JP2011105531A - Graphite film and graphite composite film - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子機器、精密機器、航空機部材などの放熱フィルムおよびヒートスプレッダ材料として使用されるグラファイトフィルムおよびグラファイト複合フィルムに関し、特に発熱体からの熱を拡散し、且つ、断熱性に優れたグラファイトフィルムおよびグラファイト複合フィルムに関するものである。 The present invention relates to a heat radiating film for electronic equipment, precision equipment, aircraft members, and the like, and a graphite film and a graphite composite film used as a heat spreader material. And a graphite composite film.
近年、電子機器の半導体素子は、高性能化、高集積化が進む一方でサイズは小型化が進み、その発熱量も増大しており、その発熱は局所的なものとなっている。このような熱を拡散する材料として重要な位置づけを占めているのが、軽量で熱伝導性に優れたグラファイトフィルムである（特許文献１）。特に、高分子フィルムを熱処理して作製されるグラファイトフィルムは、グラファイトフィルムの面に対して平行な方向（以下、面方向と略す）に層状のグラファイト構造が高度に発達しており、グラファイトフィルムの面に対して垂直な方向（以下、厚み方向と略す）の熱伝導率に対して面方向の熱伝導率が１００倍以上という高い異方性を有している。 2. Description of the Related Art In recent years, semiconductor devices of electronic devices have become higher in performance and higher in integration, while their size has been reduced, and the amount of heat generation has increased, and the heat generation has become local. A lightweight graphite film excellent in thermal conductivity occupies an important position as a material for diffusing such heat (Patent Document 1). In particular, a graphite film produced by heat-treating a polymer film has a highly developed layered graphite structure in a direction parallel to the plane of the graphite film (hereinafter abbreviated as plane direction). It has a high anisotropy that the thermal conductivity in the plane direction is 100 times or more with respect to the thermal conductivity in the direction perpendicular to the plane (hereinafter abbreviated as the thickness direction).
グラファイトフィルムの使用形態において、面方向には熱を効率的に伝達し、厚み方向には熱を伝えない事を求められる事が多い。しかしながら、従来、厚み方向の伝熱性能を制御し、断熱効果を持たせることは十分には出来ていなかった。 In the usage form of the graphite film, it is often required to transfer heat efficiently in the plane direction and not to transfer heat in the thickness direction. However, conventionally, it has not been possible to control the heat transfer performance in the thickness direction and provide a heat insulating effect.
本発明は、上記課題を解決し、フィルムの厚み方向の断熱性に優れたグラファイトフィルム及び、グラファイト複合フィルムを提供することを課題としている。 This invention makes it a subject to solve the said subject and to provide the graphite film excellent in the heat insulation of the thickness direction of a film, and a graphite composite film.
（１） 高分子フィルムを熱処理して作製されるグラファイトフィルムであって、該グラファイトフィルムの内部にグラファイトフィルムの面に対して平行な空間が形成されていることを特徴とするグラファイトフィルムである。 (1) A graphite film produced by heat-treating a polymer film, wherein a space parallel to the surface of the graphite film is formed inside the graphite film.
ここで、グラファイトフィルムの「内部」とは、「表層部」及び「中央部」をいう。グラファイトフィルムの「表層部」とは、グラファイトフィルムの厚さの厚さ方向についてグラファイトフィルム表面から１μｍまでの範囲に存在するグラファイト層をいい、「中央部」とは、前記「表層部」以外の範囲に存在するグラファイト層をいう。 Here, “inside” of the graphite film means “surface layer portion” and “center portion”. The “surface layer portion” of the graphite film means a graphite layer existing in the range from the surface of the graphite film to 1 μm in the thickness direction of the graphite film, and the “central portion” means a portion other than the “surface layer portion”. It refers to the graphite layer present in the range.
また、「グラファイトフィルムの面に対して平行な空間が形成されている」とは、「空間を挟んで相対する２つのグラファイト層が少なくとも２００μｍ以上の範囲で、一方のグラファイト層に対する他方のグラファイト層の成す角度が１５゜以下であること」をいう。 In addition, “a space parallel to the surface of the graphite film is formed” means that “the two graphite layers facing each other across the space are at least 200 μm or more and the other graphite layer with respect to one graphite layer” "The angle formed by is less than 15 °".
（２）グラファイトフィルムの面に垂直な断面における前記空間の厚みが３μｍ以上であることを特徴とする（１）に記載のグラファイトフィルムである。 (2) The graphite film according to (1), wherein a thickness of the space in a cross section perpendicular to the surface of the graphite film is 3 μm or more.
（３）グラファイトフィルムの面に垂直な断面における前記空間の厚みの最小部分が３μｍ以上で、且つ、前記空間が２００μｍ以上連続して形成されていることを特徴とする（１）又は（２）に記載のグラファイトフィルムである。 (3) The minimum part of the thickness of the space in a cross section perpendicular to the surface of the graphite film is 3 μm or more, and the space is continuously formed by 200 μm or more (1) or (2) It is a graphite film as described in above.
（４）前記空間の面積がグラファイトフィルムの面に平行な断面における面積の５％以上形成されていることを特徴とする（１）〜（３）の何れかに記載のグラファイトフィルムである。 (4) The graphite film according to any one of (1) to (3), wherein an area of the space is 5% or more of an area in a cross section parallel to the surface of the graphite film.
（５）前記グラファイトフィルムの表面粗さが３以下であることを特徴とする（１）〜（４）の何れかに記載のグラファイトフィルムである。 (5) The graphite film according to any one of (1) to (4), wherein the graphite film has a surface roughness of 3 or less.
（６）前記グラファイトフィルムの面方向の熱伝導率が７５０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、厚さ方向の熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋ以下、厚さが１００μｍ以下であることを特徴とする（１）〜（５）の何れかに記載のグラファイトフィルムである。 (6) The graphite film has a surface direction thermal conductivity of 750 W / m · K or more, a thickness direction thermal conductivity of 10 W / m · K or less, and a thickness of 100 μm or less (1) The graphite film according to any one of (5) to (5).
（７）前記高分子フィルムの前記熱処理の温度は、２４００℃以上であることを特徴とする（１）〜（６）の何れかに記載のグラファイトフィルムである。 (7) The graphite film according to any one of (1) to (6), wherein the temperature of the heat treatment of the polymer film is 2400 ° C. or higher.
（８）（１）〜（７）の何れかに記載の１又は２以上のグラファイトフィルムと、１又は２以上の樹脂層とを備えたことを特徴とするグラファイト複合フィルムである。 (8) A graphite composite film comprising one or more graphite films according to any one of (1) to (7) and one or more resin layers.
（９）高分子フィルムを熱処理して作製される１又は２以上のグラファイトフィルムと、１又は２以上の樹脂層とを備えたグラファイト複合フィルムであって、該グラファイトフィルムの内部にグラファイトフィルムの面に対して平行な空間が形成されていることを特徴とするグラファイト複合フィルムである。 (9) A graphite composite film comprising one or two or more graphite films produced by heat-treating a polymer film and one or more resin layers, the surface of the graphite film inside the graphite film The graphite composite film is characterized in that a space parallel to is formed.
（１０）前記グラファイトフィルムの面方向の熱伝導率が７５０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、厚さ方向の熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋ以下、厚さが１００μｍ以下であることを特徴とする（９）に記載のグラファイト複合フィルムである。 (10) The graphite film has a thermal conductivity in the plane direction of 750 W / m · K or more, a thermal conductivity in the thickness direction of 10 W / m · K or less, and a thickness of 100 μm or less (9 Is a graphite composite film.
（１１）前記高分子フィルムの前記熱処理の温度は、２４００℃以上であることを特徴とする（９）又は（１０）に記載のグラファイト複合フィルムである。 (11) The graphite composite film according to (9) or (10), wherein the temperature of the heat treatment of the polymer film is 2400 ° C. or higher.
（１２）前記樹脂層は、絶縁層、粘着層および接着層からなる群から選択される何れかの層である（９）〜（１１）の何れかに記載のグラファイト複合フィルムである。 (12) The graphite composite film according to any one of (9) to (11), wherein the resin layer is any layer selected from the group consisting of an insulating layer, an adhesive layer, and an adhesive layer.
（１３）前記グラファイトフィルムに対し、その厚さ方向に引き剥がす力を加えることにより、前記グラファイトフィルムの内部に空間を形成することを特徴とするグラファイトフィルムの製造方法である。 (13) A method for producing a graphite film, wherein a space is formed inside the graphite film by applying a force to the graphite film to peel in the thickness direction.
（１４）前記グラファイトフィルムが圧縮処理もしくは圧延処理された後、グラファイトフィルムの厚さ方向に引き剥がす力を加えることにより、前記グラファイトフィルムの内部に空間を形成することを特徴とするグラファイトフィルムの製造方法である。 (14) After the graphite film is compressed or rolled, a space is formed inside the graphite film by applying a force to peel in the thickness direction of the graphite film. Is the method.
（１５）グラファイトフィルムと樹脂層とを有するグラファイト複合フィルムの製造方法であって、グラファイトフィルムおよび／またはグラファイト複合フィルムに対し、グラファイトフィルムの厚さ方向に引き剥がす力を加えることにより、前記グラファイトフィルムの内部に空間を形成することを特徴とするグラファイト複合フィルムの製造方法である。 (15) A method for producing a graphite composite film having a graphite film and a resin layer, wherein the graphite film and / or the graphite composite film is subjected to a peeling force in the thickness direction of the graphite film, whereby the graphite film It is a manufacturing method of the graphite composite film characterized by forming space inside.
（１６）前記グラファイトフィルムに対し、微粘着テープを貼った後、前記微粘着テープを引き剥がすことにより、前記グラファイトフィルムの内部に空間を形成することを特徴とするグラファイトフィルムの製造方法である。 (16) A method for producing a graphite film, wherein a space is formed inside the graphite film by sticking the fine adhesive tape to the graphite film and then peeling the fine adhesive tape.
