JP2011076726A - Electroluminescent element and method of manufacturing the same - Google Patents

Electroluminescent element and method of manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2011076726A
JP2011076726A JP2009223748A JP2009223748A JP2011076726A JP 2011076726 A JP2011076726 A JP 2011076726A JP 2009223748 A JP2009223748 A JP 2009223748A JP 2009223748 A JP2009223748 A JP 2009223748A JP 2011076726 A JP2011076726 A JP 2011076726A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
electron capture
emission
electroluminescent device
electroluminescent element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009223748A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuki Iguchi
由紀 井口
Satoru Kobayashi
哲 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hoya Corp
Original Assignee
Hoya Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hoya Corp filed Critical Hoya Corp
Priority to JP2009223748A priority Critical patent/JP2011076726A/en
Publication of JP2011076726A publication Critical patent/JP2011076726A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electroluminescent element achieving high luminescent light emission from each quantum dot and high color purity in a narrow-band spectrum. <P>SOLUTION: The electroluminescent element is constructed by layering a transparent electrode 12 serving as a first electrode, a first electron capturing-emitting layer 13, a first insulating layer 14, a first buffer layer 15, a light emitting active layer 20, a second buffer layer 16, a second insulating layer 17, a second electron capturing-emitting layer 18, and a metal electrode 19 serving as a second electrode sequentially on a transparent glass substrate 11. Surface levels are formed in the boundaries between the first and second electron capturing-emitting layers 13 and 18 and the first and second insulating layers 14 and 17 contacting the electron capturing-emitting layers. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は電界発光素子に関し、さらに詳しくは、所謂量子ドットを含有する発光活性層を有する電界発光素子およびその製造方法に関する。   The present invention relates to an electroluminescent device, and more particularly to an electroluminescent device having a light emitting active layer containing so-called quantum dots and a method for manufacturing the same.

近年、自発光型フラットディスプレイへ展開させる技術として、量子ドット構造を持つ蛍光体の発光素子への応用が注目されている。通常、量子ドットとは、実空間において3次元全ての方向にキャリアの閉じ込めを実現する状態のことを云うが、ここで云う量子ドットとは、実空間において3次元全ての方向にキャリアの閉じ込めを実現する状態を作り出している構造体と定義する。この量子ドットの一例としては、直径数ナノメートルの球形状を持つ、相対的にバンドギャップ・エネルギーの小さい無機半導体粒子(コア部分)と、この無機半導体粒子の表面を覆う、相対的にバンドギャップ・エネルギーの大きな被覆(シェル層)と、から構成される複合材料がある。このような量子ドットはそのサイズ(直径)を精緻に制御することで、人為的にギャップ・エネルギーを規定し、所望の色を発光させることができるという特徴がある。   In recent years, attention has been focused on the application of phosphors having a quantum dot structure to light-emitting elements as a technique for developing self-luminous flat displays. Usually, a quantum dot refers to a state that achieves carrier confinement in all three dimensions in real space, but a quantum dot here refers to the confinement of carriers in all three dimensions in real space. It is defined as the structure that creates the state to be realized. As an example of this quantum dot, the inorganic semiconductor particle (core part) having a spherical shape with a diameter of several nanometers and a relatively small band gap energy, and a relatively band gap covering the surface of the inorganic semiconductor particle -There is a composite material composed of a high energy coating (shell layer). Such a quantum dot has a feature that it can artificially define a gap energy and emit a desired color by precisely controlling its size (diameter).

本発明者らは、湿式の化学合成手法で作製された上記量子ドットを用いて全無機質の電界発光素子を開発した(例えば、特許文献1および特許文献2参照)。この電界発光素子は、量子ドットを含む発光活性層をキャリア障壁層で挟持した二重絶縁構造を持つものであり、交流電場を印加して量子ドット内にキャリアを注入することにより励起、発光させる量子ドット発光型無機エレクトロルミネッセンス(EL)素子である。   The present inventors have developed an all-inorganic electroluminescent device using the quantum dots produced by a wet chemical synthesis technique (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). This electroluminescent element has a double insulation structure in which a light emitting active layer containing quantum dots is sandwiched between carrier barrier layers, and excites and emits light by injecting carriers into the quantum dots by applying an alternating electric field. It is a quantum dot light emitting inorganic electroluminescence (EL) element.

この電界発光素子は、基板上に、順次、第1の電極、第1の絶縁層、量子ドットを含む発光活性層、第2の絶縁層、第2の電極が積層された構造を持つ。ここで、発光活性層は、上記特許文献1に開示した所謂エレクトロスプレー・イオンビーム堆積法(以下、ES−IBD法と称する。)を用いて、多数の量子ドットを、基板上に成膜された第1の絶縁層の表面へイオンビーム状に順次照射して堆積させることにより形成される。このES−IBD法で用いる原料は、量子ドットのシェル層表面に界面活性剤として機能する有機配位子を結合付着させたものを溶媒中にコロイド状に分散した溶液である。この方法では、量子ドットをイオンビーム状に変化させる途中で有機配位子の結合が解離する。したがって、このES−IBD法では、被堆積基板側へ堆積される量子ドットの殆どは有機配位子が排除された状態で堆積するため、発光活性層中に不要な不純物が少なくなるという利点がある。したがって、この方法によれば、不純物の影響を殆ど受けることのない良質な発光活性層を成膜できる。   The electroluminescent element has a structure in which a first electrode, a first insulating layer, a light emitting active layer including quantum dots, a second insulating layer, and a second electrode are sequentially stacked on a substrate. Here, the light emitting active layer is formed by forming a large number of quantum dots on a substrate by using a so-called electrospray ion beam deposition method (hereinafter referred to as an ES-IBD method) disclosed in Patent Document 1. The first insulating layer is formed by sequentially irradiating and depositing the surface of the first insulating layer in the form of an ion beam. The raw material used in this ES-IBD method is a solution in which an organic ligand functioning as a surfactant is bonded and attached to the surface of the quantum dot shell layer in a colloidal form in a solvent. In this method, the bond of the organic ligand is dissociated while changing the quantum dot into an ion beam. Therefore, in this ES-IBD method, most of the quantum dots deposited on the deposition substrate side are deposited in a state where the organic ligands are excluded, so that there is an advantage that unnecessary impurities are reduced in the light emitting active layer. is there. Therefore, according to this method, a high-quality light-emitting active layer hardly affected by impurities can be formed.

