JP2011077251A - Member for display and method of manufacturing the same - Google Patents

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JP2011077251A
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Hiroko Mitsui
博子 三井
Kiyoyoshi Takeda
清佳 竹田
Masao Tomikawa
真佐夫 富川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display member free of volume-shrinkage originated defects, such as cracks and deformation, and curable at low temperature, and a method of manufacturing the same. <P>SOLUTION: The method of manufacturing a display member includes the step of curing a curable composition containing (a) polyimide having a structural unit expressed by the general formula 1 and (b) a crosslinking agent to form a patterned structure on a substrate, where R<SP>1</SP>represents quadrivalent organic, R<SP>2</SP>represents divalent organic, R<SP>4</SP>represents divalent organic, X represents divalent organic having at least one selected from carboxyl, phenolic hydroxyl, sulfonic acid and thiol, and n represents an integer of 3-200. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、特にプラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションディスプレイ、および蛍光表示管等の平面ディスプレイの隔壁や誘電体等の部材に好適なディスプレイ用部材、およびディスプレイ用部材の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a display member suitable for a member such as a partition or a dielectric of a flat display such as a plasma display panel, a field emission display, and a fluorescent display tube, and a method for manufacturing the display member.

近年、プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションディスプレイ、蛍光表示管、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、発光ダイオードなどの平面ディスプレイの開発が急速に進められている。このうち、プラズマディスプレイは、前面ガラス基板と背面ガラス基板との間に備えられた放電空間内で対向するアノード電極とカソード電極間にプラズマ放電を生じさせ、上記放電空間内に封入されているガスから発生した紫外線を、放電空間内に設けた蛍光体に照射することにより表示を行うものである。プラズマディスプレイや蛍光表示管などのガス放電タイプのディスプレイは、放電空間を仕切るための隔壁を必要とする。また、フィールドエミッションディスプレイなどの電界放射型ディスプレイは、ゲート電極とカソード電極を隔絶するための隔壁を必要とする。これらプラズマディスプレイやフィールドエミッションディスプレイなどの隔壁等のパターン構造体の形成においては、一般にガラス粉末などの無機材料をパターン加工した後に焼成して形成する(例えば、特許文献1)。しかし、この焼成工程においては450〜800℃程度の加熱が必要なため、電力消費が大きく、環境負荷が大きくなるという問題があった。さらに、基板や他部材の耐熱性や熱による寸法安定性が要求されるという問題があった。   In recent years, development of flat displays such as plasma display panels, field emission displays, fluorescent display tubes, liquid crystal display devices, electroluminescence displays, and light emitting diodes has been rapidly advanced. Among these, the plasma display generates a plasma discharge between the anode electrode and the cathode electrode facing each other in the discharge space provided between the front glass substrate and the rear glass substrate, and the gas sealed in the discharge space. Display is performed by irradiating the phosphor provided in the discharge space with the ultraviolet rays generated from the discharge. Gas discharge type displays such as plasma displays and fluorescent display tubes require partition walls for partitioning the discharge space. A field emission display such as a field emission display requires a partition for isolating the gate electrode from the cathode electrode. In the formation of a pattern structure such as a partition wall such as a plasma display or a field emission display, generally, an inorganic material such as glass powder is patterned and baked (for example, Patent Document 1). However, in this firing step, heating at about 450 to 800 ° C. is necessary, and thus there is a problem that power consumption is large and environmental load is increased. Furthermore, there is a problem that heat resistance of the substrate and other members and dimensional stability due to heat are required.

そこで、有機材料、特にポリイミド材料を用いてパターン構造体を形成するという技術が開発された(例えば、特許文献2、3)。   Therefore, a technique of forming a pattern structure using an organic material, particularly a polyimide material has been developed (for example, Patent Documents 2 and 3).

特開2002−173597号公報JP 2002-173597 A 特開2001−28240号公報JP 2001-28240 A 特開平7−43692号公報JP 7-43692 A

上述の従来用いられている技術は、溶剤に可溶のポリイミド前駆体を用いてパターンを形成し、その後300〜400℃で硬化することによりイミド化を進行させて、最終生成物である溶剤不溶のポリイミドとするものであった。しかし、この技術を用いると、300〜400℃という高温に保持する必要がある上、イミド化時の脱水・脱アルコール反応による体積収縮が大きいため、プラズマディスプレイ用隔壁のような厚膜、高アスペクトパターンの形成においては、亀裂や変形などが発生するという問題があった。   The above-mentioned conventionally used technique forms a pattern using a polyimide precursor that is soluble in a solvent, and then proceeds to imidization by curing at 300 to 400 ° C. Of polyimide. However, if this technology is used, it is necessary to maintain the temperature as high as 300 to 400 ° C., and volume shrinkage due to dehydration and dealcoholization reaction during imidization is large, so that a thick film such as a partition for plasma display, a high aspect ratio In the formation of the pattern, there is a problem that cracks and deformation occur.

本発明はかかる課題を解決し、製造工程での電力消費が少なく、高品位なディスプレイ用部材を提供するものである。また、250℃以下の温度で硬化可能で、体積収縮が小さく欠陥が発生しにくいディスプレイ用部材の製造方法を提供するものである。   The present invention solves this problem and provides a high-quality display member that consumes less power in the manufacturing process. Further, the present invention provides a method for producing a display member that can be cured at a temperature of 250 ° C. or less, has a small volume shrinkage, and is less likely to cause defects.

すなわち本発明のディスプレイ用部材の製造方法は、(A)下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミド、および(b)架橋剤を含有する硬化性組成物を硬化させて基板上にパターン化構造体を形成する工程を含むことを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法である。 That is, in the method for producing a display member of the present invention, (A) a polyimide having a structural unit represented by the following general formula (1) and (b) a curable composition containing a crosslinking agent is cured on a substrate. A method for producing a display member, comprising the step of forming a patterned structure on the substrate.

Figure 2011077251
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さらに、本発明のディスプレイ用部材は、基板上にパターン化構造体を有するディスプレイ用部材であって、該パターン化構造体が(A)上記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミド、および(B)ポリイミド以外の樹脂を含有することを特徴とするディスプレイ用部材である。
(式中Rは4価の有機基、Rは2価の有機基、Rは2価の有機基を示す。Xは、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を少なくとも一つ有する2価の有機基を示す。nは3〜200の範囲内の整数を示す。)
Furthermore, the display member of the present invention is a display member having a patterned structure on a substrate, and the patterned structure (A) is a polyimide having a structural unit represented by the general formula (1). And (B) a member for display containing a resin other than polyimide.
(Wherein R 1 represents a tetravalent organic group, R 2 represents a divalent organic group, and R 4 represents a divalent organic group. X represents a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, or a thiol group. A divalent organic group having at least one of the above groups, n represents an integer in the range of 3 to 200.)

本発明によると、体積収縮による亀裂や変形などの欠陥がなく、かつ低温で硬化可能なディスプレイ部材とその製造方法を提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the display member which does not have defects, such as a crack by a volume contraction, and a deformation | transformation, and can be hardened at low temperature, and its manufacturing method can be provided.

本発明のディスプレイパネル用部材の製造方法のうち、熱インプリント法によりプラズマディスプレイの隔壁を形成する方法の例を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the example of the method of forming the partition of a plasma display by the thermal imprint method among the manufacturing methods of the member for display panels of this invention. 本発明のディスプレイパネル用部材の製造方法のうち、フォトリソ法熱インプリント法によりプラズマディスプレイの隔壁を形成する方法の例を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the example of the method of forming the partition of a plasma display by the photolitho method thermal imprint method among the manufacturing methods of the member for display panels of this invention.

発明者らは、低温で硬化可能なディスプレイ用部材について鋭意検討を行った結果、以下に述べるようなディスプレイ用部材、および製造方法によって達成されることを見出した。   As a result of intensive studies on a display member that can be cured at a low temperature, the inventors have found that this can be achieved by a display member and a manufacturing method as described below.

すなわち、本発明のディスプレイ用部材は、基板上にパターン化構造体を有するディスプレイ用部材であって、該パターン化構造体が(A)下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドおよび(B)ポリイミド以外の樹脂を含有することが必要である。   That is, the display member of the present invention is a display member having a patterned structure on a substrate, and the patterned structure (A) is a polyimide having a structural unit represented by the following general formula (1). And (B) it is necessary to contain a resin other than polyimide.

Figure 2011077251
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(式中、Rは4価の有機基、Rは2価の有機基、Rは2価の有機基を示す。Xは、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を少なくとも一つ有する2価の有機基を示す。nは3〜200の範囲内の整数を示す。)
(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドと(B)ポリイミド以外の樹脂Bが均一に相溶していることで、機械強度が強く薬品耐性良好なパターン化構造体とできる。
(In the formula, R 1 represents a tetravalent organic group, R 2 represents a divalent organic group, and R 4 represents a divalent organic group. X represents a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, and a thiol group. A divalent organic group having at least one selected group is shown, and n is an integer in the range of 3 to 200.)
(A) A patterned structure having high mechanical strength and good chemical resistance because the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) and the resin B other than (B) polyimide are uniformly compatible. And can.

(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドは、溶剤や架橋剤への溶解性が良好なため、パターン化に際して取り扱いが容易となる。また、剛直なイミド構造を多く含有するため、耐熱性および機械強度に優れるという特性を有する。前記(A)ポリイミドは、さらに、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を、末端だけでなく、側鎖に少なくとも一つ有することが好ましい。末端および側鎖にこのような基を有することで、架橋剤としてエポキシ化合物やオキセタン化合物を用いた場合、それぞれエポキシ基やオキセタン基と反応し、より強固な硬化膜を形成できる。また、このような基を有することでポリイミドにアルカリ現像液への溶解性が出現し、硬化性組成物と混合して用いてフォトリソ法によりパターン形成をする場合、未硬化部分をアルカリ現像液で除去でき、パターン形成が容易となる。   (A) Since the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) has good solubility in a solvent or a crosslinking agent, it can be easily handled during patterning. Moreover, since many rigid imide structures are contained, it has the characteristic that it is excellent in heat resistance and mechanical strength. The polyimide (A) preferably further has at least one group selected from a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, and a thiol group not only at the terminal but also at the side chain. By having such a group at the terminal and the side chain, when an epoxy compound or an oxetane compound is used as a crosslinking agent, it can react with an epoxy group or an oxetane group, respectively, thereby forming a stronger cured film. In addition, by having such a group, solubility in an alkali developer appears in polyimide, and when a pattern is formed by photolithography using a mixture with a curable composition, an uncured portion is replaced with an alkali developer. The pattern can be easily formed.

一般式(1)中のRは酸二無水物の残基の一部を表しており、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を有することも、現像液への溶解性や他成分との反応性の観点から好ましい。 R 1 in the general formula (1) represents a part of the acid dianhydride residue, and may have a group selected from a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, and a thiol group. From the viewpoint of the solubility of the resin and reactivity with other components.

酸二無水物の具体例としては、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン酸二無水物、9,9−ビス{4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル}フルオレン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物などの芳香族テトラカルボン酸二無水物や、ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族のテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物及び下記に示した構造の酸二無水物などを挙げることができる。   Specific examples of the acid dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic acid Anhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenone Tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis ( 2,3-dicarboxyfe ) Methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 1,2,5,6-naphthalene tetracarboxylic acid Anhydride, 9,9-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorenic dianhydride, 9,9-bis {4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl} fluorenic dianhydride, 2, 3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,5,6-pyridinetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 2,2- Aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanthate Examples include aliphatic tetracarboxylic dianhydrides such as carboxylic dianhydrides, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydrides, and acid dianhydrides having the structures shown below. Can do.

Figure 2011077251
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16は酸素原子、C(CF、C(CH、SOより選ばれる基を、R17、R18は水素原子、水酸基、チオール基より選ばれる基を表し、R17、R18が同時に水素原子であることはない。 R 16 is an oxygen atom, C a (CF 3) 2, C ( CH 3) 2, a group selected from SO 2, R 17, R 18 represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, a group selected from a thiol group, R 17 , R 18 are not simultaneously hydrogen atoms.

一般式(1)において、Rはジアミンの残基の一部を表しており、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を有することも、現像液への溶解性や他成分との反応性の観点から好ましい。 In the general formula (1), R 2 represents a part of the residue of the diamine, and may have a group selected from a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, and a thiol group. And preferred from the viewpoint of reactivity with other components.

ジアミンの具体的な例としては、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルヒド、4,4’−ジアミノジフェニルスルヒド、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ベンジン、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、1,5−ナフタレンジアミン、1,6−ナフタレンジアミン、ビス(4−アミノフェノキシフェニル)スルホン、ビス(3−アミノフェノキシフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}エーテル、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジエチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’,3,3’−テトラメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’,4,4’−テトラメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジ(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレンあるいはこれらの芳香族環にアルキル基やハロゲン原子で置換した化合物や、脂肪族のシクロヘキシルジアミン、メチレンビスシクロヘキシルアミン及び下記に示した構造のジアミンなどが挙げられる。   Specific examples of diamines include 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfide, 4,4′-diaminodiphenylsulfide, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, benzine, m-phenylenediamine, p -Phenylenediamine, 1,5-naphthalenediamine, 1,6-naphthalenediamine, bis (4-aminophenoxyphenyl) sulfone, bis (3-aminophenoxyphenyl) sulfone, bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis {4 -(4-aminophenoxy) phenyl} -Ter, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-diethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'- Dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-diethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2 ′, 3,3′-tetramethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3 ′ , 4,4′-tetramethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-di (trifluoromethyl) -4,4′-diaminobiphenyl, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene or These aromatic rings are substituted with alkyl groups or halogen atoms, aliphatic cyclohexyldiamine, methylenebiscyclohexylamine, and diamines with the structures shown below. It is.

