JP2011113573A - Disk drive and method of measuring clearance between head slider and disk - Google Patents

Disk drive and method of measuring clearance between head slider and disk Download PDF

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Koji Agari
宏司 上利
Hideaki Tanaka
秀明 田中
Yoshinori Takeuchi
芳徳 竹内
Minoru Furuike
稔 古池
Hiroyuki Matsumoto
浩之 松本
Takayoshi Otsu
孝佳 大津
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce damage to a head slider caused when the head slider touches down to a disk in measuring clearance between the head slider and the disk. <P>SOLUTION: The HDD temporarily reduces the clearance of the head slider for touch down in measuring clearance, thereafter the clearance is enlarged, and the clearance is maintained in the range of a value larger than that of the reduced clearance. A vibration of the head slider is monitored by the HDD. When the monitored vibration satisfies a predetermined standard, the HDD determines that the head slider and the magnetic disk are in contact with each other. Thus, contact time (the number of contacts) between the head slider and the magnetic disk is reduced, and reliability of a head disk interface can be improved. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、ディスク・ドライブ及びヘッド・スライダとディスクとの間のクリアランスを測定する方法に関し、特に、クリアランスを調整するアクチュエータを有するディスク・ドライブにおけるクリアランス測定に関する。   The present invention relates to a disk drive and a method for measuring a clearance between a head slider and a disk, and more particularly to a clearance measurement in a disk drive having an actuator for adjusting the clearance.

磁気ディスク・ドライブや光ディスク・ドライブ、光磁気ディスク・ドライブといったディスク・ドライブにおいて、ディスクの記録層とヘッド・スライダの記録再生素子との間隔が小さいほど、情報記録密度を向上できる。そのため、ディスク・ドライブの情報記録密度向上に伴い、スライダの低浮上化が進んでいる。   In a disk drive such as a magnetic disk drive, an optical disk drive, or a magneto-optical disk drive, the information recording density can be improved as the distance between the recording layer of the disk and the recording / reproducing element of the head slider decreases. Therefore, as the information recording density of the disk drive is increased, the flying height of the slider is increasing.

例えば、磁気ディスク・ドライブの一つであるHDDの情報記録密度向上のためには、ヘッド・スライダに搭載された記録素子/再生素子と、磁気ディスク表面にスパッタリング等によって構成される磁性膜との間隔、いわゆる磁気スペーシングを狭小化する必要がある。現在の磁気ディスク・ドライブにおいては、磁性膜上にはDLC(Diamond Like Carbon)保護膜が構成され、さらにそのDLC保護膜上に潤滑剤が塗布されている。またヘッド・スライダ浮上面のレール面にもDLC保護膜が構成されている。そして、磁気ディスクとヘッド・スライダとの間のクリアランス、すなわち磁気ディスクのDLC保護膜から浮上時のヘッド・スライダの浮上最下点までの距離は、設計値で数nmまでに低下してきている。   For example, in order to improve the information recording density of an HDD which is one of magnetic disk drives, a recording element / reproducing element mounted on a head slider and a magnetic film formed by sputtering or the like on the surface of the magnetic disk It is necessary to narrow the spacing, so-called magnetic spacing. In current magnetic disk drives, a DLC (Diamond Like Carbon) protective film is formed on the magnetic film, and a lubricant is applied on the DLC protective film. A DLC protective film is also formed on the rail surface of the head slider air bearing surface. The clearance between the magnetic disk and the head / slider, that is, the distance from the DLC protective film of the magnetic disk to the lowest flying point of the head / slider at the time of flying, has been reduced to several nanometers as a design value.

この様に、ヘッド・スライダが極低浮上するHDDでは、HDD内もしくはHDD周辺の温度や気圧の変化などに伴い、ヘッド・スライダの浮上高(クリアランス)が変動する。また、ヘッド・スライダ浮上面の形状加工誤差、サスペンションへのヘッド・スライダ貼り付け時のアセンブリ誤差等により、ヘッド・スライダの浮上高にはスライダ個々毎にばらつきが生じる。これら様々な要因によりヘッド・スライダの浮上高はばらつきを有するが、磁気記録再生の観点からは、記録/再生動作時のヘッド・スライダ毎の磁気スペーシングばらつきが、ある一定範囲内に収まっていることが重要である。   As described above, in the HDD in which the head slider floats extremely low, the flying height (clearance) of the head slider fluctuates in accordance with changes in temperature or pressure in the HDD or around the HDD. Further, the flying height of the head slider varies from one slider to another due to a shape processing error of the head / slider floating surface, an assembly error when the head slider is attached to the suspension, and the like. Due to these various factors, the flying height of the head / slider varies, but from the viewpoint of magnetic recording / reproducing, the magnetic spacing variation of each head / slider during recording / reproducing operation is within a certain range. This is very important.

また、ヘッド・スライダ毎の浮上高ばらつきは、磁気ディスク・ドライブの動作環境によっては、装置内での磁気ディスクとヘッド・スライダとの接触を引き起こす。磁気ディスクとヘッド・スライダとの接触は、磁気ディスク上に塗布された潤滑剤や、磁気ディスクとヘッド・スライダの摩擦により発生するコンタミネーションの、ヘッド・スライダの浮上面への付着を誘発する。これは、スライダの浮上を不安定化し、ひいては磁気ディスクとヘッド・スライダの接触を誘起し物理的破壊を誘発する可能性がある。   Further, the flying height variation for each head slider causes contact between the magnetic disk and the head slider in the apparatus depending on the operating environment of the magnetic disk drive. The contact between the magnetic disk and the head slider induces adhesion of lubricant applied on the magnetic disk and contamination generated by friction between the magnetic disk and the head slider to the flying surface of the head slider. This destabilizes the flying of the slider, which in turn can induce contact between the magnetic disk and the head slider, leading to physical destruction.

このように、ヘッド・スライダの浮上高ばらつきは、HDDの信頼性を著しく低下する要因となりうる。したがって、HDDにおいては、その動作環境等によるヘッド・スライダ浮上高のばらつきを考慮し、磁気ディスクとヘッド・スライダ間に、所定のクリアランスを確保する必要がある。   As described above, the flying height variation of the head slider can be a factor that significantly reduces the reliability of the HDD. Therefore, in the HDD, it is necessary to secure a predetermined clearance between the magnetic disk and the head slider in consideration of variations in the flying height of the head slider due to the operating environment.

これらの課題に対し、特許文献1に、クリアランス調整用のアクチュエータを用いてヘッド・スライダのクリアランスを小さくしてヘッド・スライダを磁気ディスクと接触させ、その接触を検知することでそのヘッド・スライダの現状でのクリアランス量を確認する技術が開示されている。この技術は、ヘッド・スライダを浮上方向において振動させながらヘッド・スライダを磁気ディスクに接触させる。振動周波数は、ヘッド・スライダの空気膜周波数あるいはサスペンションの共振周波数である。   In response to these problems, Patent Document 1 discloses that the head slider is brought into contact with a magnetic disk by using a clearance adjusting actuator to reduce the clearance of the head slider, and the contact of the head slider is detected by detecting the contact. A technique for checking the current clearance amount is disclosed. In this technique, the head slider is brought into contact with the magnetic disk while vibrating the head slider in the flying direction. The vibration frequency is the air film frequency of the head slider or the resonance frequency of the suspension.

特開2009−151890号公報JP 2009-151890 A

ヘッド・スライダと磁気ディスクとの間のクリアランスを正確に測定するためには、ヘッド・スライダを磁気ディスクへ接触させる(タッチダウン)ことが有用である。上記従来技術のように、ヘッド・スライダを浮上方向において共振周波数で振動させながらヘッド・スライダを磁気ディスクに接触させることで、磁気ディスクとヘッド・スライダとの接触においてスライダ振動が起こりやすくなり、スライダ・ディスク接触を感度よく確実に検知することができる。   In order to accurately measure the clearance between the head slider and the magnetic disk, it is useful to bring the head slider into contact with the magnetic disk (touch down). As in the above-described prior art, by causing the head slider to contact the magnetic disk while vibrating the head slider at the resonance frequency in the flying direction, slider vibration easily occurs at the contact between the magnetic disk and the head slider. -Disc contact can be detected with high sensitivity and reliability.

しかし、ヘッド・スライダと磁気ディスクとの間のクリアランス測定においては、磁気ディスクとの接触によるヘッド・スライダへのダメージを考慮することが重要である。従って、クリアランス測定におけるヘッド・スライダのタッチダウンにおいて、ヘッド・スライダへのダメージをできるだけ小さくすることができる技術が望まれる。   However, in measuring the clearance between the head slider and the magnetic disk, it is important to consider damage to the head slider due to contact with the magnetic disk. Therefore, a technique capable of minimizing damage to the head / slider in touchdown of the head / slider in clearance measurement is desired.

