JP2011053250A - Rubbing processing device, rubbing processing method, and method for manufacturing liquid crystal display element - Google Patents

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Takaharu Igarashi
隆治 五十嵐
Yuichi Honma
雄一 本間
Kazuya Kobayashi
和也 小林
Yukie Koide
幸恵 小出
Masanori Takagi
雅規 高木
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Nippon Seiki Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rubbing processing device and a rubbing processing method capable of suppressing the generation of rubbing stripes without changing viewing angle characteristics of a vertical alignment liquid crystal display element, and to provide a method for manufacturing the liquid crystal display element using the rubbing processing method. <P>SOLUTION: The rubbing processing device 1 includes: a stage 10 on which a substrate 30 having an alignment layer formed thereon is placed; and a rubbing roll 20 disposed so that it can come into contact with the alignment layer. The rubbing roll 20 rotationally moves in parallel to the surface of the substrate 30. In a plane parallel to the surface of the substrate 30, regarding a tilt angle &theta;<SB>1</SB>of the substrate 30 with respect to a direction vertical to the advancing direction of the rubbing roll 20 and an angle &theta;<SB>2</SB>formed by the advancing direction of the rubbing roll 20 and the direction vertical to the rotary shaft of the rubbing roll 20, &theta;<SB>1</SB>=&theta;<SB>2</SB>, and &theta;<SB>2</SB>&ne;0 are established. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、液晶表示素子の基板に形成された配向膜に対してラビング処理を行うラビング処理装置、ラビング処理方法、及び該ラビング処理方法を用いた液晶表示素子の製造方法に関する。   The present invention relates to a rubbing treatment apparatus that performs a rubbing treatment on an alignment film formed on a substrate of a liquid crystal display element, a rubbing treatment method, and a method for manufacturing a liquid crystal display element using the rubbing treatment method.

従来、液晶表示素子の配向膜に沿って液晶分子を特定の方向に配向させるために、円筒状のロールにレーヨン、コットンなどの布が巻かれたラビングロールを回転させながら、電極と配向膜が形成された基板上を進行させながら一方向に擦るラビング処理が行われる。また、垂直配向液晶表示素子のラビング処理では、一方の基板側の配向膜界面の液晶分子と他方の基板側の配向膜界面の液晶分子とが互いに平行になるような方向にラビング処理を行う。そのため、基板の水平方向と基板進行軸とが平行で、かつラビングロールの進行方向とラビングロールの回転軸と垂直な方向(ラビング方向)とが同一方向となるようにラビング処理を行うことが一般的である。   Conventionally, in order to align liquid crystal molecules in a specific direction along an alignment film of a liquid crystal display element, an electrode and an alignment film are formed while rotating a rubbing roll in which a cloth such as rayon or cotton is wound around a cylindrical roll. A rubbing process is performed in which the substrate is rubbed in one direction while advancing on the formed substrate. In the rubbing process of the vertical alignment liquid crystal display element, the rubbing process is performed in such a direction that the liquid crystal molecules at the alignment film interface on one substrate side and the liquid crystal molecules at the alignment film interface on the other substrate side are parallel to each other. Therefore, the rubbing process is generally performed so that the horizontal direction of the substrate and the substrate traveling axis are parallel, and the traveling direction of the rubbing roll and the direction perpendicular to the rotating shaft of the rubbing roll (rubbing direction) are the same direction. Is.

しかし、上記のラビング処理は、垂直配向液晶表示素子を製造するにあたり十数μmの径の繊維でできた織物で擦るという特徴から、基板上の擦った場所(例えばガラス、電極、配向膜)により繊維に異なる癖が付く。そして、その癖の付き方の違いに加えてラビングロールのラビング方向と進行方向が同一方向になることにより、ラビング方向のスジが場所により大きく(長く)目立ち、液晶表示素子の表示品位を著しく悪化させ、欠陥となる。この問題に対して、特許文献1に記載のラビング方法では、ラビングロールの進行方向をラビングロールの回転軸と垂直な方向から傾けることにより、故意にラビングスジをミクロに分断することでラビングスジの発生を抑える。   However, the rubbing process is characterized by rubbing with a woven fabric made of fibers having a diameter of several tens of μm in manufacturing a vertically aligned liquid crystal display element, and depending on the rubbing place (for example, glass, electrode, alignment film) on the substrate. The fiber has different wrinkles. And, in addition to the difference in the crease, the rubbing direction of the rubbing roll and the traveling direction are the same direction. As a result, streaks in the rubbing direction become more prominent (longer) depending on the location, and the display quality of the liquid crystal display element is significantly deteriorated. Cause defects. With respect to this problem, in the rubbing method described in Patent Document 1, the rubbing streak is intentionally divided into microscopic pieces by tilting the traveling direction of the rubbing roll from the direction perpendicular to the rotation axis of the rubbing roll. suppress.