また、上記特許文献1に開示された電界発光素子としては、発光活性層が無機半導体材料からなる緩衝層と量子ドットとからなり、緩衝層中に量子ドットが包含された状態のものがある。   Moreover, as an electroluminescent element disclosed by the said patent document 1, the light emitting active layer consists of the buffer layer and quantum dot which consist of inorganic-semiconductor materials, and there exists a thing of the state by which the quantum dot was included in the buffer layer.

国際公開2007/142203号International Publication No. 2007/142203 国際公開2008/013069号International Publication No. 2008/013069

上述の電界発光素子を自発光型フラットディスプレイに応用した場合に、更なる発光強度の増加や、発光の色純度を向上するために、量子ドットにおける閉じ込め準位に由来する発光スペクトル以外の発光ピークの発生を抑制することなどの改善が望まれている。このような改善は、量子ドットにおける量子閉じ込め効果の低下、あるいは近接井戸との相互作用やサブバンドの形成などによる発光強度の低下ならびに発光スペクトルが広帯域となることを防止しようとするものである。   When the above-mentioned electroluminescent device is applied to a self-luminous flat display, an emission peak other than the emission spectrum derived from the confinement level in the quantum dot is used in order to further increase the emission intensity and improve the color purity of the emission. Improvements such as suppression of the occurrence of this are desired. Such an improvement is intended to prevent a decrease in the quantum confinement effect in the quantum dots, a decrease in emission intensity due to an interaction with a close well or formation of a subband, and a broadening of the emission spectrum.

また、上述のように交流電場を印加する電界発光素子では、発光活性層と絶縁層の界面準位が、電子を発光活性層に供給することに寄与すると考えられているが、発光活性層に供給する電子放出数を増加させることが望まれている。   In addition, in the electroluminescence device that applies an alternating electric field as described above, the interface state between the light emitting active layer and the insulating layer is considered to contribute to supplying electrons to the light emitting active layer. It is desired to increase the number of emitted electrons to be supplied.

本発明はこのような課題に着目して創案されたものであり、その目的は、発光活性層からの発光が高強度となり、かつ量子ドットからの発光が狭帯域スペクトルで色純度が高い電界発光素子を提供することにある。   The present invention was created by paying attention to such problems, and the purpose of the present invention is to provide electroluminescence that emits light from a light-emitting active layer with high intensity and that light emitted from a quantum dot has a narrow band spectrum and high color purity. It is to provide an element.

本発明の特徴は、量子ドットを含む発光活性層が無機半導体材料でなる一対の緩衝層に挟まれて、量子ドットが前記緩衝層に包含され、一対の前記緩衝層のそれぞれの外側に、絶縁層を挟むように電極が配され、これら電極に交流電圧を印加することにより前記発光活性層を発光させる電界発光素子であって、緩衝層と電極との間に、接合する層との界面に表面準位を形成する電子捕獲放出層が配置されていることを要旨とする。   A feature of the present invention is that a light-emitting active layer including quantum dots is sandwiched between a pair of buffer layers made of an inorganic semiconductor material, the quantum dots are included in the buffer layers, and an insulation is provided outside each of the pair of buffer layers. Electrodes are arranged so as to sandwich layers, and an electroluminescent element that emits light from the light-emitting active layer by applying an AC voltage to these electrodes, between the buffer layer and the electrode, at the interface with the layer to be joined The gist is that an electron capture / emission layer forming a surface state is disposed.

本発明では、電子捕獲放出層と接合する層との界面に表面準位あるいは界面準位が形成されるため、電子を捕獲する作用があり、交流電圧が印加されることで電子を容易に放出することができる。したがって、表面準位での電子の発生を促して、発光活性層へ供給する電子の量を増加させて発光強度を向上することができる。   In the present invention, since a surface state or an interface state is formed at the interface between the electron capture and emission layer and the layer to be joined, there is an action of capturing electrons, and electrons are easily emitted when an AC voltage is applied. can do. Therefore, the generation of electrons at the surface level can be promoted, the amount of electrons supplied to the light emitting active layer can be increased, and the light emission intensity can be improved.

ここで、電子を発生させるための電子捕獲放出層としては、仕事関数が3.0eV以下(好ましくは2.5eV以下)の金属原子の単体もしくはその金属原子を含む化合物や、トラップ準位と真空準位のエネルギー差が3.0eV以下(好ましくは2.5eV以下)の材料や、非化学量論比の組成を持つ金属酸化物(特に酸素欠損のある組成を持つ金属酸化物)などであることが好ましい。   Here, as an electron capture / emission layer for generating electrons, a single metal atom having a work function of 3.0 eV or less (preferably 2.5 eV or less) or a compound containing the metal atom, a trap level and a vacuum A material having a level energy difference of 3.0 eV or less (preferably 2.5 eV or less), a metal oxide having a composition with a non-stoichiometric ratio (particularly a metal oxide having a composition with oxygen deficiency), or the like. It is preferable.

仕事関数が3.0eV以下(好ましくは2.5eV以下)の金属原子の単体もしくはその金属原子を含む化合物では、金属イオン化に伴い電子が発生し易い。また、トラップ準位と真空準位のエネルギー差が3.0eV以下(好ましくは2.5eV以下)の材料や、非化学量論比の組成を持つ金属酸化物(特に酸素欠損のある組成を持つ金属酸化物)では、電気的に不安定な結合手や電子分布を持つため、電子や正孔を捕獲したり放出したりする作用を持つ。トラップ準位では、励起された電子が正電荷に捕まるため、電極間に交流電圧を印加することにより電子を放出する。このように放出された電子は、電界により加速され、量子ドットの発光の為の励起に十分なエネルギーを得る。   In a simple substance of a metal atom having a work function of 3.0 eV or less (preferably 2.5 eV or less) or a compound containing the metal atom, electrons are easily generated with metal ionization. In addition, a material having an energy difference between a trap level and a vacuum level of 3.0 eV or less (preferably 2.5 eV or less), or a metal oxide having a composition with a non-stoichiometric ratio (particularly, a composition having oxygen vacancies). (Metal oxide) has an electrically unstable bond and electron distribution, and thus has an action of capturing and releasing electrons and holes. At the trap level, excited electrons are trapped in positive charges, and thus electrons are emitted by applying an alternating voltage between the electrodes. The electrons thus emitted are accelerated by the electric field, and obtain sufficient energy for excitation for light emission of the quantum dots.

電子捕獲放出層の配置位置は、緩衝層と絶縁層との間、または絶縁層と電極との間に介在されていることが好ましい。   The arrangement position of the electron capture / emission layer is preferably interposed between the buffer layer and the insulating layer or between the insulating layer and the electrode.

