JP2011085501A - X-ray inspection device - Google Patents

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賢治 山▲崎▼
Toshimichi Masaki
俊道 政木
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate understanding results of inspection, while reducing mistake possibility in an X-ray inspection device constituted so as to superpose results of contamination inspection and defective article inspection on the X-ray perspective image of an inspection target to display them. <P>SOLUTION: In the display form of the defective article inspection results, a mark GL exhibiting the absence of a defective article is superposed on the image P of the inspection target in addition to a mark NL exhibiting the presence of the defective article to be displayed to clarify that the inspection target is a normal article. Even if a pattern or the like appears on the image P of the inspection target, a mistake is prevented. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、検査対象物のX線透視像の画像処理により、異物検査および欠品検査を行うX線検査装置に関する。   The present invention relates to an X-ray inspection apparatus that performs foreign object inspection and missing item inspection by image processing of an X-ray fluoroscopic image of an inspection object.

X線検査装置においては、一般に、X線発生装置とX線検出器とを対向配置し、これらの間に検査対象物を搬送するコンベアを設けた構造が多用され、検査対象物がX線発生装置とX線検出器の間を通過する際に、検査対象物を透過したX線を収集することにより、検査対象物のX線透視像を構築する。そのX線透視像を画像処理することにより、検査対象物に異物が混入しているか否かの異物検査、および、検査対象物に割れや欠けなどがあるか否か、あるいは検査対象物が規定の大きさの範囲に収まっているか等の欠品検査を行う。   In an X-ray inspection apparatus, generally, a structure in which an X-ray generator and an X-ray detector are arranged opposite to each other and a conveyor for conveying an inspection object is used between them is often used, and the inspection object generates X-rays. An X-ray fluoroscopic image of the inspection object is constructed by collecting X-rays transmitted through the inspection object when passing between the apparatus and the X-ray detector. By processing the X-ray fluoroscopic image, foreign matter inspection to determine whether foreign matter is mixed in the inspection target, whether the inspection target has cracks or chips, or whether the inspection target is specified Inspection of missing items such as whether it is within the range of size.

その異物検査結果や欠品検査結果は、X線透視像を表示する表示器の画面上に、該当の検査対象物像に重畳させて表示される(例えば特許文献1参照)。   The foreign substance inspection result and the missing part inspection result are displayed on the screen of a display that displays an X-ray fluoroscopic image so as to be superimposed on the corresponding inspection object image (see, for example, Patent Document 1).

検査結果の表示は、異物検査結果については、検査対象物像上に異物が存在する位置を塗りつぶしたり、欠品検査結果については、欠品のある検査対象物に対して規定のマークを付す等の手段により、オペレータに報知するようにしている。   The inspection results are displayed as follows: For foreign matter inspection results, the position where foreign matter is present on the inspection object image is filled in. For out-of-stock inspection results, a specified mark is attached to the inspection subject with missing parts. By this means, the operator is notified.

特開2009−68910号公報(第9頁1〜6行目)JP 2009-68910 A (page 9, lines 1-6)

ところで、異物検査や欠品検査は、それぞれに互いに異なる複数の評価手法を用いて行われ、異物検査結果や欠品検査結果は、それぞれの評価手法に対応する色等を用いて不良品の像の上に塗りつぶしやマークを重畳表示する手法等が多用されている。   By the way, foreign object inspection and missing part inspection are performed using a plurality of mutually different evaluation methods, and the foreign object inspection result and the missing part inspection result are images of defective products using colors corresponding to the respective evaluation methods. A method of overlaying and displaying a fill or a mark on the screen is often used.

そのため、検査対象物のX線透視像に対して付されたマークや塗りつぶしが、どの検査結果に対応して付されたものか判りづらい、つまり異物混入であるのか欠品であるのかが判りにくいという問題がある。   For this reason, it is difficult to determine which inspection result corresponds to the mark or fill applied to the X-ray fluoroscopic image of the inspection object, that is, it is difficult to determine whether the foreign object is mixed or missing. There is a problem.