本発明の一態様のディスク・ドライブは、データを記憶するディスクと、前記ディスク上を浮上するヘッド・スライダと、前記ヘッド・スライダを支持しそのヘッド・スライダを移動する移動機構と、前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの間のクリアランスを変化させるクリアランス・アクチュエータと、前記クリアランス・アクチュエータを使用して前記クリアランスを段階的に小さくして各段階において前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの接触について判定を行う、コントローラとを有する。前記コントローラは、前記クリアランス・アクチュエータを使用して前記クリアランスを縮小する。前記クリアランス・アクチュエータを使用して、前記縮小したクリアランスを大きくして、前記クリアランスを縮小したときのクリアランス値より大きい値の範囲で前記クリアランスを維持する。前記クリアランスの縮小から前記範囲内における維持の間において前記ヘッドの振動をモニタし、前記モニタした振動から前記ヘッドと前期ディスクとの接触を判定する。これにより、ヘッド・スライダとディスクとの間のクリアランス測定におけるヘッド・スライダのディスクへのタッチダウンによるヘッド・スライダへのダメージを小さくすることができる。   A disk drive according to an aspect of the present invention includes a disk that stores data, a head slider that floats on the disk, a moving mechanism that supports the head slider and moves the head slider, A clearance actuator that changes the clearance between the slider and the disk, and the clearance actuator is used to reduce the clearance in stages, and the contact between the head slider and the disk is determined at each stage. Having a controller. The controller uses the clearance actuator to reduce the clearance. The clearance actuator is used to increase the reduced clearance, and to maintain the clearance in a range larger than the clearance value when the clearance is reduced. The vibration of the head is monitored while the clearance is reduced and maintained within the range, and the contact between the head and the previous disk is determined from the monitored vibration. As a result, damage to the head slider due to the touch-down of the head slider to the disk in the clearance measurement between the head slider and the disk can be reduced.

好ましい構成において、前記コントローラは、前記クリアランスを直前の段階におけるクリアランス値から縮小する。これにより、効率的にクリアランス測定を行うことができる。
好ましい構成において、前記コントローラは、前記クリアランスの前記縮小及び前記維持の間において前記ヘッド・スライダを振動させている。これにより、ヘッド・スライダとディスクとの接触の感度よく検知することができる。
In a preferred configuration, the controller reduces the clearance from the clearance value in the immediately preceding stage. Thereby, a clearance measurement can be performed efficiently.
In a preferred configuration, the controller vibrates the head slider during the reduction and maintenance of the clearance. Thereby, it is possible to detect the contact between the head slider and the disk with high sensitivity.

好ましい構成において、前記コントローラは、前記ヘッド・スライダをディスク面内方向において振動させている。これにより、より正確なクリアランス測定を行うことができる。
好ましい構成において、前記コントローラは、前記ヘッド・スライダをヘッド浮上方向において振動させており、前記振動の振動振幅は、前記縮小したときの前記クリアランスの値と前記範囲の下限との間の差分よりも小さい。これにより、正確なクリアランス測定を行うことができる。
In a preferred configuration, the controller vibrates the head slider in the in-disk direction. Thereby, more accurate clearance measurement can be performed.
In a preferred configuration, the controller vibrates the head slider in the head flying direction, and the vibration amplitude of the vibration is larger than a difference between the clearance value when the reduction is performed and a lower limit of the range. small. Thereby, accurate clearance measurement can be performed.

好ましい構成において、前記振動は、前記ヘッド・スライダとそのヘッド・スライダとを支持するサスペンションとのアセンブリの共振を引き起こす。これにより、ヘッド・スライダとディスクとの接触の感度よく検知することができる。
好ましい構成において、前記振動は、前記ヘッド・スライダの空気膜における共振を引き起こす。これにより、ヘッド・スライダとディスクとの接触の感度よく検知することができる。
In a preferred configuration, the vibration causes resonance of an assembly of the head slider and a suspension that supports the head slider. Thereby, it is possible to detect the contact between the head slider and the disk with high sensitivity.
In a preferred configuration, the vibration causes resonance in the air film of the head slider. Thereby, it is possible to detect the contact between the head slider and the disk with high sensitivity.

本発明の他の態様は、クリアランス・アクチュエータを使用してヘッド・スライダとディスクとの間のクリアランスを段階的に小さくし、各段階において前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの接触について判定を行う、クリアランス測定方法である。この方法は、各段階において以下の工程を行う。前記クリアランス・アクチュエータを制御して、クリアランスを縮小する。前記縮小したクリアランスを大きくして、前記クリアランスを縮小したときのクリアランス値より大きい範囲内に前記クリアランスを維持する。前記クリアランスの縮小後の前記範囲内における維持の間において、前記ヘッドの振動をモニタする。前記モニタした振動から、前記ヘッドと前記ディスクとの接触を判定する。これにより、ヘッド・スライダとディスクとの間のクリアランス測定におけるヘッド・スライダのディスクへのタッチダウンによるヘッド・スライダへのダメージを小さくすることができる。   According to another aspect of the present invention, the clearance between the head slider and the disk is reduced stepwise using a clearance actuator, and the contact between the head slider and the disk is determined in each step. This is a clearance measurement method. This method performs the following steps at each stage. The clearance actuator is controlled to reduce the clearance. The reduced clearance is increased, and the clearance is maintained within a range larger than a clearance value when the clearance is reduced. The head vibration is monitored during maintenance within the range after the clearance is reduced. From the monitored vibration, contact between the head and the disk is determined. As a result, damage to the head slider due to the touch-down of the head slider to the disk in the clearance measurement between the head slider and the disk can be reduced.

本願発明によれば、ヘッド・スライダとディスクとの間のクリアランス測定におけるヘッド・スライダのディスクへのタッチダウンによるヘッド・スライダへのダメージを小さくすることができる。   According to the present invention, damage to the head slider due to the touch-down of the head slider to the disk in the clearance measurement between the head slider and the disk can be reduced.

本実施形態におけるヘッド・スライダの構成を模式的に示す図で。It is a figure which shows typically the structure of the head slider in this embodiment. 本実施形態におけるハードディスク・ドライブの全体構成を模式的に示すブロック図である。1 is a block diagram schematically showing the overall configuration of a hard disk drive in the present embodiment. 本実施形態において、クリアランス測定におけるヒータ・パワーの変化の好ましい例を模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically the preferable example of the change of the heater power in clearance measurement. 本実施形態において、クリアランス測定におけるヒータ・パワーの変化に応答するクリアランスの変化の好ましい例を模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically the preferable example of the change of the clearance in response to the change of the heater power in clearance measurement. 本実施形態において、クリアランス測定におけるヒータ・パワーの変化の他の例を模式的に示す図である。In this embodiment, it is a figure which shows typically the other example of the change of the heater power in clearance measurement. 本実施形態において、ヘッド・スライダを微小振動させた状態でヘッド・スライダと磁気ディスクとの接触時に発生する振動を検出する処理の好ましい例の流れを説明するフローチャートである。6 is a flowchart illustrating a flow of a preferable example of processing for detecting vibration generated when the head slider is in contact with the magnetic disk in a state where the head slider is slightly vibrated in the present embodiment.

以下に、本発明を適用した実施の形態を説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。以下においては、ディスク・ドライブの一例であるハードディスク・ドライブ(HDD)において、本発明の実施形態を説明する。   Embodiments to which the present invention is applied will be described below. For clarity of explanation, the following description and drawings are omitted and simplified as appropriate. Moreover, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same element and the duplication description is abbreviate | omitted as needed for clarification of description. In the following, an embodiment of the present invention will be described in a hard disk drive (HDD) which is an example of a disk drive.

本実施形態は、ヘッド・スライダと磁気ディスクとの間のクリアランス測定に特徴を有している。クリアランス測定は、ヘッド・スライダとサスペンションのアセンブリであるヘッド・ジンバル・アセンブリ(HGA)の製造におけるテスト工程、HDDの製造におけるテスト工程、あるいは製品としてのHDDにおいて実行される。いずれの装置も磁気ディスクとその上を浮上するヘッド・スライダ、そしてそのヘッド・スライダを支持するサスペンションを有している。本明細書において、これらの装置を全て、ディスク・ドライブと呼ぶ。以下において、製品としてのHDDが行うクリアランス測定の例を説明する。   This embodiment is characterized by measuring the clearance between the head slider and the magnetic disk. The clearance measurement is performed in a test process in manufacturing a head gimbal assembly (HGA), which is an assembly of a head slider and a suspension, a test process in manufacturing an HDD, or an HDD as a product. Each apparatus has a magnetic disk, a head slider that floats on the magnetic disk, and a suspension that supports the head slider. In this specification, all of these devices are referred to as disk drives. Hereinafter, an example of clearance measurement performed by the HDD as a product will be described.

本形態のHDDは、クリアランス測定において、ヘッド・スライダと磁気ディスクとを接触させる(ヘッド・スライダのタッチダウン)。HDDは、クリアランスを調整するクリアランス・アクチュエータを使用してヘッド・スライダのクリアランスを小さくし、ヘッド・スライダを磁気ディスクに接触させる。タッチダウンのためのクリアランス・アクチュエータによるクリアランス変化量が、クリアランス測定値を示す。ヘッド・スライダのタッチダウン検知によるクリアランス測定により、ヘッド・スライダの正確なクリアランスを測定することができる。   In the HDD of this embodiment, the head slider and the magnetic disk are brought into contact with each other in clearance measurement (head slider touchdown). The HDD uses a clearance actuator that adjusts the clearance to reduce the clearance of the head slider and bring the head slider into contact with the magnetic disk. The amount of clearance change by the clearance actuator for touchdown indicates the clearance measurement value. By measuring the clearance by detecting the touch-down of the head slider, the accurate clearance of the head slider can be measured.