特開2002−6322号公報JP 2002-6322 A

しかし、特許文献1に記載のラビング方法では、ラビングロールの進行方向をラビングロールの回転軸と垂直な方向からずらすことにより、視角方向もずらした分だけずれてしまい、液晶表示素子の視角特性が変化してしまう。   However, in the rubbing method described in Patent Document 1, by shifting the traveling direction of the rubbing roll from the direction perpendicular to the rotation axis of the rubbing roll, the viewing angle direction is also shifted by the amount shifted, and the viewing angle characteristics of the liquid crystal display element are reduced. It will change.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、垂直配向液晶表示素子の視角特性を変えることなく、ラビングスジの発生を抑えることが可能なラビング処理装置、ラビング処理方法、及び該ラビング処理方法を用いた液晶表示素子の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and a rubbing processing apparatus, a rubbing processing method, and the rubbing processing capable of suppressing the occurrence of rubbing lines without changing the viewing angle characteristics of a vertically aligned liquid crystal display element. An object of the present invention is to provide a method for producing a liquid crystal display element using the method.

上記目的を達成するため、本発明の第1の観点に係るラビング処理装置は、
配向膜を表面に有する基板を該表面と平行に移動させる基板搬送手段と、
前記配向膜と接触可能に配置されるラビングロールと、
前記ラビングロールを前記基板の表面と平行に移動させるラビングロール移動手段と、
前記ラビングロールを回転させるラビングロール回転手段と、を備え、
前記基板の表面と平行な平面において、前記ラビングロールの進行方向に垂直な方向に対する前記基板の傾き角度θと、前記ラビングロールの進行方向と前記ラビングロールの回転軸に垂直な方向との成す角度θとが、θ=θであって、且つθ≠0°であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a rubbing treatment apparatus according to the first aspect of the present invention provides:
Substrate transport means for moving a substrate having an alignment film on its surface in parallel with the surface;
A rubbing roll disposed so as to be in contact with the alignment film;
Rubbing roll moving means for moving the rubbing roll parallel to the surface of the substrate;
A rubbing roll rotating means for rotating the rubbing roll,
In a plane parallel to the surface of the substrate, an inclination angle θ 1 of the substrate with respect to a direction perpendicular to the traveling direction of the rubbing roll, and a traveling direction of the rubbing roll and a direction perpendicular to the rotation axis of the rubbing roll are formed. The angle θ 2 is characterized in that θ 1 = θ 2 and θ 2 ≠ 0 °.

上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係るラビング処理方法は、
配向膜を表面に有する基板に対し、前記配向膜に回転するラビングロールを接触させてラビング処理を行うラビング処理方法であって、
前記基板の表面と平行な平面において、前記ラビングロールの進行方向に垂直な方向に対する前記基板の傾き角度θと、前記ラビングロールの進行方向と前記ラビングロールの回転軸に垂直な方向との成す角度θとが、θ=θであって、且つθ≠0°であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a rubbing treatment method according to a second aspect of the present invention includes:
A rubbing treatment method for performing a rubbing treatment by bringing a rotating rubbing roll into contact with the alignment film with respect to a substrate having an alignment film on the surface,
In a plane parallel to the surface of the substrate, an inclination angle θ 1 of the substrate with respect to a direction perpendicular to the traveling direction of the rubbing roll, and a traveling direction of the rubbing roll and a direction perpendicular to the rotation axis of the rubbing roll are formed. The angle θ 2 is characterized in that θ 1 = θ 2 and θ 2 ≠ 0 °.

