JP2011067874A - Grinder oscillation control method and the grinder - Google Patents

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Makoto Sugita
真 杉田
Yoshiaki Ikeda
芳明 池田
Taira Nishizawa
平 西沢
Isao Ando
勲 安藤
Osamu Kubota
治 久保田
Hideo Furukawa
英雄 古川
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To process a seat by a simple structure without the need for an axis dedicated to oscillation. <P>SOLUTION: A first slide part 101 is structured so as to reciprocate in an X-axis direction, and a second slide part 102 is structured so as to reciprocate in a Z-axis direction which is an axial direction of grinding stones 24-26, respectively. First and second linear motors 13 and 16 are driven through a drive signal output circuit 302 and first and second servo amplifiers 303A and 303B by execution of oscillation control in a control part 301, whereby the first slide part 101 and the second slide part 102 are reciprocated simultaneously, thereby causing oscillation by combination of their reciprocal motions. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、研削装置に係り、特に、シート加工の際に必要とされる砥石オシレーション制御の簡素化等を図ったものに関する。   The present invention relates to a grinding apparatus, and more particularly, to a device that simplifies grinding wheel oscillation control and the like required for sheet processing.

従来、ＸＺ直交軸構成で内径加工を可能とする研削装置において、例えば、中空部材の内部に、流体制御等に用いられる弁体が着座、離間するシート面を形成するシート加工を可能とするためには、いわゆるシートオシレーションが必要となるが、そのためには、ＸＺ直交軸と別個にオシレーション専用の軸を設ける構成が一般的である（例えば、特許文献１等参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, in a grinding apparatus capable of machining an inner diameter with an XZ orthogonal axis configuration, for example, in order to enable sheet machining in which a valve body used for fluid control or the like is seated and separated in a hollow member. Therefore, so-called sheet oscillation is required. For this purpose, a configuration in which an axis dedicated to oscillation is provided separately from the XZ orthogonal axis is common (see, for example, Patent Document 1).

特開平７−１４８６６１号公報（第２−３頁、図１−図３）JP-A-7-148661 (page 2-3, FIG. 1 to FIG. 3)

しかしながら、かかる従来装置にあっては、オシレーション専用の軸を備える構成であるため、装置全体の構成が複雑になるばかりか、装置の大型化を招くと共に、高価格化を招くという問題があった。
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、オシレーション専用の軸を要することなく、簡易な構成で、シート加工に必要なオシレーションを実現できる研削装置におけるオシレーション制御方法及び研削装置を提供するものである。 However, such a conventional device has a configuration that includes a shaft dedicated to oscillation, so that not only the configuration of the entire device is complicated, but also the size of the device is increased and the cost is increased. It was.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides an oscillation control method and a grinding apparatus in a grinding apparatus capable of realizing the oscillation necessary for sheet processing with a simple configuration without requiring a dedicated shaft for oscillation. It is to provide.

上記本発明の目的を達成するため、本発明に係る研削装置におけるオシレーション制御方法は、
砥石を回転自在に設ける一方、前記砥石の軸線方向に対して直交する方向に往復動可能に第１のテーブル部材を設けると共に、前記第１のテーブル部材の往復動方向に対して直交する方向に往復動可能に前記第１のテーブル部材上に第２のテーブル部材を設け、当該第２のテーブル部材上にワークを取り付け、前記第１のテーブル部材と第２のテーブル部材に、それぞれ往復動を同時に与えて、前記ワークにオシレーションを生じせしめて、前記砥石による前記ワークのシート加工を可能としてなるものである。
また、上記本発明の目的を達成するため、本発明に係る研削装置は、
回転自在に設けられた砥石と、
外部からの制御に応じて前記砥石の軸線方向に対して直交する方向に往復動可能に設けられた第１のスライド手段と、
外部からの制御に応じて前記砥石の軸線方向に往復動可能に前記第１のスライド手段上に設けられた第２のスライド部と、
前記第２のスライド手段に設けられ、ワークを着脱自在に保持しつつ回転せしめるワーク保持回転手段と、
前記第１及び第２のスライド手段の往復動を制御する制御駆動手段と、を具備し、
前記制御駆動手段は、前記第１のスライド手段と第２のスライド手段に、それぞれ往復動を同時に生じせしめるよう構成されてなり、
前記第１のスライド手段と第２のスライド手段の往復動の合成により、前記ワークのオシレーションを可能としてなるものである。 In order to achieve the above object of the present invention, an oscillation control method in a grinding apparatus according to the present invention includes:
While the grindstone is rotatably provided, the first table member is provided so as to be able to reciprocate in a direction orthogonal to the axial direction of the grindstone, and in a direction orthogonal to the reciprocating direction of the first table member. A second table member is provided on the first table member so as to be capable of reciprocating movement, a work is mounted on the second table member, and the first table member and the second table member are reciprocated respectively. At the same time, the workpiece is caused to oscillate, and the workpiece can be processed with the grindstone.
In order to achieve the above object of the present invention, a grinding apparatus according to the present invention comprises:
A grindstone provided rotatably,
A first slide means provided so as to be able to reciprocate in a direction perpendicular to the axial direction of the grindstone according to control from the outside;
A second slide portion provided on the first slide means so as to be capable of reciprocating in the axial direction of the grindstone according to control from the outside;
A work holding and rotating means provided on the second slide means for rotating the work while detachably holding the work;
Control drive means for controlling the reciprocation of the first and second slide means,
The control drive means is configured to cause the first slide means and the second slide means to reciprocate simultaneously, respectively.
Oscillation of the workpiece can be performed by combining reciprocating movements of the first slide means and the second slide means.

本発明によれば、互いに直交する軸方向で往復動可能に２つのテーブル部材を設けて、それぞれの往復動の合成によってオシレーションが得られるように構成したので、２つの軸を通常の研削作業に用いつつ、オシレーション専用の軸を用いることなく、簡易な構成で、シート加工が実現できるという効果を奏するものである。   According to the present invention, two table members are provided so as to be able to reciprocate in mutually orthogonal axial directions, and the oscillation is obtained by combining the reciprocating motions. The sheet processing can be realized with a simple configuration without using a shaft dedicated for oscillation.

以下、本発明の実施の形態について、図１乃至図５を参照しつつ説明する。
なお、以下に説明する部材、配置等は本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨の範囲内で種々改変することができるものである。
最初に、本発明の実施の形態における研削装置の全体構成について、図１を参照しつつ説明する。
本発明の実施の形態における研削装置Ｓは、特に、その全体外観、寸法が従来装置に比して非常に小型化されたもので、その正面側の横幅Ｗは、０．８ｍと、従来の大凡１／３程度の細身となっている（図１（Ａ）参照）。また、研削装置Ｓの奥行きＬは、２ｍで、従来よりやや小さくなっている（図１（Ｂ）参照）。このように、特に、正面横幅の縮小化が図られているために、その設置スペースが従来に比して大幅に削減できるものとなっている。このような小型化を可能としたのは、詳細は後述するが、ワーク研削部分の構造にある。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 5.
The members and arrangements described below do not limit the present invention and can be variously modified within the scope of the gist of the present invention.
Initially, the whole structure of the grinding device in embodiment of this invention is demonstrated, referring FIG.
The grinding apparatus S according to the embodiment of the present invention is particularly reduced in overall appearance and dimensions as compared with the conventional apparatus, and the width W on the front side is 0.8 m, which is the conventional one. It is thin about 1/3 (see FIG. 1A). Moreover, the depth L of the grinding device S is 2 m, which is slightly smaller than the conventional one (see FIG. 1B). As described above, in particular, since the front lateral width is reduced, the installation space can be greatly reduced as compared with the conventional case. The downsizing is made possible by the structure of the workpiece grinding portion as will be described in detail later.