（１７）グラファイトフィルムと樹脂層とを有するグラファイト複合フィルムの製造方法であって、グラファイトフィルムおよび／またはグラファイト複合フィルムに対し、微粘着テープを貼った後、前記微粘着テープを引き剥がすことにより、前記グラファイトフィルムの内部に空間を形成することを特徴とするグラファイト複合フィルムの製造方法である。 (17) A method for producing a graphite composite film having a graphite film and a resin layer, wherein the fine adhesive tape is applied to the graphite film and / or the graphite composite film, and then the fine adhesive tape is peeled off. A method for producing a graphite composite film, wherein a space is formed inside the graphite film.
本発明によれば、グラファイトフィルムの厚み方向の優れた断熱性が得られる。 According to the present invention, excellent heat insulating properties in the thickness direction of the graphite film can be obtained.
本発明のグラファイトフィルムは、グラファイトフィルムの内部に、グラファイトフィルムの面に対して平行に形成された空間を有しているものである。
ここで、高分子フィルムを熱処理して作製されるグラファイトフィルムとは、一般的に５００Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率を有するグラファイトフィルムを示す。
The graphite film of the present invention has a space formed parallel to the surface of the graphite film inside the graphite film.
Here, the graphite film produced by heat-treating a polymer film generally indicates a graphite film having a thermal conductivity of 500 W / m · K or more.
（グラファイトフィルムの厚さ）
本発明のグラファイトフィルム及び本発明のグラファイト複合フィルムを構成するグラファイトフィルムの厚みに制限はないが、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは７０μｍ以下、さらに好ましくは５０μｍ以下である。厚さの薄いグラファイトフィルム、具体的には厚さが、１００μｍ以下のグラファイトフィルムは厚さ方向に熱が伝わりやすい傾向があるので、空間を設けた場合の温度低減効果は、厚さの厚いグラファイトフィルムに比べて相対的に大きなものになる。
(Graphite film thickness)
Although there is no restriction | limiting in the thickness of the graphite film which comprises the graphite film of this invention and the graphite composite film of this invention, Preferably it is 100 micrometers or less, More preferably, it is 70 micrometers or less, More preferably, it is 50 micrometers or less. A thin graphite film, specifically, a graphite film with a thickness of 100 μm or less tends to conduct heat in the thickness direction, so the effect of reducing the temperature when a space is provided is thick graphite. It is relatively large compared to film.
（グラファイトフィルムの厚さ測定）
グラファイトフィルムの厚さは、厚さゲージ（ハイデンハイン（株）社製、ＨＥｌＤＥＮＨ：ＡＩＮ−ＣＥＲＴＯ）を用いて、２５℃の恒温室にて５０ｍｍ×５０ｍｍのフィルムの任意の１０点における平均厚さとして測定される。
(Measurement of graphite film thickness)
The thickness of the graphite film is the average thickness at any 10 points of a 50 mm × 50 mm film in a constant temperature room at 25 ° C. using a thickness gauge (HEIDENH: AIN-CERTO, manufactured by HEIDENHAIN Co., Ltd.). As measured.
（グラファイトフィルムの面方向の熱伝導率）
本発明におけるグラファイトフィルムの面方向の熱伝導率は７５０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、９００Ｗ／ｍ・Ｋ以上、１１００Ｗ／ｍ・Ｋであることがより好ましい。グラファイトフィルムの層間に空間を設けると、空間を設けていないグラファイトフィルムに比べ、厚さ方向の断熱性は高くなる。グラファイトフィルムの熱伝導率が、７５０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であれば、面方向に熱を十分に拡散させることができ、その結果としてフィルムの厚さ方向に熱が伝わることを抑制することができる。
(The thermal conductivity in the surface direction of the graphite film)
The thermal conductivity in the plane direction of the graphite film in the present invention is 750 W / m · K or more, more preferably 900 W / m · K or more and 1100 W / m · K. When the space is provided between the layers of the graphite film, the heat insulating property in the thickness direction is higher than that of the graphite film having no space. If the thermal conductivity of the graphite film is 750 W / m · K or more, heat can be sufficiently diffused in the surface direction, and as a result, heat can be prevented from being transmitted in the thickness direction of the film. .
（グラファイトフィルムの面方向の熱伝導率の算出）
グラファイトフィルムの熱伝導率は、次式（１）によって算出することができる。
(Calculation of thermal conductivity in the surface direction of graphite film)
The thermal conductivity of the graphite film can be calculated by the following formula (1).
ここで、Ａは熱伝導率、αは熱拡散率、ｄは密度、そしてＣｐは比熱容量をそれぞれ表わしている。なお、グラファイトフィルムの熱拡散率、密度、および比熱容量は以下に述べる方法で求めることができる。 Here, A represents thermal conductivity, α represents thermal diffusivity, d represents density, and Cp represents specific heat capacity. In addition, the thermal diffusivity, density, and specific heat capacity of a graphite film can be calculated | required by the method described below.
（光交流法によるグラファイトフィルムの面方向の熱拡散率測定）
グラファイトフィルムの熱拡散率は、光交流法による熱拡散率測定装置（アルバック理工（株）社から入手可能な「ＬａｓｅｒＰｉｔ」）を用い、４ｍｍ×４０ｍｍの形状に切り取ったグラファイトフィルムのサンプルについて、２０℃の雰囲気下で１０Ｈｚの交流条件で測定した。
(Measurement of thermal diffusivity in the surface direction of graphite film by optical alternating current method)
The thermal diffusivity of the graphite film is 20 for a graphite film sample cut into a 4 mm × 40 mm shape using a thermal diffusivity measuring apparatus (“LaserPit” available from ULVAC-RIKO Co., Ltd.). The measurement was performed under an AC condition of 10 Hz in an atmosphere of ° C.
（グラファイトフィルムの比熱測定）
グラファイトフィルムの比熱測定は、エスアイアイナノテクノロジー株式会社製の熱分析システムである示差走査熱量計ＤＳＣ２２０ＣＵを使用して、２０℃から２６０℃まで１０℃／ｍｉｎの昇温条件で測定を行なった。
(Specific heat measurement of graphite film)
The specific heat of the graphite film was measured using a differential scanning calorimeter DSC220CU which is a thermal analysis system manufactured by SII Nano Technology Co., Ltd. under a temperature rising condition of 10 ° C./min from 20 ° C. to 260 ° C.
（グラファイトフィルムの厚さ方向の熱伝導率）
本発明におけるグラファイトフィルムの厚さ方向の熱伝導率は、１０Ｗ／ｍ・Ｋ以下であればよい。厚さ方向の熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋ以下であれば、発熱部品から厚さ方向への熱伝導が抑制され、面方向に拡散する熱の割合が大きくなる。
(The thermal conductivity in the thickness direction of the graphite film)
The thermal conductivity in the thickness direction of the graphite film in the present invention may be 10 W / m · K or less. If the heat conductivity in the thickness direction is 10 W / m · K or less, heat conduction from the heat-generating component in the thickness direction is suppressed, and the proportion of heat diffused in the surface direction increases.
（グラファイトフィルムの厚さ方向の熱伝導率測定）
熱拡散率および熱伝導率測定は、Ｂｒｕｋｅｒ製のナノフラッシュを用い、グラファイトフィルムを直径２５．４ｍｍにカットした試験片により、室温でレーザーフラッシュ法に基づいて行った。また、グラファイトフィルムの熱容量を熱容量が既知である参照標準物質Ｍｏとの比較から求めた。これらの測定したグラファイト複合フィルムの熱伝導率は、熱拡散率、密度、および比熱により、下式（２）に基づいて算出した。
(Measurement of thermal conductivity in the thickness direction of graphite film)
The thermal diffusivity and the thermal conductivity were measured based on the laser flash method at room temperature using a Bruker nanoflash and a test piece obtained by cutting a graphite film into a diameter of 25.4 mm. Further, the heat capacity of the graphite film was determined by comparison with a reference standard substance Mo having a known heat capacity. The measured thermal conductivity of the graphite composite film was calculated based on the following formula (2) by the thermal diffusivity, density, and specific heat.
ここで、λ：熱伝導率（Ｗ／ｍＫ）
α：熱拡散率（ｍ２／ｓ）
ｄ：密度（ｋｇ／ｍ３）
Ｃ：比熱（Ｊ／ｋｇ・Ｋ）
厚さ方向の熱拡散率および熱伝導率の値が大きいほど、厚さ方向の熱伝導性が高いことを意味している。
Where λ: thermal conductivity (W / mK)
α: Thermal diffusivity (m2 / s)
d: Density (kg / m3)
C: Specific heat (J / kg · K)
The larger the value of the thermal diffusivity and the thermal conductivity in the thickness direction, the higher the thermal conductivity in the thickness direction.
＜グラファイトフィルムの作製＞
（グラファイトフィルム）
本発明において好適に用いられるグラファイトフィルムは、高分子フィルムを熱処理することによって製造することができる。グラファイトフィルムの製造に適した高分子フィルムとしては、ポリイミド、ポリアミド、ポリオキサジアゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、ポリパラフェニレンビニレン、ポリベンゾイミダゾール、ポリベンゾビスイミダゾール、ポリチアゾールのうちから選ばれた少なくとも一種類以上の高分子フィルムを例示することができる。
<Production of graphite film>
(Graphite film)
The graphite film suitably used in the present invention can be produced by heat-treating a polymer film. Polymer films suitable for the production of graphite films include polyimide, polyamide, polyoxadiazole, polybenzothiazole, polybenzobisthiazole, polybenzoxazole, polybenzobisoxazole, polyparaphenylene vinylene, polybenzimidazole, poly Examples thereof include at least one polymer film selected from benzobisimidazole and polythiazole.
特に、高分子フィルムとして好ましいのは、ポリイミドフィルムである。ポリイミドフィルムは、他の有機材料を原料とする高分子フィルムよりも、炭化および黒鉛化によりグラファイトの層構造が発達し易いためである。
さらに、本願発明ではポリイミドフィルムの複屈折について特に制限はないが、複屈折が０．０８以上であれば、フィルムの炭化、黒鉛化が進行し易くなるため、グラファイトの層が発達したグラファイトフィルムが得られ易くなり、層同士が平行に形成されやすく、厚み方向に力を加えた際に、層間が剥がれやすくなり、グラファイトフィルムの面に対して平行な空間を形成しやすい。また、ポリイミドフィルムの複屈折がより高い方が、得られるグラファイトフィルムの面方向の熱伝導率、電気伝導率、熱拡散係数などが高くなるために好ましい。
また、グラファイトフィルムの厚みが薄ければ、例えばグラファイトフィルムの一面に熱源を接触させた場合に、熱源の影響を受けてグラファイトフィルムの他面の表面温度が十分に低減されないことがあるが、このような場合において、本発明の空間を有するグラファイトフィルムは、他面の表面温度を効果的に低減させることができる。
In particular, a polyimide film is preferable as the polymer film. This is because a polyimide layer structure is easily developed by carbonization and graphitization in a polyimide film as compared with a polymer film using other organic materials as a raw material.