上記目的を達成するため、本発明の第3の観点に係る液晶表示素子の製造方法は、
基板の表面に形成された配向膜に対して、上述したようなラビング処理方法によりラビング処理を行うステップと、
ラビング処理が行われた前記配向膜を有する2枚の基板を、ラビング方向が互いに平行かつ逆向きとなるように前記配向膜を内側にして対向させ、前記2枚の基板の間に液晶を封入するステップと、
前記2枚の基板の前記配向膜が形成された表面と反対側の表面に偏光板を貼付するステップと、を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a method for manufacturing a liquid crystal display element according to the third aspect of the present invention includes:
Performing a rubbing treatment on the alignment film formed on the surface of the substrate by the rubbing treatment method as described above;
Two substrates having the alignment film subjected to the rubbing treatment are opposed to each other with the alignment film facing inward so that the rubbing directions are parallel and opposite to each other, and liquid crystal is sealed between the two substrates. And steps to
Attaching a polarizing plate to the surface of the two substrates opposite to the surface on which the alignment film is formed.

本発明によれば、垂直配向液晶表示素子の視角特性を変えることなく、ラビングスジの発生を抑えることが可能なラビング処理装置、ラビング処理方法、及び該ラビング処理方法を用いた液晶表示素子の製造方法を提供できる。   According to the present invention, a rubbing processing apparatus, a rubbing processing method, and a method for manufacturing a liquid crystal display element using the rubbing processing method capable of suppressing the occurrence of rubbing lines without changing the viewing angle characteristics of the vertically aligned liquid crystal display element Can provide.

(a)は本発明の実施形態に係るラビング処理装置の概略構成を示す斜視図、(b)は本発明の実施形態に係る基板とラビングロールの配置を示す図である。(A) is a perspective view which shows schematic structure of the rubbing processing apparatus which concerns on embodiment of this invention, (b) is a figure which shows arrangement | positioning of the board | substrate and rubbing roll which concern on embodiment of this invention. (a)〜(c)は、所定のθ、θにおける基板とラビングロールの配置を示す図である。(A)-(c) is a figure which shows arrangement | positioning of the board | substrate and rubbing roll in predetermined (theta) 1 , (theta) 2 . 図2(a)〜(c)の各配置における偏光板の光の吸収方向、液晶分子の倒れる方向、及びラビング方向を示す図である。It is a figure which shows the light absorption direction of the polarizing plate in each arrangement | positioning of Fig.2 (a)-(c), the direction in which a liquid crystal molecule falls, and the rubbing direction. 図2(a)〜(c)の各配置における垂直液晶表示素子の顕微鏡写真を示す図である。It is a figure which shows the microscope picture of the vertical liquid crystal display element in each arrangement | positioning of Fig.2 (a)-(c). 図2(a)〜(c)の各配置における垂直液晶表示素子のコントラスト視角特性を示す図である。It is a figure which shows the contrast viewing angle characteristic of the vertical liquid crystal display element in each arrangement | positioning of Fig.2 (a)-(c).

以下に本発明の実施形態を図を参照して説明する。図1(a)は、本実施形態に係るラビング処理装置1の概略構成を示す図である。本実施形態に係るラビング処理装置1は、図1(a)に示すように、基板30が載置されたステージ10と、ラビングロール20とから構成される。なお、図1(b)に示すように、ステージ10の載置面内において、基板30の進行方向をX軸の正方向、ラビングロール20の進行方向をX軸と直交するY軸の正方向として、X−Y座標系を規定する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1A is a diagram showing a schematic configuration of a rubbing processing apparatus 1 according to the present embodiment. As shown in FIG. 1A, the rubbing processing apparatus 1 according to this embodiment includes a stage 10 on which a substrate 30 is placed and a rubbing roll 20. As shown in FIG. 1B, in the mounting surface of the stage 10, the traveling direction of the substrate 30 is the positive direction of the X axis, and the traveling direction of the rubbing roll 20 is the positive direction of the Y axis perpendicular to the X axis. The XY coordinate system is defined as follows.

ステージ10は、載置面に載置された基板30を図1(b)のX軸正方向に基板30の表面と平行に移動させるものである。ステージ10は、例えばモータ等が駆動することにより、X軸の正方向または負方向に移動する。ステージ10の載置面には基板30がX軸正方向に対してθ回転した状態で載置されている。 The stage 10 moves the substrate 30 placed on the placement surface in parallel with the surface of the substrate 30 in the positive direction of the X axis in FIG. The stage 10 moves in the positive direction or the negative direction of the X axis, for example, when driven by a motor or the like. The mounting surface of the stage 10 is placed in a state where the substrate 30 is theta 1 rotates with respect to the X-axis positive direction.