また、電子捕獲放出層は、複数の層が積層されたものでもよく、この複数の層が互いに異なる材料であってもよい。   In addition, the electron capture / emission layer may be a stack of a plurality of layers, or the layers may be made of different materials.

電子捕獲放出層を複数層の積層構造とすることにより、層間の表面準位からキャリアの発生を促すことが期待でき、量子ドット中において、発光に寄与する注入キャリアの単位時間当たりの数を増加させることができ、さらに高輝度を要求されるアプリケーションへの適用が可能となる。   By making the electron capture and emission layer a multi-layered structure, it can be expected to promote the generation of carriers from the surface level between layers, and the number of injected carriers per unit time contributing to light emission in the quantum dot is increased. And can be applied to applications that require higher luminance.

本発明によれば、発光活性層からの発光が高輝度となり、かつ量子ドットからの発光が狭帯域スペクトルで色純度が高い電界発光素子を実現できる。   According to the present invention, it is possible to realize an electroluminescent device that emits light from the light emitting active layer with high brightness, and emits light from the quantum dots with a narrow band spectrum and high color purity.

本発明の第1の実施の形態に係る電界発光素子を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an electroluminescent element according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施の形態に係る電界発光素子における透明電極を形成した状態を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the state in which the transparent electrode in the electroluminescent element which concerns on the 1st Embodiment of this invention was formed. 本発明の第1の実施の形態に係る電界発光素子における第1電子捕獲放出層を形成した状態を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the state in which the 1st electron capture emission layer was formed in the electroluminescent element which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係る電界発光素子における第1絶縁層および第1緩衝層を形成した状態を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the state in which the 1st insulating layer and 1st buffer layer in the electroluminescent element which concern on the 1st Embodiment of this invention were formed. 本発明の第1の実施の形態に係る電界発光素子における発光活性層を形成した状態を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the state which formed the light emission active layer in the electroluminescent element which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係る電界発光素子における第2緩衝層を形成した状態を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the state which formed the 2nd buffer layer in the electroluminescent element which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係る電界発光素子における第2絶縁層、第2電子捕獲放出層、および金属電極を形成した状態を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the state in which the 2nd insulating layer, the 2nd electron capture discharge | release layer, and the metal electrode in the electroluminescent element which concern on the 1st Embodiment of this invention were formed. 本発明の第2の実施の形態に係る電界発光素子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electroluminescent element which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係る電界発光素子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electroluminescent element which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施の形態に係る電界発光素子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electroluminescent element which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施の形態に係る電界発光素子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electroluminescent element which concerns on the 5th Embodiment of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る電界発光素子を説明する。但し、図面は模式的なものであり、各層の厚みや厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。   Hereinafter, an electroluminescent element according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. However, it should be noted that the drawings are schematic, and the thicknesses and ratios of the layers are different from actual ones. Moreover, the part from which the relationship and ratio of a mutual dimension differ also in between drawings is contained. Therefore, specific thicknesses and dimensions should be determined in consideration of the following description.

[第1の実施の形態]
(電界発光素子の概略構成)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る電界発光素子を示す断面図である。同図に示すように、電界発光素子10Aは、ガラスまたはプラスチック等からなる透明基板11上に、順次、第1の電極としての透明電極12、第1電子捕獲放出層13、第1絶縁層14、第1緩衝層15、発光活性層20、第2緩衝層16、第2絶縁層17、第2電子捕獲放出層18、第2の電極としての電極19が積層されてなる。図1に示すように、この電界発光素子10Aでは透明電極12と電極19とに交流駆動源30を接続して交流電場を印加することにより、発光活性層20からの発光を透明基板11側から出射させるようにしたものである。
[First embodiment]
(Schematic configuration of electroluminescent element)
FIG. 1 is a sectional view showing an electroluminescent element according to the first embodiment of the present invention. As shown in the figure, an electroluminescent element 10A is formed on a transparent substrate 11 made of glass, plastic, or the like, in order, a transparent electrode 12 as a first electrode, a first electron capture / emission layer 13, and a first insulating layer 14. The first buffer layer 15, the light emitting active layer 20, the second buffer layer 16, the second insulating layer 17, the second electron capture and emission layer 18, and the electrode 19 as the second electrode are laminated. As shown in FIG. 1, in the electroluminescent element 10A, an alternating current drive source 30 is connected to the transparent electrode 12 and the electrode 19 and an alternating electric field is applied, thereby emitting light from the light emitting active layer 20 from the transparent substrate 11 side. It is made to emit.

(発光活性層について)
発光活性層20は、略球形状の量子ドットが多数堆積されて成膜されている。この発光活性層20は、ES−IBD法を用いて20〜100nmの膜厚となるように成膜されている。個々の量子ドットは、コア部分の表面をシェル層で覆ったナノ結晶構造である。このような量子ドットは、コア部分の材料および結晶サイズを精緻に制御することで、人為的にギャップ・エネルギーを規定し、所望の色を発光させることができる。
(About the light emitting active layer)
The light emitting active layer 20 is formed by depositing a number of substantially spherical quantum dots. The light emitting active layer 20 is formed to have a thickness of 20 to 100 nm by using the ES-IBD method. Each quantum dot has a nanocrystal structure in which the surface of the core portion is covered with a shell layer. Such a quantum dot can artificially define the gap energy and emit a desired color by precisely controlling the material and crystal size of the core portion.

本実施の形態では、コア部分の直径としては、順次、1.9nm、2.4nm、5.2nmであり、シェル層の膜厚は、順次、0.4nm、1.0nm、1.4nmとした。本実施の形態では、コア部分がセレン化カドミウム(CdSe)で形成され、シェル層が硫化亜鉛(ZnS)もしくはセレン化亜鉛(ZnSe)で形成された量子ドットを用いる。また、本実施の形態における量子ドットのコア部分は、CdSe以外に、CdS、PbSe、HgTe、CdTe、InP、GaP、InGaP、GaAs、InGaN、GaN等やこれらの混晶で構成される材料から適宜選択可能である。   In the present embodiment, the diameter of the core portion is 1.9 nm, 2.4 nm, and 5.2 nm sequentially, and the thickness of the shell layer is sequentially 0.4 nm, 1.0 nm, and 1.4 nm. did. In this embodiment, quantum dots are used in which the core portion is formed of cadmium selenide (CdSe) and the shell layer is formed of zinc sulfide (ZnS) or zinc selenide (ZnSe). In addition to the CdSe, the core portion of the quantum dot in the present embodiment is appropriately made of a material composed of CdS, PbSe, HgTe, CdTe, InP, GaP, InGaP, GaAs, InGaN, GaN, or a mixed crystal thereof. Selectable.