Furthermore, in the present invention, there is no particular limitation on the birefringence of the polyimide film. However, if the birefringence is 0.08 or more, carbonization and graphitization of the film is likely to proceed. It becomes easy to be obtained, the layers are easily formed in parallel, and when a force is applied in the thickness direction, the layers are easily peeled off, and a space parallel to the surface of the graphite film is easily formed. Moreover, since the birefringence of a polyimide film is higher, the thermal conductivity, electric conductivity, thermal diffusion coefficient, etc. in the surface direction of the obtained graphite film are preferable.
If the graphite film is thin, for example, when a heat source is brought into contact with one surface of the graphite film, the surface temperature of the other surface of the graphite film may not be sufficiently reduced due to the influence of the heat source. In such a case, the graphite film having the space of the present invention can effectively reduce the surface temperature of the other surface.
（複屈折）
ここにいう複屈折とは、フィルム面内の任意方向の屈折率と厚さ方向の屈折率との差を意味し、フィルム面内の任意方向Ｘの複屈折△ｎｘは次式（３）で与えられる。
(Birefringence)
Birefringence here means the difference between the refractive index in the arbitrary direction in the film plane and the refractive index in the thickness direction, and birefringence Δnx in the arbitrary direction X in the film plane is expressed by the following equation (3). Given.
（複屈折の測定）
高分子フィルムの複屈折は、２５℃の雰囲気下で、メトリコン社製の屈折率・膜厚測定システム（型番：２０１０、プリズムカプラ）を使用して測定できる。測定は、波長５９４ｎｍの光源を用い、ＴＥモードとＴＭモードでそれぞれ屈折率を測定し、その差（ＴＥ−ＴＭ）の値を複屈折の値とすることができる。なお、前述の「フィルム面内の任意方向Ｘ」とは、例えばフィルム形成時における材料流れの方向を基準として、図１のように、Ｘ方向が面内の０°方向、４５°方向、９０°方向、１３５°方向のどの方向においても、の意味である。従って、複屈折の測定は、上記装置に、サンプルを０°方向、４５°方向、９０°方向、１３５°方向でセットし、各角度で複屈折を測定し、その平均を複屈折とするのが好ましい。
(Measurement of birefringence)
The birefringence of the polymer film can be measured using a refractive index / film thickness measurement system (model number: 2010, prism coupler) manufactured by Metricon in an atmosphere of 25 ° C. The measurement can be performed using a light source with a wavelength of 594 nm, measuring the refractive index in each of the TE mode and the TM mode, and setting the difference (TE-TM) as the birefringence value. The above-mentioned “arbitrary direction X in the film plane” refers to, for example, the direction of material flow at the time of film formation as shown in FIG. This means in any direction of the ° direction and the 135 ° direction. Therefore, the birefringence is measured by setting the sample in the above-mentioned apparatus at 0 ° direction, 45 ° direction, 90 ° direction and 135 ° direction, measuring the birefringence at each angle, and taking the average as the birefringence. Is preferred.
（炭化および黒鉛化）
高分子フィルムからグラファイトフィルムを得るには、炭化工程、黒鉛化工程は連続で行われても良いし、非連続で行われても良い。炭化工程では、出発物質である高分子フィルムを減圧下もしくは不活性ガス中で予備加熱処理して炭化する。この炭化は、通常１０００℃程度の温度で行う。炭化工程の次の黒鉛化工程は、減圧下もしくは不活性ガス中で行われるが、不活性ガスとしてはアルゴン、ヘリウムが適している。本発明の製造方法における黒鉛化の熱処理温度としては、最低でも２４００℃以上、より好ましくは２６００℃以上、さらに好ましくは２８００℃以上であり、特に好ましくは、２９００℃以上である。２４００℃以上に熱処理すると、グラファイトの層が発達し、層状構造を形成するために、厚み方向に力を加えた際に、層間が剥がれやすくなり、空間を形成しやすいグラファイトフィルムとなる。
(Carbonization and graphitization)
In order to obtain a graphite film from the polymer film, the carbonization step and the graphitization step may be performed continuously or discontinuously. In the carbonization step, the polymer film as a starting material is carbonized by preheating treatment under reduced pressure or in an inert gas. This carbonization is usually performed at a temperature of about 1000 ° C. The graphitization step subsequent to the carbonization step is performed under reduced pressure or in an inert gas, and argon and helium are suitable as the inert gas. The heat treatment temperature for graphitization in the production method of the present invention is at least 2400 ° C. or more, more preferably 2600 ° C. or more, further preferably 2800 ° C. or more, and particularly preferably 2900 ° C. or more. When heat treatment is performed at 2400 ° C. or higher, a graphite layer develops, and when a force is applied in the thickness direction to form a layered structure, the layers are easily peeled off, and a graphite film is easily formed.
＜樹脂層＞
本発明のグラファイト複合フィルムは、上記のグラファイトフィルムに加えて、樹脂層を有している。樹脂層は１層であっても、２層以上であってもよい。樹脂層には、図２、符号３、５で示される、保護層、絶縁層、粘着層、接着層等の機能を持たせることができる。
<Resin layer>
The graphite composite film of the present invention has a resin layer in addition to the above graphite film. The resin layer may be one layer or two or more layers. The resin layer can have functions such as a protective layer, an insulating layer, an adhesive layer, and an adhesive layer shown in FIG.
（保護層）
図２、符号３で示される、グラファイトフィルム１を保護するための層であり、公知の各種フィルムを使用することができる。保護層は、グラファイトフィルム１の少なくとも片面に形成することが好ましい。
(Protective layer)
It is a layer for protecting the graphite film 1 shown by the code | symbol 3 in FIG. 2, and a well-known various film can be used. The protective layer is preferably formed on at least one side of the graphite film 1.
（絶縁層）
本発明の絶縁層は、図２、符号３で示されるように用いられ、導電性を有するグラファイトフィルム１が電子機器内で用いられる場合に、電子部品との接触により生ずるショートを防ぐ目的で設けられる。絶縁層としては、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステルなどの樹脂フィルムの片面に、アクリル系、シリコーン系、エポキシ系、ポリイミド系等の粘着材や接着材が形成された絶縁テープが好ましい。また、ポリエステル系などのホットメルトタイプ（熱可塑性）のテープであってもよい。エポキシ、フェノールまたはゴム系の塗料などを用いてコーティングによって絶縁層を形成してもよい。
(Insulating layer)
The insulating layer of the present invention is used as shown in FIG. 2 and reference numeral 3, and is provided for the purpose of preventing a short circuit caused by contact with an electronic component when the conductive graphite film 1 is used in an electronic device. It is done. As the insulating layer, an insulating tape in which an adhesive material or an adhesive material such as acrylic, silicone, epoxy, or polyimide is formed on one surface of a resin film such as polyimide, polyethylene terephthalate, polyethylene, polypropylene, or polyester is preferable. Further, it may be a hot melt type (thermoplastic) tape such as polyester. The insulating layer may be formed by coating using an epoxy, phenol or rubber-based paint.
（粘着層）
グラファイトフィルム１を筐体や電子部品等に固定する場合、図２、符号５で示されるように用いられ、粘着材や両面テープにより貼り付けられる。粘着材の材質としては、アクリル系、シリコーン系等の樹脂がある。また両面テープとしては、樹脂フィルムに粘着材が塗布されたものを使用することができる。
(Adhesive layer)
When fixing the graphite film 1 to a housing, an electronic component or the like, it is used as shown in FIG. Examples of the material of the adhesive material include acrylic and silicone resins. Moreover, as a double-sided tape, what apply | coated the adhesive material to the resin film can be used.
（接着層）
また、グラファイトフィルム１を筐体や電子部品等に固定する場合、図２、符号５で示されるように用いられ、接着材により貼り付ける場合もある。接着材の材質としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等を使用することができる。
(Adhesive layer)
Moreover, when fixing the graphite film 1 to a housing | casing, an electronic component, etc., it uses as shown by FIG. 2, the code | symbol 5, and may affix with an adhesive material. An epoxy resin, a phenol resin, a polyimide resin, or the like can be used as the material for the adhesive.
（空間）
本発明のグラファイトフィルムおよびグラファイト複合フィルムにおいては、グラファイトフィルムと空間とを設けることによって、空間が厚さ方向に熱抵抗性を発揮して断熱効果を奏する。特に、面方向にグラファイト層が発達し、面方向の熱伝導率が７５０Ｗ／ｍ・Ｋ以上のグラファイトフィルムを用いた場合、厚さ３μｍ以上、好ましくは５μｍ以上の空間が存在すれば、厚さ方向への熱伝導が大きく抑制される。換言すれば、発熱部品からの熱を空間によって断熱し、さらに、グラファイトフィルムにより熱を拡散させて均一化することによって、筐体の温度上昇を抑制することが可能となる。さらに、グラファイトフィルムに断熱材を積層する場合のように、グラファイトフィルムと断熱材との貼り合わせが不良となる、使用時に層間剥離が生じる、各層の線膨張係数の違いから高温度下でのひずみが生じる、といった問題を改善することができる。また、余分な断熱材を使用することなく、容易に薄くて放熱性および断熱性に優れたフィルムを作製することができる。
(space)
In the graphite film and the graphite composite film of the present invention, by providing the graphite film and the space, the space exhibits heat resistance in the thickness direction and exhibits a heat insulating effect. In particular, when a graphite layer is developed in the plane direction and a graphite film having a thermal conductivity in the plane direction of 750 W / m · K or more is used, if there is a space having a thickness of 3 μm or more, preferably 5 μm or more, the thickness Heat conduction in the direction is greatly suppressed. In other words, heat from the heat-generating component is insulated by the space, and further, the heat is diffused by the graphite film and uniformed, thereby suppressing an increase in the temperature of the housing. Furthermore, as in the case of laminating a heat insulating material on a graphite film, the bonding between the graphite film and the heat insulating material becomes poor, delamination occurs during use, and strain at high temperature due to the difference in the linear expansion coefficient of each layer Can be solved. In addition, a film that is easily thin and excellent in heat dissipation and heat insulation can be produced without using extra heat insulating material.