基板30は、透明電極が形成されたガラス等からなる透明基板の表面にポリイミドから成る配向膜が塗布されて形成されたものである。   The substrate 30 is formed by applying an alignment film made of polyimide on the surface of a transparent substrate made of glass or the like on which a transparent electrode is formed.

ラビングロール20は、円筒状のロール本体に、レーヨン、コットン等の布(ラビング布)を巻き付けられて構成される。ラビングロール20は、図1(a)に示すように、ラビングロール回転手段に相当するモータ40によりその回転軸に垂直な方向がY軸正方向に対して所定の角度θ(θ≠0°、例えば15°)傾いた状態で回転する。さらに、ラビングロール20は、例えばモータ等から構成されるラビングロール移動手段が駆動することにより、Y軸の正方向または負方向に移動し、基板30と接触する。 The rubbing roll 20 is configured by winding a cloth (rubbing cloth) such as rayon or cotton around a cylindrical roll body. As shown in FIG. 1A, the rubbing roll 20 has a predetermined angle θ 22 ≠ 0) with respect to the positive Y-axis direction by a motor 40 corresponding to the rubbing roll rotating means. It rotates in an inclined state (for example, 15 °). Further, the rubbing roll 20 moves in the positive or negative direction of the Y axis and is brought into contact with the substrate 30 when driven by, for example, a rubbing roll moving unit including a motor.

次に、このように構成されるラビング処理装置1を用いたラビング処理方法について説明する。
まず、ステージ10上に基板30を配向膜が形成されている側を上面にして載置する。この際、基板30は、ラビングロール20の進行方向に垂直な方向(X軸正方向)に対する傾き角度θが、θと等しく(θ=θ)なるように載置する。
Next, a rubbing processing method using the rubbing processing apparatus 1 configured as described above will be described.
First, the substrate 30 is placed on the stage 10 with the side on which the alignment film is formed as the upper surface. At this time, the substrate 30 is placed so that an inclination angle θ 1 with respect to a direction perpendicular to the traveling direction of the rubbing roll 20 (X-axis positive direction) is equal to θ 21 = θ 2 ).

次に、基板30がラビングロール20の移動線上に位置するようにステージ10をX軸正方向に移動させ、その後停止させる。さらに、ラビングロール20を回転駆動させながらY軸正方向に移動させる。ラビングロール20は基板30上を通過する際に、基板30表面の配向膜を擦りながら通過するため、ラビングロール20の外周面に設けられたラビング布により配向膜は一定方向にラビングされる。なお、ラビングロール20の移動速度は、ラビングロール20の回転速度に対して、十分に小さいため、ラビング方向は、ラビングロール20の回転軸と垂直な方向とみなすことができる。   Next, the stage 10 is moved in the X-axis positive direction so that the substrate 30 is positioned on the movement line of the rubbing roll 20 and then stopped. Further, the rubbing roll 20 is moved in the positive Y-axis direction while being driven to rotate. When the rubbing roll 20 passes over the substrate 30, the rubbing roll 20 passes while rubbing the alignment film on the surface of the substrate 30. Therefore, the alignment film is rubbed in a certain direction by a rubbing cloth provided on the outer peripheral surface of the rubbing roll 20. In addition, since the moving speed of the rubbing roll 20 is sufficiently smaller than the rotational speed of the rubbing roll 20, the rubbing direction can be regarded as a direction perpendicular to the rotational axis of the rubbing roll 20.

以上のようにして、基板30表面に形成された配向膜に対してラビング処理が行われる。また、上述のラビング処理が行われた配向膜を有する2枚の基板30を、ラビング方向が互いに平行かつ逆向きとなるように配向膜を内側にして対向させ、その間に液晶を封入し、基板30の外側表面に偏光板を貼付することで、液晶表示素子が製造される。   The rubbing process is performed on the alignment film formed on the surface of the substrate 30 as described above. Further, the two substrates 30 having the alignment film subjected to the rubbing treatment described above are opposed to each other with the alignment film facing inward so that the rubbing directions are parallel and opposite to each other, and liquid crystal is sealed between them. A liquid crystal display element is manufactured by attaching a polarizing plate to the outer surface of 30.