(電極について)
透明電極12は、スズドープ酸化インジウム(ITO)で約100nmの膜厚に形成されている。電極19は、金(Au)で約50nmの膜厚に形成されている。透明電極12は、ITOの他、亜鉛ドープ酸化インジウム(IZO)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)、導電性酸化亜鉛(ZnO)、アモルファス酸化物導電体等、透明な導電体であれば材料は問わない。電極19の膜厚は、必要な電気伝導性が得られるよう、材料によって適宜増減する。電極19は、上記の透明電極と同様の材料であってもよく、金属電極でも良い。
(About electrodes)
The transparent electrode 12 is made of tin-doped indium oxide (ITO) with a thickness of about 100 nm. The electrode 19 is made of gold (Au) and has a thickness of about 50 nm. The transparent electrode 12 can be made of any transparent conductor such as zinc-doped indium oxide (IZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), conductive zinc oxide (ZnO), amorphous oxide conductor, etc. in addition to ITO. It doesn't matter. The film thickness of the electrode 19 is appropriately increased or decreased depending on the material so that the required electrical conductivity can be obtained. The electrode 19 may be the same material as the transparent electrode described above, or may be a metal electrode.

(電子捕獲放出層について)
本実施の形態では、第1および第2電子捕獲放出層13、18は、酸素欠損のあるバリウムタンタル酸化物(BaTaO)で形成されている。第1および第2電子捕獲放出層13、17の膜厚は、0.1〜50nmである。酸素欠損のあるBaTaOxは、非化学量論比の組成を持つ金属酸化物であり、電気的に不安定な結合手や電子分布を持つため、電子や正孔を捕獲したり放出したりする作用を持つ。酸素欠損をもつBaOx、BaTaOxの仕事関数は、それぞれ0.99〜1.6eV、1.1〜2.0eVと報告されており、金属イオン化に伴い電子が発生し易い。
(About the electron capture and emission layer)
In the present embodiment, the first and second electron capture / emission layers 13 and 18 are formed of barium tantalum oxide (BaTaO x ) having oxygen vacancies. The film thicknesses of the first and second electron capture / emission layers 13 and 17 are 0.1 to 50 nm. BaTaOx with oxygen vacancies is a metal oxide with a non-stoichiometric composition and has an electrically unstable bond and electron distribution, so it captures and emits electrons and holes. have. The work functions of BaOx and BaTaOx having oxygen vacancies are reported to be 0.99 to 1.6 eV and 1.1 to 2.0 eV, respectively, and electrons are easily generated with metal ionization.

第1および第2の電子捕獲放出層13、18のトラップ準位では、励起された電子が正電荷に捕まるため、電極間に交流電圧を印加することにより電子を放出する。このように放出された電子は、電界により加速され、量子ドットでの発光に十分なエネルギーを得る。   At the trap levels of the first and second electron capture / emission layers 13 and 18, the excited electrons are trapped by positive charges, and thus electrons are emitted by applying an AC voltage between the electrodes. The electrons thus emitted are accelerated by the electric field and obtain sufficient energy for light emission from the quantum dots.

特に、本実施の形態では、第1および第2の電子捕獲放出層13、18ともにスパッタ法で形成されるが、この第2電子捕獲放出層18を第2緩衝層16の上に直接成膜しようとすると、比較的重いBa原子がスパッタリングされて衝突することにより、第2緩衝層16を損傷させたり発熱したりする弊害がある。したがって、バリウムタンタル酸化物で第2電子捕獲放出層18を形成する場合は、第2絶縁層17の上に成膜する必要がある。なお、第2絶縁層17の上に第2電子捕獲放出層18を接合させることにより、これらの接合界面に表面準位が形成され、電子を捕獲することができる。この際、第2絶縁層17の膜厚は100nm以下程度と薄いことが好ましい。   In particular, in the present embodiment, both the first and second electron capture / emission layers 13 and 18 are formed by sputtering, and the second electron capture / emission layer 18 is formed directly on the second buffer layer 16. If this is attempted, there is a problem that the second buffer layer 16 is damaged or heat is generated by sputtering and collision of relatively heavy Ba atoms. Therefore, when the second electron capture / emission layer 18 is formed of barium tantalum oxide, it is necessary to form a film on the second insulating layer 17. In addition, by bonding the second electron capture / emission layer 18 on the second insulating layer 17, surface states are formed at the bonding interface, and electrons can be captured. At this time, the second insulating layer 17 is preferably as thin as about 100 nm or less.

(絶縁層について)
第1絶縁層14および第2絶縁層17は、タンタル酸化物(TaO)で約50〜500nmの膜厚に形成されている。これら第1絶縁層14および第2絶縁層17は、タンタル酸化物に限定されるものではなく、シリコン窒化物、シリコン酸化物、イットリウム酸化物、アルミナ、ハフニウム酸化物、バリウムタンタル酸化物など、光学的な透明性と電気的な絶縁性を有する材料から選択可能である。
(Insulation layer)
The first insulating layer 14 and the second insulating layer 17 are formed of tantalum oxide (TaO x ) to a thickness of about 50 to 500 nm. The first insulating layer 14 and the second insulating layer 17 are not limited to tantalum oxide, but are optical such as silicon nitride, silicon oxide, yttrium oxide, alumina, hafnium oxide, barium tantalum oxide, and the like. The material can be selected from materials having general transparency and electrical insulation.

(緩衝層について)
第1緩衝層15および第2緩衝層16は、量子ドットにおけるシェル層の材料であるZnSやZnSeと同じ材料でなる。これらの膜厚は1〜20nm程度である。
(About the buffer layer)
The first buffer layer 15 and the second buffer layer 16 are made of the same material as ZnS or ZnSe, which is the material of the shell layer in the quantum dots. These film thicknesses are about 1-20 nm.

なお、第1緩衝層15および第2緩衝層16は、量子ドットを包含して量子ドットと結合した状態となっている。すなわち、この結合した状態とは、量子ドットがマトリクス内に単に分散されている状態ではなく、量子ドットが第1緩衝層15および第2緩衝層16中でパッシベートされている状態を指す。例えば、量子ドットそのものを熱非平衡状態にし、量子ドットの本質である三次元量子井戸構造を保持したままで、量子ドットの表面装飾分子を脱離させ、個々の量子ドットのシェル層表面同士、あるいは、シェル層表面と緩衝層とが化学結合している状態をいう。   In addition, the 1st buffer layer 15 and the 2nd buffer layer 16 are the states which included the quantum dot and couple | bonded with the quantum dot. In other words, this combined state refers to a state in which the quantum dots are passivated in the first buffer layer 15 and the second buffer layer 16 instead of being simply dispersed in the matrix. For example, the quantum dots themselves are brought into a thermal non-equilibrium state, while retaining the three-dimensional quantum well structure that is the essence of the quantum dots, the surface decoration molecules of the quantum dots are detached, and the shell layer surfaces of individual quantum dots are Or the state which the shell layer surface and the buffer layer are chemically bonding is said.