（空間の形態）
本発明の空間は、連続し、該空間がグラファイトフィルムの面に対して平行に設けられることが好ましい。このように空間を設けることにより、グラファイト層の配向の乱れを抑えることができ、グラファイトフィルムの面方向への熱拡散の能力を保持しつつ、空間により厚さ方向の断熱を図ることができる。本発明において、空間とは、グラファイト層の間に３μｍ以上の空隙が存在する状態をいい、厚み方向の断熱効果を奏するために、空間の厚さは３μｍ以上であることが好ましく、５μｍ以上、１０μｍ以上、２０μｍ以上、５０μｍ以上が特に好ましい。ここで空間の厚みとは、空間の平均厚みのことをいう。またこの空間は、１．０ｍｍ以上連続して形成されていることが好ましく、５．０ｍｍ以上、１０ｍｍ以上、５０ｍｍ以上連続して形成されていることが特に好ましい。ここで、本発明においてはグラファイト層の少しの破れであれば許容することができ、この空間には、体積密度５．０ｍａｓｓ％以内であればグラファイト層が混在していても良い。また平行とは、グラファイトフィルムの面と空間を形成している２つのグラファイト層との角度が１５°以下である状態のことをいう。
空間の面積とは、グラファイトフィルムの面に平行な断面における面積、即ち、グラファイトフィルムの厚み方向に垂直な面にグラファイトフィルムを切断した場合に切断面に現れるグラファイト以外の部分（空間に相当する箇所）の面積をいう。
空間の形成される面積は、グラファイトフィルムの面積の５％以上であることが好ましく、より好ましくは２０％以上、さらに好ましくは５０％以上である。空間の面積がグラファイトフィルムの面積の５％以上存在すれば、グラファイトフィルムの厚み方向への熱伝導を効果的に阻害することができる。
また、空間は、グラファイトフィルム表面の最高温度となる部分の内部、例えば、グラファイトフィルムが発熱体と接触している部分の内部に形成されていることが好ましい。熱量の一番多い部分に空間が形成されていることで、断熱効果がより発揮され、グラファイトフィルムの面方向への熱の拡散がより促進されるために良い。
空間を形成する場所は、グラファイトフィルムの内部である。
(Form of space)
It is preferable that the space of the present invention is continuous and the space is provided in parallel to the surface of the graphite film. By providing the space in this manner, the disorder of the orientation of the graphite layer can be suppressed, and the heat insulation in the thickness direction can be achieved by the space while maintaining the ability of thermal diffusion in the plane direction of the graphite film. In the present invention, the space means a state in which a gap of 3 μm or more exists between the graphite layers, and in order to exert a heat insulating effect in the thickness direction, the thickness of the space is preferably 3 μm or more, preferably 5 μm or more, 10 micrometers or more, 20 micrometers or more, 50 micrometers or more are especially preferable. Here, the thickness of the space refers to the average thickness of the space. Further, this space is preferably formed continuously by 1.0 mm or more, and particularly preferably formed continuously by 5.0 mm or more, 10 mm or more, or 50 mm or more. Here, in the present invention, a slight breakage of the graphite layer can be tolerated, and a graphite layer may be mixed in this space as long as the volume density is within 5.0 mass%. Parallel means a state where the angle between the surface of the graphite film and the two graphite layers forming the space is 15 ° or less.
The area of the space is the area in a cross section parallel to the surface of the graphite film, that is, the portion other than graphite that appears on the cut surface when the graphite film is cut in a plane perpendicular to the thickness direction of the graphite film (location corresponding to the space) ).
The area where the space is formed is preferably 5% or more of the area of the graphite film, more preferably 20% or more, and still more preferably 50% or more. If the area of the space is 5% or more of the area of the graphite film, the heat conduction in the thickness direction of the graphite film can be effectively inhibited.
Moreover, it is preferable that the space is formed inside a portion of the graphite film surface where the maximum temperature is reached, for example, inside a portion where the graphite film is in contact with the heating element. Since the space is formed in the portion with the largest amount of heat, the heat insulation effect is more exhibited, and the diffusion of heat in the surface direction of the graphite film is further promoted.
The place where the space is formed is inside the graphite film.
（空間の形成方法）
グラファイトフィルムおよび／またはグラファイト複合フィルムに微粘着テープを貼り合わせ、この微粘着テープを引き剥がしてフィルムの厚さ方向に引き剥がす力を加えることによって、グラファイトフィルムに空間を形成することができる。空間の形成は、高分子フィルムを熱処理後、得られるグラファイトフィルムを圧延および／または圧縮した後に行うのがよい。特に、結晶性に優れたポリイミドフィルムを原料とするグラファイトフィルムにおいては、グラファイト層が高度に発達しているため、上記のように粘着テープや微粘着テープ等を貼付して剥がした際、層間が剥がれ易く、空間を形成しやすい。また、高分子フィルムを熱処理後、得られるグラファイトフィルムを圧延および／または圧縮することで、熱処理後のグラファイトフィルム中に不均一に存在する空間を除去することができ、その後、厚み方向に引き剥がす力を加えることでグラファイトフィルムの面に平行な空間を形成することができる。
(Space formation method)
A space can be formed in the graphite film by attaching a fine adhesive tape to the graphite film and / or the graphite composite film, peeling off the fine adhesive tape, and applying a force for peeling in the thickness direction of the film. The space is preferably formed after heat treatment of the polymer film and after rolling and / or compression of the resulting graphite film. In particular, in a graphite film made of a polyimide film having excellent crystallinity, the graphite layer is highly developed, so when the adhesive tape or the slightly adhesive tape is applied and peeled off as described above, the interlayer is It is easy to peel off and easily form a space. Moreover, after heat-treating the polymer film, the resulting graphite film can be rolled and / or compressed to remove the non-uniform space in the heat-treated graphite film, and then peeled off in the thickness direction. A space parallel to the surface of the graphite film can be formed by applying force.
（空間の種類）
空間の種類として、本発明のような（１）グラファイトフィルムの面に対して平行な空間と（２）不均一に形成された空間がある。
（１）グラファイトフィルムの面に対して平行な空間・・・本発明の空間は、厚み３μｍ以上の空間が、グラファイトフィルムの面に対して平行に設けられることを特徴とし、この空間は、２００μｍ以上連続していることが好ましく、１ｍｍ以上連続していることがより好ましい。このような空間の形成方法としては、グラファイトフィルムの層間を剥離させることによる形成方法やグラファイトフィルムを二枚以上重ねることによる形成方法などが考えられる。しかし、グラファイトフィルムを単純に二枚以上重ねるような空間の形成方法の場合、グラファイトフィルム間に空間が形成されるが、空間厚みはわずかであり、厚みの厚い空間を形成することは難しく、厚み方向への断熱効果を大きくすることは難しい。また、グラファイトフィルム間に部分的に粘着剤などを形成し、グラファイトフィルム間に空間を形成する方法も考えられるが、グラファイトフィルムを二枚以上重ねる場合、グラファイトフィルムを数枚使う必要があり、コスト的に高くなってしまう。また、より薄いグラファイト複合フィルムを作成しようとした場合、グラファイトフィルムを二枚以上重ねて作成する方法では、厚くなりがちである。
（２）不均一に形成された空間・・・不均一に形成された空間は、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように大きさ、形などが不均一な空間がいくつも存在しており、それらの厚みは一定ではなく、また、空間の長さは、１ｍｍ以上のものは存在していなかった。また、不均一に形成された空間では、グラファイト層がグラファイトシートの厚さ方向への成長が目立ち、本発明のようなグラファイトフィルムの面に平行に形成されたグラファイトフィルムに比べ、厚み方向へ熱を伝達しやすくなると考えられる。また、不均一に形成された空間により、表面粗さが大きくなり発熱源との接触が悪くなり、発熱源に熱がこもりやすくなり、温度低減効果が少なくなると予測される。
(Type of space)
As types of space, there are (1) a space parallel to the surface of the graphite film and (2) a nonuniformly formed space as in the present invention.
(1) Space parallel to the plane of the graphite film: The space of the present invention is characterized in that a space having a thickness of 3 μm or more is provided in parallel to the plane of the graphite film, and this space is 200 μm. It is preferable that it is continuous above, and it is more preferable that it is continuous 1 mm or more. As a method of forming such a space, a method of forming by separating the layers of the graphite film, a method of forming two or more graphite films, and the like can be considered. However, in the case of a method of forming a space in which two or more graphite films are simply stacked, a space is formed between the graphite films, but the space thickness is small and it is difficult to form a thick space. It is difficult to increase the heat insulation effect in the direction. In addition, it is possible to form a space between graphite films by partially forming an adhesive between graphite films. However, when two or more graphite films are stacked, it is necessary to use several graphite films, which is costly. It becomes expensive. Further, when trying to create a thinner graphite composite film, the method of stacking two or more graphite films tends to be thick.
(2) Unevenly formed space: As shown in FIGS. 6A and 6B, the nonuniformly formed space has a number of nonuniformly sized and shaped spaces. Their thickness was not constant, and the length of the space was not 1 mm or more. Also, in a non-uniformly formed space, the graphite layer grows in the thickness direction of the graphite sheet, and heat is increased in the thickness direction as compared with the graphite film formed parallel to the surface of the graphite film as in the present invention. It will be easier to communicate. In addition, the unevenly formed space is expected to increase the surface roughness and make contact with the heat source worse, making it easier for heat to accumulate in the heat source and reducing the temperature reduction effect.