また、図4(A)に例示するように、検査対象物のX線透視像P上に模様等が濃淡像Dとして現れる場合、同図(B)に示すような欠品検査結果が不良であることを表すマークMと見間違えてしまう可能性があり、正常品であるにも関わらず欠品と判断してしまう可能性がある。   Further, as illustrated in FIG. 4A, when a pattern or the like appears as a grayscale image D on the X-ray fluoroscopic image P of the inspection object, the missing part inspection result as shown in FIG. There is a possibility that it will be mistaken for the mark M indicating that it is present, and there is a possibility that it will be judged as a missing item although it is a normal product.

また、異物検査および欠品検査は、前記したようにそれぞれに複数の評価手法を用いて判定されるように構成しているのであるが、各判定手法においては、例えば画像の濃度しきい値や、あるいは周囲長の上下限値等をパラメータとして用い、検査結果がしきい値や周囲長の上下限値に対してどのレベルにあるのかをオペレータに報知したり、あるいはこれらのしきい値や周囲長の上下限値を微調整することを可能とするために、レベルゲージ等によって表示するのであるが、異物検査の評価手法と欠品検査の評価手法がそれぞれに複数種ある場合に、それぞれに複数のレベルゲージが表示されることになり、どのゲージのパラメータを調整すれば検査結果にどのような影響を与えるのかが判りにくいという問題もある。   Further, as described above, the foreign object inspection and the shortage inspection are configured to be determined using a plurality of evaluation methods. In each determination method, for example, an image density threshold or Alternatively, the upper and lower limit values of the perimeter are used as parameters, and the operator is notified of the level of the inspection result relative to the threshold and the upper and lower limits of the perimeter, or these thresholds and perimeter In order to make it possible to finely adjust the upper and lower limits of the length, it is displayed with a level gauge, etc., but if there are multiple types of evaluation methods for foreign matter inspection and missing item inspection, A plurality of level gauges will be displayed, and there is also a problem that it is difficult to understand what effect the adjustment of the gauge parameters will have on the inspection result.

本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、検査対象物のX線透視像に重畳させて異物検査結果および欠品検査結果を表示するように構成されたX線検査装置において、検査結果を判りやすくすることを第1の課題とし、また、併せて、パラメータ調整等も従来に比して間違いにくいX線検査装置の提供を第2の課題としている。   The present invention has been made in view of such circumstances, and in an X-ray inspection apparatus configured to display a foreign object inspection result and a missing part inspection result superimposed on an X-ray fluoroscopic image of an inspection object, The first problem is to make the results easy to understand. In addition, the second problem is to provide an X-ray inspection apparatus in which parameter adjustment and the like are less likely to be mistaken than in the past.

上記の課題を解決するため、本発明のX線検査装置は、X線発生装置からのX線を検査対象物に照射し、その透過X線をX線検出器で検出して得られる検査対象物のX線透視像を表示する透視像表示手段と、そのX線透視像を用いた画像処理により検査対象物内の異物の有無を判定する異物検査手段と、上記X線透視像を用いた画像処理により検査対象物の欠品の検査を行う欠品検査手段と、上記異物検査手段および欠品検査手段による検査結果を上記透視像表示手段による画像上の該当の検査対象物像に重畳させて表示する検査結果表示手段を備えたX線検査装置において、上記検査結果表示手段による欠品検査結果の表示形態が、欠品有りおよび無しの双方にそれぞれ対応するマークを検査対象物像に重畳表示する形態であることによって特徴付けられる(請求項1)。   In order to solve the above problems, an X-ray inspection apparatus according to the present invention irradiates an inspection object with X-rays from an X-ray generation apparatus and detects the transmitted X-rays with an X-ray detector. A fluoroscopic image display means for displaying an X-ray fluoroscopic image of an object, a foreign substance inspection means for determining the presence or absence of a foreign substance in the inspection object by image processing using the X-ray fluoroscopic image, and the X-ray fluoroscopic image are used. The missing item inspection means for inspecting the missing item of the inspection object by image processing, and the inspection result by the foreign matter inspection means and the missing item inspection means are superimposed on the corresponding inspection object image on the image by the fluoroscopic image display means. In the X-ray inspection apparatus provided with the inspection result display means for displaying, the display form of the shortage inspection result by the inspection result display means is superimposed on the inspection object image with marks corresponding respectively to the presence or absence of the shortage Depending on the display format Characterized (claim 1).