本発明の研削装置Ｓは、ワークの研削を行う砥石などが配設される本体部２０１と、本体部２０１の上方に配設されて研削量などを設定する操作盤２０２と、操作盤２０２の設定データなどを基に研削動作の制御等を行う電子回路が収納されて操作盤２０２の後方に配設される制御盤２０３と、制御盤２０３の後方に配設され、後述する静圧兼冷却用油の濾過を行う濾過装置２０４と、この濾過装置２０４に積層されるよう設けられて静圧兼冷却油の圧力を制御する油圧装置２０５と、この油圧装置２０５に積層されるように設けられる冷却のため霧状に放出された静圧兼冷却油の回収を行うミストコレクタ２０６とに大別されて構成されたものとなっている。
本体部２０１の正面上部には、前面扉２０１ａが開閉可能に設けてあり、その開閉によって、内部に設けられたワーク保持用のチャック（図示せず）へ対するワークの取り付けや取り外しなどの作業が行えるようになっている。 The grinding apparatus S of the present invention includes a main body 201 on which a grindstone for grinding a workpiece is disposed, an operation panel 202 that is disposed above the main body 201 and sets a grinding amount, and the like. An electronic circuit for controlling the grinding operation based on setting data and the like is housed, and a control panel 203 disposed behind the operation panel 202 and a rear panel of the control panel 203, and static pressure and cooling described later. A filtration device 204 that filters oil for use, a hydraulic device 205 that is stacked on the filtration device 204 and controls the pressure of static and cooling oil, and a hydraulic device 205 that is stacked on the hydraulic device 205. It is roughly divided into a mist collector 206 that collects static pressure and cooling oil discharged in a mist form for cooling.
A front door 201a is provided on the front upper portion of the main body 201 so as to be openable and closable. By opening and closing the main body 201, work such as attachment and detachment of a work with respect to a work holding chuck (not shown) provided therein can be performed. It can be done.

図２には、本体部２０１内に収納、配設される研削装置Ｓの主要部の構成例が示されており、以下、同図を参照しつつ、その構成例について説明する。
本体部２０１の底部側には、基台部としてのベッド１が設けられており、このベッド１に形成された水平面であるスライド設置面２に、第１及び第２のスライド手段としての第１及び第２のスライド部１０１，１０２や、ワーク保持回転手段としてのワーク保持部１０３などが設けられるものとなっている。なお、ベッド１は、低熱膨張鋳物を用いて形成するのが、熱変位を最小限に抑える観点から好ましい。 FIG. 2 shows a configuration example of a main part of the grinding apparatus S housed and arranged in the main body 201. Hereinafter, the configuration example will be described with reference to FIG.
A bed 1 as a base portion is provided on the bottom side of the main body portion 201, and a slide installation surface 2 that is a horizontal surface formed on the bed 1 is provided with first and second slide means. The second slide portions 101 and 102, the workpiece holding portion 103 as a workpiece holding and rotating means, and the like are provided. The bed 1 is preferably formed using a low thermal expansion casting from the viewpoint of minimizing thermal displacement.

本発明の実施の形態におけるベッド１の平面外観形状は大凡正方形状となっているが、その一つの辺に沿ってスライド設置面２より高い段部１ｃが形成されており、その頂部１ｄには、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３等が設けられるものとなっている。   The planar external shape of the bed 1 in the embodiment of the present invention is roughly square, but a step 1c higher than the slide installation surface 2 is formed along one side thereof, and the top 1d is formed on the top 1d. The 1st thru | or 3rd grindstone spindles 21-23 etc. are provided.

スライド設定面２上には、第１のスライド部１０１が設けられている。この第１のスライド部１０１は、スライド設定面２に接合されるように固定して設けられた第１のベースプレート１１と、この第１のベースプレート１１に対向するように設けられた第１のテーブルプレート１２と、第１のベースプレート１１と第１のテーブルプレート１２との間に設けられたリニアモータ１３とに大別されて構成されたものとなっている。   A first slide portion 101 is provided on the slide setting surface 2. The first slide portion 101 includes a first base plate 11 that is fixed so as to be joined to the slide setting surface 2, and a first table that is provided to face the first base plate 11. The plate 12 is roughly divided into a linear motor 13 provided between the first base plate 11 and the first table plate 12.

本発明の実施の形態において、第１のベースプレート１１は、その全体外観形状が大凡長方形となっており、その長辺は、上述の段部１ｃと反対側のベッド１の一辺とほぼ同じ長さに設定されたものとなっている（図２参照）。
また、第１のテーブルプレート１２は、その横幅が第１のベースプレート１１の短辺とほぼ同一であるが、この短辺と直交する方向の辺の長さは、第１のベースプレート１１の長辺の大凡１／３〜２／３程度の長さとなっており、後述するように第１のベースプレート１１の長辺に沿っての往復動が容易となるようにしてある。 In the embodiment of the present invention, the overall appearance of the first base plate 11 is generally rectangular, and its long side is almost the same length as one side of the bed 1 on the opposite side to the stepped portion 1c. (See FIG. 2).
The first table plate 12 has a lateral width that is substantially the same as the short side of the first base plate 11, but the length of the side in the direction orthogonal to the short side is the long side of the first base plate 11. The length is about 1/3 to 2/3, and reciprocation along the long side of the first base plate 11 is facilitated as will be described later.

なお、この第１のテーブルプレート１２と第１のベースプレート１１との間には、詳細は省略するがいわゆる静圧軸受けが形成されており、第１のテーブルプレート１２はリニアモータ１３の駆動力を受けて第１のベースプレート１１の長辺に平行するように案内されて往復動可能となっている。
ここで、第１のテーブルプレート１２が往復動する方向、換言すれば、主軸１８の軸線方向と直交する方向を、便宜的に、Ｘ、Ｙ及びＺ軸により表される３次元座標におけるＸ軸方向とする（図２参照）。 Note that a so-called static pressure bearing is formed between the first table plate 12 and the first base plate 11, although details are omitted, and the first table plate 12 receives the driving force of the linear motor 13. Receiving and being guided so as to be parallel to the long side of the first base plate 11, it can be reciprocated.
Here, the direction in which the first table plate 12 reciprocates, in other words, the direction orthogonal to the axial direction of the main shaft 18 is, for convenience, the X axis in the three-dimensional coordinates represented by the X, Y, and Z axes. Direction (see FIG. 2).

そして、第１のテーブルプレート１２には、第２のスライド部１０２が載置されるように設けられている。
この第２のスライド部１０２は、その基本的な構造は、先の第１のスライド部１０１と同一のもので、第２のベースプレート１４と、この第２のベースプレート１４に対向するように設けられた第２のテーブルプレート１５と、第２のベースプレート１４と第２のテーブルプレート１５との間に設けられたリニアモータ１６とに大別されて構成されたものとなっている。 The first table plate 12 is provided so that the second slide portion 102 is placed thereon.
The basic structure of the second slide portion 102 is the same as that of the first slide portion 101, and is provided to face the second base plate 14 and the second base plate 14. The second table plate 15 and a linear motor 16 provided between the second base plate 14 and the second table plate 15 are roughly divided.