ここで、上述のように構成されたラビング処理装置1を用いてラビング処理が行われた配向膜上のラビングスジの発生の有無について、従来のラビング処理装置を用いた場合と比較して説明する。   Here, the presence or absence of the occurrence of rubbing streaks on the alignment film that has been subjected to the rubbing process using the rubbing apparatus 1 configured as described above will be described in comparison with the case where a conventional rubbing apparatus is used.

図2(a)、(b)は従来のラビング処理装置におけるラビングロールと基板の配置関係を表し、(a)はθ1=θ2=0°、(b)は、θ=0°、θ=15°である。図2(c)は、本実施形態に係るラビング処理装置1におけるラビングロール20と基板30の配置関係の一例を表し、θ=θ=15°である。 2A and 2B show the positional relationship between a rubbing roll and a substrate in a conventional rubbing processing apparatus, FIG. 2A shows θ1 = θ2 = 0 °, FIG. 2B shows θ 1 = 0 °, θ 2. = 15 °. FIG. 2C illustrates an example of an arrangement relationship between the rubbing roll 20 and the substrate 30 in the rubbing processing apparatus 1 according to this embodiment, and θ 1 = θ 2 = 15 °.

上述の図2(a)〜(c)の配置を有するラビング処理装置を用いてラビング処理が行われた100個の垂直配向液晶表示素子のサンプル群を、それぞれグループA、B、Cとする。ここで、ラビング処理方法は、図2(a)〜(c)のそれぞれの場合について、ラビングロール20と基板30の配置が異なるのみで、ラビングロール20を回転させてY軸方向に移動させることは同じである。   Sample groups of 100 vertically aligned liquid crystal display elements that have been subjected to the rubbing process using the rubbing apparatus having the arrangement shown in FIGS. 2A to 2C are referred to as groups A, B, and C, respectively. Here, the rubbing processing method is that the rubbing roll 20 is rotated and moved in the Y-axis direction only in the arrangement of the rubbing roll 20 and the substrate 30 in each of the cases of FIGS. Are the same.

なお、各グループにおける垂直配向液晶表示素子の前面及び背面偏光板の光の吸収方向、液晶分子の倒れる方向、及びラビング方向を図3に示す。グループA及びグループCは、ローラと基板の相対的な配置関係が同様であるため、偏光板の光の吸収方向、液晶分子の倒れる方向、及びラビング方向は同様の図で表される。   FIG. 3 shows the light absorption direction, the liquid crystal molecule tilt direction, and the rubbing direction of the front and back polarizing plates of the vertically aligned liquid crystal display element in each group. In Group A and Group C, the relative arrangement relationship between the roller and the substrate is the same, and therefore, the light absorption direction of the polarizing plate, the direction in which the liquid crystal molecules are tilted, and the rubbing direction are represented by the same diagram.

以下の表1に図2(a)〜(c)の場合において、グループA〜Cのラビングスジの発生率を示す。ここで、ラビングスジの発生率は、目視で確認できるラビングスジを有する垂直配向液晶表示素子の数の全体(100個)に対する割合である。   Table 1 below shows the rate of occurrence of rubbing stripes in groups A to C in the cases of FIGS. Here, the occurrence rate of rubbing stripes is a ratio of the total number (100) of vertically aligned liquid crystal display elements having rubbing stripes that can be visually confirmed.

上記の結果から、グループAのラビングスジ発生率が55%であるのに対し、グループB、Cのラビングスジ発生率は0%である。従って、θ=15°、すなわちラビングロール20の進行方向と、ラビングロール20の回転方向(ラビング方向)を一致させないことが、ラビングスジ発生の防止に有効であると考えられる。 From the above results, the rubbing stripe occurrence rate of group A is 55%, while the rubbing stripe occurrence rate of groups B and C is 0%. Therefore, it is considered that θ 2 = 15 °, that is, preventing the rubbing roll 20 from moving in the same direction as the rubbing roll 20 in the rotational direction (rubbing direction) is effective in preventing the occurrence of rubbing lines.