Figure 2011077251
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19は酸素原子、C(CF、C(CH、SOより選ばれる基を、R20は水酸基、チオール基より選ばれる基を表し、R21〜R23は水素原子、水酸基、チオール基より選ばれる基を表す。 R 19 represents an oxygen atom, a group selected from C (CF 3 ) 2 , C (CH 3 ) 2 , and SO 2 , R 20 represents a group selected from a hydroxyl group and a thiol group, and R 21 to R 23 represent a hydrogen atom. Represents a group selected from a hydroxyl group and a thiol group.

さらに、基板との接着性を向上させるために、耐熱性を低下させない範囲で、一般式(1)中のR、R、Rにシロキサン構造を有する脂肪族の基を含有することも好ましい。具体的には、ジアミン成分として、ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、ビス(p−アミノ−フェニル)オクタメチルペンタシロキサンなどを1〜20モル%共重合したものなどがあげられる。 Furthermore, in order to improve the adhesion to the substrate, an aliphatic group having a siloxane structure may be contained in R 1 , R 2 , and R 4 in the general formula (1) as long as the heat resistance is not lowered. preferable. Specifically, examples of the diamine component include those obtained by copolymerizing 1 to 20 mol% of bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane, bis (p-amino-phenyl) octamethylpentasiloxane, and the like.

(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドの含有量は、パターン化構造体中、30〜95重量%であることが好ましく、より好ましくは35〜90重量%、さらに好ましくは50〜70重量%である。含有量をこの範囲とすることで、硬化後の硬化物の薬品耐性を向上できる。   (A) The content of the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) is preferably 30 to 95% by weight, more preferably 35 to 90% by weight in the patterned structure. Preferably it is 50 to 70% by weight. By making content into this range, the chemical resistance of the hardened | cured material after hardening can be improved.

本発明のディスプレイ用部材は、(B)ポリイミド以外の樹脂を含有する。(B)ポリイミド以外の樹脂を含有することで、薬品耐性を良好にでき、後工程で溶剤に溶出することがない。   The display member of the present invention contains (B) a resin other than polyimide. (B) By containing resin other than a polyimide, chemical resistance can be made favorable, and it does not elute in a solvent by a post process.

(B)ポリイミド以外の樹脂としては、例えば、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、オキセタン樹脂、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂などが挙げられるが、より薬品耐性を向上するには、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、オキセタン樹脂から選択されることが特に好ましい。このような樹脂を選択することで、さらに薬品耐性を向上できる。   (B) Examples of resins other than polyimide include acrylic resins, epoxy resins, oxetane resins, urethane resins, urea resins, melamine resins, phenol resins, urea resins, etc. It is particularly preferable to select from acrylic resins, epoxy resins, and oxetane resins. The chemical resistance can be further improved by selecting such a resin.

(B)ポリイミド以外の樹脂の含有量は、パターン化構造体中、5〜70重量%であることが好ましく、より好ましくは10〜65重量%、さらに好ましくは30〜50重量%である。含有量をこの範囲とすることで、硬化後の硬化物の薬品耐性を向上できる。   (B) It is preferable that content of resin other than a polyimide is 5-70 weight% in a patterned structure, More preferably, it is 10-65 weight%, More preferably, it is 30-50 weight%. By making content into this range, the chemical resistance of the hardened | cured material after hardening can be improved.

さらに、本発明のディスプレイ用部材は、(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミド、および(B)ポリイミド以外の樹脂が分離することなく、均一に相溶することが必要である。ここで均一に相溶するとは、例えば相互貫通網目構造のように、異種の架橋高分子同士、あるいは1種の架橋高分子と直鎖状高分子が、分離することなく、相互に侵入し合った構造となっている状態を指す。均一に相溶することで、機械強度と薬品耐性を飛躍的に向上できる。均一に相溶していない通常の樹脂混合体では、示差走査熱量計(DSC)で測定を行った場合に、ガラス転移温度(以下、Tgという)が各々の樹脂単体のTgそれぞれで観測されるのに対し、均一に相溶すると完全に樹脂同士が一体化するため、新たなTgが1点のみ観測される。そこで、均一に相溶しているか否かは、Tgの個数により判断できることが知られている。   Furthermore, the display member of the present invention can be uniformly mixed without separation of (A) polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) and (B) resin other than polyimide. is necessary. Uniformly compatible here means that different types of cross-linked polymers, or one type of cross-linked polymer and linear polymer, penetrate each other without being separated, such as an interpenetrating network structure. Refers to the state of the structure. Uniform compatibility can dramatically improve mechanical strength and chemical resistance. In a normal resin mixture that is not compatible with each other, when measured with a differential scanning calorimeter (DSC), a glass transition temperature (hereinafter referred to as Tg) is observed for each Tg of each resin alone. On the other hand, since the resins are completely integrated when they are uniformly mixed, only one new Tg is observed. Therefore, it is known that whether or not they are uniformly compatible can be determined by the number of Tg.

このように異種のポリマーが分離することなく均一に装用しているパターン化構造体は、(A)下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミド、および(b)架橋剤を含有する硬化性組成物を硬化させる工程により製造することができる。   In this way, the patterned structure in which different types of polymers are uniformly worn without separation contains (A) a polyimide having a structural unit represented by the following general formula (1), and (b) a crosslinking agent. It can manufacture by the process of hardening the curable composition to perform.

Figure 2011077251
Figure 2011077251

上述の特許文献2、3のように、未閉環のポリイミド前駆体を用いるのではなく、既閉環のポリイミドである(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドを用いることで硬化時の収縮を抑制すると共に、(b)架橋剤という低分子化合物を用いることで(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドとの相溶性を向上し、架橋後にも均一に相溶しやすい。   As in Patent Documents 2 and 3 described above, instead of using an unclosed polyimide precursor, (A) a polyimide having a structural unit represented by the general formula (1), which is a closed ring polyimide, is used. (B) By using a low molecular weight compound called a crosslinking agent, (A) compatibility with the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) is improved and crosslinking is performed. It is easy to be compatible even afterwards.

(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドは、前述したような溶剤や架橋剤への溶解性が良好なため、パターン化に際して取り扱いが容易となる。さらに、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を、側鎖あるいは末端に少なくとも一つ有することが好ましいことも前述の通りである。   (A) Since the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) has good solubility in the solvent and the crosslinking agent as described above, it is easy to handle at the time of patterning. Furthermore, as described above, it is preferable to have at least one group selected from a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, and a thiol group in the side chain or terminal.

(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドの含有量は、溶剤を除く硬化性組成物中、30〜95重量%であることが好ましく、より好ましくは35〜90重量%、さらに好ましくは50〜70重量%である。含有量をこの範囲とすることで、硬化後の硬化物の薬品耐性を向上できる。   (A) The content of the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) is preferably 30 to 95% by weight, more preferably 35 to 90% by weight in the curable composition excluding the solvent. %, More preferably 50 to 70% by weight. By making content into this range, the chemical resistance of the hardened | cured material after hardening can be improved.

(b)架橋剤は、製法や用途により、適宜選択して使用できるが、例えば(b−1)エポキシ化合物、および/またはオキセタン化合物、(b−2)エチレン性不飽和基含有化合物から選ばれる1種または2種以上の混合物が挙げられる。これらの化合物を用いることで、(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドとの相溶性を向上し、硬化後の硬化膜も均一とすることが容易となる。   (B) The cross-linking agent can be appropriately selected and used depending on the production method and application. For example, (b-1) an epoxy compound and / or an oxetane compound and (b-2) an ethylenically unsaturated group-containing compound are selected. One kind or a mixture of two or more kinds may be mentioned. By using these compounds, (A) compatibility with the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) is improved, and a cured film after curing can be easily made uniform.

(b−1)エポキシ化合物および/またはオキセタン化合物としては、エポキシ基やオキセタン基を有するものであれば特に限定されない。   (B-1) The epoxy compound and / or oxetane compound is not particularly limited as long as it has an epoxy group or an oxetane group.

たとえば、エポキシ基を1つ有するものとしてエポライトM−1230(共栄社化学(株)製)、NKオリゴEA−1010/ECA(新中村化学(株))等、2つ有するものとしてエポライト40E、エポライト100E、エポライト200E、エポライト400E、エポライト70P、エポライト200P、エポライト400P、エポライト1500NP、エポライト80MF 、エポライト4000、エポライト3002(以上、共栄社化学(株)製)、デナコールEX−212L、デナコールEX−214L、デナコールEX−216L、デナコールEX−850L(以上、ナガセケムテックス(株)製)、GAN、GOT(以上、日本化薬(株)製)、エピコート828、エピコート1002 、エピコート1750、エピコート1007、YX8100−BH30、E1256、E4250、E4275(以上、ジャパンエポキシ(株)製)、エピクロンEXA−9583、HP4032(以上、大日本インキ化学工業(株)製)、3つ有するものとして、VG3101(三井化学(株)製)、テピックS、テピックG、テピックP(以上、日産化学工業(株)製)、デナコールEX−321L(ナガセケムテックス(株)製)、NC6000(日本化薬(株)製)、4つ以上有するものとして、エポトートYH−434L(東都化成(株)製)、EPPN502H、NC3000(日本化薬(株)製)、エピクロンN695、HP7200(以上、大日本インキ化学工業(株)製)などが挙げられる。これらのうち2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   For example, Epolite M-1230 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), NK Oligo EA-1010 / ECA (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.), etc. having two epoxy groups, Epolite 40E, Epolite 100E, etc. , Epolite 200E, Epolite 400E, Epolite 70P, Epolite 200P, Epolite 400P, Epolite 1500NP, Epolite 80MF, Epolite 4000, Epolite 3002 (above, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Denacol EX-212L, Denacol EX-214L, Denacol EX -216L, Denacol EX-850L (above, manufactured by Nagase ChemteX Corporation), GAN, GOT (above, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Epicoat 828, Epicoat 1002, Epicoat 1750, Epicoat 1 07, YX8100-BH30, E1256, E4250, E4275 (manufactured by Japan Epoxy Co., Ltd.), Epicron EXA-9583, HP4032 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), VG3101 ( Mitsui Chemicals Co., Ltd.), Tepic S, Tepic G, Tepic P (above, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.), Denacol EX-321L (manufactured by Nagase ChemteX Corporation), NC6000 (Nippon Kayaku Co., Ltd.) 4) Epototo YH-434L (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), EPPN502H, NC3000 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Epicron N695, HP7200 (above, Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) ))). Two or more of these may be used in combination.

エポキシ化合物および/またはオキセタン化合物の含有量は、溶剤を除く硬化性組成物中、合計で20〜90重量%であることが好ましく、より好ましくは35〜80重量%、さらに好ましくは40〜70重量%である。含有量をこの範囲とすることで、硬化後の硬化物の機械強度を向上できる。   The content of the epoxy compound and / or oxetane compound is preferably 20 to 90% by weight in total in the curable composition excluding the solvent, more preferably 35 to 80% by weight, still more preferably 40 to 70% by weight. %. By making content into this range, the mechanical strength of the hardened | cured material after hardening can be improved.

(b−1)エポキシ化合物および/またはオキセタン化合物のうち、オキセタン化合物としては、エタナコールEHO、エタナコールOXBP、エタナコールOXTP、エタナコールOXMA(以上、宇部興産(株)製)、オキセタン化フェノールノボラックなどが挙げられる。これらのうち2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   (B-1) Among the epoxy compounds and / or oxetane compounds, examples of the oxetane compounds include etanacol EHO, etanacol OXBP, etanacol OXTP, etanacol OXMA (above, manufactured by Ube Industries, Ltd.), oxetane phenol novolak, and the like. . Two or more of these may be used in combination.

本発明において、エポキシ化合物および/またはオキセタン化合物はエポキシ基またはオキセタン基を2つ以上有するものが好ましい。エポキシ基またはオキセタン基を2つ以上有することにより、熱硬化後の樹脂中に架橋構造を導入し、さらに耐溶剤性を向上できる。特に好ましいのは、一般式(3)で表される化合物である。これらの化合物を用いることで、さらに硬化後の機械特性が非常に良好な熱硬化性樹脂組成物を得ることができる。   In the present invention, the epoxy compound and / or oxetane compound preferably has two or more epoxy groups or oxetane groups. By having two or more epoxy groups or oxetane groups, a crosslinked structure can be introduced into the resin after thermosetting, and solvent resistance can be further improved. Particularly preferred is a compound represented by the general formula (3). By using these compounds, a thermosetting resin composition having very good mechanical properties after curing can be obtained.