本発明の実施の形態における第２のベースプレート１４は、その横幅、すなわち、Ｘ軸方向の長さが第１のテーブルプレート１２のＸ軸方向の長さにほぼ等しく設定されている一方、Ｘ軸を含む水平面内においてＸ軸と直交する方向、換言すれば、主軸１８の軸線方向（以下、この方向を便宜的に「Ｚ軸方向」と称する）の長さは、第１のテーブルプレート１２のＺ軸方向の長さよりもやや長目のものとなっている。   The second base plate 14 according to the embodiment of the present invention has its lateral width, that is, the length in the X-axis direction set substantially equal to the length of the first table plate 12 in the X-axis direction. The length of the axis direction of the main shaft 18 (hereinafter, this direction is referred to as “Z-axis direction” for convenience) is perpendicular to the X axis in the horizontal plane including the first table plate 12. The length is slightly longer than the length in the Z-axis direction.

一方、第２のテーブルプレート１５は、その横幅、すなわち、Ｘ軸方向の長さが第２のベースプレート１４のＸ軸方向の長さにほぼ等しく設定されている一方、Ｚ軸方向の長さは、第２のベースプレート１４のＺ軸方向の長さよりも短めに設定されたものとなっている。
そして、第２のテーブルプレート１５も第１のテーブルプレート１２同様、第２のテーブルプレート１５と第２のベースプレート１４との間に静圧軸受けが形成されており、それにより、リニアモータ１６の駆動力を受けて第１のベースプレート１２の長辺に平行するように案内されてＺ軸方向に往復動可能となっている。 On the other hand, the width of the second table plate 15, that is, the length in the X-axis direction is set substantially equal to the length in the X-axis direction of the second base plate 14, while the length in the Z-axis direction is The second base plate 14 is set to be shorter than the length in the Z-axis direction.
The second table plate 15 also has a static pressure bearing formed between the second table plate 15 and the second base plate 14, like the first table plate 12, thereby driving the linear motor 16. In response to the force, the first base plate 12 is guided so as to be parallel to the long side, and can reciprocate in the Z-axis direction.

さらに、第２のテーブルプレート１５の上には、ワーク保持部１０３が載置されたものとなっている。
すなわち、ワーク保持部１０３は、図示されないワークを着脱可能に保持するチャック１７と、内部にモータ（図示せず）を有してチャック１７を回転自在に保持する主軸１８とから構成されたものとなっている。
本発明の実施の形態においては、ベッド１に形成された段部１ｃ側に位置する第２のテーブルプレート１５の縁からチャック１７が段部１ｃ方向へ突出するように主軸１８及びチャック１７が、第２のテーブルプレート１５上に固定されて設けられたものとなっている。 Further, a work holding unit 103 is placed on the second table plate 15.
That is, the work holding unit 103 includes a chuck 17 that detachably holds a work (not shown), and a spindle 18 that has a motor (not shown) inside and rotatably holds the chuck 17. It has become.
In the embodiment of the present invention, the spindle 18 and the chuck 17 are arranged so that the chuck 17 protrudes in the direction of the step portion 1c from the edge of the second table plate 15 located on the step portion 1c side formed in the bed 1. It is fixed on the second table plate 15.

また、第２のテーブルプレート１５上において、ワーク保持部１０３の近傍には、ドレススピンドル１９が固定されて設けられており、後述する第１乃至第３の砥石２４〜２６のドレス作業が可能となっている。   Further, on the second table plate 15, a dress spindle 19 is fixedly provided in the vicinity of the work holding unit 103, and dressing work of first to third grindstones 24 to 26 described later is possible. It has become.

一方、段部１ｃの頂部１ｄには、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３がＸ軸方向において適宜な間隔を隔てて固定されて設けられている。これら第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３には、それぞれ第１の砥石２４、第２の砥石２５、第３の砥石２６が回転可能に取り付けられており、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３は、第１乃至第３の砥石２４〜２６が、ワーク保持部１０３に臨むように段部１ｃに固設されたものとなっている。換言すれば、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３は、その軸方向が３次元座標のＺ軸方向に沿うように設けられている（図２参照）。   On the other hand, first to third grindstone spindles 21 to 23 are provided at a top portion 1d of the stepped portion 1c so as to be fixed at an appropriate interval in the X-axis direction. A first grindstone 24, a second grindstone 25, and a third grindstone 26 are rotatably attached to the first to third grindstone spindles 21 to 23, respectively. In 21 to 23, the first to third grindstones 24 to 26 are fixed to the stepped portion 1c so as to face the work holding portion 103. In other words, the first to third grindstone spindles 21 to 23 are provided such that their axial directions are along the Z-axis direction of the three-dimensional coordinates (see FIG. 2).

本発明の実施の形態においては、この段部１ｃ側が、装置の前面側、すなわち、本体部２０１の前面側となるようにベッド１が配され、作業者が前面扉２０１ａを介してワークの取り付けや取り外し、第１乃至第３の砥石２４〜２６の取り付けや交換等の作業が可能となっている（図１及び図２）。   In the embodiment of the present invention, the bed 1 is arranged so that the stepped portion 1c side is the front side of the apparatus, that is, the front side of the main body 201, and an operator attaches a work via the front door 201a. Thus, operations such as removal, attachment and replacement of the first to third grindstones 24 to 26 are possible (FIGS. 1 and 2).

また、段部１ｃには、これら第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜１３の近傍に、ワーク交換のためのローディング装置１０４が設けられている。
本発明の実施の形態におけるローディング装置１０４は、旋回シリンダ７１と、上下シリンダ７２と、２つのエアチャック７３，７４を主たる構成要素としてなるものである。
段部１ｃに設けられた旋回シリンダ７１は、水平面内で回転可能となっているもので、この旋回シリンダ７１に上下シリンダ７２が載置されている。 In addition, a loading device 104 for exchanging workpieces is provided in the vicinity of the first to third grindstone spindles 21 to 13 in the step portion 1c.
The loading device 104 according to the embodiment of the present invention is composed mainly of the swing cylinder 71, the upper and lower cylinders 72, and the two air chucks 73 and 74.
The turning cylinder 71 provided in the step portion 1c is rotatable in a horizontal plane, and the upper and lower cylinders 72 are placed on the turning cylinder 71.

上下シリンダ７２は、垂直方向での上下動が可能となっており、この上下シリンダ７２に第１及び第２のエアチャック７３，７４が積層するように設けられている。
かかる構成により、旋回シリンダ７１による旋回と、上下シリンダ７２による上下動により、チャック１７に対して適切な位置でローディング、アンローディング作業が行えるようになっている。 The upper and lower cylinders 72 can move up and down in the vertical direction, and the first and second air chucks 73 and 74 are stacked on the upper and lower cylinders 72.
With this configuration, loading and unloading operations can be performed at appropriate positions with respect to the chuck 17 by turning by the turning cylinder 71 and vertical movement by the upper and lower cylinders 72.

また、本発明の実施の形態においては、第１のエアチャック７４には、シート深さ測定用の第１の測定子７６が、また、第２のエアチャック７３には、内径ポスプロ測定用の第２の測定子７５が、それぞれ適宜な位置に取着されており、ローディングの際に、それぞれ測定可能に構成されたものとなっている。     Further, in the embodiment of the present invention, the first air chuck 74 has a first probe 76 for measuring the sheet depth, and the second air chuck 73 has an inner diameter post-pro measurement. Each of the second measuring elements 75 is attached to an appropriate position, and is configured to be able to measure each when loading.