＜微粘着テープ＞
（微粘着テープの基材）
基材としては、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン、ポリエステルなどの樹脂フィルムが良い。ＰＥＴなどの剛性弾性率の高い樹脂フィルムを用いると、層間の剥がれが大きくなり、空間が大きくできやすい。また、ＰＥなどの比較的弾性率の低い樹脂フィルムを用いると、引き剥がし部分の樹脂フィルムがよりしなり、引き剥がしの力を分散させるために、空間はコシのあるフィルムに比べて小さくなる。さらに、同じ基材であってもその厚みが薄くなれば、コシは小さくなるので、空間もより小さく形成される。
<Slight adhesive tape>
(Substrate of fine adhesive tape)
As the substrate, resin films such as polyimide, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene (PE), polypropylene, and polyester are preferable. When a resin film having a high rigidity elastic modulus such as PET is used, peeling between layers increases, and a space can be easily increased. In addition, when a resin film having a relatively low elastic modulus such as PE is used, the resin film at the peeling portion becomes more distorted and the peeling force is dispersed, so that the space becomes smaller than a firm film. Furthermore, even if it is the same base material, since the stiffness will become small if the thickness becomes thin, space will also be formed smaller.
（引き剥がし角度）
微粘着テープの引き剥がし角度に規定はないが、角度が大きくなるとグラファイトフィルムの層間剥離はより小さくなり、空間もより小さく形成される。
(Peeling angle)
The peeling angle of the slightly adhesive tape is not specified, but as the angle increases, the delamination of the graphite film becomes smaller and the space is also made smaller.
（微粘着テープの粘着層）
粘着層としては、アクリル系、シリコーン系等の粘着材が好ましい。粘着層の厚みとしては、好ましくは１μｍ以上１５μｍ以下、より好ましくは１μｍ以上１０μｍ以下である。この範囲であれば、効果的にグラファイトフィルムに空間を形成することができ、グラファイトフィルムやグラファイト複合フィルムから剥がれなくなるといったこともないために良い。また、粘着層の厚みが厚いほど、粘着力が強くなるために、空間はより大きく形成されることになる。
(Adhesive layer of fine adhesive tape)
As the adhesive layer, an acrylic or silicone adhesive is preferable. The thickness of the adhesive layer is preferably 1 μm or more and 15 μm or less, and more preferably 1 μm or more and 10 μm or less. If it is this range, a space can be effectively formed in the graphite film, and it is good because there is no possibility that the graphite film or the graphite composite film will not be peeled off. Moreover, since the adhesive force becomes stronger as the thickness of the adhesive layer increases, the space is formed larger.
（空間の形成される場所）
空間の形成される場所としては、グラファイトフィルム内部が考えられるが、これらは微粘着テープを貼る場所によって制御できる。具体的には、（１）グラファイトフィルムに微粘着テープを貼り合わせた後引き剥がす場合には、空間はグラファイトフィルム中央部に形成されやすい。（２）グラファイトフィルムと樹脂層からなるグラファイト複合フィルムに微粘着テープを貼り合わせた後引き剥がす場合には、空間はグラファイトフィルム表層部に形成されやすい。これは、グラファイトフィルムに直接微粘着テープを貼ることで、微粘着テープを引き剥がしたときの力がグラファイトフィルム内部にまで及ぶためで、グラファイト複合フィルムの状態で同様の操作を行うと、引き剥がしの力がグラファイト内部まで達せず、表層部のみに及ぶためであると考えられる。
(Place where space is formed)
Although the inside of a graphite film can be considered as a place where space is formed, these can be controlled by a place where a slightly adhesive tape is applied. Specifically, (1) When the fine adhesive tape is bonded to the graphite film and then peeled off, the space is easily formed at the center of the graphite film. (2) When a fine adhesive tape is attached to a graphite composite film composed of a graphite film and a resin layer and then peeled off, the space is easily formed on the surface of the graphite film. This is because the force when the fine adhesive tape is peeled off extends directly to the inside of the graphite film by sticking the fine adhesive tape directly on the graphite film. If the same operation is performed in the state of the graphite composite film, the peeling will occur. This is thought to be due to the fact that this force does not reach the inside of the graphite and only reaches the surface layer.
（グラファイトフィルムの表面粗さ）
グラファイトフィルムの表面粗さが小さければ、発熱体との接触面積が大きくなるため、発熱体からの熱を効率よくグラファイトフィルムに伝達することができる。
表面粗さを小さくする方法としては、グラファイトフィルムをグラファイト化の後に圧縮処理または圧延処理を行うと良い。特に圧縮処理を行った場合は、面でフィルムに圧力をかけるため、表面がより平坦になり、表面粗さを小さくすることができるために良い。ここで、「圧延処理」とは、グラファイトフィルムの厚さより小さい間隙を有する２本のロールの間を通過させることをいう。
(Surface roughness of graphite film)
If the surface roughness of the graphite film is small, the contact area with the heating element becomes large, so that heat from the heating element can be efficiently transferred to the graphite film.
As a method for reducing the surface roughness, the graphite film is preferably subjected to compression treatment or rolling treatment after graphitization. In particular, when a compression treatment is performed, pressure is applied to the film by the surface, so that the surface becomes flatter and the surface roughness can be reduced. Here, the “rolling process” refers to passing between two rolls having a gap smaller than the thickness of the graphite film.
グラファイトフィルムの表面粗さＲａは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１に基づいて得られる値である。具体的には、表面粗さ測定機ＳＥ３５００（(株)小坂研究所製）を使用し、２５℃の雰囲気下で表面粗さＲａを測定した。グラファイトフィルムの表面粗さＲａは、グラファイトフィルムを長さ１００ｍｍ×幅３ｍｍのサイズに切り取り、カットオフ０．８ｍｍ、送り速度２ｍｍ／ｓｅｃとしてチャートを描かせ、基準長さＬの部分を切り取り、その切り取り部分の中心線をＸ軸、縦方向をＹ軸として、粗さ曲線Ｙ＝ｆ（Ｘ）で表したとき、次の式（４）で得られる値をμｍで表したものである。 The surface roughness Ra of the graphite film is a value obtained based on JIS B 0601. Specifically, the surface roughness Ra was measured under an atmosphere of 25 ° C. using a surface roughness measuring machine SE3500 (manufactured by Kosaka Laboratory Ltd.). The surface roughness Ra of the graphite film is obtained by cutting the graphite film into a size of 100 mm length × 3 mm width, drawing a chart with a cut-off of 0.8 mm and a feed rate of 2 mm / sec, cutting out a portion of the reference length L, When the center line of the cut portion is the X axis and the vertical direction is the Y axis, the value obtained by the following equation (4) is expressed in μm when expressed by the roughness curve Y = f (X).
この測定は、基準長（Ｌ）を８０ｍｍとする３個の試料について行い、その平均値を算出したものを、本明細書における「表面粗さＲａ」とする。 This measurement is performed on three samples having a reference length (L) of 80 mm, and the average value is calculated as “surface roughness Ra” in this specification.
以下に実施例により発明の実施態様、効果を示すが、本願発明はこれに限られるものではない。 Embodiments and effects of the present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.
＜グラファイトフィルム＞
［グラファイトフィルムＡ］
４，４’−オキシジアニリンの１当量を溶解したＤＭＦ（ジメチルフォルムアミド）溶液に、ピロメリツト酸二無水物の１当量を溶解してポリアミド酸溶液（１８．５ｗｔ％）を得た。この溶液を冷却しながら、ポリアミド酸に含まれるカルボン酸基に対して、１当量の無水酢酸、１当量のイソキノリンおよびＤＭＦを含むイミド化触媒を添加し、脱泡を行った。次に、この混合溶液が、乾燥後に所定の厚さになるようにアルミ箔上に塗布した。次に、アルミ箔上の混合溶液層を熱風オーブンおよび遠赤外線ヒーターを用いて乾燥させた。以上により、厚さ７５μｍのポリイミドフィルム（弾性率３．１ＧＰａ、吸水率２．５％、複屈折０．１０、線膨張係数３．０×１０−５／℃）を製造した。
<Graphite film>
[Graphite film A]
One equivalent of pyromellitic dianhydride was dissolved in a DMF (dimethylformamide) solution in which one equivalent of 4,4′-oxydianiline was dissolved to obtain a polyamic acid solution (18.5 wt%). While this solution was cooled, an imidization catalyst containing 1 equivalent of acetic anhydride, 1 equivalent of isoquinoline and DMF was added to the carboxylic acid group contained in the polyamic acid to perform defoaming. Next, this mixed solution was applied onto an aluminum foil so as to have a predetermined thickness after drying. Next, the mixed solution layer on the aluminum foil was dried using a hot air oven and a far infrared heater. Thus, a polyimide film having a thickness of 75 μm (elastic modulus 3.1 GPa, water absorption 2.5%, birefringence 0.10, linear expansion coefficient 3.0 × 10 −5 / ° C.) was produced.
このようにして作製したポリイミドフィルムを黒鉛板に挟み、電気炉を用いて、１０００℃まで昇温して炭化処理（炭素化処理）を行った。炭素化処理により得られた炭素化フィルムＡを黒鉛板に挟み、黒鉛化炉を用いて、昇温速度１℃／ｍｉｍで２９００℃まで昇温して黒鉛化処理を行い、グラファイトフィルムＡ（厚さ６０μｍ）を得た。 The polyimide film thus produced was sandwiched between graphite plates and heated to 1000 ° C. using an electric furnace to perform carbonization treatment (carbonization treatment). The carbonized film A obtained by the carbonization treatment is sandwiched between graphite plates, and is graphitized by using a graphitization furnace to raise the temperature to 2900 ° C. at a temperature increase rate of 1 ° C./mim. 60 μm) was obtained.
［グラファイトフィルムＡａ］
グラファイトフィルムＡを２０ＭＰａの圧力で単板プレスにて厚さ方向に圧縮して、グラファイトフィルムＡａ（厚さ３７μｍ）を得た。
[Graphite film Aa]
The graphite film A was compressed in the thickness direction with a single plate press at a pressure of 20 MPa to obtain a graphite film Aa (thickness: 37 μm).
［グラファイトフィルムＡｂ］
グラファイトフィルムＡを圧延処理により厚さ方向に圧延することにより、グラファイトフィルムＡｂ（厚さ３７μｍ）を得た。ここでの圧延処理とは、ローラ間隔３７μｍに設定した、２本のステンレス製のロールの間を通過させる事によって行われる処理のことをいう。
[Graphite film Ab]
The graphite film Ab (thickness: 37 μm) was obtained by rolling the graphite film A in the thickness direction by a rolling process. The rolling process here refers to a process performed by passing between two stainless steel rolls set at a roller interval of 37 μm.