クリアランス・アクチュエータとしては、ヒータ素子、ピエゾ素子あるいはクーロン力を使用するものが知られている。以下においては、ヒータ素子を使用するクリアランス・アクチュエータを有するHDDの例を説明する。本発明は、いかなるタイプのクリアランス・アクチュエータを有するHDDにも適用することができる。   As a clearance actuator, a heater element, a piezo element, or one using a Coulomb force is known. In the following, an example of an HDD having a clearance actuator that uses a heater element will be described. The present invention can be applied to an HDD having any type of clearance actuator.

本形態のHDDは、クリアランス測定におけるヘッド・スライダのタッチ・ダウン(磁気ディスクとの接触)のため、クリアランス・アクチュエータによりヘッド・スライダのクリアランスを一旦小さくした後、小さくしたクリアランスを大きくする。HDDは、クリアランスを大きくした後は、上記小さくしたクリアランスの値よりも大きい値の範囲でクリアランスを維持する。   In the HDD according to this embodiment, the head slider is touched down (contact with the magnetic disk) in the clearance measurement, and then the clearance of the head slider is once reduced by the clearance actuator and then the reduced clearance is increased. After the clearance is increased, the HDD maintains the clearance within a range of values larger than the reduced clearance value.

HDDは、クリアランスを小さくしてから上記範囲においてクリアランスを維持している間において、ヘッド・スライダの振動をモニタする。モニタした振動が所定の基準を満たす場合、HDDは、ヘッド・スライダと磁気ディスクとが接触(タッチダウン)したと判定する。このようなクリアランス制御を行うことによって、ヘッド・スライダと磁気ディスクとの接触時間(接触回数)を低減し、ヘッド・ディスク・インターフェイスの信頼性を高めることができる。   The HDD monitors the vibration of the head slider while maintaining the clearance in the above range after reducing the clearance. If the monitored vibration satisfies a predetermined standard, the HDD determines that the head slider and the magnetic disk are in contact (touchdown). By performing such clearance control, the contact time (number of times of contact) between the head slider and the magnetic disk can be reduced, and the reliability of the head disk interface can be improved.

ヘッド・スライダと磁気ディスクとの接触時間が短いため、HDDによるタッチダウン検知が困難なものとなる(タッチダウン検知の感度の低下)。そこで、好ましい構成において、HDDは、ヘッド・スライダを振動させながら、上記クリアランス制御を行う。これにより、ヘッド・ディスク接触によるヘッド・スライダの振動変化がはっきりと現れ、ヘッド・ディスク接触を確実、高感度に検知することができる。振動の周波数は、ヘッド・スライダと磁気ディスクとの間の空気膜における共振あるいはサスペンション(HGA)のオフトラック方向における共振を引き起こす周波数である。   Since the contact time between the head slider and the magnetic disk is short, it becomes difficult to detect touchdown by the HDD (decrease in sensitivity of touchdown detection). Therefore, in a preferred configuration, the HDD performs the clearance control while vibrating the head slider. Thereby, the vibration change of the head slider due to the head-disk contact appears clearly, and the head-disk contact can be reliably detected with high sensitivity. The frequency of vibration is a frequency that causes resonance in the air film between the head slider and the magnetic disk or resonance in the off-track direction of the suspension (HGA).

本形態のクリアランス測定についてより具体的な説明を行なう前に本形態のヘッド・スライダ及びHDDの構成について説明を行なう。図1は、本形態のヘッド・スライダ1を模式的に示す図である。図1の上図は、通常状態におけるヘッド・スライダ1であり、図1の下図は、記録再生を行うときの状態を示している。   Before describing the clearance measurement of this embodiment more specifically, the configuration of the head slider and HDD of this embodiment will be described. FIG. 1 is a diagram schematically showing a head slider 1 of this embodiment. The upper diagram in FIG. 1 shows the head slider 1 in a normal state, and the lower diagram in FIG. 1 shows a state when recording and reproduction are performed.

ヘッド・スライダ1は、磁気ディスク2上を浮上するスライダ12と、スライダ12に形成されている薄膜ヘッド部10とを有している。図1の構成例において、ヘッド・スライダ1は、右側から左側にスライドし、薄膜ヘッド部10はスライダ12のトレーリング端に形成されている。薄膜ヘッド部10は、再生素子11と記録素子13とを有している。以下において、再生素子11と記録素子13と合わせて記録再生素子と呼ぶ。   The head slider 1 has a slider 12 that floats on the magnetic disk 2 and a thin film head portion 10 formed on the slider 12. In the configuration example of FIG. 1, the head slider 1 slides from the right side to the left side, and the thin film head portion 10 is formed at the trailing end of the slider 12. The thin film head unit 10 includes a reproducing element 11 and a recording element 13. Hereinafter, the reproducing element 11 and the recording element 13 are collectively referred to as a recording / reproducing element.

薄膜ヘッド部10は、ヒータ素子15を有している。ヒータ素子15はクリアランス・アクチュエータであり、薄膜ヘッド部10のクリアランスを変化させる。本明細書において、ヒータ素子15によるクリアランス制御をTFC(Thermal Fly−height Control)と呼ぶ。ヒータ素子15の熱によって再生素子11と記録素子13及びその周囲が膨張し、それら素子と磁気ディスク2との間のクリアランスを調整する。ヒータ素子15による熱変形を利用するクリアランス制御においては、記録再生素子近傍がヒータ素子15で発生した熱による膨張で変形し、熱膨張変形の頂点がヘッド・スライダ1の浮上最下点となる。   The thin film head unit 10 has a heater element 15. The heater element 15 is a clearance actuator and changes the clearance of the thin film head unit 10. In the present specification, the clearance control by the heater element 15 is referred to as TFC (Thermal Fly-height Control). The reproducing element 11, the recording element 13, and the periphery thereof are expanded by the heat of the heater element 15, and the clearance between these elements and the magnetic disk 2 is adjusted. In clearance control using thermal deformation by the heater element 15, the vicinity of the recording / reproducing element is deformed by expansion due to heat generated by the heater element 15, and the apex of the thermal expansion deformation is the lowest flying point of the head slider 1.

図1上図に示す通常状態の例において、ヒータ素子15の発熱がなく、再生素子11と記録素子13とは突出していない。図1の下図に示すように、ヘッド・スライダ1は、ユーザ・データの記録再生において、ヒータ素子15を発熱させて、記録再生素子のクリアランスを小さくする。本形態のHDDは、ヒータ素子15へ与えるパワーを制御することで、ヘッド・スライダ1のタッチダウンにおけるクリアランスを制御する。   In the example of the normal state shown in the upper diagram of FIG. 1, the heater element 15 does not generate heat, and the reproducing element 11 and the recording element 13 do not protrude. As shown in the lower part of FIG. 1, the head slider 1 generates heat in the heater element 15 in recording / reproducing user data, thereby reducing the clearance of the recording / reproducing element. The HDD of this embodiment controls the clearance in the touch-down of the head slider 1 by controlling the power applied to the heater element 15.

このように、ヒータ素子15ヘッド・スライダ1の制御は、HDDに実装されている制御回路が行う。図2は、HDD100の全体構成を模式的に示すブロック図である。HDD100は、エンクロージャ内に、データを記憶するディスクである磁気ディスク2を有している。スピンドル・モータ(SPM)104は、磁気ディスク2を所定の角速度で回転する。磁気ディスク2の各記録面に対応して、磁気ディスク2にアクセスするヘッド・スライダ1が設けられている。   As described above, the heater element 15 head slider 1 is controlled by the control circuit mounted on the HDD. FIG. 2 is a block diagram schematically showing the overall configuration of the HDD 100. The HDD 100 has a magnetic disk 2 that is a disk for storing data in the enclosure. A spindle motor (SPM) 104 rotates the magnetic disk 2 at a predetermined angular velocity. Corresponding to each recording surface of the magnetic disk 2, a head slider 1 for accessing the magnetic disk 2 is provided.

各ヘッド・スライダ1はアクチュエータ106の先端部に固定されている。アクチュエータ106はボイス・コイル・モータ(VCM)105に連結され、回動軸を中心に回動することによって、ヘッド・スライダ1を回転する磁気ディスク2上で(接触もしくは非接触)その半径方向に移動する。アクチュエータ106は、ヘッド・スライダ1を支持するサスペンションとそのサスペンションを支持するアームとを有している。   Each head slider 1 is fixed to the tip of the actuator 106. The actuator 106 is connected to a voice coil motor (VCM) 105 and rotates about the rotation axis, thereby rotating the head slider 1 on the magnetic disk 2 rotating (contact or non-contact) in the radial direction. Moving. The actuator 106 has a suspension that supports the head slider 1 and an arm that supports the suspension.