ここで、本発明においては、上記検査結果表示手段による検査結果の表示を、上記異物検査結果および欠品検査結果のいずれか一方もしくは双方に切り換える結果表示選択手段を備えている構成(請求項2)を好適に採用することができる。   Here, in the present invention, there is provided a result display selection means for switching the display of the inspection result by the inspection result display means to one or both of the foreign matter inspection result and the missing part inspection result (claim 2). ) Can be suitably employed.

また、本発明においては、上記異物検査手段および欠品検査手段によるそれぞれの評価結果に係る情報を表示する評価結果情報表示手段を有し、この評価結果情報表示手段による表示は、上記結果表示選択手段の選択状況に対応して上記異物検査手段および欠品検査手段による評価結果情報のいずれか一方のみを表示するように構成すること(請求項3)が更に好ましい。   In the present invention, there is also provided an evaluation result information display means for displaying information related to the respective evaluation results by the foreign matter inspection means and the missing part inspection means, and the display by the evaluation result information display means is the result display selection More preferably, only one of the evaluation result information by the foreign substance inspection means and the missing part inspection means is displayed corresponding to the selection status of the means (claim 3).

本発明は、欠品検査結果の表示に関し、欠品がないと判定された検査対象物の像にその旨のマークを付することにより、欠品のない検査対象物を明確にすることで、課題を解決しようとするものである。   The present invention relates to the display of the shortage inspection result, by marking the inspection object that is determined to have no shortage by marking a mark to that effect, It tries to solve the problem.

すなわち、欠品がある検査対象物のX線透視像にマークを付するのみならず、欠品がないと判定された検査対象物のX線透視像にも、欠品がない旨のマークを付する。これにより、検査対象物像に模様が現れる場合等においても、その模様等をマークと間違う可能性を少なくすることができ、第1の課題を解決することができる。   That is, not only is a mark placed on an X-ray fluoroscopic image of an inspection object with a missing item, but an X-ray fluoroscopic image of an inspection object that has been determined to be missing is also marked with no mark. Attached. As a result, even when a pattern appears in the inspection object image, the possibility that the pattern or the like may be mistaken for a mark can be reduced, and the first problem can be solved.

また、請求項2に係る発明のように、異物検査の結果と欠品検査の結果の表示のいずれか一方もしくは双方を選択的に表示するように構成すると、マークの見間違えを更に少なくすることができる。   Further, as in the invention according to claim 2, if one or both of the display of the result of the foreign substance inspection and the result of the shortage inspection is selectively displayed, the mistake of the mark can be further reduced. Can do.

そして、請求項3に係る発明のように、検査結果の表示の選択状況に対応させて、つまりその選択状況に連動させて、異物検査および欠品検査のそれぞれの評価結果に係る情報(つまり前記したレベルゲージ等)のうち、いずれか一方の検査に対するもののみを表示するように構成すると、評価のためのパラメータ等の微調整等に際して、意図するパラメータを間違ってしまう可能性を少なくすることができ、第2の課題を解決することができる。   Then, as in the invention according to claim 3, in accordance with the selection status of the display of the inspection result, that is, in conjunction with the selection status, information related to each evaluation result of the foreign object inspection and the shortage inspection (that is, the above-mentioned If only the inspection for one of the level gauges, etc.) is displayed, the possibility of erroneously setting the intended parameter during the fine adjustment of the parameter for evaluation, etc. is reduced. And the second problem can be solved.

本発明によれば、欠品検査の結果に関し、欠品のあるもののみならず、欠品のないものについても、検査対象物のX線透視像に重畳させてその旨のマークを表示するので、オペレータに対して欠品のないことを明確に知らしめることができ、従来に比して検査対象物に現れる模様等と検査結果のマークとを見間違える可能性を少なくすることができる。   According to the present invention, as a result of the shortage inspection, not only a shortage but also a shortage is displayed on the X-ray fluoroscopic image of the inspection object, so that a mark to that effect is displayed. Therefore, it is possible to clearly notify the operator that there is no shortage, and it is possible to reduce the possibility that the pattern appearing on the inspection object and the mark of the inspection result are mistaken as compared with the conventional case.