［グラファイトフィルムＢ］
黒鉛化処理を昇温速度２℃／ｍｉｍで行ったこと以外はグラファイトフィルムＡと同様にして、グラファイトフィルムＢ（厚さ１００μｍ）を得た。
[Graphite film B]
A graphite film B (thickness: 100 μm) was obtained in the same manner as the graphite film A, except that the graphitization was performed at a heating rate of 2 ° C./mim.
［グラファイトフィルムＣａ］
厚さ５０μｍのポリイミドフィルムを用いたこと以外はグラファイトフィルムＡａと同様にしてグラファイトフィルムＣａ（厚さ２５μｍ）を得た。
［グラファイトフィルムＤａ］
厚さ２５μｍのポリイミドフィルムを用いたこと以外はグラファイトフィルムＡａと同様にしてグラファイトフィルムＤａ（厚さ１０μｍ）を得た。
[Graphite film Ca]
A graphite film Ca (thickness: 25 μm) was obtained in the same manner as the graphite film Aa, except that a polyimide film with a thickness of 50 μm was used.
[Graphite film Da]
A graphite film Da (thickness 10 μm) was obtained in the same manner as the graphite film Aa except that a polyimide film having a thickness of 25 μm was used.
［グラファイトフィルムＥ］
酸化処理（過酸化水素、過塩素酸等）の存在下、天然鱗状黒鉛の層間に、硫酸、硝酸等を挿入し、形成された層間化合物を９００〜１２００℃程度の高温で急激に加熱することで分解ガス化し、このときのガス圧によって黒鉛の層間を拡げて黒鉛を膨張させた。以上のようにして得られた膨張黒鉛を圧縮予備成形し、その後ロールで圧延することによりグラファイトフィルムＤ（厚さ１００μｍ）を得た。
[Graphite film E]
In the presence of oxidation treatment (hydrogen peroxide, perchloric acid, etc.), sulfuric acid, nitric acid, etc. are inserted between natural scaly graphite layers, and the formed intercalation compound is rapidly heated at a high temperature of about 900 to 1200 ° C. The gas was decomposed and gas was expanded to expand the graphite layer by the gas pressure at this time. The expanded graphite obtained as described above was compression-preformed and then rolled with a roll to obtain a graphite film D (thickness: 100 μm).
［ＰＥＴテープ］
厚さ１０μｍ（ＰＥＴ：６μｍ／アクリル系粘着剤：４μｍ）のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）テープを用いた。
[PET tape]
A PET (polyethylene terephthalate) tape having a thickness of 10 μm (PET: 6 μm / acrylic adhesive: 4 μm) was used.
［両面テープ］
厚さ１０μｍ（アクリル系粘着剤：４μｍ／ＰＥＴ：２μｍ／アクリル系粘着剤：４μｍの両面テープを用いた。
[Double-sided tape]
A double-sided tape having a thickness of 10 μm (acrylic adhesive: 4 μm / PET: 2 μm / acrylic adhesive: 4 μm was used.
［微粘着テープＡ］
厚さ７６μｍ（ＰＥＴ：７０μｍ／アクリル系粘着剤：６μｍ）のＰＥＴテープ（４５ｍｍ×４５ｍｍ）を用いた。
[Slight adhesive tape A]
A PET tape (45 mm × 45 mm) having a thickness of 76 μm (PET: 70 μm / acrylic adhesive: 6 μm) was used.
［微粘着テープＡａ］
厚さ７６μｍ（ＰＥＴ：７０μｍ／アクリル系粘着剤：６μｍ）のＰＥＴテープ（３０ｍｍ×３０ｍｍ）を用いた。
［微粘着テープＢ］
厚さ３１μｍ（ＰＥＴ：２５μｍ／アクリル系粘着剤：６μｍ）のＰＥＴテープ（４５ｍｍ×４５ｍｍ）を用いた。
[Slight adhesive tape Aa]
A PET tape (30 mm × 30 mm) having a thickness of 76 μm (PET: 70 μm / acrylic adhesive: 6 μm) was used.
[Slight adhesive tape B]
A PET tape (45 mm × 45 mm) having a thickness of 31 μm (PET: 25 μm / acrylic adhesive: 6 μm) was used.
［微粘着テープＣ］
厚さ７６μｍ（ＰＥＴ：７０μｍ／アクリル系粘着材：６μｍ）のＰＥＴテープ（４５ｍｍ×４５ｍｍ）を用いた。
[Slight adhesive tape C]
A PET tape (45 mm × 45 mm) having a thickness of 76 μm (PET: 70 μm / acrylic adhesive material: 6 μm) was used.
［微粘着テープＤ］
厚さ８０μｍ（ＰＥＴ：７０μｍ／アクリル系粘着材：１０μｍ）のＰＥＴテープ（４５ｍｍ×４５ｍｍ）を用いた。
[Slight adhesive tape D]
A PET tape (45 mm × 45 mm) having a thickness of 80 μm (PET: 70 μm / acrylic adhesive material: 10 μm) was used.
＜評価方法＞
グラファイト複合フィルムは、図２に示すように、グラファイトフィルム１の一方の面に保護フィルム３を、他方の面に接着層５を設けた構成である。発熱体２（１０ｍｍ×１０ｍｍ、厚さ１ｍｍ、１Ｗ）を、エポキシ樹脂製基板４（５０ｍｍ×５０ｍｍ、厚さ１ｍｍ）の中央部に固定した。グラファイト複合フィルム７（５１ｍｍ×５１ｍｍ）は、ＡＢＳ（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン）樹脂製の支持体６（６０ｍｍ×６０ｍｍ、厚さ１．５ｍｍ）に貼り合わせた後、グラファイト複合フィルム７が発熱体２に接触するように配置した。この状態では、発熱体２の中央部とグラファイト複合フィルム７の中央部とが対向している。発熱開始から６００秒経過後（定温状態となったとき）の発熱体２の中心部の温度（℃）および支持体６の外面中央部（この部分は発熱体２の中心部の真上に位置する）の温度（℃）を測定することにより、放熱および断熱特性を評価した。
<Evaluation method>
As shown in FIG. 2, the graphite composite film has a configuration in which a protective film 3 is provided on one surface of the graphite film 1 and an adhesive layer 5 is provided on the other surface. The heating element 2 (10 mm × 10 mm, thickness 1 mm, 1 W) was fixed to the center of the epoxy resin substrate 4 (50 mm × 50 mm, thickness 1 mm). After the graphite composite film 7 (51 mm × 51 mm) is bonded to the support 6 (60 mm × 60 mm, thickness 1.5 mm) made of ABS (acrylonitrile butadiene styrene) resin, the graphite composite film 7 becomes the heating element 2. It arranged so that it might touch. In this state, the central portion of the heating element 2 and the central portion of the graphite composite film 7 face each other. The temperature (° C.) of the center of the heating element 2 after 600 seconds from the start of heat generation (when it reaches a constant temperature state) and the center of the outer surface of the support 6 (this part is located directly above the center of the heating element 2) The heat dissipation and heat insulation properties were evaluated by measuring the temperature (° C.).
支持体６の外面中央部の温度の評価は、４０℃未満の場合を「◎」、４０℃〜４５℃の場合を「○」、４５℃〜５０℃の場合を「△」、５０℃より高い場合を「×」とした。 Evaluation of the temperature of the center part of the outer surface of the support 6 is “◎” when the temperature is less than 40 ° C., “◯” when the temperature is 40 ° C. to 45 ° C., “Δ” when the temperature is 45 ° C. to 50 ° C. The case where it was high was marked with “x”.
発熱体２の中心部の温度の評価は、４５℃未満の場合を「◎」、４５℃〜５０℃の場合を「△」、５０℃より高い場合を「×」とした。 The evaluation of the temperature at the center of the heating element 2 was “未 満” when the temperature was less than 45 ° C., “Δ” when the temperature was 45 ° C. to 50 ° C., and “X” when the temperature was higher than 50 ° C.
厚みの評価は、グラファイト複合フィルム７の総厚みが１００μｍ未満の場合を「〇」、１００〜２００μｍの場合を「△」とした。 The thickness was evaluated as “◯” when the total thickness of the graphite composite film 7 was less than 100 μm, and “Δ” when the total thickness was 100 to 200 μm.
