JP2011137704A - Visual inspection apparatus, surface inspection apparatus, and visual inspection method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、錠剤などの被検査物品の形状における欠損を検査する外観検査装置、表面検査装置、及び外観検査方法に関する。 The present invention relates to an appearance inspection apparatus, a surface inspection apparatus, and an appearance inspection method for inspecting defects in the shape of an article to be inspected such as a tablet.
従来から、錠剤やキャンディー、チョコレートなどの物品に、異物の付着や汚れ、欠けや割れ等の変形、あるいは印刷不良などの欠損が生じているか否かを検査する外観検査が行われている。 2. Description of the Related Art Conventionally, an appearance inspection for inspecting whether an article such as a tablet, candy, chocolate, or the like has a foreign matter attached or dirty, a deformation such as a chip or a crack, or a defect such as a printing defect has been performed.
物品の外観検査に用いられる検査装置としては、被検査物である物品に光を照射して得られた被検査物品からの反射光を撮像手段に入射させて撮像し、得られた映像信号を処理することにより外観を検査する検査装置がある。 As an inspection device used for appearance inspection of an article, reflected light from an article to be inspected obtained by irradiating light to an article to be inspected is incident on an imaging means to pick up an image, and an obtained video signal is obtained. There is an inspection device that inspects the appearance by processing.
このような検査装置としては、例えば、検査対象の円盤形状をした被検査物の側面に対して垂直、すなわち照射角0°で照射する円盤側面照明手段と、被検査物の真上方向(中心軸方向)に配置され、被検査物の側面から反射した照明光を受光して、被検査物の濃淡画像データを出力する円盤形状部品撮像手段と、円盤形状部品撮像手段から出力された被検査物の濃淡画像データを処理して円盤形状をした被検査物の欠け不良を判定する電子計算機とを備えている検査装置(例えば、特許文献1参照)がある。 As such an inspection apparatus, for example, a disk side illumination unit that irradiates perpendicularly to the side surface of a disk-shaped inspection object to be inspected, that is, an irradiation angle of 0 °, and a direction directly above the inspection object (center). A disk-shaped component imaging means for receiving illumination light that is arranged in the axial direction and reflected from the side surface of the object to be inspected, and outputs grayscale image data of the object to be inspected, and an object to be inspected output from the disk-shaped component imaging means 2. Description of the Related Art There is an inspection apparatus (see, for example, Patent Document 1) including an electronic computer that processes grayscale image data of an object and determines a chip defect of a disk-shaped inspection object.
しかしながら、従来技術による検査装置では、円盤形状をした被検査物の側面から反射した照明光を受光して撮像する方法で被検査物の欠け不良(欠損)の検出を行うため、図12(a)に示すように、エッジ部分の欠け100が被検査物の下側にあった場合や、欠け100が微細だった場合には、欠け100を検出し難いという問題がある。特に、図12(b)に示すように、欠け100が円周方向になだらかな形状である場合には、被検査物の側面から反射した照明光から得られる画像データでは、その形状がほとんど変化しないので、欠損を高精度に検出することが期待できないという問題がある。
However, in the inspection apparatus according to the prior art, since the illumination light reflected from the side surface of the disk-shaped inspection object is received and imaged by the method of picking up and detecting the defect (defect) of the inspection object, FIG. ), When the
本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、被検査物品の欠損を高精度に検出することができる外観検査装置、表面検査装置、及び外観検査方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an appearance inspection apparatus, a surface inspection apparatus, and an appearance inspection method capable of detecting a defect of an article to be inspected with high accuracy. There is to do.
上述した課題を解決するために、本発明は、円盤形状の被検査物品の上面と複数の斜め上方向から前記被検査物品の側面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された映像から前記被検査物品の下側エッジ形状を検出する下側エッジ形状検出手段と、前記下側エッジ形状検出手段により検出された前記被検査物品の下側エッジ形状に基づいて、前記被検査物品の姿勢を算出する被検査物品姿勢算出手段と、前記被検査物品姿勢算出手段により算出された前記被検査物品の姿勢に基づいて、前記被検査物品が当該姿勢であるときの前記被検査物品の下側エッジの理論エッジ形状を算出する理論エッジ形状算出手段と、前記下側エッジ形状検出手段により検出された前記下側エッジ形状と前記理論エッジ形状算出手段により算出された前記理論エッジ形状との差分に基づいて、前記被検査物品の欠損を検出する欠損検出手段とを備えることを特徴とする外観検査装置である。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides an imaging unit that images the upper surface of a disk-shaped inspected article and a side surface of the inspected article from a plurality of obliquely upward directions, and an image captured by the imaging unit. The lower edge shape detecting means for detecting the lower edge shape of the inspected article, and the posture of the inspected article based on the lower edge shape of the inspected article detected by the lower edge shape detecting means Based on the attitude of the inspected article calculated by the inspected article attitude calculating means, the lower side of the inspected article when the inspected article is in the attitude A theoretical edge shape calculating means for calculating a theoretical edge shape of an edge; the lower edge shape detected by the lower edge shape detecting means; and a front edge calculated by the theoretical edge shape calculating means. Based on the difference between the theoretical edge shape, the an external inspection apparatus characterized by comprising a defect detection means for detecting a defect in the article to be inspected.
本発明は、上記の発明において、前記被検査物品の側面からの反射光を反射させて前記撮像手段に入射させる反射手段を更に備え、前記撮像手段は、前記被検査物品の上面からの反射光を撮像するとともに、前記反射手段により入射される、前記被検査物品の側面からの反射光を撮像することを特徴とする。 In the above invention, the present invention further includes a reflecting means for reflecting the reflected light from the side surface of the article to be inspected and entering the imaging means, and the imaging means reflects the light reflected from the upper surface of the article to be inspected. The reflected light from the side surface of the article to be inspected that is incident by the reflecting means is imaged.
本発明は、上記の発明において、前記反射手段は、前記被検査物品の上面側から見たときに前記被検査物品を取り囲むように配置された複数の反射体からなり、前記複数の反射体は、それぞれの配置位置で、前記被検査物品の側面からの反射光を反射させて前記撮像手段に入射させることを特徴とする。 According to the present invention, in the above invention, the reflection means includes a plurality of reflectors arranged so as to surround the article to be inspected when viewed from the upper surface side of the article to be inspected. The reflected light from the side surface of the article to be inspected is reflected at each arrangement position and is incident on the imaging means.