以上、本実施の形態に係る電界発光素子10Aについて説明したが、電子を発生させるための第1および第2電子捕獲放出層13、18としては、仕事関数が3.0eV以下(好ましくは2.5eV以下)の金属原子単体もしくはその金属原子を含む化合物や、トラップ準位と真空準位のエネルギー差が3.0eV以下(好ましくは
2.5eV以下)の材料や、非化学量論比の組成を持つ金属酸化物(特に酸素欠損のある組成を持つ金属酸化物)などであることが好ましい。
The electroluminescent element 10A according to the present embodiment has been described above, but the work function of the first and second electron capture / emission layers 13 and 18 for generating electrons is 3.0 eV or less (preferably 2. 5 eV or less) or a compound containing the metal atom, a material having an energy difference between the trap level and the vacuum level of 3.0 eV or less (preferably 2.5 eV or less), or a composition with a non-stoichiometric ratio. It is preferable to use a metal oxide having a characteristic (particularly a metal oxide having a composition with oxygen deficiency).

(第1の実施の形態に係る電界発光素子の作用・効果)
本実施の形態では、第1および第2電子捕獲放出層13、18と、これらに接合する第1および第2絶縁層14、17との界面に表面準位が形成され、この表面準位での電子の捕獲、発生を促して、発光活性層へ供給する電子の量を増加させて発光強度を向上することができる。したがって、電界発光素子10Aにおける発光活性層20からの発光が高輝度となる。また、本実施の形態では、量子ドットでの所謂量子閉じ込め効果を高めるため、量子ドットからの発光が狭帯域スペクトルで色純度が高くなるという利点がある。
(Operation / Effect of Electroluminescent Device According to First Embodiment)
In the present embodiment, a surface level is formed at the interface between the first and second electron capture / emission layers 13 and 18 and the first and second insulating layers 14 and 17 bonded to the first and second electron capture / emission layers 13 and 18. The amount of electrons supplied to the light-emitting active layer can be increased by enhancing the capture and generation of electrons, thereby improving the light emission intensity. Therefore, light emission from the light emitting active layer 20 in the electroluminescent element 10A has high luminance. Further, in the present embodiment, in order to enhance the so-called quantum confinement effect in the quantum dots, there is an advantage that light emission from the quantum dots has a narrow band spectrum and high color purity.

(電界発光素子の製造方法)
次に、図2から図7を用いて、本実施の形態に係る電界発光素子の製造方法を説明する。
(Method for manufacturing electroluminescent element)
Next, a method for manufacturing the electroluminescent element according to this embodiment will be described with reference to FIGS.

先ず、図2に示すように、予めITO(Indium Tin Oxide)でなる透明電極12が表面に形成されたガラスやプラスチック等の透明基板11を用意する。本実施の形態において、透明基板11はガラス基板であり、透明電極12は、膜厚が例えば100nm、表面粗さRaが例えば50nm程度である。そして、この透明基板11には、有機溶媒による超音波洗浄を行った後、不活性ガスによりブローおよび乾燥を施しておく。   First, as shown in FIG. 2, a transparent substrate 11 such as glass or plastic having a transparent electrode 12 made of ITO (Indium Tin Oxide) formed in advance is prepared. In the present embodiment, the transparent substrate 11 is a glass substrate, and the transparent electrode 12 has a film thickness of, for example, 100 nm and a surface roughness Ra of, for example, about 50 nm. The transparent substrate 11 is subjected to ultrasonic cleaning with an organic solvent and then blown and dried with an inert gas.

その後、図3に示すように、透明電極12上に、スパッタ法によりバリウムタンタル酸化物(BaTaO)焼結体をターゲットして用いてバリウムタンタル酸化物(BaTaO)でなる第1電子捕獲放出層13を形成する。この場合、スパッタリング装置内への導入酸素量を調整することにより、酸素欠損量を調整したバリウムタンタル酸化物(仕事関数2.1eV)を形成した。この第1電子捕獲放出層13の膜厚は、0.1〜20.0nmの範囲である。 Thereafter, as shown in FIG. 3, on the transparent electrode 12, a sputtering method by barium tantalum oxide (BaTaO x) barium tantalum oxide using a sintered body with a target (BaTaO x) in becomes the first electron capture emitting Layer 13 is formed. In this case, barium tantalum oxide (work function 2.1 eV) with adjusted oxygen deficiency was formed by adjusting the amount of oxygen introduced into the sputtering apparatus. The film thickness of the first electron capture / emission layer 13 is in the range of 0.1 to 20.0 nm.

次に、図4に示すように、第1電子捕獲放出層13上にタンタル酸化物(TaO)などの絶縁体で第1絶縁層14を形成する。TaOx膜の形成は、通常の高周波(13.56MHz)マグネトロンスパッタリング装置を用い、金属TaターゲットのAr+O混合ガス雰囲気中での反応性スパッタリングによって成膜した。堆積中の基板の温度は、常温から200℃とした。この第1絶縁層14の膜厚は、50〜500nmの範囲である。 Next, as shown in FIG. 4, a first insulating layer 14 is formed on the first electron capture / emission layer 13 with an insulator such as tantalum oxide (TaO x ). The TaOx film was formed by reactive sputtering in an Ar + O 2 mixed gas atmosphere of a metal Ta target using a normal high frequency (13.56 MHz) magnetron sputtering apparatus. The temperature of the substrate during deposition was from room temperature to 200 ° C. The film thickness of the first insulating layer 14 is in the range of 50 to 500 nm.

続いて、図4に示すように、第1絶縁層14上に、第1緩衝層15を、例えば分子線エピタキシー(MBE)法を用いて成膜する。この、第1緩衝層15の膜厚は、1〜20nmである。   Subsequently, as shown in FIG. 4, the first buffer layer 15 is formed on the first insulating layer 14 by using, for example, a molecular beam epitaxy (MBE) method. The film thickness of the first buffer layer 15 is 1 to 20 nm.