かかる構成において、図示されないワークの研削作業は、まず、チャック１７にワーク（図示せず）を取着させ、操作盤２０２において、所望する研削に応じた設定を行う。そして、図示されない始動スイッチを押下することによって、第１のテーブルプレート１２がＸ軸方向に、第２のテーブルプレート１５がＺ軸方向に、制御盤２０３からの制御によって所望する研削に応じて往復動されながら、第１乃至第３の砥石２４〜２６が適宜選択され、研削が行われるものとなっている。
なお、本発明の実施の形態においては、第１の砥石２４は内径研削に、第２の砥石２５はシート研削に、第３の砥石２６は端面研削に、それぞれ供されるものとなっている。 In this configuration, the workpiece grinding operation (not shown) is performed by first attaching the workpiece (not shown) to the chuck 17 and setting the operation panel 202 according to the desired grinding. By depressing a start switch (not shown), the first table plate 12 is moved in the X-axis direction and the second table plate 15 is moved in the Z-axis direction according to the desired grinding by the control from the control panel 203. The first to third grindstones 24 to 26 are appropriately selected while being moved, and grinding is performed.
In the embodiment of the present invention, the first grindstone 24 is used for inner diameter grinding, the second grindstone 25 is used for sheet grinding, and the third grindstone 26 is used for end face grinding. .

次に、上記構成において、図示されないワークにシート加工（シート研削）を施すために第２のスライド部１０２を所望の方向でオシレーションさせるためのオシレーション制御について、図３及び図４を参照しつつ説明する。
まず、本発明の実施の形態における、第１及び第２のスライド部１０１，１０２の駆動制御のための電気的な構成について、図３を参照しつつ説明する。
本発明の実施の形態において、第１及び第２のスライド部１０１，１０２の駆動制御のための電気的な構成部分は、制御部３０１（図３においては「ＣＰＵ」と表記）と、駆動信号出力回路３０２と、第１及び第２のサーボアンプ３０３Ａ，３０３Ｂとを主たる構成要素として構成されたものとなっている。 Next, referring to FIGS. 3 and 4 for the oscillation control for causing the second slide portion 102 to oscillate in a desired direction in order to perform sheet processing (sheet grinding) on a workpiece (not shown) in the above-described configuration. I will explain.
First, an electrical configuration for drive control of the first and second slide portions 101 and 102 in the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the embodiment of the present invention, the electrical components for drive control of the first and second slide portions 101 and 102 are a control unit 301 (denoted as “CPU” in FIG. 3), and a drive signal. The output circuit 302 and the first and second servo amplifiers 303A and 303B are configured as main components.

制御部３０１は、例えば、公知・周知のマイクロコンピュータを中心に、ＲＡＭやＲＯＭ等の記憶素子（図示せず）や、入出力インターフェイス回路（図示せず）を主たる構成要素として構成されたものとなっている。
本発明の実施の形態におけるオシレーション制御は、制御部３０１におけるソフトウェア処理の実行によって実現されるものであり、図３においては、制御部３０１において実行されるオシレーション制御処理の内容が機能ブロックを用いて示されている（詳細は後述）。 For example, the control unit 301 is configured with a storage element (not shown) such as a RAM and a ROM, and an input / output interface circuit (not shown) as main components centered on a known and well-known microcomputer. It has become.
Oscillation control in the embodiment of the present invention is realized by execution of software processing in the control unit 301. In FIG. 3, the content of the oscillation control processing executed in the control unit 301 is a functional block. (Details will be described later).

制御部３０１におけるオシレーション制御処理の実行により、制御部３０１からは、第１及び第２のスライド部１０１，１０２の駆動のため、リニアモータ１３，１６の動作制御のための信号が出力されるようになっているが、かかる信号は、第１及び第２のサーボアンプ３０３Ａ，３０３Ｂを介してリニアモータ１３，１６を駆動するに適した所定のレベル、信号形式に、駆動信号出力回路３０２により変換して出力されるものとなっている。   By executing the oscillation control process in the control unit 301, a signal for controlling the operation of the linear motors 13 and 16 is output from the control unit 301 to drive the first and second slide units 101 and 102. However, the drive signal output circuit 302 applies such a signal to a predetermined level and signal format suitable for driving the linear motors 13 and 16 via the first and second servo amplifiers 303A and 303B. It is to be converted and output.

第１及び第２のサーボアンプ３０３Ａ，３０３Ｂは、駆動信号出力回路３０２の出力に応じてリニアモータ１３，１６の駆動に必要な電圧、電流を出力するものである。本発明の実施の形態においては、第１のサーボアンプ３０３Ａによりリニアモータ１３が、第２のサーボアンプ３０３Ｂによりリニアモータ１６が、それぞれ駆動されるものとなっている。   The first and second servo amplifiers 303 </ b> A and 303 </ b> B output voltages and currents necessary for driving the linear motors 13 and 16 according to the output of the drive signal output circuit 302. In the embodiment of the present invention, the linear motor 13 is driven by the first servo amplifier 303A, and the linear motor 16 is driven by the second servo amplifier 303B.

次に、制御部３０１におけるオシレーション制御処理の内容について、図３の制御部３０１内に示された機能ブロックを参照しつつ説明することとする。
まず、本発明の実施の形態においては、シート加工の際に第２のスライド部１０２が、Ｚ軸方向に沿ってシート研削用の第２の砥石２５へ接近しつつ、且つ、前後に往復動、即ち、オシレーションせしめられるものとなっている。
本発明の実施の形態におけるオシレーション制御は、概括的に言えば、従来と異なり、オシレーション専用のためのテーブル、駆動軸を用いることなく、第１のスライド部１０１のＸ軸方向の移動により、間接的に第２のスライド部１０２にＸ軸方向の移動を与えると共に、第２のスライド部１０２自体にＺ軸方向の移動を与え、その２つの動きの合成（ベクトル合成）として第２のスライド部１０２のオシレーションを得るものとなっている。 Next, the contents of the oscillation control process in the control unit 301 will be described with reference to functional blocks shown in the control unit 301 of FIG.
First, in the embodiment of the present invention, when the sheet is processed, the second slide portion 102 reciprocates back and forth while approaching the second grinding wheel 25 for sheet grinding along the Z-axis direction. That is, it can be made to oscillate.
In general, the oscillation control according to the embodiment of the present invention is different from the conventional one by moving the first slide portion 101 in the X-axis direction without using a table and a drive shaft dedicated to oscillation. Indirectly, the second slide portion 102 is given a movement in the X-axis direction, and the second slide portion 102 itself is given a movement in the Z-axis direction. The oscillation of the slide part 102 is obtained.

以下、具体的に説明すれば、まず、制御部３０１においては、オシレーションの動きを決定するための処理系と、Ｚ軸方向での切り込み量（研削送り量）を決定するための処理系とに大別されて処理が実行されるものとなっている。
オシレーションの動きを決定するための処理系としては、まず、Ｘ軸方向の第１のスライド部１０１（第１のテーブル部材）の動き、即ち、換言すれば、第１のスライド部１０１のＸ軸方向の動きと、Ｚ軸方向の第２のスライド部１０２（第２のテーブル部材）の動きを規定するため、共通に用いられるカムデータ４０１が、制御部３０１の図示されない記憶領域に記憶されている。 Specifically, first, in the control unit 301, a processing system for determining the movement of the oscillation, and a processing system for determining the cutting amount (grind feed amount) in the Z-axis direction. The process is roughly divided into two.
As a processing system for determining the movement of the oscillation, first, the movement of the first slide portion 101 (first table member) in the X-axis direction, that is, in other words, the X of the first slide portion 101. In order to define the movement in the axial direction and the movement of the second slide portion 102 (second table member) in the Z-axis direction, commonly used cam data 401 is stored in a storage area (not shown) of the control unit 301. ing.