本発明は、上記の発明において、前記被検査物品姿勢算出手段は、前記下側エッジ形状検出手段により検出された前記被検査物品の下側エッジ形状に基づいて、前記複数の斜め上方向から撮像された前記被検査物品の側面毎に前記被検査物品の傾き角度を算出し、該傾き角度が所定の閾値以上である場合、該傾き角度を前記被検査物品の姿勢を算出する際のデータから除外することを特徴とする。 According to the present invention, in the above invention, the inspected article attitude calculating means captures images from the plurality of obliquely upward directions based on the lower edge shape of the inspected article detected by the lower edge shape detecting means. An inclination angle of the inspected article is calculated for each side surface of the inspected article, and when the inclination angle is equal to or larger than a predetermined threshold, the inclination angle is calculated from data when calculating the posture of the inspected article. It is characterized by excluding.
本発明は、上記の発明において、前記被検査物品姿勢算出手段は、少なくとも3つ以上の前記傾き角度に基づいて、前記被検査物品の姿勢を算出することを特徴とする。 The present invention is characterized in that, in the above invention, the inspected article attitude calculating means calculates the attitude of the inspected article based on at least three or more inclination angles.
また、上述した課題を解決するために、本発明は、円盤形状の前記被検査物品の厚さ方向のいずれかの面を外周面に保持しながら回転することにより、前記被検査物品を搬送する第1検査ドラムと、前記第1検査ドラムの下側に外周面を近接させた状態に回転自在に設置され、前記第1検査ドラムから前記被検査物品を受け取って前記被検査物品を前記第1検査ドラムの搬送状態と反転させた状態で外周面に保持しながら回転する第2検査ドラムと、前記第1検査ドラムの外周面に保持された前記被検査物品の外観を検査する第1外観検査装置と、前記第2検査ドラムの外周面に保持された前記被検査物品の外観を検査する第2外観検査装置とが具備されてなり、前記第1外観検査装置および前記第2外観検査装置を備えることを特徴とする表面検査装置である。 In order to solve the above-described problem, the present invention conveys the article to be inspected by rotating while holding any surface in the thickness direction of the inspected article having a disk shape on the outer peripheral surface. A first inspection drum and a first inspection drum are rotatably installed in a state where an outer peripheral surface is close to a lower side of the first inspection drum, and the inspection object is received from the first inspection drum and the inspection object is received by the first inspection drum. A second inspection drum that rotates while being held on the outer peripheral surface in a state reversed from the conveyance state of the inspection drum, and a first appearance inspection that inspects the appearance of the article to be inspected held on the outer peripheral surface of the first inspection drum. And a second appearance inspection device that inspects the appearance of the article to be inspected held on the outer peripheral surface of the second inspection drum. The first appearance inspection device and the second appearance inspection device are provided. It is characterized by having It is a surface inspection apparatus.
また、上述した課題を解決するために、本発明は、円盤形状の被検査物品の上面と複数の斜め上方向から前記被検査物品の側面を撮像手段により撮像するステップと、前記撮像された映像から下側エッジ形状検出手段により前記被検査物品の下側エッジ形状を検出するステップと、前記被検査物品の下側エッジ形状に基づいて、被検査物品姿勢算出手段により前記被検査物品の姿勢を算出するステップと、前記被検査物品の姿勢に基づいて、理論エッジ形状算出手段により前記被検査物品が当該姿勢であるときの前記被検査物品の下側エッジの理論エッジ形状を算出するステップと、前記下側エッジ形状と前記理論エッジ形状との差分に基づいて、欠損検出手段により前記被検査物品の欠損を検出するステップとを含むことを特徴とする外観検査方法である。 In order to solve the above-described problem, the present invention includes a step of imaging the side surface of the inspected article from an upper surface of a disk-shaped inspected article and a plurality of obliquely upward directions by an imaging means, and the captured image Detecting the lower edge shape of the inspected article from the lower edge shape detecting means, and the attitude of the inspected article by the inspected article attitude calculating means based on the lower edge shape of the inspected article Calculating the theoretical edge shape of the lower edge of the inspected article when the inspected article is in the attitude by the theoretical edge shape calculating means based on the attitude of the inspected article; And a step of detecting a defect of the article to be inspected by a defect detection unit based on a difference between the lower edge shape and the theoretical edge shape. It is a 査方 method.
この発明によれば、円盤形状の被検査物品のエッジ部分に存在する、円周方向になだらかな形状の欠損であっても、高精度に確実に検出することができる。 According to the present invention, even a chip having a gentle shape in the circumferential direction, which is present at the edge portion of a disk-shaped article to be inspected, can be reliably detected with high accuracy.