次に、図5に示すように、第1緩衝層15の上に発光活性層20を形成する。本実施の形態では、ES−IBD装置を用いて量子ドットを堆積させることにより発光活性層20を形成する。   Next, as shown in FIG. 5, the light emitting active layer 20 is formed on the first buffer layer 15. In the present embodiment, the light emitting active layer 20 is formed by depositing quantum dots using an ES-IBD apparatus.

次いで、図6に示すように、発光活性層20の上に、第1緩衝層15と同様の条件で第2緩衝層16を成膜する。第2緩衝層16の膜厚も第1緩衝層15と同じ1〜20nmである。   Next, as shown in FIG. 6, the second buffer layer 16 is formed on the light emitting active layer 20 under the same conditions as the first buffer layer 15. The film thickness of the second buffer layer 16 is also 1 to 20 nm, which is the same as that of the first buffer layer 15.

その後、図7に示すように、第2緩衝層16の上に、第2絶縁層17、第2電子捕獲放出層18、電極19を順次積層する。第2絶縁層14は、第1絶縁層14と同じ材料で同じ膜厚に形成する。第2電子捕獲放出層18は、第1電子捕獲放出層13と同じ材料で同じ膜厚に形成する。電極19は、Auを蒸着法で例えば50nmの厚さに形成する。電極19の材料は、金属の他、透明導電性材料であってもよい。   Thereafter, as shown in FIG. 7, the second insulating layer 17, the second electron capture / emission layer 18, and the electrode 19 are sequentially stacked on the second buffer layer 16. The second insulating layer 14 is formed with the same material and thickness as the first insulating layer 14. The second electron capture / emission layer 18 is formed with the same material and thickness as the first electron capture / emission layer 13. The electrode 19 is formed by depositing Au to a thickness of, for example, 50 nm. The material of the electrode 19 may be a metal or a transparent conductive material.

以上、第1の実施の形態に係る電界発光素子の製造方法について説明したが、第2電子捕獲放出層18を、第2緩衝層16の上でなくて、第2絶縁層17の上に積層したため、スパッタ法に伴って第2緩衝層16およびその下地の発光活性層20が損傷することを防止できる。この結果、量子ドットが損傷してサイズが変化することがなく、量子ドットから放出される光のスペクトルが変わってしまうことを防ぐことができる。このような電界発光素子10Aでは、量子ドット21からの発光スペクトルが量子ドットに由来する波長以外の波長の発光を抑えることができ、発光スペクトルが広帯域となることを防止する作用を奏する。   As described above, the method for manufacturing the electroluminescent element according to the first embodiment has been described. However, the second electron capture / emission layer 18 is stacked not on the second buffer layer 16 but on the second insulating layer 17. Therefore, it is possible to prevent the second buffer layer 16 and the underlying light emitting active layer 20 from being damaged by the sputtering method. As a result, the quantum dots are not damaged and the size does not change, and the spectrum of light emitted from the quantum dots can be prevented from changing. In such an electroluminescent element 10A, the light emission spectrum from the quantum dots 21 can suppress light emission having a wavelength other than the wavelength derived from the quantum dots, and has an effect of preventing the light emission spectrum from becoming a broadband.

[第2の実施の形態]
図8は、本発明の第2の実施の形態に係る電界発光素子10Bの断面図である。本実施の形態に係る電界発光素子10Bは、上記第1の実施の形態に係る電界発光素子10Aにおける第1電子捕獲放出層13の位置が異なるだけである。すなわち、本実施の形態では、第1電子捕獲放出層13を、第1絶縁層14と透明電極12との間に配置せずに、第1絶縁層14の上に配置している。本実施の形態に係る電界発光素子10Bの作用・効果は、上記第1の実施の形態と同様である。
[Second Embodiment]
FIG. 8 is a cross-sectional view of an electroluminescent element 10B according to the second embodiment of the present invention. The electroluminescent element 10B according to the present embodiment is different only in the position of the first electron capture / emission layer 13 in the electroluminescent element 10A according to the first embodiment. That is, in the present embodiment, the first electron capture / emission layer 13 is disposed on the first insulating layer 14 without being disposed between the first insulating layer 14 and the transparent electrode 12. The operations and effects of the electroluminescent element 10B according to the present embodiment are the same as those of the first embodiment.

[第3の実施の形態]
図9は、本発明の第3の実施の形態に係る電界発光素子10Cの断面図である。この電界発光素子10Cは、第1の実施の形態に係る電界発光素子10Aにおける第1電子捕獲放出層13と第2電子捕獲放出層18とがそれぞれ2層で構成されたものであり、第1電子捕獲放出層13A、13Bと、第2電子捕獲放出層18A、18Bとで構成されている。本実施の形態における他の構成は、上記第1の実施の形態と同様である。
[Third embodiment]
FIG. 9 is a cross-sectional view of an electroluminescent element 10C according to the third embodiment of the present invention. The electroluminescent element 10C is configured such that the first electron capture / emission layer 13 and the second electron capture / emission layer 18 in the electroluminescent element 10A according to the first embodiment are each composed of two layers. The electron capture and emission layers 13A and 13B and the second electron capture and emission layers 18A and 18B are configured. Other configurations in the present embodiment are the same as those in the first embodiment.

本実施の形態では、それぞれ2層構造の第1電子捕獲放出層13A,13Bと第2電子捕獲放出層18A,18Bとは同一材料で形成されている。このような構造としたことにより、本実施の形態では、電子捕獲放出層同士の界面での表面準位での電子の捕獲、発生を促して、発光活性層へ供給する電子の量を増加させて発光強度を向上することができる。   In the present embodiment, the first electron capture / emission layers 13A and 13B and the second electron capture / emission layers 18A and 18B each having a two-layer structure are formed of the same material. By adopting such a structure, in this embodiment, the amount of electrons supplied to the light emitting active layer is increased by promoting the capture and generation of electrons at the surface level at the interface between the electron capture and emission layers. Thus, the emission intensity can be improved.