本形態のアクチュエータ106は、セカンダリ・アクチュエータ107を有している。セカンダリ・アクチュエータ107は、微動することで、ディスク半径方向におけるヘッド・スライダ1の微細な位置決めを行う。典型的には、セカンダリ・アクチュエータ107は、一つもしくは複数のピエゾ素子と、そのピエゾ素子の伸縮により変形する変形部とを有している。アクチュエータ106とVCM105とは、ヘッド・スライダ1の移動機構である。本発明はセカンダリ・アクチュエータ107を有していないHDDにも適用することができる。   The actuator 106 of this embodiment has a secondary actuator 107. The secondary actuator 107 finely moves to finely position the head slider 1 in the disk radial direction. Typically, the secondary actuator 107 has one or a plurality of piezo elements and a deforming portion that is deformed by expansion and contraction of the piezo elements. The actuator 106 and the VCM 105 are moving mechanisms for the head slider 1. The present invention can also be applied to an HDD that does not have the secondary actuator 107.

エンクロージャの外側の回路基板上には、回路素子が実装されている。モータ・ドライバ・ユニット202は、HDC/MPU203からの制御データに従って、SPM104及びVCM105を駆動する。RAM204は、リード・データ及びライト・データを一時的に格納するバッファとして機能する。   Circuit elements are mounted on a circuit board outside the enclosure. The motor driver unit 202 drives the SPM 104 and the VCM 105 in accordance with control data from the HDC / MPU 203. The RAM 204 functions as a buffer that temporarily stores read data and write data.

エンクロージャ内のアーム電子回路(AE)103は、複数のヘッド・スライダ1の中から磁気ディスク2へのアクセスを行うヘッド・スライダ1を選択し、その再生信号を増幅してリード・ライト・チャネル(RWチャネル)201に送る。また、RWチャネル201からの記録信号を選択したヘッド・スライダ1に送る。AE103は、さらに、選択したヘッド・スライダ1のヒータ素子15へ電力を供給し、その電力量を調節する調節回路として機能する。   The arm electronic circuit (AE) 103 in the enclosure selects the head slider 1 that accesses the magnetic disk 2 from among the plurality of head sliders 1, amplifies the reproduction signal, and reads / write channels ( RW channel) 201. Further, the recording signal from the RW channel 201 is sent to the selected head slider 1. The AE 103 further functions as an adjustment circuit that supplies power to the heater element 15 of the selected head slider 1 and adjusts the amount of power.

RWチャネル201は、再生処理において、AE103から供給された再生信号からデータを抽出し、デコード処理を行う。読み出されるデータは、ユーザ・データとサーボ・データとを含む。デコード処理されたデータは、HDC/MPU203に転送される。また、RWチャネル201は、ライト処理において、HDC/MPU203から与えられたライト・データをコード変調し、更にコード変調されたライト・データを記録信号に変換してAE103に供給する。   In the reproduction process, the RW channel 201 extracts data from the reproduction signal supplied from the AE 103 and performs a decoding process. The data to be read includes user data and servo data. The decoded data is transferred to the HDC / MPU 203. In the write process, the RW channel 201 code-modulates the write data supplied from the HDC / MPU 203, converts the code-modulated write data into a recording signal, and supplies the recording signal to the AE 103.

HDD1のコントローラのであるHDC/MPU203は、記録再生処理制御、コマンド実行順序の管理、サーボ信号を使用したヘッド・スライダ1のポジショニング制御(サーボ制御)、ホスト501との間のインターフェース制御、ディフェクト管理、エラーが発生した場合のエラー対応処理など、データ処理に関する必要な処理及びHDD100の全体制御を実行する。特に、本形態のHDC/MPU203は、ヘッド・スライダ1と磁気ディスクとの間のクリアランス測定を行う。   The HDC / MPU 203 which is the controller of the HDD 1 performs recording / playback processing control, command execution order management, head slider 1 positioning control using servo signals (servo control), interface control with the host 501, defect management, Necessary processing related to data processing such as error handling processing when an error occurs and overall control of the HDD 100 are executed. In particular, the HDC / MPU 203 of the present embodiment measures the clearance between the head slider 1 and the magnetic disk.

本形態はクリアランス測定におけるヘッド・スライダ1のタッチダウン検知におけるクリアランス制御及びヘッド・スライダ1の動き制御にその特徴を有している。HDC/MPU23は、AE103を介してヒータ素子15(熱アクチュエータ)を制御し、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との間のクリアランスを制御する。クリアランスは、ヒータ素子15へのパワーにより制御することができる。   The present embodiment is characterized by clearance control in touch-down detection of the head slider 1 in clearance measurement and movement control of the head slider 1. The HDC / MPU 23 controls the heater element 15 (thermal actuator) via the AE 103 and controls the clearance between the head slider 1 and the magnetic disk 2. The clearance can be controlled by the power to the heater element 15.

タッチダウンによるクリアランス測定において、HDC/MPU23は、クリアランスを段階的に小さくし、各段階においてヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触について判定を行う。HDC/MPU23は、クリアランス・アクチュエータであるヒータ素子15へのヒータ・パワーを制御することで、クリアランスを変化させる。図3は、クリアランス測定におけるヒータ・パワーの変化の好ましい例を模式的に示す図である。また、図4は、クリアランス測定において、図3に示すヒータ・パワー変化に応答するクリアランスの変化を模式的に示す図である。   In the clearance measurement by touchdown, the HDC / MPU 23 decreases the clearance step by step, and determines the contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 at each step. The HDC / MPU 23 changes the clearance by controlling the heater power to the heater element 15 which is a clearance actuator. FIG. 3 is a diagram schematically showing a preferable example of a change in heater power in the clearance measurement. FIG. 4 is a diagram schematically showing a change in clearance in response to a change in heater power shown in FIG. 3 in the clearance measurement.

ヒータ・パワーの増加により薄膜ヘッド部10が突出し、クリアランスが減少する。ヒータ・パワーの変化に対するクリアランス変化には、わずかなタイム・ラグが存在する。図4の模式図において、ヒータ・パワーが一定であれば、クリアランスは一定である。しかし、実際のHDDにおいては、ヒータ・パワーが一定であってもわずかなクリアランス変化が存在している。   As the heater power increases, the thin film head portion 10 protrudes and the clearance decreases. There is a slight time lag in the clearance change with respect to the heater power change. In the schematic diagram of FIG. 4, if the heater power is constant, the clearance is constant. However, in an actual HDD, there is a slight clearance change even if the heater power is constant.

図3及び図4の例において、ヒータ・パワー変化及びクリアランス変化において、3つの段階が示されている。HDC/MPU23は、第3の段階において、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触を検知している。図3の好ましい例において、HDC/MPU23は、各段階において、ヒータ・パワーをその段階における最大値まで、一旦増加させる。   In the example of FIGS. 3 and 4, three stages are shown in the heater power change and clearance change. The HDC / MPU 23 detects contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 in the third stage. In the preferred example of FIG. 3, the HDC / MPU 23 once increases the heater power at each stage to the maximum value at that stage.

その後、HDC/MPU23はヒータ・パワーを減少させて、最大値よりも小さい値に維持する。制御のシンプリシティ及びヘッド・スライダの予想外の挙動を避けるため、小さくしたヒータ・パワーは、その段階において変化させないことが好ましい。しかし、設計によっては、ヒータ・パワーを減少させた後に、ヒータ・パワーを変化させてもよい。そのときのヒータ・パワーの値は、その段階における最大値よりも小さい値である。   Thereafter, the HDC / MPU 23 decreases the heater power and maintains it at a value smaller than the maximum value. In order to avoid control simplicity and unexpected behavior of the head slider, the reduced heater power is preferably not changed at that stage. However, depending on the design, the heater power may be changed after the heater power is reduced. The value of the heater power at that time is a value smaller than the maximum value at that stage.

図4に示すように、クリアランスは、ヒータ・パワーの変化に従った変化を示す。クリアランスはその段階における最小値まで、一旦減少する。その後、ヒータ・パワーの減少と共にクリアランスが増加し、最小値よりも大きい値を維持する。図3の模式図では、各段階において、増加した後のクリアランスの値は一定である。実際のシステムにおいては、ヒータ・パワー一定であってもわずかなクリアランス変動が存在する。   As shown in FIG. 4, the clearance shows a change according to the change of the heater power. The clearance once decreases to the minimum value at that stage. Thereafter, as the heater power decreases, the clearance increases and maintains a value larger than the minimum value. In the schematic diagram of FIG. 3, the clearance value after the increase is constant at each stage. In an actual system, there is a slight clearance variation even if the heater power is constant.

HDC/MPU23は、各段階において、クリアランスを最小値まで縮小してからその後のより大きな値の範囲でクリアランスを維持している間において、ヘッド・スライダ1の振動をモニタする。振動をモニタしている期間は、ヒータ・パワーを最大値から小さくした後の所定期間を含む。好ましくは、各段階におけるモニタ期間は、ヒータ・パワーが最大であるタイミングを含み、ヒータ・パワーをその段階の最大にする直前から開始する。HDC/MPU23は、各段階の開始から終了まで振動をモニタしてもよい。HDC/MPU203は、いくつかの知られている手法により、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触によって発生するヘッド・スライダ1の振動を検知することができる。   The HDC / MPU 23 monitors the vibration of the head slider 1 at each stage while the clearance is reduced to the minimum value and the clearance is maintained within a larger value range thereafter. The period during which the vibration is monitored includes a predetermined period after the heater power is reduced from the maximum value. Preferably, the monitoring period at each stage includes a timing at which the heater power is maximum, and starts immediately before the heater power is maximized at that stage. The HDC / MPU 23 may monitor vibration from the start to the end of each stage. The HDC / MPU 203 can detect the vibration of the head slider 1 generated by the contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 by several known methods.