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明の実施形態よる表面検査装置の全体構成を示す図である。図1に示す表面検査装置は、ステージ1に立設された壁部2により水平に支持されて上下に隣接配置された表面検査ドラム5及び裏面検査ドラム6と、表面検査ドラム5に錠剤やキャンディー、チョコレートなどの被検査物品を供給するための供給装置7と、表面検査ドラム5の側方側に配置された第1外観検査装置8と、裏面検査ドラム6の側方側に配置された第2外観検査装置9と、裏面検査ドラム6からの検査後の良品を排出するための排出コンベア10と、裏面検査ドラム6からの検査後の不良品を回収するための受部11と、前記裏面検査ドラム6からの排出不良となった被検査物品を受けるための排出不良品の受部12とを主体として構成されている。
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a surface inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 1 includes a
表面検査ドラム5(第1検査ドラム)は、被検査物品の上面を外側に向けた状態で被検査物品を外周面に吸着支持して保持しながら回転することにより、被検査物品を搬送するものである。表面検査ドラム5の下側には、図1に示すように、表面検査ドラム5に外周面を近接させた状態で裏面検査ドラム6(第2検査ドラム)が回転自在に設置されている。裏面検査ドラム6は、表面検査ドラム5から被検査物品を受け取って、被検査物品の下面を外側に向けた状態で被検査物品を外周面に吸着支持して保持しながら回転するものである。
The surface inspection drum 5 (first inspection drum) conveys the article to be inspected by rotating while holding the article to be inspected and supported on the outer peripheral surface with the upper surface of the article to be inspected facing outward. It is. As shown in FIG. 1, a back surface inspection drum 6 (second inspection drum) is rotatably installed below the
図1に示す表面検査ドラム5の左側上方には、ホッパ50に接続されてホッパ50の内部に収容されている被検査物品を表面検査ドラム5の上部側へ供給するための搬送装置7が組み込まれ、この搬送装置7に備えられている傾斜式のシュート52により被検査物品が表面検査ドラム5に供給される。
A
また、図1に示す裏面検査ドラム6の中央下方側には、逆V字型の搬送通路60が設置されている。搬送路60の分岐部分には通路切換弁61が組み込まれ、搬送路60の左側の分岐路62側には排出不良品を受けるための受部12が接続され、搬送路60の右側の分岐路63側には良品搬出用のコンベア装置10が接続されている。
Further, an inverted V-shaped conveyance path 60 is installed on the lower side of the center of the back
表面検査ドラム5の右側には、第1外観検査装置8がフレーム53に支持されて設置されている。第1外観検査装置8は、表面検査ドラム5の外周面に保持された被検査物品の外観を検査するためのものである。また、裏面検査ドラム6の左側方側には、第2外観検査装置9がフレーム54に支持されて設置されている。第2外観検査装置9は、裏面検査ドラム6の外周面に保持された被検査物品の外観を検査するためのものである。
On the right side of the
図2は、本実施形態による表面検査装置での検査状態を説明するための模式図である。表面検査装置では、図2(a)に示すように、回転する表面検査ドラム5、または裏面検査ドラム6の外周面に被検査物品Sが吸着支持された状態で検査される。この際に、図2(b)に示すように、被検査物品Sが表面検査ドラム5、または裏面検査ドラム6の外周面に対して吸着不足、搬送位置のズレ等により斜めに傾いて吸着支持される場合がある。
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining an inspection state in the surface inspection apparatus according to the present embodiment. In the surface inspection apparatus, as shown in FIG. 2A, the inspection object S is inspected while being sucked and supported on the outer peripheral surface of the rotating front
このように、被検査物品Sが斜めに傾いて吸着支持された場合、正確に被検査物品Sの側面を撮像することができないため、欠け(欠損)部分を検出し難いという問題がある。そこで、本実施形態では、被検査物品Sがドラムの外周面に斜めに吸着支持された場合であっても、被検査物品Sのエッジ部分にある欠損を確実に検出するために、第1外観検査装置8、及び第2外観検査装置9は、被検査物品Sの上面に加えて、複数の斜め上方向から被検査物品Sの側面を撮像するようになっている。
Thus, when the inspected article S is inclined and supported by suction, the side surface of the inspected article S cannot be accurately imaged, so that there is a problem that it is difficult to detect a chipped (deleted) portion. Therefore, in the present embodiment, even when the inspected article S is obliquely supported by the outer peripheral surface of the drum, the first appearance is used to reliably detect defects at the edge portion of the inspected article S. The
そして、複数の斜め上方向から撮像した、被検査物品Sの側面の映像から、被検査物品Sのエッジ形状(実測エッジ形状、座標)を検出し、これら実測エッジ形状を総合的に解析することにより、被検査物品Sが傾いている場合の理論的なエッジ形状(理論的エッジ形状、座標)を算出し、該理論的エッジ形状と上記実測エッジ形状とを比較することで、局所的な欠損のみならず、円周方向のなだらかな欠損も検出可能としている。なお、第1外観検査装置8と第2外観検査装置9とは基本的に同一の構成であるので、以下では第1外観検査装置8についてのみ説明する。
Then, the edge shape (measured edge shape, coordinates) of the inspected article S is detected from the images of the side surfaces of the inspected article S taken from a plurality of obliquely upward directions, and these measured edge shapes are comprehensively analyzed. By calculating the theoretical edge shape (theoretical edge shape, coordinates) when the inspected article S is tilted, and comparing the theoretical edge shape with the measured edge shape, a local defect is obtained. In addition, it is possible to detect a smooth defect in the circumferential direction. Since the first
図3は、本実施形態による第1外観検査装置8の一構成例を示すブロック図である。図3において、第1外観検査装置8は、反射手段20、撮像手段30、照明手段40、及び処理手段80を備えている。撮像手段30は、被検査物品Sの上面、及び反射手段20を通して得られる6方向からの側面を撮像する。照明手段40は、被検査物品Sの上面、及び側面を撮像するために十分な照度を得るために被検査物品Sを照らす。
FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration example of the first
処理手段80は、撮像手段30からの映像信号を処理するものであり、撮像手段30と電気的に接続されている。処理手段80は、その機能として、下側エッジ検出手段81、傾き角度・方向算出手段82、理論エッジ形状算出手段83、欠損検出手段84から構成されている。下側エッジ検出手段81は、撮像手段30により撮像された、被検査物品Sの上面、及び6方向からの側面を含む映像から、画像処理により、輝度差、色の違い等に基づいて、被検査物品Sの下側エッジを検出し、実測エッジ形状(座標)として出力する。
The
傾き角度・方向算出手段82は、上記実測エッジ形状(座標)から、被検査物品Sの傾いている方向を示す傾き方向(位相Ψ)、被検査物品Sの傾いている角度を示す傾き角度(角度Δβ)を算出する。理論エッジ形状算出手段83は、上記被検査物品Sの傾き方向(位相Ψ)、被検査物品Sの傾き角度(角度Δβ)などから、各方向に投影されるべき理論エッジ形状(座標)を算出する。欠損検出手段84は、算出された理論エッジ形状と実測エッジ形状とを比較することにより、円盤形状(円板形状)の被検査物品Sの欠損を検出する。 The tilt angle / direction calculating means 82 determines from the measured edge shape (coordinates) the tilt direction (phase Ψ) indicating the direction in which the inspected article S is tilted, and the tilt angle (indicating the angle in which the inspected article S is tilted). The angle Δβ) is calculated. The theoretical edge shape calculation means 83 calculates the theoretical edge shape (coordinates) to be projected in each direction from the inclination direction (phase Ψ) of the inspected article S, the inclination angle (angle Δβ) of the inspected article S, and the like. To do. The defect detection means 84 detects the defect of the inspection object S having a disk shape (disk shape) by comparing the calculated theoretical edge shape with the actually measured edge shape.