Figure 2011077251
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(Rは水素あるいは炭素数1〜4のアルキル基から独立に選択され、一部あるいは全部をフッ素で置換されていてもよい。Rは2価の有機基を示す。)
さらに、(b−1)エポキシ化合物および/またはオキセタン化合物として、粘度が1Pa・s以下のエポキシ化合物および/またはオキセタン化合物を用いることも好ましい。さらに好ましくは、0.5Pa・s以下、より好ましくは、0.1Pa・s以下である。このような化合物を用いることで(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドをエポキシ化合物および/またはオキセタン化合物に溶解できるため、溶剤含有量を減少でき、さらには溶剤を実質含有しない硬化性組成物を構成できる。溶剤含有量を低減することで、硬化物中の残存溶媒量を低減し、ディスプレイ用部材としての信頼性を向上できる。さらに、ディスプレイ用部材の形成にインプリント法を用いる場合、硬化時の溶剤除去による体積変化を減少するという観点から、硬化性組成物が実質的に溶剤を含有しないことが非常に好ましい。また、上述のように(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドをエポキシ化合物および/またはオキセタン化合物に溶解した化合物は、室温では粘度が高く流動しないのに対し、80〜200℃に加熱することで粘度が急激に低減して変形可能となるという特徴を有することも、熱インプリントを行う上で好ましい。粘度が1Pa.sである化合物を以下に示す。
(R 8 is independently selected from hydrogen or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and part or all of them may be substituted with fluorine. R 9 represents a divalent organic group.)
Furthermore, it is also preferable to use an epoxy compound and / or oxetane compound having a viscosity of 1 Pa · s or less as the (b-1) epoxy compound and / or oxetane compound. More preferably, it is 0.5 Pa · s or less, more preferably 0.1 Pa · s or less. By using such a compound, (A) since the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) can be dissolved in the epoxy compound and / or the oxetane compound, the solvent content can be reduced, and further the solvent can be reduced. A curable composition which does not substantially contain can be constituted. By reducing the solvent content, the amount of residual solvent in the cured product can be reduced, and the reliability as a display member can be improved. Furthermore, when the imprint method is used for forming the display member, it is very preferable that the curable composition does not substantially contain a solvent from the viewpoint of reducing volume change due to solvent removal during curing. Further, as described above, a compound obtained by dissolving (A) a polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) in an epoxy compound and / or an oxetane compound has a high viscosity at room temperature and does not flow. It is also preferable for performing thermal imprinting that the viscosity is drastically reduced by being heated to ˜200 ° C. to enable deformation. The viscosity is 1 Pa. The compound which is s is shown below.

YED−111、YED−122、YED−188、YED−205、YED−216M(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、エポライトM−1230、エポライトEHDG−L、エポライト40E、エポライト100E、エポライト200E、エポライト400E、エポライト70P、エポライト200P、エポライト400P、エポライト1500NP、エポライト1600、エポライト80MF、エポライト100MFなどが挙げられる。   YED-111, YED-122, YED-188, YED-205, YED-216M (above, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), Epolite M-1230, Epolite EHDG-L, Epolite 40E, Epolite 100E, Epolite 200E, Examples thereof include Epolite 400E, Epolite 70P, Epolite 200P, Epolite 400P, Epolite 1500NP, Epolite 1600, Epolite 80MF, Epolite 100MF, and the like.

また、前記一般式(3)で表されるエポキシ化合物と粘度が1Pa・s以下のエポキシ化合物の両方を含有することが、さらに好ましい。これらエポキシ化合物の両方を含有することで、溶剤使用量を低減しながら、硬化物の薬品耐性を向上できる。前記一般式(3)で表されるエポキシ化合物100重量部に対し、粘度が1Pa・s以下のエポキシ化合物が50〜150重量部であることが好ましく、より好ましくは、80〜120重量部である。含有量をこの範囲とすることで、硬化物の薬品耐性が十分向上できる。   Further, it is more preferable that both the epoxy compound represented by the general formula (3) and the epoxy compound having a viscosity of 1 Pa · s or less are contained. By containing both of these epoxy compounds, the chemical resistance of the cured product can be improved while reducing the amount of solvent used. The epoxy compound having a viscosity of 1 Pa · s or less is preferably 50 to 150 parts by weight, more preferably 80 to 120 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy compound represented by the general formula (3). . By setting the content within this range, the chemical resistance of the cured product can be sufficiently improved.

本発明の熱硬化性樹脂組成物には、さらに(c)硬化促進剤を用いることができる。(b−1)エポキシ化合物および/またはオキセタン化合物と(c)硬化促進剤を組み合わせることで、エポキシ化合物および/またはオキセタン化合物の硬化を促進し、250℃以下の熱処理でも耐溶剤性を向上させることができる。硬化促進剤としては、各種イミダゾール、イミダゾールシラン、イミダゾリン、酸無水物などが挙げられる。各種イミダゾールとしては、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾールなどが挙げられる。イミダゾールシランとしては、IS−1000、IS−1000D、IM−1000、SP−1000、IA−100A、IA−100P、IA−100F(以上、日鉱マテリアルズ(株)製)などが挙げられる。酸無水物としては、メチルヘキラハイドロ無水フタル酸、メチルテトラハイドロ無水フタル酸、アデカハードナーEH−3326、アデカハードナーEH−703、アデカハードナーEH−705A(以上、旭電化工業(株)製)、エピクロンB−570、エピクロンB−650(以上、大日本インキ化学(株)製)などが挙げられる。また、マイクロカプセル性潜在型硬化剤も好ましく用いられ、具体的な例としては、ノバキュアHX−3741、HX−3613、HX−3721、HX−3932(以上、旭化成(株)製)などが挙げられる。(c)硬化促進剤の含有量は、(b−1)エポキシ化合物および/またはオキセタン化合物の合計100重量部に対し、0.01〜10重量部の範囲が好ましい。0.01重量部以上とすることでエポキシ化合物および/またはオキセタン化合物の硬化を効果的に促進し、10重量部以下とすることで、硬化物の絶縁性、耐熱性を向上することができる。   In the thermosetting resin composition of the present invention, (c) a curing accelerator can be further used. (B-1) By combining an epoxy compound and / or an oxetane compound and (c) a curing accelerator, the epoxy compound and / or the oxetane compound is cured, and the solvent resistance is improved even by heat treatment at 250 ° C. or lower. Can do. Examples of the curing accelerator include various imidazoles, imidazole silanes, imidazolines and acid anhydrides. As various imidazoles, imidazole, 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2 -Methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole and the like. Examples of imidazole silane include IS-1000, IS-1000D, IM-1000, SP-1000, IA-100A, IA-100P, and IA-100F (manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.). Examples of the acid anhydride include methylhexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, ADEKA HARDNER EH-3326, ADEKA HARDNER EH-703, ADEKA HARDNER EH-705A (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), Epicron B-570, Epicron B-650 (above, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) and the like can be mentioned. Further, a microcapsule latent curing agent is also preferably used, and specific examples include NOVACURE HX-3741, HX-3613, HX-3721, HX-3932 (above, manufactured by Asahi Kasei Corporation). . (C) Content of a hardening accelerator has the preferable range of 0.01-10 weight part with respect to a total of 100 weight part of (b-1) an epoxy compound and / or an oxetane compound. By setting it as 0.01 weight part or more, hardening of an epoxy compound and / or an oxetane compound is accelerated | stimulated effectively, and the insulation and heat resistance of hardened | cured material can be improved by setting it as 10 weight part or less.

さらに、本発明に好適に用いられる硬化性組成物は、25℃での粘度η(25℃)と、80℃での粘度η(80℃)が次の関係にあることが好ましい。   Furthermore, the curable composition suitably used in the present invention preferably has a viscosity η (25 ° C.) at 25 ° C. and a viscosity η (80 ° C.) at 80 ° C. in the following relationship.

η(25℃)≧η(80℃)×50
より好ましくは、
η(25℃)≧η(80℃)×100
である。η(25℃)とη(80℃)の関係をこの範囲とすることで、後のパターン構造体形成工程において、加熱下でのみ硬化性組成物の流動性が向上して、成形が容易となる。
η (25 ° C.) ≧ η (80 ° C.) × 50
More preferably,
η (25 ° C.) ≧ η (80 ° C.) × 100
It is. By setting the relationship between η (25 ° C.) and η (80 ° C.) within this range, the flowability of the curable composition is improved only under heating in the subsequent pattern structure forming step, and molding is easy. Become.

このような硬化性組成物を得るためには、(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミド100重量部に対し、一般式(3)で表されるエポキシ化合物80〜150重量部、粘度が1Pa・s以下のエポキシ化合物80〜150重量部とすることが好ましい。
本発明において、(b)架橋剤として、(b−2)エチレン性不飽和基含有化合物も好ましく用いられる。これらの化合物も、(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミドとの相溶性を向上し、均一に相溶した硬化物を得る上で好適であるだけでなく、(d)光重合開始剤と併用して用いることにより、光重合を用いたフォトリソ加工が可能となる。好ましく用いられる(b−2)エチレン性不飽和基含有化合物を挙げる。具体的な例として、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、n−ブチルアクリレート、sec−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、tert−ブチルアクリレート、n−ペンチルアクリレート、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、グリセロールアクリレート、グリシジルアクリレート、ヘプタデカフロロデシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、イソボニルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、トリフロロエチルアクリレート、アリル化シクロヘキシルジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,3−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、グリセロールジアクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、アクリルアミド、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ベンジルアクリレート、1−ナフチルアクリレート、2−ナフチルアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、ビスフェノールA−エチレンオキサイド付加物のジアクリレート、ビスフェノールA−プロピレンオキサイド付加物のジアクリレート、チオフェノールアクリレート、ベンジルメルカプタンアクリレート、また、これらの芳香環の水素原子のうち、1〜5個を塩素または臭素原子に置換した化合物、もしくは、スチレン、p−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、塩素化スチレン、臭素化スチレン、α−メチルスチレン、塩素化α−メチルスチレン、臭素化α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルスチレン、カルボシキメチルスチレン、ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルカルバゾール、および、前記化合物の分子内のアクリレートを一部もしくはすべてをメタクリレートに置換したもの、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、1−ビニル−2−ピロリドンなどが挙げられる。また、多官能化合物において、不飽和結合を有する基はアクリル基、メタクリル基、ビニル基、アリル基が混在していてもよい。本発明ではこれらを1種または2種以上使用することができる。
In order to obtain such a curable composition, (A) the epoxy compound represented by the general formula (3) 80 to 100 parts by weight of the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) It is preferable to use 150 to 150 parts by weight of an epoxy compound having a viscosity of 1 Pa · s or less and 150 parts by weight.
In the present invention, (b-2) an ethylenically unsaturated group-containing compound is also preferably used as the (b) crosslinking agent. These compounds are not only suitable for (A) improving the compatibility with the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1), and obtaining a uniformly compatible cured product. d) When used in combination with a photopolymerization initiator, photolithographic processing using photopolymerization is possible. (B-2) The ethylenically unsaturated group containing compound used preferably is mentioned. Specific examples include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, isobutyl acrylate, tert-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxy Ethyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate, heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobornyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isode Sil acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafluoropentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, allylated cyclohexyl diacrylate, 1, 4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, Jito Methylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxylated cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, triglycerol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, acrylamide, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate , Phenoxyethyl acrylate, benzyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, bisphenol A diacrylate, diacrylate of bisphenol A-ethylene oxide adduct, diacrylate of bisphenol A-propylene oxide adduct, thiophenol acrylate, benzyl Mercaptan ak Relate, a compound in which 1 to 5 of these aromatic ring hydrogen atoms are substituted with chlorine or bromine atoms, or styrene, p-methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, chlorinated styrene , Brominated styrene, α-methyl styrene, chlorinated α-methyl styrene, brominated α-methyl styrene, chloromethyl styrene, hydroxymethyl styrene, carboxymethyl styrene, vinyl naphthalene, vinyl anthracene, vinyl carbazole, and the above compounds In this molecule, acrylate in the molecule is partially or entirely substituted with methacrylate, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-vinyl-2-pyrrolidone and the like. In the polyfunctional compound, the group having an unsaturated bond may be a mixture of an acrylic group, a methacryl group, a vinyl group, and an allyl group. In the present invention, one or more of these can be used.

本発明に用いる(d)光重合開始剤は、ラジカル種を発生するものから選んで用いられる。(d)光重合開始剤としては、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾフェノンおよびその誘導体、チオキサントンおよびその誘導体、アセトフェノンおよびその誘導体、アントラキノンおよびその誘導体、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオサイド、2−エチルアンスラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、メチルフェニルグリオキシエステル、η5−シクロペンタジエニル−η6−クメニル−アイアン(1+)−ヘキサフルオロフォスフェイト(1−)、ジフェニルスルフィド誘導体、ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、4−ベンゾイル−4−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、ベンジルメトキシエチルアセタール、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シクロヘキサン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、2−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−メトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフェニルプロパントリオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、N−フェニルグリシン、N−フェニルチオアクリドン、4,4−アゾビスイソブチロニトリル、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、四臭素化炭素、過酸化ベンゾイルおよびエオシン、メチレンブルーなどの光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノールアミンなどの還元剤の組み合わせなどが挙げられる。   The photopolymerization initiator (d) used in the present invention is selected from those that generate radical species. (D) As a photopolymerization initiator, diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethyl ketal, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2- Methylpropan-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1-hydroxycyclohexyl-phenylketone, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- ( o-ethoxycarbonyl) oxime, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone -1, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isop Pyrether, benzoin isobutyl ether, benzophenone and derivatives thereof, thioxanthone and derivatives thereof, acetophenone and derivatives thereof, anthraquinone and derivatives thereof, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphine oxide 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methylphenylglyoxyester, η5-cyclopentadienyl-η6-cumenyl-iron (1 +)-hexafluorophosphate (1- ), Diphenyl sulfide derivatives, bis (η5-2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium, 4-ben Yl-4-methylphenylketone, dibenzylketone, fluorenone, benzylmethoxyethyl acetal, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexane, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2 -Phenyl-1,2-butadion-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenylpropanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, N-phenylglycine, N-phenylthioacridone, 4 , 4-Azobisisobutyronitrile, benzthiazole disulfide, triphenylphosphine, carbon tetrabromide, benzoyl peroxide and eosin, methylene blue and other photoreductive dyes combined with reducing agents such as ascorbic acid and triethanolamine Etc. The

本発明では、これらを1種または2種以上使用することができる。(d)光重合開始剤は、溶剤を除く硬化性組成物に対し、0.05〜10重量%の範囲で添加されることが好ましく、より好ましくは、0.1〜10重量%である。(d)光重合開始剤の量が少なすぎると光感度が不良となり、光重合開始剤の量が多すぎる場合には露光部の残存率が小さくなる恐れがある。   In the present invention, one or more of these can be used. (D) It is preferable that a photoinitiator is added in 0.05-10 weight% with respect to the curable composition except a solvent, More preferably, it is 0.1-10 weight%. (D) If the amount of the photopolymerization initiator is too small, the photosensitivity becomes poor, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion may be reduced.

