JP2011060519A - 導電性ペーストおよびそれを用いた配線基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 導電性ペーストの構成として、金属粒子の大きさは平均一次粒子径を少なくとも2種類のものとし、その粒子径が50nm未満の金属粒子1と、100nm以上の金属粒子2により構成される金属粉末成分からなるものとするとともに、樹脂、分散媒を加えたペーストとし、該ペーストは金属薄膜を形成したときにおける金属割合が95%以上を示す性質を呈するものとする。
【選択図】 図2
Description
すなわち第一の構成として、金属粉末成分、樹脂、分散媒からなるペーストであって、薄膜を形成したときにおける金属割合(以降F値ということもある)が95%以上を示すとともに、平均一次粒子径が50nm未満の金属粒子1の群と、平均一次粒子径が100nm以上の金属粒子2の群により構成され、それぞれの粒子に起因する粒度の最頻径が少なくとも50nm離れている金属粉末と樹脂、分散媒からなり、金属薄膜を形成したときにおける金属割合が95%以上を示すペーストにより達成できる。なおF値とは「薄膜を形成したときにおける金属割合」であり、焼成後に残存する金属成分割合を示す。すなわち加熱処理後に蒸散する成分、すなわち分散剤を除いた樹脂と金属成分(金属)の総和における金属成分値を指す。具体的には、F値=(金属成分1の群(質量%)+金属成分2の群(質量%))/(金属成分1の群(質量%)+金属成分2の群(質量%)+樹脂成分(質量%))×100で与えられる。
金属粒子1の群とはその粒子径は透過型電子顕微鏡もしくは高分解能の走査型電子顕微鏡により計測可能な平均一次粒子径において、直径が50nm以下、好ましくは30nm以下、一層好ましくは20nm以下である粒子を用いる。こうした粒子径のものとすることにより、耐熱性の低い基板に影響を与えない程度の低温環境下の熱処理であっても焼結し、十分な導電性を付与できるようになる。
これは別々の反応槽、若しくは別々のバッチ処理で作製された金属ナノ粒子を混合して使っても、十分な接着強度を得ることができるためである。
本発明における金属粒子2の群とは、その平均一次粒子径が0.1μmすなわち100nm以上の粒子を指す。その上限に関しては特段の定めはないが、微細配線を指向するため、最大(最大径を示すDmax値)は10μm以下であることが好ましい。平均一次粒子径として、球形の場合には、より好ましくは0.1〜1.0μm、より好ましくは0.2〜0.8μmのものを使用する。一方フレーク粉を金属粒子2として採用する時には、平均一次粒子径として0.1〜5.0μm、より好ましくは0.2〜3.0μmのものを使用することが好ましい。こうすることで、よりサブミクロンオーダーの粒子の隙間部分に金属ナノ粒子が混在しやすくなり、金属ナノ粒子が焼結して、導電性をより高めることができるようになる。この場合でも平均粒径のピークが複数あるようなものでも構わないことから、平均粒径のピークが複数ある場合、ここでは金属粒子2の「群」と表記する。なお、金属粒子2における平均粒径D50は、金属ナノ粒子群1の測定方法とは異なるものであり、銀粉試料0.3gをイソプロピルアルコール50mLに入れ、出力50W超音波洗浄器で5分間分散させた後、マイクロトラック粒度分布測定装置(ハネウエル−日機装製の9320−X100)によってレーザー回折法で測定した際のD50(累積50質量%粒径)の値である。
本発明のペーストには基板に対する密着性を確保するべく、樹脂を添加する。具体的には、エポキシ樹脂やフェノール樹脂を添加するのがよい。具体例を示せば、エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製のアデカレジンシリーズ、ジャパンエポキシレジン株式会社製の871、フェノール樹脂としては群栄化学工業株式会社製のレヂトップシリーズを例示することができるが、これらの名称のものにこだわらない。
本発明のペーストには分散材を添加することが適当である。また分散剤としても、粒子表面と親和性を有するとともに分散媒に対しても親和性を有するものであれば、市販汎用のものであっても足りる。また、単独の種類のみならず、併用使用しても構わない。
乾燥状態のナノ銀粒子2質量部をシクロヘキサン96質量部とオレイン酸2質量部との混合溶液に添加し、超音波によって分散させた。分散溶液を支持膜付きCuマイクログリッドに滴下し、乾燥させることでTEM試料とした。作成したマイクログリッドを透過型電子顕微鏡(日本電子株式会社製JEM−100CXMark−II型)を使用し、100kVの加速電圧で、明視野で粒子を観察した像を、倍率30,000倍及び174,000倍で撮影した。
灰ぶん測定用灰ざらに試料を0.5g以上秤量し、マッフル炉(FO310、ヤマト科学株式会社製)にて約10℃/minの速度で700℃まで昇温させ、粒子表面に存在する有機物を除去した。
基板上に作成した配線について、デジタルマイクロスコープ(VHX−900、株式会社キーエンス製)を用い、配線を拡大することで配線の印刷性を評価した。図1に評価基準を記載している。断線がなく、かすれ、にじみがない配線を○、断線はしていないがかすれ、にじみがある配線を△、断線のある配線を×と評価した。