処理手段80としては、例えば、CPU(中央処理装置)及びメモリ等を備えたコンピュータや、ハードウェアLSI(Large Scale Integration)などを用いることができる。処理手段80としての機能は、処理手段80としての機能を実現するためのプログラムを、メモリにロードしてCPUが実行することによりその機能を実現してもよいし、ハードウェアLSIなどによりその機能を実現してもよい。また、第1外観検査装置8には、モニタを備えていてもよい。モニタとしては、CRT(Cathode Ray Tube)や、液晶ディスプレイなどからなる表示装置を用いることができる。また、処理手段80は、撮像手段30が出力した画像信号を一時的に記憶するバッファメモリを備えていてもよい。
As the processing means 80, for example, a computer having a CPU (Central Processing Unit) and a memory, a hardware LSI (Large Scale Integration), or the like can be used. The function as the
また、処理手段80は、被検査物品Sの位置を検出(例えば、ドラム5及び6の回転位相を管理)して、撮像手段30によって被検査物品Sを撮像させたり、撮像範囲の中央に被検査物品Sが撮像させたりするように各部を制御する。
Further, the processing means 80 detects the position of the article S to be inspected (for example, manages the rotational phase of the
図4は、本実施形態による、反射手段20と撮像手段30との構成を示す概略構成図である。なお、図4おいては図面を見やすくするために、照明手段40の記載を省略してある。また、本実施形態においては、円盤形状の被検査物品Sを、円形である上面S1側から撮像して外観検査を行う第1外観検査装置8について説明する。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing the configuration of the reflecting means 20 and the imaging means 30 according to the present embodiment. In FIG. 4, the illumination means 40 is not shown for easy viewing of the drawing. In the present embodiment, a description will be given of the first
図4において、撮像手段30は、反射手段20から出射された出射光2dと、被検査物品Sの上面S1からの反射光2eとを撮像するものである。撮像手段30としては、撮像レンズとエリアセンサ又はラインセンサとからなるものなどを用いることができる。反射手段20は、被検査物品Sの側面S2からの反射光2aを反射させるものである。反射手段20は、6個の反射体22と、反射体22の上部を挟み込むように支持するコ字状の支持部材23と、支持部材23が取り付けられた固定板21とを備えている。
In FIG. 4, the imaging means 30 images the emitted
6個の反射体22は、支持部材23と固定板21とによって所定の位置に固定されている。なお、固定板21は、リング状の形状とされており、反射体22から撮像手段30に向かって出射される出射光2dや、被検査物品Sの上面S1からの反射光2eを遮ることのないようになっている。
The six
図5は、本実施形態による6つの反射体22から構成される反射手段20の構造を示す斜視図である。各反射体22、22、…は、ガラスなどからなるプリズムである。また、図5に示すように、反射体22、22、…は、すべて被検査物品Sの上面S1よりも上方向に配置されている。6個の反射体22、22、…は、被検査物品Sの上面S1側から見たときに被検査物品Sを中心として、60度間隔で、取り囲むように環状に配置されており、円盤形状である被検査物品Sの外形と相似形状の軌跡上に等間隔で配置されている。
FIG. 5 is a perspective view showing the structure of the reflecting means 20 composed of the six
図6は、本実施形態の第1外観検査装置8による、撮像手段30、反射体22、被検査物品Sとの光学的関係を示す概念図である。上述した構成による第1外観検査装置8では、撮像手段30で撮像される映像は、被検査物品Sの正面と角度αの傾きで被検査物品Sの側面とを撮像したものとなる。つまり、被検査物品Sの側面は、角度αの傾きで、撮像手段30’で撮像した映像と同等である。
FIG. 6 is a conceptual diagram showing an optical relationship between the imaging means 30, the
本実施形態では、被検査物品Sを予め分かっている角度αで複数の方向から見たときに、そのエッジ形状から被検査物品Sの傾き方向と傾き角度とを算出し、その結果より計算上求められる理論エッジ形状と、撮像手段30により撮像された実測エッジ形状とを比較し、エッジ部分の欠損を高精度に検出することを可能としている。 In the present embodiment, when the inspected article S is viewed from a plurality of directions at angles α that are known in advance, the inclination direction and the inclination angle of the inspected article S are calculated from the edge shape, The required theoretical edge shape and the actually measured edge shape imaged by the imaging means 30 are compared, and the defect of the edge portion can be detected with high accuracy.
なお、本実施形態では、被検査物品Sは、撮像手段30の画角の中心に位置することを前提としているが、実際には、撮像手段30の画角の中心からずれる場合もある。このような場合には、撮像手段30により撮像された映像を画像処理などにより適宜補正するなどして対処すればよい。
In the present embodiment, it is assumed that the article S to be inspected is located at the center of the angle of view of the
図7(a)、(b)は、本実施形態による第1外観検査装置8の6つの反射体22を介して撮像された、被検査物品Sの側面の画像例を示す概念図である。ある1つの反射体22からの画像に注目すると、図7(a)に示すような画像が得られる。図7(a)において、白い部分が被検査物品(虚像)S、黒い部分が背景(ドラム5)であり、被検査物品(虚像)Sの上面と(下側)エッジLを含む側面とが撮像される。第1外観検査装置8では、背景(ドラム5)と被検査物品(虚像)Sとの輝度差や、色成分差、ソーベルフィルタ、ラプラシアンフィルタなどの手法を用いて、被検査物品Sと背景との色の違い(境界)を、被検査物品Sの(下側)エッジLとして検出する。
FIGS. 7A and 7B are conceptual diagrams illustrating an example of an image of the side surface of the inspected article S captured through the six
6つの反射体22の各々からは、図7(a)に示す画像が得られる。円盤形状の被検査物品Sが傾いていない場合には、6つの反射体22の各々の画像から得られる(下側)エッジ形状(座標)は、傾いていないものとして理論的に算出された理論エッジ形状と一致する。これに対して、円盤形状の被検査物品Sが傾いている場合には、少なくとも1つ以上の反射体22から、図7(b)に示すような画像が得られる。点線は、図7(a)に示したように、円盤形状の被検査物品Sが傾いていないときのエッジ形状である。図示のように、円盤形状の被検査物品Sが傾いている場合には、被検査物品Sが傾いているときのエッジ形状と、傾いていないときのエッジ形状とに相違が見られる(矢印部分)。本実施形態では、この相違から被検査物品Sの傾きの有無を検出する。
The image shown in FIG. 7A is obtained from each of the six
図8(a)、(b)は、本実施形態による第1外観検査装置8で得られる画像例を示す模式図である。図8(a)には、被検査物品Sが傾かずにドラムに吸着支持された場合に得られる画像が示されている。一方、図8(b)には、被検査物品Sが傾いてドラムに吸着支持された場合に得られる画像が示されている。
FIGS. 8A and 8B are schematic views showing examples of images obtained by the first
撮像手段30からは、図8(a)、(b)に示すように、中央部に、円盤形状の被検査物品Sの上面の画像(円盤)が得られるとともに、その周囲には、6つの反射体22を介して撮像された、被検査物品Sの側面の画像が得られる。各側面の画像における、線分L1〜L6は、円盤形状の被検査物品Sの下側エッジ部分に相当する。
As shown in FIGS. 8A and 8B, the image pickup means 30 obtains an image (disk) of the upper surface of the disk-shaped article S to be inspected at the center portion, and around the periphery, there are six images. An image of the side surface of the article S to be inspected that is imaged through the