また、請求項2に係る発明のように、異物検査の結果と欠品検査の結果の表示について、いずれか一方もしくは双方を表示することを選択可能とすることにより、マークの見間違えを更に少なくすることができる。   Further, as in the invention according to claim 2, it is possible to select either one or both of the display of the result of the foreign substance inspection and the result of the shortage inspection, thereby further reducing the misunderstanding of the mark. can do.

そして、請求項3に係る発明のように、検査結果の表示の選択状況に連動させて、異物検査の評価結果情報と欠品検査の評価結果情報のうち、いずれか一方のみを表示するように構成すると、ある評価手法のパラメータを微調整等する場合に、意図するものとは異なるパラメータを誤って調整する等の不具合の発生の可能性を少なくすることができる。   Then, as in the invention according to claim 3, only one of the evaluation result information of the foreign substance inspection and the evaluation result information of the missing part inspection is displayed in conjunction with the selection state of the inspection result display. If configured, when a parameter of a certain evaluation method is finely adjusted, the possibility of occurrence of a malfunction such as erroneously adjusting a parameter different from the intended one can be reduced.

本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。In the configuration diagram of the embodiment of the present invention, a schematic diagram showing a mechanical configuration and a block diagram showing a system configuration are shown together. 本発明の実施の形態におけるX線透視像の表示内容の例を示す図であり、(A)は異物検査結果のみの表示を選択した状態、(B)はそれに加えて欠品検査結果の表示を選択した状態をそれぞれ表す図である。It is a figure which shows the example of the display content of the X-ray fluoroscopic image in embodiment of this invention, (A) is the state which selected the display of only a foreign material inspection result, (B) is a display of a missing item inspection result in addition to it. It is a figure showing the state which respectively selected. 本発明の実施の形態の有用性の説明図で、(A)は欠品検査結果が正常であることのマークの表示を行わない場合、(B)は欠品検査結果が正常であることのマークの表示を行う場合を示す図である。In the explanatory view of the usefulness of the embodiment of the present invention, (A) does not display a mark indicating that the missing part inspection result is normal, and (B) shows that the missing part inspection result is normal. It is a figure which shows the case where a mark is displayed. 従来のX線検査装置による欠品検査結果の表示と、検査対象物の透視像に現れる模様とが判別しにくい例の説明図である。It is explanatory drawing of the example which is hard to discriminate | determine the display of the missing part inspection result by the conventional X-ray inspection apparatus, and the pattern which appears in the fluoroscopic image of a test target object.

1 X線発生装置
2 X線ラインセンサ
3 コンベア
4 画像形成部
5 光電センサ
6 画像メモリ
7 表示制御部
8 モニタ兼操作部
9 画像処理部
10 制御部
11 搬送駆動回路
W 検査対象物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray generator 2 X-ray line sensor 3 Conveyor 4 Image formation part 5 Photoelectric sensor 6 Image memory 7 Display control part 8 Monitor and operation part 9 Image processing part 10 Control part 11 Conveyance drive circuit W Inspection object

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1に本発明の実施の形態の構成図を示すように、X線発生装置1とX線ラインセンサ2とが対向配置され、これらの間に、検査対象物Wを搬送するためのコンベア3が配置されている。X線発生装置1はスリットを等を介することによりファンビーム状のX線を出力し、X線ラインセンサ2はそのファンビーム状のX線の広がり方向に複数の素子が並ぶように配置されている。図1ではX線ラインセンサ2の各素子は紙面に垂直な方向に並んでいる。検査対象物3はコンベアによってファンビーム状のX線の広がり方向に対して直交する方向に一定の速度で搬送される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in the block diagram of the embodiment of the present invention in FIG. 1, an X-ray generator 1 and an X-ray line sensor 2 are arranged to face each other, and a conveyor 3 for conveying an inspection object W between them. Is arranged. The X-ray generator 1 outputs fan beam-shaped X-rays through a slit or the like, and the X-ray line sensor 2 is arranged so that a plurality of elements are arranged in the fan beam-shaped X-ray spreading direction. Yes. In FIG. 1, the elements of the X-ray line sensor 2 are arranged in a direction perpendicular to the paper surface. The inspection object 3 is conveyed by the conveyor at a constant speed in a direction perpendicular to the fan beam-shaped X-ray spreading direction.