本発明に好適に用いられる硬化性組成物は、(e)紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤を含有することで、露光光によるペースト内部の散乱光を吸収し、露光部と未露光部のコントラストを高め、活性光線照射時の焦点高さによる硬化度を容易に制御することができる。(e)紫外線吸収剤の具体例としてはベンゾフェノン系化合物、シアノアクリレート系化合物、サリチル酸系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、インドール系化合物、無機系の微粒子酸化金属などが挙げられる。これらの具体例としては、2−エチルへキシル−2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリレート、2−エチル−2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリレート、インドール系の紫外線吸収剤であるBONASORB UA−3901(オリエント化学社製)、BONASORB UA−3902(オリエント化学社製)、BONASORB UA−3911(オリエント化学社製)、SOM−2−0008(オリエント化学社製)、ベーシックブルー、スダンブルー、スダンR、スダンI、スダンII、スダンIII、スダンIV、オイルオレンジSS、オイルバイオレット、オイルイエローOB(以上、アルドリッチ社)などが挙げられるがこれらに限定されない。さらに、これら紫外線吸収剤の骨格にメタクリル基などを導入し反応型として用いても良い。本発明ではこれらを1種または2種以上使用することができる。   The curable composition suitably used in the present invention may contain (e) an ultraviolet absorber. By containing an ultraviolet absorber, it is possible to absorb the scattered light inside the paste due to the exposure light, increase the contrast between the exposed and unexposed areas, and easily control the degree of curing due to the height of the focal point when actinic rays are irradiated. it can. (E) Specific examples of ultraviolet absorbers include benzophenone compounds, cyanoacrylate compounds, salicylic acid compounds, benzotriazole compounds, indole compounds, inorganic fine metal oxides, and the like. Specific examples thereof include 2-ethylhexyl-2-cyano-3,3-diphenyl acrylate, 2-ethyl-2-cyano-3,3-diphenyl acrylate, and BONASORB UA- which is an indole UV absorber. 3901 (manufactured by Orient Chemical Co., Ltd.), BONASORB UA-3902 (manufactured by Orient Chemical Co., Ltd.), BONASORB UA-3911 (manufactured by Orient Chemical Co., Ltd.), SOM-2-0008 (manufactured by Orient Chemical Co., Ltd.), Basic Blue, Sudan Blue, Sudan R, Examples include, but are not limited to, Sudan I, Sudan II, Sudan III, Sudan IV, Oil Orange SS, Oil Violet, Oil Yellow OB (above, Aldrich). Furthermore, a methacryl group or the like may be introduced into the skeleton of these ultraviolet absorbers and used as a reaction type. In the present invention, one or more of these can be used.

本発明における(e)紫外線吸収剤として、光褪色性化合物を用いることもできる。光褪色性化合物とは、活性光線の波長領域の光を照射したときに、活性光線の波長領域の光を吸収し、光分解や光変性などの化学構造の変化を通し、活性光源の波長領域での吸光度が照射前に比べて小さくなるものをいう。光褪色性化合物を硬化性組成物に添加することによって、パターン設計上、露光光の照射を受けない部分である非露光部への露光光の侵入を防ぐことができる。光褪色性化合物としては、具体的には光褪色性染料、光酸発生剤、光塩基発生剤、ニトロン化合物などの光分解性化合物や、アゾ系染料、フォトクロミック化合物などの光変性化合物が挙げられる。   As the (e) ultraviolet absorber in the present invention, a photo-fading compound can also be used. A photochromic compound absorbs light in the wavelength region of actinic rays when irradiated with light in the wavelength region of actinic rays and passes through changes in the chemical structure such as photodegradation and photodenaturation, and then the wavelength region of the active light source The absorbance at is lower than that before irradiation. By adding the photo-fading compound to the curable composition, it is possible to prevent the exposure light from entering the non-exposed portion, which is a portion not exposed to the exposure light in the pattern design. Specific examples of photochromic compounds include photodegradable compounds such as photochromic dyes, photoacid generators, photobase generators, and nitrone compounds, and photomodifying compounds such as azo dyes and photochromic compounds. .

(e)紫外線吸収剤の含有量は、溶剤を除く硬化性組成物に対し0.01〜10重量%であることが好ましい。含有量をこの範囲とすることで、非露光部と露光部の光硬化のコントラストを明確して露光量マージンを向上させる効果が十分得られると同時に、低感度になることを防ぐことができる。さらに好ましくは、0.03〜3重量%である。   (E) It is preferable that content of a ultraviolet absorber is 0.01 to 10 weight% with respect to the curable composition except a solvent. By setting the content within this range, it is possible to sufficiently obtain the effect of improving the exposure amount margin by clarifying the photocuring contrast between the non-exposed portion and the exposed portion, and at the same time, it is possible to prevent low sensitivity. More preferably, it is 0.03 to 3 weight%.

本発明に好適に用いられる硬化性組成物は、さらに(b−3)下記一般式(2)で表される熱架橋性有機基を有する化合物を含有することが、硬化物の機械強度および薬品耐性を向上する上で好ましい。   The curable composition suitably used in the present invention further contains (b-3) a compound having a heat-crosslinkable organic group represented by the following general formula (2). It is preferable for improving the resistance.

Figure 2011077251
Figure 2011077251

(式中Rは水素原子、炭素数1から20までのアルキル基、炭素数4から20までの脂環式基またはRCO基を示す。また、Rは、炭素数1から20までのアルキル基を示す。)
(b−3)一般式(2)で表される化合物としては、たとえば、これら熱架橋性有機基を1つ有するものとしてML−26X、ML−24X、ML−236TMP、4−メチロール3M6C、ML−MC、ML−TBC(以上、商品名、本州化学工業(株)製)、P−a型ベンゾオキサジン(商品名、四国化成工業(株)製)等、2つ有するものとしてDM−BI25X−F、46DMOC、46DMOIPP、46DMOEP(以上、商品名、旭有機材工業(株)製)、DML−MBPC、DML−MBOC、DML−OCHP、DML−PC、DML−PCHP、DML−PTBP、DML−34X、DML−EP、DML−POP、DML−OC、ジメチロール−Bis−C、ジメチロール−BisOC−P、DML−BisOC−Z、DML−BisOCHP−Z、DML−PFP、DML−PSBP、DML−MB25、DML−MTrisPC、DML−Bis25X−34XL、DML−Bis25X−PCHP(以上、商品名、本州化学工業(株)製)、ニカラックMX−290(商品名、(株)三和ケミカル製)、B−a型ベンゾオキサジン、B−m型ベンゾオキサジン(以上、商品名、四国化成工業(株)製)、2,6−ジメトキシメチル−4−t−ブチルフェノール、2,6−ジメトキシメチル−p−クレゾール、2,6−ジアセトキシメチル−p−クレゾール等、3つ有するものとしてTriML−P、TriML−35XL、TriML−TrisCR−HAP(以上、商品名、本州化学工業(株)製)等、4つ有するものとしてTM−BIP−A(商品名、旭有機材工業(株)製)、TML−BP、TML−HQ、TML−p−BPF、TML−BPA、TMOM−BP(以上、商品名、本州化学工業(株)製)、ニカラックMX−280、ニカラックMX−270(以上、商品名、(株)三和ケミカル製)等、6つ有するものとしてHML−TPPHBA、HML−TPHAP、HMOM−TPHAP(以上、商品名、本州化学工業(株)製)、ニカラックMW−390、ニカラックMW−100LM(以上、商品名、(株)三和ケミカル製)が挙げられる。
(In the formula, R 6 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic group having 4 to 20 carbon atoms, or an R 7 CO group. Also, R 7 has 1 to 20 carbon atoms. Represents an alkyl group of
(B-3) Examples of the compound represented by the general formula (2) include ML-26X, ML-24X, ML-236TMP, 4-methylol 3M6C, ML as those having one of these thermally crosslinkable organic groups. -DM-BI25X- as having two, such as MC, ML-TBC (trade name, manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.), Pa type benzoxazine (trade name, manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.) F, 46DMOC, 46DMOIPP, 46DMOEP (above, trade name, manufactured by Asahi Organic Materials Co., Ltd.), DML-MBPC, DML-MBOC, DML-OCHP, DML-PC, DML-PCHP, DML-PTBP, DML-34X , DML-EP, DML-POP, DML-OC, dimethylol-Bis-C, dimethylol-BisOC-P, DML-BisOC-Z DML-BisOCHP-Z, DML-PFP, DML-PSBP, DML-MB25, DML-MTrisPC, DML-Bis25X-34XL, DML-Bis25X-PCHP (above, trade name, manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.), Nicarax MX -290 (trade name, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), Ba type benzoxazine, Bm type benzoxazine (trade name, manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.), 2,6-dimethoxymethyl- TriML-P, TriML-35XL, TriML-TrisCR-HAP (above) and the like having 4-t-butylphenol, 2,6-dimethoxymethyl-p-cresol, 2,6-diacetoxymethyl-p-cresol, etc. TM-BIP-A (trade) Name, manufactured by Asahi Organic Materials Co., Ltd.), TML-BP, TML-HQ, TML-p-BPF, TML-BPA, TMOM-BP (above, trade name, manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.), Nicarak MX HML-TPPHBA, HML-TPHAP, HMOM-TPHAP (above, trade name, Honshu Chemical Industry Co., Ltd.), such as -280, Nikalac MX-270 (above, trade name, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) )), Nicalac MW-390, Nicalac MW-100LM (trade name, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.).

これらのうち、本発明では熱架橋性有機基を少なくとも2つ含有するものが好ましく、さらに好ましくは、ニカラックMX−280、ニカラックMX−270(以上、商品名、(株)三和ケミカル製)、B−a型ベンゾオキサジン、B−m型ベンゾオキサジン(以上、商品名、四国化成工業(株)製)、ニカラックMW−390、ニカラックMW−100LM(以上、商品名、(株)三和ケミカル製)、HMOM−TPHAP(商品名、本州化学工業(株)製)等が挙げられる。   Among these, in the present invention, those containing at least two thermally crosslinkable organic groups are preferable, and more preferably, Nicarax MX-280, Nicarac MX-270 (above, trade name, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), Ba type benzoxazine, Bm type benzoxazine (trade name, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.), Nikarac MW-390, Nikarac MW-100LM (trade name, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) ), HMOM-TPHAP (trade name, manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.) and the like.

これらの化合物を添加し、得られる硬化性組成物は、150〜250℃程度の熱処理時熱により以下の熱架橋反応を引き起こし、機械強度および薬品耐性をさらに向上する。   The curable composition obtained by adding these compounds causes the following thermal crosslinking reaction by heat during heat treatment at about 150 to 250 ° C., and further improves mechanical strength and chemical resistance.

Figure 2011077251
Figure 2011077251

このような架橋剤の添加量としては、(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミド100重量部に対して、好ましくは0.5から150重量部であり、さらに好ましくは1から130重量部の範囲である。(A)前記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミド100重量部に対する(b−3)架橋剤の添加量が150重量部より大きくなると、樹脂比率が少なすぎるため、硬化物の耐熱性が低下するという問題がある。一方、0.5重量部より少なくなると、架橋による分子量増大効果が小さく、硬化物の耐熱性が低下するという問題がある。   The addition amount of such a crosslinking agent is preferably 0.5 to 150 parts by weight, more preferably 100 parts by weight of the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1). Is in the range of 1 to 130 parts by weight. (A) When the addition amount of (b-3) cross-linking agent with respect to 100 parts by weight of the polyimide having the structural unit represented by the general formula (1) is larger than 150 parts by weight, the resin ratio is too small. There exists a problem that heat resistance falls. On the other hand, when the amount is less than 0.5 parts by weight, there is a problem that the effect of increasing the molecular weight due to crosslinking is small and the heat resistance of the cured product is lowered.

さらに、本発明では、硬化性組成物を基板に塗布する時の粘度を調整するために、有機溶媒を用いることができる。このとき使用される有機溶媒としては、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチロラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。   Furthermore, in this invention, in order to adjust the viscosity at the time of apply | coating a curable composition to a board | substrate, an organic solvent can be used. Examples of the organic solvent used here include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, Tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid and the like, and organic solvent mixtures containing one or more of these are used.

次に、本発明のディスプレイ用部材を製造する方法について、プラズマディスプレイ背面板用段違い格子状隔壁の製造方法を例に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Next, the method for producing the display member of the present invention will be described with reference to an example of a method for producing an uneven grid-like partition for a plasma display back plate, but the present invention is not limited to this.

最初に基板を用意する。本発明では、低い硬化温度で十分硬化が促進するため、従来のガラスや金属からなる基板に加え、ポリイミドやポリエーテルスルホン樹脂などの樹脂基板を使用できる。これらの樹脂基板を使用することにより、ディスプレイの軽量化およびフレキシブル化を図ることができる。   First, a substrate is prepared. In the present invention, since curing is sufficiently promoted at a low curing temperature, a resin substrate such as polyimide or polyethersulfone resin can be used in addition to a conventional substrate made of glass or metal. By using these resin substrates, it is possible to reduce the weight and flexibility of the display.