好ましい方法の一つにおいて、HDC/MPU203は、位置誤差信号(PES)をモニタすることで、接触を検知することができる。例えば、HDC/MPU203は、PESの大きさあるいはPESの変化が閾値を超える場合に、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2の接触が起きていると判定する。あるいは、リード・バック信号の振幅、サーボVGAやデータVGAの値、あるいはVCM105の制御信号を参照することでヘッド・スライダのタッチダウンを検知することができる。これらの手法は広く知られたものであり、ここでは詳細の説明を省略する。   In one preferred method, the HDC / MPU 203 can detect a contact by monitoring a position error signal (PES). For example, the HDC / MPU 203 determines that contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 occurs when the size of the PES or the change in the PES exceeds a threshold value. Alternatively, the touch-down of the head slider can be detected by referring to the amplitude of the read back signal, the value of the servo VGA or data VGA, or the control signal of the VCM 105. These methods are widely known and will not be described in detail here.

HDDの製造におけるHGAあるいはHDDのテスト工程において、AE(Acoustic Emission)センサを使用することができる場合は、それを利用してタッチダウンによるヘッド・スライダ(HGA)の振動を検知することができる。例えば、HDC/MPU203は、アクチュエータ106に取り付けたAEセンサによりヘッド・スライダ1の振動をモニタし、その出力をもとにヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触について判定することができる。   When an AE (Acoustic Emission) sensor can be used in an HGA or HDD test process in HDD manufacture, vibration of the head slider (HGA) due to touchdown can be detected using the AE (Acoustic Emission) sensor. For example, the HDC / MPU 203 can monitor the vibration of the head slider 1 with an AE sensor attached to the actuator 106 and determine contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 based on the output.

図3に示すように、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触は、ヒータ・パワーがその段階における最大値である間のみ起こる。クリアランスが増加した後は、ヘッド・スライダ1は磁気ディスク2から離間している。各段階において、HDC/MPU203がヒータ・パワーを最大値まで大きくする回数は一回のみである。このため、ヘッド・ディスク接触の時間が短く、薄膜ヘッド10あるいは磁気ディスク2上のデータの損傷の可能性と小さくすることができる。   As shown in FIG. 3, the contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 occurs only while the heater power is at the maximum value at that stage. After the clearance increases, the head slider 1 is separated from the magnetic disk 2. In each stage, the HDC / MPU 203 increases the heater power to the maximum value only once. Therefore, the contact time between the head and the disk is short, and the possibility of data damage on the thin film head 10 or the magnetic disk 2 can be reduced.

図3に示すように、クリアランス変化及びヒータ・パワー変化は、オーバーシュート形状を有することが好ましい。つまり、HDC/MPU23は、直前の段階におけるクリアランス値からクリアランスを縮小し、本段階における最小値まで小さくする。その後、クリアランスを、最小値よりも大きい値の範囲に維持する。ヒータ・パワーについては、HDC/MPU23は、直前の段階におけるヒータ・パワー値からヒータ・パワーを増大し、本段階における最大値まで大きくする。その後、ヒータ・パワーを、最大値よりも小さい値に維持する。   As shown in FIG. 3, it is preferable that the clearance change and the heater power change have an overshoot shape. That is, the HDC / MPU 23 reduces the clearance from the clearance value at the previous stage and reduces it to the minimum value at this stage. Thereafter, the clearance is maintained within a range of values greater than the minimum value. As for the heater power, the HDC / MPU 23 increases the heater power from the heater power value at the previous stage and increases it to the maximum value at this stage. Thereafter, the heater power is maintained at a value smaller than the maximum value.

このように、クリアランス変化及びヒータ・パワー変化は、オーバーシュート形状を有することで、ヘッド・スライダ1のタッチダウン検知のための各段階における時間を短縮することができる。設計によっては、図5に示すように、HDC/MPU23は、ヒータ・パワーを前段階のヒータ・パワーから本段階の基準となるヒータ・パワー値まで増加させ、その後、さらに、ヒータ・パワーを本段階の最大値まで増加させた後、上記基準まで戻してもよい。   Thus, the clearance change and the heater power change have an overshoot shape, so that the time at each stage for detecting the touch-down of the head slider 1 can be shortened. Depending on the design, as shown in FIG. 5, the HDC / MPU 23 increases the heater power from the heater power at the previous stage to the heater power value that is the reference for this stage, and then further increases the heater power. After increasing to the maximum value of the stage, it may be returned to the above standard.

各段階間のヒータ・パワー変化量ΔP0(各段階の基準ヒータ・パワー値の変化量)は、同一の値あるいは異なる値であってもよい。また、オーバーシュート量ΔP1は、各段階で共通あるいは異なる値であってもよい。HDC/MPU23は、磁気ディスクとヘッド・スライダとが接触したときのヒータ・パワー値(タッチダウン・パワー値)の決定において、その段階における最大ヒータ・パワー値をタッチダウン・パワー値と決定する、あるいは、基準ヒータ・パワー値と最大ヒータ・パワー値から算出した値、例えばそれらの中間値をタッチダウン・パワー値と決定してもよい。   The heater power change amount ΔP0 (change amount of the reference heater power value at each stage) between the stages may be the same value or a different value. The overshoot amount ΔP1 may be a common value or a different value at each stage. The HDC / MPU 23 determines the maximum heater power value at that stage as the touchdown power value when determining the heater power value (touchdown power value) when the magnetic disk and the head slider come into contact with each other. Alternatively, a value calculated from the reference heater power value and the maximum heater power value, for example, an intermediate value thereof may be determined as the touchdown power value.

好ましくは、HDC/MPU23は、各段階において、ヒータ・パワーをその段階における最大値において、規定されている時間だけ維持する。ヒータ・パワーをスパイク状に変化させる場合と比較して、ヘッド・スライダ1及び磁気ディスク2の損傷を避けつつ、より確実に接触検知を行なうことができる。ヒータ・パワーを最大値に維持する時間(クリアランスを最小値(範囲)に維持する時間)は、より小さな基準ヒータ・パワー値(より大きなクリアランス値(範囲))の維持時間よりも短い。   Preferably, the HDC / MPU 23 maintains the heater power at each stage for a specified time at the maximum value at that stage. Compared to the case where the heater power is changed in a spike shape, contact detection can be performed more reliably while avoiding damage to the head slider 1 and the magnetic disk 2. The time for maintaining the heater power at the maximum value (the time for maintaining the clearance at the minimum value (range)) is shorter than the time for maintaining the smaller reference heater power value (larger clearance value (range)).

このように、クリアランスを一旦小さくしてタッチダウンを行ない、その後、クリアランスを大きくしてヘッド・スライダ1を磁気ディスク2表面から離間させておく場合、ヘッド・スライダ1のタッチダウンによる振動が小さく、タッチダウンを適切に検知することができない可能性がある。そこで、好ましい構成において、HDC/MPU203は、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触を検知する際に、微小駆動機能を用いる。HDC/MPU203は、接触判定のための測定を行っている間、ヘッド・スライダ1を振動させる。具体的には、各段階においてヒータ・パワーを一旦大きくする前に加振を開始し、一旦大きくしたヒータ・パワーを小さくして維持している間も加振を続ける。   As described above, when the clearance is once reduced and the touchdown is performed, and then the clearance is increased and the head slider 1 is separated from the surface of the magnetic disk 2, the vibration due to the touchdown of the head slider 1 is small. Touchdown may not be detected properly. Therefore, in a preferred configuration, the HDC / MPU 203 uses a minute drive function when detecting contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2. The HDC / MPU 203 vibrates the head slider 1 while performing measurement for contact determination. Specifically, excitation is started before the heater power is once increased at each stage, and the excitation is continued while the heater power once increased is reduced and maintained.

具体的には、HDC/MPU203は、上記微小駆動機能により、ヘッド・スライダ1を振動させる。そして、ヘッド・スライダ1が振動している状態において、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触検出を行う。ヘッド・スライダ1を微小振動させながら、タッチダウンを検知することで、スライダ・ディスク接触を感度良く確実に検知することがでる。また、小さい接触を感度よく検知することができるので、その接触検知におけるヘッド・ディスク・インターフェイスの信頼性への影響を小さくすることができる。   Specifically, the HDC / MPU 203 vibrates the head slider 1 by the above minute driving function. Then, contact detection between the head slider 1 and the magnetic disk 2 is performed in a state where the head slider 1 is vibrating. By detecting the touchdown while minutely vibrating the head-slider 1, it is possible to reliably detect the slider-disk contact with high sensitivity. Further, since small contact can be detected with high sensitivity, the influence on the reliability of the head disk interface in the contact detection can be reduced.