X線ラインセンサ2の出力、つまり入射したX線の1次元の線量分布は画像形成部4に常時取り込まれる。X線発生装置1とX線ラインセンサ2の対に対し、コンベア3による検査対象物Wの搬送方向上流側には光電センサ5が配置されており、画像形成部4はこの光電センサ5の出力によって検査対象物Wの到来を検知し、これを起点にX線ラインセンサ2のから出力されている1次元の線量分布を時間順に並べることによって検査対象物Wの像を含む2次元のX線透視像を構築する。   The output of the X-ray line sensor 2, that is, the one-dimensional dose distribution of incident X-rays is always taken into the image forming unit 4. A photoelectric sensor 5 is disposed upstream of the pair of the X-ray generator 1 and the X-ray line sensor 2 in the conveyance direction of the inspection object W by the conveyor 3, and the image forming unit 4 outputs the photoelectric sensor 5. The two-dimensional X-ray including the image of the inspection object W is detected by arranging the one-dimensional dose distribution output from the X-ray line sensor 2 in time order with the arrival of the inspection object W detected by Construct a perspective image.

以上のようにして構築されたX線透視像は画像メモリ6に取り込まれ、表示制御部7を介してモニタ兼操作部8に表示されるとともに、画像処理部9による処理に供される。画像処理部9では、X線透視像から濃度しきい値を用いて検査対象物Wの像を抽出し、その抽出した検査対象物像に対し、異物検査処理および欠品検査処理を行う。ここで、異物検査処理については、例えば異物検出用の濃度しきい値を用いる評価方法や、異物フィルタを用いる評価方法等の複数の評価方法、この実施の形態では3種類の評価方法が用意されている。また、欠品検査処理については、像の面積や周囲長の上下限値を用いる評価方法等の複数の評価方法、この実施の形態では3種類の評価方法が用意されている。これらの各評価方法で用いる濃度しきい値や面積の上下限値等のパラメータは、モニタ兼操作部8の操作により設定ないしは調整することができ、その設定値は制御部10を介して画像処理部9に供給される。ここで、この実施の形態においては、異物検査処理により異物ありと判定された検査対象物については、欠品検査処理は行われない。   The fluoroscopic image constructed as described above is taken into the image memory 6, displayed on the monitor / operation unit 8 via the display control unit 7, and used for processing by the image processing unit 9. The image processing unit 9 extracts an image of the inspection object W from the X-ray fluoroscopic image using a density threshold value, and performs a foreign substance inspection process and a missing part inspection process on the extracted inspection object image. Here, for the foreign substance inspection processing, for example, a plurality of evaluation methods such as an evaluation method using a density threshold value for detecting a foreign substance and an evaluation method using a foreign substance filter, and three types of evaluation methods are prepared in this embodiment. ing. In addition, for the shortage inspection process, a plurality of evaluation methods such as an evaluation method using the upper and lower limits of the area of the image and the peripheral length, and three types of evaluation methods are prepared in this embodiment. Parameters such as the density threshold value and the upper and lower limit values of the area used in each of these evaluation methods can be set or adjusted by operating the monitor / operation unit 8, and the set values are processed by the image processing unit 10 via the control unit 10. Supplied to section 9. Here, in this embodiment, the shortage inspection process is not performed for the inspection object that has been determined to have a foreign object by the foreign object inspection process.