かかるカムデータ４０１は、予め定められた単位時間の間における時間の経過に対する第１及び第２のスライド部１０１，１０２の基本的な移動量、換言すれば、移動位置（カム変位）を定めるものである。このようなカムデータ４０１は、例えば、表形式等によって記憶されるものとなっている。また、かかるカムデータ４０１としては、より具体的には、例えば、正弦波データなどのように往復動が比較的緩やかになるようなものが好適であるが、必ずしもそのようなものに限定されるものではない。   The cam data 401 defines basic movement amounts of the first and second slide portions 101 and 102 with respect to the passage of time during a predetermined unit time, in other words, movement positions (cam displacement). It is. Such cam data 401 is stored in, for example, a table format. More specifically, the cam data 401 is preferably data such that the reciprocating motion is relatively gentle, such as sine wave data, but is not necessarily limited to such data. It is not a thing.

本発明の実施の形態においては、基準パルスの変化に従ってカムデータ４０１からカム変位が時々刻々と読み出されるようになっている。
すなわち、制御部３０１においては、時間の経過と共に信号レベルが上昇するいわゆるランプ波形を有するパルスが所定の繰り返し周期Ｔで基準パルスとして生成されるようになっている。この基準パルスの１周期Ｔ（図３参照）は、上述のカムデータ４０１の説明において述べた単位時間に対応するものであり、この単位時間は、”１スキャン”とも称されるものである。
かかる繰り返し周期Ｔは、例えば、キーボード等の図示されない公知・周知の入力手段によって任意に設定可能となっている。 In the embodiment of the present invention, the cam displacement is read from the cam data 401 every moment according to the change of the reference pulse.
That is, in the control unit 301, a pulse having a so-called ramp waveform in which the signal level increases with the passage of time is generated as a reference pulse at a predetermined repetition period T. One period T (see FIG. 3) of the reference pulse corresponds to the unit time described in the description of the cam data 401, and this unit time is also referred to as “one scan”.
Such a repetition period T can be arbitrarily set by, for example, a well-known and well-known input means (not shown) such as a keyboard.

しかして、上述の基準パルスの変化にしたがって得られたカム変位は、第１のスライド部１０１のＸ軸方向のカム変位とされると共に、第２のスライド部１０２のＺ軸方向のカム変位とされるよう、２つに分岐されるものとなっている。
なお、以下の説明においては、説明の便宜上、第１のスライド部１０１の駆動のために分岐されたカム変位が処理される側を「Ｘ軸処理系」と、また、第２のスライド部１０２の駆動のために分岐されたカム変位が処理される側を「Ｚ軸処理系」と、それぞれ称することとする。
そして、Ｘ軸方向のカム変位に対しては、第１のオシレーションゲイン（以下「ＯＳＣゲイン」と称する）Ｋｘが、また、Ｚ軸方向のカム変位に対しては、第２のＯＳＣゲインＫｚが、それぞれ乗算されるようになっている。 Thus, the cam displacement obtained in accordance with the change in the reference pulse is the cam displacement in the X-axis direction of the first slide portion 101 and the cam displacement in the Z-axis direction of the second slide portion 102. As a result, it is branched into two.
In the following description, for convenience of description, the side on which the cam displacement branched for driving the first slide portion 101 is processed is referred to as an “X-axis processing system”, and the second slide portion 102. The side on which the cam displacement branched for driving is referred to as a “Z-axis processing system”.
The first oscillation gain (hereinafter referred to as “OSC gain”) Kx is applied to the cam displacement in the X-axis direction, and the second OSC gain Kz is applied to the cam displacement in the Z-axis direction. Are respectively multiplied.

ここで、本発明の実施の形態において、第１のスライド部１０１のＸ軸方向の移動と、第２のスライド部１０２のＺ軸方向の移動により、所望する方向のオシレーションを得るための基本概念について、図４に示された説明図を参照しつつ説明することとする。
図４において、「Ｘ」が付された平面は、第１のスライド部１０１を概念的に表し、また、「Ｚ」が付された平面は、第２のスライド部１０２を概念的に表したものである。 Here, in the embodiment of the present invention, the basis for obtaining the oscillation in the desired direction by the movement of the first slide portion 101 in the X-axis direction and the movement of the second slide portion 102 in the Z-axis direction. The concept will be described with reference to the explanatory diagram shown in FIG.
In FIG. 4, the plane with “X” conceptually represents the first slide portion 101, and the plane with “Z” conceptually represents the second slide portion 102. Is.

本発明の実施の形態においては、Ｘ軸とＺ軸は相互に直交しており、かかるＸ軸方向において第１のスライド部１０１が、また、Ｚ軸において第２のスライド部１０２が同時に移動せしめられる結果、これら第１及び第２のスライド部１０１，１０２の運動のベクトル合成結果として、それぞれの移動量に応じた方向と移動量のオシレーションが得られるものとなっている（図４参照）。
先に述べたように、第１のスライド部１０１と第２のスライド部１０２の基本の移動量、すなわち、カム変位は、同一であるので、第１のＯＳＣゲインＫｘと第２のＯＳＣゲインＫｚの大きさを変えることは、それぞれの移動量及び方向を変えることになり、それによって、オシレーション方向が調整できるものとなっている。 In the embodiment of the present invention, the X axis and the Z axis are orthogonal to each other, and the first slide portion 101 moves in the X axis direction and the second slide portion 102 moves in the Z axis simultaneously. As a result, as a result of the vector synthesis of the motions of the first and second slide portions 101 and 102, oscillation of the direction and the amount of movement corresponding to each amount of movement is obtained (see FIG. 4). .
As described above, since the basic movement amount of the first slide portion 101 and the second slide portion 102, that is, the cam displacement is the same, the first OSC gain Kx and the second OSC gain Kz. Changing the size of each means changing the moving amount and direction of each, and thereby the oscillation direction can be adjusted.

すなわち、図４に示されたように、仮に、第１のスライド部１０１の移動量がＸａ、第２のスライド部１０２の移動量がＺａと表されるとした場合、オシレーション量（往復動の振幅）Ｌは、Ｌ＝（Ｘａ２＋Ｚａ２）１／２と表されるものとなる。
また、オシレーションの方向は、Ｘ軸を基準とした場合、その角度θは、θ＝ｔａｎ−１（Ｚａ／Ｘａ）と表されるものとなる。
したがって、仮に、第１のＯＳＣゲインＫｘと第２のＯＳＣゲインＫｚが共に同一である場合、第１のスライド部１０１の移動量と第２のスライド部１０２の移動量は同一であるため、オシレーション方向は、Ｘ軸方向に対して４５度の方向となる（図４参照）。
なお、第１のＯＳＣゲインＫｘ、第２のＯＳＣゲインＫｚは、キーボード等の図示されない公知・周知の入力手段によって、所望する値が制御部３０１に設定できるものとなっている。 That is, as shown in FIG. 4, if the movement amount of the first slide portion 101 is expressed as Xa and the movement amount of the second slide portion 102 is expressed as Za, the oscillation amount (reciprocating motion) L) is expressed as L = (Xa 2 + Za 2 ) 1/2 .
Further, when the oscillation direction is based on the X axis, the angle θ is expressed as θ = tan −1 (Za / Xa).
Therefore, if the first OSC gain Kx and the second OSC gain Kz are both the same, the movement amount of the first slide portion 101 and the movement amount of the second slide portion 102 are the same. The orientation direction is 45 degrees with respect to the X-axis direction (see FIG. 4).
The first OSC gain Kx and the second OSC gain Kz can be set to desired values in the control unit 301 by a publicly known / known input means (not shown) such as a keyboard.