タッチダウン検知におけるヘッド・スライダ1の適切な振動数における振動は、サスペンションのオフトラック方向における共振あるいはヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との間の空気膜の共振を引き起こす。適切な振動数における振動をHGAに加えながら、ヒータ素子15によってヘッド・スライダ1と磁気ディスク2とを接触させると、HGAの共振が発生する。オフトラック方向の共振は、HGAの固有振動数(スウェイ・モードとヨー・モード)に応じた振動であり、浮上高方向における共振は、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2表面との間に生じる空気膜の固有振動数に応じた振動である。   The vibration at an appropriate frequency of the head slider 1 in the touchdown detection causes resonance in the off-track direction of the suspension or resonance of the air film between the head slider 1 and the magnetic disk 2. When the head slider 1 and the magnetic disk 2 are brought into contact with each other by the heater element 15 while applying vibration at an appropriate frequency to the HGA, resonance of the HGA occurs. The resonance in the off-track direction is a vibration corresponding to the natural frequency (sway mode and yaw mode) of the HGA, and the resonance in the flying height direction is the air generated between the head slider 1 and the magnetic disk 2 surface. It is a vibration according to the natural frequency of the film.

オフトラック方向におけるヘッド・スライダ1の振動については、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触発生時に生じる摩擦力がスライダ振動の加振源であるため、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触開始直後は摩擦力が小さく、オフトラック方向のスライダ振動はほとんど検知できないほど小さい。しかしながら、ヘッド・スライダ1(HGA)を適切な振動数で微小振動させると、微小振動の周波数でヘッド・スライダ1と磁気ディスク2の接触が起こり、HGAの共振周波数でのスライダ振動が発生し始める。ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との間の摩擦力がHGAでの共振周波数で発生するため、大きなオフトラック振動が発生することになる。   Regarding the vibration of the head slider 1 in the off-track direction, the frictional force generated when the contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 is the excitation source of the slider vibration. Immediately after the start of contact, the frictional force is small and the slider vibration in the off-track direction is so small that it cannot be detected. However, if the head slider 1 (HGA) is microvibrated at an appropriate frequency, contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 occurs at the frequency of the microvibration, and slider vibration at the resonance frequency of the HGA begins to occur. . Since the frictional force between the head slider 1 and the magnetic disk 2 is generated at the resonance frequency of the HGA, a large off-track vibration is generated.

このように、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との小さい接触により、オフトラック方向にヘッド・スライダ1(HGA)のより大きな振動が発生する。特に、スウェイ・モードあるいはヨー・モードにおけるHGAの共振周波数もしくはそれらの近傍の周波数で変動する振動をヘッド・スライダ1に与えると、オフトラック方向に特に大きな振動が発生する。オフトラック方向におけるヘッド・スライダ振動によりタッチダウン検知を行う構成においては、これらの周波数でヘッド・スライダ1を振動させながらタッチダウンを行うことが好ましい。共振を起こすためのヘッド・スライダの1の微小振動方向は、オフトラック方向と浮上方向とのいずれでもよい。   As described above, due to the small contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2, a larger vibration of the head slider 1 (HGA) is generated in the off-track direction. In particular, when a vibration that fluctuates at the resonance frequency of the HGA in the sway mode or the yaw mode or a frequency in the vicinity thereof is applied to the head slider 1, a particularly large vibration occurs in the off-track direction. In the configuration in which the touch-down detection is performed by the head-slider vibration in the off-track direction, it is preferable to perform the touch-down while vibrating the head-slider 1 at these frequencies. The micro-vibration direction of the head slider 1 for causing resonance may be either the off-track direction or the flying direction.

浮上方向における振動については、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触がスライダ振動の加振源である。ヘッド・スライダ1(HGA)を適切な振動数で微小振動させると、空気膜の共振周波数でのスライダ振動が発生する。これにより、大きな浮上高振動が発生する。浮上方向における共振を起こすためには、ヘッド・スライダ1を浮上方向において振動させておくことが好ましい。   Regarding the vibration in the flying direction, the contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 is the excitation source of the slider vibration. When the head slider 1 (HGA) is microvibrated at an appropriate frequency, slider vibration occurs at the resonance frequency of the air film. Thereby, a large levitating high vibration occurs. In order to cause resonance in the flying direction, it is preferable to vibrate the head slider 1 in the flying direction.

タッチダウンよるヘッド・スライダ1のより大きな動きを得るためには、上記共振周波数(浮上方向あるいはオフトラック方向)と一致していることが好ましいが、これらの定数倍の周波数を使用することができる。また、共振周波数あるいはその定数倍の周波数の近傍値を使用することもできる。典型的には、共振周波数の2倍の周波数の微小振動により、接触検知の感度を十分に大きくすることができる。   In order to obtain a larger movement of the head slider 1 by touchdown, it is preferable to match the resonance frequency (the flying direction or the off-track direction), but a frequency that is a multiple of these constants can be used. . Further, a value near the resonance frequency or a frequency that is a constant multiple thereof can be used. Typically, the sensitivity of contact detection can be sufficiently increased by a minute vibration having a frequency twice the resonance frequency.

また、ヘッド・スライダの加振振動数は、対象とする共振周波数あるいは共振周波数の定数倍の3/4倍〜5/4倍の範囲内にあることが好ましい。接触検知において、HDC/MPU203は、微小振動の周波数を変化させてもよいが、制御の容易性と接触検知感度の向上の点から、典型的には、ヘッド・スライダ1を所定の一定周波数で微小振動させる。   The vibration frequency of the head slider is preferably in the range of 3/4 times to 5/4 times the target resonance frequency or a constant multiple of the resonance frequency. In the contact detection, the HDC / MPU 203 may change the frequency of the minute vibrations. However, typically, the head slider 1 is moved at a predetermined constant frequency from the viewpoint of easy control and improved contact detection sensitivity. Microvibrates.

HGAの設計により共振周波数は変化することから、対象のHGAに応じて適切な加振動周波数を選択する。また、HGAの共振周波数は、個々のHGAによって変化する。HDD製造におけるテスト工程において、個々のHGAの共振周波数を特定することが好ましい。なお、共振周波数のばらつきが小さい場合、同一設計の磁気ディスク・ドライブに対して同一の微小振動周波数を適用してもよい。   Since the resonance frequency varies depending on the design of the HGA, an appropriate excitation frequency is selected according to the target HGA. Further, the resonance frequency of the HGA varies depending on the individual HGA. In the test process in HDD manufacture, it is preferable to specify the resonance frequency of each HGA. When the variation in the resonance frequency is small, the same minute vibration frequency may be applied to the magnetic disk drive having the same design.

上述のように、接触検知におけるヘッド・スライダ1の加振方向は、磁気ディスク2の法線方向(浮上高方向)あるいはその法線方向に垂直な磁気ディスク2の面内方向(オフトラック方向)である。好ましい構成において、HDC/MPU203は、接触検知において、ヘッド・スライダ12をディスク面内方向において振動させる。これにより、振動自体によるクリアランス変化を低減することができる。浮上方向においてヘッド・スライダ1を振動させる構成においては、そのクリアランス振幅がオーバーシュート量よりも小さいことが重要である。   As described above, the direction of excitation of the head slider 1 in contact detection is the normal direction (the flying height direction) of the magnetic disk 2 or the in-plane direction (off-track direction) of the magnetic disk 2 perpendicular to the normal direction. It is. In a preferred configuration, the HDC / MPU 203 vibrates the head slider 12 in the disk in-plane direction in contact detection. Thereby, the clearance change by vibration itself can be reduced. In the configuration in which the head slider 1 is vibrated in the flying direction, it is important that the clearance amplitude is smaller than the overshoot amount.

オフトラック方向における振動を与えながらタッチダウン検知を行う構成においては、HDC/MPU203は、オフトラック方向におけるヘッド・スライダ1の振動振幅(の変化)をモニタして、タッチダウンについての判定を行うことが好ましい。従って、好ましい構成において、HDC/MPU203は、サスペンションのヨー・モードあるいはスウェイ・モードの共振を起こす微小振動をヘッド・スライダ1に与えつつヘッド・スライダ1のクリアランスを小さくし、そのオフトラック振動をモニタする。   In a configuration in which touchdown detection is performed while applying vibration in the off-track direction, the HDC / MPU 203 monitors the vibration amplitude (change) of the head slider 1 in the off-track direction and makes a determination regarding touchdown. Is preferred. Accordingly, in a preferred configuration, the HDC / MPU 203 reduces the clearance of the head slider 1 while applying minute vibrations that cause resonance in the yaw mode or sway mode of the suspension to the head slider 1, and monitors the off-track vibration. To do.

上述のように、好ましい構成において、サスペンションにはディスク半径方向に微小駆動し位置決めをするセカンダリ・アクチュエータ107を有する。セカンダリ・アクチュエータ107は、HDC/MPU203から供給される制御信号によって、モータ・ドライバ・ユニット202あるいはAE103を介して制御される。HDC/MPU203は、高い周波数におけるヘッド・スライダ1の微小振動を正確に行うため、セカンダリ・アクチュエータ107によりヘッド・スライダ1を振動させることが好ましい。   As described above, in a preferred configuration, the suspension includes the secondary actuator 107 that is finely driven in the disk radial direction for positioning. The secondary actuator 107 is controlled via the motor driver unit 202 or the AE 103 by a control signal supplied from the HDC / MPU 203. The HDC / MPU 203 preferably vibrates the head slider 1 by the secondary actuator 107 in order to accurately perform minute vibration of the head slider 1 at a high frequency.