（実施例１）
グラファイトフィルムＡａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の片面に微粘着テープＡを貼り合わせた後、９０゜、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、中央部に空間を有するグラファイトフィルムを作成した。このグラファイトフィルムをＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、この複合フィルムと両面テープとを貼り合わせ、中央部に空間を有するグラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。評価結果は表１及び表２に示した。
Example 1
After the slightly adhesive tape A was bonded to one side of the graphite film Aa (50 mm × 50 mm), it was peeled off at 90 ° and a speed of 100 mm / min to prepare a graphite film having a space in the center. This graphite film was placed on the adhesive surface of a PET tape. Next, this composite film and a double-sided tape were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film having a space in the center and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（実施例２）
グラファイトフィルムＡａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の片面に微粘着テープＡａを貼り合わせた後、９０゜、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、中央部に空間を有するグラファイトフィルムを作成した。このグラファイトフィルムをＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、この複合フィルムと両面テープとを貼り合わせ、中央部に空間を有するグラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。評価結果は表１及び表２に示した。
(Example 2)
After the fine adhesive tape Aa was bonded to one side of the graphite film Aa (50 mm × 50 mm), it was peeled off at 90 ° and at a speed of 100 mm / min to prepare a graphite film having a space in the center. This graphite film was placed on the adhesive surface of a PET tape. Next, this composite film and a double-sided tape were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film having a space in the center and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（実施例３）
グラファイトフィルムＡａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の片面に微粘着テープＢを貼り合わせた後、９０゜、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、中央部に空間を有するグラファイトフィルムを作成した。このグラファイトフィルムをＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、この複合フィルムと両面テープとを貼り合わせ、中央部に空間を有するグラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。評価結果は表１及び表２に示した。
(Example 3)
After the fine adhesive tape B was bonded to one side of the graphite film Aa (50 mm × 50 mm), it was peeled off at 90 ° and a speed of 100 mm / min to prepare a graphite film having a space in the center. This graphite film was placed on the adhesive surface of a PET tape. Next, this composite film and a double-sided tape were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film having a space in the center and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（実施例４）
グラファイトフィルムＡａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の片面に微粘着テープＡを貼り合わせた後、１８０゜、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、中央部に空間を有するグラファイトフィルムを作成した。このグラファイトフィルムをＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、この複合フィルムと両面テープとを貼り合わせ、中央部に空間を有するグラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した．その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。評価結果は表１及び表２に示した。
Example 4
After the slightly adhesive tape A was bonded to one side of the graphite film Aa (50 mm × 50 mm), the graphite film having a space in the center was created by peeling it off at 180 ° and a speed of 100 mm / min. This graphite film was placed on the adhesive surface of a PET tape. Next, this composite film and double-sided tape were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film having a space in the center and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（実施例５）
グラファイトフィルムＡａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の片面に微粘着テープＣを貼り合わせた後、１８０°、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、中央部に空間を有するグラファイトフィルムを作成した。このグラファイトフィルムをＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、この複合フィルムと両面テープとを貼り合わせ、中央部に空間を有するグラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。評価結果は表１及び表２に示した。
(Example 5)
After the fine adhesive tape C was bonded to one side of the graphite film Aa (50 mm × 50 mm), it was peeled off at 180 ° and at a speed of 100 mm / min to prepare a graphite film having a space in the center. This graphite film was placed on the adhesive surface of a PET tape. Next, this composite film and a double-sided tape were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film having a space in the center and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（実施例６）
グラファイトフィルムＡｂ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の片面に微粘着テープＡを貼り合わせた後、１８０°、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、中央部に空間を有するグラファイトフィルムを作成した。このグラファイトフィルムをＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、この複合フィルムと両面テープとを貼り合わせ、中央部に空間を有するグラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。評価結果は表１及び表２に示した。
(Example 6)
After the fine adhesive tape A was bonded to one side of the graphite film Ab (50 mm × 50 mm), it was peeled off at 180 ° and at a speed of 100 mm / min to prepare a graphite film having a space in the center. This graphite film was placed on the adhesive surface of a PET tape. Next, this composite film and a double-sided tape were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film having a space in the center and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（実施例７）
グラファイトフィルムＡａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の片面に微粘着テープＤを貼り合わせた後、９０°、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、中央部に空間を有するグラファイトフィルムを作成した。このグラファイトフィルムをＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、この複合フィルムと両面テープとを貼り合わせ、中央部に空間を有するグラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。評価結果は表１及び表２に示した。
(Example 7)
After the fine adhesive tape D was bonded to one side of the graphite film Aa (50 mm × 50 mm), it was peeled off at 90 ° and at a speed of 100 mm / min to prepare a graphite film having a space in the center. This graphite film was placed on the adhesive surface of a PET tape. Next, this composite film and a double-sided tape were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film having a space in the center and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（実施例８）
グラファイトフィルムＡａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の片面をＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、この複合フィルムと両面テープとを貼り合わせ、グラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。この評価用サンプルのＰＥＴテープ側に微粘着テープＡを貼り合わせた後、９０゜、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、グラファイトフィルムの表層部に空間を有するグラファイト複合フィルムの評価用サンプルを作成した。この評価用サンプルについての評価結果を表１及び表２に示した。
(Example 8)
One side of the graphite film Aa (50 mm × 50 mm) was placed on the adhesive surface of the PET tape. Next, this composite film and double-sided tape were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. After attaching the fine adhesive tape A to the PET tape side of the sample for evaluation, the sample is peeled off at 90 ° and at a speed of 100 mm / min to prepare a sample for evaluating a graphite composite film having a space in the surface layer portion of the graphite film. did. The evaluation results of this evaluation sample are shown in Tables 1 and 2.
（実施例９）
グラファイトフィルムＡａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の片面に微粘着テープＡを貼り合わせた後、９０°、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、中央部に空間を有するグラファイトフィルムを作成した。このグラファイトフィルムをＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、この複合フィルムと両面テープとを貼り合わせ、中央部に空間を有するグラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。この評価用サンプルのＰＥＴテープ側に微粘着テープＡを貼り合わせた後、９０°、速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引き剥がすことにより、グラファイトフィルムの中央部と表層部とに空間を有するグラファイト複合フィルムの評価用サンプルを作製した。この評価用サンプルについての評価結果を表１及び表２に示した。
Example 9
After the fine adhesive tape A was bonded to one side of the graphite film Aa (50 mm × 50 mm), it was peeled off at 90 ° and at a speed of 100 mm / min to prepare a graphite film having a space in the center. This graphite film was placed on the adhesive surface of a PET tape. Next, this composite film and a double-sided tape were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film having a space in the center and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. After attaching the fine adhesive tape A to the PET tape side of the sample for evaluation, it is peeled off at 90 ° and at a speed of 100 mm / min to evaluate a graphite composite film having a space in the center portion and the surface layer portion of the graphite film. A sample was prepared. The evaluation results of this evaluation sample are shown in Tables 1 and 2.
（実施例１０）
グラファイトフィルムＣａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）をＰＥＴテープの粘着面に載せた。次に、グラファイトフィルムＤａの片面に両面テープを貼り合わせ、先ほど作成したグラファイトフィルム／ＰＥＴテープ複合フィルムとをグラファイトフィルム同士が対向し、重なるようにして貼り合わせた。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。評価結果は表１及び表２に示した。
(Example 10)
A graphite film Ca (50 mm × 50 mm) was placed on the adhesive surface of the PET tape. Next, a double-sided tape was bonded to one side of the graphite film Da, and the previously prepared graphite film / PET tape composite film was bonded so that the graphite films face each other and overlap each other. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（比較例１）
ＰＥＴテープの粘着面にグラファイトフィルムＡａ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）を載せた。次に、この複合フィルムと両面テープ（粘着層）とを貼り合わせ、グラファイトフィルムの片面にＰＥＴ絶縁層、片面に粘着層が形成されたグラファイト複合フィルムを作製した。その後、５１ｍｍ×５１ｍｍの大きさにサンプルを切り取り、その周囲１ｍｍが絶縁層と粘着層で被覆された評価用サンプルを作成した。評価結果は表１及び表２に示した。
(Comparative Example 1)
A graphite film Aa (50 mm × 50 mm) was placed on the adhesive surface of the PET tape. Next, this composite film and a double-sided tape (adhesive layer) were bonded together to produce a graphite composite film in which a PET insulating layer was formed on one side of the graphite film and an adhesive layer was formed on one side. Thereafter, the sample was cut into a size of 51 mm × 51 mm, and a sample for evaluation in which the periphery 1 mm was covered with the insulating layer and the adhesive layer was prepared. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（比較例２）
グラファイトフィルムＡｂ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）を用いたこと以外は、比較例１と同様にグラファイト複合フィルムを作製し、評価用サンプルを得た。評価結果は表１及び表２に示した。
(Comparative Example 2)
A graphite composite film was produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that the graphite film Ab (50 mm × 50 mm) was used, and an evaluation sample was obtained. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（比較例３）
グラファイトフィルムＡ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にグラファイト複合フィルムを作製し、評価用サンプルを得た。評価結果は表１及び表２に示した。
(Comparative Example 3)
A graphite composite film was produced in the same manner as in Example 1 except that the graphite film A (50 mm × 50 mm) was used, and an evaluation sample was obtained. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（比較例４）
グラファイトフィルムＢ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にグラファイト複合フィルムを作製し、評価用サンプルを得た。評価結果は表１及び表２に示した。
(Comparative Example 4)
A graphite composite film was produced in the same manner as in Example 1 except that the graphite film B (50 mm × 50 mm) was used, and an evaluation sample was obtained. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（比較例５）
グラファイトフィルムＥ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にグラファイト複合フィルムを作製し、評価用サンプルを得た。評価結果は表１及び表２に示した。
(Comparative Example 5)
A graphite composite film was produced in the same manner as in Example 1 except that the graphite film E (50 mm × 50 mm) was used, and an evaluation sample was obtained. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（比較例６）
放熱材を用いず、ブランク状態において測定を行った。評価結果は表１及び表２に示した。
(Comparative Example 6)
Measurement was performed in a blank state without using a heat dissipation material. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
（電子顕微鏡写真の結果）
図３は、中央部に空間が形成されたグラファイトフィルムのＳＥＭ写真であり、実施例１のようにグラファイトフィルムに直接微粘着テープを貼った後、剥がすことで、グラファイトフィルム中央部に空間が形成されていることがわかる。図４は、表層部に空間が形成されたグラファイトフィルムのＳＥＭ写真であり、実施例７のようにグラファイト複合フィルムに微粘着テープを貼った後、剥がすことで、グラファイトフィルム表層部に空間が形成されていることがわかる。図５は、空間を有していないグラファイトフィルムのＳＥＭ写真であり、比較例１のように圧縮処理することで、空間がなくなっていることがわかる。図６（ａ）及び（ｂ）は、不均一に空間が形成されたグラファイトフィルムのＳＥＭ写真であり、比較例４のように高分子フィルムを熱処理した後、圧縮処理や圧延処理を行わなわない状態では、空間が不均一に存在している様子がわかる。
(Result of electron micrograph)
FIG. 3 is an SEM photograph of a graphite film with a space formed at the center. After applying a slight adhesive tape directly to the graphite film as in Example 1, the space is formed at the center of the graphite film. You can see that FIG. 4 is an SEM photograph of a graphite film having a space formed in the surface layer portion. As shown in Example 7, a space was formed in the surface layer portion of the graphite film by applying a slightly adhesive tape to the graphite composite film and then peeling it off. You can see that FIG. 5 is an SEM photograph of a graphite film having no space, and it can be seen that the space has been eliminated by performing compression processing as in Comparative Example 1. 6 (a) and 6 (b) are SEM photographs of a graphite film in which spaces are formed unevenly, and after the polymer film is heat-treated as in Comparative Example 4, no compression treatment or rolling treatment is performed. In the state, it can be seen that the space exists unevenly.