図8(a)に示すように、被検査物品Sが傾かずにドラムに吸着支持された場合には、被検査物品Sの側面(虚像)の画像の形状(位置、曲率、座標)が、被検査物品Sの実像を中心に対称となる。これに対して、図8(b)に示すように、被検査物品Sが傾いてドラムに吸着支持された場合には、被検査物品Sの側面(虚像)の画像の形状が、被検査物品Sの実像を中心とした対称となっていない。図8(b)に図示した例では、被検査物品の右上がドラムに対して浮いている状態が示されており、このため、線分L1〜線分L6は、それぞれの形状が異なっている。 As shown in FIG. 8A, when the article S to be inspected is sucked and supported by the drum without being inclined, the shape (position, curvature, coordinates) of the image of the side surface (virtual image) of the article S to be inspected is It becomes symmetrical about the real image of the article S to be inspected. On the other hand, as shown in FIG. 8B, when the article S to be inspected is tilted and supported by the drum, the shape of the image of the side surface (virtual image) of the article S to be inspected is It is not symmetrical about the real image of S. In the example illustrated in FIG. 8B, a state in which the upper right of the article to be inspected is floating with respect to the drum is shown, and therefore, the line segments L1 to L6 have different shapes. .
次に、被検査物品Sを複数の斜め上から見た映像から、その被検査物品Sの姿勢(傾き角度、傾き方向)を算出する方法について詳細に説明する。説明のため、円盤形状の被検査物品Sを、厚さを無視した円に置き換え、Z軸中心に角度γだけ回転させた図を、図9に示す。また、図10は、図9に示す被検査物品SがX軸を中心とし、Y軸方向に微少角度Δβだけ傾いたことを表わす図である。 Next, a method for calculating the posture (inclination angle, inclination direction) of the inspected article S from a plurality of videos of the inspected article S viewed from obliquely above will be described in detail. For illustration, FIG. 9 shows a diagram in which the disk-shaped inspected article S is replaced with a circle ignoring the thickness and rotated about the Z axis by an angle γ. FIG. 10 is a diagram showing that the inspected article S shown in FIG. 9 is tilted by a minute angle Δβ around the X axis in the Y axis direction.
前述した図6に示すように、被検査物品Sを斜め上(固定角α)からみたときの被検査物品Sの下側エッジの見え方について説明する。円盤形状の被検査物品Sを斜め上から見たときの下側のエッジ形状を考えると、それは、水平面XY(ドラム外周表面)に置かれた円を斜め上からみたのと同じになる。水平面XYに置かれた半径Rの円をZ軸からY軸方向に角度αだけ傾いた方向から円の中心をみると、数式(1)で表わされるように、X軸方向を長軸、Y軸方向を短軸とした長軸長2R、短軸長2R・cos(α)の楕円に見える。 As shown in FIG. 6 described above, the appearance of the lower edge of the inspected article S when the inspected article S is viewed obliquely from above (fixed angle α) will be described. Considering the lower edge shape when the disk-shaped inspected article S is viewed obliquely from above, it is the same as when the circle placed on the horizontal plane XY (the drum outer peripheral surface) is viewed obliquely from above. When a circle of radius R placed on the horizontal plane XY is viewed from the center inclined from the Z-axis by an angle α in the Y-axis direction, the X-axis direction is the major axis, Y It looks like an ellipse with a major axis length 2R and a minor axis length 2R · cos (α) with the axial direction as the minor axis.
被検査物品Sが水平面に対して平行であるときは、図9に示すように、被検査物品SをZ軸周りに任意角度γ(XY平面における角度)だけ回転させても、数式(1)で表わされる楕円に見える。また、上記関係は、円盤形状の被検査物品Sを固定し、見る方向が任意角度(−γ)だけ変化したのと同意である。 When the inspected article S is parallel to the horizontal plane, as shown in FIG. 9, even if the inspected article S is rotated around the Z axis by an arbitrary angle γ (an angle in the XY plane), the formula (1) It looks like an ellipse. Further, the above relationship is that the disk-shaped inspected article S is fixed and the viewing direction is changed by an arbitrary angle (−γ).
次に、図10に示すように、先ほどの同じ条件で、該円盤形状の被検査物品SがX軸周りに微少角度Δβ(YZ平面における角度)だけ手前に傾いていたとすると、X軸方向を長軸、Y軸方向を短軸とした長軸長2R、短軸長2R・cos(α−Δβ)とする、数式(2)で表わされる楕円に見える。 Next, as shown in FIG. 10, assuming that the disk-shaped inspected article S is tilted forward by a slight angle Δβ (an angle in the YZ plane) around the X axis under the same conditions as described above, the X axis direction is It looks like an ellipse represented by Equation (2), where the major axis is 2R with the minor axis in the Y-axis direction and the minor axis length is 2R · cos (α−Δβ).
円盤形状の被検査物品Sを見る角度αに対し、被検査物品Sの傾きΔβが十分に小さければ、この傾いた被検査物品SをZ軸中心にどのように回転させても短軸長は変化するが、長軸の傾きと長軸長とがほぼ一定の楕円として見える。 If the inclination Δβ of the article S to be inspected is sufficiently small with respect to the angle α at which the article S to be inspected in the disk shape is viewed, the minor axis length is no matter how the inclined article S to be rotated is rotated about the Z axis. Although it changes, it appears as an ellipse in which the inclination of the major axis and the major axis length are almost constant.