以上の画像処理部9による異物検査処理および欠品検査処理の各結果は表示制御部7に供給され、後述する検査対象物Wの像への検査結果マークの重畳表示のための情報とされる。また、異物検査結果と欠品検査結果に基づくX線透視像上へのマーク等の表示は、モニタ兼操作部8の操作により後述するように選択することができる。   The results of the foreign substance inspection process and the missing part inspection process performed by the image processing unit 9 are supplied to the display control unit 7 and used as information for displaying an inspection result mark superimposed on an image of the inspection object W, which will be described later. . Further, the display of a mark or the like on the X-ray fluoroscopic image based on the foreign substance inspection result and the missing part inspection result can be selected by the operation of the monitor / operation unit 8 as described later.

上記した画像形成部4、画像メモリ6、表示制御部7、画像処理部9は制御部10の制御下に置かれている。また、コンベア3を駆動する搬送駆動回路11についても制御部10の制御下に置かれている。ここで、画像形成部4、画像メモリ6、表示制御部7、画像処理部9および制御部10は、実際にはコンピュータとその周辺機器によって構成され、インストールされているプログラムに従った機能を実現するのであるが、図1ではその主要な機能ごとにブロックで表している。   The image forming unit 4, the image memory 6, the display control unit 7, and the image processing unit 9 are placed under the control of the control unit 10. Further, the transport drive circuit 11 that drives the conveyor 3 is also placed under the control of the control unit 10. Here, the image forming unit 4, the image memory 6, the display control unit 7, the image processing unit 9, and the control unit 10 are actually configured by a computer and its peripheral devices, and realize functions according to installed programs. However, in FIG. 1, each main function is represented by a block.

さて、以上の構成からなる本発明の実施の形態においては、前記したように、検査対象物WのX線透視像がモニタ兼操作部8に表示されるとともに、その検査対象物像上に、異物検査結果や欠品検査結果を表すマークを重畳表示するが、その詳細について以下に説明する。   Now, in the embodiment of the present invention having the above configuration, as described above, the X-ray fluoroscopic image of the inspection object W is displayed on the monitor / operation unit 8, and on the inspection object image, The marks representing the foreign object inspection result and the missing part inspection result are displayed in a superimposed manner, the details of which will be described below.

図2(A),(B)は本発明の実施の形態におけるモニタ兼操作部8の表示内容の例を示す図である。このうち、(A)は欠品検査結果を表示しないことを選択した状態での表示内容で、(B)は欠品検査結果を表示することを選択した状態での表示内容を表している。これらの図において、TはX線透視像の表示部で、Qは評価手法ごとのレベルゲージの表示部であって、Pは検査対象物像である。   2A and 2B are diagrams showing examples of display contents of the monitor and operation unit 8 in the embodiment of the present invention. Among these, (A) is a display content in a state where it is selected not to display a missing part inspection result, and (B) is a display content in a state where it is selected to display a missing part inspection result. In these drawings, T is an X-ray fluoroscopic image display unit, Q is a level gauge display unit for each evaluation method, and P is an inspection object image.

欠品検査を表示しないことを選択した状態では、図2(A)に示すように、X線透視像の表示部Tにおける各検査対象物像P上に、異物検査結果により異物がありと判定されたものについてのみ、その異物像を塗りつぶすことによる異物検出マークNSが重畳表示される。同時に、レベルゲージの表示部Qには、異物検査のための3つの評価手法それぞれのレベルゲージS1,S2,S3が表示される。   In a state where it is selected not to display the shortage inspection, as shown in FIG. 2A, it is determined that there is a foreign object on the inspection object image P in the display unit T of the X-ray fluoroscopic image by the foreign object inspection result. The foreign object detection mark NS obtained by painting out the foreign object image is superimposed and displayed only on the printed image. At the same time, level gauges S1, S2, and S3 of the three evaluation methods for foreign matter inspection are displayed on the display unit Q of the level gauge.