＜評価結果＞
（支持体外面中央部温度）
（１）空間の存在…空間を設けた実施例１〜９は、空間を設けていない比較例１、２と比較して、支持体外面中心温度は低くなった。これは、空間によるフィルムの厚さ方向における断熱効果により、支持体外面への熱伝導が抑制されたためであると考えられる。
<Evaluation results>
(Temperature of outer surface of support)
(1) Presence of space: Examples 1 to 9 in which a space was provided had a lower support outer surface center temperature than Comparative Examples 1 and 2 in which no space was provided. This is considered to be because heat conduction to the outer surface of the support was suppressed by the heat insulating effect in the thickness direction of the film due to the space.
（２）空間の形態…また、いずれも空間を有している実施例１〜９と比較例３〜５を比較した場合、実施例１〜９の方が支持体外面中心温度は低くなった。比較例３〜５の場合、空間は存在するものの、グラファイトフィルム中に不均一に存在しているため、グラファイトの層構造を乱しており、さらに、部分的には厚さ方向にグラファイトの層の接触も存在するため、厚さ方向の熱を遮断しきれず、温度が上昇してしまうものと思われる。また、比較例３，４のように未処理（発泡したまま）のグラファイトフィルムは、フィルム中に不均一に空間が存在するため、フィルム表面が粗く、発熱体との接触が不十分となり、発熱体から発生した熱のグラファイトフィルムへの拡散が不十分であるという問題点もある。比較例５の場合、膨張黒鉛から作成されたグラファイトフィルムもフィルム中に空間を有しているものの、このようにして作成されたグラファイトフィルムは、高分子を熱処理して作成されるグラファイトフィルムに比べ、グラファイト層の乱れが大きく、且つ、空気層も不均一に存在するため、温度低減効果が低いと考えられる。一方、実施例１〜９のグラファイトフィルムは、その面に平行に空間を設けたことにより、グラファイトフィルムの層構造の乱れを極力抑えることができ、面方向への熱拡散も十分に行われると考えられる。
空間の長さとしては、実施例１と実施例２に比較から長さが長く、空間の範囲が広い実施例１の方が温度低減効果が大きかった。このことから、より広い空間を形成することで厚み方向への断熱効果が大きいといえる。
(2) Form of the space: In addition, when Examples 1 to 9 and Comparative Examples 3 to 5 each having a space were compared, Examples 1 to 9 had a lower support outer surface center temperature. . In the case of Comparative Examples 3 to 5, although the space exists, the graphite layer structure is disturbed because it exists nonuniformly in the graphite film, and further, the graphite layer partially in the thickness direction. It is considered that the temperature rises because the heat in the thickness direction cannot be completely cut off. In addition, untreated (as foamed) graphite films as in Comparative Examples 3 and 4 have non-uniform spaces in the film, so the film surface is rough and the contact with the heating element becomes insufficient, resulting in heat generation. There is also a problem that the heat generated from the body is not sufficiently diffused into the graphite film. In the case of Comparative Example 5, although the graphite film prepared from expanded graphite also has a space in the film, the graphite film prepared in this way is compared with the graphite film prepared by heat-treating the polymer. It is considered that the effect of reducing the temperature is low because the graphite layer is largely disturbed and the air layer is non-uniformly present. On the other hand, the graphite films of Examples 1 to 9 can suppress the disorder of the layer structure of the graphite film as much as possible by providing a space parallel to the surface, and the thermal diffusion in the surface direction is sufficiently performed. Conceivable.
As for the length of the space, the temperature reduction effect was greater in Example 1, which is longer than in Example 1 and Example 2 and in which the range of the space is wide. From this, it can be said that the heat insulation effect in the thickness direction is great by forming a wider space.
携帯電話などでは、低温火傷予防を目的として、外部に熱を伝え過ぎないような配慮することが求められる場合があるが（実際に４２℃以下に制限される場合がある）、空間を設けた本発明のグラファイト複合フィルムを使用することによりこのような要望に応えることができる。 For mobile phones, etc., there is a case where it is required to consider not to transmit heat to the outside for the purpose of preventing low temperature burns (there may be actually limited to 42 ° C or less), but a space is provided. Such a request can be met by using the graphite composite film of the present invention.
（発熱体中心部温度）
本発明のグラファイト複合フィルムを使用する場合の発熱体中心部温度（発熱体温度）は、１００℃以下であることが好ましく、５０℃以下であることがより好ましく、４３℃以下であることが最も好ましい。発熱体中心部温度が１００℃以下であると、発熱する部品は破損することなく正常に機能することができる。
(Heating element center temperature)
In the case of using the graphite composite film of the present invention, the heating element center temperature (heating element temperature) is preferably 100 ° C. or less, more preferably 50 ° C. or less, and most preferably 43 ° C. or less. preferable. When the temperature of the heating element central part is 100 ° C. or less, the heat-generating component can function normally without being damaged.
発熱体中心部温度は、空間を設けたもののほうが、高くなっていることがわかる。携帯電話などの小型電子機器に使用される発熱量の小さな（出力２Ｗ以下）半導体チツプは、耐熱性に関しては余裕があるために、発熱体温度の上昇をある程度は犠牲にして、外部に熱を伝えすぎないよう空間を設けた構造をとることが有用であると言える。ただし、グラファイトフィルムを用いていない比較例６に比べ、何れの実施例も発熱体中心温度は大幅に低減しており、この結果から、グラファイトフィルムを用いることにより、発熱体からの熱は効率的に除去されているといえる。 It can be seen that the temperature at the center of the heating element is higher when the space is provided. Semiconductor chips with small heat generation (output 2W or less) used in small electronic devices such as mobile phones have room for heat resistance. It can be said that it is useful to have a structure with a space so as not to convey too much. However, compared to Comparative Example 6 in which no graphite film was used, in all of the examples, the center temperature of the heating element was greatly reduced. From this result, the heat from the heating element was efficiently obtained by using the graphite film. It can be said that it has been removed.
（その他）
微粘着テープの厚さの影響については、同じＰＥＴ製のテープで厚さが異なるものを使用した実施例１と実施例３とを比較すると、テープの厚さが厚い場合の方が層剥離が起こり易いことが分かる。
(Other)
As for the influence of the thickness of the slightly adhesive tape, comparing Example 1 and Example 3 using the same PET tape having different thicknesses, delamination occurs when the tape is thicker. It turns out that it is easy to happen.
また、微粘着テープが同じ厚さであっても、ＰＥの方がＰＥＴより柔らかいため、層剥離は起こり難くなっていることが分かる。 Moreover, even if the slightly adhesive tape is the same thickness, it can be seen that PE is softer than PET, so that delamination hardly occurs.
また、実施例１と実施例７との比較から、層剥離に使用するテープの粘着性が大きい方が層剥離が起こり易いことが分かる。 Moreover, it turns out from the comparison with Example 1 and Example 7 that the one where the adhesiveness of the tape used for layer peeling is larger tends to cause layer peeling.
更に、微粘着テープを剥離させる角度については、実施例１と実施例４との比較から、１８０゜より９０゜の方が層剥離が起こり易いことが分かる。 Furthermore, as for the angle at which the slightly adhesive tape is peeled, it can be seen from the comparison between Example 1 and Example 4 that 90 ° is more likely to cause layer peeling than 180 °.
また、空間を形成する位置については、グラファイトフィルム自体に微粘着テープを貼り合わせて引き剥がすことによりグラファイトフィルム中央部に空間を形成した実施例１と、グラファイトフィルムにＰＥＴテープと両面テープを貼り合わせた複合フィルムの状態でこのＰＥＴテープに微粘着テープを貼り合わせて引き剥がすことにより、グラファイトフィルムの表層部に空間を設けた実施例８との比較から、空間はグラファイトフィルムの中央部に設けられていても表層部のみに設けられていても同等の効果を与えることが分かる。 In addition, as for the position where the space is formed, Example 1 in which the space was formed in the center of the graphite film by pasting and peeling the slightly adhesive tape on the graphite film itself, and the PET film and the double-sided tape were bonded to the graphite film. From the comparison with Example 8 in which a space was provided in the surface layer portion of the graphite film, the space was provided in the center portion of the graphite film by sticking and peeling the fine adhesive tape on the PET tape in the state of the composite film. Even if it is provided only on the surface layer portion, it can be seen that the same effect is provided.
また、グラファイト化の後に圧縮処理を行う場合と圧延処理を行う場合とでは、比較例１と比較例２との比較から、圧縮処理の方が僅かに放熱効果が高いことが分かる。これは、圧延処理の方が圧縮処理よりもグラファイトフィルムの表面が粗くなるためであると考えることができる。グラファイトフィルムの表面が粗くなると、発熱体との接触が不十分となり、発熱体から発生した熱が効率よく拡散されないために温度が上昇したものである。 In addition, in the case where the compression treatment is performed after the graphitization and the case where the rolling treatment is performed, the comparison between Comparative Example 1 and Comparative Example 2 shows that the compression treatment has a slightly higher heat dissipation effect. It can be considered that this is because the surface of the graphite film becomes rougher in the rolling process than in the compression process. When the surface of the graphite film becomes rough, the contact with the heating element becomes insufficient, and the temperature generated by the heat generated from the heating element is not efficiently diffused.
実施例１０のようにグラファイトフィルムを二枚か重ねることでも空間を形成することができ、厚み方向への断熱効果を示した。しかし、積層する方法では、空間の大きさを制御することができず、さらにフィルム同士を重ねただけであるので、５μｍ以上の空間を形成することができなかった。 A space could also be formed by overlapping two graphite films as in Example 10, indicating a heat insulating effect in the thickness direction. However, in the method of laminating, the size of the space cannot be controlled, and furthermore, since the films are only overlapped, a space of 5 μm or more cannot be formed.
本発明のグラファイト複合フィルムは、熱拡散性および断熱性に優れているので、携帯電話などの小型電子機器等の分野で利用可能である。 Since the graphite composite film of the present invention is excellent in heat diffusibility and heat insulation, it can be used in the field of small electronic devices such as mobile phones.
１ グラファイトフィルム
２ 発熱体
３ 保護フィルム
４ 基板
５ 接着層
６ 支持体
７ グラファイト複合フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Graphite film 2 Heat generating body 3 Protective film 4 Substrate 5 Adhesive layer 6 Support body 7 Graphite composite film
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