円盤形状の被検査物品Sを見る角度αに対し、被検査物品Sの傾きΔβが十分に小さければ、この傾いた被検査物品SをZ軸中心にどのように回転させても見た目の長軸方向と長さがあまり変化しないので、撮像された画像から得た実測エッジ形状と数式(2)で表現される楕円盤形状とのマッチングを行うことにより、円盤形状の被検査物品SがY軸方向に傾いている角度の近似値Δβ´を得ることができる。 If the inclination Δβ of the article S to be inspected is sufficiently small with respect to the angle α at which the article S to be inspected in the disk shape is viewed, the long axis of the appearance is visible no matter how the tilted article S is rotated about the Z axis. Since the direction and the length do not change so much, by matching the measured edge shape obtained from the captured image with the elliptical disk shape expressed by the mathematical formula (2), the disk-shaped inspected article S becomes the Y axis. An approximate value Δβ ′ of the angle inclined in the direction can be obtained.
このマッチングを予め分かっているZ軸中心角γ1、γ2、…、γn(本実施形態ではn=6)の複数の方向から行うことにより、その被検査物品Sがγi(i=1、2、…、n)方向に傾いている角度Δβ´i(i=1、2、…、n)を得ることができる。 By performing this matching from a plurality of directions of Z axis central angles γ1, γ2,..., Γn (n = 6 in the present embodiment) that are known in advance, the inspected article S becomes γi (i = 1, 2, .., N) Angles Δβ′i (i = 1, 2,..., N) inclined in the direction can be obtained.
以上のより得られた回転角γ1、γ2、…、γnを横軸、傾きΔβ´1、Δβ´2、…、Δβ´nを縦軸にとり、グラフを描くと、横軸360度を1周期とした位相Ψ、高さΔβの正弦波にマッチングすることができる。このマッチングにより得られた位相Ψが円盤形状の被検査物品Sの傾き方向、高さΔβが被検査物品Sの傾き角度となる。これら被検査物品Sの傾き方向(位相Ψ)、被検査物品Sの傾き角度(高さΔβ)とは、被検査物品Sの姿勢を表す情報となる。 When the rotation angles γ1, γ2,..., Γn obtained as described above are plotted on the horizontal axis and the inclinations Δβ′1, Δβ′2,. Can be matched to a sine wave having a phase ψ and a height Δβ. The phase Ψ obtained by this matching is the tilt direction of the disk-shaped inspected article S, and the height Δβ is the tilt angle of the inspected article S. The inclination direction (phase Ψ) of the article to be inspected S and the inclination angle (height Δβ) of the article to be inspected are information representing the posture of the article to be inspected S.
XY平面に水平に配置される半径Rの円の座標を回転角θで表わすと、数式(3)で表わされる。 When the coordinates of a circle with a radius R arranged horizontally on the XY plane are expressed by a rotation angle θ, it is expressed by Expression (3).
上記数式(3)において、R:円盤形状の被検査物品Sの半径、Δβ:円盤形状の被検査物品Sの傾き角度、γ1、γ2、…、γn:円盤形状の被検査物品SをZ軸方向に回転させる角度(被検査物品Sを見る方向をZ軸方向に−(γ1、γ2、…、γn)だけ変化させたものと同意)、α:円盤形状の被検査物品Sを見る角度、Ψ:円盤形状の被検査物品Sの傾きの方向と置き、回転角γ1、γ2、…、γnで円盤形状の被検査物品Sを見たときに見える座標系X´Y´に座標変換すると、数式(4)、数式(5)で表される。そして、該数式(4)、(5)により計算される理論エッジ形状と実測エッジ形状とを比較することにより、円盤形状の被検査物品Sの(下側)エッジ部分に存在する欠損が、円周方向になだらかな形状の欠損であっても、高精度に確実に欠損を検出することができる。 In the above formula (3), R: radius of the disk-shaped inspected article S, Δβ: tilt angle of the disk-shaped inspected article S, γ1, γ2,..., Γn: disk-shaped inspected article S as the Z axis An angle to rotate in the direction (agreeing to change the direction of viewing the inspected article S in the Z-axis direction by − (γ1, γ2,..., Γn)), α: an angle for viewing the disc-shaped inspected article S, Ψ: When the coordinate is converted into the coordinate system X′Y ′ that can be seen when the disk-shaped inspected article S is viewed at rotation angles γ1, γ2,. It is expressed by Equation (4) and Equation (5). Then, by comparing the theoretical edge shape calculated by the mathematical formulas (4) and (5) with the actually measured edge shape, the defect present in the (lower) edge portion of the disk-shaped inspected article S becomes a circle. Even if the defect has a gentle shape in the circumferential direction, the defect can be reliably detected with high accuracy.
次に、図11は、本実施形態による第1外観検査装置8の動作を説明するためのフローチャートである。まず、撮像手段30により、円盤形状の被検査物品Sの上面と、6つの反射体22を介して斜め上方向からの被検査物品Sの側面とを撮像する(ステップS1)。次に、下側エッジ検出手段81により、各斜め上方向から撮像した被検査物品Sの側面の画像から、背景画像と被検査物品Sとの輝度差などを用いて、被検査物品Sの下側エッジ形状(座標)を検出する(ステップS2)。
Next, FIG. 11 is a flowchart for explaining the operation of the first
次に、傾き角度・方向算出手段82により、検出した下側エッジ形状から、被検査物品Sのγi(i=1、2、…、n)方向に対して、傾き角度Δβ´i(i=1、2、…、n)を算出し(ステップS3)、傾き角度Δβ´iが所定の閾値以上であるか否かを判定する(ステップS4)。そして、所定の閾値以上である傾き角度Δβ´iについては、正弦波形状とのマッチングに不採用のデータとする(ステップS5)。
Next, the inclination angle Δβ′i (i = i) with respect to the γi (i = 1, 2,..., N) direction of the inspected article S from the detected lower edge shape by the inclination angle /
次に、3点以上のデータ(傾き角度Δβ´i)が残っているか否かを判定し(ステップS6)、残ったデータ(傾き角度Δβ´i)が3点以上なければ(ステップS6のNO)、データ不足として処理を終了する。一方、3点以上のデータ(傾き角度Δβ´i)が残っていれば(ステップS6のYES)、採用された傾き方向γ1〜γnと傾き角度Δβ´1〜Δβ´nを、正弦波形状とマッチングし、被検査物品Sの傾き方向Ψと傾き角度Δβとを算出する(ステップS7)。 Next, it is determined whether or not three or more data (inclination angle Δβ′i) remain (step S6). If the remaining data (inclination angle Δβ′i) does not exceed three points (NO in step S6). ), The process is terminated as data shortage. On the other hand, if data of three or more points (inclination angle Δβ′i) remains (YES in step S6), the employed inclination directions γ1 to γn and inclination angles Δβ′1 to Δβ′n are converted into sinusoidal shapes. Matching is performed, and the inclination direction Ψ and the inclination angle Δβ of the article S to be inspected are calculated (step S7).