[第4の実施の形態]
図10は、本発明の第4の実施の形態に係る電界発光素子10Dの断面図である。この電界発光素子10Dは、上記第1の実施の形態の電界発光素子10Aにおける第1電子捕獲放出層13と第2電子捕獲放出層18をそれぞれの2層構造とするとともに、2層のうちの1層である第1電子捕獲放出層13Cと第2電子捕獲放出層18Cのどちらか一方を金属で形成している。どちらか一方に透明性のない金属材料を用いても、発光活性層を挟んで反対側の層を形成する材料が全て透明であれば、透明な面側から発光を取り出せる。このとき、金属材料を用いた側は全て不透明な材料を使用することもできる。本実施の形態における他の構成、および作用・効果は、上記第3の実施の形態と同様である。
[Fourth embodiment]
FIG. 10 is a cross-sectional view of an electroluminescent element 10D according to the fourth embodiment of the present invention. The electroluminescent device 10D has a first electron capture / emission layer 13 and a second electron capture / emission layer 18 in the electroluminescent device 10A of the first embodiment, and each of the two layers. One of the first electron capture / emission layer 13C and the second electron capture / emission layer 18C, which is one layer, is formed of metal. Even if a non-transparent metal material is used for either one, light emission can be extracted from the transparent surface side as long as the materials forming the opposite layer with the light emitting active layer interposed therebetween are all transparent. At this time, it is possible to use an opaque material for all sides using the metal material. Other configurations, operations, and effects in the present embodiment are the same as those in the third embodiment.

[第5の実施の形態]
図11は、本発明の第5の実施の形態に係る電界発光素子10Eの断面図である。この電界発光素子10Eは、基板がガラスではなく、シリコン基板21を用いている。この電界発光素子10Eは、シリコン基板21の上に、順次、電極19、第1電子捕獲放出層13、第1絶縁層14、第1緩衝層15、発光活性層20、第2緩衝層16、第2絶縁層17、第2電子捕獲放出層18、透明電極12が形成されている。本実施の形態の電界発光素子10Eでは、透明電極12側へ発光が抜けるようになっている。
[Fifth embodiment]
FIG. 11 is a cross-sectional view of an electroluminescent element 10E according to the fifth embodiment of the present invention. The electroluminescent element 10E uses a silicon substrate 21 instead of glass. The electroluminescent device 10E includes an electrode 19, a first electron capture / emission layer 13, a first insulating layer 14, a first buffer layer 15, a light emitting active layer 20, a second buffer layer 16 on a silicon substrate 21 in order. A second insulating layer 17, a second electron capture / emission layer 18, and a transparent electrode 12 are formed. In the electroluminescent element 10E of the present embodiment, light emission is emitted to the transparent electrode 12 side.

本実施の形態に係る電界発光素子10Eの作用、動作、効果は、上記第1の実施の形態とほぼ同様であるため、その説明は省略する。   Since the operation, operation, and effect of the electroluminescent element 10E according to the present embodiment are substantially the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted.

〈実験例〉
上記第1の実施の形態に係る電界発光素子10Aの構成において、第1緩衝層15および第2緩衝層16をZnSで形成し、第1および第2電子捕獲放出層13、18が無い場合(比較例)と、有る場合(実施例)とを用意した。そして、第1および第2電子捕獲放出層13、18のそれぞれの厚さが、5nm(実施例1)、20nm(実施例2)、200nm(実施例3)と異なる実施例1〜3の電界発光素子を作製して、挙動を観察した。
<Experimental example>
In the configuration of the electroluminescent element 10A according to the first embodiment, the first buffer layer 15 and the second buffer layer 16 are formed of ZnS, and the first and second electron capture / emission layers 13 and 18 are not provided ( A comparative example) and a case (example) were prepared. The electric fields of Examples 1 to 3 in which the thicknesses of the first and second electron capture / emission layers 13 and 18 are different from 5 nm (Example 1), 20 nm (Example 2), and 200 nm (Example 3). A light emitting element was manufactured and the behavior was observed.

その結果、第1および第2電子捕獲放出層13、18が無い比較例と、実施例1〜3では、挙動が変化し(異なり)、5nm〜20nmまでの電界発光素子は、発光開始電圧が80Vから40V程度に低下し、発光強度が増し、発光スペクトルが狭帯域化する効果が確認できた。
[その他の実施の形態]
As a result, in the comparative example without the first and second electron capture / emission layers 13 and 18 and Examples 1 to 3, the behavior changes (different), and the electroluminescence element of 5 nm to 20 nm has an emission start voltage. The effect of decreasing the emission spectrum from 80 V to 40 V, increasing the emission intensity, and narrowing the emission spectrum was confirmed.
[Other embodiments]

以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、以下のような変更も本発明の適用範囲である。   As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these, The following changes are also the application scope of this invention.

例えば、上記各実施の形態で用いた第1および第2電子捕獲放出層13、18の材料は、伝導帯端準位が量子ドットのコア部分の材料の伝導帯端準位より大きく、価電子帯端準位がコア部分の材料の価電子帯端準位よりも小さい無機材料から適宜選ぶことができる。また、電子捕獲放出層は、単一元素でなる原子層でもよいし、これらを含む化合物であってもよい。具体的には、仕事関数が3.0eV以下であるCa、Ba、Sr、Cs、Ce、Gd、La、Ag、Pb、Zn、Al、Biなどの元素を挙げることができる。   For example, the material of the first and second electron capture / emission layers 13 and 18 used in the above embodiments has a conduction band edge level larger than that of the material of the core part of the quantum dot, and the valence electrons. The material can be appropriately selected from inorganic materials having a band edge level smaller than the valence band edge level of the material of the core portion. The electron capture / emission layer may be an atomic layer made of a single element or a compound containing these. Specifically, elements such as Ca, Ba, Sr, Cs, Ce, Gd, La, Ag, Pb, Zn, Al, and Bi having a work function of 3.0 eV or less can be given.

また、上記第5の実施の形態では、基板が不透明なシリコン基板21を適用したが、不透明な材料であっても電極19の成膜が可能な材料であれば、他の無機材料を用いてもよいし、可撓性を有するプラスチック基板を適用することも可能である。   In the fifth embodiment, the silicon substrate 21 having an opaque substrate is used. However, other inorganic materials may be used as long as the electrode 19 can be formed even if it is an opaque material. It is also possible to apply a plastic substrate having flexibility.