基板上に作成した配線について、線抵抗をデジタルマルチメーター(ミリオームハイテスタ、日置電機株式会社製)、配線の幅をデジタルマイクロスコープ(VHX−900、株式会社キーエンス製)、配線の厚みを表面粗度計(サーフコム1500D、株式会社東京精密製)にて測定し比抵抗を算出した。
基板上の配線にセロハンテープ(幅24mm、ニチバン社製)を貼り付け、5kg重程度の荷重をかけ、配線にセロハンテープを貼り付ける。その後、配線とセロハンテープの間の気泡がなくなるよう該加重を擦過させることで、気泡を除去してテープと基板を密着させた。基板が固定できたらテープを持ち上げ、基板とテープの角度が約90度になるように注意しながら、約0.6秒の速度で一気に引き剥がす。テープに配線の剥離が全く付着していなければ○、エッジの一部のみが剥離していれば△、断線して線抵抗が測定できないほど剥離する場合を×と評価した。
フェノール樹脂(固形分77.5wt%)をテルピネオールに溶解させ、次に高分子系顔料分散剤アジスパーPA111(味の素ファインテクノ株式会社製)をその溶液に溶解させる。この中に銀粒子1に相当する、へキサン酸(炭素数:6)で被覆された一次粒子の平均粒径が20nmの球状粒子を加え、手攪拌で10分間混合させた。
実施例1と同様の方法を用い、配合比率のみを変えて導電性ペーストを作成した。なお配合比率および得られた結果について表1にあわせて示す。
実施例1において球状銀粉に代え、一次粒子の平均粒径が2.5μmのフレーク状粒子とし、配合比率を表1に示した通りとした以外は、実施例1の操作を繰り返した。得られたペーストの評価結果を表1にあわせて示す。
実施例1の配合において、銀粒子1に相当する一次粒子の平均粒径が20nmの球状粒子Aの配合量をなくし、銀粒子2に相当する一次粒子の平均粒径が0.6μmの球状粒子Aのみの導電性ペーストを作成した。できた導電性ペーストを実施例1と同様にしてガラス基板上に配線描画し、抵抗評価および密着性評価を行った。結果については配合と併せて表2に付記している。基板との密着性に問題はなかったが、80μm幅の配線についてはペーストが版に詰まることによって配線が断線していた。
実施例3の配合において、フェノール樹脂の配合量を12.2重量部に変化させて導電性ペーストを作成した。できた導電性ペーストを実施例1と同様にしてポリイミドフィルムおよびガラス基板上に配線描画し、抵抗評価および密着性評価を行った。結果については配合と併せて表2に付記している。
実施例6の配合において、銀粒子1に相当する一次粒子の平均粒径が20nmの球状粒子Aの配合をなくし、減量分を銀粒子2に相当する一次粒子の平均粒径が2.5μmのフレーク状粒子Cに置き換えた、フレーク状粒子のみの導電性ペーストを作成した。できた導電性ペーストを実施例1と同様にしてポリイミドフィルムおよびガラス基板上に配線描画し、抵抗評価および密着性評価を行った。結果については配合と併せて表2に付記している。基板との密着性に問題はなかったが、ペーストが版に詰まりやすく、かすれのある配線であった。
実施例7の配合において、銀粒子1に相当する一次粒子の平均粒径が20nmの球状粒子Aの代わりに銀粒子2に相当する一次粒子の平均粒径が0.6μmの球状粒子Aを用いて導電性ペーストを作成した。できた導電性ペーストを実施例1と同様にしてポリイミドフィルムおよびガラス基板上に配線描画し、抵抗評価および密着性評価を行った。結果については配合と併せて表2に付記している。基材との密着性は問題なかったが、ペーストが版に詰まりやすく、かすれのある配線であった。
実施例3の配合において、銀粒子1に相当する一次粒子の平均粒径が20nmの球状粒子Aの代わりに、銀粒子2に相当する、ヒドロキノンで被覆された一次粒子の平均粒径が250nmである球状粒子Bを用いて導電性ペーストを作成した。できた導電性ペーストを実施例1と同様にしてポリイミドフィルムおよびガラス基板上に配線描画し、抵抗評価および密着性評価を行った。基材との密着性は問題なかったが、ペーストが版に詰まりやすく、かすれのある配線であった。
Claims (7)
- 透過型電子顕微鏡写真により計測される平均一次粒子径が50nm以下の金属粒子1の群と、レーザー回折法により計測される平均一次粒子径が100nm以上の金属粒子2の群により構成され、金属粉末群と樹脂、分散媒からなり、ペースト中における金属の総重量を金属と樹脂の総重量で除したときの値が95%以上を示すペースト。
- 前記金属粒子1の表面には炭素数6〜8の脂肪酸が吸着している、請求項1に記載のペースト。
- 質量割合として前記金属粒子群1の該ペースト中における全金属成分に対する質量割合が1〜70質量%である、請求項1または2のいずれかに記載されたペースト。
- 前記ペーストを構成する樹脂はフェノール系樹脂あるいはエポキシ系樹脂である、請求項1ないし3のいずれかに記載されたペースト。
- 前記ペーストを構成する分散媒は、ペーストの重量を100としたとき、20未満である請求項1ないし4のいずれかに記載されたペースト。
- 前記金属粒子1は銀である、請求項1ないし5のいずれかに記載のペースト。
- 請求項1ないし6に記載のペーストを用いることにより得られる導電性回路。
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