次に、グループA〜Cの垂直配向液晶表示素子の顕微鏡写真を示す図を図4に示す。図4(a)〜(c)はそれぞれ、グループA〜Cに対応する。グループAの写真を示す図である図4(a)では、配向膜に一様に配向処理が行われておらず、ラビングスジが発生していることがわかる。これに対し、グループB、Cの写真を示す図である図4(b)、(c)では、配向膜に一様に配向処理が行われており、ラビングスジが発生していないことがわかる。この結果は、表1からもわかることである。   Next, the figure which shows the microscope picture of the vertical alignment liquid crystal display element of group AC is shown in FIG. 4A to 4C correspond to groups A to C, respectively. In FIG. 4A, which shows a photograph of group A, it can be seen that the alignment film is not uniformly processed and rubbing lines are generated. On the other hand, in FIGS. 4B and 4C showing the photographs of the groups B and C, it can be seen that the alignment film is uniformly processed and no rubbing streaks are generated. This result can also be seen from Table 1.

また、グループBの図4(b)から、基板30はX軸から傾斜せず(θ=0°)、ラビングロール20のみがY軸から15°傾く(θ=15°)ことにより、ラビングロール20の回転方向も15°傾き、ラビング方向も垂直配向液晶表示素子の水平パターンに対し垂直な軸から15°傾くことがわかる。従って、グループBの垂直配向液晶表示素子は、グループAのものと比較して、ラビング方向が15°傾いている。 Further, from FIG. 4B of Group B, the substrate 30 is not inclined from the X axis (θ 1 = 0 °), and only the rubbing roll 20 is inclined 15 ° from the Y axis (θ 2 = 15 °), It can be seen that the rotation direction of the rubbing roll 20 is also inclined by 15 °, and the rubbing direction is also inclined by 15 ° from the axis perpendicular to the horizontal pattern of the vertically aligned liquid crystal display element. Therefore, the rubbing direction of the vertically aligned liquid crystal display elements of group B is inclined by 15 ° compared to that of group A.

また、グループCの図4(c)から、ラビングロール20だけでなく、基板30もラビングロール20と同様に15°傾く(θ=θ=15°)ことにより、ラビングロール20と基板30の相対的な位置関係がグループAと同様な配置になる。従って、グループCのラビング方向は、グループAのラビング方向と同様に、垂直配向液晶表示素子の水平パターンに対し垂直な方向である。 Further, from FIG. 4C of group C, not only the rubbing roll 20 but also the substrate 30 is inclined by 15 ° (θ 1 = θ 2 = 15 °) similarly to the rubbing roll 20, so that the rubbing roll 20 and the substrate 30 The relative positional relationship is similar to that of group A. Accordingly, the rubbing direction of group C is a direction perpendicular to the horizontal pattern of the vertically aligned liquid crystal display element, similarly to the rubbing direction of group A.

上記の結果から、ラビング方向は、ラビングロール20と基板30の相対的な位置関係によって決まることがわかる。   From the above results, it can be seen that the rubbing direction is determined by the relative positional relationship between the rubbing roll 20 and the substrate 30.

次に、図5に液晶表示素子の視角特性測定装置(ELDIM製EZ−CONTRAST)を用いて各グループA〜Cの垂直配向液晶表示素子のコントラスト視角特性を測定した結果を示す。図5(a)に示すグループAの視角特性と、図5(b)に示すグループBの視角特性を比較すると、グループBの視角特性は、グループAのものに対し、全体として15°回転していることがわかる。これは、グループBのラビング方向が、グループAのラビング方向に対し、15°傾斜しているためである。   Next, FIG. 5 shows the results of measuring the contrast viewing angle characteristics of the vertically aligned liquid crystal display elements of each of the groups A to C using a viewing angle characteristic measuring apparatus for liquid crystal display elements (EZ-CONTRAST manufactured by ELDIM). When comparing the viewing angle characteristics of group A shown in FIG. 5 (a) with the viewing angle characteristics of group B shown in FIG. 5 (b), the viewing angle characteristics of group B are rotated by 15 ° as a whole with respect to those of group A. You can see that This is because the rubbing direction of group B is inclined by 15 ° with respect to the rubbing direction of group A.

また、図5(a)に示すグループAの視角特性と、図5(c)に示すグループCの視角特性を比較すると、グループCの視角特性は、グループAのものと同等であることがわかる。これは、グループCのラビング方向が、グループAのラビング方向と一致しているためである。   Further, comparing the viewing angle characteristics of group A shown in FIG. 5A with the viewing angle characteristics of group C shown in FIG. 5C, it can be seen that the viewing angle characteristics of group C are equivalent to those of group A. . This is because the rubbing direction of group C matches the rubbing direction of group A.