一方、欠品検査を表示することを選択した状態では、図2(B)に示すように、X線透視像の表示部Tにおける各検査対象物像P上に、異物検査結果により異物がありと判定されたものに異物検出マークNSが重畳表示されるとともに、異物なしと判定されたもののうち、欠品検査結果が異常であると判定されたものには欠品異常マークNLが重畳表示され、欠品検査結果が正常であると判定されたものには欠品正常マークGLが重畳表示される。同時に、レベルゲージの表示部Qには、欠品検査のための2つの評価手法それぞれのレベルゲージL1,L2,L3が表示される。   On the other hand, in the state in which the display of the shortage inspection is selected, as shown in FIG. 2 (B), there is a foreign matter on each inspection object image P in the X-ray fluoroscopic image display portion T due to the foreign matter inspection result. The foreign object detection mark NS is displayed in a superimposed manner on what is determined to be, and among those determined to have no foreign object, the defective product abnormality mark NL is displayed in a superimposed manner on those determined to be abnormal. The missing item normal mark GL is superimposed and displayed on the item determined to have a normal missing item inspection result. At the same time, level gauges L1, L2, and L3 of the two evaluation methods for the shortage inspection are displayed on the display unit Q of the level gauge.

このような表示によると、異物がなしで、かつ、欠品検査結果が正常と判定された検査対象物、従って良品にマークGLが付され、マークGLが付されていないものは異物あり、もしくは欠品異常であることが明確となり、オペレータが判断を誤ることがない。   According to such a display, there is no foreign matter, and the inspection object for which the out-of-stock inspection result is determined to be normal, that is, the non-defective product is marked with a mark GL and is not marked with a foreign matter, or It becomes clear that the product is out of stock, and the operator does not make a mistake.

また、欠品検査結果の非表示状態ではその選択に連動して異物検査のための評価手法のレベルゲージS1〜S3のみが表示されるとともに、欠品検査結果の表示状態では、同じくその選択に連動して、欠品検査のための評価手法のレベルゲージL1〜L3のみが表示されるので、異物検査の評価手法のパラメータの微調整や、欠品検査の評価手法のパラメータの微調整に際し、意図する評価手法に対応するレベルゲージを間違うことなく見い出すことができる。   In addition, in the non-display state of the missing part inspection result, only the level gauges S1 to S3 of the evaluation method for the foreign object inspection are displayed in conjunction with the selection, and in the display state of the missing part inspection result, the selection is similarly performed. In conjunction with this, only the level gauges L1 to L3 of the evaluation method for the missing part inspection are displayed. Therefore, in the fine adjustment of the parameter of the evaluation method of the foreign substance inspection and the fine adjustment of the parameter of the evaluation method of the missing part inspection, A level gauge corresponding to the intended evaluation method can be found without mistake.

そして、このような表示の仕方によれば、前記した図4で例示したような模様のある検査対象物であっても、これと検査結果とを見間違う可能性を少なくすることができる。すなわち、図3(A)に示すように、欠品検査結果が正常であるマークが表示されない場合、検査対象物像Pに模様Dが現れるような場合に、オペレータがその模様を欠品検査が異常であるマークNLと見間違えて、正常である検査対象物を異常と判断してしまう恐れがあったのに対し、図3(B)に示すように、欠品検査結果が正常であるマークGLを表示することにより、模様Dが現れても正常品であることが明確となり、上記の恐れは生じにくい。   And according to such a display method, even if it is an inspection target with a pattern as illustrated in FIG. 4 described above, it is possible to reduce the possibility of mistaking this and the inspection result. That is, as shown in FIG. 3 (A), when a mark indicating that the missing item inspection result is normal is not displayed, and when a pattern D appears in the inspection object image P, the operator can inspect the missing item. While the mark NL is abnormal, there is a risk that a normal inspection object may be determined to be abnormal, whereas as shown in FIG. By displaying GL, even if the pattern D appears, it becomes clear that it is a normal product, and the above-described fear is unlikely to occur.

なお、以上の実施の形態においては、異物検査結果については常に表示し、その表示に欠品検査結果を併せて表示するか否かを選択するように構成したが、異物検査結果のみ、欠品検査結果のみ、およびこれら双方の表示を選択するように構成することもできる。   In the above embodiment, the foreign substance inspection result is always displayed, and it is configured to select whether to display the missing part inspection result together with the display. However, only the foreign object inspection result is displayed. It is also possible to configure to select only the inspection result or both of them.