なお、セカンダリ・アクチュエータ107の構成は特に限定されるものではない。例えば、サスペンション上に固定され、ヘッド・スライダ1を直接に微動させるセカンダリ・アクチュエータ107を有する磁気ディスク・ドライブに本発明を適用することができる。また、スライダ12と薄膜磁気ヘッド部10との間にピエゾ素子(あるいはヒータ素子)を配置して、薄膜磁気ヘッド部14を左右に微動させるアクチュエータを、セカンダリ・アクチュエータ107として実装してもよい。   The configuration of the secondary actuator 107 is not particularly limited. For example, the present invention can be applied to a magnetic disk drive having a secondary actuator 107 that is fixed on a suspension and finely moves the head slider 1 directly. Further, an actuator that arranges a piezo element (or a heater element) between the slider 12 and the thin film magnetic head unit 10 and finely moves the thin film magnetic head unit 14 left and right may be mounted as the secondary actuator 107.

HDC/MPU203は、VCM105を制御して、ヘッド・スライダ1をアクチュエータ106と共にディスク面内方向において振動をさせてもよい。しかし、本形態のHDD1のように、セカンダリ・アクチュエータ107を有するHDDにおいては、HDC/MPU203は、セカンダリ・アクチュエータ107を使用してヘッド・スライダ12を振動させることが好ましい。   The HDC / MPU 203 may control the VCM 105 to vibrate the head slider 1 together with the actuator 106 in the in-disk direction. However, in the HDD having the secondary actuator 107 like the HDD 1 of this embodiment, the HDC / MPU 203 preferably vibrates the head slider 12 using the secondary actuator 107.

セカンダリ・アクチュエータ107が実装されておらず、ロータリ・アクチュエータ106により微小振動制御が設計上困難である場合などには、浮上方向における微小振動が好ましい。ヘッド・スライダ1を浮上高方向に振動する手法としては、HDC/MPU203は、ライト動作時に発生する熱による記録素子13近傍の熱膨張、または浮上量調整用アクチュエータ15による熱膨張を利用することでも、ヘッド・スライダ1を浮上高方向に所定周波数で振動することが可能である。微小振動する熱膨張及び熱収縮によりヘッド・スライダ1の重心が上下方向に振動し、ヘッド・スライダ1(サスペンション)を微小振動させることができる。   When the secondary actuator 107 is not mounted and the minute vibration control by the rotary actuator 106 is difficult in design, the minute vibration in the flying direction is preferable. As a method of vibrating the head slider 1 in the flying height direction, the HDC / MPU 203 may use thermal expansion in the vicinity of the recording element 13 due to heat generated during the write operation or thermal expansion by the flying height adjustment actuator 15. The head slider 1 can be vibrated at a predetermined frequency in the flying height direction. The center of gravity of the head slider 1 vibrates in the vertical direction due to thermal expansion and contraction that slightly vibrate, and the head slider 1 (suspension) can be microvibrated.

ヘッド・スライダ1を浮上高方向に微小振動する他の手法としては、磁気ディスク2とヘッド・スライダ1との間に電位変動を与える。スライダ12への変動電位印加は、例えばサスペンション3を介してヘッド・スライダ1全体に電位を与える、あるいは記録素子13または再生素子11に電位を与えることで実現可能である。例えば、HDC/MPU203は、サスペンションを介して微小振動信号をヘッド・スライダ1全体に与える。あるいは、RWチャネル201を介した微小振動信号をAE103により増幅して、再生素子11/記録素子13の両端に与える。   As another method of minutely vibrating the head slider 1 in the flying height direction, a potential fluctuation is applied between the magnetic disk 2 and the head slider 1. Application of a varying potential to the slider 12 can be realized by applying a potential to the entire head slider 1 via the suspension 3 or applying a potential to the recording element 13 or the reproducing element 11, for example. For example, the HDC / MPU 203 gives a minute vibration signal to the entire head slider 1 via the suspension. Alternatively, a minute vibration signal via the RW channel 201 is amplified by the AE 103 and applied to both ends of the reproducing element 11 / recording element 13.

HDC/MPU203は、接触検知において、ヘッド・スライダ1の上下方向の微小振動とオフトラック方向の微小振動を同時に実施してもよい。上下方向と左右方向の双方においてヘッド・スライダ1を振動させることで、接触時におけるヘッド・スライダ1のオフトラック方向の動きが大きくなる場合がある。従って、ヘッド・スライダ1の微小振動制御と接触検知との観点から、好適な方法を選択する。なお、上下方向とオフトラック方向の双方においてヘッド・スライダ1を微小振動させる場合、制御の容易性及び接触感度向上の観点から、それらの周波数は同一であることが好ましい。   The HDC / MPU 203 may simultaneously perform micro vibrations in the vertical direction of the head slider 1 and micro vibrations in the off-track direction in contact detection. When the head slider 1 is vibrated in both the vertical direction and the horizontal direction, the movement of the head slider 1 in the off-track direction at the time of contact may increase. Therefore, a suitable method is selected from the viewpoint of micro vibration control of the head slider 1 and contact detection. When the head slider 1 is vibrated minutely in both the vertical direction and the off-track direction, the frequencies are preferably the same from the viewpoint of easy control and improved contact sensitivity.

以下において、ヘッド・スライダ1を微小振動させた状態でヘッド・スライダ1と磁気ディスク2との接触時に発生する振動を検出する処理の好ましい流れを説明する。本例において、ヘッド・スライダ1はオフトラック方向において振動ながら磁気ディスク2に近づいていき、HDC/MPU203はオフトラック方向におけるヘッド・スライダ振動をモニタすることで接触についての判定を行う。   In the following, a preferred flow of processing for detecting vibration generated when the head slider 1 and the magnetic disk 2 are in contact with each other with the head slider 1 vibrated slightly will be described. In this example, the head slider 1 approaches the magnetic disk 2 while vibrating in the off-track direction, and the HDC / MPU 203 determines contact by monitoring the head-slider vibration in the off-track direction.

図6のフローチャートに示すように、まず、HDC/MPU203は、クリアランス測定を実施するトラックにヘッド・スライダ1を移動し、フォロイング・モードに入る(S11)。HDC/MPU203はVCM105を制御して、アクチュエータ106のアームを半径方向に旋回させ、セカンダリ・アクチュエータ107によりヘッド・スライダ1をディスク半径方向に微小駆動し、ヘッド・スライダ1を所望のデータ・トラックまで移動させ、そこに位置決めする。セカンダリ・アクチュエータ107は、典型的には、ヘッド・スライダ12をディスク面内において回動させる。これにより、薄膜ヘッド部10がディスク半径方向において移動する。   As shown in the flowchart of FIG. 6, the HDC / MPU 203 first moves the head slider 1 to the track on which the clearance measurement is performed, and enters the following mode (S11). The HDC / MPU 203 controls the VCM 105 to turn the arm of the actuator 106 in the radial direction, and the secondary slider 107 finely drives the head slider 1 in the radial direction of the disk to move the head slider 1 to a desired data track. Move and position there. The secondary actuator 107 typically rotates the head slider 12 within the disk surface. As a result, the thin film head unit 10 moves in the disk radial direction.

HDC/MPU203は、周波数Fを、ヘッド・スライダ1をオフトラック方向に微小振動する際の周波数として設定し、微小振動を開始する(S12)。具体的には、HDC/MPU203は、セカンダリ・アクチュエータ107の駆動を制御することで、周波数Fにおいてヘッド・スライダ1をオフトラック方向において微小振動させる。   The HDC / MPU 203 sets the frequency F as a frequency when the head slider 1 is minutely vibrated in the off-track direction, and starts minute vibration (S12). Specifically, the HDC / MPU 203 controls the driving of the secondary actuator 107 to cause the head slider 1 to vibrate slightly in the off-track direction at the frequency F.

HDC/MPU203は、ヘッド・スライダ1を微小振動させた状態で、クリアランスを段階的に小さくし、各段階においてヘッド・スライダ1の磁気ディスク2へのタッチダウン検知を行う(図3を参照)。具体的には、HDC/MPU203は、ヒータ素子15への供給電力を(ΔP0+ΔP1)だけ増加させる(S13)。所定時間経過後、HDC/MPU203は、ヒータ素子15への供給電力をΔP1だけ減少させ、供給電力を維持する(S13)。つまり、増加前のヒータ・パワー値からΔP0だけ増加した値にセットし、その値を維持する。   The HDC / MPU 203 reduces the clearance stepwise in a state where the head slider 1 is slightly vibrated, and performs touchdown detection of the head slider 1 to the magnetic disk 2 at each step (see FIG. 3). Specifically, the HDC / MPU 203 increases the power supplied to the heater element 15 by (ΔP0 + ΔP1) (S13). After a predetermined time has elapsed, the HDC / MPU 203 reduces the power supplied to the heater element 15 by ΔP1 and maintains the power supplied (S13). That is, the heater power value before the increase is set to a value increased by ΔP0 and the value is maintained.