続いて、基板の上面にアドレス電極を形成する方法について述べる。例えば後述の感光性導電ペーストを基板上に塗布し、60〜100℃で5〜30分間乾燥して塗膜を形成する。続いて露光マスクを介して選択的に光照射した後、現像して不要部分を除去し、150〜250℃で熱処理を行って導電性を付与し、アドレス電極とする。好適に用いられる感光性導電ペーストの組成を下記に示す。
(感光性導電ペーストの例)
・ポリマー:アクリル酸/アクリル酸メチル/スチレン=40/30/30重量%からなる共重合体のカルボキシル基に対して0.8当量のグリシジルメタクリレートを付加反応させたもの(重量平均分子量27000、酸価100)を100重量部
・モノマー:ポリプロピレングリコールジアクリレート(日油株式会社製、“PDP400”)を50重量部
・光重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1(チバスペシャリティーケミカルズ社製、“IC369”)を25重量部
・溶剤:γ−ブチロラクトンを400重量部
・導電性粉末:銀フレーク(トクセン工業株式会社製、“M−13”)を1920重量部
次に、隔壁を形成する。隔壁は、例えばインプリント法によって形成できる。インプリント法を用いる場合、硬化性組成物を用いて、所望の隔壁に対応する凹部を有するモールドを用意する工程、該モールドの凹部と基板の間に硬化性組成物を充填する工程、該充填された硬化性組成物を基板上に転写する工程を含む製造方法により、隔壁を形成することが好ましい。このような製造方法を用いることで、安価でかつ信頼性の高い隔壁を提供できる。
(硬化性組成物の例−1)
・ポリイミド:2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(0.7モル)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(0.05モル)、3−アミノフェノール(0.6モル)、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物(1.0モル)を、70℃で4時間、180℃で3時間反応させたポリイミド(重量平均分子量23,000)を100重量部
・エポキシ化合物:1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル(ジャパンエポキシレジン株式会社製、“YED216M”)を100重量部、およびビスフェノールF型エポキシ化合物(ジャパンエポキシレジン株式会社製、“エピコート807”)を100重量部
・硬化促進剤:イミダゾール化合物(四国化成工業株式会社製、“2E4MZ−A”)を5重量部
本発明の硬化性組成物は、各成分を所定の組成となるように調合した後、3本ローラーなどの混練機器を用いて本混練を行って均質分散し、作製できる。また、本混練を終えた硬化性組成物を適宜、濾過、脱泡しておくことも好ましい。
このようにして作製した硬化性組成物は、前述したように、室温では粘度が高く流動しないが、加熱すると流動性が向上し、押圧により変形可能となるものである。
Next, a method for forming address electrodes on the upper surface of the substrate will be described. For example, the below-mentioned photosensitive conductive paste is applied on a substrate and dried at 60 to 100 ° C. for 5 to 30 minutes to form a coating film. Subsequently, after selectively irradiating with light through an exposure mask, development is performed to remove unnecessary portions, and heat treatment is performed at 150 to 250 ° C. to impart conductivity to form an address electrode. The composition of the photosensitive conductive paste preferably used is shown below.
(Example of photosensitive conductive paste)
Polymer: A product obtained by addition reaction of 0.8 equivalent of glycidyl methacrylate with respect to the carboxyl group of a copolymer of acrylic acid / methyl acrylate / styrene = 40/30/30% by weight (weight average molecular weight 27000, acid 100) parts by weight: Monomer: 50 parts by weight of polypropylene glycol diacrylate (manufactured by NOF Corporation, “PDP400”). Photopolymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morphol. 25 parts by weight of linophenyl) butanone-1 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, “IC369”), solvent: 400 parts by weight of γ-butyrolactone, conductive powder: silver flakes (manufactured by Toxen Industries, “M-13 ") 1920 parts by weight Next, a partition wall is formed. The partition can be formed by, for example, an imprint method. When using the imprint method, a step of preparing a mold having a recess corresponding to a desired partition using the curable composition, a step of filling the curable composition between the recess of the mold and the substrate, the filling The partition walls are preferably formed by a production method including a step of transferring the prepared curable composition onto the substrate. By using such a manufacturing method, an inexpensive and highly reliable partition can be provided.
(Example of curable composition-1)
Polyimide: 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (0.7 mol), 1,3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (0.05 mol), 3-aminophenol (0.6 mol), 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride (1.0 mol), 4 hours at 70 ° C., 3 hours at 180 ° C. 100 parts by weight of reacted polyimide (weight average molecular weight 23,000) / epoxy compound: 100 parts by weight of 1,6-hexanediol diglycidyl ether (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., “YED216M”), and bisphenol F type 100 parts by weight of an epoxy compound (“Epicoat 807” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) and curing accelerator: imidazo 5 parts by weight of a rubber compound (“2E4MZ-A”, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.) The curable composition of the present invention is prepared by mixing each component so as to have a predetermined composition, and then kneading three rollers or the like It can be prepared by carrying out the main kneading using an apparatus and homogeneously dispersing it. Moreover, it is also preferable to appropriately filter and degas the curable composition after the completion of the main kneading.
As described above, the curable composition thus prepared has a high viscosity at room temperature and does not flow. However, when heated, the fluidity is improved and can be deformed by pressing.

まず、モールドの凹部と基板の間に硬化性組成物を充填する工程について述べる。硬化性組成物の充填方法としては、まず基板上に硬化性組成物を塗布しモールドを圧着する方法や、モールドに硬化性組成物を充填し基板に圧着する方法などが挙げられるが、例として、基板上に硬化性組成物を塗布しモールドを圧着する方法を以下に詳説する。   First, the step of filling the curable composition between the concave portion of the mold and the substrate will be described. Examples of the method for filling the curable composition include a method in which the curable composition is first coated on the substrate and the mold is pressure-bonded, and a method in which the mold is filled with the curable composition and pressure-bonded to the substrate. A method for applying the curable composition on the substrate and press-bonding the mold will be described in detail below.

作製した電極つき基板上に本発明の硬化性組成物塗布膜を形成する。形成方法としては、スクリーン印刷、ナイフコーター、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーター等の方法を用いて塗布し、必要に応じて乾燥することができる。また、塗布時の硬化性組成物や塗布装置、電極付き基板などの温度を80〜200℃に加熱して塗布を行うことも、硬化性組成物の粘度を制御する上で好ましい。塗布厚みは、使用するモールドの体積と隔壁パターン下部の膜厚などを考慮して決めることができる。通常は、50〜200μmである。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、硬化性組成物の粘度等によって調整できる。   The curable composition coating film of the present invention is formed on the prepared substrate with electrodes. As a formation method, it can apply | coat using methods, such as screen printing, a knife coater, a bar coater, a roll coater, a die coater, a blade coater, and can be dried as needed. In addition, it is also preferable to control the viscosity of the curable composition by heating the curable composition at the time of coating, the coating apparatus, the electrode-attached substrate, and the like to a temperature of 80 to 200 ° C. The coating thickness can be determined in consideration of the volume of the mold to be used and the film thickness under the partition pattern. Usually, it is 50-200 micrometers. The coating thickness can be adjusted by the number of coatings, the screen mesh, the viscosity of the curable composition, and the like.

次に、硬化性組成物を塗布した基板上にモールドを圧着する。圧着方法としては特に限定されないが、真空プレス機やラミネートロールによるラミネート法を用いると、抜けや気泡のない均一な膜が得られる。   Next, a mold is pressure-bonded onto the substrate coated with the curable composition. The pressure-bonding method is not particularly limited, but if a lamination method using a vacuum press or a laminate roll is used, a uniform film free from voids and bubbles can be obtained.

続いて、熱インプリントを行う。熱インプリントは、所望の隔壁とは逆の形状を有するモールドを硬化性組成物塗布膜に圧着した状態で、例えば80〜200℃で、5〜180秒の間行うことが好ましい。また、成形後のモールド温度を素早く冷却するため、冷却装置を有することも好ましい。熱インプリントを行った後、モールドを硬化性組成物塗布膜から除去し、所望の隔壁パターンを得る。得られた隔壁は変形、亀裂、断線などの欠陥がない。   Subsequently, thermal imprinting is performed. The thermal imprint is preferably performed, for example, at 80 to 200 ° C. for 5 to 180 seconds in a state where a mold having a shape opposite to a desired partition wall is pressed onto the curable composition coating film. Moreover, in order to cool the mold temperature after shaping | molding quickly, it is also preferable to have a cooling device. After performing the thermal imprint, the mold is removed from the curable composition coating film to obtain a desired partition wall pattern. The obtained partition walls are free from defects such as deformation, cracks, and disconnection.

さらに、硬化性組成物を隔壁パターン状に成形した後、加熱して硬化を促進することができる。硬化温度は、80〜250℃で、10秒〜30分行うことが好ましい。また、熱インプリント時に十分硬化している場合は、この工程を省略できる。   Furthermore, after the curable composition is formed into a partition wall pattern, it can be heated to promote curing. The curing temperature is preferably 80 to 250 ° C. and 10 seconds to 30 minutes. In addition, this step can be omitted when the resin is sufficiently cured at the time of thermal imprinting.

図1に上述の硬化性組成物を用いて熱インプリント法によりプラズマディスプレイの隔壁を形成する方法の例を模式的に示す。   FIG. 1 schematically shows an example of a method for forming partition walls of a plasma display by the thermal imprint method using the above curable composition.

まず、図1(a)に示すように、基板3上にストライプ状のアドレス電極4、誘電体層5を設けた基板6を用意し、基板6上に必要に応じて加熱しながら硬化性組成物7aを塗布する。次に段違い格子状隔壁に対応したモールド1を配置し、ラミネートロール2を用いて圧着させることにより、基板6とモールド1との間に硬化性組成物7aを充填する。   First, as shown in FIG. 1A, a substrate 6 having a stripe-shaped address electrode 4 and a dielectric layer 5 provided on a substrate 3 is prepared, and a curable composition is heated on the substrate 6 as necessary. An object 7a is applied. Next, the mold 1 corresponding to the stepped grid-like partition is disposed, and the laminate roll 2 is used for pressure bonding, so that the curable composition 7 a is filled between the substrate 6 and the mold 1.

次に図1(b)に示すように、モールドおよび基板を加熱することで、硬化性組成物7aの粘度を低減して賦型し、次いで基板6および硬化性組成物からモールド1を剥離し、必要に応じてさらに熱硬化を行い、図1(c)に示すような隔壁前駆体7bを有するプラズマディスプレイ用部材を得ることができる。続いて、基板を400〜650℃で焼成してプラズマディスプレイ用隔壁7cを得る。   Next, as shown in FIG. 1B, the mold and the substrate are heated to reduce the viscosity of the curable composition 7a, and then the mold 1 is peeled from the substrate 6 and the curable composition. Further, if necessary, thermosetting can be performed to obtain a plasma display member having the partition wall precursor 7b as shown in FIG. Subsequently, the substrate is baked at 400 to 650 [deg.] C. to obtain plasma display partition walls 7c.

隔壁の製造方法のもう1つの例として、フォトリソ法を用いた製造方法について述べる。フォトリソ法を用いる場合、例えば次に示すような感光性を有する硬化性組成物を基板上に塗布する工程、マスクを介して選択的に光照射する工程、現像液により可溶部分を除去する工程を含む製造方法により、隔壁を形成することが好ましい。このような製造方法を用いることで、大面積での均一性が良好でかつ信頼性の高い隔壁を提供できる。
(硬化性組成物の例−2)
・ポリイミド:2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(0.7モル)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(0.05モル)、3−アミノフェノール(0.3モル)、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物(1.0モル)を、70℃で4時間、180℃で3時間反応させたポリイミド(重量平均分子量25,000)を100重量部
・エチレン性不飽和基含有化合物:トリメチロールプロパントリメタクリレート(共栄社化学株式会社製、“TMP”)を50重量部
・光重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1(チバスペシャリティーケミカルズ社製、“IC369”)を25重量部
・溶剤:γ−ブチロラクトンを400重量部
本発明に好適に用いられる硬化性組成物は、各成分を所定の組成となるように調合した後、3本ローラーや自転公転方式ミキサーなどの混練機器を用いて本混練を行って均質分散し、作製できる。また、本混練を終えた硬化性組成物を適宜、濾過、脱泡しておくことも好ましい。
As another example of the manufacturing method of the partition wall, a manufacturing method using a photolithography method will be described. When using a photolithographic method, for example, a step of applying a photosensitive curable composition as shown below onto a substrate, a step of selectively irradiating light through a mask, a step of removing a soluble portion with a developer The partition walls are preferably formed by a manufacturing method including: By using such a manufacturing method, it is possible to provide a partition wall having good uniformity over a large area and high reliability.
(Example 2 of curable composition)
Polyimide: 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (0.7 mol), 1,3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (0.05 mol), Polyimide obtained by reacting 3-aminophenol (0.3 mol) and bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride (1.0 mol) at 70 ° C. for 4 hours and at 180 ° C. for 3 hours (weight) 100 parts by weight of an average molecular weight 25,000) / ethylenically unsaturated group-containing compound: 50 parts by weight of trimethylolpropane trimethacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., “TMP”) / photopolymerization initiator: 2-benzyl-2 -25 parts by weight of dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, "IC369") and solvent: 400 parts by weight of γ-butyrolactone The curable composition suitably used in the present invention is prepared using a kneading machine such as a three-roller or a rotation / revolution mixer after each component is prepared to have a predetermined composition. It can be prepared by kneading and uniformly dispersing. Moreover, it is also preferable to appropriately filter and degas the curable composition after the completion of the main kneading.

まず、基板上に本発明の硬化性組成物塗布膜を形成する。形成方法としては、スクリーン印刷、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーター等の方法を用いて塗布し、必要に応じて乾燥することができる。塗布厚みは、所望の隔壁の高さと硬化性組成物の収縮率を考慮して決めることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、硬化性組成物の粘度等によって調整できる。乾燥は熱風乾燥機、IR乾燥機等を用いて行い、乾燥温度や時間は用いた硬化性組成物の溶剤や塗布膜厚によって調整できる。   First, the curable composition coating film of the present invention is formed on a substrate. As a formation method, it can apply | coat using methods, such as screen printing, a bar coater, a roll coater, a die coater, a blade coater, and can be dried as needed. The coating thickness can be determined in consideration of the desired partition wall height and shrinkage of the curable composition. The coating thickness can be adjusted by the number of coatings, the screen mesh, the viscosity of the curable composition, and the like. Drying is performed using a hot air drier, IR drier, etc., and the drying temperature and time can be adjusted by the solvent and coating film thickness of the curable composition used.