次に、理論エッジ形状算出手段83により、上記被検査物品Sの傾き方向Ψと傾き角度Δβ、被検査物品Sの観測パラメータであるα(被検査物品Sの側面を見る角度)、γ1〜γn(被検査物品SをZ軸方向に回転させる角度)、被検査物品Sの半径Rを、数式(4)、数式(5)に代入し、各方向に投影される理論エッジ形状を算出する(ステップS8)。 Next, the theoretical edge shape calculating means 83 uses the inclination direction Ψ and the inclination angle Δβ of the inspected article S, α (an angle for viewing the side surface of the inspected article S), γ1 to γn, which is an observation parameter of the inspected article S. (An angle at which the article to be inspected S is rotated in the Z-axis direction) and the radius R of the article to be inspected S are substituted into Equations (4) and (5) to calculate a theoretical edge shape projected in each direction ( Step S8).
次に、欠損検出手段84により、上記理論エッジ形状と実測エッジ形状とのマッチングを行い(ステップS9)、理論エッジ形状と実測エッジ形状との差分が所定の閾値以上であるか否かを判定する(ステップS10)。そして、理論エッジ形状と実測エッジ形状との差分が所定の閾値以上である場合には、欠損ありとして出力し(ステップS11)、理論エッジ形状と実測した下側エッジ形状との差分が所定の閾値以上でない場合には、欠損なしとして出力する。そして、当該検査が終了であるか否かを判定し(ステップS143)、終了でない場合には、ステップS1に戻り、次の被検査物品Sに対する検査処理を継続し、終了である場合には、当該処理を終了する。 Next, the defect detection means 84 performs matching between the theoretical edge shape and the measured edge shape (step S9), and determines whether or not the difference between the theoretical edge shape and the measured edge shape is greater than or equal to a predetermined threshold value. (Step S10). If the difference between the theoretical edge shape and the measured edge shape is greater than or equal to a predetermined threshold value, a defect is output (step S11), and the difference between the theoretical edge shape and the actually measured lower edge shape is the predetermined threshold value. If not, it is output as missing. Then, it is determined whether or not the inspection is finished (step S143). If not finished, the process returns to step S1, the inspection process for the next article to be inspected S is continued, and if finished, The process ends.
このように、ステップS6、S7で、3点以上の信頼性のあるデータを基に被検査物品の姿勢を算出しているため、より現実に近い姿勢を把握でき、エッジ部分の今までは検出できなかった円周方向のなだらかな形状の欠損であっても、高精度に確実に検出することができる。 As described above, since the posture of the article to be inspected is calculated based on the reliable data of three or more points in steps S6 and S7, the posture closer to reality can be grasped, and the edge portion has been detected so far. Even if the defect has a gentle shape in the circumferential direction that could not be made, it can be reliably detected with high accuracy.
なお、実際には、まず、第1外観検査装置8で、表面検査ドラム5上の被検査物品Sに対して、上述したフローチャートに従って検査し、その後、第2外観検査装置9でも、裏面検査ドラム6上の被検査物品Sに対して、上述したフローチャートに従って検査する。したがって、第1外観検査装置8での検査において、被検査物品Sの上側エッジに欠損があった場合でも、第2外観検査装置9での検査では、被検査物品Sが裏返しになり、上記欠損は下側エッジにくる。
Actually, first, the first
このため、第1外観検査装置8での検査において、上側エッジにあった欠損が検出できない場合であっても、第2外観検査装置9での検査で、下側エッジの欠損として確実に検出される。そして、上述した処理により、良品と判定された検査後の被検査物品Sは、裏面検査ドラム6から排出コンベア10で排出され、不良品と判定された検査後の被検査物品Sは、裏面検査ドラム6から受部11に回収される。
For this reason, even when a defect in the upper edge cannot be detected in the inspection by the first
なお、上述した実施形態において、反射手段20を6つの反射体22から構成したが、これに限らず、少なくとも3つの反射体22から構成されていればよい。また、被検査物品Sの側面を斜め上方向から撮像するために、プリズムからなる反射体22を用いたが、これに限らず、被検査物品Sの側面を斜め上方向から撮像可能であれば、例えば、被検査物品Sの周囲を周回しながら、斜め上方向から被検査物品Sの側面を撮像する手段としたり、被検査物品Sの側面を斜め上方向から撮像可能な位置(周囲)に複数の撮像手段を配置してもよい。
In the above-described embodiment, the reflecting means 20 is configured from the six
また、上述した実施形態において、数式(1)〜(5)に従って演算する以外に、入力する値に対して、数式(1)〜(5)に従った演算結果を出力するような変換テーブルを備えるようにしてもよい。 In addition, in the above-described embodiment, a conversion table that outputs the calculation results according to the formulas (1) to (5) with respect to the input values in addition to the calculations according to the formulas (1) to (5). You may make it prepare.
また、図11に示す各ステップを実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、実行処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、OSや周辺機器等のハードウェアを含むものであってもよい。 Further, the program for realizing each step shown in FIG. 11 is recorded on a computer-readable recording medium, and the program recorded on the recording medium is read into the computer system and executed, thereby executing the execution process. May be. Here, the “computer system” may include an OS and hardware such as peripheral devices.
また、「コンピュータシステム」は、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境(あるいは表示環境)も含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、フラッシュメモリ等の書き込み可能な不揮発性メモリ、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。 Further, the “computer system” includes a homepage providing environment (or display environment) if a WWW system is used. The “computer-readable recording medium” means a flexible disk, a magneto-optical disk, a ROM, a writable nonvolatile memory such as a flash memory, a portable medium such as a CD-ROM, a hard disk built in a computer system, etc. This is a storage device.
さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ(例えばDRAM(Dynamic Random Access Memory))のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。 Further, the “computer-readable recording medium” refers to a volatile memory (for example, DRAM (Dynamic) in a computer system serving as a server or a client when a program is transmitted via a network such as the Internet or a communication line such as a telephone line. Random Access Memory)) that holds a program for a certain period of time is also included.