また、異物ありのマークNSを異物像の塗りつぶしとした例を示したが、他の専用のマークを重畳表示してもよい。   Further, although the example in which the foreign object mark NS is filled with the foreign object image is shown, other dedicated marks may be displayed in a superimposed manner.

Claims (3)

X線発生装置からのX線を検査対象物に照射し、その透過X線をX線検出器で検出して得られる検査対象物のX線透視像を表示する透視像表示手段と、そのX線透視像を用いた画像処理により検査対象物内の異物の有無を判定する異物検査手段と、上記X線透視像を用いた画像処理により検査対象物の欠品の検査を行う欠品検査手段と、上記異物検査手段および欠品検査手段による検査結果を上記透視像表示手段による画像上の該当の検査対象物像に重畳させて表示する検査結果表示手段を備えたX線検査装置において、
上記検査結果表示手段による欠品検査結果の表示形態が、欠品有りおよび無しの双方にそれぞれ対応するマークを検査対象物像に重畳表示する形態であることを特徴とするX線検査装置。
A fluoroscopic image display means for displaying an X-ray fluoroscopic image of the inspection object obtained by irradiating the inspection object with X-rays from the X-ray generator and detecting the transmitted X-ray with an X-ray detector, and the X Foreign matter inspection means for determining the presence or absence of foreign matter in the inspection object by image processing using a fluoroscopic image, and missing part inspection means for inspecting a shortage of the inspection object by image processing using the X-ray fluoroscopic image And an X-ray inspection apparatus comprising inspection result display means for superimposing and displaying the inspection result by the foreign matter inspection means and the missing part inspection means on the corresponding inspection object image on the image by the fluoroscopic image display means,
An X-ray inspection apparatus characterized in that the display form of the shortage inspection result by the inspection result display means is a form in which marks corresponding to both the presence and absence of a shortage are respectively displayed in a superimposed manner on the inspection object image.
上記検査結果表示手段による検査結果の表示を、上記異物検査結果および欠品検査結果のいずれか一方もしくは双方に切り換える結果表示選択手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。   2. The X-ray according to claim 1, further comprising a result display selection means for switching the display of the inspection result by the inspection result display means to one or both of the foreign object inspection result and the missing part inspection result. Inspection device. 上記異物検査手段および欠品検査手段によるそれぞれの評価結果に係る情報を表示する評価結果情報表示手段を有し、この評価結果情報表示手段による表示は、上記結果表示選択手段の選択状況に対応して上記異物検査手段および欠品検査手段による判定結果情報のいずれか一方のみを表示するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載のX線検査装置。   Evaluation result information display means for displaying information related to the respective evaluation results by the foreign substance inspection means and the shortage inspection means, and the display by the evaluation result information display means corresponds to the selection status of the result display selection means. 3. The X-ray inspection apparatus according to claim 2, wherein only one of the determination result information obtained by the foreign matter inspection means and the shortage inspection means is displayed.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013113612A (en) * 2011-11-25 2013-06-10 Anritsu Sanki System Co Ltd Article inspection apparatus
WO2018034057A1 (en) * 2016-08-18 2018-02-22 富士フイルム株式会社 Defect inspection apparatus, defect inspection method, and program
CN112697810A (en) * 2019-10-22 2021-04-23 克朗斯股份公司 Method and device for optical inspection of containers

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013113612A (en) * 2011-11-25 2013-06-10 Anritsu Sanki System Co Ltd Article inspection apparatus
WO2018034057A1 (en) * 2016-08-18 2018-02-22 富士フイルム株式会社 Defect inspection apparatus, defect inspection method, and program
JPWO2018034057A1 (en) * 2016-08-18 2019-06-13 富士フイルム株式会社 Defect inspection apparatus, defect inspection method, and program
US11029255B2 (en) 2016-08-18 2021-06-08 Fujifilm Corporation Defect inspection device, defect inspection method, and program
CN112697810A (en) * 2019-10-22 2021-04-23 克朗斯股份公司 Method and device for optical inspection of containers
CN112697810B (en) * 2019-10-22 2024-06-07 克朗斯股份公司 Method and device for optical inspection of containers

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