再び、図３における制御部３０１の機能ブロックの説明に戻れば、上述のようにして基本のカムデータに対して第１のＯＳＣゲインＫｘ、第２のＯＳＣゲインＫｚがそれぞれ乗ぜられた後は、Ｘ軸処理系においては、所定のオフセット量Ｘが加算されるものとなっている。なお、このオフセット量Ｘは、第１のスライド部１０１の始動時の原点を定めるためのものである。   Returning to the description of the functional block of the control unit 301 in FIG. 3 again, after the first OSC gain Kx and the second OSC gain Kz are respectively multiplied to the basic cam data as described above, In the X-axis processing system, a predetermined offset amount X is added. The offset amount X is for determining the origin when the first slide unit 101 is started.

このようにして、オフセット量Ｘが加算されたＸ軸処理系のカム変位量は、第１のスライド部１０１の移動位置、すなわち、Ｘ軸方向の第１のスライド部１０１の移動位置を定めるにものに相当する。この信号は２つに分岐されて、その一方は、駆動信号出力回路３０２において、第１のサーボアンプ３０３Ａによりリニアモータ１３を駆動するに適した信号に変換されて、第１のサーボアンプ３０３Ａへ入力されることとなる。そして、リニアモータ１３は、第１のサーボアンプ３０３Ａにより駆動信号出力回路３０２からの信号に応じて駆動される結果、第１のスライド部１０１は、第１のＯＳＣゲインＫｘ及びオフセット量Ｘが加味されたカムデータ、すなわち、カム変位に応じてＸ軸方向で移動することとなる。   In this way, the cam displacement amount of the X-axis processing system to which the offset amount X is added determines the movement position of the first slide portion 101, that is, the movement position of the first slide portion 101 in the X-axis direction. It corresponds to a thing. This signal is branched into two, and one of the signals is converted into a signal suitable for driving the linear motor 13 by the first servo amplifier 303A in the drive signal output circuit 302, and sent to the first servo amplifier 303A. Will be entered. The linear motor 13 is driven by the first servo amplifier 303A in accordance with the signal from the drive signal output circuit 302. As a result, the first slide unit 101 takes into account the first OSC gain Kx and the offset amount X. It moves in the X-axis direction according to the cam data, that is, cam displacement.

また、上述のようにオフセット量Ｘが加算されたＸ軸処理系のカム変位量の２つに分岐された内の他方は、微分され、次いで、フィードフォワードゲインＫff が乗ぜられて、速度信号として、駆動信号出力回路３０２を介して、第１のサーボアンプ３０３Ａへ入力されるようになっている。
これは、第１のスライド部１０１の駆動制御における制御遅れ、すなわち、換言すれば、リニアモータ１３の制御遅れを補償するためのもので、上述のような速度信号によってリニアモータ１３のフィードフォワード制御が行われるものとなっている。 Further, as described above, the other one of the two of the cam displacement amounts of the X-axis processing system to which the offset amount X is added is differentiated, and then multiplied by the feed forward gain Kff to obtain a speed signal. The signal is input to the first servo amplifier 303A via the drive signal output circuit 302.
This is to compensate for the control delay in the drive control of the first slide portion 101, in other words, the control delay of the linear motor 13, and the feedforward control of the linear motor 13 by the speed signal as described above. Is to be done.

一方、基本のカム変位に対して第２のＯＳＣゲインＫｚが乗ぜられた後は、Ｚ軸処理系においては、所定のオフセット量Ｚが加算されるものとなっている。なお、このオフセット量Ｚは、第２のスライド部１０２の始動時の原点を定めるためのものである。
Ｚ軸処理系においては、さらに、第２のスライド部１０２のワークに対する切り込み量を定めるシート位置制御データが加算されるようになっている（図３参照）。 On the other hand, after the basic OS displacement is multiplied by the second OSC gain Kz, a predetermined offset amount Z is added in the Z-axis processing system. The offset amount Z is for determining the origin when the second slide unit 102 is started.
In the Z-axis processing system, sheet position control data for determining the cutting amount of the second slide portion 102 with respect to the work is further added (see FIG. 3).

すなわち、本発明の実施の形態においては、ワークの切り込み量は、第２のスライド部１０２のＺ軸方向の移動により決定されるものとなっている。この第２のスライド部１０２のＺ軸方向の移動量は、制御部３０１に、例えば、表形式で予め記憶されているシート位置制御データ４０２に基づいて決定されるものとなっている。   That is, in the embodiment of the present invention, the cut amount of the work is determined by the movement of the second slide portion 102 in the Z-axis direction. The amount of movement of the second slide unit 102 in the Z-axis direction is determined based on the sheet position control data 402 stored in the control unit 301 in advance in a table format, for example.

かかるシート位置制御データ４０２は、ワークへの切り込みに応じた時間の経過に対する第２のスライド部１０２の移動位置が規定されたものである。
このシート位置制御データ４０２に基づいて、リニアモータ１６を駆動し、第２のスライド部１０２を移動せしめることによって、リニアモータ１６に対して速度指令と位置指令を与えてその動作を制御するサーボ制御が実行されるものとなっている。 The sheet position control data 402 defines the movement position of the second slide unit 102 with respect to the passage of time according to the cutting into the workpiece.
Based on the sheet position control data 402, the linear motor 16 is driven and the second slide portion 102 is moved, so that a speed command and a position command are given to the linear motor 16 to control its operation. Is supposed to be executed.

このようにして、Ｚ軸処理系において、第２のＯＳＣゲインＫｚが乗ぜられると共に、所定のオフセット量Ｚ及びシート位置制御データが加算された後のカムデータは、先のＸ軸処理系同様、２つに分岐されて、その一方は、駆動信号出力回路３０２において、第２のサーボアンプ３０３Ｂによりリニアモータ１６を駆動するに適した信号に変換されて、第２のサーボアンプ３０３Ｂへ入力されることとなる。そして、リニアモータ１６は、第２のサーボアンプ３０３Ｂにより駆動信号出力回路３０２からの信号に応じて駆動される結果、第２のスライド部１０２は、上述のカムデータに応じてオシレーションしつつ、図示されないワークへ向かってシート位置制御データに応じた切り込み量を与えるべく移動することとなる。   In this way, in the Z-axis processing system, the second OSC gain Kz is multiplied, and the cam data after the addition of the predetermined offset amount Z and the sheet position control data is the same as the previous X-axis processing system. One of the two branches is converted into a signal suitable for driving the linear motor 16 by the second servo amplifier 303B in the drive signal output circuit 302 and input to the second servo amplifier 303B. It will be. The linear motor 16 is driven by the second servo amplifier 303B according to the signal from the drive signal output circuit 302. As a result, the second slide unit 102 oscillates according to the above cam data, The workpiece moves toward a workpiece (not shown) so as to give a cutting amount corresponding to the sheet position control data.