10A、10B、10C、10D、10E…電界発光素子
11…透明基板
12…透明電極
13、13A、13B、13C…第1電子捕獲放出層
14…第1絶縁層
15…第1緩衝層
16…第2緩衝層
17…第2絶縁層
18…第2電子捕獲放出層
19…電極
20…発光活性層
21…シリコン基板
30…交流駆動源
10A, 10B, 10C, 10D, 10E ... Electroluminescent device 11 ... Transparent substrate 12 ... Transparent electrode 13, 13A, 13B, 13C ... First electron capture / emission layer 14 ... First insulating layer 15 ... First buffer layer 16 ... First 2 buffer layer 17 second insulating layer 18 second electron capture and emission layer 19 electrode 20 light emitting active layer 21 silicon substrate 30 AC drive source

Claims (9)

量子ドットを含む発光活性層が無機半導体材料でなる一対の緩衝層に挟まれて、量子ドットが前記緩衝層に包含され、一対の前記緩衝層のそれぞれの外側に、絶縁層を挟むように電極が配され、これら電極に交流電圧を印加することにより前記発光活性層を発光させる電界発光素子であって、
前記緩衝層と前記電極との間に、接合する層との界面に表面準位を形成する電子捕獲放出層が配置されていることを特徴とする電界発光素子。
A light-emitting active layer containing quantum dots is sandwiched between a pair of buffer layers made of an inorganic semiconductor material, and quantum dots are included in the buffer layer, and electrodes are arranged so that an insulating layer is sandwiched between each of the buffer layers. Is an electroluminescent element that emits light from the light-emitting active layer by applying an alternating voltage to these electrodes,
An electroluminescent device comprising: an electron capture / emission layer that forms a surface state at an interface with a layer to be bonded between the buffer layer and the electrode.
前記電子捕獲放出層は、トラップ準位と真空準位のエネルギー差が3.0eV以下の材料でなることを特徴とする請求項1に記載の電界発光素子。   2. The electroluminescent device according to claim 1, wherein the electron capture and emission layer is made of a material having an energy difference between a trap level and a vacuum level of 3.0 eV or less. 前記電子捕獲放出層は、仕事関数が3.0eV以下の金属原子の単体もしくはその金属原子を含む化合物でなることを特徴とする請求項1に記載の電界発光素子。   2. The electroluminescent device according to claim 1, wherein the electron capture / emission layer is made of a single metal atom having a work function of 3.0 eV or less or a compound containing the metal atom. 電子捕獲放出層は、非化学量論比の組成を持つ金属酸化物であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電界発光素子。   3. The electroluminescent device according to claim 1, wherein the electron capture / emission layer is a metal oxide having a composition with a non-stoichiometric ratio. 前記金属酸化物は、酸素欠損のある組成であることを特徴とする請求項4に記載の電界発光素子。   The electroluminescent device according to claim 4, wherein the metal oxide has a composition having oxygen vacancies. 前記電子捕獲放出層は、前記緩衝層と前記絶縁層との間に介在されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の電界発光素子。   The electroluminescent device according to claim 1, wherein the electron capture / emission layer is interposed between the buffer layer and the insulating layer. 前記電子捕獲放出層は、前記絶縁層と前記電極との間に介在されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の電界発光素子。   The electroluminescent device according to claim 1, wherein the electron capture / emission layer is interposed between the insulating layer and the electrode. 前記電子捕獲放出層は、複数の層が積層されてなることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の電界発光素子。   The electroluminescent device according to any one of claims 1 to 7, wherein the electron capture / emission layer is formed by laminating a plurality of layers. 前記複数の層は、互いに異なる材料でなることを特徴とする請求項8に記載の電界発光素子。   The electroluminescent device according to claim 8, wherein the plurality of layers are made of different materials.
JP2009223748A 2009-09-29 2009-09-29 Electroluminescent element and method of manufacturing the same Pending JP2011076726A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009223748A JP2011076726A (en) 2009-09-29 2009-09-29 Electroluminescent element and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009223748A JP2011076726A (en) 2009-09-29 2009-09-29 Electroluminescent element and method of manufacturing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011076726A true JP2011076726A (en) 2011-04-14

Family

ID=44020539

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009223748A Pending JP2011076726A (en) 2009-09-29 2009-09-29 Electroluminescent element and method of manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2011076726A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015056750A1 (en) * 2013-10-17 2015-04-23 株式会社村田製作所 Nano-particle material, and light-emitting device
WO2015056749A1 (en) * 2013-10-17 2015-04-23 株式会社村田製作所 Nanoparticle material and light-emittingl device
WO2023152972A1 (en) * 2022-02-14 2023-08-17 シャープディスプレイテクノロジー株式会社 Light-emitting device and production method therefor

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015056750A1 (en) * 2013-10-17 2015-04-23 株式会社村田製作所 Nano-particle material, and light-emitting device
WO2015056749A1 (en) * 2013-10-17 2015-04-23 株式会社村田製作所 Nanoparticle material and light-emittingl device
CN105684555A (en) * 2013-10-17 2016-06-15 株式会社村田制作所 Nano-particle material, and light-emitting device
JP6061112B2 (en) * 2013-10-17 2017-01-18 株式会社村田製作所 Light emitting device
JPWO2015056749A1 (en) * 2013-10-17 2017-03-09 株式会社村田製作所 Light emitting device
US9595625B2 (en) 2013-10-17 2017-03-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Nanoparticle material and light-emitting device
US9722198B2 (en) 2013-10-17 2017-08-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Nanoparticle material and light-emitting device
WO2023152972A1 (en) * 2022-02-14 2023-08-17 シャープディスプレイテクノロジー株式会社 Light-emitting device and production method therefor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8089061B2 (en) Quantum dot inorganic electroluminescent device
US7868351B2 (en) Light emitting device
US20140264269A1 (en) Tunable light emitting diode using graphene conjugated metal oxide semiconductor-graphene core-shell quantum dots and its fabrication process thereof
JP2005038634A (en) Current injection light-emitting element
KR20080055546A (en) Semiconductor light emitting device having nano-wire structure and method for fabricating the same
JPH1097895A (en) Organic electroluminescent element having charge transport layer
JP6333473B2 (en) Optoelectronic semiconductor device manufacturing method
US11417851B2 (en) Light-emitting element, light-emitting device, and device for producing light-emitting element
WO2019187064A1 (en) Light emitting element, light emitting device and method for producing light emitting element
JP2001043977A (en) Light emitting diode
WO2020174594A1 (en) Light-emitting device, display device
CN112614956A (en) Inverted QLED device, display device and preparation method
US8198638B2 (en) Light emitting device structure and process for fabrication thereof
JP2005093358A (en) Ac-operating electroluminescent element and its manufacturing method
JP2011076726A (en) Electroluminescent element and method of manufacturing the same
JP4378230B2 (en) Light emitting device and manufacturing method thereof
JP4943440B2 (en) Light emitting element and display device
CN209912898U (en) Quantum dot light emitting diode
US20210351320A1 (en) Light-Emitting Element
KR20100137396A (en) Organic lighting device
JP2008091754A (en) Light emitting element
JP5062882B2 (en) Inorganic electroluminescence device
JP5046637B2 (en) Inorganic electroluminescent device
WO2022029856A1 (en) Light-emitting element and light-emitting device
JP2011076770A (en) Electroluminescent element and method of manufacturing the same