徴とする銅導体インク。
A copper conductor ink containing copper-based nanoparticles and a thermosetting resin before thermosetting,
The copper conductor ink is characterized in that the volume of the thermosetting resin is larger than 1/4 of the void volume when the copper-based nanoparticles are closely packed and smaller than the void volume.
前記銅系ナノ粒子の体積に対して、前記熱硬化性樹脂を6〜29vol%含有することを特徴とする請求項1に記載の銅導体インク。   The copper conductor ink according to claim 1, wherein the thermosetting resin is contained in an amount of 6 to 29 vol% with respect to the volume of the copper-based nanoparticles. 25℃における動的粘度が5〜20mPa・sであることを特徴とする請求項1又は2に記載の銅導体インク。   The copper conductor ink according to claim 1, wherein the dynamic viscosity at 25 ° C. is 5 to 20 mPa · s. 前記銅系ナノ粒子が、コア部が銅であり、シェル部が酸化銅であるコア/シェル構造を有する粒子及び/又は銅酸化物粒子からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の銅導体インク。   The copper-based nanoparticles are composed of particles having a core / shell structure in which a core portion is copper and a shell portion is copper oxide, and / or copper oxide particles. The copper conductor ink according to item 1. 前記熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂、イソシアナート樹脂、フェノール樹脂、レゾール樹脂、及びシロキサン樹脂からなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の銅導体インク。   The thermosetting resin is at least one selected from the group consisting of an epoxy resin, an isocyanate resin, a phenol resin, a resol resin, and a siloxane resin. The copper conductor ink described in 1. 分散媒として、ハンセン溶解度パラメータにおける水素結合項が8MPa1/2以下であり、かつハンセン溶解度パラメータにおける極性項が11MPa1/2以上である分散媒を用いたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の銅導体インク。 6. A dispersion medium having a hydrogen bond term in the Hansen solubility parameter of 8 MPa 1/2 or less and a polar term in the Hansen solubility parameter of 11 MPa 1/2 or more is used as the dispersion medium. The copper conductor ink according to any one of the above. 前記銅系ナノ粒子に対する分散剤を用いずに調製されてなることを特徴とする請求項6に記載の銅導体インク。   The copper conductor ink according to claim 6, which is prepared without using a dispersant for the copper-based nanoparticles. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の銅導体インクを基板上に塗布し塗布層を形成し、乾燥する工程Aと、
乾燥した塗布層に導体化処理を施し導電層へと変化させる工程Bと、
前記工程Aと前記工程Bとの間に、又は前記工程Bの後に、前記熱硬化性樹脂を熱硬化する工程Cと、
を含むことを特徴とする導電性基板の製造方法。
A process A in which the copper conductor ink according to any one of claims 1 to 7 is applied onto a substrate to form a coating layer and dried;
Step B for converting the dried coating layer into a conductive layer by conducting a conductive treatment;
Step C for thermosetting the thermosetting resin between Step A and Step B or after Step B;
The manufacturing method of the electroconductive board | substrate characterized by the above-mentioned.
請求項8に記載の導電性基板の製造方法により製造されてなることを特徴とする導電性基板。   A conductive substrate manufactured by the method for manufacturing a conductive substrate according to claim 8.
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