また、Ｚ軸処理系において、２つに分岐されたカムデータの内、他方は、先に説明したＸ軸処理系同様、微分され、次いで、フィードフォワードゲインＫff が乗ぜられて、速度信号として、駆動信号出力回路３０２を介して、第２のサーボアンプ３０３Ｂへ入力されるようになっている。
これは、第２のスライド部１０２の駆動制御における制御遅れ、すなわち、換言すれば、リニアモータ１６の制御遅れを補償するためのもので、上述のような速度信号によってリニアモータ１６のフィードフォワード制御が行われるものとなっている。 Also, in the Z-axis processing system, the other of the cam data branched into two is differentiated in the same manner as the X-axis processing system described above, and then multiplied by the feed forward gain Kff, and as a speed signal, The signal is input to the second servo amplifier 303B via the drive signal output circuit 302.
This is to compensate for the control delay in the drive control of the second slide portion 102, in other words, the control delay of the linear motor 16, and the feedforward control of the linear motor 16 by the speed signal as described above. Is to be done.

なお、図３において、Ｘ軸処理系においては、カムデータに第１のＯＳＣゲインＫｘを乗じた後に、また、Ｚ軸処理系においては、カムデータに第２のＯＳＣゲインＫｚを乗じた後に、第１及び第２のスイッチ４１１，４１２が設けられ、また、シート位置制御データ４０２を、カムデータに第２のＯＳＣゲインＫｚを乗じた結果に加算する直前に、第３のスイッチ４１３が設けられたものとなっているが、これは概念的なもので、具体的に電子部品としてのスイッチが設けられているものではなく、ソフトウェア処理により、スイッチのオン、オフに等価な処理がなされるものとなっている。   In FIG. 3, in the X-axis processing system, after the cam data is multiplied by the first OSC gain Kx, and in the Z-axis processing system, after the cam data is multiplied by the second OSC gain Kz, First and second switches 411 and 412 are provided, and a third switch 413 is provided immediately before the sheet position control data 402 is added to the result obtained by multiplying the cam data by the second OSC gain Kz. However, this is conceptual, not specifically provided with a switch as an electronic component, and a process equivalent to turning the switch on and off is performed by software processing. It has become.

かかる第１乃至第３のスイッチ４１１〜４１３は、研削作業の種類によって、制御処理の切り替えを行うために設けられたもので、具体的には、オシレーション制御の場合は、全てがオン（閉成状態）とされるものである。これに対して、内径加工の場合には、Ｚ軸方向の動きのみで良いため、第２のスイッチ４１２のみがオンとされ、第１及び第３のスイッチ４１１，４１３は、オフ（開成状態）とされるものとなっている。   The first to third switches 411 to 413 are provided to switch the control process depending on the type of grinding work. Specifically, in the case of oscillation control, all of them are on (closed). The completed state). On the other hand, in the case of inner diameter processing, since only the movement in the Z-axis direction is required, only the second switch 412 is turned on, and the first and third switches 411 and 413 are turned off (open state). It is supposed to be.

図５には、第１及び第２のスライド部１０１，１０２の移動位置（往復動）の時間的変化の例を示す特性線図が示されており、以下、同図について説明する。
まず、図５（Ａ）には、第１のスライド部１０１の移動位置の変化を示す特性線の例が示されている。第１のスライド部１０１は、第２のスライド部１０２における最終的なオシレーションの動きを生成するためのＸ軸方向の成分に相当する移動が行われるものである。図５（Ａ）において、縦軸の位置Ｘ１は、先に説明した制御部３０１内で加算される所定のオフセット量Ｘに対応するものである。
そして、この位置Ｘ１以降における第１のスライド部１０１の動きは、先に説明したカムデータ４０１に沿ったものであり、また、その移動の大きさ（振幅）は、先に説明した第１のＯＳＣゲインＫｘに応じて定まるものである。 FIG. 5 is a characteristic diagram showing an example of temporal changes in the movement positions (reciprocating movements) of the first and second slide portions 101 and 102, which will be described below.
First, FIG. 5A shows an example of a characteristic line indicating a change in the movement position of the first slide unit 101. The first slide unit 101 is moved corresponding to the component in the X-axis direction for generating the final oscillation movement in the second slide unit 102. In FIG. 5A, the position X1 on the vertical axis corresponds to the predetermined offset amount X added in the control unit 301 described above.
The movement of the first slide portion 101 after the position X1 is along the cam data 401 described above, and the magnitude (amplitude) of the movement is the first described above. It is determined according to the OSC gain Kx.

さらに、図５（Ａ）において、第１のスライド部１０１の１回の往復動が行われる時間Ｔは、図３において説明した基準パルスの繰り返し周期Ｔに対応するものである。なお、図５（Ａ）においては、途中で往復動に要する時間が変化している（繰り返し周期が延びている）が、これは、オシレーション制御の途中で、オシレーション動作の速度を減速した例を示すものである。なお、オシレーション動作速度を変えるのは、基準パルスの繰り返し周期を変えることで行われるものとなっている。   Further, in FIG. 5A, a time T in which the first slide portion 101 is reciprocated once corresponds to the reference pulse repetition period T described in FIG. In FIG. 5 (A), the time required for reciprocation changes in the middle (the repetition period is extended), but this slows down the speed of the oscillation operation during the oscillation control. An example is given. The oscillation operation speed is changed by changing the repetition cycle of the reference pulse.

一方、図５（Ｂ）には、Ｚ軸方向のオシレーション成分、すなわち、図３において説明した、カムデータ４０１に第２のＯＳＣゲインＫｚを乗じた結果に対応する第２のスライド部１０２の移動位置の変化が二点鎖線の特性線により表されている。
また、図３で説明したシート位置制御データ４０２に応じた第２のスライド部１０２の移動位置の変化が、一点鎖線の特性線により表されている（図５（Ｂ）参照）。 On the other hand, FIG. 5B shows the oscillation component in the Z-axis direction, that is, the second slide portion 102 corresponding to the result obtained by multiplying the cam data 401 and the second OSC gain Kz described in FIG. The change in the moving position is represented by a two-dot chain characteristic line.
Further, a change in the movement position of the second slide portion 102 according to the sheet position control data 402 described with reference to FIG. 3 is represented by a one-dot chain characteristic line (see FIG. 5B).

第２のスライド部１０２の実際の動きは、既に述べたように、二点鎖線の特性線と一点鎖線の特性線により表された２つの動きのベクトル合成として得られるものであり、図５（Ｂ）において実線の特性線により表されている。なお、図５（Ｂ）において、縦軸の位置Ｚ１は、先に説明した制御部３０１内で加算される所定のオフセット量Ｚに対応するものである。
かかる第２のスライド部１０２の動きは、既に述べたように、同一のカムデータ４０１（図３参照）に基づくものであるので、第１のスライド部１０１と完全に同期したものとなっている。 As described above, the actual movement of the second slide unit 102 is obtained as a vector composition of two movements represented by the characteristic line of the two-dot chain line and the characteristic line of the one-dot chain line. In B), it is represented by a solid characteristic line. In FIG. 5B, the vertical axis position Z1 corresponds to the predetermined offset amount Z added in the control unit 301 described above.
Since the movement of the second slide portion 102 is based on the same cam data 401 (see FIG. 3) as described above, it is completely synchronized with the first slide portion 101. .

なお、上述した本発明の実施の形態においては、制御部３０１、駆動信号出力回路３０２、第１及び第２のサーボアンプ３０３Ａ，３０３Ｂにより、制御駆動手段が構成されたものとなっている。   In the above-described embodiment of the present invention, the control drive unit is configured by the control unit 301, the drive signal output circuit 302, and the first and second servo amplifiers 303A and 303B.