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク(通信網)や電話回線等の通信回線(通信線)のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。 The program may be transmitted from a computer system storing the program in a storage device or the like to another computer system via a transmission medium or by a transmission wave in the transmission medium. Here, the “transmission medium” for transmitting the program refers to a medium having a function of transmitting information, such as a network (communication network) such as the Internet or a communication line (communication line) such as a telephone line.
また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル(差分プログラム)であっても良い。 The program may be for realizing a part of the functions described above. Furthermore, what can implement | achieve the function mentioned above in combination with the program already recorded on the computer system, and what is called a difference file (difference program) may be sufficient.
S 被検査物品
5 表面検査ドラム
6 裏面検査ドラム
8 第1外観検査装置
9 第2外観検査装置
20 反射手段
22 反射体
30 撮像手段
40 照明手段
80 処理手段
81 下側エッジ検出手段
82 傾き角度・方向算出手段
83 理論エッジ形状算出手段
84 欠損検出手段
Claims (7)
前記撮像手段により撮像された映像から前記被検査物品の下側エッジ形状を検出する下側エッジ形状検出手段と、
前記下側エッジ形状検出手段により検出された前記被検査物品の下側エッジ形状に基づいて、前記被検査物品の姿勢を算出する被検査物品姿勢算出手段と、
前記被検査物品姿勢算出手段により算出された前記被検査物品の姿勢に基づいて、前記被検査物品が当該姿勢であるときの前記被検査物品の下側エッジの理論エッジ形状を算出する理論エッジ形状算出手段と、
前記下側エッジ形状検出手段により検出された前記下側エッジ形状と、前記理論エッジ形状算出手段により算出された前記理論エッジ形状と、の差分に基づいて、前記被検査物品の欠損を検出する欠損検出手段と
を備えることを特徴とする外観検査装置。 An imaging means for imaging a side surface of the inspected article from a top surface of the disk-shaped inspected article and a plurality of obliquely upward directions;
A lower edge shape detecting means for detecting a lower edge shape of the article to be inspected from the video imaged by the imaging means;
Inspected article attitude calculating means for calculating the attitude of the inspected article based on the lower edge shape of the inspected article detected by the lower edge shape detecting means;
A theoretical edge shape for calculating a theoretical edge shape of a lower edge of the inspected article when the inspected article is in the attitude based on the attitude of the inspected article calculated by the inspected article attitude calculating means A calculation means;
A defect for detecting a defect of the inspected article based on a difference between the lower edge shape detected by the lower edge shape detection means and the theoretical edge shape calculated by the theoretical edge shape calculation means. An appearance inspection apparatus comprising: a detecting unit.
前記撮像手段は、前記被検査物品の上面からの反射光を撮像するとともに、前記反射手段により入射される、前記被検査物品の側面からの反射光を撮像することを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。 Reflecting means for reflecting the reflected light from the side surface of the article to be inspected and entering the imaging means,
2. The imaging device according to claim 1, wherein the imaging unit images reflected light from an upper surface of the article to be inspected and images reflected light from a side surface of the article to be inspected incident by the reflecting unit. Appearance inspection apparatus as described.
前記複数の反射体は、それぞれの配置位置で、前記被検査物品の側面からの反射光を反射させて前記撮像手段に入射させることを特徴とする請求項2に記載の外観検査装置。 The reflecting means comprises a plurality of reflectors arranged so as to surround the inspected article when viewed from the upper surface side of the inspected article,
The appearance inspection apparatus according to claim 2, wherein the plurality of reflectors reflect reflected light from a side surface of the article to be inspected and enter the imaging unit at each arrangement position.
前記第1検査ドラムの下側に外周面を近接させた状態に回転自在に設置され、前記第1検査ドラムから前記被検査物品を受け取って前記被検査物品を前記第1検査ドラムの搬送状態と反転させた状態で外周面に保持しながら回転する第2検査ドラムと、
前記第1検査ドラムの外周面に保持された前記被検査物品の外観を検査する第1外観検査装置と、前記第2検査ドラムの外周面に保持された前記被検査物品の外観を検査する第2外観検査装置とが具備されてなり、
請求項1から請求項5のいずれか1つに記載の前記第1外観検査装置および前記第2外観検査装置を備えることを特徴とする表面検査装置。 A first inspection drum that conveys the inspected article by rotating while holding any surface in the thickness direction of the inspected article having a disk shape on an outer peripheral surface;
It is rotatably installed in a state where an outer peripheral surface is brought close to the lower side of the first inspection drum, the inspection article is received from the first inspection drum, and the inspection article is transported by the first inspection drum. A second inspection drum that rotates while being held on the outer peripheral surface in an inverted state;
A first appearance inspection device for inspecting the appearance of the article to be inspected held on the outer peripheral surface of the first inspection drum, and a first inspecting the appearance of the inspected article held on the outer peripheral surface of the second inspection drum. 2 visual inspection equipment,
A surface inspection apparatus comprising the first appearance inspection apparatus and the second appearance inspection apparatus according to any one of claims 1 to 5.
前記撮像された映像から下側エッジ形状検出手段により前記被検査物品の下側エッジ形状を検出するステップと、
前記被検査物品の下側エッジ形状に基づいて、被検査物品姿勢算出手段により前記被検査物品の姿勢を算出するステップと、
前記被検査物品の姿勢に基づいて、理論エッジ形状算出手段により前記被検査物品が当該姿勢であるときの前記被検査物品の下側エッジの理論エッジ形状を算出するステップと、
前記下側エッジ形状と前記理論エッジ形状との差分に基づいて、欠損検出手段により前記被検査物品の欠損を検出するステップと
を含むことを特徴とする外観検査方法。 Imaging the side surface of the inspected article from an upper surface of the disk-shaped inspected article and a plurality of obliquely upward directions with an imaging means;
Detecting the lower edge shape of the article to be inspected by the lower edge shape detecting means from the captured image;
Calculating the attitude of the inspected article by the inspected article attitude calculating means based on the lower edge shape of the inspected article;
Calculating the theoretical edge shape of the lower edge of the inspected article when the inspected article is in the attitude by the theoretical edge shape calculating means based on the attitude of the inspected article;
And a step of detecting a defect of the article to be inspected by a defect detection unit based on a difference between the lower edge shape and the theoretical edge shape.
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