HDC/MPU203は、各段階において、ヘッド・スライダ1のオフトラック方向における振動をモニタする(S14)。具体的には、各段階において、各オーバーシュート・パワーを与える時刻からヒータ・パワーをΔP1だけ減少させた後にその段階において接触判定を行うまでの間、振動の測定を続ける。本手法ではヘッド・スライダ1と磁気ディスク2の接触が始まるとオフトラック方向での振動が大きく変化する。従って、HDC/MPU203は、ヘッド・スライダ1と磁気ディスク2の接触検知は、たとえば位置決め誤差信号(PES)やVCM制御信号などのパラメータ変動から検知する。   The HDC / MPU 203 monitors the vibration of the head slider 1 in the off-track direction at each stage (S14). Specifically, at each stage, vibration measurement is continued from the time when each overshoot power is applied until the contact determination is made at that stage after the heater power is reduced by ΔP1. In this method, when the contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 starts, the vibration in the off-track direction changes greatly. Accordingly, the HDC / MPU 203 detects the contact between the head slider 1 and the magnetic disk 2 based on parameter fluctuations such as a positioning error signal (PES) and a VCM control signal.

HDC/MPU203は、接触を検知したところで(S15におけるY)、ヘッド・スライダ1の微小振動を止め(S16)、クリアランスを算出する(S17)。接触を検知しない場合(S15におけるN)、HDC/MPU203は、工程S13に戻ってヒータ素子15への供給電力を(ΔP0+ΔP1)だけ増加させる。以下、その後の工程を繰り返す。   When the HDC / MPU 203 detects contact (Y in S15), the HDC / MPU 203 stops the minute vibration of the head slider 1 (S16) and calculates the clearance (S17). When the contact is not detected (N in S15), the HDC / MPU 203 returns to Step S13 and increases the power supplied to the heater element 15 by (ΔP0 + ΔP1). Thereafter, the subsequent steps are repeated.

以上、本発明を好ましい実施形態を例として説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することができる。例えば、本発明をHDDとは異なるディスク・ドライブに適用することができる。   As mentioned above, although this invention was demonstrated taking preferable embodiment as an example, this invention is not limited to said embodiment. A person skilled in the art can easily change, add, and convert each element of the above-described embodiment within the scope of the present invention. For example, the present invention can be applied to a disk drive different from the HDD.

1 ヘッド・スライダ、2 磁気ディスク、10 薄膜ヘッド部、11 再生素子
12 スライダ、13 記録素子、15 TFC用ヒータ素子
103 アーム・エレクトロンクス、106 アクチュエータ
107 セカンダリ・アクチュータ、201 リード・ライト・チャネル
202 モータ・ドライバ・ユニット、203 ハードディスク・コントローラ/MPU
501 ホスト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Head slider, 2 Magnetic disk, 10 Thin film head part, 11 Playback element 12 Slider, 13 Recording element, 15 TFC heater element 103 Arm electronics, 106 Actuator 107 Secondary actuator, 201 Read / write channel 202 Motor・ Driver unit, 203 Hard disk controller / MPU
501 host

Claims (16)

データを記憶するディスクと、
前記ディスク上を浮上するヘッド・スライダと、
前記ヘッド・スライダを支持し、そのヘッド・スライダを移動する移動機構と、
前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの間のクリアランスを変化させるクリアランス・アクチュエータと、
前記クリアランス・アクチュエータを使用して前記クリアランスを段階的に小さくして、各段階において前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの接触について判定を行う、コントローラと、を有し、
前記コントローラは、
前記クリアランス・アクチュエータを使用して、前記クリアランスを縮小し、
前記クリアランス・アクチュエータを使用して、前記縮小したクリアランスを大きくして、前記クリアランスを縮小したときのクリアランス値より大きい値の範囲で前記クリアランスを維持し、
前記クリアランスの縮小から前記範囲内における維持の間において、前記ヘッドの振動をモニタし、
前記モニタした振動から、前記ヘッドと前期ディスクとの接触を判定する、
ディスク・ドライブ。
A disk for storing data;
A head slider floating above the disk;
A moving mechanism for supporting the head slider and moving the head slider;
A clearance actuator for changing a clearance between the head slider and the disk;
A controller that reduces the clearance step by step using the clearance actuator, and determines the contact between the head slider and the disk at each step; and
The controller is
Using the clearance actuator to reduce the clearance;
Using the clearance actuator, increasing the reduced clearance, maintaining the clearance in a range of values larger than the clearance value when the clearance is reduced,
Monitoring the vibration of the head during the clearance reduction and maintenance within the range;
From the monitored vibration, the contact between the head and the previous disk is determined.
Disk drive.
前記コントローラは、前記クリアランスを直前の段階におけるクリアランス値から縮小する、
請求項1に記載のディスク・ドライブ。
The controller reduces the clearance from the clearance value in the immediately preceding stage,
The disk drive of claim 1.
前記コントローラは、前記クリアランスの前記縮小及び前記維持の間において前記ヘッド・スライダを振動させている、
請求項2に記載のディスク・ドライブ。
The controller vibrates the head slider during the reduction and maintenance of the clearance.
The disk drive according to claim 2.
前記コントローラは、前記クリアランスの前記縮小及び前記維持の間において前記ヘッド・スライダを振動させている、
請求項1に記載のディスク・ドライブ。
The controller vibrates the head slider during the reduction and maintenance of the clearance.
The disk drive of claim 1.
前記コントローラは、前記ヘッド・スライダをディスク面内方向において振動させている、
請求項4に記載のディスク・ドライブ。
The controller vibrates the head slider in a disk in-plane direction.
The disk drive according to claim 4.
前記コントローラは、前記ヘッド・スライダをヘッド浮上方向において振動させており、
前記振動の振動振幅は、前記縮小したときの前記クリアランスの値と前記範囲の下限との間の差分よりも小さい、
請求項4に記載のディスク・ドライブ。
The controller vibrates the head slider in the head flying direction,
The vibration amplitude of the vibration is smaller than the difference between the clearance value when reduced and the lower limit of the range,
The disk drive according to claim 4.
前記振動は、前記ヘッド・スライダとそのヘッド・スライダとを支持するサスペンションとのアセンブリの共振を引き起こす、
請求項4に記載のディスク・ドライブ。
The vibration causes resonance of an assembly of the head slider and a suspension that supports the head slider.
The disk drive according to claim 4.
前記振動は、前記ヘッド・スライダの空気膜における共振を引き起こす、
請求項4に記載のディスク・ドライブ。
The vibration causes resonance in the air film of the head slider.
The disk drive according to claim 4.
クリアランス・アクチュエータを使用してヘッド・スライダとディスクとの間のクリアランスを段階的に小さくし、各段階において前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの接触について判定を行う、クリアランス測定方法であって、各段階において、
前記クリアランス・アクチュエータを制御して、クリアランスを縮小し、
前記縮小したクリアランスを大きくして、前記クリアランスを縮小したときのクリアランス値より大きい範囲内に前記クリアランスを維持し、
前記クリアランスの縮小後の前記範囲内における維持の間において、前記ヘッドの振動をモニタし、
前記モニタした振動から、前記ヘッドと前記ディスクとの接触を判定する、
方法。
A clearance measuring method, wherein a clearance between a head slider and a disk is reduced stepwise using a clearance actuator, and contact between the head slider and the disk is determined in each step. In the stage
Control the clearance actuator to reduce the clearance,
Increase the reduced clearance, maintain the clearance within a range larger than the clearance value when the clearance is reduced,
During the maintenance within the range after the clearance is reduced, the head vibration is monitored,
Determining contact between the head and the disk from the monitored vibration;
Method.
前記クリアランスの前記縮小は、前記クリアランスを直前の段階におけるクリアランス値から縮小する、
請求項9に記載のクリアランス測定方法。
The reduction of the clearance reduces the clearance from the clearance value in the immediately preceding stage.
The clearance measuring method according to claim 9.
前記クリアランスの前記縮小及び前記維持の間、前記ヘッド・スライダを振動させている、
請求項10に記載のクリアランス測定方法。
Vibrating the head slider during the reduction and maintenance of the clearance;
The clearance measuring method according to claim 10.
前記クリアランスの前記縮小及び前記維持の間、前記ヘッド・スライダを振動させている、
請求項9に記載のクリアランス測定方法。
Vibrating the head slider during the reduction and maintenance of the clearance;
The clearance measuring method according to claim 9.
前記ヘッド・スライダをディスク面内方向において振動させている、
請求項12に記載のクリアランス測定方法。
The head slider is vibrated in the in-disk direction,
The clearance measuring method according to claim 12.
前記ヘッド・スライダをヘッド浮上方向において振動させており、
前記振動の振動振幅は、前記縮小したときの前記クリアランスの値と前記範囲の下限との間の差分よりも小さい、
請求項12に記載のクリアランス測定方法。
The head slider is vibrated in the head flying direction,
The vibration amplitude of the vibration is smaller than the difference between the clearance value when reduced and the lower limit of the range,
The clearance measuring method according to claim 12.
前記振動は、前記ヘッド・スライダとそのヘッド・スライダとを支持するサスペンションとのアセンブリの共振を引き起こす、
請求項12に記載のクリアランス測定方法。
The vibration causes resonance of an assembly of the head slider and a suspension that supports the head slider.
The clearance measuring method according to claim 12.
前記振動は、前記ヘッド・スライダの空気膜における共振を引き起こす、
請求項12に記載のクリアランス測定方法。
The vibration causes resonance in the air film of the head slider.
The clearance measuring method according to claim 12.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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