上述したように、本実施形態に係るラビング処理装置1は、基板30とラビングロール20の進行方向と垂直な方向との成す角度θと、ラビングロール20の回転軸と垂直な方向とラビングロール20の進行方向との成す角度θとがθ=θの関係であり、かつθ≠0°である。これにより、視角特性を変化させることなく、ラビングスジの発生を防止することができる。 As described above, the rubbing treatment apparatus 1 according to this embodiment includes the angle θ 1 formed by the substrate 30 and the direction perpendicular to the traveling direction of the rubbing roll 20, the direction perpendicular to the rotation axis of the rubbing roll 20, and the rubbing roll. The angle θ 2 formed by the traveling direction of 20 has a relationship of θ 1 = θ 2 and θ 2 ≠ 0 °. Thereby, it is possible to prevent the rubbing streak from occurring without changing the viewing angle characteristic.

1 ラビング処理装置
10 ステージ
20 ラビングロール
30 基板
40 モータ
1 rubbing treatment apparatus 10 stage 20 rubbing roll 30 substrate 40 motor

Claims (3)

配向膜を表面に有する基板を該表面と平行に移動させる基板搬送手段と、
前記配向膜と接触可能に配置されるラビングロールと、
前記ラビングロールを前記基板の表面と平行に移動させるラビングロール移動手段と、
前記ラビングロールを回転させるラビングロール回転手段と、を備え、
前記基板の表面と平行な平面において、前記ラビングロールの進行方向に垂直な方向に対する前記基板の傾き角度θと、前記ラビングロールの進行方向と前記ラビングロールの回転軸に垂直な方向との成す角度θとが、θ=θであって、且つθ≠0°である、
ことを特徴とするラビング処理装置。
Substrate transport means for moving a substrate having an alignment film on its surface in parallel with the surface;
A rubbing roll disposed so as to be in contact with the alignment film;
Rubbing roll moving means for moving the rubbing roll parallel to the surface of the substrate;
A rubbing roll rotating means for rotating the rubbing roll,
In a plane parallel to the surface of the substrate, an inclination angle θ 1 of the substrate with respect to a direction perpendicular to the traveling direction of the rubbing roll, and a traveling direction of the rubbing roll and a direction perpendicular to the rotation axis of the rubbing roll are formed. The angle θ 2 is θ 1 = θ 2 and θ 2 ≠ 0 °.
A rubbing treatment apparatus characterized by the above.
配向膜を表面に有する基板に対し、前記配向膜に回転するラビングロールを接触させてラビング処理を行うラビング処理方法であって、
前記基板の表面と平行な平面において、前記ラビングロールの進行方向に垂直な方向に対する前記基板の傾き角度θと、前記ラビングロールの進行方向と前記ラビングロールの回転軸に垂直な方向との成す角度θとが、θ=θであって、且つθ≠0°である、
ことを特徴とするラビング処理方法。
A rubbing treatment method for performing a rubbing treatment by bringing a rotating rubbing roll into contact with the alignment film with respect to a substrate having an alignment film on the surface,
In a plane parallel to the surface of the substrate, an inclination angle θ 1 of the substrate with respect to a direction perpendicular to the traveling direction of the rubbing roll, and a traveling direction of the rubbing roll and a direction perpendicular to the rotation axis of the rubbing roll are formed. The angle θ 2 is θ 1 = θ 2 and θ 2 ≠ 0 °.
The rubbing processing method characterized by the above-mentioned.
基板の表面に形成された配向膜に対して、請求項2に記載のラビング処理方法によりラビング処理を行うステップと、
ラビング処理が行われた前記配向膜を有する2枚の基板を、ラビング方向が互いに平行かつ逆向きとなるように前記配向膜を内側にして対向させ、前記2枚の基板の間に液晶を封入するステップと、
前記2枚の基板の前記配向膜が形成された表面と反対側の表面に偏光板を貼付するステップと、
を備えることを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
Performing a rubbing treatment on the alignment film formed on the surface of the substrate by the rubbing treatment method according to claim 2;
Two substrates having the alignment film subjected to the rubbing treatment are opposed to each other with the alignment film facing inward so that the rubbing directions are parallel and opposite to each other, and liquid crystal is sealed between the two substrates. And steps to
Attaching a polarizing plate to a surface opposite to the surface on which the alignment film of the two substrates is formed;
A method for producing a liquid crystal display element, comprising:
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