次に作製した硬化性組成物塗布膜を露光する。露光は、フォトマスクを介して選択的に行う。この際使用される光源は、例えば、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザー光などが挙げられる。露光条件は塗布厚みにより異なるが、通常、1〜100mW/cmの出力の光源を用いて0.01〜30分間露光を行う。 Next, the produced curable composition coating film is exposed. Exposure is selectively performed through a photomask. Examples of the light source used at this time include near ultraviolet rays, ultraviolet rays, electron beams, X-rays, and laser beams. Although exposure conditions vary depending on the coating thickness, exposure is usually performed for 0.01 to 30 minutes using a light source with an output of 1 to 100 mW / cm 2 .

露光後、露光部分と非露光部分の現像液に対する溶解度の差を利用して現像を行うが、通常、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等で行う。現像液としては、アルカリ水溶液が好適に用いられる。アルカリ水溶液としては水酸化ナトリウムや、炭酸ナトリウム、水酸化カリウム水溶液等を使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的にはテトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は通常0.05〜5質量%、より好ましくは0.1〜1質量%である。アルカリ濃度が低すぎれば可溶部が除去されにくく、アルカリ濃度が高すぎればパターンが剥離や腐食するおそれがあり好ましくない。また、現像時の現像温度は20〜50℃で行うことが工程管理上好ましい。   After the exposure, development is performed by utilizing the difference in solubility between the exposed portion and the non-exposed portion in the developer. Usually, the immersion method, the spray method, the brush method, and the like are performed. As the developer, an alkaline aqueous solution is preferably used. As the alkaline aqueous solution, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium hydroxide aqueous solution or the like can be used. However, it is preferable to use an organic alkaline aqueous solution because an alkaline component can be easily removed during firing. As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, and diethanolamine. The density | concentration of aqueous alkali solution is 0.05-5 mass% normally, More preferably, it is 0.1-1 mass%. If the alkali concentration is too low, it is difficult to remove the soluble portion, and if the alkali concentration is too high, the pattern may be peeled off or corroded. The development temperature during development is preferably 20 to 50 ° C. in terms of process control.

図2に上述の硬化性組成物を用いて、フォトリソ法によりプラズマディスプレイの隔壁を形成する方法の例を模式的に示す。   FIG. 2 schematically shows an example of a method for forming partition walls of a plasma display by the photolithography method using the curable composition described above.

まず、図2(a)に示すように、基板3上にストライプ状のアドレス電極4と誘電体層5を設けた基板6を用意し、基板6上に硬化性組成物7aを塗布する。次に補助隔壁用露光マスクを配置し、適切な露光波長で適正量光照射することで、補助隔壁に対応する部分の硬化性組成物7aのみを硬化させて隔壁前駆体7bとする。   First, as shown in FIG. 2A, a substrate 6 having a stripe-shaped address electrode 4 and a dielectric layer 5 provided on a substrate 3 is prepared, and a curable composition 7 a is applied on the substrate 6. Next, an exposure mask for auxiliary barrier ribs is arranged, and an appropriate amount of light is irradiated at an appropriate exposure wavelength, whereby only a portion of the curable composition 7a corresponding to the auxiliary barrier ribs is cured to form barrier rib precursors 7b.

さらに図2(c)に示すように、硬化性組成物7’aを塗布する。次に主隔壁用露光マスクを配置し、適切な露光波長で適正量光照射することで、図2(d)に示すように主隔壁に対応する部分の硬化性組成物7’aのみを硬化させて隔壁前駆体7’bとする。
続いて現像を行い、7aおよび7’a部分を除去することで、図1(c)に示すような隔壁前駆体7b、7’bを有するプラズマディスプレイ用部材を得ることができる。続いて、基板を400〜650℃で焼成してプラズマディスプレイ用隔壁7cを得る。
Furthermore, as shown in FIG.2 (c), curable composition 7'a is apply | coated. Next, an exposure mask for the main partition is arranged, and an appropriate amount of light is irradiated at an appropriate exposure wavelength to cure only the portion of the curable composition 7′a corresponding to the main partition as shown in FIG. Thus, a partition wall precursor 7′b is obtained.
Subsequently, development is performed to remove portions 7a and 7′a, whereby a plasma display member having partition wall precursors 7b and 7′b as shown in FIG. 1C can be obtained. Subsequently, the substrate is baked at 400 to 650 [deg.] C. to obtain plasma display partition walls 7c.

以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。本発明を用いて、画素数207万画素(1920画素×1080画素)の42インチプラズマディスプレイ用隔壁を作製した。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples. However, the present invention is not limited to this. By using the present invention, a 42-inch plasma display partition wall having 2.70 million pixels (1920 pixels × 1080 pixels) was manufactured.

硬化性組成物に用いた原料は以下の通りである。
・ポリイミド(I):2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(0.7モル)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(0.15モル)、3−アミノフェノール(0.3モル)、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物(1.0モル)を、70℃で4時間、180℃で3時間反応させたポリイミド(重量平均分子量20,000)
・ポリイミド(II):2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(0.057モル)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(0.005モル)、3−アミノフェノール(0.075モル)、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物(0.1モル)を、70℃で4時間反応させ、N,N−ジメチルホルムアミドジメチルアセタール(0.127モル)を付加させたポリイミド前駆体(重量平均分子量30,000)
・架橋剤(I):1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル(ジャパンエポキシレジン(株)製、“YED216M”、粘度0.018Pa.s)
・架橋剤(II):ビスフェノールF型エポキシ化合物(ジャパンエポキシレジン(株)製、“エピコート807”、)
・架橋剤(III):トリメチロールプロパントリメタクリレート(共栄社化学(株)製、“TMP”)
・架橋剤(IV):メチロール基含有化合物(本州化学(株)製、HMOM−TPHAP)
・硬化促進剤:2E4MZ−A(イミダゾール化合物、四国化成工業(株)製)
・アクリル樹脂(I):メタクリル酸/メタクリル酸メチル/スチレン=40/30/30重量%からなる共重合体のカルボキシル基に対して0.8当量のグリシジルメタクリレートを付加反応させたもの(重量平均分子量27000、酸価100)
(実施例1〜10、比較例1〜3)
A.硬化性組成物の作製
ポリイミド(I)、架橋剤(I)を所定量秤量し、攪拌機にて攪拌して均一溶液とした後、架橋剤(II)、硬化促進剤を所定量添加し、3本ローラー混練機にて混練し、硬化性組成物とした。
B.プラズマディスプレイ用隔壁の作製
まず、モールドを用意する。モールドは頂部線幅(開口幅)40μm、底部線幅20μm、深さ120μmの主隔壁に対応する溝と、頂部線幅(開口幅)40μm、底部線幅20μm、深さ100μmの補助隔壁に対応する溝を有する。主隔壁に対応する溝のピッチは160μm、補助隔壁に対応する溝のピッチは480μmであった。
プラズマディスプレイ隔壁を以下の手順にて作製した。旭硝子株式会社製 “PD−200”ガラス基板(42インチ)上に、感光性導電ペーストを用いたフォトリソグラフィ法により、ピッチ160μm、線幅50μmのアドレス電極パターンを形成した。
(感光性導電ペースト)
・ポリマー:アクリル酸/アクリル酸メチル/スチレン=40/30/30からなる共重合体のカルボキシル基に対して0.4当量のグリシジルメタクリレートを付加反応させたもの(重量平均分子量27000、酸価100)を100重量部
・モノマー:ポリプロピレングリコールジアクリレート(日油株式会社製、“PDP400”)を50重量部
・光重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1(チバスペシャリティーケミカルズ社製、“IC369”)を25重量部
・溶剤:γ−ブチロラクトンを400重量部
・導電性粉末:銀フレーク(トクセン工業株式会社製、“M−13”)を1920重量部
続いて、アドレス電極つき基板、モールドおよび硬化性組成物を80℃に加熱した状態で、モールドを硬化性組成物に圧着した。硬化性組成物、電極を介して、基板にモールドが圧着している状態で、120℃で30秒保持してからモールドを硬化性組成物から剥離し、しかる後、表1に記載の条件で硬化を行い、隔壁を形成した。得られた隔壁の亀裂、断線が1ヶ所以内ならば欠陥評価はAA、2〜5ヶ所以内であれば欠陥評価はA、6〜20ヶ所以内であれば欠陥評価はB、20ヶ所以上で隔壁としては不可であり、欠陥評価はCとした。
C.ガラス転移点(Tg)測定
硬化性組成物を、スクリーン印刷によりガラス基板に全面塗布し、表1に記載の条件で硬化して、厚さ10μmの硬化膜を形成し、示差走査熱量計((株)島津製作所製、“DSC−50”)によりTgを測定した。
D.薬品耐性評価
硬化性組成物を、スクリーン印刷によりガラス基板に全面塗布し、表1に記載の条件で硬化して、厚さ10μmの硬化膜を形成した。形成した硬化膜をγ−ブチロラクトンに30分間浸漬し、純水で洗浄した後の塗布膜表面および膜厚に変化がなければ薬品耐性はAA、膜厚が7〜9μmに膜減りしているか、10μm以下の小さなクラックが発生していれば薬品耐性評価はA、膜厚が5〜7μmに膜減りしているか、10〜100μmのクラックが発生していれば薬品耐性評価はB、膜厚が0〜5μmに膜減りしているか、100μm以上のクラックが発生していれば薬品耐性評価はCとした。
The raw materials used for the curable composition are as follows.
Polyimide (I): 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (0.7 mol), 1,3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (0.15 Mol), 3-aminophenol (0.3 mol), bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride (1.0 mol) were reacted at 70 ° C. for 4 hours and at 180 ° C. for 3 hours. Polyimide (weight average molecular weight 20,000)
Polyimide (II): 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (0.057 mol), 1,3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (0.005 Mol), 3-aminophenol (0.075 mol), bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride (0.1 mol), reacted at 70 ° C. for 4 hours, and N, N-dimethylformamide Polyimide precursor added with dimethyl acetal (0.127 mol) (weight average molecular weight 30,000)
Crosslinking agent (I): 1,6-hexanediol diglycidyl ether (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., “YED216M”, viscosity 0.018 Pa.s)
Crosslinking agent (II): Bisphenol F type epoxy compound (Japan Epoxy Resin Co., Ltd., “Epicoat 807”)
Crosslinking agent (III): trimethylolpropane trimethacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., “TMP”)
Crosslinking agent (IV): methylol group-containing compound (Homshu Chemical Co., Ltd., HMOM-TPHAP)
Curing accelerator: 2E4MZ-A (imidazole compound, manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.)
Acrylic resin (I): A product obtained by addition reaction of 0.8 equivalent of glycidyl methacrylate to a carboxyl group of a copolymer consisting of methacrylic acid / methyl methacrylate / styrene = 40/30/30% by weight (weight average) (Molecular weight 27000, acid value 100)
(Examples 1-10, Comparative Examples 1-3)
A. Preparation of curable composition A predetermined amount of polyimide (I) and cross-linking agent (I) are weighed and stirred with a stirrer to form a uniform solution, and then a predetermined amount of cross-linking agent (II) and curing accelerator are added. It knead | mixed with this roller kneader and was set as the curable composition.
B. Preparation of partition for plasma display First, a mold is prepared. The mold corresponds to a groove corresponding to a main partition wall having a top line width (opening width) of 40 μm, a bottom line width of 20 μm and a depth of 120 μm, and an auxiliary partition wall having a top line width (opening width) of 40 μm, a bottom line width of 20 μm and a depth of 100 μm. It has a groove. The pitch of the grooves corresponding to the main partition walls was 160 μm, and the pitch of the grooves corresponding to the auxiliary partition walls was 480 μm.
A plasma display partition was produced by the following procedure. An address electrode pattern having a pitch of 160 μm and a line width of 50 μm was formed on a “PD-200” glass substrate (42 inches) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. by photolithography using a photosensitive conductive paste.
(Photosensitive conductive paste)
Polymer: A product obtained by adding 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate to a carboxyl group of a copolymer of acrylic acid / methyl acrylate / styrene = 40/30/30 (weight average molecular weight 27000, acid value 100) ) 100 parts by weight Monomer: Polypropylene glycol diacrylate (manufactured by NOF Corporation, “PDP400”) 50 parts by weight Photopolymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) ) 25 parts by weight of butanone-1 (Ciba Specialty Chemicals, "IC369"), solvent: 400 parts by weight of γ-butyrolactone, conductive powder: silver flakes ("M-13", manufactured by Toxen Industries Co., Ltd.) Next, heat the substrate with address electrodes, the mold and the curable composition to 80 ° C. In state it was crimped mold the curable composition. In a state where the mold is pressure-bonded to the substrate via the curable composition and the electrode, the mold is peeled off from the curable composition after being held at 120 ° C. for 30 seconds, and thereafter, under the conditions described in Table 1. Curing was performed to form partition walls. Defect evaluation is AA if cracks and breaks in the obtained partition wall are within 1 place, defect evaluation is A if within 2 to 5 places, defect evaluation is B if within 6 to 20 places, partition wall in 20 or more places As a result, the defect evaluation was C.
C. Glass transition point (Tg) measurement A curable composition was applied on the entire surface of a glass substrate by screen printing and cured under the conditions shown in Table 1 to form a cured film having a thickness of 10 μm, and a differential scanning calorimeter (( Tg was measured by “DSC-50” manufactured by Shimadzu Corporation.
D. Evaluation of chemical resistance A curable composition was applied on the entire surface of a glass substrate by screen printing and cured under the conditions shown in Table 1 to form a cured film having a thickness of 10 μm. If the formed cured film is immersed in γ-butyrolactone for 30 minutes and washed with pure water, the chemical resistance is AA and the film thickness is reduced to 7-9 μm if there is no change in the coating film surface and film thickness. If a small crack of 10 μm or less occurs, the chemical resistance evaluation is A, the film thickness is reduced to 5-7 μm, or if a 10-100 μm crack is generated, the chemical resistance evaluation is B, the film thickness is The chemical resistance evaluation was C if the film was reduced to 0 to 5 μm or cracks of 100 μm or more had occurred.