本発明の実施の形態における研削装置の全体構成を示す図であって、図１（Ａ）は正面図、図１（Ｂ）は側面図である。It is a figure which shows the whole structure of the grinding device in embodiment of this invention, Comprising: FIG. 1 (A) is a front view, FIG.1 (B) is a side view. 図２は、本発明の実施の形態における研削装置の主要部の構成例を示す全体斜視図である。FIG. 2 is an overall perspective view showing a configuration example of a main part of the grinding apparatus according to the embodiment of the present invention. 図１に示された研削装置に用いられる第１及び第２のスライド部の駆動制御のための電気的な構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the electrical structure for drive control of the 1st and 2nd slide part used for the grinding apparatus shown by FIG. 本発明の実施の形態における第１のスライド部のＸ軸方向の移動と第２のスライド部のＺ軸方向の移動により所望する方向のオシレーションを得るための基本概念について説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the basic concept for obtaining the oscillation of a desired direction by the movement of the X-axis direction of the 1st slide part and the movement of the 2nd slide part in the Z-axis direction in embodiment of this invention. . 本発明の実施の形態における第１及び第２のスライド部の往復動の時間的変化の例を示す特性線図であり、図５（Ａ）は、第１のスライド部の往復動の変化を示す特性線図、図５（Ｂ）は、第２のスライド部の最終的な往復動の時間的変化、オシレーション成分のみの時間的変化及び切り込み量に応じた位置変化を示す特性線図である。FIG. 5A is a characteristic diagram showing an example of a temporal change in the reciprocation of the first and second slide portions in the embodiment of the present invention. FIG. 5A shows the change in the reciprocation of the first slide portion. FIG. 5 (B) is a characteristic diagram showing a temporal change of the final reciprocation of the second slide part, a temporal change of only the oscillation component, and a position change according to the cut amount. is there.

符号の説明Explanation of symbols

１３…第１のリニアモータ
１６…第２のリニアモータ
１０１…第１のスライド部
１０２…第２のスライド部
１０３…ワーク保持部
３０１…制御部
３０２…駆動信号出力回路
３０３Ａ…第１のサーボアンプ
３０３Ｂ…第２のサーボアンプ DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 ... 1st linear motor 16 ... 2nd linear motor 101 ... 1st slide part 102 ... 2nd slide part 103 ... Work holding part 301 ... Control part 302 ... Drive signal output circuit 303A ... 1st servo amplifier 303B ... Second servo amplifier

Claims (6)

研削装置におけるオシレーション制御方法であって、
砥石を回転自在に設ける一方、前記砥石の軸線方向に対して直交する方向に往復動可能に第１のテーブル部材を設けると共に、前記第１のテーブル部材の往復動方向に対して直交する方向に往復動可能に前記第１のテーブル部材上に第２のテーブル部材を設け、当該第２のテーブル部材上にワークを取り付け、前記第１のテーブル部材と第２のテーブル部材に、それぞれ往復動を同時に与えて、前記ワークにオシレーションを生じせしめて、前記砥石による前記ワークのシート加工を可能としてなることを特徴とする研削装置におけるオシレーション制御方法。 An oscillation control method in a grinding apparatus,
While the grindstone is rotatably provided, the first table member is provided so as to be able to reciprocate in a direction orthogonal to the axial direction of the grindstone, and in a direction orthogonal to the reciprocating direction of the first table member. A second table member is provided on the first table member so as to be capable of reciprocating movement, a work is mounted on the second table member, and the first table member and the second table member are reciprocated respectively. An oscillation control method in a grinding apparatus, wherein the oscillation is applied to the workpiece and the workpiece is processed by the grinding wheel. 第２のテーブル部材には、オシレーションのための往復動を与えると共に、ワークの軸線方向における切り込み量に応じた移動を与えることを特徴とする請求項１記載のシート加工におけるオシレーション制御方法。   2. The oscillation control method in sheet processing according to claim 1, wherein the second table member is given reciprocating motion for oscillation and moved in accordance with the cut amount in the axial direction of the workpiece. 研削装置であって、
回転自在に設けられた砥石と、
外部からの制御に応じて前記砥石の軸線方向に対して直交する方向に往復動可能に設けられた第１のスライド手段と、
外部からの制御に応じて前記砥石の軸線方向に往復動可能に前記第１のスライド手段上に設けられた第２のスライド部と、
前記第２のスライド手段に設けられ、ワークを着脱自在に保持しつつ回転せしめるワーク保持回転手段と、
前記第１及び第２のスライド手段の往復動を制御する制御駆動手段と、を具備し、
前記制御駆動手段は、前記第１のスライド手段と第２のスライド手段に、それぞれ往復動を同時に生じせしめるよう構成されてなり、
前記第１のスライド手段と第２のスライド手段の往復動の合成により、前記ワークのオシレーションを可能としてなることを特徴とする研削装置。 A grinding device,
A grindstone provided rotatably,
A first slide means provided so as to be able to reciprocate in a direction perpendicular to the axial direction of the grindstone according to control from the outside;
A second slide portion provided on the first slide means so as to be capable of reciprocating in the axial direction of the grindstone according to control from the outside;
A work holding and rotating means provided on the second slide means for rotating the work while detachably holding the work;
Control drive means for controlling the reciprocation of the first and second slide means,
The control drive means is configured to cause the first slide means and the second slide means to reciprocate simultaneously, respectively.
A grinding apparatus characterized in that the workpiece can be oscillated by synthesizing the reciprocating motion of the first slide means and the second slide means. 制御駆動手段は、第１、第２のスライド手段の単位時間における往復動を規定する基本のカムデータを有し、
前記第１のスライド手段を、前記カムデータに、所望するオシレーション方向に応じて定まる第１のオシレーションゲインを乗じた乗算結果に基づいて往復動せしめる一方、
前記第２のスライド手段を、前記カムデータに、所望するオシレーション方向に応じて定まる第２のオシレーションゲインを乗じた乗算結果に基づいて往復動せしめるよう構成されてなることを特徴とする請求項３記載の研削装置。 The control drive means has basic cam data that defines the reciprocation of the first and second slide means in unit time,
The first slide means is reciprocated based on a multiplication result obtained by multiplying the cam data by a first oscillation gain determined according to a desired oscillation direction.
The second slide means is configured to reciprocate based on a multiplication result obtained by multiplying the cam data by a second oscillation gain determined in accordance with a desired oscillation direction. Item 4. The grinding apparatus according to Item 3. 制御駆動手段は、第２のスライド手段に、オシレーションのための往復動を生じせしめる共に、ワークの軸線方向における切り込み量に応じた移動を生じせすめるよう構成されてなることを特徴とする請求項４記載の研削装置。   The control drive means is configured to cause the second slide means to reciprocate for oscillation, and to cause movement according to the amount of cut in the axial direction of the workpiece. Item 5. The grinding apparatus according to Item 4. 制御駆動手段は、ワークの切り込み量に応じた第２のスライド手段のＺ軸方向における位置制御のための位置制御データを有し、当該位置制御データに基づいて、前記第２のスライド手段の位置を制御するよう構成されていなることを特徴とする請求項５記載の研削装置。   The control drive means has position control data for controlling the position of the second slide means in the Z-axis direction in accordance with the cut amount of the workpiece, and based on the position control data, the position of the second slide means The grinding apparatus according to claim 5, wherein the grinding apparatus is configured to control.
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