(実施例1)
表1に示す化合物を用いて作製した硬化性組成物の25℃での粘度は890Pa・s、80℃での粘度は7.1Pa・sでη(25℃)/η(80℃)は125であった。さらに、作製したプラズマディスプレイ用隔壁は、亀裂や欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。さらに、作製した硬化膜のTgは181℃に1点のみ観測され、薬品耐性評価では膜厚は10μmで、クラックもなく、薬品耐性評価はAAであった。
Example 1
The viscosity at 25 ° C. of the curable composition prepared using the compounds shown in Table 1 is 890 Pa · s, the viscosity at 80 ° C. is 7.1 Pa · s, and η (25 ° C.) / Η (80 ° C.) is 125. Met. Further, the produced partition for plasma display had no cracks or defects, and the defect evaluation was AA. Furthermore, Tg of the produced cured film was observed only at 181 ° C., and in the chemical resistance evaluation, the film thickness was 10 μm, there was no crack, and the chemical resistance evaluation was AA.

(実施例2)
硬化促進剤を添加しない他は、実施例1を繰り返した。粘度およびTgは、実施例1とほぼ同じであった。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は、亀裂や欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。しかし、薬品耐性評価では10μm以下のクラックが発生したため、薬品耐性評価はAであった。
(Example 2)
Example 1 was repeated except that no curing accelerator was added. The viscosity and Tg were almost the same as in Example 1. The produced partition for plasma display had no cracks or defects, and the defect evaluation was AA. However, in the chemical resistance evaluation, cracks of 10 μm or less occurred, so the chemical resistance evaluation was A.

(実施例3)
架橋剤(I)を添加しない他は、実施例1を繰り返した。硬化性組成物のη(25℃)/η(80℃)は104であった。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は、亀裂や欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。しかし、薬品耐性評価では10〜100μmのクラックが発生したため、薬品耐性評価はBであった。
(Example 3)
Example 1 was repeated except that no crosslinker (I) was added. The η (25 ° C.) / Η (80 ° C.) of the curable composition was 104. The produced partition for plasma display had no cracks or defects, and the defect evaluation was AA. However, in the chemical resistance evaluation, since a crack of 10 to 100 μm was generated, the chemical resistance evaluation was B.

(実施例4)
架橋剤(II)の替わりに、ポリイミド(I)をフタル酸ジブチルに溶解した他は、実施例1を繰り返した。硬化性組成物のη(25℃)/η(80℃)は41であり、硬化性組成物のη(25℃)/η(80℃)が39となり、モールドへの充填性が低下したことから、作製したプラズマディスプレイ用隔壁は断線が12ヶ所発生し、欠陥評価はBであった。しかし、薬品耐性評価では膜厚が5μmになっており、薬品耐性評価はBであった。
Example 4
Example 1 was repeated except that polyimide (I) was dissolved in dibutyl phthalate instead of the crosslinking agent (II). The η (25 ° C.) / Η (80 ° C.) of the curable composition was 41, and the η (25 ° C.) / Η (80 ° C.) of the curable composition was 39, and the mold filling property was reduced. Thus, in the produced partition for plasma display, 12 breaks occurred, and the defect evaluation was B. However, in the chemical resistance evaluation, the film thickness was 5 μm, and the chemical resistance evaluation was B.

(実施例5)
架橋剤(I)と架橋剤(II)の添加量を変えた他は、実施例1を繰り返した。硬化性組成物のη(25℃)/η(80℃)は130であった。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は欠陥がなく欠陥評価はAAであった。薬品耐性評価では10μm以下のクラックが発生し、Aであった。
(Example 5)
Example 1 was repeated except that the addition amount of the crosslinking agent (I) and the crosslinking agent (II) was changed. The η (25 ° C.) / Η (80 ° C.) of the curable composition was 130. The produced plasma display partition had no defects and the defect evaluation was AA. In the chemical resistance evaluation, a crack of 10 μm or less occurred and was A.

(実施例6)
架橋剤(I)と架橋剤(II)の添加量を変えた他は、実施例1を繰り返した。硬化性組成物のη(25℃)/η(80℃)が64であり、作製したプラズマディスプレイ用隔壁は断線が4ヶ所発生し、欠陥評価はAであった。一方、薬品耐性評価はAAであった。
(Example 6)
Example 1 was repeated except that the addition amount of the crosslinking agent (I) and the crosslinking agent (II) was changed. Η (25 ° C.) / Η (80 ° C.) of the curable composition was 64, and the produced partition for plasma display had four breaks, and the defect evaluation was A. On the other hand, the chemical resistance evaluation was AA.

(実施例7)
ポリイミド(I)の添加量を変えた他は、実施例1を繰り返した。作製した硬化性組成物のη(25℃)/η(80℃)が88であった。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は断線が4ヶ所発生し、欠陥評価はAであった。薬品耐性評価を行ったところ、架橋剤が不十分であり、膜厚が6μmであったため、薬品耐性評価はBであった。
(Example 7)
Example 1 was repeated except that the amount of polyimide (I) added was changed. Η (25 ° C.) / Η (80 ° C.) of the produced curable composition was 88. The produced partition for plasma display had four breaks, and the defect evaluation was A. When chemical resistance evaluation was performed, the crosslinking resistance was insufficient and the film thickness was 6 μm. Therefore, the chemical resistance evaluation was B.

(実施例8)
ポリイミド(I)の添加量を変えた他は、実施例1を繰り返した。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。薬品耐性評価を行ったところ、10〜100μmのクラックが発生し、薬品耐性評価はBであった。
(Example 8)
Example 1 was repeated except that the amount of polyimide (I) added was changed. The produced partition for plasma display had no defect, and the defect evaluation was AA. When chemical resistance evaluation was performed, a crack of 10 to 100 μm was generated, and the chemical resistance evaluation was B.

(実施例9)
硬化温度を150℃にした他は、実施例1を繰り返した。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。薬品耐性評価を行ったところ、10〜100μmのクラックが発生し、薬品耐性評価はBであった。
Example 9
Example 1 was repeated except that the curing temperature was 150 ° C. The produced partition for plasma display had no defect, and the defect evaluation was AA. When chemical resistance evaluation was performed, a crack of 10 to 100 μm was generated, and the chemical resistance evaluation was B.

(実施例10)
硬化温度を250℃にした他は、実施例1を繰り返した。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。薬品耐性評価を行ったところ、評価はAAであった。
(Example 10)
Example 1 was repeated except that the curing temperature was 250 ° C. The produced partition for plasma display had no defect, and the defect evaluation was AA. When the chemical resistance evaluation was performed, the evaluation was AA.

(比較例1)
ポリイミドとして、ポリイミド(II)を用いた他は、実施例1を繰り返した。硬化時の収縮が大きく、作製したプラズマディスプレイ用隔壁には亀裂が20ヶ所以上発生し、欠陥評価はCであった。さらに、180℃ではイミド化が不十分であり、薬品耐性評価において、硬化膜が全て溶解したため、薬品耐性評価はCであった。
(Comparative Example 1)
Example 1 was repeated except that polyimide (II) was used as the polyimide. The shrinkage at the time of curing was large, cracks were generated in 20 or more places on the produced partition for plasma display, and the defect evaluation was C. Furthermore, imidation was insufficient at 180 ° C., and in the chemical resistance evaluation, the cured film was completely dissolved. Therefore, the chemical resistance evaluation was C.

(比較例2)
架橋剤(I)、架橋剤(II)を添加せず、ポリイミドをフタル酸ジブチルに溶解した他は、実施例1を繰り返した。インプリント後に硬化せず、モールドから剥離できなかったため、プラズマディスプレイ用隔壁は形成できず、欠陥評価はCであった。さらに、薬品耐性評価において、硬化膜が全て溶解したため、薬品耐性評価はCであった。
(Comparative Example 2)
Example 1 was repeated except that the crosslinking agent (I) and the crosslinking agent (II) were not added and the polyimide was dissolved in dibutyl phthalate. Since it was not cured after imprinting and could not be peeled from the mold, the partition for plasma display could not be formed, and the defect evaluation was C. Furthermore, in the chemical resistance evaluation, since the cured film was completely dissolved, the chemical resistance evaluation was C.

(実施例11〜18、比較例3〜5)
A.硬化性組成物の作製
ポリイミド(I)、架橋剤(III)、架橋剤(IV)を所定量と、光重合開始剤(IC−369、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ(株)製)25重量部、溶剤としてγ−ブチロラクトン400重量部を秤量し、攪拌機にて攪拌して均一な硬化性組成物とした。
B.プラズマディスプレイ用隔壁の作製
プラズマディスプレイ隔壁を以下の手順にて作製した。旭硝子株式会社製 “PD−200”ガラス基板(42インチ)上に、感光性導電ペーストを用いたフォトリソグラフィ法により、ピッチ160μm、線幅50μmのアドレス電極パターンを形成した。
(Examples 11-18, Comparative Examples 3-5)
A. Preparation of curable composition Polyimide (I), crosslinking agent (III), crosslinking agent (IV) in a predetermined amount, and a photopolymerization initiator (IC-369, manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 25 parts by weight, As a solvent, 400 parts by weight of γ-butyrolactone was weighed and stirred with a stirrer to obtain a uniform curable composition.
B. Preparation of partition for plasma display A plasma display partition was prepared by the following procedure. An address electrode pattern having a pitch of 160 μm and a line width of 50 μm was formed on a “PD-200” glass substrate (42 inches) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. by photolithography using a photosensitive conductive paste.

Figure 2011077251
Figure 2011077251

(感光性導電ペースト)
・ポリマー:アクリル酸/アクリル酸メチル/スチレン=40/30/30重量%からなる共重合体のカルボキシル基に対して0.4当量のグリシジルメタクリレートを付加反応させたもの(重量平均分子量27000、酸価100)を100重量部
・モノマー:ポリプロピレングリコールジアクリレート(日油株式会社製、“PDP400”)を50重量部
・光重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1(チバスペシャリティーケミカルズ社製、“IC369”)を25重量部
・溶剤:γ−ブチロラクトンを400重量部
・導電性粉末:銀フレーク(トクセン工業株式会社製、“M−13”)を1920重量部
次いで、アドレス電極が形成されたガラス基板上に誘電体層をスクリーン印刷法により20μmの厚みで形成した。しかる後、硬化性組成物をダイコート塗布法によりアドレス電極パターンおよび誘電体層が形成された背面板ガラス基板上に所望の厚みになるように均一に塗布し、100℃で30分間乾燥した。乾燥後の光硬化型感光性塗布膜の厚みは170μmであった。
(Photosensitive conductive paste)
Polymer: A product obtained by adding 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate to a carboxyl group of a copolymer consisting of acrylic acid / methyl acrylate / styrene = 40/30/30% by weight (weight average molecular weight 27000, acid 100) parts by weight: Monomer: 50 parts by weight of polypropylene glycol diacrylate (manufactured by NOF Corporation, “PDP400”). Photopolymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morphol. 25 parts by weight of linophenyl) butanone-1 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, “IC369”), solvent: 400 parts by weight of γ-butyrolactone, conductive powder: silver flakes (manufactured by Toxen Industries, “M-13 Next, a dielectric layer is screened on the glass substrate on which the address electrodes are formed. It was formed in 20μm thickness by a printing method. Thereafter, the curable composition was uniformly applied on the back plate glass substrate on which the address electrode pattern and the dielectric layer were formed by a die coating method, and dried at 100 ° C. for 30 minutes. The thickness of the photocurable photosensitive coating film after drying was 170 μm.

引き続き、プロキシミティ露光機により、ピッチ160μm、線幅20μmの主隔壁パターンと、ピッチ480μm、幅20μmの補助隔壁パターンを有するネガ型マスクを介して露光を行った。露光は、硬化性組成物に応じて、50から1000mJ/cmの範囲で選択して行った。 Subsequently, exposure was performed by a proximity exposure machine through a negative mask having a main partition pattern having a pitch of 160 μm and a line width of 20 μm and an auxiliary partition pattern having a pitch of 480 μm and a width of 20 μm. Exposure was selected and performed in the range of 50 to 1000 mJ / cm 2 depending on the curable composition.

次に、35℃に保持したモノエタノールアミンの0.2Wt%水溶液をシャワーで180秒間かけることにより現像し、シャワースプレーを用いて水洗浄して光硬化していない部分を除去した。しかる後、表2に記載の条件で硬化を行い、隔壁を形成した。得られた隔壁の亀裂、断線、蛇行が1ヶ所以内ならば欠陥評価はAA、2〜5ヶ所以内であれば欠陥評価はA、6〜20ヶ所以内であれば欠陥評価はB、20ヶ所以上で隔壁としては不可であり、欠陥評価はCとした。
C.ガラス転移点(Tg)測定
硬化性組成物を、スクリーン印刷によりガラス基板に全面塗布し、表1に記載の条件で硬化して、厚さ10μmの硬化膜を形成し、示差走査熱量計((株)島津製作所製、“DSC−50”)によりTgを測定した。
Next, a 0.2 Wt% aqueous solution of monoethanolamine maintained at 35 ° C. was developed by applying it for 180 seconds in a shower, and was washed with water using a shower spray to remove the uncured portion. Thereafter, curing was performed under the conditions described in Table 2 to form partition walls. Defect evaluation is AA if cracks, breaks, and meandering of the partition walls are within one place, A is evaluation if within 2 to 5 places, B is defect evaluation if within 6 to 20 places, and over 20 places. Therefore, the evaluation of the defect is C.
C. Glass transition point (Tg) measurement A curable composition was applied on the entire surface of a glass substrate by screen printing and cured under the conditions shown in Table 1 to form a cured film having a thickness of 10 μm, and a differential scanning calorimeter (( Tg was measured by “DSC-50” manufactured by Shimadzu Corporation.

D.薬品耐性評価
硬化性組成物を、スクリーン印刷によりガラス基板に全面塗布し、表2に記載の条件で硬化して、厚さ10μmの硬化膜を形成した。形成した硬化膜をγ−ブチロラクトンに30分間浸漬し、純水で洗浄した後の塗布膜表面および膜厚に変化がなければ薬品耐性はAA、膜厚が7〜9μmに膜減りしているか、10μm以下の小さなクラックが発生していれば薬品耐性評価はA、膜厚が5〜7μmに膜減りしているか、10〜100μmのクラックが発生していれば薬品耐性評価はB、膜厚が0〜5μmに膜減りしているか、100μm以上のクラックが発生していれば薬品耐性評価はCとした。
D. Evaluation of chemical resistance A curable composition was applied to the entire surface of a glass substrate by screen printing and cured under the conditions shown in Table 2 to form a cured film having a thickness of 10 μm. If the formed cured film is immersed in γ-butyrolactone for 30 minutes and washed with pure water, the chemical resistance is AA and the film thickness is reduced to 7-9 μm if there is no change in the coating film surface and film thickness. If a small crack of 10 μm or less occurs, the chemical resistance evaluation is A, the film thickness is reduced to 5-7 μm, or if a 10-100 μm crack is generated, the chemical resistance evaluation is B, the film thickness is The chemical resistance evaluation was C if the film was reduced to 0 to 5 μm or cracks of 100 μm or more had occurred.

(実施例11)
表1に示す硬化性組成物を用いて作製したプラズマディスプレイ用隔壁は、亀裂や欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。さらに、隔壁のTgは1点のみであり、薬品耐性評価を行った結果、膜厚は10μmで、クラックもなく、薬品耐性評価はAAであった。なお、硬化性組成物のTgを測定したところ、Tgは74℃と194℃の2点が観測されたが、作製した硬化膜のTgは218℃に1点のみ観測された。
(Example 11)
The partition for plasma display produced using the curable composition shown in Table 1 was free from cracks and defects, and the defect evaluation was AA. Furthermore, the Tg of the partition was only one point, and as a result of chemical resistance evaluation, the film thickness was 10 μm, no cracks, and the chemical resistance evaluation was AA. In addition, when Tg of the curable composition was measured, two points of Tg of 74 ° C. and 194 ° C. were observed, but only one point of Tg of the produced cured film was observed at 218 ° C.

(実施例12)
架橋剤(IV)を添加しない他は、実施例11を繰り返した。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は、亀裂や欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。作製した硬化膜のTgは1点のみであったが、薬品耐性評価では10〜100μmのクラックが発生したため、薬品耐性評価はBであった。
(Example 12)
Example 11 was repeated except that no crosslinker (IV) was added. The produced partition for plasma display had no cracks or defects, and the defect evaluation was AA. The Tg of the prepared cured film was only one point, but the chemical resistance evaluation was B because a crack of 10 to 100 μm occurred in the chemical resistance evaluation.

(実施例13)
架橋剤(III)の添加量を変えた他は、実施例11を繰り返した。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は、架橋剤(III)の架橋が不十分であったため、蛇行が2箇所発生し、欠陥評価Aであった。さらに、作製した硬化膜のTgは1点のみであり、薬品耐性評価を行った結果、膜厚は10μmで、クラックもなく、薬品耐性評価はAAであった。
(Example 13)
Example 11 was repeated except that the addition amount of the crosslinking agent (III) was changed. Since the produced partition for plasma display had insufficient crosslinking of the crosslinking agent (III), meandering occurred at two places, and the defect evaluation was A. Furthermore, Tg of the produced cured film was only one point, and as a result of chemical resistance evaluation, the film thickness was 10 μm, there were no cracks, and the chemical resistance evaluation was AA.

(実施例14)
架橋剤(III)の添加量を変えた他は、実施例11を繰り返した。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は亀裂が1ヶ所発生し、欠陥評価はAAであった。作製した硬化膜のTgは1点のみであったが、薬品耐性評価では膜厚が8μmになっており、薬品耐性評価はAであった。
(Example 14)
Example 11 was repeated except that the addition amount of the crosslinking agent (III) was changed. The produced partition for plasma display had one crack, and the defect evaluation was AA. The Tg of the prepared cured film was only one point, but the film thickness was 8 μm in the chemical resistance evaluation, and the chemical resistance evaluation was A.

(実施例15)
ポリイミド(I)の添加量を変えた他は、実施例11を繰り返した。ポリイミド(I)と架橋剤(III)の網目構造が不十分となったため、作製したプラズマディスプレイ用隔壁は蛇行が12ヶ所発生し、欠陥評価はBであった。一方、作製した硬化膜のTgは1点のみであり、薬品耐性評価はAAであった。
(Example 15)
Example 11 was repeated except that the addition amount of polyimide (I) was changed. Since the network structure of the polyimide (I) and the crosslinking agent (III) was insufficient, the produced partition for plasma display had 12 meanders, and the defect evaluation was B. On the other hand, Tg of the produced cured film was only 1 point, and chemical resistance evaluation was AA.

(実施例16)
ポリイミド(I)の添加量を変えた他は、実施例11を繰り返した。硬化性組成物の現像液溶解性が低下したため、作製したプラズマディスプレイ用隔壁は残膜が8ヶ所発生し、欠陥評価はBであった。さらに、作製した硬化膜のTgは1点のみであり、薬品耐性評価を行ったところ、クラックが8ヶ所発生し、評価はBであった。
(Example 16)
Example 11 was repeated except that the addition amount of polyimide (I) was changed. Since the solubility of the curable composition in the developer was lowered, the produced partition for plasma display had 8 remaining films, and the defect evaluation was B. Furthermore, Tg of the produced cured film was only one point. When chemical resistance was evaluated, eight cracks were generated and the evaluation was B.

(実施例17)
硬化温度を180℃にした他は、実施例11を繰り返した。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。作製した硬化膜のTgは1点のみであり、薬品耐性評価を行ったところ、10μm以下のクラックが発生し、薬品耐性評価はBであった。
(Example 17)
Example 11 was repeated except that the curing temperature was 180 ° C. The produced partition for plasma display had no defect, and the defect evaluation was AA. The produced cured film had a Tg of only one point. When chemical resistance was evaluated, cracks of 10 μm or less occurred, and the chemical resistance evaluation was B.

(実施例18)
硬化温度を250℃にした他は、実施例11を繰り返した。作製したプラズマディスプレイ用隔壁は欠陥がなく、欠陥評価はAAであった。作製した硬化膜のTgは1点のみであり、薬品耐性評価を行ったところ、評価はAAであった。
(Example 18)
Example 11 was repeated except that the curing temperature was 250 ° C. The produced partition for plasma display had no defect, and the defect evaluation was AA. The Tg of the produced cured film was only one point, and when the chemical resistance evaluation was performed, the evaluation was AA.

(比較例4)
ポリイミドとして、ポリイミド前駆体を用いた他は、実施例11を繰り返した。硬化時の収縮が大きく、作製したプラズマディスプレイ用隔壁には亀裂が20ヶ所以上発生し、欠陥評価はCであった。硬化膜のTgは1点のみであったが、220℃ではイミド化が不十分であり、薬品耐性評価において、硬化膜が全て溶解したため、薬品耐性評価はCであった。
(Comparative Example 4)
Example 11 was repeated except that a polyimide precursor was used as the polyimide. The shrinkage at the time of curing was large, cracks were generated in 20 or more places on the produced partition for plasma display, and the defect evaluation was C. The Tg of the cured film was only one point, but imidization was insufficient at 220 ° C., and in the chemical resistance evaluation, the cured film was completely dissolved, so the chemical resistance evaluation was C.

(比較例5)
架橋剤(III)を添加しなかった他は、実施例11を繰り返した。感光性を有しなかったため、プラズマディスプレイ用隔壁は形成できず、欠陥評価はCであった。さらに、作製した硬化膜のTgは1点のみであったが、薬品耐性評価において、硬化膜が全て溶解したため、薬品耐性評価はCであった。
(Comparative Example 5)
Example 11 was repeated except that no crosslinker (III) was added. Since it did not have photosensitivity, the partition for plasma displays could not be formed, and the defect evaluation was C. Furthermore, although Tg of the produced cured film was only one point, in the chemical resistance evaluation, since the cured film was completely dissolved, the chemical resistance evaluation was C.

(比較例6)
架橋剤(III)の替わりに、アクリル樹脂を添加した他は、実施例11を繰り返した。作製した硬化性組成物は相溶せず、白濁した。硬化性組成物が完全に均一でないため、作製したプラズマディスプレイ用隔壁は、断線が20ヶ所以上発生し、欠陥評価はCであった。作製した硬化膜のTgは2点観測され、さらに、薬品耐性評価においては、硬化膜が全て溶解したため、薬品耐性評価はCであった。
(Comparative Example 6)
Example 11 was repeated except that an acrylic resin was added instead of the crosslinking agent (III). The produced curable composition was not compatible and became cloudy. Since the curable composition was not completely uniform, the produced partition for plasma display had 20 or more disconnections, and the defect evaluation was C. Tg of the produced cured film was observed at two points. Furthermore, in the chemical resistance evaluation, since the cured film was completely dissolved, the chemical resistance evaluation was C.

Figure 2011077251
Figure 2011077251

1 モールド
2 ラミネートロール
3 基板
4 アドレス電極
5 誘電体層
6 基板
7a、7’a 硬化性組成物
7b、7’b 隔壁前駆体
7c、7’c 隔壁
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mold 2 Laminate roll 3 Substrate 4 Address electrode 5 Dielectric layer 6 Substrate 7a, 7'a Curable composition 7b, 7'b Partition precursor 7c, 7'c Partition

Claims (6)

(A)下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミド、および(b)架橋剤を含有する硬化性組成物を硬化させて基板上にパターン化構造体を形成する工程を含むことを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
Figure 2011077251
(式中、Rは4価の有機基、Rは2価の有機基、Rは2価の有機基を示す。Xは、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を少なくとも一つ有する2価の有機基を示す。nは3〜200の範囲内の整数を示す。)
(A) including a step of curing a curable composition containing a structural unit represented by the following general formula (1) and (b) a crosslinking agent to form a patterned structure on a substrate. The manufacturing method of the member for displays characterized by these.
Figure 2011077251
(In the formula, R 1 represents a tetravalent organic group, R 2 represents a divalent organic group, and R 4 represents a divalent organic group. X represents a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, and a thiol group. A divalent organic group having at least one selected group is shown, and n is an integer in the range of 3 to 200.)
前記硬化性組成物を硬化させる工程が250℃以下で行われることを特徴とする請求項1に記載のディスプレイパネル用部材の製造方法。 The method for producing a display panel member according to claim 1, wherein the step of curing the curable composition is performed at 250 ° C. or lower. 前記(b)架橋剤が、(b−1)エポキシ化合物および/または、オキセタン化合物、(b−2)エチレン性不飽和基含有化合物から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1または2に記載のディスプレイ用部材の製造方法。 2. The crosslinking agent (b) is at least one selected from (b-1) an epoxy compound and / or an oxetane compound and (b-2) an ethylenically unsaturated group-containing compound. Or the manufacturing method of the member for a display of 2. 前記(b)架橋剤として、さらに(b−3)下記一般式(2)で表される化合物を含有することを特徴とする請求項3に記載のディスプレイ用部材の製造方法。
Figure 2011077251
(式中Rは水素原子、炭素数1から20までのアルキル基、炭素数4から20までの脂環式基またはRCO基を示す。また、Rは、炭素数1から20までのアルキル基を示す。)
The method for producing a display member according to claim 3, further comprising (b-3) a compound represented by the following general formula (2) as the crosslinking agent (b).
Figure 2011077251
(In the formula, R 5 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic group having 4 to 20 carbon atoms, or an R 6 CO group. Also, R 6 has 1 to 20 carbon atoms. Represents an alkyl group of
パターン化構造体が隔壁であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のディスプレイ用部材の製造方法。 The method for producing a display member according to claim 1, wherein the patterned structure is a partition wall. 基板上にパターン化構造体を有するディスプレイ用部材であって、該パターン化構造体が(A)下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリイミド、および(B)ポリイミド以外の樹脂を含有することを特徴とするディスプレイ用部材。
Figure 2011077251
(式中、Rは4価の有機基、Rは2価の有機基、Rは2価の有機基を示す。Xは、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を少なくとも一つ有する2価の有機基を示す。nは3〜200の範囲内の整数を示す。)
A display member having a patterned structure on a substrate, wherein the patterned structure is (A) a polyimide having a structural unit represented by the following general formula (1), and (B) a resin other than polyimide. A display member characterized by containing.
Figure 2011077251
(In the formula, R 1 represents a tetravalent organic group, R 2 represents a divalent organic group, and R 4 represents a divalent organic group. X represents a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, and a thiol group. A divalent organic group having at least one selected group is shown, and n is an integer in the range of 3 to 200.)
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